JP2002022875A - ヘリウムガスタービン発電システムおよび軸封装置 - Google Patents
ヘリウムガスタービン発電システムおよび軸封装置Info
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- F16J15/00—Sealings
- F16J15/002—Sealings comprising at least two sealings in succession
- F16J15/004—Sealings comprising at least two sealings in succession forming of recuperation chamber for the leaking fluid
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
- Mechanical Sealing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧力容器を小型化することが可能なヘリウム
ガスタービン発電システムを提供する。 【解決手段】 内部をガスが循環する圧力容器(3)
と、ガスを加熱するガス炉(1)と、圧力容器(3)の
内部に配置され、ガスによって回転するタービン(4)
と、ここで、タービン(4)は回転軸(6)を有し、タ
ービン(4)と回転軸(6)によって軸結され、圧力容
器(3)の外部に配置された発電機(7)と、ここで、
回転軸(6)は圧力容器(3)を貫通しており、回転軸
(6)が回転自在であるように、回転軸(6)が圧力容
器(3)を貫通する貫通部に配置され、貫通部を通して
圧力容器(3)の外部へのガスの漏出を防止する軸封装
置(8)とを具備するタービン発電システムを提供す
る。
ガスタービン発電システムを提供する。 【解決手段】 内部をガスが循環する圧力容器(3)
と、ガスを加熱するガス炉(1)と、圧力容器(3)の
内部に配置され、ガスによって回転するタービン(4)
と、ここで、タービン(4)は回転軸(6)を有し、タ
ービン(4)と回転軸(6)によって軸結され、圧力容
器(3)の外部に配置された発電機(7)と、ここで、
回転軸(6)は圧力容器(3)を貫通しており、回転軸
(6)が回転自在であるように、回転軸(6)が圧力容
器(3)を貫通する貫通部に配置され、貫通部を通して
圧力容器(3)の外部へのガスの漏出を防止する軸封装
置(8)とを具備するタービン発電システムを提供す
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はヘリウムガスタービ
ン発電システムに関し、さらに詳しくはヘリウムガスを
用いてガスタービンを回転させることによって発電を行
うヘリウムガスタービン発電システムに関する。
ン発電システムに関し、さらに詳しくはヘリウムガスを
用いてガスタービンを回転させることによって発電を行
うヘリウムガスタービン発電システムに関する。
【0002】
【従来の技術】原子力発電システムの1つとして、ヘリ
ウムガスタービン発電システムが検討されている。この
ヘリウムガスタービン発電システムは、原子炉のような
高温ガス炉から供給される1次系のガスにヘリウムガス
を用い、そのヘリウムガスでガスタービンを回転させる
ことにより発電を行うシステムである。
ウムガスタービン発電システムが検討されている。この
ヘリウムガスタービン発電システムは、原子炉のような
高温ガス炉から供給される1次系のガスにヘリウムガス
を用い、そのヘリウムガスでガスタービンを回転させる
ことにより発電を行うシステムである。
【0003】このようなヘリウムガスタービン発電シス
テムでは、1次系のヘリウムガスが外部に漏れ出さない
ことが必要である。このため、従来のヘリウムガスター
ビン発電システムでは、ガスタービンと発電機は1次系
のヘリウムガスが循環する圧力容器内に設けられてい
る。この圧力容器内は1次系のヘリウムガスにより放射
能汚染されているために、この圧力容器内のメンテナン
ス作業には多くの工程が必要とされる。
テムでは、1次系のヘリウムガスが外部に漏れ出さない
ことが必要である。このため、従来のヘリウムガスター
ビン発電システムでは、ガスタービンと発電機は1次系
のヘリウムガスが循環する圧力容器内に設けられてい
る。この圧力容器内は1次系のヘリウムガスにより放射
能汚染されているために、この圧力容器内のメンテナン
ス作業には多くの工程が必要とされる。
【0004】また、ガスタービンを用いる発電システム
では、高い効率で発電を行うためにガスタービンおよび
発電機は大型化されることが望まれている。
では、高い効率で発電を行うためにガスタービンおよび
発電機は大型化されることが望まれている。
【0005】この場合、従来のヘリウムガスタービン発
電システムでは、高い効率で発電を行うためには、大型
化されたガスタービンおよび発電機を圧力容器内に格納
する必要がある。このため、従来のヘリウムガスタービ
ン発電システムでは、高い効率で発電を行うためにより
大きな圧力容器が必要とされる。よって、この圧力容器
内のメンテナンス作業にはより多くの工程が必要とされ
る。
電システムでは、高い効率で発電を行うためには、大型
化されたガスタービンおよび発電機を圧力容器内に格納
する必要がある。このため、従来のヘリウムガスタービ
ン発電システムでは、高い効率で発電を行うためにより
大きな圧力容器が必要とされる。よって、この圧力容器
内のメンテナンス作業にはより多くの工程が必要とされ
る。
【0006】圧力容器内のメンテナンス作業に必要な工
程を削減するために、圧力容器を小型化することが望ま
れている。
程を削減するために、圧力容器を小型化することが望ま
れている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、圧力
容器を小型化することが可能なヘリウムガスタービン発
電システムを提供することにある。
容器を小型化することが可能なヘリウムガスタービン発
電システムを提供することにある。
【0008】また、本発明の目的は、タービンを圧力容
器内部に配置し、発電機を圧力容器外部に配置したヘリ
ウムガスタービン発電システムを提供することにある。
器内部に配置し、発電機を圧力容器外部に配置したヘリ
ウムガスタービン発電システムを提供することにある。
【0009】さらに、本発明の目的は、タービンを圧力
容器内部に配置し、発電機を圧力容器外部に配置した場
合に、タービンと発電機とを接続している軸部分で圧力
容器内部を循環するヘリウムガスが圧力容器外部へ漏れ
出さないように封止することが可能な軸封装置を提供す
ることにある。
容器内部に配置し、発電機を圧力容器外部に配置した場
合に、タービンと発電機とを接続している軸部分で圧力
容器内部を循環するヘリウムガスが圧力容器外部へ漏れ
出さないように封止することが可能な軸封装置を提供す
ることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】その課題を解決するため
の手段が、下記のように表現される。その表現中の請求
項対応の技術的事項には、括弧()付きで、番号、記号
等が添記されている。その番号、記号等は、請求項対応
の技術的事項と実施の複数・形態のうち少なくとも1つ
の技術的事項との一致・対応関係を明白にしているが、
その請求項対応の技術的事項が実施の形態の技術的事項
に限定されることを示すためのものではない。
の手段が、下記のように表現される。その表現中の請求
項対応の技術的事項には、括弧()付きで、番号、記号
等が添記されている。その番号、記号等は、請求項対応
の技術的事項と実施の複数・形態のうち少なくとも1つ
の技術的事項との一致・対応関係を明白にしているが、
その請求項対応の技術的事項が実施の形態の技術的事項
に限定されることを示すためのものではない。
【0011】上記の課題を解決するために、本発明によ
ると、内部をガスが循環する圧力容器(3)と、ガスを
加熱するガス炉(1)と、圧力容器(3)の内部に配置
され、ガスによって回転するタービン(4)と、ここ
で、タービン(4)は回転軸(6)を有し、タービン
(4)と回転軸(6)によって軸結され、圧力容器
(3)の外部に配置された発電機(7)と、ここで、回
転軸(6)は圧力容器(3)を貫通しており、回転軸
(6)が回転自在であるように、回転軸(6)が圧力容
器(3)を貫通する貫通部に配置され、貫通部を通して
圧力容器(3)の外部へのガスの漏出を防止する軸封装
置(8)とを具備するタービン発電システムを提供す
る。
ると、内部をガスが循環する圧力容器(3)と、ガスを
加熱するガス炉(1)と、圧力容器(3)の内部に配置
され、ガスによって回転するタービン(4)と、ここ
で、タービン(4)は回転軸(6)を有し、タービン
(4)と回転軸(6)によって軸結され、圧力容器
(3)の外部に配置された発電機(7)と、ここで、回
転軸(6)は圧力容器(3)を貫通しており、回転軸
(6)が回転自在であるように、回転軸(6)が圧力容
器(3)を貫通する貫通部に配置され、貫通部を通して
圧力容器(3)の外部へのガスの漏出を防止する軸封装
置(8)とを具備するタービン発電システムを提供す
る。
【0012】上記のタービン発電システムにおいて、こ
のガスはヘリウムガスである。
のガスはヘリウムガスである。
【0013】また、上記のタービン発電システムにおい
て、ガス炉(1)は、このガスを摂氏700度以上摂氏
1,000度以下に加熱することが可能である。
て、ガス炉(1)は、このガスを摂氏700度以上摂氏
1,000度以下に加熱することが可能である。
【0014】また、上記の課題を解決するために、本発
明によると、第1のガスのための容器(3)と、容器を
貫通する回転軸(6)との間に設けられる軸封装置
(8)であって、回転軸(6)が回転自在であるように
回転軸(6)の外周部に密着して設けられた第1のドラ
イガスシール(22)と、回転軸(6)が回転自在であ
るように回転軸(6)の外周部に密着して設けられた第
2のドライガスシール(32)と、第1のドライガスシ
ール(22)で容器(3)と封止され、第2のドライガ
スシール(32)で容器(3)の外部と封止されている
容積部(21)と、ここで、容積部(21)の内部の第
2のガスは第1のガスと組成が実質的に同じであり、容
積部(21)の内部のガス圧が容器(3)の内部のガス
圧よりも高くなるように容積部(21)の内部のガス圧
を制御する制御装置(31)とを具備する軸封装置を提
供する。
明によると、第1のガスのための容器(3)と、容器を
貫通する回転軸(6)との間に設けられる軸封装置
(8)であって、回転軸(6)が回転自在であるように
回転軸(6)の外周部に密着して設けられた第1のドラ
イガスシール(22)と、回転軸(6)が回転自在であ
るように回転軸(6)の外周部に密着して設けられた第
2のドライガスシール(32)と、第1のドライガスシ
ール(22)で容器(3)と封止され、第2のドライガ
スシール(32)で容器(3)の外部と封止されている
容積部(21)と、ここで、容積部(21)の内部の第
2のガスは第1のガスと組成が実質的に同じであり、容
積部(21)の内部のガス圧が容器(3)の内部のガス
圧よりも高くなるように容積部(21)の内部のガス圧
を制御する制御装置(31)とを具備する軸封装置を提
供する。
【0015】上記の軸封装置において、容積部(21)
と接続され、容積部(21)内部のガス圧よりも高圧な
第2のガスを容積部(21)に供給可能なガス供給装置
(26)と、容積部(21)内部の第1のガス圧を測定
する第1の圧力センサ(27)と、容器(3)内部の第
2のガス圧を測定する第2の圧力センサ(28)をさら
に有し、制御装置(31)は、第1のガス圧と第2のガ
ス圧との差分が、予め定められた値以下の場合に、第2
のガスを容積部(21)へ供給するようにガス供給装置
(26)を制御することが可能である。
と接続され、容積部(21)内部のガス圧よりも高圧な
第2のガスを容積部(21)に供給可能なガス供給装置
(26)と、容積部(21)内部の第1のガス圧を測定
する第1の圧力センサ(27)と、容器(3)内部の第
2のガス圧を測定する第2の圧力センサ(28)をさら
に有し、制御装置(31)は、第1のガス圧と第2のガ
ス圧との差分が、予め定められた値以下の場合に、第2
のガスを容積部(21)へ供給するようにガス供給装置
(26)を制御することが可能である。
【0016】また、上記の軸封装置において、制御装置
(31)は、第1のガス圧と第2のガス圧との差分が、
予め定められた値以上であり、かつ所定値以上である場
合に、第2のガスの容積部(21)への供給を停止する
ようにガス供給装置(26)を制御することも可能であ
る。
