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JP2002145916A - Active energy ray-curable resin composition - Google Patents

Active energy ray-curable resin composition

Info

Publication number
JP2002145916A
JP2002145916A JP2000338939A JP2000338939A JP2002145916A JP 2002145916 A JP2002145916 A JP 2002145916A JP 2000338939 A JP2000338939 A JP 2000338939A JP 2000338939 A JP2000338939 A JP 2000338939A JP 2002145916 A JP2002145916 A JP 2002145916A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
active energy
energy ray
curable resin
resin composition
polymerizable compound
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000338939A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Teramae
敦司 寺前
Takanori Anazawa
孝典 穴澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kawamura Institute of Chemical Research
Original Assignee
Kawamura Institute of Chemical Research
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kawamura Institute of Chemical Research filed Critical Kawamura Institute of Chemical Research
Priority to JP2000338939A priority Critical patent/JP2002145916A/en
Publication of JP2002145916A publication Critical patent/JP2002145916A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an active energy ray-curable resin composition capable of easily producing a cured product having high surface hydrophilicity despite having unswelling tendency to water and giving extremely fine structure through active energy ray pattern exposure. SOLUTION: This active energy ray-curable resin composition comprises (a) an active energy ray-curable compound giving the corresponding homopolymer with its contact angle with water of >=50 deg., (b) an amphipathic polymerizable compound capable of forming a copolymer with the compound (a) on being irradiated with active energy rays and (c) a polymerization retarder and/or polymerization inhibitor.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、親水性の表面を与
える活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に関し、特に活
性エネルギー線のパターニング照射によって微小構造を
形成するのに適した樹脂組成物に関する。本発明の活性
エネルギー線硬化性樹脂組成物は、DNAチップ、マイ
クロ・リアクター、微小電気泳動デバイス等の微小ケミ
カルデバイスや、免疫診断デバイス等のバイオセンサー
等に好ましく用いられる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an active energy ray-curable resin composition providing a hydrophilic surface, and more particularly to a resin composition suitable for forming a microstructure by patterning irradiation of active energy rays. The active energy ray-curable resin composition of the present invention is preferably used for a microchemical device such as a DNA chip, a microreactor, and a microelectrophoresis device, and a biosensor such as an immunodiagnostic device.

【0002】[0002]

【従来の技術】DNAチップ、マイクロ電気泳動デバイ
ス、マイクロPCRデバイス等の微小ケミカルデバイス
は、微小なサンプル量で分析・診断が可能なだけでな
く、分析・診断速度の著しい向上が計れることが知られ
ている。しかしながら、これまでに知られている殆どの
微小ケミカルデバイスは、シリコン、ガラス、石英等を
素材とする高価なものであった。
2. Description of the Related Art It is known that microchemical devices such as DNA chips, microelectrophoresis devices, and microPCR devices can not only perform analysis and diagnosis with a small sample amount but also significantly improve the speed of analysis and diagnosis. Have been. However, most of the microchemical devices known so far are expensive devices made of silicon, glass, quartz or the like.

【0003】最近、安価なデバイスとして、プラスチッ
クを素材とするデバイスの作成が試みられているが、プ
ラスチックは蛋白質などの生化学物質をガラスやシリコ
ン等に比べて吸着し易く、極微量或いは極希薄濃度の試
料を取り扱う場合には、吸着により試料の一部又は相当
部分が失われるという問題があった。
Recently, attempts have been made to make devices made of plastic as inexpensive devices. However, plastics are more likely to adsorb biochemical substances such as proteins than glass or silicon, and have a trace amount or a very low dilution. When handling a sample having a concentration, there is a problem that a part or a substantial part of the sample is lost due to adsorption.

【0004】この欠点の解決方法として、プラスチック
表面を親水化することが試みられている。そして、一般
的なプラスチックの親水化方法として、コロナ処理、プ
ラズマ処理、紫外線処理などの物理的表面処理;スルホ
ン化などの化学的表面処理;界面活性剤や親水性物質の
練り込み法;成形材料として親水基を有する重合体の使
用;親水性重合体によるコーティング等が知られてい
る。
As a solution to this drawback, attempts have been made to make the plastic surface hydrophilic. Examples of general methods for hydrophilizing plastics include physical surface treatments such as corona treatment, plasma treatment, and ultraviolet treatment; chemical surface treatments such as sulfonation; kneading methods of surfactants and hydrophilic substances; Use of a polymer having a hydrophilic group; coating with a hydrophilic polymer and the like are known.

【0005】これらの親水化法の中で、微小ケミカルデ
バイスの接液部となる微小な凹部(溝やウェル)や微小
な空洞の表面の親水化に適用可能であり、かつ生化学物
質の吸着を抑制するほどの高い親水化が可能な方法とし
て、化学的表面処理法や表面グラフト法が挙げられる
が、低い吸着性を示す系が限られていたり、工程が複雑
であったり、微細なパターンの親水性部分を形成するこ
とが困難であるなどの問題があった。
[0005] Among these hydrophilization methods, it is applicable to hydrophilization of the surface of minute concaves (grooves and wells) or minute cavities serving as a liquid contacting part of a microchemical device, and adsorbs biochemical substances. Chemical surface treatment and surface grafting can be mentioned as methods that can achieve high hydrophilicity enough to suppress the occurrence of low hydrophilicity. However, there was a problem that it was difficult to form a hydrophilic portion.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、水に対して非膨潤性でありながら高い表面
親水性を示し、且つ活性エネルギー線のパターン露光に
よって極めて微細な構造を有する硬化物を容易に形成し
うる活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を提供すること
にある。
The problem to be solved by the present invention is to exhibit high surface hydrophilicity while being non-swelling with water and to have an extremely fine structure by pattern exposure to active energy rays. An object of the present invention is to provide an active energy ray-curable resin composition which can easily form a cured product.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の課
題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、活性エネルギー
線重合性化合物と両親媒性の重合性化合物から成る組成
物に重合遅延剤及び/又は重合禁止剤を添加した樹脂組
成物が、上記課題を解決できることを見出して本発明を
完成するに至った。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have found that a composition comprising an active energy ray-polymerizable compound and an amphiphilic polymerizable compound has a polymerization delay. The present inventors have found that a resin composition to which an agent and / or a polymerization inhibitor has been added can solve the above-mentioned problems, and have completed the present invention.

【0008】即ち、本発明は、(1)その単独重合体の
水との接触角が50度以上である、活性エネルギー線重
合性化合物(a)と、活性エネルギー線照射により活性
エネルギー線重合性化合物(a)と共重合体を形成しう
る、両親媒性の重合性化合物(b)と、重合遅延剤及び
/又は重合禁止剤とを含有する活性エネルギー線硬化性
樹脂組成物と、
That is, the present invention relates to (1) an active energy ray polymerizable compound (a) in which the contact angle of the homopolymer with water is 50 ° or more; An active energy ray-curable resin composition containing an amphiphilic polymerizable compound (b) capable of forming a copolymer with the compound (a) and a polymerization retarder and / or a polymerization inhibitor;

【0009】(2)活性エネルギー線硬化性樹脂組成物
に含有される重合遅延剤及び/又は重合禁止剤の添加量
が、活性エネルギー線照射によって該活性エネルギー線
硬化性樹脂組成物に流動性を喪失させるに要する活性エ
ネルギー線の線量が、重合遅延剤及び/又は重合禁止剤
非添加系の1.5〜50倍となる量である(1)に記載
の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物と、
(2) The amount of the polymerization retarder and / or the polymerization inhibitor contained in the active energy ray-curable resin composition is adjusted so that the active energy ray-curable resin composition has fluidity by irradiation with the active energy ray. The active energy ray-curable resin composition according to (1), wherein the dose of the active energy ray required for the loss is 1.5 to 50 times that of the system without the polymerization retarder and / or the polymerization inhibitor. ,

【0010】(3)活性エネルギー線重合性化合物
(a)が、1分子中に2個以上の重合性炭素−炭素不飽
和結合を有する化合物であり、且つ両親媒性の重合性化
合物(b)が、1分子中に1個以上の重合性炭素−炭素
不飽和結合を有する化合物である(1)又は(2)に記
載の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物と、
(3) The active energy ray polymerizable compound (a) is a compound having two or more polymerizable carbon-carbon unsaturated bonds in one molecule, and is an amphiphilic polymerizable compound (b). Is an active energy ray-curable resin composition according to (1) or (2), which is a compound having one or more polymerizable carbon-carbon unsaturated bonds in one molecule.

【0011】(4)両親媒性の重合性化合物(b)が、
25℃のシクロヘキサン:トルエン=5:1(重量比)
の混合溶媒に25重量%以上溶解し、且つ0℃の水に対
して0.5重量%以上溶解する(1)〜(3)のいずれ
か1つに記載の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物と、
(4) The amphiphilic polymerizable compound (b) is
Cyclohexane: toluene at 25 ° C. = 5: 1 (weight ratio)
The active energy ray-curable resin composition according to any one of (1) to (3), which is soluble in a mixed solvent of 25% by weight or more and 0.5% by weight or more in water at 0 ° C. When,

【0012】(5)両親媒性の重合性化合物(b)のグ
リフィンのHLB値が、10〜16である(1)〜
(4)のいずれか1つに記載の活性エネルギー線硬化性
樹脂組成物と、
(5) The HLB value of the glycine of the amphiphilic polymerizable compound (b) is from 10 to 16.
(4) The active energy ray-curable resin composition according to any one of (4),

【0013】(6)両親媒性の重合性化合物(b)が、
繰り返し数6〜20のポリエチレングリコール鎖を有す
る化合物である(1)〜(5)のいずれか1つに記載の
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物と、
(6) The amphiphilic polymerizable compound (b) is
The active energy ray-curable resin composition according to any one of (1) to (5), which is a compound having a polyethylene glycol chain having 6 to 20 repetitions,

【0014】(7)両親媒性の重合性化合物(b)が、
炭素原子数6〜20のアルキル基又はアルキレン基を有
する化合物である(1)〜(6)のいずれか1つに記載
の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物と、
(7) The amphiphilic polymerizable compound (b) is
The active energy ray-curable resin composition according to any one of (1) to (6), which is a compound having an alkyl group or an alkylene group having 6 to 20 carbon atoms,

【0015】(8)両親媒性の重合性化合物(b)が、
炭素数6〜20個のアルキル基を有するアルキルフェニ
ル基含有化合物である(1)〜(7)のいずれか1つに
記載の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物と、
(8) The amphiphilic polymerizable compound (b) is
The active energy ray-curable resin composition according to any one of (1) to (7), which is an alkylphenyl group-containing compound having an alkyl group having 6 to 20 carbon atoms,

【0016】(9)活性エネルギー線硬化性樹脂組成物
に含有される両親媒性の重合性化合物(b)の量が、活
性エネルギー線重合性化合物(a)1重量部に対して
0.1〜5重量部である(1)〜(8)のいずれか1つ
に記載の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物とを含むも
のである。
(9) The amount of the amphiphilic polymerizable compound (b) contained in the active energy ray-curable resin composition is 0.1 to 1 part by weight of the active energy ray-polymerizable compound (a). And the active energy ray-curable resin composition according to any one of (1) to (8), which is 5 to 5 parts by weight.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】本発明の活性エネルギー線硬化性
樹脂組成物は、活性エネルギー線重合性化合物(a)
と、活性エネルギー線照射により活性エネルギー線重合
性化合物(a)と共重合体を形成しうる、両親媒性の重
合性化合物(b)と、重合遅延剤及び/又は重合禁止剤
とを含有する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The active energy ray-curable resin composition of the present invention comprises an active energy ray-polymerizable compound (a).
And an amphiphilic polymerizable compound (b) capable of forming a copolymer with the active energy ray polymerizable compound (a) upon irradiation with active energy rays, and a polymerization retarder and / or a polymerization inhibitor. .

【0018】活性エネルギー線重合性化合物(a)は活
性エネルギー線により重合して架橋重合体となる化合物
であり、且つ、その単独重合体が水との接触角50度以
上、好ましくは60度以上、更に好ましくは70度以上
を示すものである。その単独重合体の水との接触角がこ
の値未満であると、得られる成形物が水に対して膨潤性
となったり、耐水性に劣るものとなったり、あるいは表
面親水性の程度が低いものとなりがちである。
The active energy ray polymerizable compound (a) is a compound which is polymerized by an active energy ray to form a crosslinked polymer, and the homopolymer has a contact angle with water of 50 ° or more, preferably 60 ° or more. And more preferably 70 ° or more. When the contact angle of the homopolymer with water is less than this value, the obtained molded product becomes swellable with water, or has poor water resistance, or has a low degree of surface hydrophilicity. It tends to be something.

【0019】活性エネルギー線重合性化合物(a)は、
その単独重合体が示す水との接触角の上限については特
に限定する必要はなく、180度であり得るが、得られ
る成型物の親水性を減じないためには100度以下であ
ることが好ましく、90度以下であることが更に好まし
い。
The active energy ray polymerizable compound (a) is
The upper limit of the contact angle with water represented by the homopolymer is not particularly limited and may be 180 degrees, but is preferably 100 degrees or less so as not to reduce the hydrophilicity of the obtained molded product. , 90 ° or less.

【0020】活性エネルギー線重合性化合物(a)は、
付加重合、開環重合、縮合重合など、任意の重合様式で
架橋重合体となるものであって良い。重合様式が付加重
合鉈は開環重合の場合には、ラジカル重合性、アニオン
重合性、カチオン重合性等の任意のものであってよい。
重合様式が縮合重合である場合には、活性エネルギー線
重合性化合物(a)は1組の化合物であって良い。これ
らは、重合開始剤の非存在下で重合するものに限らず、
重合開始剤の存在下でのみ活性エネルギー線により重合
するものも使用することができる。
The active energy ray polymerizable compound (a) is
The polymer may be a crosslinked polymer in any polymerization mode such as addition polymerization, ring-opening polymerization, and condensation polymerization. When the polymerization mode is addition polymerization, ring-opening polymerization may be any of radical polymerization, anion polymerization, and cation polymerization.
When the polymerization mode is condensation polymerization, the active energy ray polymerizable compound (a) may be a set of compounds. These are not limited to those that polymerize in the absence of a polymerization initiator,
Those which polymerize with active energy rays only in the presence of a polymerization initiator can also be used.

【0021】活性エネルギー線重合性化合物(a)とし
ては、1分子中に2個以上の重合性の炭素−炭素二重結
合を有する物が好ましく、末端エチレン基を少なくとも
2個含有する重合性不飽和化合物が好ましく、中でも、
反応性の高い(メタ)アクリロイル基を有する化合物
[以下、「(メタ)アクリロイル」は、「メタクリロイ
ル又はアクリロイル」を意味する。(メタ)アクリレー
ト、(メタ)アクリルなどについても同様である。]や
ビニルエーテル類、また光重合開始剤の不存在下でも紫
外線によって硬化するマレイミド系化合物が好ましい。
As the active energy ray polymerizable compound (a), a compound having two or more polymerizable carbon-carbon double bonds in one molecule is preferable, and a polymerizable compound having at least two terminal ethylene groups is preferable. Saturated compounds are preferred, and among others,
Compound having a highly reactive (meth) acryloyl group [hereinafter, “(meth) acryloyl” means “methacryloyl or acryloyl”. The same applies to (meth) acrylate, (meth) acryl and the like. And vinyl ethers, and a maleimide compound which is cured by ultraviolet light even in the absence of a photopolymerization initiator.

