JP2002338917A

JP2002338917A - フォトマスク保護用粘着テープの製造方法

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Publication number: JP2002338917A
Application number: JP2001152690A
Authority: JP
Inventors: Mitsuru Ozasa; 満小笹
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Current assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 2001-05-22
Filing date: 2001-05-22
Publication date: 2002-11-27
Anticipated expiration: 2021-05-22
Also published as: JP3704296B2

Abstract

(57)【要約】【課題】アルコールクリーニングを行っても離型効果
の低下がなく、しかも剥離時に粘着剤の糊残りを起こさ
ずに剥離することが可能なフォトマスク保護用粘着テー
プの製造方法を提供する。【解決手段】製造方法として、基材フィルム１の一面
にアンカー剤を塗工してアンカー層２を設けた後、別途
セパレータ４上に形成した粘着剤層３面を基材フィルム
１の他面にラミネートし、次いでアンカー層２上に離型
剤を塗工する方法を採用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回路形成工程等に
おいて粘着性を有するフォトレジストに密着させて使用
するフォトマスク保護用粘着テープの製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、プリント配線板を作製する際
に、液状フォトレジスト等の粘着性を有するフォトレジ
ストが使用されている。このような粘着性を有するフォ
トレジストに密着して使用される露光用フォトマスクの
表面の汚れや損傷等から保護する目的で、従来よりポリ
エステル基材よりなるフォトマスク保護用粘着テープが
用いられている。しかし、液状フォトレジストは粘着性
を有するため、フォトマスク保護用粘着テープにフォト
レジストが付着したりして、露光後レジストからフォト
マスクを剥離し難くなるという問題点があった。

【０００３】このような問題点を解決するために、フォ
トマスク保護用粘着テープの基材に離型剤をコーティン
グして、シリコーン系離型剤層を設けたものが提案され
ている（実開平３−１１４８４５号公報）。しかしなが
ら、この離型剤層付きフォトマスク保護用粘着テープで
あっても、使用する度に離型剤層に付着したフォトレジ
ストかすをクリーニングするためにアルコールで拭き取
る必要があり、その際離型剤が脱落することがあり、離
型効果が著しく低下することがあった。このため、離型
剤層と基材との密着性を向上させる目的でアンカー剤
（シランカップリング剤）を使用する方法が採用されて
いる。即ち、従来のフォトマスク保護用粘着テープの製
造方法は、基材にアンカー剤を塗布し、その上に離型剤
層を形成した後、他面に粘着剤層を形成するのが通常で
あった。

【０００４】ところで、回路基板の凹凸が著しいソルダ
ーレジスト工程での露光では５００ショット程度使用し
た場合、回路基板の凹凸がフォトマスク保護用粘着テー
プ側に痕跡として残るため、フォトマスク保護用粘着テ
ープを剥離して取り替える必要があった。ところが、こ
のようなフォトマスク保護用粘着テープを剥離する際
に、フォトマスク側に粘着剤が糊残りするという問題点
があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
問題点に鑑み、アルコールクリーニングを行っても離型
効果の低下がなく、しかも１，０００ショットの露光後
においても、粘着剤の糊残りを起こさずに剥離すること
が可能なフォトマスク保護用粘着テープの製造方法を提
供することにあり、更にこの検討の過程において、製造
条件によっては粘着テープに白い塗布むらによる外観不
良現象を来す場合があることを知見し、これを抑制する
製造方法を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のフォトマスク保
護用粘着テープの製造方法は、透明な合成樹脂基材フィ
ルムの片面に粘着剤層が設けられ、他面にアンカー層と
剥離層とがこの順に設けられてなるフォトマスク保護用
粘着テープを製造する際に、基材フィルムの一面にアン
カー剤を塗工してアンカー層を設けた後、別途セパレー
タ上に形成した粘着剤層面を基材フィルムの他面にラミ
ネートし、次いでアンカー層上に離型剤を塗工すること
を特徴とする。

【０００７】以下に、本発明の製造方法を図面を参照し
ながら詳細に説明する。まず、基材フィルム１の一面に
アンカー層２を形成する（図１参照）。アンカー層２
は、基材フィルム１と後述する離型剤層との密着性を向
上させるためのものであり、この２層積層体はロール状
に巻き取って保管することも可能である。次いで、図２
に示したように、別途セパレータ４上に形成した粘着剤
層３面を、上記２層積層体の基材フィルム１の他面にラ
ミネートする。この場合もラミネート後にロール状に巻
き取って保管してもよく、引き続く次工程に供給しても
よい。さらに、アンカー層２上に離型剤を塗工して離型
剤層５を設けることにより、図３に示したフォトマスク
保護用粘着テープが得られる。

