[go: up one dir, main page]

JP2002287107A - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents

液晶表示装置およびその製造方法

Info

Publication number
JP2002287107A
JP2002287107A JP2001092171A JP2001092171A JP2002287107A JP 2002287107 A JP2002287107 A JP 2002287107A JP 2001092171 A JP2001092171 A JP 2001092171A JP 2001092171 A JP2001092171 A JP 2001092171A JP 2002287107 A JP2002287107 A JP 2002287107A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass substrate
liquid crystal
sealing material
display device
crystal display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001092171A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsumi Obara
克美 小原
Seiji Kumada
政治 熊田
Makoto Tatemura
誠 舘村
Shinji Sawa
沢  真司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2001092171A priority Critical patent/JP2002287107A/ja
Publication of JP2002287107A publication Critical patent/JP2002287107A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/07Cutting armoured, multi-layered, coated or laminated, glass products
    • C03B33/076Laminated glass comprising interlayers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/09Severing cooled glass by thermal shock
    • C03B33/091Severing cooled glass by thermal shock using at least one focussed radiation beam, e.g. laser beam

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス基板の端面に信頼性を有するものを得
る。 【解決手段】 液晶を介して対向配置される各ガラス基
板と、該液晶を封止するとともに一方のガラス基板に対
する他方のガラス基板の固着を行うシール材とを備え、
前記各ガラス基板の端面はレーザ光の走査によって切断
された面となっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置に係
り、特に、液晶を介して配置される一対のガラス基板か
らなる外囲器の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶表示装置は、層状の液晶の広がり方
向に多数の画素を構成し、これら各画素に所定の電界を
印加することにより、各画素の液晶に該電界に応じた量
の光透過を起こさせるようになっている。
【0003】前記液晶は、それを介在させて対向配置さ
れる一対のガラス基板、および一方のガラス基板に対す
る他方のガラス基板の固着を図るシール材によって封止
されている。
【0004】液晶に電界を印加する手段は、各ガラス基
板の液晶側の面に、フォトリソグラフィ技術によって形
成される所定のパターンの導電層、半導体層、および絶
縁層等との積層体からなる電子回路によって形成されて
いる。
【0005】このことから、液晶表示装置は、各ガラス
基板の面に上述した加工処理等を施し、それらを対向さ
せて固着させ、液晶を封入した後に、該各ガラス基板を
所定の大きさとなるように前記シール材の外側をカッテ
ング(切断)する工程を経て製造されるのが通常であ
る。
【0006】そして、このカッテングの方法としては、
所定の切断ラインにカッタホイールを押し当て走行させ
て(カッタスクライブ)垂直クラックを形成する。その
後、スクライブされたガラス基板の反対面からゴムブレ
ード等で該基板を叩き衝撃を与える(衝撃ブレーク)。
これにより、垂直クラックが発生した部分はそのクラッ
クを進展させ、ガラス基板が分断される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにして製造された液晶表示装置には、前記スクライブ
の際に該ガラス基板にマイクロクラックが残存するもの
があり、これにより衝撃ブレークを与えた際に該ガラス
基板に割れ、あるいは欠けが発生するものがあることが
指摘されていた。
【0008】このようにガラス基板に割れ、あるいは欠
けが生じた液晶表示装置は、その時点でその弊害がなく
ても、その後それが広がりだし液晶表示部に悪影響を与
える憂いが生じる。
【0009】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたものであり、その目的は、ガラス基板の端面に信頼
性を有する液晶表示装置およびその製造方法を提供する
ことにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【0011】本発明による液晶表示装置は、たとえば、
液晶を介して対向配置される各ガラス基板と、該液晶を
封止するとともに一方のガラス基板に対する他方のガラ
ス基板の固着を行うシール材とを備え、前記各ガラス基
板の端面はレーザ光の走査によって切断された面となっ
ていることを特徴とするものである。
