JP2002301653A - 石材等の側面形状加工方法及び該方法に使用する研磨ホイール - Google Patents
石材等の側面形状加工方法及び該方法に使用する研磨ホイールInfo
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- 239000004575 stone Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract 5
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 65
- 230000013011 mating Effects 0.000 abstract description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 6
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 2
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101100454433 Biomphalaria glabrata BG01 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000002969 artificial stone Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000010438 granite Substances 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004579 marble Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐久性を有し、長寿命であり、相手形状にな
じみ易く、一部が破壊等しても研磨作用に支障をきたす
ことがことがなく、経済的であり、さらに研磨工定数を
削減でき、平滑面及び鮮映性に優れた研磨面を得る石材
等の側面形状加工方法を提供する。 【解決手段】 研削具による側面形状加工後に、回転軸
部2に所定幅の研磨布3が放射状に植設され、その一側
面に前記側面形状加工面との適合面6が形成された研磨
ホイール1により研磨を行うことを特徴とする石材等の
側面形状加工方法。
じみ易く、一部が破壊等しても研磨作用に支障をきたす
ことがことがなく、経済的であり、さらに研磨工定数を
削減でき、平滑面及び鮮映性に優れた研磨面を得る石材
等の側面形状加工方法を提供する。 【解決手段】 研削具による側面形状加工後に、回転軸
部2に所定幅の研磨布3が放射状に植設され、その一側
面に前記側面形状加工面との適合面6が形成された研磨
ホイール1により研磨を行うことを特徴とする石材等の
側面形状加工方法。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、主に、石材加工に
使用される石材等の側面形状加工方法及び該方法に使用
する研磨ホイールに関する。
使用される石材等の側面形状加工方法及び該方法に使用
する研磨ホイールに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、図4に示すような板状の石材等4
の側面形状加工は、例えば、カッター等により前記石材
等4の周囲の稜21を除去した後、予定する側面形状に
合わせて製造したダイヤモンド粉末を混合した焼結メタ
ルホイール22を使用して研削加工を行い、その後の仕
上げ等の研磨加工を、前記側面形状に合わせて準備した
図5に示すようなダイヤシート23が貼り付られたゴム
ホイール24を使用して行っている。
の側面形状加工は、例えば、カッター等により前記石材
等4の周囲の稜21を除去した後、予定する側面形状に
合わせて製造したダイヤモンド粉末を混合した焼結メタ
ルホイール22を使用して研削加工を行い、その後の仕
上げ等の研磨加工を、前記側面形状に合わせて準備した
図5に示すようなダイヤシート23が貼り付られたゴム
ホイール24を使用して行っている。
【0003】すなわち、前記研削具としての焼結メタル
ホイール22の形状が、前記研削加工の継続によって変
化するため、該変化した形状に合わせて、その後の仕上
げ等の研磨加工が前記ゴムホイール24の弾性利用によ
って有効に行われるようにしている。
ホイール22の形状が、前記研削加工の継続によって変
化するため、該変化した形状に合わせて、その後の仕上
