JP2002093377A - Dielectric barrier discharge lamp device - Google Patents
Dielectric barrier discharge lamp deviceInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 誘電体バリア放電ランプに冷却手段が具備さ
れてなる誘電体バリア放電ランプ装置において、当該ラ
ンプの放電容器にクラックが発生するのを防止できて、
ランプの長寿命化を達成できる、誘電体バリア放電ラン
プ装置を提供すること。
【解決手段】 石英ガラスからなる放電容器の内部に誘
電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用
ガスが充填されて放電空間が形成され、この放電容器の
少なくとも一部に光出射窓が形成されている誘電体バリ
ア放電ランプと、前記光出射窓を除く前記放電容器外表
面上に当該ランプを冷却するための冷却手段を具備して
なる誘電体バリア放電ランプ装置において、前記放電容
器には、前記冷却手段により冷却される部位に対応し
て、放電空間側表面上に、紫外線反射膜及び／又は紫外
線吸収膜が形成されていることを特徴とする。
(57) [Summary] [Object] In a dielectric barrier discharge lamp device in which a cooling means is provided in a dielectric barrier discharge lamp, cracks can be prevented from being generated in a discharge vessel of the lamp, and
To provide a dielectric barrier discharge lamp device capable of achieving a long lamp life. A discharge vessel made of quartz glass is filled with a discharge gas for generating excimer molecules by dielectric barrier discharge to form a discharge space, and a light emission window is formed in at least a part of the discharge vessel. Dielectric barrier discharge lamp, and, in a dielectric barrier discharge lamp device comprising cooling means for cooling the lamp on the outer surface of the discharge vessel except for the light exit window, the discharge vessel, An ultraviolet reflection film and / or an ultraviolet absorption film is formed on the surface on the discharge space side corresponding to the part cooled by the cooling means.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、冷却手段が具備
された誘電体バリア放電ランプ装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dielectric barrier discharge lamp device provided with cooling means.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、金属、ガラス、その他の材料より
なる被処理体に波長２００ｎｍ以下の真空紫外光を照射
することにより、当該真空紫外光及びこれにより生成さ
れるオゾンの作用によって被処理体を処理する技術、例
えば被処理体の表面に付着した有機汚染物質を除去する
洗浄処理技術や、被処理体の表面に酸化膜を形成する酸
化膜形成処理技術が開発され、実用化されている。この
ような紫外光処理を行うためのランプとしては、従来、
水銀の共鳴線である波長１８５ｎｍの真空紫外光を放出
する低圧水銀ランプが使用されていたが、最近において
は、一部が誘電体により構成された放電容器内に適宜の
エキシマ発光用ガスが充填され、当該放電容器内におい
て誘電体バリア放電（別名「オゾナイザ放電」あるいは
「無声放電」。電気学会発行改定新版「放電ハンドブッ
ク」平成１年６月再版７刷発行第２６３頁参照。）を発
生させることにより、エキシマが生成されてエキシマ光
が放出される誘電体バリア放電ランプが開発されてい
る。例えば、特開平１−１４４５６０号公報には、少な
くとも一部が誘電体である石英ガラスにより構成された
中空円筒状の放電空間に、放電ガスが充填された放電容
器を具備し、少なくとも誘電体を介して一対の電極が配
置されてなる、誘電体バリア放電ランプが記載されてい
る。係る誘電体バリア放電ランプは前記一対の電極に高
周波電圧を印加することで、前記放電ガスがエキシマ分
子を生成して、紫外線が放出される。2. Description of the Related Art In recent years, an object to be processed made of metal, glass, or another material is irradiated with vacuum ultraviolet light having a wavelength of 200 nm or less, whereby the object to be processed is caused by the action of the vacuum ultraviolet light and ozone generated thereby. , For example, a cleaning technique for removing organic contaminants attached to the surface of the object and an oxide film forming technique for forming an oxide film on the surface of the object have been developed and put into practical use. . Conventionally, as a lamp for performing such ultraviolet light processing,
Low-pressure mercury lamps that emit vacuum ultraviolet light with a wavelength of 185 nm, which is the resonance line of mercury, have been used. Recently, however, a suitable excimer emission gas has been filled in a discharge vessel partially composed of a dielectric. Then, a dielectric barrier discharge (also known as "ozonizer discharge" or "silent discharge"; see the revised edition of the "Discharge Handbook" published by the Institute of Electrical Engineers of Japan, reprinted in June 2001, 7th edition, page 263) is generated in the discharge vessel. As a result, a dielectric barrier discharge lamp in which excimer is generated and excimer light is emitted has been developed. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-144560 discloses that a discharge vessel filled with a discharge gas is provided in a hollow cylindrical discharge space at least partially composed of quartz glass which is a dielectric, and at least a dielectric is provided. A dielectric barrier discharge lamp, in which a pair of electrodes are arranged via a via, is described. In such a dielectric barrier discharge lamp, by applying a high-frequency voltage to the pair of electrodes, the discharge gas generates excimer molecules and emits ultraviolet light.
【０００３】この誘電体バリア放電ランプにおいては、
エキシマ発光用ガスとして例えばキセノンガスを用いる
ことにより、キセノンエキシマによるエキシマ光である
波長１７２ｎｍにピークを有する真空紫外線が放出さ
れ、また、エキシマ発光用ガスとして例えばアルゴンと
塩素ガスとの混合ガスを用いることにより、アルゴン−
塩素エキシマによるエキシマ光である波長１７５ｎｍに
ピークを有する真空紫外線が放出されることが知られて
いる。[0003] In this dielectric barrier discharge lamp,
By using, for example, xenon gas as the excimer emission gas, vacuum ultraviolet rays having a peak at a wavelength of 172 nm, which is excimer light by xenon excimer, are emitted, and a mixed gas of, for example, argon and chlorine gas is used as the excimer emission gas. In this way, argon-
It is known that vacuum ultraviolet light having a peak at a wavelength of 175 nm, which is excimer light due to chlorine excimer, is emitted.
【０００４】然るに、上記誘電体バリア放電ランプは、
より大きい発光を得ようとしてランプへの入力電力を増
大させた場合に、放電ガスの温度が上昇してエキシマ分
子の生成効率が減少し、発光効率が低下する、という問
題がある。更には、上記のように放電ガスの温度が上昇
することにより、放電容器を構成する石英ガラスの温度
も上昇し、当該石英ガラスの紫外線透過率が低下する、
という問題もある。ここに、石英ガラスの波長１７２ｎ
ｍの紫外線透過率を具体的に述べると、石英ガラスの温
度が２５℃の場合は約８５％であるのに対し、１００℃
では約８３％、３００℃では約７３％と、温度の上昇に
伴って低下する傾向を示す。つまり、紫外線の出力を増
大するためにランプの入力電力を増大しても、当該ラン
プの温度が上昇することにより、紫外線の生成及び出射
を妨げる作用が働くため、紫外線の出力を所望に増大せ
しめることができない、という問題がある。[0004] However, the above dielectric barrier discharge lamp is
When the input power to the lamp is increased in order to obtain greater light emission, there is a problem that the temperature of the discharge gas increases, the efficiency of generating excimer molecules decreases, and the light emission efficiency decreases. Furthermore, as the temperature of the discharge gas increases as described above, the temperature of the quartz glass constituting the discharge vessel also increases, and the ultraviolet transmittance of the quartz glass decreases.
There is also a problem. Here, the wavelength 172n of quartz glass
Specifically, when the quartz glass temperature is 25 ° C., it is about 85%,
At about 83%, and about 73% at 300 ° C., showing a tendency to decrease with increasing temperature. That is, even if the input power of the lamp is increased in order to increase the output of the ultraviolet light, the action of preventing the generation and emission of the ultraviolet light acts by increasing the temperature of the lamp, so that the output of the ultraviolet light is increased as desired. There is a problem that you can not.
