JP2003017971A - 弾性表面波装置、通信装置 - Google Patents
弾性表面波装置、通信装置Info
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- JP2003017971A JP2003017971A JP2001199674A JP2001199674A JP2003017971A JP 2003017971 A JP2003017971 A JP 2003017971A JP 2001199674 A JP2001199674 A JP 2001199674A JP 2001199674 A JP2001199674 A JP 2001199674A JP 2003017971 A JP2003017971 A JP 2003017971A
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- acoustic wave
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 伝送特性を改善できる、弾性表面波装置、通
信装置を提供する。 【解決手段】 圧電基板11上に、弾性表面波を発生
し、検出するインターデジタルトランスデューサ(以
下、IDTと記す)16、17、18を、通過帯域を備
えたフィルタ機能を有するように設ける。IDT16、
17、18における弾性表面波の伝搬方向の両端側に、
上記弾性表面波を反射する第一および第二のリフレクタ
14、15をそれぞれ設ける。第一および第二のリフレ
クタ14、15の各電極指14b、15bのメタライゼ
ーションレシオを互いに異なるように形成する。
信装置を提供する。 【解決手段】 圧電基板11上に、弾性表面波を発生
し、検出するインターデジタルトランスデューサ(以
下、IDTと記す)16、17、18を、通過帯域を備
えたフィルタ機能を有するように設ける。IDT16、
17、18における弾性表面波の伝搬方向の両端側に、
上記弾性表面波を反射する第一および第二のリフレクタ
14、15をそれぞれ設ける。第一および第二のリフレ
クタ14、15の各電極指14b、15bのメタライゼ
ーションレシオを互いに異なるように形成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話等の小型
通信装置に好適に用いられる弾性表面波装置であり、フ
ィルタ機能における良好な伝送特性を有し、かつ量産性
に優れてコストも軽減できる弾性表面波装置およびそれ
を用いた通信装置に関するものである。
通信装置に好適に用いられる弾性表面波装置であり、フ
ィルタ機能における良好な伝送特性を有し、かつ量産性
に優れてコストも軽減できる弾性表面波装置およびそれ
を用いた通信装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、弾性表面波装置(以下、SAWフ
ィルタという)は、小型化、高周波化、量産性に優れて
いることから、携帯電話をはじめとする、無線の通信装
置に多く使用されるようになってきた。特に、TDM
A、CDMA等のデジタル通信方式における通信装置の
フィルタにおいては、小型化に加え広帯域、かつ高減衰
量のものが要求されている。
ィルタという)は、小型化、高周波化、量産性に優れて
いることから、携帯電話をはじめとする、無線の通信装
置に多く使用されるようになってきた。特に、TDM
A、CDMA等のデジタル通信方式における通信装置の
フィルタにおいては、小型化に加え広帯域、かつ高減衰
量のものが要求されている。
【0003】このようなSAWフィルタとしては、共振
子型のSAWフィルタが知られている。共振子型のSA
Wフィルタは、圧電基板上に弾性表面波を送受信するた
めのインターデジタルトランスデューサ(以下、IDT
と略す)と、IDTの両側に設けられたリフレクタとを
有している。
子型のSAWフィルタが知られている。共振子型のSA
Wフィルタは、圧電基板上に弾性表面波を送受信するた
めのインターデジタルトランスデューサ(以下、IDT
と略す)と、IDTの両側に設けられたリフレクタとを
有している。
【0004】リフレクタは、弾性表面波の伝搬方向と直
交する方向に配置された複数本の電極指を有し、IDT
から伝搬してきた弾性表面波を反射し、IDTの両側の
リフレクタにより弾性表面波を閉じ込めるように作用す
るものである。
交する方向に配置された複数本の電極指を有し、IDT
から伝搬してきた弾性表面波を反射し、IDTの両側の
リフレクタにより弾性表面波を閉じ込めるように作用す
るものである。
【0005】理想的なリフレクタは、ある幅の周波数帯
域で100%の反射係数を得ることができ、該周波数帯
域以外では弾性表面波を反射しないように構成されてい
るものである。このような理想的なリフレクタは、リフ
レクタの電極指の本数を無限大とすることにより構成さ
れ得る。
域で100%の反射係数を得ることができ、該周波数帯
域以外では弾性表面波を反射しないように構成されてい
るものである。このような理想的なリフレクタは、リフ
レクタの電極指の本数を無限大とすることにより構成さ
れ得る。
【0006】ところが、現実には、リフレクタにおける
電極指の本数は有限であり、従って、ストップバンド内
における反射係数は100%未満であり、かつストップ
バンド以外の周波数でも弾性表面波が反射せざるを得な
かった。特に、ストップバンド以外の周波数における反
射特性では、中心周波数から周波数が離れるに連れて、
反射係数が周期的に変化していた。すなわち、反射係数
−周波数特性において、上記のような反射係数が周波数
的に変化するサイドローブが見られた。
電極指の本数は有限であり、従って、ストップバンド内
における反射係数は100%未満であり、かつストップ
バンド以外の周波数でも弾性表面波が反射せざるを得な
かった。特に、ストップバンド以外の周波数における反
射特性では、中心周波数から周波数が離れるに連れて、
反射係数が周期的に変化していた。すなわち、反射係数
−周波数特性において、上記のような反射係数が周波数
的に変化するサイドローブが見られた。
【0007】従って、上記の共振子型のSAWフィルタ
では、リフレクタの反射特性が上記のようなサイドロー
ブを有するため、フィルタ特性において通過帯域外にス
パイク、すなわち凹凸が生じていた。つまり、上記サイ
ドローブの形が反映されたフィルタ特性上の凹凸によ
り、フィルタ特性が劣化するという問題があった。
では、リフレクタの反射特性が上記のようなサイドロー
ブを有するため、フィルタ特性において通過帯域外にス
パイク、すなわち凹凸が生じていた。つまり、上記サイ
ドローブの形が反映されたフィルタ特性上の凹凸によ
り、フィルタ特性が劣化するという問題があった。
【0008】そこで、上記問題を回避するために、特開
平7−131291号公報においては、複数のSAW共
振子を多段縦続してなる2重モードSAWフィルタにお
いて、初段と次段のリフレクタの電極指の本数及び/ま