げ等の研磨加工が前記ゴムホイール24の弾性利用によ
って有効に行われるようにしている。
【0004】前記研削具としての焼結メタルホイール2
2及び研磨具としてのゴムホイール24を使用した側面
形状加工は、具体的には、粒度の異なる2種類の前記焼
結メタルホイール22を使用する2工程の研削加工工程
と、粒度の異なる5種類のダイヤシート23が貼り付け
られたゴムホイール24を使用する5工程の研磨加工工
程、すなわち、全7工程により行われている。
2及び研磨具としてのゴムホイール24を使用した側面
形状加工は、具体的には、粒度の異なる2種類の前記焼
結メタルホイール22を使用する2工程の研削加工工程
と、粒度の異なる5種類のダイヤシート23が貼り付け
られたゴムホイール24を使用する5工程の研磨加工工
程、すなわち、全7工程により行われている。
【0005】しかしながら、前記ゴムホイール24に貼
り付けられたダイヤシート23は、耐久性に欠け、寿命
が短く、石材への当て方が悪い場合には、すぐに一部が
損傷するなどして均一研磨が不可能となり、不経済であ
り、同時に、研磨工程として研磨量の異なる5種類のゴ
ムホイ−ル24を準備しなければならず、さらにまた、
ゴムの弾性により石材の柔らかい部分が選択的に削ら
れ、平滑面及び鮮映性が失われ製品価値に影響を与える
などの問題があった。
り付けられたダイヤシート23は、耐久性に欠け、寿命
が短く、石材への当て方が悪い場合には、すぐに一部が
損傷するなどして均一研磨が不可能となり、不経済であ
り、同時に、研磨工程として研磨量の異なる5種類のゴ
ムホイ−ル24を準備しなければならず、さらにまた、
ゴムの弾性により石材の柔らかい部分が選択的に削ら
れ、平滑面及び鮮映性が失われ製品価値に影響を与える
などの問題があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記事情に
鑑み、耐久性を有し、長寿命であり、相手形状になじみ
易く、一部が破壊等しても研磨作用に支障をきたすこと
がなく、経済的であり、さらに研磨工程数を削減でき、
平滑面及び鮮映性に優れた研磨面を得ることができる石
材等の側面形状加工方法及び該方法に使用する研磨ホイ
ールを提供することを目的とする。
鑑み、耐久性を有し、長寿命であり、相手形状になじみ
易く、一部が破壊等しても研磨作用に支障をきたすこと
がなく、経済的であり、さらに研磨工程数を削減でき、
平滑面及び鮮映性に優れた研磨面を得ることができる石
材等の側面形状加工方法及び該方法に使用する研磨ホイ
ールを提供することを目的とする。
【0007】
【問題を解決しようとする手段】前記目的を達成するた
め、請求項1に示す本発明の石材等の側面形状加工方法
は、研削具による側面形状加工後に、回転軸部に所定幅
の研磨布が放射状に植設され、その一側面に前記側面形
状加工面との適合面が形成された研磨ホイールにより研
磨を行うことを特徴とする。
め、請求項1に示す本発明の石材等の側面形状加工方法
は、研削具による側面形状加工後に、回転軸部に所定幅
の研磨布が放射状に植設され、その一側面に前記側面形
状加工面との適合面が形成された研磨ホイールにより研
磨を行うことを特徴とする。
【0008】この請求項1の本発明で使用される研磨ホ
イールは、研磨布の先端方向から順次研磨作用が発揮さ
れるため、耐久性を有し、長寿命で、相手形状になじみ
易く、一部が破壊等しても研磨作用に支障をきたすこと
がなく、経済的であり、さらに研磨工程数を削減するこ
とができる。さらにまた、構造上、研磨作用が叩きによ
るものであり、切り込みが浅いため石材の柔らかい部分
を必要以上に研磨することがなく、平滑面及び鮮映性に
優れた研磨面を得ることができる。
イールは、研磨布の先端方向から順次研磨作用が発揮さ
れるため、耐久性を有し、長寿命で、相手形状になじみ
易く、一部が破壊等しても研磨作用に支障をきたすこと
がなく、経済的であり、さらに研磨工程数を削減するこ
とができる。さらにまた、構造上、研磨作用が叩きによ
るものであり、切り込みが浅いため石材の柔らかい部分
を必要以上に研磨することがなく、平滑面及び鮮映性に
優れた研磨面を得ることができる。
【0009】請求項2に示す石材等の側面形状加工に使
用する研磨ホイールは、回転軸部に研磨布が放射状に植
設され、その一側面に側面形状加工面との適合面が形成
されてなることを特徴とする。
用する研磨ホイールは、回転軸部に研磨布が放射状に植
設され、その一側面に側面形状加工面との適合面が形成
されてなることを特徴とする。
【0010】前記請求項2に示す石材等の側面形状加工