【０００５】上記問題を解決するため、最近において
は、該誘電体バリア放電ランプに、エキシマ生成用の放
電ガスや放電容器を冷却するための冷却手段が具備され
てなる誘電体バリア放電ランプ装置が開発されている。
例えば、アルミニウム製のブロックに、この誘電体バリ
ア放電ランプの外周部形状に適合する溝を形成し、当該
溝に該誘電体バリア放電ランプの外面を密着配置すると
共に、該ブロックを冷却用流体等により冷却することに
よって、誘電体バリア放電ランプの放電容器及びエキシ
マ生成用の放電ガスの冷却を行う誘電体バリア放電ラン
プ装置がある。その他にも、誘電体バリア放電ランプの
放電容器の外側管外周部に放熱促進用のフィンを設けた
誘電体バリア放電ランプ装置も知られている。又、誘電
体バリア放電ランプにおける放電容器が、筒状の一方の
壁部とこの一方の壁部の内径より小さい外径を有する筒
状の他方の壁部とを有し、中空円筒状の放電空間を形成
する場合には、その内側の管内部に、冷却用流体を充
填、流通させることにより、放電容器の冷却を行うもの
も、知られている。In order to solve the above-mentioned problems, recently, a dielectric barrier discharge lamp device comprising a discharge gas for generating excimer and cooling means for cooling a discharge vessel is provided in the dielectric barrier discharge lamp. Is being developed.
For example, a groove that conforms to the shape of the outer peripheral portion of the dielectric barrier discharge lamp is formed in an aluminum block, the outer surface of the dielectric barrier discharge lamp is closely placed in the groove, and the block is cooled with a cooling fluid or the like. There is a dielectric barrier discharge lamp device that cools a discharge vessel of a dielectric barrier discharge lamp and a discharge gas for excimer generation by cooling by a cooling method. In addition, there is known a dielectric barrier discharge lamp device in which fins for promoting heat radiation are provided on the outer peripheral portion of the outer tube of the discharge vessel of the dielectric barrier discharge lamp. Further, a discharge vessel in the dielectric barrier discharge lamp has one cylindrical wall and the other cylindrical wall having an outer diameter smaller than the inner diameter of the one wall, and a hollow cylindrical discharge lamp. When a space is formed, a discharge vessel is cooled by filling and circulating a cooling fluid inside a tube inside the space.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように何らかの冷却手段を具えてなる誘電体バリア放電
ランプ装置は、誘電体バリア放電ランプの放電容器にク
ラックを発生して不点灯となり、冷却手段を具えていな
いものに比較して、ランプが短寿命になることがある、
と判明した。そこで、この発明は、誘電体バリア放電ラ
ンプに冷却手段が具備されてなる誘電体バリア放電ラン
プ装置において、当該ランプの放電容器にクラックが発
生するのを防止できて、ランプの長寿命化を達成でき
る、誘電体バリア放電ランプ装置を提供することを目的
とする。However, in the dielectric barrier discharge lamp device provided with some cooling means as described above, a crack occurs in the discharge vessel of the dielectric barrier discharge lamp and the lamp becomes unlit, and the cooling means does not emit light. Lamps may have a shorter life than those without
It turned out. Therefore, the present invention provides a dielectric barrier discharge lamp device in which a cooling means is provided in the dielectric barrier discharge lamp, which can prevent cracks from being generated in the discharge vessel of the lamp and achieve a longer lamp life. It is an object of the present invention to provide a dielectric barrier discharge lamp device which can be used.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本願請求項１の発明は、
石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電
によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填され
て放電空間が形成され、この放電容器の少なくとも一部
に光出射窓が形成されている誘電体バリア放電ランプ
と、前記光出射窓を除く前記放電容器外表面上に当該ラ
ンプを冷却するための冷却手段を具備してなる誘電体バ
リア放電ランプ装置において、前記放電容器には、前記
冷却手段により冷却される部位に対応して、放電空間側
表面上に、紫外線反射膜及び／又は紫外線吸収膜が形成
されていることを特徴とする。そして本願請求項２の発
明は、前記紫外線反射膜が、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3 、ＣａＦ
2、ＬｉＦ、ＭｇＦ2、ＢａＦ2のいずれか１種以上の物
質の粉末の膜からなることを特徴とする。また本願請求
項３の発明は、前記紫外線吸収膜が、ＴｉＯ2、Ｃｅ
Ｏ2、ＺｒＯ 2のいずれか１種以上の物質の粉末の膜から
なることを特徴とする。Means for Solving the Problems The invention of claim 1 of the present application is
Dielectric barrier discharge inside the discharge vessel made of quartz glass
Is filled with a discharge gas that produces excimer molecules.
To form a discharge space, and at least a part of the discharge vessel
Barrier discharge lamp with light exit window
On the outer surface of the discharge vessel excluding the light exit window.
Dielectric bar comprising cooling means for cooling the pump
In the rear discharge lamp device, the discharge vessel includes the
Discharge space side corresponding to the part cooled by the cooling means
UV reflective film and / or UV absorbing film is formed on the surface
It is characterized by having been done. And the invention of claim 2 of the present application
Akira said that the ultraviolet reflective film was made of SiO.Two, AlTwoOThree ,CaF
Two, LiF, MgFTwo, BaFTwoAny one or more of
It is characterized by comprising a film of quality powder. Request for the present application
Item 3. The invention according to Item 3, wherein the ultraviolet absorbing film is made of TiO.Two, Ce
OTwo, ZrO TwoFrom a powder film of one or more of the following substances:
It is characterized by becoming.
【０００８】[0008]
【作用】早期に不点灯となった誘電体バリア放電ランプ
を調べた結果、当該ランプの放電容器においてクラック
が発生している部位は、冷却手段により冷却されている
部位（簡単に、「冷却部」ともいう。）に集中している
ことがわかった。この原因は以下の理由によるものと推
察される。誘電体バリア放電ランプの放電容器内に、エ
キシマ生成ガスとして例えばキセノン（Ｘｅ）を封入し
た場合は約１７２ｎｍに中心波長を有するＸｅ**からの
発光が主に得られ、更にその他にも僅かであるが約１４
６ｎｍに中心波長を有するＸｅ*からの発光も得られ
る。すなわち、これらの発光により放電空間内における
紫外線の波長は約１４０〜１９０ｎｍの範囲に及んでい
ると想定される。As a result of examining a dielectric barrier discharge lamp that has been turned off early, it is found that a portion of the discharge vessel of the lamp where a crack has occurred is a portion of the discharge vessel cooled by cooling means (hereinafter simply referred to as a “cooling section”). "). This is presumed to be due to the following reasons. When, for example, xenon (Xe) is enclosed as an excimer-producing gas in the discharge vessel of the dielectric barrier discharge lamp, light emission from Xe ** having a center wavelength of about 172 nm is mainly obtained, and furthermore, only a small amount is emitted. But about 14
Light emission from Xe * having a center wavelength of 6 nm is also obtained. In other words, it is assumed that the wavelength of the ultraviolet light in the discharge space ranges from about 140 to 190 nm due to the light emission.
【０００９】ガラスが光を透過しなくなるときの光（紫
外線）の波長は、吸収が及ぶ端ということから一般に、
「吸収端」と称される。この吸収端はガラスの温度が上
昇するにともない長波長側にシフトするため、放電容器
の温度が上昇した場合には、短い波長を有する紫外線、
例えば波長が１６０ｎｍ以下というような短い波長の紫
外線は、そのほぼ全部が放電容器の表層のみで吸収され
るので、該放電容器の厚さ方向に短い波長の紫外線が浸
透するようなことはない。放電容器に冷却手段が密接に
配設されている部位の石英ガラスは、冷却されて温度が
低い分、前記したように紫外線の透過率が大きく、また
吸収端が短波長側にシフトしているので、その他の部位
（冷却手段が設けられていない部位）の石英ガラスに比
較して、短い波長の紫外線を透過しやすいという性質を
具えている。このために、石英ガラスの厚み全体が短い
波長の紫外線に照射されるようになる。つまり、石英ガ
ラスは温度が高いときはその表層のみで波長の短い紫外
線を吸収していたが、冷却されることによって石英ガラ
スの厚さ方向に紫外線を透過してその厚み全体を照射す
るようになるので、波長の短い紫外線による歪は当該石
英ガラスの厚み全体において発生する。ここで、紫外線
歪が石英ガラスに及ぼす影響は、その波長が短いほうが
与えるダメージがより大きくなるので、上記のように冷
却部に対応した石英ガラスにおいては、とりわけ紫外線
歪を生じたことによる損傷が深刻であり、早期クラック
の原因となってしまう。仮に、放電容器を構成する石英
ガラスが例えば温度３０℃まで低下した場合は吸収端が
１５０ｎｍ近傍にあるので、例えば１７０ｎｍ以上に波
長の大きい紫外線については、高い透過性を示して、吸
収が少なくて問題が無いものの、吸収端より僅かに波長
が長いような、例えば波長１６０ｎｍ近傍にあるような
紫外線は、当該石英ガラスの厚さ方向に透過しながらそ
の厚み全体において照射されるようになるので、紫外線
歪による損傷が大きくなる。これに対し、放電容器にお
いて冷却されていない部位の石英ガラスは、紫外線透過
率が小さいうえ吸収端が長波長側にあるので、短い波長
の紫外線が石英ガラスに入射したとしてもそのほぼ全て
が表層において吸収されて波長の短い紫外線が厚さ方向
に浸透することがなく、すなわち、石英ガラスの表層以
外を照射することがなく、よって該石英ガラスの厚み全
体でその波長の短い紫外線を吸収することもないので、
紫外線歪によるダメージは比較的小さくて済むのであ
る。[0009] The wavelength of light (ultraviolet light) at which glass no longer transmits light is generally given by the end of absorption.
