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JP2002183916A - Magnetoresistive magnetic head - Google Patents

Magnetoresistive magnetic head

Info

Publication number
JP2002183916A
JP2002183916A JP2000381004A JP2000381004A JP2002183916A JP 2002183916 A JP2002183916 A JP 2002183916A JP 2000381004 A JP2000381004 A JP 2000381004A JP 2000381004 A JP2000381004 A JP 2000381004A JP 2002183916 A JP2002183916 A JP 2002183916A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pair
head
sliding surface
electrode layers
medium sliding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000381004A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazunori Onuma
一紀 大沼
Ikuko Hata
郁子 秦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2000381004A priority Critical patent/JP2002183916A/en
Publication of JP2002183916A publication Critical patent/JP2002183916A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain satisfactory reproducing characteristics and to narrow a gap by reducing the electrical short-circuit between a magnetic shield layer and a magnetoresistive element and between a pair of electrode layers. SOLUTION: In the MR head 20 provided with the MR element 28, a pair of electrode layers 32 disposed at both end parts of it, and the lower shield layer 24 and upper shield layer 25 holding the MR element 28 and a pair of electrode layers 32 between them through gap layers 26, 27, a pair of electrode layers 32 has the shape to be narrowed toward the medium sliding surface 20a, and the sum of widths at the side exposed from the medium sliding surface 20a of a pair of electrode layers 32 is regulated to be equal to or larger than unmagnified width and not exceeding 5 times with respect to the width at the side exposed from the medium sliding surface 20a of the MR element 28.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体とヘ
リカルスキャン方式によって磁気テープと摺動しなが
ら、当該磁気テープに記録された信号の再生を行う磁気
抵抗効果型磁気ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-resistance effect type magnetic head which reproduces a signal recorded on a magnetic recording medium while sliding on the magnetic tape by a helical scan method.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の磁気記録は、益々高密度化が進
み、例えば狭トラック化、低インダクタンス化、高速転
送速度等を考えると、バルクヘッドより有利な薄膜磁気
ヘッドの使用範囲が拡大している。
2. Description of the Related Art In recent years, the density of magnetic recording has been further increased, and in consideration of, for example, narrower tracks, lower inductance, and higher transfer speed, the range of use of thin-film magnetic heads, which are more advantageous than bulk heads, has expanded. I have.

【0003】この薄膜磁気ヘッドは、半導体集積回路と
同様な例えば蒸着、スパッタ等の成膜技術や、写真製
版、エッチング等のフォトリソグラフィー技術等を用い
て製造されるため、量産性に優れた高精度のヘッドをウ
エハー上に一括生産できるといった利点を有している。
そして、薄膜磁気ヘッドは、現在のハードディスクドラ
イブや磁気テープ装置等の高密度記録再生システムに用
いられる磁気ヘッドの主流となっている。
The thin-film magnetic head is manufactured by using a film forming technique such as vapor deposition and sputtering, similar to a semiconductor integrated circuit, and a photolithography technique such as photolithography and etching. It has the advantage that heads of high precision can be produced on a wafer at once.
Thin-film magnetic heads have become the mainstream of magnetic heads used in high-density recording / reproducing systems such as current hard disk drives and magnetic tape devices.

【0004】また、ハードディスクドライブでは、再生
ヘッドとして磁気抵抗効果型磁気ヘッド(以下、MRヘ
ッドと称する。)を搭載することが一般的となってお
り、今後は、磁気テープ装置や、フロッピー(登録商
標)ディスク等の記録再生システムにも普及していくと
考えられる。
[0004] In a hard disk drive, it is common to mount a magnetoresistive head (hereinafter, referred to as an MR head) as a reproducing head. In the future, a magnetic tape device and a floppy (registered) device will be used. It is considered that the system will spread to recording / reproducing systems such as (trademark) disks.

【0005】また、このMRヘッドは、一般的な磁芯に
コイルを巻回した磁気誘導型の磁気ヘッド(以下、イン
ダクティブヘッドと称する。)に比べて、高い出力を得
ることが可能であるとともに、インダクタンスの影響が
ないことから高周波での信号の転送が可能であり、高密
度記録再生システムにおいて必須のデバイスである。
The MR head can obtain a higher output than a magnetic induction type magnetic head in which a coil is wound around a general magnetic core (hereinafter referred to as an inductive head). Since it is not affected by inductance, it can transfer signals at high frequencies, and is an essential device in a high-density recording / reproducing system.

【0006】ここで、ハードディスクドライブは、図1
1に示すように、サスペンション100の先端部に、磁
気ディスクの信号記録面上を微少な間隔で浮上するため
の浮上スライダ101を備えており、この浮上スライダ
101には、再生専用ヘッドであるMRヘッドと記録専
用ヘッドであるインダクティブヘッドとが組み合わされ
てなる複合型磁気ヘッド102が搭載されている。
Here, the hard disk drive is shown in FIG.
As shown in FIG. 1, a flying slider 101 is provided at the tip end of a suspension 100 for flying at a small interval on a signal recording surface of a magnetic disk. A composite magnetic head 102 in which a head and an inductive head which is a recording-only head are combined is mounted.

【0007】この複合型磁気ヘッド102は、図12に
示すように、基板103の一主面側に形成された非磁性
層104上に、下層シールド層105と上層シールド層
106との間に、下層ギャップ層107と上層ギャップ
層108とを介して磁気抵抗効果素子(以下、MR素子
と称する。)109が狭持されてなるMRヘッドと、こ
のMRヘッド上に、下層コア層106と上層コア層11
0とが磁気ギャップ層111を介して対向配置されてな
るインダクティブヘッドとが積層されてなり、この上に
保護層112が形成された構造を有している。
As shown in FIG. 12, the composite magnetic head 102 has a structure in which a lower shield layer 105 and an upper shield layer 106 are provided on a nonmagnetic layer 104 formed on one main surface of a substrate 103. An MR head having a magnetoresistive effect element (hereinafter, referred to as an MR element) 109 sandwiched between a lower gap layer 107 and an upper gap layer 108, and a lower core layer 106 and an upper core Layer 11
0 and an inductive head, which is disposed to face each other with a magnetic gap layer 111 interposed therebetween, and has a structure in which a protective layer 112 is formed thereon.

【0008】なお、上層シールド層106と下層コア層
106とは、同一部材であり、MRヘッドにおいては、
下層シールド層105と共に一対の磁気シールドを構成
しており、インダクティブヘッドにおいては、上層コア
層110と共に一対の磁気コアを構成している。
Note that the upper shield layer 106 and the lower core layer 106 are the same member, and in the MR head,
A pair of magnetic shields is formed together with the lower shield layer 105, and in the inductive head, a pair of magnetic cores is formed together with the upper core layer 110.

【0009】また、MR素子109の両端部には、この
MR素子109にバイアス磁界を印可するための一対の
永久磁石膜113と、これら一対の永久磁石膜113上
にMR素子109にセンス電流を供給するための一対の
導電膜114とが一対の電極層115として設けられて
おり、この一対の電極層115の間の幅が再生トラック
幅となっている。
At both ends of the MR element 109, a pair of permanent magnet films 113 for applying a bias magnetic field to the MR element 109, and a sense current is applied to the MR element 109 on the pair of permanent magnet films 113. A pair of conductive films 114 to be supplied is provided as a pair of electrode layers 115, and the width between the pair of electrode layers 115 is a reproduction track width.

【0010】一方、インダクティブヘッドには、下層コ
ア層106と上層コア層110との間に、図示しない磁
界発生のための薄膜コイルが設けられており、また、上
層コア層110が下層コア層106と対向配置されるこ
とにより磁気ギャップが形成され、この上層コア層11
0の幅が記録トラック幅となっている。
On the other hand, the inductive head is provided with a thin film coil (not shown) for generating a magnetic field between the lower core layer 106 and the upper core layer 110, and the upper core layer 110 is connected to the lower core layer 106. A magnetic gap is formed by being arranged to face the upper core layer 11.
The width of 0 is the recording track width.

【0011】そして、このハードディスクドライブで
は、図13に示すように、浮上スライダ101が磁気デ
ィスク116の信号記録面116aの上を微少な隙間F
H(フライングハイト)で浮上しながら、この浮上スラ
イダ101に搭載された複合型磁気ヘッド102が信号
の記録再生を行うこととなる。
In this hard disk drive, as shown in FIG. 13, the flying slider 101 moves over the signal recording surface 116a of the magnetic disk 116 with a small gap F.
While flying at H (flying height), the composite magnetic head 102 mounted on the flying slider 101 records and reproduces signals.

【0012】一方、図14に示すように、ヘリカルスキ
ャン方式により磁気テープ200からの信号の記録再生
を行う磁気テープ装置では、図中矢印P方向に回転する
回転ドラム201を備えており、この回転ドラム201
の外周面に、再生専用ヘッドであるMRヘッド202
と、記録専用ヘッドであるインダクティブヘッド203
とが搭載されている。
On the other hand, as shown in FIG. 14, a magnetic tape device for recording and reproducing signals from a magnetic tape 200 by a helical scan method includes a rotating drum 201 which rotates in the direction of arrow P in the figure. Drum 201
MR head 202 which is a read-only head
And an inductive head 203 which is a recording-only head
And are installed.

