JP2002090682A - ガルバノメータ、ガルバノメータの位置補正方法、ガルバノメータを用いたレーザ加工装置、及びガルバノメータを用いたレーザ加工方法 - Google Patents
ガルバノメータ、ガルバノメータの位置補正方法、ガルバノメータを用いたレーザ加工装置、及びガルバノメータを用いたレーザ加工方法Info
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- JP2002090682A JP2002090682A JP2000282759A JP2000282759A JP2002090682A JP 2002090682 A JP2002090682 A JP 2002090682A JP 2000282759 A JP2000282759 A JP 2000282759A JP 2000282759 A JP2000282759 A JP 2000282759A JP 2002090682 A JP2002090682 A JP 2002090682A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガルバノメータの静電容量センサの経時変化
によって起こるガルバノミラー回転位置検出信号の変動
に起因するレーザ光線の照射位置決め誤差を補正する。 【解決手段】 原点を検知する原点センサ３とゲイン補
正点を検知するゲインセンサ４を設け、ガルバノミラー
２を原点センサ３の方向に移動させ原点センサ３がＯＮ
した時点での座標値と、外部信号である電流指令信号に
よるガルバノミラー２の原点への移動が完了した時点で
の座標値の差を原点補正量とし前記電流指令信号に加算
することにより原点補正を行う。さらに、ガルバノミラ
ー２を移動させ原点センサ３とゲインセンサ４がＯＮし
た時点での座標値の相対量と前記外部信号による原点と
ゲイン補正点へのガルバノミラー２の移動が完了した時
点での座標値の相対量との差をゲイン補正量として前記
電流指令信号に加算することによりゲイン補正を行う。
によって起こるガルバノミラー回転位置検出信号の変動
に起因するレーザ光線の照射位置決め誤差を補正する。 【解決手段】 原点を検知する原点センサ３とゲイン補
正点を検知するゲインセンサ４を設け、ガルバノミラー
２を原点センサ３の方向に移動させ原点センサ３がＯＮ
した時点での座標値と、外部信号である電流指令信号に
よるガルバノミラー２の原点への移動が完了した時点で
の座標値の差を原点補正量とし前記電流指令信号に加算
することにより原点補正を行う。さらに、ガルバノミラ
ー２を移動させ原点センサ３とゲインセンサ４がＯＮし
た時点での座標値の相対量と前記外部信号による原点と
ゲイン補正点へのガルバノミラー２の移動が完了した時
点での座標値の相対量との差をゲイン補正量として前記
電流指令信号に加算することによりゲイン補正を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光線を走査
する際のガルバノミラーの回転位置が補正可能なガルバ
ノメータとその回転位置の補正方法、及びそのガルバノ
メータを用いたレーザ加工装置とレーザ加工方法に関す
る。
する際のガルバノミラーの回転位置が補正可能なガルバ
ノメータとその回転位置の補正方法、及びそのガルバノ
メータを用いたレーザ加工装置とレーザ加工方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、被加工物の穴あけ、切断、溶接な
どにレーザ加工技術が採用されることが多くなってい
る。特に高密度配線の回路基板においては、穴加工の高
速化及び加工位置や加工寸法などの高精度化が必要不可
欠となっており、高密度配線の回路基板にスルーホール
等の穴を加工する際に、光走査形光学系ガルバノメータ
を利用したレーザ穴加工技術が好適に採用されている。
どにレーザ加工技術が採用されることが多くなってい
る。特に高密度配線の回路基板においては、穴加工の高
速化及び加工位置や加工寸法などの高精度化が必要不可
欠となっており、高密度配線の回路基板にスルーホール
等の穴を加工する際に、光走査形光学系ガルバノメータ
を利用したレーザ穴加工技術が好適に採用されている。
【０００３】このレーザ穴加工技術は、前記ガルバノメ
ータに付随するガルバノミラーによって反射されたレー
ザ光線を集光レンズによって集光して被加工物の照射平
面上に照射し、溶解あるいは蒸発させて穴を穿つ加工技
術である。
ータに付随するガルバノミラーによって反射されたレー
ザ光線を集光レンズによって集光して被加工物の照射平
面上に照射し、溶解あるいは蒸発させて穴を穿つ加工技
術である。
【０００４】前記ガルバノメータは、レーザ光線の照射
位置決めを行うガルバノメータ制御装置に照射位置を表
す数値データを入力することにより前記ガルバノミラー
の回転駆動部を制御し、レーザ光線を被加工物の照射平
面上に走査させるものである。
位置決めを行うガルバノメータ制御装置に照射位置を表
す数値データを入力することにより前記ガルバノミラー
の回転駆動部を制御し、レーザ光線を被加工物の照射平
面上に走査させるものである。
【０００５】また、前記ガルバノメータを用いたレーザ
穴加工技術においては広い駆動角（一般的に±２０°程
度）と、マイクロメータオーダで照射位置決めを行う精
度と、高速で照射位置決めを行うことが要求されてい
る。そこで前記ガルバノミラーの回転位置（回転角度）
を検出するセンサ（回転位置検出センサ）として、一般
的に、微小角を高速に検出できる静電容量センサが用い
られている。
穴加工技術においては広い駆動角（一般的に±２０°程
度）と、マイクロメータオーダで照射位置決めを行う精
度と、高速で照射位置決めを行うことが要求されてい
る。そこで前記ガルバノミラーの回転位置（回転角度）
を検出するセンサ（回転位置検出センサ）として、一般
的に、微小角を高速に検出できる静電容量センサが用い
られている。
【０００６】以下、従来のガルバノメータ制御系につい
て図面を用いて説明する。図４は従来のガルバノメータ
制御系のブロック図である。図４に示す従来のガルバノ
メータ制御系において、ガルバノメータ制御装置１２が
有する位置指令発生器１５からは、ガルバノミラー１０
を所望の回転位置に回転移動させるための回転位置指令
データがガルバノミラー回転位置指令信号として出力さ
れる。一方、回転位置検出センサである静電容量センサ
９からはガルバノミラー１０の回転位置の検出信号（ガ
