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JP2002051264A - Correlative double sampling circuit - Google Patents

Correlative double sampling circuit

Info

Publication number
JP2002051264A
JP2002051264A JP2000235630A JP2000235630A JP2002051264A JP 2002051264 A JP2002051264 A JP 2002051264A JP 2000235630 A JP2000235630 A JP 2000235630A JP 2000235630 A JP2000235630 A JP 2000235630A JP 2002051264 A JP2002051264 A JP 2002051264A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
double sampling
sampling circuit
amplifier
pass filter
low
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000235630A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshitomo Yomo
啓智 四方
昌之 ▲高▼橋
Masayuki Takahashi
Shinichi Tanaka
伸一 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2000235630A priority Critical patent/JP2002051264A/en
Publication of JP2002051264A publication Critical patent/JP2002051264A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a correlative double sampling circuit for solid-state image pickup element capable of attaining the reduction of production costs and miniaturization. SOLUTION: This correlative double sampling circuit is provided with a charge sensitive amplifier 50 for converting an electric charge signal inputted from a solid-state image pickup element to a voltage, a low-pass filter(LPF)/ amplifier part 11 for removing a noise from the voltage signal and amplifying it, a sample/hold(S/H) part 53 for sampling the amplified voltage signal, an A/D converter 54 for converting the sampled analog signal to a digital signal, and a latch 55. Plural capacitors 5 and 12 are arranged in parallel on the input terminal side of an operational amplifier 8 in the LPF/amplifier part 11 and a connection between the capacitors is changed over by switches 13 and 14. The capacitors 5 and 12 to be changed over by the switches variably determine the time constant of the LPF part and the gain of the amplifier part.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、X線画像センサを
含む固体撮像素子を用いた固体撮像装置から信号読み出
すために使用される相関2重サンプリング回路に関し、
部品点数を削減でき、アンプの利得を変えることができ
る相関2重サンプリング回路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a correlated double sampling circuit used for reading out a signal from a solid-state imaging device using a solid-state imaging device including an X-ray image sensor.
The present invention relates to a correlated double sampling circuit capable of reducing the number of components and changing the gain of an amplifier.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、固体撮像素子を用いた固体撮像
装置から出力される信号には低周波ノイズが重畳してい
て、画像品質に悪影響を及ぼすため、信号を読み出して
AD変換するには、相関2重サンプリング法によりノイ
ズを低減する相関2重サンプリング回路が用いられる。
従来、固体撮像素子の代表例であるCCDを対象とする
相関2重サンプリング回路には、例えば特開平8−31
7289号公報に記載のものがある。一方、固体撮像素
子の一つであるX線画像センサの出力信号には、通常の
ノイズの他に、X線画像センサ内のデータラインの熱雑
音が加わるため、出力信号のサンプリング部の前段にロ
ーパスフィルタを挿入しなければならない。これに関す
る従来技術は、例えば文献「Signal and Noise Analysi
s Using TransmissionLine Model for Larger Area Fla
t-Panel X-Ray Imaging Sensors」SPIE Vol.3659 に述
べられている。
2. Description of the Related Art Generally, low-frequency noise is superimposed on a signal output from a solid-state imaging device using a solid-state imaging device, which adversely affects image quality. A correlated double sampling circuit that reduces noise by the correlated double sampling method is used.
Conventionally, a correlated double sampling circuit for a CCD, which is a typical example of a solid-state imaging device, includes, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-31.
There is one described in US Pat. On the other hand, in addition to normal noise, thermal noise of the data line in the X-ray image sensor is added to the output signal of the X-ray image sensor, which is one of the solid-state imaging devices. A low-pass filter must be inserted. Prior art relating to this is described in, for example, the document "Signal and Noise Analysi
s Using TransmissionLine Model for Larger Area Fla
t-Panel X-Ray Imaging Sensors ”SPIE Vol.3659.

【0003】図6は、X線変換素子から信号を読み出す
従来の相関2重サンプリング回路のブロックを示してい
る。この相関2重サンプリング回路は、電荷感応アンプ
部50、ローパスフィルタ部51、アンプ部52、サン
プルホールド部53、AD変換器54、およびラッチ5
5で構成される。X線変換素子から受光X線量に応じて
入力される電荷は、図6の電荷感応アンプ部50で電圧
に変換された後、ローパスフィルタ部51でノイズが除
去され、ノイズが除去された電圧信号は、アンプ部52
で増幅され、次いでサンプルホールド部53でサンプリ
ングされて所定時間保持され、保持されたアナログ信号
がAD変換器54でデジタルデータに変換され、変換後
のデジタルデータがラッチ55に保持される。
FIG. 6 shows a block diagram of a conventional correlated double sampling circuit for reading a signal from an X-ray conversion element. The correlated double sampling circuit includes a charge-sensitive amplifier section 50, a low-pass filter section 51, an amplifier section 52, a sample hold section 53, an AD converter 54, and a latch 5
5 is comprised. The charge input from the X-ray conversion element according to the received X-ray dose is converted into a voltage by the charge-sensitive amplifier unit 50 in FIG. 6, noise is removed by the low-pass filter unit 51, and the voltage signal from which the noise is removed Is the amplifier 52
, And then sampled by the sample and hold unit 53 and held for a predetermined time. The held analog signal is converted into digital data by the AD converter 54, and the converted digital data is held by the latch 55.

