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JP2002233105A - 流体動圧軸受モータ - Google Patents

流体動圧軸受モータ

Info

Publication number
JP2002233105A
JP2002233105A JP2001362905A JP2001362905A JP2002233105A JP 2002233105 A JP2002233105 A JP 2002233105A JP 2001362905 A JP2001362905 A JP 2001362905A JP 2001362905 A JP2001362905 A JP 2001362905A JP 2002233105 A JP2002233105 A JP 2002233105A
Authority
JP
Japan
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flange
bearing
dynamic pressure
thrust
fluid dynamic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001362905A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiromitsu Goto
廣光 後藤
Shinji Kinoshita
伸治 木下
Toru Kumagai
徹 熊谷
Yukihiro Nakayama
幸博 中山
Kazuhiro Tazawa
千浩 田澤
Mitsuharu Iwamoto
充晴 岩本
Ryoji Yoneyama
良治 米山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP2001362905A priority Critical patent/JP2002233105A/ja
Priority to US09/996,830 priority patent/US6552456B2/en
Publication of JP2002233105A publication Critical patent/JP2002233105A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/02Parts of sliding-contact bearings
    • F16C33/04Brasses; Bushes; Linings
    • F16C33/06Sliding surface mainly made of metal
    • F16C33/10Construction relative to lubrication
    • F16C33/1025Construction relative to lubrication with liquid, e.g. oil, as lubricant
    • F16C33/106Details of distribution or circulation inside the bearings, e.g. details of the bearing surfaces to affect flow or pressure of the liquid
    • F16C33/107Grooves for generating pressure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/10Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for both radial and axial load
    • F16C17/102Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for both radial and axial load with grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure
    • F16C17/107Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for both radial and axial load with grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure with at least one surface for radial load and at least one surface for axial load
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B19/00Driving, starting, stopping record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor; Control thereof; Control of operating function ; Driving both disc and head
    • G11B19/20Driving; Starting; Stopping; Control thereof