【0022】活性エネルギー線重合性化合物(a)とし
て使用できる(メタ)アクリル系モノマー[即ち、(メ
タ)アクリロイル基を有する単量体]としては、例え
ば、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネ
オペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6
−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、2,2’
−ビス(4−(メタ)アクリロイルオキシポリエチレン
オキシフェニル)プロパン、2,2’−ビス(4−(メ
タ)アクリロイルオキシポリプロピレンオキシフェニ
ル)プロパン、ヒドロキシジピバリン酸ネオペンチルグ
リコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル
ジアクリレート、ビス(アクロキシエチル)ヒドロキシ
エチルイソシアヌレートの如き2官能モノマー;
Examples of the (meth) acrylic monomer [that is, a monomer having a (meth) acryloyl group] which can be used as the active energy ray polymerizable compound (a) include, for example, diethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol Di (meth) acrylate, 1,6
-Hexanediol di (meth) acrylate, 2,2 ′
-Bis (4- (meth) acryloyloxypolyethyleneoxyphenyl) propane, 2,2'-bis (4- (meth) acryloyloxypolypropyleneoxyphenyl) propane, neopentylglycol hydroxydipivalate di (meth) acrylate, di Bifunctional monomers such as cyclopentanyl diacrylate, bis (acryloxyethyl) hydroxyethyl isocyanurate;

【0023】トリメチロールプロパントリ(メタ)アク
リレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレ
ート、トリス(アクロキシエチル)イソシアヌレート、
カプロラクトン変性トリス(アクロキシエチル)イソシ
アヌレートの如き3官能モノマー;ペンタエリスリトー
ルテトラ(メタ)アクリレートの如き4官能モノマー;
ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートの
如き6官能モノマーなどが挙げられる。
Trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth) acrylate, tris (acryloxyethyl) isocyanurate,
Trifunctional monomers such as caprolactone-modified tris (acryloxyethyl) isocyanurate; tetrafunctional monomers such as pentaerythritol tetra (meth) acrylate;
Hexafunctional monomers such as dipentaerythritol hexa (meth) acrylate are exemplified.

【0024】また、活性エネルギー線重合性化合物
(a)として、重合性オリゴマー(プレポリマーとも呼
ばれる)も用いることもでき、例えば、重量平均分子量
が500〜50000のものが挙げられる。そのような
重合性オリゴマーしては、例えば、エポキシ樹脂の(メ
タ)アクリル酸エステル、ポリエーテル樹脂の(メタ)
アクリル酸エステル、ポリブタジエン樹脂の(メタ)ア
クリル酸エステル、分子末端に(メタ)アクリロイル基
を有するポリウレタン樹脂などが挙げられる。
Further, as the active energy ray polymerizable compound (a), a polymerizable oligomer (also referred to as a prepolymer) can be used, and examples thereof include those having a weight average molecular weight of 500 to 50,000. Such polymerizable oligomers include, for example, (meth) acrylates of epoxy resins and (meth) acrylates of polyether resins.
Acrylic esters, (meth) acrylic esters of polybutadiene resins, polyurethane resins having (meth) acryloyl groups at molecular terminals, and the like.

【0025】これらの化合物は、単独で用いることも、
2種類以上を混合して用いることもできる。特に、高分
子量のオリゴマーは、低分子量の活性エネルギー線重合
性化合物(a)と併用することが好ましい。
These compounds can be used alone or
Two or more types can be used in combination. In particular, the high molecular weight oligomer is preferably used in combination with the low molecular weight active energy ray polymerizable compound (a).

【0026】マレイミド系の架橋重合性モノマーとして
は、例えば、4,4’−メチレンビス(N−フェニルマ
レイミド)、2,3−ビス(2,4,5−トリメチル−
3−チエニル)マレイミド、1,2−ビスマレイミドエ
タン、1,6−ビスマレイミドヘキサン、トリエチレン
グリコールビスマレイミド、N,N’−m−フェニレン
ジマレイミド、m−トリレンジマレイミド、N,N’−
1,4−フェニレンジマレイミド、N,N’−ジフェニ
ルメタンジマレイミド、
Examples of the maleimide-based crosslinkable polymerizable monomer include 4,4'-methylenebis (N-phenylmaleimide) and 2,3-bis (2,4,5-trimethyl-
3-thienyl) maleimide, 1,2-bismaleimideethane, 1,6-bismaleimidehexane, triethylene glycol bismaleimide, N, N'-m-phenylenedimaleimide, m-tolylenedimaleimide, N, N'-
1,4-phenylenedimaleimide, N, N′-diphenylmethane dimaleimide,

【0027】N,N’−ジフェニルエーテルジマレイミ
ド、N,N’−ジフェニルスルホンジマレイミド、1,
4−ビス(マレイミドエチル)−1,4−ジアゾニアビ
シクロ−[2,2,2]オクタンジクロリド、4,4’
−イソプロピリデンジフェニル=ジシアナート・N,
N’−(メチレンジ−p−フェニレン)ジマレイミドの
如き2官能マレイミド;N−(9−アクリジニル)マレ
イミドの如きマレイミド基とマレイミド基以外の重合性
官能基とを有するマレイミド等が挙げられる。
N, N'-diphenylether dimaleimide, N, N'-diphenylsulfone dimaleimide, 1,
4-bis (maleimidoethyl) -1,4-diazoniabicyclo- [2,2,2] octane dichloride, 4,4 ′
-Isopropylidenediphenyl dicyanate-N,
Bifunctional maleimides such as N '-(methylenedi-p-phenylene) dimaleimide; and maleimides having a maleimide group such as N- (9-acridinyl) maleimide and a polymerizable functional group other than the maleimide group.

【0028】マレイミド系の架橋重合性オリゴマーとし
ては、例えば、ポリテトラメチレングリコールマレイミ
ドカプリエート、ポリテトラメチレングリコールマレイ
ミドアセテートの如きポリテトラメチレングリコールマ
レイミドアルキレートなどが挙げられる。
Examples of the maleimide-based crosslinked polymerizable oligomer include polytetramethylene glycol maleimide alkylate such as polytetramethylene glycol maleimide capriate and polytetramethylene glycol maleimide acetate.

【0029】これらのマレイミド系のモノマーやオリゴ
マーは単独、あるいは2種類以上を混合して用いること
もでき、また、例えば、ビニルモノマー、ビニルエーテ
ル類、アクリル系モノマーの如き重合性炭素・炭素二重
結合を有する化合物と併用して共重合させることもでき
る。
These maleimide-based monomers and oligomers can be used alone or as a mixture of two or more kinds. For example, polymerizable carbon-carbon double bonds such as vinyl monomers, vinyl ethers and acrylic monomers can be used. Can also be used in combination with a compound having the following.

【0030】活性エネルギー線照射により活性エネルギ
ー線重合性化合物(a)と共重合体を形成しうる、両親
媒性の重合性化合物(b)は、活性エネルギー線により
活性エネルギー線重合性化合物(a)と共重合可能な重
合性官能基を有するものである。
The amphiphilic polymerizable compound (b), which can form a copolymer with the active energy ray polymerizable compound (a) upon irradiation with active energy rays, is selected from the active energy ray polymerizable compound (a) ) And a polymerizable functional group copolymerizable therewith.

【0031】活性エネルギー線重合性化合物(a)が1
分子中に2個以上の重合性炭素−炭素不飽和結合を有す
る化合物である場合には、両親媒性の重合性化合物
(b)は、1分子中に1個以上の重合性炭素−炭素不飽
和結合を有する化合物であることが好ましい。両親媒性
の重合性化合物(b)は架橋重合体となるものである必
要はないが、架橋重合体となる化合物であってもよい。
When the active energy ray polymerizable compound (a) is 1
In the case of a compound having two or more polymerizable carbon-carbon unsaturated bonds in a molecule, the amphiphilic polymerizable compound (b) may have one or more polymerizable carbon-carbon unsaturated bonds in one molecule. Preferably, the compound has a saturated bond. The amphiphilic polymerizable compound (b) does not need to be a cross-linked polymer, but may be a cross-linked polymer.

【0032】また、両親媒性の重合性化合物(b)は、
活性エネルギー線重合性化合物(a)と均一に相溶する
ものである。この場合の相溶とは、巨視的に相分離しな
いことを言い、ミセルを形成して安定的に分散している
状態も含まれる。
The amphiphilic polymerizable compound (b) is
It is uniformly compatible with the active energy ray polymerizable compound (a). Compatibility in this case refers to no macroscopic phase separation, and includes a state where micelles are formed and dispersed stably.

【0033】重合性化合物(b)は、両親媒性の化合物
であり、両親媒性の化合物であるとは、分子中に親水基
と疎水基を有し、水、疎水性溶媒の両者とそれぞれ相溶
する化合物を言う。この場合に於いても、相溶とは巨視
的に相分離しないことを言い、ミセルを形成して安定的
に分散している状態も含まれる。両親媒性の重合性化合
物(b)は、0℃において、水に対する溶解度が0.5
重量%以上で、且つ25℃のシクロヘキサン:トルエン
=5:1(重量比)混合溶媒に対する溶解度が25重量
%以上であることが好ましい。
The polymerizable compound (b) is an amphiphilic compound. An amphiphilic compound is a compound having a hydrophilic group and a hydrophobic group in a molecule, and is combined with both water and a hydrophobic solvent. Refers to compatible compounds. In this case as well, the term "compatible" means that no phase separation occurs macroscopically, and also includes a state where micelles are formed and dispersed stably. The amphiphilic polymerizable compound (b) has a solubility in water of 0.5 at 0 ° C.
The solubility in cyclohexane: toluene = 5: 1 (weight ratio) mixed solvent at 25 ° C. is preferably 25% by weight or more at 25% by weight or more.

【0034】ここで言う溶解度、例えば、溶解度が0.
5重量%以上であるとは、少なくとも0.5重量%の化
合物が溶解可能であることを言うのであって、0.5重
量%の化合物は溶媒に溶解しないものの、該化合物中に
ごくわずかの溶媒が溶解可能であるものは含まない。水
に対する溶解度、あるいはシクロヘキサン:トルエン=
5:1(重量比)混合溶媒に対する溶解度の少なくとも
一方がこれらの値より低い化合物を使用すると、高い表
面親水性と耐水性の両者を満足することが困難となる。
The solubility mentioned here, for example, the solubility is 0.
The content of 5% by weight or more means that at least 0.5% by weight of the compound is soluble, and although 0.5% by weight of the compound is not soluble in the solvent, only a small amount of the compound is contained in the compound. Does not include those in which the solvent is soluble. Solubility in water, or cyclohexane: toluene =
When a compound having at least one of solubility in a 5: 1 (weight ratio) mixed solvent lower than these values is used, it is difficult to satisfy both high surface hydrophilicity and high water resistance.

【0035】両親媒性の重合性化合物(b)は、ノニオ
ン性親水基、特にポリエーテル系の親水基を有する場合
には、親水性と疎水性のバランスが、グリフィンのHL
B(エイチ・エル・ビー) 値にして10〜16の範囲
にあるものが好ましく、11〜15の範囲にあるものが
更に好ましい。この範囲外では、高い親水性と耐水性に
優れた成形物を得ることが困難であるか、それを得るた
めの化合物の組み合わせや混合比が極めて限定されたも
のとなり、成形物の性能が不安定となりがちである。
When the amphiphilic polymerizable compound (b) has a nonionic hydrophilic group, particularly a polyether-based hydrophilic group, the balance between hydrophilicity and hydrophobicity is HL of glycine.
Those having a B (HLB) value in the range of 10 to 16 are preferable, and those having the value of 11 to 15 are more preferable. Outside this range, it is difficult to obtain a molded article having high hydrophilicity and excellent water resistance, or the combination and mixing ratio of the compounds for obtaining the molded article are extremely limited, and the performance of the molded article is poor. It tends to be stable.

【0036】両親媒性の重合性化合物(b)が有する親
水基は任意であり、例えば、アミノ基、四級アンモニウ
ム基、フォスフォニウム基の如きカチオン基;スルホン
基、燐酸基、カルボニル基の如きアニオン基;水酸基、
ポリエチレングリコール基などのポリエーテル基、アミ
ド基の如きノニオン基;アミノ酸基の如き両性イオン基
であってよい。親水基として、好ましいのは、ポリエー
テル基、特に好ましくは繰り返し数6〜20のポリエチ
レングリコール鎖を有する化合物である。
The hydrophilic group possessed by the amphiphilic polymerizable compound (b) is optional, and includes, for example, a cationic group such as an amino group, a quaternary ammonium group and a phosphonium group; a sulfone group, a phosphate group and a carbonyl group. Anionic groups such as; hydroxyl groups,
It may be a nonionic group such as a polyether group such as a polyethylene glycol group or an amide group; or a zwitterionic group such as an amino acid group. Preferred as the hydrophilic group are compounds having a polyether group, particularly preferably a polyethylene glycol chain having a repeating number of 6 to 20.

【0037】両親媒性の重合性化合物(b)の疎水基と
しては、例えば、アルキル基、アルキレン基、アルキル
フェニル基、長鎖アルコキシ基、フッ素置換アルキル
基、シロキサン基などが挙げられる。両親媒性の重合性
化合物(b)は、疎水基として、炭素数6〜20のアル
キル基又はアルキレン基を含むことが好ましい。炭素数
6〜20のアルキル基又はアルキレン基は、例えば、ア
ルキルフェニル基、アルキルフェノキシ基、アルコキシ
基、フェニルアルキル基などの形で含有されていてもよ
い。
Examples of the hydrophobic group of the amphiphilic polymerizable compound (b) include an alkyl group, an alkylene group, an alkylphenyl group, a long-chain alkoxy group, a fluorine-substituted alkyl group, and a siloxane group. The amphiphilic polymerizable compound (b) preferably contains an alkyl group or an alkylene group having 6 to 20 carbon atoms as a hydrophobic group. The alkyl group or alkylene group having 6 to 20 carbon atoms may be contained, for example, in the form of an alkylphenyl group, an alkylphenoxy group, an alkoxy group, a phenylalkyl group, or the like.

