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JP2002161251A - Adhesive film, method for producing the same, and method for adhering the same - Google Patents

Adhesive film, method for producing the same, and method for adhering the same

Info

Publication number
JP2002161251A
JP2002161251A JP2000361407A JP2000361407A JP2002161251A JP 2002161251 A JP2002161251 A JP 2002161251A JP 2000361407 A JP2000361407 A JP 2000361407A JP 2000361407 A JP2000361407 A JP 2000361407A JP 2002161251 A JP2002161251 A JP 2002161251A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesive
film
adhesive film
weight
parts
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000361407A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshishige Uehara
寿茂 上原
Kazuhito Obata
和仁 小畑
Kenichi Nagao
賢一 長尾
Mari Tanabe
真理 田部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP2000361407A priority Critical patent/JP2002161251A/en
Publication of JP2002161251A publication Critical patent/JP2002161251A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive film capable of minimizing entrapment of air bubbles, when the film is subjected to pressing after roll-laminated, to pro vide a method for producing the same and to provide a method for adhering the adhesive film to an adherend. SOLUTION: This adhesive film is formed by applying an adhesive to a film base material, wherein at least one of both the surfaces of the film base material is matte-finished. The film base material preferably has a surface tension of <=35 dyne/cm.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体部品・材料
や電子部品・材料を接着する際に使用する接着フィルム
とその接着フィルムの製造方法、および接着フィルムに
よる接着方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an adhesive film used for bonding semiconductor parts / materials and electronic parts / materials, a method for producing the adhesive film, and a method for bonding with the adhesive film.

【0002】[0002]

【従来の技術】配線基板に電子部品や放熱板あるいはス
ティフナーを接着させる方法として、接着フィルムを使
う方法がある。その際、まずロールラミネーターを使用
して一方の被着体側に接着フィルムを貼りつけ、しかる
後に、他方の被着体にプレス機やオートクレーブを使用
して接着フィルムを接着させる方法がある。
2. Description of the Related Art As a method of bonding an electronic component, a heat sink, or a stiffener to a wiring board, there is a method of using an adhesive film. At that time, there is a method in which an adhesive film is first adhered to one adherend using a roll laminator, and then the adhesive film is adhered to the other adherend using a press or an autoclave.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】この際、プレス機を使
って接着させる工程は、ロールラミネータに比べると、
基板表面上の凹凸に対応しにくいため気泡が混入しやす
く、また一旦混入した気泡は脱泡しにくいという問題が
あった。その結果、接着剤の硬化あるいははんだリフロ
ー工程などにおいて加熱されると、その密着不良部分の
気泡が肥大して不良原因になるという問題があった。
At this time, the step of bonding using a press machine is more difficult than a roll laminator.
Since it is difficult to cope with irregularities on the substrate surface, there is a problem that air bubbles are easily mixed in, and the air bubbles once mixed are difficult to remove. As a result, when the adhesive is heated in the curing of the adhesive or in the solder reflow process, there is a problem that bubbles in the poor adhesion portion are enlarged and cause a failure.

【0004】これに対して、接着剤表面にエンボスを形
成させる方法(特開平6―216524号公報、特開平
10―92971号公報、)では、エンボス形成のため
に新たな塗工ロールが必要であった。またその際エンボ
スは基材面とは反対側に形成されるため、上述した工程
のうち、気泡が発生しやすいプレス時にエンボス面を貼
り合せることが困難であった。
On the other hand, in the method of forming an emboss on the surface of the adhesive (JP-A-6-216524 and JP-A-10-92971), a new coating roll is required to form the emboss. there were. In this case, since the emboss is formed on the side opposite to the surface of the base material, it is difficult to bond the emboss surface during the press in which air bubbles are likely to be generated in the above-described steps.

