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JP2003022891A - Organic electroluminescent display device and method of manufacturing the same - Google Patents

Organic electroluminescent display device and method of manufacturing the same

Info

Publication number
JP2003022891A
JP2003022891A JP2001204918A JP2001204918A JP2003022891A JP 2003022891 A JP2003022891 A JP 2003022891A JP 2001204918 A JP2001204918 A JP 2001204918A JP 2001204918 A JP2001204918 A JP 2001204918A JP 2003022891 A JP2003022891 A JP 2003022891A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
upper electrode
organic electroluminescence
electroluminescence display
sealing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001204918A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takumi Sawatani
谷 巧 澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2001204918A priority Critical patent/JP2003022891A/en
Publication of JP2003022891A publication Critical patent/JP2003022891A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/8794Arrangements for heating and cooling

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 EL素子から素子外部への放熱速度を向上さ
せ、有機EL層で発生した熱による発光特性の劣化を抑
制し、表示素子の長寿命化させる。 【解決手段】 有機エレクトロルミネッセンス表示素子
1は、少なくともガラス,プラスチック,セラミックの
うちの1つより構成されると共に複数の電極3が設けら
れた基板2と、この基板2上に積層された有機エレクト
ロルミネッセンス層4と、基板2との間で有機エレクト
ロルミネッセンス層4を挟んで対向して設けられた上部
電極5と、上部電極5との間で封止空間6を介して封止
剤7により基板2に対して封止された封止基板8と、を
備える有機エレクトロルミネッセンス表示素子におい
て、上部電極5の前記封止基板と対向する表面5aに成
膜・加工により突出形成されると共にこの突出側壁の表
面積により前記有機エレクトロルミネッセンス層4より
生じた熱を放出させる放熱部10を備える。
An object of the present invention is to improve a heat radiation rate from an EL element to the outside of the element, suppress deterioration of light emission characteristics due to heat generated in an organic EL layer, and extend the life of a display element. SOLUTION: An organic electroluminescence display element 1 is composed of at least one of glass, plastic, and ceramic, and is provided with a plurality of electrodes 3, and an organic electroluminescent display laminated on the substrate 2. An upper electrode 5 provided to face the luminescent layer 4 and the substrate 2 with the organic electroluminescent layer 4 interposed therebetween, and a sealing agent 7 via the sealing space 6 between the upper electrode 5 and the upper electrode 5. And a sealing substrate 8 sealed with respect to the sealing substrate 8. The upper side of the upper electrode 5 is formed on the surface 5 a of the upper electrode 5 facing the sealing substrate by film formation and processing, and the projected side wall is formed. A heat radiating portion 10 for releasing heat generated from the organic electroluminescent layer 4 due to the surface area of the organic electroluminescent layer 4.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、有機エレクトロ
ルミネッセンス表示素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescence display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】有機エレクトロルミネッセンス(以下、
有機EL―Electro luminescence―という。)表示素子
は、視野角、応答速度に優れ、薄膜化が容易な自発光素
子であることから注目されている。一般に有機EL表示
素子は、基板側に設けられて発光を取り出すための透明
電極と、主として金属からなる対向電極(上部電極)を
有し、基板と上部電極との間に有機発光層(以下、EL
層という)を有する構造となっている。このEL層は正
孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、電子注入
層などの複数の薄膜から構成される。また、電極とEL
層の間にフッ化リチウムなどの誘電体を有する場合もあ
る。
2. Description of the Related Art Organic electroluminescence (hereinafter, referred to as
Organic EL-Electro luminescence-. ) A display element is attracting attention because it is a self-luminous element that has an excellent viewing angle and response speed and can be easily thinned. Generally, an organic EL display element has a transparent electrode provided on the substrate side for taking out light emission, and a counter electrode (upper electrode) mainly made of metal, and an organic light emitting layer (hereinafter, EL
It is a structure having layers). This EL layer is composed of a plurality of thin films such as a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer and an electron injection layer. Also, electrodes and EL
It may also have a dielectric such as lithium fluoride between the layers.

【0003】EL層の成膜方法は、真空蒸着法に代表さ
れるドライプロセスや、スピンコート法に代表されるウ
ェットプロセスで行なわれるが、この発明はEL層の成
膜に関し、特に限定するものではない。対向電極の成膜
方法は、抵抗加熱による真空蒸着法、電子ビーム蒸着
法、スパッタ法などの方法が挙げられるが、前述の方法
により成膜を行なった場合、対向電極に関して下地EL
層の平坦性を踏襲した表面状態が得られる。特に、ウェ
ットプロセスによりEL層を成膜した場合には、EL層
は平坦膜が得られるため、対向電極もその表面は平坦に
なる。また、EL素子作成後は、大気との接触を防ぐた
めにN、Arガス等の特殊な雰囲気中において封止が
行なわれる。
The EL layer is formed by a dry process typified by a vacuum vapor deposition method or a wet process typified by a spin coating method. The present invention relates to the formation of an EL layer and is particularly limited. is not. Examples of the film forming method of the counter electrode include a vacuum evaporation method using resistance heating, an electron beam evaporation method, a sputtering method, and the like.
A surface condition that follows the flatness of the layer is obtained. In particular, when the EL layer is formed by a wet process, a flat film is obtained for the EL layer, so that the surface of the counter electrode is also flat. Further, after the EL element is formed, sealing is performed in a special atmosphere such as N 2 or Ar gas in order to prevent contact with the atmosphere.

【0004】有機EL素子の駆動は、下部および上部電
極を介してEL層に電流を流すことにより、発光層とし
てのEL層内で電子・正孔が再結合することにより形成
された励起子の緩和により生じた蛍光によるものであ
る。
The organic EL element is driven by exchanging excitons formed by recombination of electrons and holes in the EL layer as a light emitting layer by passing a current through the EL layer through the lower and upper electrodes. This is due to fluorescence generated by relaxation.