【0038】両親媒性の重合性化合物(b)は、親水基
として繰り返し数6〜20のポリエチレングリコール鎖
を有し、且つ、疎水基として炭素原子数6〜20のアル
キル基又はアルキレン基を有する化合物であることが好
ましい。更に好ましく使用できる両親媒性の重合性化合
物(b)として、一般式(1)で表わされる化合物を挙
げることができる。
The amphiphilic polymerizable compound (b) has a polyethylene glycol chain having a repeating number of 6 to 20 as a hydrophilic group and an alkyl or alkylene group having 6 to 20 carbon atoms as a hydrophobic group. Preferably, it is a compound. As the amphiphilic polymerizable compound (b) which can be more preferably used, a compound represented by the general formula (1) can be mentioned.

【0039】一般式(1) CH2=CR1COO(R2O)n−φ−R3 (式中、R1は水素、ハロゲン原子又は低級アルキル基
を表わし、R2は炭素数1〜3のアルキレン基を表わ
し、nは6〜20の整数、φはフェニレン基、R3は炭
素数6〜20のアルキル基をを表わす)
Formula (1) CH 2 CR 1 COO (R 2 O) n -φ-R 3 (wherein R 1 represents hydrogen, a halogen atom or a lower alkyl group, and R 2 has 1 to 1 carbon atoms) 3 represents an alkylene group, n represents an integer of 6 to 20, φ represents a phenylene group, and R 3 represents an alkyl group having 6 to 20 carbon atoms.)

【0040】ここで、R3は具体的には、ヘキシル基、
ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ドデシ
ル基、又はペンタデシル基であり、好ましくはノニル基
又はドデシル基である。一般式(1)において、nの数
が大きいほど、R3の炭素原子数も大きいことが好まし
い。
Here, R 3 is specifically a hexyl group,
A heptyl group, an octyl group, a nonyl group, a decyl group, a dodecyl group, or a pentadecyl group, preferably a nonyl group or a dodecyl group. In the general formula (1), it is preferable that the larger the number of n, the larger the number of carbon atoms of R 3 .

【0041】n数とR3の炭素数の関係はグリフィンの
エイチ・エル・ビー(HLB)値にして10〜16の範
囲にあることが好ましく、11〜15の範囲にあること
が特に好ましい。これらの両親媒性の重合性化合物
(b)の中でも、ノニルフェノキシポリエチレングリコ
ール(n=8〜17)(メタ)アクリレート、ノニルフ
ェノキシポリプロピレングリコール(n=8〜17)
(メタ)アクリレートが特に好ましい。
The relationship between the number n and the number of carbon atoms in R 3 is preferably in the range of 10 to 16 as HLB value of griffin, and particularly preferably in the range of 11 to 15. Among these amphiphilic polymerizable compounds (b), nonylphenoxypolyethylene glycol (n = 8 to 17) (meth) acrylate, nonylphenoxypolypropylene glycol (n = 8 to 17)
(Meth) acrylates are particularly preferred.

【0042】活性エネルギー線重合性化合物(a)と両
親媒性の重合性化合物(b)との好ましい配合割合は、
活性エネルギー線重合性化合物(a)や両親媒性の重合
性化合物(b)の種類や組み合わせによって異なるが、
活性エネルギー線重合性化合物(a)1重量部に対し
て、両親媒性の重合性化合物(b)0.2重量部以上で
あることが好ましく、0.5重量部以上であることが更
に好ましい。活性エネルギー線重合性化合物(a)1重
量部に対する両親媒性の重合性化合物(b)の割合が
0.2重量部未満であると、水との接触角が小さい親水
性表面を形成することが困難となる。
The preferred compounding ratio of the active energy ray polymerizable compound (a) and the amphiphilic polymerizable compound (b) is as follows:
Depending on the type and combination of the active energy ray polymerizable compound (a) and the amphiphilic polymerizable compound (b),
The amphiphilic polymerizable compound (b) is preferably at least 0.2 part by weight, more preferably at least 0.5 part by weight, based on 1 part by weight of the active energy ray polymerizable compound (a). . When the ratio of the amphiphilic polymerizable compound (b) to 1 part by weight of the active energy ray polymerizable compound (a) is less than 0.2 part by weight, a hydrophilic surface having a small contact angle with water is formed. Becomes difficult.

【0043】また、両親媒性の重合性化合物(b)の割
合は、活性エネルギー線重合性化合物(a)1重量部に
対して、5重量部以下であることが好ましく、3重量部
以下であることが更に好ましい。活性エネルギー線重合
性化合物(a)1重量部に対する両親媒性の重合性化合
物(b)の割合が5重量部よりも多い場合、水に対して
膨潤性となりがちであり、接液部を構成する重合体がゲ
ル化しがちである。
The proportion of the amphiphilic polymerizable compound (b) is preferably 5 parts by weight or less, more preferably 3 parts by weight or less, based on 1 part by weight of the active energy ray polymerizable compound (a). It is even more preferred. When the ratio of the amphiphilic polymerizable compound (b) to 1 part by weight of the active energy ray polymerizable compound (a) is more than 5 parts by weight, the compound tends to be swellable in water and constitutes a liquid contact part. Polymers tend to gel.

【0044】活性エネルギー線重合性化合物(a)と両
親媒性の重合性化合物(b)との混合比を適宜選択する
ことにより、湿潤状態でゲル化せず、かつ高親水性・低
吸着性を示す成形物を製造することが出来る。例えば、
両親媒性の重合性化合物(b)の親水性が相対的に強い
ほど、例えばグリフィンのHLB値が大きなものほど、
好ましい添加量は少なくなる。その最適値は、簡単な実
験により決定できる。
By appropriately selecting the mixing ratio between the active energy ray polymerizable compound (a) and the amphiphilic polymerizable compound (b), the composition does not gel in a wet state and has high hydrophilicity and low adsorptivity. Can be produced. For example,
As the hydrophilicity of the amphiphilic polymerizable compound (b) becomes relatively stronger, for example, as the glycine has a higher HLB value,
The preferred addition amount is lower. The optimal value can be determined by simple experiments.

【0045】本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物は、重合遅延剤及び/又は重合禁止剤、好ましくは重
合遅延剤を含有する。重合遅延剤とは重合速度を低下さ
せるものをいい、重合禁止剤とは重合開始までの導入時
間を増加させるものをいう。一般に、重合遅延剤は、重
合開始までの導入時間を実質的に増加させず、重合禁止
剤は、重合開始後は重合速度を実質的に減少させないも
のをいうが、重合の導入時間を増加させ、かつ重合速度
を低下させるもの、即ち、重合遅延剤であり且つ重合禁
止剤であるものもある。
The active energy ray-curable resin composition of the present invention contains a polymerization retarder and / or a polymerization inhibitor, preferably a polymerization retarder. The term “polymerization retarder” refers to a substance that reduces the rate of polymerization, and the term “polymerization inhibitor” refers to a substance that increases the introduction time until the start of polymerization. Generally, a polymerization retarder does not substantially increase the introduction time until the start of polymerization, and a polymerization inhibitor refers to a substance that does not substantially reduce the polymerization rate after the start of polymerization, but increases the introduction time of polymerization. And those that reduce the rate of polymerization, ie, those that are both polymerization retarders and polymerization inhibitors.

【0046】重合遅延剤や重合禁止剤を活性エネルギー
線硬化性樹脂組成物に添加することにより、該樹脂組成
物をフォトリソグラフィーに用いた場合の解像度が向上
する。即ち、細かいパターンにおいても、底面に直角な
壁面を形成でき、また深い溝を形成できる。
By adding a polymerization retarder or a polymerization inhibitor to the active energy ray-curable resin composition, the resolution when the resin composition is used for photolithography is improved. That is, even in a fine pattern, a wall surface perpendicular to the bottom surface can be formed, and a deep groove can be formed.

【0047】その理由は明確ではないが、次のように考
えられる。即ち、フォトリソグラフィー等でのエネルギ
ー線照射時に、エネルギー線非照射部のエネルギー線照
射強度はゼロであることが理想的ではあるが、現実に
は、エネルギー線照射部と非照射部の境界部において
は、エネルギー線強度がある傾斜をもって変化し、非照
射部に於ける強度もゼロではない。
Although the reason is not clear, it is considered as follows. That is, when irradiating the energy beam with photolithography or the like, it is ideal that the energy beam irradiation intensity of the energy beam non-irradiation portion is zero, but actually, at the boundary portion between the energy beam irradiation portion and the non-irradiation portion. Varies with a certain slope, and the intensity in the non-irradiated portion is not zero.

【0048】このため、パターンが細かくなるほど、露
光時における照射部と非照射部の線量の差が少なくな
る。また、樹脂組成物自身による活性エネルギー線の散
乱や底面での反射や散乱も、パターンが細かくなるほど
大きく影響する。これらの理由によって、露光後の現像
(即ち、非照射部の未硬化樹脂の除去)によって得られ
る凹凸構造は、パターンが細かくなるほど境界が不明瞭
(なだらかな傾斜状)となり、また、溝は浅くなる。
For this reason, as the pattern becomes finer, the difference in dose between the irradiated part and the non-irradiated part during exposure becomes smaller. In addition, scattering of active energy rays by the resin composition itself and reflection and scattering at the bottom face also have a greater effect as the pattern becomes finer. For these reasons, in the concavo-convex structure obtained by development after exposure (that is, removal of the uncured resin in the non-irradiated portion), as the pattern becomes finer, the boundary becomes less clear (gentle slope) and the groove becomes shallower. Become.

【0049】活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に重合
禁止剤を添加すると、一定線量に達するまで重合が開始
しないため、線量の少ない部分での重合が抑制され、照
射部と非照射部の硬度差が拡大すると推定される。
When a polymerization inhibitor is added to the active energy ray-curable resin composition, the polymerization does not start until a certain dose is reached, so that the polymerization in the portion where the dose is small is suppressed, and the difference in hardness between the irradiated portion and the non-irradiated portion is suppressed. Is estimated to expand.

【0050】一方、重合遅延剤は照射線量に対する樹脂
硬度(又は粘度)のグラフの傾斜を小さくするものであ
るから、上記の機構によれば、照射部と非照射部の硬度
差(又は粘度差)を減じさせ、重合禁止剤とは逆の効果
をもたらすはずである。しかしながら、実際には重合遅
延剤によっても重合禁止剤と同様の効果が得られる。
On the other hand, since the polymerization retarder reduces the slope of the graph of the resin hardness (or viscosity) with respect to the irradiation dose, according to the above mechanism, the hardness difference (or viscosity difference) between the irradiated portion and the non-irradiated portion is reduced. ) Should have the opposite effect as the polymerization inhibitor. However, actually, the same effect as the polymerization inhibitor can be obtained by the polymerization retarder.

【0051】その理由は不明であるが、重合系が架橋重
合系である場合には、照射部がゲル化し、次の現像工程
で除去不能な状態に硬化するのに対し、非照射部ではゲ
ル化していない程度に重合が進行するに留まることによ
り、現像の際に未照射部が溶剤もしくは水圧での除去が
可能であり、重合遅延剤の添加によって、硬度差が大き
くなくても、ゲル化状態と非ゲル化状態の照射時間差が
拡大することにより、最良の照射線量にコントロールす
ることが容易になるためと推定される。更に、重合遅延
剤の添加は、再現性を向上させる効果も有する。
Although the reason is unknown, when the polymerization system is a cross-linking polymerization system, the irradiated portion gels and cures to a state where it cannot be removed in the next development step, whereas the non-irradiated portion hardens. The polymerization proceeds only to the extent that it has not been polymerized, so that the unirradiated portion can be removed with a solvent or water pressure during development, and the addition of a polymerization retarder causes gelation even if the difference in hardness is not large. It is presumed that because the irradiation time difference between the state and the non-gel state is increased, it becomes easy to control the irradiation dose to the best. Furthermore, the addition of a polymerization retarder also has the effect of improving reproducibility.

【0052】重合遅延剤としては、例えば活性エネルギ
ー線重合性化合物(a)がアクリロイル基含有化合物の
場合には、スチレン、α−メチルスチレン、α−フェニ
ルスチレン、p−オクチルスチレン、p−(4−ペンチ
ルシクロヘキシル)スチレン、p−フェニルスチレン、
p−(p−エトキシフェニル)フェニルスチレン、
2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン、4,
4′−ジビニルビフェニル、2−ビニルナフタレン等
の、使用する活性エネルギー線重合性化合物(a)より
重合速度の低いビニル系モノマーを挙げることができ
る。
As the polymerization retarder, for example, when the active energy ray polymerizable compound (a) is an acryloyl group-containing compound, styrene, α-methylstyrene, α-phenylstyrene, p-octylstyrene, p- (4 -Pentylcyclohexyl) styrene, p-phenylstyrene,
p- (p-ethoxyphenyl) phenylstyrene,
2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene, 4,
Vinyl monomers having a lower polymerization rate than the active energy ray polymerizable compound (a) used, such as 4'-divinylbiphenyl and 2-vinylnaphthalene, can be mentioned.

【0053】重合禁止剤としては、例えば活性エネルギ
ー線重合性化合物(a)が重合性の炭素−炭素二重結合
含有化合物の場合には、ハイドロキノン、メトキシハイ
ドロキノン等のハイドロキノン誘導体;ブチルヒドロキ
シトルエン、tert−ブチルフェノール、ジオクチル
フェノールなどのヒンダントフェノール類等が挙げられ
る。
As the polymerization inhibitor, for example, when the active energy ray polymerizable compound (a) is a polymerizable compound containing a carbon-carbon double bond, hydroquinone derivatives such as hydroquinone and methoxyhydroquinone; butylhydroxytoluene, tert -Hind phenols such as butyl phenol and dioctyl phenol.

【0054】重合遅延剤や重合禁止剤はその種類によっ
て効果に相当の違いがあるため、本発明の活性エネルギ
ー線樹脂組成物中のこれらの含有量を一概に濃度で規定
することは困難である。本発明の活性エネルギー線樹脂
組成物中の重合遅延剤や重合禁止剤の添加量は、活性エ
ネルギー線照射によって該活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物に流動性を喪失させる(即ち、ゲル化させる)に
要する活性エネルギー線の線量が、重合遅延剤や重合禁
止剤の非添加系の1.5倍〜50倍、好ましくは2倍〜
50倍、更に好ましくは3倍〜50倍、最も好ましくは
5倍〜40倍となる量である。
Since the effects of the polymerization retarder and the polymerization inhibitor vary considerably depending on the type, it is difficult to specify their contents in the active energy ray resin composition of the present invention in a unified manner. . The addition amount of the polymerization retarder and the polymerization inhibitor in the active energy ray resin composition of the present invention causes the active energy ray-curable resin composition to lose fluidity (that is, cause gelation) by irradiation with the active energy ray. Dose of the active energy ray required is 1.5 times to 50 times, preferably 2 times, the amount of the system without the polymerization retarder or the polymerization inhibitor.
The amount is 50 times, more preferably 3 times to 50 times, and most preferably 5 times to 40 times.

