JP2001336919A - リード付き集積回路の検査システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 改善されたリード付き集積回路の検査システ
ムを提供する。 【解決手段】 基準エッジ１２によって画成されたアパ
ーチャ２を有すると共に、検査システムの光学軸Ｓに対
して垂直な基準面を成すデータム１と、対象物１０をデ
ータム１のアパーチャ２と重なるように位置決めするた
めの対象物キャリヤ３０と、アパーチャ２を通して拡散
光を照射することによって、対象物１０のリード８１を
含む輪郭、及び、基準エッジ１２の輪郭をアパーチャ２
を通していくつかの投影方向に投影するための拡散光源
３と、輪郭の投影を受ける光学プリズムであって、異な
る投影方向から受けた投影のうちの２つを選択するため
の光学プリズム５とをそれぞれ備え、選択された一方の
投影に関する光線の輪郭と結像面との間における第１の
投影光路９１と、選択されたもう一方の投影に関する光
線の輪郭と結像面の間における第２の投影光路９２を同
じ光路長にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、リード付き集積回
路の検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】集積回路のような複数のピン又はリード
を備えた電子コンポーネントの製造において、電子コン
ポーネントの３次元検査を可能にする光学系を用いた検
査システムが提案されている。

【０００３】集積回路の３次元検査を実現するために、
検査すべき集積回路の異なるイメージ（像）がイメージ
・センサに伝送される少なくとも２つの光路を設けるこ
とがさらに提案されている。

【０００４】例えば、米国特許第５，９０９，２８５号
には、検査すべき精密パターン・マスクを透明レクチル
上に配置して像を形成するようにしたカメラを含む集積
回路の検査方法が開示されている。検査を受ける集積回
路は、拡散光を利用して照明される。集積回路の側面図
が、オーバヘッド・ミラー又はプリズムを用いてカメラ
に反射される。しかし、この方法では、フロントライテ
ィング（前方照明）が用いられており、さらに、集積回
路を透明レチクル上に正確に位置決めする必要がある。

【０００５】米国特許第５，９１０，８４４号によっ
て、２つの光学カメラから出力される個別の映像フレー
ムに、８つの光学像を瞬時に記録する映像検査システム
が既知となっている。米国特許第５，９１０，８４４号
による検査システムは、複数の光学方向付け部材を利用
した複雑な光反射手段を必要とする。その上、米国特許
第５，９１０，８４４号によれば、様々なサイズの対象
物を検査する場合には、光学方向づけ部材を選択的に調
整しなければならない。

【０００６】さらに、米国特許出願第０９／２０５，８
５２号によって、基準に対する対象物の位置情報を求め
るための光学検査システムが既知となっている。この場
合、システムの基準として用いられるデータムが、検査
を受ける対象物に近接して配置される。さらに、対象物
を照明するために、拡散光源（照明光源）が設けられて
いる。光源は、対象物上における１つのポイントとデー
タム上における１つのポイントが、互いに角度を成す少
なくとも２つの光路に沿った像として同じ平面内に位置
するように配置される。さらに、２つの光路に沿って像
を捕捉するイメージング・サブシステムが設けられる。
捕捉された像は、データム上の点に対する対象物上の点
の位置情報を提供するために、イメージング・サブシス
テムによって相関され、分析される。米国特許出願第０
９／２０５，８５２号によれば、一方の光路に関して台
形プリズムを利用すると共に、他方の光路に関してミラ
ーを利用することによって、イメージング・サブシステ
ムでリレーされる２つの光路を形成することが可能であ
る。さらに、２つの光路を設けるために、１つの単一台
形プリズムを用いることも可能である。この方法では、
一方の光路が、台形プリズムの内部表面に沿って形成さ
れ、他方の光路が、台形プリズムの外部表面に沿って形
成される。

