JP2002214209A - 欠陥診断装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 弾性体表面を打撃して内部の欠陥を診断す
る。特にトンネル等のコンクリートの内部の欠陥の深さ
と形状を打撃により機械的・物理的に判定する。 【解決手段】 打撃によって生じる波形には、弾性波が
欠陥で反射することによる波形と、欠陥から表面側の弾
性体の自由振動波形とが特徴的に現れることから、コン
クリート等の弾性体２をインパルスハンマー１で打撃
し、波形検出器３で検出した振動応答波形を基に、反射
時間算定部５で反射時間を算定し、欠陥深さ推定部６で
反射時間と弾性波速度から欠陥深さを推定する。また、
共振振動数算定部７で振動応答波形を周波数分析して共
振振動数を算定し、共振振動数と欠陥形状を対応させる
欠陥形状データベースとから欠陥形状を推定する欠陥形
状推定部８を備えた欠陥診断装置により、欠陥の深さと
形状の推定が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、弾性体の表面を打
撃して内部の空隙や亀裂などの欠陥を推定する欠陥診断
装置に係り、特に、トンネルう等のコンクリート内部の
欠陥の深さと形状を診断する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、弾性体の内部の欠陥診断を行うに
は非破壊検査が一般的に使用されている。非破壊検査で
は、赤外線やＸ線、電磁波、超音波が利用されている。

【０００３】また、本発明の主たる適用対象であるトン
ネル等のコンクリートの欠陥診断には、一般的には打音
調査が行われている。これは、コンクリート壁面を打撃
し、熟練した技術者がその音のこもり具合により、欠陥
の有無や規模を判断するものである。

【０００４】打撃による弾性体の欠陥の診断を装置化し
た公知例として、特開平１１−１０８６４７号公報があ
げられる。この例では、打撃によって弾性体表面に発生
する波動から反射波のみを抽出して、その共振振動数と
弾性波速度から弾性体の厚さや欠陥深さを推定する安価
で手軽な装置を提供している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術で使用
される、赤外線、電磁波、Ｘ線、超音波等による非破壊
検査では、測定装置が高価であったり、入射波の振動数
が高く、コンクリート内部の非均一性の影響をうけて精
度が悪くなるという問題があった。

【０００６】また、特開平１１−１０８６４７号公報で
は、打撃により検査を行うため、安価な装置は提供でき
るが、弾性体内部の欠陥の深さの推定は可能なものの欠
陥の大きさ等、形状の推定への適用方法は記載されてい
ない。

【０００７】本発明の主たる適用対象であるトンネルの
コンクリートの欠陥診断で、広く行われている打音調査
では、技術者が欠陥の有無や規模を、その音のこもり具
合により判断しており、比較的信頼性が高いものの、人
手がかかり、熟練した技術者が必要であるという問題が
あった。

【０００８】本発明の目的は、主にトンネルのコンクリ
ート内部の欠陥診断のために、熟練技術者による打音調
査法の代替となる安価な装置を提供することが動機とな
っており、弾性体の表面の打撃により、その内部の欠陥
の深さと形状を推定することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的は、弾性体を打
撃して発生する弾性波の振動応答波形から共振振動数を
算定する共振振動数算定手段と、前記振動応答波形から
前記弾性体に内在する欠陥の深さを推定する欠陥深さ推
定手段と、前記弾性体の任意の共振振動数および欠陥の
深さに対応する欠陥形状を予めデータとして記憶した欠
陥形状データ記憶手段と、前記共振振動数算定手段で算
定した共振振動数および前記欠陥深さ推定手段で推定し
た欠陥の深さに対応する欠陥形状を、前記データを参照
して推定する欠陥形状推定手段とを有してなる欠陥診断
装置により達成される。

【００１０】あるいは、上記目的は、弾性体を打撃して
発生する弾性波の振動応答波形を検出する波形検出手段
と、前記弾性体の任意の欠陥の深さおよび形状に対応す
る振動応答サンプル波形を、予めデータとして記憶する
振動応答波形データ記憶手段と、前記振動応答サンプル
波形と前記波形検出手段で検出した振動応答波形との相
関を演算して、前記弾性体に内在する欠陥の深さおよび
形状を推定する相関演算手段とを有してなる欠陥診断装
置により達成される。