【０００８】上記基材フィルムとしては、透明性を有す
るものであれば特に制限はなく、例えば、ポリエチレン
テレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン、ポリエチ
レン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリカーボネー
ト、トリアセテート、ポリイミド等の透明なフィルムが
好適に用いられる。上記基材フィルムの厚みは、光透過
性、取扱い性等を考慮して、適宜決定することが好まし
い。

【０００９】上記アンカー層は、アンカー剤を塗工、乾
燥することによって形成することができる。アンカー剤
としては、例えば特開平６−１７９７６３号公報に開示
されている如き、下記（１）式で表されるシランカップ
リング剤が好適に用いられる。

【００１０】

【化１】

【００１１】式中、ＸはＣＨ₃、ＹはＯＣＨ₃、Ｚは
(ＣＨ₂)₃-ＯＣＨ₂-ＣＨ₂-ＯＨをそれぞれ示す。また、
ｎは１７、ｍは３、ｐは２の整数をそれぞれ示す。上記
アンカー剤の塗工方法は、特に制限がなく、従来公知の
塗工装置が使用可能である。

【００１２】上記セパレータとしては、例えば、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリカーボネート等の樹脂フィ
ルムに、シリコーン系離型剤等により離型処理を施した
ものを用いることが好ましい。

【００１３】本発明で用いられる粘着剤は、特に制限は
ないが、透明性を考慮するとアクリル系粘着剤が好まし
い。アクリル系粘着剤としては、（メタ）アクリル酸エ
ステルモノマーと官能基含有モノマーとの共重合体から
なるアクリル系ポリマーを主成分とするものが好まし
く、重合方法については特に制限はない。

【００１４】上記（メタ）アクリル酸エステルモノマー
としては、例えば、エチルアクリレート、ブチルアクリ
レート、２−エチルヘキシルアクリレート等が挙げら
れ、官能基含有モノマーとしては、例えば、アクリル
酸、メタクリル酸等が挙げられる。

【００１５】上記アクリル系粘着剤としては、アクリル
系ポリマー内部に一部架橋構造をもつものが好ましい。
架橋構造をもつことによって粘着剤の凝集力が高められ
るので、テープ剥離時に糊残りし難くなる。このような
架橋構造は、前記官能基含有モノマーと反応し得る架橋
剤の使用によって形成することができ、架橋剤として
は、例えば、エポキシ架橋剤、脂肪族又は芳香族イソシ
アネート系架橋剤等が好適に用いられる。

【００１６】上記セパレータ上に粘着剤層を形成する方
法としては、例えば、ロールコーター、コンマコーター
等を用いて、セパレータの片面に粘着剤を直接塗工し乾
燥する方法や、一旦離型紙上に同様の方法で粘着剤層を
設けた後セパレータの片面へ転写する方法などが用いら
れる。

【００１７】本発明の製造方法によると、まず、基材フ
ィルムの一面にアンカー層を設けた後で基材フィルムの
他面に粘着剤層を積層するので、アンカー剤塗工面は汚
染されていないため、アンカー剤の塗布むらによる白化
が起こらない。また、粘着剤層を積層した後で離型剤層
を塗工するので、基材フィルムの粘着剤層積層面は離型
剤の移行による汚染を受けていないので、密着不良現象
を防止できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明をさらに詳しく説明するた
め以下に実施例を挙げるが、本発明はこれら実施例のみ
に限定されるものではない。（実施例１）ＰＥＴ基材フィルム（三菱化学ポリエステ
ルフィルム社製「Ｋ２３０−６Ｅ」、５．６μｍ厚）の
片面に、上記（１）式で表されるシランカップリング剤
〔式中、ＸはＣＨ₃、ＹはＯＣＨ₃、Ｚは (ＣＨ₂)₃-Ｏ
ＣＨ₂-ＣＨ₂-ＯＨをそれぞれ示し、ｎは１７、ｍは３、
ｐは２の整数をそれぞれ示す〕をＭＥＫ及びｎ−ブタノ
ールの混合溶剤で５重量％の固形分濃度に希釈した後、
乾燥後の厚みが０．０５μｍとなるように塗布し、１３
０℃で１分間乾燥してアンカー層を形成した。別途、一
方の面にシリコーン離型剤層が形成されたセパレータ
（リンテック社製「２５１１」）上に、イソシアネート
架橋タイプのアクリル系粘着剤（綜研化学社製「ＳＫダ
イン１４２５」）をトルエンで１０重量％の固形分濃度
に希釈して塗工後、１２０℃で３０秒間乾燥して乾燥後
の厚み３．５μｍの粘着剤層を設けた。次いで、上記粘
着剤層をＰＥＴ基材フィルムのもう一方の面に積層した
後、アンカー層上に白金触媒による付加反応型シリコー
ン離型剤（信越化学社製「ＫＳ−７７２」）をトルエン
で５重量％の固形分濃度に希釈して、塗布量１ｇ／ｍ²
の割合で塗工後１５０℃で１分間乾燥して離型剤層を設
け、フォトマスク保護用粘着テープを得た。