に使用する研磨ホイールは、前記のごとく、耐久性を有
し、長寿命であり、相手形状になじみ易く、一部が破壊
等しても研磨作用に支障をきたす事がないため研磨工程
として粒度の異なる三種類程度の研磨ホイールを準備す
ることで足り、したがって、形状研削加工面の研磨工程
数を削減することができ、経済的であるとともに、平滑
面及び鮮映性に優れた研磨面を得ることができる。
に使用する研磨ホイールは、前記のごとく、耐久性を有
し、長寿命であり、相手形状になじみ易く、一部が破壊
等しても研磨作用に支障をきたす事がないため研磨工程
として粒度の異なる三種類程度の研磨ホイールを準備す
ることで足り、したがって、形状研削加工面の研磨工程
数を削減することができ、経済的であるとともに、平滑
面及び鮮映性に優れた研磨面を得ることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の一形態を
図面に基づいて説明する。図1は、本発明の石材等の側
面形状加工に使用する研磨ホイール1であり、回転軸部
2に所定幅の研磨布3が放射状に植設され、その一側面
に、前記図4の石材等4に施された側面形状加工面5と
の適合面6が形成される。
図面に基づいて説明する。図1は、本発明の石材等の側
面形状加工に使用する研磨ホイール1であり、回転軸部
2に所定幅の研磨布3が放射状に植設され、その一側面
に、前記図4の石材等4に施された側面形状加工面5と
の適合面6が形成される。
【0012】図2に、前記研磨布3の断面図を示す。図
中、7は、例えば、綿35%、ポリエステル65%から
なり、薬液含浸処理により耐水性、耐熱性を保有させた
布基材である。
中、7は、例えば、綿35%、ポリエステル65%から
なり、薬液含浸処理により耐水性、耐熱性を保有させた
布基材である。
【0013】また、8は、使用工程に応じて、粒度(#
60〜#3000)が選択されたダイヤモンド、その他
一般の研磨材9が混合されたフェノール樹脂、エポキシ
樹脂、ウレタン樹脂等からなる耐水性、耐熱性を有する
熱硬化性バインダーである。なお、前記研磨材9の混合
量は、使用工程に応じて、例えば、2〜65w%の範囲
に調整される。
60〜#3000)が選択されたダイヤモンド、その他
一般の研磨材9が混合されたフェノール樹脂、エポキシ
樹脂、ウレタン樹脂等からなる耐水性、耐熱性を有する
熱硬化性バインダーである。なお、前記研磨材9の混合
量は、使用工程に応じて、例えば、2〜65w%の範囲
に調整される。
【0014】つぎに、研磨ホイール1の製造過程につい
て述べる。まず、前記石材等4に施された側面形状加工
面5に適合するように打ち抜かれた前記研磨布3が多数
枚準備される。そして、前記打ち抜かれた多数枚の研磨
布3が、図3に示すように、回転軸部2に放射状に植設
される。
て述べる。まず、前記石材等4に施された側面形状加工
面5に適合するように打ち抜かれた前記研磨布3が多数
枚準備される。そして、前記打ち抜かれた多数枚の研磨
布3が、図3に示すように、回転軸部2に放射状に植設
される。
【0015】すなわち、前記それぞれの研磨布3の打抜
き加工時に、その一端上下部に同時に切込凹部10がそ
れぞれ形成される。他方、前記回転軸部2を構成する上
下円盤状保持金具11に、前記研磨布3のそれぞれの切
込凹部10に適合するキー12が予め形成され、該キー
12と、前記研磨布3の切込凹部10を適合させ、さら
に密集させて前記それぞれの研磨布3の一端が保持され
る。
き加工時に、その一端上下部に同時に切込凹部10がそ
れぞれ形成される。他方、前記回転軸部2を構成する上
下円盤状保持金具11に、前記研磨布3のそれぞれの切
込凹部10に適合するキー12が予め形成され、該キー
12と、前記研磨布3の切込凹部10を適合させ、さら
に密集させて前記それぞれの研磨布3の一端が保持され
る。
【0016】つぎに前記上下円盤状保持金具11部分を
垂直方向にして、前記上下円盤状保持金具11に設けら
れた回転軸取付孔13から接着剤14を流し込み、該接
着剤14が前記研磨布3の保持固定部3a及び前記切込
凹部11にまで含浸するように、ゆっくりと前記上下円
盤状保持金具11及び該上下円盤状保持金具11に保持
された前記研磨材3を回転させる。
垂直方向にして、前記上下円盤状保持金具11に設けら
れた回転軸取付孔13から接着剤14を流し込み、該接
着剤14が前記研磨布3の保持固定部3a及び前記切込
凹部11にまで含浸するように、ゆっくりと前記上下円
盤状保持金具11及び該上下円盤状保持金具11に保持
された前記研磨材3を回転させる。