【0004】図7は、図6の相関2重サンプリング回路
における前半ブロックの具体的回路を示している。オペ
アンプ63およびその反転入力端子と出力端子の間に並
列に接続したコンデンサ62とリセットスイッチ61で
図6の電荷感応アンプ部50が、抵抗64およびその一
端と基準電位との間に設けたコンデンサ65で図6のロ
ーパスフィルタ部51が、オペアンプ70、その反転入
力端子に接続したコンデンサ67、および反転入力端子
と出力端子の間に並列に接続したコンデンサ69とリセ
ットスイッチ68で図6のアンプ部52が夫々構成され
る。ローパスフィルタ部51とアンプ部52の間には、
バッファ66を介設している。アンプ部52の利得は、
コンデンサ67と69の容量比で決まり、両者の容量を
同じにすれば、利得は1となる。
FIG. 7 shows a specific circuit of the first half block in the correlated double sampling circuit of FIG. The operational amplifier 63 and the capacitor 62 and the reset switch 61 connected in parallel between the inverting input terminal and the output terminal of the operational amplifier 63 make the charge-sensitive amplifier unit 50 of FIG. 6 comprises an operational amplifier 70, a capacitor 67 connected to the inverting input terminal thereof, a capacitor 69 connected in parallel between the inverting input terminal and the output terminal, and a reset switch 68. Are respectively constituted. Between the low-pass filter unit 51 and the amplifier unit 52,
A buffer 66 is provided. The gain of the amplifier section 52 is
The gain is determined by the capacitance ratio of the capacitors 67 and 69. If the capacitances of both capacitors are the same, the gain becomes 1.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】さて、X線画像センサ
パネルは、X線変換素子が縦横マトリックス状に多数配
置されているので、出力信号をデジタルデータに変換す
る図6,7で述べた相関2重サンプリング回路も素子数
に応じて必要となる。特に大画面のX線画像センサパネ
ルでは、通常、1000×1000画素以上の分解能が要求され
るため、相関2重サンプリング回路も1000以上必要
になる。ところが、上記従来の相関2重サンプリング回
路は、ローパスフィルタ部51とアンプ部52が別個に
作られ、両者の間にバッファ66が介設されているた
め、部品点数が増え、このような相関2重サンプリング
回路を大画面のX線画像センサパネルに1000個も用
いると、製造コストが上昇し、装置が大型化するという
問題がある。
In the X-ray image sensor panel, since a large number of X-ray conversion elements are arranged in a vertical and horizontal matrix, an output signal is converted into digital data. A double sampling circuit is also required according to the number of elements. In particular, a large-screen X-ray image sensor panel usually requires a resolution of 1000 × 1000 pixels or more, and thus requires a correlation double sampling circuit of 1000 or more. However, in the above-described conventional correlated double sampling circuit, the low-pass filter section 51 and the amplifier section 52 are separately formed, and the buffer 66 is interposed between the two. If 1000 double sampling circuits are used for a large-screen X-ray image sensor panel, there is a problem that manufacturing costs increase and the size of the apparatus increases.

【0006】また、X線で人体の動画像を撮る場合、X
線障害を防ぐため照射時間を短くする必要があり、そう
すると表示画像のコントラストが低下するため、アンプ
部52の利得を上げる必要がある。ところが、上記従来
の相関2重サンプリング回路では、利得調整のコンデン
サ67,69の容量が固定されているため、利得を上げ
ることができず、通常のX線画像センサパネルを人体の
動画像撮影に兼用できないという問題がある。
When a moving image of a human body is taken with X-rays,
It is necessary to shorten the irradiation time in order to prevent a line disturbance, and if that is the case, the contrast of the displayed image is reduced. Therefore, it is necessary to increase the gain of the amplifier unit 52. However, in the above-described conventional correlated double sampling circuit, the gain cannot be increased because the capacitance of the capacitors 67 and 69 for adjusting the gain is fixed, so that a normal X-ray image sensor panel can be used for capturing a moving image of a human body. There is a problem that they cannot be shared.

【0007】そこで、本発明の目的は、ローパスフィル
タ部とアンプ部を一体化して相関2重サンプリング回路
を簡素化するとともに、アンプ部のコンデンサの容量を
可変にすることによって、製造コストの低減と装置の小
型化を図れるとともに、人体の動画像撮影にも兼用でき
る固体撮像素子用の相関2重サンプリング回路を提供す
ることにある。
Accordingly, an object of the present invention is to simplify the correlated double sampling circuit by integrating the low-pass filter section and the amplifier section, and to reduce the manufacturing cost by changing the capacitance of the capacitor in the amplifier section. It is an object of the present invention to provide a correlated double sampling circuit for a solid-state imaging device that can reduce the size of an apparatus and can also be used for capturing a moving image of a human body.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、入力信号からノイズを除去する
ローパスフィルタ部と、このローパスフィルタ部を経た
信号を増幅するアンプ部と、このアンプ部を経た信号を
サンプリングして所定時間保持するサンプルホールド部
と、このサンプルホールド部の出力信号をデジタル信号
に変換するAD変換器を備えた相関2重サンプリング回
路において、上記ローパスフィルタ部の時定数を決める
コンデンサは、上記アンプ部の利得を決めるコンデンサ
を兼ねることを特徴とする。
In order to achieve the above object, according to the present invention, a low-pass filter section for removing noise from an input signal, an amplifier section for amplifying a signal passing through the low-pass filter section, In a correlated double sampling circuit including a sample and hold unit that samples a signal passed through an amplifier unit and holds the signal for a predetermined time and an AD converter that converts an output signal of the sample and hold unit into a digital signal, The capacitor for determining the constant also serves as a capacitor for determining the gain of the amplifier section.