It is called "absorption edge". Since the absorption edge shifts to the longer wavelength side as the temperature of the glass increases, when the temperature of the discharge vessel increases, ultraviolet light having a shorter wavelength,
For example, almost all ultraviolet light having a short wavelength of 160 nm or less is absorbed only by the surface layer of the discharge vessel, so that the ultraviolet light having a short wavelength does not penetrate in the thickness direction of the discharge vessel. The quartz glass in the portion where the cooling means is closely arranged in the discharge vessel is cooled, the temperature is low, the transmittance of ultraviolet rays is large as described above, and the absorption edge is shifted to the short wavelength side as described above. Therefore, compared with the quartz glass of the other portion (the portion where the cooling means is not provided), it has a property of easily transmitting ultraviolet light having a short wavelength. For this reason, the entire thickness of the quartz glass is irradiated with ultraviolet light having a short wavelength. In other words, when the temperature of the quartz glass is high, only the surface layer absorbs ultraviolet light having a short wavelength, but when cooled, it transmits ultraviolet light in the thickness direction of the quartz glass to irradiate the entire thickness. Therefore, distortion due to ultraviolet light having a short wavelength occurs in the entire thickness of the quartz glass. Here, the influence of the ultraviolet distortion on the quartz glass is such that the shorter the wavelength, the greater the damage that is caused. Therefore, in the quartz glass corresponding to the cooling section as described above, the damage caused by the ultraviolet distortion is particularly large. It is serious and causes early cracks. If the quartz glass constituting the discharge vessel drops to, for example, a temperature of 30 ° C., the absorption edge is in the vicinity of 150 nm. For example, ultraviolet rays having a wavelength of 170 nm or more exhibit high transparency and exhibit low absorption. Although there is no problem, as the wavelength is slightly longer than the absorption edge, for example, ultraviolet light having a wavelength of about 160 nm is irradiated in the entire thickness of the quartz glass while transmitting in the thickness direction of the quartz glass. Damage due to UV distortion increases. On the other hand, the quartz glass in the uncooled part of the discharge vessel has a low ultraviolet transmittance and has an absorption edge on the long wavelength side. UV light having a short wavelength is not absorbed in the thickness direction without being absorbed in the thickness direction, that is, without irradiating the surface layer other than the surface layer of the quartz glass, and therefore, the UV light having the short wavelength is absorbed in the entire thickness of the quartz glass. Because there is no
Damage due to UV distortion is relatively small.
【００１０】以上のように、放電容器を構成する石英ガ
ラスの冷却部は、短い波長を有する紫外線が、当該石英
ガラスの厚み全体に照射されるので、該石英ガラスの厚
み全体でその吸収が行われ、紫外線歪による損傷が極め
て大きくなってクラックを発生しやすくなる。そこで、
本願請求項１の発明によれば、放電容器のなかでも、紫
外線歪による損傷をうけやすい冷却部に対応する部位に
おいて、放電空間側の表面上に紫外線反射膜及び／又は
紫外線吸収膜を形成するので、当該部位における石英ガ
ラスには紫外線が入射することがなくなり、当該石英ガ
ラスが紫外線を吸収するようなことが無く、紫外線歪を
防止でき、従って、クラックの発生を防止できるように
なる。As described above, the cooling portion of the quartz glass constituting the discharge vessel is irradiated with ultraviolet light having a short wavelength over the entire thickness of the quartz glass, so that the absorption is performed over the entire thickness of the quartz glass. As a result, damage due to ultraviolet distortion becomes extremely large and cracks are easily generated. Therefore,
According to the invention of claim 1 of the present application, an ultraviolet reflecting film and / or an ultraviolet absorbing film is formed on the surface on the side of the discharge space in a portion of the discharge vessel corresponding to a cooling portion which is easily damaged by ultraviolet distortion. Therefore, no ultraviolet light is incident on the quartz glass at the site, and the quartz glass does not absorb the ultraviolet light, so that ultraviolet distortion can be prevented and, therefore, generation of cracks can be prevented.
【００１１】なお、誘電体バリア放電ランプを冷却する
ための手段は、当該ランプから紫外線が出射される際、
当該ランプと被照射物との間において紫外線を透過する
よう、放電容器における光出射窓の部位を除いた部位に
配置されるので、紫外線反射膜及び／又は紫外線吸収膜
は光出射窓以外の部位に形成されるようになる。従っ
て、紫外線の出射量に問題を生ずるものとはならない。[0011] The means for cooling the dielectric barrier discharge lamp is provided when ultraviolet light is emitted from the lamp.
Since the ultraviolet ray is transmitted between the lamp and the object to be illuminated, the ultraviolet ray is transmitted at a position other than the light exit window in the discharge vessel. Is formed. Therefore, no problem is caused in the amount of emitted ultraviolet light.
【００１２】又、前記紫外線反射膜とする物質として
は、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3 、ＣａＦ2、ＬｉＦ、ＭｇＦ2、Ｂ
ａＦ2であるのが好ましい。これらの物質は何れも、塗
布又は蒸着等、比較的簡単な成膜方法を採用できて、容
易に膜状に形成することができる。Further, as the material for the ultraviolet reflection film, SiO 2 , Al 2 O 3 , CaF 2 , LiF, MgF 2 , B
aF 2 is preferred. Any of these substances can adopt a relatively simple film formation method such as coating or vapor deposition, and can be easily formed into a film.
【００１３】又、前記紫外線吸収膜とする物質として
は、ＴｉＯ2、ＣｅＯ2、ＺｒＯ2であるのが好ましい。
これらの物質は何れも、塗布又は蒸着等、比較的簡単な
成膜方法を採用できて、容易に膜状に形成することがで
きる。[0013] The substance used as the ultraviolet absorbing film is preferably TiO 2 , CeO 2 , or ZrO 2 .
Any of these substances can adopt a relatively simple film formation method such as coating or vapor deposition, and can be easily formed into a film.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の誘電体バリア放電
ランプ装置の実施の形態について詳細に説明する。 〔実施形態１〕図１は、本願発明の実施形態１を示す誘
電体バリア放電ランプの管軸方向の説明用断面図であ
る。誘電体バリア放電ランプ１において、放電容器１０
は、石英ガラスよりなる円筒状の外側管３と、この外側
管３内にその筒軸に沿って配置された、当該外側管３の
内径より小さい外径を有する内側管２とを有し、これら
各々の両端部が、溶着部１１において溶着されて接合さ
れており、外側管３と内側管２の間に円筒状の放電空間
４Ａが形成されている。この放電容器１０の放電空間４
Ａ内にエキシマ発光用ガスが封入されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the dielectric barrier discharge lamp device of the present invention will be described in detail. [Embodiment 1] FIG. 1 is a cross-sectional view of a dielectric barrier discharge lamp according to Embodiment 1 of the present invention, taken along a tube axis. In the dielectric barrier discharge lamp 1, the discharge vessel 10
Has a cylindrical outer tube 3 made of quartz glass, and an inner tube 2 disposed inside the outer tube 3 along the axis of the tube and having an outer diameter smaller than the inner diameter of the outer tube 3. Both ends are welded and joined at the welding portion 11, and a cylindrical discharge space 4 </ b> A is formed between the outer tube 3 and the inner tube 2. The discharge space 4 of the discharge vessel 10
Excimer emission gas is sealed in A.
【００１５】同図において、誘電体バリア放電ランプ１
における放電容器１０の（紙面におて）上方には、後段
において説明する外側電極６を間装して、冷却用のブロ
ック１３（以下、冷却用ブロックと称す。）が、該放電
容器１０の外周部に密着配置されている。そして、本実
施形態において光出射窓Ｈは、放電容器１０における外
側管３の（紙面において）下半分により構成される。In FIG. 1, a dielectric barrier discharge lamp 1 is shown.
