JP2003019750A - 樹脂付き積層金属帯の製造方法および製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、加圧、熱硬化処理と樹脂付き積層
金属帯の巻送りを連続的に行う事が可能で、かつ接着界
面の接着信頼性を飛躍的に向上させた樹脂付き積層金属
帯の製造方法、及びそれに好適な製造装置を提供する。 【解決手段】 第一の金属層と熱硬化性の樹脂層との二
層を有する樹脂付き金属帯の樹脂層側表面に、第二の金
属帯を接合する樹脂付き積層金属帯の製造方法におい
て、前記樹脂付き金属帯と第二の金属帯とを重ね合わせ
て加熱曲面の外周面に沿わせ、該加熱曲面の外周面上で
前記樹脂付き金属帯と第二の金属帯とを連続的に加熱し
ながら圧接する樹脂付き積層金属帯の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体装置
の配線基板用材料として用いられる、樹脂付き積層金属
帯の製造方法及び樹脂付き積層金属帯の製造装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体パッケージの配線基板用材料に
は、回路を形成する導電層、絶縁層から構成される樹脂
付き金属が多く用いられる。樹脂付き金属において導電
層は一般に金属からなり、電解銅箔、圧延銅箔、銅めっ
き等により形成される。また、絶縁層は一般に樹脂から
なり、半導体パッケージ製造工程に含まれるワイヤーボ
ンディング、ダイボンディング、モールド等の加熱工程
に耐えるため、熱可塑性樹脂ではなく耐熱性を有する熱
硬化性樹脂が多く使用されている。具体的には、エポキ
シ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂等が用
いられる。これら樹脂付き金属は、溶剤に溶かした液状
樹脂を金属箔表面に塗布することにより製造することが
出来る。

【０００３】近年の半導体パッケージの薄型化に伴い樹
脂付き金属も薄型化が行われている。例えば導電層とな
る金属層の厚さは12〜35μｍ、絶縁層となる樹脂層の厚
さが30〜80μｍ程度にまで薄型化が行われており、その
結果、樹脂付き金属はそれ自体の剛性のみでは形状を保
持できなくなりつつある。そのためこれら板厚の薄い樹
脂付き金属においては、キャリア層となる20〜200μｍ
程度の厚さの金属を樹脂側に別途接合し、図３（ｂ）に
一例を示す導体層/樹脂層(絶縁層)/キャリア層の積層構
造の材料が用いられている(以下、キャリア層を具備し
た樹脂付き金属を、樹脂付き積層金属と表記する)。上
述の樹脂付き積層金属は、導電層となる第一の金属層
と、キャリア層となる板材の第二の金属層は、必ずしも
同じ材質ではなく、例えば、第一の金属としては銅また
は銅合金が主に使用され、第二の金属としては銅、銅合
金、ステンレス鋼、鉄−ニッケル合金等が使用される。

【０００４】この樹脂付き積層金属では、絶縁層である
樹脂層は、導体層とキャリア層を接合するための接合層
としての役割も有する。既述のように樹脂層には熱硬化
性樹脂が用いられるが、熱硬化性樹脂は熱硬化反応と共
に接着力が発現するため、十分な接着強度を得るには、
接合させる帯材を密着させた状態で加圧し、かつ加熱を
行いながら、30〜120s程度と熱可塑性樹脂と比較して長
時間保持（熱硬化処理）することが必要となる。そのた
め従来、例えば図５中に示した加熱プレス１６で加圧可
能なサイズの板材を供給し、加圧および熱硬化処理が行
われている。ここで熱硬化処理としては、図５に示す装
置で接着と同時に行う方法の他、同装置で短時間の加圧
および加熱（5s〜）により仮接着を行った後、別途加熱
炉などで再度加熱保持し、熱硬化反応を進めて接着を完
了させる方法も取られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】近年、半導体パッケー
ジの生産性向上のため、連続的な加工が可能な帯材の樹
脂付き積層金属、すなわち樹脂付き積層金属帯（図３に
例示する）が要求されている。ここで帯材とは、その幅
に対して長さが長く、コイル状に巻くことが可能な形態
を持つ板材を指す。図５に示す装置により樹脂付き積層
金属帯を製造する場合、加熱プレス１６で部分的に加
圧、熱硬化処理した（図５（ａ））後、積層金属帯を巻
送り（図５（ｂ））し、熱硬化処理済部の隣接部を順次
同様に加圧、熱硬化処理を繰り返すことにより行われ
る。この方法の場合、加熱プレス１６の端で熱硬化処理
は不連続となり、境界部１７が生じることは避けられな
い。その結果、境界部１７において接着強さの変動やプ
レス痕発生の問題が生じ、樹脂付き積層金属帯を用いて
の半導体パッケージ生産時における材料歩留まりの低下
が懸念される。加えて図５の装置では、加熱プレス１６
で熱硬化処理または仮接着中、材料の巻送りを一時停止
させる必要があり、生産性が低下することが問題とな
る。