(31)は、第1のガス圧と第2のガス圧との差分が、
予め定められた値以上であり、かつ所定値以上である場
合に、第2のガスの容積部(21)への供給を停止する
ようにガス供給装置(26)を制御することも可能であ
る。
【0017】さらに、上記の課題を解決するために、本
発明によると、第1のガスのための容器(3)と、容器
(3)を貫通する回転軸(6)との間に設けられる軸封
装置(8)であって、N個の容積部(21,36,4
0)と、ここで、Nは、N≧3を満たす整数であり、N
個のドライガスシール(22,32,39)と、ここ
で、ドライガスシール(22,32,39)は、回転軸
(6)が回転自在であるように回転軸(6)の外周部に
密着して設けられ、ラビリンスシール(43)と、ここ
で、ラビリンスシール(43)は、回転軸(6)が回転
自在であるように回転軸の外周部に密着して設けられ、
N個の制御装置(31,38,46)を含み、第1の容
積部(21)は、容器(3)および第2の容積部(3
6)と接続され、容器(3)と第1のドライガスシール
(22)で封止され、第2の容積部(36)と第2のド
ライガスシール(32)で封止されており、第1の容積
部(21)の内部には第1のガスと組成が実質的に同じ
である第2のガスが封入されており、第1の制御装置
(31)は、第1の容積部(21)の内部でのガスのガ
ス圧が容器内部でのガス圧よりも高くなるように第1の
容積部(21)を制御し、第Kの容積部(36)は、第
(K−1)の容積部(21)および第(K+1)の容積
部(40)と接続され、第(K−1)の容積部(21)
と第Kのドライガスシール(32)で封止され、第(K
+1)の容積部(40)と第(K+1)のドライガスシ
ール(39)で封止され、第Kの容積部(36)の内部
には第2のガスが封入されており、ここで、Kは2≦K
≦N−1を満たす整数であり、第Kの制御装置(38)
は、第Kの容積部(36)の内部でのガス圧が第(K−
1)の容積部でのガス圧よりも低くなるように第Kの容
積部(36)を制御し、第Nの容積部(40)は、第
(N−1)の容積部(36)および容器の外部(44)
と接続され、第(N−1)の容積部(36)と第Nのド
ライガスシール(39)で封止され、容器の外部(4
4)とラビリンスシール(43)で封止されており、第
Nの制御装置(46)は、第Nの容積部(40)の内部
でのガス圧が第(K−1)の容積部(36)でのガス圧
および容器の外部(44)での気体の圧力よりも低くな
るように第Nの容積部(40)を制御する軸封装置を提
供する。
発明によると、第1のガスのための容器(3)と、容器
(3)を貫通する回転軸(6)との間に設けられる軸封
装置(8)であって、N個の容積部(21,36,4
0)と、ここで、Nは、N≧3を満たす整数であり、N
個のドライガスシール(22,32,39)と、ここ
で、ドライガスシール(22,32,39)は、回転軸
(6)が回転自在であるように回転軸(6)の外周部に
密着して設けられ、ラビリンスシール(43)と、ここ
で、ラビリンスシール(43)は、回転軸(6)が回転
自在であるように回転軸の外周部に密着して設けられ、
N個の制御装置(31,38,46)を含み、第1の容
積部(21)は、容器(3)および第2の容積部(3
6)と接続され、容器(3)と第1のドライガスシール
(22)で封止され、第2の容積部(36)と第2のド
ライガスシール(32)で封止されており、第1の容積
部(21)の内部には第1のガスと組成が実質的に同じ
である第2のガスが封入されており、第1の制御装置
(31)は、第1の容積部(21)の内部でのガスのガ
ス圧が容器内部でのガス圧よりも高くなるように第1の
容積部(21)を制御し、第Kの容積部(36)は、第
(K−1)の容積部(21)および第(K+1)の容積
部(40)と接続され、第(K−1)の容積部(21)
と第Kのドライガスシール(32)で封止され、第(K
+1)の容積部(40)と第(K+1)のドライガスシ
ール(39)で封止され、第Kの容積部(36)の内部
には第2のガスが封入されており、ここで、Kは2≦K
≦N−1を満たす整数であり、第Kの制御装置(38)
は、第Kの容積部(36)の内部でのガス圧が第(K−
1)の容積部でのガス圧よりも低くなるように第Kの容
積部(36)を制御し、第Nの容積部(40)は、第
(N−1)の容積部(36)および容器の外部(44)
と接続され、第(N−1)の容積部(36)と第Nのド
ライガスシール(39)で封止され、容器の外部(4
4)とラビリンスシール(43)で封止されており、第
Nの制御装置(46)は、第Nの容積部(40)の内部
でのガス圧が第(K−1)の容積部(36)でのガス圧
および容器の外部(44)での気体の圧力よりも低くな
るように第Nの容積部(40)を制御する軸封装置を提
供する。
【0018】上記の軸封装置において、第1の容積部
(21)と接続され、第1の容積部(21)の内部のガ
ス圧よりも高圧な第2のガスを第1の容積部(21)に
供給可能なガス供給装置(26)と、第1の容積部(2
1)の内部の第1のガス圧を測定する第1の圧力センサ
(27)と、容器(3)の内部の第2のガス圧を測定す
る第2の圧力センサ(28)をさらに有し、第1の制御
装置(31)は、第1のガス圧と第2のガス圧との差分
が、予め定められた値以下の場合に、第2のガスを第1
の容積部(21)へ供給するようにガス供給装置(2
6)を制御することも可能である。
(21)と接続され、第1の容積部(21)の内部のガ
ス圧よりも高圧な第2のガスを第1の容積部(21)に
供給可能なガス供給装置(26)と、第1の容積部(2
1)の内部の第1のガス圧を測定する第1の圧力センサ
(27)と、容器(3)の内部の第2のガス圧を測定す
る第2の圧力センサ(28)をさらに有し、第1の制御
装置(31)は、第1のガス圧と第2のガス圧との差分
が、予め定められた値以下の場合に、第2のガスを第1
の容積部(21)へ供給するようにガス供給装置(2
6)を制御することも可能である。
【0019】また、上記の軸封装置において、第1の制
御装置(31)は、第1のガス圧と第2のガス圧との差
分が、予め定められた値以上であって、かつ所定値以上
である場合に、第2のガスの第1の容積部(21)への
供給を停止するようにガス供給装置(26)を制御する
ことも可能である。
御装置(31)は、第1のガス圧と第2のガス圧との差
分が、予め定められた値以上であって、かつ所定値以上
である場合に、第2のガスの第1の容積部(21)への
供給を停止するようにガス供給装置(26)を制御する
ことも可能である。
【0020】また、上記の軸封装置において、第Kの容
積部(36)の内部の第Kのガス圧を測定する第(K+
1)の圧力センサ(37)と、第Kの容積部(36)と
(K−1)の容積部(21)とに接続され、第Kの容積
部(36)の内部の第2のガスを取得し、取得された第
2のガスを圧縮して(K−1)の容積部(21)へ供給
することが可能な第Kの圧縮装置(34)をさらに有
し、第Kの制御装置(38)は、予め定められた第Kの
上限圧力および第Kの下限圧力と、ここで、第Kの上限
圧力は第Kの下限圧力よりも高く、第Kのガス圧が、第
Kの上限圧力以上の場合、第Kの圧縮装置(34)によ
って取得された第2のガスを圧縮して(K−1)の容積
部(21)へ供給するように第Kの圧縮装置(34)を
制御し、第Kのガス圧が、第Kの下限圧力以下の場合、
第Kの圧縮装置(34)によって取得された第2のガス
を圧縮して(K−1)の容積部(21)への供給を停止
するように第Kの圧縮装置(34)を制御することも可
能である。
積部(36)の内部の第Kのガス圧を測定する第(K+
1)の圧力センサ(37)と、第Kの容積部(36)と
(K−1)の容積部(21)とに接続され、第Kの容積
部(36)の内部の第2のガスを取得し、取得された第
2のガスを圧縮して(K−1)の容積部(21)へ供給
することが可能な第Kの圧縮装置(34)をさらに有
し、第Kの制御装置(38)は、予め定められた第Kの
上限圧力および第Kの下限圧力と、ここで、第Kの上限
圧力は第Kの下限圧力よりも高く、第Kのガス圧が、第
Kの上限圧力以上の場合、第Kの圧縮装置(34)によ
って取得された第2のガスを圧縮して(K−1)の容積
部(21)へ供給するように第Kの圧縮装置(34)を
制御し、第Kのガス圧が、第Kの下限圧力以下の場合、
第Kの圧縮装置(34)によって取得された第2のガス
を圧縮して(K−1)の容積部(21)への供給を停止
するように第Kの圧縮装置(34)を制御することも可
能である。
【0021】また、上記の軸封装置において、第Kの上
限圧力は第(K−1)の下限圧力よりも低く設定される
ことも可能である。
限圧力は第(K−1)の下限圧力よりも低く設定される
ことも可能である。
【0022】また、上記の軸封装置において、第Nの容
積部内部(40)の第Nのガス圧を測定する第Nの圧力
センサ(45)と、第Nの容積部(40)に接続され、
第Nの容積部(40)の内部の気体を取得する取得装置
(42)をさらに有し、第Nの制御装置(46)は、予
め定められた第Nの上限圧力および第Nの下限圧力と、
ここで、第Nの上限圧力は、容器の外部(44)での気
体の圧力および第(N−1)の容積部(36)の内部の
ガス圧よりも低く、かつ第Nの下限圧力よりも高く、第
Nのガス圧が、第Nの上限圧力以上の場合、取得装置
(42)によって取得される気体の量が増加するように
取得装置(42)を制御し、第Nのガス圧が、第Nの下
限圧力以下の場合、取得装置(42)によって取得され
る気体の量が減少するように取得装置(42)を制御す
ることも可能である。
積部内部(40)の第Nのガス圧を測定する第Nの圧力
センサ(45)と、第Nの容積部(40)に接続され、
第Nの容積部(40)の内部の気体を取得する取得装置
(42)をさらに有し、第Nの制御装置(46)は、予
め定められた第Nの上限圧力および第Nの下限圧力と、
ここで、第Nの上限圧力は、容器の外部(44)での気
体の圧力および第(N−1)の容積部(36)の内部の
ガス圧よりも低く、かつ第Nの下限圧力よりも高く、第
Nのガス圧が、第Nの上限圧力以上の場合、取得装置
(42)によって取得される気体の量が増加するように
取得装置(42)を制御し、第Nのガス圧が、第Nの下
限圧力以下の場合、取得装置(42)によって取得され
る気体の量が減少するように取得装置(42)を制御す
ることも可能である。
【0023】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明にお
けるヘリウムタービン発電システムを説明する。
けるヘリウムタービン発電システムを説明する。
【0024】図1は、本発明におけるヘリウムタービン
発電システムの構成を示す概略図である。
発電システムの構成を示す概略図である。
【0025】図1を参照すると、本発明におけるヘリウ
ムタービン発電システムの構成は、配管2を介して、摂
氏700度以上摂氏1,000度以下の高温ヘリウムガスを圧力
容器3内へ供給する高温ガス炉1を含む。
ムタービン発電システムの構成は、配管2を介して、摂
氏700度以上摂氏1,000度以下の高温ヘリウムガスを圧力
容器3内へ供給する高温ガス炉1を含む。
【0026】上記の圧力容器3内にタービン4が格納さ
れている。このタービン4外周部と圧力容器3内周部と
の間に、この圧力容器3を第1の部分3aと第2の部分
3bに隔離するための部材5を有する。ここで、第1の
部分3aは配管2と接続されている。また、第2の部分
3bは配管2と接続されていない。このため、高圧ガス
炉1から配管2を通して第1の部分3aへ供給されたヘ
リウムガスは、このタービン4内部を通過して第2の部
分3bに供給される。よって、このタービン4は、高圧
ガス炉1から供給された高温ヘリウムガスによってター
ビンブレード(図示せず)を回転させる。
れている。このタービン4外周部と圧力容器3内周部と
の間に、この圧力容器3を第1の部分3aと第2の部分
3bに隔離するための部材5を有する。ここで、第1の
部分3aは配管2と接続されている。また、第2の部分
3bは配管2と接続されていない。このため、高圧ガス
炉1から配管2を通して第1の部分3aへ供給されたヘ
リウムガスは、このタービン4内部を通過して第2の部
分3bに供給される。よって、このタービン4は、高圧
ガス炉1から供給された高温ヘリウムガスによってター
ビンブレード(図示せず)を回転させる。
【0027】また、このタービン4は、その圧力容器3
外部に配置された発電機7と回転軸6によって軸結され
ている。この回転軸6は圧力容器3を貫通しており、圧
力容器3と回転軸6との間に軸封装置8が設けられてい
る。この軸封装置8は、回転軸6が回転することを妨げ
ず、かつ、圧力容器3内部を循環するヘリウムガスを発