【0012】このように構成された液晶表示装置は、レ
ーザ光の走査によって切断されたガラス基板の端面は、
いわゆるマイクロクラックの発生が大幅に抑制され、該
マイクロクラックによる割れ、欠けの発生を防止できる
ようになる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明による液晶表示装置
の実施例を図面を用いて説明をする。実施例1.図2は
本発明による液晶表示装置の等価回路を示す図である。
同図は等価回路であるが、実際の幾何学配置に対応した
図となっている。
【0014】同図において、ガラス基板SUB1があ
り、このガラス基板SUB1は液晶を介して他のガラス
基板SUB2と対向して配置されている。
【0015】前記ガラス基板SUB1の液晶側の面に
は、図中x方向に延在しy方向に並設されるゲート信号
線GLと、このゲート信号線GLと絶縁されてy方向に
延在しx方向に並設されるドレイン信号線DLとが形成
され、これら各信号線で囲まれる矩形状の領域が画素領
域となり、これら各画素領域の集合によって表示部AR
を構成するようになっている。
【0016】各画素領域には、一方のゲート信号線GL
からの走査信号(電圧)の供給によって駆動される薄膜
トランジスタTFTと、この薄膜トランジスタTFTを
介して一方のドレイン信号線DLからの映像信号(電
圧)が供給される画素電極PIXが形成されている。
【0017】また、画素電極PIXと前記一方のゲート
信号線GLに対して該画素電極PIXを間にして配置さ
れる他方のゲート信号線GLとの間には容量素子Cad
dが形成され、この容量素子Caddによって、前記薄
膜トランジスタTFTがオフした際に、画素電極PIX
に供給された映像信号を長く蓄積させるようになってい
る。
【0018】各画素領域における画素電極PIXは、ガ
ラス基板SUB2側に形成された対向電極CTとの間に
電界を発生せしめるようになっており、この電界によっ
て液晶の光透過率を制御するようになっている。
【0019】各ゲート信号線GLの一端はガラス基板の
一辺側(図中左側)に延在され、その延在部は該ガラス
基板SUB1に搭載される垂直走査回路からなる半導体
集積回路GDRCのバンプと接続される端子部GTMが
形成され、また、各ドレイン信号線DLの一端もガラス
基板SUB1の一辺側(図中上側)に延在され、その延
在部は該ガラス基板SUB1に搭載される映像信号駆動
回路からなる半導体集積回路DDRCのバンプと接続さ
れる端子部DTMが形成されている。
【0020】半導体集積回路GDRC、DDRCはそれ
ぞれ、それ自体がガラス基板SUB1上に完全に搭載さ
れたもので、いわゆるCOG(チップオングラス)方式
と称されている。
【0021】半導体集積回路GDRC、DDRCの入力
側の各バンプもガラス基板SUB1に形成された端子部
GTM2、DTM2にそれぞれ接続されるようになって
おり、これら各端子部GTM2、DTM2は各配線層を
介してガラス基板SUB1の周辺のうち最も端面に近い
部分にそれぞれ配置された端子部GTM3、DTM3に
接続されるようになっている。
【0022】また、各対向電圧信号線CLの一端(右
端)は、それぞれ共通に接続されてガラス基板SUB1
の端辺にまで延在されて端子部CTMに接続されてい
る。
【0023】前記ガラス基板SUB2は、前記半導体集
積回路が搭載される領域を回避するようにしてガラス基
板SUB1と対向配置され、該ガラス基板SUB1より
も小さな面積となっている。
【0024】そして、ガラス基板SUB1に対するガラ
ス基板SUB2の固定は、該ガラス基板SUB2の周辺
に形成されたシール材SLによってなされ、このシール
材SLはガラス基板SUB1、SUB2の間の液晶を封
止する機能も兼ねている。
【0025】図2に示した液晶表示装置は、そのガラス
基板SUB1およびガラス基板SUB2がそれぞれ所定
どおりの大きさにカッテングされた後の状態を示してい
るものである。
【0026】しかし、そのカッテング前の工程におい
て、ガラス基板SUB1およびガラス基板SUB2はい
ずれも図2に示した場合よりも大きな面積を有してい
る。
【0027】場合によっては、複数枚取りと称される一
枚のガラス基板面の異なる領域にそれぞれ一つの液晶表
示装置に相当する加工処理をし、同様に加工処理された
他方のガラス基板を対向配置させた後に、各液晶表示装
置を分断するような場合においてもこのカッテングの作
業を経ることになる。
【0028】図1は、このカッテングを示す説明図で、
ガラス基板SUB1はすでに所定の大きさにカッテング
がなされ、これからガラス基板SUB2のカッテングを
行う段階の平面図(同図(a))、図中x方向の線に沿
った断面を示す図(同図(b))、図中y方向の線に沿
った断面を示す図(同図(c))を示している。
【0029】図1において、ガラス基板SUB2は、図
中の切断線CLに沿ってレーザ光を走査するようになっ
ている。
【0030】なお、該切断線CLはシール材SLの各辺
の外側であって該シール材SLと平行となるように設定
され、このうち、液晶封入孔が形成される部分において
該液晶封入孔を形成する該シール材SLを横切るように
して設定されている。
【0031】レーザ光の走査によってガラス基板SUB
2は、該レーザ光の熱応力で叩くことなく非接触状態で
分断させることができる。
【0032】そして、該ガラス基板SUB2の分断面は
たとえばマイクロクラック等の後の障害となるものが形
成されることがなくなる。このため、該ガラス基板SU
B2の分断後において、該ガラス基板SUB2の分断面
から割れ、欠け等が生じる憂いを無くすことができる。
【0033】なお、この実施例では、ガラス基板SUB
2における切断を説明したものであるが、ガラス基板S
UB1においても同様にレーザ光の走査によって分断さ
せ、所定の大きさにしているものである。
【0034】なお、このレーザ走査によるガラス基板S
UBの切断を詳細に説明すると、スクライブ工程とブレ
ーク工程とに分けられ、まず、スクライブ工程は、波長
10.6μmのCO2を用い、レーザ出力を200Wと
し、その加工速度を200mm/sとし、さらに、ブレ
ーク工程は、波長10.6μmのCO2レーザを用い、
レーザ出力を250Wとし、その加工速度を200mm
/sとした。
【0035】これにより、切断面はいわゆるガラス粉の
