JP2002202215A - 圧力センサ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 圧力応答型の可変、平行板容量性トランスデ
ューサを収容する装置を提供すること。 【解決手段】 流体圧力センサ１０が、締まりばめ式Ｕ
字形縁部コネクタ２０を使用して可撓性回路に電気接続
した容量性トランスデューサ１８を有する。カバー２４
は、ガスケット２２が、カバーの上部壁の下部表面内に
形成されたシート内に受け取られるタブ２２ａを有す
る。カバーは、ベース内の切欠きと相互にはめ込む反対
向き脚部２４ｈと、カバーおよびベース部材の上部を覆
って摺動して受け取られる六角ポート２６と電気的に係
合するように可撓性回路１６の導電性テール１６ｈが貫
通して延びるベース内に形成されたスロット内で、摺動
して受け取られる第３脚部２４ｎとを有して形成され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一般に圧力センサ
に関し、さらに詳細には、平面図にて方形構成を有し、
関連する調整電子回路を有する圧力応答型の可変、平行
板容量性トランスデューサを収容する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】概ね円形の円盤状構成を有する圧力応答
型の可変、平行板容量性トランスデューサを具備するセ
ンサは周知である。このようなセンサの一例は、本発明
の譲受人に譲渡された米国特許第４，７１６，４９２号
に示され、説明されている。同特許には、容量性トラン
スデューサが、概ね円筒形のセラミック・ベースに対し
て接近して離隔され、密閉され、上に被さる関係で薄
い、概ね円筒形のセラミック・ダイアフラムが載置され
るように示され、コンデンサ板として働くダイアフラム
とベースそれぞれの対向面上の金属層が、互いに所定の
接近して離隔された関係で配列されてコンデンサを形成
している。コンデンサ板に接続するトランスデューサ端
子がトランスデューサ・ベースの反対面に配列され、ト
ランスデューサ端子に接続する信号調整電気回路はトラ
ンスデューサ上に載置されている。電気絶縁材料からな
るカップ形状のコネクタ本体が電気回路の上にはめ合わ
され、加えられた流体圧力にトランスデューサ・ダイア
フラムをさらすためのポートを有するポート・フィッテ
ィングによってトランスデューサに固定されている。ダ
イアフラムはダイアフラムに加わる流体圧力の変動に応
答して動作可能であり、加えられた圧力の変化に従って
コンデンサの静電容量が変わり、電気回路が加えられた
圧力に対応する電気出力信号を送る。

【０００３】同時係属の米国特許第５，８８０，３７１
号には、方形（平面図にて）の圧力検知容量性トランス
デューサ要素が開示され、特許請求されている。本発明
は、このような方形トランスデューサ構成要素を収容す
るための装置に関する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の一目的は、平
面図にて概ね方形の流体圧力検知容量性トランスデュー
サを収容するための適切なパッケージを提供することで
ある。他の目的は、すでに市販されている円筒形の流体
圧力検知容量性トランスデューサを受け取るために使用
されているハウジングと本質的に同じ外部形状および寸
法を有する、方形（平面図にて）トランスデューサ要素
を受け取るためのハウジングを提供し、共通の適用分野
でパッケージを相互交換できるようにすることである。
本発明の他の目的は、方形（平面図にて）検知要素が載
置された、圧力を監視する流体圧力源と界面を接するた
めの円筒形ポート・フィッティングを有し、内部でポー
ト・フィッティングと検知要素の間に円形シール要素を
容易に受け取るパッケージを提供することである。本発
明の他の目的は、概ね薄い方形（平面図にて）検知要素
をパッケージに載置された電気回路に電気相互接続する
ための、また電気回路の接地導体とポート・フィッティ
ングの間に適切な相互接続を提供するためのコネクタ手
段を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】概略すると本発明によれ
ば、ベース・アセンブリが、複数の細長い端子部材を離
隔して載置する電気絶縁材料で形成された第１ベース部
材を有し、第１ベース部材の一端に形成された電子回路
チャンバ内で受け取られる端子部材の端部と平行の関係
にある。第２ローブ部分の上に被さる１つのローブ部分
を有する概ねＵ字形構成に曲げられた可撓性回路は、端
子部材を有する一方の第１ローブ部分上にある回路の端
子パッドを接続するためにチャンバ内で受け取られる。
接地部分は、第１ベース部材内に形成されたスロットを
介して可撓性回路からチャンバ外へ延びる。圧力検知容
量性トランスデューサ要素は、平面図にて方形構成を有
し、ダイアフラムを有する基板で構成され、接点パッド
が要素の縁部に沿った外部表面上にある。トランスデュ
ーサ要素は、可撓性回路の他方の第２ローブ部分の外部
端部から延びる直立リップに突き合わせる。概ねＵ字形
の端部コネクタは、トランスデューサ要素の縁部および
第２ローブ部分の外部端部の上で受け取られ、接点パッ
ドと可撓性回路の電気回路を電気的に接合する。

