JP2002250675A

JP2002250675A - 低コヒーレントリフレクトメータ

Info

Publication number: JP2002250675A
Application number: JP2001050421A
Authority: JP
Inventors: Fumio Akikuni; 文夫秋國; Shoichi Aoki; 省一青木; Tetsuo Yano; 哲夫矢野; Toru Mori; 徹森; Kazumasa Takada; 和正高田
Original assignee: Ando Electric Co Ltd; Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Ando Electric Co Ltd; Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 2001-02-26
Filing date: 2001-02-26
Publication date: 2002-09-06
Also published as: US6775005B2; EP1235063A2; US20020118363A1; EP1235063A3

Abstract

(57)【要約】【課題】光路長を短くすることで光路の長さ調整を容
易にするとともに、装置を簡略化して低コスト化を図
り、且つ反射率分布及び反射光のパワーを正確に測定す
ることができる低コヒーレントリフレクトメータを提供
する。【解決手段】低コヒーレント光源１からの光を測定光
ＤＬ及び局発光ＫＬとして分岐する光カプラ３と、測定
光ＤＬを被測定光回路７に入力するとともに、測定光を
被測定光回路７に入力して得られる反射光ＲＬを分岐す
る光カプラ５と、光カプラf５によって分岐された反射
光ＲＬの偏波状態を制御する偏波コントローラ９と、局
発光ＫＬを反射鏡１６に入射させるとともに、反射鏡１
６によって反射された局発光ＫＬを分岐する光カプラ１
３と、偏波コントローラ９によって偏波状態が制御され
た反射光ＲＬと、光カプラ１３によって分岐された局発
光ＫＬとを合波する光カプラ１１とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路や光モジ
ュール等の被測定光回路における反射率又はその分布を
低コヒーレンス光を用いて測定する低コヒーレントリフ
レクトメータに関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は、従来の低コヒーレントリフレク
トメータの概略構成例を示すブロック図である。図５に
おいて、１００は低コヒーレンス光を出射する発光ダイ
オードからなる低コヒーレント光源である。低コヒーレ
ント光源１００の出射端には光ファイバ１０１の一端が
接続されている。１０２は４つのポート１０２ａ〜１０
２ｄを有する光カプラであり、その１つのポート１０２
ａには光ファイバ１０１の他端が接続されている。光カ
プラ１０２はポート１０２ａから入力される低コヒーレ
ンス光を所定の強度比（例えば１対１）で分岐してポー
ト１０２ｂ，１０２ｃ各々から出射する。ポート１０２
ｂには光ファイバ１０３の一端が接続されている。ま
た、光ファイバ１０３の他端には、測定対象としての被
測定光回路１０４が接続されている。

【０００３】光カプラ１０２のポート１０２ｃには光フ
ァイバ１０５が接続され、この光ファイバ１０５の他端
にはファイバ型光アイソレータ１０６が接続されてい
る。ファイバ型光アイソレータ１０６は、光ファイバ１
０５から入力された光を、その出射端に接続された光フ
ァイバ１０７へ透過させるが、逆に光ファイバ１０７か
ら入力された光は遮光して光ファイバ１０５へ透過させ
ない特性を有する。光ファイバ１０７の他端は光カプラ
１０８のポート１０８ａに接続されている。また、光カ
プラ１０８のポート１０８ｂには光ファイバ１０９が接
続されている。１１０は光ファイバ１０９の端部１０９
ａに焦点位置が設定されたコリメートレンズであり、１
１１はコリメートレンズ１１０を介して入射する光を反
射する反射鏡であり、コリメートレンズ１１０との距離
を可変するための図示しないステージ上に設けられてい
る。また、上述した光カプラ１０８のポート１０８ｃに
は光ファイバ１１２の一端が接続されている。

