JP2002001909A - Screen printing plate and its manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本願発明は、スクリーン印刷
に用いられるスクリーン印刷版及びその製造方法に関
し、特に、薄膜印刷時におけるメッシュ跡の発生を防止
して、均一なペースト印刷膜の形成を可能にするための
印刷性の改良に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screen printing plate used for screen printing and a method of manufacturing the same, and more particularly, to the formation of a uniform paste print film by preventing the occurrence of mesh marks during thin film printing. To improve printability.
【０００２】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】積層セ
ラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品は、
通常、電極ペーストを印刷・塗布することにより内部電
極パターンを多数配設したセラミックグリーンシートを
複数枚積層、圧着した後、これをカットして、個々の素
子を切り出した後、焼成する工程を経て製造されてい
る。そして、電極ペーストを印刷して、所定形状の電極
パターンを形成する方法として、スクリーン印刷法が一
般的に用いられている。2. Description of the Related Art Multi-layer ceramic electronic components such as multi-layer ceramic capacitors are known.
Normally, a plurality of ceramic green sheets provided with a large number of internal electrode patterns are laminated and pressed by printing and applying an electrode paste, and after cutting, cutting out individual elements, and firing, Being manufactured. A screen printing method is generally used as a method for forming an electrode pattern having a predetermined shape by printing an electrode paste.
【０００３】ところで、近年、積層セラミック電子部品
の小型化、高容量化などが進むにつれて、電極パターン
を形成したセラミックグリーンシートの積層枚数を増や
す高積層化が必要となり、これを実現するためには、電
極ペーストの印刷膜厚が薄く、均一性に優れ、しかも高
い寸法精度を有する電極パターンを形成することが必要
になっている。In recent years, as the size and capacity of multilayer ceramic electronic components have increased, the number of ceramic green sheets on which electrode patterns have been formed has to be increased to increase the number of layers. In addition, it is necessary to form an electrode pattern having a thin printed electrode paste, excellent uniformity, and high dimensional accuracy.
【０００４】スクリーン印刷法により膜厚の薄い電極パ
ターン（ペースト印刷膜）を形成しようとすると、スク
リーン印刷版の版厚を薄くすることが有効で、特に、メ
ッシュ部と印刷パターン形状に対応する平面形状を有す
る凹部が、めっき工法により一体形成されたスクリーン
印刷版は、めっき量制御により版厚みを薄くし、凹部の
深さを浅くすることが可能であることから薄膜印刷に適
している。In order to form a thin electrode pattern (paste print film) by a screen printing method, it is effective to reduce the thickness of the screen printing plate. In particular, the mesh portion and the flat surface corresponding to the print pattern shape are effective. A screen printing plate in which a concave portion having a shape is integrally formed by a plating method is suitable for thin-film printing because the plate thickness can be reduced by controlling the plating amount and the depth of the concave portion can be reduced.
【０００５】図６はスクリーン印刷に使用されている従
来のスクリーン印刷版を示す斜視図であり、図７はその
Ｂ−Ｂ線断面図を示している。このスクリーン印刷版５
１は、印刷すべきペーストを通過させる複数のメッシュ
開口穴５２ａを設けることにより形成された印刷パター
ン形状に略対応する平面形状を有するメッシュ部５２
と、ペーストを通過させない非開口部５３と、メッシュ
部５２の、被印刷体５４（図８）との対向面に形成され
た、所定の印刷パターン形状に対応する平面形状を有す
る凹部５５とを一体に備えている。FIG. 6 is a perspective view showing a conventional screen printing plate used for screen printing, and FIG. 7 is a sectional view taken along line BB of FIG. This screen printing plate 5
1 is a mesh portion 52 having a planar shape substantially corresponding to a print pattern shape formed by providing a plurality of mesh opening holes 52a through which a paste to be printed passes.
And a non-opening portion 53 through which the paste does not pass, and a concave portion 55 having a planar shape corresponding to a predetermined print pattern shape, formed on the surface of the mesh portion 52 facing the printing medium 54 (FIG. 8). I have one.
【０００６】なお、メッシュ開口穴５２ａの形状（平面
形状）としては、三角形、四角形、あるいはその他の多
角形、円形など、種々の形状を採用することが可能であ
るが、このスクリーン印刷版５１では、四角形のメッシ
ュ開口穴５２ａが形成されている。The shape (planar shape) of the mesh opening hole 52a can be various shapes such as a triangle, a quadrangle, another polygon, and a circle. , A rectangular mesh opening hole 52a is formed.
【０００７】また、図８は、このスクリーン印刷版５１
を用いて印刷を行っている状態を示す断面図である。こ
のスクリーン印刷版５１を用いてペースト５６の印刷を
行う場合、図８に示すように、スキージ５７をスクリー
ン印刷版５１に押し付けて水平方向に移動させることに
より、ペースト５６がメッシュ部５２のメッシュ開口穴
５２ａを通過して、被印刷体５４の表面に転写されるこ
とにより、ペースト５６の印刷が行なわれる。FIG. 8 shows this screen printing plate 51.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state where printing is performed using the image. When the paste 56 is printed using the screen printing plate 51, the squeegee 57 is pressed against the screen printing plate 51 and moved in the horizontal direction as shown in FIG. The paste 56 is printed by being transferred to the surface of the printing medium 54 through the holes 52a.