A cooling block 13 (hereinafter, referred to as a cooling block) is provided above the discharge vessel 10 (in the plane of the drawing) with the outer electrode 6 described later interposed therebetween. It is closely attached to the outer periphery. In the present embodiment, the light exit window H is constituted by the lower half (in the paper surface) of the outer tube 3 in the discharge vessel 10.
【００１６】誘電体バリア放電ランプ１における一対の
電極は、放電容器１０の内側管２の内周部に配設された
内側電極５、及び、外側管３の外周部に配設された外側
電極６により構成されており、外側電極６は少なくと
も、光出射窓Ｈが形成される部位において、光透過性を
具えている。係る外側電極６は、例えば金属線等を網状
に形成した導電性を有する網状電極からなり、放電容器
１０における外側管３の外周部に密着して配設されてい
る。一方、内側電極５は透光性、不透光性の何れでも良
く、例えば半円筒状にプレス成形したアルミニウム板を
放電容器１０の中空部４Ｂにおいて内側管３の内周部に
２枚組合せることにより構成される。無論、内側電極５
及び外側電極６からなる一対の電極は、上記構成に限定
されるものではない。A pair of electrodes in the dielectric barrier discharge lamp 1 includes an inner electrode 5 disposed on the inner periphery of the inner tube 2 of the discharge vessel 10 and an outer electrode disposed on the outer periphery of the outer tube 3. The outer electrode 6 has light transmittance at least at a portion where the light exit window H is formed. The outer electrode 6 is, for example, a conductive mesh electrode formed by forming a metal wire or the like in a mesh, and is disposed in close contact with the outer peripheral portion of the outer tube 3 in the discharge vessel 10. On the other hand, the inner electrode 5 may be either translucent or non-translucent. For example, two aluminum plates pressed into a semi-cylindrical shape are combined with the inner peripheral portion of the inner tube 3 in the hollow portion 4B of the discharge vessel 10. It is constituted by. Of course, inner electrode 5
The pair of electrodes composed of the outer electrode 6 and the outer electrode 6 are not limited to the above configuration.
【００１７】内側電極５、外側電極６の各々に接続され
た給電線は、放電容器１０の外端から導出されて、外部
の交流電源７に接続されている。A power supply line connected to each of the inner electrode 5 and the outer electrode 6 is led out from the outer end of the discharge vessel 10 and is connected to an external AC power supply 7.
【００１８】冷却用ブロック１３は、例えば熱伝導性に
富む金属、例えばアルミニウムよりなる。そして、誘電
体バリア放電ランプ１本体の外周部に適合するような断
面略半円形の溝１５が形成され、図１に示すように、冷
却用ブロック１３の溝１５内に、該ランプ１の上方の外
周部が密着している。The cooling block 13 is made of, for example, a metal having high thermal conductivity, for example, aluminum. Then, a groove 15 having a substantially semicircular cross section is formed so as to conform to the outer peripheral portion of the dielectric barrier discharge lamp 1 main body. As shown in FIG. Are in close contact with each other.
【００１９】この冷却用ブロック１３には貫通孔（図示
省略）が例えば２個形成されており、当該ランプ１の点
灯時には該貫通孔内部に冷却用流体が流入されるように
なる。これにより、放電容器１０、なかでも、冷却用ブ
ロック１３に対応する外側管３の外表面が、効率よく冷
却されるようになる。The cooling block 13 is formed with, for example, two through holes (not shown), and a cooling fluid flows into the through holes when the lamp 1 is turned on. Thereby, the outer surface of the discharge vessel 10, especially the outer surface of the outer tube 3 corresponding to the cooling block 13, is efficiently cooled.
【００２０】一方、前記冷却用ブロック１３が配置され
た放電容器１０の部位に対応し、外側管３における放電
空間４側の表面上には、紫外線反射膜９が形成されてお
り、該紫外線反射膜９が形成された石英ガラスには、放
電空間４Ａ内に存在する紫外光が入射しないようになっ
ている。On the other hand, an ultraviolet reflecting film 9 is formed on the surface of the outer tube 3 on the side of the discharge space 4 corresponding to the portion of the discharge vessel 10 in which the cooling block 13 is disposed. Ultraviolet light existing in the discharge space 4A does not enter the quartz glass on which the film 9 is formed.
【００２１】外側管３において、冷却用ブロック１３が
密着配置されて冷却部が形成された部位においては、そ
の他の部位、すなわち、当該外側管３における光出射窓
Ｈが形成された部位や内側管２などに比較して、これを
構成する石英ガラスの温度は低くなっているため、放電
空間４Ａ内に存在する紫外線が照射された場合には短い
波長の紫外線を透過しやすくて紫外線歪による影響をう
けやすいものとなっている。しかしながら、放電空間４
Ａ内に存在する紫外線は、前記紫外線反射膜９において
内側管２方向に向って反射されるようになるので、係る
冷却部に対応した石英ガラスに放電空間４Ａ内の紫外線
が入射するのを防止でき、従って、係る冷却部を構成す
る石英ガラスにおいても、紫外線歪によるダメージを小
さくできて、当該放電容器１０にクラックが発生するこ
とを回避することができるようになる。その結果、誘電
体バリア放電ランプ１に冷却手段が具備された場合で
も、当該ランプ１が早期に不点灯となるような不具合を
生じなくなる。In the portion of the outer tube 3 where the cooling block 13 is closely mounted and the cooling portion is formed, other portions, that is, the portion of the outer tube 3 where the light exit window H is formed and the inner tube Since the temperature of the quartz glass constituting the quartz glass is lower than that of the quartz glass 2 and the like, when ultraviolet rays existing in the discharge space 4A are irradiated, ultraviolet rays of a short wavelength are easily transmitted, and the influence of ultraviolet distortion It is easy to receive. However, the discharge space 4
Since the ultraviolet rays existing in A are reflected toward the inner tube 2 in the ultraviolet reflection film 9, it is possible to prevent the ultraviolet rays in the discharge space 4A from entering the quartz glass corresponding to the cooling portion. Accordingly, even in the quartz glass constituting the cooling section, damage due to ultraviolet distortion can be reduced, and the occurrence of cracks in the discharge vessel 10 can be avoided. As a result, even when the dielectric barrier discharge lamp 1 is provided with the cooling means, a problem that the lamp 1 becomes unlit at an early stage does not occur.
【００２２】なお、紫外線反射膜としては、少なくとも
波長１７０ｎｍ以下の範囲の紫外線に対して反射性を有
するような誘電体物質であって、その具体的な物質を挙
げると、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＣａＦ2、ＬｉＦ、ＭｇＦ
2、ＢａＦ2等の誘電体粉末を好ましく用いることができ
る。The ultraviolet reflecting film is a dielectric material having reflectivity at least to ultraviolet light having a wavelength of 170 nm or less. Specific examples of the material include SiO 2 and Al 2 O. 3 , CaF 2 , LiF, MgF
2 , a dielectric powder such as BaF 2 can be preferably used.
【００２３】例えば、上記Ａｌ2Ｏ3の膜を形成する場
合、以下のようにして作製される。平均粒径約１μｍの
Ａｌ2Ｏ3の粉末を所定の溶媒と混合、攪拌することによ
り懸濁液を作製する。この懸濁液を、内側管用の石英ガ
ラス製管材の外周部上に、ディッピング法、スプレー法
等の方法により塗布し、乾燥する。更にこのガラス管を
約１０００℃、約１５分間焼成すると、厚さ約１０〜１
００μｍの紫外線反射膜９を形成することができるよう
になる。For example, when the above Al 2 O 3 film is formed, it is manufactured as follows. A suspension is prepared by mixing and stirring an Al 2 O 3 powder having an average particle size of about 1 μm with a predetermined solvent. The suspension is applied to the outer peripheral portion of a quartz glass tube for the inner tube by a method such as dipping or spraying, and dried. Further, when this glass tube is fired at about 1000 ° C. for about 15 minutes, the thickness becomes about 10 to 1
It becomes possible to form the ultraviolet reflective film 9 of 00 μm.
