JP2002354852A - 超音波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 皿ばねの振動を低減し、ビビリ音の発生を低
減することができる超音波モータを提供する。 【解決手段】 超音波モータ１には圧電素子12により振
動するステータ10と、ステータ10の振動を受けて回転す
るロータ16とが備えられている。ロータ16には一体回転
する回転軸６が固定され、回転軸６にはプレート19が所
定位置より上動不能に取り付けられている。プレート19
には、ロータ16をステータ10側に加圧する全周に渡って
断面略Ｖ字形状の皿ばね１８が当接している。プレート
19の円板部の下面19ａには、径方向外側部に、下方に突
出する複数個の突部26が同一円周上に形成されている。
各突部26は不等ピッチで周方向長さが不均一に形成さ
れ、プレート19の円周の１２０°に少なくとも１個存在
するように形成されている。各突部26の下面は皿ばね18
と接触する接触面27になっており、各接触面27は同一平
面上に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】超音波モータには、圧電素子によりステ
ータが振動すると、この振動を受けてロータが回転し、
ロータに一体に固定された回転軸が回転するものがあ
る。回転軸にはプレートが取り付けられ、プレートとロ
ータの間には、ロータをステータに加圧する皿ばねが備
えられている。例えば、図５（ａ）に示すように、皿ば
ね５１は、大径部５１ａが図示しない回転軸に取り付け
られたプレート５２に押し当てられ、小径部５１ｂが図
示しないロータに固定された絶縁カラーに押し当てられ
ることによってロータをステータに加圧し、ステータの
振動をロータに伝わりやすくしている。図５（ｂ）に示
すように、プレート５２の皿ばね５１との接触面５３は
平面になっており、皿ばね５１は環状の大径部５１ａの
全周で接触面５３に押し当てられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、プレート５
２は接触面５３が平面になっており、皿ばね５１の環状
の大径部５１ａと全周で接触する構造上、皿ばね５１の
共振を誘発しやすくなっていた。そのため、超音波モー
タの作動時に皿ばね５１が振動しやすく、ビビリ音が発
生するという問題があった。

【０００４】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的は、皿ばねの振動を低減
し、ビビリ音の発生を低減することができる超音波モー
タを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明は、圧電素子により振動す
る振動部材と、前記振動部材の振動を受けて回転するロ
ータと、前記ロータから離れる方向に移動制限された保
持部を有するとともに前記ロータに一体に固定された回
転軸と、前記保持部と接触して前記ロータを前記振動部
材側に加圧する全周に渡って断面略Ｖ字形状の皿ばねと
を備えた超音波モータであって、前記皿ばねは、前記圧
電素子の振動モードでの振動状態で前記保持部と不均等
に接触することを要旨とする。

【０００６】この発明によれば、皿ばねは、圧電素子の
振動モードでの振動状態で保持部と不均等に接触するた
め、振動が増加されにくい。ここで、皿ばねが保持部と
不均等に接触するとは、３６０°を圧電素子の振動モー
ドの山数で割った角度の等間隔の点全部で皿ばねが保持
部と接触する領域が、皿ばねの全周に渡る従来技術に比
べて減少するように接触することである。例えば、圧電
素子に発生する進行波振動の基本モードが９山の場合、
振動モードが３×ｎ（ｎ＝１，２，３，…）の際に、皿
ばねは、１２０°間隔の３点全部、６０°間隔の６点全
部、４０°間隔の９点全部等のように、３６０°を３×
ｎで割った角度の等間隔の点全部で保持部と接触する領
域が、従来技術に比べて減少するように接触する。従っ
て、超音波モータの作動時に圧電素子の振動が振動部
材、ロータを介して皿ばねに伝わっても皿ばねの振動の
増加が抑えられ、ビビリ音の発生が低減される。

【０００７】請求項２に記載の発明は、圧電素子により
振動する振動部材と、前記振動部材の振動を受けて回転
するロータと、前記ロータに一体に固定された回転軸
と、前記回転軸に取り付けられ、前記ロータから離れる
方向に移動制限されたプレートと、該プレートと接触
し、前記ロータを前記振動部材側に加圧する全周に渡っ
て断面略Ｖ字形状の皿ばねとを備えた超音波モータであ
って、前記プレートに、前記圧電素子の振動モードでの
振動状態の前記皿ばねと不均等に接触する接触部を設け
たことを要旨とする。

