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JP2002514874A - トランスデューサ基材及びその取付け方法 - Google Patents

トランスデューサ基材及びその取付け方法

Info

Publication number
JP2002514874A
JP2002514874A JP2000547815A JP2000547815A JP2002514874A JP 2002514874 A JP2002514874 A JP 2002514874A JP 2000547815 A JP2000547815 A JP 2000547815A JP 2000547815 A JP2000547815 A JP 2000547815A JP 2002514874 A JP2002514874 A JP 2002514874A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
transducer
mixture
epoxy resin
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000547815A
Other languages
English (en)
Inventor
ドン・エス・ママイェック
デニス・メンドーサ
ベイホ・スオルサ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Boston Scientific Limited
Original Assignee
Boston Scientific Limited
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Boston Scientific Limited filed Critical Boston Scientific Limited
Publication of JP2002514874A publication Critical patent/JP2002514874A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 トランスデューサ用の基材は、タングステン粒子と銀粒子とを含む粘着性エポキシ樹脂とを備える。基材をトランスデューサに取付ける方法は、エポキシ樹脂とタングステン粒子と銀粒子との混合物を圧電材料層を含むモールドの中に注入するステップと、混合物を脱ガス処理するステップと、混合物が乾燥するまで混合物を略1気圧で硬化処理するステップとを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、トランスデューサの分野に関し、特に、トランスデューサ基材及び
トランスデューサに対する基材の取付け方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
圧電トランスデューサは、超音波技術及び電気音響技術において幅広い応用が
見出されている。例えば、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)のような圧電材料の
存在によって特徴づけられているように、これらのデバイスは、固体中の圧電効
果によって、電気信号を超音波の波に変換し、そして、その逆の変換を行なう。
この効果は、トランスデューサ及びそれらの製造の技術においてよく知られてい
る。圧電材料は、応力の負荷された状態で電荷を示す材料である。閉回路がその
ような材料の表面上の電極に対して取り付けられたならば、応力に比例した電荷
の流れが観察される。トランスデューサは圧電要素を含み、必要であるならば、
音響インピーダンス整合層すなわち複合の整合層、及び音響的に吸収する基材を
含む。
【0003】 トランスデューサは従来の方法に従って製造される。このように、薄い圧電ト
ランスデューサ要素は、例えばクロム層への金メッキのような導電性被覆物でそ
の2つの表面上に金属被覆される。圧電要素の厚さは、音波の周波数の関数であ
る。圧電要素の1つの表面は、音響インピーダンス整合層、又は、好ましくは、
複合の整合層で被覆することができる。基層は圧電要素の裏面に取付けられる。
基層材料は、圧電要素が整合層と基材との間に存するように、モールドによって
所定位置に配列される。導電性材料からなる整合層は、圧電要素の音響インピー
ダンスとトランスデューサ(すなわち、その全面)の対象物との間を結合する役
割を果たす。個々の圧電トランスデューサは、整合材料層/圧電材料から機械加
工される。
【0004】 理想的な特徴をした圧電トランスデューサは、100%の超音波放射をトラン