【0013】このうち、MRヘッド202は、図15及
び図16に示すように、第1の基板204の一主面側に
形成された非磁性層205上に、下層シールド層206
と上層シールド層207との間に、下層ギャップ層20
8と上層ギャップ層209とを介してMR素子210が
狭持されてなり、この上に、保護層211を介して第2
の基板212が貼り合わされた構造を有している。
As shown in FIGS. 15 and 16, the MR head 202 has a lower shield layer 206 on a non-magnetic layer 205 formed on one main surface side of a first substrate 204.
Between the lower gap layer 20 and the upper shield layer 207.
8 and the upper gap layer 209, the MR element 210 is sandwiched therebetween.
Substrate 212 is bonded.

【0014】また、MR素子210の両端部には、この
MR素子210にバイアス磁界を印可するための一対の
永久磁石膜213と、これら一対の永久磁石膜213上
にMR素子210にセンス電流を供給するための一対の
導電膜214とが一対の電極層215として設けられて
おり、この一対の電極層215の間の幅が再生トラック
幅となっている。
At both ends of the MR element 210, a pair of permanent magnet films 213 for applying a bias magnetic field to the MR element 210, and a sense current is supplied to the MR element 210 on the pair of permanent magnet films 213. A pair of conductive films 214 for supply are provided as a pair of electrode layers 215, and the width between the pair of electrode layers 215 is a reproduction track width.

【0015】また、これら一対の電極層215には、一
対の引き出し導体216が接続させており、この一対の
引き出し導体の端部に、外部回路と接続される外部接続
用端子217がそれぞれ設けられている。
Further, a pair of lead conductors 216 are connected to the pair of electrode layers 215, and external connection terminals 217 connected to an external circuit are provided at the ends of the pair of lead conductors. ing.

【0016】また、このMRヘッド202は、図17に
示すように、その磁気テープ200と摺動する媒体摺動
面202aの平面形状が略長方形状とされており、この
媒体摺動面202aが図中矢印Qに示す磁気テープ20
0の摺動方向に沿って円筒形状に研削されているととも
に、図中矢印Rに示す磁気テープ200の摺動方向に対
して直交する方向に沿って円筒形状に研削されている。
As shown in FIG. 17, the MR head 202 has a substantially rectangular medium sliding surface 202a that slides on the magnetic tape 200, and the medium sliding surface 202a has a substantially rectangular shape. Magnetic tape 20 indicated by arrow Q in the figure
In addition to being ground into a cylindrical shape along the sliding direction of 0, the ground is also ground into a cylindrical shape along a direction orthogonal to the sliding direction of the magnetic tape 200 shown by the arrow R in the figure.

【0017】そして、この磁気テープ装置では、回転ド
ラム201の外周面に、磁気テープ200の摺動方向と
略直交する方向に対して、アジマス角に応じて斜めにな
るようにMRヘッド202が配置され、このMRヘッド
202が磁気テープ200と摺動しながら、信号の再生
を行うこととなる。
In this magnetic tape device, the MR head 202 is arranged on the outer peripheral surface of the rotating drum 201 so as to be oblique to the direction substantially perpendicular to the sliding direction of the magnetic tape 200 in accordance with the azimuth angle. Then, the signal is reproduced while the MR head 202 slides on the magnetic tape 200.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したハ
ードディスクドライブでは、浮上スライダ101が磁気
ディスク116上を微少な間隔FHで浮上しながら、こ
の浮上スライダ101に搭載された複合型磁気ヘッド1
02が磁気ディスク116に対して信号の記録再生を行
うことから、複合型磁気ヘッド102と磁気ディスク1
16とが接触することはない。
In the hard disk drive described above, while the flying slider 101 flies above the magnetic disk 116 at a small interval FH, the composite magnetic head 1 mounted on the flying slider 101
02 performs recording and reproduction of signals on and from the magnetic disk 116, so that the composite magnetic head 102 and the magnetic disk 1
16 does not come into contact.

【0019】一方、上述した磁気テープ装置では、回転
ドラム201に搭載されたMRヘッド202が磁気テー
プ200と摺動しながら、磁気テープ200に記録され
た信号を再生することとなる。
On the other hand, in the above-described magnetic tape device, the signals recorded on the magnetic tape 200 are reproduced while the MR head 202 mounted on the rotating drum 201 slides on the magnetic tape 200.

【0020】また、磁気テープ装置では、図14に示す
回転ドラム201が図中矢印Pの方向に毎分数千回転で
回転駆動されることから、MRヘッド202と磁気テー
プ200との相対速度は、10m/sec程度となり、
非常に高速な状態でMRヘッド202と磁気テープ20
0とが摺動することとなる。
Further, in the magnetic tape device, since the rotating drum 201 shown in FIG. 14 is rotationally driven at several thousand revolutions per minute in the direction of arrow P in the figure, the relative speed between the MR head 202 and the magnetic tape 200 is , About 10m / sec,
At very high speed, the MR head 202 and the magnetic tape 20
0 slides.

【0021】このため、図18に示すように、MRヘッ
ド202は、磁気テープ200と高速な状態で摺動する
と、磁気テープ200の例えば傷やダスト等により、媒
体摺動面202aに傷218が発生してしまうことがあ
った。この傷218は、下層シールド層206と上層シ
ールド層207とが引き伸ばされてしまうような機械的
な変形であり、下層シールド層206及び上層シールド
層207とMR素子209及び電極層215との電気的
な短絡を生じさせてしまう。
For this reason, as shown in FIG. 18, when the MR head 202 slides at a high speed with the magnetic tape 200, a scratch 218 is formed on the medium sliding surface 202a due to, for example, a scratch or dust on the magnetic tape 200. Sometimes occurred. The scratch 218 is a mechanical deformation that causes the lower shield layer 206 and the upper shield layer 207 to be stretched. Cause a short circuit.

【0022】この場合、MRヘッド202では、例えば
再生出力の劣化、再生出力のアシンメトリ変化(再生波
形の上下対象性)、バルクハウゼンノイズ等が発生して
しまい、致命的な不良が生じてしまう。
In this case, in the MR head 202, for example, deterioration of the reproduction output, asymmetry change of the reproduction output (vertical symmetry of the reproduction waveform), Barkhausen noise, and the like occur, resulting in a fatal defect.

【0023】また、MRヘッド202の媒体摺動面20
2aに生じた傷218による電気的な短絡の発生頻度
は、下層ギャップ層208及び上層ギャップ層209の
厚みと密接な関係を持ち、その厚みが薄くなるほど発生
し易くなる。しかしながら、この下層ギャップ層208
及び上層ギャップ層209の厚みは、再生分解能を向上
するためにはより薄くする必要がある。このため、MR
ヘッド202の媒体摺動面202aにおける電気的な短
絡は、今後更なる高記録密度化を図る上で、大きな問題
になると予想される。
The medium sliding surface 20 of the MR head 202
The frequency of occurrence of an electrical short circuit due to the scratch 218 generated in 2a is closely related to the thicknesses of the lower gap layer 208 and the upper gap layer 209, and the shorter the thickness, the more likely it is to occur. However, the lower gap layer 208
In addition, the thickness of the upper gap layer 209 needs to be reduced in order to improve the reproduction resolution. For this reason, MR
An electrical short circuit on the medium sliding surface 202a of the head 202 is expected to become a major problem in achieving higher recording density in the future.

【0024】また、上述したMRヘッド202では、媒
体摺動面202aを円筒研削する際にも、下層シールド
層206及び上層シールド層207が研削されずに引き
伸ばされるような機械的な変形が生じてしまい、下層シ
ールド層206及び上層シールド層207とMR素子2
10及び電極層215との間で電気的な短絡が生じてし
まうといった問題があった。
In the above-described MR head 202, when the medium sliding surface 202a is cylindrically ground, mechanical deformation occurs such that the lower shield layer 206 and the upper shield layer 207 are stretched without being ground. That is, the lower shield layer 206, the upper shield layer 207, and the MR element 2
There is a problem that an electrical short circuit occurs between the electrode 10 and the electrode layer 215.

【0025】この場合、MRヘッド202では、MR素
子210の抵抗値にばらつきが生じることとなる。そし
て、このMR素子210のデプス方向の高さは、MR素
子210の抵抗値を測定することにより決定されること
から、このようなMRヘッド素子210の抵抗値にばら
つきが生じると、MR素子210のデプス方向の高さに
大きなばらつきが生じることとなる。
In this case, in the MR head 202, the resistance of the MR element 210 varies. Since the height of the MR element 210 in the depth direction is determined by measuring the resistance value of the MR element 210, if the resistance value of the MR head element 210 varies, the MR element 210 Will vary greatly in the height in the depth direction.

【0026】また、MR素子210のデプス方向の高さ
は、MRヘッド202の再生出力や再生波形のアシンメ
トリに大きな影響を与えることとなる。
The height of the MR element 210 in the depth direction has a great influence on the reproduction output of the MR head 202 and the asymmetry of the reproduction waveform.