【0017】その結果、図3に示すように、前記接着剤
14の乾燥とともに、前記それぞれの研磨布3が、前記
回転軸部2部に完全固定されて、本発明の前記研磨ホイ
ール1が完成する。
14の乾燥とともに、前記それぞれの研磨布3が、前記
回転軸部2部に完全固定されて、本発明の前記研磨ホイ
ール1が完成する。
【0018】
【実施例】前記実施の一形態に従い、綿35%、ポリエ
ステル65%からなる布基材7を使用し、その一側面
に、前記フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂
等からなる耐水性、耐熱性を有する熱硬化性バインダー
に、ダイヤモンド研磨材#800、#1500及び#3
000を、それぞれ3〜10w%を混合した研磨層を形
成して3種類の研磨布3を得て、該3種類の研磨布3を
使用して粒度の異なる3種類の研磨ホイール1を製造
し、該3種類の研磨ホイール1を使用して前記従来の側
面形状加工方法(従来方法)との比較を試みた。
ステル65%からなる布基材7を使用し、その一側面
に、前記フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂
等からなる耐水性、耐熱性を有する熱硬化性バインダー
に、ダイヤモンド研磨材#800、#1500及び#3
000を、それぞれ3〜10w%を混合した研磨層を形
成して3種類の研磨布3を得て、該3種類の研磨布3を
使用して粒度の異なる3種類の研磨ホイール1を製造
し、該3種類の研磨ホイール1を使用して前記従来の側
面形状加工方法(従来方法)との比較を試みた。
【0019】まず、前記研削具としての焼結メタルホイ
ール22を使用して側面形状加工が行われた。その後の
研磨工程は、従来方法は、前記5種類のゴムホイールを
使用した5工程、本願方法は、前記3種類の研磨ホイー
ル、すなわち、研磨材粒度#800、#1500及び#
3000の研磨ホイールを順次使用した3工程とされ
た。なお、石材として大理石、御影石、人工石材が使用
された。その結果を下記表1に示す。
ール22を使用して側面形状加工が行われた。その後の
研磨工程は、従来方法は、前記5種類のゴムホイールを
使用した5工程、本願方法は、前記3種類の研磨ホイー
ル、すなわち、研磨材粒度#800、#1500及び#
3000の研磨ホイールを順次使用した3工程とされ
た。なお、石材として大理石、御影石、人工石材が使用
された。その結果を下記表1に示す。
【表1】 表1によれば、従来方法の研磨工程5工程に対して、本
願方法は研磨3工程であり、本願方法において優れた効
果が確認された。
願方法は研磨3工程であり、本願方法において優れた効
果が確認された。
【0020】すなわち、光沢計による計測では、従来方
法の50〜60%に対して、本願方法では60から80
%であり、本願方法では、石材の結晶の抜け現象もな
く、優れた仕上がり面が確認された。
法の50〜60%に対して、本願方法では60から80
%であり、本願方法では、石材の結晶の抜け現象もな
く、優れた仕上がり面が確認された。
【0021】さらに、前記ダイヤシートを張り付けた従
来方法で使用される前記ゴムホイールと異なり、本願方
法で使用される前記研磨ホイールは、研磨布の先端方向
から順次研磨作用が発揮されるため、前記従来方法で使
用されているゴムホイールに比べて10倍以上の耐久性
を確保できることが確認された。
来方法で使用される前記ゴムホイールと異なり、本願方
法で使用される前記研磨ホイールは、研磨布の先端方向
から順次研磨作用が発揮されるため、前記従来方法で使
用されているゴムホイールに比べて10倍以上の耐久性
を確保できることが確認された。
【0022】なお、前記本発明の石材等の側面形状加工
方法及び該方法に使用する研磨ホイールは、石材のほ
か、ガラス、木材等の面取りにも適用が可能である。
方法及び該方法に使用する研磨ホイールは、石材のほ
か、ガラス、木材等の面取りにも適用が可能である。
【0023】
【発明の効果】本発明の研磨ホイールは、研磨布の先端
方向から順次研磨作用が発揮されるため、一部が破壊さ
れても研磨作用に支障をきたすことがなく、耐久性を有
し、長寿命で、相手形状になじみ易く、一部が破壊され
ても研磨作用に支障をきたすことがなく、経済的であ
り、さらに構造上、研磨作用が叩きによるものであり、
切り込みが浅いため石材の柔らかい部分を必要以上に研
磨することがなく、さらにその使用により、石材等の側
面形状加工における研磨工程数を削減できるとともに、
平滑面及び鮮映性に優れた研磨面を得ることができる。