スデューサの前面に伝えて、超音波を裏面に伝えない。したがって、基材として
高減衰材料を用いることが好ましい。従来の基材は、音響吸収材として作用する
ことがその技術分野で知られた、例えば、タングステンを含むカプセル型ソフト
ゲルである。従来の取付け方法によれば、基材は約12000psiまで加圧され
る。加圧は、過剰なゲルを絞り出し、高タングステン濃度の高密度のカプセル化
ゲルを生じさせる。しかしながら、タングステン濃度が基材にわたってタングス
テン粒子の間を直列接触を維持するために十分ではないために、加圧されていて
も、ロットからロットまでの、又は所定のロット内で導電性が不確実になる。
【0005】 導電性を高めるために、銀の薄片が基材に加えられる。しかしながら、相対的
に非粘着材であるゲルは、圧電層を基層に対して取り付ける際に、通常、有効で
はない。したがって、高い割合の個々のトランスデューサは、その上面が製造過
程の間にはずされるので、製造歩留まりが低下する。さらに、加圧によって、所
定の基材にわたって不確実な密度になる。したがって、音響インピーダンス(密
度と音速との積)が基材を通じて変化して、個々のトランスデューサが大きなば
らつきを有することとなる。さらに、基材の加圧は長い硬化時間を必要とする。
このように、歩留まりを改善し、製造時間を低減し、有用なトランスデューサを
生み出す、基材及びその取付けプロセスに対する必要性がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、歩留まりを改善し、製造時間を低減し、有用なトランスデューサを
生み出す基材及びその取付けプロセスに関する。
【0007】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】
これらの目的のために、トランスデューサ基材は、薄片又は粉体のタングステ
ン粒子又は銀粒子が配置された粘着性のエポキシ接着樹脂を含む。取付け方法は
、エポキシ樹脂とタングステン粒子と銀粒子との混合物を圧電材料層を含むモー
ルドの中に注入するステップと、混合物を脱ガスするステップと、混合物を所定
時間硬化させるステップとを含む。好ましくは、混合物は大略1気圧の大気圧で
硬化される。好ましくは、混合物は、24時間より短い時間、硬化される。
【0008】 したがって、本発明の目的は、トランスデューサの効率を高めるトランスデュ
ーサ基材及びその取付け方法を提供することである。本発明のこれらの目的及び
他の目的、特徴、見地、並びに利点は、以下の詳細な説明及び添付図面を参照し
ながら、より理解されるようになるであろう。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1に示すように、圧電トランスデューサのロット、すなわち「サンドイッチ
体」10は、モールド12に注入されることによって作成される。トランスデュ
ーササンドイッチ体10は、一般に、少なくとも3つの要素、すなわち圧電材料
層14、音響インピーダンス整合層16及び基材層18を含む。基材18はモー
ルド12において圧電材料14上に位置している。圧電材料14は、音響インピ
ーダンス整合層16上に位置するとともにモールド12における基材18下に位
置している。圧電材料14の境界面は、それぞれ、薄い金属被覆物13で覆われ
ている。
【0010】 好ましい実施形態において、トランスデューササンドイッチ体10は、3つの
層14,16,18にわたって導電性である。しかしながら、代りに、トランス
デューササンドイッチ体10が非導電性材料からなるようにできることは理解さ
れるべきである。同様に、サンドイッチ体10は、必ずしも、圧電トランスデュ
ーササンドイッチ体として作られている必要がない。代りの材料は、圧電層14
の製造プロセスにおいて置き換えることができる。しかしながら、ここに記載し
た好ましい実施形態において、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)14の
ような圧電材料が用いられる。
【0011】 好ましくは、モールド12内に配置する前に、金メッキ又はニッケル上への金
メッキのような金属被覆物13でPZT層14の両面が被覆されている。本出願
と同日出願された本願に十分に組み込まれた、関連の米国特許出願番号(まだ譲
渡されていない、リオン・アンド・リオンの事件整理番号224/157)で整
合層をトランスデューサに取付ける方法というタイトルの出願に開示され記載さ
れた好ましい方法によれば、整合層16が金属被覆されたPZT層14に対して
取付けられる。好ましい実施形態において、整合層16がPZT層14に接着さ
