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JP2001330709A - Shielding unit integrated microlens array and method of forming light-shielding film - Google Patents

Shielding unit integrated microlens array and method of forming light-shielding film

Info

Publication number
JP2001330709A
JP2001330709A JP2000153010A JP2000153010A JP2001330709A JP 2001330709 A JP2001330709 A JP 2001330709A JP 2000153010 A JP2000153010 A JP 2000153010A JP 2000153010 A JP2000153010 A JP 2000153010A JP 2001330709 A JP2001330709 A JP 2001330709A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
microlens array
light
shielding
resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000153010A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshihiro Shoji
敏博 庄司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DIC Corp
Original Assignee
Dainippon Ink and Chemicals Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dainippon Ink and Chemicals Co Ltd filed Critical Dainippon Ink and Chemicals Co Ltd
Priority to JP2000153010A priority Critical patent/JP2001330709A/en
Publication of JP2001330709A publication Critical patent/JP2001330709A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】射出成形等の方法で作製されるマイクロレンズ
アレイついて、アライメント精度に優れた高品質な遮光
部一体型マイクロレンズアレイを高効率で製造する手段
を提供する。 【解決手段】インクジェット方式によりインクを各レン
ズ1間に吐出し、インク材料を乾燥・硬化させることに
より遮光膜3を形成する。
(57) [Abstract] (With correction) [PROBLEMS] For a microlens array manufactured by a method such as injection molding, a means for efficiently manufacturing a high-quality light-shielding-portion-integrated microlens array with excellent alignment accuracy is provided. provide. A light-shielding film is formed by discharging ink between the lenses by an inkjet method, and drying and curing the ink material.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、マイクロレンズを一次
元または二次元に配列したマイクロレンズアレイに関
し、特に各マイクロレンズ間に遮光部を設けた遮光部一
体型マイクロレンズアレイに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microlens array in which microlenses are arranged one-dimensionally or two-dimensionally, and more particularly to a microlens array integrated with a light-shielding portion provided with a light-shielding portion between the microlenses.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、マイクロオプティクスの分野にお
いて、レンズ径が数百μm以下のマイクロレンズを一次
元または二次元に配列したマイクロレンズアレイが開発
され、液晶表示装置、固体撮像素子、光インターコネク
ションによる多重画像転送、光ファイバーアレイの光結
合器、光集積回路、電子複写機やファクシミリの光学
系、LED又はLCDプリンタの光プリントヘッド、共
焦点型レーザー顕微鏡などの幅広い応用分野で利用が期
待され、あるいは一部の分野では既に実用化されてい
る。
2. Description of the Related Art In recent years, in the field of micro optics, a microlens array having a one-dimensional or two-dimensional array of microlenses having a lens diameter of several hundreds μm or less has been developed. It is expected to be used in a wide range of application fields such as multiple image transfer, optical coupler of optical fiber array, optical integrated circuit, optical system of electronic copier and facsimile, optical print head of LED or LCD printer, confocal laser microscope, etc. Or it is already in practical use in some fields.

【0003】このようなマイクロレンズアレイの作製方
法について各種報告がなされている。例えば、(1)プ
ラスチック或いはガラスを金型によって成型する方法、
(2)Micro-Optics,P.75 Taylor & Francis,1997や特
開平8−313706に開示された、半導体製造等に利
用されるフォトリソグラフィー技術とレジストの熱溶融
法とを組み合わせた方法で、レンズの平面形状にパター
ニングした後、感光性樹脂の軟化点以上に加熱して流動
化し、パターンエッジのダレを起こして凸レンズを得る
方法、(3)特開昭57−53702号公報や特公平4
−34121号公報に開示された、イオン交換法により
基板ガラス内に屈折率分布を作ることにより平板型のマ
イクロレンズアレイを作製する方法、等の技術が提案さ
れている。
[0003] Various reports have been made on a method of manufacturing such a microlens array. For example, (1) a method of molding plastic or glass with a mold,
(2) A lens obtained by combining a photolithography technique used in semiconductor manufacturing and the like and a hot melting method of a resist, disclosed in Micro-Optics, P.75 Taylor & Francis, 1997 and JP-A-8-313706. After patterning into a planar shape, a method of heating to a temperature higher than the softening point of the photosensitive resin to fluidize it, causing sagging of the pattern edge to obtain a convex lens, (3) JP-A-57-53702 and JP-B-4
Japanese Patent Application Laid-Open No. 34121/1991 discloses a technique for producing a flat microlens array by forming a refractive index distribution in a substrate glass by an ion exchange method.