ルバノミラー回転位置検出信号）が出力され、そのガル
バノミラー回転位置検出信号が、位置検出器１３からガ
ルバノミラー１０の実際の回転位置を示す実位置データ
信号に変換され出力される。
て図面を用いて説明する。図４は従来のガルバノメータ
制御系のブロック図である。図４に示す従来のガルバノ
メータ制御系において、ガルバノメータ制御装置１２が
有する位置指令発生器１５からは、ガルバノミラー１０
を所望の回転位置に回転移動させるための回転位置指令
データがガルバノミラー回転位置指令信号として出力さ
れる。一方、回転位置検出センサである静電容量センサ
９からはガルバノミラー１０の回転位置の検出信号（ガ
ルバノミラー回転位置検出信号）が出力され、そのガル
バノミラー回転位置検出信号が、位置検出器１３からガ
ルバノミラー１０の実際の回転位置を示す実位置データ
信号に変換され出力される。
【０００７】電流指令信号発生器１４は、前記ガルバノ
ミラー回転位置指令信号と前記実位置データ信号との偏
差が０となるように制御処理を行ない、前期偏差が０と
なる電流指令値を演算して電流指令信号を出力する。
ミラー回転位置指令信号と前記実位置データ信号との偏
差が０となるように制御処理を行ない、前期偏差が０と
なる電流指令値を演算して電流指令信号を出力する。
【０００８】ドライバ集積回路１１は、上述のようなフ
ィードバック制御を行うことにより、ガルバノミラー１
０の実際の回転位置が位置指令発生器１５からのガルバ
ノミラー回転位置指令信号に一致するように高精度に制
御することができる。
ィードバック制御を行うことにより、ガルバノミラー１
０の実際の回転位置が位置指令発生器１５からのガルバ
ノミラー回転位置指令信号に一致するように高精度に制
御することができる。
【０００９】なお、静電容量センサ９から出力されるガ
ルバノミラー回転位置検出信号はガルバノメータ制御装
置１２にはフィードバックされておらず、位置指令発生
器からガルバノミラー回転位置指令信号が出力されてか
ら所定の時間が経過することによってガルバノミラーの
回転位置決めは完了したとみなしている。
ルバノミラー回転位置検出信号はガルバノメータ制御装
置１２にはフィードバックされておらず、位置指令発生
器からガルバノミラー回転位置指令信号が出力されてか
ら所定の時間が経過することによってガルバノミラーの
回転位置決めは完了したとみなしている。
【００１０】以下、レーザ発振器（図示せず）から照射
されるレーザ光線が、ガルバノミラー１０によって照射
位置決めされる様子を図５に示す。被加工物の照射平面
上の加工点１９においてレーザ加工を行う場合、ガルバ
ノミラー１０が実線の状態でその回転位置を固定される
ことによりレーザ光線１７が加工点１９に照射され、加
工が行われる。次に、加工点２０においてレーザ加工を
行う場合、ガルバノミラー１０を回転方向１８に回転さ
せて、ガルバノミラー１０が破線の状態でその回転位置
を固定されることによりレーザ光線１７が加工点２０に
照射され、加工が行われる。
されるレーザ光線が、ガルバノミラー１０によって照射
位置決めされる様子を図５に示す。被加工物の照射平面
上の加工点１９においてレーザ加工を行う場合、ガルバ
ノミラー１０が実線の状態でその回転位置を固定される
ことによりレーザ光線１７が加工点１９に照射され、加
工が行われる。次に、加工点２０においてレーザ加工を
行う場合、ガルバノミラー１０を回転方向１８に回転さ
せて、ガルバノミラー１０が破線の状態でその回転位置
を固定されることによりレーザ光線１７が加工点２０に
照射され、加工が行われる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガルバ
ノメータの回転位置検出センサとして一般的に用いられ
ている静電容量センサは、その構造上、温度や湿度など
の周囲環境の変化や経時変化によってその出力信号であ
るガルバノミラー回転位置検出信号に変動を生じる可能
性がある。そのためガルバノミラーの回転位置が正確に
は検出されず、誤差を含んだ前記ガルバノメータ回転位
置検出信号が前記位置検出器に入力され、実際の回転位
置からずれた回転位置を示す前記実位置データとなって
前記電流指令信号発生器に入力される。その結果、前記
電流指令信号発生器からの電流指令信号にて所望の照射
位置にレーザ光線が照射されるようガルバノミラーを回
転制御する際に、ガルバノミラーが所望の回転位置から
ずれた位置に回転制御されてしまい、照射位置に誤差が
生じる恐れがある。つまり、ガルバノミラー回転位置検
出信号に変動が生じた場合、ガルバノミラーの回転位置
決め精度が低下し、所望の照射位置にレーザ光線が照射
できなくなり、加工精度が低下することになる。
ノメータの回転位置検出センサとして一般的に用いられ
ている静電容量センサは、その構造上、温度や湿度など
の周囲環境の変化や経時変化によってその出力信号であ
るガルバノミラー回転位置検出信号に変動を生じる可能
性がある。そのためガルバノミラーの回転位置が正確に
は検出されず、誤差を含んだ前記ガルバノメータ回転位
置検出信号が前記位置検出器に入力され、実際の回転位
置からずれた回転位置を示す前記実位置データとなって
前記電流指令信号発生器に入力される。その結果、前記
電流指令信号発生器からの電流指令信号にて所望の照射
位置にレーザ光線が照射されるようガルバノミラーを回
転制御する際に、ガルバノミラーが所望の回転位置から
ずれた位置に回転制御されてしまい、照射位置に誤差が
生じる恐れがある。つまり、ガルバノミラー回転位置検
出信号に変動が生じた場合、ガルバノミラーの回転位置
決め精度が低下し、所望の照射位置にレーザ光線が照射
できなくなり、加工精度が低下することになる。
【００１２】前記ガルバノミラー回転位置検出信号に変
動が生じる原因となる温度や湿度の周囲環境の変化や経
時変化のうち、温度や湿度は空調により一定に管理する
ことができるため、温度や湿度に起因するレーザ光線の
照射位置決め誤差は無くすことができるが、連続使用に
よる温度ドリフトといった経時変化については管理する
ことができず、経時変化に起因するレーザ光線の照射位
置決め誤差を無くすことができないという問題があっ
た。
動が生じる原因となる温度や湿度の周囲環境の変化や経
時変化のうち、温度や湿度は空調により一定に管理する
ことができるため、温度や湿度に起因するレーザ光線の
照射位置決め誤差は無くすことができるが、連続使用に
よる温度ドリフトといった経時変化については管理する