【0027】ここで、MR素子210のデプス方向の高
さを変化させた際に、再生波形のアシンメトリを測定し
た結果を図19に示す。なお、図19は、MR素子21
0のデプス方向の高さと再生波形のアシンメトリとの関
係を示す特性図である。
FIG. 19 shows the results of measuring the asymmetry of the reproduced waveform when the height of the MR element 210 in the depth direction is changed. FIG. 19 shows the MR element 21
FIG. 8 is a characteristic diagram showing a relationship between a height of 0 in a depth direction and asymmetry of a reproduced waveform.

【0028】図19に示す測定結果から、MR素子21
0のデプス方向の高さが変化すると再生波形のアシンメ
トリも大きく変化することがわかる。このため、MR素
子210のデプス方向の高さは、設計値に対して±0.
1μm程度の精度に加工する必要があり、MR素子21
0の抵抗値のばらつきは大きな問題となる。
From the measurement results shown in FIG.
It can be seen that when the height in the depth direction of 0 changes, the asymmetry of the reproduced waveform also changes greatly. For this reason, the height of the MR element 210 in the depth direction is ± 0.
It is necessary to process to an accuracy of about 1 μm.
Variation in the resistance value of 0 is a serious problem.

【0029】また、MRヘッド202では、上述した媒
体摺動面202aの円筒研削加工により生じる電気的な
短絡の対策として、下層ギャップ層208及び上層ギャ
ップ層209の厚みを厚くすることにより、その短絡の
発生を低減することができる。
In the MR head 202, as a countermeasure against an electric short-circuit caused by the cylindrical grinding of the medium sliding surface 202a, the short-circuit is performed by increasing the thicknesses of the lower gap layer 208 and the upper gap layer 209. Can be reduced.

【0030】しかしながら、上述したように、下層ギャ
ップ208及び上層ギャップ209の厚みと再生分解能
特性とは密接な関係があり、下層ギャップ208及び上
層ギャップ209の厚みを厚くすることは、下層シール
ド層206と上層シールド層207との狭ギャップ化を
図る上で大変不利となってしまう。
However, as described above, there is a close relationship between the thickness of the lower gap 208 and the upper gap 209 and the reproduction resolution characteristics. It is very disadvantageous in narrowing the gap between the upper shield layer 207 and the upper shield layer 207.

【0031】そこで、本発明は、このような従来の事情
に鑑みて提案されたものであり、回転ドラムに搭載さ
れ、ヘリカルスキャン方式によって磁気テープと摺動し
ながら、磁気テープに記録された信号を再生する磁気抵
抗効果型磁気ヘッドにおいて、一対の磁気シールド層と
磁気抵抗効果素子及びその両端部に配設された一対の電
極層との電気的な短絡を防ぐことにより、良好な再生特
性が得られるとともに、狭ギャップ化を可能とした磁気
抵抗効果型磁気ヘッドを提供することを目的とする。
Therefore, the present invention has been proposed in view of such conventional circumstances. The present invention is mounted on a rotating drum, and a signal recorded on a magnetic tape while sliding on the magnetic tape by a helical scan method. In a magneto-resistance effect type magnetic head for reproducing information, good reproduction characteristics can be obtained by preventing an electrical short circuit between a pair of magnetic shield layers and a pair of electrode layers disposed at both ends of the magneto-resistance effect element. It is another object of the present invention to provide a magnetoresistive magnetic head capable of obtaining a narrow gap.

【0032】[0032]

【課題を解決するための手段】この目的を達成する本発
明に係る磁気抵抗効果型磁気ヘッドは、回転ドラムに搭
載され、ヘリカルスキャン方式によって磁気テープと摺
動しながら、磁気テープに記録された信号を再生する磁
気抵抗効果型磁気ヘッドであり、磁気テープからの信号
を検出する磁気抵抗効果素子と、磁気抵抗効果素子の両
端部に配設された一対の電極層と、磁気抵抗効果素子及
び一対の電極層とをギャップ層を介して狭持する一対の
磁気シールド層とを備える。そして、一対の電極層は、
磁気テープと摺動する媒体摺動面に向かって狭窄した形
状を有し、媒体摺動面から露出している側の一対の電極
層の幅の総和が、磁気抵抗効果素子の媒体摺動面から露
出している側の幅に対して、1倍以上5倍以下であるこ
とを特徴としている。
A magnetoresistive head according to the present invention, which achieves this object, is mounted on a rotating drum and recorded on a magnetic tape while sliding on the magnetic tape by a helical scan method. A magneto-resistance effect type magnetic head for reproducing signals; a magneto-resistance effect element for detecting a signal from a magnetic tape; a pair of electrode layers disposed at both ends of the magneto-resistance effect element; A pair of magnetic shield layers sandwiching the pair of electrode layers via a gap layer. And a pair of electrode layers,
It has a shape constricted toward the medium sliding surface that slides on the magnetic tape, and the sum of the widths of the pair of electrode layers on the side exposed from the medium sliding surface is equal to the medium sliding surface of the magnetoresistive element. It is characterized in that it is not less than 1 and not more than 5 times the width of the side exposed from.

【0033】以上のように、本発明に係る磁気抵抗効果
型磁気ヘッドでは、一対の電極層が、磁気テープと摺動
する媒体摺動面に向かって狭窄した形状を有することか
ら、これら一対の電極層の媒体摺動面から露出する側の
幅を従来よりも小さくすることができる。これにより、
磁気テープとの摺動時や媒体摺動面の円筒研削加工時
に、この媒体摺動面にて発生する一対の磁気シールド層
と、磁気抵抗効果素子及び一対の電極層との電気的な短
絡を低減することができる。
As described above, in the magneto-resistance effect type magnetic head according to the present invention, since the pair of electrode layers has a shape narrowed toward the medium sliding surface that slides on the magnetic tape, the pair of electrode layers is narrowed. The width of the electrode layer on the side exposed from the medium sliding surface can be made smaller than before. This allows
During the sliding with the magnetic tape or the cylindrical grinding of the medium sliding surface, an electrical short circuit between the pair of magnetic shield layers generated on the sliding surface of the medium, the magnetoresistive element and the pair of electrode layers is prevented. Can be reduced.

【0034】また、この磁気抵抗効果型磁気ヘッドで
は、一対の電極層の媒体摺動面から露出している側の幅
の総和を磁気抵抗効果素子の媒体摺動面から露出してい
る側の幅に対して、1倍以上5倍以下にすることによ
り、一対の磁気シールド層と磁気抵抗効果素子及び一対
の電極層との電気的な短絡を低減しながら、バルクハウ
ゼンノイズの発生を抑制することができる。したがっ
て、この磁気抵抗効果型磁気ヘッドでは、狭ギャップ化
された際でも良好な再生特性を得ることができる。
In this magnetoresistive head, the sum of the widths of the pair of electrode layers exposed from the medium sliding surface is equal to the total width of the pair of electrode layers exposed from the medium sliding surface of the magnetoresistive element. By making the width 1 to 5 times the width, the occurrence of Barkhausen noise is suppressed while reducing the electrical short circuit between the pair of magnetic shield layers and the magnetoresistive element and the pair of electrode layers. be able to. Therefore, with this magnetoresistive head, good reproduction characteristics can be obtained even when the gap is narrowed.

【0035】[0035]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照にして説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0036】なお、以下の説明で用いる図面は、特徴を
わかりやすくするために、特徴となる部分を拡大して示
している場合があり、各構成要素の寸法比率が実際と同
じであるとは限らない。
In the drawings used in the following description, in order to make the characteristics easy to understand, the characteristic portions may be shown in an enlarged manner, and the dimensional ratio of each component may not be the same as the actual one. Not exclusively.

【0037】本発明の実施の形態として図1に示す磁気
テープ装置1は、いわゆるヘリカルスキャン方式により
磁気テープ2に対する信号の記録再生を行う磁気ヘッド
装置3を備え、磁気テープ2を供給リール4と巻き取り
リール5との間で図1中矢印A方向に走行させながら、
この磁気ヘッド装置3の回転ドラム6が図1中矢印B方
向に回転駆動され、この回転ドラム6に搭載された一対
の再生専用の磁気抵抗効果型磁気ヘッド(以下、MRヘ
ッドと称する。)7と記録専用の磁気誘導型の薄膜磁気
ヘッド(以下、インダクティブヘッドと称する。)8と
が、磁気テープ2と摺動しながら、信号の再生及び記録
を行うようになされている。
As an embodiment of the present invention, a magnetic tape device 1 shown in FIG. 1 includes a magnetic head device 3 for recording and reproducing signals on and from a magnetic tape 2 by a so-called helical scan method. While running with the take-up reel 5 in the direction of arrow A in FIG.
The rotary drum 6 of the magnetic head device 3 is driven to rotate in the direction of arrow B in FIG. 1, and a pair of read-only magnetoresistive magnetic heads (hereinafter, referred to as MR heads) 7 mounted on the rotary drum 6. And a magnetic induction type thin-film magnetic head (hereinafter, referred to as an inductive head) 8 dedicated to recording performs reproduction and recording of signals while sliding on the magnetic tape 2.