【0055】この下限未満では効果が小さく、上限を越
えると、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化が不
十分となりがちである。活性エネルギー線硬化性樹脂組
成物が流動性を喪失する点(ゲル化点)の測定法は、例
えば硬化中の動的粘弾性測定を行い、損失弾性率と保存
弾性率の交点をゲル化点とする方法を採用することがで
きる。
If the amount is less than the lower limit, the effect is small. If the amount exceeds the upper limit, curing of the active energy ray-curable resin composition tends to be insufficient. As a method of measuring the point at which the active energy ray-curable resin composition loses fluidity (gelation point), for example, a dynamic viscoelasticity measurement during curing is performed, and the intersection of the loss modulus and the storage modulus is determined as the gel point. Can be adopted.

【0056】上記の如き重合遅延性や重合禁止性を示す
ような重合遅延剤や重合禁止剤の含有量は、例えばビニ
ルモノマー系重合遅延剤の場合には、好ましくは500
〜1000000重量ppm、更に好ましくは1000
〜50000重量ppmであり、ハイドロキノン系重合
禁止剤の場合には、好ましくは500〜50000重量
ppm、更に好ましくは1000〜10000重量pp
m、ヒンダントフェノール系重合禁止剤の場合には、好
ましくは10〜1000重量ppm、更に好ましくは2
0〜500重量ppmである。
The content of the polymerization retarder or the polymerization inhibitor exhibiting the above-mentioned polymerization retarding property or polymerization inhibiting property is preferably 500 in the case of a vinyl monomer-based polymerization retarder.
~ 1,000,000 weight ppm, more preferably 1000
To 50,000 weight ppm, and in the case of a hydroquinone-based polymerization inhibitor, preferably 500 to 50,000 weight ppm, more preferably 1,000 to 10,000 weight pp.
m, in the case of a hindant phenol polymerization inhibitor, preferably 10 to 1000 ppm by weight, more preferably 2 to 1000 ppm by weight.
0 to 500 ppm by weight.

【0057】本発明に用いる活性エネルギー線重合性化
合物(a)や両親媒性の重合性化合物(b)の市販品に
は、自然重合防止を目的として、すでに重合禁止剤が配
合されている場合がある。例えば、アクリル系モノマー
に対する自然重合防止を目的とする重合禁止剤の一般的
な添加量は、ハイドロキノン系重合禁止剤の場合で10
00〜3000重量ppm程度、ヒンダントフェノール
系重合禁止剤の場合には10〜100重量ppm程度で
あるが、実際にこれらに含有されている重合禁止剤の量
は、重合禁止剤の種類、モノマーの種類、調製されてか
らの貯蔵条件や経過時間などによってかなり異なる。な
お、通常、市販モノマーに自然重合防止を目的として重
合遅延剤が添加されることはない。
Commercially available active energy ray polymerizable compounds (a) and amphiphilic polymerizable compounds (b) used in the present invention may contain a polymerization inhibitor in order to prevent spontaneous polymerization. There is. For example, a typical addition amount of a polymerization inhibitor for the purpose of preventing spontaneous polymerization of an acrylic monomer is 10% in the case of a hydroquinone-based polymerization inhibitor.
The amount of the polymerization inhibitor is about 100 to 3000 ppm by weight, and about 10 to 100 ppm by weight in the case of the hindant phenol-based polymerization inhibitor. Varies considerably depending on the type, storage conditions and elapsed time since preparation. Usually, a polymerization retarder is not added to commercially available monomers for the purpose of preventing natural polymerization.

【0058】これら重合遅延剤や重合禁止剤の濃度は、
必要に応じて、例えば、ガスクロマトグラフィー、液体
クロマトグラフィー、マススペクトロスコピー、赤外吸
収、可視・紫外吸収、核磁気共鳴(NMR)等で測定す
ることが出来る。
The concentration of these polymerization retarders and polymerization inhibitors is
If necessary, it can be measured by, for example, gas chromatography, liquid chromatography, mass spectroscopy, infrared absorption, visible / ultraviolet absorption, nuclear magnetic resonance (NMR), or the like.

【0059】しかしながら、活性エネルギー線のパター
ニング照射により微細な構造を有する硬化物を形成する
には、自然重合防止を目的とする重合禁止剤の量では不
十分である。本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物は、活性エネルギー線重合性化合物(a)や両親媒性
の重合性化合物(b)が自然重合防止を目的とした重合
禁止剤を含有する場合には、これらに更に重合遅延剤及
び/又は重合禁止剤を添加したものである。
However, in order to form a cured product having a fine structure by patterning irradiation with an active energy ray, the amount of a polymerization inhibitor for preventing natural polymerization is insufficient. When the active energy ray-curable resin composition of the present invention contains a polymerization inhibitor for the purpose of preventing spontaneous polymerization, the active energy ray-polymerizable compound (a) or the amphiphilic polymerizable compound (b) contains And a polymerization retarder and / or a polymerization inhibitor.

【0060】本発明で添加する重合遅延剤及び/又は重
合禁止剤の上記した好ましい添加量は、活性エネルギー
線重合性化合物(a)や両親媒性の重合性化合物(b)
が自然重合防止用の重合禁止剤を含有する場合には、そ
れに追加して添加する量を意味する。
The preferred addition amounts of the polymerization retarder and / or the polymerization inhibitor to be added in the present invention are determined based on the active energy ray polymerizable compound (a) and the amphiphilic polymerizable compound (b).
In the case where contains a polymerization inhibitor for preventing natural polymerization, it means the amount to be added additionally thereto.

【0061】本発明に於いて活性エネルギー線硬化性樹
脂組成物に添加される重合禁止剤が活性エネルギー線重
合性化合物(a)や両親媒性の重合性化合物(b)が自
然重合防止を目的として含有する重合禁止剤と同じもの
である場合には、本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物に含有される重合禁止剤の内、原材料に由来する
量と、本発明の目的のために添加された量との見分けが
付かない場合がある。
In the present invention, the polymerization inhibitor added to the active energy ray-curable resin composition is an active energy ray-polymerizable compound (a) or an amphiphilic polymerizable compound (b) for preventing natural polymerization. If the same as the polymerization inhibitor contained as, among the polymerization inhibitors contained in the active energy ray-curable resin composition of the present invention, the amount derived from the raw materials, and for the purpose of the present invention In some cases, it cannot be distinguished from the added amount.

【0062】即ち、本発明の活性エネルギー線硬化性樹
脂組成物の原材料として使用した活性エネルギー線重合
性化合物(a)や両親媒性の重合性化合物(b)の製品
名が判明している場合には判別可能であるが、原材料の
製品名が不明の場合には判別不可能である。
That is, when the product names of the active energy ray polymerizable compound (a) and the amphiphilic polymerizable compound (b) used as a raw material of the active energy ray curable resin composition of the present invention are known. Can be determined, but cannot be determined if the product name of the raw material is unknown.

【0063】そのような場合には、活性エネルギー線重
合性化合物(a)や両親媒性の重合性化合物(b)に自
然重合防止を目的として添加された重合禁止剤の量は、
重合開始剤無添加で、15℃にて6ヶ月間の保管によっ
て、これらの自発的重合が実質的に生じない最少添加量
の1.5倍(安全係数を含む)であるとして良い。この
場合の本発明に於ける重合禁止剤の添加量は、自然重合
防止を目的として添加される量の、好ましくは2倍〜3
00倍、更に好ましくは3倍〜100倍、最も好ましく
は4倍〜30倍である。
In such a case, the amount of the polymerization inhibitor added to the active energy ray polymerizable compound (a) or the amphiphilic polymerizable compound (b) for the purpose of preventing natural polymerization is as follows:
It may be 1.5 times (including the safety factor) the minimum addition amount at which these spontaneous polymerizations do not substantially occur after storage at 15 ° C. for 6 months without addition of a polymerization initiator. In this case, the addition amount of the polymerization inhibitor in the present invention is preferably 2 to 3 times the amount added for the purpose of preventing natural polymerization.
00 times, more preferably 3 times to 100 times, most preferably 4 times to 30 times.

【0064】本発明では活性エネルギー線硬化性樹脂組
成物に含有される重合遅延剤及び/又は重合禁止剤の添
加量は、活性エネルギー線照射によって該活性エネルギ
ー線硬化性樹脂組成物に流動性を喪失させるに要する活
性エネルギー線の線量が、重合遅延剤及び/又は重合禁
止剤非添加系の1.5〜50倍となる量であることが好
ましい。
In the present invention, the amount of the polymerization retarder and / or the polymerization inhibitor contained in the active energy ray-curable resin composition is adjusted so that the active energy ray-curable resin composition has fluidity by irradiation with the active energy ray. It is preferable that the dose of the active energy ray required for the loss be 1.5 to 50 times that of the system without the polymerization retarder and / or the polymerization inhibitor.

【0065】ここで、活性エネルギー線重合性化合物
(a)や両親媒性の重合性化合物(b)が自然重合防止
を目的とした量の重合禁止剤を含有する場合には、それ
ら重合禁止剤を含有した活性エネルギー線硬化性樹脂組
成物に流動性を喪失させるに要する活性エネルギー線の
線量を1.0とし、その線量が1.5〜50倍となる量
の重合遅延剤及び/又は重合禁止剤を活性エネルギー線
硬化性樹脂組成物に添加することが好ましい。
Here, when the active energy ray polymerizable compound (a) or the amphiphilic polymerizable compound (b) contains an amount of polymerization inhibitor for the purpose of preventing spontaneous polymerization, the polymerization inhibitor The dose of the active energy ray required to cause the active energy ray-curable resin composition containing the composition to lose fluidity is set to 1.0, and the amount of the polymerization retarder and / or the polymerization is 1.5 to 50 times the dose. It is preferable to add an inhibitor to the active energy ray-curable resin composition.

【0066】これらの量は、重合遅延剤や重合禁止剤の
種類、及び既に重合禁止剤が活性エネルギー線重合性化
合物(a)や両親媒性の重合性化合物(b)に含まれて
いるか否か等により異なり、一概に規定できないが、一
般には、重合遅延剤の場合は、好ましくは500〜10
00000重量ppm、更に好ましくは1000〜50
000重量ppmであり、重合禁止剤の場合は、好まし
くは10〜50000重量ppm、更に好ましくは20
〜10000重量ppmである。
These amounts depend on the type of polymerization retarder and polymerization inhibitor, and whether the polymerization inhibitor is already contained in the active energy ray polymerizable compound (a) or the amphiphilic polymerizable compound (b). However, in general, in the case of a polymerization retarder, it is preferably 500 to 10
00000 weight ppm, more preferably 1000-50
000 ppm by weight, and in the case of a polymerization inhibitor, preferably 10 to 50,000 ppm by weight, more preferably 20
-10,000 ppm by weight.

【0067】重合遅延剤や重合禁止剤を上記の濃度に含
有することにより、細いパターンを良好に形成すること
が可能になる。エネルギー線として光線を使用する場合
には、光重合開始剤と、重合遅延剤及び/又は重合禁止
剤を併用することが好ましい。本発明の活性エネルギー
線硬化性樹脂組成物が光重合開始剤を含有する場合、或
いは使用時に光重合開始剤を添加する場合には、該含有
量や添加量が多いほど、重合遅延剤や重合禁止剤の添加
量を増すことが好ましい。
By including a polymerization retarder or a polymerization inhibitor at the above concentration, a fine pattern can be formed satisfactorily. When a light beam is used as the energy ray, it is preferable to use a photopolymerization initiator together with a polymerization retarder and / or a polymerization inhibitor. When the active energy ray-curable resin composition of the present invention contains a photopolymerization initiator, or when a photopolymerization initiator is added at the time of use, the larger the content or the amount of addition, the more the polymerization retarder or polymerization. It is preferred to increase the amount of inhibitor added.

【0068】光重合開始剤の添加量は、重合遅延剤や重
合禁止剤を添加しないときのゲル化点までの光照射量
が、好ましくは0.05〜2mJ/cm2、更に好ましく
は0.1〜1mJ/cm2となる量である。本発明に於け
る重合遅延剤及び/又は重合禁止剤の添加量は、ゲル化
に要する活性エネルギー線の線量が、重合遅延剤や重合
禁止剤の非添加系の1.5倍〜50倍、好ましくは2倍
〜50倍、更に好ましくは3倍〜50倍、最も好ましく
は5倍〜40倍となる量である。従って、光重合開始剤
含有時の、重合遅延剤や重合禁止剤の添加量はゲル化に
要する光照射量が、好ましくは0.15〜50mJ/c
2、更に好ましくは0.5〜40mJ/cm2、最も好
ましくは1〜10mJ/cm2である。
The amount of the photopolymerization initiator added is preferably 0.05 to 2 mJ / cm 2 , more preferably 0.1 to 2 mJ / cm 2 , up to the gel point when no polymerization retarder or polymerization inhibitor is added. The amount is 1 to 1 mJ / cm 2 . In the present invention, the amount of the polymerization retarder and / or polymerization inhibitor added is such that the dose of the active energy ray required for gelation is 1.5 to 50 times that of the non-addition system of the polymerization retarder and the polymerization inhibitor. The amount is preferably 2 to 50 times, more preferably 3 to 50 times, and most preferably 5 to 40 times. Therefore, when the photopolymerization initiator is contained, the amount of the polymerization retarder or polymerization inhibitor to be added is such that the light irradiation amount required for gelation is preferably 0.15 to 50 mJ / c.
m 2 , more preferably 0.5 to 40 mJ / cm 2 , most preferably 1 to 10 mJ / cm 2 .

【0069】本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物には、必要に応じて、その他の成分を混合することも
できる。その他の成分としては、例えば、その他の重合
性化合物、光重合開始剤、溶剤、増粘剤、改質剤、着色
剤などが挙げられる。
The active energy ray-curable resin composition of the present invention may further contain other components, if necessary. Other components include, for example, other polymerizable compounds, photopolymerization initiators, solvents, thickeners, modifiers, colorants, and the like.

【0070】本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物に含有させることの出来る、その他の重合性化合物
は、活性エネルギー線の照射により活性エネルギー線重
合性化合物(a)及び両親媒性の重合性化合物(b)と
共重合可能な重合性化合物であり、例えば、そのような
共重合が可能な単官能モノマーが挙げられる。該重合性
化合物の添加は、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の
粘度調節のために好適に行うことができる。
The other polymerizable compounds that can be contained in the active energy ray-curable resin composition of the present invention include an active energy ray polymerizable compound (a) and an amphiphilic polymerizable compound when irradiated with active energy rays. It is a polymerizable compound copolymerizable with the compound (b), and examples thereof include a monofunctional monomer capable of such copolymerization. The addition of the polymerizable compound can be suitably performed for adjusting the viscosity of the active energy ray-curable resin composition.