【０００８】この発明によれば、請求項１の発明の作用
効果と同様に、皿ばねは、圧電素子の振動モードでの振
動状態でプレートと不均等に接触するため振動されにく
くなり、ビビリ音の発生が低減される。又、圧電素子の
振動モードの状態の皿ばねと不均等に接触する接触部を
設けたのはプレート側であって、皿ばねは変形されてい
ないため、皿ばね自体の加圧力が確保され、ロータを振
動部材に加圧する加圧力が確保された状態でビビリ音の
発生が低減される。

【０００９】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、前記皿ばねと接触する前記プレートの
接触部を、凹凸形状に形成したことを要旨とする。この
発明によれば、接触部はプレートを凹凸形状にする簡単
な工程で作成される。

【００１０】請求項４に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、前記プレートは板材からなり、前記皿
ばねと接触する前記プレートの接触部は、前記板材の打
ち抜き加工により形成されることを要旨とする。この発
明によれば、接触部はプレートを打ち抜き加工する一層
簡単な工程で作成される。

【００１１】請求項５に記載の発明は、請求項２〜請求
項４のいずれかに記載の発明において、前記プレート
は、少なくとも１２０°に１箇所前記皿ばねと接触する
形状に形成されていることを要旨とする。この発明によ
れば、皿ばねとプレートとは１２０°より小さな間隔で
接触するため、皿ばねがロータを加圧する加圧力がアン
バランスにならないようにできる。

【００１２】

【発明の実施の形態】（第１の実施形態）以下、本発明
を具体化した第１の実施形態を図１及び図２に従って説
明する。

【００１３】図１は超音波モータの断面図を示し、図２
は皿ばねとプレートの模式図を示す。図１に示すよう
に、超音波モータ１のハウジング２は基台３とカバー４
とから構成されている。基台３は、ラジアルボールベア
リング５を保持するための軸受保持部３ａと、その軸受
保持部３ａの内側開口端から内側に延出形成された膨出
部３ｂと、回転軸６を挿通するための貫通孔３ｃとを備
えている。膨出部３ｂには、後記するステータ１０を固
定するためにねじ孔３ｄが設けられている。

【００１４】カバー４の上部には、すべり軸受７を保持
するための軸受保持部４ａが形成され、更にその中央部
分には回転軸６を挿通する貫通孔４ｂが形成されてい
る。そして、回転軸６は、軸受保持部３ａ，４ａにより
それぞれ保持されたラジアルボールベアリング５とすべ
り軸受７を介してハウジング２に対して回転可能に支持
されている。

【００１５】又、基台３の膨出部３ｂの上面には回転軸
６を挿通する円環状の絶縁プレート８が載置され、更に
その上面には円環状の金属基板９をロウ付けした振動部
材としてのステータ１０が載置されている。

【００１６】ステータ１０は、圧延鋼板、例えば冷間圧
延鋼板（ＳＰＣＣ）よりなり、その中央には回転軸６を
挿通するための貫通孔１０ａが形成されている。ステー
タ１０において、基台３の膨出部３ｂと対応する部分を
固定部１０ｂとし、その固定部１０ｂにおける膨出部３
ｂのねじ孔３ｄと対応する位置にはねじ貫通孔１０ｃが
設けられている。又、ステータ１０の外周部の断面はク
ランク状に屈曲形成され、上方に屈曲した部分を延出部
１０ｄとし、該延出部１０ｄの先端から外側に水平に延
びた部分を振動板部１０ｅとしている。さらに、ステー
タ１０において、延出部１０ｄを介してその振動板部１
０ｅと固定部１０ｂとを連結する水平部分を振動減衰部
１０ｆとしている。延出部１０ｄにおけるステータ１０
の外周部下面には円環状のベースリング１１がロウ付け
にて接合されている。そして、ベースリング１１の下面
には後述する圧電素子１２等が接着剤にて接着されてい
る。