【０００６】カバーまたは第２ベース部材は、ベース部
材上部を覆って受け取り可能であり、円形の流体受圧開
口部を有する壁と共に構成され、第１シール用ガスケッ
ト・シートおよび第２検知要素シートが円形開口部を有
する壁内に同軸形成される。概ね円形の環状シール用ガ
スケットは、カバーの円形開口部内で受け取られ、外側
に延びて第１ガスケット・シート上で受け取られるタブ
を備え、検知要素は第２検知要素シート内で受け取られ
る。カバーは、第１ベース部材に形成されたスロット内
に受け取られ、横断するように延びる開口部または切欠
きとかみ合う外部リップを有する反対向き脚部材を備
え、方形トランスデューサ要素の隅部が第１ベース部材
の端面上で受け取られた状態でカバーを第１ベース部材
に取り付ける。次いで、アルミニウムなど適切な材料か
らなるポート・フィッティングがカバーの上で受け取ら
れ、第１ベース部材の円周部フランジに締着され、可撓
性回路の接地部分がポート・フィッティングに押し付け
られる。

【０００７】本発明の新しい改良型容量性圧力センサの
他の目的、利点および詳細は、図面を参照しながら、本
発明の好ましい実施形態についての以下の詳しい説明を
読めば明らかである。

【０００８】

【発明の実施の形態】図１を参照すると、図では、流体
圧力容量性トランスデューサ１０が第１ベース部材１
２、可撓性回路１６、概ね平行六面体構成の容量性セン
サ１８、縁部クリップ２０、ガスケット・シール部材２
２、第２ベース部材またはカバー２４、およびポート・
フィッティング２６を具備する。

【０００９】図２から図５で最もよくわかる第１ベース
部材１２は、一般にノリル（Ｎｏｒｙｌ）など適切な電
気絶縁性の成型可能な材料で構成し、ベース部材の一端
に形成された電子回路受承凹部１２ａ内で受け取られる
各端子の遠端１４ａと離隔された関係で、複数の細長い
端子部材１４を載置する。ベース部材１２の反対端１２
ｇは、端子部材１４の覆いを形成する。凹部１２ａの周
囲に延在する側壁１２ｂは、追って論ずる接地タブ受承
スロット１２ｃを有して形成され、追って論ずる第２ベ
ース部材の相互はめ込み式脚部材の載置を容易にするた
め表面１２ｅ内に傾斜したリードを有する反対向きノッ
チ１２ｄを伴う。壁１２ｂの厚みは、ベース部材１２の
端面１２ｆが、追って論ずる概ね方形（上部平面図に
て）の検知要素の隅部を受け取るように選択する。