【０００８】しかし、このスクリーン印刷版５１におい
ては、メッシュ部５２を構成するメッシュ線状部５２ｂ
の長手方向に直交する方向の断面形状が長方形であり、
被印刷体５４に対して平行な面（下面）５２ｃが形成さ
れているため、スクリーン印刷版５１の厚みを薄くし
て、印刷塗布厚の薄いペースト印刷膜を得ようとする
と、印刷過程でメッシュ部５２はスキージ５７による上
方からの押圧力（以下、「スキージ圧」という）によ
り、図８に示すように、メッシュ部５２の中央部及びそ
の近傍が凹状に変形し、一部のメッシュ線状部５２ｂの
下面５２ｃが、被印刷体５４に接触（面接触）した状態
となる。However, in this screen printing plate 51, a mesh linear portion 52b constituting the mesh portion 52 is formed.
The cross-sectional shape in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the is rectangular,
Since the surface (lower surface) 52c parallel to the printing medium 54 is formed, if the thickness of the screen printing plate 51 is reduced to obtain a paste printing film having a thin printing application thickness, mesh printing is performed in the printing process. As shown in FIG. 8, the central portion of the mesh portion 52 and its vicinity are deformed into a concave shape by the pressing force from above (hereinafter, referred to as “squeegee pressure”) by the squeegee 57, and a part of the mesh linear portion is formed. The lower surface 52c of the portion 52b comes into contact (surface contact) with the printing medium 54.
【０００９】このように、メッシュ線状部５２ｂの下面
５２ｃと被印刷体５４が面接触した状態になってしまう
と、メッシュ開口穴５２ａを通過したペースト５６が入
り込むスペースがなくなるため、図９に示すように、被
印刷体５４に形成されたペースト印刷膜５６ａには、ペ
ースト５６が印刷されないか、あるいは印刷されたとし
てもごく薄くしか印刷されない領域（いわゆるメッシュ
跡）５６ｂが生じ、膜厚の薄い、均一なペースト印刷膜
を得ることができないという問題点がある。When the lower surface 52c of the mesh linear portion 52b is brought into surface contact with the printing medium 54, there is no space for the paste 56 to pass through the mesh opening holes 52a. As shown in the drawing, the paste print film 56a formed on the printing medium 54 has a region 56b where the paste 56 is not printed or which is printed only very thinly even if it is printed (so-called mesh mark) 56b. There is a problem that a thin and uniform paste printed film cannot be obtained.
【００１０】本願発明は、上記問題点を解決するもので
あり、印刷厚みが薄い場合にも、膜厚が均一なペースト
印刷膜を形成することが可能なスクリーン印刷版及びそ
の製造方法を提供することを目的とする。The present invention solves the above problems, and provides a screen printing plate capable of forming a paste printing film having a uniform film thickness even when the printing thickness is small, and a method of manufacturing the screen printing plate. The purpose is to:
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願発明（請求項１）のスクリーン印刷版は、印刷
パターン形状に略対応する形状の所定の領域に、印刷す
べきペーストを通過させる複数のメッシュ開口穴を配設
してなるメッシュ部と、前記メッシュ部の周囲に設けら
れた、ペーストを通過させない非開口部と、メッシュ部
の被印刷体に対向する印刷面側に形成された、所定の印
刷パターン形状に対応する平面形状を有する凹部とを一
体に備えたスクリーン印刷版であって、前記メッシュ部
を構成するメッシュ線状部の長手方向に直交する方向の
断面形状が、前記印刷面側に円弧部分が向くような略半
円又は略半楕円形状を有していることを特徴としてい
る。In order to achieve the above object, a screen printing plate of the present invention (claim 1) passes a paste to be printed in a predetermined region having a shape substantially corresponding to a print pattern shape. A mesh portion provided with a plurality of mesh opening holes to be provided, a non-opening portion provided around the mesh portion, which does not allow the paste to pass, and a mesh portion formed on the printing surface side facing the printing medium. Further, a screen printing plate integrally provided with a recess having a planar shape corresponding to a predetermined print pattern shape, the cross-sectional shape in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the mesh linear portion constituting the mesh portion, It is characterized in that it has a substantially semicircular or substantially semielliptical shape such that an arc portion faces the printing surface side.
【００１２】メッシュ部を構成するメッシュ線状部の長
手方向の直交する方向の断面形状を、印刷面側に円弧部
分が向くような略半円又は略半楕円形状とすることによ
り、例えば、上方からスクリーン印刷版にスキージが押
圧され、メッシュ線状部の下面が被印刷体に当接する場
合にも、メッシュ線状部の下面と被印刷体の接触状態が
線接触の状態となり、前述の従来のスクリーン印刷版の
ように、メッシュ線状部の下面と被印刷体の接触状態が
面接触となることがないため、メッシュ開口穴を通過し
たペーストが入り込むスペースが確保される。したがっ
て、薄膜のペースト印刷膜を形成すべき場合にも、被印
刷体のペーストを印刷すべき領域に、いわゆるメッシュ
跡のない、均一なペースト印刷膜を形成することが可能
になる。[0012] By forming the cross-sectional shape in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the mesh linear portion constituting the mesh portion into a substantially semi-circular or semi-elliptical shape such that an arc portion is directed to the printing surface side, for example, When the squeegee is pressed against the screen printing plate from below, and the lower surface of the mesh linear portion abuts on the printing medium, the contact state between the lower surface of the mesh linear portion and the printing medium becomes a line contact state. Unlike the screen printing plate described above, since the contact state between the lower surface of the mesh linear portion and the printing medium does not become surface contact, a space for the paste that has passed through the mesh opening hole to enter is secured. Therefore, even when a thin paste print film is to be formed, it is possible to form a uniform paste print film having no so-called mesh mark in a region where the paste of the printing medium is to be printed.