【００１９】（比較例１）ＰＥＴ基材フィルム（実施例
１と同様）の片面に実施例１と同様にしてアンカー層を
形成した後、実施例１と同様にしてシリコーン離型剤を
塗工、乾燥し、一旦ロール状に巻き取った。次いで、ア
ンカー層を有するＰＥＴ基材フィルムの他面に、実施例
１と同様にして粘着剤層を積層し、フォトマスク保護用
粘着テープを得た。

【００２０】（比較例２）ＰＥＴ基材フィルム（実施例
１と同様）の片面に、実施例１と同様にして粘着剤層を
積層した後、ＰＥＴ基材フィルムのもう一方の面に実施
例１と同様にしてアンカー層を形成し、一旦ロール状に
巻き取った。次いで、アンカー層上に実施例１と同様に
してシリコーン離型剤を塗工、乾燥し、フォトマスク保
護用粘着テープを得た。

【００２１】上記実施例及び比較例で得られたフォトマ
スク保護用粘着テープにつき、下記項目の性能評価を行
い、その結果を表１に示した。（１）外観フォトマスク保護用粘着テープの外観を目視観察し、透
明性及び白化の有無を評価した。

【００２２】（２）糊残り率フォトマスク保護用粘着テープのセパレータを剥離し、
粘着剤層側に銀塩ネガフィルムをラミネーターを用いて
貼合わせ、４０℃のオーブンに２４時間入れた後取り出
し常温で３０分間放冷した。次いで、フォトマスク保護
用粘着テープを９０度方向に手で剥離し、フォトマスク
保護用粘着テープを貼付けた全面積に対する糊残り部分
の面積を百分率で表示した。糊残り率（％）＝（糊残り部分の面積／貼付けた全面
積）×１００

【００２３】（３）耐エタノール性エタノール１ｇを吸収させて湿らせた脱脂綿で２００ｇ
の重りをくるんだものを、フォトマスク保護用粘着テー
プの離型剤塗布面に載せ５０回及び１００回往復移動さ
せた後、一方の粘着面に平滑な板を貼合わせた両面粘着
テープ（積水化学社製「＃５７０」）のもう一方の粘着
面を、フォトマスク保護用粘着テープの離型剤塗布面に
重ね合わせ、２ｋｇのローラーで押圧して貼合わせ、評
価用試料を作製した。この評価用試料について、剥離速
度３００ｍｍ／分でフォトマスク保護用粘着テープの１
８０度剥離試験を行い、剥離強度を測定した。初期値に
比べて剥離強度増加量の少ないものが良好である。

【００２４】

【表１】

【００２５】実施例１では、外観、糊残り及び耐エタノ
ール性のいずれの項目においても、良好な結果が得られ
た。これに対して、比較例１では糊残りが起こった。こ
れは離型剤層表面のシリコーン離型剤が基材の反対面へ
移行して、その表面を汚染したためと思われる。また、
比較例２では、アンカー剤塗布後に白い塗布むらが認め
られた。これは粘着剤層形成用セパレータの背面が自身
のシリコーン離型剤により汚染され、これがさらに基材
のアンカー剤塗布面へ移行して、アンカー剤と何らかの
反応を起こしたためと考えられる。

【００２６】

【発明の効果】本発明のフォトマスク保護用粘着テープ
の製造方法は、上述の構成であり、外観、糊残り及び耐
エタノール性の各性能が共に優れたフォトマスク保護用
粘着テープを提供する。

【図面の簡単な説明】

【図１】基材フィルムの一面にアンカー層が形成された
状態を示す模式断面図である。

【図２】基材フィルムのもう一方の面に粘着剤層が積層
された状態を示す模式断面図である。

【図３】フォトマスク保護用粘着テープをを示す模式断
面図である。

【符号の説明】

１基材フィルム２アンカー層３粘着剤層４セパレータ５離型剤層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明な合成樹脂基材フィルムの片面に粘
着剤層が設けられ、他面にアンカー層と剥離層とがこの
順に設けられてなるフォトマスク保護用粘着テープを製
造する際に、基材フィルムの一面にアンカー剤を塗工し
てアンカー層を設けた後、別途セパレータ上に形成した
粘着剤層面を基材フィルムの他面にラミネートし、次い
でアンカー層上に離型剤を塗工することを特徴とするフ
ォトマスク保護用粘着テープの製造方法。