【００１７】ステータ１０は、ねじ貫通孔１０ｃにねじ
１３が嵌挿され、該ねじ１３の先端が基台３の膨出部３
ｂに設けられたねじ孔３ｄに螺合されることにより基台
３に固定される。なお、金属基板９とねじ１３は絶縁ワ
ッシャ１４を介して連結され、ステータ１０と基台３の
膨出部３ｂとは、絶縁プレート８及び絶縁ワッシャ１４
によって電気的に絶縁状態となっている。

【００１８】ステータ１０の上面には、ライニング材１
５を設けたステンレス又はアルミニウム合金よりなるロ
ータ１６が配置され、振動板部１０ｅの上面に当接する
ようになっている。

【００１９】ロータ１６は、その中央に嵌合孔１６ａが
形成されている。該嵌合孔１６ａには、絶縁カラー１７
が嵌着されている。そして、絶縁カラー１７とロータ１
６とは、相対回転不能に組付けられている。又、絶縁カ
ラー１７は、その中央に嵌合孔１７ａが形成されてい
る。該嵌合孔１７ａには回転軸６が相対回転不能に嵌合
連結されている。即ち、ロータ１６は、絶縁カラー１７
を介して回転軸６に対して回転不能に組付けられてい
る。

【００２０】又、絶縁カラー１７の上面は、皿ばね１８
と、保持部としてのプレート１９とからなる加圧弾性部
材２０により圧接されている。略円板状のプレート１９
は、回転軸６に対して回転不能に、かつサークリップ２
１により所定位置より上動不能に取り付けられている。

【００２１】皿ばね１８は全周に渡って断面略Ｖ字形状
に形成されており、大径部２２がプレート１９の径方向
外側部と圧接され、小径部２３が絶縁カラー１７に圧接
されている。皿ばね１８は、絶縁カラー１７とプレート
１９とにより軸線方向に圧縮変形されており、皿ばね１
８の付勢力によって、ロータ１６はステータ１０に所定
の圧接力で圧接されている。

【００２２】プレート１９の上面には、位置センサの被
検出部としての円環状のマグネット２４が接着剤で接着
されている。カバー４には、マグネット２４の上面と対
向する位置に、位置センサとしてのホール素子２５が取
り付けられている。マグネット２４は、周方向に隣り合
う磁極がそれぞれ逆となるように複数個に分割して磁極
処理されている。ロータ１６の回転角度は、ロータ１６
と一体に回転するマグネット２４の各磁極がホール素子
２５によって検出されることにより計測される。

【００２３】プレート１９の円板部の下面１９ａには、
径方向外側部に、接触部を形成する複数個（この実施形
態では６個）の突部２６が同一円周上に形成され、各突
部２６は下方に突設されている。各突部２６は不等ピッ
チで形成され、プレート１９の円周の１２０°に少なく
とも１個存在するように形成されている。各突部２６の
周方向長さは不均一であり、突部２６は大きなもので
も、プレート１９の円周の角度６０°に対応する部分よ
り小さく形成されている。各突部２６の下面は、皿ばね
１８と接触する接触面２７になっている。各接触面２７
は同一平面上に形成され、皿ばね１８の大径部２２と圧
接されている。

【００２４】次に、上記のように構成された超音波モー
タの作用について説明する。図示しないコントローラか
ら所定の高周波駆動電圧が圧電素子１２に印加される
と、圧電素子１２が振動され、ベースリング１１及びス
テータ１０の延出部１０ｄを介してロータ１６との接触
部である振動板部１０ｅに進行波振動が発生される。そ
して、振動板部１０ｅに圧接されたロータ１６はその進
行波振動に基づいて回転し、回転軸６を一体回転させ
る。この実施形態では、圧電素子１２には９山の進行波
振動が発生される。

【００２５】ロータ１６を回転させる振動板部１０ｅの
進行波振動はロータ１６を介して皿ばね１８に伝えら
れ、皿ばね１８が振動される。振動板部１０ｅに発生す
る進行波振動の基本モードは９山であって、皿ばね１８
は３×ｎ（ｎ＝１，２，３，…）の振動モードで振動さ
れやすくなっている。即ち、皿ばね１８は、１２０°間
隔（ｎ＝１）の３点全部、６０°間隔（ｎ＝２）の６点
全部、４０°間隔（ｎ＝３）の９点全部等でプレート１
９と接触すると振動されやすく、ビビリ音が発生され
る。