【００１３】なお、本願発明において、「メッシュ線状
部の長手方向に直交する方向の断面形状が、前記印刷面
側に円弧部分が向くような略半円又は略半楕円形状を有
している」とは、厳密な意味合いで、メッシュ線状部の
断面形状が半円又は半楕円形状を有していることを要件
とするものではなく、断面形状において、一部に丸みを
帯びた部分を有する形状であって、円弧部分（丸みを帯
びた部分）が印刷面側に向き、印刷面と接触したときに
も、実質的に面接触とならずに、線接触となるような、
半円形状や半楕円形状に類似する種々の形状を含む広い
概念である。In the invention of the present application, "the cross-sectional shape of the mesh linear portion in the direction perpendicular to the longitudinal direction has a substantially semi-circular or semi-elliptical shape such that an arc portion is directed to the printing surface side. '' Means, in a strict sense, that the cross-sectional shape of the mesh linear portion does not have to have a semicircular or semi-elliptical shape. With a shape having an arc portion (rounded portion) facing the printing surface side, and when it comes into contact with the printing surface, it does not substantially come into surface contact but becomes line contact.
This is a broad concept including various shapes similar to a semicircular shape and a semielliptical shape.
【００１４】また、本願発明において、「ペースト」と
は、導電ペースト、抵抗ペースト、接着剤ペースト、そ
の他の種々のペーストを含む広い概念である。In the present invention, "paste" is a broad concept including a conductive paste, a resistive paste, an adhesive paste, and various other pastes.
【００１５】また、本願発明において、「被印刷体」と
は、例えば、積層セラミック電子部品の製造に用いられ
るグリーンシート、セラミック焼結体、その他の種々の
印刷対象を意味する概念である。Further, in the present invention, the term "printing object" is a concept meaning, for example, a green sheet, a ceramic sintered body, and other various printing objects used for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.
【００１６】また、請求項２のスクリーン印刷版は、前
記メッシュ部の厚みが１〜３０μmの範囲にあるととも
に、前記凹部の深さが１〜３０μmの範囲にあることを
特徴としている。Further, the screen printing plate of the present invention is characterized in that the thickness of the mesh portion is in the range of 1 to 30 μm and the depth of the concave portion is in the range of 1 to 30 μm.
【００１７】メッシュ部の厚みを１〜３０μmとし、印
刷パターン形状に対応する平面形状を有する凹部の深さ
を１〜３０μmとする（すなわち、メッシュ部の周囲の
厚みをメッシュ部の厚みよりも１〜３０μm厚くする）
ことにより、膜厚が薄く、形状精度の高いペースト印刷
膜を確実に形成することが可能になり、本願発明をより
実効あらしめることができる。The thickness of the mesh portion is set to 1 to 30 μm, and the depth of the concave portion having a planar shape corresponding to the print pattern shape is set to 1 to 30 μm (that is, the thickness around the mesh portion is set to be smaller than the thickness of the mesh portion by 1 μm). ~ 30μm thicker)
This makes it possible to reliably form a paste printed film having a small film thickness and high shape accuracy, and thus the present invention can be made more effective.
【００１８】また、請求項３のスクリーン印刷版は、少
なくとも前記メッシュ部及び前記非開口部が、金属材料
から一体に形成されていることを特徴としている。According to a third aspect of the present invention, at least the mesh portion and the non-opening portion are integrally formed of a metal material.
【００１９】少なくともメッシュ部及び非開口部を、金
属材料を用いて一体に形成することにより、形状精度が
高く、耐久性に優れたスクリーン印刷版を得ることが可
能になり、本願発明をさらに実効あらしめることができ
る。By forming at least the mesh portion and the non-opening portion integrally using a metal material, it becomes possible to obtain a screen printing plate having high shape accuracy and excellent durability, and the invention of the present application is further effective. I can summarize it.
【００２０】また、本願発明（請求項４）のスクリーン
印刷版の製造方法は、請求項１〜３のいずれかに記載の
スクリーン印刷版を製造する方法であって、(ａ)基材上
にメッシュ開口穴形成用レジストを配設する工程と、
(ｂ)前記基材上に、電気めっき法により、膜厚が前記メ
ッシュ開口穴形成用レジストの膜厚より大きくなり、か
つ、断面形状が略半円又は略半楕円形状になるように金
属を析出させることにより、メッシュ線状部及びメッシ
ュ部の周辺部を構成するメッシュ部形成用金属膜を形成
する工程と、(ｃ)前記メッシュ線状部及び前記メッシュ
開口穴形成用レジストと、前記メッシュ部形成用金属膜
の一部の上に、前記凹部に対応する形状となるように凹
部形成用レジストを配設する工程と、(ｄ)前記凹部形成
用レジストが形成された領域を除いて、前記メッシュ部
形成用金属膜上に、電気めっき法により金属を析出させ
て、前記凹部の周辺部を構成する周辺部形成用金属膜を
形成する工程と、(ｅ)前記メッシュ開口穴形成用レジス
ト及び凹部形成用レジストを除去する工程と、(ｆ)前記
基材から、形成されたスクリーン印刷版を剥離する工程
とを具備することを特徴としている。The method for producing a screen printing plate according to the present invention (claim 4) is a method for producing a screen printing plate according to any one of claims 1 to 3, wherein (a) Arranging a mesh opening hole forming resist;
(b) On the base material, a metal is formed by electroplating so that the film thickness is greater than the film thickness of the mesh opening hole forming resist, and the cross-sectional shape is substantially semicircular or substantially semielliptical. Forming a mesh portion forming metal film constituting a mesh linear portion and a peripheral portion of the mesh portion by depositing; (c) the mesh linear portion and the mesh opening hole forming resist; and A step of disposing a concave portion forming resist so as to have a shape corresponding to the concave portion on a part of the portion forming metal film, and (d) excluding a region where the concave portion forming resist is formed, A step of depositing a metal on the mesh part forming metal film by an electroplating method to form a peripheral part forming metal film constituting a peripheral part of the concave part; and (e) forming the mesh opening hole resist. And recesses Removing the strike, and characterized by comprising a step of peeling the screen printing plate from the substrate, formed (f).
