JP2002255657A - Ceramic slurry, ceramic green sheets and multilayer ceramic electronic components - Google Patents
Ceramic slurry, ceramic green sheets and multilayer ceramic electronic componentsInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ピンホール等のシート欠陥がなく、表面粗
さ、引張り強度および伸び率において優れた、極薄の水
系セラミックグリーンシートを提供する。
【解決手段】 ＢａＴｉＯ3を主成分とするセラミック
粉末と、平均粒径１２０ｎｍ以下のポリウレタン樹脂を
水系溶媒に分散させたエマルジョンからなる有機ビヒク
ルと、分子内に１つ以上の三重結合を有するアセチレン
グリコールを含む界面活性剤と、からなるセラミックス
ラリーを成形し、セラミックグリーンシートを得る。(57) [Problem] To provide an extremely thin water-based ceramic green sheet which is free from sheet defects such as pinholes and has excellent surface roughness, tensile strength and elongation. SOLUTION: An organic vehicle composed of a ceramic powder mainly composed of BaTiO 3 , an emulsion in which a polyurethane resin having an average particle diameter of 120 nm or less is dispersed in an aqueous solvent, and acetylene glycol having at least one triple bond in a molecule A ceramic slurry comprising a surfactant and a surfactant is formed to obtain a ceramic green sheet.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、水系セラミックス
ラリー、およびそれを成形してなるセラミックグリーン
シート、ならびに、このセラミックグリーンシートを用
いてなる積層セラミック電子部品に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an aqueous ceramic slurry, a ceramic green sheet obtained by molding the same, and a multilayer ceramic electronic component using the ceramic green sheet.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、積層セラミック電子部品は、セ
ラミックグリーンシートを複数枚積層した生のセラミッ
ク積層体を焼成して作製される。近年、積層セラミック
電子部品の小型軽量化・高密度化に伴い、セラミックグ
リーンシートの厚みを３〜５μｍ程度にすることが求め
られている。2. Description of the Related Art In general, a multilayer ceramic electronic component is manufactured by firing a green ceramic laminate in which a plurality of ceramic green sheets are laminated. In recent years, as the multilayer ceramic electronic component has become smaller and lighter and has a higher density, it has been required to reduce the thickness of the ceramic green sheet to about 3 to 5 μm.
【０００３】このようなセラミックグリーンシートを形
成するには、まず、セラミック粉末と有機ビヒクルとを
混合し、分散させてセラミックスラリーを得る。ここ
で、有機ビヒクルは、ポリビニルブチラール樹脂等の有
機バインダを、ケトン類、炭化水素類、アルコール、エ
ステル、エーテルアルコール等の有機溶媒中に溶解させ
たものである。次に、ドクターブレード法、ロールコー
タ法、グラビアコータ法等により、セラミックスラリー
をキャリアテープ上に所定の厚さとなるように塗布す
る。そして、これを乾燥させることで、有機溶媒を揮発
除去してセラミックグリーンシートを成形する。In order to form such a ceramic green sheet, first, ceramic powder and an organic vehicle are mixed and dispersed to obtain a ceramic slurry. Here, the organic vehicle is obtained by dissolving an organic binder such as a polyvinyl butyral resin in an organic solvent such as a ketone, a hydrocarbon, an alcohol, an ester, and an ether alcohol. Next, a ceramic slurry is applied to a predetermined thickness on the carrier tape by a doctor blade method, a roll coater method, a gravure coater method, or the like. Then, by drying this, the organic solvent is volatilized and removed to form a ceramic green sheet.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、有機溶
媒を取り扱うには、専用の設備を導入する等の準備が必
要であった。また、有機溶媒を含むセラミックスラリー
は、有機溶媒の蒸発速度が速いため、セラミックスラリ
ーを乾燥させる際に有機溶媒の沸騰や対流が生じる場合
がある。このため、乾燥後のセラミックグリーンシート
にピンホール等のシート欠陥が発生する恐れがあった。
このようなセラミックグリーンシートを複数枚積層・圧
着し、焼成してなる積層セラミック電子部品において
は、所望の電気的特性が得られなくなる可能性がある。However, in order to handle an organic solvent, preparation such as introduction of a dedicated facility was required. Further, since the ceramic slurry containing an organic solvent has a high evaporation rate of the organic solvent, boiling and convection of the organic solvent may occur when the ceramic slurry is dried. For this reason, there is a possibility that sheet defects such as pinholes may occur in the dried ceramic green sheet.
In a multilayer ceramic electronic component formed by laminating, pressing and firing a plurality of such ceramic green sheets, desired electrical characteristics may not be obtained.
【０００５】そこで、有機溶媒の代わりに水系溶媒を用
い、有機バインダとしてアクリル樹脂やポリビニルアル
コール等の水溶性樹脂を含有する水系セラミックスラリ
ーを用いることが検討されている。[0005] Therefore, it has been studied to use an aqueous solvent instead of an organic solvent and to use an aqueous ceramic slurry containing a water-soluble resin such as an acrylic resin or polyvinyl alcohol as an organic binder.
【０００６】しかしながら、水の表面自由エネルギーは
７２ｍＮ／ｍであり、他の有機溶剤に比べて極めて大き
い。このため、水系セラミックスラリーは、表面自由エ
ネルギーが比較的小さいキャリアテープに対して、濡れ
性が劣ることとなる。したがって、水系のセラミックス
ラリーをキャリアテープに塗布する際、均一にスラリー
を塗布することができず、ピンホール等のシート欠陥が
発生する恐れがあった。[0006] However, the surface free energy of water is 72 mN / m, which is much higher than other organic solvents. Therefore, the aqueous ceramic slurry has poor wettability with respect to a carrier tape having a relatively small surface free energy. Therefore, when the aqueous ceramic slurry is applied to the carrier tape, the slurry cannot be applied uniformly, and there is a possibility that sheet defects such as pinholes may occur.
【０００７】また、アクリル樹脂やポリビニルアルコー
ル等の水溶性樹脂を用いた場合、有機バインダの分子量
を高めることが困難であるため、作製したセラミックグ
リーンシートの引張り強度や伸びが小さくなる場合があ
った。このため、特に薄層のセラミックグリーンシー
ト、およびこれを用いた積層セラミック電子部品の製造
が困難になるという問題があった。Further, when a water-soluble resin such as an acrylic resin or polyvinyl alcohol is used, it is difficult to increase the molecular weight of the organic binder, so that the tensile strength and elongation of the produced ceramic green sheet may be reduced. . Therefore, there is a problem that it is particularly difficult to manufacture a thin ceramic green sheet and a multilayer ceramic electronic component using the same.