れたあと、層の組合せ14,16が、整合層16を下にした状態でモールド12
に配置される。基材層18はPZT層14の上面でモールド12に注入され、脱
ガスされ、乾燥されて自然に硬化される。他の実施形態において、PZT/基材
14,18を形成したあとに、整合層が取付けられる。
【0012】 好ましい実施形態において、トランスデューササンドイッチ体10は、加圧す
ることなくモールド12中で乾燥することができる。このように、基材18は、
通常の1気圧、すなわち大略14.7ポンド・インチ-2(psi)で硬化する。大気
圧下での乾燥時間は、1日より少なく、通常、16時間以下である。一旦、乾燥
すると、サンドイッチ体10は、モールド12から取り除かれ、図2に示すよう
にひっくり返される。個々のトランスデューサ20,22(簡略化のために2つ
だけが示されているが、ロット10が、通常、もっと多くのものを生成すること
を理解すべきである)は、サンドイッチ体10の上面、すなわちPZT/機械加
工層16の側をスタンプすなわち機械加工して、「ワッフル」を生成する。
【0013】 好ましい実施形態において、基材18は、粘着性のエポキシ樹脂からなる。好
ましい基材18は、エポキシ樹脂中に混合されたタングステン粒子及び銀粒子を
含む。ある実施形態において、銀粒子は薄片である。他の実施形態において、銀
粉体が使用される。タングステン粒子は基材18の特徴的なインピーダンスを変
える。ある実施形態において、タングステン粒子の2つのサイズ、すなわち大略
55ミクロン及び6.6ミクロンの直径が使用され、約20ミクロンの直径の銀
薄片が使用される。好ましくは、樹脂材料に対するタングステン粒子の割合は大
略40%であり、樹脂材料に対する銀薄片の割合は大略50%である。さらに、
例えば、銅のような他の導電性金属の薄片又は粒子は、銀と代替することができ
る。
【0014】 エポキシ樹脂中の銀薄片の存在によって、基材18にわたって確実な導電性が
付与され、トランスデューササンドイッチ体10の作成の間、基材混合物18を
加圧することによって、導電性を高める必要性が緩和される。しかしながら、加
圧処理がないときには、より高い割合の樹脂が硬化後に基材18に残る。しかし
、ここに開示した好ましい実施形態において、粘着性のエポキシ樹脂が用いられ
る。柔軟なカプセル型ゲルとは対照的に、エポキシ樹脂は、乾燥又は硬化時にお
いて、PZT表面14と基材18との間でより強い接着を形成する。少ない方の
個々のトランスデューサが各サンドイッチ体10からなくなる。
【0015】 加圧なしでサンドイッチ体10を硬化することは、圧力下で硬化する場合より
14〜16倍の時間がかかる。さらに、サンドイッチ体10を圧力下で硬化する
ことは、図3に示したように、所定のサンドイッチ体10にわたる基材18の音
響インピーダンスを変化させることができる。基材18の中央24dにおける音
響インピーダンスは、同心リング24cにおける音響インピーダンスと異なって
いる。それは、より大径の同心リング24bにおける音響インピーダンスと異な
っている。それは、基材18の縁24aにおける音響インピーダンスと異なって
いる。密度×音速として定義され、×106Rayls、MRayls、又は×
106kg・秒-1・m-2で測定される音響インピーダンスは、超音波圧電トラン
スデューサの基本的な設計特性である。このように、基材18の中央24dから
できたトランスデューサ26と基材18の縁24aからできたトランスデューサ
20とは、基材18が作成時に加圧されたならば、大きくばらついた動作特性を
有する。ある実施形態において、トランスデューサは基材18からスタンプされ
ている。他の実施形態において、トランスデューサは基材18から機械加工され
ている。
【0016】 上述したように、粘着性エポキシ樹脂中に銀薄片を使用することは、導電性や
サンドイッチ体10当りの製造歩留まりを犠牲にすることなく、モールド12中
で乾燥するときに基材18を加圧することを不要にする。加圧がないと、製造処
理量を促進するとともに所定のサンドイッチ体10に対する設計確実性を改良す
るだけでなく、トランスデューサの効率を向上する。図4に示したように、音波
28,30は、リード端子36,38を経てPZT層14にわたって電気信号3
4の印加によってトランスデューサ32のPZT層14に伝わり始める。波28
,30が反対方向に伝わり、波28がトランスデューサ32の背後に向かって伝
わり、波30がトランスデューサ32の前面に向かって伝わる。トランスデュー
サ32の前面には、整合層16と接触状態にある目標物すなわち組織40がある
。その組織は、通常、大略1.5MRaylsの音響インピーダンスを有する。
