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JP2002267835A - 屈折率分散の決定方法および屈折率分布の決定方法 - Google Patents

屈折率分散の決定方法および屈折率分布の決定方法

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Publication number
JP2002267835A
JP2002267835A JP2001066190A JP2001066190A JP2002267835A JP 2002267835 A JP2002267835 A JP 2002267835A JP 2001066190 A JP2001066190 A JP 2001066190A JP 2001066190 A JP2001066190 A JP 2001066190A JP 2002267835 A JP2002267835 A JP 2002267835A
Authority
JP
Japan
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refractive index
film
data
value
wavelength
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001066190A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideo Fujii
秀雄 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pentax Corp
Original Assignee
Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd filed Critical Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
Priority to JP2001066190A priority Critical patent/JP2002267835A/ja
Publication of JP2002267835A publication Critical patent/JP2002267835A/ja
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  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】光学部品の光学特性を精度良く求めることを可
能とするような屈折率分散の決定方法、屈折率分布の決
定方法を提供すること。 【解決手段】膜厚方向の組成分布データと膜の構成材料
の屈折率データとを用いて計算される第１の光学特性の
計算値Ｐ１ｃａｌと測定値Ｐ１ｍとを求め、｜Ｐ１
ｃａｌ−Ｐ１ｍ｜が許容値以下となるように、各材料の
屈折率データを最適化パラーメータとして第１の最適化
処理を施し、各材料の屈折率を決定する。次いで、膜厚
データを最適化パラーメータとして第２の最適化処理を
施し、膜の膜厚を決定する。その後、第３の光学特性の
計算値Ｐ３ｃａｌと測定値Ｐ３ｍとを、異なる複数の波
長について求め、基準波長に対する比屈折率を最適化パ
ラーメータとして第３の最適化処理を施し、比屈折率を
決定する。前記の最適化処理で決定された各材料の屈折
率と膜厚と比屈折率とを用いて、屈折率分散を求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、２種以上の材料で
構成された膜の屈折率分散の決定方法および屈折率分布
の決定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】眼鏡レンズやカメラレンズのような光学
部品においては、優れた性能を保証するために、その光
学特性（例えば、屈折率等）を精度良く求める必要があ
る。
【０００３】例えば、従来、光学部品の屈折率を測定す
る方法として、分光反射率法、分光透過率法、偏光解析
法等が用いられてきた。
【０００４】これらの方法では、それぞれに対応する光
学特性（分光反射率、分光透過率、偏光解析値）の測定
値と、計算値とが一致するように、膜屈折率、膜厚を最
適化することにより、屈折率を決定する。均質な膜の屈
折率を決定する場合、前述した方法は非常に有効であ
る。
【０００５】一方、厚さ方向に組成が変化する膜に前述
した方法を適用する場合には、膜をその厚さ方向に等分
割し、均一な組成を有する薄膜の積層体であるとみなし
て、各薄膜の屈折率を最適化することにより、屈折率分
布を求めていた。しかしながら、このような方法では、
最適化で収束する可能性のある屈折率分布が多数存在す
る。このため、このような方法で求められた屈折率分布
は、信頼性の低いものであった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、光学
部品の光学特性を精度良く求めることを可能とするよう
な屈折率分散の決定方法、屈折率分布の決定方法を提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
（１）〜（１２）の本発明により達成される。
【０００８】（１） ２種以上の材料で構成され、か
つ、厚さ方向に屈折率が変化する膜について、波長に関
する屈折率分散を求める方法であって、前記膜の厚さ方
向の組成分布データ、および前記膜を構成する各材料の
基準波長における屈折率データを初期条件として用いて
計算される第１の光学特性の計算値と、前記第１の光学
特性の測定値とを求め、前記第１の光学特性の前記計算
値と、前記第１の光学特性の前記測定値とを比較し、そ
の差が許容範囲内の値となるように、前記各材料の前記
基準波長における前記屈折率データを最適化パラーメー
タとして、第１の最適化処理を施すことにより、前記各
材料の前記基準波長における屈折率を決定し、前記第１