【０００８】そこで、本発明は、キャリアテープに対す
る濡れ性に優れた水系のセラミックスラリーを提供する
ことを目的とする。また、このようなセラミックスラリ
ーを用いることにより、ピンホール等のシート欠陥がな
く、表面粗さが小さく、引張り強度伸びが大きい、極薄
の水系セラミックグリーンシートを提供することを目的
とする。さらに、このようなセラミックグリーンシート
を用いた積層セラミック電子部品を提供することを目的
とする。Therefore, an object of the present invention is to provide an aqueous ceramic slurry having excellent wettability to a carrier tape. Another object of the present invention is to provide an ultrathin water-based ceramic green sheet having no sheet defects such as pinholes, a small surface roughness, and a large tensile strength elongation by using such a ceramic slurry. It is another object of the present invention to provide a multilayer ceramic electronic component using such a ceramic green sheet.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、本発明のセラミックスラリーにおいては、セラミッ
ク粉末と、有機バインダと水系溶媒を含む有機ビヒクル
と、分子内に１つ以上の三重結合を有するアセチレング
リコール（別称：アルキンジオール）、または、分子内
に１つ以上の三重結合を有するアセチレングリコールの
エチレンオキサイド付加物を含む界面活性剤と、からな
ることを特徴とする。In order to achieve the above object, the ceramic slurry of the present invention comprises a ceramic powder, an organic vehicle containing an organic binder and an aqueous solvent, and one or more triple bonds in the molecule. Acetylene glycol (also called alkyne diol), or a surfactant containing an ethylene oxide adduct of acetylene glycol having one or more triple bonds in the molecule.
【００１０】このような界面活性剤を含有することによ
って、水系のセラミックスラリーをキャリアテープ等の
フィルム上に塗布する際の接触角が減少し、濡れ性が向
上する。なお、アセチレングリコールの一例として、例
えば、図１（ａ）の化学式で示されるものが挙げられ
る。また、アセチレングリコールのエチレンオキサイド
付加物を含む界面活性剤の一例として、図１（ｂ）の化
学式で示されるものが挙げられる。[0010] By containing such a surfactant, the contact angle when the aqueous ceramic slurry is applied onto a film such as a carrier tape is reduced, and the wettability is improved. In addition, as an example of acetylene glycol, for example, one represented by the chemical formula in FIG. Further, as an example of a surfactant containing an ethylene oxide adduct of acetylene glycol, one shown by the chemical formula in FIG.
【００１１】また、本発明のセラミックスラリーにおい
ては、有機バインダは、平均粒径が１２０ｎｍ以下のポ
リウレタン樹脂粒子からなることを特徴とする。The ceramic slurry of the present invention is characterized in that the organic binder comprises polyurethane resin particles having an average particle size of 120 nm or less.
【００１２】ここで、一般に、セラミックスラリーにお
ける有機バインダの含有量を変えずに、有機バインダの
粒径を小さくすると、セラミックスラリーを成形してな
るセラミックグリーンシートの相対密度、引張り強度、
伸びは高くなる。特に、有機バインダの平均粒径が１２
０ｎｍ以下であれば、相対密度、引張り強度、伸びが飛
躍的に向上し、ピンホール等のシート欠陥の発生率が低
下する。本発明における有機バインダの平均粒径は、さ
らに、５０μｍ以下であることが好ましい。Here, in general, when the particle size of the organic binder is reduced without changing the content of the organic binder in the ceramic slurry, the relative density, tensile strength,
Elongation is higher. In particular, when the average particle size of the organic binder is 12
When it is 0 nm or less, the relative density, tensile strength, and elongation are dramatically improved, and the incidence of sheet defects such as pinholes is reduced. The average particle size of the organic binder in the present invention is preferably 50 μm or less.
【００１３】また、本発明のセラミックスラリーにおい
ては、ポリウレタン樹脂粒子が水系溶媒中に微粒子状に
分散したエマルジョンからなる有機ビヒクルを含有する
ことを特徴とする。[0013] The ceramic slurry of the present invention is characterized in that the polyurethane resin particles contain an organic vehicle composed of an emulsion in the form of fine particles dispersed in an aqueous solvent.
【００１４】このようなエマルジョンが好ましい理由と
して、以下の３点が挙げられる。[0014] Such emulsions are preferred for the following three reasons.
【００１５】第１に、ポリウレタン樹脂はウレタン結合
構造を有し、ウレタン結合部のＮ−ＨとＣ＝Ｏの間、お
よび、ウレタン結合部のＮ−Ｈとポリオール部のＯの間
で水素結合するため、分子凝集力が優れる。First, the polyurethane resin has a urethane bond structure, and a hydrogen bond is formed between NH of the urethane bond and C = O and between NH of the urethane bond and O of the polyol. Therefore, the molecular cohesion is excellent.
【００１６】第２に、ポリウレタン樹脂はセグメント構
造を有し、ハードセグメント部で強度を発現し、ソフト
セグメント部で柔軟性を発現している。したがって、十
分な強度と伸びを有するセラミックグリーンシートが得
られる。Second, the polyurethane resin has a segment structure, exhibiting strength in a hard segment portion and exhibiting flexibility in a soft segment portion. Therefore, a ceramic green sheet having sufficient strength and elongation can be obtained.
【００１７】第３に、エマルジョンは分子量が大きく、
溶液型の有機バインダよりも造膜性に優れ、粘度も低く
分散性に優れる。したがって、水系セラミックスラリー
中の有機バインダの含有量が少量であっても、十分な強
度と伸びを備え、加工性に富むセラミックグリーンシー
トが得られる。Third, the emulsion has a high molecular weight,
It has better film forming properties, lower viscosity and better dispersibility than the solution type organic binder. Therefore, even if the content of the organic binder in the aqueous ceramic slurry is small, a ceramic green sheet having sufficient strength and elongation and excellent in processability can be obtained.
【００１８】なお、本発明において、エマルジョンと
は、液体の中に、それに溶けない別の液体が細かい滴に
なって分散したもの全般をさすものと定義し、いわゆる
コロイダルディスパーションを含むものとする。In the present invention, the term "emulsion" is generally defined as a liquid in which another liquid that is insoluble therein is dispersed in fine droplets, and includes a so-called colloidal dispersion.
【００１９】また、本発明のセラミックスラリーにおい
ては、界面活性剤の含有量が、セラミック粉末１００重
量部に対して１．０重量部以上であることを特徴とす
る。In the ceramic slurry of the present invention, the content of the surfactant is at least 1.0 part by weight based on 100 parts by weight of the ceramic powder.
