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JP2002086327A - Processing jig - Google Patents

Processing jig

Info

Publication number
JP2002086327A
JP2002086327A JP2001016898A JP2001016898A JP2002086327A JP 2002086327 A JP2002086327 A JP 2002086327A JP 2001016898 A JP2001016898 A JP 2001016898A JP 2001016898 A JP2001016898 A JP 2001016898A JP 2002086327 A JP2002086327 A JP 2002086327A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
processing jig
spacer
workpiece
processing
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001016898A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nobuyuki Miyao
信之 宮尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2001016898A priority Critical patent/JP2002086327A/en
Publication of JP2002086327A publication Critical patent/JP2002086327A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 アロイやワックス等の接着媒体を用いないで
被加工物を固定できる加工用治具を提供する。 【解決手段】 被加工物100に密着するリング状のシ
ール部24と、被加工物100がシール部24に密着さ
れることにより密封空間を形成する減圧空隙部6と、減
圧空隙部6と外部との連通を遮断及び開放可能な弁5
と、被加工物100を加工する加工機械に取り付けるた
めの装着部3とを備える加工用治具1とする。
(57) [Problem] To provide a processing jig capable of fixing a workpiece without using an adhesive medium such as an alloy or wax. SOLUTION: A ring-shaped seal portion 24 that is in close contact with a workpiece 100, a reduced-pressure gap 6 in which the workpiece 100 is in close contact with the seal portion 24 to form a sealed space; 5 that can shut off and open communication with the
And a mounting jig 1 for mounting the workpiece 100 on a processing machine that processes the workpiece 100.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レンズ等の被加工
物を固定して加工装置に装着することができる加工用治
具に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a processing jig capable of fixing a workpiece such as a lens and mounting the same on a processing apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、眼鏡レンズ等の光学部品の研磨工
程では、周知の技術である、一般的にアロイと呼ばれる
低融点合金を加工用冶具内に流し込み、光学部品の加工
面の反対面(以下、接着面とする)をこれに合わせ込む
ことで、図7に示すように、光学部品100と加工用冶
具111とを低融点合金112を介して接着固定してい
る。光学部品100を固定した加工用治具111を研磨
装置に装着して光学部品100を研磨加工する。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a polishing process of an optical component such as an eyeglass lens, a low melting point alloy generally called an alloy, which is a well-known technique, is poured into a processing jig, and a surface opposite to a processing surface of the optical component ( The optical component 100 and the processing jig 111 are bonded and fixed via the low melting point alloy 112 as shown in FIG. A processing jig 111 to which the optical component 100 is fixed is mounted on a polishing apparatus, and the optical component 100 is polished.

【0003】このアロイを加工用冶具内に流し込むため
にはヒーターを有する炉を装備し、アロイを流体化する
までの融点以上に熱し、これを被加工物である光学部品
の接着面にまんべんなく密着させるために手動で流し込
み量を調整する装置を用いる必要があり、手動もしくは
半自動でこれを行っている。
In order to pour the alloy into the processing jig, a furnace having a heater is equipped, and the alloy is heated to a temperature higher than the melting point until the alloy is fluidized, and the alloy is evenly adhered to the bonding surface of the optical component to be processed. For this purpose, it is necessary to use a device for adjusting the pouring amount manually, and this is performed manually or semi-automatically.

【0004】また、このアロイは融点以上に熱した水中
で流体化が出来、比重も水に比べ10倍程度有るために
その水中で分離、浸漬させることで回収ができ、再度加
工用冶具への流し込み用装置の炉に戻すことにより、再
生が可能となる。
Further, this alloy can be fluidized in water heated to a temperature higher than its melting point, and has a specific gravity of about 10 times that of water. By returning to the furnace of the pouring device, regeneration becomes possible.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術に示した低融点合金であるアロイを使用し、研磨加工
での加工抵抗に対応するだけの保持力を有するために
は、前記したように被加工物である眼鏡レンズ等の光学
部品の加工用冶具との接着面の形状に合わせた容量のア
ロイを流し込む必要があり、この容量調整が手動の場
合、熟練を要する作業となっている。必要以上にアロイ
を加工用冶具内に流し込んでしまうと、被加工物である
光学部品の加工面が加工用冶具から浮いた状態になるた
めに、設計した面形状に研磨加工できなくなることがあ
る。
However, in order to use an alloy, which is a low melting point alloy shown in the prior art, and to have a holding force enough to cope with the processing resistance in the polishing process, as described above, It is necessary to pour an alloy having a capacity corresponding to the shape of the bonding surface of the optical component such as an eyeglass lens, which is a processed product, with a processing jig, and when this capacity adjustment is manual, it requires a skill. If the alloy is poured into the processing jig more than necessary, the processing surface of the optical component to be processed will be in a state of floating from the processing jig, so it may not be possible to polish the designed surface shape .

【0006】また、この低融点合金であるアロイは、光
学部品と加工用冶具との接着力およびアロイ自身の収縮
時の応力による光学部品の加工時の剛性面の制御に大き
く係わるために成分管理が重要であり、定期的に再生使
用するアロイの成分チェックも必要となっている。
The alloy, which is a low-melting alloy, is largely involved in the control of the rigidity of the optical component during the processing of the optical component due to the adhesive force between the optical component and the processing jig and the stress caused by the shrinkage of the alloy itself. Therefore, it is necessary to check the components of alloys that are regularly recycled.

【0007】また、加工用冶具内部に付着した汚れおよ
び異物が、アロイの再生工程でも落ちないために、別途
に洗浄工程を必要とすることも負荷になっている。
In addition, since a dirt and foreign matter adhered to the inside of the processing jig are not removed even in the alloy regenerating process, a separate cleaning process is required.

【0008】また、アロイと光学部品との接着における
両者の密着力向上および光学部品の接着面の傷等の保護
に対して、光学部品の接着面上に保護テープなどを貼り
つける必要があり、その処理工程を事前に行わなければ
ならない。また、上記保護テープは研磨加工終了後、剥
がしてしまうため余分な資材費用となる。さらに、研磨
加工終了後、光学部品100と加工用冶具111を分離
するには光学部品100の接着面とアロイ112との間
にくさび等を差し込む等して衝撃を与えて行うために、
加工した光学部品に傷等をつける可能性がある。
In order to improve the adhesion between the alloy and the optical component and to protect the adhesive surface of the optical component from scratches, it is necessary to attach a protective tape or the like on the adhesive surface of the optical component. The processing steps must be performed in advance. Further, since the protective tape is peeled off after the polishing process, an extra material cost is required. Further, after the polishing process is completed, in order to separate the optical component 100 and the processing jig 111 by applying a shock by inserting a wedge or the like between the bonding surface of the optical component 100 and the alloy 112,
The processed optical parts may be damaged.

【0009】また、アロイの再生には加工用冶具内に接
着したままのアロイを冶具と一緒にアロイの融点以上に
熱した水中で分離しなくてはならず、回収作業が負荷に
なっている。
[0009] In order to regenerate the alloy, it is necessary to separate the alloy, which has been adhered in the processing jig, together with the jig in water heated to a temperature higher than the melting point of the alloy. .

【0010】さらに、この低融点合金であるアロイには
成分として20%以上の鉛が含まれており、近年環境問
題として取り上げられる鉛フリーに対し早急に代替え品
の対応が望まれている。
[0010] Further, the alloy, which is a low-melting-point alloy, contains 20% or more of lead as a component, and it is desired that a lead-free alloy, which has recently been taken up as an environmental problem, be promptly replaced.

【0011】近年アロイに替わりワックス材を同様に使
用することも行われているが、この方法では、ワックス
の接着力および保持力の安定にワックスおよび加工用冶
具の周辺温度の調節を必要としている。
In recent years, a wax material has been used instead of an alloy, but this method requires adjustment of the peripheral temperature of the wax and the processing jig in order to stabilize the adhesive force and the holding force of the wax. .

【0012】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、アロイやワックス等の接着媒体を用いないで被加工
物を固定できる加工用治具を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide a processing jig capable of fixing a workpiece without using an adhesive medium such as an alloy or wax.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明は、被加工物に密着するリング
状のシール部と、前記被加工物が前記シール部に密着さ
れることにより密封空間を形成する減圧空隙部と、前記
減圧空隙部と外部との連通を遮断及び開放可能な弁と、
前記被加工物を加工する加工機械に取り付けるための装
着部とを備えることを特徴とする加工用治具を提供す
る。
In order to achieve the above object, according to the present invention, a ring-shaped seal portion which is in close contact with a workpiece, and wherein the workpiece is in close contact with the seal portion. A depressurized gap that forms a sealed space, and a valve that can shut off and open the communication between the depressurized gap and the outside,
And a mounting part for mounting the workpiece on a processing machine that processes the workpiece.