整合層16は、好ましくは約6MRaylsの音響インピーダンスを示すように
設計されている。PZT層14は、好ましくは大略33MRaylsの音響イン
ピーダンスを有する。加圧して硬化処理するならば、基材18は通常約20MR
aylsの音響インピーダンスを達成する。しかしながら、乾燥処理の間に加圧
がないとき、基材18は大略7.5MRaylsの音響インピーダンスを有する
。超音波42が伝わる1対の隣接媒体の音響インピーダンスがより接近すればす
るほど、波42が2つの媒体間の境界を横切るときに反射される波42の部分4
4が小さくなることが知られている。トランスデューサ32において、音圧波の
全てがトランスデューサ32の前面に向かって伝わることが理想的に好ましい。
加圧なしで作成されたトランスデューサ32は、通常、作成中に加圧されたトラ
ンスデューサより効率的である。
【0017】 図5に示すように、個々の、導電性の圧電トランスデューサ32は、好ましく
は、遠位ハウジング46を含む。整合層16がトランスデューサ32の前面、す
なわち目標物(不図示)にねらいを定めたトランスデューサの面、に面するよう
に、ハウジング46はトランスデューサ材料を保持する。PZT層14は整合層
16と基材層18との間に存する。遠位ハウジング46は例えばステンレス鋼か
らなる。第1リード線48が整合層16に接続され、第2リード線50がハウジ
ング46に接続されている。リード線48,50は伝送線(不図示)に取付けら
れ、好ましい実施形態において、電気信号が第1リード線48から整合層16、
PZT層14、基材18及び遠位ハウジング46を通って、第2リード線50ま
で伝えられる。ある実施形態において、ハウジング46は正面から背面まで大略
0.029インチである。
【0018】 図6は、圧電トランスデューサ32の他の好ましい実施形態を示している。図
6の遠位ハウジング46が導電性である必要はない。したがって、リード線50
は、基材層18の表面に直接に接続されている。そして、リード線50は、第1
リード線48と共に、遠位ハウジング46を通り抜ける。そのような実施形態に
おいて、基材層18が導電性材料からなる必要がないし、整合層16も導電性材
料からなる必要がない。
【0019】 好ましい実施形態のみが記載されているが、本発明の精神及び範囲を逸脱する
ことなく様々に変形させることは当業者には明白であろう。したがって、本発明
は特許請求の範囲に係る発明を除いて制限されるべきでない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 トランスデューササンドイッチ体を形成するために使用された材
料を含むモールドの側断面図である。
【図2】 図1のモールド中で製造されたトランスデューササンドイッチ体
の斜視図である。
【図3】 図2のトランスデューササンドイッチ体の音響像を示す図である
【図4】 図2のトランスデューササンドイッチ体から機械加工されたトラ
ンスデューサのブロック図である。
【図5】 図4に示したトランスデューサの側断面図である。
【図6】 他の実施形態に係る、図4に示したトランスデューサの側断面図
である。
【手続補正書】特許協力条約第34条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成12年7月19日(2000.7.19)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 トランスデューサ基材及びその取付け方法
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】 本発明は、トランスデューサの分野に関し、特に、トランスデューサ基材及び
基材のトランスデューサへの取付け方法に関する。
【0002】
【従来の技術】 圧電トランスデューサは、超音波技術及び電気音響技術において幅広い応用が
見出されている。例えば、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)のような圧電材料の
存在によって特徴づけられているように、これらのデバイスは、固体中の圧電性
効果によって、電気信号を超音波の波に変換し、そして、その逆の変換を行なう
。この効果は、トランスデューサ及びそれらの製造の技術においてよく知られて
いる。圧電材料は、応力の負荷された状態で電荷を示す材料である。閉回路がそ
のような材料の表面上の電極に対して取り付けられたならば、応力に比例した電
荷の流れが観察される。トランスデューサは圧電要素を含み、必要であるならば
、音響インピーダンス整合層すなわち複合の整合層、及び音響的に吸収する基材
を含む。