【００２０】セラミックスラリー中に界面活性剤を１．
０重量部以上含有することによって、スラリー塗工時
の、いわゆる弾きの発生が抑制される。なお、界面活性
剤の含有量の上限は、セラミック粉末１００重量部に対
して２．０重量部以下であることが好ましい。これは、
界面活性剤の含有量が過剰になると、セラミックスラリ
ーを成形してなるセラミックグリーンシートの伸び率が
過度に大きくなり、セラミックグリーンシートを積層す
る際に、積みズレが生じる恐れがあるためである。The surfactant is added to the ceramic slurry.
By containing 0 parts by weight or more, occurrence of so-called repelling during slurry coating is suppressed. The upper limit of the surfactant content is preferably 2.0 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the ceramic powder. this is,
This is because if the content of the surfactant is excessive, the elongation percentage of the ceramic green sheet formed by forming the ceramic slurry becomes excessively high, and there is a possibility that a displacement occurs when the ceramic green sheets are laminated.
【００２１】また、本発明のセラミックスラリーにおい
ては、有機バインダの含有量が、セラミック粉末１００
重量部に対して５〜２０重量部の範囲内であることを特
徴とする。Further, in the ceramic slurry of the present invention, the content of the organic binder is 100% or less.
It is characterized by being in the range of 5 to 20 parts by weight with respect to parts by weight.
【００２２】セラミックスラリーにおける有機バインダ
の含有量が、５〜２０重量部の範囲内であれば、積層セ
ラミック電子部品として利用可能な程度に十分に大きな
引張り強度、伸び、密度を備えたセラミックグリーンシ
ートが得られる。また、得られたセラミックグリーンシ
ートをハンドリングする際、破損する恐れがなくなる。
さらに、セラミックグリーンシートを積層圧着した際
に、十分な密着性が得られる。さらにまた、生のセラミ
ック積層体を焼成する際、脱バインダによる残炭量が少
なくなる。なお、本発明のセラミックスラリーにおける
有機バインダの含有量として、より好ましいのは６〜１
０重量部であり、さらに好ましくは８〜１０重量部であ
る。When the content of the organic binder in the ceramic slurry is in the range of 5 to 20 parts by weight, the ceramic green sheet having sufficiently large tensile strength, elongation and density to be usable as a multilayer ceramic electronic component. Is obtained. Further, when the obtained ceramic green sheet is handled, there is no possibility of breakage.
Further, when the ceramic green sheets are laminated and pressed, sufficient adhesion can be obtained. Furthermore, when firing the green ceramic laminate, the amount of residual carbon due to the binder removal is reduced. The content of the organic binder in the ceramic slurry of the present invention is more preferably 6 to 1
0 parts by weight, more preferably 8 to 10 parts by weight.
【００２３】本発明のセラミックスラリーをシート状に
成形してなるセラミックグリーンシートによれば、厚み
４．０μｍの極薄のセラミックグリーンシートを得るこ
とができる。According to the ceramic green sheet obtained by forming the ceramic slurry of the present invention into a sheet, an extremely thin ceramic green sheet having a thickness of 4.0 μm can be obtained.
【００２４】さらに、上述のセラミックグリーンシート
を用いることにより、電気的特性の安定した積層セラミ
ック電子部品を得ることができる。Further, by using the above-mentioned ceramic green sheet, a multilayer ceramic electronic component having stable electric characteristics can be obtained.
【００２５】[0025]
【発明の実施の形態】［実施例１］本発明にかかる積層
セラミック電子部品として積層コンデンサを例にとり、
図２を用いて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiment 1 A multilayer capacitor is taken as an example of a multilayer ceramic electronic component according to the present invention.
This will be described with reference to FIG.
【００２６】積層コンデンサ１は、セラミック積層体２
を備える。セラミック積層体２内のセラミック層２ａ間
には内部電極３が形成され、セラミック積層体２の両端
部には外部電極４が形成され、さらに外部電極４の上に
めっき膜５が形成されている。The multilayer capacitor 1 includes a ceramic laminate 2
Is provided. Internal electrodes 3 are formed between the ceramic layers 2 a in the ceramic laminate 2, external electrodes 4 are formed on both ends of the ceramic laminate 2, and a plating film 5 is formed on the external electrodes 4. .
【００２７】ここで、積層コンデンサ１の製造において
は、まず、ＢａＴｉＯ3粉末を主成分とする誘電体セラ
ミック粉末を用いてセラミックスラリーを調製する。こ
のセラミックスラリーを成形し、複数のセラミックグリ
ーンシートを得る。次に、セラミックグリーンシートの
表面に、所定のパターンを形成するように導電性ペース
トを印刷する。このように導電性ペーストを印刷した複
数のセラミックグリーンシートを積層し、生セラミック
積層体を形成し、この生セラミック積層体を焼成する。
生セラミック積層体の焼成時に、セラミックグリーンシ
ートに印刷されていた導電性ペーストが焼結し、内部電
極３が形成される。次に、セラミック積層体２の端面に
露出した内部電極３の端縁に接続するように、導電性ペ
ーストを塗布し、焼付けることにより、外部電極４を形
成する。さらに、Ｓｎ、Ｎｉ等の無電解めっき、また
は、はんだめっきを外部電極４の上に施すことにより、
めっき膜５を形成する。Here, in manufacturing the multilayer capacitor 1, first, a ceramic slurry is prepared using a dielectric ceramic powder mainly composed of BaTiO 3 powder. This ceramic slurry is formed to obtain a plurality of ceramic green sheets. Next, a conductive paste is printed on the surface of the ceramic green sheet so as to form a predetermined pattern. A plurality of ceramic green sheets on which the conductive paste is printed are stacked to form a green ceramic laminate, and the green ceramic laminate is fired.
When the green ceramic laminate is fired, the conductive paste printed on the ceramic green sheets is sintered, and the internal electrodes 3 are formed. Next, an external electrode 4 is formed by applying and baking a conductive paste so as to connect to the edge of the internal electrode 3 exposed on the end face of the ceramic laminate 2. Further, by applying electroless plating of Sn, Ni, or the like, or solder plating on the external electrode 4,
The plating film 5 is formed.
【００２８】次に、上述のセラミックスラリーおよびセ
ラミックグリーンシートの製造について、詳細に説明す
る。Next, the production of the above-mentioned ceramic slurry and ceramic green sheet will be described in detail.
【００２９】まず、ＢａＴｉＯ3粉末を主成分とするセ
ラミック材料、有機ビヒクル、分散剤、消泡剤を用意し
た。First, a ceramic material mainly composed of BaTiO 3 powder, an organic vehicle, a dispersant, and an antifoaming agent were prepared.