【0014】この加工用治具は、被加工物をシール部に
密着させ、開放した弁を介して減圧源と減圧空隙部とを
接続し、減圧空隙部を減圧してシール部に被加工物を吸
着保持させ、その状態で弁を閉じて減圧空隙部を密封
し、装着部を加工機械に装着して被加工物の加工を行う
ことができる。
In this processing jig, a workpiece is brought into close contact with a seal portion, a decompression source and a decompression gap are connected through an opened valve, and the decompression gap is decompressed to form the workpiece on the seal portion. Can be held by suction, the valve is closed in this state, the depressurized space is sealed, and the mounting portion is mounted on a processing machine to process the workpiece.

【0015】請求項2記載の発明は、請求項1記載の加
工用治具において、前記弁が、前記減圧空隙部の圧力が
前記外部より低いときに前記減圧空隙部と前記外部との
連通を遮断し、前記減圧空隙部の圧力が前記外部より高
いときに減圧空隙部と前記外部との連通を開放する逆止
弁であることを特徴とする加工用治具を提供する。
According to a second aspect of the present invention, in the processing jig of the first aspect, when the pressure in the depressurized space is lower than that of the outside, the valve communicates with the depressurized space. A processing jig is provided which is a check valve that shuts off and opens communication between the depressurized gap and the outside when the pressure in the depressurized gap is higher than the outside.

【0016】減圧されて被加工物を吸着保持する減圧空
隙部と外部との連通を遮断及び開放する弁として、逆止
弁を用いることによって、減圧空隙部の密封を自動的に
行い、減圧を確実に維持することができる。
By using a check valve as a valve for shutting off and opening the communication between the depressurized space for holding the workpiece by being depressurized and holding and the outside, the depressurized space is automatically sealed to reduce the pressure. Can be reliably maintained.

【0017】請求項3記載の発明は、請求項1又は2記
載の加工用治具において、常時は減圧されている前記減
圧空隙部と前記外部とを遮断し、必要なときに前記減圧
空隙部と前記外部とを連通させる真空破壊弁を備えるこ
とを特徴とする加工用治具を提供する。
According to a third aspect of the present invention, in the processing jig according to the first or second aspect, the depressurized air gap that is normally depressurized is cut off from the outside, and the depressurized air gap when necessary. And a vacuum break valve for communicating the outside with the outside.

【0018】この加工用治具は、被加工物の吸着保持を
開放するときは、真空破壊弁を開放して減圧空隙の中に
外部より空気を導入することにより、容易にできる。
The processing jig can be easily opened by releasing the vacuum release valve and introducing air from the outside into the depressurized space when releasing the suction holding of the workpiece.

【0019】請求項4記載の発明は、請求項3記載の加
工用治具において、前記逆止弁が、前記真空破壊弁を兼
用することを特徴とする加工用治具を提供する。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the processing jig according to the third aspect, wherein the check valve also serves as the vacuum breaking valve.

【0020】例えば、逆止弁の弁体を外部側から強制的
に引き寄せて真空破壊させることができる構造とするこ
とにより、逆止弁を真空破壊弁と兼用させることができ
る。
For example, a check valve can be forcibly pulled from the outside to break it in a vacuum, so that the check valve can also be used as a vacuum breaking valve.

【0021】請求項5記載の発明は、請求項1〜4のい
ずれかに記載の加工用治具において、前記シール部が、
パッキンで構成されていることを特徴とする加工用治具
を提供する。
According to a fifth aspect of the present invention, in the processing jig according to any one of the first to fourth aspects, the seal portion includes:
A processing jig characterized by being constituted by packing is provided.

【0022】シール部をパッキンで構成することによ
り、減圧空隙部の減圧の維持が確実になると共に、被加
工物に傷を付けることを防止することができる。
By forming the seal portion with packing, it is possible to reliably maintain the reduced pressure in the reduced-pressure gap portion and to prevent the workpiece from being damaged.

【0023】請求項6記載の発明は、請求項1〜5のい
ずれかに記載の加工用治具において、前記減圧空隙部内
に配置され、前記シール部で囲まれた前記被加工物の吸
着面の一部又は全部に当接する受け面を備え、前記吸着
面と前記減圧空隙部内における前記吸着面と対向する面
との間に介装されるスペーサを備えることを特徴とする
加工用治具を提供する。
According to a sixth aspect of the present invention, in the processing jig according to any one of the first to fifth aspects, the suction surface of the workpiece is disposed in the depressurized space and surrounded by the seal portion. A receiving jig for contacting a part or the whole of the processing jig, and a processing jig comprising a spacer interposed between the suction surface and a surface opposed to the suction surface in the decompression cavity. provide.

【0024】アロイなどの接着媒体を被加工物に接着す
ることで、それと一体化した被加工物そのものに剛性を
持たせていたが、真空吸着することで被加工物の減圧空
隙部を構成する吸着面が、加工用治具から浮いた状態と
なってある程度の自由度を持つために、剛性が低下し、
研磨工程等の加工負荷に対して被加工物が変形して設計
通りの加工が成り立たなくなることがある。しかし、減
圧空隙部に被加工物の吸着面と加工用治具との間にスペ
ーサを介装することにより、被加工物にかかる加工負荷
をスペーサで受けることができるため、被加工物の変形
を防止して、設計通りの加工が可能になる。
By bonding an adhesive medium such as an alloy to the workpiece, the workpiece itself integrated with the workpiece has rigidity. However, vacuum suction forms a depressurized void portion of the workpiece. Since the suction surface floats from the processing jig and has a certain degree of freedom, the rigidity decreases,
The workpiece may be deformed by a processing load such as a polishing process, and the processing as designed may not be realized. However, by interposing a spacer between the suction surface of the workpiece and the processing jig in the depressurized space, the processing load applied to the workpiece can be received by the spacer. And processing as designed becomes possible.

【0025】請求項7記載の発明は、請求項6記載の加
工用治具において、前記スペーサが、前記受け面を有す
るスペーサ本体と、前記受け面を被覆する弾性を有する
シート状部材とを有することを特徴とする加工用治具を
提供する。
According to a seventh aspect of the present invention, in the processing jig of the sixth aspect, the spacer has a spacer main body having the receiving surface, and an elastic sheet-like member covering the receiving surface. A processing jig is provided.

【0026】スペーサ本体が前述した被加工物にかかる
加工負荷を受け、弾性を有するシート状部材が被加工物
とスペーサ本体の受け面との緩衝材として機能する。
The spacer body receives the above-mentioned processing load applied to the workpiece, and the elastic sheet-like member functions as a buffer between the workpiece and the receiving surface of the spacer body.

【0027】請求項8記載の発明は、請求項6又は7記
載の加工用治具において、前記スペーサが、通気性の多
孔質材料で構成されていることを特徴とする加工用治具
を提供する。
According to an eighth aspect of the present invention, there is provided the processing jig according to the sixth or seventh aspect, wherein the spacer is made of a gas-permeable porous material. I do.

【0028】スペーサがシール部で囲まれている被加工
物の全面を受けるときは、減圧空隙部と連通させるため
にスペーサを通気性の多孔質材料で構成することが好ま
しい。
When the spacer receives the entire surface of the workpiece surrounded by the seal portion, it is preferable that the spacer be made of a gas-permeable porous material in order to communicate with the reduced-pressure space.

【0029】請求項9記載の発明は、請求項6又は7記
載の加工用治具において、前記スペーサが、前記受け面
とこの受け面に対向する面とを連通する通気孔を備える
ことを特徴とする加工用治具を提供する。
According to a ninth aspect of the present invention, in the processing jig according to the sixth or seventh aspect, the spacer has a ventilation hole communicating the receiving surface and a surface facing the receiving surface. And a processing jig.

【0030】スペーサがシール部で囲まれている被加工
物の全面を受けるときは、減圧空隙部と連通させるため
にスペーサに通気孔を設けることが好ましい。
When the spacer receives the entire surface of the workpiece surrounded by the seal portion, it is preferable to provide a ventilation hole in the spacer in order to communicate with the reduced-pressure space.