発生もなく、表面とほぼ同様な平坦面として形成され
た。
【0036】実施例2.図3は、本発明による液晶表示
装置の他の実施例を示す図で、図1に対応した図であ
る。
【0037】この場合、図1と異なる構成はシール材S
Lにあり、このシール材SLの線膨張率は10×10-6
℃以下の範囲にあり、いわゆる低線膨張率の材料から構
成されている。
【0038】このようなシール材SLとしては、まず、
エポキシ樹脂:10wt%、充填材:80wt%、溶
媒:10wt%の材料組成のもので、9×10-6/℃の
線膨張率が得られた。また、ガラスフリット(PbO-B2O
3系):92.3wt%、バインダ:0.4wt%、溶
媒:7.3wt%の材料組成のもので、7×10-6/℃
の線膨張率が得られた。
【0039】このようなシール材SLを用いることによ
り、該シール材SLの線膨張率をガラス基板SUB1あ
るいはSUB2のそれと近付けることができ、該ガラス
基板SUB1あるいはSUB2をスクライブする際に、
シール材SLによるガラス基板の切断線CLへの圧縮応
力が回避でき、マイクロクロックやかけの発生を抑制し
て分断することができるようになる。
【0040】なお、該シール材SLを用いることによ
り、上述した効果を充分に奏することから、各ガラス基
板SUB1、SUB2のカッテングをする際に特にレー
ザ光線の走査によってスクライブする必要はなく、たと
えば従来行われていたカッタスクライブで分断のための
垂直クラックを形成後レーザ光線の走査によりブレーク
をするようにしてもよいことはいうまでもない。
【0041】実施例3.図4は、本発明による液晶表示
装置の他の実施例を示す図で、図1に対応した図であ
る。
【0042】図1と異なる構成は、たとえばガラス基板
SUB2(ガラス基板SUB1も同様)の液晶側の面で
あって、シール材SLの形成領域の外方で、かつ切断線
CLを超えた部分に、前記シール材SLの各辺のそれぞ
れに平行な線状の膨張バランス皮膜BCが形成されてい
る(この実施例では、シール材SLの角の部分には形成
されていない)ことにある。
【0043】このことから、ガラス基板SUB2におけ
る切断線CLは、シール材SLと膨張バランス皮膜BC
との間の領域に走行するようになっている。
【0044】前記シール材SLの線膨張係数は比較的大
きなものが用いられ、かつ、前記膨張バランス皮膜BC
はたとえばSiO2のように、ガラス基板SUB2の膨
張係数よりも小さな膨張係数のものが用いられている。
【0045】このようにした場合、ガラス基板SUB2
の切断線CLの近傍において、シール材SLによって発
生する圧縮応力が前記膨張バランス皮膜BCによって抑
制されることが確認される。
【0046】このため、該ガラス基板SUB2に該切断
線CLに沿ってスクライブを行った場合、その部分にマ
イクロクラック等の発生を回避させることができ、該ガ
ラス基板SUB2の分離面での割れ、欠けを防止できる
ようになる。
【0047】なお、該シール材SLを用いることによ
り、上述した効果を充分に奏することから、各ガラス基
板SUB1、SUB2のカッテングをする際に特にレー
ザ光線の走査によってスクライブする必要はなく、たと
えば従来行われていたカッタスクライブで分断のための
垂直クラックを形成後レーザ光線の走査によりブレーク
をするようにしてもよいことはいうまでもない。
【0048】図5は、図4と異なる他の実施例を示す図
で、図4と対応した図となっている。図4と異なる構成
は、たとえばガラス基板SUB2(ガラス基板SUB1
も同様)の液晶側と反対側の面において、シール材SL
の形成領域の外方で、かつ切断線CLを超えた部分に、
前記シール材SLの各辺のそれぞれに平行な線状の膨張
バランス皮膜BCが形成されていることにある。
【0049】この場合、膨張バランス皮膜BCは、ガラ
ス基板SUB2の膨張係数よりも大きな材料を選択する
ことができ、たとえばシール材SLと同様の材料を用い
ることができる。
【0050】このようにした場合でも、ガラス基板SU
B2の切断線CLの近傍において、シール材SLによっ
て発生する圧縮応力が前記膨張バランス皮膜BCによっ
て抑制されることが確認される。
【0051】このため、該ガラス基板SUB2に該切断
線CLに沿ってスクライブを行った場合、その部分にマ
イクロクラック等の発生を回避させることができ、該ガ
ラス基板SUB2の分離面での割れ、欠けを防止できる
ようになる。
【0052】したがって、該シール材SLを用いること
により、上述した効果を充分に奏することから、各ガラ
ス基板SUB1、SUB2のカッテングをする際に特に
レーザ光線の走査によってスクライブする必要はなく、
たとえば従来行われていたカッタスクライブで分断のた
めの垂直クラックを形成後レーザ光線の走査によりブレ
ークをするようにしてもよい。
【0053】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による液晶表示装置およびその製造方法によれ
ば、ガラス基板の端面に信頼性を有するものが得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による液晶表示装置の一実施例を示す説
明図である。
【図2】本発明による液晶表示装置の一実施例を示す全
体等価回路図である。
【図3】本発明による液晶表示装置の一実施例を示す説
明図である。
【図4】本発明による液晶表示装置の一実施例を示す説
明図である。
【図5】本発明による液晶表示装置の一実施例を示す説
明図である。
【符号の説明】
SUB…ガラス基板、SL…シール材、BC…膨張バラ
ンス皮膜、GL…ゲート信号線、DL…ドレイン信号
線、TFT…薄膜トランジスタ、PIX…画素電極。
フロントページの続き (72)発明者 舘村 誠 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 沢 真司 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 Fターム(参考) 2H088 FA04 FA07 FA10 HA01 MA20 2H089 NA56 PA07 QA01 QA16 2H090 JA08 JB02 JD18 4G015 FA06 FA07 FB02 FC02 FC10