【0003】 トランスデューサは従来の方法に従って製造される。このように、薄い圧電ト
ランスデューサ要素は、例えばクロム層への金メッキのような導電性被覆物でそ
の2つの表面上に金属被覆される。圧電要素の厚さは、音波の周波数の関数であ
る。圧電要素の1つの表面は、音響インピーダンス整合層、又は、好ましくは、
複合の整合層で被覆することができる。基層は圧電要素の裏面に取付けられる。
基層材料は、圧電要素が整合層と基材との間に存するように、モールドによって
所定位置に配列される。導電性材料からなる整合層は、圧電要素の音響インピー
ダンスとトランスデューサ(すなわち、その全面)の対象物との間を結合する役
割を果たす。個々の圧電トランスデューサは、整合材料層/圧電材料から機械加
工される。
【0004】 理想的な特徴をした圧電トランスデューサは、100%の超音波放射をトラン
スデューサの前面に伝えて、超音波を裏面に伝えない。したがって、基材として
高減衰材料を用いることが好ましい。従来の基材は、音響吸収材として作用する
ことがその技術分野で知られた、例えば、タングステンを含むカプセル型ソフト
ゲルである。従来の取付け方法によれば、基材は約12000psi(845kg/
cm2)まで加圧される。加圧は、過剰なゲルを絞り出し、高タングステン濃度
の高密度のカプセル化ゲルを生じさせる。しかしながら、タングステン濃度が基
材にわたってタングステン粒子の間を直列接触を維持するために十分ではないた
めに、加圧されていても、ロットからロットまでの、又は所定のロット内で導電
性が不確実になる。
【0005】 導電性を高めるために、銀の薄片が基材に加えられる。しかしながら、相対的
に非粘着材であるゲルは、圧電層を基層に対して取り付ける際に、通常、有効で
はない。したがって、高い割合の個々のトランスデューサは、その上面が製造過
程の間にはずされるので、製造歩留まりが低下する。さらに、加圧によって、所
定の基材にわたって不確実な密度になる。したがって、音響インピーダンス(密
度と音速との積)が基材を通じて変化して、個々のトランスデューサが大きなば
らつきを有することとなる。さらに、基材の加圧は長い硬化時間を必要とする。
このように、歩留まりを改善し、製造時間を低減し、有用なトランスデューサを
生み出す、基材及びその取付けプロセスに対する必要性がある。
【0006】 GB−A−1 266 144は、銀の被覆されたガラス球とタングステン粉
を備えた導電性基材層を有する超音波トランスデューサを開示している。フィラ
ー/樹脂の混合物は、実質的に、銀の被覆されたガラス球の40重量%からなる
【0007】
【発明が解決しようとする課題】 したがって、本発明の目的は、トランスデューサの効率を高めるトランスデュ
ーサ用基材及びトランスデューサに対する基材の取付け方法を提供することであ
る。
【0008】 本発明によれば、このことは、請求項1、6、11、又は16によって達成さ
れる。さらに好ましい実施形態が従属項に規定されている。
【0009】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】 本発明は、歩留まりを改善し、製造時間を低減し、有用なトランスデューサを
生み出す基材及びその取付けプロセスに関する。これらの目的のために、トラン
スデューサ基材は、薄片又は粉体のタングステン粒子又は銀粒子が配置された粘
着性のエポキシ接着樹脂を含む。取付け方法は、エポキシ樹脂とタングステン粒
子と銀粒子との混合物を圧電材料層を含むモールドの中に注入するステップと、
混合物を脱ガスするステップと、混合物を所定時間硬化させるステップとを含む
。好ましくは、混合物は大略1.03kg/cm2の大気圧で硬化される。好まし
くは、混合物は、24時間より短い時間、硬化される。
【0010】 本発明の上記目的及び他の目的、特徴、見地、並びに利点は、以下の詳細な説
明及び添付図面を参照しながら、より理解されるようになるであろう。
【0011】
【発明の実施の形態】 図1に示すように、圧電トランスデューサのロット、すなわち「サンドイッチ
体」10は、モールド12中に注入されることによって作成される。トランスデ
ューササンドイッチ体10は、一般に、少なくとも3つの要素、すなわち圧電材
料層14、音響インピーダンス整合層16及び基材層18を含む。基材18はモ
ールド12において圧電材料14上に位置している。圧電材料14は、音響イン
ピーダンス整合層16上に位置するとともにモールド12における基材18下に
位置している。圧電材料14の境界面は、それぞれ、薄い金属被覆物13で覆わ
れている。
【0012】 好ましい実施形態において、トランスデューササンドイッチ体10は、3つの