【0038】また、磁気テープ装置1は、これらの供給
リール4と巻き取りリール5との間に、磁気テープ2の
引き回しを行うロール9a〜ロール9gを備え、このう
ち、ロール9cとロール9dとの間に磁気ヘッド装置3
が配置され、磁気テープ2が回転ドラム6と摺動され、
ロールfに掛け合わされた磁気テープ2がキャップスタ
ン10に挟み込まれながら、このキャップスタン10を
回転駆動するキャップスタンモータ10aにより送り出
されるようになされている。
Further, the magnetic tape device 1 is provided between the supply reel 4 and the take-up reel 5 with rolls 9a to 9g for drawing the magnetic tape 2, and among these, a roll 9c and a roll 9d are provided. Magnetic head device 3 between
Is arranged, and the magnetic tape 2 is slid with the rotating drum 6,
The magnetic tape 2 hung on the roll f is fed out by a capstan motor 10a that rotates the capstan 10 while being sandwiched by the capstan 10.

【0039】磁気ヘッド装置3は、図2に示すように、
回転ドラム6と図2中矢印B方向に回転駆動させる駆動
用モータ11とを備えている。また、この回転ドラム6
の外周面6aには、上述したのMRヘッド7とインダク
ティブヘッド8とが取り付けられている。そして、MR
ヘッド7とインダクティブヘッド8とは、互いに180
°の位相差を似て対向配置されている。また、MRヘッ
ド7とインダクティブヘッド8とは、磁気ギャップが磁
気テープ2の走行方向と略直交する方向に対してアジマ
ス角に応じて斜めとなるように配置されている。
The magnetic head device 3, as shown in FIG.
The rotating drum 6 includes a driving motor 11 for driving the rotating drum 6 to rotate in the direction of arrow B in FIG. Also, this rotating drum 6
The above-described MR head 7 and the inductive head 8 are attached to the outer peripheral surface 6a of the. And MR
The head 7 and the inductive head 8 are 180
They are arranged facing each other with a similar phase difference of °. The MR head 7 and the inductive head 8 are arranged such that the magnetic gap is oblique to the direction substantially perpendicular to the running direction of the magnetic tape 2 according to the azimuth angle.

【0040】また、磁気ヘッド装置3は、回転ドラム6
の外周面6aと連続した外周面12aを形成する固定ド
ラム12とを備えており、磁気テープ2が、この固定ド
ラム12のリードガイド部12bに沿って、図2中矢印
A方向に斜めに走行しながら、固定ドラム12の外周面
12a及び回転ドラム6の外周面6aと例えば略180
°に亘って摺動するようになされている。
The magnetic head device 3 includes a rotating drum 6
The magnetic tape 2 travels obliquely in the direction of arrow A in FIG. 2 along the lead guide portion 12b of the fixed drum 12. The outer peripheral surface 12a of the fixed drum 12 and the outer peripheral surface 6a of
It is designed to slide over a degree.

【0041】以上に構成される磁気テープ装置1では、
記録時に、インダクティブヘッド8が磁気テープ2と摺
動しながら、この磁気テープ2に対して信号の記録を行
う一方、再生時に、MRヘッド7が磁気テープ2と摺動
しながら、この磁気テープ2に記録された信号を再生す
ることとなる。
In the magnetic tape device 1 configured as described above,
At the time of recording, an inductive head 8 slides on the magnetic tape 2 to record a signal on the magnetic tape 2, while at the time of reproduction, the MR head 7 slides on the magnetic tape 2 while recording the signal on the magnetic tape 2. Will be reproduced.

【0042】ところで、この磁気ヘッド装置3におい
て、MRヘッド7は、図3に示す本発明を適用したMR
ヘッド20であり、第1の基板21上に、例えばメッキ
法やスパッタ法等の薄膜成形技術により、このMRヘッ
ド20の各構成要素が積層され、この上に第2の基板2
2が貼り合わされた構造を有している。なお、このMR
ヘッド20において、第2の基板22は、第1の基板2
1より小とされており、第1の基板21上に形成された
後述する一対の引き出し導体33及び外部接続用端子3
4が露出するようになされている。
Incidentally, in the magnetic head device 3, the MR head 7 is an MR head to which the present invention shown in FIG.
Each component of the MR head 20 is laminated on a first substrate 21 by, for example, a thin film forming technique such as a plating method or a sputtering method, and a second substrate 2
2 are bonded together. Note that this MR
In the head 20, the second substrate 22 is the first substrate 2
1 and a pair of lead conductors 33 and external connection terminals 3 (described later) formed on the first substrate 21.
4 is exposed.

【0043】また、MRヘッド20は、その磁気テープ
2と摺動する媒体摺動面20aの平面形状が略長方形状
とされており、この媒体摺動面20aが図中矢印Cに示
す磁気テープ2の摺動方向に沿って円筒形状に研削され
ているとともに、図中矢印Dに示す磁気テープ2の摺動
方向に対して直交する方向に沿って円筒形状に研削され
ている。
The MR head 20 has a medium sliding surface 20a which slides on the magnetic tape 2 in a substantially rectangular planar shape, and the medium sliding surface 20a has a magnetic tape indicated by an arrow C in FIG. 2 and along the direction perpendicular to the sliding direction of the magnetic tape 2 indicated by arrow D in the figure.

【0044】具体的に、このMRヘッド20は、図4及
び図5に示すように、第1の基板21の主面側に形成さ
れた非磁性層23上に、下層シールド層24と上層シー
ルド層25との間に、下層ギャップ層26と上層ギャッ
プ層27とを介してMR素子28が狭持されてなる、い
わゆるシールド型MRヘッドである。また、上層シール
ド層25上には、保護層29を介して上述した第2の基
板22が貼り合わされている。
More specifically, as shown in FIGS. 4 and 5, the MR head 20 includes a lower shield layer 24 and an upper shield layer on a non-magnetic layer 23 formed on the main surface of the first substrate 21. This is a so-called shield type MR head in which an MR element 28 is sandwiched between a layer 25 and a lower gap layer 26 and an upper gap layer 27. The second substrate 22 described above is bonded on the upper shield layer 25 with a protective layer 29 interposed therebetween.

【0045】第1の基板21及び第2の基板22は、例
えばAl−TiC(アルチック)、α−Fe
(α−ヘマタイト)、Ni−Znフェライト等のセラ
ミック基板からなる。
The first substrate 21 and the second substrate 22 are made of, for example, Al 2 O 3 —TiC (altic), α-Fe 2 O
3 (α-hematite), Ni-Zn ferrite or other ceramic substrate.

【0046】非磁性層23及び保護層29は、例えば数
μmのアルミナ膜(Al)等を成膜することによ
り形成される。なお、このアルミナ膜の表面は、成膜時
に機械的なラップにより平坦化されることが好ましい。
The nonmagnetic layer 23 and the protective layer 29 are formed by depositing, for example, an alumina film (Al 2 O 3 ) having a thickness of several μm. Preferably, the surface of the alumina film is flattened by mechanical wrap during film formation.

【0047】下層シールド層24及び上層シールド層2
5は、MR素子28を磁気的にシールドするのに十分な
幅を有し、この下層シールド層24及び上層シールド層
25が、下層ギャップ層26と上層ギャップ層27とを
介してMR素子28を挟み込むことにより、磁気テープ
2からの信号磁界のうち、再生対象外の磁界がMR素子
28に引き込まれないように機能する。すなわち、MR
ヘッド20においては、MR素子28に対して再生対象
外の信号磁界が下層シールド層24及び上層シールド層
25に導かれて、再生対象の信号磁界だけがMR素子2
8へと導かれることとなる。したがって、MRヘッド2
0では、MR素子28の周波数特性及び読み取り分解能
の向上が図られている。
Lower Shield Layer 24 and Upper Shield Layer 2
5 has a width sufficient to magnetically shield the MR element 28, and the lower shield layer 24 and the upper shield layer 25 form the MR element 28 through the lower gap layer 26 and the upper gap layer 27. By sandwiching, it functions so that the magnetic field outside the reproduction target among the signal magnetic fields from the magnetic tape 2 is not drawn into the MR element 28. That is, MR
In the head 20, a signal magnetic field that is not to be reproduced with respect to the MR element 28 is guided to the lower shield layer 24 and the upper shield layer 25, and only the signal magnetic field that is to be reproduced is applied to the MR element 2.
8 will be led. Therefore, MR head 2
At 0, the frequency characteristics and reading resolution of the MR element 28 are improved.

【0048】下層シールド層24及び上層シールド層2
5は、例えばFeAlSi(センダスト)等の軟磁性薄
膜をスパッタリング等により成膜することで形成され
る。なお、下層シールド層24及び上層シールド層25
の材料としては、その他良好な軟磁性を示すと共に摩耗
腐食に優れた材料であれば、特に限定されるものではな
い。
Lower Shield Layer 24 and Upper Shield Layer 2
5 is formed by forming a soft magnetic thin film such as FeAlSi (sendust) by sputtering or the like. The lower shield layer 24 and the upper shield layer 25
The material is not particularly limited as long as the material exhibits good soft magnetism and is excellent in wear and corrosion.

【0049】下層ギャップ層26及び上層ギャップ層2
7は、それぞれ下層シールド層24及び上層シールド層
25とMR素子28との間を磁気的に隔離しており、こ
の下層シールド層24及び上層シールド層25とMR素
子28との間隔が、いわゆるギャップ長とされている。
Lower gap layer 26 and upper gap layer 2
Numeral 7 magnetically isolates the lower shield layer 24, the upper shield layer 25, and the MR element 28 from each other, and the gap between the lower shield layer 24, the upper shield layer 25, and the MR element 28 is a so-called gap. It is long.