【0005】本発明は、上記課題に鑑み、ロールラミネ
ート後のプレス工程の際に、気泡巻き込みを極小にする
ことが可能な接着フィルムとその製造方法、および該接
着フィルムの接着方法に関する。
[0005] In view of the above problems, the present invention relates to an adhesive film capable of minimizing the entrapment of air bubbles in a pressing step after roll lamination, a method of manufacturing the same, and a method of bonding the adhesive film.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は次のものに関す
る。 (1)少なくとも片面がマット処理された表面を有する
フィルム基材上に接着剤が塗布されていることを特徴と
する接着フィルム。 (2)少なくとも片面がマット処理された表面を有する
フィルム基材の表面張力が、35dyn/cm以下である接着
フィルム。 (3)接着剤の主成分が熱硬化性樹脂である接着フィル
ム。 (4)熱硬化性樹脂の主成分がエポキシ樹脂またはアク
リルゴムを含む接着フィルム。 (5)少なくとも片面がマット処理された表面を有し、
かつ表面張力が35dyn/cm以下であるフィルム基材上
に、主成分が熱硬化性樹脂で構成された接着剤組成物を
塗布する接着フィルムの製造方法。 (6)少なくとも片面がマット処理された表面を有し、
かつ表面張力が35dyn/cm以下であるフィルム基材上
に、主成分が熱硬化性樹脂で構成された接着剤組成物を
塗布して得られた接着フィルムの片面に、一方の被着体
に貼り付けた後、接着フィルムのフィルム基材を接着剤
界面から剥離除去して露出した接着剤面に、他方の被着
体を貼りつける接着方法。
The present invention relates to the following. (1) An adhesive film, wherein an adhesive is applied on a film substrate having a matte-treated surface on at least one side. (2) An adhesive film in which the surface tension of a film substrate having a matte-treated surface on at least one side is 35 dyn / cm or less. (3) An adhesive film in which the main component of the adhesive is a thermosetting resin. (4) An adhesive film in which the main component of the thermosetting resin contains an epoxy resin or an acrylic rubber. (5) at least one surface has a matted surface,
A method for producing an adhesive film, comprising applying an adhesive composition mainly composed of a thermosetting resin onto a film substrate having a surface tension of 35 dyn / cm or less. (6) at least one surface has a matted surface,
And, on a film substrate having a surface tension of 35 dyn / cm or less, on one surface of an adhesive film obtained by applying an adhesive composition mainly composed of a thermosetting resin, and on one adherend. A bonding method in which a film substrate of an adhesive film is peeled off and removed from an adhesive interface, and the other adherend is attached to the exposed adhesive surface.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】本発明で使用するフィルム基材と
は、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチ
レンナフタレートなどのポリエステル類、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリスチレン、EVAなどのポリ
オレフィン類、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンな
どのビニル系樹脂、ポリサルホン、ポリエーテルサルホ
ン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、アク
リル樹脂、ポリアセチルセルロースなどのプラスチック
をベース素材とすることができる。これらのフィルムの
うち透明性、耐熱性、取り扱いやすさ、価格の点からポ
リエチレンテレフタレートフィルムまたはポリカーボネ
ートフィルムが好ましい。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The film substrate used in the present invention includes polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate, polyolefins such as polyethylene, polypropylene, polystyrene and EVA, polyvinyl chloride, and polyvinyl chloride. The base material may be a vinyl resin such as vinylidene, or a plastic such as polysulfone, polyethersulfone, polycarbonate, polyamide, polyimide, acrylic resin, or polyacetylcellulose. Among these films, a polyethylene terephthalate film or a polycarbonate film is preferred in terms of transparency, heat resistance, ease of handling, and price.

【0008】フィルム基材は、全可視光透過率が70%
以上で厚さが1mm以下のものが好ましい。フィルム基
材は単層で使うこともできるが、2層以上を組み合わせ
て多層体にすることもできる。
[0008] The film substrate has a total visible light transmittance of 70%.
Those having a thickness of 1 mm or less are preferable. The film substrate may be used in a single layer, but may be formed into a multilayer body by combining two or more layers.

【0009】その際、フィルム基材の厚さは、5〜50
0μmが好ましい。5μm未満になると取り扱い性が悪
くなる傾向があり、500μmを超えると可視光の透過
率が低下してくる傾向がある。フィルム基材の厚さは、
10〜200μmとすることがより好ましい。
At this time, the thickness of the film substrate is 5 to 50.
0 μm is preferred. If it is less than 5 μm, the handleability tends to deteriorate, and if it exceeds 500 μm, the transmittance of visible light tends to decrease. The thickness of the film substrate is
More preferably, the thickness is 10 to 200 μm.

【0010】これらのフィルム基材はマット処理されて
いる。マット処理の程度を定量的に表す指標としては、
フィルムの濁度または表面粗さで表現するのが適切であ
る。すなわち本発明に要求されるマット処理の程度はフ
ィルムの濁度で10%以上であるか、あるいは、フィル
ムの表面粗さがRa値で1.0μm、Rz値で2.5μ
m以上の少なくとも一方を満足させる必要がある。
[0010] These film substrates are matted. As an index that quantitatively represents the degree of mat processing,
It is appropriate to express the turbidity or surface roughness of the film. That is, the degree of matting required in the present invention is 10% or more in terms of turbidity of the film, or the surface roughness of the film is 1.0 μm in Ra value and 2.5 μm in Rz value.
It is necessary to satisfy at least one of m or more.