【００２４】ここで、前記紫外線反射膜に替えて紫外線
吸収膜を形成してもよい。係る紫外線吸収膜は内側管の
放電空間４Ａ側表面上に形成されて波長１７０ｎｍ以下
の紫外線を吸収することにより、上記の紫外線反射膜９
と同様、内側管２を構成する石英ガラスに紫外線が入射
されることを防止して、当該内側管２における石英ガラ
スの紫外線歪による影響を低減させて、よって、当該放
電容器１０にクラックが発生するのを防止できるように
なる。Here, an ultraviolet absorbing film may be formed instead of the ultraviolet reflecting film. The ultraviolet absorbing film is formed on the surface of the inner tube on the side of the discharge space 4A and absorbs ultraviolet light having a wavelength of 170 nm or less.
Similarly to the above, the ultraviolet rays are prevented from being incident on the quartz glass constituting the inner tube 2, and the influence of the ultraviolet distortion of the quartz glass in the inner tube 2 is reduced, so that cracks occur in the discharge vessel 10. Can be prevented.
【００２５】前記紫外線吸収膜としては、例えばＴｉＯ
2、ＣｅＯ2、ＺｒＯ2の粉末を好ましく用いることがで
きる。なお、紫外線吸収膜の具体的な形成方法は、例え
ば平均粒径約１μｍのＴｉＯ3粉末を、所定の溶媒と混
合、攪拌することにより懸濁液を作製し、これを放電容
器の所定の部位に塗布し、乾燥する。そして更にこのガ
ラス管を約１０００℃、約１５分間焼成すると、厚さ約
１０〜１００μｍの紫外線吸収膜を形成することができ
る。As the ultraviolet absorbing film, for example, TiO
2 , CeO 2 and ZrO 2 powders can be preferably used. As a specific method of forming the ultraviolet absorbing film, for example, a TiO 3 powder having an average particle size of about 1 μm is mixed with a predetermined solvent and stirred to prepare a suspension, which is then mixed with a predetermined portion of the discharge vessel. And dry. Then, when this glass tube is further baked at about 1000 ° C. for about 15 minutes, an ultraviolet absorbing film having a thickness of about 10 to 100 μm can be formed.
【００２６】〔実施形態２〕続いて、図２は本発明に係
る誘電体バリア放電ランプ装置の概略説明図であり、ラ
ンプ管軸方向の説明用断面図である。なお、誘電体バリ
ア放電ランプの基本的な構造は上記実施形態１のものと
同じであるので、詳細な説明を省略することとし、上記
実施形態１と同じ構成については同じ符号を用いて説明
する。[Embodiment 2] FIG. 2 is a schematic explanatory view of a dielectric barrier discharge lamp device according to the present invention, and is a sectional view in the axial direction of the lamp tube. Since the basic structure of the dielectric barrier discharge lamp is the same as that of the first embodiment, the detailed description is omitted, and the same components as those of the first embodiment are described using the same reference numerals. .
【００２７】放電容器１０における内側管２の両端に
は、当該内側管２に連設されて外方に延伸してなる延長
管部２Ａ、２Ｂが具備されており、係る延長管部２Ａ、
２Ｂの内部空間はいずれも、当該放電容器１０における
中空部４Ｂと連通している。At both ends of the inner tube 2 in the discharge vessel 10, there are provided extended tube portions 2A and 2B which are connected to the inner tube 2 and extend outward.
Each of the internal spaces 2B communicates with the hollow portion 4B of the discharge vessel 10.
【００２８】放電容器１０における中空部４Ｂには、内
側管２の内周部に沿って板状の内部電極５１が配設され
ている。この内側電極５１と対向する電極は、外側電極
６１であり、外側管３の外周部に沿って密着配置されて
いる。なおこの外側電極６１は、少なくとも光出射窓Ｈ
において光透過性を具えている。A plate-like internal electrode 51 is provided in the hollow portion 4 B of the discharge vessel 10 along the inner peripheral portion of the inner tube 2. The electrode opposed to the inner electrode 51 is the outer electrode 61, which is disposed in close contact with the outer tube 3 along the outer periphery. The outer electrode 61 has at least a light exit window H
Has light transmissivity.
【００２９】前記内側電極５１は、例えば、断面が半円
形に成型された金属板を２個組み合わせ、前記内側管２
に内接して配置することにより構成される。一方、外側
電極６１は、例えば金属線等を網状に形成した導電性を
有する網状電極を、外側管３の外周部に沿って配設する
ことにより構成される。そして、内側電極５１及び外側
電極６１の各々には継線が接合され、外部の交流電源７
に接続される。The inner electrode 51 is formed, for example, by combining two metal plates having a semicircular cross section and forming the inner tube 2.
It is configured by being inscribed in the. On the other hand, the outer electrode 61 is configured by arranging, for example, a conductive mesh electrode formed of a metal wire or the like in a mesh shape along the outer peripheral portion of the outer tube 3. A connecting wire is connected to each of the inner electrode 51 and the outer electrode 61, and an external AC power source 7 is connected.
Connected to.
【００３０】延長管部２Ａの外端においては、冷却用流
体を導入するための導管２０が、継手機構８により装着
される。なお、他方の延長管部２Ｂも、これと同様に導
管が装着されるようになるが、ここではその説明を省略
するものとする。At the outer end of the extension tube portion 2A, a conduit 20 for introducing a cooling fluid is attached by a joint mechanism 8. Note that the other extension tube 2B is also provided with a conduit in the same manner, but the description thereof is omitted here.
【００３１】前記導管２０より内側管内２内部の中空部
４Ｂに冷却用流体を導入する。この冷却用流体の流路を
図１中の矢印で示す。同図に示すように、中空部４Ｂに
冷却用流体を、延長管部２Ａから他方の延長管部２Ｂに
向って流過すると、誘電体バリア放電ランプ１の内側管
２が効率よく冷却され、これにより、放電空間４内のエ
キシマ生成用の放電ガスもまた効率よく冷却されるの
で、該放電ガスの温度上昇が抑制され、よって、発光効
率が低下することを好ましく防止できるようになる。A cooling fluid is introduced from the conduit 20 into the hollow portion 4B inside the inner tube 2. The flow path of the cooling fluid is indicated by an arrow in FIG. As shown in the figure, when the cooling fluid flows through the hollow portion 4B from the extension tube portion 2A toward the other extension tube portion 2B, the inner tube 2 of the dielectric barrier discharge lamp 1 is efficiently cooled, As a result, the discharge gas for generating excimer in the discharge space 4 is also cooled efficiently, so that a rise in the temperature of the discharge gas is suppressed, so that a decrease in luminous efficiency can be preferably prevented.
【００３２】なお、前記冷却用流体としてはイオン交換
水を用いることが簡単であり、特に好ましい。It is simple and particularly preferable to use ion-exchanged water as the cooling fluid.
【００３３】以上のように、実施形態２に係る誘電体バ
リア放電ランプ装置は、誘電体バリア放電ランプ１の放
電容器１０における外側管３に光出射窓Ｈが形成される
と共に、該光出射窓Ｈが形成されない内側管２を冷却す
るように冷却手段が設けられて、構成されている。As described above, in the dielectric barrier discharge lamp device according to the second embodiment, the light emitting window H is formed in the outer tube 3 of the discharge vessel 10 of the dielectric barrier discharge lamp 1, and the light emitting window H is formed. Cooling means is provided so as to cool the inner tube 2 where H is not formed.
【００３４】ここで、放電容器１０における内側管２
の、放電空間４側の表面上には紫外線反射膜９が形成さ
れており、該放電空間４内に存在する紫外線が、内側管
２の石英ガラスに照射されない構成になっている。Here, the inner tube 2 in the discharge vessel 10
An ultraviolet reflection film 9 is formed on the surface on the side of the discharge space 4 so that ultraviolet light existing in the discharge space 4 is not irradiated on the quartz glass of the inner tube 2.
【００３５】例えば、内側管２が３０℃まで冷却された
場合、石英ガラスの３０℃における吸収端は１５０ｎｍ
近傍なので、従来型の装置では、該内側管２の石英ガラ
スが１５０〜１６０ｎｍという短い波長の紫外線をその
厚さ全体において吸収することにより、冷却されていな
い部位、例えば外側管３における石英ガラスに比較し
て、紫外線歪による損傷が極めて大きくなるという問題
があったが、本実施形態に係る装置によれば、放電空間
４Ａ内に存在する紫外線は、紫外線反射膜９において外
側管３に向って反射されるようになるので、内側管２の
石英ガラスには放電空間４Ａ内よりの紫外線が入射され
ることがなく、従って、当該内側管２における石英ガラ
スの紫外線歪を防止できるようになる。その結果、放電
容器１０の冷却部とされる内側管２において、クラック
の発生を長期にわたり回避できて、ランプ１の早期不点
灯を防止できるようになる。For example, when the inner tube 2 is cooled to 30 ° C., the absorption edge of the quartz glass at 30 ° C. is 150 nm.
