JP2002241869A - 金属−セラミックス複合材料の製造方法 - Google Patents
金属−セラミックス複合材料の製造方法Info
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Landscapes
- Manufacture Of Alloys Or Alloy Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 アルミニウムまたはアルミニウム合金の浸透
を改善することのできる金属−セラミックス複合材料の
製造方法を提供する。 【解決手段】 強化材であるセラミックス粉末またはセ
ラミックス繊維にTiO 2粉末、MgO粉末、TiC粉
末またはTiN粉末の少なくとも1種を添加し、それを
混合したセラミックス粉末またはセラミックス繊維でプ
リフォームを形成し、そのプリフォームにマトリックス
である溶融したアルミニウムまたはアルミニウム合金を
窒素雰囲気中で非加圧で浸透させることとした金属-セ
ラミックス複合材料の製造方法、
を改善することのできる金属−セラミックス複合材料の
製造方法を提供する。 【解決手段】 強化材であるセラミックス粉末またはセ
ラミックス繊維にTiO 2粉末、MgO粉末、TiC粉
末またはTiN粉末の少なくとも1種を添加し、それを
混合したセラミックス粉末またはセラミックス繊維でプ
リフォームを形成し、そのプリフォームにマトリックス
である溶融したアルミニウムまたはアルミニウム合金を
窒素雰囲気中で非加圧で浸透させることとした金属-セ
ラミックス複合材料の製造方法、
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属−セラミック
ス複合材料の製造方法に関し、特に金属の浸透を改善す
ることのできる金属−セラミックス複合材料の製造方法
に関する。
ス複合材料の製造方法に関し、特に金属の浸透を改善す
ることのできる金属−セラミックス複合材料の製造方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】最近、半導体製造装置等にセラミックス
粉末またはセラミックス繊維を強化材とし、アルミニウ
ムまたはアルミニウム合金をマトリックスとする金属−
セラミックス複合材料が使われ始められている。
粉末またはセラミックス繊維を強化材とし、アルミニウ
ムまたはアルミニウム合金をマトリックスとする金属−
セラミックス複合材料が使われ始められている。
【0003】この複合材料の製造方法、特に金属として
アルミニウムをマトリックスとする複合材料の製造方法
としては、粉末冶金法、高圧鋳造法、真空鋳造法等の方
法が従来から知られている。しかし、これらの方法で
は、強化材であるセラミックスの含有率を高くできな
い、あるいは大型の加圧装置が必要である、もしくはニ
アネットの成形が困難である、コストが極めて高いなど
の理由によりいずれも満足できるものではなかった。
アルミニウムをマトリックスとする複合材料の製造方法
としては、粉末冶金法、高圧鋳造法、真空鋳造法等の方
法が従来から知られている。しかし、これらの方法で
は、強化材であるセラミックスの含有率を高くできな
い、あるいは大型の加圧装置が必要である、もしくはニ
アネットの成形が困難である、コストが極めて高いなど
の理由によりいずれも満足できるものではなかった。
【0004】そこで最近では、上記問題を解決する製造
方法として、米国ランクサイド社が開発した非加圧金属
浸透法(PrimexTM)がある。この方法は、SiC
やAl2O3などのセラミックス粉末で形成されたプリフ
ォームにMgを含むアルミニウム合金を接触させ、これ
をN2雰囲気炉中で700〜900℃の温度に加熱して
溶融したアルミニウム合金を浸透させる方法である。こ
れは、Mgの化学反応を利用してセラミックス粉末と溶
融金属との濡れ性を改善し、機械的な加圧を行わなくて
もプリフォーム中に浸透できるという特徴があるので、
加圧装置が不要な優れた方法である。
方法として、米国ランクサイド社が開発した非加圧金属
浸透法(PrimexTM)がある。この方法は、SiC
やAl2O3などのセラミックス粉末で形成されたプリフ
ォームにMgを含むアルミニウム合金を接触させ、これ
をN2雰囲気炉中で700〜900℃の温度に加熱して