【０００４】前述の光カプラ１０２のポート１０２ｄに
は光ファイバ１１３の一端が接続され、光ファイバ１１
３の他端は偏波コントローラ１１４が接続されている。
この偏波コントローラ１１４は、光ファイバ１１３から
入力される光の偏波状態を制御する。偏波コントローラ
１１４の出射端には光ファイバ１１５が接続されてい
る。１１６は４つのポート１１６ａ〜１１６ｄを有する
光カプラであり、ポート１１６ａには一端が光カプラ１
０８に接続された光ファイバ１１２の他端が接続され、
ポート１１６ｂには光ファイバ１１５が接続されてい
る。光カプラ１１６はポート１１６ａから入力される光
とポート１１６ｂから入力される光とを合波して、所定
の強度比（例えば１対１）でポート１１６ｃ及びポート
１１６ｄ各々から出射する。ポート１１６ｃ，１１６ｄ
には光ファイバ１１７，１１８がそれぞれ接続され、光
ファイバ１１７を介した光は受光素子１１９によって光
電変換され、光ファイバ１１８を介した光は受光素子１
２０によって光電変換される。１２１は差動増幅器であ
り、受光素子１１９及び受光素子１２０から出力される
電気信号の差分を増幅する。

【０００５】上記構成における従来の低コヒーレントリ
フレクトメータは、まず低コヒーレント光源１００から
出射された低コヒーレンス光を光カプラ１０２で分岐
し、分岐光の一方を、測定光として光ファイバ１０３を
介して被測定光回路１０４に入射させる。被測定光回路
１０４内で生じた反射光は光ファイバ１０３を介してポ
ート１０２ｂから光カプラ１０２に入力し、光カプラ１
０２のポート１０２ｄから出射される。光カプラ１０２
から出射された反射光は偏波コントローラ１１４を透過
して光ファイバ１１５を介してポート１１６ｂから光カ
プラ１１６に入力する。

【０００６】一方、光カプラ１０２の分岐光の他方は、
局発光として光ファイバ１０５を介してファイバ型光ア
イソレータ１０６を透過した後、光ファイバ１０７を介
してポート１０８ａから光カプラ１０８へ入力する。こ
の局発光は光カプラ１０８及び光ファイバ１０９を介し
て端部１０９ａから出射され、コリメートレンズ１１０
によって平行光に変換されて反射鏡１１１に入射する。
局発光は反射鏡１１１によって反射され、コリメートレ
ンズ１１０によって集光されて端部１０９ａから光ファ
イバ１０９内に入射する。光ファイバ１０９内に入射し
た局発光は、光カプラ１０８及び光ファイバ１１２を順
に介してポート１１６ａから光カプラ１１６に入力す
る。

【０００７】光カプラ１１６はポート１１６ｂから入力
する反射光とポート１１６ａから入力する局発光とを合
波する。ここで、測定光及び反射光の光路と局発光の光
路とが同一になれば光カプラ１１６内で干渉が生ずる。
そして、分岐後の合波光を受光素子１１９，１２０で光
電変換して差動増幅器１２１にて電気信号処理をする。

【０００８】ここで、図示しないステージを移動させて
反射鏡１１１を等速で光軸方向に移動させ、光カプラ１
０８から出射された局発光の光路長を変化させると、局
発光の群遅延量が変化する。よって、この反射鏡１１１
の各位置に対し偏波コントローラ１１４によって反射光
の偏光状態をθ＝０゜の直線偏光（例えば、紙面に対し
て平行な方向）及びθ＝９０゜の直線偏光（例えば、紙
面に対して垂直な方向）に設定したときのビート信号Ｉ
₀及びＩ₉₀の強度を差動増幅器１２１で測定し、それら
の和であるＩ₀＋Ｉ₉₀を計算することにより、反射光や
局発光の偏光状態に依存することなく、被測定光回路１
０４の各地点に応じた反射光の光パワーを測定すること
ができ、その結果反射率分布を測定することができる。
かかる技術の詳細については、例えば特開２０００−９
７８５６を参照されたい。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の低コヒーレントリフレクトメータにおいては、被測
定光回路１０４内の反射率分布を測定する際、反射鏡１
１１によって反射された局発光が光カプラ１０８で分岐
され、光ファイバ１０７を介して光カプラ１０２に至
り、光カプラ１０２によって被測定光回路１０４内で生
じた反射光と合波されないように光カプラ１０２と光カ
プラ１０８との間にファイバ型光アイソレータ１０６を
設けている。このため、光カプラ１０２のポート１０２
ｃから出射された後、反射光と合波される光カプラ１１
６に至るまでの局発光の光路は、順に光ファイバ１０
５、ファイバ型光アイソレータ１０６、光ファイバ１０
７、光カプラ１０８、光ファイバ１０９、コリメートレ
ンズ１１０、反射鏡１１１、コリメートレンズ１１０、
光ファイバ１０９、光カプラ１０８、及び光ファイバ１
１２からなるものとなり、光路長が長くなる。