たはピッチを異ならせることにより、通過帯域を同一と
したまま、通過帯域外の特性を異ならせた構成が開示さ
れている。
平7−131291号公報においては、複数のSAW共
振子を多段縦続してなる2重モードSAWフィルタにお
いて、初段と次段のリフレクタの電極指の本数及び/ま
たはピッチを異ならせることにより、通過帯域を同一と
したまま、通過帯域外の特性を異ならせた構成が開示さ
れている。
【0009】しかしながら、特開平7−131291号
公報に開示されているSAWフィルタは、初段のSAW
共振子と次段のSAW共振子の通過帯域外の特性を異な
らせることによりフィルタ特性の改善を図っているもの
に過ぎず、従って、複数のSAW共振子を縦続接続した
形式のフィルタにしか適用することができなかった。
公報に開示されているSAWフィルタは、初段のSAW
共振子と次段のSAW共振子の通過帯域外の特性を異な
らせることによりフィルタ特性の改善を図っているもの
に過ぎず、従って、複数のSAW共振子を縦続接続した
形式のフィルタにしか適用することができなかった。
【0010】すなわち、1段構成のフィルタやトラップ
フィルタとして用いられているSAW共振子、並びにS
AW共振子を梯子型に接続してなるラダー型フィルタな
どには適用できなかったという問題点を生じている。
フィルタとして用いられているSAW共振子、並びにS
AW共振子を梯子型に接続してなるラダー型フィルタな
どには適用できなかったという問題点を生じている。
【0011】また、初段のSAW共振子と次段のSAW
共振子の構造を異ならせるものであるため、SAW共振
子の反射特性が入力側と出力側とで異なることとなって
いた。そのため、SAWフィルタを組み立てるに際し、
各SAW共振子が方向性を有するため、SAW共振子の
向きに注意を払って整列させねばならなかった。従っ
て、SAWフィルタの製造に際し、工程数が増加してコ
ストアップを招来するという問題点も生じている。
共振子の構造を異ならせるものであるため、SAW共振
子の反射特性が入力側と出力側とで異なることとなって
いた。そのため、SAWフィルタを組み立てるに際し、
各SAW共振子が方向性を有するため、SAW共振子の
向きに注意を払って整列させねばならなかった。従っ
て、SAWフィルタの製造に際し、工程数が増加してコ
ストアップを招来するという問題点も生じている。
【0012】そこで、上記の各問題点を回避するため
に、特開平10−261935号公報では、少なくとも
1つのIDTが設けられている領域の両側に第1、第2
のリフレクタが配置されており、第1、第2のリフレク
タの本数または規格化膜厚を異ならせた弾性表面波素子
(SAWフィルタ)が開示されている。
に、特開平10−261935号公報では、少なくとも
1つのIDTが設けられている領域の両側に第1、第2
のリフレクタが配置されており、第1、第2のリフレク
タの本数または規格化膜厚を異ならせた弾性表面波素子
(SAWフィルタ)が開示されている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の特開平10−261935号公報に記載のSAWフ
ィルタでは、第1、第2のリフレクタの本数を異ならせ
た場合、第1、第2のリフレクタの大きさが圧電基板上
にて相違するので、大型化になり易いという課題を生じ
ている。また、第1、第2のリフレクタの規格化膜厚を
異ならせた場合、規格化膜厚を異ならせることに精度を
上げ難く、その上、規格化膜厚を異ならせるためのマス
クパターンごと変えて膜厚を変える必要があり量産性に
劣るとという課題も生じている。
来の特開平10−261935号公報に記載のSAWフ
ィルタでは、第1、第2のリフレクタの本数を異ならせ
た場合、第1、第2のリフレクタの大きさが圧電基板上
にて相違するので、大型化になり易いという課題を生じ
ている。また、第1、第2のリフレクタの規格化膜厚を
異ならせた場合、規格化膜厚を異ならせることに精度を
上げ難く、その上、規格化膜厚を異ならせるためのマス
クパターンごと変えて膜厚を変える必要があり量産性に
劣るとという課題も生じている。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波装置
(SAWフィルタ)は、上記課題を解決するために、圧
電基板上に、弾性表面波を発生し、検出するIDTが、
通過帯域を備えたフィルタ機能を有するように設けら
れ、IDTにおける弾性表面波の伝搬方向の両端側に、
上記弾性表面波を反射する第一および第二のリフレクタ
がそれぞれ設けられ、第一および第二のリフレクタの各
電極指のメタライゼーションレシオが互いに異なるよう
に形成されていることを特徴としている。
(SAWフィルタ)は、上記課題を解決するために、圧
電基板上に、弾性表面波を発生し、検出するIDTが、
通過帯域を備えたフィルタ機能を有するように設けら
れ、IDTにおける弾性表面波の伝搬方向の両端側に、
上記弾性表面波を反射する第一および第二のリフレクタ
がそれぞれ設けられ、第一および第二のリフレクタの各
電極指のメタライゼーションレシオが互いに異なるよう
に形成されていることを特徴としている。
【0015】上記SAWフィルタでは、第一および第二
のリフレクタは、IDTによる通過帯域外における反射
特性の極大値を示す周波数が互いに相違するように設定
されていてもよい。
のリフレクタは、IDTによる通過帯域外における反射
特性の極大値を示す周波数が互いに相違するように設定
されていてもよい。
【0016】上記SAWフィルタにおいては、第一のリ
フレクタの通過帯域外における反射特性の極小値を示す
周波数と、第二のリフレクタの通過帯域外における反射
特性の極大値を示す周波数とが、互いに重なり合うよう
に設定されていてもよい。
フレクタの通過帯域外における反射特性の極小値を示す
周波数と、第二のリフレクタの通過帯域外における反射
特性の極大値を示す周波数とが、互いに重なり合うよう
に設定されていてもよい。
【0017】上記SAWフィルタでは、第一のリフレク
タの通過帯域外における反射特性の極大値を示す周波数
と、第二のリフレクタの通過帯域外における反射特性の
極小値を示す周波数とが、互いに重なり合うように設定
されていてもよい。
タの通過帯域外における反射特性の極大値を示す周波数
と、第二のリフレクタの通過帯域外における反射特性の
極小値を示す周波数とが、互いに重なり合うように設定
されていてもよい。
【0018】上記構成よれば、第一および第二のリフレ
クタの各電極指のメタライゼーションレシオが互いに異
なっているので、通過帯域外や通過帯域内における、第
一および第二のリフレクタの各反射特性を互いに変える
ことができる。
クタの各電極指のメタライゼーションレシオが互いに異
なっているので、通過帯域外や通過帯域内における、第
一および第二のリフレクタの各反射特性を互いに変える
ことができる。
【0019】これにより、上記構成では、互いに異なる
第一および第二のリフレクタの各反射特性、例えば、第