ことができず、経時変化に起因するレーザ光線の照射位
置決め誤差を無くすことができないという問題があっ
た。
【００１３】さらに近年においては、被加工物の照射平
面上でマイクロメータオーダの正確なレーザ光線の照射
位置決めが要求されており、前記経時変化に起因するレ
ーザ光線の照射位置決め誤差が益々問題となってきてい
る。
面上でマイクロメータオーダの正確なレーザ光線の照射
位置決めが要求されており、前記経時変化に起因するレ
ーザ光線の照射位置決め誤差が益々問題となってきてい
る。
【００１４】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、経時
変化によって起こるガルバノミラー回転位置検出信号の
変動に起因するレーザ光線の照射位置決め誤差を補正す
ることができるガルバノメータとその位置補正方法を提
供すると供に、そのガルバノメータとその位置補正方法
を用いることによって高精度のレーザ加工を生産性良く
行うことができるようにするレーザ加工装置とレーザ加
工方法を提供することを目的とする。
変化によって起こるガルバノミラー回転位置検出信号の
変動に起因するレーザ光線の照射位置決め誤差を補正す
ることができるガルバノメータとその位置補正方法を提
供すると供に、そのガルバノメータとその位置補正方法
を用いることによって高精度のレーザ加工を生産性良く
行うことができるようにするレーザ加工装置とレーザ加
工方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明における請求項１
記載のガルバノメータは、レーザ光線を反射するガルバ
ノミラーと、前記ガルバノミラーの位置を検出するガル
バノミラー位置検出手段と、前記ガルバノミラーが所定
の位置に到達すると作動する位置検出センサを少なくと
も１個と、前記ガルバノミラー位置検出手段が検出した
座標値を記憶する記憶手段と、前記ガルバノミラーを前
記所定の位置の方向に移動させ前記位置検出センサが作
動した時点で前記ガルバノミラー位置検出手段が検出し
て前記記憶手段に記憶される座標値と、外部信号によっ
て前記ガルバノミラーを前記所定の位置の方向に移動さ
せ前記外部信号が出力されてから所定の時間が経過した
時点で前記ガルバノミラー位置検出手段が検出して前記
記憶手段に記憶される座標値とを比較する手段とを用
い、前記ガルバノミラーの所定の位置の補正を行うこと
を特徴とする。
記載のガルバノメータは、レーザ光線を反射するガルバ
ノミラーと、前記ガルバノミラーの位置を検出するガル
バノミラー位置検出手段と、前記ガルバノミラーが所定
の位置に到達すると作動する位置検出センサを少なくと
も１個と、前記ガルバノミラー位置検出手段が検出した
座標値を記憶する記憶手段と、前記ガルバノミラーを前
記所定の位置の方向に移動させ前記位置検出センサが作
動した時点で前記ガルバノミラー位置検出手段が検出し
て前記記憶手段に記憶される座標値と、外部信号によっ
て前記ガルバノミラーを前記所定の位置の方向に移動さ
せ前記外部信号が出力されてから所定の時間が経過した
時点で前記ガルバノミラー位置検出手段が検出して前記
記憶手段に記憶される座標値とを比較する手段とを用
い、前記ガルバノミラーの所定の位置の補正を行うこと
を特徴とする。
【００１６】また、本発明における請求項２記載のガル
バノメータは、請求項１に記載のガルバノメータであっ
て、前記ガルバノミラーと、前記ガルバノミラー位置検
出手段と、任意の所定の位置を原点とし、前記ガルバノ
ミラーが前記原点に到達すると作動する原点センサと、
前記原点以外の任意の所定の位置をゲイン補正点とし、
前記ガルバノミラーが前記ゲイン補正点に到達すると作
動するゲインセンサと、前記ガルバノミラー位置検出手
段が検出した座標値の相対量を記憶する機能を加えた前
記記憶手段と、前記ガルバノミラーを前記原点方向に移
動させ前記原点センサが作動した時点で前記ガルバノミ
ラー位置検出手段が検出して前記記憶手段に記憶される
座標値と、前記ガルバノミラーを前記ゲイン補正点方向
に移動させ前記ゲインセンサが作動した時点で前記ガル
バノミラー位置検出手段が検出して前記記憶手段に記憶
される座標値との相対量を求め、外部信号によって前記
ガルバノミラーを前記原点方向に移動させ前記外部信号
が出力されてから所定の時間が経過した時点で前記ガル
バノミラー位置検出手段が検出して前記記憶手段に記憶
される座標値と、外部信号によって前記ガルバノミラー
を前記ゲイン補正点方向に移動させ前記外部信号が出力
されてから所定の時間が経過した時点で前記ガルバノミ
ラー位置検出手段が検出して前記記憶手段に記憶される
座標値との相対量を求め、上記二つの相対量を比較する
機能を加えた前記比較する手段とを用い、前記ガルバノ
ミラーのゲインの補正を行うことを特徴とする。
バノメータは、請求項１に記載のガルバノメータであっ
て、前記ガルバノミラーと、前記ガルバノミラー位置検
出手段と、任意の所定の位置を原点とし、前記ガルバノ
ミラーが前記原点に到達すると作動する原点センサと、
前記原点以外の任意の所定の位置をゲイン補正点とし、
前記ガルバノミラーが前記ゲイン補正点に到達すると作
動するゲインセンサと、前記ガルバノミラー位置検出手
段が検出した座標値の相対量を記憶する機能を加えた前
記記憶手段と、前記ガルバノミラーを前記原点方向に移
動させ前記原点センサが作動した時点で前記ガルバノミ
ラー位置検出手段が検出して前記記憶手段に記憶される
座標値と、前記ガルバノミラーを前記ゲイン補正点方向
に移動させ前記ゲインセンサが作動した時点で前記ガル
バノミラー位置検出手段が検出して前記記憶手段に記憶
される座標値との相対量を求め、外部信号によって前記
ガルバノミラーを前記原点方向に移動させ前記外部信号
が出力されてから所定の時間が経過した時点で前記ガル
バノミラー位置検出手段が検出して前記記憶手段に記憶
される座標値と、外部信号によって前記ガルバノミラー
を前記ゲイン補正点方向に移動させ前記外部信号が出力
されてから所定の時間が経過した時点で前記ガルバノミ
ラー位置検出手段が検出して前記記憶手段に記憶される
座標値との相対量を求め、上記二つの相対量を比較する
機能を加えた前記比較する手段とを用い、前記ガルバノ
ミラーのゲインの補正を行うことを特徴とする。
【００１７】また、本発明における請求項３記載のガル
バノメータは、請求項２に記載のガルバノメータであっ
て、前記原点センサを複数個と、前記ゲインセンサを複
