JP2002307279A - 研磨工具、研磨工具保持装置、研磨装置、および前記研磨工具を加工する合わせ研磨方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 合わせ加工による球面精度が高く、しかも工
具コストの低い研磨工具を実現する。 【解決手段】 研磨シート２を研磨面とする研磨皿１
は、研磨面の背面側に輪帯突起部３を有し、その中心穴
３ａに、研磨皿保持治具１０の上型１１に固着された柱
状体１１ａを嵌挿してビス１２ａによって締結する。研
磨皿１の高さ調整は、ビス１２ａを緩めて輪帯突起部３
に対する柱状体１１ａの嵌挿深さを変えることによって
行なう。柱状体１１ａにビス１２ａの打痕がついたら、
柱状体１１ａのみを変えればよい。また、輪体突起部３
の中心穴３ａの底部に研磨皿１の合わせ加工に用いるカ
ンザシ受け４が配設されており、合わせ加工時の合わせ
支点角が大きいため、合わせ加工の精度と安定性を向上
させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レンズ等の光学素
子の研磨加工に使用される研磨工具、研磨工具保持装
置、研磨装置、および前記研磨工具を加工する合わせ研
磨方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】レンズ等の光学素子を研磨加工するため
の球心研磨装置においては、研磨工具である研磨皿を下
軸主軸側に取り付けて回転させ、研磨皿を被加工物に押
し付けて、研磨皿の球面曲率を中心とする揺動機構によ
って揺動させる。この研磨装置に用いる研磨皿は、一般
的に、図５に示すような機構をもった研磨皿保持治具に
保持される。

【０００３】図５において、研磨皿１０１は、研磨シー
ト１０２による研磨面を有し、研磨皿１０１の本体部１
０１ａは、柱状突起部１０３と一体で製作されており、
柱状突起部１０３の中央部にはカンザシ受け１０４が取
り付けられる。研磨皿１０１の柱状突起部１０３の寸法
公差は、±０．０３ｍｍ程度となっている。

【０００４】他方、研磨皿保持治具１１０は、研磨皿１
０１の柱状突起部１０３と嵌合する嵌合穴１１１ａを備
えた上型１１１を有し、研磨皿１０１の柱状突起部１０
３を上型１１１の嵌合穴１１１ａの所定深さまで嵌挿
し、ビス１１２によって締め付けて固定する。

【０００５】上型１１１は、軸心調整ねじ１１３によっ
て、主軸下軸の回転部と一体である下型１１４に固定さ
れる。

【０００６】研磨皿１０１に研磨シート１０２を貼り付
けて合わせ加工を行なった後に、研磨皿１０１の球面曲
率Ｒの中心点Ｏと研磨装置の揺動旋回中心Ｂ−Ｃが一致
するように研磨皿１０１の高さＡを調整する。

【０００７】この高さ調整方法としては、研磨皿保持治
具１１０の上型１１１の嵌合穴１１１ａに研磨皿１０１
の柱状突起部１０３を嵌合させ、図示しない軸心・高さ
測定器を用いて、研磨皿１０１の球面曲率Ｒの中心位置
を測定して高さを調整し、ビス１１２により固定する。

【０００８】軸心の調整方法は、軸心調整ねじ１１３を
緩めた状態で、前記軸心・高さ調整器により研磨皿１０
１の球面の偏心を測定して、研磨皿１０１が保持された
研磨皿保持治具１１０の上型１１１を微小スライドさせ
ながら研磨皿１０１の球面を所定の偏心精度内に調整
し、その後に軸心調整ねじ１１３を締め付けて上型１１
１を下型１１４に固定する。

【０００９】上記の軸心調整および高さ調整は、いずれ
も公差±０．０２ｍｍ以下の精度を必要としている。

【００１０】図６は、研磨皿１０１に貼り付けられた研
磨シート１０２の表面を所定の球面曲率Ｒの球面に加工
するための合わせ研磨方法を示す図である。

【００１１】合わせ皿１２０は、ダイヤモンドペレット
を貼り付けた研磨面、あるいは、ダイヤモンド総型で作
られ所定の球面曲率に創成された研磨面を有する合わせ
工具である。合わせ皿１２０は、図示しない合わせ研磨
機の下軸主軸に取り付けられ、略１００〜２００ｒｐｍ
で回転している。