電機7へ供給することを妨げる機能を有する。ここで、
回転軸6および軸封装置8の詳細な構成は後述する。
外部に配置された発電機7と回転軸6によって軸結され
ている。この回転軸6は圧力容器3を貫通しており、圧
力容器3と回転軸6との間に軸封装置8が設けられてい
る。この軸封装置8は、回転軸6が回転することを妨げ
ず、かつ、圧力容器3内部を循環するヘリウムガスを発
電機7へ供給することを妨げる機能を有する。ここで、
回転軸6および軸封装置8の詳細な構成は後述する。
【0028】さらに、第1の部分3aと熱交換器11と
を接続する配管9、および第2の部分3bと熱交換器1
1とを接続する配管10とを有する。この熱交換器11
は、第2の部分3bに供給されたヘリウムガスを配管1
0を介して取得し、そのヘリウムガス冷却した後、配管
9を介して加圧部(図示せず)に供給する。その加圧部
(図示せず)で加圧されたヘリウムガスは第1の部分3
aへ供給されている。
を接続する配管9、および第2の部分3bと熱交換器1
1とを接続する配管10とを有する。この熱交換器11
は、第2の部分3bに供給されたヘリウムガスを配管1
0を介して取得し、そのヘリウムガス冷却した後、配管
9を介して加圧部(図示せず)に供給する。その加圧部
(図示せず)で加圧されたヘリウムガスは第1の部分3
aへ供給されている。
【0029】次に、回転軸6について詳細に説明する。
【0030】図2は、本発明におけるヘリウムタービン
発電システムでのタービン4と発電機7との構成を示
す。
発電システムでのタービン4と発電機7との構成を示
す。
【0031】図2を参照すると、回転軸6は圧力容器3
を貫通してタービン4と発電機7を軸結している。ここ
で、タービン4はヘリウム雰囲気の圧力容器3内に設け
られている。また、発電機7は圧力容器3外部の大気中
に配置されている。
を貫通してタービン4と発電機7を軸結している。ここ
で、タービン4はヘリウム雰囲気の圧力容器3内に設け
られている。また、発電機7は圧力容器3外部の大気中
に配置されている。
【0032】この回転軸6は、タービン4から見て発電
機7と反対側であって、圧力容器3の第1の部分3aで
磁気軸受け12により回転自在に固定されている。ま
た、この回転軸6は、タービン4から見て発電機7側で
あって、圧力容器3の第2の部分3bで磁気軸受け13
により回転自在に固定されている。また、この回転軸6
はタービン4と発電機7との間であって、圧力容器3と
回転軸6との間に設けられた軸封装置8によって回転自
在に固定されている。この軸封装置8の両端にはダイヤ
フラムカップリング14,15が設けられている。この
軸封装置8の詳細な構成は後述する。また、この回転軸
6は、発電機7から見てタービン4側であって、圧力容
器3外部に設けられた油軸受け16によって回転自在に
固定されている。さらに、この回転軸6は、発電機7か
ら見てタービン4とは反対側であって、圧力容器3外部
に設けられた油軸受け17によって回転自在に固定され
ている。
機7と反対側であって、圧力容器3の第1の部分3aで
磁気軸受け12により回転自在に固定されている。ま
た、この回転軸6は、タービン4から見て発電機7側で
あって、圧力容器3の第2の部分3bで磁気軸受け13
により回転自在に固定されている。また、この回転軸6
はタービン4と発電機7との間であって、圧力容器3と
回転軸6との間に設けられた軸封装置8によって回転自
在に固定されている。この軸封装置8の両端にはダイヤ
フラムカップリング14,15が設けられている。この
軸封装置8の詳細な構成は後述する。また、この回転軸
6は、発電機7から見てタービン4側であって、圧力容
器3外部に設けられた油軸受け16によって回転自在に
固定されている。さらに、この回転軸6は、発電機7か
ら見てタービン4とは反対側であって、圧力容器3外部
に設けられた油軸受け17によって回転自在に固定され
ている。
【0033】次に、軸封装置8について詳細に説明す
る。
る。
【0034】図3は、本発明における軸封装置8の構成
を示す。
を示す。
【0035】図3を参照すると、本発明における軸封装
置8の構成は、回転軸6の外周部と第1の外壁部21a
の内部との間に設けられた領域である第1の容積部21
を有する。この第1の容積部21は、圧力容器3から見
て軸方向6aに設けられている。ここで、回転軸6の軸
方向6aは、タービン4から発電機7へ向かう方向を示
す。また、第1の容積部21は、回転軸6の外面部に固
定された第1のドライガスシール22によって圧力容器
3の第2の部分3bに対してシールされている。また、
この第1の容積部21は、回転軸6の軸方向6a側を後
述する第2のドライガスシール32によってシールされ
ている。ここで、第1のドライガスシール22の構成お
よび機能は後述する。
置8の構成は、回転軸6の外周部と第1の外壁部21a
の内部との間に設けられた領域である第1の容積部21
を有する。この第1の容積部21は、圧力容器3から見
て軸方向6aに設けられている。ここで、回転軸6の軸
方向6aは、タービン4から発電機7へ向かう方向を示
す。また、第1の容積部21は、回転軸6の外面部に固
定された第1のドライガスシール22によって圧力容器
3の第2の部分3bに対してシールされている。また、
この第1の容積部21は、回転軸6の軸方向6a側を後
述する第2のドライガスシール32によってシールされ
ている。ここで、第1のドライガスシール22の構成お
よび機能は後述する。
【0036】第1の容積部21内部はヘリウムガスによ
って満たされている。ここで、このヘリウムガスのガス
圧をP1とする。
って満たされている。ここで、このヘリウムガスのガス
圧をP1とする。
【0037】第1の容積部21には、第1の外壁部21
aを貫通する第1の配管23が接続されている。第1の
容積部21は、この第1の配管23によって、ヘリウム
ガスバッファタンク24、圧力調整弁25を介してヘリ
ウム供給装置26と接続されている。ヘリウムガスバッ
ファタンク24は、第1の容積部21内部のヘリウムガ
スのガス圧P1を急激に変化させないために設けられた
タンクである。圧力調整弁25は、開閉可能な弁であっ
て、後述する第1のコントローラ31からの開閉指示に
応じて開閉する。ヘリウム供給装置26は、圧力調整弁
25が開いているときに、第1の容積部21内部でのヘ
リウムガスのガス圧P1よりもはるかに高圧(P0とす
る)のヘリウムガスを第1の容積部21へ供給する機能
を有する。
aを貫通する第1の配管23が接続されている。第1の
容積部21は、この第1の配管23によって、ヘリウム
ガスバッファタンク24、圧力調整弁25を介してヘリ
ウム供給装置26と接続されている。ヘリウムガスバッ
ファタンク24は、第1の容積部21内部のヘリウムガ
スのガス圧P1を急激に変化させないために設けられた
タンクである。圧力調整弁25は、開閉可能な弁であっ
て、後述する第1のコントローラ31からの開閉指示に
応じて開閉する。ヘリウム供給装置26は、圧力調整弁
25が開いているときに、第1の容積部21内部でのヘ
リウムガスのガス圧P1よりもはるかに高圧(P0とす
る)のヘリウムガスを第1の容積部21へ供給する機能
を有する。
【0038】また、第1の容積部21内部には第1の容
積部21内部のヘリウムガスの圧力P1を測定するため
の第1の圧力センサ27が設けられている。さらに、圧
力容器3の第2の部分3bの内部に、その第2の部分3
b内部のヘリウムガスの圧力(P2とする)を測定する
ための第2の圧力センサ28が設けられている。第1の
圧力センサ27および第2の圧力センサ28は、第1の
減算器29と接続されている。
積部21内部のヘリウムガスの圧力P1を測定するため
の第1の圧力センサ27が設けられている。さらに、圧
力容器3の第2の部分3bの内部に、その第2の部分3
b内部のヘリウムガスの圧力(P2とする)を測定する
ための第2の圧力センサ28が設けられている。第1の
圧力センサ27および第2の圧力センサ28は、第1の
減算器29と接続されている。
【0039】第1の減算器29は、差圧設定器30と接
続されている。この第1の減算器29は、第1の圧力セ
ンサ27で測定された圧力P1から、第2の圧力センサ
28で測定された圧力P2を減算して得られた差圧(P
1−P2)を示す差圧データを差圧設定器30へ送信す
る。
続されている。この第1の減算器29は、第1の圧力セ
ンサ27で測定された圧力P1から、第2の圧力センサ
28で測定された圧力P2を減算して得られた差圧(P
1−P2)を示す差圧データを差圧設定器30へ送信す
る。
【0040】差圧設定器30は、第1のコントローラ3
1と接続されている。この差圧設定器30は、第1の減
算器29から送信された差圧データで示される差圧(P
1−P2)に予め定められた圧力α(α>0)を減算し
て得られた差圧(P1−P2−α)を示す差圧データを
第1のコントローラ31に送信する。
1と接続されている。この差圧設定器30は、第1の減
算器29から送信された差圧データで示される差圧(P
1−P2)に予め定められた圧力α(α>0)を減算し
て得られた差圧(P1−P2−α)を示す差圧データを
第1のコントローラ31に送信する。
【0041】第1のコントローラ31は、差圧設定器3
0から送信された差圧データで示される差圧(P1−P
2−α)に基づいて、常に圧力P1>圧力P2を満たす
ように圧力調整弁25の開閉を制御する。このため、こ
の第1のドライガスシール22を通過する少量のヘリウ
ムガスは、常に第1の容積部21の内部から圧力容器3
の第2の部分3bの内部へ至る。ここで、第1のコント
ローラ31による圧力調整弁25の開閉の制御の詳細は
後述する。
0から送信された差圧データで示される差圧(P1−P
2−α)に基づいて、常に圧力P1>圧力P2を満たす
ように圧力調整弁25の開閉を制御する。このため、こ
の第1のドライガスシール22を通過する少量のヘリウ
ムガスは、常に第1の容積部21の内部から圧力容器3
の第2の部分3bの内部へ至る。ここで、第1のコント
ローラ31による圧力調整弁25の開閉の制御の詳細は
後述する。
【0042】また、第1の容積部21から見て軸方向6
aに、第2のドライガスシール32によって第1の容積
部21に対してシールされた第2の容積部36が設けら
れている。この第2の容積部36は、回転軸6の外周部
と第2の外壁部36aの内部との間の領域である。さら
に、この第2の容積部36は、回転軸6の軸方向6a側
を後述する第3のドライガスシール39によってシール
されている。ここで、第2のドライガスシール32の詳
細な構成および機能は後述する。
aに、第2のドライガスシール32によって第1の容積
部21に対してシールされた第2の容積部36が設けら
れている。この第2の容積部36は、回転軸6の外周部
と第2の外壁部36aの内部との間の領域である。さら
に、この第2の容積部36は、回転軸6の軸方向6a側
を後述する第3のドライガスシール39によってシール
されている。ここで、第2のドライガスシール32の詳
細な構成および機能は後述する。
【0043】第2の容積部36内部はヘリウムガスによ
って満たされている。ここで、このヘリウムガスのガス
圧をP3とする。
って満たされている。ここで、このヘリウムガスのガス
圧をP3とする。
【0044】第2の容積部36には、第2の外壁部36
aを貫通する第2の配管33と接続されている。この第
2の配管33は、第2の容積部36からヘリウムガス再
循環用バッファタンク35、ヘリウムガス再循環圧縮機
34を介して第1の外壁部21aを貫通して第1の容積
部21へと接続されている。
aを貫通する第2の配管33と接続されている。この第
2の配管33は、第2の容積部36からヘリウムガス再
循環用バッファタンク35、ヘリウムガス再循環圧縮機
34を介して第1の外壁部21aを貫通して第1の容積
部21へと接続されている。
【0045】ヘリウムガス再循環用バッファタンク35
は、第2の容積部36内部のヘリウムガスのガス圧P3
を急激に変化させないために設けられたタンクである。
また、ヘリウムガス再循環圧縮機34は、第2の容積部
36内部およびヘリウムガス再循環用バッファタンク3
5内部のヘリウムガスを取得して圧縮し、その圧縮され
たヘリウムガスを第2の配管33を通して第1の容積部
21へと供給する機能を有する。ここで、ヘリウムガス
再循環圧縮機34のヘリウムガス圧縮動作は、ヘリウム
ガス再循環圧縮機34と接続されている第2のコントロ
ーラ38によって制御される。この第2のコントローラ
38は、第2の容積部36内部に設けられ、第2の容積
部36内部のヘリウムガスの圧力P3を測定する第3の
圧力センサ37と接続されている。この第2のコントロ
ーラ38は、この第3の圧力センサ37によって測定さ