【００３０】このうち、有機ビヒクルとしては、平均粒
径の異なる試料１〜４を用意した。試料１〜４は、それ
ぞれ重量平均分子量が２０００００程度のポリウレタン
樹脂粒子４０重量％と、水６０重量％とからなるポリウ
レタン樹脂エマルジョンである。平均粒径は、試料１が
２０ｎｍ，試料２が５０ｎｍ，試料３が１２０ｎｍ，試
料４が１９０ｎｍである。Among them, samples 1 to 4 having different average particle diameters were prepared as organic vehicles. Samples 1 to 4 are polyurethane resin emulsions each comprising 40% by weight of polyurethane resin particles having a weight average molecular weight of about 200,000 and 60% by weight of water. The average particle size is 20 nm for sample 1, 50 nm for sample 2, 120 nm for sample 3, and 190 nm for sample 4.
【００３１】次いで、上述のセラミック材料１００重量
部、水系溶媒２０重量部、分散剤０．５重量部、消泡剤
０．３重量部の混合物を調製した。そして、図１（ｂ）
に示すアセチレングリコールのエチレンオキサイド付加
物（エチレンオキサイドの付加量：アセチレン１モル当
り４モル）を含む界面活性剤１．０重量部を、上述の混
合物に配合した。その後、これをボールミルを用いて２
時間混合し、セラミック粉末を充分に分散させ、分散液
を得た。Next, a mixture of 100 parts by weight of the above ceramic material, 20 parts by weight of the aqueous solvent, 0.5 parts by weight of the dispersant, and 0.3 parts by weight of the defoamer was prepared. Then, FIG.
1.0 part by weight of a surfactant containing an ethylene oxide adduct of acetylene glycol (addition amount of ethylene oxide: 4 mol per 1 mol of acetylene) shown in the following Table 1 was blended into the above mixture. After that, this was used for 2
After mixing for a time, the ceramic powder was sufficiently dispersed to obtain a dispersion.
【００３２】次いで、この分散液に、有機ビヒクルとし
て上述の試料１を添加したもの、試料２を添加したも
の、試料３を添加したもの、試料４を添加したものをそ
れぞれ調製した。これらをボールミルを用いて、それぞ
れ１６時間混合して、試料１〜４の水系セラミックスラ
リーを得た。なお、試料１〜４の有機ビヒクルの添加量
は、いずれも２５重量部である。Next, the dispersion was prepared by adding the above-mentioned sample 1 as an organic vehicle, the sample 2 was added, the sample 3 was added, and the sample 4 was added. These were mixed using a ball mill for 16 hours to obtain aqueous ceramic slurries of Samples 1 to 4. In addition, the addition amount of the organic vehicle of each of Samples 1 to 4 was 25 parts by weight.
【００３３】次いで、これらを減圧脱気により脱泡した
後、グラビアコーターを用いてシート成形し、乾燥さ
せ、厚み４．０μｍの試料１〜４のセラミックグリーン
シートを作製した。なお、脱泡後のセラミックスラリー
の粘度は、０．１０〜０．１２Ｐａ・ｓであった。Next, these were degassed by degassing under reduced pressure, formed into a sheet using a gravure coater, and dried to produce ceramic green sheets of Samples 1 to 4 having a thickness of 4.0 μm. The viscosity of the ceramic slurry after defoaming was 0.10 to 0.12 Pa · s.
【００３４】また、試料１〜４とは別に、試料５のセラ
ミックグリーンシートを作製した。試料５のセラミック
グリーンシートは、試料１〜４と同じセラミック材料１
００重量部と、混合溶媒３８重量部と、有機ビヒクル６
５重量部と、フタル酸エステル系可塑剤３重量部と、分
散剤０．５重量部とを配合、混合して得た有機系セラミ
ックスラリーを、厚み４．０μｍに成形したものであ
る。なお、混合溶媒は、トルエンおよびエタノールを５
０重量％ずつ混合したものである。また、有機ビヒクル
は、ポリビニルブチラール樹脂からなる有機バインダ８
重量部と、トルエンおよびエタノールを５０重量％ずつ
混合した混合溶媒５７重量部とを混練したものである。A ceramic green sheet of Sample 5 was prepared separately from Samples 1 to 4. The ceramic green sheet of the sample 5 is made of the same ceramic material 1 as the samples 1 to 4.
00 parts by weight, 38 parts by weight of the mixed solvent, and the organic vehicle 6
An organic ceramic slurry obtained by mixing and mixing 5 parts by weight, 3 parts by weight of a phthalate-based plasticizer, and 0.5 part by weight of a dispersant was molded into a thickness of 4.0 μm. The mixed solvent was toluene and ethanol.
0% by weight was mixed. The organic vehicle is an organic binder 8 made of polyvinyl butyral resin.
Parts by weight and 57 parts by weight of a mixed solvent obtained by mixing toluene and ethanol by 50% by weight are kneaded.
【００３５】試料１〜５のセラミックグリーンシートに
ついて、ピンホール数、表面粗さ（Ｒａ）、相対密度
（％）、引張り強度（ＭＰａ）、伸び率（％）を測定
し、これらを表１にまとめた。このうち、ピンホール数
は、セラミックグリーンシートの面積が４５ｃｍ2であ
るときのピンホールの数である。The number of pinholes, surface roughness (Ra), relative density (%), tensile strength (MPa) and elongation (%) of the ceramic green sheets of Samples 1 to 5 were measured. Summarized. Among them, the number of pinholes is the number of pinholes when the area of the ceramic green sheet is 45 cm 2 .
【００３６】また、相対密度は、シート打ち抜き機を用
いて、セラミックグリーンシートを７６．０×５８．４
ｍｍに打ち抜いたものについて、下記の計算式に基づい
て求めた理論値である。The relative density of the ceramic green sheet was determined to be 76.0 × 58.4 using a sheet punching machine.
This is a theoretical value obtained based on the following calculation formula for a sample punched out to mm.
【００３７】相対密度（％）＝（シート重量／（金型寸
法×シート厚み））×（セラミック材料粉末の重量）／
（セラミック材料粉末の重量＋有機バインダ等不揮発成
分の全添加剤重量））／理論密度（なお、理論密度は、
粉末真比重５．８３ｇ／ｃｍ 3） また、引張り強度および伸び率は、シート打ち抜き機を
用いて、セラミックグリーンシートを３６．６×５７．
６ｍｍ□に打ち抜いたものについて、今田製作所製の引
張り強度試験機を用いて測定した。なお、試験時のクロ
スヘッド速度は１３ｍｍ／ｍｉｎ、測定温度は室温２５
℃とした。Relative density (%) = (sheet weight / (mold size)
Method x sheet thickness)) x (weight of ceramic material powder) /
(Non-volatile material such as weight of ceramic material powder + organic binder)
Min. Total additive weight)) / theoretical density (theoretical density is
Powder specific gravity 5.83 g / cm Three) In addition, the tensile strength and elongation rate
Using ceramic green sheets, 36.6 × 57.