【0011】一方、フィルム基材のマット処理面は、接
着剤を塗布した後剥離除去されるため、その表面張力が
35dyn/cm以下であることが必要である。この値
が35dyn/cmより大きいと、接着剤塗布後の剥離
除去が困難になる。マット処理されていない、フィルム
基材の背面の表面張力の値に特に制約はないが、離型処
理などが施されていると、フィルム基材のプロッキング
などの発生が抑制されるため好適である。
On the other hand, since the matted surface of the film substrate is peeled off after the application of the adhesive, its surface tension needs to be 35 dyn / cm or less. If this value is larger than 35 dyn / cm, it is difficult to remove the adhesive after applying the adhesive. There is no particular limitation on the value of the surface tension of the back surface of the film substrate that has not been subjected to the matting treatment, but it is preferable that the release treatment or the like is performed because the occurrence of blocking and the like of the film substrate is suppressed. is there.

【0012】本発明の接着層に用いる接着剤としては、
熱硬化性樹脂が好ましいが、それらの中でもエポキシ樹
脂とアクリルゴムからなる熱硬化系がさらに好ましい。
エポキシ樹脂の例では、ビスフェノールA型エポキシ樹
脂やビスフェノールF型エポキシ樹脂、テトラヒドロキ
シフェニルメタン型エポキシ樹脂、ノボラック型エポキ
シ樹脂、レゾルシン型エポキシ樹脂、ポリアルコール・
ポリグリコール型エポキシ樹脂、ポリオレフィン型エポ
キシ樹脂、脂環式やハロゲン化ビスフェノールなどのエ
ポキシ樹脂を使うことが出来る。
The adhesive used in the adhesive layer of the present invention includes:
A thermosetting resin is preferable, and among them, a thermosetting system composed of an epoxy resin and an acrylic rubber is more preferable.
Examples of epoxy resins include bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, tetrahydroxyphenylmethane epoxy resin, novolak epoxy resin, resorcinol epoxy resin, polyalcohol.
Epoxy resins such as polyglycol type epoxy resin, polyolefin type epoxy resin, alicyclic and halogenated bisphenol can be used.

【0013】アクリルゴムの例としては、ポリエチルア
クリレート、ポリブチルアクリレート、ポリ―2―エチ
ルへキシルアクリレート、ポリ―t―ブチルアクリレー
ト、ポリ―3―エトキシプロピルアクリレート、ポリオ
キシカルボニルテトラメタクリレート、ポリメチルアク
リレート、ポリイソプロピルアクリレート、ポリドデシ
ルメタクリレート、ポリテトラデシルメタクリレート、
ポリ―n―プロピルメタクリレート、ポリ―3、3、5
―トリメチルシクロヘキシルメタクリレート、ポリエチ
ルメタクリレート、ポリ―2―ニトロ―2―メチルプロ
ピルメタクリレート、ポリテトラカルバニルメタクリレ
ート、ポリ―1、1―ジエチルプロピルメタクリレー
ト、ポリメチルメタクリレートなどのポリ(メタ)アク
リル酸エステルが使用可能である。これらのアクリルポ
リマーは必要に応じて、2種以上共重合してもよいし、
2種類以上をブレンドして使うことも出来る。
Examples of the acrylic rubber include polyethyl acrylate, polybutyl acrylate, poly-2-ethylhexyl acrylate, poly-t-butyl acrylate, poly-3-ethoxypropyl acrylate, polyoxycarbonyltetramethacrylate, polymethyl Acrylate, polyisopropyl acrylate, polydodecyl methacrylate, polytetradecyl methacrylate,
Poly-n-propyl methacrylate, poly-3, 3, 5
-Poly (meth) acrylates such as trimethylcyclohexyl methacrylate, polyethyl methacrylate, poly-2-nitro-2-methylpropyl methacrylate, polytetracarbanyl methacrylate, poly-1,1-diethylpropyl methacrylate, and polymethyl methacrylate Can be used. If necessary, these acrylic polymers may be copolymerized with two or more kinds,
Two or more types can be blended and used.

【0014】アクリルゴムとエポキシ樹脂をブレンドし
て使う場合、その配合量はアクリルゴム100重量部に
対して、エポキシ樹脂5〜100重量部、さらに10〜
50重量部が好ましい。5重量部より少ないと密着性が
不良で、100重量部より多いと吸湿時の接着力が低下
する傾向にある。
When the acrylic rubber and the epoxy resin are blended and used, the blending amount is 5 to 100 parts by weight of the epoxy resin, and 10 to 10 parts by weight of the acrylic rubber.
50 parts by weight are preferred. When the amount is less than 5 parts by weight, the adhesion is poor, and when the amount is more than 100 parts by weight, the adhesive strength at the time of absorbing moisture tends to decrease.