一および第二のリフレクタの各反射特性の各極小値が互
いに相違する、あるいは第一のリフレクタの反射特性の
極小値と、第二のリフレクタの反射特性の極大値とを略
合わせることで、通過帯域外での不要スプリアスを相殺
して抑制できる。
第一および第二のリフレクタの各反射特性、例えば、第
一および第二のリフレクタの各反射特性の各極小値が互
いに相違する、あるいは第一のリフレクタの反射特性の
極小値と、第二のリフレクタの反射特性の極大値とを略
合わせることで、通過帯域外での不要スプリアスを相殺
して抑制できる。
【0020】また、上記構成においては、上記不要スプ
リアスが通過帯域の弾性表面波への影響も低減できて、
通過帯域内での微小リップル(スパイク)の発生も軽減
できる。これらのことから、上記構成では、通過帯域外
での不要スプリアスを抑制できると共に、通過帯域内で
の微小リップル(スパイク)の発生も軽減できるので、
伝送特性を改善できる。
リアスが通過帯域の弾性表面波への影響も低減できて、
通過帯域内での微小リップル(スパイク)の発生も軽減
できる。これらのことから、上記構成では、通過帯域外
での不要スプリアスを抑制できると共に、通過帯域内で
の微小リップル(スパイク)の発生も軽減できるので、
伝送特性を改善できる。
【0021】その上、上記構成では、各反射特性を互い
に変えることが、各電極指のメタライゼーションレシオ
を変えることにより実施されているので、従来の電極指
の本数を変える場合と比べて、大型化を回避でき、また
従来の電極指の膜厚を変える場合と比べて、工程数の増
加を防止して製造コストのアップも抑制できる。
に変えることが、各電極指のメタライゼーションレシオ
を変えることにより実施されているので、従来の電極指
の本数を変える場合と比べて、大型化を回避でき、また
従来の電極指の膜厚を変える場合と比べて、工程数の増
加を防止して製造コストのアップも抑制できる。
【0022】上記SAWフィルタにおいては、第一およ
び第二のリフレクタの各電極指上にそれぞれ絶縁膜が設
けられ、第一および第二のリフレクタの各電極指上の絶
縁膜の膜厚が互いに相違するように設定されていてもよ
い。
び第二のリフレクタの各電極指上にそれぞれ絶縁膜が設
けられ、第一および第二のリフレクタの各電極指上の絶
縁膜の膜厚が互いに相違するように設定されていてもよ
い。
【0023】上記構成によれば、第一および第二のリフ
レクタの各電極指上にそれぞれ形成された絶縁膜の膜厚
を相違させることでも、第一および第二のリフレクタの
各反射特性を互いに変化させることができて、通過帯域
外での不要スプリアスの抑制や、通過帯域内での微小リ
ップル(スパイク)の軽減に対する自由度を大きくでき
るから、伝送特性の改善をより確実化できる。
レクタの各電極指上にそれぞれ形成された絶縁膜の膜厚
を相違させることでも、第一および第二のリフレクタの
各反射特性を互いに変化させることができて、通過帯域
外での不要スプリアスの抑制や、通過帯域内での微小リ
ップル(スパイク)の軽減に対する自由度を大きくでき
るから、伝送特性の改善をより確実化できる。
【0024】上記SAWフィルタでは、第一および第二
のリフレクタの各電極指が、多層膜にて形成され、各電
極指の多層膜の膜厚が互いに相違するように設けられて
いてもよい。
のリフレクタの各電極指が、多層膜にて形成され、各電
極指の多層膜の膜厚が互いに相違するように設けられて
いてもよい。
【0025】上記構成によれば、第一および第二のリフ
レクタの各電極指の多層膜の膜厚を相違させることで
も、第一および第二のリフレクタの各反射特性を互いに
変化させることができて、通過帯域外での不要スプリア
スを抑制や、通過帯域内での微小リップル(スパイク)
の軽減に対する自由度を大きくできるから、伝送特性の
改善をより確実化できる。
レクタの各電極指の多層膜の膜厚を相違させることで
も、第一および第二のリフレクタの各反射特性を互いに
変化させることができて、通過帯域外での不要スプリア
スを抑制や、通過帯域内での微小リップル(スパイク)
の軽減に対する自由度を大きくできるから、伝送特性の
改善をより確実化できる。
【0026】上記SAWフィルタにおいては、第一およ
び第二のリフレクタを形成するときの、圧電基板に対す
るオーバーエッチング量が、第一および第二のリフレク
タに関して相違するように設けられていてもよい。
び第二のリフレクタを形成するときの、圧電基板に対す
るオーバーエッチング量が、第一および第二のリフレク
タに関して相違するように設けられていてもよい。
【0027】上記構成によれば、第一および第二のリフ
レクタを形成するときの、圧電基板に対するオーバーエ
ッチング量を相違させることでも、第一および第二のリ
フレクタの各反射特性を互いに変化させることができ
て、通過帯域外での不要スプリアスの抑制や、通過帯域
内での微小リップル(スパイク)の軽減に対する自由度
を大きくできるから、伝送特性の改善をより確実化でき
る。
レクタを形成するときの、圧電基板に対するオーバーエ
ッチング量を相違させることでも、第一および第二のリ
フレクタの各反射特性を互いに変化させることができ
て、通過帯域外での不要スプリアスの抑制や、通過帯域
内での微小リップル(スパイク)の軽減に対する自由度
を大きくできるから、伝送特性の改善をより確実化でき
る。
【0028】本発明の通信装置は、前記の課題を解決す
るために、上記の何れかに記載のSAWフィルタを有す
ることを特徴としている。上記構成によれば、上記SA
Wフィルタを用いたことにより伝送特性を改善できる。
るために、上記の何れかに記載のSAWフィルタを有す
ることを特徴としている。上記構成によれば、上記SA
Wフィルタを用いたことにより伝送特性を改善できる。
【0029】
【発明の実施の形態】本発明の実施の各形態について図
1ないし図11に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。
1ないし図11に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。
【0030】図1に示すように、本発明の実施の形態に
係るSAWフィルタ10では、圧電基板11(例えば3
6°回転YカットのLiTaO3 )上に、リフレクタ1
4、15が、弾性表面波の伝搬方向に沿って所定の間隔
にて形成され、リフレクタ14とリフレクタ15との間
に、例えば3個のIDT16、IDT17、IDT18
が弾性表面波の伝搬方向に沿って所定の間隔にてそれぞ
れ形成されている。
係るSAWフィルタ10では、圧電基板11(例えば3
6°回転YカットのLiTaO3 )上に、リフレクタ1
4、15が、弾性表面波の伝搬方向に沿って所定の間隔
にて形成され、リフレクタ14とリフレクタ15との間
に、例えば3個のIDT16、IDT17、IDT18
が弾性表面波の伝搬方向に沿って所定の間隔にてそれぞ
れ形成されている。
【0031】言い換えると、各リフレクタ14、15
は、各IDT16、17、18を左右から(弾性表面波
