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JP2002072132A - 照明装置 - Google Patents

照明装置

Info

Publication number
JP2002072132A
JP2002072132A JP2000260075A JP2000260075A JP2002072132A JP 2002072132 A JP2002072132 A JP 2002072132A JP 2000260075 A JP2000260075 A JP 2000260075A JP 2000260075 A JP2000260075 A JP 2000260075A JP 2002072132 A JP2002072132 A JP 2002072132A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser beam
laser
lens array
emitters
lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000260075A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshizo Hashimoto
佳三 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd filed Critical Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2000260075A priority Critical patent/JP2002072132A/ja
Priority to EP01113840A priority patent/EP1184706A3/en
Priority to US09/940,425 priority patent/US6611382B2/en
Publication of JP2002072132A publication Critical patent/JP2002072132A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
    • G02B19/0033—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use
    • G02B19/0047—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source
    • G02B19/0052—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source the light source comprising a laser diode
    • G02B19/0057—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source the light source comprising a laser diode in the form of a laser diode array, e.g. laser diode bar
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
    • G02B19/0004—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed
    • G02B19/0009—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only
    • G02B19/0014—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed having refractive surfaces only at least one surface having optical power
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    • G02—OPTICS
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    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
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    • G02B27/0938—Using specific optical elements
    • G02B27/095—Refractive optical elements