【0005】この有機エレクトロルミネッセンス表示素
子は発光層を電流駆動しているために、表示素子内に熱
が発生する。特に、有機EL素子はEL層保護のために
封止しているため、対向電極を介しての外部への放熱が
起こりにくいため、この熱は素子内に蓄積しやすい。そ
の結果、温度上昇による発光特性の変化(例えば、発光
効率の低下や発光色の変化)、素子寿命への影響など、
計り知れない影響が生じるものと考えられる。
In this organic electroluminescence display element, heat is generated in the display element because the light emitting layer is current-driven. In particular, since the organic EL element is sealed to protect the EL layer, heat radiation to the outside via the counter electrode is unlikely to occur, and this heat easily accumulates in the element. As a result, changes in light emission characteristics due to temperature rise (for example, decrease in light emission efficiency and change in emission color), effects on device life, etc.
It is thought that immeasurable effects will occur.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の有機エレクトロルミネッセンス表示素子においては、
電極に電流を流すことにより表示素子内の電極の近傍で
熱が発生していた。この表示素子に関連する発熱は電極
の近傍で顕著であるが、下部電極はガラス等の基板上に
設けられているので、密着する下部基板から熱が伝搬し
て上部電極に比べると放熱性を有することになる。これ
に対して、特にEL層の上方で基板に対向して設けられ
た上部電極は、封止剤を介して下部基板と封止基板とに
より封止されて封止空間内に設けられているので、上部
電極に電流を流すことにより発生した熱は表示素子内に
籠もってしまうという問題があった。この表示素子内に
蓄積された熱により、温度上昇が発生して発光特性が劣
化したり、表示素子の寿命が短縮されたりするという問
題点があった。
As described above, in the conventional organic electroluminescence display device,
Heat was generated near the electrodes in the display element by passing a current through the electrodes. The heat generated by this display element is remarkable in the vicinity of the electrodes, but since the lower electrode is provided on the substrate such as glass, the heat is propagated from the lower substrate that is in close contact and the heat dissipation is better than that of the upper electrode. Will have. On the other hand, in particular, the upper electrode provided facing the substrate above the EL layer is provided in the sealed space by being sealed by the lower substrate and the sealing substrate via the sealant. Therefore, there is a problem that heat generated by passing a current through the upper electrode is trapped in the display element. Due to the heat accumulated in the display element, there is a problem that a temperature rise occurs and the light emitting characteristics are deteriorated, or the life of the display element is shortened.

【0007】この発明は、上記問題点を解決するために
なされたものであり、EL素子から素子外部への放熱速
度を向上させることで、有機EL層で発生した熱による
発光特性の劣化を抑制し、表示素子の長寿命化させるこ
とを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and suppresses the deterioration of the light emitting characteristics due to the heat generated in the organic EL layer by improving the heat dissipation rate from the EL element to the outside of the element. However, the purpose is to extend the life of the display element.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第1の基本構成に係る有機エレクトロルミ
ネッセンス表示素子は、少なくともガラス,プラスチッ
ク,セラミックのうちの1つより構成されると共に複数
の電極が設けられた基板と、この基板上に積層された有
機エレクトロルミネッセンス層と、前記基板との間で前
記有機エレクトロルミネッセンス層を挟んで対向して設
けられた上部電極と、前記上部電極との間で封止空間を
介して封止剤により前記基板に対して封止された封止基
板と、を備える有機エレクトロルミネッセンス表示素子
において、前記上部電極の前記封止基板と対向する表面
に成膜・加工により突出形成されると共にこの突出側壁
の表面積により前記有機エレクトロルミネッセンス層よ
り生じた熱を放出させる放熱部を備えることを特徴とす
る。
In order to achieve the above object, an organic electroluminescence display device according to a first basic structure of the present invention is composed of at least one of glass, plastic, and ceramic, and a plurality of organic electroluminescence display devices. A substrate provided with an electrode of, an organic electroluminescent layer laminated on the substrate, an upper electrode provided to face the organic electroluminescent layer between the substrate, and the upper electrode. In a organic electroluminescence display element comprising: a sealing substrate sealed to the substrate with a sealing agent via a sealing space between them, a surface of the upper electrode facing the sealing substrate is formed. The surface is formed on the side wall of the protrusion by the film and processing, and the heat generated from the organic electroluminescence layer is released. Characterized in that it comprises a heat radiating portion that.

【0009】また、本発明の第2の基本構成に係る有機
エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法は、少な
くともガラス,プラスチック,セラミックのうちの1つ
より構成されると共に複数の電極が設けられた基板と、
この基板上に積層された有機エレクトロルミネッセンス
層と、前記基板との間で前記有機エレクトロルミネッセ
ンス層を挟んで対向して設けられた上部電極と、前記上
部電極との間で封止空間を介して封止剤により前記基板
に対して封止された封止基板と、を備える有機エレクト
ロルミネッセンス表示素子の製造方法において、前記基
板の一主面に透明電極を形成するステップと、前記基板
の前記一主面上に前記透明電極を囲むように有機発光層
を形成するステップと、前記基板の前記一主面上に前記
透明電極および前記有機発光層を囲むように主として金
属より成る上部電極を積層形成するステップと、前記上
部電極の所定の孔パターンを有するシャドウマスクを介
してさらに金属を蒸着することにより前記所定の孔パタ
ーンに対応する形状の突部を積層して形成するステップ
と、を備えている。
The method of manufacturing an organic electroluminescence display device according to the second basic structure of the present invention comprises a substrate which is made of at least one of glass, plastic and ceramics and which is provided with a plurality of electrodes. ,
An organic electroluminescence layer laminated on this substrate, an upper electrode provided to face the organic electroluminescence layer between the substrate, and a sealing space between the upper electrode and the upper electrode. In a method for manufacturing an organic electroluminescence display element, comprising: a sealing substrate sealed with respect to the substrate by a sealing agent; a step of forming a transparent electrode on one main surface of the substrate; Forming an organic light emitting layer on the main surface so as to surround the transparent electrode, and forming an upper electrode mainly made of a metal so as to surround the transparent electrode and the organic light emitting layer on the one main surface of the substrate. And a shape corresponding to the predetermined hole pattern by further depositing metal through a shadow mask having a predetermined hole pattern of the upper electrode. And a, and forming a protrusion by laminating.