【0071】これらの共重合可能な単官能モノマーとし
ては、単官能の(メタ)アクリル系モノマーがあり、例
えば、メチルメタクリレート、アルキル(メタ)アクリ
レート、イソボルニル(メタ)アクリレート、アルコキ
シポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェ
ノキシジアルキル(メタ)アクリレート、フェノキシポ
リエチレングリコール(メタ)アクリレート、アルキル
フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレー
ト、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール(メ
タ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリ
レート、グリセロールアクリレートメタクリレート、ブ
タンジオールモノ(メタ)アクリレート、
These copolymerizable monofunctional monomers include monofunctional (meth) acrylic monomers, such as methyl methacrylate, alkyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, and alkoxy polyethylene glycol (meth). Acrylate, phenoxydialkyl (meth) acrylate, phenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, alkylphenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxypolypropylene glycol (meth) acrylate, hydroxyalkyl (meth) acrylate, glycerol acrylate methacrylate, butanediol mono ( Meth) acrylates,

【0072】2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル
アクリレート、2−アクリロイルオキシエチル−2−ヒ
ドロキシプロピルアクリレート、エチレノキサイド変性
フタル酸アクリレート、w−カルゴキシアプロラクトン
モノアクリレート、2−アクリロイルオキシプロピルハ
イドロジェンフタレート、2−アクリロイルオキシエチ
ルコハク酸、アクリル酸ダイマー、2−アクリロイスオ
キシプロピリヘキサヒドロハイドロジェンフタレート、
フッ素置換アルキル(メタ)アクリレート、
2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-acryloyloxyethyl-2-hydroxypropyl acrylate, ethylenoxide-modified phthalic acid acrylate, w-carboxyaprolactone monoacrylate, 2-acryloyloxypropyl hydrogen phthalate , 2-acryloyloxyethylsuccinic acid, acrylic acid dimer, 2-acryloysoxypropylhexahydrohydrogen phthalate,
Fluorine-substituted alkyl (meth) acrylate,

【0073】塩素置換アルキル(メタ)アクリレート、
スルホン酸ソーダエトキシ(メタ)アクリレート、スル
ホン酸−2−メチルプロパン−2−アクリルアミド、燐
酸エステル基を有する(メタ)アクリレート、スルホン
酸エステル基を有する(メタ)アクリレート、シラノ基
を有する(メタ)アクリレート、((ジ)アルキル)ア
ミノ基を有する(メタ)アクリレート、4級((ジ)ア
ルキル)アンモニウム基を有する(メタ)アクリレー
ト、(N−アルキル)アクリルアミド、(N、N−ジア
ルキル)アクリルアミド、アクロロイルモリホリンなど
が挙げられる。
A chlorine-substituted alkyl (meth) acrylate,
Sodium sulfonic acid (meth) acrylate, sulfonic acid-2-methylpropane-2-acrylamide, (meth) acrylate having a phosphoric ester group, (meth) acrylate having a sulfonic ester group, (meth) acrylate having a silano group (Meth) acrylate having ((di) alkyl) amino group, (meth) acrylate having quaternary ((di) alkyl) ammonium group, (N-alkyl) acrylamide, (N, N-dialkyl) acrylamide, acro Loyl morifolin and the like.

【0074】混合使用できる単官能マレイミド系モノマ
ーとしては、例えば、N−メチルマレイミド、N−エチ
ルマレイミド、N−ブチルマレイミド、N−ドデシルマ
レイミドの如きN−アルキルマレイミド;N−シクロヘ
キシルマレイミドの如きN−脂環族マレイミド;N−ベ
ンジルマレイミド;N−フェニルマレイミド、N−(ア
ルキルフェニル)マレイミド、N−ジアルコキシフェニ
ルマレイミド、N−(2−クロロフェニル)マレイミ
ド、2,3−ジクロロ−N−(2,6−ジエチルフェニ
ル)マレイミド、2,3−ジクロロ−N−(2−エチル
−6−メチルフェニル)マレイミドの如きN−(置換又
は非置換フェニル)マレイミド;
Examples of monofunctional maleimide monomers that can be used in combination include N-alkylmaleimides such as N-methylmaleimide, N-ethylmaleimide, N-butylmaleimide and N-dodecylmaleimide; and N-alkylmaleimides such as N-cyclohexylmaleimide. Alicyclic maleimide; N-benzylmaleimide; N-phenylmaleimide, N- (alkylphenyl) maleimide, N-dialkoxyphenylmaleimide, N- (2-chlorophenyl) maleimide, 2,3-dichloro-N- (2, N- (substituted or unsubstituted phenyl) maleimides such as 6-diethylphenyl) maleimide, 2,3-dichloro-N- (2-ethyl-6-methylphenyl) maleimide;

【0075】N−ベンジル−2,3−ジクロロマレイミ
ド、N−(4’−フルオロフェニル)−2,3−ジクロ
ロマレイミドの如きハロゲンを有するマレイミド;N−
(4−カルボキシ−3−ヒドロキシフェニル)マレイミ
ドの如きカルボキシ基を有するマレイミド;N−メトキ
シフェニルマレイミドの如きアルコキシ基を有するマレ
イミド;N−[3−(ジエチルアミノ)プロピル]マレ
イミドの如きアミノ基を有するマレイミド;N−(1−
ピレニル)マレイミドの如き多環芳香族マレイミド;N
−(ジメチルアミノ−4−メチル−3−クマリニル)マ
レイミド、N−(4−アニリノ−1−ナフチル)マレイ
ミドの如き複素環を有するマレイミドなどが挙げられ
る。
Maleimide having a halogen such as N-benzyl-2,3-dichloromaleimide, N- (4'-fluorophenyl) -2,3-dichloromaleimide;
Maleimide having a carboxy group such as (4-carboxy-3-hydroxyphenyl) maleimide; maleimide having an alkoxy group such as N-methoxyphenylmaleimide; maleimide having an amino group such as N- [3- (diethylamino) propyl] maleimide N- (1-
Polycyclic aromatic maleimides such as pyrenyl) maleimide; N
And maleimides having a heterocyclic ring such as-(dimethylamino-4-methyl-3-coumarinyl) maleimide and N- (4-anilino-1-naphthyl) maleimide.

【0076】活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に必要
に応じて含有させることの出来る光重合開始剤は、本発
明で使用する活性エネルギー線に対して活性であり、活
性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化させることが可
能なものであれば、特に制限はなく、公知慣用の、例え
ば、ラジカル重合開始剤、アニオン重合開始剤、カチオ
ン重合開始剤であって良い。勿論、光重合開始剤は、光
重合開始助剤と組み合わせて添加しても良い。
The photopolymerization initiator which can be optionally contained in the active energy ray-curable resin composition is active with respect to the active energy ray used in the present invention, and is used for the active energy ray-curable resin composition. There is no particular limitation as long as it is capable of hardening, and may be a known and commonly used, for example, a radical polymerization initiator, an anionic polymerization initiator, or a cationic polymerization initiator. Of course, the photopolymerization initiator may be added in combination with the photopolymerization initiation aid.

【0077】そのような光重合開始剤としては、例え
ば、p−tert−ブチルトリクロロアセトフェノン、2,
2′−ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2
−メチル−1−フェニルプロパン−1−オンの如きアセ
トフェノン類;ベンゾフェノン、4、4′−ビスジメチ
ルアミノベンゾフェノン、2−クロロチオキサントン、
2−メチルチオキサントン、2−エチルチオキサント
ン、2−イソプロピルチオキサントンの如きケトン類;
As such a photopolymerization initiator, for example, p-tert-butyltrichloroacetophenone, 2,2
2'-diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2
Acetophenones such as -methyl-1-phenylpropan-1-one; benzophenone, 4,4'-bisdimethylaminobenzophenone, 2-chlorothioxanthone,
Ketones such as 2-methylthioxanthone, 2-ethylthioxanthone and 2-isopropylthioxanthone;

【0078】ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、
ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチ
ルエーテルの如きベンゾインエーテル類;ベンジルジメ
チルケタール、ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケト
ンの如きベンジルケタール類;N−アジドスルフォニル
フェニルマレイミドの如きアジドなどが挙げられる。
Benzoin, benzoin methyl ether,
Benzoin ethers such as benzoin isopropyl ether and benzoin isobutyl ether; benzyl ketals such as benzyl dimethyl ketal and hydroxycyclohexyl phenyl ketone; and azides such as N-azidosulfonyl phenylmaleimide.

【0079】また、光重合開始剤として、マレイミド系
化合物の如き重合性光重合開始剤を用いることもでき
る。重合性光重合開始剤は、例えば、エネルギー線架橋
重合性化合物として使用できる化合物として例示した多
官能マレイミドの如き多官能モノマーの他に、活性エネ
ルギー線硬化性樹脂組成物に混合使用できる単官能マレ
イミド系モノマーとして例示したような単官能モノマー
であっても良い。
Further, as the photopolymerization initiator, a polymerizable photopolymerization initiator such as a maleimide compound can be used. The polymerizable photopolymerization initiator is, for example, a polyfunctional maleimide such as a polyfunctional maleimide exemplified as a compound that can be used as the energy beam crosslinkable polymerizable compound, and a monofunctional maleimide that can be mixed and used in an active energy ray-curable resin composition. A monofunctional monomer as exemplified as the system monomer may be used.

【0080】活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に添加
する光重合開始剤の使用量は、非重合性光重合開始剤の
場合、0.1〜20重量%の範囲が好ましく、0.5〜
15重量%の範囲がさらに好ましく、1〜10重量%の
範囲が最も好ましい。本発明に於ける光重合開始剤の添
加量は、通常の(即ち、重合遅延剤や、自然重合禁止目
的以上の量の重合禁止剤が添加されていない)光硬化性
組成物の2倍以上とすることが好ましい。但し、光重合
開始剤が重合性光重合開始剤の場合にはこの限りではな
い。
The amount of the photopolymerization initiator to be added to the active energy ray-curable resin composition is preferably in the range of 0.1 to 20% by weight in the case of a non-polymerizable photopolymerization initiator,
A range of 15% by weight is more preferable, and a range of 1 to 10% by weight is most preferable. The amount of the photopolymerization initiator to be added in the present invention is at least twice that of a usual photocurable composition (that is, no polymerization retarder or polymerization inhibitor more than the purpose of inhibiting natural polymerization is added). It is preferable that However, this does not apply when the photopolymerization initiator is a polymerizable photopolymerization initiator.

【0081】活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に必要
に応じて含有させることができる改質剤としては、例え
ば親水化剤が有り、親水化剤としては、ポリアクリルア
ミド、ポリビニルピロリドンなどの親水性重合体;ノニ
オン性、アニオン性、カチオン性などの界面活性剤など
を挙げることができる。
Examples of the modifying agent that can be contained in the active energy ray-curable resin composition as required include, for example, a hydrophilic agent, and the hydrophilic agent includes a hydrophilic polymer such as polyacrylamide or polyvinylpyrrolidone. Coalescence: Nonionic, anionic, cationic surfactants and the like can be mentioned.

【0082】活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に必要
に応じて含有させることができる溶剤としては、活性エ
ネルギー線硬化性樹脂組成物と均一に混合する任意の揮
発性の溶剤が挙げられる。活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物の粘度が高い場合や、非常に薄い塗膜を形成する
場合には、揮発性溶剤を添加し、塗工などの賦形後に、
該溶剤を揮発除去することも好ましい。
Examples of the solvent that can be contained in the active energy ray-curable resin composition as needed include any volatile solvent that is uniformly mixed with the active energy ray-curable resin composition. When the viscosity of the active energy ray-curable resin composition is high or a very thin coating film is formed, a volatile solvent is added, and after shaping such as coating,
It is also preferable to volatilize and remove the solvent.

【0083】活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に必要
に応じて添加することができる増粘剤としては、例え
ば、ポリビニルピロリドン、ポリヒドロキメチルスチレ
ンの如き線状重合体;クレイの如き粉末が挙げられる。
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に必要に応じて含有
させることができる改質剤としては、例えば親水性向上
剤として作用するシリカゲル、酸化チタンの如き無機粉
末;セルロースの如き有機粉末が挙げられる。
Examples of the thickener which can be added to the active energy ray-curable resin composition as required include linear polymers such as polyvinylpyrrolidone and polyhydroxymethylstyrene; and powders such as clay. .
Examples of the modifying agent that can be contained in the active energy ray-curable resin composition as needed include, for example, inorganic powders such as silica gel and titanium oxide that act as hydrophilicity improvers; and organic powders such as cellulose.

【0084】活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に必要
に応じて含有させることができる着色剤としては、着色
剤としての色素や顔料、アントラセンなどの蛍光色素や
蛍光顔料、2−ベンゾトリアゾイル−4−メトキシフェ
ノールなどの紫外線吸収剤などが挙げられる。
As the coloring agent which can be contained in the active energy ray-curable resin composition as required, a coloring agent or a pigment as a coloring agent, a fluorescent coloring matter such as anthracene or a fluorescent pigment, 2-benzotriazoyl-4 -UV absorbers such as methoxyphenol.

【0085】本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物は、活性エネルギー線重合性化合物(a)、両親媒性
の重合性化合物(b)、重合遅延剤及び/又は重合禁止
剤、及び必要に応じて添加されるその他の重合性化合物
は均一に相溶している必要があるが、その他の成分は分
散状態であっても良い。本発明の活性エネルギー線硬化
性樹脂組成物の粘度は任意であるが、作業性や解像度の
面から、好ましくは10〜10000mPas(10〜
10000cps)、更に好ましくは30〜1000m
Pasである。硬化速度の向上や硬化を完全に行なうこ
とを目的として、或いは、硬化物中への気泡の発生の防
止を目的として、本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物の溶存酸素を除去することも好ましい。
The active energy ray-curable resin composition of the present invention comprises an active energy ray-polymerizable compound (a), an amphiphilic polymerizable compound (b), a polymerization retarder and / or a polymerization inhibitor, and The other polymerizable compounds added accordingly need to be uniformly compatible, but the other components may be in a dispersed state. The viscosity of the active energy ray-curable resin composition of the present invention is arbitrary, but is preferably from 10 to 10,000 mPas (10 to 10) from the viewpoint of workability and resolution.
10,000 cps), more preferably 30 to 1000 m
Pas. For the purpose of completely improving the curing speed and curing, or for the purpose of preventing the generation of bubbles in the cured product, it is also possible to remove dissolved oxygen from the active energy ray-curable resin composition of the present invention. preferable.