【０００６】上記生産性の問題に対しては、ラミネータ
ー（ｌａｍｉｎａｔｏｒ）として一般に用いられる装
置、例えば図６に示す水平方向に上下の圧着ロール８を
具備しており、圧着ロールまたは圧着ロールとは別体の
加熱装置を用いて、樹脂付き金属帯と第二の金属帯の両
方あるいは一方の加熱を行い、前述の圧着ロールにより
樹脂層を介して両者を連続して接合させる装置を適用す
ることも考えられる。しかしながらこのような装置で
は、樹脂付き金属帯と第二の金属帯が樹脂を介して加圧
される時間が、上下圧着ロール間を通過する一瞬であ
り、熱硬化性樹脂の硬化に対して十分な熱硬化処理時間
を確保することが非常に困難である。その結果、熱硬化
性樹脂の接着力不足という致命的な問題を生じ、仮接着
を目的とする場合であっても、仮接着後再度加熱保持す
る迄のハンドリングが可能な程度の仮接着力を得ること
が難しく、巻取り、熱硬化処理等のハンドリング時に剥
離してしまうような重大な問題を生じる。

【０００７】本発明では、加圧、熱硬化処理と樹脂付き
積層金属帯の巻送りを連続的に行う事が可能で、かつ上
述した熱硬化性樹脂の仮接着力の確保も可能であり、接
着界面の接着信頼性を飛躍的に向上させた樹脂付き積層
金属帯の製造方法、及びそれに好適な製造装置を提供す
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、加熱曲面
の外周面に沿わせて樹脂付き積層金属帯を連続的に加熱
しながら圧接することで上記課題を解決できることを見
出し、本発明に想到した。

【０００９】すなわち本発明の樹脂付き積層金属帯の製
造方法は、第一の金属層と熱硬化性の樹脂層との二層を
有する樹脂付き金属帯の樹脂層側表面に、第二の金属帯
を接合する樹脂付き積層金属帯の製造方法において、前
記樹脂付き金属帯と第二の金属帯とを重ね合わせて加熱
曲面の外周面に沿わせ、該加熱曲面の外周面上で前記樹
脂付き金属帯と第二の金属帯とを連続的に加熱しながら
圧接する製造方法である。

【００１０】上記発明では、樹脂付き金属帯を加熱曲面
の外周面に沿わせる直前に、該樹脂付き金属帯を予熱す
ること、さらには樹脂付き金属帯を加熱曲面の外周面に
沿わせる直前に、加熱曲面と並列して設けられたガイド
ロールを通過させること、さらには樹脂付き金属帯を前
記ガイドロールにより予熱することを特徴とすることが
好ましい。

【００１１】また本発明の別の樹脂付き積層金属帯の製
造方法は、第一の金属帯と第二の金属帯とを熱硬化性の
樹脂帯を介して接合する樹脂付き積層金属帯の製造方法
において、第一の金属帯と樹脂帯と第二の金属帯とを重
ね合わせて加熱曲面の外周面に沿わせ、該加熱曲面の外
周面上で前記第一の金属帯と樹脂帯と第二の金属帯とを
連続的に加熱しながら圧接する製造方法である。

【００１２】以上の発明では、加えて前記の接合は真空
槽内で行うことが好ましい。

【００１３】次に本発明の樹脂付き積層金属帯の製造装
置は、第一の金属層と熱硬化性の樹脂層との二層からな
る樹脂付き金属帯を巻出す巻出し手段と、第二の金属帯
を巻出す巻出し手段と、外周面を加熱可能な加熱曲面と
を具備し、前記樹脂付き金属帯と第二の金属帯とが加熱
曲面の外周面上に沿って重なり合った状態で移動する装
置である。