【0010】本発明の第1および第2の基本構成によれ
ば、下部電極としての複数の電極が設けられた基板との
間で封止剤を介して密封された封止空間を形成する封止
基板に対向する上部電極の表面に多数の突起を形成して
表面の面積を増加させ、この面積の増加分により上部電
極に流された電流に起因する発熱を放出させている。平
坦な平面よりも多数の突起による表面積の増大は、放熱
特性を遙かに改善することができる。放熱のための特性
をより一層改善するためには、多数の突起の形状や配列
をなるべく上部電極の封止空間側の表面積が増大するよ
うに形成すれば良い。
According to the first and second basic configurations of the present invention, a seal for forming a sealed space sealed with a sealant between the substrate and a substrate provided with a plurality of electrodes as lower electrodes. A large number of protrusions are formed on the surface of the upper electrode facing the stop substrate to increase the surface area, and the increase in the area releases heat generated by the current passed through the upper electrode. The increase in surface area due to the larger number of protrusions than that on a flat plane can greatly improve heat dissipation characteristics. In order to further improve the characteristics for heat dissipation, the shape and arrangement of many protrusions may be formed so as to increase the surface area of the upper electrode on the side of the sealing space.

【0011】そのためには、なるべく個々の突起の形成
密度を緻密にすると共に封止基板の内側の面に当接する
くらいの高さとすれば良い。また、隣接する突起の基部
側をなるべく密着させると共に上方、すなわち封止基板
方向に向かうにつれて細くなるような台形状または截頭
円錐形状に形成しておけば、より一層高い放熱特性を得
ることができる。
For that purpose, the formation density of the individual projections should be made as close as possible, and the height should be such that it comes into contact with the inner surface of the sealing substrate. Further, if the base portions of the adjacent protrusions are closely attached to each other as much as possible, and if they are formed in a trapezoidal shape or a truncated cone shape that becomes narrower toward the upper side, that is, in the sealing substrate direction, higher heat dissipation characteristics can be obtained. it can.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る有機エレクト
ロルミネッセンス表示素子の実施形態について、添付図
面を参照しながら詳細に説明する。まず、図1および図
2を用いて、本発明の第1実施形態に係る有機エレクト
ロルミネッセンス表示素子について説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the organic electroluminescence display device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, the organic electroluminescence display element according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

【0013】図1は第1実施形態に係る有機エレクトロ
ルミネッセンス表示素子の概略断面図を示しており、表
示の煩雑化を避けるために断面表示は省略して示してい
る。図1において、有機エレクトロルミネッセンス表示
素子1は、ガラス,プラスチック,セラミック等により
構成された下部基板2と、この下部基板2の一主面に設
けられた複数の下部電極3と、基板2上に下部電極3を
包囲するように積層された有機エレクトロルミネッセン
ス層4と、基板2との間で前記有機エレクトロルミネッ
センス層4を挟んで対向して設けられた上部電極5と、
この上部電極5との間で封止空間6を介して封止剤7に
より下部基板2に対して封止された封止基板8と、を備
えている。ここまでの構成は、従来の有機エレクトロル
ミネッセンス表示素子と変わりはない。
FIG. 1 is a schematic sectional view of the organic electroluminescence display element according to the first embodiment, and the sectional display is omitted in order to avoid complication of the display. In FIG. 1, an organic electroluminescence display device 1 includes a lower substrate 2 made of glass, plastic, ceramics or the like, a plurality of lower electrodes 3 provided on one main surface of the lower substrate 2, and a lower substrate 2 on the substrate 2. An organic electroluminescent layer 4 laminated so as to surround the lower electrode 3, and an upper electrode 5 provided to face the substrate 2 with the organic electroluminescent layer 4 interposed therebetween.
A sealing substrate 8 that is sealed from the lower substrate 2 by a sealant 7 via a sealing space 6 between the upper electrode 5 and the upper electrode 5. The configuration up to this point is the same as that of the conventional organic electroluminescence display element.

【0014】第1実施形態に係る有機エレクトロルミネ
ッセンス表示素子は、上部電極5の前記封止基板8と対
向する表面に放熱部10を形成したものであり、この放
熱部10は、成膜・加工により突出形成されると共にこ
の突出側壁の表面積により前記有機エレクトロルミネッ
センス層より生じた熱を放出させる多数の突起11を備
えている。
The organic electroluminescence display element according to the first embodiment has a heat dissipation portion 10 formed on the surface of the upper electrode 5 facing the sealing substrate 8. The heat dissipation portion 10 is formed and processed. And a large number of protrusions 11 for releasing heat generated from the organic electroluminescence layer due to the surface area of the side wall of the protrusion.

【0015】この多数の突起11は、図2に示すよう
に、上部電極5の前記封止基板8側の対向面5aの一定
の範囲にわたって実質的に均一に突出形成された矩形段
状の多数の突起により構成され、この多数の突起の隣接
する2つの突起11、11は、略々直交するX方向、Y
方向の2方向に所定距離ずつ離隔して設けられている。
図2に示された矩形段状の突起11は、略々正方形状で
合同の底面および上面を有し、それぞれの面の1辺の約
2倍の高さを有する矩形の段部をマトリックス状に多数
配列した構成になっている。
As shown in FIG. 2, the plurality of projections 11 are rectangular step-like projections formed substantially uniformly over a certain range of the facing surface 5a of the upper electrode 5 on the sealing substrate 8 side. The two adjacent projections 11, 11 of the large number of projections are arranged in a substantially orthogonal X direction and a Y direction.
It is provided so as to be separated by a predetermined distance in two directions.
The rectangular step-shaped projection 11 shown in FIG. 2 has a substantially square shape and has a congruent bottom surface and an upper surface, and a rectangular step portion having a height about twice one side of each surface is arranged in a matrix. It has a structure in which a large number are arranged.