【００１０】ポリイミドなど適切な基板上の銅トレース
１６ｄで形成され、好ましくはポリイミドのカバー層を
有する可撓性回路１６は、間の中央部１６ｃによって接
合された第１および第２ローブ部分１６ａ、１６ｂを有
する。一端のはんだパッド部分１６ｅは、線分１６ｆに
沿って概ね９０°曲げて折曲げ部または下向き伸長リッ
プを形成し、追って論ずる縁部クリップ２０の取付けを
容易にする。ポリイミドの外部カバーは、接地層１６ｇ
が露出するようにエッチング除去し、接地テール１６ｈ
は、線分１６ｋ沿いに可撓性回路に切込みを入れて中央
部１６ｃ内に形成する。

【００１１】集積回路Ｕ１、抵抗器およびコンデンサを
含む図８の回路図は、図６の回路経路を使用し、調整電
子回路として働く。

【００１２】ローブ部分１６ｂは電子回路チャンバ１２
ａ内に配置され、端子端部１４ａが開口ＶＯ、ＶＳおよ
びＧＮＤを介して受け取られ、それぞれの開口周りのは
んだパッドにはんだ付けされる。この時点では、可撓性
回路１６がチャンバ１２ａを越えて延び、中央部１６ｃ
が第１ベース部材１２の壁１２ｂのスロット１２ｃ内で
受け取られる。

【００１３】図９、９ａ、９ｂを参照すると、上部平面
図にて概ね方形の容量性トランスデューサ１８は、比較
的厚い基板部分１８ｂ上で受け取られた比較的薄いダイ
アフラム１８ａを有し、基板１８ｄに隣接する端子はん
だパッド１８ｃが露出した、またはダイアフラムによっ
て覆われていない状態にある。コンデンサ板１８ｅおよ
び１８ｆは、ガラス分離材料１８ｇによって離隔された
関係で配置されたダイアフラム１８および基板１８ｂの
対向面上にそれぞれ配置する。トランスデューサ１８の
端部１８ｄは、トランスデューサおよび可撓性回路のは
んだパッドが位置合わせされた状態で、可撓性回路のは
んだパッド部分１６ｅ内の折曲げ部またはリップに突き
合わせ、次いで縁部クリップ２０（図１および図１０）
を締まりばめで基板および可撓性回路の縁を覆って押し
込む。縁部クリップ２０は、第１および第２脚部２０
ａ、２０ｂを有し、好ましくは各脚部がはんだパッド２
０ｃを有する概ねＵ字形である。脚部２０ａおよび２０
ｂは、トランスデューサおよび可撓性回路層上に締まり
ばめを形成するように選択した距離だけ好適に離隔す
る。図１０では、縁部クリップ２０が、取り扱いのため
に使用するリーダ２０ｄを有し、これは刻み目２０ｅで
切断する。縁部クリップを取り付けた後には、リフロー
はんだ付け操作を実行して、トランスデューサ１８の各
はんだパッドと可撓性回路１６のそれぞれのはんだパッ
ド間に良好な電気接続を形成する。可撓性回路の折曲げ
部分１６ｅは、トランスデューサを配置するための基準
点として働くだけでなく、縁部クリップをトランスデュ
ーサおよび可撓性回路基板層上に押し込むとき可撓性回
路基板の動きを防止しながら縁部クリップの配置を可能
にする。

【００１４】図１４、１５で最もよくわかる第２ベース
部材またはカバー２４は、上部壁２４ｂを介して形成さ
れた円形開口部２４ａを有する概ね円形の部材である。
壁２４ｂの下部表面は、４つのタブ受承部分２４ｃを有
するシール用ガスケット・シートと共に形成される。第
２の相互位置合わせされる概ね方形の凹形シート２４ｄ
は、トランスデューサ１８の形状を補い、これもまたト
ランスデューサ１８をその上に入れ子関係で受け取るた
めの壁２４ｂの下部表面内に形成される。シート２４ｄ
は一端が延長され（２４ｅ参照）、２４ｆ部でさらに窪
んで縁部クリップ２０のためのクリアランスを提供す
る。円形開口部２４ａは、ダイアフラム１８ａの中心と
位置合わせされ、本質的に延長部分２４ｅによってカバ
ー２４の中心からずれる。