【００２６】しかし、皿ばね１８は、周方向に不等ピッ
チで不均一な長さに形成された突部２６の接触面２７で
プレート１９と接触している。従って、１２０°間隔の
３点全部、６０°間隔の６点全部、４０°間隔の９点全
部等でプレート１９と接触する領域は、プレート５２の
全周に渡って皿ばね５１と接触していた従来技術に比べ
て少なくなっている。このため、皿ばね１８は振動の発
生が低減され、ビビリ音の発生が低減される。

【００２７】この実施形態によれば、以下のような効果
を有する。 （１）皿ばね１８は、周方向に不等ピッチで不均一な長
さに形成された突部２６の接触面２７でプレート１９と
接触しているため、１２０°間隔の３点全部、６０°間
隔の６点全部、４０°間隔の９点全部等のように、３６
０°を３×ｎで割った角度の等間隔の点全部でプレート
１９と接触する領域は、プレート５２の全周に渡って皿
ばね５１と接触していた従来技術に比べて少なくなって
いる。従って、圧電素子１２によるステータ１０の振動
がロータ１６を介して皿ばね１８に伝わっても、皿ばね
１８の振動の発生を低減でき、ビビリ音の発生を低減で
きる。

【００２８】（２）突部２６が形成されたのはプレート
１９であって、皿ばね１８自体の形状は変形されていな
いため、皿ばね１８の加圧力は変化されず、ロータ１６
をステータ１０に加圧する加圧力を確保した状態でビビ
リ音の発生を低減できる。

【００２９】（３）突部２６はプレート１９の１２０°
間隔に少なくても一箇所形成されており、皿ばね１８と
プレート１９とは、少なくとも１２０°に１箇所で接触
する。従って、皿ばね１８がロータ１６を加圧する加圧
力がアンバランスにならないようにできる。

【００３０】（４）プレート１９は、突部２６の下面と
しての接触面２７で皿ばね１８と接触するため、プレー
ト１９が周方向に不等ピッチで不均一な長さの接触面２
７で皿ばね１８と接触する形状を、突部２６を形成する
簡単な工程で作成できる。

【００３１】（第２の実施形態）次に、第２の実施形態
を図３に従って説明する。この実施形態では、プレート
の形状が前記実施形態と異なっている。前記実施形態と
同様の部分については同一番号を付してその詳細な説明
を省略する。

【００３２】図３はこの実施形態のプレートの模式図を
示す。図３に示すように、プレート３１には、突部２６
が形成されず、接触部を形成する複数個（この実施形態
では９個）のスリット３２が不等ピッチで形成されてい
る。各スリット３２は略同一形状に形成されている。プ
レート３１の径方向外側部は、スリット３２によって、
複数個（この実施形態では９個）の略扇状の接触部３３
に分割され、各接触部３３の下面は、皿ばね１８の大径
部２２と接触する接触面３４になっている。

【００３３】プレート３１の各接触面３４は、プレート
１９の各接触面２７と比べると、周方向の皿ばね１８と
の接触領域が広くなっている。しかし、各接触面３４が
周方向に不均一な長さに形成されているため、皿ばね１
８の振動の発生が低減され、ビビリ音の発生が低減され
る。

【００３４】この実施形態によれば、前記第１の実施形
態の（１）〜（３）の効果の他に、次の効果を有する。 （５）プレート３１は板材からなり、周方向に不等ピッ
チで不均一な長さの各接触部３３の各接触面３４は、板
材を打ち抜き加工してスリット３２を形成することによ
って作成されるため、第１の実施形態のプレート１９の
ように突部２６を形成する場合に比べて、板材を打ち抜
き加工する一層簡単な工程で作成できる。

【００３５】（第３の実施形態）次に、第３の実施形態
を図４に従って説明する。この実施形態では、プレート
の形状が主に前記実施形態と異なっている。前記実施形
態と同様の部分については同一番号を付してその詳細な
説明を省略する。