の最適化処理を施すことにより決定された前記各材料の
前記基準波長における前記屈折率、前記組成分布デー
タ、および前記膜の膜厚データを初期条件として用いて
計算される第２の光学特性の計算値と、前記第２の光学
特性の測定値とを求め、前記第２の光学特性の前記計算
値と、前記第２の光学特性の前記測定値とを比較し、そ
の差が許容範囲内の値となるように、前記膜厚データを
最適化パラーメータとして、第２の最適化処理を施すこ
とにより、前記膜の膜厚を決定し、前記第１の最適化処
理を施すことにより決定された前記各材料の前記基準波
長における前記屈折率、および前記第２の最適化処理を
施すことにより決定された前記膜厚を用いて計算される
第３の光学特性の計算値と、前記第３の光学特性の測定
値とを、異なる複数の波長について求め、前記複数の波
長について、それぞれ、前記第３の光学特性の計算値
と、前記第３の光学特性の測定値とを比較し、その差が
許容範囲内の値となるように、前記基準波長に対する比
屈折率を最適化パラーメータとして、第３の最適化処理
を施すことにより、前記複数の波長での前記比屈折率を
決定し、波長に関する屈折率分散を求めることを特徴と
する屈折率分散の決定方法。
【０００９】これにより、波長に関する屈折率分散を、
精度良く求めることが可能な屈折率分散の決定方法を提
供することができる。
【００１０】（２） 前記組成分布データは、前記膜を
厚さ方向に等分割する複数の箇所での組成比データより
なるものである上記（１）に記載の屈折率分散の決定方
法。
【００１１】これにより、波長に関する屈折率分散を、
さらに精度良く求めることが可能となる。
【００１２】（３） 前記組成分布データは、前記膜の
製造時における前記各材料の成膜速度データから得られ
たものである上記（１）または（２）に記載の屈折率分
散の決定方法。
【００１３】これにより、波長に関する屈折率分散を、
さらに精度良く求めることが可能となる。
【００１４】（４） 前記各材料の前記屈折率データ
は、前記各材料のそれぞれについて、実質的に単一の前
記各材料のみで構成された膜の屈折率の測定から得られ
たものである上記（１）ないし（３）のいずれかに記載
の屈折率分散の決定方法。
【００１５】これにより、波長に関する屈折率分散を、
さらに精度良く求めることが可能となる。
【００１６】（５） 前記膜厚データは、前記膜の製造
時における前記各材料の成膜速度データより得られたも
のである上記（１）ないし（４）のいずれかに記載の屈
折率分散の決定方法。
【００１７】これにより、波長に関する屈折率分散を、
より効率良く決定することが可能となる。
【００１８】（６） 前記第１の光学特性は、分光反射
率、分光透過率、偏光解析法から選択される少なくとも
一つである上記（１）ないし（５）のいずれかに記載の
屈折率分散の決定方法。
【００１９】これにより、波長に関する屈折率分散を、
さらに精度良く求めることが可能となる。
【００２０】（７） 前記第２の光学特性は、分光反射
率、分光透過率、偏光解析法から選択される少なくとも
一つである上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の
屈折率分散の決定方法。
【００２１】これにより、波長に関する屈折率分散を、
さらに精度良く求めることが可能となる。
【００２２】（８） 前記第３の光学特性は、分光反射
率、分光透過率、偏光解析法から選択される少なくとも
一つである上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の
屈折率分散の決定方法。
【００２３】これにより、波長に関する屈折率分散を、
さらに精度良く求めることが可能となる。
【００２４】（９） 前記第１の最適化処理は、最小二
乗法により行うものである上記（１）ないし（８）のい
ずれかに記載の屈折率分散の決定方法。
【００２５】これにより、波長に関する屈折率分散を、
さらに精度良く求めることが可能となる。
【００２６】（１０） 前記第２の最適化処理は、最小
二乗法により行うものである上記（１）ないし（９）の
いずれかに記載の屈折率分散の決定方法。
【００２７】これにより、波長に関する屈折率分散を、
さらに精度良く求めることが可能となる。
【００２８】（１１） 前記第３の最適化処理は、最小
二乗法により行うものである上記（１）ないし（１０）
のいずれかに記載の屈折率分散の決定方法。
【００２９】これにより、波長に関する屈折率分散を、
さらに精度良く求めることが可能となる。
【００３０】（１２） 上記（１）ないし（１１）のい
ずれかに記載の屈折率分散の決定方法で決定された前記
各材料の前記基準波長における前記屈折率、前記膜厚、
および前記比屈折率を用いて、前記膜の厚さ方向の屈折
率分布を求めることを特徴とする屈折率分布の決定方
法。
【００３１】これにより、膜の厚さ方向の屈折率分布
を、（正確に）精度良く求めることが可能な屈折率分散
の決定方法を提供することができる。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の屈折率分布の決定
方法および屈折率分散の決定方法を添付図面に示す好適
実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３３】本発明は、２種以上の材料で構成され、そ
の厚さ方向に屈折率が変化する膜について、屈折率分
散、屈折率分布を求める方法である。
【００３４】以下、本明細書中では、本発明により屈折
率分散、屈折率分布を求める膜は、ｎ種（ただしｎは２
以上の整数）の材料（第１の材料、第２の材料、・・・
第ｎの材料）で構成されたものとして説明する。
【００３５】図１、図２および図３は、本発明の屈折率
分布の決定方法、屈折率分散の決定方法の一例を示すフ
ローチャートである。以下、このフローチャートに基づ
いて説明する。
【００３６】まず、屈折率分散、屈折率分布を求める膜
について、成膜速度データがあるか判断する（ステップ
Ｓ１０１）。
【００３７】ステップＳ１０１において、成膜速度デー