の伝搬方向に沿った両端側にて)挟み込むように配置さ
れていることになる。
は、各IDT16、17、18を左右から(弾性表面波
の伝搬方向に沿った両端側にて)挟み込むように配置さ
れていることになる。
【0032】各IDT16、17、18、各リフレクタ
14、15は、フォトリソグラフィー法等により形成さ
れたアルミニウム(Al)電極(箔)によって設けられ
ている。各IDT16、17、18に対して電気信号を
入出力するための入出力端子22、23が設けられてい
る。
14、15は、フォトリソグラフィー法等により形成さ
れたアルミニウム(Al)電極(箔)によって設けられ
ている。各IDT16、17、18に対して電気信号を
入出力するための入出力端子22、23が設けられてい
る。
【0033】各IDT16、17、18について、ID
T16を例に挙げて説明すると、まず、IDT16は、
第一くし型電極16aと、第二くし型電極16bとを有
している。
T16を例に挙げて説明すると、まず、IDT16は、
第一くし型電極16aと、第二くし型電極16bとを有
している。
【0034】第一くし型電極16aは、基端側に帯状の
バスバー部16cと、バスバー部16cの長手方向の一
方の側部から直交する方向に延びる、帯状で複数の互い
に平行な電極指16dとを備えている。第二くし型電極
16bも、同様に、基端側に帯状のバスバー部16e
と、バスバー部16eの長手方向の一方の側部から直交
する方向に延びる、帯状で複数の互いに平行な電極指1
6fとを備えている。
バスバー部16cと、バスバー部16cの長手方向の一
方の側部から直交する方向に延びる、帯状で複数の互い
に平行な電極指16dとを備えている。第二くし型電極
16bも、同様に、基端側に帯状のバスバー部16e
と、バスバー部16eの長手方向の一方の側部から直交
する方向に延びる、帯状で複数の互いに平行な電極指1
6fとを備えている。
【0035】さらに、第一くし型電極16aと、第二く
し型電極16bとは、各電極指16dと各電極指16f
とが、それらの長手方向の側部を互いに対面し、かつ平
行となるように交差した状態(つまり、互いに入り組ん
だ)に配置されることによって、それら交差領域にて弾
性表面波を発生でき、また伝搬してきた特定範囲の周波
数の弾性表面波から電気信号を発生できるようになって
いる。
し型電極16bとは、各電極指16dと各電極指16f
とが、それらの長手方向の側部を互いに対面し、かつ平
行となるように交差した状態(つまり、互いに入り組ん
だ)に配置されることによって、それら交差領域にて弾
性表面波を発生でき、また伝搬してきた特定範囲の周波
数の弾性表面波から電気信号を発生できるようになって
いる。
【0036】他の各IDT17、18についても、ID
T16と同様の構成を備えており、同様な機能を有する
部材に対しては、同一な小文字のアルファベットを付与
して、それらの説明を省いた。
T16と同様の構成を備えており、同様な機能を有する
部材に対しては、同一な小文字のアルファベットを付与
して、それらの説明を省いた。
【0037】このようなIDTでは、各電極指の長さや
幅、隣り合う各電極指の間隔、互いの電極指間での入り
組んだ状態の対面長さを示す交叉幅を、それぞれ設定す
ることにより信号変換特性や、通過帯域の設定が可能と
なっている。
幅、隣り合う各電極指の間隔、互いの電極指間での入り
組んだ状態の対面長さを示す交叉幅を、それぞれ設定す
ることにより信号変換特性や、通過帯域の設定が可能と
なっている。
【0038】このように各IDT16、17、18を複
数、例えば3個(入力用と出力用)、弾性表面波の伝搬
方向に沿って圧電基板11上に配置することにより共振
子型のSAWフィルタを形成することができる。
数、例えば3個(入力用と出力用)、弾性表面波の伝搬
方向に沿って圧電基板11上に配置することにより共振
子型のSAWフィルタを形成することができる。
【0039】また、各リフレクタ14、15について、
リフレクタ14を例に挙げて説明すると、リフレクタ1
4は、それに伝搬してきた弾性表面波を反射して、伝搬
してきた方向に戻す機能を有している。つまり、リフレ
クタ14は、一対の帯状の基端部(バスバー)14a
と、それらの基端部14aの一方の側部から、上記基端
部14aの長手方向に対し直交する方向に延びて、上記
各基端部14aを連結する、複数の、互いに平行な電極
指14bとを圧電基板11上に備えている。
リフレクタ14を例に挙げて説明すると、リフレクタ1
4は、それに伝搬してきた弾性表面波を反射して、伝搬
してきた方向に戻す機能を有している。つまり、リフレ
クタ14は、一対の帯状の基端部(バスバー)14a
と、それらの基端部14aの一方の側部から、上記基端
部14aの長手方向に対し直交する方向に延びて、上記
各基端部14aを連結する、複数の、互いに平行な電極
指14bとを圧電基板11上に備えている。
【0040】これにより、リフレクタ14は、伝搬して
くる弾性表面波により励起され、その励起電気信号によ
り発生した弾性表面波により、進行してくる弾性表面波
を相殺すると共に、上記弾性表面波の伝搬方向と逆方向
の新たな弾性表面波を発生するように設定されている。
よって、リフレクタ14は、伝搬してくる弾性表面波を
疑似的に反射するようになっている。リフレクタ15
も、リフレクタ14と同様な構成を備えている。
くる弾性表面波により励起され、その励起電気信号によ
り発生した弾性表面波により、進行してくる弾性表面波
を相殺すると共に、上記弾性表面波の伝搬方向と逆方向
の新たな弾性表面波を発生するように設定されている。
よって、リフレクタ14は、伝搬してくる弾性表面波を
疑似的に反射するようになっている。リフレクタ15
も、リフレクタ14と同様な構成を備えている。
【0041】そして、本実施の形態では、各リフレクタ
14、15の各電極指のメタライゼーションレシオが互
いに異なっており、例えば、リフレクタ14のメタライ
ゼーションレシオが0.52で、リフレクタ15のメタ
ライゼーションレシオが0.56に設定されている。メ
タライゼーションレシオとは、互いに隣り合う各電極指
の幅方向での各中心位置の間隔であるピッチの長さに対
する、電極指の幅の長さの比である。
14、15の各電極指のメタライゼーションレシオが互
いに異なっており、例えば、リフレクタ14のメタライ
ゼーションレシオが0.52で、リフレクタ15のメタ
ライゼーションレシオが0.56に設定されている。メ
タライゼーションレシオとは、互いに隣り合う各電極指
の幅方向での各中心位置の間隔であるピッチの長さに対
する、電極指の幅の長さの比である。
【0042】次に、本実施の形態に係る、共振子型のS
AWフィルタの作用・効果について説明する。
AWフィルタの作用・効果について説明する。
【0043】上記SAWフィルタでは、各IDT16、
17、18により励振された弾性表面波を2つの各リフ
レクタ14、15の間に閉じこめることで、挿入損失を
低減したフィルタ特性が実現できる。
17、18により励振された弾性表面波を2つの各リフ