【０００７】しかし、米国特許出願第０９／２０５，８
５２号によれば、２つの光路は、光学的長さが互いに異
なり、映像の質、従って検査システムの精度が損なわれ
ることになる。さらに、米国特許出願第０９／２０５，
８５２号に開示のように、例えば両面ＩＣ（両面集積回
路）のような対象物の２つの面が、光学装置のうちの２
つを用いて検査され、２つの光路長がそれぞれ生じるこ
とになる場合には、検査システムによって得られる像の
中央部分に大きな空白領域が生じるため、２つの光路か
ら生じる像を捕捉するには、光学サブシステムに大きな
センサ領域が必要になる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
実状に鑑みてなされたものであって、その目的は、改善
されたリード付き集積回路の検査システムを提供するこ
とにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、リード付き集
積回路の検査システムを提供する。本発明による検査シ
ステムは、基準エッジによって画成されたアパーチャを
有すると共に、システムの光学軸に対して垂直な基準面
をなすデータムと、対象物を前記データムのアパーチャ
と重なるように位置決めするための対象物キャリヤと、
アパーチャを通して拡散光を照射することによって、リ
ードを含む対象物の輪郭、及び、基準エッジの輪郭をア
パーチャを通していくつかの投影方向に投影するための
拡散光源と、輪郭の投影を受ける光学プリズムであっ
て、異なる投影方向から受けた前記投影のうちの２つを
選択するための光学プリズムとをそれぞれ備えている。
光学プリズムは、輪郭の選択された２つの投影のうちの
一方の投影を結像面に向かう反射方向に反射するための
外部反射表面を有している。さらに、光学プリズムは、
入射表面，出射表面，及び内部反射表面を有しており、
内部反射表面は、入射表面及び出射表面と協働し、輪郭
の選択された２つの投影のうちの他方の投影を結像面に
向かう出射方向に内部反射して光学プリズムの出射表面
を通して出射する。この場合、前記輪郭と前記選択され
た一方の投影に関する光線の結像面との間における第１
の投影光路、及び、前記輪郭と選択された他方の投影に
関する光線の結像面との間における第２の投影光路が、
互いに同じ光路長になるように設定する。

【００１０】本発明の好ましい実施態様によれば、例え
ば、両面集積回路の２つの面を測定又は検査するため
に、２つ以上の光学プリズムを配置することが可能であ
る。これにより、両面集積回路の第１の面と第２の面が
同時に検査される。

【００１１】さらに、検査を受ける集積回路の各面毎に
１つずつの、計２つの光学プリズムによって得られる投
影像を捕捉するために必要な像領域を縮小するため、シ
ステムの光学軸に対して平行をなして、近づくように、
第１の投影光路と第２の投影光路の向きを直す菱形プリ
ズムが設けられる。これにより、両面検査のための像領
域が縮小され、有効解像度が向上し、その結果、測定正
確度が向上することになる。

【００１２】検査システムによって生じるイメージは、
ビデオ・カメラによって捕捉されるのが望ましく、さら
に、データムに対する対象物の３Ｄ（３次元）座標を決
定するために、コンピュータのプロセッサによってデジ
タル化され、処理される。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施態様に係
る、リード付き集積回路のような形式の対象物を検査す
るための検査システムが、図１に示されている。この検
査システムには、基準エッジ１２によって画成されたア
パーチャ（開孔）２を有し、システムの光学軸Ｓに対し
て垂直な基準面をなすデータム１と、対象物１０がデー
タム１のアパーチャ２と重なり合うように位置決めする
ための対象物キャリヤ３０と、アパーチャ２を通して拡
散光を放射して、これにより対象物１０のリードを含む
輪郭並びに基準エッジ１２の輪郭をアパーチャ２を通し
ていくつかの投影方向に投影するための拡散光源（照明
光源）３と、輪郭の投影を受けると共に、異なる投影方
向から受けた投影のうちの２つを選択するための光学プ
リズム５とが含まれている。また、上述の光学プリズム
５は、図２及び図３に示すように、輪郭の選択された２
つの投影のうちの一方を結像面に向かう反射方向に反射
するための外部反射表面５１を備えると共に、入射表面
５３と、出射表面５４と、入射表面５３及び出射表面５
４と協働する内部反射表面５２とをそれぞれ備えてい
る。内部反射表面５２は、輪郭の選択された２つの投影
のうちの他方を光学プリズム５内で反射し、その反射光
が光学プリズム５の出射表面５４を通して結像面に向か
う出射方向に出射される。この場合、選択された一方の
投影に関する光線の輪郭と結像面との間における第１の
投影光路と、選択された他方の投影に関する光線の輪郭
と結像面との間における第２の投影光路とが、同じ光路
長となるように設定されている。

【００１４】照明光源３は、データム１上に配置するの
が望ましいが、データム１の上方に配置することも可能
である。対象物１０は、上方から対象物１０を保持する
ため、真空吸引チップを備えることが望ましい対象物キ
ャリヤ３０によって、アパーチャ２の近くに、或いは、
アパーチャ２にオーバーラップするように保持されると
共に、位置決めされる。対象物１０は、複数のピン又は
リードを備えた集積回路であって良い。データム１の底
面には、対象物１０の一方の側部を検査する１つの光学
プリズム５、及び、対象物１０の他方の側部を検査する
１つの光学プリズム５の、計２つの光学プリズム５が配
置されている。２つの光学プリズム５の下方には、２つ
の菱形プリズム８が配置され、これらの菱形プリズム８
は、検査システムの光学軸Ｓの方へ向けられている。