    • G11B19/2009Turntables, hubs and motors for disk drives; Mounting of motors in the drive
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/16Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields
    • H02K5/167Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields using sliding-contact or spherical cap bearings
    • H02K5/1675Means for supporting bearings, e.g. insulating supports or means for fitting bearings in the bearing-shields using sliding-contact or spherical cap bearings radially supporting the rotary shaft at only one end of the rotor
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2370/00Apparatus relating to physics, e.g. instruments
    • F16C2370/12Hard disk drives or the like

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  • Permanent Magnet Type Synchronous Machine (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型HDD装置に用いる薄型の流体動圧軸受
モータにおいて、静止時の軸受剛性のない場合でも、磁
気ディスクがヘッド用ロードアーム等のヘッド支持系と
接触しないようにすること。 【解決手段】 シャフト32とフランジ33とからなる
フランジ付回転シャフト31と、前記フランジ付回転シ
ャフト31が回転自在に挿入されるスリーブ34と、環
状蓋部材35と、これらの軸受構成部材によって形成さ
れた微小隙間に充填された潤滑用流体とから構成された
薄型の流体動圧軸受を備えた流体動圧軸受モータにおい
て、スラスト隙間cを、磁気ディスク1の外周縁におけ
る最大振れ幅mとフランジ付回転シャフトのフランジの
直径dとの積mdを、磁気ディスクの半径rの4倍4r
で除算した値以下に設定した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄型のHDD装
置、特に磁気ディスク直径が2.5インチ以下の小型で
薄型のHDD装置の回転体の駆動源に適した流体動圧軸
受モータに関する。
【0002】
【従来の技術】図5は、特開平8−321131号公報
に開示された従来の流体動圧軸受モータである。即ち、
図5には、磁気ディスク1が載架されるハブ16が回転
シャフト15の一端に同軸にして固着されたロータマグ
ネット12を含むロータと、前記ロータマグネット12
との間の電磁作用によって回転力を発生させるステータ
コイル11を含むステータと、前記ロータを前記ステー
タに支承する流体動圧軸受とから構成された流体動圧軸
受モータと、この流体動圧軸受モータを回転体の駆動源
に採用したHDD装置が開示されている。このHDD装
置において、前記ハブ16には、1枚の磁気ディスク若
しくは複数枚の磁気ディスク1が積層して載架される。
【0003】上記従来の流体動圧軸受モータに用いられ
ている動圧軸受は、回転シャフト15と、回転シャフト
15が回転自在に挿入されるスリーブ(軸受)10と、
回転シャフト15に固着された上スラスト受け部材18
と、これらの軸受構成部材によって形成された微小隙間
に充填された潤滑用流体とから構成されている。前記微
小隙間の中で、回転シャフト15とスリーブ(軸受)1
0との間の半径隙間はラジアル軸受部を構成している。
そして、ラジアル軸受部を構成している回転シャフト1
5の外周面とスリーブ(軸受)10の内周面のいずれか
一方にはヘリングボーン型のラジアル動圧発生溝が形成
されている。また、上スラスト受け部材18の下面とス
リーブ(軸受)10の上端面のいずれか一方にはスパイ
ラル溝のスラスト動圧発生溝が形成されている。
【0004】この従来の流体動圧軸受モータにおいて、
図6に示す如く、回転シャフト15とスリーブ(軸受)
10との間の半径隙間、即ちラジアル隙間δ(μm)の
6倍が、磁気ディスク1の半径d(mm)に対する軸方
向の軸受長さl(mm)の比率(l/d)と、前記磁気
ディスクとヘッド用ロードアームとの軸方向最小隙間Δ
との積(l/d)×Δの値を超えないように設定されて
いる。なお、図6において、Wは磁気ディスクの外周端
における磁気ディスク倒れ量を、Sはその偏心量を夫々
表す。
【0005】このような関係に規制することで、静止時
の軸受剛性のない場合でも、図7に示すように、磁気デ
ィスク1がヘッド用ロードアーム6等のヘッド支持系と
接触しないようにすることができる。要するに、静止時
には、回転シャフトはラジアル軸受部の半径隙間δの範
囲内で傾くが、その最大傾きの範囲内であれば磁気ディ