【００１２】合わせ研磨機の揺動アームにはカンザシ１
２１が取り付けられ、所定の速度で左右揺動する機構と
なっている。

【００１３】この合わせ方法においては、回転する合わ
せ皿１２０と当接するように研磨皿１０１の球面をセッ
トし、研磨皿１０１の柱状突起部１０３の中央部に取り
付けたカンザシ受け１０４にカンザシ１２１を押し付
け、押圧・保持しながら左右揺動させて一定時間運動さ
せることで研磨シート１０２を研磨する。これによっ
て、研磨シート１０２のうねりは平坦になり、かつ所定
の球面精度を創成できる。研磨シート１０２の研磨量
は、研磨シート１０２のうねりを平坦にし、かつ所定の
球面精度を満足するために通常０．０４〜０．０５ｍｍ
が必要である。

【００１４】上記の手順で球面創成され、研磨皿保持治
具１１０にセットされた研磨皿１０１は、前記球心研磨
装置の下軸主軸部に取り付けられ、レンズ等の研磨加工
に使用される。球心研磨装置による研磨加工は、研磨加
工圧が研磨皿１０１の球面の球心方向に向かうため、安
定したレンズ精度を得ることができる。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、以下のような未解決の課題があった。

【００１６】図５に示す装置では、研磨皿１０１の柱状
突起部１０３は、前述の高さ調整のために研磨皿保持治
具１１０の上型１１１の嵌合穴１１１ａとの嵌合深さを
調整してビス１１２により締め付ける工程を繰り返し行
なう。この場合、高さを一定にする必要があるため、研
磨皿１０１の柱状突起部１０３は、常に同一位置にビス
１１２が位置し、締め付けられるたびに打痕がつき、研
磨皿１０１を繰り返し使用すると、顕著な打痕となり、
ビス１１２を締め付ける前と締め付け後で高さにずれが
生じてしまうという現象があらわれる。

【００１７】このために、軸心・高さ調整に膨大な時間
が必要となり、最悪の場合は高さ調整ができなくなり、
高価な研磨皿が使用不能となっていた。

【００１８】加えて、研磨皿１０１の研磨面の球面を創
成する合わせ研磨加工においても次のような問題が発生
していた。図６に示すように、研磨皿１０１は、研磨皿
保持治具１１０の上型１１１の嵌合穴１１１ａに保持・
固定される柱状突起部１０３と一体であるため、研磨皿
１０１の回転軸Ｚと、研磨皿１０１の研磨シート１０２
上の球面の外周辺上の１点Ｇから研磨皿１０１のカンザ
シ受け１０４とカンザシ１２１が接触する点Ｆを結ぶ線
Ｇ−Ｆとの間の角度（合わせ支点角）θ₁ は、研磨皿１
０１の研磨シート１０２上の球面中心Ｏと研磨皿１０１
の研磨シート１０２上の球面の外周辺上の１点Ｇを結ぶ
線Ｏ−Ｇと直交して研磨皿１０１の回転軸Ｚ上の１点Ｄ
と交わる線Ｇ−Ｄと回転軸Ｚとの角度（研磨皿接触角）
θ₂ より小さくなる。このために、合わせ加工時の支点
が合わせ皿１２０の加工面から遠のく結果となり、研磨
皿１０１に貼り付けられた研磨シート１０２と合わせ皿
１２０との当接面では、カンザシ１２１で押圧・保持さ
れ左右揺動運動を与えられた場合に、振動が発生し、ば
たついた状態で合わせ加工が行なわれる。

【００１９】このような振動の発生要因は以下のように
推察される。すなわち、カンザシ１２１と研磨皿１０１
のカンザシ受け１０４の接する点Ｆは、球面曲率Ｒ₁ の
軌跡ＴＲ₁ に沿って左右運動を繰り返す。このとき研磨
皿１０１の研磨シート１０２と合わせ皿１２０の当接面
は、球面曲率Ｒの軌跡ＴＲに沿って動くが、カンザシ１
２１の軌跡ＴＲ₁ と前記当接面の軌跡ＴＲとの距離が遠
くなると、それぞれ、回転モーメント支点への力の加わ
る方向線のずれが増大し、当接面上でスムーズな作動を
得ることができなくなり、これに起因する摩擦抵抗に、
研磨シート１０２の初期球面精度等の外部要因による不
具合が重なって、前記当接面にビビリ振動が発生してし
まう。