【0009】請求項1の相関2重サンプリング回路で
は、1つのコンデンサが、ローパスフィルタ部の時定数
およびアンプ部の利得を決めるのに兼用されているの
で、このコンデンサの容量を変化させて、ローパスフィ
ルタ部で除去すべきノイズの周波数帯を変化させ、か
つ、アンプ部の利得を変化させることができる。そし
て、固体撮像素子などからの入力信号は、ローパスフィ
ルタ部でノイズが除去され、次いでアンプ部で増幅さ
れ、さらにサンプルホールド部で所定レートでサンプリ
ングして保持され、保持された信号がAD変換部でデジ
タル信号に変換されて出力される。従って、従来と同じ
機能を果たす相関2重サンプリング回路を、コンデンサ
の兼用で簡素化し、製造コストの低減と装置の小型化を
図ることができる。
In the correlated double sampling circuit according to the first aspect of the present invention, since one capacitor is also used to determine the time constant of the low-pass filter section and the gain of the amplifier section, the capacitance of this capacitor is changed to change the low-pass filter section. The frequency band of the noise to be removed by the filter unit can be changed, and the gain of the amplifier unit can be changed. Then, the input signal from the solid-state imaging device or the like is subjected to noise removal by a low-pass filter unit, then amplified by an amplifier unit, sampled and held at a predetermined rate by a sample hold unit, and the held signal is converted by an AD conversion unit. Is converted into a digital signal and output. Therefore, the correlated double sampling circuit that performs the same function as the conventional one can be simplified by also using the capacitor, so that the manufacturing cost can be reduced and the device can be downsized.

【0010】請求項2の相関2重サンプリング回路は、
上記アンプ部が、入力端子側に並列に配置された複数の
コンデンサと、これらのコンデンサ間の接続を切り替え
るスイッチを備えて、このスイッチの切り替えによっ
て、アンプ部の利得を可変にし、かつ、上記ローパスフ
ィルタの時定数を可変にしたことを特徴とする。
A correlated double sampling circuit according to claim 2 is
The amplifier section includes a plurality of capacitors arranged in parallel on an input terminal side, and a switch for switching connection between these capacitors. By switching the switches, the gain of the amplifier section is made variable, and the low-pass The time constant of the filter is made variable.

【0011】請求項2の相関2重サンプリング回路で
は、アンプ部の入力端子側に並列に配置された複数のコ
ンデンサ間の接続を、スイッチにより切り替えるように
しているので、請求項1の作用効果に加えて、スイッチ
の切替のみでローパスフィルタ部で除去すべきノイズの
周波数帯およびアンプ部の利得を変化させることができ
る。そして、入力信号がX線変換素子からの被写人体の
動画像である場合は、上記スイッチを被写体が物体であ
る場合よりも利得が大きくなる側に切り替えて、人体へ
のX線照射線量を抑えつつ、物体の場合と同等の良好な
コントラストの表示画像を得ることができる。
In the correlated double sampling circuit according to the second aspect, the connection between a plurality of capacitors arranged in parallel on the input terminal side of the amplifier section is switched by a switch. In addition, the frequency band of the noise to be removed by the low-pass filter unit and the gain of the amplifier unit can be changed only by switching the switch. When the input signal is a moving image of the human body from the X-ray conversion element, the switch is switched to a side where the gain is greater than when the subject is an object, and the X-ray irradiation dose to the human body is reduced. It is possible to obtain a display image having the same good contrast as that of the object while suppressing it.

【0012】請求項3の相関2重サンプリング回路は、
上記ローパスフィルタ部と上記アンプ部が、一体化され
ていることを特徴とする。
A correlated double sampling circuit according to claim 3 is
The low-pass filter section and the amplifier section are integrated.

【0013】請求項3の相関2重サンプリング回路で
は、ローパスフィルタ部とアンプ部が一体化されている
ので、コンデンサを兼用する場合よりもさらに回路を簡
素化でき、製造コストの低減と装置の小型化を更に図る
ことができる。従って、相関2重サンプリング回路を必
要とする固体撮像素子の数が多いX線画像センサパネル
などに用いれば、顕著な製造コスト低減および装置小型
化効果を奏する。
In the correlated double sampling circuit according to the third aspect, since the low-pass filter section and the amplifier section are integrated, the circuit can be further simplified as compared with the case where the capacitor is also used, the manufacturing cost is reduced, and the size of the apparatus is reduced. Can be further improved. Therefore, when used in an X-ray image sensor panel or the like that requires a large number of solid-state imaging devices requiring a correlated double sampling circuit, a remarkable effect of reduction in manufacturing cost and size of the device can be achieved.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
により詳細に説明する。図1は、本発明の相関2重サン
プリング回路の一例を示しており、この相関2重サンプ
リング回路は、ローパスフィルタ部2とアンプ部3を一
体化してローパスフィルタ・アンプ部1とした点を除い
て図7で述べた従来例と同じ構成であるので、同じ部材
には同一番号を付している。上記相関2重サンプリング
回路は、オペアンプ63,コンデンサ62,リセットスイ
ッチ61からなる電荷感応アンプ部50と、ローパスフ
ィルタ・アンプ部1と、サンプルホールド部53と、A
D変化部54と、ラッチ55とで構成される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the illustrated embodiments. FIG. 1 shows an example of a correlated double sampling circuit according to the present invention. This correlated double sampling circuit is different from the correlated double sampling circuit except that a low-pass filter section 2 and an amplifier section 3 are integrated into a low-pass filter / amplifier section 1. 7, the same members are denoted by the same reference numerals. The correlated double sampling circuit includes a charge-sensitive amplifier section 50 including an operational amplifier 63, a capacitor 62, and a reset switch 61; a low-pass filter / amplifier section 1;
It is composed of a D changing section 54 and a latch 55.