    • G02B27/0955—Lenses
    • G02B27/0961—Lens arrays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Laser Beam Printer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 調整が容易でその製作コストも安価であり、
経時的に安定した均一なレーザビームを照明エリア上に
照明することが可能な照明装置を提供すること。 【解決手段】 照明装置は、シリンドリカルレンズアレ
イ１５と、バーレーザ１２から出射されたレーザビーム
におけるエミッタ１１の列設方向の遠視野像をシリンド
リカルレンズアレイ１５上に投影するシリンドリカルレ
ンズ１６と、シリンドリカルレンズアレイ１５により分
割されたレーザビームの遠視野像を空間光変調器１３の
表面のライン状の照明エリアに重畳して投影するシリン
ドリカルレンズ１７と、バーレーザ１２から出射された
レーザビームにおけるエミッタ１１の列設方向と直交す
る方向の近視野像を空間光変調器１３の表面のライン状
の照明エリアに結像するシリンドリカルレンズ１８、１
９とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、バーレーザから
出射したレーザビームをライン状の照明エリアに照明す
るための照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、サーマル（感熱）材料等の記録
媒体に対してレーザビームを照射することにより画像を
記録を行う場合等においては、高出力のレーザ光源を使
用する必要がある。このような場合には、複数のエミッ
タ（発光点）が直線状に形成され、これらのエミッタよ
りその主光線がほぼ平行な多数本のレーザビームを出射
するバーレーザ（ブロードエリア半導体レーザ）が使用
される。
【０００３】そして、このようなバーレーザと空間光変
調器とを使用し、バーレーザから出射されたレーザビー
ムを、バーレーザにおける個々のエミッタに対応させて
配設された複数のマイクロレンズより成るマイクロレン
ズアレイを介して空間光変調器上に重畳して照明すると
ともに、空間光変調器により複数本のレーザビームに分
割した上で各々独立して変調する構成の画像記録装置も
提案されている（例えば、特開平９−２３０２８０号公
報、米国特許第５９００９８１号明細書等）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような画像記録装
置に使用される照明装置においては、バーレーザにおけ
る個々のエミッタに対応させて配設された複数のマイク
ロレンズより成るマイクロレンズアレイを使用すること
から、このマイクロレンズアレイの調整が難しく、ま
た、その製作コストも高価となるという問題がある。ま
た、マイクロレンズアレイの製作や調整の都合上、この
ような構成を採用する場合には、バーレーザーとして、
そのエミッタ数が２０個程度のものしか使用できないこ
とから、十分な出力を有するバーレーザを利用できない
という問題も発生する。
【０００５】さらに、上述した画像記録装置に使用され
る照明装置においては、バーレーザから出射されたレー
ザビームの近視野像（Ｎｅａｅ Ｆｉｅｌｄ Ｐａｔｔ
ｅｒｎ）を空間光変調器に結像させる構成となってい
る。このとき、バーレーザから出射されたレーザビーム
の近視野像は、マルチモードの場合には光量分布が滑ら
かではなく、また、その形状も経時的に変化する。
【０００６】一方、特開平１０−２７８３４５号公報に
は、バーレーザから出射されたレーザビームの遠視野像
（Ｆａｒ Ｆｉｅｌｄ Ｐａｔｔｅｒｎ）を空間光変調
器上に重畳させる構成の画像記録装置が提案されてい
る。
【０００７】この特開平１０−２７８３４５号公報に記
載された画像記録装置は、光量分布が滑らかで経時的に
も安定しているが、光量分布の均一性に問題がある。
【０００８】この発明は上記課題を解決するためになさ
れたものであり、多数のエミッタを有するバーレーザを
使用した場合にも、調整が容易でその製作コストも安価
であり、さらには、経時的に安定した均一なレーザビー
ムを照明エリア上に照明することが可能な照明装置を提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、バーレーザから出射したレーザビームをライン状の
照明エリアに照明する照明装置であって、レーザビーム
を出射するエミッタが直線状に複数個列設されたバーレ
ーザと、前記エミッタの列設方向と平行な方向に前記エ
ミッタの数より少ない数だけ列設された複数のレンズユ
ニットより成り、そこに平行に入射したレーザビームが
その最終面において少なくとも前記エミッタの列設方向
と光軸方向を含む面内で収束するよう構成されたレンズ