【0016】図1および図2に示した第1実施形態に有
機エレクトロルミネッセンス表示素子において、放熱部
10は、平坦な金属製上部電極5の表面5aの上に選択
的に金属膜を積層することにより形成されている。ま
た、放熱部10は、平坦な金属製上部電極5を成膜後に
選択的にエッチングすることにより形成するようにして
も良い。
In the organic electroluminescent display element according to the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the heat dissipation portion 10 is formed by selectively laminating a metal film on the surface 5a of the flat metal upper electrode 5. It is formed by. Further, the heat dissipation portion 10 may be formed by selectively etching the flat metal upper electrode 5 after forming the film.

【0017】例えば、シャドウマスクを用いた真空蒸着
法の場合、蒸着途中で、マスクパターンを変更し、表面
が凹凸になるようにする。このとき、使用するシャドウ
マスクのパターンは、第1実施形態の場合正方形状の穴
の空いたマスクが用いられるが、他にも、形成したい突
起の形状に応じて、ストライプ状あるいはドット状のパ
ターンなどが考えられる。あるいは、成膜後にエッチン
グすることでも、同様の凹凸状の表面を持つ上部電極5
を作成することができる。
For example, in the case of a vacuum vapor deposition method using a shadow mask, the mask pattern is changed during vapor deposition so that the surface becomes uneven. At this time, the pattern of the shadow mask to be used is a mask having square holes in the case of the first embodiment, but other than that, depending on the shape of the projection to be formed, a stripe-shaped or dot-shaped pattern is used. And so on. Alternatively, the upper electrode 5 having a similar uneven surface can be formed by etching after film formation.
Can be created.

【0018】上部電極を作成する際、シャドウマスクを
変更するまでは、従来どおりの方法と変わらないが、途
中でシャドウマスクを変更した後に成膜された電極は、
シャドウマスクのパターンにより表面が凹凸になる。そ
の結果、上部電極の表面積を容易に大きくすることがで
きる。表面積を大きくすることにより、上部電極からの
熱の拡散が促され、駆動により素子に生じた熱を素子外
に拡散させることができる。
When forming the upper electrode, the method is the same as the conventional method until the shadow mask is changed, but the electrode formed after changing the shadow mask on the way is
The pattern of the shadow mask makes the surface uneven. As a result, the surface area of the upper electrode can be easily increased. By increasing the surface area, diffusion of heat from the upper electrode is promoted, and the heat generated in the element by driving can be diffused to the outside of the element.

【0019】次に、図3および図4を用いて、本発明の
第2実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示
素子について説明する。第2実施形態の表示素子は、放
熱部10の構成が、第1実施形態の突起11よりも長尺
な突起12である点にあり、突起12の上面12aは図
3に示すように封止基板の上部電極5側の下面に密着す
る高さにまで長く形成されている。このように、上部電
極を凹凸に加工すると共に長尺に形成することにより、
スペーサーを用いなくても、封止基板8とのギャップ制
御を行なうこともできる。この構成に特有の効果として
は、例えば、下部基板に駆動回路を有するTFTアレイ
基板を用いる場合、スペーサーによるドライバの破損を
防ぐことにもなり、歩留りも上昇する。
Next, the organic electroluminescence display element according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 and 4. The display element of the second embodiment is characterized in that the heat dissipation portion 10 has a longer protrusion 12 than the protrusion 11 of the first embodiment, and the upper surface 12a of the protrusion 12 is sealed as shown in FIG. It is formed to a height that is in close contact with the lower surface of the substrate on the upper electrode 5 side. In this way, by processing the upper electrode into an uneven shape and forming it into a long shape,
It is also possible to control the gap with the sealing substrate 8 without using a spacer. As an effect peculiar to this configuration, for example, when a TFT array substrate having a driving circuit on the lower substrate is used, the driver is prevented from being damaged by the spacer, and the yield is increased.

【0020】次に、図5および図6を参照しながら、本
発明の第3実施形態に係る有機エレクトロルミネッセン
ス表示素子について説明する。図5および図6におい
て、図1ないし図4と同一の構成要素には同一の符号を
用いて重複説明を省略する。この第3実施形態に係る有
機エレクトロルミネッセンス表示素子は、放熱部10の
形状が台形状となっている点で第1および第2実施形態
に係る表示素子と異なっている。
Next, an organic electroluminescence display element according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. 5 and 6, the same components as those in FIGS. 1 to 4 are designated by the same reference numerals, and a duplicate description will be omitted. The organic electroluminescence display element according to the third embodiment is different from the display elements according to the first and second embodiments in that the heat dissipation portion 10 has a trapezoidal shape.

【0021】第3実施形態の放熱部10の具体的な構成
は、図5に示すような封止空間6の途中までの高さの台
形状の多数の突起13により構成されており、その配列
状況は、図6に示すように、Y方向に突出する2つの突
起の台形状の底面の隣接辺が密着するような配置であ
り、X方向は略々突起13の底面分1つ跳びで離間する
ように形成されている。配置密度や突起形状等について
は、統計的に最も放熱特性の良い密度や形状とすること
が望ましいが、放熱特性は突起13を含む上部電極5の
表面5aの凹凸による表面積の広さに正比例するものと
考えられるので、なるべく密接させて表面積も広く確保
できるような突起形状が好ましい。
The specific structure of the heat dissipation portion 10 of the third embodiment is composed of a large number of trapezoidal protrusions 13 having a height up to the middle of the sealed space 6 as shown in FIG. As shown in FIG. 6, the situation is such that the adjacent sides of the trapezoidal bottom surfaces of the two protrusions protruding in the Y direction are in close contact with each other, and in the X direction, they are separated by approximately one jump for the bottom surface of the protrusion 13. Is formed. It is desirable that the arrangement density, the shape of the protrusions, and the like are statistically the density and the shape that have the best heat dissipation characteristics. Since it is considered to be a thing, it is preferable that the shape of the protrusion is such that it can be closely contacted as much as possible to secure a large surface area.