【0015】上記ローパスフィルタ・アンプ部1は、図
7のコンデンサ65とバッファ66を省略し、コンデン
サ5をローパスフィルタ部2の時定数を決めるコンデン
サおよびアンプ部3の利得を決めるコンデンサとして兼
用している。つまり、抵抗4とコンデンサ5からなるロ
ーパスフィルタ部2の時定数は、抵抗4とコンデンサ5
の容量の積で決まるから、コンデンサ5の容量が増える
ほど大きくなり、オペアンプ8、リセットスイッチ6、お
よびコンデンサ5,7からなるアンプ部3の利得は、コ
ンデンサ5と7の容量比で決まるから、コンデンサ5の
容量が増えるほど大きくなる。
In the low-pass filter / amplifier 1, the capacitor 65 and the buffer 66 in FIG. 7 are omitted, and the capacitor 5 is also used as a capacitor for determining the time constant of the low-pass filter 2 and a capacitor for determining the gain of the amplifier 3. I have. That is, the time constant of the low-pass filter unit 2 including the resistor 4 and the capacitor 5 is
And the gain of the amplifier section 3 including the operational amplifier 8, the reset switch 6, and the capacitors 5 and 7 is determined by the capacitance ratio of the capacitors 5 and 7. It increases as the capacity of the capacitor 5 increases.

【0016】図2は、図1の相関2重サンプリング回路
の動作を示すタイミングチャートであり、上段は電荷感
応アンプ部50のリセットスイッチ61のオン,オフ
を、中段はアンプ部3のリセットスイッチ6のオン,オ
フを、下段はサンプルホールド部53のサンプリング期
間を夫々表わしている。まず、図2の期間T1で、図1
のリセットスイッチ61,6を共にオンして、オペアン
プ63,8の入出力を共に短絡してリセットする。続く
期間T2では、リセットスイッチ61をオフにして、電
荷感応アンプ部50のオペアンプ63の動作を開始させ
る一方、リセットスイッチ6のオンを維持して、アンプ
部3のオぺアンプ8のリセット状態を継続して、オペア
ンプ63のオフセットノイズおよびリセットノイズを吸
収させる。
FIG. 2 is a timing chart showing the operation of the correlated double sampling circuit of FIG. 1. The upper part shows ON / OFF of the reset switch 61 of the charge-sensitive amplifier unit 50, and the middle part shows the reset switch 6 of the amplifier unit 3. , And the lower row shows the sampling period of the sample and hold section 53, respectively. First, in a period T1 in FIG.
Are turned on, the input and output of the operational amplifiers 63 and 8 are both short-circuited and reset. In the subsequent period T2, the reset switch 61 is turned off to start the operation of the operational amplifier 63 of the charge-sensitive amplifier unit 50, while the reset switch 6 is kept on and the reset state of the operational amplifier 8 of the amplifier unit 3 is changed. Continuously, the offset noise and the reset noise of the operational amplifier 63 are absorbed.

【0017】期間T3に入ると、リセットスイッチ6を
オフにして、オペアンプ8の動作も開始させ、大画面の
X線画像センサパネルを構成する各X線変換素子から受
光X線量に応じて入力される電荷は、電荷感応アンプ部
50で電圧に変換される。この期間T3を十分長くとっ
て、オペアンプ8のリセットノイズを吸収する。電荷感
応アンプ部50から出力される電圧信号には、既述の如
くX線変換素子のデータラインに起因する熱雑音が含ま
れているが、この熱雑音は、抵抗4,コンデンサ5から
なるローパスフィルタ部2によって除去され、ノイズ除
去後の電圧信号が、コンデンサ5,7とオペアンプ8か
らなるアンプ部3で増幅される。期間T4に入ると、ア
ンプ部3で増幅された電圧信号は、サンプルホールド部
53によって、サンプリングされ、AD変換器54でA
D変換が終わるまで保持される。AD変換後の1素子分
のデジタルデータは、ラッチ55に保持される。
In the period T3, the reset switch 6 is turned off, the operation of the operational amplifier 8 is started, and input is made from each X-ray conversion element constituting the large-screen X-ray image sensor panel according to the received X-ray dose. The charge is converted into a voltage by the charge-sensitive amplifier unit 50. By taking this period T3 long enough, the reset noise of the operational amplifier 8 is absorbed. The voltage signal output from the charge-sensitive amplifier unit 50 includes thermal noise caused by the data line of the X-ray conversion element as described above. The voltage signal that has been removed by the filter unit 2 and from which noise has been removed is amplified by the amplifier unit 3 including the capacitors 5 and 7 and the operational amplifier 8. In the period T4, the voltage signal amplified by the amplifier unit 3 is sampled by the sample and hold unit 53,
It is held until the D conversion ends. The digital data for one element after the AD conversion is held in the latch 55.

【0018】このように、上記実施の形態では、従来例
と異なり、コンデンサ5をローパスフィルタ部2の時定
数の決定とアンプ部3の利得の決定に兼用するのみなら
ず、ローパスフィルタ部2とアンプ部3とをローパスフ
ィルタ・アンプ部1として一体化しているので、従来例
と同じ機能を発揮しながら、相関2重サンプリング回路
の製造コストの低減と装置の小型化を更に図ることがで
きる。従って、多数のX線変換素子をもつため多数の相
関2重サンプリング回路が必要なX線画像センサパネル
などに用いれば、顕著な製造コスト低減および装置小型
化の効果を奏する。
As described above, in the above embodiment, unlike the conventional example, the capacitor 5 is used not only for determining the time constant of the low-pass filter section 2 and for determining the gain of the amplifier section 3 but also for the low-pass filter section 2. Since the amplifier unit 3 is integrated with the low-pass filter / amplifier unit 1, the same functions as those in the conventional example can be achieved, and the manufacturing cost of the correlated double sampling circuit can be reduced and the size of the apparatus can be further reduced. Therefore, when used for an X-ray image sensor panel or the like that requires a large number of correlated double sampling circuits because it has a large number of X-ray conversion elements, the effects of remarkable reduction in manufacturing cost and downsizing of the device can be achieved.