【００１０】ここで、前述したように、測定光及び反射
光の光カプラ１１６に至るまでの光路と局発光の光カプ
ラ１１６に至るまでの光路とが同一である場合に光カプ
ラ１１６内部において干渉が生ずる。局発光の光路中に
はファイバ型光アイソレータ１０６が設けられているた
め、その分だけ局発光の光路が長くなる。よって、ファ
イバ型アイソレータ１０６の光路長に相当する長さを有
する光ファイバを測定光及び反射光の光路中に設ける必
要があった。このように、従来は光ファイバの長さが長
くなり、長さ調整、装置内の配置等も複雑になり製造コ
ストも高くなるという問題があった。

【００１１】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
であり、光路長を短くすることで光路の長さ調整を容易
にするとともに、装置を簡略化して低コスト化を図り、
且つ反射率分布及び反射光のパワーを正確に測定するこ
とができる低コヒーレントリフレクトメータを提供する
ことを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の低コヒーレントリフレクトメータは、光源
と、前記光源からの光を分岐する第１の分岐手段と、前
記第１の分岐手段によって分岐された一方の光を測定光
として被測定光回路に入力するとともに、当該測定光を
当該被測定光回路に入力して得られる反射光を分岐する
第２の分岐手段と、前記第２の分岐手段によって分岐さ
れた反射光の偏波状態を制御する偏波制御手段と、前記
第１の分岐手段によって分岐された他方の光を局発光と
して反射鏡に入射させるとともに、当該反射鏡によって
反射された局発光を分岐する第３の分岐手段と、前記偏
波制御手段によって偏波状態が制御された反射光と、前
記第３の分岐手段によって分岐された局発光とを合波す
る合波手段とを具備することを特徴としている。また、
本発明は、光源と、前記光源からの光を分岐する第１の
分岐手段と、前記第１の分岐手段によって分岐された一
方の光を測定光として被測定光回路に入力するととも
に、当該測定光を当該被測定光回路に入力して得られる
反射光を分岐する第２の分岐手段と、前記第１の分岐手
段によって分岐された他方の光を局発光として反射鏡に
入射させるとともに、当該反射鏡によって反射された局
発光を分岐する第３の分岐手段と、前記第３の分岐手段
によって分岐された反射光の偏波状態を制御する偏波制
御手段と、前記第２の分岐手段によって分岐された反射
光と前記偏波制御手段によって偏波状態が制御された局
発光とを合波する合波手段とを具備することを特徴とし
ている。また、本発明は、前記偏波制御手段が、前記偏
波状態を互いに直交する二方向に設定することを特徴と
している。また、本発明は、前記反射鏡を、前記局発光
の光軸方向に移動させるステージを具備することを特徴
としている。また、本発明は、前記偏波制御手段が、フ
ァラデー回転素子と、前記ファラデー回転素子に対して
光の伝搬方向に磁界を印加せしめるコイル部と、前記コ
イル部への電流を制御する電流制御部とを具備すること
を特徴としている。また、本発明は、前記偏波制御手段
が、１／２波長板と、前記１／２波長板を光軸に直交す
る面内で回転せしめる回転機構とを具備することを特徴
としている。また、本発明は、前記偏波制御手段が、２
つの主軸間の光路長差を０又は１／２波長の何れかに設
定できる液晶素子と、前記液晶素子への電圧を調整する
電源とを具備することを特徴としている。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態による低コヒーレントリフレクトメータについ
て詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態による
低コヒーレントリフレクトメータの概略構成を示すブロ
ック図である。図１において、１は低コヒーレンス光を
出射する発光ダイオードからなる低コヒーレント光源で
ある。低コヒーレント光源１の出射端には光ファイバ２
の一端が接続されている。３は３つのポート３ａ〜３ｃ
を有する光カプラであり、その１つのポート３ａには光
ファイバ２の他端が接続されている。光カプラ３はポー
ト３ａから入力される低コヒーレンス光を所定の強度比
（例えば１対１）で分岐してポート３ｂ，３ｃ各々から
出射する。また、光カプラ３のポート３ｂには光ファイ
バ４の一端が接続されている。