【００１５】ビデオ・カメラ７に取り付けられたレンズ
６は、検査システムの光学軸Ｓとアライメントがとれる
ように配置されている。レンズ６及びビデオ・カメラ７
は、両方とも、それぞれ、対象物１０の輪郭及びデータ
ム１の基準エッジ１２から結像面に向けて投影される像
５０を捕捉するために用いられる。対象物キャリヤ３０
及び対象物１０は、やはり、検査システムの光学軸Ｓと
アライメントがとれている。さらに、特殊プリズム５及
び菱形プリズム８は、それぞれ、検査システムの光学軸
Ｓに対して対称に配置されている。照明光源３によっ
て、対象物１０に対し拡散バックライト照明が施され
る。従って、対象物１０のリード又はピン８１及び対象
物１０のパッケージ本体８２は、照明光源３によって、
データム１のアパーチャ２を通して光学プリズム５に向
かって後方側から照明（バックライティング）される。

【００１６】照明光源３は、光学プリズム５における長
い進行距離によって生じる可能性のあるカラー分散を低
減するために、好ましくは、単一波長又は狭帯域幅波長
の光を放出する。こうした狭帯域幅の照明光源３は、例
えば、フィルタによって実現することが可能である。

【００１７】データム１によって、検査システムにおい
て基準面を提供する。データム１、すなわち、基準面
は、検査システムの光学軸Ｓに対して垂直であるのが望
ましい。データム１にはアパーチャ２が形成されてお
り、このアパーチャ２は、４つの基準エッジ１２又は２
対の平行基準エッジ１２によって形成されている。２つ
の向かい合った基準エッジ１２間の距離は、既知であ
る。データム１の２つの向かい合った基準エッジ１２間
の距離は、検査を受ける集積回路１０のうちで最も大き
い集積回路の外形寸法よりも僅かに大きく設定されてい
る。安定した基準面を得るために、データム１は、カー
バイド又はインバーのような機械的に強力な材料から製
造される。データム１の上部表面は、極めて高い平坦性
が得られるまで研削及び研磨が施される。データム１の
基準エッジ１２は、鋭く、ストレート状に形成され、正
確に仕上げられている。基準エッジ１２を構成するデー
タム１のアパーチャ壁８３（図３参照）は、対向壁から
の反射を回避するか、又は、低減するために、黒色とな
されている。データム１は基準面を成すので、その上部
表面は、例えば、ｚ＝０と定義することが可能である。
検査システムは、捕捉した映像の相関及び分析によっ
て、対象物１０のリード片及びパッケージ輪郭のような
特徴の相対位置を導き出し、リードのピッチ及び端子寸
法のような機械的パラメータを計算する。

【００１８】ビデオ・カメラ７のイメージ・センサ（セ
ンサ・プレート）１０３において、データム１の基準エ
ッジ１２の輪郭と対象物１０のリード８１及びパッケー
ジ本体８２の輪郭の投影から構成される単一の像５０
（図５参照）が捕捉される。この像５０は、２つの異な
る視角θ１及びθ２（図２及び図３参照）にそれぞれ対
応する２つの異なる方向の投影光路９１，９２に沿っ
て、データム１の基準エッジ１２の輪郭、対象物１０の
リード片８１及びパッケージ本体８２の輪郭、すなわち
３次元の情報を含む輪郭を投影することによって生成さ
れる。ビデオ・カメラ７によって捕捉された像５０は、
エッジ検出手段のようなデジタル・イメージ処理手段を
用いてデジタル化され、分析される。

【００１９】図１からさらに明らかなように、検査を受
ける対象物１０の１つのポイントは、光学プリズム５に
よって提供されて菱形プリズム８を通して導かれる２つ
の投影光路９１，９２に沿って見ることができる。２つ
の異なる投影光路９１，９２によって、対象物１０の１
つのポイントに関する２つの異なる視角θ１及びθ２に
よる２つの異なる映像が得られる。