アレイと、前記バーレーザから出射されたレーザビーム
におけるエミッタの列設方向の遠視野像を前記レンズア
レイ上に投影するレンズと、前記レンズアレイにより分
割されたレーザビームの遠視野像を前記照明エリアに重
畳して投影するレンズと、前記バーレーザから出射され
たレーザビームにおけるエミッタの列設方向と直交する
方向の近視野像を前記照明エリアに結像するレンズと、
を備えることを特徴とする。
【００１０】請求項２に記載の発明は、バーレーザから
出射したレーザビームをライン状の照明エリアに照明す
る照明装置であって、レーザビームを出射するエミッタ
が直線状に複数個列設されたバーレーザと、前記エミッ
タの列設方向と平行な方向に前記エミッタの数より少な
い数だけ列設された複数のレンズユニットより成り、そ
こに平行に入射したレーザビームがその最終面において
少なくとも前記エミッタの列設方向と光軸方向を含む面
内で収束するよう構成されたレンズアレイと、前記バー
レーザから出射されたレーザビームにおけるエミッタの
列設方向の遠視野像を前記レンズアレイ上に投影し、前
記レンズアレイにより分割されたレーザビームの遠視野
像を前記照明エリアに重畳して投影するとともに、前記
バーレーザから出射されたレーザビームにおけるエミッ
タの列設方向と直交する方向の近視野像を前記照明エリ
アに結像する光学系と、を備えることを特徴とする。
【００１１】請求項３に記載の発明は、請求項１または
請求項２いずれかに記載の初発明において、前記レンズ
アレイは、３乃至１０個のレンズより構成されている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。図１はこの発明の第１実施形態
に係る照明装置をそのｆａｓｔ ａｘｉｓ方向から見た
平面図であり、図２は図１に示す照明装置をそのｓｌｏ
ｗ ａｘｉｓ方向から見た側面図である。
【００１３】なお、ｆａｓｔ ａｘｉｓ方向とは、後述
するバーレーザ１２における各エミッタ（発光点）１１
から出射されたレーザビームが速く広がる方向を指し、
ｓｌｏｗ ａｘｉｓ方向とは、バーレーザ１２における
各エミッタ１１から出射されたレーザビームが遅く広が
る方向を指す。図１においては、紙面に垂直な方向がｆ
ａｓｔ ａｘｉｓ方向であり、上下方向がｓｌｏｗ ａ
ｘｉｓ方向、また、左右方向が光軸方向である。同様
に、図２においては、紙面に垂直な方向がｓｌｏｗ ａ
ｘｉｓ方向であり、上下方向がｆａｓｔ ａｘｉｓ方
向、また、左右方向が光軸方向である。
【００１４】この照明装置は、バーレーザ１２から出射
したレーザビームを空間光変調器１３の表面のライン状
の照明エリアに照射するためのものであり、ｓｌｏｗ
ａｘｉｓ方向にパワーを有するシリンドリカルレンズア
レイ１５と、ｓｌｏｗ ａｘｉｓ方向にパワーを有する
一対のシリンドリカルレンズ１６、１７と、ｆａｓｔａ
ｘｉｓ方向にパワーを有する一対のシリンドリカルレン
ズ１８、１９とを備える。この照明装置は、例えば、サ
ーマル材料に画像を記録するための画像記録装置等に使
用されるものである。
【００１５】バーレーザ１２は、半導体レーザの一種で
あり、レーザビームを出射するエミッタ１１が直線状に
複数個列設された構成を有する。このようなバーレーザ
１２としては、例えば、ＣＯＨＥＲＥＮＴ社製のＢ１−
８３−４０Ｃ−１９−３０−ＡやＢ１−８３０−６０Ｃ
−４９−５０−Ｂを使用することができる。なお、図１
においては、説明の便宜上、エミッタ１１を５個のみ図
示しているが、このエミッタ１１は、実際には、数十個
程度列設されている。
【００１６】シリンドリカルレンズアレイ１５は、シリ
ンドリカルレンズアレイ１４を２枚組み合わせた構成を
有する。このシリンドリカルレンズアレイ１５は、バー
レーザ１２におけるエミッタ１１の列設方向と平行な方
向に列設された複数のレンズユニットより成り、そこに
平行に入射したレーザビームがその最終面において前記
エミッタの列設方向と光軸方向を含む面内で収束するよ
うに構成されている。なお、この実施形態においては、
シリンドリカルレンズアレイ１５（すなわち、各シリン
ドリカルレンズアレイ１４）を構成するレンズユニット
の数は５個となっている。
【００１７】ｓｌｏｗ ａｘｉｓ方向にパワーを有する
シリンドリカルレンズ１６は、バーレーザ１２における
各エミッタ１１から出射されたレーザビームのエミッタ
１１の列設方向（ｓｌｏｗ ａｘｉｓ方向）の遠視野像
（Ｆａｒ Ｆｉｅｌｄ Ｐａｔｔｅｒｎ）を、シリンド
リカルレンズアレイ１５上に各々重畳して投影するため
のものであり、シリンドリカルレンズ１６の前側焦点位
置にバーレーザ１２、後側焦点位置にシリンドリカルレ
ンズアレイ１５の第一面が配置される。また、ｓｌｏｗ
ａｘｉｓ方向にパワーを有するシリンドリカルレンズ
１７は、シリンドリカルレンズアレイ１５により分割さ
れた各レーザビームの遠視野像を、空間光変調器１３の