【0004】この中で、(1)の方法は、生産性が高
く、最も低コストでマイクロレンズアレイが製造可能で
ある。
Among them, the method (1) has high productivity and can manufacture a microlens array at the lowest cost.

【0005】マイクロレンズアレイの分解能は、マイク
ロレンズの形状や屈折率分布によって支配される。ま
た、収差のない理想的なマイクロレンズでは、分解能
は、回折現象で制限され、マイクロレンズの開口数と波
長により分解能が決定される。また、レンズを形成して
いない非レンズ部分を透過する光は迷光となり分解能を
低下させる。
[0005] The resolution of a microlens array is governed by the shape and refractive index distribution of the microlens. In an ideal microlens having no aberration, the resolution is limited by a diffraction phenomenon, and the resolution is determined by a numerical aperture and a wavelength of the microlens. In addition, light that passes through a non-lens portion where no lens is formed becomes stray light and reduces the resolution.

【0006】ここで、非レンズ部分に遮光膜を形成して
迷光を除去する技術が提案されている。そのような方法
としては、以下のものを挙げることが出来る。 (a)レンズ部分と非レンズ部分の面粗度に差をもた
せ、カーボン粒子を含んだ樹脂被膜を形成した後、被膜
の接着性の差を利用してレンズ部分の被膜のみを剥離す
る方法(特開昭63−153501号)。 (b)クロム、チタン等の金属薄膜をスパッター等の方
法で形成した後、フォトリソグラフィ法でパターニング
する方法(特開平2−64501号、特開平7−174
902号)。 (c)感光性黒色塗料をフォトリソグラフィ法で現像除
去する方法(特開平9−166701号)。
Here, there has been proposed a technique of forming a light shielding film on a non-lens portion to remove stray light. Examples of such a method include the following. (A) A method in which the surface roughness of a lens portion and that of a non-lens portion are made different, a resin film containing carbon particles is formed, and then only the film of the lens portion is peeled off using the difference in adhesiveness of the film ( JP-A-63-153501. (B) A method of forming a metal thin film of chromium, titanium, or the like by sputtering or the like, and then patterning by photolithography (Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2-64501 and 7-174).
No. 902). (C) A method of developing and removing a photosensitive black paint by a photolithography method (Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-166701).

【0007】しかし、これらの方法では、上記(1)の
優れた生産性を確保出来ないばかりか、遮光膜と非レン
ズ部のアライメント精度が劣り、レンズ品質が劣るとい
う問題があった。
However, these methods have problems that not only the excellent productivity of the above (1) cannot be secured, but also that the alignment accuracy between the light-shielding film and the non-lens portion is inferior, and the lens quality is inferior.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来提案さ
れたマイクロレンズアレイ用遮光膜の形成方法における
問題点を克服し、金型による成型という高生産性に対応
し、高効率で生産性が高く、品質に優れた新規な構成に
よる遮光部一体型マイクロレンズアレイ及びその製造方
法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention overcomes the problems of the conventionally proposed method of forming a light-shielding film for a microlens array, responds to the high productivity of molding using a mold, and achieves high efficiency and high productivity. It is an object of the present invention to provide a light-shielding-unit-integrated microlens array having a novel structure with high quality and excellent quality, and a method for manufacturing the same.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者は、遮光部一体
型マイクロレンズアレイにおける遮光膜の形成方法につ
いて鋭意検討を行った結果、従来本目的には用いられる
ことのなかったインクジェット方式を採用することによ
り、従来問題とされていた諸点が解消できることを見出
し、本発明を完成するに至った。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies on the method of forming a light-shielding film in a light-shielding-unit-integrated microlens array, and as a result, have adopted an ink-jet method which has not been conventionally used for this purpose. As a result, the present inventors have found that various problems that have been conventionally solved can be solved, and have completed the present invention.

【0010】即ち、本発明は上記課題を達成するため
に、透明基板に複数個のマイクロレンズを形成してなる
マイクロレンズアレイであって、各レンズ間にインク材
料による遮光膜をインクジェット法により形成すること
を特徴とするものである。
That is, in order to achieve the above object, the present invention provides a microlens array comprising a plurality of microlenses formed on a transparent substrate, wherein a light-shielding film made of an ink material is formed between the lenses by an ink-jet method. It is characterized by doing.