【００２０】図２に示すように、光学プリズム５は、６
辺の断面を有し、８つの側面を備えている。特殊形状の
光学プリズム５の互いに隣接しない２つの側面５１，５
２は、互いに正確にアライメントがとられていて、一方
の側面５１が位置する平面、及び、他方の側面５２が位
置する平面が、互いに所定の角度で囲まれるようになっ
ている。この所定の角度と、これに関連する光学プリズ
ム５の入射面５３とにより、２つの異なる視角θ１及び
θ２が形成される。光学プリズム５の２つの側面５１，
５２間の角度は、数分の正確度で形成されるのが望まし
いが、５分の角度がより望ましい。最適な検査結果が得
られるように、第１の視角θ１は、できる限り小さいの
が、すなわち、０゜であるのが望ましく、第２の視角θ
２は、できる限り大きいのが、すなわち、９０゜である
のが望ましい。しかしながら、リード片８１の輪郭の投
影と基準エッジ１２の輪郭の投影との間の投影像５０に
十分なマージン（裕度）を残すため、θ１は１２゜が望
ましく、θ２は４３゜が望ましい。

【００２１】第１の投影光路９１は、光学プリズム５の
内部反射表面５２における全反射によって使用可能にな
る。第１の投影光路９１は、第１の視角θ１と相関させ
られる。第１の投影光路９１に対する光学プリズム５の
入射面の角度及び出射面の角度に応じて、入射面及び出
射面において屈折が生じる可能性がある。

【００２２】第２の投影光路９２が、光学プリズム５の
外部反射表面５１における外部反射によって得られる。
この第２の投影光路９２は、第２の視角θ２と相関させ
られる。プリズム５の屈折率は、特殊形状プリズムの外
部の他の媒体の屈折率よりも高い。本発明の好ましい実
施態様によれば、他の媒体は、屈折率が１の空気であ
る。

【００２３】平面１００（図２及び図３参照）と結像面
の間において、第１の投影光路９１と第２の投影光路９
２は、図１に示すように検査システムの光学軸Ｓに対し
て平行である。

【００２４】表面１００における第１の投影光路９１と
第２の投影光路９２との間の光学距離差δは、下記の数
式（１）から計算することが可能である。 δ＝ａ／ｎ１＋（ｂ＋ｃ）／ｎ２−（ｄ＋ｅ）／ｎ１ …… （１） ここで、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅは、図２に示すように投影
光路９１，９２の部分長であり、ｎ１は、光学プリズム
５の外部の媒体の屈折率であり、ｎ２は、光学プリズム
５の材料の屈折率である。光学距離は、本明細書では、 Ｌｏ＝Ｌｇ／ｎ で表される。ここで、Ｌｏは、光路長であり、Ｌｇは、
幾何学長であり、ｎは、幾何学長が延びる領域の材料の
屈折率である。

【００２５】特殊形状のプリズム５の外部の媒体は、空
気が望ましく、この場合には、ｎ１は１に等しく、上述
の数式（１）は下記のように書くことができる。 δ＝ａ＋（ｂ＋ｃ）／ｎ−ｄ−ｅ

【００２６】適当な屈折率ｎ２を備えた材料を選択する
ことによって、第１の投影光路９１（ａ＋ｂ＋ｃ）と第
２の投影光路（ｄ＋ｅ）との間の光路長差δが補償され
る。

【００２７】他の媒体として、例えば、別の気体又は流
体といった、空気とは異なる媒体を用いることも可能で
ある。

【００２８】上述のように、基準エッジ１２又は対象物
１０のリード片８１のような同じ対象物のポイントから
来て、表面５２，５１においてそれぞれ視角θ１及び視
角θ２で反射される２つの投影光路９１，９２の光路長
に影響を及ぼす態様の１つは、光学プリズム５に適した
光学材料を選択することである。

【００２９】２つの投影光路９１，９２間における光路
長の差を最小限に抑えるもう１つの態様は、光学プリズ
ム５を適当な寸法にすると共に、視角θ１及びθ２を適
切に設定することである。

【００３０】本発明の好ましい実施態様によれば、２つ
の投影光路９１，９２の長さの等化に影響を及ぼす別の
態様は、データム１のアパーチャ２の寸法と、データム
１及びデータム１のアパーチャ２に対する光学プリズム
５の配置である。

【００３１】本発明の好ましい態様によれば、データム
１に対して平行に配置され、かつ、光学プリズム５の底
面に対してアライメントがとられた出射面１００におけ
る、２つの光線１０１，１０２間の光路長差は、補償さ
れる一方、２つの視角θ１，θ２間における最大許容角
差は、保持され、像５０において、リード片８１と基準
エッジ１２との間の十分なマージンが保たれる。