【0050】下層ギャップ層26及び上層ギャップ層2
7は、例えばAl等のアルミナ(Al)膜
等をスパッタリング等により成膜することで形成され
る。なお、下層ギャップ層26及び上層ギャップ層27
の材料としては、絶縁特性や耐摩耗性に優れた材料であ
れば、特に限定されるものではない。
Lower gap layer 26 and upper gap layer 2
7 is formed by forming a film by sputtering or the like, for example, Al 2 O 3 or the like of the alumina (Al 2 O 3) film or the like. The lower gap layer 26 and the upper gap layer 27
The material is not particularly limited as long as it is a material having excellent insulating properties and wear resistance.

【0051】MR素子28は、外部磁界の変化に応じて
電気抵抗が変化する、いわゆる磁気抵抗効果を利用した
ものであり、このMR素子28に対してセンス電流を流
しながら、このセンス電流の電圧変化を検出することに
より、磁気テープ2に記録された信号を再生するように
なされている。
The MR element 28 utilizes a so-called magnetoresistive effect in which the electric resistance changes according to a change in an external magnetic field. By detecting the change, the signal recorded on the magnetic tape 2 is reproduced.

【0052】具体的に、MR素子28は、例えばSAL
(Soft Adjacent Layer)バイアス層、中間層、MR層
等がスパッタリング等により順次積層されてなる、いわ
ゆるSALバイアス方式のMR素子である。
More specifically, for example, the SAL
(Soft Adjacent Layer) This is a so-called SAL bias type MR element in which a bias layer, an intermediate layer, an MR layer, and the like are sequentially laminated by sputtering or the like.

【0053】なお、MR素子28としては、上述したS
ALバイアス方式のMR素子28に限られるものではな
く、例えば、より大きな出力が得られるスピンバルブ膜
等の巨大磁気抵抗効果(GMR:Gaiant Mgnetro-Resistivi
ty)を利用したMR素子28等であっても良い。
The MR element 28 has the above-mentioned S element.
The invention is not limited to the AL bias type MR element 28. For example, a giant magnetoresistive effect (GMR: Gaiant Mgnetro-Resistivi) of a spin valve film or the like that can obtain a larger output.
ty) may be used.

【0054】また、MR素子28の両端部には、このM
R素子28にバイアス磁界を印可するための一対の永久
磁石膜30と、これら一対の永久磁石膜30上にMR素
子28にセンス電流を供給するための一対の導電膜31
とが一対の電極層32として設けられている。なお、こ
の一対の電極層32の間の幅が再生トラック幅となって
いる。
The M element is provided at both ends of the MR element 28.
A pair of permanent magnet films 30 for applying a bias magnetic field to the R element 28, and a pair of conductive films 31 for supplying a sense current to the MR element 28 on the pair of permanent magnet films 30
Are provided as a pair of electrode layers 32. Note that the width between the pair of electrode layers 32 is the reproduction track width.

【0055】一対の永久磁石膜30は、例えばCoNi
Ptや、CoCrPt等の強磁性膜がスパッタリング等
により成膜されることで形成される。
The pair of permanent magnet films 30 are made of, for example, CoNi.
It is formed by forming a ferromagnetic film such as Pt or CoCrPt by sputtering or the like.

【0056】一対の導電膜31は、例えばCr、Ta等
がスパッタリング等により成膜されることで形成され
る。
The pair of conductive films 31 is formed by depositing, for example, Cr, Ta or the like by sputtering or the like.

【0057】また、これら一対の電極層32には、一対
の引き出し導体33が電気的に接続されており、この一
対の引き出し導体33の端部には、外部回路と接続され
る外部接続用端子34がそれぞれ設けられている。
Further, a pair of lead conductors 33 are electrically connected to the pair of electrode layers 32, and an end of the pair of lead conductors 33 has an external connection terminal connected to an external circuit. 34 are provided respectively.

【0058】なお、一対の引き出し導体33は、例えば
Ti、Cu等がスパッタリング等により成膜されること
で形成されており、外部接続用端子34は、例えば数μ
m厚のCu膜等が例えばメッキ等により成膜されること
で形成される。
The pair of lead conductors 33 is formed by, for example, forming a film of Ti, Cu, or the like by sputtering or the like.
An m-thick Cu film or the like is formed by, for example, plating or the like.

【0059】そして、この一対の電極層32は、MRヘ
ッド20の媒体摺動面20aに向かって斜めに狭窄した
形状を有している。すなわち、この一対の電極層32
は、一対の引き出し導体33と接続される側の幅より
も、媒体摺動面20aから露出している側の幅が小さく
なっている。
The pair of electrode layers 32 has a shape obliquely narrowed toward the medium sliding surface 20 a of the MR head 20. That is, the pair of electrode layers 32
Is smaller on the side exposed from the medium sliding surface 20a than on the side connected to the pair of lead conductors 33.

【0060】また、媒体摺動面20aから露出している
側の一対の電極層32の幅の総和は、媒体摺動面20a
から露出している側のMR素子28の幅に対して1倍以
上5倍以下となることが好ましい。なお、このことにつ
いては、後で詳細に説明する。
The sum of the widths of the pair of electrode layers 32 on the side exposed from the medium sliding surface 20a is
It is preferable that the width be 1 to 5 times the width of the MR element 28 exposed on the side. This will be described later in detail.

【0061】以上のように構成されるMRヘッド20
は、回転ドラム6の外周面6aに磁気ギャップが磁気テ
ープ2の走行方向と略直交する方向に対してアジマス角
に応じて斜めとなるように配置される。そして、このM
Rヘッド20は、磁気テープ2に対して斜めに摺動しな
がら、磁気テープ2に記録された信号を再生することと
なる。
The MR head 20 configured as described above
Are arranged on the outer peripheral surface 6a of the rotary drum 6 such that the magnetic gap is oblique to the direction substantially perpendicular to the running direction of the magnetic tape 2 according to the azimuth angle. And this M
The R head 20 reproduces a signal recorded on the magnetic tape 2 while sliding obliquely with respect to the magnetic tape 2.

【0062】具体的に、MRヘッド20を用いて磁気テ
ープ2に対する信号の再生を行う際はMR素子28に対
して所定の電圧を印加することとなる。このとき、MR
素子28に流れるセンス電流のコンダクタンスが、磁気
テープ2の記録トラックに記録された信号を磁界に応じ
て変化する。このため、MRヘッド20では、MR素子
28に流れるセンス電流の電圧値が変化することとな
り、このMR素子28の電圧値の変化を検出することに
よって、この記録トラックに記録された信号を再生する
こととなる。
Specifically, when a signal is reproduced from the magnetic tape 2 using the MR head 20, a predetermined voltage is applied to the MR element 28. At this time, MR
The conductance of the sense current flowing through the element 28 changes the signal recorded on the recording track of the magnetic tape 2 according to the magnetic field. Therefore, in the MR head 20, the voltage value of the sense current flowing through the MR element changes, and the signal recorded on the recording track is reproduced by detecting the change in the voltage value of the MR element. It will be.

【0063】ところで、本発明を適用したMRヘッド2
0では、上述したように、MR素子28の両端部に配設
された一対の電極層32が、磁気テープ2と摺動する媒
体摺動面20aに向かって斜めに狭窄した形状を有して
いる。すなわち、具体的に、このMRヘッド20では、
一対の電極層32の一対の引き出し導体33と接続され
る側の幅よりも、媒体摺動面20aから露出してしてい
る側の幅が小さくなっている。なお、この一対の電極層
32は、一対の引き出し導体33側から媒体摺動面20
a側に向かう直線と媒体摺動面20aとのなす角度をθ
としたとき、この角度θが例えば45°となる斜めに狭
窄した形状を有している。
By the way, the MR head 2 to which the present invention is applied
0, the pair of electrode layers 32 disposed at both ends of the MR element 28 have a shape obliquely narrowed toward the medium sliding surface 20a that slides on the magnetic tape 2 as described above. I have. That is, specifically, in this MR head 20,
The width of the side exposed from the medium sliding surface 20a is smaller than the width of the side of the pair of electrode layers 32 connected to the pair of lead conductors 33. The pair of electrode layers 32 are formed on the medium sliding surface 20 from the pair of lead conductors 33.
The angle formed between the medium sliding surface 20a and the straight line toward the side a is θ
In this case, the angle θ is, for example, 45 ° and the shape is obliquely narrowed.

【0064】この場合、MRヘッド20では、従来より
も媒体摺動面20aから露出する一対の電極層32の幅
を小さくすることができる。
In this case, in the MR head 20, the width of the pair of electrode layers 32 exposed from the medium sliding surface 20a can be smaller than in the related art.