【００２０】ビビリ振動が発生すると、研磨シート１０
２の球面は、バタツキの影響で周辺部が多く摩耗し、そ
の結果、合わせ皿１２０のもつ球面を精度よく転写でき
ないため、球心研磨装置に研磨皿１０１をセットしてレ
ンズを加工した際には、所定の精度規格を満足できない
ものとなってしまう。

【００２１】また、前記当接面のバタツキにより、合わ
せ時間に対する研磨シート１０２の研磨量が著しく低下
するという問題も発生し、研磨皿１０１の合わせ加工に
所定の時間をかけても所望の球面を得られず、その結
果、レンズの研磨加工において所定の精度規格を満足で
きなくなる。

【００２２】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、研磨工具保持装置に
対する取り付け部のトラブルを防ぐとともに、合わせ研
磨における加工精度を大幅に向上させることのできる研
磨工具、研磨工具保持装置、研磨装置、および前記研磨
工具を加工する合わせ研磨方法を提供することを目的と
するものである。

【００２３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の研磨工具は、球面状の研磨面を有する本体
部と、前記研磨面に対して前記本体部の背面側から突出
する輪帯突起部と、該輪帯突起部の中心穴に嵌挿される
柱状体を前記輪帯突起部に着脱自在に固定するための固
着手段を有し、前記柱状体を介して前記本体部が研磨工
具保持装置に取り付けられることを特徴とする。

【００２４】輪帯突起部の中心穴の底部にカンザシ受け
が配設されているとよい。

【００２５】固着手段が、輪帯突起部を径方向に貫通す
るビスを有するとよい。

【００２６】本発明の研磨工具保持装置は、上記の研磨
工具の輪帯突起部の中心穴に嵌挿される柱状体と、該柱
状体を保持する上型と、該上型を所定の平面内で微動調
整自在に保持する下型を有することを特徴とする。

【００２７】柱状体が、研磨工具の輪帯突起部の中心穴
に嵌合する小径部を有するものでもよい。

【００２８】本発明の研磨装置は、上記の研磨工具と、
該研磨工具を回転駆動する駆動手段を有することを特徴
とする。

【００２９】また、上記の研磨工具保持装置によって保
持された研磨工具と、該研磨工具を回転駆動する駆動手
段を有するものでもよい。

【００３０】本発明の合わせ研磨方法は、上記の研磨工
具を合わせ皿によって合わせ研磨する合わせ研磨方法で
あって、前記研磨工具の合わせ支点角を研磨工具接触角
より大きく設定して研磨加工を行なうことを特徴とす
る。

【００３１】

【作用】研磨工具である研磨皿の本体部の背面側に輪帯
突起部を設けて、その中心穴に研磨工具保持装置の柱状
体を嵌挿し、嵌挿深さを調整することで研磨面の高さ調
整を行なう。

【００３２】高さ調整による打痕によって柱状体が損傷
したときは、柱状体のみを交換すればよいから、研磨皿
の本体部と柱状体が一体である場合のように高価な研磨
皿全体を交換する必要がなく、メンテナンスのコスト削
減に貢献できる。

【００３３】また、輪帯突起部の中心穴の底面にカンザ
シ受けを設けることで、研磨工具の合わせ研磨における
合わせ支点角を研磨工具接触角より大きく設定すること
ができるため、合わせ研磨の加工精度を大幅に向上さ
せ、球面精度の高い研磨面を有する研磨工具を実現でき
る。

【００３４】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００３５】図１は一実施の形態による研磨工具と研磨
工具保持装置を示すもので、研磨工具である研磨皿１
は、研磨シート２による研磨面を有し、研磨皿１の本体
部１ａは、研磨面の背面側に輪帯突起部３を備えてお
り、輪帯突起部３の中心穴３ａの底部にはカンザシ受け
４が取り付けられている。