【0031】請求項10記載の発明は、請求項6記載の
加工用治具において、前記スペーサが、プラスチックで
構成されていることを特徴とする加工用治具を提供す
る。
According to a tenth aspect of the present invention, there is provided the processing jig according to the sixth aspect, wherein the spacer is made of plastic.

【0032】プラスチック製のスペーサを用いると、プ
ラスチック製の被加工物の加工において優れた加工精度
が得られる。
When a plastic spacer is used, excellent processing accuracy can be obtained in processing a plastic workpiece.

【0033】請求項11記載の発明は、請求項10記載
の加工用治具において、前記プラスチックが、ポリカー
ボネートであることを特徴とする加工用治具を提供す
る。
An eleventh aspect of the present invention provides the processing jig according to the tenth aspect, wherein the plastic is polycarbonate.

【0034】ポリカーボネート製のスペーサを用いると
良好な加工精度が得られる。
When a spacer made of polycarbonate is used, good processing accuracy can be obtained.

【0035】[0035]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定される
ものではない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to the following embodiments.

【0036】本発明の加工用治具は、被加工物に密着す
るリング状のシール部と、被加工物がシール部に密着さ
れることにより密封空間を形成する減圧空隙部と、減圧
空隙部と外部との連通を遮断及び開放可能な弁と、被加
工物を加工する加工機械に取り付けるための装着部とを
備える。
[0036] The processing jig of the present invention comprises a ring-shaped seal portion that is in close contact with the workpiece, a reduced-pressure void portion in which the workpiece is in close contact with the seal portion to form a sealed space, and a reduced-pressure void portion. A valve capable of shutting off and opening communication between the workpiece and the outside, and a mounting portion for mounting to a processing machine for processing a workpiece.

【0037】本発明の加工用治具に吸着保持される被加
工物としては、リング状のシール部に密着される滑らか
な面を有し、加工機械で加工されるものであれば、いず
れのものも対象となる。通常は板状体、特に研磨加工し
てレンズを形成する球面や非球面の曲面を備えるレンズ
素材等の光学材料が適している。
The workpiece to be sucked and held by the processing jig of the present invention may be any workpiece as long as it has a smooth surface that is in close contact with the ring-shaped seal portion and is processed by a processing machine. Things are also covered. Usually, an optical material such as a plate material, particularly a lens material having a spherical or aspherical curved surface which forms a lens by polishing is suitable.

【0038】リング状のシール部は、被加工物を吸着保
持するために被加工物に密着して減圧空隙部を構成する
もので、シール部は、例えばゴムや樹脂等の弾性材料で
構成されたOリング、ガスケット等のリング状のパッキ
ンで構成することが好ましい。パッキンは、シール性を
確実にすることと、被加工物にキズを与えず、更に被加
工物との摩擦により、加工中に被加工物と加工用治具と
の相対位置がずれることを防止することができる。ま
た、パッキンのスプリング硬さなどの特性は被加工物に
応じて選択するが、加工精度を高めるために、パッキン
の厚さは1mm以下とすることが好ましい。パッキンを
薄膜とすることも可能である。なお、シール部は2箇所
以上設けることができる。シール部の形状は、被加工物
の吸着される面の形状に応じて変更することはもちろん
である。
The ring-shaped seal portion is configured to be in close contact with the workpiece so as to hold the workpiece by suction, thereby forming a decompression void. The seal portion is made of an elastic material such as rubber or resin. It is preferable to use a ring-shaped packing such as an O-ring and a gasket. The packing ensures the sealing performance, does not damage the workpiece, and prevents the relative position between the workpiece and the processing jig during processing due to friction with the workpiece. can do. The characteristics of the packing, such as the spring hardness, are selected according to the workpiece, but the thickness of the packing is preferably 1 mm or less in order to increase the processing accuracy. It is also possible for the packing to be a thin film. Note that two or more seal portions can be provided. Needless to say, the shape of the seal portion can be changed according to the shape of the surface on which the workpiece is sucked.

【0039】減圧空隙部は、リング状のシール部を開口
部とする凹部であり、リング状のシール部に被加工物が
密着したときに被加工物で開口部が閉塞されて密封空間
を構成する。減圧空隙部はリング状のシール部が被加工
物で閉塞されたときは、加工用治具の外部と弁を介して
空気の流通を行う。
The depressurized space is a concave portion having the ring-shaped seal portion as an opening, and when the work comes into close contact with the ring-shaped seal portion, the opening is closed by the work to form a sealed space. I do. When the ring-shaped seal portion is closed by the workpiece, the depressurized void portion allows air to flow through the outside of the processing jig via a valve.

【0040】弁を閉じると、減圧空隙部と加工用治具外
部との連通を遮断して減圧空隙部を密封状態にし、減圧
空隙部が減圧されているときは、減圧状態が維持され
る。また、弁を開放すると、減圧空隙部と加工用治具の
外部とを連通させ、減圧空隙部を減圧し、又は減圧した
減圧空隙部に空気を導入して真空破壊することができ
る。
When the valve is closed, the communication between the depressurized gap and the outside of the processing jig is cut off to seal the depressurized gap, and when the depressurized gap is depressurized, the depressurized state is maintained. Further, when the valve is opened, the depressurized gap can be communicated with the outside of the processing jig to reduce the pressure in the depressurized gap, or air can be introduced into the depressurized depressurized gap to break the vacuum.

【0041】弁としては、減圧空隙部と加工用治具の外
部との連通を遮断及び開放可能であればよく、例えば2
方真空弁を用いることができる。また、減圧空隙部の圧
力が外部より低いときに減圧空隙部と外部との連通を遮
断し、減圧空隙部の圧力が外部より高いときに減圧空隙
部と加工用治具外部との連通を開放する逆止弁を用いる
ことができる。逆止弁を用いることにより、減圧空隙部
を減圧した後、減圧源を大気に戻したときに弁の操作を
することなく、自動的に弁が閉じて減圧空隙部の減圧を
維持できる。
The valve may be any valve as long as it can block and open the communication between the decompression gap and the outside of the processing jig.
One way vacuum valves can be used. In addition, when the pressure in the depressurized gap is lower than the outside, the communication between the depressurized gap and the outside is shut off, and when the pressure in the depressurized gap is higher than the outside, the communication between the depressurized gap and the outside of the processing jig is opened. A check valve can be used. By using the check valve, after reducing the pressure in the depressurized space, the valve is automatically closed without operating the valve when the pressure source is returned to the atmosphere, and the depressurized pressure in the depressurized space can be maintained.

【0042】弁を逆止弁とするときは、逆止弁に加え
て、リーク用として、常時は減圧されている減圧空隙部
と外部とを遮断し、必要なときに減圧空隙部と外部とを
連通させる真空破壊弁を設けてもよい。
When the valve is a non-return valve, in addition to the check valve, the depressurized air gap which is normally depressurized is shut off from the outside for leakage, and the depressurized air gap is connected to the outside when necessary. May be provided.

【0043】また、逆止弁自体にリーク機能を与えて真
空破壊弁を兼用したリーク機構付き逆止弁を用いること
ができる。このリーク機構付き逆止弁は、例えば弁体を
強磁性体で構成し、外部から磁石で弁体を引き寄せるこ
とによって動かし、弁を開放させることができる。ま
た、弁体を2重構造にし、主弁体の中に補助弁体を設
け、通常は主弁体と補助弁体とが一体になって作動し、
真空破壊するときは、外部から補助弁体を棒などで押し
て補助弁体を開放させるような構成のリーク機構付き逆
止弁を用いることができる。
Further, a check valve having a leak mechanism which also functions as a vacuum breaking valve by giving a leak function to the check valve itself can be used. In this check valve with a leak mechanism, for example, the valve body is made of a ferromagnetic material, and the valve body can be moved by attracting the valve body with a magnet from the outside to open the valve. In addition, the valve element has a double structure, and an auxiliary valve element is provided in the main valve element. Usually, the main valve element and the auxiliary valve element operate integrally,
When the vacuum is broken, a check valve with a leak mechanism configured to open the auxiliary valve element by pushing the auxiliary valve element from the outside with a rod or the like can be used.

【0044】装着部は、例えば切削用加工機、研磨用加
工機等の加工機械のチャックに装着するもので、加工機
械の種類に応じて種々のものが採用される。
The mounting portion is mounted on a chuck of a processing machine such as a cutting machine or a polishing machine, and various types are employed according to the type of the processing machine.