【0065】例えば、従来のMRヘッドにおける媒体摺
動面から露出しているMR素子幅7μm、一対の電極層
の幅の総和を80μmとすると、これら媒体摺動面から
露出するMR素子及び一対の電極層との総和を87μm
となる。一方、本実施の形態で示すように、媒体摺動面
20aから露出する一対の電極層32の幅の総和をMR
素子28の幅に対して1倍とすれば、媒体摺動面20a
に露出するMR素子28及び一対の電極層32との幅の
総和は14μmとなる。
For example, if the width of the MR element exposed from the medium sliding surface in the conventional MR head is 7 μm and the sum of the widths of the pair of electrode layers is 80 μm, the MR element and the pair of electrodes exposed from these medium sliding surfaces are assumed to be 80 μm. 87 μm total with electrode layer
Becomes On the other hand, as shown in the present embodiment, the sum of the widths of the pair of electrode layers 32 exposed from the medium sliding surface 20a is MR
If the width of the element 28 is one time, the medium sliding surface 20a
The total width of the MR element 28 and the pair of electrode layers 32 exposed to the outside is 14 μm.

【0066】したがって、従来のMRヘッド対して本実
施の形態に示すMRヘッド20では、MR素子28及び
一対の電極層32の幅の総和を約6分の1にすることが
でき、媒体摺動面20aにて発生する下層シールド層2
4及び上層シールド層25とMR素子28及び電極層3
2とが電気的な短絡の確率を6分の1にまで低減するこ
とができる。
Therefore, in the MR head 20 according to the present embodiment, as compared with the conventional MR head, the total width of the MR element 28 and the pair of electrode layers 32 can be reduced to about 1/6, and the medium slides. Lower shield layer 2 generated on surface 20a
4 and upper shield layer 25, MR element 28 and electrode layer 3
2 can reduce the probability of an electrical short circuit to 1/6.

【0067】これにより、MRヘッド20では、磁気テ
ープ2と高速で摺動される際でも、磁気テープ2の例え
ば傷やダスト等により媒体摺動面20aにて発生する下
層シールド層24及び上層シールド層25とMR素子2
8及び一対の電極層32との電気的な短絡を低減させる
ことができる。
Thus, in the MR head 20, even when the magnetic tape 2 is slid at a high speed, the lower shield layer 24 and the upper shield layer 24 generated on the medium sliding surface 20a due to, for example, scratches or dust of the magnetic tape 2. Layer 25 and MR element 2
8 and the pair of electrode layers 32 can be electrically short-circuited.

【0068】したがって、一対のシールド層の間隔を狭
くした際にも、このMRヘッド20では、良好な再生特
性を得ることができる。
Therefore, even when the distance between the pair of shield layers is reduced, the MR head 20 can obtain good reproduction characteristics.

【0069】また、このMRヘッド20では、上述され
た媒体摺動面20aを円筒研削する際でも、この媒体摺
動面20aに発生する下層シールド層24及び上層シー
ルド層25とMR素子28及び一対の電極層32との電
気的な短絡を低減することができる。
Further, in this MR head 20, even when the above-described medium sliding surface 20a is cylindrically ground, the lower shield layer 24 and the upper shield layer 25 generated on the medium sliding surface 20a, the MR element 28, and the Electrical short-circuit with the electrode layer 32 can be reduced.

【0070】この場合、MRヘッド20では、MR素子
28の抵抗値のばらつきが低減されることから、このM
R素子28の抵抗値を測定することにより決定されるM
R素子28のデプス方向の高さのばらつきを低減するこ
とができる。
In this case, in the MR head 20, since the variation in the resistance value of the MR element 28 is reduced, the M
M determined by measuring the resistance value of R element 28
Variations in the height of the R element 28 in the depth direction can be reduced.

【0071】したがって、MR素子28のデプス方向の
高さ寸法にばらつきなく高精度に加工することができ、
良好な再生出力や再生波形のアシンメトリを得られる高
品質のMRヘッド20とすることができる。
Therefore, it is possible to process the MR element 28 with high precision without variation in the height dimension in the depth direction.
A high-quality MR head 20 that can obtain good reproduction output and asymmetry of the reproduction waveform can be obtained.

【0072】また、このMRヘッド20では、一対の電
極層32の媒体摺動面20aから露出している側の幅の
総和が、MR素子28の媒体摺動面20aから露出して
いる側の幅に対して1倍以上5倍以下となることが好ま
しい。
In the MR head 20, the sum of the widths of the pair of electrode layers 32 exposed from the medium sliding surface 20a is the sum of the widths of the pair of electrode layers 32 exposed from the medium sliding surface 20a. It is preferable that the width be 1 to 5 times the width.

【0073】ここで、図4に示すように、一対の電極層
32の媒体摺動面20aから露出している側の幅をそれ
ぞれE及びE’とし、MRヘッド20の媒体摺動面20
aから露出している側の幅をFとする。そして、MR素
子28の媒体摺動面20aから露出している側の幅Fに
対する一対の電極層32の媒体摺動面20aから露出し
ている側の幅E及びE’の総和E+E’の比率を変化さ
せた際に、このMRヘッド20の媒体摺動面に対する円
筒研削加工時に発生する短絡の発生率と、このMRヘッ
ド20のバルクハウゼンノイズの発生率とをそれぞれ測
定した。なお、ここでは、MR素子28の幅を7μmと
し、MR素子28のデプス方向の高さを3μmとした。
Here, as shown in FIG. 4, the widths of the pair of electrode layers 32 exposed from the medium sliding surface 20a are E and E ', respectively.
The width of the side exposed from a is F. The ratio of the sum E + E ′ of the widths E and E ′ of the pair of electrode layers 32 on the side exposed from the medium sliding surface 20 a to the width F on the side exposed from the medium sliding surface 20 a of the MR element 28. Was changed, the occurrence rate of a short-circuit occurring during cylindrical grinding of the medium sliding surface of the MR head 20 and the occurrence rate of Barkhausen noise of the MR head 20 were measured. Here, the width of the MR element 28 was 7 μm, and the height of the MR element 28 in the depth direction was 3 μm.

【0074】以上の測定結果を図6に示す。なお、図6
において、図中に示すMは、MR素子28の媒体摺動面
20aから露出している側の幅Fに対する一対の電極層
32の媒体摺動面20aから露出している側の幅E及び
E’の総和E+E’の比率を示し、図中に示すグラフX
は、この比率Mと短絡との関係を示し、図中に示すグラ
フYは、この比率Mとバルクハウゼンノイズの発生率と
の関係を示している。
FIG. 6 shows the above measurement results. FIG.
In the figure, M shown in the figure represents widths E and E of the pair of electrode layers 32 on the side exposed from the medium sliding surface 20a of the MR element 28 with respect to the width F on the side exposed from the medium sliding surface 20a. A graph X showing the ratio of the sum E + E ′ of FIG.
Shows the relationship between this ratio M and the short circuit, and the graph Y shown in the figure shows the relationship between this ratio M and the occurrence rate of Barkhausen noise.

【0075】また、図6に示すグラフX及びグラフYの
各点における測定結果を以下の表1に示す。
Table 1 below shows the measurement results at each point of the graphs X and Y shown in FIG.

【0076】[0076]

【表1】 [Table 1]

【0077】図6に示すグラフXから、比率Mが大きく
なるにしたがってって短絡の発生率が増加していくこと
がわかる。特に、比率Mが5以上になると、短絡の発生
率が大きく増加してしまうことがわかる。
From the graph X shown in FIG. 6, it can be seen that the occurrence rate of short-circuit increases as the ratio M increases. In particular, it can be seen that when the ratio M is 5 or more, the occurrence rate of short-circuits is greatly increased.

【0078】また、グラフYから、比率Mが大きくなる
にしたがって0から1の間でバルクハウゼンノイズの発
生率が急激に低下し、そこからバルクハウゼンノイズの
発生率がほぼ一定になることがわかる。
Further, it can be seen from the graph Y that the occurrence rate of Barkhausen noise sharply decreases between 0 and 1 as the ratio M increases, and the occurrence rate of Barkhausen noise becomes substantially constant. .

【0079】この場合、図7に示すように、MR素子2
8に図中矢印Isで示す方向にセンス電流が流れると、
MR素子28の両端部に、MR素子28に対して平行で
ない磁場、すなわち、センス電流が一定の方向とならな
い不安定領域G及びG’がそれぞれ発生してしまう。
In this case, as shown in FIG.
When the sense current flows in the direction indicated by the arrow Is in FIG.
Magnetic fields that are not parallel to the MR element 28, that is, unstable regions G and G ′ in which the sense current does not take a fixed direction are generated at both ends of the MR element 28.

【0080】この場合、MRヘッド20では、再生特性
が不安定になることから、上述した図に示すように、比
率Mを1以上にすることが望ましい。
In this case, since the reproduction characteristics of the MR head 20 become unstable, it is desirable to set the ratio M to 1 or more as shown in the above-mentioned figure.

【0081】したがって、MRヘッド20では、下層シ
ールド層24及び上層シールド層25とMR素子28及
び電極層32との電気的な短絡の抑制と、バルクハウゼ
ンノイズの低減とを両立させるためには、MRヘッド2
0の比率Mの範囲Zを1以上5以下にすることが好まし
い。すなわち、このMRヘッド20では、一対の電極層
32の媒体摺動面20aから露出している側の幅の総和
が、MR素子28の媒体摺動面20aから露出している
側の幅に対して1倍以上5倍以下とすることが好まし
い。
Accordingly, in the MR head 20, in order to suppress the electrical short circuit between the lower shield layer 24 and the upper shield layer 25 and the MR element 28 and the electrode layer 32 and to reduce the Barkhausen noise at the same time, MR head 2
It is preferable to set the range Z of the ratio M of 0 to 1 or more and 5 or less. That is, in the MR head 20, the sum of the widths of the pair of electrode layers 32 exposed from the medium sliding surface 20a is larger than the width of the MR element 28 on the side exposed from the medium sliding surface 20a. It is preferably at least 1 and at most 5 times.