【００２１】本願発明のスクリーン印刷版の製造方法
は、上記(ａ)，(ｂ)，(ｃ)，(ｄ)，(ｅ)，(ｆ)の各工程
を経て、スクリーン印刷版を製造するようにしているの
で、めっき量を精度よく制御することにより、版厚みが
薄く、かつ、各部の寸法精度が高く、薄膜印刷に適した
スクリーン印刷版（すなわち、本願請求項１〜３のスク
リーン印刷版）を確実に製造することが可能になり、本
願発明を実効あらしめることができる。According to the method of manufacturing a screen printing plate of the present invention, a screen printing plate is manufactured through the steps (a), (b), (c), (d), (e), and (f). By controlling the amount of plating with high precision, the screen thickness is small, the dimensional accuracy of each part is high, and the screen printing plate suitable for thin film printing (ie, the screen printing of claims 1 to 3 of the present application). Plate) can be reliably manufactured, and the present invention can be made effective.
【００２２】[0022]
【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
してその特徴とするところをさらに詳しく説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be shown and the features thereof will be described in more detail.
【００２３】図１は、本願発明の一実施形態にかかるス
クリーン印刷版を要部を印刷面側から示した斜視図であ
る。図２は、図１のスクリーン印刷版のＡ−Ａ線断面図
である。このスクリーン印刷版１は、ニッケル金属材料
により一体に形成されている。そして、印刷パターン形
状に略対応する形状の所定の領域に、印刷すべきペース
トを通過させる複数のメッシュ開口穴２ａを配設してな
るメッシュ部２と、メッシュ部２の周囲に設けられた、
ペーストを通過させない非開口部３と、メッシュ部２の
被印刷体４（図３）に対向する印刷面側に形成された、
所定の印刷パターン形状に対応する平面形状を有する凹
部５を備えている。FIG. 1 is a perspective view showing a main part of a screen printing plate according to an embodiment of the present invention from a printing surface side. FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of the screen printing plate of FIG. The screen printing plate 1 is integrally formed of a nickel metal material. A mesh portion 2 in which a plurality of mesh openings 2a through which a paste to be printed is passed is provided in a predetermined region having a shape substantially corresponding to the print pattern shape, and a mesh portion 2 is provided around the mesh portion 2.
The non-opening portion 3 through which the paste does not pass and the printing portion side of the mesh portion 2 facing the printing medium 4 (FIG. 3) are formed.
A concave portion 5 having a planar shape corresponding to a predetermined print pattern shape is provided.
【００２４】そして、このスクリーン印刷版１において
は、メッシュ部２を構成するメッシュ線状部２ｂは、長
手方向に直交する方向の断面形状が略半円形状で、印刷
面側に円弧部分が向くように構成されている。In the screen printing plate 1, the mesh linear portion 2b constituting the mesh portion 2 has a substantially semicircular cross section in a direction perpendicular to the longitudinal direction, and an arc portion is directed to the printing surface side. It is configured as follows.
【００２５】また、この実施形態のスクリーン印刷版１
においては、メッシュ部２の厚みＡ（図２）が１〜３０
μm、印刷パターン形状に対応する平面形状を有する凹
部５の深さＢ（図２）が１〜３０μmになるように（す
なわち、メッシュ部２の周囲の厚みがメッシュ部２の厚
みよりも１〜３０μm厚くなるように）構成されてい
る。The screen printing plate 1 of this embodiment
In the above, the thickness A (FIG. 2) of the mesh portion 2 is 1 to 30.
μm, so that the depth B (FIG. 2) of the concave portion 5 having a planar shape corresponding to the print pattern shape is 1 to 30 μm (that is, the thickness around the mesh portion 2 is 1 to 30 μm less than the thickness of the mesh portion 2). (Thickness of 30 μm).
【００２６】［ペーストの印刷］次に、上記実施形態の
スクリーン印刷版１を用いてペーストの印刷を行う方法
について説明する。図３は、この実施形態のスクリーン
印刷版１を使用し、スキージ７によってペースト６の印
刷を行っている状態を示す断面図である。[Printing of Paste] Next, a method of printing a paste using the screen printing plate 1 of the above embodiment will be described. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which the screen printing plate 1 of this embodiment is used to print the paste 6 with the squeegee 7.