【００１４】５は、３つのポート５ａ〜５ｃを有する光
カプラである。光カプラ５のポート５ａには光ファイバ
４の他端が接続され、ポート５ｂには光ファイバ６の一
端が接続され、光ファイバ６の他端には被測定光回路７
が接続されている。また、光カプラ５のポート５ｃには
光ファイバ８の一端が接続され、この光ファイバ８の他
端には偏波コントローラ９が接続されている。偏波コン
トローラ９は、光ファイバ８から入力される光の偏波状
態を制御し、特に反射光の偏光状態をθ＝０゜の直線偏
光（例えば、紙面に対して平行な方向）及びθ＝９０゜
の直線偏光（例えば、紙面に対して垂直な方向）に制御
する。

【００１５】ここで、偏波コントローラ９の構成につい
て幾つかの例を挙げて説明する。図２は、偏波コントロ
ーラ９の第１構成を示す図である。図２において、８，
１０は光ファイバ、３０，３１はコリメートレンズ、３
２は偏光子、３３はファラデー回転素子、３４はコイ
ル、３５はコイル３４への電流を制御するコントローラ
である。光ファイバ８からの出射光はコリメートレンズ
３０で平行光に変換される。この平行光はほぼ無偏光で
あるので、光パワーの半分が偏光子３２を通過でき、通
過できる光パワーは光ファイバ遅延線や他の部分の光フ
ァイバの状態に依存しない。直線偏光となった平行光は
ファラデー回転子３３を伝搬した後、コリメートレンズ
３１により集光されて光ファイバ１０に入射する。

【００１６】ここで、ファラデー回転素子３３を取り巻
くコイル３４に電流を流さないと、直線偏光は偏光子３
２を通過した直線偏光のままで光ファイバ１０に入射す
る。コイル３４にコントローラ３５から電流を流すと、
ファラデー回転素子３３の長手方向に磁界が加わり、伝
搬する光の直線偏波方向が回転する。いま３５ｍＡの電
流をコイルに流すと直線偏光を９０゜回転することがで
きるとすれば、コイル３４への注入電流を０又は３５ｍ
Ａに設定することにより、光ファイバ１０に入射する直
線偏光の方向をθ＝０゜又はθ＝９０゜にすることがで
きる。

【００１７】次に、図３は、偏波コントローラ９の第２
構成を示す図である。図３において、４０は１／２波長
板、４１は１／２波長板４０を光ビームに垂直な面内で
回転せしめるための回転ホルダー、４２はそのコントロ
ーラである。１／２波長板４０の一方の主軸の方向を、
偏光子３２が直線偏光を通過させる方向に一致させるこ
とで、直線偏光の偏光方向が変化しない条件、即ちθ＝
０゜を実現することができる。一方、１／２波長板４０
の主軸の方向を、偏光子３２が直線偏光を通過させる方
向に対して４５゜の方向に設定することで、偏光子３２
を通過した直線偏光は９０゜の偏光回転を受けることに
なり、θ＝９０゜を実現できる。

【００１８】また、直線偏光を９０゜回転させる他の方
法として、液晶に電圧を印加する方法がある。図４は、
偏波コントローラ９の第３構成を示す図である。図４に
おいて、４３は薄い液晶層とこれを挟むフューズドシリ
カ性のオプティカルフラットからなる液晶素子、４４は
液晶素子４３に電圧を加えるための電源である。液晶の
分子は一軸性で、図３中の１／２波長板４０のような複
屈折性を有する。この液晶素子４３への印加電圧を０Ｖ
又は所定の電圧、例えば２０Ｖに設定することにより、
液晶の主軸間の位相差を０゜又は１８０゜に設定するこ
とができる。従って、図３に示した１／２波長板４０を
用いた場合と同様に、液晶素子４３への電圧を調整する
ことにより、θ＝０゜（印加電圧０Ｖの時）及びθ＝９
０゜（印加電圧２０Ｖの時）の偏光回転を実現できる。
図３では１／２波長板４０を機械的に回転させてθ＝９
０゜を実現したが、本例では機械的な回転ではなく電気
的な操作でθ＝９０゜を実現できる点に特徴がある。