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液晶を介して対向配置される各ガラス基
    板と、該液晶を封止するとともに一方のガラス基板に対
    する他方のガラス基板の固着を行うシール材とを備え、 前記各ガラス基板の端面はレーザ光の走査によって切断
    された面となっていることを特徴とする液晶表示装置。
  2. 【請求項2】 液晶を介して対向配置される各ガラス基
    板と、該液晶を封止するとともに一方のガラス基板に対
    する他方のガラス基板の固着を行うシール材とを備え、 前記シール材は、その熱膨張率が前記各ガラス基板の熱
    膨張率よりも小さいことを特徴とする液晶表示装置。
  3. 【請求項3】 シール材の熱膨張率は10×10-6/℃
    以下であることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示
    装置。
  4. 【請求項4】 一方のガラス基板に対し他方のガラス基
    板が対向配置され、それら各ガラス基板の間に各ガラス
    基板の固着を兼ねるシール材によって液晶が封入された
    ものを用意する工程と、少なくとも一方のガラス基板を
    前記シール材の外側にて切断する工程とからなり、 切断前の前記一方のガラス基板にはそのシール材側の面
    において該シール材の外側であって切断する個所を超え
    て該ガラス基板よりも熱膨張率の小さな膨張バランス皮
    膜が形成されていることを特徴とする液晶表示装置の製
    造方法。
  5. 【請求項5】 一方のガラス基板に対し他方のガラス基
    板が対向配置され、それら各ガラス基板の間に各ガラス
    基板の固着を兼ねるシール材によって液晶が封入された
    ものを用意する工程と、少なくとも一方のガラス基板を
    前記シール材の外側にて切断する工程とからなり、 切断前の前記一方のガラス基板にはそのシール材と反対
    側の面において該シール材の外側であって切断する個所
    を超えて該ガラス基板よりも熱膨張率の大きな膨張バラ
    ンス皮膜が形成されていることを特徴とする液晶表示装
    置の製造方法。
JP2001092171A 2001-03-28 2001-03-28 液晶表示装置およびその製造方法 Pending JP2002287107A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001092171A JP2002287107A (ja) 2001-03-28 2001-03-28 液晶表示装置およびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001092171A JP2002287107A (ja) 2001-03-28 2001-03-28 液晶表示装置およびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002287107A true JP2002287107A (ja) 2002-10-03