レクタ14、15の間に閉じこめることで、挿入損失を
低減したフィルタ特性が実現できる。
【0044】従って、各リフレクタ14、15において
は、通過帯域に相当する弾性表面波は十分に反射し、そ
の他の帯域に相当する弾性表面波は反射しないことが望
ましい。
は、通過帯域に相当する弾性表面波は十分に反射し、そ
の他の帯域に相当する弾性表面波は反射しないことが望
ましい。
【0045】しかしながら、現実には、リフレクタ1
4、15における電極指の本数は有限であり、従って、
ストップバンド内における反射係数は100%未満にな
り、ストップバンド以外の周波数でも弾性表面波が反射
される。例として電極指の本数が100本のときの反射
特性を図2に示した。上記反射特性において、ある周波
数帯域(ストップバンド)では、100%近い反射係数
でほぼ一定になっているのに対し、その他の周波数帯域
では、周期的に振動しながら反射係数が減衰しているこ
とが判る。
4、15における電極指の本数は有限であり、従って、
ストップバンド内における反射係数は100%未満にな
り、ストップバンド以外の周波数でも弾性表面波が反射
される。例として電極指の本数が100本のときの反射
特性を図2に示した。上記反射特性において、ある周波
数帯域(ストップバンド)では、100%近い反射係数
でほぼ一定になっているのに対し、その他の周波数帯域
では、周期的に振動しながら反射係数が減衰しているこ
とが判る。
【0046】このストップバンド外での反射係数の周期
的な振動に起因した不要スプリアスがフィルタ特性に現
れる。したがって、2つのリフレクタにて、この周期的
振動の周期や中心周波数を変え、一方の凸部(反射係数
の極大値)と他方の凹部(反射係数の極小値)とが互い
に近づくように相違させる、より好ましくは重なるよう
に上記各リフレクタを設定することで、ストップバンド
外での反射係数の周期的な振動を平坦化できて、不要ス
プリアスのレベルを低く抑えることができる。
的な振動に起因した不要スプリアスがフィルタ特性に現
れる。したがって、2つのリフレクタにて、この周期的
振動の周期や中心周波数を変え、一方の凸部(反射係数
の極大値)と他方の凹部(反射係数の極小値)とが互い
に近づくように相違させる、より好ましくは重なるよう
に上記各リフレクタを設定することで、ストップバンド
外での反射係数の周期的な振動を平坦化できて、不要ス
プリアスのレベルを低く抑えることができる。
【0047】まず、考えられる構成は、従来の図3に示
すように、各リフレクタ34、35の各電極指の本数を
互いに変えたSAWフィルタ30を用いることである。
リフレクタの本数を多くすると、ストップバンド内では
ほとんど変化がなく、ストップバンド外での反射係数の
周期的な振動の周期が短くなる。
すように、各リフレクタ34、35の各電極指の本数を
互いに変えたSAWフィルタ30を用いることである。
リフレクタの本数を多くすると、ストップバンド内では
ほとんど変化がなく、ストップバンド外での反射係数の
周期的な振動の周期が短くなる。
【0048】よって、左右の2つのリフレクタ34、3
5の各電極指の本数を適切に選ぶと所望の周波数帯域付
近で、一方の凸部と他方の凹部とが互いに重なるように
設定できる。図4では、電極指の本数が100本のリフ
レクタと120本のリフレクタの各反射係数を互いに重
ね合わせたものであるが、一方の凸部と他方の凹部とが
互いに重なる様子が判る。
5の各電極指の本数を適切に選ぶと所望の周波数帯域付
近で、一方の凸部と他方の凹部とが互いに重なるように
設定できる。図4では、電極指の本数が100本のリフ
レクタと120本のリフレクタの各反射係数を互いに重
ね合わせたものであるが、一方の凸部と他方の凹部とが
互いに重なる様子が判る。
【0049】しかしながら、上記のように各電極指の本
数を変える場合には、各電極指の本数を減少ではなく、
増加させる方向に各電極指の本数を変える必要があるの
で、得られたSAWフィルタ30の大型化を招来すると
いう不都合を生じている。つまり、各リフレクタ34、
35においては、ある周波数帯域(ストップバンド)に
て、100%近く、かつほぼ一定の反射係数を発揮する
ためには、所定本数以上の電極指が必要となる。このこ
とから、各電極指の本数を変える場合には、各電極指の
本数を減少ではなく、増加させる方向に各電極指の本数
を変える必要がある。よって、各電極指の本数を変える
場合には、得られたSAWフィルタ30の大型化を招来
し、また圧電基板11やリフレクタの大型化に起因する
コストアップも生じている。
数を変える場合には、各電極指の本数を減少ではなく、
増加させる方向に各電極指の本数を変える必要があるの
で、得られたSAWフィルタ30の大型化を招来すると
いう不都合を生じている。つまり、各リフレクタ34、
35においては、ある周波数帯域(ストップバンド)に
て、100%近く、かつほぼ一定の反射係数を発揮する
ためには、所定本数以上の電極指が必要となる。このこ
とから、各電極指の本数を変える場合には、各電極指の
本数を減少ではなく、増加させる方向に各電極指の本数
を変える必要がある。よって、各電極指の本数を変える
場合には、得られたSAWフィルタ30の大型化を招来
し、また圧電基板11やリフレクタの大型化に起因する
コストアップも生じている。
【0050】そこで、本実施の形態では、各リフレクタ
14、15の各電極指のメタライゼーションレシオが互
いに異なっており、例えば、リフレクタ14のメタライ
ゼーションレシオが0.52で、リフレクタ15のメタ
ライゼーションレシオが0.56に設定されている。
14、15の各電極指のメタライゼーションレシオが互
いに異なっており、例えば、リフレクタ14のメタライ
ゼーションレシオが0.52で、リフレクタ15のメタ
ライゼーションレシオが0.56に設定されている。
【0051】このように左右の2つの各リフレクタ1
4、15の各電極指のメタライゼーションレシオを互い
に異なるように変えると、左右の各リフレクタ14、1
5の反射特性が互いに異なり、ストップバンド幅も変化
するが、サイドローブ特性も変化する。
4、15の各電極指のメタライゼーションレシオを互い
に異なるように変えると、左右の各リフレクタ14、1
5の反射特性が互いに異なり、ストップバンド幅も変化
するが、サイドローブ特性も変化する。
【0052】そこで、この特性の変化を利用し所望の周
波数帯域(通過帯域)内外付近にて、一方の凸部(反射
特性の反射係数の極大値)と他方の凸部とを互いに相違
させる、好ましくは、一方の凸部と他方の凹部(反射特
性の反射係数の極小値)とが互いに近づくように相違さ
せる、より好ましくは重なるように上記各リフレクタ1
4、15を設定する。このようにメタライゼーションレ
シオを互いに変える構成は、特に小型化のためにリフレ
クタの本数を増やせないときに有効である。
波数帯域(通過帯域)内外付近にて、一方の凸部(反射
特性の反射係数の極大値)と他方の凸部とを互いに相違
させる、好ましくは、一方の凸部と他方の凹部(反射特