【００１９】図１に戻り、偏波コントローラ９の出射端
には光ファイバ１０が接続されている。１１は４つのポ
ート１１ａ〜１１ｄを有する光カプラであり、ポート１
１ａには光ファイバ１０の他端が接続されている。ま
た、前述した光カプラ３のポート３ｃには光ファイバ１
２の一端が接続されている。１３は、３つのポート１３
ａ〜１３ｃを有する光カプラであり、ポート１３ａには
光ファイバ１２の他端が接続されている。また、光カプ
ラ１３のポート１３ｂには光ファイバ１４が接続されて
いる。１５は光ファイバ１４の端部１４ａに焦点位置が
設定されたコリメートレンズである。１６はコリメート
レンズ１５を介して入射する光を反射する反射鏡であ
り、コリメートレンズ１５との距離を可変するための図
示しないステージ上に設けられている。また、上述した
光カプラ１３のポート１３ｃには光ファイバ１６ａの一
端が接続されている。

【００２０】光ファイバ１６ａの他端は、前述した光カ
プラ１１のポート１１ｂに接続されている。光カプラ１
１はポート１１ａから入力される光とポート１１ｂから
入力される光とを合波して、所定の強度比（例えば１対
１）でポート１１ｃ及びポート１１ｄ各々から出射す
る。ポート１１ｃ，１１ｄには光ファイバ１７，１８が
それぞれ接続され、光ファイバ１７を介した光は受光素
子１９によって光電変換され、光ファイバ１８を介した
光は受光素子２０によって光電変換される。２１は差動
増幅器であり、受光素子１９及び受光素子２０から出力
される電気信号の差分を増幅する。

【００２１】尚、図１に示した低コヒーレント光源１、
被測定光回路７、偏波コントローラ９、光カプラ１１、
光カプラ１３、コリメートレンズ１５、反射鏡１６、受
光素子１９、受光素子２０、及び差動増幅器２１は、図
５に示した低コヒーレント光源１００、被測定光回路１
０４、偏波コントローラ１１４、光カプラ１１６、光カ
プラ１０８、コリメートレンズ１１０、反射鏡１１１、
受光素子１１９、受光素子１２０、及び差動増幅器１２
１とそれぞれ同様の光学素子である。

【００２２】上記構成における本発明の一実施形態によ
る低コヒーレントリフレクトメータは、まず低コヒーレ
ント光源１から出射された低コヒーレンス光を光カプラ
２で分岐し、分岐光の一方を測定光ＤＬとして光ファイ
バ４を介してポート５ａから光カプラ５に入射させ、更
に光ファイバ６を介して被測定光回路７に入射させる。
被測定光回路７内で生じた反射光ＲＬは光ファイバ６を
介してポート５ｂから光カプラ５に入力し、光カプラ５
のポート５ｃから出射される。光カプラ５から出射され
た反射光は偏波コントローラ９を透過して光ファイバ１
０を介してポート１１ａから光カプラ１１に入力する。

【００２３】一方、光カプラ３の分岐光の他方は、局発
光ＫＬとして光ファイバ１２を介してポート１３ａから
光カプラ１３に入力する。この局発光ＫＬは光カプラ１
３及び光ファイバ１４を介して端部１４ａから出射さ
れ、コリメートレンズ１５によって平行光に変換されて
反射鏡１６に入射する。局発光ＫＬは反射鏡１６によっ
て反射され、コリメートレンズ１５によって集光されて
端部１４ａから光ファイバ１４内に入射する。光ファイ
バ１４内に入射した局発光ＫＬは、光カプラ１３及び光
ファイバ１６ａを順に介してポート１１ｂから光カプラ
１１に入力する。