れた圧力P3が第1の容積部21内部のガス圧P1より
も低く、大気圧(Paとする)よりも高くなるようにヘ
リウムガス再循環圧縮機34の動作を制御する。このた
め、この第2のドライガスシール32を通過する少量の
ヘリウムガスは、常に第1の容積部21の内部から第2
の容積部36の内部へ至る。ここで、この第2のコント
ローラ38によるヘリウムガス再循環圧縮機34の動作
の制御の詳細は後述する。
は、第2の容積部36内部のヘリウムガスのガス圧P3
を急激に変化させないために設けられたタンクである。
また、ヘリウムガス再循環圧縮機34は、第2の容積部
36内部およびヘリウムガス再循環用バッファタンク3
5内部のヘリウムガスを取得して圧縮し、その圧縮され
たヘリウムガスを第2の配管33を通して第1の容積部
21へと供給する機能を有する。ここで、ヘリウムガス
再循環圧縮機34のヘリウムガス圧縮動作は、ヘリウム
ガス再循環圧縮機34と接続されている第2のコントロ
ーラ38によって制御される。この第2のコントローラ
38は、第2の容積部36内部に設けられ、第2の容積
部36内部のヘリウムガスの圧力P3を測定する第3の
圧力センサ37と接続されている。この第2のコントロ
ーラ38は、この第3の圧力センサ37によって測定さ
れた圧力P3が第1の容積部21内部のガス圧P1より
も低く、大気圧(Paとする)よりも高くなるようにヘ
リウムガス再循環圧縮機34の動作を制御する。このた
め、この第2のドライガスシール32を通過する少量の
ヘリウムガスは、常に第1の容積部21の内部から第2
の容積部36の内部へ至る。ここで、この第2のコント
ローラ38によるヘリウムガス再循環圧縮機34の動作
の制御の詳細は後述する。
【0046】また、第2の容積部36から見て軸方向6
aにあって、第3のドライガスシール39によって第2
の容積部36に対してシールされた第3の容積部40が
設けられている。ここで、第3のドライガスシール39
の構成および機能は後述する。
aにあって、第3のドライガスシール39によって第2
の容積部36に対してシールされた第3の容積部40が
設けられている。ここで、第3のドライガスシール39
の構成および機能は後述する。
【0047】この第3の容積部40は、回転軸6の外周
部と第3の外壁部40aの内部との間の領域である。さ
らに、この第3の容積部36は、回転軸6の軸方向6a
側を後述するラビリンスシール43によってシールされ
ている。ここで、第3の容積部40から見て軸方向6a
であって、ラビリンスシール43によって第3の容積部
40に対してシールされた圧力容器外部44が配置され
ている。この圧力容器外部44には大気が存在し、この
大気の大気圧はPaである。
部と第3の外壁部40aの内部との間の領域である。さ
らに、この第3の容積部36は、回転軸6の軸方向6a
側を後述するラビリンスシール43によってシールされ
ている。ここで、第3の容積部40から見て軸方向6a
であって、ラビリンスシール43によって第3の容積部
40に対してシールされた圧力容器外部44が配置され
ている。この圧力容器外部44には大気が存在し、この
大気の大気圧はPaである。
【0048】この第3の容積部40は、第3の外壁部4
0aを貫通して第3の配管41と接続されている。この
第3の配管41は、第3の容積部40から減圧吸引機4
2を介して図示しないガス処理装置へ接続されている。
0aを貫通して第3の配管41と接続されている。この
第3の配管41は、第3の容積部40から減圧吸引機4
2を介して図示しないガス処理装置へ接続されている。
【0049】この減圧吸引機42は、第3の容積部40
内部から気体をガス処理装置へ供給する機能を有する。
この減圧吸引機42は、減圧吸引機42と接続されてい
る第3のコントローラ46によってその気体の供給量を
制御されている。この第3のコントローラ46は、第3
の容積部40内部の気体の圧力(P4とする)を測定す
る第4の圧力センサ45と接続されている。この第3の
コントローラ46は、この第4の圧力センサ45で測定
された圧力P4が第2の容積部36内部のガス圧P3、
および大気圧Paよりも低くなるように減圧吸引機42
の動作を制御する。ここで、この第3のコントローラ4
6による減圧吸引機42の動作の制御の詳細は後述す
る。
内部から気体をガス処理装置へ供給する機能を有する。
この減圧吸引機42は、減圧吸引機42と接続されてい
る第3のコントローラ46によってその気体の供給量を
制御されている。この第3のコントローラ46は、第3
の容積部40内部の気体の圧力(P4とする)を測定す
る第4の圧力センサ45と接続されている。この第3の
コントローラ46は、この第4の圧力センサ45で測定
された圧力P4が第2の容積部36内部のガス圧P3、
および大気圧Paよりも低くなるように減圧吸引機42
の動作を制御する。ここで、この第3のコントローラ4
6による減圧吸引機42の動作の制御の詳細は後述す
る。
【0050】上記に示すように、第3の容積部40内部
の気体の圧力P4は、大気圧Paよりも低くなるように
制御されている。このために、ラビリンスシール43を
通過する少量の気体は、常に圧力容器外部44から第3
の容積部40内部へ至る。また、第3の容積部40内部
の気体の圧力P4は第2の容積部36内部のガス圧P3
よりも低くなるように制御されている。このために、第
3のドライガスシール39を通過する少量の気体は、第
2の容積部36内部から第3の容積部40内部へ至る。
よって、第3の容積部40内部の気体は大気とヘリウム
ガスの混合気体となる。
の気体の圧力P4は、大気圧Paよりも低くなるように
制御されている。このために、ラビリンスシール43を
通過する少量の気体は、常に圧力容器外部44から第3
の容積部40内部へ至る。また、第3の容積部40内部
の気体の圧力P4は第2の容積部36内部のガス圧P3
よりも低くなるように制御されている。このために、第
3のドライガスシール39を通過する少量の気体は、第
2の容積部36内部から第3の容積部40内部へ至る。
よって、第3の容積部40内部の気体は大気とヘリウム
ガスの混合気体となる。
【0051】以下に、第1のドライガスシール22の構
成および機能を説明する。
成および機能を説明する。
【0052】図4は、第1のドライガスシール22の構
成を示す。
成を示す。
【0053】この第1のドライガスシール22は、図4
に示すように、回転部51と静止部k52とから構成さ
れる。回転部51は回転軸6の外周部に固定されてい
る。静止部52は、圧力容器3の外壁の内面部および第
1の外壁部21aの内面部に固定され、回転軸6とは離
れて設けられている。回転部51は、軸方向6aの反対
側に軸方向6aとはほぼ垂直な面部を有する。その軸方
向6aとはほぼ垂直な面部に第1の摺動面部53は設け
られている。この第1の摺動面部53には、スパイラル
状の溝が設けられている。また、固定部52にはその軸
方向6aとはほぼ垂直な面部であって、上記第1の摺動
面部53と接触している第2の摺動面部54が設けられ
ている。この第2の摺動面部54は、ほぼ平面によって
構成される。
に示すように、回転部51と静止部k52とから構成さ
れる。回転部51は回転軸6の外周部に固定されてい
る。静止部52は、圧力容器3の外壁の内面部および第
1の外壁部21aの内面部に固定され、回転軸6とは離
れて設けられている。回転部51は、軸方向6aの反対
側に軸方向6aとはほぼ垂直な面部を有する。その軸方
向6aとはほぼ垂直な面部に第1の摺動面部53は設け
られている。この第1の摺動面部53には、スパイラル
状の溝が設けられている。また、固定部52にはその軸
方向6aとはほぼ垂直な面部であって、上記第1の摺動
面部53と接触している第2の摺動面部54が設けられ
ている。この第2の摺動面部54は、ほぼ平面によって
構成される。
【0054】次に、第1のドライガスシール22の機能
を説明する。
を説明する。
【0055】まず、回転部51が静止している場合、第
1の摺動面部53と第2の摺動面部54とは密着してい
る。この場合、第1の摺動面部53と第2の摺動面部5
4との間を気体が通過することはできない。
1の摺動面部53と第2の摺動面部54とは密着してい
る。この場合、第1の摺動面部53と第2の摺動面部5
4との間を気体が通過することはできない。
【0056】次に、回転部51が回転している場合、第
1の摺動面部53に設けられたスパイラル状の溝によ
り、回転部51と固定部52には、第1の摺動面部53
と第2の摺動面部54との間を開こうとする力(第1の
力)が加えられる。また、回転部51および固定部52
は固定されているために、回転部51と固定部52に第
1の力が加えられると、回転部51と固定部52には、
第1の摺動面部53と第2の摺動面部54とを接触させ
ようとする力(第2の力)が加えられる。上記に示す第
1の力と第2の力とのバランス関係によって、第1の摺
動面部53と第2の摺動面部54との間に小さな隙間を
発生させることができる。この結果、固定部52は回転
部51の回転を妨げない。さらに、第1の摺動面部53
と第2の摺動面部54との間の隙間が小さいために、こ
の隙間を通過する気体の量を少なくすることができる。
この場合、この隙間を通過する気体(ヘリウムガス)は
第1の容積部21から第2の部分3bへと流れる。これ
は、第1のコントローラ31によって第1の容積部21
内部のヘリウムガスのガス圧(P1)が第2の部分3b
内部ヘリウムガスのガス圧(P2)よりも高くなるよう
に調整されているためである。
1の摺動面部53に設けられたスパイラル状の溝によ
り、回転部51と固定部52には、第1の摺動面部53
と第2の摺動面部54との間を開こうとする力(第1の
力)が加えられる。また、回転部51および固定部52
は固定されているために、回転部51と固定部52に第
1の力が加えられると、回転部51と固定部52には、
第1の摺動面部53と第2の摺動面部54とを接触させ
ようとする力(第2の力)が加えられる。上記に示す第
1の力と第2の力とのバランス関係によって、第1の摺
動面部53と第2の摺動面部54との間に小さな隙間を
発生させることができる。この結果、固定部52は回転
部51の回転を妨げない。さらに、第1の摺動面部53
と第2の摺動面部54との間の隙間が小さいために、こ
の隙間を通過する気体の量を少なくすることができる。
この場合、この隙間を通過する気体(ヘリウムガス)は
第1の容積部21から第2の部分3bへと流れる。これ
は、第1のコントローラ31によって第1の容積部21
内部のヘリウムガスのガス圧(P1)が第2の部分3b
内部ヘリウムガスのガス圧(P2)よりも高くなるよう
に調整されているためである。
【0057】上記に示すように、この第1のドライガス
シール22は、回転部51が回転している場合、第1の
摺動面部53と第2の摺動面部54との間に発生させる
隙間が小さいために、この第1のドライガスシール22
を通過する気体の量を少なくすることが可能である。ま
た、この第1のドライガスシール22は、回転部51が
回転している場合、第1の摺動面部53と第2の摺動面
部54とが接触しないために、回転部51に固定されて
いる回転軸6の動力損失を少なくすることが可能であ
る。さらに、この第1のドライガスシール22は、潤滑
油を使用していないために、摂氏700度以上の高温の気
体をシールすることが可能である。
シール22は、回転部51が回転している場合、第1の
摺動面部53と第2の摺動面部54との間に発生させる
隙間が小さいために、この第1のドライガスシール22
を通過する気体の量を少なくすることが可能である。ま
た、この第1のドライガスシール22は、回転部51が
回転している場合、第1の摺動面部53と第2の摺動面
部54とが接触しないために、回転部51に固定されて
いる回転軸6の動力損失を少なくすることが可能であ
る。さらに、この第1のドライガスシール22は、潤滑
油を使用していないために、摂氏700度以上の高温の気
体をシールすることが可能である。
【0058】次に、第2のドライガスシール32の構成
および機能を説明する。
および機能を説明する。
【0059】この第2のドライガスシール32は、図4
で示される第1のドライガスシール22に対して、固定
部52が第1の外壁部21aの内面部および第2の外壁
部36aの内面部に固定されていること以外は、この第
1のドライガスシール22と同じ構成を有する。
で示される第1のドライガスシール22に対して、固定
部52が第1の外壁部21aの内面部および第2の外壁
部36aの内面部に固定されていること以外は、この第
1のドライガスシール22と同じ構成を有する。
【0060】次に、第2のドライガスシール32の機能
を説明する。この第2のドライガスシール32の機能は