【0011】以下、本発明を詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【0012】まず、マイクロレンズアレイの製造方法に
ついて説明する。本発明の遮光部一体型マイクロレンズ
アレイは、透明高分子樹脂或いは2P(Photo−P
olymer)法、或いはガラス等に金型成型により複
数個のマイクロレンズを形成することが生産性上好まし
い。
First, a method for manufacturing a microlens array will be described. The microlens array integrated with the light shielding unit of the present invention is made of a transparent polymer resin or 2P (Photo-P).
It is preferable in terms of productivity to form a plurality of microlenses by an oligomer method or by molding a glass or the like with a metal mold.

【0013】まず、透明高分子樹脂にて製造する場合に
は、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹
脂、ポリスチレン樹脂等の熱可塑性樹脂を使用し、マイ
クロレンズアレイ形状を成型する為の金型を使い、射出
成型,射出圧縮成型,圧縮成型等公知のプラスチック成
型技術にて高効率・高生産性を持った方法でマイクロレ
ンズアレイを製造することが出来る。
First, in the case of manufacturing with a transparent polymer resin, a thermoplastic resin such as a polycarbonate resin, an acrylic resin, an epoxy resin, and a polystyrene resin is used, and a mold for forming a microlens array shape is used. The microlens array can be manufactured by a method having high efficiency and high productivity by a known plastic molding technique such as injection molding, injection compression molding, compression molding, or the like.

【0014】ここで、透明高分子樹脂に変えて、石英、
光学ガラス、電子光学用ガラス(無アルカリガラスな
ど)、透光性セラミックス等を使用しても良い。また、
プラスチックレンズの軽量性を確保し、寸法安定性等の
耐熱性をより向上するものとして、紫外線硬化型樹脂を
利用した2P成型法がある。これは、反応性の二重結合
を有するオリゴマー、モノマー等より成る液状樹脂を金
型と透明基板の間に供給し、透明基板側から紫外線を照
射して、硬化物を得る方法である。本法は、金型へ液状
物を押し込む為金型追随性に優れ、寸法精度が良好であ
り、樹脂自体架橋形成するため耐熱性に優れたものが得
られる。
Here, instead of the transparent polymer resin, quartz,
Optical glass, glass for electro-optics (alkali-free glass, etc.), translucent ceramics, or the like may be used. Also,
As a method for securing the lightness of a plastic lens and further improving heat resistance such as dimensional stability, there is a 2P molding method using an ultraviolet curable resin. In this method, a liquid resin composed of an oligomer, a monomer, or the like having a reactive double bond is supplied between a mold and a transparent substrate, and ultraviolet light is irradiated from the transparent substrate side to obtain a cured product. According to this method, a liquid material is pushed into a mold, so that the mold has excellent followability, dimensional accuracy is good, and the resin itself is excellent in heat resistance due to crosslinking.

【0015】次に、上記で得られたマイクロレンズアレ
イの各レンズ間に、インク材料をインクジェット法にて
吐出し、遮光膜を形成する。なお、マイクロレンズアレ
イを両面に有する場合は、両レンズ面のうち一方のレン
ズ面上のみに遮光膜を形成してもよい。
Next, an ink material is ejected between each lens of the microlens array obtained above by an ink-jet method to form a light-shielding film. When a microlens array is provided on both surfaces, a light-shielding film may be formed only on one of the two lens surfaces.

【0016】インク材料は、遮光性、反射防止性の面か
ら黒色であることが望ましい。
The ink material is desirably black in terms of light-shielding properties and antireflection properties.

【0017】インクジェット法は、数ピコリットル(p
l)から数10plの専用インクの液滴を細いノズル
(数10μm径)から被記録媒体上に飛ばして付着させ
て印字記録するものである。記録方式により、コンティ
ニュアス式とオンデマンド式に大別される。また印字ヘ
ッドの構造により、圧電素子の振動によりインクを押し
出すものと抵抗素子の発熱によりインクを気化、気泡を
発生させインクを押し出すものがある。インクはそれぞ
れのヘッド構造・記録方式に最適化されたものが使用さ
れる。
In the ink jet method, several picoliters (p
The printing is performed by ejecting droplets of special ink of several tens pl from l) onto a recording medium by flying from a fine nozzle (several tens of μm in diameter) onto a recording medium. Depending on the recording method, it is roughly classified into a continuous type and an on-demand type. Further, depending on the structure of the print head, there are a type in which the ink is pushed out by the vibration of the piezoelectric element, and a type in which the ink is vaporized by the heat generated by the resistive element to generate bubbles to push out the ink. The ink used is optimized for each head structure and recording method.