性の反射係数の極小値)とが互いに近づくように相違さ
せる、より好ましくは重なるように上記各リフレクタ1
4、15を設定する。このようにメタライゼーションレ
シオを互いに変える構成は、特に小型化のためにリフレ
クタの本数を増やせないときに有効である。
【0053】図5では、メタライゼーションレシオが
0.52のリフレクタと、メタライゼーションレシオが
0.56のリフレクタの反射特性を重ね合わせたもので
あるが、一方の凸部と他方の凹部とが互いに重なる様子
が判る。
0.52のリフレクタと、メタライゼーションレシオが
0.56のリフレクタの反射特性を重ね合わせたもので
あるが、一方の凸部と他方の凹部とが互いに重なる様子
が判る。
【0054】このようなメタライゼーションレシオの変
化量としては、必要に応じて設定すればよいが、通常、
小さい方のメタライゼーションレシオに対して、大きい
方のメタライゼーションレシオが、2%以上、より好ま
しくは3%以上、さらに好ましくは4%以上であり、ま
た、20%以下、より好ましくは15%以下、さらに好
ましくは10%以下である。
化量としては、必要に応じて設定すればよいが、通常、
小さい方のメタライゼーションレシオに対して、大きい
方のメタライゼーションレシオが、2%以上、より好ま
しくは3%以上、さらに好ましくは4%以上であり、ま
た、20%以下、より好ましくは15%以下、さらに好
ましくは10%以下である。
【0055】以上に述べた構成以外にて左右のリフレク
タの反射係数を異ならせる構成としては、例えば、電極
指上に絶縁膜をそれぞれ形成し左右のリフレクタで絶縁
膜の膜厚を異ならせたり、電極指を多層構造とし左右の
リフレクタで多層膜の膜厚を異ならせたり、左右のリフ
レクタで圧電基板に対するオーバーエッチング量を異な
らせたりしてもよい。
タの反射係数を異ならせる構成としては、例えば、電極
指上に絶縁膜をそれぞれ形成し左右のリフレクタで絶縁
膜の膜厚を異ならせたり、電極指を多層構造とし左右の
リフレクタで多層膜の膜厚を異ならせたり、左右のリフ
レクタで圧電基板に対するオーバーエッチング量を異な
らせたりしてもよい。
【0056】次に、本発明を用いたSAWフィルタと、
本発明を用いない比較SAWフィルタ(比較例)の各伝
送特性の違いについて説明する。まず、本発明を用いた
SAWフィルタは、36°回転YカットのLiTaO3
からなる圧電基板11を用い、各IDT対数が36対
で、各リフレクタのメタライゼーションレシオを0.5
2と0.56に、左右で異ならせたものを二段縦続接続
したものである。上記SAWフィルタの伝送特性を図6
に示した。
本発明を用いない比較SAWフィルタ(比較例)の各伝
送特性の違いについて説明する。まず、本発明を用いた
SAWフィルタは、36°回転YカットのLiTaO3
からなる圧電基板11を用い、各IDT対数が36対
で、各リフレクタのメタライゼーションレシオを0.5
2と0.56に、左右で異ならせたものを二段縦続接続
したものである。上記SAWフィルタの伝送特性を図6
に示した。
【0057】上記SAWフィルタにおいては、図6から
明らかなように、通過帯域低域側の不要スプリアスが、
一方のリフレクタによるものと、他方のリフレクタによ
るものが互いに打ち消し合っており、上記不要スプリア
スを、後述する第一比較SAWフィルタと比べて低いレ
ベルに抑えていることが判る。
明らかなように、通過帯域低域側の不要スプリアスが、
一方のリフレクタによるものと、他方のリフレクタによ
るものが互いに打ち消し合っており、上記不要スプリア
スを、後述する第一比較SAWフィルタと比べて低いレ
ベルに抑えていることが判る。
【0058】一方、第一比較SAWフィルタは、各リフ
レクタのメタライゼーションレシオを左右とも0.52
とした以外は本発明を用いた上記SAWフィルタと同様
に作製したものである。上記第一比較SAWフィルタの
伝送特性を図7に示した。図7から明らかなように、リ
フレクタの反射に起因した、通過帯域低域側の不要スプ
リアスが本発明を用いたSAWフィルタと比べて、より
大きくなっているのが判る。
レクタのメタライゼーションレシオを左右とも0.52
とした以外は本発明を用いた上記SAWフィルタと同様
に作製したものである。上記第一比較SAWフィルタの
伝送特性を図7に示した。図7から明らかなように、リ
フレクタの反射に起因した、通過帯域低域側の不要スプ
リアスが本発明を用いたSAWフィルタと比べて、より
大きくなっているのが判る。
【0059】なお、上記実施の形態では、本発明を、複
数のIDTを有する縦結合の共振子型のSAWフィルタ
に適用した例を挙げたが、上記に限定されるものでは無
く、例えば、図8に示す、横結合の共振子型のSAWフ
ィルタや、図9に示す、1つのIDTを用いた共振子型
のSAWフィルタにも適用でき、それらのSAWフィル
タにおいても、同様にリフレクタに起因する不要スプリ
アスの低減が可能である。
数のIDTを有する縦結合の共振子型のSAWフィルタ
に適用した例を挙げたが、上記に限定されるものでは無
く、例えば、図8に示す、横結合の共振子型のSAWフ
ィルタや、図9に示す、1つのIDTを用いた共振子型
のSAWフィルタにも適用でき、それらのSAWフィル
タにおいても、同様にリフレクタに起因する不要スプリ
アスの低減が可能である。
【0060】さらに、本発明のSAWフィルタをトラッ
プ型のフィルタとして用いる場合には、スパイクが現れ
る周波数領域を通過帯域に用いるときがあり、このとき
は、通過帯域内の微小リップル(スパイク)低減の効果
を発揮できる。
プ型のフィルタとして用いる場合には、スパイクが現れ
る周波数領域を通過帯域に用いるときがあり、このとき
は、通過帯域内の微小リップル(スパイク)低減の効果
を発揮できる。
【0061】図10に、IDT対数が等しくリフレクタ
の電極指の本数を変えた場合の効果を示す。図10にお
いては、実線はリフレクタ左右とも電極指が100本の
第二比較SAWフィルタの伝送特性を示し、破線はリフ
レクタを左右で電極指110本、80本とした本発明の
SAWフィルタの伝送特性を示している。本発明のSA
Wフィルタでは、第二比較SAWフィルタと比べて、通
過帯域内の微小リップル(スパイク)が0.3dBから
0.2dBに減少しているのが判る。
の電極指の本数を変えた場合の効果を示す。図10にお
いては、実線はリフレクタ左右とも電極指が100本の
第二比較SAWフィルタの伝送特性を示し、破線はリフ
レクタを左右で電極指110本、80本とした本発明の
SAWフィルタの伝送特性を示している。本発明のSA
Wフィルタでは、第二比較SAWフィルタと比べて、通
過帯域内の微小リップル(スパイク)が0.3dBから
0.2dBに減少しているのが判る。
【0062】また、本発明のSAWフィルタを用いてラ
ダー型のフィルタを構成することも可能であり、そのと
きも通過帯域内の微小リップル(スパイク)を低減でき
る。
ダー型のフィルタを構成することも可能であり、そのと
きも通過帯域内の微小リップル(スパイク)を低減でき
る。