【００２７】図３に示すように、スクリーン印刷版１上
にペースト６を供給し、スキージ７をスクリーン印刷版
１に押し付けて水平方向に移動させることにより、ペー
スト６がメッシュ部２のメッシュ開口穴２ａを通過し
て、被印刷体４の表面に転写される。そして、このと
き、スクリーン印刷版１の凹部５の深さＢ（図２）が浅
く、かつ、メッシュ部２の厚みＡ（図２）が薄いため、
スキージ７の押圧力により、メッシュ部２の中央部が凹
状にへこんだ状態に変形し、メッシュ線状部２ｂの一部
はその下面が被印刷体４に接触した状態となる。As shown in FIG. 3, the paste 6 is supplied onto the screen printing plate 1 and the squeegee 7 is pressed against the screen printing plate 1 and moved in the horizontal direction. 2a, and is transferred to the surface of the printing medium 4. At this time, since the depth B (FIG. 2) of the concave portion 5 of the screen printing plate 1 is small and the thickness A (FIG. 2) of the mesh portion 2 is small,
Due to the pressing force of the squeegee 7, the central portion of the mesh portion 2 is deformed into a concave shape, and a part of the mesh linear portion 2b is in a state in which the lower surface thereof is in contact with the printing medium 4.
【００２８】しかし、スクリーン印刷版１のメッシュ線
状部２ｂは、図２に示すように、長手方向に直交する方
向の断面形状が略半円形状となるように構成されている
ため、スキージ７により下方に押圧されたスクリーン印
刷版１のメッシュ線状部２ｂの下面と被印刷体４の接触
状態が線接触の状態となり、凹部５内には、ペースト６
が回り込むスペースが確保される。その結果、図４に示
すように、被印刷体４の所定の領域に、いわゆる、メッ
シュ跡のほとんどない、均一なペースト印刷膜６ａを形
成することができる。However, as shown in FIG. 2, the mesh linear portion 2b of the screen printing plate 1 has a substantially semicircular cross section in a direction orthogonal to the longitudinal direction. The contact state between the lower surface of the mesh linear portion 2b of the screen printing plate 1 and the printing medium 4 which is pressed downward is in a line contact state.
The space where wraparound is secured. As a result, as shown in FIG. 4, it is possible to form a uniform paste print film 6a having little so-called mesh traces in a predetermined region of the printing medium 4.
【００２９】［スクリーン印刷版の製造］次に、本願発
明のスクリーン印刷版の製造方法について説明する。こ
の実施形態のスクリーン印刷版は、以下に説明するよう
に、例えば、エレクトロフォーミング（電鋳法）を用い
て、容易かつ確実に製造することができる。以下、製造
工程を模式的に示す図５を参照しつつ、スクリーン印刷
版１の製造方法について説明する。[Manufacture of Screen Printing Plate] Next, a method of manufacturing a screen printing plate of the present invention will be described. As described below, the screen printing plate of this embodiment can be easily and reliably manufactured using, for example, electroforming (electroforming). Hereinafter, a method of manufacturing the screen printing plate 1 will be described with reference to FIG. 5 schematically illustrating the manufacturing process.
【００３０】まず、図５(ａ)に示すように、例えば、
ステンレス鋼などの金属材料からなる基材１１上にメッ
シュ開口穴形成用レジスト１２を配設する。なお、この
実施形態では、フォトリソグラフィーにより、膜厚０．
１μmのメッシュ開口穴形成用レジスト１２をパターニ
ングした。なお、メッシュ開口穴形成用レジスト１２の
形成方法に特別の制約はなく、他の方法で形成すること
も可能であり、また、膜厚についてもその他の条件を考
慮して、種々の膜厚とすることができる。First, as shown in FIG. 5A, for example,
A mesh opening resist 12 is provided on a substrate 11 made of a metal material such as stainless steel. In this embodiment, the film thickness is set to 0.1 by photolithography.
A 1 μm mesh opening hole forming resist 12 was patterned. There is no particular limitation on the method of forming the mesh opening hole forming resist 12, and it is possible to form the resist 12 by another method. can do.
【００３１】それから、図５(ｂ)に示すように、基材
１１上に、電気めっき法により、ニッケルめっきを行
い、膜厚がメッシュ開口穴形成用レジストの膜厚０．１
μmより大きく、断面形状が略半円形状となるようにニ
ッケル（金属）を析出させることにより、ニッケルから
なるメッシュ線状部２ｂ及びメッシュ部２の周辺部１４
を構成するメッシュ部形成用金属膜１５を形成する。こ
の実施形態では、めっき浴として、スルファミン酸ニッ
ケル浴を用いた。なお、メッシュ部２の厚みは、１〜３
０μmとすることが好ましく、この実施形態では１８μm
とした。Then, as shown in FIG. 5B, nickel plating is performed on the base material 11 by electroplating, and the film thickness of the resist for forming the mesh opening holes is 0.1 mm.
By depositing nickel (metal) so as to be larger than μm and having a substantially semicircular cross section, the mesh linear portion 2 b made of nickel and the peripheral portion 14 of the mesh portion 2 are formed.
Is formed. In this embodiment, a nickel sulfamate bath was used as a plating bath. The thickness of the mesh part 2 is 1 to 3
0 μm, and in this embodiment, 18 μm
And
【００３２】次に、図５(ｃ)に示すように、メッシュ
線状部２ｂ及びメッシュ開口穴形成用レジスト１２と、
メッシュ部形成用金属膜１５の一部の上に、凹部５に対
応する形状となるように凹部形成用レジスト１６を配設
する。なお、この実施形態では、凹部形成用レジスト１
６を、フォトリソグラフィーによって形成し、その厚み
を３０μmとした。Next, as shown in FIG. 5 (c), a mesh linear portion 2b and a mesh opening resist 12 are formed.