【００３６】他方、研磨工具保持装置である研磨皿保持
治具１０は、研磨皿１の輪帯突起部３の中心穴３ａに嵌
合する柱状体１１ａを備えた上型１１を有し、研磨皿１
の輪帯突起部３の中心穴３ａに上型１１の柱状体１１ａ
の所定深さまで嵌挿し、固着手段であるビス１２ａによ
って締め付けて固定する。柱状体１１ａはビス１２ｂに
よって上型１１に固定され、上型１１は、軸心調整ねじ
１３によって、主軸下軸の回転部と一体である下型１４
に固定される。

【００３７】研磨皿１に研磨シート２を貼り付けて合わ
せ加工を行なった後に、研磨皿１の球面曲率Ｒの中心点
Ｏと研磨装置の揺動旋回中心Ｂ−Ｃが一致するように研
磨皿１の高さＡを調整する。

【００３８】この高さ調整方法としては、研磨皿保持治
具１０の上型１１の柱状体１１ａを研磨皿１の輪帯突起
部３の中心穴３ａに嵌合させ、図示しない軸心・高さ測
定器を用いて、研磨皿１の球面曲率Ｒの中心位置を測定
して高さを調整し、ビス１２ａにより固定する。

【００３９】軸心の調整方法は、軸心調整ねじ１３を緩
めた状態で、前記軸心・高さ調整器により研磨皿１の球
面の偏心を測定して、研磨皿１が保持された研磨皿保持
治具１０の上型１１を微小スライドさせながら研磨皿１
の球面を所定の偏心精度内に調整し、その後に軸心調整
ねじ１３を締め付けて上型１１を下型１４に固定する。

【００４０】上記の軸心調整および高さ調整は、いずれ
も公差±０．０２ｍｍ以下の精度を必要としている。

【００４１】図４は、研磨皿１の合わせ加工方法を示す
もので、合わせ皿２０は、ダイヤモンドペレットを貼り
付けた研磨面、あるいは、ダイヤモンド総型で作られ所
定の球面曲率に創成された研磨面を有する合わせ工具で
ある。合わせ皿２０は、図示しない合わせ機の下軸主軸
に取り付けられ、略１００〜２００ｒｐｍで回転してい
る。

【００４２】合わせ機の揺動アームにはカンザシ２１が
取り付けられ、所定の速度で左右揺動する機構となって
いる。

【００４３】この合わせ方法は、回転する合わせ皿２０
と当接するように研磨皿１の球面をセットし、研磨皿１
の輪帯突起部３の中央部に取り付けたカンザシ受け４に
カンザシ２１を押し付け、押圧・保持し左右揺動させて
一定時間運動させることで研磨シート２を研磨する。こ
れによって、研磨シート２のうねりは平坦になり、かつ
所定の球面精度を創成できる。研磨シート２の摩耗量
は、研磨シート２のうねりを平坦にし、かつ所定の球面
精度を満足するために通常０．０４〜０．０５ｍｍが必
要である。

【００４４】上記の手順で球面創成され、研磨皿保持治
具１０にセットされた研磨皿１は、前記球心研磨機の下
軸主軸部に取り付けられ、レンズ等の研磨加工に使用さ
れる。球心研磨加工機による研磨加工は、研磨加工圧が
研磨皿１の球面の球心方向に向かうため、安定したレン
ズ精度を得ることができる。

【００４５】研磨皿１のカンザシ受け４は、前述のよう
に、輪帯突起部３の中心穴３ａの底部に配設されている
ため、図４の合わせ研磨加工における合わせ支点角であ
る研磨皿支点角θ₁ は、研磨工具接触角である研磨皿接
触角θ₂ より大きくなる。その結果、合わせ時の支点Ｆ
が加工面に近づき、研磨皿１に貼り付けられた研磨シー
ト２と合わせ皿２０との当接面は、カンザシ２１で押圧
・保持され左右揺動運動を与えられた場合も振動が発生
せず転写性が安定向上する。

【００４６】すなわち、合わせ加工のカンザシ２１と研
磨皿１のカンザシ受け４の接する支点Ｆは、球面曲率Ｒ
₁ の軌跡ＴＲ₁ に沿って左右揺動を繰り返す。このとき
の研磨皿１の研磨シート２と合わせ皿２０の当接面は、
球面曲率Ｒの軌跡ＴＲに沿って動くが、前記カンザシ２
１の軌跡ＴＲ₁ と前記軌跡ＴＲとの距離が近くなるほ
ど、振動等のトラブルのない安定した合わせ加工を行な
うことができる。