数個用い、前記ガルバノミラーのゲインの補正を行うこ
とを特徴とする。
バノメータは、請求項２に記載のガルバノメータであっ
て、前記原点センサを複数個と、前記ゲインセンサを複
数個用い、前記ガルバノミラーのゲインの補正を行うこ
とを特徴とする。
【００１８】また、本発明における請求項４記載のガル
バノメータの位置補正方法は、ガルバノメータのガルバ
ノミラーを所定の位置の方向へ移動させ、前記ガルバノ
ミラーが前記所定の位置に到達すると作動する位置検出
センサが作動した時点での座標値を記憶し、前記ガルバ
ノミラーを前記所定の位置から適当な位置へ移動させた
後、外部信号に基いて前記ガルバノミラーを前記所定の
位置の方向へ移動させ、外部信号が出力されてから所定
の時間が経過した時点での座標値を記憶し、上記記憶し
た２つの座標値を比較し、その比較結果を外部信号に与
えることで前記ガルバノミラーの所定の位置の補正を行
うことを特徴とする。
バノメータの位置補正方法は、ガルバノメータのガルバ
ノミラーを所定の位置の方向へ移動させ、前記ガルバノ
ミラーが前記所定の位置に到達すると作動する位置検出
センサが作動した時点での座標値を記憶し、前記ガルバ
ノミラーを前記所定の位置から適当な位置へ移動させた
後、外部信号に基いて前記ガルバノミラーを前記所定の
位置の方向へ移動させ、外部信号が出力されてから所定
の時間が経過した時点での座標値を記憶し、上記記憶し
た２つの座標値を比較し、その比較結果を外部信号に与
えることで前記ガルバノミラーの所定の位置の補正を行
うことを特徴とする。
【００１９】また、本発明における請求項５記載のガル
バノメータの位置補正方法は、請求項４に記載のガルバ
ノメータの位置補正方法であって、任意の所定の位置を
原点とし、前記ガルバノミラーが前記原点に到達すると
作動する位置検出センサを原点センサとし、前記原点以
外の任意の所定の位置をゲイン補正点とし、前記ガルバ
ノミラーが前記ゲイン補正点に到達すると作動する位置
検出センサをゲインセンサとする場合であって、前記原
点において位置の補正が行われた後に、前記ガルバノミ
ラーを前記原点方向へ移動させ、前記原点センサが作動
した時点での座標値を記憶し、前記ガルバノミラーを前
記ゲイン補正点方向へ移動させ、前記ゲインセンサが作
動した時点での座標値を記憶し、上記２つの座標値の相
対量を記憶し、外部信号に基いて前記ガルバノミラーを
前記原点方向へ移動させ、前記外部信号が出力されてか
ら所定の時間が経過した時点での座標値を記憶し、外部
信号に基いて前記ガルバノミラーを前記ゲイン補正点方
向へ移動させ、前記外部信号が出力されてから所定の時
間が経過した時点での座標値を記憶し、上記２つの座標
値の相対量を記憶し、上記２つの相対量を比較し、その
比較結果を外部信号に与えることで前記ガルバノミラー
のゲインの補正を行うことを特徴とする。
バノメータの位置補正方法は、請求項４に記載のガルバ
ノメータの位置補正方法であって、任意の所定の位置を
原点とし、前記ガルバノミラーが前記原点に到達すると
作動する位置検出センサを原点センサとし、前記原点以
外の任意の所定の位置をゲイン補正点とし、前記ガルバ
ノミラーが前記ゲイン補正点に到達すると作動する位置
検出センサをゲインセンサとする場合であって、前記原
点において位置の補正が行われた後に、前記ガルバノミ
ラーを前記原点方向へ移動させ、前記原点センサが作動
した時点での座標値を記憶し、前記ガルバノミラーを前
記ゲイン補正点方向へ移動させ、前記ゲインセンサが作
動した時点での座標値を記憶し、上記２つの座標値の相
対量を記憶し、外部信号に基いて前記ガルバノミラーを
前記原点方向へ移動させ、前記外部信号が出力されてか
ら所定の時間が経過した時点での座標値を記憶し、外部
信号に基いて前記ガルバノミラーを前記ゲイン補正点方
向へ移動させ、前記外部信号が出力されてから所定の時
間が経過した時点での座標値を記憶し、上記２つの座標
値の相対量を記憶し、上記２つの相対量を比較し、その
比較結果を外部信号に与えることで前記ガルバノミラー
のゲインの補正を行うことを特徴とする。
【００２０】また、本発明における請求項６記載のガル
バノメータの位置補正方法は、請求項５に記載のガルバ
ノメータの位置補正方法であって、前記原点センサを複
数個と、前記ゲインセンサを複数個用い、前記ガルバノ
ミラーのゲインの補正を行うことを特徴とする。
バノメータの位置補正方法は、請求項５に記載のガルバ
ノメータの位置補正方法であって、前記原点センサを複
数個と、前記ゲインセンサを複数個用い、前記ガルバノ
ミラーのゲインの補正を行うことを特徴とする。
【００２１】また、本発明における請求項７記載のガル
バノメータを用いたレーザ加工装置は、請求項１から請
求項３のいずれかに記載のガルバノメータによって、レ
ーザ発振器から出力されたレーザ光線を反射させて被加
工物上の所望の位置に前記レーザ光線を照射することを
特徴とする。
バノメータを用いたレーザ加工装置は、請求項１から請
求項３のいずれかに記載のガルバノメータによって、レ
ーザ発振器から出力されたレーザ光線を反射させて被加
工物上の所望の位置に前記レーザ光線を照射することを
特徴とする。
【００２２】また、本発明における請求項８記載のガル
バノメータを用いたレーザ加工方法は、請求項４記載の
ガルバノメータの位置補正方法によってレーザ発振器か
ら出力されたレーザ光線を反射するガルバノミラーの所
定の位置の補正をした後に、被加工物上の加工点に前記
レーザ光線が照射されるよう前記ガルバノミラーを移動
させ、レーザ発振器からレーザ光線を出力し、前記レー
ザ光線を前記ガルバノミラーによって反射させて前記加
工点に照射することを特徴とする。
バノメータを用いたレーザ加工方法は、請求項４記載の
ガルバノメータの位置補正方法によってレーザ発振器か
ら出力されたレーザ光線を反射するガルバノミラーの所
定の位置の補正をした後に、被加工物上の加工点に前記
レーザ光線が照射されるよう前記ガルバノミラーを移動
させ、レーザ発振器からレーザ光線を出力し、前記レー
ザ光線を前記ガルバノミラーによって反射させて前記加
工点に照射することを特徴とする。
【００２３】また、本発明における請求項９記載のガル
バノメータを用いたレーザ加工方法は、請求項５、請求
項６のいずれかに記載のガルバノメータの位置補正方法
によってレーザ発振器から出力されたレーザ光線を反射
するガルバノミラーの原点とゲインの補正をした後に、