【００１１】本発明によれば、コンクリートなどの弾性
体を機械的に打撃し、その物理的現象に基づいて、内部
の欠陥の深さや形状を自動的に診断することが可能とな
る。そのため、診断作業がきわめて容易であり、しかも
高精度の診断が可能であり、コストも低い。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して説明する。図１に、本発明の一実施形態で
ある欠陥診断装置の構成を示す。本装置は、例えばコン
クリート内部の欠陥の深さと形状を診断する装置であ
り、従来の熟練した技術者により行われた打音調査を基
に、その機械的、物理的現象の解明に基づいて考案され
た装置である。

【００１３】本装置は、図１に示すように、診断対象で
あるコンクリート２などの弾性体の表面１１を打撃する
インパルスハンマー1と、打撃によって発生する振動応
答波形を検出する波形検出器３と、検出した振動応答波
形に基づいて、コンクリート内部の欠陥１２の深さと形
状を分析する分析装置４などから構成される。

【００１４】分析装置４は、反射時間算定部５、欠陥深
さ推定部６、共振振動数算定部７、欠陥形状推定部８、
欠陥形状データベース９などを有し、ディスプレイ１０
を備えている。

【００１５】反射時間算定部５は、振動応答波形に基づ
いて、打撃により発生した弾性波のコンクリート表面な
いし欠陥間の反射時間を算定する。欠陥深さ推定部６
は、算定した反射時間と予め入力した診断対象固有の弾
性波速度とから欠陥の深さを推定する。

【００１６】共振振動数算定部７は、振動応答波形を基
に周波数分析を行ない、コンクリート表面ないし欠陥間
の共振振動数を算定する。欠陥形状推定部８は、共振振
動数算定部７により算定された局所共振振動数と、欠陥
深さ推定部６で推定された欠陥深さとから、欠陥形状デ
ータベース９を参照して欠陥１２の形状を推定する。

【００１７】欠陥形状データベース９には、予め、欠陥
の深さと形状、および、その欠陥による共振振動数の関
係が多数記憶されている。ディスプレイ１０は、分析装
置４にて分析された欠陥の深さや形状を表示する。

【００１８】以下、本装置についてさらに詳述する。図
１において、インパルスハンマー１は診断対象であるコ
ンクリート２の表面を打撃し、コンクリート２の表面の
振動応答波形が波形検出器３によって検出される。イン
パルスハンマー１の代わりに、例えば、鋼球、圧電性バ
イブレータ等を使用してもよい。

【００１９】なお、インパルスハンマー１による打撃の
印加時間は可変であることが望ましい。波形検出器３
は、例えば加速度計などを使用する。波形検出器３によ
り検出された振動応答波形は、分析装置４に入力され
る。

【００２０】分析装置４は、入出力機能、計算機能、記
憶機能を有し、例えば計算機等が使用でき、入出力機能
は波形検出器３により検出された振動応答波形を、デジ
タル処理する機能を有することが望ましい。あるいは、
分析装置４と波形検出器３との間にデジタル処理機能部
を介在させてもよい。

【００２１】反射時間算定部５は、分析装置４にとりこ
まれた振動応答波形を基に、打撃により発生した弾性波
が、表面１１、欠陥１２、表面１１の順に１回反射する
のに要する反射時間ｔ０を算定する。

【００２２】欠陥深さ推定部６は、反射時間算定部５に
より算定された反射時間ｔ０と、予め入力された弾性波
速度ｖ０とから、下記数式１にしたがって、表面１１な
いし欠陥１２間の距離である深さＤを推定する。

【００２３】

【数１】

【００２４】次に、共振振動数算定部７は、分析装置４
にとりこまれた振動応答波形を基に周波数分析を行い、
共振振動数を算定する。ここで得られる共振振動数は、
打撃によって生じた弾性波が、表面１１と欠陥１２との
間を往復する時間に相当する欠陥での反射に関わる振動
数ｆ０、診断対象であるコンクリートの全厚さ方向の振
動モードに関わる全体共振振動数ｆ１、欠陥１２より表
面側のコンクリートの自由振動モードに関わる局所共振
振動数ｆが含まれる。