第1のドライガスシール22の機能と同じである。ま
た、回転部51が回転している場合、第1の摺動面部5
3と第2の摺動面部54との間に生じる小さな隙間を通
過する気体(ヘリウムガス)は、第1の容積部21から
第2の容積部36へ至る。これは、第2のコントローラ
38によって第1の容積部21内部のヘリウムガスのガ
ス圧(P1)が第2の容積部36内部のヘリウムガスの
ガス圧(P3)よりも高くなるように調整されているた
めである。
を説明する。この第2のドライガスシール32の機能は
第1のドライガスシール22の機能と同じである。ま
た、回転部51が回転している場合、第1の摺動面部5
3と第2の摺動面部54との間に生じる小さな隙間を通
過する気体(ヘリウムガス)は、第1の容積部21から
第2の容積部36へ至る。これは、第2のコントローラ
38によって第1の容積部21内部のヘリウムガスのガ
ス圧(P1)が第2の容積部36内部のヘリウムガスの
ガス圧(P3)よりも高くなるように調整されているた
めである。
【0061】上記に示すように、この第2のドライガス
シール32は、第1のドライガスシール22と同様に、
この第2のドライガスシール32を通過する気体の量を
少なくすることが可能である。また、この第2のドライ
ガスシール32は、回転部51に固定されている回転軸
6の動力損失を少なくすることが可能である。さらに、
この第2のドライガスシール32は、摂氏700度以上の
高温の気体をシールすることが可能である。
シール32は、第1のドライガスシール22と同様に、
この第2のドライガスシール32を通過する気体の量を
少なくすることが可能である。また、この第2のドライ
ガスシール32は、回転部51に固定されている回転軸
6の動力損失を少なくすることが可能である。さらに、
この第2のドライガスシール32は、摂氏700度以上の
高温の気体をシールすることが可能である。
【0062】次に、第3のドライガスシール39の構成
および機能を説明する。
および機能を説明する。
【0063】この第3のドライガスシール39は、図4
で示される第1のドライガスシール22に対して、固定
部52が第2の外壁部36aの内面部および第3の外壁
部40aの内面部に固定されていること以外は、この第
1のドライガスシール22と同じ構成を有する。
で示される第1のドライガスシール22に対して、固定
部52が第2の外壁部36aの内面部および第3の外壁
部40aの内面部に固定されていること以外は、この第
1のドライガスシール22と同じ構成を有する。
【0064】次に、第3のドライガスシール39の機能
を説明する。この第3のドライガスシール39の機能は
第1のドライガスシール22の機能と同じである。ま
た、回転部51が回転している場合、第1の摺動面部5
3と第2の摺動面部54との間に生じる小さな隙間を通
過する気体(ヘリウムガス)は、第2の容積部36から
第3の容積部40へ至る。これは、第3のコントローラ
46によって第2の容積部36内部のヘリウムガスのガ
ス圧(P3)が第3の容積部40内部の気体のガス圧
(P4)よりも高くなるように調整されているためであ
る。
を説明する。この第3のドライガスシール39の機能は
第1のドライガスシール22の機能と同じである。ま
た、回転部51が回転している場合、第1の摺動面部5
3と第2の摺動面部54との間に生じる小さな隙間を通
過する気体(ヘリウムガス)は、第2の容積部36から
第3の容積部40へ至る。これは、第3のコントローラ
46によって第2の容積部36内部のヘリウムガスのガ
ス圧(P3)が第3の容積部40内部の気体のガス圧
(P4)よりも高くなるように調整されているためであ
る。
【0065】上記に示すように、この第3のドライガス
シール39は、第1のドライガスシール22と同様に、
この第3のドライガスシール39を通過する気体の量を
少なくすることが可能である。また、この第3のドライ
ガスシール39は、回転部51に固定されている回転軸
6の動力損失を少なくすることが可能である。さらに、
この第3のドライガスシール39は、摂氏700度以上の
高温の気体をシールすることが可能である。
シール39は、第1のドライガスシール22と同様に、
この第3のドライガスシール39を通過する気体の量を
少なくすることが可能である。また、この第3のドライ
ガスシール39は、回転部51に固定されている回転軸
6の動力損失を少なくすることが可能である。さらに、
この第3のドライガスシール39は、摂氏700度以上の
高温の気体をシールすることが可能である。
【0066】次に、第1のコントローラ31による圧力
調整弁25の開閉の制御動作を説明する。
調整弁25の開閉の制御動作を説明する。
【0067】図5は、差圧設定器30から送信された差
圧データと第1のコントローラ31による圧力調整弁2
5の開閉の制御状態を示すグラフである。ここで、図5
の横軸は、差圧(P1−P2)を示す。また、図5の縦
軸は、第1のコントローラ31が圧力調整弁25に出力
する信号を示す。
圧データと第1のコントローラ31による圧力調整弁2
5の開閉の制御状態を示すグラフである。ここで、図5
の横軸は、差圧(P1−P2)を示す。また、図5の縦
軸は、第1のコントローラ31が圧力調整弁25に出力
する信号を示す。
【0068】図5を参照すると、まず、差圧設定器30
から第1のコントローラ31へ送信された差圧データで
示される差圧(P1−P2−α)が圧力−α1(0<α
1<α)以下である場合、第1のコントローラ31は、
圧力調整弁25を全開にするための全開指示信号を圧力
調整弁25に送信する。圧力調整弁25はその全開指示
信号を受けて弁を全開にする。これにより、ヘリウム供
給装置26から第1の容積部21へ圧力P0(P0>>
P1)のヘリウムガスが供給される。ここで、圧力α1
は、第1のコントローラ31によって予め設定されてい
る。
から第1のコントローラ31へ送信された差圧データで
示される差圧(P1−P2−α)が圧力−α1(0<α
1<α)以下である場合、第1のコントローラ31は、
圧力調整弁25を全開にするための全開指示信号を圧力
調整弁25に送信する。圧力調整弁25はその全開指示
信号を受けて弁を全開にする。これにより、ヘリウム供
給装置26から第1の容積部21へ圧力P0(P0>>
P1)のヘリウムガスが供給される。ここで、圧力α1
は、第1のコントローラ31によって予め設定されてい
る。
【0069】次に、ヘリウム供給装置26から第1の容
積部21へ圧力P0(P0>>P1)のヘリウムガスが
供給され続けると、第1の容積部21内部でのヘリウム
ガスの圧力P1が上昇する。ここで、差圧設定器30か
ら第1のコントローラ31へ送信された差圧データで示
される差圧(P1−P2−α)が、圧力α1以上になる
と、第1のコントローラ31は、圧力調整弁25を完全
に閉じるための全閉指示信号を圧力調整弁25に送信す
る。圧力調整弁25はその全閉指示信号を受けて弁を完
全に閉じる。これにより、ヘリウム供給装置26から第
1の容積部21へのヘリウムガスの供給が停止する。
積部21へ圧力P0(P0>>P1)のヘリウムガスが
供給され続けると、第1の容積部21内部でのヘリウム
ガスの圧力P1が上昇する。ここで、差圧設定器30か
ら第1のコントローラ31へ送信された差圧データで示
される差圧(P1−P2−α)が、圧力α1以上になる
と、第1のコントローラ31は、圧力調整弁25を完全
に閉じるための全閉指示信号を圧力調整弁25に送信す
る。圧力調整弁25はその全閉指示信号を受けて弁を完
全に閉じる。これにより、ヘリウム供給装置26から第
1の容積部21へのヘリウムガスの供給が停止する。
【0070】次に、ヘリウム供給装置26から第1の容
積部21へのヘリウムガスの供給が停止されると、第1
の容積部21内部のヘリウムガスは、第1のドライガス
シール22または第2のドライガスシール32を介して
少量ずつ外部へ漏出する。このために、第1の容積部2
1内部のヘリウムガスのガス圧P1は徐々に減少する。
ここで、差圧設定器30から第1のコントローラ31へ
送信された差圧データで示される差圧(P1−P2−
α)が、−α1よりも低くなると、第1のコントローラ
31は、上記で示すように、圧力調整弁25を全開にす
るための全開指示信号を圧力調整弁25に送信する。
積部21へのヘリウムガスの供給が停止されると、第1
の容積部21内部のヘリウムガスは、第1のドライガス
シール22または第2のドライガスシール32を介して
少量ずつ外部へ漏出する。このために、第1の容積部2
1内部のヘリウムガスのガス圧P1は徐々に減少する。
ここで、差圧設定器30から第1のコントローラ31へ
送信された差圧データで示される差圧(P1−P2−
α)が、−α1よりも低くなると、第1のコントローラ
31は、上記で示すように、圧力調整弁25を全開にす
るための全開指示信号を圧力調整弁25に送信する。
【0071】上記に示すように、第1のコントローラ3
1は、第1の容積部21内部のガス圧P1が圧力容器3
の第2の部分3b内部のガス圧P2よりも高い状態を保
つように圧力調整弁25を制御している。また、第1の
コントローラ31は、第1の容積部21内部のガス圧P
1が圧力容器3の第2の部分3b内部のガス圧P2より
も一定値以上高い状態にならないように圧力調整弁25
を制御している。
1は、第1の容積部21内部のガス圧P1が圧力容器3
の第2の部分3b内部のガス圧P2よりも高い状態を保
つように圧力調整弁25を制御している。また、第1の
コントローラ31は、第1の容積部21内部のガス圧P
1が圧力容器3の第2の部分3b内部のガス圧P2より
も一定値以上高い状態にならないように圧力調整弁25
を制御している。
【0072】また、圧力調整弁25を駆動させるための
動力の供給が停止された場合、第1のコントローラ31
は、圧力容器3の第2の部分3b内部からヘリウムガス
が漏出しないように、圧力調整弁25を全開にするよう
に制御する。ここで、圧力調整弁25には、図示しない
予備動力と接続されていることが望ましい。
動力の供給が停止された場合、第1のコントローラ31
は、圧力容器3の第2の部分3b内部からヘリウムガス
が漏出しないように、圧力調整弁25を全開にするよう
に制御する。ここで、圧力調整弁25には、図示しない
予備動力と接続されていることが望ましい。
【0073】次に、この第2のコントローラ38による
ヘリウムガス再循環圧縮機34の制御動作を説明する。
ヘリウムガス再循環圧縮機34の制御動作を説明する。
【0074】図6は、第3の圧力センサ37によって測
定された圧力P3と第2のコントローラ38によるヘリ
ウムガス再循環圧縮機34の制御状態を示すグラフであ
る。ここで、図6の横軸は、差圧(P3−PSTD)を
示す。この圧力PSTDは第2のコントローラ38によ
って予め定められている基準圧力値であって、P4<P
STD<P1であり、後述するように常に|P1−P
STD|>|PSTD−P4|を満たす。また、図6の
縦軸は、第2のコントローラ38がヘリウムガス再循環
圧縮機34に出力する制御信号の状態を示す。
定された圧力P3と第2のコントローラ38によるヘリ
ウムガス再循環圧縮機34の制御状態を示すグラフであ
る。ここで、図6の横軸は、差圧(P3−PSTD)を
示す。この圧力PSTDは第2のコントローラ38によ
って予め定められている基準圧力値であって、P4<P
STD<P1であり、後述するように常に|P1−P
STD|>|PSTD−P4|を満たす。また、図6の
縦軸は、第2のコントローラ38がヘリウムガス再循環
圧縮機34に出力する制御信号の状態を示す。
【0075】図6を参照すると、まず、第3の圧力セン
サ37によって測定された圧力P3と圧力PSTDとの
差分(P3−PSTD)が圧力−β(P4<PSTD−
β<PSTD+β<P1)以下の場合、第2のコントロ
ーラ38はヘリウムガス再循環圧縮機34の動作を停止
させるための停止信号を出力する。ここで、この圧力β
は、第2のコントローラ38によって予め定められてい
る。このとき、ヘリウムガス再循環圧縮機34は、その
停止信号を受けて動作を停止させる。この場合、第2の
容積部36へ第2のドライシールガス32を介して第1
の容積部21から少量ずつヘリウムガスが供給される。
また、第2の容積部36から第3のドライシールガス3
9を介して第3の容積部40へ少量ずつヘリウムガスが
漏出する。ここで、第1の容積部21から供給されるヘ
リウムガスの量が第3の容積部40へ漏出するヘリウム
ガスの量より多い場合、第2の容積部36内部のヘリウ
ムガスのガス圧が上昇する。ここで、一般にドライシー
ルガスはそのドライシールガスでシールされている2つ
の領域の圧力差が大きい場合に、そのドライシールガス
を通過する気体の量は多くなる。このために、本実施例