【0019】図3は、本発明による相関2重サンプリン
グ回路の他の実施形態を示している。この相関2重サン
プリング回路は、図1のコンデンサ5と並列にコンデン
サ12を配置するとともに、これらのコンデンサ12,
5間の接続を、両者が並列になるか、コンデンサ5の出
力側と基準電位との間にコンデンサ12が接続されるか
のいずれかに切り替えるスイッチ13,14を設けて、
新たなローパスフィルタ・アンプ部11とした点を除い
て図1の実施形態と同じ構成であるので、同じ部材には
同一番号を付して説明を省略する。そして、スイッチ1
3,14の切り替えによって、アンプ部の利得およびロ
ーパスフィルタ部の時定数を同時に変えることができる
ようにしている。
FIG. 3 shows another embodiment of the correlated double sampling circuit according to the present invention. In this correlated double sampling circuit, a capacitor 12 is arranged in parallel with the capacitor 5 of FIG.
Switches 13 and 14 are provided to switch the connection between the capacitors 5 in parallel or to connect the capacitor 12 between the output side of the capacitor 5 and the reference potential.
Since the configuration is the same as that of the embodiment of FIG. 1 except that a new low-pass filter / amplifier unit 11 is provided, the same members are denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted. And switch 1
By switching between 3, 14, the gain of the amplifier section and the time constant of the low-pass filter section can be changed simultaneously.

【0020】即ち、コンデンサ12とコンデンサ5の容
量を同じ値にして、スイッチ13をオフ、スイッチ14
をオンにすれば、図1のローパスフィルタ・アンプ部1
と同様のパラメータとなるので、図1のローパスフィル
タ・アンプ部1と同様の動作により同じアンプ部の利得
が得られる。アンプ部の利得を上げるには、スイッチ1
3をオンにし、スイッチ14をオフにする。すると、コ
ンデンサ5,12が並列接続となり、アンプ部の利得
は、両コンデンサ5,12の合成容量とコンデンサ7の
容量との比で決まるから、コンデンサ12が付加された
分だけ増加する。同時に、ローパスフィルタ部の時定数
は、抵抗4とコンデンサ5,12の合成容量の積で決ま
るから、コンデンサ12が付加された分だけ増加する。
このローパスフィルタ部の時定数の増加とアンプ部の利
得の増加により、X線変換素子のデータラインに起因す
る熱雑音を除去するローパスフィルタ・アンプ部11の
効果も増加し、X線変換素子からの微弱な信号入力に対
しても十分なノイズ除去効果を発揮することができる。
That is, the capacitances of the capacitor 12 and the capacitor 5 are set to the same value, the switch 13 is turned off, and the switch 14 is turned off.
Is turned on, the low-pass filter / amplifier unit 1 of FIG.
Therefore, the same gain as that of the low-pass filter / amplifier unit 1 shown in FIG. 1 can be obtained by the same operation. To increase the gain of the amplifier, switch 1
3 is turned on and the switch 14 is turned off. Then, the capacitors 5 and 12 are connected in parallel, and the gain of the amplifier section is determined by the ratio of the combined capacity of the capacitors 5 and 12 and the capacity of the capacitor 7, so that the gain is increased by the addition of the capacitor 12. At the same time, since the time constant of the low-pass filter is determined by the product of the combined capacitance of the resistor 4 and the capacitors 5 and 12, the time constant increases by the addition of the capacitor 12.
Due to the increase in the time constant of the low-pass filter unit and the gain of the amplifier unit, the effect of the low-pass filter / amplifier unit 11 for removing thermal noise caused by the data line of the X-ray conversion element also increases, and A sufficient noise removal effect can be exhibited even with a weak signal input.

【0021】つまり、図3の実施形態の相関2重サンプ
リング回路は、図1の実施形態と同じく入力信号中の低
周波ノイズ、リセットノイズ、オフセットノイズおよびデ
ータラインに起因する熱雑音を除去できるうえ、図1の
実施形態では固定であったアンプ部の利得とローパスフ
ィルタの時定数を可変にできる。従って、この相関2重
サンプリング回路をX線画像センサパネルに組み込み、
入力信号のレベルが小さい場合やノイズが大きい場合
に、スイッチ13,14を通常利得側から高利得側へ切
り替えることによって、固体撮像装置の1つであるX線
画像センサパネルの能力を最大限に発揮させることがで
きる。
That is, the correlated double sampling circuit of the embodiment of FIG. 3 can remove low frequency noise, reset noise, offset noise, and thermal noise caused by the data line in the input signal as in the embodiment of FIG. 1, the gain of the amplifier unit and the time constant of the low-pass filter, which are fixed in the embodiment of FIG. 1, can be varied. Therefore, this correlated double sampling circuit is incorporated in the X-ray image sensor panel,
When the level of the input signal is low or the noise is high, the switches 13 and 14 are switched from the normal gain side to the high gain side to maximize the capability of the X-ray image sensor panel which is one of the solid-state imaging devices. Can be demonstrated.