【００１５】カバー２４は、反対向きで下に延びる脚部
２４ｈを備え、それぞれベース部材１２の切欠き１２ｄ
と係合するため、その遠端部に外側へ延びるリップ２４
ｋを有する。ベース部材１２の表面１２ｅ内の傾斜した
リードは、リップ２４ｋがノッチ１２ｄ内に受け取られ
るまでカバーをベース１２上に押し込むとき、脚部２４
ｈの遠端を内側にカム動作させることによってカバー２
４の配置を容易にするために設けられていることに留意
されたい。

【００１６】トランスデューサ１８を可撓性回路１６に
取り付けた後には、トランスデューサ１８の取り付けら
れたローブ部分１６ａがローブ部分１６ｂの上を戻るよ
うに曲がり、その動きは、トランスデューサ１８の隅部
がベース部材１２の端面１２ｆと、またベース部材１２
のスロット１２ｃを介して突出する接地テール１６ｈと
係合することによって制限される。カバー２４は、スロ
ット１２ｃ内で摺動可能に受け取られる第３の下向きの
付随的な脚部２４ｍを備え、脚部２４ｍの端面上にある
突起２４ｎが接地テール１６ｈを配置するためのバック
アップ表面を提供する。

【００１７】環状シール用ガスケット２２（図１１から
図１３）は、適切な可撓性材料で形成された概ね円形の
要素であり、複数の外側に延びるタブ２２ａを備える。
４つのこのようなタブを示すが、設けるタブの特定の数
は選択の問題である。タブは、開口部２４ａ内に円形要
素を配置した状態で、シート２４ｃ内で配置を容易にす
るように配置および取り扱い用部材として働く。シール
用ガスケット２２が定位置にある状態では、可撓性回路
およびトランスデューサの載置されたベース部材１２を
裏返してカバー２４の上に配置でき、脚部２４ｍはスロ
ット１２ｃ内で受け取られ、反対向き脚部２４ｈは、リ
ップ２４ｋがノッチ１２ｄ内で受け取られるまで内側に
カム動作する。

【００１８】アルミニウムなど適切な材料で形成された
六角ポート２６は、内側ねじで示されているねじ式流体
結合管状部分２６ａを有する。しかし、望むなら外側ね
じを使用できることを理解されたい。また六角ポート２
６は、薄くなった外部部分２６ｃを有する側壁で構成さ
れたカップ形状部分２６ｂを有する。ベース部材１２お
よびカバー２４のベース・アセンブリがカップ形状部分
２６ｂ内に挿入され、薄くなった側壁の自由遠端が、２
６ｄ部でベース部材１２のフランジ１２ｈを覆って押し
曲げられる（図３、４参照）。

【００１９】本発明によれば、第２ベース部材またはカ
バーは、内側圧力シールのためのバックアップ、検知要
素と内側シールの間の平面形状関係、六角ポートとの可
撓性テール接続の支持、縁部クリップと六角ポートのフ
ロア間の電気絶縁、シール用ガスケットの圧縮制御のた
めのストップ、アセンブリを製造するために内側シール
を保持するための手段および最終組み立て前に可撓性回
路／トランスデューサ要素を保持するための手段、構造
支持体上にトランスデューサ要素を位置付けるための手
段および組み立て中にトランスデューサ要素の隅部を損
傷から保護するための手段を提供する一方、端子ピンに
アクセスする深さが減少し、可撓性回路を端子に手動で
はんだ付けすることが容易になる。第１ベース部材の特
徴は、第２ベース部材（カバー）との連動保持、および
可撓性回路の最適化を可能にするための端子ピンと面一
のテール窓を含む。可撓性回路のリップは、トランスデ
ューサ要素に対して可撓性回路を位置付けるための積極
的なストップを提供し、縁部クリップは、可撓性回路お
よびトランスデューサ要素の平行な対向面との接続を提
供する。六角ポート接続テールを全体の回路プロフィル
内から形成することにより、廃棄材料が最小限に抑えら
れる。シール用ガスケット上のタブは、アセンブリ製造
のための第２ベース部材（カバー）によるガスケットの
保持を容易にし、ガスケットの平らな底部は断面のはね
上がりを引き起こすことなく大きな高さ対幅比を実現
し、それによって構造安定性が高まる。