表面のライン状の照明エリアに重畳して投影するための
ものであり、シリンドリカルレンズ１７の前側焦点位置
にシリンドリカルレンズアレイ１５の最終面、後側焦点
位置に空間光変調器１３表面が配置される。
【００１８】ｆａｓｔ ａｘｉｓ方向にパワーを有する
一対のシリンドリカルレンズ１８、１９は、バーレーザ
１２における各エミッタ１１から出射されたレーザビー
ムのエミッタ１１の列設方向と直交する方向（ｆａｓｔ
ａｘｉｓ方向）の近視野像（Ｎｅａｅ Ｆｉｅｌｄ
Ｐａｔｔｅｒｎ）を、空間光変調器１３の表面のライン
状の照明エリアに結像するためのものである。
【００１９】空間光変調器１３は、その表面のライン状
の照明エリアに照射されたレーザビームを複数本のレー
ザビームに分割するとともに、これらの複数本のレーザ
ビームを各々独立して変調するためのものである。この
空間光変調器１３により変調されたレーザビームは、図
示を省略した結像光学系を介して記録媒体上に照射され
る。なお、このような空間光変調器１３としては、例え
ば、米国のシリコンライトマシーンズ社製の、ＧＬＶと
も呼称されるグレイティングライトバルブ（Ｇｒａｔｉ
ｎｇ Ｌｉｇｈｔ Ｖａｌｖｅ：シリコンライトマシー
ンズ社の商標）を使用することができる。
【００２０】以上のように構成された照明装置において
は、バーレーザ１２における各エミッタ１１から出射さ
れたレーザビームは、シリンドリカルレンズ１６、１８
の作用により平行光となった状態でシリンドリカルレン
ズアレイ１５に入射する。そして、各レーザビームは、
シリンドリカルレンズアレイ１５により分割された後、
空間光変調器１３の表面のライン状の照明エリアに重畳
して照射される。
【００２１】図３は、シリンドリカルレンズアレイ１５
に入射する前のレーザビームの光量分布と、空間光変調
器１３の表面のライン状の照明エリアに重畳して照射さ
れた後のレーザビームの光量分布との関係を示す説明図
である。ここで、図３（ａ）はシリンドリカルレンズア
レイ１５に入射する前のレーザビームの光量分布（遠視
野像）を示しており、図３（ｂ）は空間光変調器１３の
表面のライン状の照明エリアに重畳して照射された後の
レーザビームの光量分布（遠視野像）を示している。
【００２２】図３（ａ）に示すように、シリンドリカル
レンズアレイ１５に入射した各レーザビームは、シリン
ドリカルレンズアレイ１５を構成する５個のレンズユニ
ットにより、５個の領域Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４、Ｅ５
において各々異なる光量分布を有するレーザビームＬ
１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５に分割される。そして、こ
れらのレーザビームＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５は、
図３（ｂ）に示すように、空間光変調器１３の表面のラ
イン状の照明エリアにおいて重畳されることにより、ほ
ぼ均一な光量分布を有するレーザビームＬとなる。
【００２３】このように、上述した照明装置において
は、バーレーザ１２の各エミッタ１１から出射されたレ
ーザビームの遠視野像を重ね合わせ、さらにそれを分割
して空間光変調器１３上に重畳して照射することから、
経時的に安定した均一な分布のレーザビームにより空間
光変調器１３の表面のライン状の照明エリアを照明する
ことができる。また、一つのエミッタ１１に不良が生じ
たとしても均一性を損なうことはない。このとき、シリ
ンドリカルレンズアレイ１５の位置の調整等は、従来の
マイクロレンズアレイを使用した場合に比べ、極めて容
易に実行することができる。
【００２４】なお、上述した実施形態においては、シリ
ンドリカルレンズアレイ１５（すなわち、各シリンドリ
カルレンズアレイ１４）を構成するレンズユニットの数
を５個としている。このレンズユニットの数を多くした
場合には、シリンドリカルレンズアレイ１５を製作する
ためのコストが高額となり、また、隣接するレンズユニ
ットへのレーザビームの入射を防止する必要があるた
め、光学的な設計の自由度が低くなる。一方、このレン
ズユニットの数を過度に少なくした場合には、空間光変
調器１３の表面のライン状の照明エリアにおいて重畳さ
れたレーザビームＬの光量分布が不均一となる。シリン
ドリカルレンズアレイ１５を構成するレンズユニットの
数は、３乃至１０個とすることが好ましい。
【００２５】次に、この発明の他の実施の形態について
説明する。図４はこの発明の第２実施形態に係る照明装
置をそのｆａｓｔ ａｘｉｓ方向から見た平面図であ
り、図５は図２に示す照明装置をそのｓｌｏｗ ａｘｉ
ｓ方向から見た側面図である。
【００２６】なお、図１および図２の場合と同様、図４
においては、紙面に垂直な方向がｆａｓｔ ａｘｉｓ方