方向から順次研磨作用が発揮されるため、一部が破壊さ
れても研磨作用に支障をきたすことがなく、耐久性を有
し、長寿命で、相手形状になじみ易く、一部が破壊され
ても研磨作用に支障をきたすことがなく、経済的であ
り、さらに構造上、研磨作用が叩きによるものであり、
切り込みが浅いため石材の柔らかい部分を必要以上に研
磨することがなく、さらにその使用により、石材等の側
面形状加工における研磨工程数を削減できるとともに、
平滑面及び鮮映性に優れた研磨面を得ることができる。
【図1】本発明の側面形状加工方法に使用する研磨ホイ
ールの斜視図である。
ールの斜視図である。
【図2】本発明の研磨ホイールに使用される研磨布の一
部断面図である。
部断面図である。
【図3】本発明の研磨ホイールの一部断面図である。
【図4】従来の形状研削加工工程の説明図である。
【図5】従来の研磨工程で使用されるゴムホイールの斜
視図である。
視図である。
1 研磨ホイール 2 中心軸部 3 研磨布 6 適合面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // B24B 7/22 B24B 7/22 Fターム(参考) 3C043 BB01 CC06 CC13 EE03 3C049 AA06 AA09 CA04 CB01 CB04 CB05 3C058 AA06 AA09 CA04 CB01 CB03 CB05 3C063 AA06 AB03 BB02 BC03 BE04 BG01 BG22 EE01
Claims (2)
- 【請求項1】 研削具による側面形状加工後に、回転軸
部に所定幅の研磨布が放射状に植設され、その一側面に
前記側面形状加工面との適合面が形成された研磨ホイー
ルにより研磨を行うことを特徴とする石材等の側面形状
加工方法。 - 【請求項2】 回転軸部に所定幅の研磨布が放射状に植
設され、その一側面に側面形状加工面との適合面が形成
されてなることを特徴とする石材等の側面形状加工に使
用する研磨ホイール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001104148A JP2002301653A (ja) | 2001-04-03 | 2001-04-03 | 石材等の側面形状加工方法及び該方法に使用する研磨ホイール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001104148A JP2002301653A (ja) | 2001-04-03 | 2001-04-03 | 石材等の側面形状加工方法及び該方法に使用する研磨ホイール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002301653A true JP2002301653A (ja) | 2002-10-15 |
Family
ID=18957048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001104148A Pending JP2002301653A (ja) | 2001-04-03 | 2001-04-03 | 石材等の側面形状加工方法及び該方法に使用する研磨ホイール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002301653A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100764035B1 (ko) * | 2005-12-23 | 2007-10-09 | 동영다이아몬드공업(주) | 석재 가공용 연마구의 제조방법 |
WO2008035383A1 (en) * | 2006-09-20 | 2008-03-27 | Mauro Di Mattia | Device having inserts for working hard stones and the like |
KR101219604B1 (ko) * | 2005-10-05 | 2013-01-08 | 주식회사 포스코 | 톱귀 연마장치 및 톱귀 연마장치가 설치된 컨베이어 시스템 |
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A621 | Written request for application examination |
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