【0082】以上のことより、このMRヘッド20で
は、良好な再生特性と高密度記録化に対応した狭ギャッ
プ化とを可能にすることができる。
As described above, according to the MR head 20, good reproduction characteristics and narrowing of the gap corresponding to high-density recording can be realized.

【0083】また、本発明を適用したMRヘッド20
は、MR素子28の両端部に配設された一対の電極層3
2を磁気テープ2と摺動する媒体摺動面20aに向かっ
て、必ずしも斜めに狭窄させた形状に限定されるもので
なく、一対の電極層32は、MRヘッド20の媒体摺動
面20aに向かって狭窄した形状を有していれば良い。
The MR head 20 to which the present invention is applied
Are a pair of electrode layers 3 disposed at both ends of the MR element 28.
2 is not necessarily limited to a shape narrowed obliquely toward the medium sliding surface 20 a sliding on the magnetic tape 2, and the pair of electrode layers 32 are provided on the medium sliding surface 20 a of the MR head 20. What is necessary is just to have the shape narrowed toward.

【0084】例えば図8及び図9に示すようなMRヘッ
ド40であっても良い。なお、MRヘッド40において
は、以下の説明において上述したMRヘッド20と同等
な構成及び部位については、説明を省略するとともに、
図面において同じ符号を付するものとする。
For example, the MR head 40 shown in FIGS. 8 and 9 may be used. In the MR head 40, the description of the same configuration and parts as those of the MR head 20 described below is omitted, and
The same reference numerals are given in the drawings.

【0085】このMRヘッド40では、MR素子28の
両端部に配設された一対の電極層41が磁気テープ2と
摺動する媒体摺動面40aに向かってMR素子28と接
続される部分のみが突出する狭窄した形状を有してい
る。
In this MR head 40, only a portion where the pair of electrode layers 41 disposed at both ends of the MR element 28 are connected to the MR element 28 toward the medium sliding surface 40 a on which the magnetic tape 2 slides. Have a constricted shape that protrudes.

【0086】この場合も、MRヘッド40では、従来よ
りも媒体摺動面40aから露出する電極層41の幅を小
さくすることができる。
Also in this case, in the MR head 40, the width of the electrode layer 41 exposed from the medium sliding surface 40a can be smaller than in the related art.

【0087】これにより、MRヘッド40では、磁気テ
ープ2と高速で摺動される際でも、磁気テープ2の例え
ば傷やダスト等により媒体摺動面40aにて発生する下
層シールド層24及び上層シールド層25とMR素子2
8及び一対の電極層41との電気的な短絡を低減させる
ことができる。したがって、一対のシールド層の間隔を
狭くした際にも、このMRヘッド40では、良好な再生
特性を得ることができる。
Thus, in the MR head 40, even when the magnetic tape 2 is slid at high speed, the lower shield layer 24 and the upper shield layer 24 generated on the medium sliding surface 40a due to, for example, scratches or dust of the magnetic tape 2 Layer 25 and MR element 2
8 and the pair of electrode layers 41 can be electrically short-circuited. Therefore, even when the distance between the pair of shield layers is reduced, the MR head 40 can obtain good reproduction characteristics.

【0088】また、このMRヘッド40では、上述され
た媒体摺動面40aを円筒研削する際でも、この媒体摺
動面40aに発生する下層シールド層24及び上層シー
ルド層25とMR素子28及び一対の電極層41との電
気的な短絡を低減することができる。
In the MR head 40, even when the above-described medium sliding surface 40a is cylindrically ground, the lower shield layer 24 and the upper shield layer 25 generated on the medium sliding surface 40a, the MR element 28, and the Electrical short-circuit with the electrode layer 41 can be reduced.

【0089】この場合、MRヘッド40では、MR素子
28の抵抗値のばらつきが低減されることから、このM
R素子28の抵抗値を測定することにより決定されるM
R素子28のデプス方向の高さのばらつきを低減するこ
とができる。
In this case, in the MR head 40, since the variation in the resistance value of the MR element 28 is reduced, this M
M determined by measuring the resistance value of R element 28
Variations in the height of the R element 28 in the depth direction can be reduced.

【0090】したがって、MR素子28のデプス方向の
高さ寸法にばらつきなく高精度に加工することができ、
良好な再生出力や再生波形のアシンメトリを得られる高
品質のMRヘッド40とすることができる。
Therefore, it is possible to machine the MR element 28 with high accuracy without variation in the height dimension in the depth direction.
A high-quality MR head 40 that can obtain good reproduction output and asymmetry of the reproduction waveform can be obtained.

【0091】また、図10に示すように、このMRヘッ
ド40では、一対の電極層41は、の媒体摺動面40a
から露出している側の幅H及びH’の総和H+H’が、
MR素子28の媒体摺動面40aから露出している側の
幅Iに対して1倍以上5倍以下であることが好ましい。
なお、図10は、MRヘッド40の電極層41が媒体摺
動面40aに向かってMR素子28と接続される部分の
みが突出した状態を要部拡大して示した平面図である。
As shown in FIG. 10, in the MR head 40, the pair of electrode layers 41 are formed on the medium sliding surface 40a.
The sum H + H ′ of the widths H and H ′ on the side exposed from
It is preferable that the width be 1 to 5 times the width I of the MR element 28 on the side exposed from the medium sliding surface 40a.
FIG. 10 is an enlarged plan view showing a state where only a portion where the electrode layer 41 of the MR head 40 is connected to the MR element 28 projects toward the medium sliding surface 40a.

【0092】この場合も、上述したMRヘッド20と同
様に、下層シールド層24及び上層シールド層25とM
R素子28及び電極層41との電気的な短絡の発生を低
減するとともに、バルクハウゼンノイズの発生を抑制す
ることができる。
Also in this case, similarly to the above-described MR head 20, the lower shield layer 24 and the upper shield
The occurrence of an electrical short circuit between the R element 28 and the electrode layer 41 can be reduced, and the occurrence of Barkhausen noise can be suppressed.

【0093】また、このMRヘッド40では、電極層4
1がMR素子28と接続される部分のみが突出する狭窄
した形状を有することにより、一対の永久磁石膜30の
面積が大きく減少されることを抑制することができる。
In the MR head 40, the electrode layer 4
Since 1 has a constricted shape in which only a portion connected to the MR element 28 protrudes, it is possible to suppress a large decrease in the area of the pair of permanent magnet films 30.

【0094】この場合、MRヘッド40では、この一対
の永久磁石膜30によりMR素子28に対して安定した
バイアス磁界を印加することができる。
In this case, in the MR head 40, a stable bias magnetic field can be applied to the MR element 28 by the pair of permanent magnet films 30.

【0095】したがって、このMRヘッド40では、良
好な再生特性を得ることができ、狭ギャップ化すること
により高密度記録化に対応ができる。
Therefore, in the MR head 40, good reproduction characteristics can be obtained, and high-density recording can be performed by narrowing the gap.

【0096】[0096]

【発明の効果】本発明の磁気抵抗効果型磁気ヘッドで
は、一対の電極層が磁気テープと摺動する媒体摺動面に
向かって狭窄した形状を有することから、一対の電極層
の媒体摺動面から露出する側の幅を従来よりも小さくす
ることができ、磁気テープとの摺動時や媒体摺動面の円
筒研削加工時に、この媒体摺動面にて発生する一対の磁
気シールド層と、磁気抵抗効果素子及び一対の電極層と
の電気的な短絡を低減することができる。
In the magnetoresistive head according to the present invention, the pair of electrode layers has a shape narrowing toward the medium sliding surface that slides on the magnetic tape. The width of the side exposed from the surface can be made smaller than before, and when sliding with a magnetic tape or cylindrical grinding of the medium sliding surface, a pair of magnetic shield layers generated on this medium sliding surface In addition, an electric short circuit between the magnetoresistive element and the pair of electrode layers can be reduced.

【0097】また、この磁気ヘッドでは、一対の電極層
の媒体摺動面から露出している側の幅の総和を磁気抵抗
効果素子の媒体摺動面から露出している側の幅に対し
て、1倍以上5倍以下にすることにより、一対の磁気シ
ールド層と磁気抵抗効果素子及び一対の電極層との電気
的な短絡を低減しながら、バルクハウゼンノイズの発生
を抑制することができる。したがって、この磁気抵抗効
果型磁気ヘッドによれば、良好な再生特性が得られると
ともに、狭ギャップ化を可能とすることができる。
In this magnetic head, the sum of the widths of the pair of electrode layers on the side exposed from the medium sliding surface is made to be equal to the width of the magnetoresistive element on the side exposed from the medium sliding surface. By setting the ratio to 1 to 5 times, the occurrence of Barkhausen noise can be suppressed while reducing the electrical short circuit between the pair of magnetic shield layers and the magnetoresistive element and the pair of electrode layers. Therefore, according to the magnetoresistive head, good reproduction characteristics can be obtained, and the gap can be narrowed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】磁気テープ装置の一構成例を示す概略平面図。FIG. 1 is a schematic plan view showing a configuration example of a magnetic tape device.