【0045】被加工物を真空吸着して加工用治具に固定
するときは、閉じた弁を介して減圧空隙部と減圧源とを
接続し、被加工物を加工用治具に対して所定の位置に配
置させた状態でシール部に密着させ、弁を開放して減圧
空隙部を減圧する。減圧空隙部が十分に減圧された後、
弁を閉じて減圧空隙部を密封すると、減圧空隙部の減圧
が維持される。これにより、シール部に被加工物が減圧
空隙部と大気圧との圧力差で押圧され、被加工物がシー
ル部に吸着保持され、固定される。そして、装着部を加
工機械のチャックなどに装着し、被加工物の加工を行
う。被加工物の加工後、弁を開放し、空気を減圧空隙部
に導入して真空破壊し、被加工物を加工用治具から容易
に分離することができる。
When the workpiece is to be vacuum-adsorbed and fixed to the processing jig, the depressurized air gap and the reduced pressure source are connected via a closed valve, and the workpiece is fixed to the processing jig. Then, the valve is opened and the pressure is reduced in the depressurized space. After the decompression space is sufficiently decompressed,
When the valve is closed and the depressurized space is sealed, the reduced pressure in the depressurized space is maintained. As a result, the workpiece is pressed against the seal portion by the pressure difference between the reduced pressure gap portion and the atmospheric pressure, and the workpiece is sucked and held by the seal portion and fixed. Then, the mounting portion is mounted on a chuck or the like of the processing machine to process the workpiece. After the workpiece is processed, the valve is opened, air is introduced into the depressurized space, and the vacuum is broken, so that the workpiece can be easily separated from the processing jig.

【0046】図1に本発明の加工用治具の一実施形態の
断面図を示す。この加工用治具1は、プラスチックのレ
ンズ素材100を吸着保持し、研磨加工装置でレンズ素
材100を研削、研磨してプラスチックレンズに加工す
るために用いられるものである。
FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the processing jig of the present invention. The processing jig 1 is used for sucking and holding a plastic lens material 100, and grinding and polishing the lens material 100 with a polishing device to process it into a plastic lens.

【0047】この加工用治具1は、アルミニウムなどの
金属で構成され、円盤状の吸着保持部2の下面中央に断
面山形の突出部がリング状に設けられたような形状の装
着部3が一体に設けられ、吸着保持部2の中心には吸着
保持部2を貫通し、装着部3の中心に開口する連通孔4
が設けられ、この連通孔4にリーク機構付き逆止弁5が
装着されている構造を有する。
This processing jig 1 is made of a metal such as aluminum, and has a mounting portion 3 having a shape in which a protrusion having a mountain-shaped cross section is provided in the center of the lower surface of a disk-shaped suction holding portion 2 in a ring shape. A communication hole 4 which is provided integrally, penetrates through the suction holding section 2 at the center of the suction holding section 2, and opens at the center of the mounting section 3.
Is provided, and a check valve 5 with a leak mechanism is mounted in the communication hole 4.

【0048】吸着保持部2は、円板状の保持部本体21
の上面の外周部に保持部本体21をリング状に取り囲む
断面矩形の突出部22が一体に突設されている。この突
出部22の上面の外周部に全周に亘って断面矩形のシー
ル用突出部23が一体に設けられている。シール部とし
てのガスケット24がこのシール用突出部23の上面を
覆って取り付けられている。シール用突出部23で囲ま
れた保持部本体21が減圧空隙部6を構成する。保持部
本体21の中心部には、保持部本体21を貫通し、装着
部3の中心に開口する円形の連通孔4が穿設されてい
る。また、保持部本体21には連通孔4の周囲に円形の
凹部25が設けられている。
The suction holding section 2 has a disk-shaped holding section main body 21.
A projecting portion 22 having a rectangular cross section surrounding the holding portion main body 21 in a ring shape is integrally formed on the outer peripheral portion of the upper surface of the device. A sealing projection 23 having a rectangular cross section is provided integrally on the outer periphery of the upper surface of the projection 22 over the entire circumference. A gasket 24 as a sealing portion is attached so as to cover the upper surface of the projection 23 for sealing. The holding portion main body 21 surrounded by the sealing projection 23 constitutes the depressurized space 6. A circular communication hole 4 that penetrates through the holding portion main body 21 and opens at the center of the mounting portion 3 is formed in the center of the holding portion main body 21. Further, a circular concave portion 25 is provided in the holding portion main body 21 around the communication hole 4.

【0049】連通孔4には円柱状のリーク機構付き逆止
弁5が装着されている。連通孔4にはネジが設けられ、
リーク機構付き逆止弁5の円筒状の逆止弁本体51の外
表面にもネジが設けられ、これらのネジの螺合により逆
止弁5が連通孔4に装着されている。逆止弁本体51の
上端面に凹部25の深さより薄手のフランジ511が設
けられ、フランジ511の下面が保持部本体21の凹部
25の上面に当接している。
The communication hole 4 is provided with a check valve 5 having a cylindrical leak mechanism. The communication hole 4 is provided with a screw,
Screws are also provided on the outer surface of the cylindrical check valve main body 51 of the check valve 5 with a leak mechanism, and the check valve 5 is mounted in the communication hole 4 by screwing these screws. A flange 511 that is thinner than the depth of the concave portion 25 is provided on the upper end surface of the check valve main body 51, and the lower surface of the flange 511 is in contact with the upper surface of the concave portion 25 of the holding portion main body 21.

【0050】逆止弁本体51を軸方向に貫通し、減圧空
隙部6と外部とを連通させる流路部52の中に、流路部
52内を前進後退可能に摺動する弁体53が収納されて
いる。流路部52の前部には弁座が設けられ、弁体53
が前進したときに弁座に着座して流路部52を閉塞し、
弁体53が後退したときに弁座と弁体53との間に隙間
が生じ、流路部52が開放されるようになっている。ま
た、弁体53を前進させるように付勢する付勢手段とし
ての圧縮バネ54が設けられている。弁体53には弁体
の側面と後面とを連通させる連通部531が設けられて
いる。
A valve body 53 that penetrates the check valve body 51 in the axial direction and communicates the depressurized space 6 with the outside is provided with a valve element 53 that slides forward and backward in the flow path section 52. It is stored. A valve seat is provided at a front portion of the flow path portion 52, and a valve body 53 is provided.
Is seated on the valve seat when the vehicle advances, closing the flow path portion 52,
When the valve element 53 retreats, a gap is formed between the valve seat and the valve element 53, so that the flow path 52 is opened. Further, a compression spring 54 is provided as urging means for urging the valve body 53 to move forward. The valve body 53 is provided with a communication portion 531 for communicating the side surface and the rear surface of the valve body.

【0051】このリーク機構付き逆止弁5は、弁体53
が強磁性体で構成されており、弁体53が前進している
ときに、後部側から磁石を弁体53に近づけると、弁体
53が磁力で磁石に引きつけられて後退し、流路部52
が開放されるようになっており、強制的にリークさせる
ことができるようになっている。
The check valve 5 with a leak mechanism is provided with a valve 53
Is made of a ferromagnetic material, and when the valve body 53 is moving forward, when the magnet approaches the valve body 53 from the rear side, the valve body 53 is attracted to the magnet by the magnetic force and retreats, and the flow path portion 52
Is opened so that a leak can be forcibly performed.

【0052】図1に示すように、シール部24にレンズ
素材100を載置すると、減圧空隙部6は、レンズ素材
100のシール部24で囲まれた内面の吸着面101と
吸着保持部2の内面及び逆止弁5で囲まれた密封空間と
なる。
As shown in FIG. 1, when the lens material 100 is placed on the seal portion 24, the depressurized space 6 is formed between the suction surface 101 on the inner surface surrounded by the seal portion 24 of the lens material 100 and the suction holding portion 2. It becomes a sealed space surrounded by the inner surface and the check valve 5.

【0053】また、図2は、本発明の加工用治具の他の
実施形態を示す断面図であり、減圧空隙部にスペーサを
配置した加工用治具を示す。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing another embodiment of the processing jig of the present invention, and shows a processing jig in which a spacer is disposed in a depressurized space.