【００２４】光カプラ１１はポート１１ａから入力する
反射光ＲＬとポート１１ｂから入力する局発光ＫＬとを
合波する。ここで、測定光及び反射光ＲＬの光路と局発
光ＫＬの光路とが同一になれば光カプラ１１内で干渉が
生ずる。そして、分岐後の合波光を受光素子１９，２０
で光電変換し、受光素子１９，２０で光電変換された電
気信号の差を差動増幅器２１で取ることにより光の強度
雑音が相殺されて感度が向上する。尚、前述した光カプ
ラ５のポート５ａからは被測定光回路７からの反射光Ｒ
Ｌの一部が出力され、光カプラ１３のポート１３ａから
は局発光ＫＬの一部が出力され、これらは光カプラ３に
入力されて合波される。しかしながら、光カプラ１１の
ポート１１ａから入力される反射光ＲＬは局発光ＫＬと
合波されたものではなく、且つポート１１ｂから入力さ
れる局発光ＫＬは反射光ＲＬと合波されたものではない
ので、計測に支障が生ずることはない。

【００２５】ここで、図示しないステージを移動させて
反射鏡１６を等速で光軸方向に移動させ、光カプラ１３
から出射された局発光ＫＬの光路長を変化させると、局
発光ＫＬの群遅延量が変化する。よって、この反射鏡１
６の各位置に対し偏波コントローラ９によって反射光の
偏光状態をθ＝０゜の直線偏光（例えば、紙面に対して
平行な方向）及びθ＝９０゜の直線偏光（例えば、紙面
に対して垂直な方向）に設定したときのビート信号Ｉ₀
及びＩ₉₀の強度を差動増幅器２１で測定し、それらの和
であるＩ₀＋Ｉ₉₀を計算することにより、反射光ＲＬや
局発光ＫＬの偏光状態に依存することなく、被測定光回
路７の各地点に応じた反射光の光パワーを測定すること
ができ、その結果反射率分布を測定することができる。

【００２６】以上、本発明の一実施形態による低コヒー
レントリフレクトメータについて説明したが、本発明は
上記実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲内
で自由に変更が可能である。例えば、上記実施形態にお
いては、反射光ＲＬの偏波状態を制御するために偏波コ
ントローラ９を光カプラ５と光カプラ１１との間に設け
ていたが、偏波コントローラ９を光カプラ１３と光カプ
ラ１１との間に設けて局発光ＫＬの偏波状態を制御する
ようにしてもよい。

【００２７】このように、本発明の一実施形態による低
コヒーレントリフレクトメータによれば、被測定光回路
７において生じた反射光ＲＬが光カプラ３に至る前に反
射光ＲＬを分岐する光カプラ５を設けたため、光カプラ
１１以外の光部品（光カプラ３）において反射光ＲＬと
局発光ＫＬとが合波されても、測定には全く支障が生じ
ない。よって、図５を用いて説明した従来の低コヒーレ
ントリフレクトメータが必要とした光アイソレータを省
くことできる。その結果、測定光ＤＬ及び反射光ＲＬの
光路長と局発光ＫＬの光路とを共に短縮することができ
るため、光ファイバ内での分散・反射による損失を少な
くすることができ正確な測定をすることができる。ま
た、光アイソレータを省くことにより安価になり、構成
を簡単にすることで製造コストも削減することができ
る。

【００２８】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
被測定光回路において生じた反射光が第１の分岐手段に
至る前に反射光を分岐する第２の分岐手段を設けたた
め、合波手段以外の光部品において反射光と局発光とが
合波されても、測定には全く支障が生じない。よって、
従来の低コヒーレントリフレクトメータが必要とした光
アイソレータを省くことできる。その結果、測定光及び
反射光の光路長と局発光の光路とを共に短縮することが
できるため、光ファイバ内での分散・反射による損失を
少なくすることができ正確な測定をすることができる。
また、光アイソレータを省くことにより安価になり、構
成を簡単にすることで製造コストも削減することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態による低コヒーレントリ
フレクトメータの概略構成を示すブロック図である。