【００２０】以上本発明を図示することによって本発明
の好ましい実施形態に関して述べたが、本発明の範囲内
で様々な修正を加えることができることを理解された
い。たとえば、トランスデューサをはんだパッド部分１
６ｅ内の折曲げ部に突き合わせることによって簡便化さ
れたトランスデューサ１８および可撓性回路１６と共に
使用するＵ字形縁部クリップ２０は、ひずみ計など他の
条件応答型センサ要素と共に使用できる。添付の特許請
求の範囲に含まれる上記実施形態のすべての修正および
均等物を含むものとする。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の好ましい実施形態による圧力センサの
分解斜視図である。

【図２】図１のセンサの下部平面図である。

【図３】図２の線分３−３上で見た横断面図である。

【図４】図２の線分４−４上で見た横断面図である。

【図５】図１のセンサの第１ベース部材の斜視図であ
る。

【図６】１つのローブ部分の縁部が曲げられて外側に延
びるリップを形成した、受け取られるようにＵ字形構成
に曲げる前の図１のセンサの可撓性回路の上部平面図で
ある。

【図７】図６の可撓性回路の正面図である。

【図８】図１のセンサの概略図である。

【図９】図１のセンサに使用されている容量性検知要素
の斜視図である。

【図９ａ】図９の容量性検知要素のダイアフラムの平面
図である。

【図９ｂ】図９の容量性検知要素の基板の平面図であ
る。

【図１０】フレーム要素に取り付けられる縁部クリップ
の側面図である。

【図１１】図１のセンサに使用されているシール要素ま
たはガスケットの上部平面図である。

【図１２】図１１の線分１２−１２上で見た横断面図で
ある。

【図１３】図１１のガスケットの側面図である。

【図１４】上から見た第２ベース部材またはカバーの斜
視図である。

【図１５】下から見た図１４のカバーの斜視図である。

【図１６】図１のセンサに使用されているポート・フィ
ッティングを介して見た横断面図である。

【符号の説明】

１０ 流体圧力容量性トランスデューサ １２ ベース部材 １６ 可撓性回路 １８ トランスデューサ ２０ 縁部クリップ ２２ 環状シール用ガスケット、ガスケット・シール部
材 ２４ カバー ２６ 六角ポート、ポート・フィッティング

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 スタンリイ ジェイ、ルカジーウィクツ アメリカ合衆国 マサチューセッツ、ノー ス アトルボロ、 コートニイ プレイス 11 Ｆターム(参考） 2F055 AA40 BB20 CC02 DD20 EE25 FF43 GG12