【0086】本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物を硬化させる活性エネルギー線は任意であり、例え
ば、紫外線、可視光線、赤外線、レーザー光線、放射光
の如き光線;エックス線、ガンマ線、放射光の如き電離
放射線;電子線、イオンビーム、ベータ線、重粒子線の
如き粒子線が挙げられるが、取り扱い性や硬化速度の面
から紫外線及び可視光が好ましく、紫外線が特に好まし
い。硬化速度を速め、硬化を完全に行なう目的で、活性
エネルギー線の照射を低酸素濃度雰囲気で行なうことが
好ましい。低酸素濃度雰囲気としては、窒素気流中、二
酸化炭素気流中、アルゴン気流中、真空又は減圧雰囲気
が好ましい。
The active energy ray for curing the active energy ray-curable resin composition of the present invention is arbitrary, and examples thereof include light rays such as ultraviolet rays, visible light rays, infrared rays, laser rays, and radiated lights; X-rays, gamma rays, and radiated lights. Ionizing radiation; a particle beam such as an electron beam, an ion beam, a beta ray, and a heavy particle beam is exemplified, and ultraviolet rays and visible lights are preferred from the viewpoint of handleability and curing speed, and ultraviolet rays are particularly preferred. For the purpose of accelerating the curing speed and performing the curing completely, it is preferable to carry out the irradiation of the active energy ray in a low oxygen concentration atmosphere. The low oxygen concentration atmosphere is preferably a nitrogen stream, a carbon dioxide stream, an argon stream, a vacuum or a reduced pressure atmosphere.

【0087】本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物を硬化させるために活性エネルギー線を照射する方法
は任意であり、例えば、照射不要部分をマスキングして
照射する、あるいはレーザーなどの活性エネルギー線の
ビームを走査する、照射部分のみに焦点を結ばせる等の
フォトリソグラフィーの手法が利用できる。
The method of irradiating the active energy ray-curable resin composition of the present invention with an active energy ray to cure the resin composition is arbitrary. For example, an active energy ray such as a laser is irradiated by masking an unnecessary portion, or a laser. For example, a photolithography technique, such as scanning the beam or focusing only on the irradiated portion, can be used.

【0088】本発明に成る活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物に活性エネルギー線を照射し照射部分を硬化さ
せ、非照射部の未硬化の樹脂を除去する方法も任意であ
るが、減圧による吸引、多孔質体などによる吸収、圧縮
気体による吹き飛ばし、溶剤洗浄、非溶解性の液体によ
る洗い流し、分解、などの任意の方法を採用できる。本
発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、低粘度液
体とすることが出来るため、上記の方法の中から好適な
ものを選択使用することが出来る。
The method of irradiating the active energy ray-curable resin composition according to the present invention with active energy rays to cure the irradiated portion and remove the uncured resin in the non-irradiated portion is also optional. Any method such as absorption by a porous body, blowing off by a compressed gas, solvent washing, rinsing with a non-soluble liquid, decomposition and the like can be adopted. Since the active energy ray-curable resin composition of the present invention can be made into a low-viscosity liquid, a suitable one can be selected from the above methods.

【0089】本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物は、高い親水性を示す硬化物を与える。例えば、水と
の接触角が30度以下、更には20度以下、更には10
度以下の高い親水性にすることが出来る。ここで言う水
との接触角とは、25℃における静止角を言う。また、
硬化物の表面を高い親水性にすることで、蛋白やDNA
などの生化学物質の吸着の少ない硬化物を形成すること
が出来る。
The active energy ray-curable resin composition of the present invention gives a cured product having high hydrophilicity. For example, the contact angle with water is 30 degrees or less, further 20 degrees or less, and further 10 degrees.
It can be made highly hydrophilic of a degree or less. Here, the contact angle with water refers to a static angle at 25 ° C. Also,
By making the surface of the cured product highly hydrophilic, proteins and DNA
It is possible to form a cured product with little biochemical substance adsorption.

【0090】本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物は、その硬化物に高い親水性と同時に優れた耐水性を
与えることが出来る。例えば、硬化物の乾燥物を25℃
の水に24時間浸漬したときの重量増加が10%以下で
あるような非膨潤性の硬化物を与えることが出来る。ま
た、その硬化物を100℃、30分の煮沸試験で変化が
生じない耐水性、耐熱水性を持たせることが出来る。
The active energy ray-curable resin composition of the present invention can impart high hydrophilicity and excellent water resistance to the cured product. For example, a cured product is dried at 25 ° C.
A non-swelling cured product having a weight increase of 10% or less when immersed in water for 24 hours can be given. In addition, the cured product can have water resistance and hot water resistance that do not change in a boiling test at 100 ° C. for 30 minutes.

【0091】本発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物は、活性エネルギー線のパターニング照射により、そ
の硬化物に微細な構造を形成することが出来る。例え
ば、厚みが5〜300μm、好ましくは10〜200μ
mの塗膜状の硬化物に、幅が20μm以下、更には10
μm以下、更には5μm以下の微細な溝、凹構造、ある
いは壁、凸構造を形成することが出来る。
The active energy ray-curable resin composition of the present invention can form a fine structure on the cured product by patterning irradiation of the active energy ray. For example, the thickness is 5-300 μm, preferably 10-200 μm
m, a width of 20 μm or less,
A fine groove, concave structure, or wall or convex structure having a size of not more than μm, and further not more than 5 μm can be formed.

【0092】また、上記の厚みの塗膜状の硬化物に、ア
スペクト比(=深さ/幅)が0.5以上、更には1以
上、更には2以上であるような溝、凹構造、壁、凸構造
などの構造を形成することが出来る。本発明の活性エネ
ルギー線硬化性樹脂組成物は、また、光学的に透明な成
形物を高い生産性で得ることが出来る。
Further, a groove or concave structure having an aspect ratio (= depth / width) of 0.5 or more, further 1 or more, and further 2 or more is added to the film-shaped cured product having the above thickness. Structures such as walls and convex structures can be formed. The active energy ray-curable resin composition of the present invention can also provide an optically transparent molded product with high productivity.

【0093】[0093]

【実施例】以下、実施例により、本発明を更に具体的に
説明するが、本発明は以下の実施例の範囲に限定される
ものではない。なお、以下の実施例及び比較例における
「部」は特に断りのない限り「重量部」である。
EXAMPLES The present invention will be described more specifically with reference to the following examples, but the present invention is not limited to the scope of the following examples. In the following examples and comparative examples, "parts" are "parts by weight" unless otherwise specified.

【0094】[化合物の略称]以下の実施例及び比較例
中で略称にて示した化合物は下記のものを意味する。 (1)V−4263:平均分子量約2000の3官能ウレ
タンアクリレートオリゴマー(大日本インキ化学工業株
式会社製の「ユニディックV−4263」、単独重合体
の水との接触角71度)
[Abbreviations of Compounds] The compounds represented by abbreviations in the following Examples and Comparative Examples mean the following. (1) V-4263: trifunctional urethane acrylate oligomer having an average molecular weight of about 2000 ("Unidick V-4263" manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc., contact angle of homopolymer with water: 71 degrees)

【0095】(2)HDDA:1,6−ヘキサンジオール
ジアクリレート(第一工業製薬株式会社製の「ニューフ
ロンティアHDDA」、単独重合体の水との接触角68
度)
(2) HDDA: 1,6-hexanediol diacrylate ("New Frontier HDDA" manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., contact angle of water with a homopolymer of 68)
Every time)

【0096】(3)M−114:ノニルフェノキシポリエ
チレングリコール(n=8)アクリレート(東亜合成化
学株式会社製の「M−114」;HLB値=11.2
5;水、シクロヘキサン/トルエン混合溶媒の両者に可
溶) (4)N−177E:ノニルフェノキシポリエチレングリ
コール(n=17)アクリレート(第一工業製薬株式会
社製の「N−177E」;HLB値=14.64;水、
シクロヘキサン/トルエン混合溶媒の両者に可溶)
(3) M-114: nonylphenoxy polyethylene glycol (n = 8) acrylate (“M-114” manufactured by Toa Gosei Chemical Co., Ltd .; HLB value = 11.2)
5; soluble in both water and a mixed solvent of cyclohexane / toluene) (4) N-177E: Nonylphenoxypolyethylene glycol (n = 17) acrylate (“N-177E” manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd .; HLB value = 14.64; water,
Soluble in both cyclohexane / toluene mixed solvent)

【0097】(5)AMP−10G:フェノキシポリエチ
レングリコール(n=1)アクリレート(新中村化学工
業株式会社製の「AMP−10G」、HLB値:4.5
8) (6)M−113:ノニルフェノキシポリエチレングリコ
ール(n=4)アクリレート(東亜合成化学株式会社製
の「M−113」、HLB値:7.82)
(5) AMP-10G: Phenoxypolyethylene glycol (n = 1) acrylate (“AMP-10G” manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., HLB value: 4.5)
8) (6) M-113: nonylphenoxy polyethylene glycol (n = 4) acrylate (“M-113” manufactured by Toagosei Chemical Co., Ltd., HLB value: 7.82)

【0098】(7)M−102:フェノキシポリエチレン
グリコール(n=4)アクリレート(東亜合成化学株式
会社製の「M−102」、HLB値:10.86) (8)AM−90G:メトキシポリエチレングリコール
(n=9)アクリレート(新中村化学工業株式会社製の
「AM−90G」、HLB値:16.43)
(7) M-102: phenoxy polyethylene glycol (n = 4) acrylate (“M-102” manufactured by Toagosei Chemical Co., Ltd., HLB value: 10.86) (8) AM-90G: methoxy polyethylene glycol (N = 9) Acrylate (“AM-90G” manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., HLB value: 16.43)

【0099】(9)DPMP:2,4−ジフェニル−4−
メチル−1−ペンテン(関東化学株式会社製) (10)イルガキュア184:1−ヒドロキシシクロヘキシ
ルフェニルケトン(チバガイギー社製の「イルガキュア
184」)
(9) DPMP: 2,4-diphenyl-4-
Methyl-1-pentene (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd.) (10) Irgacure 184: 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone (“Irgacure 184” manufactured by Ciba Geigy)

【0100】[測定方法]実施例中の測定は次の方法に
より行った。 〔重合性化合物の水に対する溶解性の測定〕両親媒性の
重合性化合物(b)0.5部、0℃の水99.5部の混合
溶液を調製し、激しく撹拌し、0℃にて24時間静置し
た後、目視にて相分離の有無を判定した。
[Measurement Method] The measurement in the examples was performed by the following method. [Measurement of solubility of polymerizable compound in water] A mixed solution of 0.5 part of amphiphilic polymerizable compound (b) and 99.5 parts of water at 0 ° C was prepared, stirred vigorously, and stirred at 0 ° C. After standing for 24 hours, the presence or absence of phase separation was visually determined.

【0101】〔重合性化合物の疎水性溶剤に対する溶解
性の測定〕シクロヘキサン62.5部及びトルエン1
2.5部からなるシクロヘキサン/トルエン混合溶媒を
用意し、両親媒性の重合性化合物(b)25部、シクロ
ヘキサン/トルエン混合溶媒75部を混合して25℃に
て激しく攪拌し、25℃にて24時間静置した後、目視
にて相分離の有無を判定した。
[Measurement of solubility of polymerizable compound in hydrophobic solvent] 62.5 parts of cyclohexane and 1 part of toluene
A cyclohexane / toluene mixed solvent consisting of 2.5 parts is prepared, and an amphiphilic polymerizable compound (b) (25 parts) and cyclohexane / toluene mixed solvent (75 parts) are mixed and vigorously stirred at 25 ° C. After standing for 24 hours, the presence or absence of phase separation was visually determined.

【0102】〔水との接触角の測定〕試料を温度25±
1℃、湿度55±5%に24時間静置した後、協和界面
科学製接触角度計CA−X型を使用し、上記と同じ温度
・湿度で、安定化時間3分で測定した。
[Measurement of contact angle with water]
After allowing to stand at 1 ° C. and a humidity of 55 ± 5% for 24 hours, measurement was carried out using a contact angle meter CA-X manufactured by Kyowa Interface Science at the same temperature and humidity as described above for a stabilization time of 3 minutes.

【0103】〔水中浸漬による重量増加(膨潤度)の測
定〕試料を45℃にて5時間、真空乾燥させた後、秤量
し、乾燥重量とした。この試料を25℃の水に24時間
浸漬した後、表面を濾紙で拭って秤量し、重量増加を測
定した。膨潤度は次式によった。 膨潤度(%)=重量増加(g)/乾燥重量(g)×10
[Measurement of Weight Increase (Swelling Degree) by Immersion in Water] A sample was vacuum-dried at 45 ° C. for 5 hours, and then weighed to obtain a dry weight. After immersing this sample in water at 25 ° C. for 24 hours, the surface was wiped with filter paper and weighed, and the weight increase was measured. The degree of swelling was determined by the following equation. Swelling degree (%) = weight increase (g) / dry weight (g) × 10
0

【0104】〔耐熱水性試験〕試料を100℃の蒸留水
中で30分間煮沸し、硬化塗膜の色調変化と基材からの
剥離の有無を観察した。
[Hot Water Resistance Test] The sample was boiled in distilled water at 100 ° C. for 30 minutes, and the color change of the cured coating film and the presence or absence of peeling from the substrate were observed.

【0105】〔ゲル化に要する紫外線照射量の測定〕測
定装置として、ハーケ(HAAKE)社製のアールエス
150レオストレス(RS150RheoStres
s)型粘弾性測定装置に、ピーピー20(PP20)型
センサーを用い、サンプル厚み0.5mm、測定周波数
1Hzで測定した。測定の樹脂硬化に用いた紫外線照射
装置は、ウシオ電気株式会社製ウシオスポットキュアー
エスピーIII(SP−III)型装置を用いた。紫外線強
度は1.21mW/cm2であった。
[Measurement of UV Irradiation Amount Required for Gelation] As a measuring device, an RS150RheoStress (RS150RheoStress, manufactured by HAAKE) was used.
The measurement was performed at a sample thickness of 0.5 mm and a measurement frequency of 1 Hz using a s-type viscoelasticity measuring device with a P20 sensor. Ushio Spot Cure SP III (SP-III) manufactured by Ushio Electric Co., Ltd. was used as an ultraviolet irradiation device used for curing the resin. The ultraviolet intensity was 1.21 mW / cm 2 .

【0106】測定方法は、未硬化の活性エネルギー線硬
化性樹脂組成物を所定のセルに挟み、粘弾性測定を行い
ながら、ガラス製のセル底面より紫外線を照射した。硬
化の進行に伴い、有限の値から増加する損失弾性率
(G”)とゼロから増加する保存弾性率(G’)が交差
するが、その時点をゲル化点とした。ゲル化に要する活
性エネルギー線の線量は、照射強度とゲル化までの時間
の積として求めた。
The measurement was carried out by sandwiching an uncured active energy ray-curable resin composition in a predetermined cell, and irradiating ultraviolet rays from the bottom of the glass cell while measuring the viscoelasticity. As the curing progresses, the loss elastic modulus (G ″) increasing from a finite value and the storage elastic modulus (G ′) increasing from zero intersect, but that point is defined as the gel point. The dose of the energy beam was determined as the product of the irradiation intensity and the time to gelation.