In the conventional apparatus, the quartz glass of the inner tube 2 absorbs ultraviolet light having a short wavelength of 150 to 160 nm in the entire thickness, so that the quartz glass of the inner tube 2 is not cooled. In comparison, there was a problem that damage due to ultraviolet distortion was extremely large. However, according to the apparatus according to the present embodiment, ultraviolet light present in the discharge space 4 </ b> A is directed toward the outer tube 3 in the ultraviolet reflective film 9. Since the light is reflected, the ultraviolet rays from inside the discharge space 4A do not enter the quartz glass of the inner tube 2, so that the ultraviolet distortion of the quartz glass in the inner tube 2 can be prevented. As a result, in the inner tube 2 serving as the cooling unit of the discharge vessel 10, the occurrence of cracks can be avoided for a long time, and the lamp 1 can be prevented from being turned off early.
【００３６】なお、実施形態２においても、上記実施形
態１と同様に、紫外線反射膜９の替りに紫外線吸収膜を
形成してもよい。又、紫外線反射膜及び紫外線吸収膜の
両方を形成してもよい。In the second embodiment, an ultraviolet absorbing film may be formed instead of the ultraviolet reflecting film 9 as in the first embodiment. Further, both the ultraviolet reflection film and the ultraviolet absorption film may be formed.
【００３７】以上のように、放電容器１０における内側
管２の外表面上に冷却用流体が流通されることで、該内
側管２はその他の放電容器１０の部位に比較して温度が
低く、このために該内側管２における石英ガラスは、放
電空間４Ａ内に存在する紫外線が入射した場合には紫外
線歪による影響をよりうけやすい性質を有するものであ
るが、上記実施形態２によれば、当該内側管２の放電空
間４Ａ側表面上には紫外線反射膜９及び／又は紫外線吸
収膜が形成されているので、内側管２の石英ガラスに放
電空間４Ａ内の紫外線が入射することなく、従って、当
該内側管２における石英ガラスの紫外線歪を防止するこ
とができて該内側管２におけるクラックの発生を防止で
きるようになる。As described above, since the cooling fluid is circulated on the outer surface of the inner tube 2 in the discharge vessel 10, the temperature of the inner tube 2 is lower than that of other parts of the discharge vessel 10, For this reason, the quartz glass in the inner tube 2 has a property of being more susceptible to the influence of ultraviolet distortion when ultraviolet light existing in the discharge space 4A enters, but according to the second embodiment, Since the ultraviolet reflecting film 9 and / or the ultraviolet absorbing film is formed on the surface of the inner tube 2 on the side of the discharge space 4A, the ultraviolet light in the discharge space 4A does not enter the quartz glass of the inner tube 2 and therefore, In addition, ultraviolet distortion of the quartz glass in the inner tube 2 can be prevented, and the occurrence of cracks in the inner tube 2 can be prevented.
【００３８】〔実施形態３〕図３，４は、本発明に係る
誘電体バリア放電ランプ装置の概略説明図である。図３
は誘電体バリア放電ランプ管軸方向の説明用断面図であ
り、図４は、図３中のＡ−Ａ’において切断した、ラン
プ管軸に対し垂直方向の説明用断面図である。なお、誘
電体バリア放電ランプの基本的な構造は、上記実施形態
１のものと同じであるので、詳細な説明を省略すること
とし、上記実施形態１と同じ構成については、同じ符号
を用いて説明する。Third Embodiment FIGS. 3 and 4 are schematic explanatory views of a dielectric barrier discharge lamp device according to the present invention. FIG.
FIG. 4 is an explanatory sectional view in the direction of the dielectric barrier discharge lamp tube axis, and FIG. 4 is an explanatory sectional view in the direction perpendicular to the lamp tube axis, taken along AA ′ in FIG. Since the basic structure of the dielectric barrier discharge lamp is the same as that of the first embodiment, the detailed description is omitted, and the same components as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals. explain.
【００３９】図３，４において、誘電体バリア放電ラン
プ１における放電容器１０の外周部には、後段において
説明する外側電極６２、６２を間装して、冷却用ブロッ
ク１３、１３が当該放電容器１０の外周部に密着して配
置されている。符号１２は光ファイバなどのような、誘
電体バリア放電ランプ装置により処理される被処理物で
あり、当該被処理物１２を放電容器１０における中空部
４Ｂに挿入すると共に、当該ランプ１よりの紫外線を中
心方向に出射することにより、該被処理物１２の表面が
処理される。すなわち、本実施形態における光出射窓Ｈ
は、内側管２により構成される。3 and 4, outer electrodes 62, 62, which will be described later, are interposed on the outer peripheral portion of the discharge vessel 10 in the dielectric barrier discharge lamp 1, and the cooling blocks 13, 13 are attached to the discharge vessel. 10 are arranged in close contact with the outer peripheral portion. Reference numeral 12 denotes an object to be processed by a dielectric barrier discharge lamp device, such as an optical fiber, which inserts the object 12 into the hollow portion 4B of the discharge vessel 10 and emits ultraviolet light from the lamp 1 Is emitted in the center direction, whereby the surface of the processing target 12 is processed. That is, the light exit window H in the present embodiment
Is constituted by the inner tube 2.
【００４０】誘電体バリア放電ランプ１における一対の
電極は、放電容器１０の内側管２の内周部に配設された
内側電極５２及び外側管３の外周部に配設された外側電
極６２により構成され、光出射窓Ｈ側の電極となる内側
電極５２は光透過性を具えている。係る内側電極５２
は、例えば金属線等を網状に形成した導電性を有する網
状電極からなり、放電容器１０における内側管２の内周
部に密着するよう配設して構成される。一方、外側電極
６２は透光性、不透光性の何れでも良く、例えば半円筒
状にプレス成形したアルミニウム板を放電容器１０の外
側管３の外周部上に２枚組合せることにより構成され
る。無論、前記一対の電極は、上記構成に限定されるも
のではない。A pair of electrodes in the dielectric barrier discharge lamp 1 is formed by an inner electrode 52 disposed on the inner periphery of the inner tube 2 of the discharge vessel 10 and an outer electrode 62 disposed on the outer periphery of the outer tube 3. The inner electrode 52 that is configured and serves as an electrode on the light exit window H side has light transmissivity. Such an inner electrode 52
Is formed of, for example, a reticulated electrode formed by forming a metal wire or the like in a net shape, and is disposed so as to be in close contact with the inner peripheral portion of the inner tube 2 in the discharge vessel 10. On the other hand, the outer electrode 62 may be either translucent or non-translucent. For example, the outer electrode 62 is formed by combining two aluminum plates pressed into a semi-cylindrical shape on the outer peripheral portion of the outer tube 3 of the discharge vessel 10. You. Of course, the pair of electrodes is not limited to the above configuration.
【００４１】内側電極５２、外側電極６２の各々に接続
された給電線は、放電容器１０の外端から導出されて外
部の交流電源７に接続されている。The power supply lines connected to the inner electrode 52 and the outer electrode 62 are led out from the outer end of the discharge vessel 10 and connected to an external AC power supply 7.
【００４２】冷却用ブロック１３は、例えば熱伝導性に
富む金属、例えばアルミニウムよりなり、誘電体バリア
放電ランプ１の本体の外周部に適合するような、断面が
略半円形に形成された溝１５を有している。そしてこの
冷却用ブロック１３、１３が二個組合せられ、各々の溝
１５、１５により形成された略円柱状の空間内部に誘電
体バリア放電ランプ１が配置されている。この冷却用ブ
ロック１３には、上記実施形態１と同様、貫通孔１４
が、例えば２個形成されており、当該ランプ１の点灯中
に係る貫通孔１４内部に冷却用流体が流通される。The cooling block 13 is made of, for example, a metal having high thermal conductivity, for example, aluminum, and has a groove 15 having a substantially semicircular cross section so as to fit the outer peripheral portion of the main body of the dielectric barrier discharge lamp 1. have. The two cooling blocks 13 and 13 are combined, and the dielectric barrier discharge lamp 1 is disposed inside a substantially cylindrical space formed by the respective grooves 15 and 15. The cooling block 13 has a through hole 14 similar to the first embodiment.