【００４７】研磨皿１を使用しての研磨手順は、まず、
研磨皿１にポリウレタン等で作られた研磨シート２を貼
り付け・接着する。貼付後の研磨シート２の球面は、研
磨シート２自体のうねりや凸凹がある状態で目標値に近
い球面曲率に出来上がっている。

【００４８】次に、研磨シート２の球面精度および表面
状態を所定の形状にするために、合わせ皿２０で合わせ
加工を行なう。合わせ加工時のカンザシ２１と研磨皿１
のカンザシ受け４の接する支点Ｆは、研磨皿１に貼り付
けられた研磨シート２と合わせ皿２０との当接面に近づ
くように設定されているため、カンザシ２１で合わせ皿
２０に押圧・保持された研磨皿１に左右揺動運動を与え
た場合でも、振動が発生せず転写性が向上し、しかも安
定する。従って、確実に所定の球面精度を得ることがで
きる。また、研磨シート２の必要摩耗量（０．０４〜
０．０５ｍｍ程度）も短時間で達成できる。

【００４９】なお、研磨皿支点角θ₁ の設定に当たって
は、研磨皿接触角θ₂ 近傍に不具合の生じる境界角があ
ることが実験結果によって判明しており、実験結果から
安定した転写性の得られる設定値とした。

【００５０】合わせ加工後の研磨皿１を、前述のように
研磨皿保持治具１０に保持させて、研磨装置に装着し、
レンズ等を研磨する。研磨皿保持治具１０の上型１１の
柱状体１１ａは、ビス１２ａによる締め付けによる損傷
が進むと、交換が必要であるが、安価な棒材形状である
ため、従来例のように研磨皿全体を交換する場合に比べ
て、極めて低コストですむというコストメリットがあ
る。

【００５１】図２は一変形例を示す。これは、研磨皿１
の球面曲率が比較的小さい場合に、輪帯突起部３の輪帯
形状も小さくなるため、研磨皿保持治具１０の上型１１
に固定ビス１２ｂにより着脱可能な柱状体１１ａの上部
に小径部１１ｂを設けて、該小径部１１ｂを研磨皿１の
輪帯突起部３の中心穴３ａに嵌挿したものである。

【００５２】図３は、上記の構成の研磨皿を取り付けた
研磨装置を示す。研磨皿１と同様の研磨皿２０１は図示
しない研磨皿保持治具を介して下軸である工具軸２２１
に取り付けられる。レンズ素材であるワークＷは、保持
材２０３を介してホルダ２０４に保持され、ワーク軸シ
ャフト２０５は、ワーク軸スリーブ２０６に対して、ラ
ジアル方向を軸受で支持されており、自由に回転揺動で
きる。このワーク軸スリーブ２０６は、ワーク軸ハウジ
ング２０７に対して紙面上下方向に摺動可能であり、上
端にはストッパＳが抜け防止のため、取り付けられてい
る。

【００５３】ワーク軸ハウジング２０７はワーク軸スラ
イド２１２と一体化されており、このワーク軸スライド
２１２がガイド２１３に対して、紙面上下方向にエアシ
リンダ２１５を用いて駆動される。

【００５４】また、ワーク軸スリーブ２０６の上端とワ
ーク軸ハウジング２０７の上端の間に取り付けられた加
圧スプリング２０９が自然長より伸びることにより、ホ
ルダ２０４を介してワークＷを研磨皿２０１に対して紙
面下向きに押圧し、荷重を与えることができる。このと
き、与える荷重は、与圧調整プレート２１０上で加圧ス
プリング２０９の下端を止めるねじ２１１により調整さ
れる。

【００５５】他方、駆動手段である工具軸回転モータ２
２５の回転が回転ベルト２２３を介して伝えられ、研磨
皿２０１、ホルダ２０４とともに工具軸２２１が回転す
る。また、偏心したリンク２２７を取り付けられた揺動
回転軸２２６は、図示しないモータにより回転させら
れ、揺動プレート２２０を駆動する。