【0018】インクジェット法に使用されるインクをイ
ンクの性状により大別すると、固体インクと液体インク
があるが、本発明の遮光部一体型マイクロレンズアレイ
には何れも使用することができる。
The inks used in the ink-jet method can be roughly classified according to the properties of the inks. Solid inks and liquid inks can be used, and any of them can be used in the microlens array integrated with the light-shielding portion of the present invention.

【0019】固体インクは、油性染料・無機顔料・有機
顔料を色材として、常温で固体であり高温で溶融するワ
ックスを溶媒とするインクである。これは、ヘッドとイ
ンクポットの周りを、100℃を越える高温に保持し、
液体状態でインクを押し出し、被記録媒体上で常温に戻
り固体化するものである。
The solid ink is an ink which uses oily dyes, inorganic pigments, and organic pigments as coloring materials, and uses a wax which is solid at normal temperature and melts at high temperature as a solvent. This keeps the area around the head and the ink pot at a high temperature exceeding 100 ° C,
Ink is extruded in a liquid state and returns to normal temperature on a recording medium to be solidified.

【0020】一方、液体インクには水溶性染料・無機顔
料・有機顔料を色材として水・グリセリン等を溶媒とす
る水性インクと油溶性染料・無機顔料・有機顔料を色材
としてMEK・アルコール等を溶媒とする油性インクが
ある。また、溶媒の一部又は全量を紫外線硬化性樹脂と
した紫外線硬化型インクも使用されている。
On the other hand, liquid inks include aqueous inks using water-soluble dyes, inorganic pigments and organic pigments as coloring materials and water, glycerin and the like as solvents, and MEKs and alcohols using oil-soluble dyes, inorganic pigments and organic pigments as coloring materials. There is an oil-based ink using as a solvent. In addition, an ultraviolet curable ink in which a part or all of the solvent is an ultraviolet curable resin is also used.

【0021】上記インクに使用することのできる黒色の
色材の例としては、以下に挙げられるものがあるが、本
発明は以下のものに限定されるものではない。
Examples of the black coloring material that can be used in the ink include the following, but the present invention is not limited to the following.

【0022】水性インキに用いられるものとしては、
C.I.ダイレクトブラック154,168、C.I.
サルファーブラック1,C.I.アシッドブラック2,
4,8,51,52,110,115,156、C.
I.フードブラック1,2等の染料又はカーボンブラッ
クが挙げられる。油性インクに用いられるものとして
は、ソルベントブラック3,5,46等の染料又はカー
ボンブラックが挙げられる。これらの中で、耐光性等の
観点から、カーボンブラックが特に好ましい。
Examples of the water-based ink include:
C. I. Direct Black 154, 168, C.I. I.
Sulfur Black 1, C.I. I. Acid Black 2,
4, 8, 51, 52, 110, 115, 156, C.I.
I. Dyes such as food blacks 1 and 2 or carbon black are exemplified. Dyes such as Solvent Black 3, 5, 46 and the like or carbon black are used as oily inks. Among them, carbon black is particularly preferred from the viewpoint of light resistance and the like.

【0023】固体インクは、常温で適当な機械的強度を
有し、逆に溶融時にはなるべく低粘度となることが望ま
しく、一定温度でシャープに溶融する特性が要求され
る。このような特性を持つワックス(ロウ)及び樹脂を
主成分とし、これに色材、活性エネルギー線硬化性イン
クの場合は活性エネルギー線により重合硬化する活性エ
ネルギー線硬化性樹脂等が含有されている。
It is desirable that the solid ink has an appropriate mechanical strength at room temperature and, on the contrary, has as low a viscosity as possible upon melting, and is required to have a characteristic of sharply melting at a constant temperature. A wax (wax) and a resin having such characteristics are used as main components, and a coloring material and, in the case of an active energy ray-curable ink, an active energy ray-curable resin polymerized and cured by an active energy ray are contained therein. .