【００２５】この、局所共振振動数ｆは、図２に示すよ
うな、欠陥１２から表面側のコンクリートが振動する振
動モードに対応し、欠陥１２の深さや形状に依存して変
化する値である。このため、共振振動数算定部７は、こ
の値を判断して選択する機能を有する必要があり、図３
に示す構成であってもよい。

【００２６】図３において、周波数分析部７１は振動応
答波形から共振振動数を算定し、反射に関わる振動数ｆ
０算定部７２は、下記数式２にしたがって、欠陥１２で
の反射に関わる振動数ｆ０を算定する。

【００２７】

【数２】

【００２８】次に、全体共振振動数ｆ１算定部７３は、
診断対象であるコンクリートの厚さをＤ１として、下記
数式３により全体共振振動数ｆ１を算定する。

【００２９】

【数３】

【００３０】局所共振振動数ｆ選択部７４は、周波数分
析部７１より算定された共振振動数から、反射に関わる
振動数ｆ０および全体共振振動数ｆ１を除いて局所共振
振動数ｆを得てもよい。

【００３１】図１に示した欠陥形状推定部８は、共振振
動数算定部７により算定された局所共振振動数ｆと深さ
Ｄとから、欠陥形状データベース９を参照して欠陥１２
の形状を推定する。

【００３２】欠陥形状データベース９には、予め、欠陥
の深さ、形状、共振振動数の関係が記載されている。欠
陥形状データベース９は、分析装置４を搭載する計算機
の内部の記憶装置であってもよいし、外付けの記憶装置
であってもよい。また、ディスプレイ１０は分析装置４
にて推定された欠陥の深さと形状を表示し、例えば分析
装置４に接続される。

【００３３】次に、本実施形態において、欠陥の深さと
形状の推定に関する振動現象について、打音調査の原理
との関わりから説明する。本発明は、前述のように熟練
技術者に依存していた打音調査によるコンクリートの欠
陥診断の原理を物理的に明らかにし、これに変わる安価
で精度のよい欠陥診断を提供するものである。

【００３４】以下、図４〜図６を用いて欠陥の深さと形
状の推定に関わる振動現象を、数値シミュレーション結
果を引用して説明する。図４は、数値シミュレーション
で想定した内部に欠陥１２のある診断対象の弾性体２の
モデル図である。

【００３５】弾性体の表面１１の矢印の位置を、印加時
間０.０００１秒の矩形波形で加振すると、弾性体の表
面１１には、図５に示すような変位応答波形が生じる。
図６は、内部に欠陥が無い場合を対象に、同様の数値シ
ミュレーションを行って得られた表面１１での変位応答
波形を示す。

【００３６】欠陥の無い場合の図６では、打撃開始から
印加時間まで、表面は打撃方向に大きく変形するが、そ
の後は初期の変位に戻っている。一方、欠陥の有る図５
では、次の二点が図６との相違点として現れている。

【００３７】第一点は、印加終了直後に変位が急峻に上
向きになるが、０.０００２６秒で再び急峻に下向きと
なっている点であり、第二点は、変位波形に低振動数の
応答が、１.５〜２サイクル程度現れている点である。

【００３８】まず、第一点めについては、打撃によって
生じた圧縮波が欠陥で反射されて表面に戻り、さらに表
面で反射しているために生じた波形である。したがっ
て、印加終了時刻と、変位が再び下向きになる時刻との
差が、反射時間ｔ０となる。

【００３９】反射時間ｔ０は、振動応答波形の変位成分
から直接算定してもよいし、速度成分、加速度成分、あ
るいは変位、速度、加速度成分のうちの二つ以上を併用
して算定してもよい。なお、振動応答波形から変位、速
度、加速度の任意の成分を得るためには、分析装置４に
微積分を行う演算装置が備わっている必要がある。

【００４０】反射時間ｔ０が得られれば、数式１にした
がって、欠陥までの深さＤを算定できる。なお、図５に
示す例では、印加終了時刻が０.０００１秒、変位が再
び下向きになる時刻が０.０００２６秒であり、反射時
間ｔ０は０.０００１６秒となる。

【００４１】弾性波速度が３２７０ｍ／ｓの材質を仮定
しているので、欠陥までの深さＤは０.２６２ｍと算定
される。図４の解析モデルの欠陥深さは０.２７ｍに設
定しており、反射時間より算定される深さと概ね一致し
ていることから、本発明による深さ推定方法が妥当であ
ることがわかる。