【0054】この加工用治具1bは、減圧空隙部6にス
ペーサ7が配置されている以外は、図1に示した加工用
治具1と吸着保持部2に少し違いがある他は基本的に同
じであり、同一の部材には同一の符号を付してその説明
は省略する。
The processing jig 1b is basically the same as the processing jig 1 shown in FIG. 1 except that the spacer 7 is arranged in the depressurized space 6, and the suction jig 2 is slightly different. The same reference numerals are given to the same members, and the description thereof will be omitted.

【0055】この加工用治具1bでは、吸着保持部2の
保持部本体21には、凹部25から放射状に延びて突出
部22に達する複数の通気溝26が設けられている。保
持部本体21の上面にはスペーサを装着するための円形
の浅いスペーサ用凹部27が設けられている。これらの
凹部25、通気溝26は減圧空隙部6を構成する。
In the processing jig 1 b, the holding body 21 of the suction holding unit 2 is provided with a plurality of ventilation grooves 26 extending radially from the recess 25 and reaching the protrusion 22. A circular shallow spacer recess 27 for mounting a spacer is provided on the upper surface of the holding portion main body 21. The recess 25 and the ventilation groove 26 constitute the reduced-pressure space 6.

【0056】減圧空隙部6の中に収納されているスペー
サ7は、円盤状で、スペーサ用凹部27に載置される。
スペーサ7の側面と突出部22との間には減圧空隙部6
を構成する隙間が存在し、逆止弁5のフランジ511と
スペーサ7の下面との間には減圧空隙部6を構成する空
隙が存在する。
The spacer 7 housed in the depressurized space 6 has a disk shape and is placed in the spacer recess 27.
Between the side surface of the spacer 7 and the projection 22,
Exists between the flange 511 of the check valve 5 and the lower surface of the spacer 7.

【0057】スペーサ7は金属製のスペーサ本体71と
スペーサ本体の上面全体を被覆する弾性を有するシート
状部材72とから構成される。スペーサ本体71の上面
は、レンズ素材100が吸着保持されたときにレンズ素
材100の吸着保持される吸着面(ガスケット24で囲
まれている面)101の一部又は全部が当接する受け面
73になっており、レンズ素材100の吸着面101と
ほぼ同じ形状となっている。そのため、スペーサ7の受
け面73の形状と厚さをレンズ素材100の吸着面10
1の面形状に応じて変える必要があるため、交換できる
ように加工用治具1bとは別体となっている。もちろん
加工用治具1bにスペーサ7を一体に設けてもよい。
The spacer 7 is composed of a spacer main body 71 made of metal and a sheet-like member 72 having elasticity covering the entire upper surface of the spacer main body. The upper surface of the spacer body 71 is in contact with a receiving surface 73 against which a part or all of the suction surface (surface surrounded by the gasket 24) 101 of the lens material 100 that is sucked and held when the lens material 100 is sucked and held. And has substantially the same shape as the suction surface 101 of the lens material 100. For this reason, the shape and thickness of the receiving surface 73 of the spacer 7 are adjusted to the suction surface 10 of the lens material 100.
Since it is necessary to change it according to the surface shape of the processing jig 1, it is separate from the processing jig 1 b so that it can be replaced. Of course, the spacer 7 may be provided integrally with the processing jig 1b.

【0058】スペーサ7は、スペーサ用凹部27に載置
され、レンズ素材100の吸着面101を受け面73で
受け、吸着面101とこれと対向する保持部本体21の
スペーサ用凹部27との間に介装されている。図1に示
したような減圧空隙部6が空洞であると、プラスチック
製のレンズ素材100のような比較的軟質の被加工物が
加工を受けるときに、バイト等の加工工具から受ける応
力でレンズ素材100が変形して加工精度が悪くなる場
合がある。スペーサ7の役割は、レンズ素材100の加
工中に加工工具から受ける加工負荷を受け面73で受け
てレンズ素材100の加工中の変形を抑制し、設計通り
の加工を可能とするものである。
The spacer 7 is placed in the spacer recess 27, receives the suction surface 101 of the lens material 100 on the receiving surface 73, and places the space between the suction surface 101 and the spacer recess 27 of the holding body 21 facing the suction surface 101. It is interposed in. When the depressurized space 6 as shown in FIG. 1 is hollow, when a relatively soft workpiece such as a plastic lens material 100 is processed, the lens is subjected to stress from a processing tool such as a cutting tool. The material 100 may be deformed and the processing accuracy may be reduced. The role of the spacer 7 is to suppress the deformation of the lens material 100 during the processing by receiving the processing load received from the processing tool during the processing of the lens material 100 on the surface 73, thereby enabling the processing as designed.

【0059】スペーサ本体71は、加工精度を保持する
ため厚さの収縮ができる限り少ない材料を選択すること
が好ましい。金属以外にプラスチックや硬質ゴム等、あ
るいはセラミック等の比較的硬質の材料を用いることが
できる。また、スペーサ7の受け面73がレンズ素材1
00の吸着面101全体を受ける場合は、スペーサ本体
71として、燒結金属等の通気性の多孔質材料を用いる
ことが好ましい。また、多孔質材料で構成する代わり
に、スペーサ本体に、受け面73とこの受け面73と対
向する面とを連通させる微細な通気孔を設けてもよい。
なお、通気性の多孔質材料を用いてスペーサ本体71を
構成する場合、減圧空隙部6全体をスペーサ本体71又
はスペーサ本体71とシート状部材72で占めるような
形状とすることもできる。この場合の減圧空隙部6は見
かけ上存在しなくなるが、スペーサ本体71中の空隙が
減圧空隙部6を構成する。
For the spacer body 71, it is preferable to select a material whose shrinkage in thickness is as small as possible in order to maintain processing accuracy. In addition to metal, a relatively hard material such as plastic, hard rubber, or ceramic can be used. The receiving surface 73 of the spacer 7 is the lens material 1
In the case where the entire adsorption surface 101 is received, it is preferable to use a gas-permeable porous material such as a sintered metal as the spacer body 71. Instead of using a porous material, the spacer body may be provided with a fine ventilation hole for communicating the receiving surface 73 with a surface facing the receiving surface 73.
When the spacer main body 71 is formed using a gas-permeable porous material, the spacer main body 71 or the spacer main body 71 and the sheet-like member 72 may be formed in a shape that occupies the entire depressurized space 6. In this case, the depressurized gap 6 apparently does not exist, but the gap in the spacer body 71 forms the depressurized gap 6.

【0060】スペーサ7の受け面73を被覆している弾
性を有するシート状部材72は、レンズ素材100に傷
を付けることを防止すると共に、緩衝材としてレンズ素
材100の吸着面101の形状とスペーサ7の受け面7
3との形状の不一致を吸収し、一つのスペーサ7で多く
の種類のレンズ素材100に対応することを可能にする
役割を有する。また、摩擦力でレンズ素材100の位置
ずれを防止できる。シート状部材72の厚さは、0.0
5〜0.5mm程度、通常、0.1〜0.3mm程度が
好ましい。厚みが薄すぎるとレンズ素材の種類に対して
スペーサの種類を少なくする効果が少なくなり、厚すぎ
ると加工精度が悪くなる。シート状部材72は、スペー
サ本体71に接合していても、独立した部品としてスペ
ーサ本体71の受け面73に被覆するように用いること
もできる。なお、スペーサ本体71を通気性の多孔質材
料で構成する場合や通気孔を設けた場合は、シート状部
材72も通気性のスポンジ状の多孔質材料で構成するこ
とが好ましい。
The elastic sheet-shaped member 72 covering the receiving surface 73 of the spacer 7 prevents the lens material 100 from being damaged, and serves as a cushioning material for the shape of the suction surface 101 of the lens material 100 and the spacer. 7 receiving surface 7
3 has a role of absorbing the inconsistency of the shape of the lens material 3 and enabling one spacer 7 to cope with many types of lens materials 100. Further, the displacement of the lens material 100 can be prevented by the frictional force. The thickness of the sheet member 72 is 0.0
It is preferably about 5 to 0.5 mm, usually about 0.1 to 0.3 mm. If the thickness is too small, the effect of reducing the number of types of spacers relative to the type of lens material is reduced, and if the thickness is too large, the processing accuracy is deteriorated. Even if the sheet-shaped member 72 is joined to the spacer main body 71, it can be used as an independent component so as to cover the receiving surface 73 of the spacer main body 71. When the spacer body 71 is made of a gas-permeable porous material or provided with air holes, it is preferable that the sheet-like member 72 is also made of a gas-permeable sponge-like porous material.