【0024】ワックス及び樹脂の例としては、炭化水素
系オリゴマー(パラフィンワックス、マイクロクリスタ
リンワックス等)、長鎖脂肪酸(ステアリン酸、ベヘン
酸等)、長鎖脂肪酸エステル(ソルビタンモノステアレ
ート等)、長鎖脂肪酸アミド(N−ステアリルステアリ
ン酸アミド等)、長鎖アルコール(ステアリルアルコー
ル等)、酸化ポリエチレン、α−オレフィン無水マレイ
ン酸共重合体等が挙げられ、一般的に40から80質量
%含まれる。
Examples of waxes and resins include hydrocarbon oligomers (such as paraffin wax and microcrystalline wax), long-chain fatty acids (such as stearic acid and behenic acid), long-chain fatty acid esters (such as sorbitan monostearate), and long-chain fatty acids. Examples thereof include chain fatty acid amides (such as N-stearyl stearamide), long-chain alcohols (such as stearyl alcohol), polyethylene oxide, and α-olefin maleic anhydride copolymers, which are generally contained in an amount of 40 to 80% by mass.

【0025】色材の含有量としては、一般的に1から1
0質量%である。
The content of the coloring material is generally from 1 to 1
0% by mass.

【0026】活性エネルギー線硬化性樹脂には、反応性
オリゴマー、反応性モノマー及び紫外線硬化性樹脂の場
合には、光重合開始剤が更に構成成分として含有され
る。反応性オリゴマーと反応性モノマーの含有量として
は、10から40質量%であり、光重合開始剤は1から
10質量%含有される。
The active energy ray-curable resin further contains a photopolymerization initiator as a constituent component in the case of a reactive oligomer, a reactive monomer and an ultraviolet curable resin. The content of the reactive oligomer and the reactive monomer is 10 to 40% by mass, and the content of the photopolymerization initiator is 1 to 10% by mass.

【0027】反応性オリゴマーとしては、紫外線硬化樹
脂の製造に使用される光重合性オリゴマーを使用するこ
とができる。ラジカル重合性オリゴマーとして具体的に
は、ポリエステル(メタ)アクリレート、ビスフェノー
ル系エポキシ(メタ)アクリレート、ノボラック系エポ
キシ(メタ)アクリレート、アルキレンオキシド変性ビ
スフェノールA系(メタ)アクリレート、リン酸変性エ
ポキシ(メタ)アクリレート、ポリカーボネート系ウレ
タン(メタ)アクリレート、ポリエステル系ウレタン
(メタ)アクリレート、ポリエーテル系ウレタン(メ
タ)アクリレート、脂環式ウレタン(メタ)アクリレー
ト、脂肪族ウレタン(メタ)アクリレート、ポリブタジ
エン変性(メタ)アクリレート等を挙げることができ
る。また、イオン重合性オリゴマーとして具体的には、
ビスフェノール系エポキシ樹脂、ノボラック系エポキシ
樹脂等を挙げることができる。
As the reactive oligomer, a photopolymerizable oligomer used for producing an ultraviolet curable resin can be used. Specific examples of the radical polymerizable oligomer include polyester (meth) acrylate, bisphenol-based epoxy (meth) acrylate, novolak-based epoxy (meth) acrylate, alkylene oxide-modified bisphenol A-based (meth) acrylate, and phosphoric acid-modified epoxy (meth) Acrylate, polycarbonate urethane (meth) acrylate, polyester urethane (meth) acrylate, polyether urethane (meth) acrylate, alicyclic urethane (meth) acrylate, aliphatic urethane (meth) acrylate, polybutadiene-modified (meth) acrylate And the like. Further, specifically, as the ion-polymerizable oligomer,
Examples include bisphenol-based epoxy resins and novolak-based epoxy resins.

【0028】反応性モノマーとしては、ラジカル重合性
モノマーとして具体的には、(メタ)アクリル酸エステ
ル系モノマー、(メタ)アクリル酸アミド系モノマー、
マレイン酸エステル系モノマー、スチレン系モノマー、
ビニルエーテル系モノマー等が挙げられる。これらの中
で、アクリル酸系モノマーは反応性が高く好ましく、更
には分子中に3個以上のアクリロイル基を持つ多官能ア
クリル酸エステルモノマーを含有することが好ましい。
イオン重合性のモノマーとして具体的には、分子内にエ
ポキシ基を持つエポキシ化合物、ビニルエーテル系モノ
マー、オキセタン化合物等が挙げられる。
As the reactive monomer, specific examples of the radical polymerizable monomer include (meth) acrylate monomers, (meth) acrylamide monomers,
Maleic ester monomers, styrene monomers,
And vinyl ether monomers. Among these, acrylic acid monomers are preferred because of their high reactivity, and more preferably contain a polyfunctional acrylate monomer having three or more acryloyl groups in the molecule.
Specific examples of the ion-polymerizable monomer include an epoxy compound having an epoxy group in a molecule, a vinyl ether-based monomer, and an oxetane compound.