では、常に|P1−PSTD|>|PSTD−P4|を
満たす圧力PSTDが選択される。
サ37によって測定された圧力P3と圧力PSTDとの
差分(P3−PSTD)が圧力−β(P4<PSTD−
β<PSTD+β<P1)以下の場合、第2のコントロ
ーラ38はヘリウムガス再循環圧縮機34の動作を停止
させるための停止信号を出力する。ここで、この圧力β
は、第2のコントローラ38によって予め定められてい
る。このとき、ヘリウムガス再循環圧縮機34は、その
停止信号を受けて動作を停止させる。この場合、第2の
容積部36へ第2のドライシールガス32を介して第1
の容積部21から少量ずつヘリウムガスが供給される。
また、第2の容積部36から第3のドライシールガス3
9を介して第3の容積部40へ少量ずつヘリウムガスが
漏出する。ここで、第1の容積部21から供給されるヘ
リウムガスの量が第3の容積部40へ漏出するヘリウム
ガスの量より多い場合、第2の容積部36内部のヘリウ
ムガスのガス圧が上昇する。ここで、一般にドライシー
ルガスはそのドライシールガスでシールされている2つ
の領域の圧力差が大きい場合に、そのドライシールガス
を通過する気体の量は多くなる。このために、本実施例
では、常に|P1−PSTD|>|PSTD−P4|を
満たす圧力PSTDが選択される。
【0076】次に、第3の圧力センサ37によって測定
された圧力P3と圧力PSTDとの差分(P3−P
STD)が圧力β以上となると、第2のコントローラ3
8はヘリウムガス再循環圧縮機34を動作させるための
動作開始信号を出力する。ヘリウムガス再循環圧縮機3
4は、その動作開始信号を受けて動作を開始する。ここ
で、ヘリウムガス再循環圧縮機34は、第2の容積部3
6内部にあるヘリウムガスを取得するために、第2の容
積部36内部のガス圧P3は低下する。
された圧力P3と圧力PSTDとの差分(P3−P
STD)が圧力β以上となると、第2のコントローラ3
8はヘリウムガス再循環圧縮機34を動作させるための
動作開始信号を出力する。ヘリウムガス再循環圧縮機3
4は、その動作開始信号を受けて動作を開始する。ここ
で、ヘリウムガス再循環圧縮機34は、第2の容積部3
6内部にあるヘリウムガスを取得するために、第2の容
積部36内部のガス圧P3は低下する。
【0077】次に、第2の容積部36内部のガス圧P3
が低下することによって、第3の圧力センサ37によっ
て測定された圧力P3と圧力PSTDとの差分(P3−
PS TD)が圧力−β以下の場合、上記に示すように、
第2のコントローラ38はヘリウムガス再循環圧縮機3
4の動作を停止させるための停止信号を出力する。
が低下することによって、第3の圧力センサ37によっ
て測定された圧力P3と圧力PSTDとの差分(P3−
PS TD)が圧力−β以下の場合、上記に示すように、
第2のコントローラ38はヘリウムガス再循環圧縮機3
4の動作を停止させるための停止信号を出力する。
【0078】上記に示すように、第2のコントローラ3
8は第2の容積部36内部のガス圧P3が第1の容積部
21内部のガス圧P1よりも低く、かつ第3の容積部4
0内部のガス圧P4よりも高い状態を保つようにヘリウ
ムガス再循環圧縮機34の動作を制御している。
8は第2の容積部36内部のガス圧P3が第1の容積部
21内部のガス圧P1よりも低く、かつ第3の容積部4
0内部のガス圧P4よりも高い状態を保つようにヘリウ
ムガス再循環圧縮機34の動作を制御している。
【0079】また、ヘリウムガス再循環圧縮機34およ
び第2のコントローラ38へ電力の供給が断たれた場合
でも、ヘリウムガス再循環圧縮機34および第2のコン
トローラ38が動作することが可能となるように、ヘリ
ウムガス再循環圧縮機34および第2のコントローラ3
8は図示しない予備電源と接続されていることが望まし
い。
び第2のコントローラ38へ電力の供給が断たれた場合
でも、ヘリウムガス再循環圧縮機34および第2のコン
トローラ38が動作することが可能となるように、ヘリ
ウムガス再循環圧縮機34および第2のコントローラ3
8は図示しない予備電源と接続されていることが望まし
い。
【0080】次に、第3のコントローラ46による減圧
吸引機42の制御動作を説明する。
吸引機42の制御動作を説明する。
【0081】まず、第3のコントローラ46による減圧
吸引機42の制御動作の第1の実施形態を説明する。
吸引機42の制御動作の第1の実施形態を説明する。
【0082】図7は、第3のコントローラ46による減
圧吸引機42の制御動作の第1の実施形態における、第
4の圧力センサ45によって測定された圧力P4と第3
のコントローラ46による減圧吸引機42の制御状態を
示すグラフである。ここで、図7の横軸は、差圧(P4
−PSTD2)を示す。この圧力PSTD2は第3のコ
ントローラ46によって予め定められている基準圧力値
であって、0<PST D2<Pa(Paは大気圧)を満
たす。図7の縦軸は、減圧吸引機42の回転数を示す。
ここで、この減圧吸引機42は、図示しないブレードを
回転させることによって、第3の容積部40内部の気体
を図示しないガス処理装置へと供給する機能を有する。
この減圧吸引機42は、このブレードの回転数を増加さ
せると、第3の容積部40内部の気体に対するガス処理
装置への供給量を増加させる。また、この減圧吸引機4
2は、このブレードの回転数を減少させると、第3の容
積部40内部の気体に対するガス処理装置への供給量を
減少させる。
圧吸引機42の制御動作の第1の実施形態における、第
4の圧力センサ45によって測定された圧力P4と第3
のコントローラ46による減圧吸引機42の制御状態を
示すグラフである。ここで、図7の横軸は、差圧(P4
−PSTD2)を示す。この圧力PSTD2は第3のコ
ントローラ46によって予め定められている基準圧力値
であって、0<PST D2<Pa(Paは大気圧)を満
たす。図7の縦軸は、減圧吸引機42の回転数を示す。
ここで、この減圧吸引機42は、図示しないブレードを
回転させることによって、第3の容積部40内部の気体
を図示しないガス処理装置へと供給する機能を有する。
この減圧吸引機42は、このブレードの回転数を増加さ
せると、第3の容積部40内部の気体に対するガス処理
装置への供給量を増加させる。また、この減圧吸引機4
2は、このブレードの回転数を減少させると、第3の容
積部40内部の気体に対するガス処理装置への供給量を
減少させる。
【0083】図7を参照すると、まず、第4の圧力セン
サ45によって測定された圧力P4が圧力PSTD2と
ほぼ等しい場合、減圧吸引機42は、予め定められた回
転数R0でブレードを回転させる。
サ45によって測定された圧力P4が圧力PSTD2と
ほぼ等しい場合、減圧吸引機42は、予め定められた回
転数R0でブレードを回転させる。
【0084】次に、第4の圧力センサ45によって測定
された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力r1(r1>0)以上の場合、第3の
コントローラ46は減圧吸引機42の回転数を増加させ
る。この圧力r1は、第3のコントローラ46によって
予め定められている。ここで、第3のコントローラ46
は、この回転数の増分を圧力(P4−PSTD2−r
1)にほぼ比例するように連続的に定める。この結果、
減圧吸引機42の回転数が増加することにより、減圧吸
引機42は第3の容積部40内部から、より多くの気体
をガス処理装置へ供給する。このため、第3の容積部4
0内部のガス圧P4は減少する。
された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力r1(r1>0)以上の場合、第3の
コントローラ46は減圧吸引機42の回転数を増加させ
る。この圧力r1は、第3のコントローラ46によって
予め定められている。ここで、第3のコントローラ46
は、この回転数の増分を圧力(P4−PSTD2−r
1)にほぼ比例するように連続的に定める。この結果、
減圧吸引機42の回転数が増加することにより、減圧吸
引機42は第3の容積部40内部から、より多くの気体
をガス処理装置へ供給する。このため、第3の容積部4
0内部のガス圧P4は減少する。
【0085】また、第4の圧力センサ45によって測定
された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力−r2(r2>0)以下の場合、第3
のコントローラ46は減圧吸引機42の回転数を減少さ
せる。この圧力r2は、第3のコントローラ46によっ
て予め定められている。ここで、第3のコントローラ4
6は、この回転数の減少分を圧力(P4−PSTD2+
r2)にほぼ比例するように連続的に定める。この結
果、減圧吸引機42の回転数が減少することにより、減
圧吸引機42は第3の容積部40内部からガス処理装置
へ供給する気体の量を減少させる。このため、第3の容
積部40内部のガス圧P4は増加する。
された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力−r2(r2>0)以下の場合、第3
のコントローラ46は減圧吸引機42の回転数を減少さ
せる。この圧力r2は、第3のコントローラ46によっ
て予め定められている。ここで、第3のコントローラ4
6は、この回転数の減少分を圧力(P4−PSTD2+
r2)にほぼ比例するように連続的に定める。この結
果、減圧吸引機42の回転数が減少することにより、減
圧吸引機42は第3の容積部40内部からガス処理装置
へ供給する気体の量を減少させる。このため、第3の容
積部40内部のガス圧P4は増加する。
【0086】また、減圧吸引機42および第3のコント
ローラ46へ電力の供給が断たれた場合でも、減圧吸引
機42および第3のコントローラ46が動作することが
可能となるように、減圧吸引機42および第3のコント
ローラ46は図示しない予備電源と接続されていること
が望ましい。
ローラ46へ電力の供給が断たれた場合でも、減圧吸引
機42および第3のコントローラ46が動作することが
可能となるように、減圧吸引機42および第3のコント
ローラ46は図示しない予備電源と接続されていること
が望ましい。
【0087】次に、第3のコントローラ46による減圧
吸引機42の制御動作の第2の実施形態を説明する。
吸引機42の制御動作の第2の実施形態を説明する。
【0088】図8は、第3のコントローラ46による減
圧吸引機42の制御動作の第2の実施形態における、第
4の圧力センサ45によって測定された圧力P4と第3
のコントローラ46による減圧吸引機42の制御状態を
示すグラフである。ここで、図8の横軸は、差圧(P4
−PSTD2)を示す。この圧力PSTD2は第3のコ
ントローラ46によって予め定められている基準圧力値
であって、0<PST D2<Pa(Paは大気圧)を満
たす。図8の縦軸は、減圧吸引機42の回転数を示す。
ここで、この減圧吸引機42の構成および機能は、上記
に示すこの制御動作の第1の実施形態での減圧吸引機4
2と同じである。
圧吸引機42の制御動作の第2の実施形態における、第
4の圧力センサ45によって測定された圧力P4と第3
のコントローラ46による減圧吸引機42の制御状態を
示すグラフである。ここで、図8の横軸は、差圧(P4
−PSTD2)を示す。この圧力PSTD2は第3のコ
ントローラ46によって予め定められている基準圧力値
であって、0<PST D2<Pa(Paは大気圧)を満
たす。図8の縦軸は、減圧吸引機42の回転数を示す。
ここで、この減圧吸引機42の構成および機能は、上記
に示すこの制御動作の第1の実施形態での減圧吸引機4
2と同じである。
【0089】図8を参照すると、まず、第4の圧力セン
サ45によって測定された圧力P4が圧力PSTD2と
ほぼ等しい場合、減圧吸引機42は、予め定められた回
転数R0でブレードを回転させる。
サ45によって測定された圧力P4が圧力PSTD2と
ほぼ等しい場合、減圧吸引機42は、予め定められた回
転数R0でブレードを回転させる。
【0090】次に、第4の圧力センサ45によって測定
された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力r3(r3>0)以上の場合、第3の
コントローラ46は減圧吸引機42の回転数をR1(R
1>R0)に増加させる。ここで、この圧力r3は、第
3のコントローラ46によって予め定められている。ま
た、この回転数R1も、第3のコントローラ46によっ
て予め定められている。この結果、減圧吸引機42の回
転数が増加することにより、減圧吸引機42は第3の容
積部40内部から、より多くの気体をガス処理装置へ供
給する。このため、第3の容積部40内部のガス圧P4
は減少する。