【0022】図4は、図3で述べた相関2重サンプリン
グ回路を用いた固体撮像装置の一例としてのX線画像装
置のブロック図である。このX線画像装置は、入射した
X線を電荷に変換するX線変換素子を縦2880個×横2880
個でマトリックス状に配置してなるX線画像センサパネ
ル23と、アクセスすべきX線変換素子のアドレスをゲ
ートラインを介して指定するゲートドライバ回路21
と、アクセスしたX線変換素子からデータラインを介し
て電荷信号を取り出してデジタル信号に変換する信号変
換回路22と、ゲートドライバ回路21,信号変換回路
22を制御し、前者に駆動信号を供給し、後者からのデジ
タル信号を内蔵のメモリに取り込むとともに、個々のX
線変換素子のバラツキ処理や欠陥処理などの画像処理を
行なう制御回路24とで構成される。マトリックス状に
並ぶ各X線変換素子の下部には、発生した電荷を取り出
すためのTFT(薄膜トランジスタ)が、図5の部分詳細
図に示すように設けられる。一方、図3の相関2重サン
プリング回路は、図4の信号変換回路22内にデータラ
インの本数分、即ち2880個だけ設けられている。
FIG. 4 is a block diagram of an X-ray imaging device as an example of a solid-state imaging device using the correlated double sampling circuit described in FIG. This X-ray imaging apparatus has 2880 vertical x 2880 horizontal X-ray conversion elements for converting incident X-rays into electric charges.
An X-ray image sensor panel 23 which is arranged in a matrix and a gate driver circuit 21 which specifies an address of an X-ray conversion element to be accessed via a gate line
And a signal conversion circuit 22 that extracts a charge signal from the accessed X-ray conversion element via a data line and converts the charge signal into a digital signal, and controls a gate driver circuit 21 and a signal conversion circuit 22 to supply a drive signal to the former. , The digital signal from the latter is taken into the built-in memory,
It is composed of a control circuit 24 which performs image processing such as variation processing and defect processing of the line conversion elements. A TFT (thin film transistor) for extracting generated charges is provided below the X-ray conversion elements arranged in a matrix as shown in the partial detailed view of FIG. On the other hand, the correlated double sampling circuits of FIG. 3 are provided in the signal conversion circuit 22 of FIG.

【0023】上記X線画像装置における信号処理は、次
のように行なわれる。即ち、図5中の38,39で2本
のみを代表的に示した2880本のゲートラインは、ゲート
ドライバ回路21によっていずれか1本のみが選択され
る。従って、ゲートライン38が選択されれば、TFT
30,32,…がオンし、データライン40には、X線変
換素子34で発生した電荷のみが読み出され、データラ
イン41には、X線変換素子36で発生した電荷のみが
読み出される。データライン40,41に読み出された
信号は、信号変換回路22内にデータライン毎に設けら
れた図3で述べた相関2重サンプリング回路によって夫
々サンプリングされ、デジタル信号に変換された後、制
御回路24に送られ、内蔵のメモリに蓄えられる。制御
回路24は、メモリに蓄えたデジタル信号に対して既述
の画像処理を行ない、処理後の画像信号をCRTや液晶
表示装置などの表示装置に出力し、表示装置の画面にX
線画像が表示される。
The signal processing in the X-ray imaging apparatus is performed as follows. That is, the gate driver circuit 21 selects only one of the 2880 gate lines, only two of which are representatively indicated by 38 and 39 in FIG. Therefore, if the gate line 38 is selected, the TFT
Are turned on, only the charges generated by the X-ray conversion element 34 are read out to the data line 40, and only the charges generated by the X-ray conversion element 36 are read out to the data line 41. The signals read to the data lines 40 and 41 are respectively sampled by the correlated double sampling circuit described in FIG. 3 provided for each data line in the signal conversion circuit 22 and converted into digital signals. The data is sent to the circuit 24 and stored in a built-in memory. The control circuit 24 performs the above-described image processing on the digital signal stored in the memory, outputs the processed image signal to a display device such as a CRT or a liquid crystal display device, and displays the X-ray on the screen of the display device.
A line image is displayed.

【0024】上記X線画像装置は、2880×28880のX線
変換素子をもつ大画面のX線画像センサパネル23を備
えるため、信号変換回路22内に2880個もの相関2重サ
ンプリング回路が必要となるが、相関2重サンプリング
回路として図7の従来例に比して部品点数の削減で製造
コストの低減と小型化を図れる図3に示す回路を用いて
いるので、顕著なコストダウンと小型化を実現できる。
Since the above X-ray imaging apparatus is provided with a large-screen X-ray image sensor panel 23 having 2880 × 28880 X-ray conversion elements, 2880 correlated double sampling circuits are required in the signal conversion circuit 22. However, since the circuit shown in FIG. 3 is used as the correlated double sampling circuit, which can reduce the number of parts compared to the conventional example shown in FIG. Can be realized.

【0025】図3の相関2重サンプリング回路を備えた
図4のX線画像装置の更なる利点は、長時間照射による
X線障害が問題になる人体の動画像の撮像もできること
である。人体の静止画像に比し動画像の撮影には長時間
のX線照射が必要になり、長時間照射による人体のX線
障害を避けるには、X線照射量を減じる必要がある。し
かし、X線照射量の減少は、当然のことながら表示画像
のコントラストの低下をもたらし、表示画像が不鮮明に
なるから、X線変換素子の出力信号から得られる電圧信
号を増幅する相関2重サンプリング回路の利得を上げる
ことが必須になる。そこで、X線画像装置(図4参照)の
信号変換回路22内の各相関2重サンプリング回路(図
3参照)でローパスフィルタ・アンプ部11のスイッチ1
3をオン、スイッチ14をオフにしてコンデンサ5,12
を並列接続とし、ローパスフィルタ部の時定数を増加さ
せ、アンプ部の利得を上げる。これによって、図3で既
に述べたように熱雑音等のノイズを含むレベルの小さい
入力信号からノイズのない大レベルの出力信号が得られ
るので、被写体へのX線照射量を減じても、コントラス
トの高い鮮明な人体のX線動画像を再現できるのであ
る。
A further advantage of the X-ray imaging apparatus of FIG. 4 provided with the correlated double sampling circuit of FIG. 3 is that it can capture a moving image of a human body in which X-ray damage due to long-time irradiation becomes a problem. It takes a long time to irradiate a moving image compared to a still image of a human body, and it is necessary to reduce the amount of X-ray irradiation in order to avoid X-ray damage to the human body due to long-time irradiation. However, a decrease in the amount of X-ray irradiation naturally results in a decrease in the contrast of a display image, and the display image becomes unclear. Therefore, correlated double sampling for amplifying a voltage signal obtained from an output signal of the X-ray conversion element. It is essential to increase the gain of the circuit. Therefore, the switch 1 of the low-pass filter / amplifier unit 11 is provided by each correlated double sampling circuit (see FIG. 3) in the signal conversion circuit 22 of the X-ray imaging apparatus (see FIG. 4).
3 on, switch 14 off, capacitors 5, 12
Are connected in parallel, the time constant of the low-pass filter section is increased, and the gain of the amplifier section is increased. As a result, as described above with reference to FIG. 3, a large-level output signal without noise can be obtained from a small-level input signal including noise such as thermal noise. It is possible to reproduce a clear X-ray moving image of a human body.