スクがヘッドアームに決して接触しないようにラジアル
軸受部の半径隙間δが設定されているのである。従って
磁気ディスクの積層枚数を多くして大容量のHDD装置
が実現されるようになった。
【0006】ところで、近年、情報家電に載架する記憶
媒体としてHDD装置が最も優れているとの評価が高ま
ってきた。これは動圧軸受が転がり軸受に比べていくつ
もの優れた特徴を有すること、特に音が非常に静かであ
ることが評価されたためである。動画情報が多いため、
小型でありながらも、情報家電用HDD装置には高密度
化が要求されている。
【0007】そこで、本願出願人も、直径が2.5イン
チ以下の磁気ディスクが載架される小型HDD装置に用
いる小型薄型の流体動圧軸受モータを開発してきた。と
ころが、流体動圧軸受を薄型にしたため、回転シャフト
の傾きを決定する軸受部の長さが短くなり、上記特開平
8−321131号公報に開示された関係、即ち、ラジ
アル隙間δの6倍が、磁気ディスク1の半径dに対する
軸方向の軸受長さlの比率(l/d)と、磁気ディスク
とヘッド用ロードアームとの軸方向最小隙間Δとの積
(l/d)×Δの値を超えないようするという関係を満
たすことができないという問題が発生した。従って、静
止時にラジアル軸受部の半径隙間δの範囲内で回転シャ
フトを傾かせると、磁気ディスクがヘッド用ロードアー
ムに接触し、ディスクやヘッドを損傷させるという構造
上の問題が発生した。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする課題
は、シャフト部とフランジ部とを有するフランジ付回転
シャフト、前記回転シャフトが回転自在に挿入されるス
リーブ、及びこれらを含む軸受構成部材によって形成さ
れた微小隙間に充填される潤滑用流体とから構成された
薄型の流体動圧軸受を備えた流体動圧軸受モータであっ
て、小型HDD装置に用いる小型薄型の流体動圧軸受モ
ータにおいて、静止時の軸受剛性のない場合でも、磁気
ディスクがヘッド用ロードアーム等のヘッド支持系と接
触しないようにすることである。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、回転シャフト、前記回転シャフトが回転自在に挿入
されるスリーブ、前記回転シャフトに固着されたスラス
ト部材、及びこれらの軸受構成部材によって形成された
微小隙間に充填される潤滑用流体とから構成された薄型
の流体動圧軸受を備えた流体動圧軸受モータであって、
小型HDD装置に用いる小型薄型の流体動圧軸受モータ
において、静止時に、磁気ディスクがヘッドやヘッド支
持系を構成する部材に接触しない範囲内で、前記スラス
ト軸受用フランジが前記スラスト隙間の範囲内で倒れる
ように、前記スラスト軸受用フランジの直径と前記スラ
スト隙間とを設定した。
【0010】即ち、上記課題を解決するために、磁気デ
ィスクが載架されるハブが回転シャフトの一端に同軸に
して固着されたロータと、前記ロータとの間の電磁作用
によって回転力を発生させるステータと、前記ロータを
前記ステータに支承する流体動圧軸受とから構成された
流体動圧軸受モータにおいて、前記流体動圧軸受を、シ
ャフト部とフランジ部とを有するフランジ付回転シャフ
トと前記回転シャフトが回転自在に挿入されるスリーブ
とを主要な軸受構成部材とし、これら軸受構成部材によ
って形成された複数の微小隙間の中のラジアル隙間には
ラジアル動圧発生溝を設け、またスラスト隙間にはスラ
スト動圧発生溝を設け、更に複数の微小隙間には潤滑用
流体を充填して構成した流体動圧軸受を採用し、静止時
に、磁気ディスクがヘッドやヘッド支持系を構成する部
材に接触しない範囲内で、前記スラスト軸受用フランジ
が前記スラスト隙間の範囲内で倒れるように、前記スラ
スト軸受用フランジの直径と前記スラスト隙間とを設定
した。
【0011】より具体的には、前記スラスト隙間cを、
磁気ディスクの外周縁における最大振れ幅mとフランジ
付回転シャフトのフランジの直径dとの積mdを、磁気
ディスクの半径rの4倍4rで除算した値以下に設定し
た。
【0012】そして、本発明に係る流体動圧軸受モータ
において、上記の如く前記スラスト軸受用フランジの直
径と前記スラスト隙間とが設定される流体動圧軸受は、
具体的には、前記ラジアル動圧発生溝が前記フランジ部
の外周面に形成され、且つ前記スラスト動圧発生溝が前
記フランジ部の上下の半径方向表面に夫々形成されてい
ることを特徴とする流体動圧軸受、又は前記ラジアル動
圧発生溝が前記シャフト部の外周面に形成され、且つ前
記スラスト動圧発生溝が前記フランジ部の上下の半径方
向表面に夫々形成されていることを特徴とする流体動圧
軸受である。
【0013】
【発明の実施の形態】図1は、磁気ディスクが載架され
るカップ状ハブ36と、カップ状ハブ36のスカート部
の内周面に取りつけられたロータマグネット38を含む
ロータが、図2の流体動圧軸受によって、ステータに回
転自在に支承された小型薄型の流体動圧軸受モータの一
実施形態の断面図である。前記ステータには、ベース基
板39と、ベース基板39に固定された流体動圧軸受の
スリーブ34と、スリーブ34の外周面に取りつけられ
たステータコイル37を含む。そして、前記ロータは、
そのカップ状ハブ36が流体動圧軸受のフランジ付回転
シャフト31に同軸にして固着されている。この小型薄
型の流体動圧軸受モータは、ステータコイル37とロー