【0061】図3は、スペーサをプラスチックで構成し
た場合を示すもので、それ以外は図2に示したものと同
一であるので、同一の部材には同一の符号を付してその
説明は省略する。
FIG. 3 shows a case where the spacer is made of plastic, and the other parts are the same as those shown in FIG. 2. Therefore, the same members are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. I do.

【0062】この加工用治具1cは、スペーサ7全体が
プラスチック製である。このスペーサ7は、レンズ素材
100の吸着面101とほぼ同形状の受け面73を備
え、吸着保持部2の下面27とレンズ素材100の間に
介在し、切削加工時の応力によるレンズ素材100の変
形を防止し、設計通りの加工を可能とする機能を有する
ことは前述したスペーサと同一である。
In this processing jig 1c, the entire spacer 7 is made of plastic. The spacer 7 has a receiving surface 73 having substantially the same shape as the suction surface 101 of the lens material 100, is interposed between the lower surface 27 of the suction holding portion 2 and the lens material 100, and is formed by the stress of the cutting process. The function of preventing deformation and enabling processing as designed is the same as the spacer described above.

【0063】スペーサ7に用いられるプラスチックの種
類としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、硬
質塩化ビニル樹脂、ポリスチレン、ABS樹脂、メタク
リル樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポ
リアセタール、変性ポリフェニレンエーテル、ポリアミ
ド、ポリカーボネート等の熱可塑性樹脂、フェノール樹
脂、ポリウレタン等の熱硬化性樹脂を例示することがで
きる。
The kind of plastic used for the spacer 7 is, for example, heat of polyethylene, polypropylene, hard vinyl chloride resin, polystyrene, ABS resin, methacrylic resin, polyethylene terephthalate (PET), polyacetal, modified polyphenylene ether, polyamide, polycarbonate, etc. Examples thereof include thermosetting resins such as plastic resins, phenol resins, and polyurethanes.

【0064】プラスチック製のスペーサ7は、プラスチ
ック製のレンズ素材100と近接した適度な剛性を有
し、レンズ素材の吸着面101に良くなじみ、切削加工
時の応力によるレンズ素材100の変形を有効に防止
し、設計通りの加工が可能となる。しかもシート状部材
が不要であり、かつ、スペーサへの加工が容易である。
The plastic spacer 7 has an appropriate rigidity close to the plastic lens material 100, is well adapted to the adsorption surface 101 of the lens material, and effectively deforms the lens material 100 due to stress during cutting. Prevention and processing as designed are possible. Moreover, a sheet-like member is not required, and processing into a spacer is easy.

【0065】本発明者は、スペーサ7を種々の材料で作
製し、プラスチック製のレンズ素材を切削加工した場合
の加工精度を検討したところ、スペーサの材質が加工精
度に大きく寄与していることを知見した。その結果、被
加工物の硬度に近い材質が比較的加工精度が良好であ
り、例えば硬すぎる金属や柔らかすぎる材質では加工精
度がそれほど良くない。加工精度ではプラスチックが良
好であり、更にプラスチックの種類によっても、加工精
度に差があることを知見した。最も良好な加工精度を示
したのはポリカーボネートであった。ポリカーボネート
製のスペーサは、特に加工したレンズの中央が最も薄く
なるような場合の加工精度に優れ、従来のアロイを用い
た場合に匹敵する加工精度が得られる。表1に各種プラ
スチックの機械的特性を比較したものを示す。
The present inventor studied the processing accuracy when the spacer 7 was made of various materials and the plastic lens material was cut, and found that the spacer material greatly contributed to the processing accuracy. I learned. As a result, a material having a hardness close to the hardness of the workpiece has relatively good processing accuracy. For example, a metal that is too hard or a material that is too soft has poor processing accuracy. It was found that plastic was good in processing accuracy, and that there was a difference in processing accuracy depending on the type of plastic. It was polycarbonate that showed the best processing accuracy. The polycarbonate spacer is excellent in processing accuracy particularly when the center of the processed lens is the thinnest, and the processing accuracy comparable to the case where a conventional alloy is used can be obtained. Table 1 shows a comparison of the mechanical properties of various plastics.

【0066】[0066]

【表1】 [Table 1]

【0067】表1から、ポリカーボネートは、機械的強
度が比較的高い割にはロックウエル硬さ(Mスケールで
60〜70)が低い。このことから、ポリカーボネート
の表面硬度はレンズ素材の硬度より柔らかく、レンズ素
材に傷を付けずにレンズ素材の凸面に良くフィットする
上、剛性がレンズ素材に近いため、切削加工時の応力が
分散され、レンズ素材の変形を有効に防止できるものと
考えられる。また、切削加工ができるので加工が容易で
ある点も利点である。
From Table 1, it can be seen that polycarbonate has low Rockwell hardness (60 to 70 on the M scale) for relatively high mechanical strength. From this, the surface hardness of polycarbonate is softer than the hardness of the lens material, it fits well on the convex surface of the lens material without damaging the lens material, and since the rigidity is close to the lens material, the stress during cutting is dispersed. It is considered that deformation of the lens material can be effectively prevented. Another advantage is that machining can be easily performed since cutting can be performed.

【0068】但し、この結果は被加工物がプラスチック
レンズである場合であるから、被加工物の素材が異なれ
ば、金属やセラミックなどの剛性の高い素材の方が加工
精度が良好になる場合があることはもちろんである。
However, since the result is a case where the workpiece is a plastic lens, if the workpiece is made of a different material, a rigid material such as metal or ceramic may have better processing accuracy. Of course there is.

【0069】次に、図2に示す加工用治具1bの使用方
法を、凸面103と凹面104を備えるレンズ素材10
0の凸面103を固定し、レンズ素材100の凹面10
4を加工する場合を例にして説明する。
Next, the method of using the processing jig 1b shown in FIG.
The convex surface 103 of the lens material 100 is fixed.
4 will be described as an example.

【0070】図4に示すように、加工用治具1bのガス
ケット24にレンズ素材100の凸面103を所定の位
置に載置する。これにより減圧空隙部6が形成される。
次に、図4に示すように、作動している減圧源11に閉
じられている仕切弁12を介して接続されている配管1
3の先端14を逆止弁5の流路部52を覆って押し当
て、仕切弁12を開放する。これにより、逆止弁5の弁
体53の前方の圧力が後方より高くなるので、弁体53
は減圧空隙部6の圧力に押されて圧縮バネ54に抗して
後退し、流路部52を開放する。そして、減圧空隙部6
の空気は、通気溝26、流路部52、弁体53の連通部
531を介して減圧源11に引かれ、減圧空隙部6の中
は減圧され、レンズ素材100はガスケット24とスペ
ーサ7に大気圧で押圧される。減圧空隙部6が減圧さ
れ、減圧源11側と圧力差が少なくなると、弁体53は
圧縮バネ54の付勢力で前進し、弁座に着座する。その
後、仕切弁12を閉じて配管13の先端14を加工用治
具1からはずすと、逆止弁5の弁体53は大気圧で前方
に強く押されて弁座との当接が強くなり、流路部52の
閉塞を確実にし、減圧空隙部6の減圧が維持される。
As shown in FIG. 4, the convex surface 103 of the lens material 100 is placed at a predetermined position on the gasket 24 of the processing jig 1b. As a result, a reduced pressure gap 6 is formed.
Next, as shown in FIG. 4, the pipe 1 connected to the operating decompression source 11 via the gate valve 12 which is closed.
The front end 14 of the check valve 3 is pressed against the flow path 52 of the check valve 5 to open the gate valve 12. As a result, the pressure in front of the valve element 53 of the check valve 5 becomes higher than that in the rear, so that the valve element 53
Is pressed by the pressure of the depressurized space 6 and retreats against the compression spring 54 to open the flow path 52. Then, the decompression space 6
Is drawn by the decompression source 11 through the ventilation groove 26, the flow path portion 52, and the communicating portion 531 of the valve element 53, and the pressure inside the decompression space 6 is reduced, and the lens material 100 is transferred to the gasket 24 and the spacer 7. Pressed at atmospheric pressure. When the pressure in the pressure-reducing space 6 is reduced and the pressure difference between the pressure-reducing source 11 and the pressure-reducing source 11 decreases, the valve body 53 advances by the urging force of the compression spring 54 and sits on the valve seat. Thereafter, when the gate valve 12 is closed and the tip 14 of the pipe 13 is removed from the processing jig 1, the valve body 53 of the check valve 5 is strongly pushed forward at atmospheric pressure, and the contact with the valve seat becomes strong. Thus, the flow path 52 is reliably closed, and the reduced pressure in the reduced pressure gap 6 is maintained.