Family

ID=18946680

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001092171A Pending JP2002287107A (ja) 2001-03-28 2001-03-28 液晶表示装置およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002287107A (ja)

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006220757A (ja) * 2005-02-08 2006-08-24 Asahi Glass Co Ltd 薄板ガラス積層体及び薄板ガラス積層体を用いた表示装置の製造方法
JP2013032280A (ja) * 2003-02-19 2013-02-14 Nippon Electric Glass Co Ltd 半導体パッケージ用カバーガラス
US9016091B2 (en) 2009-11-25 2015-04-28 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9021836B2 (en) 2009-11-25 2015-05-05 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9045365B2 (en) 2008-06-23 2015-06-02 Hamamatsu Photonics K.K. Fusion-bonding process for glass
US9073778B2 (en) 2009-11-12 2015-07-07 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method
US9181126B2 (en) 2008-05-26 2015-11-10 Hamamatsu Photonics K.K. Glass fusion method
US9227871B2 (en) 2009-11-25 2016-01-05 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9236213B2 (en) 2009-11-25 2016-01-12 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9233872B2 (en) 2009-11-25 2016-01-12 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
JP2016008172A (ja) * 2014-06-25 2016-01-18 三星ダイヤモンド工業株式会社 貼り合わせ基板の分断方法
JP2016008171A (ja) * 2014-06-25 2016-01-18 三星ダイヤモンド工業株式会社 貼り合わせ基板の分断方法
US9701582B2 (en) 2009-11-25 2017-07-11 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9887059B2 (en) 2009-11-25 2018-02-06 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method
US9922790B2 (en) 2009-11-25 2018-03-20 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method
US10322469B2 (en) 2008-06-11 2019-06-18 Hamamatsu Photonics K.K. Fusion bonding process for glass