【0022】なお、第1実施形態に対する第2実施形態
のような関係に基づいて、図7および図8に示す第4実
施形態が考えられる。この第4実施形態に係る有機エレ
クトロルミネッセンス表示素子は、図7に示すように、
封止基板8の下面に当接する上面14aを有する台形状
の突起14が多数X,Yの2つの方向に配列されてい
る。突起14の底面の隣接する2つの辺が密着するよう
に形成されている。この第4実施形態に係る放熱部の突
起14は、第2実施形態に係る放熱部の突起12と同様
にスペーサーとしての機能も果たしている。
A fourth embodiment shown in FIGS. 7 and 8 can be considered based on the relationship of the second embodiment with respect to the first embodiment. The organic electroluminescence display element according to the fourth embodiment is, as shown in FIG.
A large number of trapezoidal protrusions 14 having an upper surface 14a that contacts the lower surface of the sealing substrate 8 are arranged in two directions X and Y. It is formed so that two adjacent sides of the bottom surface of the protrusion 14 are in close contact with each other. The protrusions 14 of the heat dissipation portion according to the fourth embodiment also function as spacers, like the protrusions 12 of the heat dissipation portion according to the second embodiment.

【0023】なお、上述した第1ないし第4実施形態に
係る有機エレクトロルミネッセンス表示素子によれば、
放熱部10としての多数の突起11ないし14は何れも
底面が矩形の角柱または截頭角錐形状であったが、本発
明はこれに限定されず、多数の突起を円柱または截頭円
錐形状に形成しても良い。また、配列についても、前記
放熱部は、前記上部電極の前記封止基板への対向面の一
定の範囲にわたって実質的に均一に突出形成された截頭
円錐形状の多数の突起により構成され、この多数の突起
の隣接する2つは直交する2方向に所定距離ずつ離隔し
て設けられていても良い。前記放熱部を構成する前記多
数の突起は、配列された行・列2方向の隣接する2つの
行の突起列が所定の距離ずつ位置ずれされていても良
い。
According to the organic electroluminescence display device according to the above-mentioned first to fourth embodiments,
Each of the large number of protrusions 11 to 14 as the heat dissipation portion 10 has a rectangular prismatic shape or a truncated pyramid shape with a bottom surface, but the present invention is not limited to this, and the large number of protrusions are formed in a cylindrical shape or a truncated cone shape. You may. Also, regarding the arrangement, the heat dissipation portion is composed of a large number of truncated cone-shaped projections formed so as to project substantially uniformly over a certain range of the surface of the upper electrode facing the sealing substrate. Adjacent two of a large number of protrusions may be provided at a predetermined distance in two orthogonal directions. The plurality of protrusions forming the heat radiating portion may be arranged such that protrusion columns of two adjacent rows in the row and column two directions arranged are displaced by a predetermined distance.

【0024】図9および図10は、本発明の第5実施形
態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示素子を示す
断面図および斜視図である。図9に示すように、第5実
施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示素子
は、截頭円錐形状の突起15を上部電極5の表面5a上
に設けられている。この突起15は、隣接する列および
行毎に位置ずれして設けられている。
9 and 10 are a sectional view and a perspective view showing an organic electroluminescence display device according to a fifth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 9, in the organic electroluminescence display element according to the fifth embodiment, a truncated cone-shaped protrusion 15 is provided on the surface 5 a of the upper electrode 5. The protrusions 15 are provided so as to be displaced for each adjacent column and row.

【0025】この第5実施形態に係る表示素子によれ
ば、突起15が截頭円錐形状に形成されているため、円
錐形の傾斜する周面により広い表面積を確保することが
できると共に、上部電極5の上表面5aと封止基板8の
下面との間の上部電極5の電流に起因する発熱を放熱す
る際の熱対流効率をより向上させることができる。
According to the display element of the fifth embodiment, since the projection 15 is formed in a truncated cone shape, a wide surface area can be secured by the conical inclined peripheral surface and the upper electrode can be secured. The thermal convection efficiency at the time of radiating the heat generated by the current of the upper electrode 5 between the upper surface 5a of the electrode 5 and the lower surface of the sealing substrate 8 can be further improved.

【0026】なお、図9に示された截頭円錐形は封止空
間6における上部電極5の状目5aと封止基板8の下面
との間の途中までの高さに形成されているが、本発明は
これに限定されず、第2および第4実施形態に示す放熱
部12および14のように、封止基板8の下面に当接し
て突起の上面で直接封止基板8に熱を伝導するように構
成しても良い。また、この第5実施形態の突起15は截
頭円錐形に形成されているが、本発明はこれにも限定さ
れず、側断面から眺めたときに図1のように見える円筒
形状に形成しても良い。同様に、図3の側断面図のよう
に見える上面が封止基板8の下面に接するまで長尺に形
成された円筒形状の突起であっても良いことはもちろん
である。
The frustoconical shape shown in FIG. 9 is formed at a height halfway between the shape 5a of the upper electrode 5 and the lower surface of the sealing substrate 8 in the sealing space 6. However, the present invention is not limited to this, and as in the heat dissipation parts 12 and 14 shown in the second and fourth embodiments, heat is applied to the lower surface of the sealing substrate 8 and heats the sealing substrate 8 directly on the upper surface of the protrusion. It may be configured to conduct electricity. Further, although the projection 15 of the fifth embodiment is formed in a truncated cone shape, the present invention is not limited to this and is formed in a cylindrical shape that looks like FIG. 1 when viewed from the side cross section. May be. Similarly, it is needless to say that the upper surface that looks like the side cross-sectional view of FIG. 3 may be a cylindrical protrusion that is formed long until it contacts the lower surface of the sealing substrate 8.