【0071】このようにして、レンズ素材100は、図
1、図2に示すように、ガスケット24で囲まれている
吸着面101の面積に加わる大気圧と減圧空隙部6の圧
力差の圧力で加工用治具1に押圧され、固定される。そ
のため、切削用加工機もしくは研磨用加工機に配管13
が連結されていない冶具単体の状態で取り付け可能にな
る。この状態で装着部3を研削用加工機や研磨加工機械
のチャックなどに装着し、レンズ素材の凹面104側を
加工してレンズ面に仕上げる。レンズ素材100はシー
ル部としてのガスケット24とスペーサ7に支持され
て、加工時の変形を抑え、また摩擦抵抗で被加工物の回
転規制がなされ、設計通りの加工が可能となる。
In this manner, as shown in FIG. 1 and FIG. 2, the lens material 100 is formed by the pressure of the pressure difference between the atmospheric pressure applied to the area of the suction surface 101 surrounded by the gasket 24 and the pressure of the depressurized space 6. It is pressed and fixed by the processing jig 1. Therefore, the piping 13 is connected to the cutting machine or the polishing machine.
Can be attached in a state of a jig alone not connected. In this state, the mounting portion 3 is mounted on a chuck of a grinding machine or a polishing machine, and the concave surface 104 side of the lens material is processed to finish the lens surface. The lens material 100 is supported by the gasket 24 as a seal portion and the spacer 7 to suppress deformation during processing, and to restrict rotation of the workpiece by frictional resistance, thereby enabling processing as designed.

【0072】レンズ素材の加工が終了した後、加工され
たレンズを加工用治具1bから取り外すときは、図5に
示すように、磁石15の先端を逆止弁5の弁体53に接
近させる。これにより、強磁性体の弁体53が磁石15
との磁力で磁石15に引き寄せられ、大気圧と圧縮バネ
54の付勢力に抗して後退し、弁座と弁体53との間に
隙間が生じ、空気が外部より弁体53の連通部531、
流路部52、通気溝26を介して減圧空隙部6内に入
り、真空破壊される。これで加工終了後のレンズ105
には何ら圧力が加わっていないので、容易に加工用治具
1bから分離することができる。そのため、レンズ10
5にストレスを与えず、キズを与えることもない。
When the processed lens is removed from the processing jig 1b after the processing of the lens material is completed, the tip of the magnet 15 is brought close to the valve element 53 of the check valve 5, as shown in FIG. . As a result, the ferromagnetic valve element 53 is
, And retreats against the atmospheric pressure and the urging force of the compression spring 54, a gap is created between the valve seat and the valve body 53, and air is communicated from outside to the communicating portion of the valve body 53. 531,
The gas enters the depressurized space 6 through the flow path 52 and the ventilation groove 26, and is broken in vacuum. With this, the lens 105 after processing is completed
Since no pressure is applied to the jig 1b, it can be easily separated from the processing jig 1b. Therefore, the lens 10
No stress on 5 and no scratches.

【0073】このようなレンズ素材100等の被加工物
と加工用冶具1との固着を、真空という接着媒体を用い
ない方法で行うことで、アロイまたはワックスなどの接
着媒体を使用することによって必要となる保護テープの
貼り付け、剥がし、加工用冶具の洗浄、およびアロイ等
の再生などの工程を廃止することが可能になった。
The fixing of the workpiece such as the lens material 100 and the processing jig 1 is performed by using a vacuum, which is a method that does not use an adhesive medium. It has become possible to abolish steps such as attaching and detaching a protective tape, cleaning a processing jig, and regenerating an alloy or the like.

【0074】また、真空吸着することで、上記接着媒体
材料が必要でなくなることから費用的にも光学部品の製
造コストも抑えられることはもちろんのことである。
In addition, since the above-mentioned adhesive medium material is not required by the vacuum suction, it is needless to say that the manufacturing cost of the optical component can be suppressed in terms of cost.

【0075】また、環境的にも低融点合金に含まれる鉛
および、そのアロイを溶解するための熱源も不要にな
り、クリーンな環境がつくれる。
Further, environmentally, a heat source for dissolving lead contained in the low melting point alloy and its alloy is not required, and a clean environment can be created.

【0076】また、鉛を含むアロイを用いないので、全
体の重量も軽減され、取り扱いが容易になった。
Further, since an alloy containing lead is not used, the overall weight is reduced and the handling becomes easy.

【0077】上述した加工用治具1、1b、1cは、加
工用治具1、1b、1cの中心軸に逆止弁5が設けられ
ていたが、例えば図6に示すように、中心軸と直交する
方向に弁体が作動するように逆止弁5を設けた加工用治
具1dとしてもよい。また、ガスケット24はシール用
突出部23の上面を覆うように設けられていたが、図6
に示すように、突出部22の上面にOリング用溝29を
設け、このOリング用溝29にOリング24aを装着す
るようにしてもよい。
In the processing jigs 1, 1b, and 1c described above, the check valve 5 is provided on the center axis of the processing jigs 1, 1b, and 1c. For example, as shown in FIG. A processing jig 1d provided with a check valve 5 so that the valve element operates in a direction perpendicular to the direction of the processing may be used. Further, the gasket 24 is provided so as to cover the upper surface of the sealing projection 23, but FIG.
As shown in (1), an O-ring groove 29 may be provided on the upper surface of the protruding portion 22, and the O-ring 24a may be mounted in the O-ring groove 29.

【0078】また、上述した加工用治具1、1b、1
c、1dは、レンズ素材100の凸面103を吸着保持
しているが、シール用突出部23やガスケット24、更
にはスペーサ7を変更することによって、レンズ素材1
00の凹面104を吸着保持させ、凸面103の加工を
行うことができる。
The processing jigs 1, 1b, 1
Although c and 1d adsorb and hold the convex surface 103 of the lens material 100, the lens material 1 is changed by changing the sealing protrusion 23, the gasket 24, and the spacer 7.
The convex surface 103 can be processed by sucking and holding the concave surface 104 of No. 00.

【0079】[0079]

【発明の効果】本発明の加工用治具は、真空吸着で被加
工物を固定できるので、接着媒体を使用せずに被加工物
を容易に固定し、加工機械に装着して被加工物を加工す
ることができる。また、被加工物を容易に分離すること
ができる。
According to the processing jig of the present invention, since the workpiece can be fixed by vacuum suction, the workpiece can be easily fixed without using an adhesive medium, and mounted on a processing machine. Can be processed. Further, the workpiece can be easily separated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の加工用治具の一実施形態を示す断面図
である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a processing jig according to the present invention.

【図2】本発明の加工用治具にスペーサを設けた場合を
示す実施形態を示す断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an embodiment showing a case where a spacer is provided on the processing jig of the present invention.

【図3】本発明の加工用治具にプラスチック製のスペー
サを設けた場合を示す実施形態を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an embodiment showing a case where a plastic spacer is provided on the processing jig of the present invention.

【図4】図2の加工用治具に被加工物を真空吸着する状
態を説明する断面図である。
4 is a cross-sectional view illustrating a state in which a workpiece is vacuum-sucked to the processing jig of FIG. 2;

【図5】図2の加工用治具から被加工物を分離する状態
を説明する断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a state where a workpiece is separated from the processing jig of FIG. 2;

【図6】本発明の加工用治具の他の実施形態を示す断面
図である。
FIG. 6 is a sectional view showing another embodiment of the processing jig of the present invention.