【００１４】上記製造装置では、加熱曲面と並列してガ
イドロールを具備し、該ガイドロールは樹脂付き金属帯
を加熱曲面へ供給する前に予熱するための加熱装置を具
備することが好ましい。

【００１５】また本発明の別の樹脂付き積層金属帯の製
造装置は、第一の金属帯を巻出す巻出し手段と、熱硬化
性の樹脂帯を巻出す巻出し手段と、第二の金属帯を巻出
す巻出し手段と、外周面を加熱可能な加熱曲面とを具備
し、前記第一の金属帯と熱硬化性の樹脂帯と第二の金属
帯とが加熱曲面の外周面上に沿って重なり合った状態で
移動する製造装置である。

【００１６】以上の製造装置では、少なくとも前記加熱
曲面が真空槽内に配置されていることが好ましい。

【００１７】

【発明の実施の形態】上述したように、本発明の樹脂付
き積層金属帯の製造方法、及び製造装置の重要な特徴
は、樹脂付き金属帯と第二の金属帯を面状に接触させた
状態で加熱曲面の外周面上に巻き付けるように沿わせ
て、接着に必要な時間を確保したことにある。本発明で
加熱曲面とは、例えば円筒形の加熱ロールを用いること
ができる。また、面接触させた状態で接着に必要な時間
を確保できれば、加熱ロールに限定するものではなく、
加熱ベルトのようなものも採用できる。 具体的には、例えば本発明の一実施例である図１に記載
の装置により実施することが出来る。

【００１８】図１において、巻出し機１２ａから巻出さ
れた樹脂付き金属帯１と巻出し機１２ｂから巻出された
第二の金属帯３とは、回転する加熱ロール６の外周面上
の、圧接および加熱開始位置１４で樹脂層を介して積層
される。その後、加熱ロール６の外周面に沿った状態で
加圧され、加熱ロールの回転に従って移動しながら圧
接、加熱される。圧接および加熱終了位置１５まで達し
たところで、樹脂付き積層金属帯５は加熱ロールから離
れ、冷却ロールに沿って温度が低下した後、巻取り機１
３により巻き取られる。本発明の方法では、樹脂付き積
層金属帯を加熱ロールに沿わせるため、加熱ロールは圧
接および加熱開始位置１４から圧接および加熱終了位置
１５において加熱の機能を果たすのみならず、樹脂付き
金属帯１に付与される張力と協働して、樹脂付き金属帯
１を第二の金属帯３に押し付ける圧接力を付与する機能
も有する。

【００１９】図６に示す従来のラミネーターは、圧接お
よび加熱開始・終了位置がほぼ同じ位置であり、圧接・
加熱時間が極短時間であるのに対し、上述のように本発
明の方法によれば圧接および加熱開始位置１４から圧接
および加熱終了位置１５まで圧接・加熱の状態を維持す
ることができ、仮接着に十分な接着強度、さらには仮接
着後の再加熱を必要としない接着強度に達するまでの熱
硬化処理時間を確保することができる。その結果、本発
明の方法および装置では、樹脂層に用いる樹脂としてエ
ポキシ系、ポリイミド系、ポリアミド・イミド系、シリ
コーン系、アクリル系、ポリエステル系、ポリウレタン
系などの熱硬化性樹脂を必要に応じて選択できる。

【００２０】本発明の方法および装置において加熱する
時間は、加熱ロール上で樹脂付き金属帯と第二の金属帯
が接触している時間に依存するが、加熱ロールの回転速
度を調整することにより、加熱時間を調整可能である。
よって、仮接着を目的とした短時間の加熱から、熱硬化
処理を完了させる長時間の加熱まで、連続して加熱時間
を調節可能である。

【００２１】ここで、熱硬化性樹脂の接着力を発現させ
るためには、少なくとも1s以上の加熱時間が必要であ
る。また、10minより長く加熱した場合、熱硬化性樹脂
の架橋により加熱ロールに沿った状態で硬化してしま
い、接着後に長さ方向の反り形状が生じる場合がある。
よって、本発明の方法および装置を用いて樹脂付き積層
金属帯を製造する場合は、加熱時間を1s以上10min以下
として仮接着を行った後、別途加熱装置を用いて熱硬化
処理を行い、接着を完了させることが好ましい。別途行
う加熱装置としては、帯材を搬送可能な連続加熱炉が挙
げられる。また、仮接着後の樹脂付き積層金属帯を、直
径300mm以上の巻芯に巻き取ったコイルの状態で加熱
し、熱硬化処理を行った後、必要に応じてレベラー等を
用いた形状矯正を行うことにより、樹脂付き積層金属帯
の製造が可能である。