【0107】[活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の調
製] 〔活性エネルギー線硬化性樹脂組成物(e1)〕活性エ
ネルギー線重合性化合物(a)として、V−4263を
10部、及びHDDAを10部、両親媒性の重合性化合
物(b)としてM−114を80部、重合遅延剤として
DPMPを0.5部、光重合開始剤としてイルガキュア
184を5部を均一に混合して活性エネルギー線硬化性
樹脂組成物(e1)を調製した。活性エネルギー線硬化
性樹脂組成物(e1)のゲル化点は、2.8秒(照射光
量3.4mJ/cm2)であった。
[Preparation of active energy ray-curable resin composition] [Active energy ray-curable resin composition (e1)] As an active energy ray-polymerizable compound (a), 10 parts of V-4263 and 10 parts of HDDA were used. Parts, 80 parts of M-114 as an amphiphilic polymerizable compound (b), 0.5 parts of DPMP as a polymerization retarder, and 5 parts of Irgacure 184 as a photopolymerization initiator are uniformly mixed to form an active energy ray. A curable resin composition (e1) was prepared. The gel point of the active energy ray-curable resin composition (e1) was 2.8 seconds (irradiation light amount: 3.4 mJ / cm 2 ).

【0108】〔活性エネルギー線硬化性樹脂組成物(e
2)〕活性エネルギー線重合性化合物(a)として、V
−4263を10部、及びHDDAを10部、両親媒性
の重合性化合物(b)としてM−114を80部、重合
遅延剤としてDPMPを0.1部、光重合開始剤として
イルガキュア184の2部を均一に混合して活性エネル
ギー線硬化性樹脂組成物(e2)を調製した。活性エネ
ルギー線硬化性樹脂組成物(e2)のゲル化点は、1.
8秒(照射光量2.2mJ/cm2)であった。
[Active energy ray-curable resin composition (e
2)] As the active energy ray polymerizable compound (a), V
10 parts of 4263, 10 parts of HDDA, 80 parts of M-114 as an amphiphilic polymerizable compound (b), 0.1 part of DPMP as a polymerization retarder, and 2 parts of Irgacure 184 as a photopolymerization initiator. The active energy ray-curable resin composition (e2) was prepared by uniformly mixing the parts. The gel point of the active energy ray-curable resin composition (e2) is as follows.
8 seconds (irradiation light amount: 2.2 mJ / cm 2 ).

【0109】〔活性エネルギー線硬化性樹脂組成物(e
3)〕活性エネルギー線重合性化合物(a)として、V
−4263を60部、及びHDDAを20部、両親媒性
の重合性化合物(b)としてN−177Eを20部、重
合遅延剤としてDPMPを0.5部、及び光重合開始剤
としてイルガキュア184の5部を均一に混合して組成
物(e3)を調製した。活性エネルギー線硬化性樹脂組
成物(e2)のゲル化点は、2.1秒(照射光量2.5
mJ/cm2)であった。
[Active energy ray-curable resin composition (e
3)] As the active energy ray polymerizable compound (a), V
60 parts of -4263, 20 parts of HDDA, 20 parts of N-177E as an amphiphilic polymerizable compound (b), 0.5 parts of DPMP as a polymerization retarder, and Irgacure 184 as a photopolymerization initiator. Five parts were uniformly mixed to prepare a composition (e3). The gel point of the active energy ray-curable resin composition (e2) was 2.1 seconds (irradiation light amount of 2.5
mJ / cm 2 ).

【0110】〔活性エネルギー線硬化性樹脂組成物(e
4)〕活性エネルギー線重合性化合物(a)として、V
−4263を60部、及びHDDAを20部、両親媒性
の重合性化合物(b)としてN−177Eを20部、重
合遅延剤としてDPMPを0.1部、及び光重合開始剤
としてイルガキュア184の5部を均一に混合して組成
物(e4)を調製した。活性エネルギー線硬化性樹脂組
成物(e2)のゲル化点は0.53秒(照射光量0.6
4mJ/cm2)であった。
[Active energy ray-curable resin composition (e
4)] As the active energy ray polymerizable compound (a), V
60 parts of -4263, 20 parts of HDDA, 20 parts of N-177E as an amphiphilic polymerizable compound (b), 0.1 part of DPMP as a polymerization retarder, and Irgacure 184 as a photopolymerization initiator. Five parts were uniformly mixed to prepare a composition (e4). The gel point of the active energy ray-curable resin composition (e2) is 0.53 seconds (irradiation light amount 0.6
4 mJ / cm 2 ).

【0111】〔活性エネルギー線硬化性樹脂組成物(e
5)〕活性エネルギー線重合性化合物(a)として、ポ
リテトラメチレングリコール(平均分子量250)マレ
イミドカプリエート(特開平11−124403号公報
の合成例13に記載の方法によって合成した。単独重合
体の水との接触角69度)80部、両親媒性の重合性化
合物(b)としてN−177Eを20部、重合遅延剤と
してDPMP(関東化学株式会社製)0.1部を混合し
て組成物(e5)を調製した。活性エネルギー線硬化性
樹脂組成物(e2)のゲル化点は、4.4秒(照射光量
5,3mJ/cm2)であった。
[Active energy ray-curable resin composition (e
5)] As the active energy ray polymerizable compound (a), polytetramethylene glycol (average molecular weight: 250) maleimide capriate was synthesized by the method described in Synthesis Example 13 of JP-A-11-124403. 80 parts of contact angle with water), 20 parts of N-177E as an amphiphilic polymerizable compound (b), and 0.1 part of DPMP (manufactured by Kanto Chemical Co., Ltd.) as a polymerization retarder. Preparation (e5) was prepared. The gel point of the active energy ray-curable resin composition (e2) was 4.4 seconds (irradiation light amount: 5.3 mJ / cm 2 ).

【0112】[解像度試験用フォトマスクの作製]幅
4、6、8、10、20、30、40、50、60、7
0、80、90、100μmの線状のマスク部(非露光
部)を有し、そのそれぞれが、4、6、8、10、2
0、30、40、50、60、70、80、90、10
0μmの間隔(露光部)をあけて形成されたパターンの
金属蒸着ガラス板製のフォトマスクを作製した。
[Preparation of Photomask for Resolution Test] Widths 4, 6, 8, 10, 20, 30, 40, 50, 60, 7
It has 0, 80, 90, and 100 μm linear mask portions (non-exposed portions), each of which is 4, 6, 8, 10, 2
0, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, 10
A photomask made of a metal-deposited glass plate having a pattern formed at intervals of 0 μm (exposed portion) was produced.

【0113】[実施例1] 〔基材の作製〕5cm×5cm×1mmのアクリル樹脂板
(三菱レイヨン株式会社製の「アクリライトL」)に活
性エネルギー線硬化性樹脂組成物(e1)を厚さ50μ
mのバーコーターで塗工し、窒素雰囲気中で、フォトマ
スクを使用せずに50mW/cm2 の紫外線を3秒間照
射して塗膜を硬化させ、アクリル樹脂板の表面に厚み約
36μmの活性エネルギー線硬化性樹脂組成物(e1)
硬化塗膜の形成された基材(1)を作製した。
[Example 1] [Preparation of base material] An active energy ray-curable resin composition (e1) was formed on a 5 cm x 5 cm x 1 mm acrylic resin plate ("Acrylite L" manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.). 50μ
m with a bar coater, and in a nitrogen atmosphere, irradiate with ultraviolet rays of 50 mW / cm 2 for 3 seconds without using a photomask to harden the coating film, and apply an activity of about 36 μm thickness to the surface of the acrylic resin plate. Energy ray-curable resin composition (e1)
A substrate (1) on which a cured coating film was formed was prepared.

【0114】基材(1)に50μmのバーコーターを用
いて活性エネルギー線硬化性樹脂組成物(e1)を塗工
した。窒素雰囲気中で、解像度試験用のフォトマスクを
通して、ウシオ電機株式会社製のマルチライト200型
露光装置用光源ユニットを用いて、50mW/cm2の紫
外線を1秒間照射することにより露光し、活性エネルギ
ー線硬化性樹脂組成物(e1)塗膜を硬化させた。
The active energy ray-curable resin composition (e1) was applied to the substrate (1) using a 50 μm bar coater. Exposure was performed by irradiating a UV light of 50 mW / cm 2 for 1 second in a nitrogen atmosphere through a photomask for a resolution test using a light source unit for a Multilight 200 type exposure apparatus manufactured by Ushio Inc. The coating film of the curable resin composition (e1) was cured.

【0115】活性エネルギー線硬化性樹脂組成物(e
1)を溶解させる溶剤である2−ブタノンを洗瓶から噴
出させて非露光部分の未硬化の活性エネルギー線硬化性
樹脂組成物(e1)を洗浄除去し、溝を形成した。その
後、上記の露光に用いたと同じ紫外線を30秒間照射し
て、塗膜を完全に硬化させた。
The active energy ray-curable resin composition (e
2-butanone, which is a solvent for dissolving 1), was blown out of the washing bottle to wash and remove the uncured active energy ray-curable resin composition (e1) in the non-exposed portions to form grooves. Thereafter, the same ultraviolet light used for the above exposure was irradiated for 30 seconds to completely cure the coating film.

【0116】〔解像度の観察〕走査型電子顕微鏡(SE
M)を用いて、塗膜に形成された溝状のパターンを観察
したところ、全ての溝が明瞭に形成されていた。但し、
細かいパターン部では溝が浅くなり、溝幅20μm、間
隔4μmの部分ではアスペクト比が約3(溝の深さ約1
2μm)であり、溝幅、間隔共に4μmの部分ではアス
ペクト比が約1(溝の深さ約4μm)であった。溝幅及
び溝間隔が100μmの部分では溝の深さは約36μm
であった。
[Observation of Resolution] Scanning electron microscope (SE
Observation of the groove-like pattern formed on the coating film using M) revealed that all grooves were clearly formed. However,
In a fine pattern portion, the groove becomes shallow, and in a portion having a groove width of 20 μm and an interval of 4 μm, the aspect ratio is about 3 (groove depth of about 1).
2 μm), and the aspect ratio was about 1 (the groove depth was about 4 μm) in a portion where both the groove width and the interval were 4 μm. When the groove width and the groove interval are 100 μm, the groove depth is about 36 μm.
Met.

【0117】〔親水性試験〕硬化塗膜の溝の形成されて
いない部分で、水との接触角を則足した結果、この硬化
塗膜の水との接触角は20度であった。
[Hydrophilicity test] The contact angle with water was added to the portion of the cured coating film where no grooves were formed. As a result, the contact angle with water of this cured coating film was 20 degrees.

【0118】〔耐熱水製試験〕100℃、30分の煮沸
試験の結果、硬化塗膜の白濁や基材からの剥離は認めら
れなかった。
[Hot Water Test] As a result of a boiling test at 100 ° C. for 30 minutes, no cloudiness of the cured coating film or peeling from the substrate was observed.

【0119】〔耐水性試験〕ガラス板に127μmのバ
ーコーターを用いて活性エネルギー線硬化性樹脂組成物
(e1)を塗布し、上記と同様の紫外線を30秒間照射
して硬化塗膜を形成し、これをガラス板から剥離して試
料とした。25℃、24時間の水への浸漬試験の結果、
硬化塗膜の重量増加は0.5%であった。
[Water Resistance Test] The active energy ray-curable resin composition (e1) was applied to a glass plate using a 127 μm bar coater, and irradiated with the same ultraviolet rays as above for 30 seconds to form a cured coating film. This was peeled off from the glass plate to obtain a sample. As a result of a immersion test in water at 25 ° C. for 24 hours,
The weight gain of the cured coating was 0.5%.

【0120】[実施例2]活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物(e1)の代わりに活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物(e2)を用いたこと以外は実施例1と同様にし
て硬化塗膜を作製し、実施例1と同様の試験を行った。
その結果、溝幅または溝間距離が6μm以下では、パタ
ーンのつぶれが認められた。また、水との接触角は21
度であった。耐水性と耐熱水性については実施例1と同
様であった。
Example 2 A cured coating film was formed in the same manner as in Example 1 except that the active energy ray-curable resin composition (e2) was used instead of the active energy ray-curable resin composition (e1). Then, the same test as in Example 1 was performed.
As a result, when the groove width or the distance between the grooves was 6 μm or less, the pattern was crushed. The contact angle with water is 21
Degree. The water resistance and hot water resistance were the same as in Example 1.

【0121】[実施例3]活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物(e1)の代わりに活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物(e3)を用いたこと以外は実施例1と同様にし
て硬化塗膜を作製し、実施例1と同様の試験を行った。
その結果、パターンの解像度、耐水性、耐熱水性につい
ては実施例1と同様であった。水との接触角は12度で
あった。
[Example 3] A cured coating film was formed in the same manner as in Example 1 except that the active energy ray-curable resin composition (e3) was used instead of the active energy ray-curable resin composition (e1). Then, the same test as in Example 1 was performed.
As a result, the pattern resolution, water resistance, and hot water resistance were the same as in Example 1. The contact angle with water was 12 degrees.

【0122】[実施例4]活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物(e1)の代わりに活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物(e4)を用いたこと以外は実施例1と同様にし
て硬化塗膜を作製し、実施例1と同様の試験を行った。
その結果、溝幅または溝間距離が10μm以下では、パ
ターンのつぶれが認められた。水との接触角は12度で
あった。耐水性と耐熱水性については実施例1と同様で
あった。
Example 4 A cured coating film was formed in the same manner as in Example 1 except that the active energy ray-curable resin composition (e4) was used instead of the active energy ray-curable resin composition (e1). Then, the same test as in Example 1 was performed.
As a result, when the groove width or the distance between the grooves was 10 μm or less, the pattern was crushed. The contact angle with water was 12 degrees. The water resistance and hot water resistance were the same as in Example 1.

【0123】[実施例5]活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物(e1)の代わりに活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物(e5)を用いたこと以外は実施例1と同様にし
て硬化塗膜を作製し、実施例1と同様の試験を行った。
その結果、溝幅或いは溝間距離が10μm以下では、パ
ターンのつぶれが認められた。また、水との接触角は2
5度であった。耐水性と耐熱水性については、膨潤度が
約0.3%であること以外は実施例1と同様であった。
Example 5 A cured coating film was formed in the same manner as in Example 1 except that the active energy ray-curable resin composition (e5) was used instead of the active energy ray-curable resin composition (e1). Then, the same test as in Example 1 was performed.
As a result, when the groove width or the distance between the grooves was 10 μm or less, the pattern was crushed. The contact angle with water is 2
5 degrees. The water resistance and hot water resistance were the same as in Example 1 except that the degree of swelling was about 0.3%.

【0124】[実施例6]50μmのバーコーターの代
わりに127μmのバーコーターを用いたこと以外は実
施例1と同様にして硬化塗膜を作製し、実施例1と同様
の試験を行った。その結果、100μm幅のパターン部
に於ける溝の深さが約110μmであること以外は、全
てについて実質的に実施例1と同様であった。
Example 6 A cured coating film was produced in the same manner as in Example 1 except that a bar coater of 127 μm was used instead of the bar coater of 50 μm, and the same test as in Example 1 was conducted. As a result, everything was substantially the same as Example 1 except that the depth of the groove in the pattern portion having a width of 100 μm was about 110 μm.