【0027】本発明の第2の基本構成に係る有機エレク
トロルミネッセンス表示素子の製造方法に対応する第6
実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示素子
の製造方法について、図11および図12を用いて説明
する。
A sixth method corresponding to the method for manufacturing an organic electroluminescence display device according to the second basic structure of the present invention.
A method for manufacturing the organic electroluminescence display element according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 11 and 12.

【0028】第6実施形態に係る表示素子の製造方法は
少なくともガラス,プラスチック,セラミックのうちの
1つより構成されると共に複数の電極が設けられた基板
と、この基板上に積層された有機エレクトロルミネッセ
ンス層と、前記基板との間で前記有機エレクトロルミネ
ッセンス層を挟んで対向して設けられた上部電極と、前
記上部電極との間で封止空間を介して封止剤により前記
基板に対して封止された封止基板と、を備える有機エレ
クトロルミネッセンス表示素子の製造方法に関するもの
である。
The method of manufacturing a display device according to the sixth embodiment is composed of at least one of glass, plastic, and ceramic, and a substrate provided with a plurality of electrodes, and an organic electroluminescent layer laminated on the substrate. A luminescent layer, an upper electrode provided to face the substrate with the organic electroluminescent layer sandwiched between the substrate, and a sealing agent through a sealing space between the upper electrode with respect to the substrate. The present invention relates to a method for manufacturing an organic electroluminescence display device including a sealed sealing substrate.

【0029】図11(a)に示すように、まず、ステッ
プST1において、前記基板2の一主面2aに複数の透
明電極3を形成する。次に、図11(b)に示すステッ
プST2において、前記基板2の前記一主面2a上に前
記透明電極3を囲むように有機発光層4を形成する。次
に、図11(c)に示すように、ステップST3におい
て、前記基板2の前記一主面2a上に前記透明電極3お
よび前記有機発光層4を囲むように主として金属より成
る上部電極5を積層形成する。最後に、図11(d)に
示すように、ステップST4において、前記上部電極5
の上面5aに所定の孔パターン21を有するシャドウマ
スク20を介してさらに金属を蒸着することにより前記
所定の孔パターン21に対応する形状の複数の突起部1
6を順次に積層して形成する。形成された突起部16
は、第1ないし第5実施形態の放熱部10として機能す
る。
As shown in FIG. 11A, first, in step ST1, a plurality of transparent electrodes 3 are formed on one main surface 2a of the substrate 2. Next, in step ST2 shown in FIG. 11B, the organic light emitting layer 4 is formed on the one main surface 2a of the substrate 2 so as to surround the transparent electrode 3. Next, as shown in FIG. 11C, in step ST3, an upper electrode 5 mainly made of metal is formed on the one main surface 2a of the substrate 2 so as to surround the transparent electrode 3 and the organic light emitting layer 4. Form a stack. Finally, as shown in FIG. 11D, in step ST4, the upper electrode 5
A plurality of protrusions 1 having a shape corresponding to the predetermined hole pattern 21 are formed by further depositing a metal on the upper surface 5a of the shadow mask 20 having the predetermined hole pattern 21.
6 are sequentially laminated and formed. Formed protrusion 16
Functions as the heat dissipation unit 10 of the first to fifth embodiments.