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体圧力センサにおいて、 電子回路チャンバおよび複数の細長い端子を画定する下
   部壁と直立した側壁とを有するベース部材を有するベー
   ス・アセンブリであって、ベース部材が、離隔された関
   係にありベース壁を介して電子回路チャンバ内へ延びる
   複数の細長い端子を載置し、可撓性回路が、中間部分を
   間に有する第１および第２ローブ部分で形成された基板
   を有し、可撓性回路が、電子構成要素を載置するための
   内部表面と、細長い端子部材がそれぞれ貫通して延びる
   端子受承孔と共に形成された第１ローブ部分を有する外
   部表面とを有する概ねＵ字形の構成に曲げられているベ
   ース・アセンブリと、 概ね多面体の形状をなし、基板側と圧力検知側を有し、
   端子パッドが圧力検知側上にある容量性流体圧力検知要
   素であって、可撓性回路の第２ローブ部分が、Ｕ字形構
   成にある可撓性回路を有する第１ローブ部分から遠ざか
   るように残りの第２ローブ部分に対して概ね直角に曲げ
   られた端部を有し、端部は端子パッドが上に形成され、
   第２ローブ部分の外部表面上で受け取られた容量性圧力
   検知要素がその曲げられた端部と係合し、導電性の概ね
   Ｕ字形の縁部クリップが第１および第２脚部を有し、第
   １脚部が第２ローブ部分の内部表面上にあるそれぞれの
   端子パッドと係合し、かつ第２脚部が、容量性圧力検知
   要素の圧力検知側上にあるそれぞれの端子パッドと係合
   し、容量性圧力検知要素の基板側の外部周辺部分が、ベ
   ース部材側壁の上面部分上に受け取られる容量性流体圧
   力検知要素と、 ベース部材の上面上で容量性圧力検知要素を覆って受け
   取られ、貫通する流体受圧開口部を有するカバー部材
   と、 カバー部材と容量性圧力検知要素の間に配置された可撓
   性環状ガスケットと、 ベース部材に取り付けられた流体結合部材とを具備する
   流体圧力センサ。
2. 【請求項２】 流体圧力センサにおいて、 電子回路チャンバを画定する下部壁と直立した側壁とが
   形成されたベース部材と、複数の細長い端子とを有する
   概ね円筒形のベース・アセンブリであって、ベース部材
   が、離隔された関係にあり下部壁を介して電子回路チャ
   ンバ内へ延びる複数の細長い端子を載置するベース・ア
   センブリと、 細長い端子に電気接続され、電子回路チャンバ内に配置
   された信号調整電子回路と、 ベース部材の直立した側壁上に受け取られる概ね円形の
   カバー部材であって、カバー部材が、貫通する概ね円形
   の流体受圧開口部が形成された上部壁を有し、上部壁の
   下部表面内に形成された第１ガスケット・シートが、複
   数の離隔されたタブ受承表面を有し、第２の概ね方形の
   圧力検知センサ・シートが、上部壁の下部表面内に形成
   され、第１ガスケット・シートと位置合わせされるカバ
   ー部材と、 カバー部材の円形開口部を介して受け取られる環状可撓
   性ガスケットであって、ガスケットが、放射状に外側に
   延びるタブを有し、各タブがそれぞれのタブ受承表面上
   で受け取られるガスケットと、 第２圧力検知センサ・シート上で受け取られる概ね方形
   の周辺部を有し、信号調整電子回路に電気接続する容量
   性流体圧力検知要素と、 ベース部材に取り付けられた流体結合部材とを具備する
   流体圧力センサ。
3. 【請求項３】 容量性流体圧力検知要素が、上面を有す
   る比較的厚い基板と、基板の上面がダイアフラムの下面
   に対向した状態で基板に取り付けられた下面を有する比
   較的薄いダイアフラムを具備し、基板が、ダイアフラム
   を越えて１方向に延びて基板の上面を露出し、端子パッ
   ドが基板の上面の延在する露出部分上に位置する、請求
   項１に記載の流体圧力センサ。
4. 【請求項４】 第１および第２の反対向き切欠きがベー
   ス部材の直立した側壁内に形成され、カバーが第１およ
   び第２脚部を有して形成され、各脚部がリップの形成さ
   れた自由遠端を有し、各脚部のリップが、直立した側壁