【0015】さらに、アクリル樹脂とアクリル以外との
共重合樹脂としてはエポキシアクリレート、ウレタンア
クリレート、ポリエーテルアクリレート、ポリエステル
アクリレートなども使うことが出来る。エポキシアクリ
レートとしては、1,6―ヘキサンジオールジグリシジ
ルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエー
テル、アリルアルコールジグリシジルエーテル、レゾル
シノールジグリシジグエーテル、アジピン酸ジグリシジ
ルエステル、フタル酸ジグリシジルエステル、ポリエチ
レングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロール
プロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリ
シジルエーテル、ペンタエリスリト−ルテトラグリシジ
ルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル等
の(メタ)アクリル酸付加物が上げられる。
Furthermore, epoxy acrylate, urethane acrylate, polyether acrylate, polyester acrylate and the like can be used as the copolymer resin of acrylic resin and other than acrylic resin. Epoxy acrylates include 1,6-hexanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, allyl alcohol diglycidyl ether, resorcinol diglycidyl ether, adipic acid diglycidyl ester, phthalic acid diglycidyl ester, polyethylene glycol diglycidyl (Meth) acrylic acid adducts such as ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, pentaerythritol tetraglycidyl ether, sorbitol tetraglycidyl ether and the like can be mentioned.

【0016】これらの樹脂のほかに、熱可塑性樹脂とし
て、天然ゴム、ポリイソプレン、ポリ―1、2―ブタジ
エン、ポリイソブテン、ポリブテン、ポリ―2―ヘプチ
ル―1、3―ブタジエン、ポリ―2―t―ブチル―1、
3―ブタジエン、ポリ―1,3―ブタジエンなどの
(ジ)エン類、ポリオキシエチレン、ポリオキシプロピ
レン、ポリビニルエチルエーテル、ポリビニルへキシル
エーテル、ポリビニルブチルエーテルなどのエーテル
類、ポリビニルアセテート、ポリビニルプロピオネート
などのポリエステル類、ポリウレタン、エチルセルロー
ス、ポリ塩化ビニル、ポリアクリロニトリル、ポリメタ
クリロニトリル、ポリスルホン、ポリスルフィド、フェ
ノキシ樹脂などを混合してもよい。
In addition to these resins, thermoplastic resins such as natural rubber, polyisoprene, poly-1,2-butadiene, polyisobutene, polybutene, poly-2-heptyl-1,3-butadiene, and poly-2-t -Butyl-1,
(Di) enes such as 3-butadiene and poly-1,3-butadiene, ethers such as polyoxyethylene, polyoxypropylene, polyvinyl ethyl ether, polyvinyl hexyl ether and polyvinyl butyl ether, polyvinyl acetate and polyvinyl propionate And polyesters, polyurethane, ethyl cellulose, polyvinyl chloride, polyacrylonitrile, polymethacrylonitrile, polysulfone, polysulfide, phenoxy resin, and the like.

【0017】また、ポリイミド樹脂やポリアミド樹脂を
使用することも出来る。ポリアミド樹脂とアミド以外と
の共重合樹脂として、ポリアミドイミド、ポリアミドエ
ポキシを使用することも出来る。
Also, a polyimide resin or a polyamide resin can be used. Polyamide imide or polyamide epoxy can also be used as a copolymer resin of polyamide resin and other than amide.

【0018】アクリルゴム以外のこれら熱可塑性樹脂を
使う場合、その配合量もやはりアクリルゴムの場合と同
様に、熱可塑性樹脂100重量部に対して、エポキシ樹
脂を5〜100重量部、さらに10〜50重量部が好ま
しい。エポキシ樹脂の配合量が5重量部より少ないと密
着性が不十分で、100重量部を超えると吸湿時の接着
力が低下する。
When these thermoplastic resins other than acrylic rubber are used, the amount of the epoxy resin is 5 to 100 parts by weight, and also 10 to 100 parts by weight of the thermoplastic resin. 50 parts by weight are preferred. If the amount of the epoxy resin is less than 5 parts by weight, the adhesion is insufficient, and if it exceeds 100 parts by weight, the adhesive strength at the time of moisture absorption is reduced.

【0019】一方、熱硬化の反応性基としては、カルボ
キシル基、水酸基、エポキシ基、アミノ基、不飽和炭化
水素基などの官能基を有する樹脂とエポキシ基、水酸
基、アミノ基、アミド基、カルボキシル基、メルカプト
基などの官能基を有する硬化剤あるいは金属塩化物、イ
ソシアネート化合物、酸無水物、金属酸化物、過酸化物
等の硬化剤との組み合わせで用いられる。なお、硬化反
応速度を増加する目的で、触媒などの添加物を使用する
ことも出来る。
On the other hand, the thermosetting reactive group includes a resin having a functional group such as a carboxyl group, a hydroxyl group, an epoxy group, an amino group, and an unsaturated hydrocarbon group, and a resin having an epoxy group, a hydroxyl group, an amino group, an amide group, a carboxyl group. It is used in combination with a curing agent having a functional group such as a group or a mercapto group or a curing agent such as a metal chloride, an isocyanate compound, an acid anhydride, a metal oxide, or a peroxide. In order to increase the curing reaction rate, an additive such as a catalyst may be used.