【００２２】上述のように両者を密着させる圧力は、樹
脂付き金属帯の巻出しおよび樹脂付き積層金属帯の巻取
りによって、樹脂付き金属帯に掛かる張力により発生す
る。さらに密着させる圧力を確保するために、図１に示
すように圧接および加熱開始位置１４以降に、圧着ロー
ル８を設置し、圧着ロール８と加熱ロール６で両者を加
圧することも有効である。圧着ロールは、樹脂付き金属
帯の金属表面を傷付けずに、均一に加圧するため、耐熱
ゴム等の軟らかい材質の使用が好ましい。

【００２３】本発明に用いる加熱ロールのロール材質
は、熱伝導性を考慮すると、銅製の加熱ロールを用いる
ことが出来る。ただし、銅製ロールは軟らかく、傷が付
き易く、また例えば大気中でロール温度を200℃以上昇
温する必要がある場合、表面の酸化に伴いロール表面が
粗くなり、供給した帯材を傷付ける恐れがある。よって
加熱ロールには、硬さがあり傷付きにくく、耐酸化性も
有するステンレス鋼の使用がより好ましい。ここでステ
ンレス鋼とは、クロムを質量パーセントで10%以上含む
鉄基の合金である。

【００２４】既述のように樹脂付き金属帯には、非常に
薄い銅箔および樹脂等が用いられており、また樹脂付き
金属帯を構成する第一の金属帯層と樹脂層とでは熱膨張
係数が異なる。これらの理由から樹脂付き金属帯は、第
一の金属層および樹脂層の厚さや加熱ロールでの加熱温
度によっては、加熱時の熱膨張によりしわが生じる場合
がある。しわを発生させた状態で、圧着ロールを用いた
仮接着を行うと、しわを生じた部分は未接合部となり気
泡が残存する。気泡は、仮接着後の熱硬化処理または半
導体パッケージ工程での加熱において膨れを生じる、第
一の金属層とキャリア層の剥離が生じる等の要因とな
り、これらは重大な製品欠陥となる。このようなしわの
発生は、樹脂付き金属帯を加熱ロールの外周面に巻付け
る直前に予熱することにより低減することができる。

【００２５】予熱を行うことにより、加熱ロールの外周
面に巻付く前に第一の金属層と樹脂層を熱膨張させる。
予熱されて熱膨張した樹脂付き金属帯はしわを生じる
が、加熱ロール外周面上の圧接および加熱開始位置に達
する前に、樹脂付き金属帯に掛かる張力によりしわが伸
ばされた状態となる。この状態で加熱ロールに供給する
ことにより、加熱ロールで第二の金属帯と接着される
際、しわが無く両者を積層して接触させることができ、
その結果接着界面に欠陥を残す要因を低減できる。

【００２６】上記において、予熱した樹脂付き金属帯の
しわをさらに効果的に伸ばすためには、加熱ロールと並
列してガイドロールを設置し、ガイドロールを通過させ
た後に加熱ロールへ供給することが好ましい。樹脂付き
金属帯に掛かる張力との作用により、熱膨張に起因する
しわの大部分をガイドロールとの接触時に除去すること
ができ、接着界面に欠陥を残す要因を一層低減できる。

【００２７】ガイドロールを用いて効果的に欠陥を低減
する為には、加熱ロールとガイドロールとの間隔が重要
である。ガイドロール通過後の樹脂付き金属帯は、ある
程度の長さでしわが伸ばされた形状を保つが、離れるに
従いしわが発生し易くなる。そこで、樹脂付き金属帯が
ガイドロールを離れ、加熱ロール上の第二の金属帯と接
触するまでの距離は、極力短い方が好ましい。具体的に
は、ガイドロールと加熱ロールの共通接線上において、
前記共通接線と前記ガイドロールおよび加熱ロールの接
点間の距離が0mmより大きく30mm未満とすることが好ま
しい。0mmではガイドロールと加熱ロールが接触し、樹
脂付き金属帯の第一の金属表面を傷付ける恐れがある。
また、ロールの熱膨張によりロール同士が接触し、素材
を圧下してしまう恐れがある。30mm以上離れると、伸ば
された形状を維持できず、しわが断続して発生する場合
があるのみならず、予熱した温度の低下も懸念される。
より好ましくは5mm以上25mm以下である。