【００４２】次に、第２点めについては、図２に示すよ
うな欠陥から表面側の弾性体の自由振動により生じた波
形である。したがって、欠陥から表面側の弾性体の自由
振動の局所共振振動数は、振動応答波形を周波数分析す
ることにより得られ、欠陥の深さと形状に依存して変化
する。

【００４３】なお、図５の変位波形を周波数分析した結
果が図７であり、１４００〜１５００Ｈｚに共振振動数
が存在している。一方、図４の解析モデルを用いて固有
振動解析を行ったところ、図２のような振動モードが１
４９７Ｈｚにあり、図７の共振振動数と概ね一致してい
ることから、本発明の局所共振振動数に着目した欠陥の
形状の推定の方法は妥当であるといえる。

【００４４】なお、欠陥から表面側の弾性体の自由振動
の局所共振振動数ｆは、反射時間に関わる振動数ｆ０よ
り一般的には大きくなることや、全体共振振動数ｆ１は
反射時間に関わる振動数ｆ１より小さくなることも、局
所共振振動数の選択の根拠としてもよい。

【００４５】局所共振振動数と欠陥の形状との関係につ
いては、予め、欠陥の深さおよび形状を変えたサンプル
を作成して打撃実験データを取得しておく。あるいは、
より手軽に数値シミュレーションを活用して、欠陥の深
さおよび形状と局所共振振動数との関係を得て、欠陥形
状データベース９として備えておくことが必要となる。

【００４６】本実施形態によれば、コンクリートなどの
弾性体の表面を打撃して発生する反射波および自由振動
波形を分析することにより、従来の打音調査の原理の活
用を可能とし、欠陥の深さだけでなく形状までも推定で
きる安価で精度の良い欠陥診断装置を提供できる。

【００４７】次に、図８を用いて、図１に示す欠陥形状
推定部８の一実施形態を説明する。図４〜図６を用いて
説明した本発明における欠陥深さおよび形状の推定の原
理によると、欠陥が３次元的に広がっていても、同一欠
陥の直上の弾性体表面における局所共振振動数は一定で
あると考えられる。

【００４８】一方、欠陥の深さ分布は、同一欠陥であっ
ても一定とは限らない。図８は上記のような原理を用い
て３次元的な欠陥形状を推定するための一構成例で、図
１に示した欠陥形状推定部８は、欠陥範囲概略推定部８
１、欠陥形状候補推定部８２、欠陥形状詳細推定部８３
から構成される。

【００４９】欠陥範囲概略推定部８１は、前記振動応答
波形が検出された複数の検出位置ごとの前記局所共振振
動数分布を調べて、局所共振振動数が同一である検出位
置の座標範囲から欠陥範囲の概略を推定する。

【００５０】欠陥形状候補推定部８２は、局所共振振動
数と一致する欠陥形状の複数の候補を欠陥形状データベ
ース９から選び出す。欠陥形状詳細推定部８３は、欠陥
形状候補推定部８２により選択された複数の欠陥形状候
補の中から、欠陥範囲概略推定部８１により選択された
欠陥範囲の概略、および、例えば欠陥の深さの分布に最
も良く一致する欠陥形状を選択する。図８で説明した実
施形態によれば、欠陥の３次元的な形状の推定が可能と
なる。

【００５１】次に、図９を用いて本発明の他の実施形態
を説明する。本装置は、図１に示した実施形態と同様
に、診断対象であるコンクリート２などの弾性体の表面
１１を打撃するインパルスハンマー1と、打撃によって
発生する振動応答波形を検出する波形検出器３と、検出
した振動応答波形に基づいて、コンクリート内部の欠陥
１２の深さと形状を分析する分析装置４などから構成さ
れる。

【００５２】本実施形態が、図１の実施形態と相違する
ところは、分析装置４が、図１に示した反射時間算定部
５、欠陥深さ推定部６、共振振動数算定部７、欠陥形状
推定部８に代えて、図９に示すように、相関演算部１４
と振動応答波形データベース１３などを有している点で
ある。