【００３６】図４に示すように、プレート４１の下面に
は、スリット３２が形成されていた箇所と略同じ箇所
に、接触部を形成する複数個（この実施形態では９個）
の凹部４２が不等ピッチで形成されている。プレート３
１と同様に、プレート４１の径方向外側部は、凹部４２
によって、複数個（この実施形態では９個）の略扇状の
接触部４３に形成され、各接触部４３の下面は、皿ばね
１８の大径部２２と接触する接触面４４になっている。
皿ばね１８はプレート４１の接触面４４と接触し、プレ
ート３１の接触面３４と接触する場合と同様に振動の発
生が低減され、ビビリ音の発生が低減される。

【００３７】この実施形態によれば、前記実施形態の
（１）〜（３）の効果の他に、次の効果を有する。 （６）プレート４１は、凹部４２間の接触面４４で皿ば
ね１８と接触するため、プレート４１が周方向に不等ピ
ッチで不均一な長さの接触面４４で皿ばね１８と接触す
る形状を、凹部４２を形成する簡単な工程で作成でき
る。

【００３８】（７）プレート４１は第２の実施形態のプ
レート３１と異なり、プレートを打ち抜くスリットが形
成されず、凹部４２が形成されることによって接触面４
４が形成されているため、必要な強度を確保した状態で
プレートの厚さを薄くできる。

【００３９】なお、実施形態は上記各実施形態に限定さ
れるものではなく、例えば以下のように変更してもよ
い。 ・第２の実施形態のプレート３１のようにスリット３２
のみが形成されたり、第３の実施形態のプレート４１の
ように凹部４２のみが形成されることに限らず、１個の
プレートにスリット３２と凹部４２とを混在するように
形成してもよい。

【００４０】・突部２６はプレートの少なくとも１２０
°間隔に１個形成されることに限らず、１２０°より広
い間隔で形成してもよい。 ・保持部は、回転軸と別体のプレート１９，３１，４１
等に限らず、例えば、回転軸に一体に形成されたフラン
ジであってもよい。

【００４１】・保持部は、例えば、回転軸から放射状に
延びる複数個のバーによって構成されてもよい。 ・プレートは、打ち抜き加工により、径方向外側端部が
開放されたスリット３２が形成されることに限らず、貫
通孔を打ち抜き加工によって形成してもよい。

【００４２】・突部２６、スリット３２、凹部４２等
は、３６０°を圧電素子の振動モードの山数で割った角
度の等間隔の点全部、例えば、１２０°間隔の３点全
部、６０°間隔の６点全部、４０°間隔の９点全部等で
皿ばねとプレートとが接触する接触面が存在しないよう
に形成してもよい。

【００４３】・圧電素子の進行波振動の基本モードは９
山に限らず、他の山数の進行波振動を発生させてもよ
い。即ち、皿ばねとプレートとの接触面で避ける振動モ
ードは３×ｎに限らず、他の振動モードであってもよ
い。これらの場合でも、プレートに突部、スリット、凹
部等を形成することによって、３６０°を圧電素子の振
動モードの山数で割った角度の等間隔の点全部で皿ばね
とプレートとが接触する領域をプレート５２の全周に渡
って皿ばね５１と接触していた従来技術に比べて少なく
なるように接触面を形成することにより、皿ばねの振動
の発生を抑え、ビビリ音の発生を低減できる。

【００４４】・突部、スリット、凹部等は不等ピッチに
形成されることに限らず、３６０°を圧電素子の振動モ
ードの山数で割った角度の等間隔の点全部で皿ばねとプ
レートとが接触する領域が従来技術に比べて少なくなる
ように接触面を形成するのであれば、等ピッチに形成し
てもよい。

【００４５】・３６０°を圧電素子の振動モードの山数
で割った角度の等間隔の点全部で皿ばねとプレートとが
接触する領域が従来技術に比べて少なくなるように接触
面は、プレートに形成されることに限らず、皿ばねに形
成してもよい。

【００４６】・皿ばねは、大径部がプレートに圧接さ
れ、小径部がロータに圧接されるように配置されること
に限らず、例えば、小径部がプレートに圧接されて大径
部がロータに圧接されるように配置し、プレートには小
径部と対向する位置に、周方向に不等ピッチで不均一な
接触面を形成してもよい。