タがあると判断した場合には、前記成膜速度データを用
いて、膜の厚さ方向の異なる複数の箇所における膜の組
成比データを得、該組成比データから膜の厚さ方向の組
成分布データを作成する（ステップＳ１０２）。
【００３８】言い換えると、ステップＳ１０２では、上
面から深さｄの部位における、第１の材料の組成比：Ｑ
1（ｄ）、第２の材料の組成比：Ｑ2（ｄ）、・・・第ｎ
の材料の組成比：Ｑn（ｄ）を、異なる複数のｄについ
て求める。
【００３９】一方、膜の成膜速度データがないと判断し
た場合には、膜の厚さ方向の異なる複数の箇所におい
て、組成比分析を行う（ステップＳ１０３）。
【００４０】ステップＳ１０３での組成比分析は、いか
なる方法で行ってもよいが、オージェ電子分光法、Ｘ線
光電子分光法、２次イオン質量分析から選択される少な
くとも一つの方法を用いて得られたものであるのが好ま
しい。組成比分析をこのような方法で行うことにより、
各材料の組成比を、特に優れた精度で求めることができ
る。
【００４１】さらに、ステップＳ１０３の測定で得られ
た結果を基に、膜の厚さ方向の異なる複数の箇所におけ
る組成比データを得、該組成比データから膜の厚さ方向
の組成分布データを作成する（ステップＳ１０４）。
【００４２】言い換えると、ステップＳ１０４では、上
面から深さｄの部位における、第１の材料の組成比：Ｑ
1（ｄ）、第２の材料の組成比：Ｑ2（ｄ）、・・・第ｎ
の材料の組成比：Ｑn（ｄ）を、異なる複数のｄについ
て求める。
【００４３】前記組成比データは、例えば、膜の厚さ方
向の異なる５箇所以上について求めるのが好ましく、１
０箇所以上について求めるのがより好ましい。これによ
り、膜の厚さ方向の組成比分布を、特に優れた精度で求
めることができ、結果として、波長に関する屈折率分
散、膜の厚さ方向の屈折率分布を精度良く決定すること
が可能となる。
【００４４】また、前記組成比データは、膜の厚さ方向
の異なる複数箇所に関するものであればよいが、膜を等
分割する複数の箇所について求められたものであるのが
好ましい。これにより、膜の厚さ方向の組成比分布を、
特に優れた精度で求めることができ、結果として、波長
に関する屈折率分散、膜の厚さ方向の屈折率分布を精度
良く決定することが可能となる。
【００４５】ステップＳ１０２またはステップＳ１０４
で得られた組成比データ（組成分布データ）と、膜を構
成する各材料の基準波長における屈折率データとを用い
て、膜の厚さ方向の各部位での、基準波長における屈折
率（以下、「基準屈折率」ともいう）の値を計算により
求める（ステップＳ１０５）。
【００４６】ここで、基準波長は、実質的に一定の値を
有するものであればいかなる値であってもよいが、例え
ば、膜が眼鏡レンズやカメラレンズのような光学部品で
ある場合、３５０〜１３５０ｎｍであるのが好ましく、
４００〜１３００ｎｍであるのがより好ましい。
【００４７】第１の材料、第２の材料、・・・第ｎの材
料の基準波長における屈折率（基準屈折率）を、それぞ
れ、Ｎ1、Ｎ2、・・・Ｎnとしたとき、上面から深さｄ
の部位での膜の基準屈折率Ｎ（ｄ）は、下記式（I）で
表すことができる。 Ｎ（ｄ）＝Ｑ1（ｄ）・Ｎ1＋Ｑ2（ｄ）・Ｎ2＋・・・Ｑn（ｄ）・Ｎn ・・・（I）
【００４８】このとき、膜を構成する各材料の屈折率デ
ータ（Ｎ1、Ｎ2、・・・Ｎn）は、実質的にそれぞれに
対応する材料のみで構成された膜（単一組成膜）の基準
波長における屈折率の測定から得られたものであるのが
好ましい。すなわち、Ｎ1としては、実質的に第１の材
料のみで構成された単一組成膜について測定した基準屈
折率を用い、Ｎ2としては、実質的に第２の材料のみで
構成された単一組成膜について測定した基準屈折率を用
いるのが好ましい。これにより、後述する第１の最適化
処理を効率良く行うことができる。
【００４９】次に、前記組成分布データと前記屈折率デ
ータとを用いて、第１の光学特性の計算値Ｐ１calを求
める（ステップＳ１０６）。
【００５０】ステップＳ１０６では、膜が均一な厚さを
有する複数の層からなる積層体（多層膜）であるとみな
して、通常の多層膜計算を行うことにより、第１の光学
特性の計算値Ｐ１calを求めることができる。
【００５１】第１の光学特性としては、例えば、分光反
射率、分光透過率、偏光解析法による偏光解析値等が挙
げられる。
【００５２】次に、ステップＳ１０６で求めた第１の光
学特性の計算値Ｐ１calを、第１の光学特性の測定値Ｐ
１mと比較し、第１の光学特性の計算値Ｐ１calと第１の
光学特性の測定値Ｐ１mとの差の絶対値（以下単に、
「Ｐ１calとＰ１mとの差」という。）、およびこのとき
の各材料の基準屈折率Ｎ1、Ｎ2、・・・Ｎnを記憶する
（ステップＳ１０７）。
【００５３】Ｐ１calとＰ１mとの比較は、いかなる方法
で行ってもよいが、最小二乗法により行うのが好まし
い。Ｐ１calとＰ１mとの比較を最小二乗法で行うことに
より、屈折率分散、屈折率分布をさらに精度良く求める
ことが可能となり、結果として、膜の光学特性をさらに
精度よく求めることが可能となる。
【００５４】次に、Ｐ１calとＰ１mとの差が許容値以下
であるか否かを判断する（ステップＳ１０８）。
【００５５】ステップＳ１０８で、Ｐ１calとＰ１mとの
差が許容値を超えると判断した場合、最適化パラメータ
として、各材料の基準波長における屈折率の値を変更す
る（ステップＳ１０９）。
【００５６】ステップＳ１０９の後、ステップＳ１０５
に戻り、再度、ステップＳ１０５〜ステップＳ１０８を
実行する。ただし、ステップＳ１０７では、新たに求め
られたＰ１calとＰ１mとの差が、既に記憶されているＰ
１calとＰ１mとの差よりも小さい場合についてのみ、新
たに求められたＰ１calとＰ１mとの差、およびこのとき
の各材料の基準屈折率Ｎ１、Ｎ2、・・・Ｎnを記憶す
る。
【００５７】このように、本発明は、ステップＳ１０５
〜ステップＳ１０８およびステップＳ１０９において、
Ｐ１calとＰ１mとの差が許容値以下となるように、各材
料の基準波長における屈折率を変更する点に特徴を有す