【００５３】すなわち、分析装置４には、振動応答サン
プル波形と欠陥の深さと形状データとの対応をセットに
して、このようなセットの多数が記憶されている振動応
答波形データベース１３が備えられている。振動応答波
形データベース１３は分析装置４を搭載する計算機の内
部の記憶装置であってもよい。

【００５４】予め、欠陥の深さおよび形状を変えたサン
プルを作成して打撃実験データを取得しておく。あるい
は、より手軽に数値シミュレーションを活用して欠陥の
深さおよび形状と振動応答波形との関係を得て、振動応
答波形データベース１３を備えておくことが必要とな
る。

【００５５】相関演算部１４は、検出器３により検出さ
れた振動応答波形と、振動応答波形データベース１３に
記憶されている振動応答サンプル波形の相関を演算し、
最も相関度合いの高い振動応答サンプル波形を選択す
る。

【００５６】選択された振動応答サンプル波形と対応づ
けられている欠陥の深さと形状のデータを基に、弾性体
２の内部の欠陥の深さおよび形状を推定する。ディスプ
レイ１０は分析装置４にて推定された欠陥の深さと形状
を表示し、例えば分析装置４に接続される。

【００５７】本実施形態は、前述のように熟練技術者に
依存していた打音調査によるコンクリート欠陥診断原理
を物理的に明らかにし、これに代わる安価で精度のよい
欠陥診断を提供するものであって、内部に欠陥のあるコ
ンクリート等の弾性体表面を打撃したときの弾性体表面
で検出される振動応答波形には、打撃によって生じた圧
縮波が欠陥で反射されて表面に戻り、さらに表面で反射
して生じる波形と、欠陥から表面側の弾性体の自由振動
により生じる波形が現れる特徴を活用しているものであ
る。

【００５８】前者の反射波形は、打撃開始後に比較的短
時間のうちに現れ、後者の自由振動波形は、数サイクル
の自由振動の波形として現れる。このことより、相関演
算部１４は、次の図１０のような構成であってもよい。

【００５９】図１０において、反射時間に関わる相関演
算部１５は、打撃開始時刻から弾性波が弾性体の全厚さ
方向を往復するのに要する時刻までの区間の振動応答波
形の相関を演算し、欠陥から表面側の弾性体の自由振動
に関わる相関演算部１６は、振動応答波形全体を対象に
相関を演算する。

【００６０】反射時間に関わる相関の度合いと、欠陥か
ら表面側の弾性体の自由振動に関わる相関の度合いとが
高い振動応答サンプル波形を選択し、振動応答波形デー
タベース１３を参照して欠陥の深さおよび形状を推定す
ることもできる。

【００６１】本実施形態によれば、コンクリートなどの
弾性体の表面の打撃により発生する反射波形と、自由振
動波形を分析することで、従来の打音調査の原理の活用
を可能とし、欠陥の深さだけでなく、欠陥の形状までも
推定できる安価で精度の良い欠陥診断装置を提供でき
る。

【００６２】なお、以上の実施形態では、弾性体として
コンクリートを例示して説明したが、本発明はこれに限
定されない。打撃によって弾性波を発生するものであれ
ばよく、例えば鉄鋼、陶磁器、合成樹脂材、木材などに
適用可能である。また、欠陥としては、これらの固体内
に形成された空洞や空隙あるいは亀裂などを対象にでき
る。

【００６３】

【発明の効果】上述のとおり本発明によると、弾性体の
表面を打撃して内部の欠陥の深さと形状を推定すること
ができる。特に、トンネル等のコンクリート内部の欠陥
の深さおよび形状が診断可能となる。また、打撃を利用
するため安価に欠陥診断ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す構成図。