【００４７】・マグネット２４は、プレートの上面に接
着剤等により接着されることに限らず、凹凸の関係で係
合する係合部をプレートとマグネットとにそれぞれ形成
し、両係合部を係合することによってマグネットをプレ
ートに取り付けてもよい。例えば、マグネットに嵌合突
部を形成するとともにプレートに嵌合凹部を形成し、嵌
合凹部に嵌合突部を嵌合させることにより、マグネット
をプレートに取り付けてもよい。

【００４８】上記各実施形態から把握できる技術的思想
について、以下に追記する。 （１） 請求項３に記載の発明において、前記凹凸形状
は、不等ピッチに形成されている。

【００４９】（２） 請求項３に記載の発明において、
前記凹凸形状は、等ピッチに形成されている。 （３） 請求項３、前記技術的思想（１）及び（２）の
いずれかに記載の発明において、前記凹凸形状は、前記
プレートの前記皿ばねと対向する面に突部が複数個形成
されることによって形成され、各突部の端面が同一平面
上に形成され、前記端面が前記皿ばねと接触している。

【００５０】（４） 請求項４に記載の発明において、
前記プレートの接触部は、前記板材を打ち抜いてスリッ
トを形成することによって作成されている。 （５） 請求項３、前記技術的思想（１）及び（２）の
いずれかに記載の発明において、前記凹凸形状は、前記
プレートの径方向外側部に凹部が複数個形成されること
によって形成されている。

【００５１】（６） 請求項２〜請求項５及び前記技術
的思想（１）〜（５）のいずれかに記載の発明におい
て、前記プレートには、位置センサの被検出部が設けら
れている。

【００５２】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１〜請求項
５に記載の発明によれば、皿ばねの振動を低減し、ビビ
リ音の発生を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】超音波モータの断面図。

【図２】皿ばねとプレートの模式図。

【図３】第２の実施形態のプレートの模式図。

【図４】第３の実施形態のプレートの模式図。

【図５】（ａ）は従来の皿ばねとプレートの模式図、
（ｂ）はプレートの模式図。

【符号の説明】

１…超音波モータ、６…回転軸、１０…振動部材として
のステータ、１２…圧電素子、１６…ロータ、１８…皿
ばね、１９，３１，４１…保持部としてのプレート、２
６…凹凸形状を構成する突部、２７，３４，４４…接触
面、３２…接触部を形成するスリット、３３，４３…接
触部、４２…別の凹凸形状を構成する凹部。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電素子により振動する振動部材と、前
   記振動部材の振動を受けて回転するロータと、前記ロー
   タから離れる方向に移動制限された保持部を有するとと
   もに前記ロータに一体に固定された回転軸と、前記保持
   部と接触して前記ロータを前記振動部材側に加圧する全
   周に渡って断面略Ｖ字形状の皿ばねとを備えた超音波モ
   ータであって、前記皿ばねは、前記圧電素子の振動モー
   ドでの振動状態で前記保持部と不均等に接触することを
   特徴とする超音波モータ。
2. 【請求項２】 圧電素子により振動する振動部材と、前
   記振動部材の振動を受けて回転するロータと、前記ロー
   タに一体に固定された回転軸と、前記回転軸に取り付け
   られ、前記ロータから離れる方向に移動制限されたプレ
   ートと、該プレートと接触し、前記ロータを前記振動部
   材側に加圧する全周に渡って断面略Ｖ字形状の皿ばねと
   を備えた超音波モータであって、前記プレートに、前記
   圧電素子の振動モードでの振動状態の前記皿ばねと不均
   等に接触する接触部を設けたことを特徴とする超音波モ
   ータ。
3. 【請求項３】 前記皿ばねと接触する前記プレートの接
   触部を、凹凸形状に形成したことを特徴とする請求項２
   に記載の超音波モータ。
4. 【請求項４】 前記プレートは板材からなり、前記皿ば
   ねと接触する前記プレートの接触部は、前記板材の打ち
   抜き加工により形成されることを特徴とする請求項２に
   記載の超音波モータ。
5. 【請求項５】 前記プレートは、少なくとも１２０°に
   １箇所前記皿ばねと接触する形状に形成されていること
   を特徴とする請求項２〜請求項４のいずれかに記載の超
   音波モータ。