溶融したアルミニウム合金を浸透させる方法である。こ
れは、Mgの化学反応を利用してセラミックス粉末と溶
融金属との濡れ性を改善し、機械的な加圧を行わなくて
もプリフォーム中に浸透できるという特徴があるので、
加圧装置が不要な優れた方法である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法では、浸透促進剤であるMgが水溶液に反応するた
め、水溶液を用いるセディメントキャストなどの湿式法
では、そのMgをプリフォームの内部に含めることがで
きないという問題があった。
法では、浸透促進剤であるMgが水溶液に反応するた
め、水溶液を用いるセディメントキャストなどの湿式法
では、そのMgをプリフォームの内部に含めることがで
きないという問題があった。
【0006】そのため、水溶液を用いる湿式法で形成し
たプリフォームの場合には、アルミニウムまたはアルミ
ニウム合金の浸透が遅くなり、浸透時間が長いという問
題があった。しかもそのプリフォームが大型で肉厚にな
ると、アルミニウムまたはアルミニウム合金の浸透時間
が長くなるばかりでなく、未浸透部分が発生し易いとい
う問題もあった。
たプリフォームの場合には、アルミニウムまたはアルミ
ニウム合金の浸透が遅くなり、浸透時間が長いという問
題があった。しかもそのプリフォームが大型で肉厚にな
ると、アルミニウムまたはアルミニウム合金の浸透時間
が長くなるばかりでなく、未浸透部分が発生し易いとい
う問題もあった。
【0007】本発明は、上述した金属−セラミックス複
合材料の製造方法が有する課題に鑑みなされたものであ
って、その目的は、アルミニウムまたはアルミニウム合
金の浸透を改善することのできる金属−セラミックス複
合材料の製造方法を提供することにある。
合材料の製造方法が有する課題に鑑みなされたものであ
って、その目的は、アルミニウムまたはアルミニウム合
金の浸透を改善することのできる金属−セラミックス複
合材料の製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するため鋭意研究した結果、TiO2粉末などの
粉末をプリフォーム中に含ませれば、アルミニウムまた
はアルミニウム合金の浸透を改善することができるとの
知見を得て本発明を完成するに至った。
を達成するため鋭意研究した結果、TiO2粉末などの
粉末をプリフォーム中に含ませれば、アルミニウムまた
はアルミニウム合金の浸透を改善することができるとの
知見を得て本発明を完成するに至った。
【0009】即ち、本発明は、(1)強化材であるセラ
ミックス粉末またはセラミックス繊維にTiO2粉末、
MgO粉末、TiC粉末またはTiN粉末の少なくとも
1種を添加し、それを混合したセラミックス粉末または
セラミックス繊維でプリフォームを形成し、そのプリフ
ォームにマトリックスである溶融したアルミニウムまた
はアルミニウム合金を窒素雰囲気中で非加圧で浸透させ
ることを特徴とする金属-セラミックス複合材料の製造
方法(請求項1)とし、(2)前記TiO2粉末、Mg
O粉末、TiC粉末またはTiN粉末の少なくとも1種
の添加率が、2〜5重量%であることを特徴とする請求
項1記載の金属-セラミックス複合材料の製造方法(請
求項2)とすることを要旨とする。以下さらに詳細に説
明する。
ミックス粉末またはセラミックス繊維にTiO2粉末、
MgO粉末、TiC粉末またはTiN粉末の少なくとも
1種を添加し、それを混合したセラミックス粉末または
セラミックス繊維でプリフォームを形成し、そのプリフ
ォームにマトリックスである溶融したアルミニウムまた
はアルミニウム合金を窒素雰囲気中で非加圧で浸透させ
ることを特徴とする金属-セラミックス複合材料の製造
方法(請求項1)とし、(2)前記TiO2粉末、Mg
O粉末、TiC粉末またはTiN粉末の少なくとも1種
の添加率が、2〜5重量%であることを特徴とする請求
項1記載の金属-セラミックス複合材料の製造方法(請
求項2)とすることを要旨とする。以下さらに詳細に説
明する。
【0010】上記で述べたように、本発明の複合材料の
製造方法として、TiO2粉末、MgO粉末、TiC粉
末またはTiN粉末の少なくとも1種をプリフォーム中
に含ませることとしたのは、そのプリフォームに窒素雰
囲気中でアルミニウムまたはアルミニウム合金を浸透さ