【図２】欠陥より表面側の弾性体の自由振動モードを示
す図。

【図３】図１の実施形態における共振振動数算定部の一
構成例を示す図。

【図４】本発明の原理を説明するための内部に欠陥を有
する弾性体の解析モデル図。

【図５】内部に欠陥を有する弾性体の表面を打撃したと
きの表面の変位波形を示す図。

【図６】内部に欠陥の無い弾性体の表面を打撃したとき
の表面の変位波形を示す図。

【図７】内部に欠陥を有する弾性体の表面を打撃したと
きの表面の変位波形の周波数分析結果を示す図。

【図８】図１の実施形態における欠陥形状推定部の一構
成例を示す図。

【図９】本発明の他の実施形態を示す図。

【図１０】図９の実施形態における相関演算部の一構成
例を示す図。

【符号の説明】

１ インパルスハンマー ２ コンクリート等の弾性体 ３ 波形検出器 ４ 分析装置 ５ 反射時間算定部 ６ 欠陥深さ推定部 ７ 共振振動数算定部 ８ 欠陥形状推定部 ９ 欠陥形状データベース １０ ディスプレイ １１ 表面 １２ 欠陥 １３ 振動応答波形データベース １４ 相関演算部 １５ 反射時間に関わる相関演算部 １６ 欠陥から表面側の弾性体の自由振動に関わる相関
演算部 ７１ 周波数分析部 ７２ 反射に関わる振動数ｆ０算定部 ７３ 全体共振振動数ｆ１算定部 ７４ 局所共振振動数ｆ選択部 ８１ 欠陥範囲概略推定部 ８２ 欠陥形状候補推定部 ８３ 欠陥形状詳細推定部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 下出 新一 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 Ｆターム(参考） 2G047 AA10 BA04 BC02 BC04 BC10 CB01 EA10 EA16 GG10 GG36

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弾性体を打撃して発生する弾性波の振動
   応答波形から共振振動数を算定する共振振動数算定手段
   と、前記振動応答波形から前記弾性体に内在する欠陥の
   深さを推定する欠陥深さ推定手段と、前記弾性体の任意
   の共振振動数および欠陥の深さに対応する欠陥形状を予
   めデータとして記憶した欠陥形状データ記憶手段と、前
   記共振振動数算定手段で算定した共振振動数および前記
   欠陥深さ推定手段で推定した欠陥の深さに対応する欠陥
   形状を、前記データを参照して推定する欠陥形状推定手
   段とを有してなる欠陥診断装置。
2. 【請求項２】 弾性体の表面を打撃して弾性波を発生さ
   せる打撃手段と、前記弾性体の振動応答波形を前記弾性
   体の表面で検出する波形検出手段と、前記振動応答波形
   に基づいて、前記弾性体に内在する欠陥の深さおよび形
   状を分析する分析手段と、前記分析した欠陥の深さおよ
   び形状を表示する表示手段とを備え、前記分析手段は、
   前記弾性体表面と前記欠陥との間を伝播する弾性波の反
   射時間を算定する反射時間算定手段と、前記反射時間と
   弾性波速度とから前記欠陥の深さを推定する欠陥深さ推
   定手段と、前記振動応答波形から共振振動数を算定する
   共振振動数算定手段と、前記弾性体の任意の共振振動数
   および欠陥深さに対応する欠陥形状を予めデータとして
   記憶する欠陥形状データ記憶手段と、前記欠陥深さ推定
   手段で推定した欠陥深さおよび前記共振振動数算定手段
   で算定した共振振動数に対応する欠陥形状を、前記デー
   タを参照して推定する欠陥形状推定手段とを有してなる
   欠陥診断装置。
3. 【請求項３】 前記欠陥形状推定手段は、前記振動応答
   波形を検出した複数の位置ごとの共振振動数および欠陥
   の深さの分布を用いて、前記欠陥形状データ記憶手段か
   ら前記欠陥形状を推定する請求項１または２に記載の欠
   陥診断装置。
4. 【請求項４】 前記振動応答波形を複数の位置で検出
   し、前記欠陥形状推定手段は、前記振動応答波形が検出
   された複数の位置ごとの共振振動数および欠陥深さの分
   布を用いて、前記欠陥形状データ記憶手段のデータを参
   照して前記欠陥の形状を推定する請求項１または２に記
   載の欠陥診断装置。
5. 【請求項５】 弾性体を打撃して発生する弾性波の振動
   応答波形を検出する波形検出手段と、前記弾性体の任意
   の欠陥の深さおよび形状に対応する振動応答サンプル波
   形を、予めデータとして記憶する振動応答波形データ記
   憶手段と、前記振動応答サンプル波形と前記波形検出手
   段で検出した振動応答波形との相関を演算して、前記弾
   性体に内在する欠陥の深さおよび形状を推定する相関演
   算手段とを有してなる欠陥診断装置。