【００５６】ねじ２１１の位置により荷重値を調整した
後、研磨皿２０１上に置かれたワークＷをワーク軸スラ
イド２１２が降下することにより、ホルダ２０４がワー
クＷを押圧する。その後、工具軸２２１および揺動回転
軸２２６を回転させることにより、研磨皿２０１が回転
および揺動運動し、一定時間研磨加工を行なう。

【００５７】このとき、研磨皿２０１の球面曲率の球心
Ｏは、揺動回転中心と一致するように設定してあり、ワ
ークＷはホルダ２０４に保持され、ホルダ２０４と一体
化したワーク軸シャフト２０５とともに加工面から受け
る摩擦力により回転する。

【００５８】研磨皿２０１は、前述のように、合わせ加
工時の合わせ皿の球面精度の転写性が高いため、球面を
精度を良く作り出されており、また、高精度な球心高さ
の調整が可能である。このような好条件で研磨加工され
たレンズは、再現性のよい極めて高い球面精度を有し、
高品質を保証される。

【００５９】

【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。

【００６０】研磨皿の合わせ研磨における加工精度と安
定性を大幅に向上させるとともに、工具コストの削減に
貢献できる。

【００６１】これによってレンズ等の研磨加工における
球面加工精度を大幅に向上させ、高品質のレンズを安価
に製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施の形態による研磨皿と研磨皿保持治具を
示す模式図である。

【図２】一変形例を示す模式図である。

【図３】研磨装置を説明する図である。

【図４】図１の研磨皿の合わせ加工を説明する図であ
る。

【図５】一従来例を示す模式図である。

【図６】図５の研磨皿の合わせ加工を説明する図であ
る。

【符号の説明】

１、２０１ 研磨皿 １ａ 本体部 ２ 研磨シート ３ 輪帯突起部 ３ａ 中心穴 ４ カンザシ受け １０ 研磨皿保持治具 １１ 上型 １１ａ 柱状体 １１ｂ 小径部 １２ａ、１２ｂ ビス １３ 軸心調整ねじ １４ 下型 ２０ 合わせ皿 ２１ カンザシ ２０４ ホルダ ２０５ ワーク軸シャフト ２１０ 与圧調整シャフト ２１２ ワーク軸スライド ２１５ エアシリンダ ２２１ 工具軸 ２２５ 工具軸回転モータ ２２６ 揺動回転軸

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 球面状の研磨面を有する本体部と、前記
   研磨面に対して前記本体部の背面側から突出する輪帯突
   起部と、該輪帯突起部の中心穴に嵌挿される柱状体を前
   記輪帯突起部に着脱自在に固定するための固着手段を有
   し、前記柱状体を介して前記本体部が研磨工具保持装置
   に取り付けられることを特徴とする研磨工具。
2. 【請求項２】 輪帯突起部の中心穴の底部にカンザシ受
   けが配設されていることを特徴とする請求項１記載の研
   磨工具。
3. 【請求項３】 固着手段が、輪帯突起部を径方向に貫通
   するビスを有することを特徴とする請求項１または２記
   載の研磨工具。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３いずれか１項記載の研
   磨工具を保持する研磨工具保持装置であって、前記研磨
   工具の輪帯突起部の中心穴に嵌挿される柱状体と、該柱
   状体を保持する上型と、該上型を所定の平面内で微動調
   整自在に保持する下型を有する研磨工具保持装置。
5. 【請求項５】 柱状体が、研磨工具の輪帯突起部の中心
   穴に嵌合する小径部を有することを特徴とする請求項４
   記載の研磨工具保持装置。
6. 【請求項６】 請求項１ないし３いずれか１項記載の研
   磨工具と、該研磨工具を回転駆動する駆動手段を有する
   研磨装置。
7. 【請求項７】 請求項４または５記載の研磨工具保持装
   置によって保持された研磨工具と、該研磨工具を回転駆
   動する駆動手段を有する研磨装置。
8. 【請求項８】 請求項１ないし３いずれか１項記載の研
   磨工具を合わせ皿によって合わせ研磨する合わせ研磨方
   法であって、前記研磨工具の合わせ支点角を研磨工具接
   触角より大きく設定して研磨加工を行なうことを特徴と
   する合わせ研磨方法。