【図7】従来の加工用治具を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing a conventional processing jig.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、1b、1c、1d 加工用治具 2 吸着保持部 21 保持部本体 23 シール用突出部 24 ガスケット(シール部) 26 通気溝 3 装着部 4 連通孔 5 弁(逆止弁) 51 逆止弁本体 52 流路部 53 弁体 6 減圧空隙部 7 スペーサ 71 スペーサ本体 72 シート状部材 73 受け面 1, 1b, 1c, 1d Processing jig 2 Suction holding part 21 Holding part main body 23 Sealing projection part 24 Gasket (seal part) 26 Ventilation groove 3 Mounting part 4 Communication hole 5 Valve (check valve) 51 Check valve Main body 52 Flow path 53 Valve body 6 Depressurized space 7 Spacer 71 Spacer main body 72 Sheet member 73 Receiving surface

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被加工物に密着するリング状のシール部
と、前記被加工物が前記シール部に密着されることによ
り密封空間を形成する減圧空隙部と、前記減圧空隙部と
外部との連通を遮断及び開放可能な弁と、前記被加工物
を加工する加工機械に取り付けるための装着部とを備え
ることを特徴とする加工用治具。
1. A ring-shaped seal portion that is in close contact with a workpiece, a reduced-pressure gap that forms a sealed space when the workpiece is in close contact with the seal portion, and a gap between the reduced-pressure gap and the outside. A processing jig, comprising: a valve capable of shutting off and opening communication, and a mounting portion for mounting to a processing machine that processes the workpiece.
【請求項2】 請求項1記載の加工用治具において、 前記弁が、前記減圧空隙部の圧力が前記外部より低いと
きに前記減圧空隙部と前記外部との連通を遮断し、前記
減圧空隙部の圧力が前記外部より高いときに減圧空隙部
と前記外部との連通を開放する逆止弁であることを特徴
とする加工用治具。
2. The processing jig according to claim 1, wherein the valve cuts off communication between the decompression cavity and the outside when the pressure of the decompression cavity is lower than the outside, and A processing jig, characterized in that the processing jig is a check valve that opens communication between the depressurized space and the outside when the pressure of the portion is higher than the outside.
【請求項3】 請求項1又は2記載の加工用治具におい
て、 常時は減圧されている前記減圧空隙部と前記外部とを遮
断し、必要なときに前記減圧空隙部と前記外部とを連通
させる真空破壊弁を備えることを特徴とする加工用治
具。
3. The processing jig according to claim 1, wherein the depressurized space which is normally depressurized is cut off from the outside, and the depressurized space is communicated with the outside when necessary. A processing jig, comprising: a vacuum break valve for causing the vacuum release valve.
【請求項4】 請求項3記載の加工用治具において、 前記逆止弁が、前記真空破壊弁を兼用することを特徴と
する加工用治具。
4. The processing jig according to claim 3, wherein the check valve also serves as the vacuum breaking valve.
【請求項5】 請求項1〜4いずれかに記載の加工用治
具において、 前記シール部が、パッキンで構成されていることを特徴
とする加工用治具。
5. The processing jig according to claim 1, wherein the seal portion is formed of a packing.
【請求項6】 請求項1〜5のいずれかに記載の加工用
治具において、 前記減圧空隙部内に配置され、前記シール部で囲まれた
前記被加工物の吸着面の一部又は全部に当接する受け面
を備え、前記吸着面と前記減圧空隙部内における前記吸
着面と対向する面との間に介装されるスペーサを備える
ことを特徴とする加工用治具。
6. The processing jig according to claim 1, wherein the processing jig is disposed in the depressurized space, and partially or entirely on a suction surface of the workpiece to be surrounded by the seal portion. A processing jig, comprising: a receiving surface that abuts; and a spacer interposed between the suction surface and a surface facing the suction surface in the depressurized gap.
【請求項7】 請求項6記載の加工用治具において、 前記スペーサが、前記受け面を有するスペーサ本体と、
前記受け面を被覆する弾性を有するシート状部材とを有
することを特徴とする加工用治具。
7. The processing jig according to claim 6, wherein the spacer is a spacer body having the receiving surface;
And a sheet-like member having elasticity for covering the receiving surface.
【請求項8】 請求項6又は7記載の加工用治具におい
て、 前記スペーサが、通気性の多孔質材料で構成されている
ことを特徴とする加工用治具。
8. The processing jig according to claim 6, wherein the spacer is made of a gas-permeable porous material.
【請求項9】 請求項6又は7記載の加工用治具におい
て、 前記スペーサが、前記受け面とこの受け面に対向する面
とを連通する通気孔を備えることを特徴とする加工用治
具。
9. The processing jig according to claim 6, wherein the spacer includes a ventilation hole communicating the receiving surface and a surface facing the receiving surface. .
【請求項10】 請求項6記載の加工用治具において、 前記スペーサが、プラスチックで構成されていることを
特徴とする加工用治具。
10. The processing jig according to claim 6, wherein said spacer is made of plastic.
【請求項11】 請求項10記載の加工用治具におい
て、 前記プラスチックが、ポリカーボネートであることを特
徴とする加工用治具。
11. The processing jig according to claim 10, wherein the plastic is polycarbonate.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6599402B2 (en) 1998-04-21 2003-07-29 Applied Materials, Inc. Electro-chemical deposition cell for face-up processing of single semiconductor substrates
JP2011224669A (en) * 2010-04-15 2011-11-10 Kyoritsu Seiki Kk Lens processing device
CN102528607A (en) * 2012-01-20 2012-07-04 厦门大学 Large-caliber planar optical element polishing device
EP2902152A1 (en) * 2014-02-03 2015-08-05 OptoTech Optikmaschinen GmbH Lens holder device for holding a raw lens in a processing machine and method for processing raw lenses
CN105150050A (en) * 2015-07-28 2015-12-16 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 Universal vacuum clamp for optical element polishing
CN105538087A (en) * 2015-12-04 2016-05-04 天津津航技术物理研究所 Multifunctional numerical-control spherical optical element milling and grinding tool
JP2016122782A (en) * 2014-12-25 2016-07-07 Hoya株式会社 Method of manufacturing substrate, mask blank, and imprint mold
PT110618A (en) * 2018-03-13 2019-09-13 Magutech Polimetros Unipessoal Lda RETENTION DEVICE FOR A GROSS Ophthalmic Lens BY VACUUM HOLDERS.
KR20230027314A (en) * 2021-01-28 2023-02-27 칼 자이스 비전 인터내셔널 게엠베하 Blocking component and method for vacuum blocking lens blanks
EP4190489A1 (en) * 2021-12-01 2023-06-07 Essilor International System and method for blocking an ophthalmic lens with an insert

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6599402B2 (en) 1998-04-21 2003-07-29 Applied Materials, Inc. Electro-chemical deposition cell for face-up processing of single semiconductor substrates
JP2011224669A (en) * 2010-04-15 2011-11-10 Kyoritsu Seiki Kk Lens processing device
CN102528607A (en) * 2012-01-20 2012-07-04 厦门大学 Large-caliber planar optical element polishing device
EP2902152A1 (en) * 2014-02-03 2015-08-05 OptoTech Optikmaschinen GmbH Lens holder device for holding a raw lens in a processing machine and method for processing raw lenses
JP2016122782A (en) * 2014-12-25 2016-07-07 Hoya株式会社 Method of manufacturing substrate, mask blank, and imprint mold
CN105150050A (en) * 2015-07-28 2015-12-16 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 Universal vacuum clamp for optical element polishing
CN105538087A (en) * 2015-12-04 2016-05-04 天津津航技术物理研究所 Multifunctional numerical-control spherical optical element milling and grinding tool
PT110618A (en) * 2018-03-13 2019-09-13 Magutech Polimetros Unipessoal Lda RETENTION DEVICE FOR A GROSS Ophthalmic Lens BY VACUUM HOLDERS.
KR20230027314A (en) * 2021-01-28 2023-02-27 칼 자이스 비전 인터내셔널 게엠베하 Blocking component and method for vacuum blocking lens blanks
JP2023530591A (en) * 2021-01-28 2023-07-19 カール ツァイス ヴィジョン インターナショナル ゲーエムベーハー Blocking piece and method for vacuum blocking lens blanks
JP7401694B2 (en) 2021-01-28 2023-12-19 カール ツァイス ヴィジョン インターナショナル ゲーエムベーハー Blocking piece and method for vacuum blocking lens blank
KR102640075B1 (en) * 2021-01-28 2024-02-27 칼 자이스 비전 인터내셔널 게엠베하 Blocking parts and methods for vacuum blocking lens blanks
US12059768B2 (en) 2021-01-28 2024-08-13 Carl Zeiss Vision International Gmbh Blocking piece and method for vacuum blocking a lens blank
EP4190489A1 (en) * 2021-12-01 2023-06-07 Essilor International System and method for blocking an ophthalmic lens with an insert
WO2023099577A1 (en) * 2021-12-01 2023-06-08 Essilor International System for blocking an ophthalmic lens with an insert

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