For example, two cooling fluids are formed inside the through hole 14 during the operation of the lamp 1.
【００４３】上記構成に係る誘電体バリア放電ランプ装
置では、当該ランプ１の放電容器１０における外側管３
の外表面が、前記冷却ブロック１３、１３により、全周
にわたって冷却されるようになる。その結果、該外側管
３においては、該放電容器１０におけるその他の部位に
比較して、石英ガラスの温度は低くなっている。In the dielectric barrier discharge lamp device having the above structure, the outer tube 3 in the discharge vessel 10 of the lamp 1 is used.
Is cooled over the entire circumference by the cooling blocks 13 and 13. As a result, the temperature of the quartz glass in the outer tube 3 is lower than that in other parts of the discharge vessel 10.
【００４４】ここで、冷却部となる外側管３には、放電
空間４Ａ側の表面上に紫外線反射膜９が形成されてい
る。よって、放電空間４Ａ内の紫外線は、前記紫外線反
射膜９により内側管２に向かって反射されるので、外側
管３の石英ガラスに係る紫外線が入射することなく、外
側管３の石英ガラスにおいて紫外線歪の発生を防止でき
るようになる。その結果、放電容器１０の冷却部におけ
る紫外線歪を防止できて、該放電容器１０にクラックが
発生するのを防止でき、ランプ１の不点灯を長期にわた
って回避できるようになる。なお、上述した実施形態
１、２と同様、本実施形態においても、前記紫外線反射
膜９の替りに、紫外線吸収膜を形成してもよい。又、紫
外線反射膜及び紫外線吸収膜の両方を形成してもよい。Here, in the outer tube 3 serving as a cooling unit, an ultraviolet reflecting film 9 is formed on the surface on the side of the discharge space 4A. Therefore, the ultraviolet light in the discharge space 4A is reflected toward the inner tube 2 by the ultraviolet light reflecting film 9, so that the ultraviolet light of the quartz glass of the outer tube 3 does not enter, and the ultraviolet light in the quartz glass of the outer tube 3 The occurrence of distortion can be prevented. As a result, ultraviolet distortion in the cooling portion of the discharge vessel 10 can be prevented, cracks can be prevented from being generated in the discharge vessel 10, and non-lighting of the lamp 1 can be avoided for a long time. In addition, similarly to Embodiments 1 and 2 described above, in this embodiment, an ultraviolet absorbing film may be formed instead of the ultraviolet reflecting film 9. Further, both the ultraviolet reflection film and the ultraviolet absorption film may be formed.
【００４５】以上、実施形態１〜３において説明したよ
うに、本発明に係る誘電体バリア放電ランプ装置によれ
ば、誘電体バリア放電ランプにおける放電容器の、光出
射窓の部位を除いた少なくとも一部に、当該ランプを冷
却するための冷却手段が設けられることで、当該ランプ
における放電ガスや放電容器等の温度上昇に伴なう種々
の問題を防止でき、更に、該放電容器のなかでも冷却手
段によって冷却される部位に、放電空間側表面上に紫外
線反射膜及び／又は紫外線吸収膜を形成したので、当該
部位における石英ガラスに波長の短い紫外線が入射する
のを防止できるようになり、該石英ガラスの紫外線歪が
生じるのを防止でき、放電容器に早期クラックが形成さ
れるのを防止できるようになる。そしてその結果、誘電
体バリア放電ランプが早期に不点灯となる不具合を生じ
るようなことの無い、高効率で、長寿命の誘電体バリア
放電ランプ装置を提供できるようになる。As described above in the first to third embodiments, according to the dielectric barrier discharge lamp device of the present invention, at least one of the discharge vessels in the dielectric barrier discharge lamp except for the light exit window portion. By providing a cooling means for cooling the lamp in the unit, various problems associated with a rise in the temperature of the discharge gas and the discharge vessel in the lamp can be prevented, and furthermore, the cooling means can be cooled even in the discharge vessel. Since a UV-reflecting film and / or UV-absorbing film is formed on the discharge space side surface in the portion cooled by the means, it becomes possible to prevent ultraviolet light having a short wavelength from being incident on the quartz glass in the portion, The ultraviolet distortion of the quartz glass can be prevented from occurring, and the early formation of cracks in the discharge vessel can be prevented. As a result, it is possible to provide a high-efficiency, long-life dielectric barrier discharge lamp device that does not cause a problem that the dielectric barrier discharge lamp is turned off early.
【００４６】＜実施例１＞図１に示す実施形態１の構成
に従い誘電体バリア放電ランプ装置を製作した。放電容
器は厚さ１ｍｍの石英ガラスよりなり、内側管の外径は
１６ｍｍ、外側管の外径４０ｍｍである。前記内側管に
連設された延長管部は厚さ１ｍｍ、外径４０ｍｍであ
り、石英ガラスよりなる。この放電容器内にキセノン
（Ｘｅ）を約４０ｋＰａ封入して中空円筒状の放電空間
を形成した。Example 1 A dielectric barrier discharge lamp device was manufactured according to the configuration of the first embodiment shown in FIG. The discharge vessel is made of quartz glass having a thickness of 1 mm, the outer diameter of the inner tube is 16 mm, and the outer diameter of the outer tube is 40 mm. The extension tube portion connected to the inner tube has a thickness of 1 mm, an outer diameter of 40 mm, and is made of quartz glass. Xenon (Xe) was filled in this discharge vessel at about 40 kPa to form a hollow cylindrical discharge space.
【００４７】放電容器の内側管の内周部に、厚さ０．５
ｍｍのアルミニウム板を曲げて作った半円筒を２個組み
合わせて配設し内側電極を構成すると共に、外側管の外
周部に光透過性を有し、かつ、導電性を有する網状電極
を配設して外側電極を構成した。この外側管の一部に約
１７０ｎｍ〜１８０ｎｍの紫外線を透過するための光出
射窓を形成した。The thickness of 0.5 mm is applied to the inner peripheral portion of the inner tube of the discharge vessel.
An inner electrode is constructed by combining two semi-cylinders made by bending an aluminum plate with a thickness of 2 mm, and a light-transmitting and conductive mesh electrode is arranged on the outer periphery of the outer tube. Thus, an outer electrode was formed. A light exit window for transmitting ultraviolet light of about 170 nm to 180 nm was formed in a part of the outer tube.
【００４８】前記内側管の放電空間側の表面上に、粒径
１μｍのＳｉＯ2粉を純水に攪拌して製作した懸濁液を
ディッピング法により塗布し乾燥、焼成するとこによっ
て、厚さ１００μｍのＳｉＯ2粉末の膜を形成させ、こ
れを紫外線反射膜とした。On the surface of the inner tube on the discharge space side, a suspension produced by stirring SiO 2 powder having a particle size of 1 μm in pure water is applied by dipping, dried and fired to obtain a 100 μm thick film. is a SiO 2 powder film forming, which was used as a UV-reflecting film.
【００４９】この誘電体バリア放電ランプ装置を、入力
電力３３０Ｗとしてを動作させ、冷却用流体としてのイ
オン交換水を当該ランプにおける放電容器の中空部（す
なわち、内側管の内部）に充填、流通させランプの冷却
を行った。ランプ点灯後、１０００時間以上経過したの
ちも、当該ランプの放電容器に何ら問題が認められず、
又、該放電容器における内側管においても、クラック等
を発生した形跡は認められなかった。更にランプを点灯
したところ、４０００時間以上点灯させることが可能で
あるとわかった。This dielectric barrier discharge lamp device is operated at an input power of 330 W, and ion-exchanged water as a cooling fluid is filled and circulated in the hollow portion of the discharge vessel (ie, inside the inner tube) of the lamp. The lamp was cooled. Even after 1000 hours or more after the lamp was turned on, no problem was found in the discharge vessel of the lamp,
Also, no evidence of cracks or the like was observed in the inner tube of the discharge vessel. Further, when the lamp was turned on, it was found that the lamp could be turned on for 4000 hours or more.