被加工物上の加工点に前記レーザ光線が照射されるよう
前記ガルバノミラーを移動させ、レーザ発振器からレー
ザ光線を出力し、前記レーザ光線を前記ガルバノミラー
によって反射させて前記加工点に照射することを特徴と
する。
バノメータを用いたレーザ加工方法は、請求項５、請求
項６のいずれかに記載のガルバノメータの位置補正方法
によってレーザ発振器から出力されたレーザ光線を反射
するガルバノミラーの原点とゲインの補正をした後に、
被加工物上の加工点に前記レーザ光線が照射されるよう
前記ガルバノミラーを移動させ、レーザ発振器からレー
ザ光線を出力し、前記レーザ光線を前記ガルバノミラー
によって反射させて前記加工点に照射することを特徴と
する。
【００２４】本発明のガルバノメータ、及びガルバノメ
ータの位置補正方法によれば、経時変化によって起こる
ガルバノミラー回転位置検出信号の変動に起因するレー
ザ光線の照射位置決め誤差を補正することができ、また
本発明のガルバノメータを用いたレーザ加工装置、及び
ガルバノメータを用いたレーザ加工方法によれば、高精
度のレーザ加工を生産性良く行うことができる。
ータの位置補正方法によれば、経時変化によって起こる
ガルバノミラー回転位置検出信号の変動に起因するレー
ザ光線の照射位置決め誤差を補正することができ、また
本発明のガルバノメータを用いたレーザ加工装置、及び
ガルバノメータを用いたレーザ加工方法によれば、高精
度のレーザ加工を生産性良く行うことができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明におけるガルバノメ
ータを用いたレーザ加工装置の実施の形態について図面
を用いて説明する。
ータを用いたレーザ加工装置の実施の形態について図面
を用いて説明する。
【００２６】図１は本実施の形態のガルバノメータを用
いたレーザ加工装置の概略構成図を示したものである。
図１に示すガルバノメータを用いたレーザ加工装置は、
レーザ発振器２１から出力されるレーザ光線６をガルバ
ノミラー２によって反射して被加工物２２上の加工点７
に照射し、被加工物２２に溶解等の加工を施す装置であ
る。図１において、ガルバノメータ１のガルバノメータ
回転駆動部（図示せず）に電流指令信号発生器（図４参
照）から出力される電流指令信号が入力され、前記ガル
バノメータ回転駆動部の回転出力はシャフト５を通して
ガルバノミラー２を回転させる。また、ガルバノメータ
１のガルバノミラー位置検出手段である回転位置検出セ
ンサには静電容量センサ（図４参照）を用い、前記静電
容量センサは前記シャフト５に取り付けられ、ガルバノ
ミラー２の回転位置を検出している。なお本実施の形態
においては、ガルバノミラー２の回転位置を検出する前
記静電容量センサからの出力信号をドライバ集積回路
（図４参照）にフィードバックさせ、前記ドライバ集積
回路において前記静電容量センサからの出力信号である
ガルバノミラー回転位置検出信号と位置指令発生器（図
４参照）からの出力信号であるガルバノミラー回転位置
指令信号との偏差を０とすることにより、ガルバノミラ
ー２の回転位置を高精度に制御している。
いたレーザ加工装置の概略構成図を示したものである。
図１に示すガルバノメータを用いたレーザ加工装置は、
レーザ発振器２１から出力されるレーザ光線６をガルバ
ノミラー２によって反射して被加工物２２上の加工点７
に照射し、被加工物２２に溶解等の加工を施す装置であ
る。図１において、ガルバノメータ１のガルバノメータ
回転駆動部（図示せず）に電流指令信号発生器（図４参
照）から出力される電流指令信号が入力され、前記ガル
バノメータ回転駆動部の回転出力はシャフト５を通して
ガルバノミラー２を回転させる。また、ガルバノメータ
１のガルバノミラー位置検出手段である回転位置検出セ
ンサには静電容量センサ（図４参照）を用い、前記静電
容量センサは前記シャフト５に取り付けられ、ガルバノ
ミラー２の回転位置を検出している。なお本実施の形態
においては、ガルバノミラー２の回転位置を検出する前
記静電容量センサからの出力信号をドライバ集積回路
（図４参照）にフィードバックさせ、前記ドライバ集積
回路において前記静電容量センサからの出力信号である
ガルバノミラー回転位置検出信号と位置指令発生器（図
４参照）からの出力信号であるガルバノミラー回転位置
指令信号との偏差を０とすることにより、ガルバノミラ
ー２の回転位置を高精度に制御している。
【００２７】本実施の形態におけるガルバノメータにお
いては、ガルバノミラー２の必要駆動角を一般的な±２
０°とし、原点を−２０°の位置、ゲイン補正点を＋２
０°の位置とする。また、図２に示すようにガルバノミ
ラー２の背面に原点センサ３とゲインセンサ４を設けて
いる。前記原点センサ３とゲインセンサ４はガルバノミ
ラー２の必要駆動角の外側に設けられ、レーザ加工が行
われている最中にはガルバノミラー２の動作範囲外とな
りガルバノミラー２と干渉することはない。
いては、ガルバノミラー２の必要駆動角を一般的な±２
０°とし、原点を−２０°の位置、ゲイン補正点を＋２
０°の位置とする。また、図２に示すようにガルバノミ
ラー２の背面に原点センサ３とゲインセンサ４を設けて
いる。前記原点センサ３とゲインセンサ４はガルバノミ
ラー２の必要駆動角の外側に設けられ、レーザ加工が行
われている最中にはガルバノミラー２の動作範囲外とな
りガルバノミラー２と干渉することはない。
【００２８】次に、以上の構成により、静電容量センサ
の経時変化による前記ガルバノミラー回転位置検出信号
の変動に起因する被加工物に対するレーザ光線の照射位
置決め誤差の補正方法を、つまりガルバノミラーの回転
位置決め誤差の補正方法を、図面を用いて説明する。
の経時変化による前記ガルバノミラー回転位置検出信号
の変動に起因する被加工物に対するレーザ光線の照射位
置決め誤差の補正方法を、つまりガルバノミラーの回転
位置決め誤差の補正方法を、図面を用いて説明する。
【００２９】図２は、ガルバノミラーの回転位置決め誤
差の補正方法を示す模式図である。原点補正を行う場
合、まず、ガルバノミラー２を原点センサ３の方向に低
速で移動させ、原点センサ３にガルバノミラー２が接触
し原点センサ３がＯＮした時点で前記静電容量センサか
らの出力されるガルバノミラー回転位置検出信号（ガル
バノメータ回転位置座標）を記憶手段（図示せず）に記
憶する。次に、ガルバノミラー２を適当な位置に移動さ
せ、前記電流指令信号発生器からの信号である電流指令