る。言い換えると、本発明は、各材料の基準波長におけ
る屈折率を最適化パラメータとして、第１の最適化処理
を施すことに特徴を有する。これにより、波長に関する
屈折率分散、膜の厚さ方向の屈折率分布を精度良く求め
ることが可能となる。
【００５８】そして、ステップＳ１０８において、Ｐ１
calとＰ１mとの差が許容値以下であると判断した場合、
最終的にステップＳ１０８で記憶されたＮ1、Ｎ2、・・
・Ｎ nを各材料の基準波長における屈折率として決定す
る（ステップＳ１１０）。
【００５９】次に、ステップＳ１１０で決定した各材料
の基準波長における屈折率と、前記組成分布データと、
膜の膜厚データとを用いて、第２の光学特性の計算値Ｐ
２ca lを求める（ステップＳ１１１）。
【００６０】ステップＳ１１１では、膜が均一な厚さを
有する複数の層からなる積層体（多層膜）であるとみな
して、通常の多層膜計算を行うことにより、第２の光学
特性の計算値Ｐ２calを求めることができる。
【００６１】第２の光学特性としては、例えば、分光反
射率、分光透過率、偏光解析法による偏光解析値等が挙
げられる。第２の光学特性は、前記第１の光学特性と同
一であってもよいし、異なるものであってもよい。
【００６２】また、膜の膜厚データは、例えば、前記成
膜速度データを用いた計算や、光干渉法、触針法、破断
面観察法、重量測定法等の各種測定法により得ることが
できる。
【００６３】次に、ステップＳ１１１で求めた第２の光
学特性の計算値Ｐ２calを、第２の光学特性の測定値Ｐ
２mと比較し、第２の光学特性の計算値Ｐ２calと第２の
光学特性の測定値Ｐ２mとの差の絶対値（以下単に、
「Ｐ２calとＰ２mとの差」という。）、およびこのとき
用いた膜厚データを記憶する（ステップＳ１１２）。
【００６４】Ｐ２calとＰ２mとの比較は、いかなる方法
で行ってもよいが、最小二乗法により行うのが好まし
い。Ｐ２calとＰ２mとの比較を最小二乗法で行うことに
より、屈折率分散、屈折率分布をさらに精度良く求める
ことが可能となり、結果として、膜の光学特性をさらに
精度よく求めることが可能となる。
【００６５】次に、ステップＳ１１２での、Ｐ２calと
Ｐ２mとの差が許容値以下であるか否かを判断する（ス
テップＳ１１３）。
【００６６】ステップＳ１１３で、Ｐ２calとＰ２mとの
差が許容値を超えると判断した場合、各層の厚さが均一
な比率で変化するように、膜厚データの値を最適化パラ
メータとして変更する（ステップＳ１１４）。
【００６７】ステップＳ１１４の後、ステップＳ１１１
に戻り、再度、ステップＳ１１１〜ステップＳ１１３を
実行する。ただし、ステップＳ１１２では、新たに求め
られたＰ２calとＰ２mとの差が、既に記憶されているＰ
２calとＰ２mとの差よりも小さい場合についてのみ、新
たに求められたＰ２calとＰ２mとの差、およびこのとき
の膜厚データを記憶する。
【００６８】このように、本発明は、ステップＳ１１１
〜ステップＳ１１３およびステップＳ１１４において、
Ｐ２calとＰ２mとの差が許容値以下となるように、膜厚
データを変更する点に特徴を有する。言い換えると、本
発明は、膜の膜厚データを最適化パラメータとして、第
２の最適化処理を施すことに特徴を有する。これによ
り、波長に関する屈折率分散、膜の厚さ方向の屈折率分
布を精度良く求めることが可能となる。
【００６９】そして、ステップＳ１１３において、Ｐ２
calとＰ２mとの差が許容値以下であると判断した場合、
最終的にステップＳ１１３で記憶された膜厚データ（最
適化された膜厚データ）を、膜の厚さとして決定する
（ステップＳ１１５）。
【００７０】その後、ステップＳ１１０で決定された各
材料の基準波長における屈折率およびステップＳ１１５
で決定された膜の厚さを用いて、以下に示すような第３
の最適化処理を施す。第３の最適化処理は、ある波長領
域の異なる複数の波長において、第３の光学特性の計算
値Ｐ３calを求め、これらをそれぞれに対応する第３の
光学特性の測定値Ｐ３mと比較することにより行う。第
３の光学特性としては、例えば、分光反射率、分光透過
率、偏光解析法による偏光解析値等が挙げられる。第３
の光学特性は、前記第１の光学特性および／または前記
第２の光学特性と同一であってもよいし、異なるもので
あってもよい。
【００７１】まず、第３の光学特性の計算値を求める波
長（以下、「計算波長」ともいう）λを、前記波長領域
（以下、「計算領域」ともいう）の最短波長に設定する
（ステップＳ１１６）。
【００７２】計算領域の範囲（第３の光学特性の計算値
を求める最長波長と最短波長との差）は、例えば、２０
０〜３０００ｎｍ程度であるのが好ましく、３５０〜１
３５０ｎｍ程度であるのがより好ましい。
【００７３】次に、ステップＳ１１０で決定した各材料
の基準屈折率を用いて計算される深さｄの部位での基準
屈折率Ｎ（ｄ）に、基準波長に対する計算波長λの比屈
折率ｎ（λ）を乗じて、波長λにおける屈折率Ｎ
λ（ｄ）とする（ステップＳ１１７）。なお、深さｄの
部位での、波長λにおける屈折率Ｎλ（ｄ）は、下記式
（II）で表すことができる。 Ｎλ（ｄ）＝ｎ（λ）・Ｎ（ｄ） ・・・（II）
【００７４】基準波長に対する計算波長λの比屈折率ｎ
（λ）の初期値は、特に限定されるものではないが、例
えば、ｎ（λ）の初期値を１とすることにより、第３の
最適化処理を効率良く行うことができる。
【００７５】次に、ステップＳ１１７で求めたＮ
λ（ｄ）を用いて、第３の光学特性の計算値Ｐ３calを
求める（ステップＳ１１８）。
【００７６】ステップＳ１１７では、膜が均一な厚さを
有する複数の層からなる積層体（多層膜）であるとみな
して、通常の多層膜計算を行うことにより、第３の光学
特性の計算値Ｐ３calを求めることができる。
【００７７】次に、ステップＳ１１８で求めた計算波長
λにおける第３の光学特性の計算値Ｐ３calを、計算波
長λにおける第３の光学特性の測定値Ｐ３mと比較し、
第３の光学特性の計算値Ｐ３calと第３の光学特性の測
定値Ｐ３mとの差の絶対値（以下単に、「Ｐ３calとＰ３