【0020】接着層は、180℃以下で接着するもの
が、作業性が良好なことから好ましく、170℃以下で
接着するものが、さらに好ましい。また、作業性や被着
体の耐圧性の点から、30kgf/cm2以下で接着す
るものが好ましい。接着層は、取り扱い性や、気泡の混
入が低減できることから、接着シートの形態をしている
ものの方が好ましい。接着層の厚みは、5μm以上であ
ることが好ましく、配線基板や放熱板、スティフナーの
表面粗さの点から、20μm以上がさらに適している。
The adhesive layer is preferably bonded at a temperature of 180 ° C. or lower from the viewpoint of good workability, and more preferably bonded at 170 ° C. or lower. In addition, from the viewpoint of workability and pressure resistance of the adherend, it is preferable that the adhesive be applied at 30 kgf / cm 2 or less. The adhesive layer is preferably in the form of an adhesive sheet because it can be easily handled and the mixing of air bubbles can be reduced. The thickness of the adhesive layer is preferably 5 μm or more, and more preferably 20 μm or more from the viewpoint of the surface roughness of the wiring board, heat sink, and stiffener.

【0021】[0021]

【実施例】次に、実施例において本発明を具体的に述べ
るが、本発明はこれに限定されるものではない。
Next, the present invention will be described in detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0022】(実施例1)下記接着フィルム作製例1に
より作製した接着フィルム1を、ロールラミネータを使
用して、100℃・2Kgf/cm2の条件で厚さ3mm
のアルミ板に貼り合せた。その後接着剤上の基材フィル
ムを剥離除去し、露出した接着剤表面に配線基板(平均
の表面粗さ20μm)を重ね合わせ、150℃のオート
クレーブ中で、窒素ガスを使用して圧力が3kgf/c
2になるように充填し、加熱圧着して、配線基板とア
ルミ放熱板、および接着層よりなる構成体1を得た。
(Example 1) An adhesive film 1 produced according to the following adhesive film production example 1 was coated with a roll laminator at 100 ° C. and 2 kgf / cm 2 at a thickness of 3 mm.
It was bonded to an aluminum plate. Thereafter, the base film on the adhesive was peeled off and the wiring substrate (average surface roughness: 20 μm) was overlaid on the exposed adhesive surface, and the pressure was set to 3 kgf / g in a 150 ° C. autoclave using nitrogen gas. c
m 2 and heated and pressed to obtain a structure 1 including a wiring substrate, an aluminum radiator plate, and an adhesive layer.

【0023】<接着フィルム作製例1>下記接着剤組成
物1をマット処理フィルム(帝人(株)製、商品名U−
71;厚さ50μm、フィルム濁度15、マット処理面
表面張力28dyn/cm)上に、乾燥塗布厚が80μ
mになるように塗布した。このようにして得られた接着
フィルムを接着フィルム1とした。
<Adhesive Film Preparation Example 1> A matte-treated film (manufactured by Teijin Limited, trade name U-
71; thickness 50 μm, film turbidity 15, matte surface tension 28 dyn / cm), dry coating thickness 80 μm
m. The adhesive film thus obtained was used as an adhesive film 1.

【0024】 <接着剤組成物1> エピコートYL−983U(油化シェルエポキシ(株)製商品名、ビスフェノー ルF型エポキシ樹脂) 40重量部 HTR‐708‐6T(帝国化学産業(株)製商品名、高分子量アクリル樹脂) 60重量部 エピコート1001(油化シェルエポキシ(株)製商品名、ビスフェノールA型 エポキシ樹脂) 10重量部 スミジュールN(住友バイエルウレタン(株)商品名、脂肪族3官能イソシアネ ート) 5重量部 2‐エチル‐4‐メチルイミダゾール 0.5重量部 アルミナ(平均粒径:5μm) 80重量部 メチルエチルケトン(以下、MEKという) 15重量部<Adhesive Composition 1> Epicoat YL-983U (trade name of Yuka Shell Epoxy Co., Ltd., bisphenol F type epoxy resin) 40 parts by weight HTR-708-6T (trade name of Teikoku Chemical Industry Co., Ltd.) Name, high molecular weight acrylic resin) 60 parts by weight Epicoat 1001 (trade name of Yuka Shell Epoxy Co., Ltd., bisphenol A type epoxy resin) 10 parts by weight Sumidur N (Sumitomo Bayer Urethane Co., Ltd.), aliphatic trifunctional Isocyanate) 5 parts by weight 2-Ethyl-4-methylimidazole 0.5 parts by weight Alumina (average particle size: 5 μm) 80 parts by weight Methyl ethyl ketone (hereinafter referred to as MEK) 15 parts by weight