【0063】以上のように本発明のSAWフィルタは1
段構成でもリフレクタによる不要スプリアスのレベルを
低く抑えることができるため、低ロスあるいは高減衰な
ものにできる。1段構成だけに限らず多段接続した場合
でも有効である。
段構成でもリフレクタによる不要スプリアスのレベルを
低く抑えることができるため、低ロスあるいは高減衰な
ものにできる。1段構成だけに限らず多段接続した場合
でも有効である。
【0064】その上、本発明では、2段縦続接続した場
合に1段目と2段目の構成を全く同一に設定したときで
も、リフレクタの反射に起因する不要スプリアスを抑え
ることができるため、入出力対称にフィルタを配置でき
る。よって、上記各フィルタをチップキャリヤに組み込
む際に、それらを方向指定する必要が無く、工程数を減
らし製造コスト削減も可能である。
合に1段目と2段目の構成を全く同一に設定したときで
も、リフレクタの反射に起因する不要スプリアスを抑え
ることができるため、入出力対称にフィルタを配置でき
る。よって、上記各フィルタをチップキャリヤに組み込
む際に、それらを方向指定する必要が無く、工程数を減
らし製造コスト削減も可能である。
【0065】また、本発明のSAWフィルタをトラップ
型のフィルタや、ラダー型のフィルタの構成要素として
使用することにより、通過帯域内の微小リップル(スパ
イク)を低減し、かつ低損失(低ロス)なフィルタ、あ
るいは通過帯域外の不要スプリアスを低減した高減衰な
フィルタを得ることができる。
型のフィルタや、ラダー型のフィルタの構成要素として
使用することにより、通過帯域内の微小リップル(スパ
イク)を低減し、かつ低損失(低ロス)なフィルタ、あ
るいは通過帯域外の不要スプリアスを低減した高減衰な
フィルタを得ることができる。
【0066】次に、本発明に係る通信装置を図11に基
づき説明する。図11に示すように、上記通信装置10
0は、受信を行うレシーバ側(Rx側)として、アンテ
ナ101、アンテナ共用部/RFTopフィルタ10
2、アンプ103、Rx段間フィルタ104、ミキサ1
05、1stIFフィルタ106、ミキサ107、2n
dIFフィルタ108、1st+2ndローカルシンセ
サイザ111、TCXO(temperature compensated cr
ystal oscillator(温度補償型水晶発振器))112、
デバイダ113、ローカルフィルタ114を備えて構成
されている。
づき説明する。図11に示すように、上記通信装置10
0は、受信を行うレシーバ側(Rx側)として、アンテ
ナ101、アンテナ共用部/RFTopフィルタ10
2、アンプ103、Rx段間フィルタ104、ミキサ1
05、1stIFフィルタ106、ミキサ107、2n
dIFフィルタ108、1st+2ndローカルシンセ
サイザ111、TCXO(temperature compensated cr
ystal oscillator(温度補償型水晶発振器))112、
デバイダ113、ローカルフィルタ114を備えて構成
されている。
【0067】Rx段間フィルタ104からミキサ105
へは、図11に二本線で示したように、バランス性を確
保するために各平衡信号にて送信することが好ましい。
へは、図11に二本線で示したように、バランス性を確
保するために各平衡信号にて送信することが好ましい。
【0068】また、上記通信装置100は、送信を行う
トランシーバ側(Tx側)として、上記アンテナ101
および上記アンテナ共用部/RFTopフィルタ102
を共用するとともに、TxIFフィルタ121、ミキサ
122、Tx段間フィルタ123、アンプ124、カプ
ラ125、アイソレータ126、APC(automaticpow
er control (自動出力制御))127を備えて構成さ
れている。
トランシーバ側(Tx側)として、上記アンテナ101
および上記アンテナ共用部/RFTopフィルタ102
を共用するとともに、TxIFフィルタ121、ミキサ
122、Tx段間フィルタ123、アンプ124、カプ
ラ125、アイソレータ126、APC(automaticpow
er control (自動出力制御))127を備えて構成さ
れている。
【0069】そして、上記のRx段間フィルタ104、
1stIFフィルタ106、TxIFフィルタ121、
Tx段間フィルタ123には、上述した本実施の形態に
記載のSAWフィルタが好適に利用できる。
1stIFフィルタ106、TxIFフィルタ121、
Tx段間フィルタ123には、上述した本実施の形態に
記載のSAWフィルタが好適に利用できる。
【0070】本発明に係るSAWフィルタは、フィルタ
機能と共に伝送特性に優れているので、上記SAWフィ
ルタを有する本発明の通信装置は、使用周波数帯域が大
きくなるに伴い小型化できると共に、伝送特性を向上で
きるものとなっている。
機能と共に伝送特性に優れているので、上記SAWフィ
ルタを有する本発明の通信装置は、使用周波数帯域が大
きくなるに伴い小型化できると共に、伝送特性を向上で
きるものとなっている。
【0071】
【発明の効果】本発明のSAWフィルタは、以上のよう
に、圧電基板上に、弾性表面波を発生し、検出するID
Tが、通過帯域を備えたフィルタ機能を有するように設
けられ、IDTにおける弾性表面波の伝搬方向の両端側
に、上記弾性表面波を反射する第一および第二のリフレ
クタがそれぞれ設けられ、第一および第二のリフレクタ
の各電極指のメタライゼーションレシオが互いに異なる
ように形成されている構成である。
に、圧電基板上に、弾性表面波を発生し、検出するID
Tが、通過帯域を備えたフィルタ機能を有するように設
けられ、IDTにおける弾性表面波の伝搬方向の両端側
に、上記弾性表面波を反射する第一および第二のリフレ
クタがそれぞれ設けられ、第一および第二のリフレクタ
の各電極指のメタライゼーションレシオが互いに異なる
ように形成されている構成である。
【0072】それゆえ、上記構成では、第一および第二
のリフレクタの各電極指のメタライゼーションレシオが
互いに異なっているので、通過帯域外や通過帯域内にお
ける、第一および第二のリフレクタの各反射特性を互い
に変えることができて、通過帯域外での不要スプリアス
を抑制でき、また通過帯域内での微小リップル(スパイ
ク)の発生も軽減できて、伝送特性を改善できる。
のリフレクタの各電極指のメタライゼーションレシオが
互いに異なっているので、通過帯域外や通過帯域内にお
ける、第一および第二のリフレクタの各反射特性を互い
に変えることができて、通過帯域外での不要スプリアス
を抑制でき、また通過帯域内での微小リップル(スパイ
ク)の発生も軽減できて、伝送特性を改善できる。
【0073】その上、上記構成では、各反射特性を互い
に変えることが、各電極指のメタライゼーションレシオ
を変えることにより実施されているので、従来の電極指
の本数を変える場合と比べて、大型化を回避でき、また
従来の電極指の膜厚を変える場合と比べて、工程数の増
加を防止して製造コストのアップも抑制できる。