向であり、上下方向がｓｌｏｗ ａｘｉｓ方向、また、
左右方向が光軸方向である。同様に、図５においては、
紙面に垂直な方向がｓｌｏｗａｘｉｓ方向であり、上下
方向がｆａｓｔ ａｘｉｓ方向、また、左右方向が光軸
方向である。
【００２７】この第２実施形態に係る照明装置は、バー
レーザ１２から出射したレーザビームを空間光変調器１
３の表面のライン状の照明エリアに照射するためのもの
であり、球面ドラムレンズアレイ２５と、一対の球面レ
ンズ２６、２７と、ｆａｓｔａｘｉｓ方向にパワーを有
する３個のシリンドリカルレンズ２４、２８、２９とを
備える。
【００２８】球面ドラムレンズアレイ２５は、バーレー
ザ１２におけるエミッタ１１の列設方向と平行な方向に
列設された複数のレンズユニットより成り、そこに平行
に入射したレーザビームがその最終面で集光するように
構成されている。なお、この実施形態においても、球面
ドラムレンズアレイ２５を構成するレンズユニットの数
は５個となっている。
【００２９】上述した第１実施形態に係る照明装置にお
いては、バーレーザ１２から出射したレーザビームの遠
視野像と近視野像に対し、ｓｌｏｗ ａｘｉｓ方向にパ
ワーを有するシリンドリカルレンズアレイ１５および一
対のシリンドリカルレンズ１６、１７と、ｆａｓｔ ａ
ｘｉｓ方向にパワーを有する一対のシリンドリカルレン
ズ１８、１９とで役割を分担していた。これに対し、こ
の第２実施形態に係る照明装置においては、バーレーザ
１２から出射したレーザビームの遠視野像と近視野像の
両方に作用する球面ドラムレンズアレイ２５と一対の球
面レンズ２６、２７とを使用している。なお、その他の
構成については、上述した第１実施形態の場合と同様で
ある。
【００３０】バーレーザ１２における各エミッタ１１か
ら出射されたレーザビームのエミッタ１１の列設方向
（ｓｌｏｗ ａｘｉｓ方向）の遠視野像は、球面レンズ
２６の前側焦点位置にエミッタ１１、後側焦点位置に球
面ドラムレンズアレイ２５を配置することで、平行光と
なった状態で球面ドラムレンズアレイ２５上に各々重畳
して投影される。このレーザビームの遠視野像は、球面
ドラムレンズアレイ２５により分割される。そして、球
面ドラムレンズアレイ２５により分割された各レーザビ
ームの遠視野像は、球面レンズ２７の作用により空間光
変調器１３の表面のライン状の照明エリアに重畳して投
影される。
【００３１】一方、バーレーザ１２における各エミッタ
１１から出射されたレーザビームのエミッタ１１の列設
方向と直交する方向（ｆａｓｔ ａｘｉｓ方向）の近視
野像は、球面ドラムレンズアレイ２５と、一対の球面レ
ンズ２６、２７と、ｆａｓｔａｘｉｓ方向にパワーを有
する３個のシリンドリカルレンズ２４、２８、２９との
作用により、空間光変調器１３の表面のライン状の照明
エリアに結像される。
【００３２】すなわち、バーレーザ１２における各エミ
ッタ１１から出射されたレーザビームのエミッタ１１の
列設方向と直交する方向（ｆａｓｔ ａｘｉｓ方向）の
近視野像は、ｆａｓｔ ａｘｉｓ方向にパワーを有する
シリンドリカルレンズ２８と球面レンズ２６との作用に
より、球面ドラムレンズアレイ２５の第１面で結像され
る。そして、このレーザビームの近視野像は、球面ドラ
ムレンズアレイ２５とｆａｓｔ ａｘｉｓ方向にパワー
を有するシリンドリカルレンズ２４との作用により、シ
リンドリカルレンズ２４と球面レンズ２７との中間で一
旦結像された後、球面レンズ２７とｆａｓｔ ａｘｉｓ
方向にパワーを有するシリンドリカルレンズ２９の作用
により、空間光変調器１３の表面のライン状の照明エリ
アに結像される。
【００３３】以上のように構成された照明装置において
も、第１実施形態に係る照明装置の場合と同様、バーレ
ーザ１２の各エミッタ１１から出射されたレーザビーム
の遠視野像を重ね合わせ、さらにそれを分割し空間光変
調器１３上に重畳して照射することから、経時的に安定
した均一な分布のレーザビームにより空間光変調器１３
の表面のライン状の照明エリアを照明することができ
る。また、一つのエミッタ１１に不良が生じたとしても
均一性を損なうこともない。このとき、球面ドラムレン
ズアレイ２５の位置の調整等は、従来のマイクロレンズ
アレイを使用した場合に比べ、極めて容易に実行するこ
とができる。
【００３４】また、第２実施形態に係る照明装置におい
ては、シリンドリカルレンズアレイ１５に換えて球面ド
ラムレンズアレイ２５を使用している。このとき、球面
ドラムレンズ２５としては一般的なフライアイレンズを
使用することができることから、シリンドリカルレンズ
アレイ１５を使用した場合に比べてその製作コストを低
減することができる。
【００３５】同様に、第２実施形態に係る照明装置にお
いては、球面レンズ２６、２７を使用していることか
ら、第１実施形態の場合のようにシリンドリカルレンズ
のみを使用する場合に比べ、その製作コストを低減する