A recess forming resist 16 is provided on a part of the mesh portion forming metal film 15 so as to have a shape corresponding to the recess 5. In this embodiment, the concave portion forming resist 1 is used.
6 was formed by photolithography, and its thickness was 30 μm.
【００３３】それから、図５(ｄ)に示すように、凹部
形成用レジスト１６が形成された領域を除いて、メッシ
ュ部形成用金属膜１５上に、凹部５の周辺部１７を構成
する周辺部形成用金属膜１８を形成する。なお、この実
施形態では、周辺部形成用金属膜１８として、電気めっ
き法により、膜厚が１２μmのニッケル金属膜を形成し
た。この実施形態では、めっき浴として、メッシュ部形
成用金属膜１５を形成する場合と同様に、スルファミン
酸ニッケル浴を用いた。Then, as shown in FIG. 5 (d), the peripheral portion constituting the peripheral portion 17 of the concave portion 5 is formed on the mesh portion forming metal film 15 except for the region where the concave portion forming resist 16 is formed. A forming metal film 18 is formed. In this embodiment, a nickel metal film having a thickness of 12 μm was formed as the peripheral portion forming metal film 18 by electroplating. In this embodiment, a nickel sulfamate bath was used as the plating bath, as in the case of forming the mesh portion forming metal film 15.
【００３４】次に、図５(ｅ)に示すように、メッシュ
開口穴形成用レジスト１２及び凹部形成用レジスト１６
を除去する。Next, as shown in FIG. 5E, a resist 12 for forming a mesh opening hole and a resist 16 for forming a concave portion are formed.
Is removed.
【００３５】その後、図５(ｆ)に示すように、基材１
１から剥離、除去することにより、メッシュ開口穴２ａ
及び断面形状が略半円形状のメッシュ線状部２ｂからな
るメッシュ部２、凹部５、メッシュ部２の周囲に設けら
れた、ペーストを通過させない非開口部３などを備え
た、本願発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷版１
を得ることができる。なお、このスクリーン印刷版１の
メッシュ部２の厚みは１８μm、凹部５の深さは１２μm
である。Thereafter, as shown in FIG.
1 to remove the mesh opening hole 2a.
And a mesh portion 2 comprising a mesh linear portion 2b having a substantially semicircular cross section, a concave portion 5, and a non-opening portion 3 provided around the mesh portion 2 and not allowing the paste to pass therethrough. Screen printing plate 1 according to the embodiment
Can be obtained. The thickness of the mesh portion 2 of the screen printing plate 1 was 18 μm, and the depth of the concave portion 5 was 12 μm.
It is.
【００３６】なお、上記の例では、ニッケル金属材料か
らなるスクリーン印刷版を製造する場合を例にとって説
明したが、本願発明のスクリーン印刷版は、構成材料に
特別の制約はなく、ニッケル以外の種々の材料を用いる
ことが可能である。In the above example, the case where a screen printing plate made of a nickel metal material is manufactured has been described as an example. However, the screen printing plate of the present invention has no particular restrictions on the constituent materials, and various materials other than nickel are used. Can be used.
【００３７】また、上記実施形態では、メッシュ部の厚
みを１８μm、凹部の深さを１２μmとした場合を例にと
って説明したが、メッシュ部の厚み、凹部の深さはこれ
に限られるものではなく、本願発明の範囲内において、
任意に変化させることが可能である。In the above embodiment, the case where the thickness of the mesh portion is 18 μm and the depth of the concave portion is 12 μm has been described as an example. However, the thickness of the mesh portion and the depth of the concave portion are not limited thereto. , Within the scope of the present invention,
It can be changed arbitrarily.
【００３８】また、上記実施形態では、メッシュ線状部
の断面形状が略半円形状である場合を例にとって説明し
たが、略半楕円形状などの他の形状とすることが可能で
ある。Further, in the above-described embodiment, the case where the cross-sectional shape of the mesh linear portion is substantially semicircular has been described as an example, but other shapes such as a substantially semi-elliptical shape are possible.
【００３９】本願発明は、さらにその他の点において
も、上記実施形態に限定されるものではなく、メッシュ
部の形状やメッシュ開口穴の平面形状その他に関し、発
明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加える
ことが可能である。In other respects, the present invention is not limited to the above-described embodiment. The present invention relates to the shape of the mesh portion, the planar shape of the mesh opening, and various other applications within the scope of the invention. , Can be modified.
【００４０】[0040]
【発明の効果】上述のように、本願発明（請求項１）の
スクリーン印刷版は、メッシュ部を構成するメッシュ線
状部の長手方向に直交する方向の断面形状を、印刷面側
に円弧部分が向くような略半円又は略半楕円形状とする
ようにしているので、例えば、上方からスクリーン印刷
版にスキージを押圧した場合において、メッシュ線状部
の下面が被印刷体に当接する場合にも、メッシュ線状部
の下面と被印刷体の接触状態が線接触の状態となり、メ
ッシュ開口穴を通過したペーストが入り込むスペースが
確保されることになり、薄膜のペースト印刷膜を形成す
べき場合にも、被印刷体のペーストを印刷すべき領域
に、いわゆるメッシュ跡のない、均一なペースト印刷膜
を形成することができる。As described above, in the screen printing plate of the present invention (claim 1), the cross-sectional shape of the mesh linear portion constituting the mesh portion in the direction perpendicular to the longitudinal direction is changed to the arc portion on the printing surface side. Is oriented so as to be substantially semi-circular or semi-elliptical, for example, when a squeegee is pressed against the screen printing plate from above, when the lower surface of the mesh linear portion contacts the printing medium. Also, the contact state between the lower surface of the mesh linear portion and the printing medium becomes a line contact state, and a space for the paste that has passed through the mesh opening hole is secured, and when a thin paste print film is to be formed. In addition, it is possible to form a uniform paste print film without a so-called mesh mark in a region where the paste of the printing medium is to be printed.