層14,16,18にわたって導電性である。しかしながら、代りに、トランス
デューササンドイッチ体10が非導電性材料からなるようにできることは理解さ
れるべきである。同様に、サンドイッチ体10は、必ずしも、圧電トランスデュ
ーササンドイッチ体として作られている必要がない。代りの材料は、圧電層14
の製造プロセスにおいて置き換えることができる。しかしながら、ここに記載し
た好ましい実施形態において、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)14の
ような圧電材料が用いられる。
【0013】 好ましくは、モールド12内に配置する前に、金メッキ又はニッケル上への金
メッキのような金属被覆物13でPZT層14の両面が被覆されている。本出願
と同日出願された、関連の米国特許出願番号(まだ譲渡されていない、リオン・
アンド・リオンの事件整理番号224/157)で整合層をトランスデューサに
取付ける方法というタイトルの出願に開示され記載された好ましい方法によれば
、整合層16が金属被覆されたPZT層14に対して取付けられる。好ましい実
施形態において、整合層16がPZT層14に接着されたあと、層の組合せ14
,16が、整合層16を下にした状態でモールド12に配置される。基材層18
はPZT層14の上面でモールド12に注入され、脱ガスされ、乾燥されて自然
に硬化される。他の実施形態において、PZT/基材14,18を形成したあと
に、整合層が取付けられる。
【0014】 好ましい実施形態において、トランスデューササンドイッチ体10は、加圧す
ることなくモールド12中で乾燥することができる。このように、基材18は、
通常の1気圧、すなわち大略14.7ポンド・インチ-2(psi)すなわち1.03
kg/cm2で硬化する。大気圧下での乾燥時間は、1日より少なく、通常、16
時間以下である。一旦、乾燥すると、サンドイッチ体10は、モールド12から
取り除かれ、図2に示すようにひっくり返される。個々のトランスデューサ20
,22(簡略化のために2つだけが示されているが、ロット10が、通常、さら
に多くのものを生成することを理解すべきである)は、サンドイッチ体10の上
面、すなわちPZT/機械加工層16の側をスタンプすなわち機械加工して、「
ワッフル」を生成する。
【0015】 本発明によれば、基材18は、粘着性のエポキシ樹脂からなる。好ましい基材
18は、エポキシ樹脂中に混合されたタングステン粒子及び銀粒子を含む。ある
実施形態において、銀粒子は薄片である。他の実施形態において、銀粉体が使用
される。タングステン粒子は基材18の特徴的なインピーダンスを変える。ある
実施形態において、タングステン粒子の2つのサイズ、すなわち大略55ミクロ
ン及び6.6ミクロンの直径が使用され、約20ミクロンの直径の銀薄片が使用
される。好ましくは、樹脂材料に対するタングステン粒子の割合は大略40%で
あり、樹脂材料に対する銀薄片の割合は大略50%である。さらに、例えば、銅
のような他の導電性金属の薄片又は粒子は、銀と代替することができる。
【0016】 エポキシ樹脂中の銀薄片の存在によって、基材18にわたって確実な導電性が
付与され、トランスデューササンドイッチ体10の作成の間、基材混合物18を
加圧することによって、導電性を高める必要性が緩和される。しかしながら、加
圧処理がないときには、より高い割合の樹脂が硬化後に基材18に残る。しかし
、ここに開示した好ましい実施形態において、粘着性のエポキシ樹脂が用いられ
る。柔軟なカプセル型ゲルとは対照的に、エポキシ樹脂は、乾燥又は硬化時にお
いて、PZT表面14と基材18との間でより強い接着を形成する。少ない方の
個々のトランスデューサが各サンドイッチ体10からなくなる。
【0017】 加圧なしでサンドイッチ体10を硬化することは、圧力下で硬化する場合より
14〜16倍の時間がかかる。さらに、サンドイッチ体10を圧力下で硬化する
ことは、図3に示したように、所定のサンドイッチ体10にわたる基材18の音
響インピーダンスを変化させることができる。基材18の中央24dにおける音
響インピーダンスは、同心リング24cにおける音響インピーダンスと異なって
いる。それは、より大径の同心リング24bにおける音響インピーダンスと異な
っている。それは、基材18の縁24aにおける音響インピーダンスと異なって
いる。密度×音速として定義され、×106Rayls、MRayls、又は1
6kg/m2秒で測定される音響インピーダンスは、超音波圧電トランスデュー
サの基本的な設計特性である。このように、基材18の中央24dからできたト
ランスデューサ26と基材18の縁24aからできたトランスデューサ20とは