【0030】この第6実施形態における有機エレクトロ
ルミネッセンス表示素子の製造方法においては、図12
に示すような孔パターン21を多数有するシャドウマス
ク20を用いて金属蒸着により形成されている。この孔
パターンを最も放熱効率の良い形状の放熱部10が形成
されるように調整してやることにより、最も好ましい形
状や密度の突起部を形成することが可能である。なお、
突起部16を円錐形状に形成するためには図11(d)
に示すステップST4におけるマスクを用いた金属蒸着
の際に金属の蒸着レートを当初は強く徐々に弱くなるよ
うに調整することにより同じマスクでも円錐形状に堆積
させることができる。また、マスクを複数用意しておい
て、パターンに設けられた孔の径の広いマスクから徐々
に径の小さいマスクに交換して金属蒸着を行なうように
しても良い。
In the method of manufacturing the organic electroluminescence display element according to the sixth embodiment, the method shown in FIG.
It is formed by metal deposition using a shadow mask 20 having a large number of hole patterns 21 as shown in FIG. By adjusting this hole pattern so that the heat dissipation portion 10 having the shape with the highest heat dissipation efficiency is formed, it is possible to form the protrusion having the most preferable shape and density. In addition,
In order to form the projection 16 in a conical shape, FIG.
At the time of metal deposition using a mask in step ST4 shown in (4), the metal deposition rate may be adjusted to be strong initially and gradually weakened so that the same mask can be deposited in a conical shape. Alternatively, a plurality of masks may be prepared, and a mask having a wide hole in the pattern may be gradually replaced with a mask having a smaller diameter to perform metal deposition.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る有機エレクトロルミネッセンス表示素子およびその製
造方法によれば、封止基板の下面に対向する上部電極の
上面に凹凸を形成して表面形状の面積を増大させて放熱
部としたので、表示素子の封止空間内に発生する熱を放
熱部により放熱させて表示素子内を冷却し、封止空間内
の放熱効率を向上させることにより、有機EL層で発生
した熱による発光特性の劣化を抑制し、表示素子の長寿
命化させることができる。
As described in detail above, according to the organic electroluminescence display element and the method for manufacturing the same according to the present invention, the top surface of the upper electrode facing the bottom surface of the encapsulation substrate is formed with irregularities to form a surface shape. Since the area is increased to be the heat dissipation portion, the heat generated in the sealed space of the display element is radiated by the heat dissipation portion to cool the inside of the display element, and the heat dissipation efficiency in the sealed space is improved. It is possible to suppress the deterioration of the light emitting characteristics due to the heat generated in the organic EL layer and to extend the life of the display element.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施形態に係る有機エレクトロル
ミネッセンス表示素子の概略構成を示す側断面図であ
る。
FIG. 1 is a side sectional view showing a schematic configuration of an organic electroluminescence display device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1実施形態に係る有機エレクトロル
ミネッセンス表示素子の発熱部を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a heat generating portion of the organic electroluminescence display element according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1実施形態に係る有機エレクトロル
ミネッセンス表示素子の概略構成を示す側断面図であ
る。
FIG. 3 is a side sectional view showing a schematic configuration of the organic electroluminescence display element according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2実施形態に係る有機エレクトロル
ミネッセンス表示素子の発熱部を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing a heat generating portion of the organic electroluminescence display element according to the second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3実施形態に係る有機エレクトロル
ミネッセンス表示素子の概略構成を示す側断面図であ
る。
FIG. 5 is a side sectional view showing a schematic configuration of an organic electroluminescence display device according to a third embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3実施形態に係る有機エレクトロル
ミネッセンス表示素子の発熱部を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a heat generating portion of an organic electroluminescence display device according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第4実施形態に係る有機エレクトロル
ミネッセンス表示素子の概略構成を示す側断面図であ
る。
FIG. 7 is a side sectional view showing a schematic configuration of an organic electroluminescence display device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第4実施形態に係る有機エレクトロル
ミネッセンス表示素子の発熱部を示す斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view showing a heat generating portion of the organic electroluminescence display element according to the fourth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第5実施形態に係る有機エレクトロル
ミネッセンス表示素子の概略構成を示す側断面図であ
る。
FIG. 9 is a side sectional view showing a schematic configuration of an organic electroluminescence display element according to a fifth embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第5実施形態に係る有機エレクトロ
ルミネッセンス表示素子の発熱部を示す斜視図である。
FIG. 10 is a perspective view showing a heat generating portion of the organic electroluminescence display element according to the fifth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第6実施形態に係る有機エレクトロ
ルミネッセンス表示素子の製造方法の概略工程(a)〜
(d)をそれぞれ示す側断面図である。
FIG. 11 is a schematic step (a) of a method for manufacturing an organic electroluminescence display device according to a sixth embodiment of the present invention.
It is a sectional side view which shows each (d).

【図12】本発明の第6実施形態に係る有機エレクトロ
ルミネッセンス表示素子の製造方法で用いられるシャド
ウマスクを示す平面図である。
FIG. 12 is a plan view showing a shadow mask used in a method of manufacturing an organic electroluminescence display device according to a sixth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 有機エレクトロルミネッセンス表示素子 2 下部基板(ガラス、プラスチック、セラミック) 3 透明電極 4 有機エレクトロルミネッセンス層 5 上部電極 6 封止空間 7 封止剤 8 封止基板 10 放熱部 11〜15 突起 16 突起部 20 シャドウマスク 21 孔パターン 1 Organic electroluminescence display device 2 Lower substrate (glass, plastic, ceramic) 3 transparent electrodes 4 Organic electroluminescence layer 5 Upper electrode 6 sealed space 7 Sealant 8 Sealing substrate 10 Heat sink 11-15 protrusions 16 Protrusion 20 shadow mask 21 hole pattern