【００２８】本発明で樹脂付き金属帯の予熱は、樹脂付
き金属帯に直接温風加熱を行う、または赤外線ランプヒ
ーター等の輻射熱により直接加熱を行う等の他、ガイド
ロール自体を加熱することにより行うことが出来る。こ
のうち前者の二つのような加熱方法では、樹脂付き金属
帯は薄く熱容量が小さく外気の影響を受け易いため、温
度管理が困難な場合がある。そこで好ましくは、ガイド
ロールにより予熱を行う。

【００２９】ガイドロールにより樹脂付き金属帯を予熱
し、かつしわを伸ばした状態で加熱ロールに供給するこ
とにより、最も効果的に欠陥を抑制した接着が可能とな
る。ガイドロールと加熱ロールとは、上述した様に近接
して配置するため、移動中の温度低下も最小に抑えられ
る。ガイドロールの加熱方法としては、ガイドロール外
部からの加熱も行えるが、ガイドロールに加熱源を内蔵
させることが好ましい。この加熱源としては、熱線、誘
導加熱コイル、ガイドロール内部の伝熱媒体の移動等が
挙げられる。

【００３０】予熱温度は、加熱ロールの温度を基準とし
て、プラスマイナス50℃以内に管理することが好まし
い。50℃より低い場合、加熱ロールに接触した際、さら
に熱膨張が生じ、しわが発生する。50℃より高い場合、
逆に収縮が生じ、しわが発生する恐れがある。より好ま
しくは、加熱ロール接触時に、樹脂付き金属帯の温度が
加熱ロールとほぼ同一になるよう調節する。

【００３１】上記の他、効果的にしわの発生を抑制し欠
陥を低減する為には、圧接および加熱終了位置から離れ
た樹脂付き積層金属帯を冷却することが好ましい。樹脂
付き積層金属帯を、樹脂層のガラス転移温度（Ｔｇ）以
下に冷却することにより、樹脂層の流動性を著しく低下
することができ、圧接および加熱終了位置から離れた以
降のしわの発生を抑制することができる。 上記樹脂付き積層金属帯の冷却は、冷却ロールを用いる
ほか、ロール以外の冷却手段、例えば冷却空気の吹き付
けによる行うことができる。

【００３２】具体的には、本発明の装置の一実施例であ
る図１に記載の装置により実施することが出来る。本発
明に係る製造装置は、加熱ロール６に並列してガイドロ
ール７aを備える。樹脂付き金属帯１は、巻出し機１２
ａより巻出され、ガイドロール７ａを通過後、加熱ロー
ル６に供給される。このとき樹脂付き金属帯１は、加熱
ロール５に供給される前に、ガイドロール７ａにより予
熱される。樹脂付き積層金属帯１は加熱ロール外周上で
圧接および加熱され、圧接および加熱終了位置から離れ
た後、冷却ロール９により樹脂層のガラス転移温度（Ｔ
ｇ）以下に冷却される。

【００３３】なお、図１に破線で示した別のガイドロー
ル７ａを追加して加熱ロール上での加熱を調整すること
もでき、かつ、圧着ロールとして機能させても良い。ま
た第二の金属帯３は、巻出し機１２ｂより巻出され、加
熱ロール６に供給されるが、ガイドロール７ｂを必要に
応じて配設しても良い。

【００３４】前述の製造方法に加え、接合を真空槽内で
行うことが欠陥の低減に非常に有効である。偶発的な大
気の巻き込みによる欠陥を防止でき、加えて圧着ロール
８で気泡を押し潰すことも可能となる。真空槽の適用
は、加熱による樹脂付き金属帯および第二の金属帯の大
気酸化を低減させる効果もある。また、密閉した空間で
接着することにより、ちり、ほこり等の異物を巻き込む
危険性も大幅に低減する。圧接、加熱を行う真空層内の
真空度としては、10²Pa以上10⁵Pa以下が好ましい。10²P
a以上としたのは、それ未満に減圧すると、加熱により
樹脂中の残存揮発成分の発泡、加熱分解の進行が懸念さ
れるからである。より好ましくは、10³Pa以上10⁴Pa以下
である。