、基材18が作成時に加圧されたならば、大きくばらついた動作特性を有する。
ある実施形態において、トランスデューサは基材18からスタンプされている。
他の実施形態において、トランスデューサは基材18から機械加工されている。
【0018】 上述したように、粘着性エポキシ樹脂中に銀薄片を使用することは、導電性や
サンドイッチ体10当りの製造歩留まりを犠牲にすることなく、モールド12中
で乾燥するときに基材18を加圧することを不要にする。加圧がないと、製造処
理量を促進するとともに所定のサンドイッチ体10に対する設計確実性を改良す
るだけでなく、トランスデューサの効率を向上する。図4に示したように、音波
28,30は、リード端子36,38を経てPZT層14にわたって電気信号3
4の印加によってトランスデューサ32のPZT層14に伝わり始める。波28
,30が反対方向に伝わり、波28がトランスデューサ32の背後に向かって伝
わり、波30がトランスデューサ32の前面に向かって伝わる。トランスデュー
サ32の前面には、整合層16と接触状態にある目標物すなわち組織40がある
。その組織は、通常、大略1.5×106kg/m2秒の音響インピーダンスを有す
る。整合層16は、好ましくは約6×106kg/m2秒の音響インピーダンスを
示すように設計されている。PZT層14は、好ましくは大略33×106kg/
2秒の音響インピーダンスを有する。加圧して硬化処理するならば、基材18
は通常約20×106kg/m2秒の音響インピーダンスを達成する。しかしなが
ら、乾燥処理の間に加圧がないとき、基材18は大略7.5×106kg/m2秒の
音響インピーダンスを有する。超音波42が伝わる1対の隣接媒体の音響インピ
ーダンスがより接近すればするほど、波42が2つの媒体間の境界を横切るとき
に反射される波42の部分44が小さくなることが知られている。トランスデュ
ーサ32において、音圧波の全てがトランスデューサ32の前面に向かって伝わ
ることが理想的に好ましい。加圧なしで作成されたトランスデューサ32は、通
常、作成中に加圧されたトランスデューサより効率的である。
【0019】 図5に示すように、個々の、導電性の圧電トランスデューサ32は、好ましく
は、遠位ハウジング46を含む。整合層16がトランスデューサ32の前面、す
なわち目標物(不図示)にねらいを定めたトランスデューサの面、に面するよう
に、ハウジング46はトランスデューサ材料を保持する。PZT層14は整合層
16と基材層18との間に存する。遠位ハウジング46は例えばステンレス鋼か
らなる。第1リード線48が整合層16に接続され、第2リード線50がハウジ
ング46に接続されている。リード線48,50は伝送線(不図示)に取付けら
れ、好ましい実施形態において、電気信号が第1リード線48から整合層16、
PZT層14、基材18及び遠位ハウジング46を通って、第2リード線50ま
で伝えられる。ある実施形態において、ハウジング46は正面から背面まで大略
0.029インチ(0.074cm)である。
【0020】 図6は、圧電トランスデューサ32の他の好ましい実施形態を示している。図
6の遠位ハウジング46が導電性である必要はない。したがって、リード線50
は、基材層18の表面に直接に接続されている。そして、リード線50は、第1
リード線48と共に、遠位ハウジング46を通り抜ける。そのような実施形態に
おいて、基材層18が導電性材料からなる必要がないし、整合層16も導電性材
料からなる必要がない。
【0021】 好ましい実施形態のみが記載されているが、本発明の精神及び範囲を逸脱する
ことなく様々に変形させることは当業者には明白であろう。したがって、本発明
は特許請求の範囲に係る発明を除いて制限されるべきでない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 トランスデューササンドイッチ体を形成するために使用された材
料を含むモールドの側断面図である。
【図2】 図1のモールド中で製造されたトランスデューササンドイッチ体
の斜視図である。
【図3】 図2のトランスデューササンドイッチ体の音響像を示す図である
【図4】 図2のトランスデューササンドイッチ体から機械加工されたトラ
ンスデューサのブロック図である。
【図5】 図4に示したトランスデューサの側断面図である。
【図6】 他の実施形態に係る、図4に示したトランスデューサの側断面図
である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 デニス・メンドーサ アメリカ合衆国95376カリフォルニア州ト レーシー、デイビッド・アーネスト・コー ト2150番 (72)発明者 ベイホ・スオルサ アメリカ合衆国94087カリフォルニア州サ ニーベイル、キティマット・プレイス1402 番 Fターム(参考) 5D019 AA26 BB02 BB25 BB28 GG01