About 6mm square punched, Imada Manufacturing
It was measured using a tensile strength tester. Note that the
Shead speed is 13 mm / min, measurement temperature is room temperature 25
° C.
【００３８】なお、試料５の有機バインダとして用いた
ポリビニルブチラール樹脂は、溶解型の樹脂であり、粒
径は実測困難である。このため、表１において、試料５
のポリウレタン樹脂の平均粒径は表示していない。The polyvinyl butyral resin used as the organic binder of Sample 5 is a soluble resin, and its particle size is difficult to measure. Therefore, in Table 1, sample 5
The average particle size of the polyurethane resin is not shown.
【００３９】また、試料１と試料５のセラミックグリー
ンシートに斜光を照射して、光学顕微鏡で２００倍に拡
大した写真を、それぞれ図３，図４に示した。3 and 4 show photographs obtained by irradiating oblique light to the ceramic green sheets of Samples 1 and 5 and magnifying them 200 times with an optical microscope.
【００４０】[0040]
【表１】 [Table 1]
【００４１】表１から明らかなように、平均粒径が１２
０ｎｍ以下のポリウレタン樹脂を含むエマルジョンを有
機バインダとして用いた試料１〜３のセラミックグリー
ンシートでは、ピンホール数が０個であり、表面粗さが
０．１０〜０．１４，相対密度が５８．１〜６０．９
％，引張り強度が７．０〜９．５ＭＰａ，伸び率が１１
〜１４％であった。As is apparent from Table 1, the average particle size is 12
In the ceramic green sheets of Samples 1 to 3 using an emulsion containing a polyurethane resin of 0 nm or less as an organic binder, the number of pinholes is 0, the surface roughness is 0.10 to 0.14, and the relative density is 58. 1-60.9
%, Tensile strength of 7.0 to 9.5 MPa, elongation of 11
１４14%.
【００４２】また、有機バインダとしてポリビニルブチ
ラール樹脂を用い、溶媒としてトルエンとエタノールの
混合液を用いた試料５の有機系セラミックグリーンシー
トと比較して、試料１〜３の水系セラミックグリーンシ
ートは、引張り強度と伸び率がほぼ同等であった。ま
た、相対密度については、試料５より試料１〜３の方が
高かった。また、試料１〜３については、フィルム上に
水系セラミックグリーンシートを塗布する際の、いわゆ
る弾きは観察されず、満足できる濡れ性を示すものであ
った。The water-based ceramic green sheets of Samples 1 to 3 were higher in tension than the organic ceramic green sheets of Sample 5 in which polyvinyl butyral resin was used as the organic binder and a mixture of toluene and ethanol was used as the solvent. The strength and elongation were almost equal. Further, samples 1 to 3 were higher in relative density than sample 5. Further, with respect to Samples 1 to 3, so-called flipping when applying the water-based ceramic green sheet on the film was not observed, and satisfactory wettability was exhibited.
【００４３】また、図３と図４とを比較すると、図４
（試料５）と比較して、図３（試料１）のセラミックグ
リーンシートは、表面の凹凸が少なく、視覚的にも表面
粗さが小さく優れていることがわかる。FIG. 3 is compared with FIG.
Compared to (Sample 5), the ceramic green sheet of FIG. 3 (Sample 1) has less unevenness on the surface and is visually excellent in small surface roughness.
【００４４】一方、有機バインダとして平均粒径が１９
０ｎｍであるポリウレタン樹脂を含むエマルジョンを用
いた試料４のセラミックグリーンシートは、ピンホール
数が１７個であった。 ［実施例２］次に、本発明にかかるセラミックスラリー
およびセラミックグリーンシートの他の実施例について
説明する。On the other hand, an organic binder having an average particle size of 19
The ceramic green sheet of Sample 4 using an emulsion containing a polyurethane resin having a thickness of 0 nm had 17 pinholes. Embodiment 2 Next, another embodiment of the ceramic slurry and the ceramic green sheet according to the present invention will be described.
【００４５】本実施例においては、試料１ａ〜１ｆ，試
料２ａ〜２ｆ，試料３ａ〜３ｆの有機ビヒクルを用意し
た。これらの有機ビヒクルは、それぞれポリウレタン樹
脂４０重量％と、水６０重量％とからなるポリウレタン
樹脂エマルジョンである。In this embodiment, organic vehicles of samples 1a to 1f, samples 2a to 2f, and samples 3a to 3f were prepared. Each of these organic vehicles is a polyurethane resin emulsion composed of 40% by weight of a polyurethane resin and 60% by weight of water.
【００４６】そして、試料１ａ〜１ｆの有機ビヒクル
は、ポリウレタン樹脂の平均粒径がそれぞれ同じ２０ｎ
ｍであり、ポリウレタン樹脂の含有量が互いに異なり、
試料１ａが２０重量部、試料１ｂが１５重量部、試料１
ｃが１０重量部、試料１ｄが８重量部、試料１ｅが６重
量部、試料１ｆが５重量部である。The organic vehicles of Samples 1a to 1f have the same average particle diameter of the polyurethane resin of 20n.
m, the content of the polyurethane resin is different from each other,
20 parts by weight of sample 1a, 15 parts by weight of sample 1b, sample 1
c is 10 parts by weight, sample 1d is 8 parts by weight, sample 1e is 6 parts by weight, and sample 1f is 5 parts by weight.
【００４７】また、試料２ａ〜２ｆの有機ビヒクルは、
ポリウレタン樹脂の平均粒径がそれぞれ同じ５０ｎｍで
あり、試料１ａ〜１ｆと同様に、ポリウレタン樹脂の含
有量が互いに異なる。The organic vehicles of Samples 2a to 2f are as follows:
The average particle size of the polyurethane resin is 50 nm, which is the same, and the content of the polyurethane resin is different from each other as in the case of Samples 1a to 1f.
【００４８】さらに、試料３ａ〜３ｆの有機ビヒクル
は、ポリウレタン樹脂の平均粒径がそれぞれ同じ１２０
ｎｍであり、試料１ａ〜１ｆと同様に、ポリウレタン樹
脂の含有量が互いに異なる。Further, the organic vehicles of Samples 3a to 3f have the same average particle size of the polyurethane resin as 120.
nm, and the contents of the polyurethane resins are different from each other as in the case of the samples 1a to 1f.
【００４９】また、試料１ａ〜１ｆ，試料２ａ〜２ｆ，
試料３ａ〜３ｆのそれぞれについて、実施例１の試料と
同様の方法により、水系セラミックスラリーを調整し、
セラミックグリーンシートを作製した。Samples 1a to 1f, samples 2a to 2f,
For each of the samples 3a to 3f, an aqueous ceramic slurry was prepared in the same manner as in the sample of Example 1;
A ceramic green sheet was produced.