【００４１】また、請求項２のスクリーン印刷版のよう
に、メッシュ部の厚みを１〜３０μmとし、印刷パター
ン形状に対応する平面形状を有する凹部の深さを１〜３
０μmとする（すなわち、メッシュ部の周囲の厚みをメ
ッシュ部の厚みよりも１〜３０μm厚くする）ようにし
た場合、膜厚が薄く、形状精度の高いペースト印刷膜を
確実に形成することが可能になり、本願発明をより実効
あらしめることができる。Further, as in the screen printing plate of the second aspect, the thickness of the mesh portion is 1 to 30 μm, and the depth of the concave portion having a planar shape corresponding to the printing pattern shape is 1 to 3 μm.
When the thickness is set to 0 μm (that is, the thickness of the periphery of the mesh portion is set to be 1 to 30 μm thicker than the thickness of the mesh portion), it is possible to reliably form a paste printed film having a small thickness and high shape accuracy. Thus, the present invention can be made more effective.
【００４２】また、請求項３のスクリーン印刷版のよう
に、少なくともメッシュ部及び非開口部を、金属材料を
用いて一体に形成することにより、形状精度が高く、耐
久性に優れたスクリーン印刷版を得ることが可能にな
り、本願発明をさらに実効あらしめることができる。Further, by forming at least the mesh portion and the non-opening portion integrally using a metal material as in the screen printing plate of claim 3, the screen printing plate having high shape accuracy and excellent durability. Can be obtained, and the present invention can be made more effective.
【００４３】また、本願発明（請求項４）のスクリーン
印刷版の製造方法は、基材上にメッシュ開口穴形成用レ
ジストを配設する工程、基材上に、電気めっき法によ
り、メッシュ線状部及びメッシュ部の周辺部を構成する
メッシュ部形成用金属膜を形成する工程、メッシュ線状
部及びメッシュ開口穴形成用レジストなどの上に、凹部
に相当する形状となるように凹部形成用レジストを形成
する工程、メッシュ部形成用金属膜上に、凹部の周辺部
を構成する周辺部形成用金属膜を形成する工程、メッシ
ュ開口穴形成用レジスト及び凹部形成用レジストを除去
する工程などを経てスクリーン印刷版を製造するように
しているので、めっき量を精度よく制御することによ
り、版厚みが薄く、かつ、各部の寸法精度が高く、薄膜
印刷に適したスクリーン印刷版（すなわち、本願請求項
１〜３のスクリーン印刷版）を確実に製造することが可
能になり、本願発明を実効あらしめることができる。The method of manufacturing a screen printing plate according to the present invention (claim 4) includes a step of arranging a resist for forming a mesh opening hole on a substrate, and a step of forming a mesh linear pattern on the substrate by electroplating. Forming the metal film for forming the mesh portion forming the peripheral portion of the mesh portion and the mesh portion, and forming the resist for forming the concave portion on the mesh linear portion and the resist for forming the mesh opening hole so as to have a shape corresponding to the concave portion. Forming, forming a peripheral portion forming metal film constituting the peripheral portion of the concave portion on the mesh portion forming metal film, removing the mesh opening hole forming resist and the concave portion forming resist, and the like. Because screen printing plates are manufactured, by controlling the amount of plating with high precision, the thickness of the plate is small, and the dimensional accuracy of each part is high. Printing plate (i.e., a screen printing plate of the claims 1 to 3) it is possible to reliably produce can Arashimeru effective the present invention.
【図１】本願発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷
版の要部を印刷面側から示した斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a main part of a screen printing plate according to an embodiment of the present invention from a printing surface side.
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【図３】本願発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷
版を使用してペーストの印刷を行っている状態を示す断
面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which paste is printed using a screen printing plate according to an embodiment of the present invention.
【図４】本願発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷
版を使用して、被印刷体上に形成したペースト印刷膜を
示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a paste print film formed on a printing medium using a screen printing plate according to an embodiment of the present invention.
【図５】(ａ)〜(ｆ)は、本願発明の一実施形態にかかる
スクリーン印刷版の製造方法の各工程を模式的に示す図
である。FIGS. 5A to 5F are diagrams schematically showing each step of a method for manufacturing a screen printing plate according to an embodiment of the present invention.
【図６】従来のスクリーン印刷版を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing a conventional screen printing plate.
【図７】図６のＢ−Ｂ線断面図である。FIG. 7 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 6;
【図８】従来のスクリーン印刷版を使用してペーストの
印刷を行っている状態を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a state in which paste printing is performed using a conventional screen printing plate.
【図９】従来のスクリーン印刷版を使用して、被印刷体
上に形成したペースト印刷膜を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a paste printing film formed on a printing medium using a conventional screen printing plate.