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 粘着性エポキシ樹脂と、 エポキシ樹脂中に配置された複数のタングステン粒子と、 エポキシ樹脂中に配置された複数の銀粒子と、 を備えるトランスデューサ用の基材。
  2. 【請求項2】 基材はトランスデューサの製造中に大略14.7ポンド・イ
    ンチ-2の圧力で硬化処理されることを特徴とする、請求項1記載の基材。
  3. 【請求項3】 断面表面領域をさらに備え、基材が断面表面領域にわたって
    確実に導電性を有するように、タングステン粒子及び銀粒子のそれぞれがエポキ
    シ樹脂中に配置されていることを特徴とする、請求項1記載の基材。
  4. 【請求項4】 基材が大略7.5MRaylsの音響インピーダンスを有す
    るように、タングステン粒子及び銀粒子のそれぞれがエポキシ樹脂中に配置され
    ていることを特徴とする、請求項1記載の基材。
  5. 【請求項5】 断面表面領域をさらに備え、音響インピーダンスが、上記断
    面表面領域のあらゆる所定の測定位置において、大略7.5MRaylsで測定
    可能であることを特徴とする、請求項4記載の基材。
  6. 【請求項6】 音響インピーダンス整合層と、 音響インピーダンス整合層に隣接配置されて、金属被覆物で覆われた表面を少
    なくとも1つ含む導電性圧電層と、 導電性圧電層に隣接配置されたエポキシ樹脂基材と、 エポキシ樹脂基材中に配置された複数のタングステン粒子と、 エポキシ樹脂基材を支持するハウジングと、 を備えるトランスデューサ。
  7. 【請求項7】 音響インピーダンス整合層が導電性を有することを特徴とす
    る、請求項6記載のトランスデューサ。
  8. 【請求項8】 エポキシ樹脂基材を支持するハウジングが導電性を有するこ
    とを特徴とする、請求項6記載のトランスデューサ。
  9. 【請求項9】 ハウジングが導電性リード線の少なくとも1つに接続されて
    いることを特徴とする、請求項8記載のトランスデューサ。
  10. 【請求項10】 エポキシ樹脂基材が導電性を有することを特徴とする、請
    求項6記載のトランスデューサ。
  11. 【請求項11】 エポキシ樹脂基材が、エポキシ樹脂基材中に配置された複
    数の銀粒子を備えることを特徴とする、請求項10記載のトランスデューサ。
  12. 【請求項12】 エポキシ樹脂とタングステン粒子と銀粒子とを備える混合
    物を、圧電材料層を含むモールド中に注入するステップと、 混合物を脱ガス処理するステップと、 混合物をモールド中で硬化処理するステップと、 を備えることを特徴とする、基材をトランスデューサに取付ける方法。
  13. 【請求項13】 硬化処理の間、大略1気圧で混合物を保持するステップを
    さらに備えることを特徴とする、請求項12記載の方法。
  14. 【請求項14】 混合物が、大略16時間の間、硬化処理されることを特徴
    とする、請求項12記載の方法。
  15. 【請求項15】 混合物が、24時間より短い時間、硬化処理されることを
    特徴とする、請求項12記載の方法。
  16. 【請求項16】 混合物が乾燥するまで硬化処理されることを特徴とする、
    請求項13記載の方法。
  17. 【請求項17】 圧電材料層を作成するステップと、 圧電材料層を金属被覆物で覆うステップと、 音響インピーダンス整合層を金属被覆物に接着するステップと、 音響インピーダンス整合層が被覆圧電材料層の下に位置した状態で、モールド
    中に被覆圧電材料層を配置するステップと、 エポキシ樹脂とタングステン粒子と銀粒子とを備える混合物を、被覆された圧
    電材料層の上面でモールド中に注入するステップと、 混合物をモールド中で脱ガス処理するステップと、 混合物が乾燥して被覆圧電材料層に対して接着されるまで、混合物をモールド
    中で硬化処理するステップと、 モールドの在中物を取り除くステップと、 を備えることを特徴とする、圧電トランスデューサの製造方法。
  18. 【請求項18】 硬化するまで大略1気圧で混合物を保持するステップを備
    えることを特徴とする、請求項17記載の方法。
  19. 【請求項19】 混合物が、24時間より短い時間、硬化処理されることを
    特徴とする、請求項17記載の方法。
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