mとの差」という。）、およびこのとき用いた比屈折率
ｎ（λ）の値を記憶する（ステップＳ１１９）。
【００７８】Ｐ３calとＰ３mとの比較は、いかなる方法
で行ってもよいが、最小二乗法により行うのが好まし
い。Ｐ３calとＰ３mとの比較を最小二乗法で行うことに
より、屈折率分散、屈折率分布をさらに精度良く求める
ことが可能となり、結果として、膜の光学特性をさらに
精度よく求めることが可能となる。
【００７９】次に、ステップＳ１１９での、Ｐ３calと
Ｐ３mとの差が許容値以下であるか否かを判断する（ス
テップＳ１２０）。
【００８０】ステップＳ１２０で、Ｐ３calとＰ３mとの
差が許容値を超えると判断した場合、計算波長での比屈
折率ｎ（λ）の値を最適化パラメータとして変更する
（ステップＳ１２１）。
【００８１】ステップＳ１２１の後、ステップＳ１１８
に戻り、再度、ステップＳ１１８〜ステップＳ１２０を
実行する。ただし、ステップＳ１１９では、新たに求め
られたＰ３calとＰ３mとの差が、既に記憶されているＰ
３calとＰ３mとの差よりも小さい場合についてのみ、新
たに求められたＰ３calとＰ３mとの差、およびこのとき
の比屈折率ｎ（λ）の値を記憶する。
【００８２】このように、本発明は、ステップＳ１１８
〜ステップＳ１２０およびステップＳ１２１において、
Ｐ３calとＰ３mとの差が許容値以下となるように、比屈
折率ｎ（λ）を変更する点に特徴を有する。言い換える
と、本発明は、比屈折率ｎ（λ）を最適化パラメータと
して、第３の最適化処理を施すことに特徴を有する。こ
れにより、波長に関する屈折率分散、膜の厚さ方向の屈
折率分布を精度良く求めることが可能となる。
【００８３】そして、ステップＳ１２０において、Ｐ３
calとＰ３mとの差が許容値以下であると判断した場合、
最終的にステップＳ１２０で記憶された比屈折率ｎ
（λ）（最適化された比屈折率ｎ（λ））を、基準波長
に対する波長λの比屈折率として決定する（ステップＳ
１２２）。
【００８４】次に、ステップＳ１２３で決定した比屈折
率が、計算領域の最大波長におけるものであるか否かを
判断する（ステップＳ１２３）。
【００８５】ステップＳ１２３で、計算波長λが、計算
領域での最大波長でないと判断した場合、計算波長λに
計算間隔Δλを加え、これを新たな計算波長λとする
（ステップＳ１２４）。
【００８６】計算間隔Δλは、例えば、０．５〜１００
ｎｍ程度であるのが好ましく、１〜９０ｎｍ程度である
のがより好ましい。
【００８７】ステップＳ１２４の後、ステップＳ１１８
に戻り、新たな計算波長λについて第３の最適化処理を
施し（ステップＳ１１８〜ステップＳ１２０およびステ
ップＳ１２１）、前記と同様にして、当該計算波長λで
の比屈折率を決定する（ステップＳ１２２）。
【００８８】そして、ステップＳ１２３において、計算
波長λが計算領域での最大波長であると判断した場合、
以上のようにして求められた各計算波長における比屈折
率ｎ（λ）を用いて、波長に関する屈折率分散を決定す
る（ステップＳ１２５）。
【００８９】さらに、第１の最適化処理で決定した各材
料の屈折率と、第２の最適化処理で決定した膜の厚さ
と、第３の最適化処理で決定した比屈折率とを用いて、
前記計算範囲の任意の波長における屈折率分布が求めら
れる（ステップＳ１２６）。
【００９０】以上、本発明の屈折率分散の決定方法およ
び屈折率分布の決定方法について説明したが、本発明
は、これに限定されるものではない。
【００９１】例えば、前述した実施形態では、第１の光
学特性の計算値Ｐ１cal、第２の光学特性の計算値Ｐ２
cal、第３の光学特性の計算値Ｐ３calを求める際に、膜
が均一な厚さを有する複数の層からなる積層体であると
みなして多層膜計算を行うが、Ｐ１cal、Ｐ２cal、Ｐ３
calは、これ以外の方法で求められるものであってもよ
い。多層膜計算は、例えば、膜が異なる厚さを有する複
数の層の積層体（多層膜）であるものとして行うもので
あってもよい。
【００９２】
【実施例】次に、本発明の具体的実施例について説明す
る。
【００９３】まず、屈折率分散、屈折率分布を求めるサ
ンプル膜を、以下のようにして製造した。
【００９４】［サンプル膜の製造］サンプル膜の製造
は、以下に示すような真空蒸着により行った。
【００９５】まず、ＬａＳＦ０１０ガラス基板を真空蒸
着装置内に取付け、真空蒸着装置内を２．０×１０-3Ｐ
ａまで排気（減圧）した。
【００９６】その後、真空蒸着装置内に、酸素導入し、
真空蒸着装置内の真空度を３．０×１０-1Ｐａとした。
【００９７】その後、ＬａＳＦ０１０ガラス基板に、材
料として、ＴｉＯ2（第１の材料）とＳｉＯ2（第２の材
料）とを用いて、これらの混合比を傾斜的に組成変化さ
せつつ、真空蒸着を行うことにより、サンプル膜を作製
した。真空蒸着時における基板温度は、２２０℃であっ
た。
【００９８】真空蒸着は、ＴｉＯ2の成膜速度を０．５
〜３．０ｎｍ／秒で線形変化させ、ＳｉＯ2の成膜速度
が１．５ｎｍ／秒でほぼ一定となるような条件で行っ
た。
【００９９】成膜時における、経時的な組成変化は、基
板近くに設置したＴｉＯ2用水晶振動子およびＳｉＯ2用
水晶振動子でモニタした。なお、ＴｉＯ2用水晶振動子
にはＳｉＯ2が蒸着されないように、また、ＳｉＯ2用水
晶振動子にはＴｉＯ2が蒸着されないように、ＴｉＯ2用
水晶振動子およびＳｉＯ2用水晶振動子を配置した。図
４に、各振動子を用いて測定されたＴｉＯ2およびＳｉ
Ｏ2の成膜速度変化を示す。
【０１００】このようにして作製したサンプル膜につい
て、下記実施例１および比較例１に示すような方法で、
屈折率分散、屈折率分布を決定し、５°分光反射率の測
定値と、計算値とを比較した。
【０１０１】［屈折率分散、屈折率分布の決定］ （実施例１）図１、図２および図３に示すフローチャー
トに従い、以下に示すような方法で、屈折率分散、屈折
率分布を求めた。
【０１０２】本実施例では、図４に示す成膜速度データ
を用いて、膜の厚さ方向の組成分布データを作成した。
すなわち、ステップＳ１０１で、成膜速度データがある