【００５０】試料１ａ〜１ｆ，試料２ａ〜２ｆ，試料３
ａ〜３ｆのセラミックグリーンシートについて、ピンホ
ール数、表面粗さ（Ｒａ）、相対密度（％）、引張り強
度（ＭＰａ）、伸び率（％）を測定し、これらを表２に
まとめた。Samples 1a to 1f, Samples 2a to 2f, Sample 3
For the ceramic green sheets a to 3f, the number of pinholes, surface roughness (Ra), relative density (%), tensile strength (MPa), and elongation (%) were measured, and these are summarized in Table 2.
【００５１】[0051]
【表２】 [Table 2]
【００５２】表２から明らかなように、有機バインダと
して用いたポリウレタン樹脂の粒径に関わらず、セラミ
ック材料１００重量部に対する有機バインダの含有量が
６〜１０重量部である試料１ｃ，１ｄ，１ｅ，２ｃ，２
ｄ，２ｅ，３ｃ，３ｄ，３ｅは、それぞれピンホール
数、表面粗さ、相対密度、引張り強度、伸び率の何れに
おいても優れた値を示した。その中でも、セラミック材
料１００重量部に対する有機バインダの含有量が８また
は１０重量部である試料１ｃ，１ｄ，２ｃ，２ｄ，３
ｃ，３ｄは、引張り強度または伸び率が特に高かった。As is clear from Table 2, samples 1c, 1d, and 1e in which the content of the organic binder is 6 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ceramic material, regardless of the particle size of the polyurethane resin used as the organic binder. , 2c, 2
Each of d, 2e, 3c, 3d, and 3e exhibited excellent values in any of the number of pinholes, surface roughness, relative density, tensile strength, and elongation. Among them, samples 1c, 1d, 2c, 2d, and 3 in which the content of the organic binder was 8 or 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the ceramic material.
For c and 3d, the tensile strength or elongation was particularly high.
【００５３】また、セラミック材料１００重量部に対す
る有機バインダの含有量が１５または２０重量部である
試料１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂは、引張り強
度および伸び率において、特に優れた値を示した。その
反面、表面粗さおよび相対密度については、上述した他
の試料と比較してやや劣るが、何れも実用上許容できる
範囲内の値である。また、試料１ａ，１ｂ，２ａ，２
ｂ，３ａ，３ｂのピンホール数は０個であり、ピンホー
ル発生の抑制という効果は充分に得られた。Samples 1a, 1b, 2a, 2b, 3a, and 3b in which the content of the organic binder was 15 or 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the ceramic material exhibited particularly excellent values in tensile strength and elongation. Indicated. On the other hand, the surface roughness and the relative density are slightly inferior to those of the other samples described above, but all of them are within a practically acceptable range. Also, samples 1a, 1b, 2a, 2
The number of pinholes of b, 3a, and 3b was 0, and the effect of suppressing the generation of pinholes was sufficiently obtained.
【００５４】また、セラミック材料１００重量部に対す
る有機バインダの含有量が５重量部ある試料１ｆ，２
ｆ，３ｆは、表面粗さが低く、相対密度が高かった。そ
の反面、引張り強度が比較的弱く、伸び率が比較的低
く、上述した他の試料と比較してやや劣っていた。しか
しながら、ピンホール数は０ないし１個であり、実施例
１の試料５と比較して少なく、ピンホール発生の抑制と
いう効果は充分に得られた。 ［実施例３］本実施例では、実施例２における試料２ｃ
のセラミックスラリーについて、界面活性剤の含有量を
それぞれ、０重量部、０．５重量部、１．０重量部、
１．５重量部とした試料２ｃ１〜２ｃ４を用意した。ま
た、試料２ｃ３のセラミックスラリーに対して、界面活
性剤として、オレフィン・マレイン酸共重合物ナトリウ
ム塩を１．０重量部添加した試料２ｃ５を用意した。こ
れらの試料２ｃ１〜２ｃ５のそれぞれについて、実施例
２の各試料と同様の方法により、水系セラミックスラリ
ーを調整し、セラミックグリーンシートを作製した。Samples 1f and 2 each containing 5 parts by weight of the organic binder based on 100 parts by weight of the ceramic material
f and 3f had low surface roughness and high relative density. On the other hand, the tensile strength was relatively low, the elongation was relatively low, and it was slightly inferior to the other samples described above. However, the number of pinholes was 0 to 1, which was smaller than that of Sample 5 of Example 1, and the effect of suppressing the generation of pinholes was sufficiently obtained. [Embodiment 3] In this embodiment, the sample 2c of the second embodiment is used.
For each of the ceramic slurries, the content of the surfactant was 0 part by weight, 0.5 part by weight, 1.0 part by weight,
Samples 2c1 to 2c4 having 1.5 parts by weight were prepared. Sample 2c5 was prepared by adding 1.0 part by weight of sodium salt of olefin / maleic acid copolymer as a surfactant to the ceramic slurry of Sample 2c3. For each of these samples 2c1 to 2c5, a water-based ceramic slurry was prepared in the same manner as in each sample of Example 2 to produce a ceramic green sheet.
【００５５】試料２ｃ１〜２ｃ５のセラミックグリーン
シートについて、引張り強度（ＭＰａ）、伸び率
（％）、キャリアフィルム上における接触角（度）、ス
ラリー塗工時の弾きの有無を測定し、これらを表３にま
とめた。With respect to the ceramic green sheets of Samples 2c1 to 2c5, the tensile strength (MPa), the elongation (%), the contact angle (degree) on the carrier film, and the presence or absence of repelling during slurry coating were measured. 3
【００５６】なお、引張り強度と伸び率の測定方法は、
実施例２と同様の方法による。また、キャリアフィルム
上における接触角は、表面張力が３４ｍＮ／ｍのフィル
ム上における水系セラミックスラリーの接触角を、エル
マゴニオメータ式接触角測定機（共和界面科学製、ＦＡ
Ｃｏｎｔａｃｔ ＡｎｇｌｅＭｅｔｅｒ ＣＡ−Ｚ）
を用いて計測した。また、弾きの有無は、表面張力が３
４ｍＮ／ｍのフィルム上にセラミックスラリーを塗工し
た際の弾きの有無を目視観察したものである。The measuring methods of the tensile strength and the elongation are as follows.