【0026】なお、動画像の被写体がX線障害の虞のな
い物品の場合は、ローパスフィルタ・アンプ部11のス
イッチ13をオフ、スイッチ14をオンにして、ローパ
スフィルタ部の時定数を減じ、アンプ部の利得を下げて
通常のX線照射量で撮影を行なう。こうして、図3の相
関2重サンプリング回路を備えた上記X線画像装置で
は、入力信号のレベルが小さい場合やノイズが大きい場
合、スイッチ13,14を低利得側から高利得側へ切り
替えることによって、X線画像装置の能力を最大限に発
揮させることができる。
In the case where the subject of the moving image is an article having no fear of X-ray obstruction, the switch 13 of the low-pass filter / amplifier section 11 is turned off and the switch 14 is turned on to reduce the time constant of the low-pass filter section. Imaging is performed with a normal X-ray irradiation amount by lowering the gain of the amplifier section. Thus, in the X-ray imaging apparatus having the correlated double sampling circuit shown in FIG. 3, when the level of the input signal is small or the noise is large, the switches 13 and 14 are switched from the low gain side to the high gain side, The ability of the X-ray imaging apparatus can be maximized.

【0027】多数の相関2重サンプリング回路を内蔵す
る図4の信号変換回路22は、実際の製造にあたって、
部品点数が多いうえ精度が要求されるため、個々の部品
を組み上げて作るのが難しいため、相関2重サンプリン
グ回路を含む信号変換回路22全体をLSI化した。そ
の際、パッケージの端子数の制約から2880本の入力信号
分を1チップに入れることは難しいため、本実施形態で
は、128本の入力線を1チップとした。こうしてできた
1チップのLSIは、0.35μmのCMOSプロセスを用
いて14.6mm×7.9mmのサイズとなり、現在の半導体
製造技術で経済的に製造できるものとなった。その結
果、この実施形態では、従来技術に比較して著しいコス
トダウンが実現できた。
The signal conversion circuit 22 of FIG. 4 including a large number of correlated double sampling circuits is used for actual manufacturing.
Since it is difficult to assemble and assemble individual components because the number of components is large and the accuracy is required, the entire signal conversion circuit 22 including the correlated double sampling circuit is implemented as an LSI. At this time, it is difficult to put 2880 input signals into one chip due to the restriction on the number of terminals of the package. Therefore, in this embodiment, 128 input lines are used as one chip. The one-chip LSI thus formed has a size of 14.6 mm × 7.9 mm using a 0.35 μm CMOS process, and can be economically manufactured by the current semiconductor manufacturing technology. As a result, in this embodiment, a remarkable cost reduction was realized as compared with the related art.

【0028】上記実施形態では、本発明の相関2重サン
プリング回路をX線画像装置に適用した場合について述
べたが、上記相関2重サンプリング回路は、CCD(電
荷結合素子)などの他の固体撮像素子に適用することも
できる。
In the above embodiment, the case where the correlated double sampling circuit of the present invention is applied to an X-ray imaging apparatus has been described. However, the correlated double sampling circuit is applicable to other solid-state imaging devices such as a CCD (charge coupled device). It can also be applied to devices.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、ローパス
フィルタ部、アンプ部、サンプルホールド部、およびAD
変換器を備えた本発明の相関2重サンプリング回路は、
1つのコンデンサが、ローパスフィルタ部の時定数およ
びアンプ部の利得を決めるのに兼用されているので、従
来と同じ機能を果たす相関2重サンプリング回路を、コ
ンデンサの兼用で簡素化し、製造コストの低減と装置の
小型化を図ることができる。
As apparent from the above description, the low-pass filter section, the amplifier section, the sample-and-hold section, and the AD
The correlated double sampling circuit of the present invention with the converter
Since one capacitor is also used to determine the time constant of the low-pass filter unit and the gain of the amplifier unit, the correlated double sampling circuit that performs the same function as the conventional one is simplified by using the same capacitor, and the manufacturing cost is reduced. In addition, the size of the apparatus can be reduced.

【0030】請求項2の相関2重サンプリング回路は、
アンプ部の入力端子側に並列に配置された複数のコンデ
ンサ間の接続を、スイッチにより切り替えるようにして
いるので、スイッチの切替のみでローパスフィルタ部で
除去すべきノイズの周波数帯およびアンプ部の利得を変
化させることができ、マトリックス状にX線変換素子を
配置してなる固体撮像装置の1つであるX線画像装置に
適用した場合、スイッチを利得が大きくなる側に切り替
えて、人体へのX線照射線量を抑えつつ、被写体が物体
の場合と同等の良好なコントラストの動画像を得ること
ができる。
The correlated double sampling circuit according to claim 2 is
Since the connection between a plurality of capacitors arranged in parallel on the input terminal side of the amplifier section is switched by a switch, the frequency band of the noise to be removed by the low-pass filter section only by switching the switch and the gain of the amplifier section When applied to an X-ray imaging device which is one of solid-state imaging devices in which X-ray conversion elements are arranged in a matrix, the switch is switched to a side where the gain is increased, and the While suppressing the X-ray irradiation dose, it is possible to obtain a moving image having the same good contrast as that obtained when the subject is an object.