【0025】(実施例2)下記接着フィルム作製例2に
より作製した接着フィルム2を、ロールラミネータを使
用して、90℃・5Kgf/cm2の条件で厚さ5mmの
ステンレス板に貼り合せた。その後接着剤上の基材フィ
ルムを剥離除去し、露出した接着剤表面に配線基板(平
均の表面粗さ35μm)を重ね合わせ、170℃のオー
トクレーブ中で、窒素ガスを使用して圧力が10kgf
/cm2になるように充填し、加熱圧着して、配線基板
とステンレス放熱板、および接着層よりなる構成体2を
得た。
(Example 2) The adhesive film 2 produced in the following adhesive film production example 2 was bonded to a stainless steel plate having a thickness of 5 mm at 90 ° C and 5 kgf / cm 2 using a roll laminator. Thereafter, the base film on the adhesive was peeled off, and a wiring board (average surface roughness: 35 μm) was placed on the exposed adhesive surface, and the pressure was set to 10 kgf in a 170 ° C. autoclave using nitrogen gas.
/ Cm 2 and heated and pressed to obtain a structure 2 including a wiring board, a stainless steel radiator plate, and an adhesive layer.

【0026】<接着フィルム作製例2>下記接着剤組成
物2をマット処理フィルム(帝人(株)製、商品名M−
71;厚さ38μm、フィルム濁度40、マット処理面
表面張力26dyn/cm)上に、乾燥塗布厚が100
μmになるように塗布した。このようにして得られた接
着フィルムを接着フィルム2とした。
<Adhesive Film Production Example 2> A matte-treated film (trade name: M-
71; thickness 38 μm, film turbidity 40, matte surface tension 26 dyn / cm) and dry coating thickness 100
It was applied to a thickness of μm. The adhesive film thus obtained was used as an adhesive film 2.

【0027】 <接着剤組成物2> TBA‐HME(日立化成工業(株)製商品名、高分子量エポキシ樹脂) 100重量部 YD‐8125(東都化成(株)商品名、ビスフェノールA型エポキシ樹脂) 25重量部 IPDI(日立化成工業(株)製商品名、マスクイソシアネート) 10重量部 2‐エチル‐4‐メチルイミダゾール 0.5重量部 アルミナ(粒径:5μm) 90重量部 MEK 30重量部<Adhesive composition 2> TBA-HME (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., high molecular weight epoxy resin) 100 parts by weight YD-8125 (trade name, Toto Kasei Co., Ltd., bisphenol A epoxy resin) 25 parts by weight IPDI (trade name, mask isocyanate manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) 10 parts by weight 2-ethyl-4-methylimidazole 0.5 part by weight Alumina (particle size: 5 μm) 90 parts by weight MEK 30 parts by weight

【0028】(実施例3)下記接着フィルム作製例3に
より作製した接着フィルム3を、ロールラミネータを使
用して、100℃・3Kgf/cm2の条件で厚さ7.5
mmのニッケル板に貼り合せた。その後接着剤上の基材
フィルムを剥離除去し、露出した接着剤表面に配線基板
(平均の表面粗さ25μm)を重ね合わせ、160℃の
オートクレーブ中で、窒素ガスを使用して圧力が15k
gf/cm2になるように充填し、加熱圧着して、配線
基板とニッケル放熱板、および接着層よりなる構成体3
を得た。
Example 3 An adhesive film 3 produced in the following adhesive film production example 3 was used at a temperature of 100 ° C. and 3 kgf / cm 2 at a thickness of 7.5 using a roll laminator.
mm nickel plate. Thereafter, the base film on the adhesive was peeled off, and a wiring board (average surface roughness: 25 μm) was superposed on the exposed adhesive surface, and the pressure was increased to 15 k in an autoclave at 160 ° C. using nitrogen gas.
gf / cm 2 , and heat and pressure bonded to form a structure 3 comprising a wiring board, a nickel radiator plate, and an adhesive layer
I got

【0029】<接着フィルム作製例3>下記接着剤組成
物3をマット処理フィルム(帝人(株)製、商品名U−
71;厚さ50μm、フィルム濁度15、マット処理面
表面張力28dyn/cm)上に、乾燥塗布厚が75μ
mになるように塗布した。このようにして得られた接着
フィルムを接着フィルム3とした。
<Adhesive Film Preparation Example 3> The following adhesive composition 3 was used as a matted film (manufactured by Teijin Limited, trade name U-
71; thickness 50 μm, film turbidity 15, matte surface tension 28 dyn / cm), and dry coating thickness 75 μm
m. The adhesive film thus obtained was used as an adhesive film 3.