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】少なくともガラス,プラスチック,セラミ
ックのうちの1つより構成されると共に複数の電極が設
けられた基板と、この基板上に積層された有機エレクト
ロルミネッセンス層と、前記基板との間で前記有機エレ
クトロルミネッセンス層を挟んで対向して設けられた上
部電極と、前記上部電極との間で封止空間を介して封止
剤により前記基板に対して封止された封止基板と、を備
える有機エレクトロルミネッセンス表示素子において、 前記上部電極の前記封止基板と対向する表面に成膜・加
工により突出形成されると共にこの突出側壁の表面積に
より前記有機エレクトロルミネッセンス層より生じた熱
を放出させる放熱部を備えることを特徴とする有機エレ
クトロルミネッセンス表示素子。
1. A substrate composed of at least one of glass, plastic, and ceramic and provided with a plurality of electrodes, an organic electroluminescence layer laminated on the substrate, and the substrate. An upper electrode provided to face each other with the organic electroluminescent layer interposed therebetween, and a sealing substrate sealed with respect to the substrate by a sealing agent via a sealing space between the upper electrode, In an organic electroluminescence display element, the heat dissipation is formed by projecting and forming on the surface of the upper electrode facing the sealing substrate by film formation and processing, and radiating heat generated from the organic electroluminescence layer by the surface area of the projecting side wall. An organic electroluminescence display device, characterized by comprising:
【請求項2】前記放熱部は、前記上部電極の表面に設け
られた凹凸部を備えたことを特徴とする請求項1に記載
の有機エレクトロルミネッセンス表示素子。
2. The organic electroluminescence display element according to claim 1, wherein the heat dissipation portion has an uneven portion provided on the surface of the upper electrode.
【請求項3】前記放熱部は、前記上部電極の前記封止基
板への対向面の一定の範囲にわたって実質的に均一に突
出形成された段状の多数の突起により構成され、この多
数の突起の隣接する2つは直交する2方向に所定距離ず
つ離隔して設けられている請求項1に記載の有機エレク
トロルミネッセンス表示素子。
3. The heat dissipating portion is composed of a large number of step-like projections formed to project substantially uniformly over a certain range of the surface of the upper electrode facing the sealing substrate. 2. The organic electroluminescence display element according to claim 1, wherein the two adjacent to each other are spaced apart by a predetermined distance in two orthogonal directions.
【請求項4】前記放熱部は、前記上部電極の表面に行列
状に設けられた複数の突起を備え、隣接する2つの行の
突起列が所定の距離ずつ位置ずれされていることを特徴
とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス
表示素子。
4. The heat dissipation part comprises a plurality of protrusions arranged in a matrix on the surface of the upper electrode, and the protrusion columns of two adjacent rows are displaced by a predetermined distance. The organic electroluminescence display element according to claim 1.
【請求項5】前記放熱部を構成する前記多数の突起は前
記封止基板の前記上部電極対向面にまで当接する高さに
形成されていることを特徴とする請求項3または4に記
載の有機エレクトロルミネッセンス表示素子。
5. The projection according to claim 3, wherein the plurality of protrusions forming the heat dissipation portion are formed at a height that abuts on a surface of the sealing substrate facing the upper electrode. Organic electroluminescence display device.
【請求項6】少なくともガラス,プラスチック,セラミ
ックのうちの1つより構成されると共に複数の電極が設
けられた基板と、この基板上に積層された有機エレクト
ロルミネッセンス層と、前記基板との間で前記有機エレ
クトロルミネッセンス層を挟んで対向して設けられた上
部電極と、前記上部電極との間で封止空間を介して封止
剤により前記基板に対して封止された封止基板と、を備
える有機エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法
において、 前記基板の一主面に透明電極を形成するステップと、 前記基板の前記一主面上に前記透明電極を囲むように有
機発光層を形成するステップと、 前記基板の前記一主面上に前記透明電極および前記有機
発光層を囲むように主として金属より成る上部電極を積
層形成するステップと、 前記上部電極の上面に所定の孔パターンを有するシャド
ウマスクを介してさらに金属を蒸着することにより前記
所定の孔パターンに対応する形状の突部を積層して形成
するステップと、 を備える有機エレクトロルミネッセンス表示素子の製造
方法。
6. A substrate formed of at least one of glass, plastic, and ceramic and provided with a plurality of electrodes, an organic electroluminescence layer laminated on the substrate, and the substrate. An upper electrode provided to face each other with the organic electroluminescent layer interposed therebetween, and a sealing substrate sealed with respect to the substrate by a sealing agent via a sealing space between the upper electrode, In the method for manufacturing an organic electroluminescence display device, comprising: forming a transparent electrode on one main surface of the substrate; and forming an organic light emitting layer on the one main surface of the substrate so as to surround the transparent electrode. Stacking an upper electrode mainly made of metal so as to surround the transparent electrode and the organic light emitting layer on the one main surface of the substrate, A step of stacking and forming a protrusion having a shape corresponding to the predetermined hole pattern by further vapor-depositing a metal on the upper surface of the upper electrode through a shadow mask having a predetermined hole pattern, and the organic electroluminescence display comprising: Device manufacturing method.
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005036664A3 (en) * 2003-10-06 2005-08-18 Du Pont Organic electronic devices with low thermal resistance and processes for forming and using the same
JP2006221875A (en) * 2005-02-08 2006-08-24 Seiko Epson Corp Electro-optical device and electronic apparatus
US7679089B2 (en) 2005-07-20 2010-03-16 Hitachi Displays, Ltd. Organic light emitting display
JP2010199079A (en) * 2010-04-19 2010-09-09 Canon Inc Organic el element and display device
WO2011093125A1 (en) * 2010-01-26 2011-08-04 住友化学株式会社 Light-emitting device and manufacturing method thereof
JP2011204645A (en) * 2010-03-26 2011-10-13 Panasonic Electric Works Co Ltd Light-emitting device
KR20120035329A (en) * 2010-10-05 2012-04-16 주성엔지니어링(주) The organic light emitting device and manufacturing method thereof
US20120170223A1 (en) * 2010-12-29 2012-07-05 Yoon Soo Yong Organic electroluminescence display module
US9660222B2 (en) 2012-12-12 2017-05-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device and method for manufacturing the same

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005036664A3 (en) * 2003-10-06 2005-08-18 Du Pont Organic electronic devices with low thermal resistance and processes for forming and using the same
US7358665B2 (en) * 2003-10-06 2008-04-15 E. I. Du Pont De Nemours And Company Organic electronic device provided with a metallic heat sink structure
JP2006221875A (en) * 2005-02-08 2006-08-24 Seiko Epson Corp Electro-optical device and electronic apparatus
US7679089B2 (en) 2005-07-20 2010-03-16 Hitachi Displays, Ltd. Organic light emitting display
JP2011154800A (en) * 2010-01-26 2011-08-11 Sumitomo Chemical Co Ltd Light-emitting device, and manufacturing method thereof
WO2011093125A1 (en) * 2010-01-26 2011-08-04 住友化学株式会社 Light-emitting device and manufacturing method thereof
US8890394B2 (en) 2010-01-26 2014-11-18 Sumitomo Chemical Company, Limited Light-emitting device and manufacturing method thereof
JP2011204645A (en) * 2010-03-26 2011-10-13 Panasonic Electric Works Co Ltd Light-emitting device
JP2010199079A (en) * 2010-04-19 2010-09-09 Canon Inc Organic el element and display device
KR20120035329A (en) * 2010-10-05 2012-04-16 주성엔지니어링(주) The organic light emitting device and manufacturing method thereof
KR101863066B1 (en) * 2010-10-05 2018-06-01 주성엔지니어링(주) The Organic Light Emitting Device and Manufacturing Method thereof
US20120170223A1 (en) * 2010-12-29 2012-07-05 Yoon Soo Yong Organic electroluminescence display module
US9095080B2 (en) * 2010-12-29 2015-07-28 Samsung Display Co., Ltd. Organic electroluminescence display module
US9660222B2 (en) 2012-12-12 2017-05-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device and method for manufacturing the same

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