【図２】偏波コントローラ９の第１構成を示す図であ
る。

【図３】偏波コントローラ９の第２構成を示す図であ
る。

【図４】偏波コントローラ９の第３構成を示す図であ
る。

【図５】従来の低コヒーレントリフレクトメータの概
略構成例を示すブロック図である。

【符号の説明】

１低コヒーレント光源（光源）３光カプラ（第１の分岐手段）５光カプラ（第２の分岐手段）７被測定光回路９偏波コントローラ（偏波制御手段）１１光カプラ（合波手段）１３光カプラ（第３の分岐手段）３３ファラデー回転素子３４コイル部３５電流制御部（コントローラ）４０１／２波長板４１回転機構（回転ホルダー）４３液晶素子４４電源

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者青木省一東京都大田区蒲田４丁目19番７号安藤電気株式会社内 (72)発明者矢野哲夫東京都大田区蒲田４丁目19番７号安藤電気株式会社内 (72)発明者森徹東京都大田区蒲田４丁目19番７号安藤電気株式会社内 (72)発明者高田和正東京都千代田区大手町二丁目３番１号日本電信電話株式会社内Ｆターム(参考） 2G059 AA02 BB15 EE02 EE05 EE09 FF02 GG02 JJ11 JJ13 JJ17 JJ19 JJ20 JJ30 KK03 LL02 LL04 MM20 2G086 EE12 HH07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源と、前記光源からの光を分岐する第１の分岐手段と、前記第１の分岐手段によって分岐された一方の光を測定
光として被測定光回路に入力するとともに、当該測定光
を当該被測定光回路に入力して得られる反射光を分岐す
る第２の分岐手段と、前記第２の分岐手段によって分岐された反射光の偏波状
態を制御する偏波制御手段と、前記第１の分岐手段によって分岐された他方の光を局発
光として反射鏡に入射させるとともに、当該反射鏡によ
って反射された局発光を分岐する第３の分岐手段と、前記偏波制御手段によって偏波状態が制御された反射光
と、前記第３の分岐手段によって分岐された局発光とを
合波する合波手段とを具備することを特徴とする低コヒ
ーレントリフレクトメータ。
【請求項２】光源と、前記光源からの光を分岐する第１の分岐手段と、前記第１の分岐手段によって分岐された一方の光を測定
光として被測定光回路に入力するとともに、当該測定光
を当該被測定光回路に入力して得られる反射光を分岐す
る第２の分岐手段と、前記第１の分岐手段によって分岐された他方の光を局発
光として反射鏡に入射させるとともに、当該反射鏡によ
って反射された局発光を分岐する第３の分岐手段と、前記第３の分岐手段によって分岐された反射光の偏波状
態を制御する偏波制御手段と、前記第２の分岐手段によって分岐された反射光と前記偏
波制御手段によって偏波状態が制御された局発光とを合
波する合波手段とを具備することを特徴とする低コヒー
レントリフレクトメータ。
【請求項３】前記偏波制御手段は、前記偏波状態を互
いに直交する二方向に設定することを特徴とする請求項
１又は請求項２記載の低コヒーレントリフレクトメー
タ。
【請求項４】前記反射鏡を、前記局発光の光軸方向に
移動させるステージを具備することを特徴とする請求項
１から請求項３の何れかに記載の低コヒーレントリフレ
クトメータ。
【請求項５】前記偏波制御手段は、ファラデー回転素子と、前記ファラデー回転素子に対して光の伝搬方向に磁界を
印加せしめるコイル部と、前記コイル部への電流を制御する電流制御部とを具備す
ることを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項
に記載の低コヒーレントリフレクトメータ。
【請求項６】前記偏波制御手段は、１／２波長板と、前記１／２波長板を光軸に直交する面内で回転せしめる
回転機構とを具備することを特徴とする請求項１から請
求項４の何れか一項に記載の低コヒーレントリフレクト
メータ。
【請求項７】前記偏波制御手段は、２つの主軸間の光路長差を０又は１／２波長の何れかに
設定できる液晶素子と、前記液晶素子への電圧を調整する電源とを具備すること
を特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載
の低コヒーレントリフレクトメータ。