【００３２】図３に示すように、第１の投影光路９１及
び第２の投影光路９２に沿ってそれぞれ反射される２つ
の光線８８及び８９が、レンズ６に直接入射する場合に
は、像５０の中央部分に可成り広い空白領域が生じるこ
とになる。像５０にこの空白領域があるのは望ましくな
いので、本発明の好ましい実施態様によれば、第１の投
影光路９１及び第２の投影光路９２が、平面１００と交
差する際の２つの光線８８及び８９よりも検査システム
の光学軸Ｓの側に接近するように、２つの投影光路９
１，９２の向きを直す２つの菱形プリズム８が配設され
ている。本発明の好ましい実施態様によれば、像５０の
有効ピクセル解像度を高めるのは、この方法である。と
いうのも、光学プリズム５の下方に配置されている２つ
の菱形プリズム８によって、２つの投影光路９１，９２
が、それぞれ、システムの光学軸Ｓ側に平行にシフトす
るからである。

【００３３】図４には、本発明の好ましい実施態様の平
面図が示されている。この場合、対象物１０（例えば、
各面にそれぞれ３つのリードを有するような、各面毎に
少数のリード又はピンを備える両面集積回路が望まし
い）が、データム１のアパーチャ２に重なるように配置
されている。２つの照明光源３が、それぞれ、対象物１
０のそれぞれの面にバックライテェイング（後方照明）
を施すために、データム１の上部表面に設けられてい
る。

【００３４】図５には、図４に示すように、集積回路が
対象物１０として用いられる場合に、カメラによって捕
捉される像の図が示されている。第１の側面図３１は、
照明光源３の一方によって、アパーチャ２を介して、光
学プリズム５によって選択される第１の投影光路９１並
びに第２の投影光路９２に沿って、データム１の基準エ
ッジ１２の１つの輪郭と、集積回路１０の一方の面にけ
るパッケージ本体８２及びリード８１の輪郭とを投影す
るやり方で投影される。菱形プリズム８によって、２つ
の投影光路９１，９２が平行に、かつ、検査システムの
光学軸Ｓの近くに向け直される。

【００３５】光学プリズム５、菱形プリズム８、照明光
源３、並びに、データム１の基準エッジ１２の対称構成
によって、図５に示すように、第１の側面図３１の投影
と同じ方法で投影された第２の側面図３２を得ることが
できる。従って、本発明の好ましい実施態様によれば、
集積回路１０の２つの面を同時に検査することが可能で
ある。

【００３６】以上において本発明を説明したが、これを
要約すると次の通りである。すなわち、本発明は、リー
ド付き集積回路のような形式の対象物を検査するための
検査システムを提供する。本発明の検査システムは、集
積回路のリード（リード片）についての２つの投影を受
ける光学プリズム５を備えている。これらの２つの投影
は、例えばリード片８１（或いは、データム１の基準エ
ッジ１２若しくはパッケージ本体８２）と結像面との間
の第１の投影経路９１、及び、リード片８１と結像面と
の間の第２の投影経路９２が互いに同じ光学経路長にな
るように、光学プリズム５の内部反射表面５２及び外部
反射表面からそれぞれ反射される。

【００３７】本発明については、好ましい実施態様に関
連して詳述してきたが、もちろん、付属の請求項によっ
て規定された本発明の精神及び範囲を逸脱することな
く、さまざまな変更、代替、及び改変を施すことが可能
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の好ましい実施態様による検査システム
の概略図である。

【図２】本発明の好ましい実施態様による光学プリズム
の断面図である。

【図３】本発明の好ましい実施態様による光学プリズム
の詳細な断面図である。

【図４】本発明の好ましい実施態様の平面図である。

【図５】本発明の好ましい実施態様による検査システム
によって捕捉された像を示す図である。

【符号の説明】

１ データム ２ アパーチャ ３ 拡散光源 ５ 光学プリズム ６ レンズ ７ カメラ ８ 菱形プリズム １０ 対象物 １２ 基準エッジ ３０ 対象物キャリヤ ５０ 像 ５１ 外部反射表面 ５２ 内部反射表面 ８１ リード片 ８２ パッケージ本体 ９１ 第１の投影光路 ９２ 第２の投影光路 １０３ イメージ・センサ Ｓ 検査システムの光学軸