信号に基いてガルバノミラー２を原点方向へ移動させ、
前記位置指令発生器からガルバノミラー回転位置指令信
号が出力されてから所定の時間が経過した時点でのガル
バノミラー回転位置座標を前記記憶手段に記憶する。
差の補正方法を示す模式図である。原点補正を行う場
合、まず、ガルバノミラー２を原点センサ３の方向に低
速で移動させ、原点センサ３にガルバノミラー２が接触
し原点センサ３がＯＮした時点で前記静電容量センサか
らの出力されるガルバノミラー回転位置検出信号（ガル
バノメータ回転位置座標）を記憶手段（図示せず）に記
憶する。次に、ガルバノミラー２を適当な位置に移動さ
せ、前記電流指令信号発生器からの信号である電流指令
信号に基いてガルバノミラー２を原点方向へ移動させ、
前記位置指令発生器からガルバノミラー回転位置指令信
号が出力されてから所定の時間が経過した時点でのガル
バノミラー回転位置座標を前記記憶手段に記憶する。
【００３０】上記記憶した２つのガルバノミラー回転位
置座標を比較手段（図示せず）において比較し、その比
較結果を原点補正量として前記記憶手段に記憶してお
き、前記電流指令信号に与えることで原点補正を行う。
なお前記記憶手段と前記比較手段は何処に設置されてい
てもよく、例えば位置検出器（図４参照）内に内蔵して
もよい。また、前記原点補正量は、前記電流指令信号に
与えるのではなく、前記静電容量センサからのガルバノ
ミラー回転位置検出信号、または前記位置検出器からの
実位置データ信号に与える形式でもよい。
置座標を比較手段（図示せず）において比較し、その比
較結果を原点補正量として前記記憶手段に記憶してお
き、前記電流指令信号に与えることで原点補正を行う。
なお前記記憶手段と前記比較手段は何処に設置されてい
てもよく、例えば位置検出器（図４参照）内に内蔵して
もよい。また、前記原点補正量は、前記電流指令信号に
与えるのではなく、前記静電容量センサからのガルバノ
ミラー回転位置検出信号、または前記位置検出器からの
実位置データ信号に与える形式でもよい。
【００３１】次に、ゲイン補正を行う方法について以下
に説明する。ゲイン補正を行う場合、上述の方法で原点
補正を行った上で、まず、ガルバノミラー２を原点セン
サ３の方向に低速で移動し原点センサ３にガルバノミラ
ー２が接触して原点センサ３がＯＮした時点でのガルバ
ノメータ回転位置座標を前記記憶手段に記憶する。次に
ガルバノミラー２をゲインセンサ４の方向に低速で移動
しゲインセンサ４にガルバノミラー２が接触してゲイン
センサ４がＯＮした時点でのガルバノミラー回転位置座
標を前記記憶手段に記憶する。次に、この記憶した２つ
の回転位置座標を前記比較手段において比較し、その相
対量を前記記憶手段に記憶する。
に説明する。ゲイン補正を行う場合、上述の方法で原点
補正を行った上で、まず、ガルバノミラー２を原点セン
サ３の方向に低速で移動し原点センサ３にガルバノミラ
ー２が接触して原点センサ３がＯＮした時点でのガルバ
ノメータ回転位置座標を前記記憶手段に記憶する。次に
ガルバノミラー２をゲインセンサ４の方向に低速で移動
しゲインセンサ４にガルバノミラー２が接触してゲイン
センサ４がＯＮした時点でのガルバノミラー回転位置座
標を前記記憶手段に記憶する。次に、この記憶した２つ
の回転位置座標を前記比較手段において比較し、その相
対量を前記記憶手段に記憶する。
【００３２】続いて、前記電流指令信号発生器からの信
号である前記電流指令信号に基いてガルバノミラー２を
原点方向へ移動させ、位置指令発生器１５（図４参照）
からガルバノミラー回転位置指令信号が出力されてから
所定の時間が経過した時点でのガルバノミラー回転位置
座標を前記記憶手段に記憶する。次に前記電流指令信号
発生器からの信号である前記電流指令信号に基いてガル
バノミラー２を前記ゲイン補正点の方向へ移動させ、位
置指令発生器１５（図４参照）からガルバノミラー回転
位置指令信号が出力されてから所定の時間が経過した時
点でのガルバノミラー回転位置座標を前記記憶手段に記
憶する。次に、この記憶した２つのガルバノミラー回転
位置座標を前記比較手段において比較し、その相対量を
前記記憶手段に記憶する。
号である前記電流指令信号に基いてガルバノミラー２を
原点方向へ移動させ、位置指令発生器１５（図４参照）
からガルバノミラー回転位置指令信号が出力されてから
所定の時間が経過した時点でのガルバノミラー回転位置
座標を前記記憶手段に記憶する。次に前記電流指令信号
発生器からの信号である前記電流指令信号に基いてガル
バノミラー２を前記ゲイン補正点の方向へ移動させ、位
置指令発生器１５（図４参照）からガルバノミラー回転
位置指令信号が出力されてから所定の時間が経過した時
点でのガルバノミラー回転位置座標を前記記憶手段に記
憶する。次に、この記憶した２つのガルバノミラー回転
位置座標を前記比較手段において比較し、その相対量を
前記記憶手段に記憶する。
【００３３】上記記憶した２つの相対量を前記比較手段
において比較し、その比較結果をゲイン補正量として前
記電流指令信号に加算しゲイン補正を行う。なお前記ゲ
イン補正量も、前記原点補正量と同様に前記電流指令信
号に与えるのではなく、前記静電容量センサからのガル
バノミラー回転位置検出信号等に与える形式でもよい。
において比較し、その比較結果をゲイン補正量として前
記電流指令信号に加算しゲイン補正を行う。なお前記ゲ
イン補正量も、前記原点補正量と同様に前記電流指令信
号に与えるのではなく、前記静電容量センサからのガル
バノミラー回転位置検出信号等に与える形式でもよい。
【００３４】なお、本実施の形態においては、原点セン
サ３およびゲインセンサ４にガルバノミラーが接触した
場合、両センサともＯＮに作動するによう設定したが、
ＯＦＦに作動するよう設定してもよく、また、その設定
は両センサにおいて任意である。
サ３およびゲインセンサ４にガルバノミラーが接触した
場合、両センサともＯＮに作動するによう設定したが、
ＯＦＦに作動するよう設定してもよく、また、その設定
は両センサにおいて任意である。
【００３５】上述の操作を示したのが図３である。図３
において、ガルバノミラー回転位置指令信号に基く回転
位置と実際の回転位置の理想的な関係は実線の関係にあ
るときである。しかし、経時変化によって静電容量セン
サからのガルバノミラー回転位置検出信号に変動が生じ
ガルバノミラーの回転位置決め精度が低下すると一点鎖
線の関係となり、ガルバノミラー回転位置指令信号に基
く回転位置と実際の回転位置は一致しない。この関係に