タマグネット38との間の相互電磁作用によって回転す
る。
【0014】図2は、上述の小型薄型の流体動圧軸受モ
ータに採用されている流体動圧軸受の断面図である。但
し、微小隙間は誇張して示してある。図2に示す流体動
圧軸受は、リング部33と円柱部32からなるフランジ
付回転シャフト31と、このフランジ付シャフト31を
受けるスリーブ34と、スラスト押さえ部材としても機
能する環状蓋部材35とからなる流体動圧軸受におい
て、ヘリングボーン溝の如きスパイラルのスラスト動圧
発生溝G2をリング部33の上面と下面に且つヘリング
ボーン溝の如きラジアル動圧発生溝G1をリング部33
の外周面にそれぞれ形成し、更にこれらの軸受構成部材
間に形成された微小隙間R1、R2、R3、R4及びR
5には潤滑油Fが充填されている。なお、図3にはスラ
スト動圧発生溝G2の一例を示す。
【0015】図4は、静止時に、磁気ディスクがヘッド
やヘッド支持系を構成する部材に接触しない範囲内で前
記スラスト軸受用フランジが前記スラスト隙間の範囲内
で倒れるように、前記スラスト軸受用フランジの直径と
前記スラスト隙間とがどのようにして設定されるかを説
明するために、軸受構成部材と磁気ディスク及びヘッド
支持部材の間の幾何学的関係を、微小隙間を誇張して示
した説明図である。
【0016】図4において、フランジ付回転シャフト3
1はシャフト(円柱部)32とフランジ(リング部)3
3とからなる逆T字型部材として、スリーブ34は環状
蓋部材35と一体にして断面略矩形の片袋状部材として
夫々示されている。
【0017】また、図4において、cはスラスト隙間、
mは磁気ディスクの外周縁における最大振れ幅、dはフ
ランジ付回転シャフト31のフランジ33の直径、rは
磁気ディスクの半径である。スラスト隙間cはフランジ
33の上側の半径方向表面とスラスト押さえ板35の下
面との間の隙間であるが、フランジ33の下側の半径方
向表面とスリーブ34の底面との間にも同様の隙間cが
存在する。また、磁気ディスクの外周縁における最大振
れ幅mは、フランジ付回転シャフト31が右側に最大限
倒れたときの前記外周縁の水平位置と左側に最大限倒れ
たときの前記外周縁の水平位置との間隔である。
【0018】右側に最大限倒れたときのフランジ付回転
シャフト31は、太い点線で示してある。この場合、フ
ランジ付回転シャフト31はフランジ33の左上端縁を
環状蓋部材35の下面に当接し、且つその右下端縁をス
リーブ34の底面に当接している。また、左側に最大限
倒れたときのフランジ付回転シャフト31は、細い点線
で示してある。この場合、フランジ付回転シャフト31
はフランジ33の右上端縁をスラスト押さえ板35の下
面に当接し、且つその左下端縁をスリーブ34の底面に
当接している。いずれの場合も、フランジ付回転シャフ
ト31のシャフト32は、スリーブ34は勿論のこと、
環状蓋部材35の内周面にも全く接触していない。即
ち、本発明においては、フランジ付回転シャフト31は
フランジ33がスリーブ34内で傾ける範囲内しか傾け
ないのである。
【0019】そこで、図4を参照すれば明らかな如く、
フランジ33の傾きと磁気ディスク1の傾きの間には、
d/2:c=r:m/2という数式が成り立つ。即ち、
c=md/4rという数式関係が成り立つ。従って、c
<(md/4r)の数式関係が成り立てば、静止時には
磁気ディスクがヘッドやヘッド支持系を構成する部材に
接触しない。それ故、本発明においては、スラスト隙間
cを、磁気ディスクの最大傾き幅mとフランジ付回転シ
ャフトのフランジの直径dとの積mdを、磁気ディスク
の半径rの4倍で除算した値以下に設定したのである。
【0020】以上、円柱部32とリング部33とからな
る逆T字型のフランジ付回転シャフト31と、環状蓋部
材35と一体の断面略矩形の片袋状スリーブ34として
示した図4を参照して本発明の作用を説明したが、本発
明に係る流体動圧軸受モータの軸受構成部材は逆T字型
のフランジ付回転シャフトに限定されるものではない。
本発明は、図1と図2に示す如く、フランジがシャフト
の中央付近に形成されたフランジ付回転シャフトを軸受
構成部材とする流体動圧軸受モータにも勿論適用される
ものである。要するに、フランジ付回転シャフトの傾き
が、ラジアル隙間で規制されるのではなく、スラスト隙
間で規制されるような構造の流体動圧軸受モータの全て
に本発明は適用できるのである。そして、磁気ディスク
が、フランジ付回転シャフト又はハブに固定されている
タイプでも、着脱可能に載架されているタイプでも、ま
た、磁気ディスク枚数が一枚でも複数枚でも本発明が適
用できる。
【0021】
【発明の効果】本発明により、静止時の軸受剛性のない
場合でも、磁気ディスクがヘッド用ロードアーム等のヘ
ッド支持系と接触せず、ディスクやヘッドを損傷させる
ことのない小型で薄型の流体動圧軸受モータ、特に磁気
ディスク直径2.5インチ以下のHDD装置の回転体の
駆動源に適した流体動圧軸受モータが提供された。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明が適用される流体動圧軸受モータの一実
施形態の断面図である。
【図2】本発明が適用される小型薄型の流体動圧軸受一
実施例の断面図である。但し、微小隙間は誇張して示し
てある。
【図3】スラスト動圧発生溝の一例を示した図である。
【図4】静止時にフランジ付回転シャフトが左右に最大
限傾いた場合に、本発明に係る流体動圧軸受モータにお