せると、アルミニウムまたはアルミニウム合金が浸透し
ていくと同時に、前記した粉末が還元され、その還元反
応によってアルミニウムまたはアルミニウム合金の浸透
が促進されるので、アルミニウムまたはアルミニウム合
金の浸透を改善できる製造方法とすることができるから
である。
製造方法として、TiO2粉末、MgO粉末、TiC粉
末またはTiN粉末の少なくとも1種をプリフォーム中
に含ませることとしたのは、そのプリフォームに窒素雰
囲気中でアルミニウムまたはアルミニウム合金を浸透さ
せると、アルミニウムまたはアルミニウム合金が浸透し
ていくと同時に、前記した粉末が還元され、その還元反
応によってアルミニウムまたはアルミニウム合金の浸透
が促進されるので、アルミニウムまたはアルミニウム合
金の浸透を改善できる製造方法とすることができるから
である。
【0011】その粉末の添加率としては、2〜5重量%
とした。添加率が2重量%より少ないと、アルミニウム
またはアルミニウム合金の浸透を促進する効果が低下
し、5重量%より多いと、セラミックス粉末またはセラ
ミックス繊維の充填率が低下し、剛性(ヤング率)が低
くなるため好ましくない。
とした。添加率が2重量%より少ないと、アルミニウム
またはアルミニウム合金の浸透を促進する効果が低下
し、5重量%より多いと、セラミックス粉末またはセラ
ミックス繊維の充填率が低下し、剛性(ヤング率)が低
くなるため好ましくない。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の複合材料の製造方法をさ
らに詳しく述べると、先ず強化材であるセラミックス粉
末またはセラミックス繊維としてSiC、Al2O3、A
lNなどのセラミックス粉末またはセラミックス繊維を
用意し、これにさらにTiO2粉末、MgO粉末、Ti
C粉末またはTiN粉末、あるいはそれらの混合粉末も
用意する。一方、浸透させるアルミニウム合金としてM
gを含むアルミニウム合金のインゴットも用意する。
らに詳しく述べると、先ず強化材であるセラミックス粉
末またはセラミックス繊維としてSiC、Al2O3、A
lNなどのセラミックス粉末またはセラミックス繊維を
用意し、これにさらにTiO2粉末、MgO粉末、Ti
C粉末またはTiN粉末、あるいはそれらの混合粉末も
用意する。一方、浸透させるアルミニウム合金としてM
gを含むアルミニウム合金のインゴットも用意する。
【0013】用意したセラミックス粉末またはセラミッ
クス繊維に、用意したTiO2粉末、MgO粉末、Ti
C粉末またはTiN粉末、あるいはそれらの混合粉末を
2〜5重量%添加し、得られた混合物でセディメントキ
ャスト法などの湿式法でプリフォームを形成する。
クス繊維に、用意したTiO2粉末、MgO粉末、Ti
C粉末またはTiN粉末、あるいはそれらの混合粉末を
2〜5重量%添加し、得られた混合物でセディメントキ
ャスト法などの湿式法でプリフォームを形成する。
【0014】得られたプリフォームに用意したアルミニ
ウム合金のインゴットを接触させ、それを窒素雰囲気中
で700〜900℃の温度で熱処理し、溶融したアルミ
ニウム合金を非加圧で浸透させ、冷却して複合材料を作
製する。
ウム合金のインゴットを接触させ、それを窒素雰囲気中
で700〜900℃の温度で熱処理し、溶融したアルミ
ニウム合金を非加圧で浸透させ、冷却して複合材料を作
製する。
【0015】以上の方法で金属−セラミックス複合材料
を作製すれば、アルミニウム合金の浸透を改善した複合
材料が得られる。
を作製すれば、アルミニウム合金の浸透を改善した複合
材料が得られる。
【0016】
【実施例】以下本発明の実施例を比較例と共に具体的に
挙げ、本発明をより詳細に説明する。
挙げ、本発明をより詳細に説明する。
【0017】(実施例1) (1)金属−セラミックス複合材料の作製 強化材として#180(平均粒径66μm)の市販Si
C粉末70質量部と#500(平均粒径25μm)の市
販SiC粉末30質量部を用い、それにTiO 2粉末を
4重量部加え、それにバインダーとしてコロイダルシリ
カ液をシリカ固形分が2重量部となる量を添加し、それ
に消泡剤としてフォーマスタVL(サンノブコ社製)を
0.2重量部、イオン交換水を24重量部加え、ポット
ミルで12時間混合した。
C粉末70質量部と#500(平均粒径25μm)の市
販SiC粉末30質量部を用い、それにTiO 2粉末を