   内のそれぞれの切欠き内で受け取られてカバーをベース
   部材に取り付ける、請求項１に記載の流体圧力センサ。
5. 【請求項５】 直立した側壁内にスロットが形成され、
   可撓性回路が、スロットを介してベース部材を越えて受
   け取られる少なくとも１つの導電性テールを有して形成
   され、流体結合部材が導電性材料で形成され、かつ直立
   した側壁周囲で受け取られて導電性テールと係合する、
   請求項４に記載の流体圧力センサ。
6. 【請求項６】 カバーが、スロット内で摺動可能に受け
   取られる第３脚部を有して形成され、第３脚部が少なく
   とも１つの導電性テールに隣接する遠端を有する、請求
   項５に記載の流体圧力センサ。
7. 【請求項７】 容量性圧力検知要素が複数の隅部を有
   し、ベース側壁の前記上面部分上に受け取られる容量性
   圧力検知要素の基板側の外部周辺部分が、４つの隅部の
   少なくともいくつかを具備する、請求項１に記載の流体
   圧力センサ。
8. 【請求項８】 流体圧力センサであって、 基板の隣接する部分に対して端部が概ね直角に曲げられ
   た基板を有し、基板上に端子パッドが形成された可撓性
   回路と、 他の端子パッドをその上に有し、可撓性回路上で受け取
   られるセンサ要素がその曲げられた端部と係合する容量
   性流体圧力検知要素と、 第１および第２脚部を有し、第１脚部が偏向して、可撓
   性回路上のそれぞれの端子パッドと係合し、第２脚部が
   偏向して、容量性流体圧力検知要素上のそれぞれの端子
   パッドと係合する概ねＵ字形の縁部クリップと、 容量性流体検知要素がベース上に載置され、複数の細長
   い端子が、離隔された関係で可撓性回路に電気接続して
   ベース上に載置されるベースとを具備する流体圧力セン
   サ。
9. 【請求項９】 容量性流体圧力検知要素が、上面を有す
   る比較的厚い基板と、基板の上面がダイアフラムの下面
   に対向した状態で基板に取り付けられた下面を有する比
   較的薄いダイアフラムを具備し、基板が、ダイアフラム
   を越えて１方向に延びて基板の上面を露出し、端子パッ
   ドが基板の上面の延在する露出部分上に位置する、請求
   項７に記載の流体圧力センサ。
10. 【請求項１０】 ベースが直立した側壁を有し、第１お
    よび第２の反対向き切欠きがベース部材の直立した側壁
    内に形成され、容量性流体圧力検知要素を覆ってベース
    上に受け取られるカバーをさらに具備し、カバーが第１
    および第２脚部を有して形成され、各脚部がリップの形
    成された自由遠端を有し、各脚部のリップが、直立した
    側壁内のそれぞれの切欠き内で受け取られてカバーをベ
    ース部材に取り付ける、請求項７に記載の流体圧力セン
    サ。
11. 【請求項１１】 導電性流体結合部材をさらに具備し、
    その直立した側壁内にスロットが形成され、可撓性回路
    が、スロットを介してベース部材を越えて受け取られる
    少なくとも１つの導電性テールを有して形成され、流体
    結合部材が直立した側壁周囲で受け取られて導電性テー
    ルと係合する、請求項９に記載の流体圧力センサ。
12. 【請求項１２】 カバーが、スロット内で摺動可能に受
    け取られる第３脚部を有して形成され、第３脚部が少な
    くとも１つの導電性テールに隣接する遠端を有する、請
    求項１０に記載の流体圧力センサ。
13. 【請求項１３】 条件応答型センサであって、 基板に対して端部が概ね直角に曲げられた基板を有し、
    基板上に端子パッドが形成された可撓性回路と、 端子パッドをその上に有し、曲げられた端部と係合する
    条件応答型センサ要素と、 第１および第２脚部を有し、第１脚部が偏向して、可撓
    性回路上のそれぞれの端子パッドと係合し、第２脚部が
    偏向して、条件応答型要素上のそれぞれの端子パッドと
    係合する概ねＵ字形の縁部クリップと、 条件応答型センサ要素がベース上に載置され、細長い端
    子が、離隔された関係で可撓性回路に概ね接続してベー
    ス上に載置されるベースとを具備する条件応答型セン
    サ。