【0030】 <接着剤組成物3> エピコート828(油化シェルエポキシ(株)製商品名、ビスフェノールA型エ ポキシ樹脂) 80重量部 HTR‐708‐6T(帝国化学産業(株)製商品名、高分子量アクリル樹脂) 5重量部 ESCN190‐3(住友化学(株)製商品名、クレゾールノボラック型エポキ シ樹脂) 20重量部 スミジュールN(住友バイエルウレタン(株)商品名、脂肪族3官能イソシアネ ート) 5重量部 2‐エチル‐4‐メチルイミダゾール 0.5重量部 アルミナ(粒径:5μm) 80重量部<Adhesive Composition 3> Epicoat 828 (trade name, manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd., bisphenol A type epoxy resin) 80 parts by weight HTR-708-6T (trade name, manufactured by Teikoku Chemical Industry Co., Ltd.) High molecular weight acrylic resin) 5 parts by weight ESCN190-3 (trade name, manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., cresol novolak type epoxy resin) 20 parts by weight Sumidur N (Sumitomo Bayer Urethane Co., Ltd., aliphatic trifunctional isocyanate) G) 5 parts by weight 2-ethyl-4-methylimidazole 0.5 parts by weight Alumina (particle size: 5 μm) 80 parts by weight

【0031】(実施例4)オートクレーブの圧力が20
kgf/cm2であること以外は、全て実施例1と同様
にして構成体4を得た。
Example 4 The autoclave pressure was 20
A structure 4 was obtained in the same manner as in Example 1, except that the composition was kgf / cm 2 .

【0032】(実施例5)接着剤厚が50μmであるこ
と以外は、全て実施例1と同様にして構成体5を得た。
Example 5 A structure 5 was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the adhesive was 50 μm.

【0033】(比較例1)マット処理PETの代わり
に、通常の表面処理PET(東洋紡(株)製、商品名A
−4100、厚さ50μm、フィルム濁度3.0、表面
張力30dyn/cm)を使用した以外は、全て実施例
1と同様にして構成体6を得た。
(Comparative Example 1) Instead of mat-treated PET, ordinary surface-treated PET (trade name A, manufactured by Toyobo Co., Ltd.)
Except for using -4100, a thickness of 50 µm, a film turbidity of 3.0, and a surface tension of 30 dyn / cm), a construction 6 was obtained in the same manner as in Example 1.

【0034】(比較例2)マット処理PETの表面張力
が40dyn/cmのものを使用した以外は全て実施例
2と同様にして構成体7を得た。
Comparative Example 2 A structure 7 was obtained in the same manner as in Example 2 except that a mat-treated PET having a surface tension of 40 dyn / cm was used.

【0035】(比較例3)実施例3における構成体3の
製造において、以下の手順以外はすべて実施例3と同様
にして構成体8を得た。すなわち、接着フィルム作製
後、ロールラミネータを使用して、接着フィルムのマッ
ト処理PETフィルム側をニッケル板に貼り合せ、つい
でその反対面側に配線基板を貼り合せて構成体8を作製
した。
Comparative Example 3 In the manufacture of the structure 3 in Example 3, a structure 8 was obtained in the same manner as in Example 3 except for the following procedure. That is, after preparing the adhesive film, the matte-treated PET film side of the adhesive film was bonded to a nickel plate using a roll laminator, and then a wiring substrate was bonded to the opposite surface side, thereby forming a structure 8.

【0036】なお、配線基板の表面粗さは、表面粗さ測
定装置(ミツトヨ(株)製、SV―400)を使用し
て、配線基板表面の縦方向・横方向を5mm間隔(測定
幅:50mm)で測定し、最大値をその基板の表面粗さ
の値とした。前記実施例1〜5及び比較例1〜3で得ら
れた構成体の特性を次の方法で測定した。接着力は、接
着力測定用サンプルとして、放熱板の代わりに銅箔を使
用して構成体を作製し、引張り試験機(東洋ボールドウ
ィン(株)製、テンシロンUTM‐4‐100)を用い
て、幅10mm、90°方向、50mm/分で測定し
た。気泡の有無は、超音波探査映像装置(日立建機
(株)製、AT5500)を用いて、構成体を放熱板側
から観察した。はんだリフローは、はんだバス(温度2
60℃)に構成体を投入し、1分経過後、浮き・剥がれ
がなかったものをOK、浮き・剥がれが発生したものを
NGとした。前記実施例1〜5及び比較例1〜3で得ら
れた構成体の構成及び特性を表1に示す。
The surface roughness of the wiring board was measured by using a surface roughness measuring device (SV-400, manufactured by Mitutoyo Corporation) at intervals of 5 mm in the vertical and horizontal directions of the wiring board surface (measurement width: 50 mm), and the maximum value was taken as the value of the surface roughness of the substrate. The properties of the structures obtained in Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3 were measured by the following methods. The adhesive force was prepared as a sample for measuring adhesive force using a copper foil instead of a heat sink, and using a tensile tester (manufactured by Toyo Baldwin Co., Ltd., Tensilon UTM-4-100). The measurement was performed at a width of 10 mm, a direction of 90 ° and 50 mm / min. The presence or absence of air bubbles was observed from the side of the heat sink using an ultrasonic imager (AT5500, manufactured by Hitachi Construction Machinery Co., Ltd.). Solder reflow is performed using a solder bath (temperature 2
The composition was charged at 60 ° C.), and after 1 minute, the sample without floating and peeling was rated OK, and the sample with floating and peeling was rated NG. Table 1 shows the configurations and characteristics of the structures obtained in Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 3.