4重量部加え、それにバインダーとしてコロイダルシリ
カ液をシリカ固形分が2重量部となる量を添加し、それ
に消泡剤としてフォーマスタVL(サンノブコ社製)を
0.2重量部、イオン交換水を24重量部加え、ポット
ミルで12時間混合した。
【0018】得られたスラリーを長さ2000×幅10
0×厚さ15mmの成形体が得られるゴム型に流し込
み、それを24時間静置し、SiC粉末を沈殿させ、上
済み液を布などで除去した後、それを冷凍室に入れ、3
0時間冷凍させて脱型した。得られた成形体を1000
℃の温度で焼成してSiC粉末の充填率が70体積%の
プリフォームを形成した。
0×厚さ15mmの成形体が得られるゴム型に流し込
み、それを24時間静置し、SiC粉末を沈殿させ、上
済み液を布などで除去した後、それを冷凍室に入れ、3
0時間冷凍させて脱型した。得られた成形体を1000
℃の温度で焼成してSiC粉末の充填率が70体積%の
プリフォームを形成した。
【0019】得られたプリフォームにAl−12Si−
3Mg組成のアルミニウム合金のインゴットを接触さ
せ、それを窒素雰囲気中で825℃の温度で24時間熱
処理し、溶融したアルミニウム合金を非加圧浸透させた
後、冷却して長物の複合材料を作製した。
3Mg組成のアルミニウム合金のインゴットを接触さ
せ、それを窒素雰囲気中で825℃の温度で24時間熱
処理し、溶融したアルミニウム合金を非加圧浸透させた
後、冷却して長物の複合材料を作製した。
【0020】(2)評価 得られた複合材料を切断し、その切断面のアルミニウム
合金の浸透状態を目視で調べた。その結果、複合材料に
はアルミニウム合金の未浸透部分は認めらず、浸透状態
は良好であった。
合金の浸透状態を目視で調べた。その結果、複合材料に
はアルミニウム合金の未浸透部分は認めらず、浸透状態
は良好であった。
【0021】(実施例2)実施例2では、実施例1のT
iO2粉末の代わりにMgO粉末とした他は実施例1と
同様に複合材料を作製し、評価した。その結果、複合材
料にはアルミニウム合金の未浸透部分は認められず、浸
透状態は良好であった。
iO2粉末の代わりにMgO粉末とした他は実施例1と
同様に複合材料を作製し、評価した。その結果、複合材
料にはアルミニウム合金の未浸透部分は認められず、浸
透状態は良好であった。
【0022】(実施例3)実施例3では、実施例1のT
iO2粉末の代わりにTiC粉末とした他は実施例1と
同様に複合材料を作製し、評価した。その結果、複合材
料にはアルミニウム合金の未浸透部分は認められず、浸
透状態は良好であった。このことは、実施例1、2を含
めて述べると、本発明の製造方法であれば、アルミニウ
ムまたはアルミニウム合金の浸透が改善されるので、長
物や大型肉厚であっても、未浸透部が生じない製造方法
とすることができることを示している。
iO2粉末の代わりにTiC粉末とした他は実施例1と
同様に複合材料を作製し、評価した。その結果、複合材
料にはアルミニウム合金の未浸透部分は認められず、浸
透状態は良好であった。このことは、実施例1、2を含
めて述べると、本発明の製造方法であれば、アルミニウ
ムまたはアルミニウム合金の浸透が改善されるので、長
物や大型肉厚であっても、未浸透部が生じない製造方法
とすることができることを示している。
【0023】(比較例)比較のために実施例の浸透を促
進する粉末を加えないでプリフォームを形成した他は実
施例1と同様に複合材料を作製し、評価した。その結
果、アルミニウム合金の未浸透部分がところどころに認
められ、浸透状態が悪かった。そして、その加熱処理時
間をさらに10時間延長しても、完全には未浸透部分が
なくならなかった。
進する粉末を加えないでプリフォームを形成した他は実
施例1と同様に複合材料を作製し、評価した。その結
果、アルミニウム合金の未浸透部分がところどころに認
められ、浸透状態が悪かった。そして、その加熱処理時
間をさらに10時間延長しても、完全には未浸透部分が
なくならなかった。
【0024】
【発明の効果】以上の通り、本発明の金属−セラミック
ス複合材料の製造方法であれば、アルミニウムまたはア
ルミニウム合金の浸透を改善した製造方法とすることが
できるようになった。このことにより、長物品や大型品
であっても、未浸透部分を生じない複合材料を作製でき
るようになり、また、小型の複合材料であっても、浸透