【００５０】＜実施例２＞前記紫外線反射膜としてＡｌ
2Ｏ3膜を形成した点以外は、実施例１と同様にして誘電
体バリア放電ランプ装置を作製した。なお、Ａｌ2Ｏ3膜
は、粒径１μｍのＡｌ2Ｏ3粉を純水に攪拌して製作した
懸濁液をディッピング法により塗布し乾燥、焼成すると
こによって形成した厚さ１００μｍの粉末の膜せること
によった。この誘電体バリア放電ランプ装置を入力電力
を３３０Ｗで動作し、冷却用流体としてのイオン交換水
を当該ランプにおける放電容器の中空部（すなわち、内
側管の内部）に充填、流通させランプの冷却を行った。<Embodiment 2> The ultraviolet reflecting film was made of Al
A dielectric barrier discharge lamp device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a 2 O 3 film was formed. The Al 2 O 3 film was prepared by applying a suspension prepared by stirring Al 2 O 3 powder having a particle diameter of 1 μm in pure water by a dipping method, followed by drying and baking to form a 100 μm-thick powder. It depends on filming. The dielectric barrier discharge lamp device is operated at an input power of 330 W, filled with ion-exchanged water as a cooling fluid into the hollow portion of the discharge vessel (that is, the inside of the inner tube) of the lamp, and circulated to cool the lamp. went.
【００５１】その結果、ランプ点灯後、１０００時間以
上経過したのちも、当該ランプの放電容器に何ら問題が
認められず、又、該放電容器における内側管において
も、クラック等を発生した形跡は認められなかった。更
にランプを点灯したところ、２５００時間以上点灯させ
ることが可能であるとわかった。As a result, no problem was found in the discharge vessel of the lamp after 1000 hours or more after the lamp was turned on, and no evidence of cracks or the like was found in the inner tube of the discharge vessel. I couldn't. Further, when the lamp was turned on, it was found that the lamp could be turned on for 2500 hours or more.
【００５２】＜比較例＞紫外線反射膜を形成していない
こと以外は、上記実施例１と同様にして誘電体バリア放
電ランプ装置を作製し、入力電力も実施例１と同じ３３
０Ｗとしてランプを点灯させた。破損にいたるまでの時
間を測定した結果、ランプ点灯後、約７００時間で内側
管に紫外光歪みによるクラックが発生して放電容器が破
損し、ランプが不点灯となった。<Comparative Example> A dielectric barrier discharge lamp device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that no ultraviolet reflective film was formed, and the input power was the same as in Example 1.
The lamp was turned on at 0 W. As a result of measuring the time until the lamp was broken, a crack due to ultraviolet light distortion occurred in the inner tube about 700 hours after the lamp was turned on, the discharge vessel was damaged, and the lamp was turned off.
【００５３】以上の実施例１，２によれば、放電容器に
冷却手段が配置されることにより、当該放電容器が局部
的に冷却されても、当該部位における石英ガラスに紫外
線が入射されないようになるので、該内側管の紫外線歪
を防止できてクラック等の発生を防止できるようにな
る。その結果、冷却手段が具備されてなる誘電体バリア
放電ランプ装置においても、誘電体バリア放電ランプの
早期不点灯を回避できて、当該装置の使用寿命を長くで
きるようになる。According to the first and second embodiments, the cooling means is disposed in the discharge vessel so that even if the discharge vessel is locally cooled, ultraviolet rays are not incident on the quartz glass in the relevant portion. Accordingly, ultraviolet distortion of the inner tube can be prevented, and cracks and the like can be prevented. As a result, even in the dielectric barrier discharge lamp device provided with the cooling means, it is possible to prevent the dielectric barrier discharge lamp from being turned off early and to prolong the service life of the device.
【００５４】[0054]
【発明の効果】本発明に係る誘電体バリア放電ランプ装
置によれば、誘電体バリア放電ランプにおける放電容器
の、光出射窓の部位を除いた少なくとも一部に、当該ラ
ンプを冷却するための冷却手段が設けられており、該ラ
ンプにおける放電ガスや放電容器等の温度上昇に伴なう
種々の問題を防止できると共に、該放電容器のなかでも
冷却手段によって冷却される部位において、放電空間側
表面上に紫外線反射膜及び／又は紫外線吸収膜が形成さ
れているので、当該部位に紫外線が入射するのを防止で
きて、石英ガラスの紫外線歪による影響を低減でき、放
電容器にクラックが形成されるのを防止でき、ランプの
早期不点灯を防止できるようになる。According to the dielectric barrier discharge lamp device according to the present invention, at least a part of the discharge vessel of the dielectric barrier discharge lamp excluding the portion of the light exit window is provided for cooling the lamp. Means are provided to prevent various problems associated with an increase in the temperature of the discharge gas and the discharge vessel in the lamp, and at the portion of the discharge vessel cooled by the cooling means, the discharge space side surface Since the ultraviolet reflecting film and / or the ultraviolet absorbing film is formed thereon, it is possible to prevent the ultraviolet rays from being incident on the portion, reduce the influence of the ultraviolet distortion of the quartz glass, and form cracks in the discharge vessel. Can be prevented, and the lamp can be prevented from being turned off early.
【図１】本発明の第一の実施形態を説明する誘電体バリ
ア放電ランプ装置の説明用断面図である。FIG. 1 is an explanatory sectional view of a dielectric barrier discharge lamp device for explaining a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第二の実施形態を説明する誘電体バリ
ア放電ランプ装置の説明用断面図である。FIG. 2 is an explanatory sectional view of a dielectric barrier discharge lamp device illustrating a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第三の実施形態を説明する誘電体バリ
ア放電ランプ装置の説明用断面図である。FIG. 3 is an explanatory sectional view of a dielectric barrier discharge lamp device illustrating a third embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第三の実施形態を説明する誘電体バリ
ア放電ランプ装置の説明用垂直断面図である。FIG. 4 is an explanatory vertical sectional view of a dielectric barrier discharge lamp device for explaining a third embodiment of the present invention.
１ 誘電体バリア放電ランプ ２ 内側管 ３ 外側管 ４Ａ 放電空間 ４Ｂ 中空部 ５、５１、５２ 内側電極 ６、６１、６２ 外側電極 ７ 交流電源 ８ 継手機構 ９ 紫外線反射膜 １０ 放電容器 １１ 溶着部 １２ 被処理物 １３ 冷却用ブロック １４ 貫通孔 １５ 溝 ２０ 導管 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dielectric barrier discharge lamp 2 Inner tube 3 Outer tube 4A Discharge space 4B Hollow part 5, 51, 52 Inner electrode 6, 61, 62 Outer electrode 7 AC power supply 8 Joint mechanism 9 Ultraviolet reflective film 10 Discharge vessel 11 Welding part 12 Cover Treated material 13 Cooling block 14 Through hole 15 Groove 20 Pipe
Claims (3)
体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガ
スが充填されて放電空間が形成され、この放電容器の少
なくとも一部に光出射窓が形成されている誘電体バリア
放電ランプと、前記光出射窓を除く前記放電容器外表面
上に当該ランプを冷却するための冷却手段を具備してな
る誘電体バリア放電ランプ装置において、 前記放電容器には、前記冷却手段により冷却される部位
に対応して、放電空間側表面上に、紫外線反射膜及び／
又は紫外線吸収膜が形成されていることを特徴とする誘
電体バリア放電ランプ装置。1. A discharge vessel made of quartz glass is filled with a discharge gas for generating excimer molecules by dielectric barrier discharge to form a discharge space, and a light exit window is formed in at least a part of the discharge vessel. A dielectric barrier discharge lamp, and a dielectric barrier discharge lamp device comprising cooling means for cooling the lamp on the outer surface of the discharge vessel except for the light exit window. Corresponding to the part to be cooled by the cooling means, an ultraviolet reflective film and / or
Alternatively, a dielectric barrier discharge lamp device, wherein an ultraviolet absorbing film is formed.
3 、ＣａＦ2、ＬｉＦ、ＭｇＦ2、ＢａＦ2のいずれか１種
以上の物質の粉末の膜からなることを特徴とする請求項
１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。2. The method according to claim 1, wherein the ultraviolet reflecting film is made of SiO 2 , Al 2 O.
3, CaF 2, LiF, dielectric barrier discharge lamp device according to claim 1, characterized in that it consists of MgF 2, any one or more powders of film material of BaF 2.
Ｏ2、ＺｒＯ2のいずれか１種以上の物質の粉末の膜から
なることを特徴とする請求項１に記載の誘電体バリア放
電ランプ装置。3. The method according to claim 1, wherein the ultraviolet absorbing film is made of TiO 2 , Ce
O 2, a dielectric barrier discharge lamp device according to claim 1, characterized by comprising a powder of a membrane of any one or more substances of ZrO 2.
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