【００３５】上記本発明は具体的には、例えば本発明の
装置の一実施例である図２に記載の装置により実施する
ことが出来る。前述の加熱ロール６とガイドロール７
ａ，７ｂおよび圧着ロール８は、真空槽１０内に配置さ
れる。巻出し機１２ａ，１２ｂおよび巻取り機１３は真
空槽１０の内部、外部のどちらに配しても良いが、内部
に配設した場合には材料のセット、取り出し時に真空槽
１０を開放する必要が生じ、作業性が劣るため、巻出し
機および巻取り機は真空槽外へ設置することが好まし
い。この場合、常時排気が行われるサブチャンバ１１
ａ，１１ｂを設け、サブチャンバを介して帯材の搬送を
行うことにより、常時真空槽１０の減圧雰囲気を保つこ
とができる。

【００３６】以上に述べた製造方法、及び製造装置では
予め接合された樹脂付き金属帯１を用いたが、樹脂層を
樹脂帯として別途製造し、第一の金属帯２、樹脂層（樹
脂帯）４をそれぞれ別々の巻出し機から供給して、更に
別のリールから供給される第二の金属帯３とを合体し
て、一貫連続ラインで樹脂付き積層金属帯５を製造する
こともできる。

【００３７】上記方法は、例えば図４に示す装置により
実施することが出来る。図４において、巻出し機１２ａ
から巻出された第一の金属帯２と巻出し機１２ｂから巻
出された第二の金属帯３と巻出し機１２ｃから巻出され
た樹脂帯４は、回転する加熱ロール６の外周面上の圧接
および加熱開始位置１４で樹脂層を介して積層される。
その後は既述の本発明の方法、及び装置と同様であり、
好ましい形態も同様である。

【００３８】本発明の実施形態の例を示す図１、図２、
図４では金属帯及び樹脂付き金属帯等を加熱曲面（加熱
ロール）外周面上で重ね合わせているが、何れの製造方
法、製造装置においても、必ずしも加熱曲面の外周面上
で重ね合せる必要は無く、金属帯、樹脂付き金属帯等を
加熱曲面に達する前に重ね合わせた後、加熱曲面上で加
熱、圧接しても良い。

【００３９】

【実施例】表１に示す樹脂付き金属帯、および第二の金
属帯を図１に示す本発明の装置（加熱ロールφ250ｍ
ｍ）を用いて表２に示す条件で接合し、長さ5m、幅60mm
の樹脂付き積層金属帯を製造した。接合後の樹脂付き積
層金属帯から、長さ方向に1mの間隔で10×100mmの試料
を合計５ピース切りだし、JISC5016に定める180度方向
引き剥がしの方法により接着強度の測定を行った。比較
として図５、図６の装置を用いて表２に示す条件により
樹脂付き積層金属帯を製造し、同様に接着強度の測定、
外観観察を行った。接着強度の平均値と外観観察の結果
を表２に併せて示す。

【００４０】本発明例１、２及び比較例１では仮接着に
充分な接着強度が得られたが、図６の装置を用いた比較
例２では0.1kN/m以下となった。比較例２では他と比べ1
/5以下の強度となり、仮接着に必要な接着強度が得られ
なかった。接着後の外観は、予熱を行わない本発明例１
では、部分的に僅かにすじ状の模様の発生が観察された
ものの、接合面での気泡は観察されなかった。ガイドロ
ールによる予熱を適用した本発明例２では、すじ状の模
様の発生などは観察されず、全面において接合面が密着
し、表面の平滑な樹脂付き積層金属帯を形成していた。
これに対し比較例１、２ではそれぞれプレス痕、気泡を
含むしわ状のふくれの発生が観察された。

【００４１】

【表１】

【００４２】

【表２】

【００４３】

【発明の効果】本発明によれば、熱硬化性樹脂の接着強
度を確保し、接着信頼性を向上させた樹脂付き積層金属
帯を効率的に製造可能となりその工業的価値は大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一例を示す構成図である。