時間を短縮できるという利点があり、さらに、複雑形状
品の場合にも、その複雑部にアルミニウムまたはアルミ
ニウム合金が隅々まで行き渡るような複合材料を作製で
きるようになった。
ス複合材料の製造方法であれば、アルミニウムまたはア
ルミニウム合金の浸透を改善した製造方法とすることが
できるようになった。このことにより、長物品や大型品
であっても、未浸透部分を生じない複合材料を作製でき
るようになり、また、小型の複合材料であっても、浸透
時間を短縮できるという利点があり、さらに、複雑形状
品の場合にも、その複雑部にアルミニウムまたはアルミ
ニウム合金が隅々まで行き渡るような複合材料を作製で
きるようになった。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) //(C22C 49/14 (C22C 49/14 101:04 101:04 101:14 101:14 101:16) 101:16) (72)発明者 小田野 直水 宮城県仙台市泉区明通3−7 セランクス 株式会社仙台工場 (72)発明者 樋口 毅 宮城県仙台市泉区明通3−7 セランクス 株式会社仙台工場 Fターム(参考) 4K020 AA05 AA06 AA08 AA22 AC01 BA05 BB02 BB22
Claims (2)
- 【請求項1】 強化材であるセラミックス粉末またはセ
ラミックス繊維にTiO2粉末、MgO粉末、TiC粉
末またはTiN粉末の少なくとも1種を添加し、それを
混合したセラミックス粉末またはセラミックス繊維でプ
リフォームを形成し、そのプリフォームにマトリックス
である溶融したアルミニウムまたはアルミニウム合金を
窒素雰囲気中で非加圧で浸透させることを特徴とする金
属-セラミックス複合材料の製造方法。 - 【請求項2】 前記TiO2粉末、MgO粉末、TiC
粉末またはTiN粉末の少なくとも1種の添加率が、2
〜5重量%であることを特徴とする請求項1記載の金属
-セラミックス複合材料の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001036343A JP2002241869A (ja) | 2001-02-14 | 2001-02-14 | 金属−セラミックス複合材料の製造方法 |
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---|---|---|---|
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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ID=18899627
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---|---|---|---|
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Country | Link |
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JP (1) | JP2002241869A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010064954A (ja) * | 2008-09-12 | 2010-03-25 | Ngk Insulators Ltd | SiC/Al系複合材料及びその製法 |
CN109898039A (zh) * | 2017-12-11 | 2019-06-18 | 江苏赛尔亚环保科技有限公司 | 一种脱硫脱硝装置用吸收塔塔体材料 |
CN116141774A (zh) * | 2023-02-16 | 2023-05-23 | 江苏礼德铝业有限公司 | 一种具有陶瓷纤维的铝板及其制造方法 |
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2001
- 2001-02-14 JP JP2001036343A patent/JP2002241869A/ja active Pending
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