Ａ メッシュ部の厚み Ｂ 凹部の深さ １ スクリーン印刷版 ２ メッシュ部 ２ａ メッシュ開口穴 ２ｂ メッシュ線状部 ３ 非開口部 ４ 被印刷体 ５ 凹部 ６ ペースト ６ａ ペースト印刷膜 ７ スキージ １１ 基材 １２ メッシュ開口穴形成用レジスト １４ メッシュ部の周辺部 １５ メッシュ部形成用金属膜 １６ 凹部形成用レジスト １７ 凹部の周辺部 １８ 周辺部形成用金属膜 A Thickness of mesh part B Depth of concave part 1 Screen printing plate 2 Mesh part 2a Mesh opening hole 2b Mesh linear part 3 Non-opening part 4 Printed object 5 Concave part 6 Paste 6a Paste printed film 7 Squeegee 11 Base material 12 Mesh opening Hole forming resist 14 Peripheral portion of mesh portion 15 Mesh portion forming metal film 16 Depressed portion forming resist 17 Peripheral portion of recessed portion 18 Peripheral portion forming metal film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０５ Ｈ０５Ｋ 3/34 ５０５Ｄ Ｆターム(参考） 2C035 AA05 FD01 FF00 FF26 2H084 AA25 AA40 BB08 BB13 CC10 CF06 2H114 AB11 AB13 AB15 AB17 BA00 DA04 EA02 EA08 GA11 5E319 AC01 BB05 CD29 GG03 5E343 AA02 AA11 AA23 BB72 DD03 FF13 GG06 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI theme coat ゛ (Reference) H05K 3/34 505 H05K 3/34 505D F term (Reference) 2C035 AA05 FD01 FF00 FF26 2H084 AA25 AA40 BB08 BB13 CC10 CF06 2H114 AB11 AB13 AB15 AB17 BA00 DA04 EA02 EA08 GA11 5E319 AC01 BB05 CD29 GG03 5E343 AA02 AA11 AA23 BB72 DD03 FF13 GG06
Claims (4)
の領域に、印刷すべきペーストを通過させる複数のメッ
シュ開口穴を配設してなるメッシュ部と、 前記メッシュ部の周囲に設けられた、ペーストを通過さ
せない非開口部と、 メッシュ部の被印刷体に対向する印刷面側に形成され
た、所定の印刷パターン形状に対応する平面形状を有す
る凹部とを一体に備えたスクリーン印刷版であって、 前記メッシュ部を構成するメッシュ線状部の長手方向に
直交する方向の断面形状が、前記印刷面側に円弧部分が
向くような略半円又は略半楕円形状を有していることを
特徴とするスクリーン印刷版。1. A mesh portion having a plurality of mesh openings for passing a paste to be printed in a predetermined region having a shape substantially corresponding to a print pattern shape, and a mesh portion provided around the mesh portion. A screen printing plate integrally provided with a non-opening portion through which the paste does not pass, and a concave portion having a planar shape corresponding to a predetermined print pattern shape, formed on the printing surface side of the mesh portion facing the printing medium. The cross-sectional shape in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the mesh linear portion constituting the mesh portion has a substantially semicircular or substantially semielliptical shape such that an arc portion faces the printing surface side. Screen printing plate characterized by the following.
囲にあるとともに、前記凹部の深さが１〜３０μmの範
囲にあることを特徴とする請求項１記載のスクリーン印
刷版。2. The screen printing plate according to claim 1, wherein the thickness of the mesh portion is in a range of 1 to 30 μm, and the depth of the concave portion is in a range of 1 to 30 μm.
部が、金属材料から一体に形成されていることを特徴と
する請求項１又は２記載のスクリーン印刷版。3. The screen printing plate according to claim 1, wherein at least the mesh portion and the non-opening portion are formed integrally from a metal material.
ン印刷版を製造する方法であって、 (ａ)基材上にメッシュ開口穴形成用レジストを配設する
工程と、 (ｂ)前記基材上に、電気めっき法により、膜厚が前記メ
ッシュ開口穴形成用レジストの膜厚より大きくなり、か
つ、断面形状が略半円又は略半楕円形状になるように金
属を析出させることにより、メッシュ線状部及びメッシ
ュ部の周辺部を構成するメッシュ部形成用金属膜を形成
する工程と、 (ｃ)前記メッシュ線状部及び前記メッシュ開口穴形成用
レジストと、前記メッシュ部形成用金属膜の一部の上
に、前記凹部に対応する形状となるように凹部形成用レ
ジストを配設する工程と、 (ｄ)前記凹部形成用レジストが形成された領域を除い
て、前記メッシュ部形成用金属膜上に、電気めっき法に
より金属を析出させて、前記凹部の周辺部を構成する周
辺部形成用金属膜を形成する工程と、 (ｅ)前記メッシュ開口穴形成用レジスト及び凹部形成用
レジストを除去する工程と、 (ｆ)前記基材から、形成されたスクリーン印刷版を剥離
する工程とを具備することを特徴とするスクリーン印刷
版の製造方法。4. A method for producing a screen printing plate according to claim 1, wherein: (a) disposing a resist for forming a mesh opening on a substrate; (b) On the base material, a metal is deposited by electroplating so that the film thickness is larger than the film thickness of the mesh opening hole forming resist, and the cross-sectional shape is substantially semicircular or substantially semielliptical. Forming a mesh portion forming metal film constituting the mesh linear portion and the peripheral portion of the mesh portion, (c) the mesh linear portion and the mesh opening hole forming resist, Disposing a concave portion forming resist on a part of the metal film so as to have a shape corresponding to the concave portion; and (d) excluding a region where the concave portion forming resist is formed, the mesh portion. On the metal film for forming, Depositing a metal by a method to form a peripheral portion forming metal film constituting a peripheral portion of the concave portion; (e) removing the mesh opening hole forming resist and the concave portion forming resist; f) separating the formed screen printing plate from the base material.
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