【0029】光重合開始剤としては、ラジカル重合開始
剤、カチオン重合開始剤、アニオン重合開始剤がある。
ラジカル重合開始剤としては、2−ヒドロキシ−2−メ
チル−1−フェニルプロパン−1−オン等のアセトフェ
ノン系開始剤、ベンジルジメチルケタール等のベンゾイ
ン系開始剤、ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メ
チルジフェニルサルファイド等のベンゾフェン系開始
剤、2,4−ジエチルチオキサンソン等のチオキサンソ
ン系開始剤、α−アシロキシムエステル、アシルホスフ
ィンオキサイド、ベンジル、メチルフェニルグリオキシ
レート、カンファーキノン等が挙げられる。また、光重
合開始助剤として、トリエタノールアミン等の脂肪族ア
ルカノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル
等の芳香族アミンが挙げられる。
The photopolymerization initiator includes a radical polymerization initiator, a cationic polymerization initiator, and an anionic polymerization initiator.
Examples of the radical polymerization initiator include acetophenone-based initiators such as 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzoin-based initiators such as benzyldimethylketal, benzophenone, and 4-benzoyl-4-methyldiphenyl. Examples thereof include benzophene-based initiators such as sulfide, thioxanthone-based initiators such as 2,4-diethylthioxanthone, α-acyloxime ester, acylphosphine oxide, benzyl, methylphenylglyoxylate, and camphorquinone. Examples of the photopolymerization initiation aid include an aliphatic alkanolamine such as triethanolamine and an aromatic amine such as ethyl 4-dimethylaminobenzoate.

【0030】また、カチオン重合開始剤の場合には、芳
香族ジアゾニウム塩、芳香族ハロニウム塩、芳香族スル
ホニウム塩、メタロセン化合物等の光開始剤が用いられ
る。その具体例としてトリフェニルスルホニウムヘキサ
フルオロホスフェート、ジフェニルヨードニウムヘキサ
フルオロアンチモネート等が挙げられる。
In the case of a cationic polymerization initiator, a photoinitiator such as an aromatic diazonium salt, an aromatic halonium salt, an aromatic sulfonium salt, or a metallocene compound is used. Specific examples thereof include triphenylsulfonium hexafluorophosphate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate, and the like.

【0031】アニオン重合開始剤としては、アルコキシ
シランとP−クロロフェニル−o−ニトロベンジルエー
テルの組み合わせ、2−ニトロベンジル−N−シクロヘ
キシルカルバメート等が挙げられる。
Examples of the anionic polymerization initiator include a combination of alkoxysilane and P-chlorophenyl-o-nitrobenzyl ether, 2-nitrobenzyl-N-cyclohexylcarbamate, and the like.

【0032】これらの光重合開始剤は、1種または複数
種を使用することができる。
One or more of these photopolymerization initiators can be used.

【0033】一般的には、ラジカル重合系の方がイオン
重合系に比べ、架橋度が大きくインクとしての塗膜強度
を確保し易い傾向があるが、一方空気中の酸素により重
合が阻害される(酸素阻害という)為、薄膜での硬化性
が問題となり易い。このような酸素阻害の問題に対して
は、窒素雰囲気下で硬化することが非常に有効である。
In general, radical polymerization systems tend to have a higher degree of cross-linking than ionic polymerization systems and thus tend to ensure the strength of a coating film as an ink, but polymerization is inhibited by oxygen in the air. Therefore, the curability of the thin film tends to be a problem. It is very effective to cure in a nitrogen atmosphere to solve such a problem of oxygen inhibition.

【0034】液体の水性インクは、主成分が水であり一
部有機溶剤を併用し、一般的にはこれに染料或いは顔料
等の色材を溶解または分散させたものである。色材の他
には、インクの特性を向上させる為、粘度調整剤、表面
張力調整剤、pH調整剤、保湿剤等が添加される。
The liquid water-based ink is composed mainly of water and partially uses an organic solvent in combination, and generally contains a coloring material such as a dye or pigment dissolved or dispersed therein. In addition to the color material, a viscosity adjuster, a surface tension adjuster, a pH adjuster, a humectant, and the like are added to improve the properties of the ink.