された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力r3(r3>0)以上の場合、第3の
コントローラ46は減圧吸引機42の回転数をR1(R
1>R0)に増加させる。ここで、この圧力r3は、第
3のコントローラ46によって予め定められている。ま
た、この回転数R1も、第3のコントローラ46によっ
て予め定められている。この結果、減圧吸引機42の回
転数が増加することにより、減圧吸引機42は第3の容
積部40内部から、より多くの気体をガス処理装置へ供
給する。このため、第3の容積部40内部のガス圧P4
は減少する。
【0091】この後、第4の圧力センサ45によって測
定された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力r4(0<r4<r3)以下に減少し
た場合、第3のコントローラ46は減圧吸引機42の回
転数をR0に戻す。ここで、この圧力r4は、第3のコ
ントローラ46によって予め定められている。
定された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力r4(0<r4<r3)以下に減少し
た場合、第3のコントローラ46は減圧吸引機42の回
転数をR0に戻す。ここで、この圧力r4は、第3のコ
ントローラ46によって予め定められている。
【0092】また、第4の圧力センサ45によって測定
された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力−r5(r5>0)以下の場合、第3
のコントローラ46は減圧吸引機42の回転数をR2
(R2<R0)に減少させる。ここで、この圧力r5
は、第3のコントローラ46によって予め定められてい
る。また、この回転数R2も、第3のコントローラ46
によって予め定められている。この結果、減圧吸引機4
2の回転数が減少することにより、減圧吸引機42は第
3の容積部40内部からガス処理装置へ供給する気体の
量を減少させる。このため、第3の容積部40内部のガ
ス圧P4は増加する。
された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力−r5(r5>0)以下の場合、第3
のコントローラ46は減圧吸引機42の回転数をR2
(R2<R0)に減少させる。ここで、この圧力r5
は、第3のコントローラ46によって予め定められてい
る。また、この回転数R2も、第3のコントローラ46
によって予め定められている。この結果、減圧吸引機4
2の回転数が減少することにより、減圧吸引機42は第
3の容積部40内部からガス処理装置へ供給する気体の
量を減少させる。このため、第3の容積部40内部のガ
ス圧P4は増加する。
【0093】この後、第4の圧力センサ45によって測
定された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力−r6(0<r6<r5)以上に増加
した場合、第3のコントローラ46は減圧吸引機42の
回転数をR0に戻す。ここで、この圧力r6は、第3の
コントローラ46によって予め定められている。
定された圧力P4と圧力PSTD2との差分(P4−P
STD2)が圧力−r6(0<r6<r5)以上に増加
した場合、第3のコントローラ46は減圧吸引機42の
回転数をR0に戻す。ここで、この圧力r6は、第3の
コントローラ46によって予め定められている。
【0094】また、減圧吸引機42および第3のコント
ローラ46へ電力の供給が断たれた場合でも、減圧吸引
機42および第3のコントローラ46が動作することが
可能となるように、減圧吸引機42および第3のコント
ローラ46は図示しない予備電源と接続されていること
が望ましい。
ローラ46へ電力の供給が断たれた場合でも、減圧吸引
機42および第3のコントローラ46が動作することが
可能となるように、減圧吸引機42および第3のコント
ローラ46は図示しない予備電源と接続されていること
が望ましい。
【0095】次に、本発明における軸封装置の変形例と
して、第2の容積部36にドライガスシールを介して接
続されたM(Mは、M≧1を満たす整数)個の容積部を
さらに含むことが可能である。ここで、各容積部は、隣
接する容積部との間をドライガスシールで封止され、第
2の外壁部36aのような外壁部と回転軸6によって定
められた領域である。ここで、このドライガスシールの
構成および機能は、第1のドライガスシール22と同じ
である。
して、第2の容積部36にドライガスシールを介して接
続されたM(Mは、M≧1を満たす整数)個の容積部を
さらに含むことが可能である。ここで、各容積部は、隣
接する容積部との間をドライガスシールで封止され、第
2の外壁部36aのような外壁部と回転軸6によって定
められた領域である。ここで、このドライガスシールの
構成および機能は、第1のドライガスシール22と同じ
である。
【0096】このM個の容積部の配置を以下に示す。ま
ず、第2の容積部36に対して、軸方向6aの向きに隣
接して1番目の容積部が設けられている。また、L(L
は、1≦L<Mを満たす整数)番目の容積部に対して、
軸方向6aの向きに隣接して(L+1)番目の容積部が
設けられている。さらに、M番目の容積部に体捨て、軸
方向6aの向きに隣接して第3の容積部40が設けられ
ている。
ず、第2の容積部36に対して、軸方向6aの向きに隣
接して1番目の容積部が設けられている。また、L(L
は、1≦L<Mを満たす整数)番目の容積部に対して、
軸方向6aの向きに隣接して(L+1)番目の容積部が
設けられている。さらに、M番目の容積部に体捨て、軸
方向6aの向きに隣接して第3の容積部40が設けられ
ている。
【0097】L番目の容積部は、第2の容積部36と同
様に、外壁部を貫通する配管と接続されている。ここ
で、L≧2の場合、この配管は、L番目の容積部からL
番目のヘリウムガス再循環用バッファタンク、L番目の
ヘリウムガス再循環圧縮機を介して(L−1)番目の容
積部へと接続されている。また、L=1の場合、この配
管は、L番目の容積部から1番目のヘリウムガス再循環
用バッファタンク、1番目のヘリウムガス再循環圧縮機
を介して第2の容積部36へと接続されている。ここ
で、L番目のヘリウムガス再循環用バッファタンクの構
成および機能は、第2の容積部36と接続されているヘ
リウムガス再循環用バッファタンク35と同じである。
また、L番目のヘリウムガス再循環圧縮機の構成および
機能も、第2の容積部36と接続されているヘリウムガ
ス再循環圧縮機34と同じである。
様に、外壁部を貫通する配管と接続されている。ここ
で、L≧2の場合、この配管は、L番目の容積部からL
番目のヘリウムガス再循環用バッファタンク、L番目の
ヘリウムガス再循環圧縮機を介して(L−1)番目の容
積部へと接続されている。また、L=1の場合、この配
管は、L番目の容積部から1番目のヘリウムガス再循環
用バッファタンク、1番目のヘリウムガス再循環圧縮機
を介して第2の容積部36へと接続されている。ここ
で、L番目のヘリウムガス再循環用バッファタンクの構
成および機能は、第2の容積部36と接続されているヘ
リウムガス再循環用バッファタンク35と同じである。
また、L番目のヘリウムガス再循環圧縮機の構成および
機能も、第2の容積部36と接続されているヘリウムガ
ス再循環圧縮機34と同じである。
【0098】さらに、L番目の容積部の内部には、第2
の容積部36と同様に、そのL番目の容積部の内部のガ
ス圧を測定するためのL番目の圧力センサが設けられて
いる。そのL番目の圧力センサは、ヘリウムガス再循環
圧縮機の動作を制御するためのL番目のコントローラと
接続されている。ここで、L番目のコントローラの機能
は、ヘリウムガス再循環圧縮機34を制御する第2のコ
ントローラ38によって予め定められている基準圧力値
である圧力PSTDが異なることを除くと、この第2の
コントローラ38と同じである。ここで、L番目のコン
トローラによって予め定められている基準圧力値をP
STD(L)とすると、2≦L<Mの場合、P
STD(L−1)−β>PSTD(L)+βを満たすよ
うに各PSTD(L)が設定される。また、L=1の場
合、PSTD−β>PSTD(1)+βを満たすように
PSTD(1)が設定される。さらに、L=Mの場合、
PSTD(M−1)−β>PSTD(M)+β、かつP
STD(M)−β>PSTD2を満たすようにPSTD
(M)が設定される。ここで、この圧力βは、第2のコ
ントローラ38およびL番目のコントローラによって予
め定められている。また、PS TD2は、第3のコント
ローラ46によって予め定められている基準圧力値であ
る。
の容積部36と同様に、そのL番目の容積部の内部のガ
ス圧を測定するためのL番目の圧力センサが設けられて
いる。そのL番目の圧力センサは、ヘリウムガス再循環
圧縮機の動作を制御するためのL番目のコントローラと
接続されている。ここで、L番目のコントローラの機能
は、ヘリウムガス再循環圧縮機34を制御する第2のコ
ントローラ38によって予め定められている基準圧力値
である圧力PSTDが異なることを除くと、この第2の
コントローラ38と同じである。ここで、L番目のコン
トローラによって予め定められている基準圧力値をP
STD(L)とすると、2≦L<Mの場合、P
STD(L−1)−β>PSTD(L)+βを満たすよ
うに各PSTD(L)が設定される。また、L=1の場
合、PSTD−β>PSTD(1)+βを満たすように
PSTD(1)が設定される。さらに、L=Mの場合、
PSTD(M−1)−β>PSTD(M)+β、かつP
STD(M)−β>PSTD2を満たすようにPSTD
(M)が設定される。ここで、この圧力βは、第2のコ
ントローラ38およびL番目のコントローラによって予
め定められている。また、PS TD2は、第3のコント
ローラ46によって予め定められている基準圧力値であ
る。
【0099】上記に示すように、L番目の容積部内部の
ガス圧は、(L−1)番目の容積部内部のガス圧よりも
常に低くなるように制御される。これにより、回転軸6
が回転している時に、L番目の容積部と(L−1)番目
の容積部とを封止しているドライガスシールでは、(L
−1)番目の容積部からL番目の容積部へと少量のガス
が流出する。このことから、これらM個の容積部は、回
転軸6が回転している時に、第2の容積部36から第3
の容積部40へと少量のガスを流出させるが、第3の容
積部40から第2の容積部36へガスを流出させること
を妨げている。
ガス圧は、(L−1)番目の容積部内部のガス圧よりも
常に低くなるように制御される。これにより、回転軸6
が回転している時に、L番目の容積部と(L−1)番目
の容積部とを封止しているドライガスシールでは、(L
−1)番目の容積部からL番目の容積部へと少量のガス
が流出する。このことから、これらM個の容積部は、回
転軸6が回転している時に、第2の容積部36から第3
の容積部40へと少量のガスを流出させるが、第3の容
積部40から第2の容積部36へガスを流出させること
を妨げている。
【0100】上記に示すように、本発明によるヘリウム
ガスタービン発電システムでは、軸封装置を用いること
により、タービンを圧力容器内部に配置し、発電機を圧
力容器外部に配置することが可能であるという効果を有
する。
ガスタービン発電システムでは、軸封装置を用いること
により、タービンを圧力容器内部に配置し、発電機を圧
力容器外部に配置することが可能であるという効果を有
する。
【0101】このために、本発明によるヘリウムガスタ
ービン発電システムでは、従来よりも発電機の体積分圧
力容器を小型化することが可能である。
ービン発電システムでは、従来よりも発電機の体積分圧
力容器を小型化することが可能である。
【0102】また、本発明によるヘリウムガスタービン
発電システムでは、圧力容器を小型化することが可能な
ために、このヘリウムガスタービン発電システムのメン
テナンスにかかる工程を削減することができる。
発電システムでは、圧力容器を小型化することが可能な
ために、このヘリウムガスタービン発電システムのメン
テナンスにかかる工程を削減することができる。
【0103】他に、本発明における軸封装置では、比較
的大型のヘリウムガスタービン発電システムでタービン
を圧力容器内部に配置し、発電機を圧力容器外部に配置
した場合に、タービンと発電機とを接続している軸部分
で圧力容器内部を循環するヘリウムガスが圧力容器外部
へ漏れ出さないように封止することが可能である。
的大型のヘリウムガスタービン発電システムでタービン
を圧力容器内部に配置し、発電機を圧力容器外部に配置
した場合に、タービンと発電機とを接続している軸部分
で圧力容器内部を循環するヘリウムガスが圧力容器外部