ものと判断し、ステップＳ１０２で、図４に示す成膜速
度データを用いて、組成分布データを作成した。得られ
た組成分布データを図５に示す。
【０１０３】ステップＳ１０５では、ステップＳ１０２
で得られた組成分布データを用いて、膜の厚さ方向の各
部位での基準波長における屈折率の値を計算により求め
た。このとき、基準波長は、５００ｎｍとした。
【０１０４】なお、ＴｉＯ2、ＳｉＯ2の基準波長におけ
る屈折率データとしては、それぞれ、ＴｉＯ2膜（単一
組成膜）、ＳｉＯ2膜（単一組成膜）について測定した
基準波長における屈折率（基準屈折率）を用いた。測定
により得られたＴｉＯ2膜の基準屈折率（Ｎ1）は２．
３、ＳｉＯ2膜の基準屈折率（Ｎ2）は１．４４であっ
た。
【０１０５】また、サンプル膜の膜厚データは、各材料
（ＴｉＯ2およびＳｉＯ2）の成膜速度と蒸着時間とを積
算することにより得た。成膜速度と蒸着時間との積算に
より求められたサンプル膜の膜厚（膜厚データ）は、約
４３５ｎｍであった。
【０１０６】このサンプル膜を、厚さ方向に２３等分さ
れた厚さ約１９ｎｍの層の積層体（多層膜）とみなし、
前記組成分布データと前記屈折率データとを用いて、通
常の多層膜計算を行うことにより、分光反射率（第１の
光学特性）の計算値Ｐ１calを求めた（ステップＳ１０
６）。
【０１０７】ステップＳ１０６で求めた分光反射率の計
算値Ｐ１calと、分光反射率の測定値Ｐ１mとを最小二乗
法により比較し、Ｐ１calとＰ１mとの差、およびこのと
きのＴｉＯ2の屈折率（Ｎ1）、ＳｉＯ2の屈折率（Ｎ2）
を記憶した（ステップＳ１０７）。
【０１０８】その後、Ｐ１calとＰ１mとの差が許容値以
下となるように、第１の最適化処理を施した。すなわ
ち、ステップＳ１０８において、Ｐ１calとＰ１mとの差
が許容値を超えると判断した後、ステップＳ１０９でＮ
１、Ｎ２の値を変化させ、再度、ステップＳ１０５〜ス
テップＳ１０８を実行し、Ｐ１calとＰ１mとの差が許容
値以下となるように、ステップＳ１０９、ステップＳ１
０５〜ステップＳ１０８を繰り返し実行した。ただし、
ステップＳ１０７では、新たに求められたＰ１ca lとＰ
１mとの差が、既に記憶されているＰ１calとＰ１mとの
差よりも小さい場合についてのみ、新たに求められたＰ
１calとＰ１mとの差、およびこのときのＴｉＯ2の屈折
率（Ｎ1）、ＳｉＯ2の屈折率（Ｎ2）を記憶した。
【０１０９】ステップＳ１０８で、Ｐ１calとＰ１mとの
差が許容値以下であると判断したときのＮ1、Ｎ2を、そ
れぞれ、ＴｉＯ2の屈折率、ＳｉＯ2の屈折率として決定
した（ステップＳ１１０）。
【０１１０】次に、ステップＳ１１０で決定したＴｉＯ
2、ＳｉＯ2の屈折率と、前記組成分布データと、前記膜
厚データとを用いて、通常の多層膜計算により、分光反
射率（第２の光学特性）の計算値Ｐ２calを求めた（ス
テップＳ１１１）。すなわち、本実施例では、第１の光
学特性および第２の光学特性には、同一の光学特性を用
いた。
【０１１１】なお、多層膜計算は、サンプル膜を、厚さ
方向に２３等分された厚さ約１９ｎｍの層の積層体（多
層膜）とみなして行った。
【０１１２】ステップＳ１１１で求めた分光反射率の計
算値Ｐ２calと、分光反射率の測定値Ｐ２mとを最小二乗
法により比較し、Ｐ２calとＰ２mとの差、およびこのと
きのサンプル膜の膜厚を記憶した（ステップＳ１１
２）。
【０１１３】その後、Ｐ２calとＰ２mとの差が許容値以
下となるように、第２の最適化処理を施した。すなわ
ち、ステップＳ１１３において、Ｐ２calとＰ２mとの差
が許容値を超えると判断した後、ステップＳ１１４でサ
ンプル膜の膜厚（膜厚データ）の値を変化させ、再度、
ステップＳ１１１〜ステップＳ１１３を実行し、Ｐ２ca
lとＰ２mとの差が許容値以下となるように、ステップＳ
１１４、ステップＳ１１１〜ステップＳ１１３を繰り返
し実行した。ただし、ステップＳ１１２では、新たに求
められたＰ２calとＰ２mとの差が、既に記憶されている
Ｐ２calとＰ２mとの差よりも小さい場合についてのみ、
新たに求められたＰ２calとＰ２mとの差、およびこのと
きの膜厚データを記憶した。
【０１１４】ステップＳ１１３で、Ｐ２calとＰ２mとの
差が許容値以下であると判断したとき、最終的にステッ
プＳ１１３で記憶された膜厚データをサンプル膜の厚さ
として決定した（ステップＳ１１５）。以上のようにし
て決定された膜厚は、４６０ｎｍであった。
【０１１５】その後、ステップＳ１１０で決定された各
材料の基準波長における屈折率およびステップＳ１１５
で決定された膜厚を用いて、以下に示すような第３の最
適化処理を施した。第３の最適化処理は、３５０〜１３
００ｎｍの波長領域（計算領域）において、５０ｎｍ毎
に、分光反射率（第３の光学特性）の計算値Ｐ３calを
求め、これらをそれぞれに対応する分光反射率（第３の
光学特性）の測定値Ｐ３mと比較することにより行っ
た。すなわち、本実施例では、第１の光学特性、第２の
光学特性および第３の光学特性としては、同一の光学特
性を用いた。
【０１１６】まず、計算波長λを３５０ｎｍに設定し
た。すなわち、計算波長λを、前記計算領域の最短波長
に設定した（ステップＳ１１６）。
【０１１７】次に、ステップＳ１１０で決定した各材料
の基準屈折率を用いて計算される深さｄの部位での基準
屈折率Ｎ（ｄ）に、基準波長に対する計算波長λの比屈
折率ｎ（λ）を乗じて、波長λにおける屈折率Ｎ
λ（ｄ）とした（ステップＳ１１７）。なお、基準波長
に対する計算波長λの比屈折率ｎ（λ）の初期値は、１
とした。
【０１１８】次に、ステップＳ１１０で決定したＴｉＯ
2、ＳｉＯ2の屈折率と、ステップＳ１１５で決定したサ
ンプル膜の膜厚と、ステップＳ１１７で求めた波長λに
おける屈折率Ｎλ（ｄ）とを用いて、通常の多層膜計算
により、分光反射率（第３の光学特性）の計算値Ｐ３
calを求めた（ステップＳ１１８）。
【０１１９】なお、多層膜計算は、サンプル膜を、厚さ
方向に２３等分された厚さ２０ｎｍの層の積層体（多層