【表1】 [Table 1]

【0037】[0037]

【発明の効果】本発明の接着フィルムおよび接着方法に
より、配線基板と放熱板との間に混入する気泡を低減で
きるため、密着不良を解消することが出来るため、従来
より信頼性の良好な配線基板と放熱板を作製することが
出来る。
According to the adhesive film and the adhesive method of the present invention, air bubbles mixed between the wiring board and the heat radiating plate can be reduced, and the poor adhesion can be eliminated. A substrate and a heat sink can be manufactured.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田部 真理 茨城県下館市大字五所宮1150番地 日立化 成工業株式会社五所宮事業所内 Fターム(参考) 4J004 AA02 AA10 AA13 AB05 CA02 CA03 CA04 CA06 CC02 CD07 FA05 FA08  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Mari Tabe 1150 Goshomiya, Odate, Shimodate City, Ibaraki Prefecture F-term in Goshomiya Office, Hitachi Chemical Co., Ltd. 4J004 AA02 AA10 AA13 AB05 CA02 CA03 CA04 CA06 CC02 CD07 FA05 FA08

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも片面がマット処理されたフィ
ルム基材上に接着剤が塗布されていることを特徴とする
接着フィルム。
1. An adhesive film characterized in that an adhesive is applied on a film substrate on which at least one surface is matted.
【請求項2】 少なくとも片面がマット処理されたフィ
ルム基材の表面張力が、35dyn/cm以下であることを特
徴とする請求項1に記載の接着フィルム。
2. The adhesive film according to claim 1, wherein the surface tension of the film substrate on which at least one surface is matted is 35 dyn / cm or less.
【請求項3】 接着剤の主成分が熱硬化性樹脂であるこ
とを特徴とする請求項1ないし請求項2のいずれかに記
載の接着フィルム。
3. The adhesive film according to claim 1, wherein a main component of the adhesive is a thermosetting resin.
【請求項4】 熱硬化性樹脂の主成分がエポキシ樹脂ま
たはアクリルゴムを含むことを特徴とする請求項1〜3
のいずれかに記載の接着フィルム。
4. The thermosetting resin according to claim 1, wherein a main component of the thermosetting resin includes an epoxy resin or an acrylic rubber.
The adhesive film according to any one of the above.
【請求項5】 少なくとも片面がマット処理されてお
り、かつその表面張力が35dyn/cm以下であるフィルム
基材上に、熱硬化性樹脂を主成分とする接着剤組成物を
塗布することを特徴とする接着フィルムの製造方法。
5. An adhesive composition containing a thermosetting resin as a main component is applied to a film substrate having at least one surface subjected to a mat treatment and having a surface tension of 35 dyn / cm or less. Method for producing an adhesive film.
【請求項6】 少なくとも片面がマット処理されてお
り、かつその表面張力が35dyn/cm以下であるフィルム
基材上に、熱硬化性樹脂を主成分とする接着剤組成物を
塗布して得られる接着フィルムを使用して2つの被着体
を貼り合せる際に、接着フィルムの基材フィルムと反対
側の接着剤の表面に、一方の被着体をラミネータを使用
して貼り付け、しかる後、接着フィルムのフィルム基材
を接着剤界面から剥離除去して露出した接着剤面に、他
方の被着体をプレス機またはオートクレーブを使用して
貼り付けることを特徴とする接着方法。
6. An adhesive composition containing a thermosetting resin as a main component is coated on a film substrate having at least one surface matted and having a surface tension of 35 dyn / cm or less. When bonding two adherends using an adhesive film, one adherend is attached using a laminator to the surface of the adhesive opposite to the base film of the adhesive film, and then, A bonding method, wherein the other adherend is attached to the exposed adhesive surface by peeling and removing a film substrate of the adhesive film from an adhesive interface using a press or an autoclave.
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