【0031】請求項3の相関2重サンプリング回路は、
上記ローパスフィルタ部と上記アンプ部が一体化されて
いるので、コンデンサのみを兼用する場合よりもさらに
回路を簡素化でき、製造コストの低減と装置の小型化を
更に図ることができる。
The correlated double sampling circuit according to claim 3 is
Since the low-pass filter unit and the amplifier unit are integrated, the circuit can be further simplified as compared with the case where only the capacitor is used, and the manufacturing cost and the size of the device can be further reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の相関2重サンプリング回路の一実施
形態を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing one embodiment of a correlated double sampling circuit of the present invention.

【図2】 図1の相関2重サンプリング回路の動作を示
すタイミングチャートである。
FIG. 2 is a timing chart showing the operation of the correlated double sampling circuit of FIG.

【図3】 本発明による相関2重サンプリング回路の他
の実施形態を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing another embodiment of a correlated double sampling circuit according to the present invention.

【図4】 図3の相関2重サンプリング回路を用いたX
線画像装置のブロック図である。
FIG. 4 is a graph showing X using the correlated double sampling circuit shown in FIG. 3;
It is a block diagram of a line image device.

【図5】 図4のX線画像装置のX線画像センサパネル
の部分詳細図である。
5 is a partial detailed view of an X-ray image sensor panel of the X-ray image apparatus of FIG.

【図6】 従来の相関2重サンプリング回路のブロック
図である。
FIG. 6 is a block diagram of a conventional correlated double sampling circuit.

【図7】 図6の前半ブロックの詳細を含む従来の相関
2重サンプリング回路のブロック図である。
FIG. 7 is a block diagram of a conventional correlated double sampling circuit including details of the first half block of FIG. 6;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,11 ローパスフィルタ・アンプ部 2 ローパスフィルタ部 3,52 アンプ部 6,61,68 リセットスイッチ 8,63 オペアンプ 13,14 スイッチ 21 ゲートドライバ回路 22 信号変換回路 23 X線画像センサパネル 24 制御回路 30 TFT 34,35,36,37 X線変換素子 38,39 ゲートライン 40,41 データライン 50 電荷感応アンプ部 51 ローパスフィルタ部 52 アンプ部 53 サンプルホールド部 54 AD変換器 55 ラッチ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,11 Low-pass filter / amplifier part 2 Low-pass filter part 3,52 Amplifier part 6,61,68 Reset switch 8,63 Operational amplifier 13,14 Switch 21 Gate driver circuit 22 Signal conversion circuit 23 X-ray image sensor panel 24 Control circuit 30 TFT 34,35,36,37 X-ray conversion element 38,39 Gate line 40,41 Data line 50 Charge sensitive amplifier section 51 Low pass filter section 52 Amplifier section 53 Sample hold section 54 AD converter 55 Latch

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 伸一 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Fターム(参考) 5C024 AX11 CX06 CX41 HX05 HX13 HX17 HX23  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (72) Inventor Shinichi Tanaka 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka F-term (reference) 5C024 AX11 CX06 CX41 HX05 HX13 HX17 HX23

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 入力信号からノイズを除去するローパス
フィルタ部と、このローパスフィルタ部を経た信号を増
幅するアンプ部と、このアンプ部を経た信号をサンプリ
ングして所定時間保持するサンプルホールド部と、この
サンプルホールド部の出力信号をデジタル信号に変換す
るAD変換器を備えた相関2重サンプリング回路におい
て、 上記ローパスフィルタ部の時定数を決めるコンデンサ
は、上記アンプ部の利得を決めるコンデンサを兼ねるこ
とを特徴とする相関2重サンプリング回路。
A low-pass filter section for removing noise from an input signal; an amplifier section for amplifying a signal passing through the low-pass filter section; a sample-and-hold section for sampling a signal passing through the amplifier section and holding the signal for a predetermined time; In a correlated double sampling circuit having an AD converter for converting an output signal of the sample hold unit into a digital signal, a capacitor for determining a time constant of the low-pass filter unit also serves as a capacitor for determining a gain of the amplifier unit. Features a correlated double sampling circuit.
【請求項2】 請求項1に記載の相関2重サンプリング
回路において、上記アンプ部は、入力端子側に並列に配
置された複数のコンデンサと、これらのコンデンサ間の
接続を切り替えるスイッチを備えて、このスイッチの切
り替えによって、アンプ部の利得を可変にし、かつ、上
記ローパスフィルタの時定数を可変にしたことを特徴と
する相関2重サンプリング回路。
2. The correlated double sampling circuit according to claim 1, wherein the amplifier section includes a plurality of capacitors arranged in parallel on an input terminal side, and a switch for switching a connection between the capacitors. A correlated double sampling circuit wherein the gain of the amplifier section is made variable and the time constant of the low-pass filter is made variable by switching this switch.
【請求項3】 請求項1または2に記載の相関2重サン
プリング回路において、上記ローパスフィルタ部と上記
アンプ部は、一体化されていることを特徴とする相関2
重サンプリング回路。
3. The correlation double sampling circuit according to claim 1, wherein said low-pass filter section and said amplifier section are integrated.
Double sampling circuit.
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