【0035】色材が染料の場合、樹脂の使用はインクの
粘度を上昇させる為、使用しないことが一般的である。
When the coloring material is a dye, it is generally not used because the use of a resin increases the viscosity of the ink.

【0036】色材が、顔料・カーボンブラックの場合
は、分散剤・バインダー樹脂としてアミン或いは塩基を
溶解させた水溶液に可溶で、且つ重量平均分子量が30
00から50000の、例えばスチレン−アクリル酸共
重合体、スチレン−マレイン酸−共重合体等が用いられ
る。色材を樹脂で完全に被覆し、マイクロカプセル化す
る場合もある。
When the coloring material is a pigment or carbon black, it is soluble in an aqueous solution in which an amine or a base is dissolved as a dispersant / binder resin, and has a weight average molecular weight of 30.
For example, a styrene-acrylic acid copolymer, a styrene-maleic acid-copolymer, or the like of from 00 to 50,000 is used. In some cases, the coloring material is completely covered with the resin and microencapsulated.

【0037】インクジェットで吐出されたインク材料の
成膜性の観点からも樹脂を使用したインクの使用が好ま
しい。
It is preferable to use an ink using a resin also from the viewpoint of the film forming property of the ink material ejected by the ink jet.

【0038】粘度調整剤は、インクの粘度を調整し、イ
ンクの吐出性を向上させると共に記録媒体へのインクの
浸透性を調整する為に用いられる。一般的には、ポリエ
チレングリコール等のポリアルキレングリコールが用い
られ、添加量としては0.1から10質量%である。し
かし、本願の場合は、プラスチック等の非吸収基板への
吐出であるため、出来る限り添加量が少ない方が好まし
い。
The viscosity adjusting agent is used for adjusting the viscosity of the ink, improving the ejection property of the ink, and adjusting the permeability of the ink to the recording medium. Generally, a polyalkylene glycol such as polyethylene glycol is used, and the amount of addition is 0.1 to 10% by mass. However, in the case of the present application, since the discharge is to a non-absorbing substrate such as plastic, it is preferable that the addition amount is as small as possible.

【0039】表面張力調整剤は、インクの表面張力を調
整し、インクの吐出性を向上させると共に記録媒体への
インクの浸透性を調整する為に用いられる。一般的に、
界面活性剤が用いられ、添加量としては0.1から2質
量%である。これも粘度調整剤と同様に、本願の場合
は、出来る限り添加量が少ない方が好ましい。
The surface tension adjusting agent is used for adjusting the surface tension of the ink, improving the ejection property of the ink, and adjusting the permeability of the ink to the recording medium. Typically,
A surfactant is used, and the amount added is 0.1 to 2% by mass. As in the case of the viscosity modifier, the addition amount is preferably as small as possible in the case of the present application.

【0040】pH調整剤は、インクのpHを適切な状態
に保ち、色材の溶解・分散安定性が低下するのを抑制す
る為に用いられる。一般的に、各種の酸・アルカリが用
いられ、添加量としては0.1から1質量%である。
The pH adjuster is used for keeping the pH of the ink in an appropriate state and for suppressing the dissolution / dispersion stability of the coloring material from being lowered. Generally, various acids and alkalis are used, and the amount of addition is 0.1 to 1% by mass.

【0041】保湿剤は、インクの乾燥に伴うノズルの目
詰まりを防止するため、グリセリン、ポリエチレングリ
コール等の多価アルコール類やN−メチル−2−ピロリ
ドン等のピロリドン類が添加されている。
As the humectant, polyhydric alcohols such as glycerin and polyethylene glycol, and pyrrolidones such as N-methyl-2-pyrrolidone are added to prevent clogging of nozzles due to drying of the ink.

【0042】水性の活性エネルギー線硬化型インクの場
合は、バインダーとして先に挙げた光硬化性オリゴマ
ー、光硬化性モノマー、光重合開始剤の中から水溶性、
非水溶性のバランスを考え組み合わせ使用される。
In the case of a water-based active energy ray-curable ink, water-soluble among the photocurable oligomers, photocurable monomers, and photopolymerization initiators mentioned above as binders,
Used in combination considering the balance of water insolubility.

【0043】液体の油性インクは、有機溶剤を主成分と
し、これに染料又は顔料を色材とし、バインダー及び又
は分散剤としての樹脂、界面活性剤等より成る。有機溶
剤が主成分となる為、水性インクと比較し樹脂の含有量
を多くできることよりインクの成膜性が良好である。
The liquid oil-based ink comprises an organic solvent as a main component, a dye or a pigment as a coloring material, a resin as a binder and / or a dispersant, a surfactant and the like. Since the organic solvent is the main component, the content of the resin can be increased as compared with the aqueous ink, so that the film forming property of the ink is good.