ことができ、また、調整を容易とすることができる。
【００３６】なお、球面ドラムレンズアレイ２５を構成
するレンズユニットの数は、第１実施形態におけるシリ
ンドリカルレンズアレイ１５を構成するレンズユニット
の数と同様の理由により、３乃至１０個とすることが好
ましい。
【００３７】
【発明の効果】請求項１および請求項２に記載の発明に
よれば、経時的に安定した均一なレーザビームによりラ
イン状の照明エリアを照明することが可能となる。この
とき、従来のマイクロレンズアレイを使用した場合と比
較して、より多数のエミッタを有するバーレーザを使用
することができ、また、装置全体の製作コストと調整に
要する時間を低減することができる。バーレーザのエミ
ッタの一つに不良が生じても光量分布の均一性が損なわ
れることはない。
【００３８】請求項３に記載の発明によれば、レンズア
レイを製作するためのコストを高額とすることなく、ラ
イン状の照明エリアにおいて重畳されたレーザビームＬ
の光量分布を均一とすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１実施形態に係る照明装置をその
ｆａｓｔ ａｘｉｓ方向から見た平面図である。
【図２】図１に示す照明装置をそのｓｌｏｗ ａｘｉｓ
方向から見た側面図である。
【図３】シリンドリカルレンズアレイ１５に入射する前
のレーザビームの光量分布と、空間光変調器１３の表面
のライン状の照明エリアに重畳して照射された後のレー
ザビームの光量分布との関係を示す説明図である。
【図４】この発明の第２実施形態に係る照明装置をその
ｆａｓｔ ａｘｉｓ方向から見た平面図である。
【図５】図４に示す照明装置をそのｓｌｏｗ ａｘｉｓ
方向から見た側面図である。
【符号の説明】
１１ エミッタ １２ バーレーザ １３ 空間光変調器 １５ シリンドリカルレンズアレイ １６ シリンドリカルレンズ １７ シリンドリカルレンズ １８ シリンドリカルレンズ １９ シリンドリカルレンズ ２４ シリンドリカルレンズ ２５ 球面ドラムレンズアレイ ２６ 球面レンズ ２７ 球面レンズ ２８ シリンドリカルレンズ ２９ シリンドリカルレンズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｓ 5/40 Ｂ４１Ｊ 3/00 Ｄ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 バーレーザから出射したレーザビームを
    ライン状の照明エリアに照明する照明装置であって、 レーザビームを出射するエミッタが直線状に複数個列設
    されたバーレーザと、 前記エミッタの列設方向と平行な方向に前記エミッタの
    数より少ない数だけ列設された複数のレンズユニットよ
    り成り、そこに平行に入射したレーザビームがその最終
    面において少なくとも前記エミッタの列設方向と光軸方
    向を含む面内で収束するよう構成されたレンズアレイ
    と、 前記バーレーザから出射されたレーザビームにおけるエ
    ミッタの列設方向の遠視野像を前記レンズアレイ上に投
    影するレンズと、 前記レンズアレイにより分割されたレーザビームの遠視
    野像を前記照明エリアに重畳して投影するレンズと、 前記バーレーザから出射されたレーザビームにおけるエ
    ミッタの列設方向と直交する方向の近視野像を前記照明
    エリアに結像するレンズと、 を備えることを特徴とする照明装置。
  2. 【請求項２】 バーレーザから出射したレーザビームを
    ライン状の照明エリアに照明する照明装置であって、 レーザビームを出射するエミッタが直線状に複数個列設
    されたバーレーザと、前記エミッタの列設方向と平行な
    方向に前記エミッタの数より少ない数だけ列設された複
    数のレンズユニットより成り、そこに平行に入射したレ
    ーザビームがその最終面において少なくとも前記エミッ
    タの列設方向と光軸方向を含む面内で収束するよう構成
    されたレンズアレイと、 前記バーレーザから出射されたレーザビームにおけるエ
    ミッタの列設方向の遠視野像を前記レンズアレイ上に投
    影し、前記レンズアレイにより分割されたレーザビーム
    の遠視野像を前記照明エリアに重畳して投影するととも
    に、前記バーレーザから出射されたレーザビームにおけ
    るエミッタの列設方向と直交する方向の近視野像を前記
    照明エリアに結像する光学系と、 を備えることを特徴とする照明装置。
  3. 【請求項３】 請求項１または請求項２いずれかに記載
    の照明装置において、 前記レンズアレイは、３乃至１０個のレンズユニットよ
    り構成される照明光学系。
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