あるとき、原点補正を行うと、一点鎖線の状態から二点
鎖線の状態となり、原点のみ補正される。さらにゲイン
補正を行うと実線の状態となり、ガルバノミラーの回転
位置指令信号に基く回転位置と実際の回転位置は理想的
な関係となる。
において、ガルバノミラー回転位置指令信号に基く回転
位置と実際の回転位置の理想的な関係は実線の関係にあ
るときである。しかし、経時変化によって静電容量セン
サからのガルバノミラー回転位置検出信号に変動が生じ
ガルバノミラーの回転位置決め精度が低下すると一点鎖
線の関係となり、ガルバノミラー回転位置指令信号に基
く回転位置と実際の回転位置は一致しない。この関係に
あるとき、原点補正を行うと、一点鎖線の状態から二点
鎖線の状態となり、原点のみ補正される。さらにゲイン
補正を行うと実線の状態となり、ガルバノミラーの回転
位置指令信号に基く回転位置と実際の回転位置は理想的
な関係となる。
【００３６】なお、この補正動作は、照射位置決め精度
が低下した時に随時行ってもよいし、ある一定期間に定
期的に実行してもよい。また、原点センサ及びゲインセ
ンサは接触式センサであれば、例えば検出精度±１[μ
ｍ]、検出力１[ｍｇ／ｍ2]といった微圧力、高精度なセ
ンサが市販されており、これらを用いてもよく、また非
接触式センサではレーザを用いた変位計が市販されてお
り、これを使用してもよい。
が低下した時に随時行ってもよいし、ある一定期間に定
期的に実行してもよい。また、原点センサ及びゲインセ
ンサは接触式センサであれば、例えば検出精度±１[μ
ｍ]、検出力１[ｍｇ／ｍ2]といった微圧力、高精度なセ
ンサが市販されており、これらを用いてもよく、また非
接触式センサではレーザを用いた変位計が市販されてお
り、これを使用してもよい。
【００３７】本実施の形態においては、ガルバノミラー
の背面に原点センサとゲインセンサを配置したが、レー
ザ光線と干渉しない位置であれば、例えばガルバノミラ
ーの前面であっても支障はない。また、本実施の形態に
おいては、原点センサ、ゲインセンサの検出面にガルバ
ノミラーを利用したが、回転位置が検出できるものであ
れば、例えばシャフトでも構わない。
の背面に原点センサとゲインセンサを配置したが、レー
ザ光線と干渉しない位置であれば、例えばガルバノミラ
ーの前面であっても支障はない。また、本実施の形態に
おいては、原点センサ、ゲインセンサの検出面にガルバ
ノミラーを利用したが、回転位置が検出できるものであ
れば、例えばシャフトでも構わない。
【００３８】また、本実施の形態においては、原点を−
２０°の位置、ゲイン補正点を＋２０°の位置とし、原
点センサとゲインセンサをそれぞれ１個だけ用いたが、
原点とゲイン補正点は同じ位置でなければガルバノメー
タの駆動角内の何処の位置でもよく、また原点センサと
ゲインセンサを何個用いても構わない。例えば、ガルバ
ノメータの駆動角が±２０°のとき、０°の位置に原点
センサを設け、±２０°の位置のそれぞれにゲインセン
サを設けても構わない。
２０°の位置、ゲイン補正点を＋２０°の位置とし、原
点センサとゲインセンサをそれぞれ１個だけ用いたが、
原点とゲイン補正点は同じ位置でなければガルバノメー
タの駆動角内の何処の位置でもよく、また原点センサと
ゲインセンサを何個用いても構わない。例えば、ガルバ
ノメータの駆動角が±２０°のとき、０°の位置に原点
センサを設け、±２０°の位置のそれぞれにゲインセン
サを設けても構わない。
【００３９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、ガルバノ
メータの回転位置検出センサからの出力信号の変動に起
因する原点位置の誤差とゲインの誤差を定期的あるいは
随時に補正することにより、常に高精度なレーザ光線の
照射位置決めが行え、高精度のレーザ加工を生産性良く
行うことができる。
メータの回転位置検出センサからの出力信号の変動に起
因する原点位置の誤差とゲインの誤差を定期的あるいは
随時に補正することにより、常に高精度なレーザ光線の
照射位置決めが行え、高精度のレーザ加工を生産性良く
行うことができる。
【図１】本発明の実施の形態におけるガルバノメータを
用いたレーザ加工装置の概略構成図
用いたレーザ加工装置の概略構成図
【図２】本発明の実施の形態におけるガルバノミラーの
原点補正とゲイン補正を示す説明図
原点補正とゲイン補正を示す説明図
【図３】本発明の実施の形態におけるガルバノミラーの
原点補正とゲイン補正を示す概念図
原点補正とゲイン補正を示す概念図
【図４】従来のガルバノメータの制御系のブロック図
【図５】従来のガルバノメータによるレーザ光線の照射
位置決め原理を示す模式図
位置決め原理を示す模式図
【符号の説明】 １ ガルバノメータ ２ ガルバノミラー ３ 原点センサ ４ ゲインセンサ ５ シャフト ６ レーザ光線 ７ 加工点 ８ ガルバノメータ ９ 静電容量センサ（回転位置検出センサ） １０ ガルバノミラー １１ ドライバ集積回路 １２ ガルバノメータ制御装置 １３ 位置検出器 １４ 電流指令信号発生器 １５ 位置指令発生器 １６ ガルバノメータ制御装置 １７ レーザ光線 １８ 回転方向 １９ 加工点 ２０ 加工点 ２１ レーザ発振器 ２２ 被加工物
Claims (9)
- 【請求項１】レーザ光線を反射するガルバノミラーと、 前記ガルバノミラーの位置を検出するガルバノミラー位
置検出手段と、 前記ガルバノミラーが所定の位置に到達すると作動する
位置検出センサを少なくとも１個と、 前記ガルバノミラー位置検出手段が検出した座標値を記
憶する記憶手段と、 前記ガルバノミラーを前記所定の位置の方向に移動させ
前記位置検出センサが作動した時点で前記ガルバノミラ
ー位置検出手段が検出して前記記憶手段に記憶される座
標値と、外部信号によって前記ガルバノミラーを前記所
定の位置の方向に移動させ前記外部信号が出力されてか
ら所定の時間が経過した時点で前記ガルバノミラー位置
検出手段が検出して前記記憶手段に記憶される座標値と
を比較する手段とを用い、前記ガルバノミラーの所定の
位置の補正を行うことを特徴とするガルバノメータ。 - 【請求項２】前記ガルバノミラーと、 前記ガルバノミラー位置検出手段と、 任意の所定の位置を原点とし、前記ガルバノミラーが前
記原点に到達すると作動する原点センサと、 前記原点以外の任意の所定の位置をゲイン補正点とし、
前記ガルバノミラーが前記ゲイン補正点に到達すると作
動するゲインセンサと、 前記ガルバノミラー位置検出手段が検出した座標値の相