に変えることが、各電極指のメタライゼーションレシオ
を変えることにより実施されているので、従来の電極指
の本数を変える場合と比べて、大型化を回避でき、また
従来の電極指の膜厚を変える場合と比べて、工程数の増
加を防止して製造コストのアップも抑制できる。
【0074】この結果、上記構成では、第一および第二
のリフレクタの各電極指のメタライゼーションレシオを
互いに異ならせることにより、伝送特性を改善しなが
ら、大型化を回避でき、また製造コストのアップも抑制
できるという効果を奏する。
のリフレクタの各電極指のメタライゼーションレシオを
互いに異ならせることにより、伝送特性を改善しなが
ら、大型化を回避でき、また製造コストのアップも抑制
できるという効果を奏する。
【図1】本発明の実施の形態に係る、メタライゼーショ
ンレシオが相違するSAWフィルタの概略構成図であ
る。
ンレシオが相違するSAWフィルタの概略構成図であ
る。
【図2】一般的なリフレクタの反射特性を示すグラフで
ある。
ある。
【図3】従来の、電極指の本数が相違するSAWフィル
タの概略構成図である。
タの概略構成図である。
【図4】従来のSAWフィルタに用いたリフレクタの反
射特性を示すグラフである。
射特性を示すグラフである。
【図5】本発明の実施の形態に係るSAWフィルタに用
いたリフレクタの反射特性を示すグラフである。
いたリフレクタの反射特性を示すグラフである。
【図6】本発明の実施の形態に係るSAWフィルタの伝
送特性を示すグラフである。
送特性を示すグラフである。
【図7】比較のための、メタライゼーションレシオが同
一な第一比較SAWフィルタの伝送特性を示すグラフで
ある。
一な第一比較SAWフィルタの伝送特性を示すグラフで
ある。
【図8】本発明のSAWフィルタの一変形例を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図9】本発明のSAWフィルタの他の変形例を示す概
略構成図である。
略構成図である。
【図10】リフレクタの電極指の本数を変えた本発明の
SAWフィルタの場合と、本数を変えない第二比較SA
Wフィルタの場合の、各伝送特性を示すグラフである。
SAWフィルタの場合と、本数を変えない第二比較SA
Wフィルタの場合の、各伝送特性を示すグラフである。
【図11】本発明に係るSAWフィルタを用いた通信装
置の要部ブロック図である。
置の要部ブロック図である。
11 圧電基板
14、15 第一および第二のリフレクタ
14b、15b 電極指
16、17、18 IDT(インターデジタルトランス
デューサ)
デューサ)
Claims (8)
- 【請求項1】圧電基板上に、弾性表面波を発生し、検出
するインターデジタルトランスデューサが、通過帯域を
備えたフィルタ機能を有するように設けられ、 インターデジタルトランスデューサにおける弾性表面波
の伝搬方向の両端側に、上記弾性表面波を反射する第一
および第二のリフレクタがそれぞれ設けられ、 第一および第二のリフレクタの各電極指のメタライゼー
ションレシオが互いに異なるように形成されていること
を特徴とする弾性表面波装置。 - 【請求項2】第一および第二のリフレクタは、インター
デジタルトランスデューサによる通過帯域外における反
射特性の極大値を示す周波数が互いに相違するように設
定されていることを特徴とする請求項1記載の弾性表面
波装置。 - 【請求項3】第一のリフレクタの通過帯域外における反
射特性の極小値を示す周波数と、第二のリフレクタの通
過帯域外における反射特性の極大値を示す周波数とが、
互いに重なり合うように設定されていることを特徴とす
る請求項1または2記載の弾性表面波装置。 - 【請求項4】第一のリフレクタの通過帯域外における反
射特性の極大値を示す周波数と、第二のリフレクタの通
過帯域外における反射特性の極小値を示す周波数とが、
互いに重なり合うように設定されていることを特徴とす
る請求項1、2または3記載の弾性表面波装置。 - 【請求項5】第一および第二のリフレクタの各電極指上
にそれぞれ絶縁膜が設けられ、 第一および第二のリフレクタの各電極指上の絶縁膜の膜
厚が互いに相違するように設定されていることを特徴と
する請求項1ないし4の何れかに記載の弾性表面波装
置。 - 【請求項6】第一および第二のリフレクタの各電極指
が、多層膜にて形成され、 各電極指の多層膜の膜厚が互いに相違するように設けら
れていることを特徴とする請求項1ないし5の何れかに
記載の弾性表面波装置。 - 【請求項7】第一および第二のリフレクタを形成すると
きの、圧電基板に対するオーバーエッチング量が、第一
および第二のリフレクタに関して相違するように設けら
れていることを特徴とする請求項1ないし6の何れかに
記載の弾性表面波装置。 - 【請求項8】請求項1ないし7の何れかに記載の弾性表
面波装置を有することを特徴とする通信装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001199674A JP2003017971A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 弾性表面波装置、通信装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001199674A JP2003017971A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 弾性表面波装置、通信装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003017971A true JP2003017971A (ja) | 2003-01-17 |
Family
ID=19036939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001199674A Pending JP2003017971A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | 弾性表面波装置、通信装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003017971A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006128775A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
-
2001
- 2001-06-29 JP JP2001199674A patent/JP2003017971A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006128775A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置 |
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