膜）とみなして行った。
【０１２０】ステップＳ１１８で求めた計算波長λ（初
期値：３５０ｎｍ）における分光反射率の計算値Ｐ３
calと、計算波長λにおける分光反射率の測定値Ｐ３mと
を最小二乗法により比較し、Ｐ３calとＰ３mとの差、お
よびこのときの比屈折率ｎ（λ）を記憶した（ステップ
Ｓ１１９）。
【０１２１】その後、Ｐ３calとＰ３mとの差が許容値以
下となるように、第３の最適化処理を施した。すなわ
ち、ステップＳ１２０において、Ｐ３calとＰ３mとの差
が許容値を超えると判断した後、ステップＳ１２１で比
屈折率ｎ（λ）の値を変化させ、再度、ステップＳ１１
８〜ステップＳ１２０を実行し、Ｐ３calとＰ３mとの差
が許容値以下となるように、ステップＳ１２１、ステッ
プＳ１１８〜ステップＳ１２０を繰り返し実行した。た
だし、ステップＳ１１９では、新たに求められたＰ３
calとＰ３mとの差が、既に記憶されているＰ３calとＰ
３mとの差よりも小さい場合についてのみ、新たに求め
られたＰ３calとＰ３mとの差、およびこのときの比屈折
率ｎ（λ）を記憶した。
【０１２２】ステップＳ１２０で、Ｐ３calとＰ３mとの
差が許容値以下であると判断したとき、最終的にステッ
プＳ１２０で記憶された比屈折率ｎ（λ）の値を、基準
波長（５００ｎｍ）に対する波長λの比屈折率として決
定した（ステップＳ１２２）。
【０１２３】次に、ステップＳ１２３で決定した比屈折
率が、計算領域中の最大波長におけるものであるか否か
を判断した（ステップＳ１２３）。
【０１２４】ステップＳ１２３で、計算波長λが、計算
領域での最大波長（１３００ｎｍ）でないと判断したと
き、計算波長λに計算間隔Δλ（５０ｎｍ）を加え、こ
れを新たな計算波長λとした（ステップＳ１２４）。
【０１２５】ステップＳ１２４の後、ステップＳ１１８
に戻り、新たな計算波長λについて第３の最適化処理を
施し（ステップＳ１１８〜ステップＳ１２０およびステ
ップＳ１２１）、前記と同様にして、当該計算波長λで
の比屈折率を決定した（ステップＳ１２２）。
【０１２６】そして、ステップＳ１２３において、計算
波長λが計算領域での最大波長であると判断した場合、
以上のようにして求められた各計算波長における比屈折
率ｎ（λ）を用いて、波長に関する屈折率分散を決定し
た（ステップＳ１２５）。以上のようにして求められた
屈折率分散を図６に太線で示す。
【０１２７】ステップＳ１２５の後、第１の最適化処理
で決定した各材料の屈折率と、第２の最適化処理で決定
した膜厚と、第３の最適化処理で決定した比屈折率とを
用いて、波長５００ｎｍにおける屈折率分布を求めた
（ステップＳ１２６）。すなわち、厚さ方向での各部位
での基準屈折率Ｎ（ｄ）に比屈折率ｎ（λ）＝１を乗じ
たものを求めた。その結果を、図７に太線で示す。ま
た、５°分光反射率の計算値と、測定値との比較を図８
に示す。
【０１２８】（比較例１）以下に示すような方法で、サ
ンプル膜について、屈折率分布を求め、５°分光反射率
の測定値と、計算値とを比較した。
【０１２９】まず、図４に示す成膜速度データを用い
て、膜の厚さ方向の組成分布データを作成した。得られ
た組成分布データを図５に示す。
【０１３０】前記組成分布データを用いて、膜の厚さ方
向の各部位での屈折率の値を計算により求めた。
【０１３１】なお、ＴｉＯ2、ＳｉＯ2の屈折率データと
しては、それぞれ、ＴｉＯ2膜（純物質膜）、ＳｉＯ2膜
（純物質膜）について、波長５００ｎｍで測定した屈折
率を用いた。測定により得られたＴｉＯ2膜の屈折率
（Ｎ1）は２．３、ＳｉＯ2膜の屈折率（Ｎ2）は１．４
４であった。
【０１３２】サンプル膜の膜厚データは、各材料（Ｔｉ
Ｏ2およびＳｉＯ2）の成膜速度と蒸着時間とを積算する
ことにより得た。成膜速度と蒸着時間との積算により求
められたサンプル膜の膜厚（膜厚データ）は、約４３５
ｎｍであった。
【０１３３】このサンプル膜を、厚さ方向に２３等分さ
れた厚さ約１９ｎｍの層の積層体（多層膜）とみなし、
前記組成分布データと前記屈折率データとを用いて、通
常の多層膜計算を行うことにより、５°分光反射率の計
算値を求めた。
【０１３４】以上のようにして求められた５°分光反射
率の計算値と、５°分光反射率の測定値とを図９に示
す。
【０１３５】また、組成分布データと屈折率データとを
用いて求められた屈折率分布の計算値を図７に細線で示
す。なお、比較例１では、図６の細線で示すように、３
５０〜１３００ｎｍの波長領域（計算領域）では、屈折
率は一定であるものとした。すなわち、波長５００ｎｍ
での屈折率に対する比屈折率は、３５０〜１３００ｎｍ
の波長領域（計算領域）では、１であるものとした。
【０１３６】（比較例２）前記実施例１と同様にして、
ステップＳ１０１〜ステップＳ１１５を行い、その後、
第１の最適化処理で決定した各材料の屈折率と、第２の
最適化処理で決定した膜厚とを用いて、波長５００ｎｍ
における屈折率分布を求め、５°分光反射率の計算値を
求めた。すなわち、第３の最適化処理を行わなかった以
外は、前記実施例１と同様にして、５°分光反射率の計
算値を求めた。５°分光反射率の計算値と、測定値との
比較を図１０に示す。
【０１３７】［評価］図８から明らかなように、実施例
１では、第１の最適化処理、第２の最適化処理および第
３の最適化処理を施すことにより、５°分光反射率の計
算値と測定値との差は、非常に小さくなっている。
【０１３８】このように、本発明により求められた屈折
率分散、屈折率分布を用いることにより、高精度で、信
頼性の高い光学特性を決定することが可能となる。
【０１３９】これに対し、比較例１、２では、図９、図
１０に示すように、５°分光反射率の計算値と測定値と
の差が大きく、精度、信頼性の低い結果しか得られなか
った。特に、最適化処理の施していない比較例１では、
５°分光反射率の計算値と測定値との差が特に大きかっ
た。
【０１４０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の屈折率分散
の決定方法、屈折率分布の決定方法によれば、光学特性