【図2】磁気ヘッド装置の構成を示す概略斜視図。FIG. 2 is a schematic perspective view showing the configuration of a magnetic head device.

【図3】本発明を適用したMRヘッドの一構成例を示す
図であり、電極層が媒体摺動面に向かって斜めに狭窄さ
れた状態を示す透視斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a configuration example of an MR head to which the present invention is applied, showing a state where an electrode layer is obliquely narrowed toward a medium sliding surface.

【図4】上記MRヘッドを媒体摺動面から見た要部端面
図である。
FIG. 4 is an end view of a main part of the MR head as viewed from a medium sliding surface.

【図5】上記MRヘッドの構成を説明するための図であ
り、電極層が媒体摺動面に向かって斜めに狭窄された状
態を示す概略平面図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining a configuration of the MR head, and is a schematic plan view showing a state where an electrode layer is obliquely narrowed toward a medium sliding surface.

【図6】MRヘッドの比率Mと短絡の発生率との関係
と、比率Mとバルクハウゼンノイズの発生率との関係と
を示す特性図である。
FIG. 6 is a characteristic diagram showing the relationship between the ratio M of the MR head and the occurrence ratio of short circuits, and the relationship between the ratio M and the occurrence ratio of Barkhausen noise.

【図7】本発明を適用したMRヘッドのMR素子の近傍
を要部拡大して示す概略平面図である。
FIG. 7 is a schematic plan view showing the vicinity of an MR element of an MR head to which the present invention is applied in an enlarged manner.

【図8】本発明を適用したMRヘッドの他の一構成例を
示す図であり、電極層が媒体摺動面に向かって磁気抵抗
効果素子と接続される部分のみが突出する狭窄された状
態を示す透視斜視図である。
FIG. 8 is a diagram showing another configuration example of the MR head to which the present invention is applied, in a narrowed state in which only a portion where the electrode layer is connected to the magnetoresistive element toward the medium sliding surface projects. FIG.

【図9】上記MRヘッドの構成を説明するための図であ
り、電極層が媒体摺動面に向かって磁気抵抗効果素子と
接続される部分のみが突出する狭窄された状態を示す概
略平面図である。
FIG. 9 is a diagram for explaining the configuration of the MR head, and is a schematic plan view showing a narrowed state in which only a portion where the electrode layer is connected to the magnetoresistive element protrudes toward the medium sliding surface. It is.

【図10】上記MRヘッドの電極層が媒体摺動面に向か
って磁気抵抗効果素子と接続される部分のみが突出する
狭窄された状態を要部拡大して示す概略平面図である。
FIG. 10 is a schematic plan view showing an enlarged main part of a narrowed state in which only a portion where an electrode layer of the MR head is connected to the magnetoresistive element toward a medium sliding surface projects.

【図11】ハードディスクドライブに備わる浮上スライ
ダを示す概略斜視図である。
FIG. 11 is a schematic perspective view showing a flying slider provided in the hard disk drive.

【図12】従来の複合型磁気ヘッドを媒体摺動面から見
た概略端面図である。
FIG. 12 is a schematic end view of a conventional composite magnetic head viewed from a medium sliding surface.

【図13】磁気ディスク上を浮上スライダが浮上走行し
た状態を示す図である。
FIG. 13 is a diagram showing a state in which a flying slider flies over a magnetic disk.

【図14】磁気テープ装置に備わる磁気ヘッド装置の構
成を示す概略斜視図である。
FIG. 14 is a schematic perspective view showing a configuration of a magnetic head device provided in the magnetic tape device.

【図15】従来のMRヘッドを媒体摺動面から見た概略
端面図である。
FIG. 15 is a schematic end view of a conventional MR head viewed from a medium sliding surface.

【図16】上記従来のMRヘッドの構成を説明するため
の概略平面図である。
FIG. 16 is a schematic plan view for explaining the configuration of the conventional MR head.

【図17】上記従来のMRヘッドの構成を説明するため
の透視斜視図である。
FIG. 17 is a perspective view for explaining the configuration of the conventional MR head.

【図18】上記従来のMRヘッドの媒体摺動面に傷が生
じている状態を示す概略端面図である。
FIG. 18 is a schematic end view showing a state in which a scratch has occurred on a medium sliding surface of the conventional MR head.

【図19】MR素子のデプス方向の高さと再生波形のア
シンメトリとの関係を示す特性図である。
FIG. 19 is a characteristic diagram showing the relationship between the height of the MR element in the depth direction and the asymmetry of the reproduced waveform.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 磁気テープ装置、2 磁気テープ、3 磁気ヘッド
装置、6 回転ドラム、7 MRヘッド、7a 媒体摺
動面、20 MRヘッド、20a 媒体摺動面、24
下層シールド層、25上層シールド層、26 下層ギャ
ップ層、27上層ギャップ層、28 MR素子、30
永久磁石膜、31導電膜、32電極層、40 MRヘッ
ド、40a 媒体摺動面、41 電極層
REFERENCE SIGNS LIST 1 magnetic tape device, 2 magnetic tape, 3 magnetic head device, 6 rotating drum, 7 MR head, 7a medium sliding surface, 20 MR head, 20a medium sliding surface, 24
Lower shield layer, 25 upper shield layer, 26 lower gap layer, 27 upper gap layer, 28 MR element, 30
Permanent magnet film, 31 conductive film, 32 electrode layer, 40 MR head, 40a medium sliding surface, 41 electrode layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5D034 BA03 BA08 BA12 BA19 BB08 BB12 CA00 CA04 DA07 5D111 AA11 AA12 AA19 AA23 DD06 DD24  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 5D034 BA03 BA08 BA12 BA19 BB08 BB12 CA00 CA04 DA07 5D111 AA11 AA12 AA19 AA23 DD06 DD24

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回転ドラムに搭載され、ヘリカルスキャ
ン方式によって磁気テープと摺動しながら、当該磁気テ
ープに記録された信号の再生を行う磁気抵抗効果型磁気
ヘッドにおいて、 上記磁気テープからの信号を検出する磁気抵抗効果素子
と、 上記磁気抵抗効果素子の両端部に配設された一対の電極
層と、 上記磁気抵抗効果素子及び上記一対の電極層をギャップ
層を介して狭持する一対の磁気シールド層とを備え、 上記一対の電極層は、上記磁気テープと摺動する媒体摺
動面に向かって狭窄した形状を有し、当該一対の電極層
の媒体摺動面から露出している側の幅の総和が、上記磁
気抵抗効果素子の媒体摺動面から露出している側の幅に
対して、1倍以上5倍以下であることを特徴とした磁気
抵抗効果型磁気ヘッド。
A magnetoresistive head mounted on a rotating drum and reproducing a signal recorded on a magnetic tape while sliding on the magnetic tape by a helical scan method, wherein a signal from the magnetic tape is read. A magnetoresistive element to be detected; a pair of electrode layers provided at both ends of the magnetoresistive element; A shield layer, wherein the pair of electrode layers has a shape narrowed toward a medium sliding surface that slides on the magnetic tape, and a side of the pair of electrode layers exposed from the medium sliding surface. Wherein the sum of the widths of the magnetoresistive elements is 1 to 5 times the width of the magnetoresistive element exposed from the medium sliding surface.
【請求項2】 上記一対の電極層は、上記媒体摺動面に
向かって斜めに狭窄した形状を有することを特徴とする
請求項1記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
2. The magnetoresistive head according to claim 1, wherein said pair of electrode layers have a shape narrowed obliquely toward said medium sliding surface.
【請求項3】 上記一対の電極層は、上記媒体摺動面に
向かって上記磁気抵抗効果素子と接続される部分のみが
突出する狭窄した形状を有することを特徴とする請求項
1記載の磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
3. The magnetic device according to claim 1, wherein the pair of electrode layers have a constricted shape in which only a portion connected to the magnetoresistive element protrudes toward the medium sliding surface. Resistance effect type magnetic head.
【請求項4】 上記一対の電極層は、上記磁気抵抗効果
素子に対してバイアス磁界を印加するための一対の永久
磁石膜と、これら一対の永久磁石膜上に形成された上記
磁気抵抗効果素子にセンス電流を供給するための一対の
導電膜とを有することを特徴とする請求項1記載の磁気
抵抗効果型磁気ヘッド。
4. The pair of electrode layers includes a pair of permanent magnet films for applying a bias magnetic field to the magnetoresistive element, and the magnetoresistive device formed on the pair of permanent magnet films. 2. The magnetoresistive head according to claim 1, further comprising a pair of conductive films for supplying a sense current to the magnetic head.
【請求項5】 上記媒体摺動面は、円筒研削加工により
曲面とされていることを特徴とする請求項1記載の磁気
抵抗効果型磁気ヘッド。
5. A magnetoresistive head according to claim 1, wherein said medium sliding surface is curved by cylindrical grinding.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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