【0125】[比較例1、2、3及び4]重合遅延剤を
加えなかったこと以外は、それぞれ活性エネルギー線硬
化性樹脂組成物(e1)、(e2)、(e3)、(e
4)、(e5)と同様にして活性エネルギー線硬化性の
樹脂組成物(c1)、(c2)、(c3)、(c4)、
(c5)を調製した。樹脂組成物(c1)、(c2)、
(c3)、(c4)、(c5)のゲル化点を表1に示し
た。
[Comparative Examples 1, 2, 3, and 4] The active energy ray-curable resin compositions (e1), (e2), (e3), and (e) were respectively added except that no polymerization retarder was added.
4) and (e5), active energy ray-curable resin compositions (c1), (c2), (c3), (c4),
(C5) was prepared. Resin compositions (c1), (c2),
Table 1 shows the gelation points of (c3), (c4), and (c5).

【0126】活性エネルギー線硬化性樹脂組成物(e
1)、(e2)、(e3)、(e4)、(e5)の代わ
りに、それぞれ活性エネルギー線硬化性の樹脂組成物
(c1、比較例1)、(c2、比較例2)、(c3、比
較例3)、(c4、比較例4)、(c5、比較例5)を
用いたこと以外は実施例1〜5と同様にして硬化塗膜を
作製し、実施例1〜5と同様の試験を行った。
The active energy ray-curable resin composition (e
Instead of 1), (e2), (e3), (e4), and (e5), active energy ray-curable resin compositions (c1, Comparative Example 1), (c2, Comparative Example 2), (c3) , Comparative Example 3), (c4, Comparative Example 4), (c5, Comparative Example 5) except that a cured coating film was prepared in the same manner as in Examples 1 to 5, and the same as in Examples 1 to 5. Was tested.

【0127】その結果、溝幅又は溝間距離が表1に示し
た値より1段細かい幅では、パターンが浅くなりつぶれ
ていた。比較例1〜5をそれぞれ実施例1〜5と比較す
ると、重合遅延剤を添加しないと細かいパターンの形成
が不可能であることが分かる。また、水との接触角につ
いては、それぞれ実施例1〜5に比べてやや高いもの
の、ほぼ同様であった。耐水性、耐熱水性についてはそ
れぞれ実施例1〜5と同様であった。なお、表中の解像
度は表中に表示の値より1段細かい幅の照射部又は非照
射部では、パターンが浅くなりつぶれる幅を言う。
As a result, when the groove width or the distance between the grooves was smaller than the value shown in Table 1, the pattern was shallow and crushed. Comparing Comparative Examples 1 to 5 with Examples 1 to 5, it can be seen that a fine pattern cannot be formed without adding a polymerization retarder. In addition, the contact angles with water were almost the same, though slightly higher than those of Examples 1 to 5, respectively. The water resistance and hot water resistance were the same as in Examples 1 to 5, respectively. Note that the resolution in the table refers to the width at which the pattern becomes shallower and collapses in the illuminated portion or the non-illuminated portion having a width one step smaller than the value displayed in the table.

【0128】[0128]

【表1】 [Table 1]

【0129】〔比較例6、7及び8〕実施例1におい
て、両親媒性の重合性化合物(b)に代えて、親水基と
疎水基を有するが両親媒性でなく、水に不溶でありシク
ロヘキサン/トルエン混合溶媒に可溶な重合性化合物で
あるAMP−10G(HLB値:4.58)(比較例
3)、M−113(HLB値:7.82)(比較例
4)、またはM−102(HLB値:10.86)(比
較例5)を使用し、表1に示した割合で用いた以外は、
実施例1と同様にして成形物を作製し、実施例1と同様
の測定を行った。
[Comparative Examples 6, 7 and 8] In Example 1, instead of the amphiphilic polymerizable compound (b), the compound had a hydrophilic group and a hydrophobic group, but was not amphiphilic and was insoluble in water. AMP-10G (HLB value: 4.58) (Comparative Example 3), M-113 (HLB value: 7.82) (Comparative Example 4) or a polymerizable compound soluble in a mixed solvent of cyclohexane / toluene. -102 (HLB value: 10.86) (Comparative Example 5), except that it was used in the ratio shown in Table 1.
A molded product was prepared in the same manner as in Example 1, and the same measurement as in Example 1 was performed.

【0130】結果を表2にまとめて示した。表中のaと
bは下記の意味を表す。 a:活性エネルギー線重合性化合物(a)、V−426
3:HDDA=1:1 b: 親水基を有する重合性化合物
Table 2 summarizes the results. A and b in the table represent the following meanings. a: Active energy ray polymerizable compound (a), V-426
3: HDDA = 1: 1 b: Polymerizable compound having a hydrophilic group

【0131】[0131]

【表2】 [Table 2]

【0132】表2に示した結果から、両親媒性の重合性
化合物(b)に代えて、親水基と疎水基を有するが両親
媒性でなく、水に不溶でありシクロヘキサン/トルエン
混合溶媒に可溶な重合性化合物を用いた場合には、混合
比に関わらず、得られた成形物の水との接触角が低くな
らないことがわかる。
From the results shown in Table 2, it can be seen that, instead of the amphiphilic polymerizable compound (b), the polymer has a hydrophilic group and a hydrophobic group but is not amphiphilic, is insoluble in water, and can be used in a mixed solvent of cyclohexane / toluene. It can be seen that when a soluble polymerizable compound is used, the contact angle of the obtained molded product with water does not decrease regardless of the mixing ratio.

【0133】〔比較例9〕実施例1において、両親媒性
の重合性化合物(b)に代えて、水に可溶でありシクロ
ヘキサン/トルエン混合溶媒に不溶な重合性化合物であ
るAM−90G(HLB値:16.43)を使用し、表
2に示した割合で用いた以外は、実施例1と同様に成形
物を作製し、実施例1と同様の測定を行った。
[Comparative Example 9] In Example 1, AM-90G (a polymerizable compound soluble in water and insoluble in a mixed solvent of cyclohexane / toluene) was used in place of the amphiphilic polymerizable compound (b). A molded article was produced in the same manner as in Example 1 except that the HLB value was 16.43) and the proportions shown in Table 2 were used, and the same measurement as in Example 1 was performed.

【0134】結果を表3にまとめて示した。表中のaと
bは下記の意味を表す。 a:活性エネルギー線重合性化合物(a)、V−426
3:HDDA=1:1 b: 親水性の重合性化合物、AM−90G *1:測定中に塗膜が膨潤して変形 *2:測定中に試料が細片に自己破壊
Table 3 summarizes the results. A and b in the table represent the following meanings. a: Active energy ray polymerizable compound (a), V-426
3: HDDA = 1: 1 b: Hydrophilic polymerizable compound, AM-90G * 1: The coating film swells and deforms during the measurement * 2: The sample self-destructs during measurement

【0135】[0135]

【表3】 [Table 3]

【0136】表3に示した結果から、両親媒性の重合性
化合物(b)に代えて、両親媒性でない親水性化合物、
即ち水に可溶でありシクロヘキサン/トルエン混合溶媒
に不溶な重合性化合物を用いた場合には、該化合物の組
成比が低い場合には得られた成形物の水との接触角が低
下せず、逆に該化合物の組成比を高めた場合には得られ
た成形物の水との接触角がそれほど低下しないうちに、
水に膨潤性となってしまうことがわかる。
From the results shown in Table 3, a hydrophilic compound which is not amphiphilic is used in place of the amphiphilic polymerizable compound (b).
That is, when a polymerizable compound that is soluble in water and insoluble in a mixed solvent of cyclohexane / toluene is used, the contact angle of the obtained molded product with water does not decrease when the composition ratio of the compound is low. Conversely, when the composition ratio of the compound is increased, before the contact angle with water of the obtained molded product does not decrease so much,
It turns out that it becomes swellable in water.

【0137】[0137]

【発明の効果】本発明は、水に対して非膨潤性でありな
がら高い表面親水性を示し、且つ活性エネルギー線のパ
ターン露光によって極めて微細な構造を有する硬化物を
容易に形成しうる活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を
提供できる。
Industrial Applicability The present invention provides an active energy which exhibits high surface hydrophilicity while being non-swelling in water, and which can easily form a cured product having an extremely fine structure by active energy ray pattern exposure. A line-curable resin composition can be provided.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01N 37/00 102 G03F 7/004 502 G03F 7/004 502 7/027 7/027 502 502 7/26 501 7/26 501 G01N 33/53 M // G01N 33/53 33/566 33/566 27/26 331G Fターム(参考) 2H025 AB20 AC01 AC05 AC06 AC08 AD01 BC23 BC34 BC43 BC49 BC83 CC01 FA03 2H096 AA00 AA30 BA05 BA06 BA20 EA02 EA04 EA06 EA07 LA16 4J011 AA05 CA08 CC10 DA02 FA05 FA07 FB01 NA00 NB06 QA12 QA13 QA22 QA26 QB04 QB16 QB19 QB24 QB29 UA01 VA01 WA01 WA09 WA10 4J027 AC02 AG01 AJ08 BA19 BA23 BA25 CB10 CC05 CD07 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G01N 37/00 102 G03F 7/004 502 G03F 7/004 502 7/027 7/027 502 502 7/26 501 7/26 501 G01N 33/53 M // G01N 33/53 33/566 33/566 27/26 331G F term (reference) 2H025 AB20 AC01 AC05 AC06 AC08 AD01 BC23 BC34 BC43 BC49 BC83 CC01 FA03 2H096 AA00 AA30 BA05 BA06 BA20 EA02 EA04 EA06 EA07 LA16 4J011 AA05 CA08 CC10 DA02 FA05 FA07 FB01 NA00 NB06 QA12 QA13 QA22 QA26 QB04 QB16 QB19 QB24 QB29 UA01 VA01 WA01 WA09 WA10 4J027 AC02 AG01 AJ08 BA19 CC23 BA25 CB10

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 その単独重合体の水との接触角が50度
以上である、活性エネルギー線重合性化合物(a)と、
活性エネルギー線照射により活性エネルギー線重合性化
合物(a)と共重合体を形成しうる、両親媒性の重合性
化合物(b)と重合遅延剤及び/又は重合禁止剤とを含
有する活性エネルギー線硬化性樹脂組成物。
An active energy ray-polymerizable compound (a), wherein the homopolymer has a contact angle of 50 ° or more with water;
Active energy ray containing an amphiphilic polymerizable compound (b) and a polymerization retarder and / or a polymerization inhibitor, capable of forming a copolymer with the active energy ray polymerizable compound (a) upon irradiation with the active energy ray. Curable resin composition.
【請求項2】 活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に含
有される重合遅延剤及び/又は重合禁止剤の添加量が、
活性エネルギー線照射によって該活性エネルギー線硬化
性樹脂組成物に流動性を喪失させるに要する活性エネル
ギー線の線量が、重合遅延剤及び/又は重合禁止剤非添
加系の1.5〜50倍となる量である請求項1に記載の
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物。
2. The addition amount of a polymerization retarder and / or a polymerization inhibitor contained in an active energy ray-curable resin composition is as follows:
The dose of active energy rays required to cause the active energy ray-curable resin composition to lose fluidity by irradiation with active energy rays becomes 1.5 to 50 times that of the system without the polymerization retarder and / or the polymerization inhibitor. The active energy ray-curable resin composition according to claim 1, which is in an amount.
【請求項3】 活性エネルギー線重合性化合物(a)
が、1分子中に2個以上の重合性炭素−炭素不飽和結合
を有する化合物であり、且つ両親媒性の重合性化合物
(b)が、1分子中に1個以上の重合性炭素−炭素不飽
和結合を有する化合物である請求項1又は2に記載の活
性エネルギー線硬化性樹脂組成物。
3. An active energy ray polymerizable compound (a)
Is a compound having two or more polymerizable carbon-carbon unsaturated bonds in one molecule, and the amphiphilic polymerizable compound (b) is one or more polymerizable carbon-carbon in one molecule. The active energy ray-curable resin composition according to claim 1, which is a compound having an unsaturated bond.
【請求項4】 両親媒性の重合性化合物(b)が、25
℃のシクロヘキサン:トルエン=5:1(重量比)の混
合溶媒に25重量%以上溶解し、且つ0℃の水に対して
0.5重量%以上溶解する請求項1〜3のいずれか1つ
に記載の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物。
4. An amphiphilic polymerizable compound (b) comprising 25
4. The composition according to claim 1, which is soluble in a mixed solvent of cyclohexane: toluene = 5: 1 (weight ratio) at 25.degree. C. in an amount of 25% by weight or more and 0.5% by weight or more in water at 0.degree. The active energy ray-curable resin composition according to the above.
【請求項5】 両親媒性の重合性化合物(b)のグリフ
ィンのHLB値が、10〜16である請求項1〜4のい
ずれか1つに記載の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物。
5. The active energy ray-curable resin composition according to claim 1, wherein the glycine of the amphiphilic polymerizable compound (b) has an HLB value of 10 to 16.
【請求項6】 両親媒性の重合性化合物(b)が、繰り
返し数6〜20のポリエチレングリコール鎖を有する化
合物である請求項1〜5のいずれか1つに記載の活性エ
ネルギー線硬化性樹脂組成物。
6. The active energy ray-curable resin according to claim 1, wherein the amphiphilic polymerizable compound (b) is a compound having a polyethylene glycol chain having 6 to 20 repetitions. Composition.
【請求項7】 両親媒性の重合性化合物(b)が、炭素
原子数6〜20のアルキル基又はアルキレン基を有する
化合物である請求項1〜6のいずれか1つに記載の活性
エネルギー線硬化性樹脂組成物。
7. The active energy ray according to claim 1, wherein the amphiphilic polymerizable compound (b) is a compound having an alkyl group or an alkylene group having 6 to 20 carbon atoms. Curable resin composition.
【請求項8】 両親媒性の重合性化合物(b)が、炭素
数6〜20個のアルキル基を有するアルキルフェニル基
含有化合物である請求項1〜7のいずれか1つに記載の
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物。
8. The active energy according to claim 1, wherein the amphiphilic polymerizable compound (b) is an alkylphenyl group-containing compound having an alkyl group having 6 to 20 carbon atoms. A line-curable resin composition.
【請求項9】 活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に含
有される両親媒性の重合性化合物(b)の量が、活性エ
ネルギー線重合性化合物(a)1重量部に対して0.1
〜5重量部である請求項1〜8のいずれか1つに記載の
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物。
9. The amount of the amphiphilic polymerizable compound (b) contained in the active energy ray-curable resin composition is 0.1 to 1 part by weight of the active energy ray-polymerizable compound (a).
The active energy ray-curable resin composition according to any one of claims 1 to 8, wherein the amount is from 5 to 5 parts by weight.
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