を精度良く求めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の屈折率分布測定方法を示すフローチャ
ートである。
【図２】本発明の屈折率分布測定方法を示すフローチャ
ートである。
【図３】本発明の屈折率分布測定方法を示すフローチャ
ートである。
【図４】実施例で屈折率分布の測定に用いた薄膜の成膜
速度データを示すグラフである。
【図５】図４に示す成膜速度データから求められたＴｉ
Ｏ2とＳｉＯ2との組成分布を示すグラフである。
【図６】実施例１および比較例１で求められた屈折率分
散を示すグラフである。
【図７】実施例１および比較例１で求められた屈折率分
布を示すグラフである。
【図８】実施例１で求められた５°分光反射率の計算値
と、５°分光反射率の測定値とを示すグラフである。
【図９】比較例１で求められた５°分光反射率の計算値
と、５°分光反射率の測定値とを示すグラフである。
【図１０】比較例２で求められた５°分光反射率の計算
値と、５°分光反射率の測定値とを示すグラフである。
【符号の説明】
Ｓ１０１〜Ｓ１１６ ステップ

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ２種以上の材料で構成され、かつ、厚さ
    方向に屈折率が変化する膜について、波長に関する屈折
    率分散を求める方法であって、 前記膜の厚さ方向の組成分布データ、および前記膜を構
    成する各材料の基準波長における屈折率データを初期条
    件として用いて計算される第１の光学特性の計算値と、
    前記第１の光学特性の測定値とを求め、 前記第１の光学特性の前記計算値と、前記第１の光学特
    性の前記測定値とを比較し、その差が許容範囲内の値と
    なるように、前記各材料の前記基準波長における前記屈
    折率データを最適化パラーメータとして、第１の最適化
    処理を施すことにより、前記各材料の前記基準波長にお
    ける屈折率を決定し、 前記第１の最適化処理を施すことにより決定された前記
    各材料の前記基準波長における前記屈折率、前記組成分
    布データ、および前記膜の膜厚データを初期条件として
    用いて計算される第２の光学特性の計算値と、前記第２
    の光学特性の測定値とを求め、 前記第２の光学特性の前記計算値と、前記第２の光学特
    性の前記測定値とを比較し、その差が許容範囲内の値と
    なるように、前記膜厚データを最適化パラーメータとし
    て、第２の最適化処理を施すことにより、前記膜の膜厚
    を決定し、 前記第１の最適化処理を施すことにより決定された前記
    各材料の前記基準波長における前記屈折率、および前記
    第２の最適化処理を施すことにより決定された前記膜厚
    を用いて計算される第３の光学特性の計算値と、前記第
    ３の光学特性の測定値とを、異なる複数の波長について
    求め、 前記複数の波長について、それぞれ、前記第３の光学特
    性の計算値と、前記第３の光学特性の測定値とを比較
    し、その差が許容範囲内の値となるように、前記基準波
    長に対する比屈折率を最適化パラーメータとして、第３
    の最適化処理を施すことにより、前記複数の波長での前
    記比屈折率を決定し、波長に関する屈折率分散を求める
    ことを特徴とする屈折率分散の決定方法。
  2. 【請求項２】 前記組成分布データは、前記膜を厚さ方
    向に等分割する複数の箇所での組成比データよりなるも
    のである請求項１に記載の屈折率分散の決定方法。
  3. 【請求項３】 前記組成分布データは、前記膜の製造時
    における前記各材料の成膜速度データから得られたもの
    である請求項１または２に記載の屈折率分散の決定方
    法。
  4. 【請求項４】 前記各材料の前記屈折率データは、前記
    各材料のそれぞれについて、実質的に単一の前記各材料
    のみで構成された膜の屈折率の測定から得られたもので
    ある請求項１ないし３のいずれかに記載の屈折率分散の
    決定方法。
  5. 【請求項５】 前記膜厚データは、前記膜の製造時にお
    ける前記各材料の成膜速度データより得られたものであ
    る請求項１ないし４のいずれかに記載の屈折率分散の決
    定方法。
  6. 【請求項６】 前記第１の光学特性は、分光反射率、分
    光透過率、偏光解析法から選択される少なくとも一つで
    ある請求項１ないし５のいずれかに記載の屈折率分散の
    決定方法。
  7. 【請求項７】 前記第２の光学特性は、分光反射率、分
    光透過率、偏光解析法から選択される少なくとも一つで
    ある請求項１ないし６のいずれかに記載の屈折率分散の
    決定方法。
  8. 【請求項８】 前記第３の光学特性は、分光反射率、分
    光透過率、偏光解析法から選択される少なくとも一つで
    ある請求項１ないし７のいずれかに記載の屈折率分散の
    決定方法。
  9. 【請求項９】 前記第１の最適化処理は、最小二乗法に
    より行うものである請求項１ないし８のいずれかに記載
    の屈折率分散の決定方法。
  10. 【請求項１０】 前記第２の最適化処理は、最小二乗法
    により行うものである請求項１ないし９のいずれかに記
    載の屈折率分散の決定方法。
  11. 【請求項１１】 前記第３の最適化処理は、最小二乗法
    により行うものである請求項１ないし１０のいずれかに
    記載の屈折率分散の決定方法。
  12. 【請求項１２】 請求項１ないし１１のいずれかに記載
    の屈折率分散の決定方法で決定された前記各材料の前記
    基準波長における前記屈折率、前記膜厚、および前記比
    屈折率を用いて、前記膜の厚さ方向の屈折率分布を求め
    ることを特徴とする屈折率分布の決定方法。
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