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013032280A (ja) * 2003-02-19 2013-02-14 Nippon Electric Glass Co Ltd 半導体パッケージ用カバーガラス
JP2006220757A (ja) * 2005-02-08 2006-08-24 Asahi Glass Co Ltd 薄板ガラス積層体及び薄板ガラス積層体を用いた表示装置の製造方法
US9181126B2 (en) 2008-05-26 2015-11-10 Hamamatsu Photonics K.K. Glass fusion method
US10322469B2 (en) 2008-06-11 2019-06-18 Hamamatsu Photonics K.K. Fusion bonding process for glass
US9045365B2 (en) 2008-06-23 2015-06-02 Hamamatsu Photonics K.K. Fusion-bonding process for glass
US9073778B2 (en) 2009-11-12 2015-07-07 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method
US9236213B2 (en) 2009-11-25 2016-01-12 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9227871B2 (en) 2009-11-25 2016-01-05 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9021836B2 (en) 2009-11-25 2015-05-05 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9233872B2 (en) 2009-11-25 2016-01-12 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9701582B2 (en) 2009-11-25 2017-07-11 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
US9887059B2 (en) 2009-11-25 2018-02-06 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method
US9922790B2 (en) 2009-11-25 2018-03-20 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method
US9016091B2 (en) 2009-11-25 2015-04-28 Hamamatsu Photonics K.K. Glass welding method and glass layer fixing method
JP2016008172A (ja) * 2014-06-25 2016-01-18 三星ダイヤモンド工業株式会社 貼り合わせ基板の分断方法
JP2016008171A (ja) * 2014-06-25 2016-01-18 三星ダイヤモンド工業株式会社 貼り合わせ基板の分断方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002287107A (ja) 液晶表示装置およびその製造方法
US9746728B2 (en) Display panel with metal connecting line area including protective layer and display device
KR100263135B1 (ko) 접합 유리 기판 구조 및 그 제조 방법
JP2001294437A (ja) 液晶表示装置のガラス基板の面取り方法およびその方法に用いる加熱器
JP5949334B2 (ja) 貼り合わせ基板、及び製造方法
US10488721B2 (en) Liquid crystal on silicon packaging
JP2008096836A (ja) 液晶表示パネルの製造方法、および液晶表示パネル
JP4408192B2 (ja) 液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法
KR19990028042A (ko) 박막트랜지스터의 게이트 제조공정
CN106940487B (zh) 基板断开方法
JP2004101674A (ja) 液晶表示装置
JP2003222904A (ja) 液晶表示パネル
CN113611700A (zh) 显示面板母板
JPH10170946A (ja) 液晶表示装置
JP4140053B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法
JP7399059B2 (ja) 画像表示パネルの製造方法
JP2003114420A (ja) 液晶表示パネルの製造方法
CN102109713A (zh) 一种液晶显示面板、阵列基板及其制备方法
JP2010159187A (ja) 基板ブレイク方法、基板ブレイク装置及びブレイクバー
JP2010230885A (ja) 液晶表示装置
KR101146457B1 (ko) 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
KR100500105B1 (ko) 배선에 접속된 어드레스 마크를 갖는 액정 디스플레이 장치
JP2005292505A (ja) 表示パネル及びicチップ、並びに、これらの製造方法
KR100997975B1 (ko) 액정 표시 장치용 기판의 절단 방법
JP2001174773A (ja) 液晶表示装置およびその製造方法