A method similar to that of the second embodiment is used. The contact angle on the carrier film was determined by measuring the contact angle of the aqueous ceramic slurry on a film having a surface tension of 34 mN / m with an ergoniometer-type contact angle measuring device (manufactured by Kyowa Interface Science, FA
Contact AngleMeter CA-Z)
It measured using. Also, the presence or absence of flipping is determined by the surface tension of 3
This is a visual observation of the presence or absence of flipping when a ceramic slurry is applied on a 4 mN / m film.
【００５７】[0057]
【表３】 [Table 3]
【００５８】表３から明らかなように、界面活性剤の添
加量が多くなるのに伴い、引張り強度は低下するが、伸
び率は増加し、接触角は小さくなり、スラリー塗工時の
弾きはなくなる傾向がある。As is clear from Table 3, as the amount of the surfactant added increases, the tensile strength decreases, but the elongation increases, the contact angle decreases, and the repelling during slurry coating is reduced. Tends to disappear.
【００５９】また、セラミック粉末１００重量部に対す
る界面活性剤の含有量が１．０重量部である試料２ｃ３
と、１．５重量部である試料２ｃ４においては、スラリ
ー塗工時の弾きが見られなかった。また、界面活性剤の
含有量が、セラミック粉末１００重量部に対して１．０
重量部未満（０．５重量部）である試料２ｃ２において
は、スラリー塗工時の弾きが発生したが、伸び率の改善
効果が見られ、また引張り強度の低下も僅かであること
から、許容範囲内の特性を有するといえる。Sample 2c3 containing 1.0 part by weight of a surfactant based on 100 parts by weight of ceramic powder
In Sample 2c4, which was 1.5 parts by weight, no repelling during slurry coating was observed. Further, the content of the surfactant is 1.0 part by weight with respect to 100 parts by weight of the ceramic powder.
In sample 2c2, which was less than 0.5 parts by weight (0.5 parts by weight), repulsion occurred during slurry coating, but the effect of improving the elongation was observed and the decrease in tensile strength was slight. It can be said that it has characteristics within the range.
【００６０】また、試料２ｃ５は、界面活性剤としてオ
レフィン・マレイン酸共重合物ナトリウム塩を用いてお
り、アセチレングリコールのエチレンオキサイド付加物
を用いた試料２ｃ３と異なるが、界面活性剤の含有量そ
のものは、試料２ｃ３と同じ１．０重量部である。試料
２ｃ５と試料２ｃ３を比較すると、試料２ｃ３の方が、
引張り強度が高く、接触角が小さかった。しかも、試料
２ｃ３においては、スラリー塗工時の弾きも発生してい
ない。このように、試料２ｃ３は、試料２ｃ５より優れ
た特性を有するものであると言える。Sample 2c5 uses sodium salt of an olefin / maleic acid copolymer as a surfactant, and differs from Sample 2c3 in which an ethylene oxide adduct of acetylene glycol is used, but the content of the surfactant itself is different. Is 1.0 part by weight which is the same as that of the sample 2c3. Comparing Sample 2c5 and Sample 2c3, Sample 2c3 is
The tensile strength was high and the contact angle was small. In addition, in sample 2c3, no repulsion during slurry application occurred. Thus, it can be said that the sample 2c3 has characteristics superior to those of the sample 2c5.
【００６１】なお、本発明のセラミックスラリーの材料
は、上述のＢａＴｉＯ3粉末を主成分とする誘電体セラ
ミック粉末に限定されることはなく、例えば、ＰｂＺｒ
Ｏ3粉末等でもよい。また、絶縁体材料、磁性体材料、
圧電体材料、半導体材料の何れを用いてもよい。The material of the ceramic slurry of the present invention is not limited to the above-mentioned dielectric ceramic powder containing BaTiO 3 powder as a main component. For example, PbZr
O 3 powder or the like may be used. Also, insulator material, magnetic material,
Either a piezoelectric material or a semiconductor material may be used.
【００６２】[0062]
【発明の効果】本発明においては、セラミック粉末と、
有機バインダおよび水系溶媒を含む有機ビヒクルと、分
子内に１つ以上の三重結合を有するアセチレングリコー
ル、または、アセチレングリコールのエチレンオキサイ
ド付加物を含む界面活性剤と、を含むセラミックスラリ
ーを用いて、セラミックグリーンシートを形成するもの
である。このセラミックスラリーは、水系のスラリーで
あるにもかかわらず、キャリアテープ等のフィルム上に
塗布する際の接触角が少なく、濡れ性が良い。したがっ
て、信頼性の高い極薄のセラミックグリーンシートを得
ることができる。According to the present invention, a ceramic powder,
Using a ceramic slurry containing an organic vehicle containing an organic binder and an aqueous solvent, and a surfactant containing acetylene glycol having one or more triple bonds in a molecule or an ethylene oxide adduct of acetylene glycol, a ceramic slurry is used. A green sheet is formed. Although this ceramic slurry is an aqueous slurry, it has a small contact angle when applied on a film such as a carrier tape and has good wettability. Therefore, a highly reliable ultra-thin ceramic green sheet can be obtained.
【００６３】そして、特に、有機バインダとしての平均
粒径１２０ｎｍ以下のポリウレタン樹脂が、水系溶媒中
に微粒子状に分散したエマルジョンからなる有機ビヒク
ルを含むセラミックスラリー用いることにより、ピンホ
ール等のシート欠陥がなく、表面粗さが小さく、引張り
強度および伸び率が大きい、極薄の水系セラミックグリ
ーンシートを得ることができる。In particular, by using a ceramic slurry containing an organic vehicle composed of an emulsion in which a polyurethane resin having an average particle diameter of 120 nm or less as an organic binder is dispersed in an aqueous solvent in a fine particle form, sheet defects such as pinholes are reduced. In addition, an extremely thin water-based ceramic green sheet having small surface roughness, high tensile strength and high elongation can be obtained.
【００６４】また、セラミックスラリー中の界面活性剤
の含有量を、セラミック粉末１００重量部に対して１．
０重量部以上とすることで、セラミックスラリーをキャ
リアテープ等のフィルム上に塗布する際の接触角が減少
し、濡れ性が向上する。Further, the content of the surfactant in the ceramic slurry was set to 1.% by weight based on 100 parts by weight of the ceramic powder.
When the content is 0 parts by weight or more, the contact angle when the ceramic slurry is applied onto a film such as a carrier tape is reduced, and the wettability is improved.
【００６５】さらに、セラミックスラリー中の有機バイ
ンダの含有量を、セラミック粉末１００重量部に対して
５〜２０重量部の範囲内とすることで、ピンホールがな
く、表面粗さ、相対密度、引張り強度および伸び率の優
れたセラミックグリーンシートを得ることができる。Further, when the content of the organic binder in the ceramic slurry is in the range of 5 to 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the ceramic powder, there is no pinhole, and the surface roughness, the relative density, and the tensile strength are reduced. A ceramic green sheet having excellent strength and elongation can be obtained.