へ漏れ出さないように封止することが可能である。
【0104】
【発明の効果】本発明によるヘリウムガスタービン発電
システムでは、軸封装置を用いることにより、タービン
を圧力容器内部に配置し、発電機を圧力容器外部に配置
することが可能であるという効果を有する。
システムでは、軸封装置を用いることにより、タービン
を圧力容器内部に配置し、発電機を圧力容器外部に配置
することが可能であるという効果を有する。
【0105】本発明によるヘリウムガスタービン発電シ
ステムでは、従来よりも圧力容器を小型化することが可
能であるという効果を有する。
ステムでは、従来よりも圧力容器を小型化することが可
能であるという効果を有する。
【0106】本発明によるヘリウムガスタービン発電シ
ステムでは、このヘリウムガスタービン発電システムの
メンテナンスにかかる工程を削減することができるとい
う効果を有する。
ステムでは、このヘリウムガスタービン発電システムの
メンテナンスにかかる工程を削減することができるとい
う効果を有する。
【0107】また、本発明における軸封装置では、ヘリ
ウムガスタービン発電システムでタービンを圧力容器内
部に配置し、発電機を圧力容器外部に配置した場合に、
タービンと発電機とを接続している軸部分で圧力容器内
部を循環するヘリウムガスが圧力容器外部へ漏れ出さな
いように封止することが可能であるという効果を有す
る。
ウムガスタービン発電システムでタービンを圧力容器内
部に配置し、発電機を圧力容器外部に配置した場合に、
タービンと発電機とを接続している軸部分で圧力容器内
部を循環するヘリウムガスが圧力容器外部へ漏れ出さな
いように封止することが可能であるという効果を有す
る。
【図1】本発明におけるヘリウムタービン発電システム
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図2】本発明におけるヘリウムタービン発電システム
でのタービンと発電機との構成を示す。
でのタービンと発電機との構成を示す。
【図3】本発明における軸封装置の構成を示す。
【図4】第1のドライガスシールの構成を示す。
【図5】差圧設定器から送信された差圧データと第1の
コントローラによる圧力調整弁の開閉の制御状態を示す
グラフである。
コントローラによる圧力調整弁の開閉の制御状態を示す
グラフである。
【図6】第3の圧力センサによって測定された圧力と第
2のコントローラによるヘリウムガス再循環圧縮機の制
御状態を示すグラフである。
2のコントローラによるヘリウムガス再循環圧縮機の制
御状態を示すグラフである。
【図7】第3のコントローラによる減圧吸引機の制御動
作の第1の実施形態における、第4の圧力センサによっ
て測定された圧力と第3のコントローラによる減圧吸引
機の制御状態を示すグラフである。
作の第1の実施形態における、第4の圧力センサによっ
て測定された圧力と第3のコントローラによる減圧吸引
機の制御状態を示すグラフである。
【図8】第3のコントローラによる減圧吸引機の制御動
作の第2の実施形態における、第4の圧力センサによっ
て測定された圧力と第3のコントローラによる減圧吸引
機の制御状態を示すグラフである。
作の第2の実施形態における、第4の圧力センサによっ
て測定された圧力と第3のコントローラによる減圧吸引
機の制御状態を示すグラフである。
1 高圧ガス炉 2 配管 3 圧力容器 3a 第1の部分 3b 第2の部分 3c 圧力容器外壁 4 タービン 5 部材 6 回転軸 6a 軸方向 7 発電機 8 軸封装置 9 配管 10 配管 11 熱交換器 12,13 磁気軸受け 14,15 ダイヤフラムカップリング 16,17 油軸受け 21 第1の容積部 21a 第1の外壁部 22 第1のドライガスシール 23 第1の配管 24 ヘリウムガスバッファタンク 25 圧力調整弁 26 ヘリウム供給装置 27 第1の圧力センサ 28 第2の圧力センサ 29 第1の減算器 30 差圧設定器 31 第1のコントローラ 32 第2のドライガスシール 33 第2の配管 34 ヘリウムガス再循環圧縮機 35 ヘリウムガス再循環用バッファタンク 36 第2の容積部 36a 第2の外壁部 37 第3の圧力センサ 38 第2のコントローラ 39 第3のドライガスシール 40 第3の容積部 40a 第3の外壁部 41 第3の配管 42 減圧吸引機 43 ラビリンスシール 44 圧力容器外部 45 第4の圧力センサ 46 第3のコントローラ 51 回転部 52 静止部 53 第1の摺動面部 54 第2の摺動面部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F16J 15/40 F16J 15/447 15/447 G21C 1/00 A G21C 1/00 1/08 1/08 F16J 15/40 C (72)発明者 堤 孝則 長崎県長崎市深堀町五丁目717番1号 三 菱重工業株式会社長崎研究所内 (72)発明者 前川 和彦 長崎県長崎市深堀町五丁目717番1号 三 菱重工業株式会社長崎研究所内 Fターム(参考) 3J042 AA04 BA03 BA08 CA10 DA08
Claims (12)
- 【請求項1】 内部をガスが循環する圧力容器と、 前記ガスを加熱するガス炉と、 前記圧力容器の内部に配置され、前記ガスによって回転
するタービンと、ここで、前記タービンは回転軸を有
し、 前記タービンと前記回転軸によって軸結され、前記圧力
容器の外部に配置された発電機と、ここで、前記回転軸
は前記圧力容器を貫通しており、 前記回転軸が回転自在であるように、前記回転軸が前記
圧力容器を貫通する貫通部に配置され、前記貫通部を通
して前記圧力容器の外部への前記ガスの漏出を防止する
軸封装置と、を具備するタービン発電システム。 - 【請求項2】 請求項1に記載のタービン発電システム
において、 前記ガスはヘリウムガスであるタービン発電システム。 - 【請求項3】 請求項1または2に記載のタービン発電
システムにおいて、前記ガス炉は、前記ガスを摂氏70
0度以上摂氏1,000度以下に加熱する、 タービン発電システム。 - 【請求項4】 第1のガスのための容器と、前記容器を
貫通する回転軸との間に設けられる軸封装置であって、 前記回転軸が回転自在であるように前記回転軸の外周部
に密着して設けられた第1のドライガスシールと、 前記回転軸が回転自在であるように前記回転軸の外周部
に密着して設けられた第2のドライガスシールと、 前記第1のドライガスシールで前記容器と封止され、前
記第2のドライガスシールで前記容器の外部と封止され
ている容積部と、ここで、前記容積部の内部の第2のガ
スは前記第1のガスと組成が実質的に同じであり、 前記容積部の内部のガス圧が前記容器の内部のガス圧よ
りも高くなるように前記容積部の内部のガス圧を制御す
る制御装置と、 を具備する軸封装置。 - 【請求項5】 請求項4に記載の軸封装置において、 前記容積部と接続され、前記容積部内部のガス圧よりも
高圧な前記第2のガスを前記容積部に供給可能なガス供
給装置と、 前記容積部内部の第1のガス圧を測定する第1の圧力セ
ンサと、 前記容器内部の第2のガス圧を測定する第2の圧力セン
サをさらに有し、 前記制御装置は、前記第1のガス圧と前記第2のガス圧
との差分が、予め定められた値以下の場合に、前記第2
のガスを前記容積部へ供給するように前記ガス供給装置
を制御する、 軸封装置。 - 【請求項6】 請求項5に記載の軸封装置において、 前記制御装置は、前記第1のガス圧と前記第2のガス圧
との差分が、前記予め定められた値以上であり、かつ所
定値以上である場合に、前記第2のガスの前記容積部へ
の供給を停止するように前記ガス供給装置を制御する、 軸封装置。 - 【請求項7】 第1のガスのための容器と、前記容器を
貫通する回転軸との間に設けられる軸封装置であって、 N個の容積部と、ここで、前記Nは、N≧3を満たす整
数であり、 N個のドライガスシールと、ここで、前記ドライガスシ
ールは、前記回転軸が回転自在であるように前記回転軸
の外周部に密着して設けられ、 ラビリンスシールと、ここで、前記ラビリンスシール
は、前記回転軸が回転自在であるように前記回転軸の外
周部に密着して設けられ、 N個の制御装置を含み、 第1の容積部は、前記容器および第2の容積部と接続さ
れ、前記容器と第1のドライガスシールで封止され、前
記第2の容積部と第2のドライガスシールで封止されて
おり、前記第1の容積部の内部には前記第1のガスと組
成が実質的に同じである第2のガスが封入されており、 第1の制御装置は、前記第1の容積部の内部でのガスの
ガス圧が前記容器内部でのガス圧よりも高くなるように
前記第1の容積部を制御し、 第Kの容積部は、第(K−1)の容積部および第(K+
1)の容積部と接続され、前記第(K−1)の容積部と
第Kのドライガスシールで封止され、第(K+1)の容
積部と第(K+1)のドライガスシールで封止され、前
記第Kの容積部の内部には前記第2のガスが封入されて
おり、ここで、前記Kは2≦K≦N−1を満たす整数で
あり、 第Kの制御装置は、前記第Kの容積部の内部でのガス圧
が前記第(K−1)の容積部でのガス圧よりも低くなる
ように前記第Kの容積部を制御し、 第Nの容積部は、第(N−1)の容積部および前記容器
の外部と接続され、前記第(N−1)の容積部と第Nの
ドライガスシールで封止され、前記容器の外部と前記ラ
ビリンスシールで封止されており、 第Nの制御装置は、前記第Nの容積部の内部でのガス圧
が前記第(K−1)の容積部でのガス圧および前記容器
の外部での気体の圧力よりも低くなるように前記第Nの
容積部を制御する、軸封装置。 - 【請求項8】 請求項7に記載の軸封装置において、 前記第1の容積部と接続され、前記第1の容積部の内部
のガス圧よりも高圧な前記第2のガスを前記第1の容積
部に供給可能なガス供給装置と、 前記第1の容積部の内部の第1のガス圧を測定する第1
の圧力センサと、 前記容器の内部の第2のガス圧を測定する第2の圧力セ
ンサをさらに有し、 前記第1の制御装置は、前記第1のガス圧と前記第2の
ガス圧との差分が、予め定められた値以下の場合に、前
記第2のガスを前記第1の容積部へ供給するように前記
ガス供給装置を制御する、軸封装置。 - 【請求項9】 請求項8に記載の軸封装置において、 前記第1の制御装置は、前記第1のガス圧と前記第2の
ガス圧との差分が、前記予め定められた値以上であっ
て、かつ所定値以上である場合に、前記第2のガスの前
記第1の容積部への供給を停止するように前記ガス供給
装置を制御する、軸封装置。 - 【請求項10】 請求項7から9のいずれか1項に記載
の軸封装置において、 前記第Kの容積部の内部の第Kのガス圧を測定する第
(K+1)の圧力センサと、 前記第Kの容積部と前記(K−1)の容積部とに接続さ
れ、前記第Kの容積部の内部の前記第2のガスを取得
し、前記取得された第2のガスを圧縮して前記(K−
1)の容積部へ供給することが可能な第Kの圧縮装置を
さらに有し、 前記第Kの制御装置は、 予め定められた第Kの上限圧力および第Kの下限圧力
と、ここで、前記第Kの上限圧力は前記第Kの下限圧力
よりも高く、 前記第Kのガス圧が、前記第Kの上限圧力以上の場合、
前記第Kの圧縮装置によって前記第Kの容積部から取得
された第2のガスを圧縮して前記(K−1)の容積部へ
供給するように前記第Kの圧縮装置を制御し、 前記第Kのガス圧が、前記第Kの下限圧力以下の場合、
前記第Kの圧縮装置によって前記第Kの容積部から取得
された前記取得された第2のガスを圧縮して前記(K−
1)の容積部への供給を停止するように前記第Kの圧縮
装置を制御する、 軸封装置。 - 【請求項11】 請求項10に記載の軸封装置におい
て、 前記第Kの上限圧力は前記第(K−1)の下限圧力より
も低い、 軸封装置。 - 【請求項12】 請求項7から11のいずれか1項に記
載の軸封装置において、 前記第Nの容積部内部の第Nのガス圧を測定する第Nの
圧力センサと、 前記第Nの容積部に接続され、前記第Nの容積部内部の
気体を取得する取得装置をさらに有し、 前記第Nの制御装置は、 予め定められた第Nの上限圧力および第Nの下限圧力
と、ここで、前記第Nの上限圧力は、前記容器の外部で
の気体の圧力および前記第(N−1)の容積部の内部の
ガス圧よりも低く、かつ前記第Nの下限圧力よりも高
く、 前記第Nのガス圧が、前記第Nの上限圧力以上の場合、
前記取得装置によって取得される前記気体の量が増加す
るように前記取得装置を制御し、 前記第Nのガス圧が、前記第Nの下限圧力以下の場合、
前記取得装置によって取得される前記気体の量が減少す
るように前記前記取得装置を制御する、 軸封装置。
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