ける軸受構成部材と磁気ディスク及びヘッド支持部材の
間の幾何学的関係を示した説明図である。
【図5】従来の流体動圧軸受モータの断面図である。
【図6】静止時にシャフトが左右に最大限傾いた場合
に、図5の従来の流体動圧軸受モータにおける軸受構成
部材と磁気ディスク及びヘッド支持部材の間の幾何学的
関係を示した説明図である。
【図7】磁気ディスク付近の構造の説明図である。
【符号の説明】
1 磁気ディスク 31 フランジ付回転シャフト 32 円柱部又はシャフト 33 リング部又はフランジ 34 スリーブ 35 スラスト押さえ板又は環状蓋部材 36 ハブ 37 ステータコイル 38 ロータマグネット 39 ベース基板 G1 ラジアル動圧発生溝 G2 スラスト動圧発生溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 熊谷 徹 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 中山 幸博 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 田澤 千浩 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 岩本 充晴 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 米山 良治 千葉県千葉市美浜区中瀬1丁目8番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 Fターム(参考) 3J011 AA20 BA02 BA08 CA02 JA02 KA02 KA03 5H019 CC04 DD01 FF03 5H605 BB05 BB19 CC04 CC05 DD09 EB02 EB06 5H607 BB01 BB07 BB09 BB14 BB17 BB25 DD16 GG01 GG02 GG09 GG12 GG15 KK10 5H621 GA01 HH01 JK17 JK19

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁気ディスクが載架されるハブが回転シ
    ャフトの一端に同軸にして固着されたロータと、前記ロ
    ータとの間の電磁作用によって回転力を発生させるステ
    ータと、前記ロータを前記ステータに支承する流体動圧
    軸受とから構成された流体動圧軸受モータにおいて、前
    記流体動圧軸受は、シャフト部とフランジ部とを有する
    フランジ付回転シャフトと前記回転シャフトが回転自在
    に挿入されるスリーブとを主要な軸受構成部材とし、こ
    れら軸受構成部材によって形成された複数の微小隙間の
    中のラジアル隙間にはラジアル動圧発生溝を設け、また
    スラスト隙間にはスラスト動圧発生溝を設け、更に前記
    複数の微小隙間には潤滑用流体を充填して構成した流体
    動圧軸受であって、静止時には磁気ディスクがヘッドや
    ヘッド支持系を構成する部材に接触しない範囲内で前記
    スラスト軸受用フランジが前記スラスト隙間の範囲内で
    倒れるように、前記スラスト軸受用フランジの直径と前
    記スラスト隙間とが設定されていることを特徴とする流
    体動圧軸受モータ。
  2. 【請求項2】 前記スラスト隙間cが、磁気ディスクの
    外周縁における最大振れ幅mとフランジ付回転シャフト
    のフランジの直径dとの積mdを、磁気ディスクの半径
    rの4倍4rで除算した値以下に設定されていることを
    特徴とする請求項1記載の流体動圧軸受モータ。
  3. 【請求項3】 前記ラジアル動圧発生溝が前記フランジ
    部の外周面に形成され、且つ前記スラスト動圧発生溝が
    前記フランジ部の上下の半径方向表面に夫々形成されて
    いることを特徴とする請求項1記載の流体動圧軸受モー
    タ。
  4. 【請求項4】 前記ラジアル動圧発生溝が前記シャフト
    部の外周面に形成され、且つ前記スラスト動圧発生溝が
    前記フランジ部の上下の半径方向表面に夫々形成されて
    いることを特徴とする請求項1記載の流体動圧軸受モー
    タ。
JP2001362905A 2000-11-30 2001-11-28 流体動圧軸受モータ Pending JP2002233105A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001362905A JP2002233105A (ja) 2000-11-30 2001-11-28 流体動圧軸受モータ
US09/996,830 US6552456B2 (en) 2000-11-30 2001-11-29 Hydraulic dynamic pressure bearing motor

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000365595 2000-11-30
JP2000-365595 2000-11-30
JP2001362905A JP2002233105A (ja) 2000-11-30 2001-11-28 流体動圧軸受モータ

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