【００６６】そして、上述のセラミックグリーンシート
を用いることにより、電気的特性の安定した積層セラミ
ック電子部品を得ることができる。By using the above-mentioned ceramic green sheet, a multilayer ceramic electronic component having stable electric characteristics can be obtained.
【図１】本発明にかかるセラミックグリーンシートの形
成に用いる界面活性剤の化学式であり、（ａ）はアセチ
レングリコールの化学式であり、（ｂ）はアセチレング
リコールのエチレンオキサイド付加物を含む界面活性剤
の化学式である。FIG. 1 is a chemical formula of a surfactant used to form a ceramic green sheet according to the present invention, (a) is a chemical formula of acetylene glycol, and (b) is a surfactant containing an ethylene oxide adduct of acetylene glycol. Is the chemical formula
【図２】本発明の一実施例にかかる積層セラミック電子
部品（積層コンデンサ）の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic electronic component (multilayer capacitor) according to one embodiment of the present invention.
【図３】本発明の一実施例にかかるセラミックグリーン
シートの表面状態を示す顕微鏡写真である。FIG. 3 is a micrograph showing a surface state of a ceramic green sheet according to one example of the present invention.
【図４】本発明の範囲外のセラミックグリーンシートの
表面状態を示す顕微鏡写真である。FIG. 4 is a micrograph showing a surface state of a ceramic green sheet outside the scope of the present invention.
１ 積層コンデンサ（積層セラミック電子部品） ２ セラミック積層体 ３ 内部電極 ４ 外部電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Multilayer capacitor (multilayer ceramic electronic component) 2 Ceramic multilayer body 3 Internal electrode 4 External electrode
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０８Ｌ 71/02 Ｃ０４Ｂ 35/00 Ｄ 101/00 １０８ Ｇ (72)発明者 田中 謙次 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 小嶋 勝 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Ｆターム(参考） 4G030 PA22 4G052 DA04 DA08 DC06 DC09 4J002 CH05X CK02W DE028 DE046 EC047 FD31X FD317 HA06──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat ゛ (Reference) C08L 71/02 C04B 35/00 D 101/00 108 G (72) Inventor Kenji Tanaka Kenji Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto No. 26-10, Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Inventor Masaru Kojima 2-26-10, Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto Prefecture EC047 FD31X FD317 HA06
Claims (11)
ール、または、分子内に１つ以上の三重結合を有するア
セチレングリコールのエチレンオキサイド付加物を含む
界面活性剤と、 からなることを特徴とするセラミックスラリー。1. A ceramic powder, an organic vehicle containing an organic binder and an aqueous solvent, and acetylene glycol having one or more triple bonds in a molecule, or acetylene glycol having one or more triple bonds in a molecule. A surfactant comprising an ethylene oxide adduct, and a ceramic slurry.
は、平均粒径が１２０ｎｍ以下のポリウレタン樹脂粒子
からなることを特徴とする請求項１に記載のセラミック
スラリー。2. The ceramic slurry according to claim 1, wherein the organic binder in the organic vehicle comprises polyurethane resin particles having an average particle size of 120 nm or less.
粒子が前記水系溶媒中に微粒子状に分散したエマルジョ
ンからなることを特徴とする請求項２に記載のセラミッ
クスラリー。3. The ceramic slurry according to claim 2, wherein the organic vehicle comprises an emulsion in which polyurethane resin particles are dispersed in fine particles in the aqueous solvent.
面活性剤の含有量は、前記セラミック粉末１００重量部
に対して１．０重量部以上であることを特徴とする請求
項１〜３の何れかに記載のセラミックスラリー。4. The ceramic slurry according to claim 1, wherein the content of the surfactant is 1.0 part by weight or more based on 100 parts by weight of the ceramic powder. Ceramic slurry.
機バインダの含有量は、前記セラミック粉末１００重量
部に対して５〜２０重量部の範囲内であることを特徴と
する請求項１〜４の何れかに記載のセラミックスラリ
ー。5. The ceramic slurry according to claim 1, wherein the content of the organic binder in the ceramic slurry is in a range of 5 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the ceramic powder. A ceramic slurry as described.
ール、または、分子内に１つ以上の三重結合を有するア
セチレングリコールのエチレンオキサイド付加物を含む
界面活性剤と、からなるセラミックスラリーが成形され
てなることを特徴とするセラミックグリーンシート。6. An organic vehicle comprising a ceramic powder, an organic binder and an aqueous solvent, and acetylene glycol having one or more triple bonds in a molecule, or acetylene glycol having one or more triple bonds in a molecule. A ceramic green sheet formed by molding a ceramic slurry comprising a surfactant containing an ethylene oxide adduct.
は、平均粒径が１２０ｎｍ以下のポリウレタン樹脂粒子
からなることを特徴とする請求項６に記載のセラミック
グリーンシート。7. The ceramic green sheet according to claim 6, wherein the organic binder in the organic vehicle is made of polyurethane resin particles having an average particle size of 120 nm or less.
子が前記水系溶媒中に微粒子状に分散したエマルジョン
からなることを特徴とする請求項７に記載のセラミック
グリーンシート。8. The ceramic green sheet according to claim 7, wherein said organic vehicle comprises an emulsion in which polyurethane resin particles are dispersed in fine particles in said aqueous solvent.
面活性剤の含有量は、前記セラミック粉末１００重量部
に対して１．０重量部以上であることを特徴とする請求
項６〜８の何れかに記載のセラミックグリーンシート。9. The ceramic slurry according to claim 6, wherein the content of the surfactant in the ceramic slurry is 1.0 part by weight or more based on 100 parts by weight of the ceramic powder. Ceramic green sheet.
有機バインダの含有量は、前記セラミック粉末１００重
量部に対して５〜２０重量部の範囲内であることを特徴
とする請求項６〜９の何れかに記載のセラミックグリー
ンシート。10. The method according to claim 6, wherein the content of the organic binder in the ceramic slurry is in a range of 5 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the ceramic powder. The described ceramic green sheet.
ミックグリーンシートが複数枚積層され、焼成されてな
るセラミック積層体と、 該セラミック積層体の内部に形成された内部電極と、 該内部電極に接続するように、前記セラミック積層体の
表面に形成された外部電極と、 を備えることを特徴とする積層セラミック電子部品。11. A ceramic laminate obtained by laminating and firing a plurality of the ceramic green sheets according to claim 6, an internal electrode formed inside the ceramic laminate, An external electrode formed on the surface of the ceramic laminate so as to be connected to the electrode.
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-
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- 2001-12-20 JP JP2001387716A patent/JP4766505B2/en not_active Expired - Lifetime
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