【図２】本発明の一例を示す構成図である。

【図３】本発明に係る樹脂付き積層金属帯の断面図であ
る。

【図４】本発明の一例を示す構成図である。

【図５】従来の装置の一例を示す構成図である。

【図６】従来の装置の一例を示す構成図である。

【符号の説明】

１ 樹脂付き金属帯、２ 第一の金属帯（第一の金属
層）、３ 第二の金属帯、４ 樹脂層（樹脂帯）、５
樹脂付き積層金属帯、６ 加熱ロール、７ａ，７ｂ ガ
イドロール、８ 圧着ロール、９ 冷却ロール、１０
真空槽、１１ａ,１１ｂ サブチャンバ、１２ａ，１２
ｂ，１２ｃ 巻出し機、１３ 巻取り機、１４ 圧接お
よび加熱開始位置、１５ 圧接および加熱終了位置、１
６ 加熱プレス、１７ 境界部

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第一の金属層と熱硬化性の樹脂層との二
   層を有する樹脂付き金属帯の樹脂層側表面に、第二の金
   属帯を接合する樹脂付き積層金属帯の製造方法におい
   て、前記樹脂付き金属帯と第二の金属帯とを重ね合わせ
   て加熱曲面の外周面に沿わせ、該加熱曲面の外周面上で
   前記樹脂付き金属帯と第二の金属帯とを連続的に加熱し
   ながら圧接することを特徴とする樹脂付き積層金属帯の
   製造方法。
2. 【請求項２】 樹脂付き金属帯を加熱曲面の外周面に沿
   わせる直前に、該樹脂付き金属帯を予熱することを特徴
   とする請求項１に記載の樹脂付き積層金属帯の製造方
   法。
3. 【請求項３】 樹脂付き金属帯を加熱曲面の外周面に沿
   わせる直前に、加熱曲面と並列して設けられたガイドロ
   ールを通過させることを特徴とする請求項２に記載の樹
   脂付き積層金属帯の製造方法。
4. 【請求項４】 樹脂付き金属帯を前記ガイドロールによ
   り予熱することを特徴とする請求項３に記載の樹脂付き
   積層金属帯の製造方法。
5. 【請求項５】 第一の金属帯と第二の金属帯とを熱硬化
   性の樹脂帯を介して接合する樹脂付き積層金属帯の製造
   方法において、第一の金属帯と樹脂帯と第二の金属帯と
   を重ね合わせて加熱曲面の外周面に沿わせ、該加熱曲面
   の外周面上で前記第一の金属帯と樹脂帯と第二の金属帯
   とを連続的に加熱しながら圧接することを特徴とする樹
   脂付き積層金属帯の製造方法。
6. 【請求項６】 前記接合を真空槽内で行うことを特徴と
   する請求項１乃至５の何れかに記載の樹脂付き積層金属
   帯の製造方法。
7. 【請求項７】 第一の金属層と熱硬化性の樹脂層との二
   層からなる樹脂付き金属帯を巻出す巻出し手段と、第二
   の金属帯を巻出す巻出し手段と、外周面を加熱可能な加
   熱曲面とを具備し、前記樹脂付き金属帯と第二の金属帯
   とが加熱曲面の外周面上に沿って重なり合った状態で移
   動することを特徴とする樹脂付き積層金属帯の製造装
   置。
8. 【請求項８】 加熱曲面と並列してガイドロールを具備
   し、該ガイドロールは樹脂付き金属帯を加熱曲面へ供給
   する前に予熱するための加熱装置を具備することを特徴
   とする請求項７に記載の樹脂付き積層金属帯の製造装
   置。
9. 【請求項９】 第一の金属帯を巻出す巻出し手段と、熱
   硬化性の樹脂帯を巻出す巻出し手段と、第二の金属帯を
   巻出す巻出し手段と、外周面を加熱可能な加熱曲面とを
   具備し、前記第一の金属帯と熱硬化性の樹脂帯と第二の
   金属帯とが加熱曲面の外周面上に沿って重なり合った状
   態で移動することを特徴とする樹脂付き積層金属帯の製
   造装置。
10. 【請求項１０】 少なくとも前記加熱曲面が真空槽内に
    配置されていることを特徴とする請求項７ないし請求項
    ９の何れかに記載の樹脂付き積層金属帯の製造装置。