対量を記憶する機能を加えた前記記憶手段と、 前記ガルバノミラーを前記原点方向に移動させ前記原点
センサが作動した時点で前記ガルバノミラー位置検出手
段が検出して前記記憶手段に記憶される座標値と、前記
ガルバノミラーを前記ゲイン補正点方向に移動させ前記
ゲインセンサが作動した時点で前記ガルバノミラー位置
検出手段が検出して前記記憶手段に記憶される座標値と
の相対量を求め、外部信号によって前記ガルバノミラー
を前記原点方向に移動させ前記外部信号が出力されてか
ら所定の時間が経過した時点で前記ガルバノミラー位置
検出手段が検出して前記記憶手段に記憶される座標値
と、外部信号によって前記ガルバノミラーを前記ゲイン
補正点方向に移動させ前記外部信号が出力されてから所
定の時間が経過した時点で前記ガルバノミラー位置検出
手段が検出して前記記憶手段に記憶される座標値との相
対量を求め、上記二つの相対量を比較する機能を加えた
前記比較する手段とを用い、前記ガルバノミラーのゲイ
ンの補正を行うことを特徴とする請求項１に記載のガル
バノメータ。 - 【請求項３】前記原点センサを複数個と、前記ゲインセ
ンサを複数個用い、前記ガルバノミラーのゲインの補正
を行うことを特徴とする請求項２に記載のガルバノメー
タ。 - 【請求項４】ガルバノメータのガルバノミラーを所定の
位置の方向へ移動させ、前記ガルバノミラーが前記所定
の位置に到達すると作動する位置検出センサが作動した
時点での座標値を記憶し、 前記ガルバノミラーを前記所定の位置から適当な位置へ
移動させた後、外部信号に基いて前記ガルバノミラーを
前記所定の位置の方向へ移動させ、外部信号が出力され
てから所定の時間が経過した時点での座標値を記憶し、 上記記憶した２つの座標値を比較し、 その比較結果を外部信号に与えることで前記ガルバノミ
ラーの所定の位置の補正を行うことを特徴とするガルバ
ノメータの位置補正方法。 - 【請求項５】任意の所定の位置を原点とし、前記ガルバ
ノミラーが前記原点に到達すると作動する位置検出セン
サを原点センサとし、前記原点以外の任意の所定の位置
をゲイン補正点とし、前記ガルバノミラーが前記ゲイン
補正点に到達すると作動する位置検出センサをゲインセ
ンサとする場合であって、前記原点において位置の補正
が行われた後に、 前記ガルバノミラーを前記原点方向へ移動させ、前記原
点センサが作動した時点での座標値を記憶し、 前記ガルバノミラーを前記ゲイン補正点方向へ移動さ
せ、前記ゲインセンサが作動した時点での座標値を記憶
し、 上記２つの座標値の相対量を記憶し、 外部信号に基いて前記ガルバノミラーを前記原点方向へ
移動させ、前記外部信号が出力されてから所定の時間が
経過した時点での座標値を記憶し、 外部信号に基いて前記ガルバノミラーを前記ゲイン補正
点方向へ移動させ、前記外部信号が出力されてから所定
の時間が経過した時点での座標値を記憶し、 上記２つの座標値の相対量を記憶し、 上記２つの相対量を比較し、 その比較結果を外部信号に与えることで前記ガルバノミ
ラーのゲインの補正を行うことを特徴とする請求項４に
記載のガルバノメータの位置補正方法。 - 【請求項６】前記原点センサを複数個と、前記ゲインセ
ンサを複数個用い、前記ガルバノミラーのゲインの補正
を行うことを特徴とする請求項５に記載のガルバノメー
タの位置補正方法。 - 【請求項７】請求項１から請求項３のいずれかに記載の
ガルバノメータによって、レーザ発振器から出力された
レーザ光線を反射させて被加工物上の所望の位置に前記
レーザ光線を照射することを特徴とするガルバノメータ
を用いたレーザ加工装置。 - 【請求項８】請求項４記載のガルバノメータの位置補正
方法によってレーザ発振器から出力されたレーザ光線を
反射するガルバノミラーの所定の位置の補正をした後
に、被加工物上の加工点に前記レーザ光線が照射される
よう前記ガルバノミラーを移動させ、 レーザ発振器からレーザ光線を出力し、 前記レーザ光線を前記ガルバノミラーによって反射させ
て前記加工点に照射することを特徴とするガルバノメー
タを用いたレーザ加工方法。 - 【請求項９】請求項５、請求項６のいずれかに記載のガ
ルバノメータの位置補正方法によってレーザ発振器から
出力されたレーザ光線を反射するガルバノミラーの原点
とゲインの補正をした後に、被加工物上の加工点に前記
レーザ光線が照射されるよう前記ガルバノミラーを移動
させ、 レーザ発振器からレーザ光線を出力し、 前記レーザ光線を前記ガルバノミラーによって反射させ
て前記加工点に照射することを特徴とするガルバノメー
タを用いたレーザ加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000282759A JP2002090682A (ja) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | ガルバノメータ、ガルバノメータの位置補正方法、ガルバノメータを用いたレーザ加工装置、及びガルバノメータを用いたレーザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000282759A JP2002090682A (ja) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | ガルバノメータ、ガルバノメータの位置補正方法、ガルバノメータを用いたレーザ加工装置、及びガルバノメータを用いたレーザ加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002090682A true JP2002090682A (ja) | 2002-03-27 |
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|---|---|---|---|
| JP2000282759A Pending JP2002090682A (ja) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | ガルバノメータ、ガルバノメータの位置補正方法、ガルバノメータを用いたレーザ加工装置、及びガルバノメータを用いたレーザ加工方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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