フロントページの続き (71)出願人 399117121 395 Ｐａｇｅ Ｍｉｌｌ Ｒｏａｄ Ｐ ａｌｏ Ａｌｔｏ，Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ Ｕ．Ｓ．Ａ. (72)発明者 ペング・セング・トー シンガポール国288407，シェルフォード・ ロード 18ジー

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 リード付き集積回路の形式を成す対象物
   を検査するための検査システムであって、 基準エッジによって画成されたアパーチャを有すると共
   に、前記検査システムの光学軸に対して垂直な基準面を
   成すデータムと、 対象物を前記データムのアパーチャと重なるように位置
   決めするための対象物キャリヤと、 前記アパーチャを通して拡散光を照射することによっ
   て、前記対象物のリードを含む輪郭、及び、前記基準エ
   ッジの輪郭を前記アパーチャを通していくつかの投影方
   向に投影するための拡散光源と、 前記輪郭の投影を受ける光学プリズムであって、異なる
   投影方向から受けた前記投影のうちの２つを選択するた
   めの光学プリズムと、をそれぞれ備え、 前記光学プリズムが、前記輪郭の前記選択された２つの
   投影のうちの一方を結像面に向かう反射方向に反射する
   ための外部反射表面を有すると共に、入射表面、出射表
   面、及び、内部反射表面をそれぞれ有しており、 前記内部反射表面が、前記入射表面及び前記出射表面と
   協働し、前記光学プリズムの前記出射表面を通して、前
   記輪郭の前記選択された２つの投影のうちの他方を結像
   面に向かう出射方向に内部反射し、 前記輪郭と前記選択された一方の投影に関する光線の結
   像面との間における第１の投影光路、及び、前記輪郭と
   選択された他方の投影に関する光線の結像面との間にお
   ける第２の投影光路が、互いに同じ光路長になるように
   したこと、を特徴とするリード付き集積回路の検査シス
   テム。
2. 【請求項２】 前記輪郭の２つの投影の像を検出するた
   めに前記結像面に配置された像検出システムをさらに備
   えることを特徴とする請求項１に記載のリード付き集積
   回路の検査システム。
3. 【請求項３】 前記像検出システムに、レンズと、イメ
   ージ・センサ付きのカメラとが含まれることを特徴とす
   る請求項２に記載のリード付き集積回路の検査システ
   ム。
4. 【請求項４】 前記輪郭の２つの投影を受ける方向が、
   第１の視角及び第２の視角に対応することを特徴とする
   請求項１に記載のリード付き集積回路の検査システム。
5. 【請求項５】 前記輪郭の２つの投影を受ける方向が、
   第１の視角及び第２の視角に対応することを特徴とする
   請求項２に記載のリード付き集積回路の検査システム。
6. 【請求項６】 前記輪郭の２つの投影を受ける方向が、
   第１の視角及び第２の視角に対応することを特徴とする
   請求項３に記載のリード付き集積回路の検査システム。
7. 【請求項７】 前記対象物の輪郭に、前記対象物のリー
   ド片及びパッケージ本体が含まれることを特徴とする請
   求項１に記載のリード付き集積回路の検査システム。
8. 【請求項８】 前記対象物の輪郭に、前記対象物のリー
   ド片及びパッケージ本体が含まれることを特徴とする請
   求項２に記載のリード付き集積回路の検査システム。
9. 【請求項９】 前記対象物の輪郭に、前記対象物のリー
   ド片及びパッケージ本体が含まれることを特徴とする請
   求項３に記載のリード付き集積回路の検査システム。
10. 【請求項１０】 前記対象物の輪郭に、前記対象物のリ
    ード片及びパッケージ本体が含まれることを特徴とする
    請求項４に記載のリード付き集積回路の検査システム。
11. 【請求項１１】 前記対象物の輪郭に、前記対象物のリ
    ード片及びパッケージ本体が含まれることを特徴とする
    請求項５に記載のリード付き集積回路の検査システム。
12. 【請求項１２】 前記対象物の輪郭に、前記対象物のリ
    ード片及びパッケージ本体が含まれることを特徴とする
    請求項６に記載のリード付き集積回路の検査システム。
13. 【請求項１３】 前記第１の投影光路及び前記第２の投
    影光路を前記システムの光学軸に対して平行をなしかつ
    前記光学軸に対してより近づくように平行に向け直すた
    めに、前記光学プリズムと前記結像面の間に配置された
    菱形プリズムをさらに備えることを特徴とする請求項１
    乃至１２の何れか１項に記載のリード付き集積回路の検
    査システム。