【0044】一般的に用いられる有機溶剤としては、メ
チルエチルケトン等のケトン類、メタノール、エタノー
ル等の低級アルコール類、酢酸エチル、ポリエチレング
リコールモノメチルエーテルアセテート、エトキシエチ
ルプロピオネート等のカルボン酸エステル等が使用され
ている。色材が染料の場合は、溶解性、顔料の場合は分
散性、分散安定性も考慮して、溶剤が選定される。溶剤
の含有量としては、20から95質量%である。
As organic solvents generally used, ketones such as methyl ethyl ketone, lower alcohols such as methanol and ethanol, carboxylic acid esters such as ethyl acetate, polyethylene glycol monomethyl ether acetate and ethoxyethyl propionate are used. Have been. When the coloring material is a dye, the solvent is selected in consideration of solubility, and when the coloring material is a pigment, dispersibility and dispersion stability are also taken into consideration. The content of the solvent is 20 to 95% by mass.

【0045】樹脂としては、フェノール樹脂、アクリル
樹脂、マレイン酸樹脂、ロジン樹脂、ブチラール樹脂等
の熱可塑性樹脂が使用される。樹脂の含有量は一般的
に、1から30質量%である。
As the resin, a thermoplastic resin such as a phenol resin, an acrylic resin, a maleic acid resin, a rosin resin and a butyral resin is used. The resin content is generally from 1 to 30% by weight.

【0046】油性の活性エネルギー線硬化性インクの場
合は、上記有機溶剤、樹脂の一部または全量を先に挙げ
た光硬化性オリゴマー、光硬化性モノマー、光重合開始
剤の中から分散性・分散安定性も考慮して選択して使用
される。
In the case of an oil-based active energy ray-curable ink, the above-mentioned organic solvent, a part or all of the resin may be selected from the photocurable oligomers, photocurable monomers and photopolymerization initiators described above. It is selected and used in consideration of dispersion stability.

【0047】本発明で使用するインクジェットプリンタ
用インクは、溶媒(水及び又は有機溶剤及び又は光重合
性オリゴマー、光重合性モノマー)、色材等を所定の割
合で混合した後に、混練して調製することができる。混
練は、分散機を用いて行うことができる。分散機は、ボ
ールミル、ロールミル、サンドミル等が挙げられる。活
性エネルギー線として紫外線を用いるインクの場合は、
色材が充分分散した後に光重合開始剤を混合溶解するこ
とが、インクのゲル化防止の観点から好ましい。
The ink for an ink jet printer used in the present invention is prepared by mixing a solvent (water and / or an organic solvent and / or a photopolymerizable oligomer, a photopolymerizable monomer), a coloring material, and the like at a predetermined ratio, and then kneading the mixture. can do. Kneading can be performed using a disperser. Examples of the dispersing machine include a ball mill, a roll mill, and a sand mill. In the case of ink using ultraviolet rays as active energy rays,
It is preferable to mix and dissolve the photopolymerization initiator after the coloring material is sufficiently dispersed, from the viewpoint of preventing gelation of the ink.

【0048】[0048]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、上記の様に調製されたインクジェット用インクを使
用してマイクロレンズアレイに遮光膜を形成する方法の
一例を説明する。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to an example of a method for forming a light-shielding film on a microlens array using the ink jet ink prepared as described above.

【0049】まず、ポリカーボネート樹脂等の熱可塑性
樹脂にて、図1の様なマイクロレンズアレイ形状を作る
金型を使用し、射出成型法等でマイクロレンズアレイを
作製する。
First, a microlens array is manufactured by injection molding or the like using a mold for forming a microlens array shape as shown in FIG. 1 using a thermoplastic resin such as a polycarbonate resin.

【0050】次に、各レンズ要素の間に、インクジェッ
ト法により上記黒色インクを吐出し、インクを各レンズ
間に満たす。ここでインクに適度の流動性を持たせるこ
とによって、レンズ間の狭い部分にもインクが自然に行
き渡る様にすることが可能である。その為、インクの物
性等によっては基材の許容できる範囲で加温し、インク
のレベリング・流動性等を最適化することも出来るが、
本目的の流動性を得る為には、液状の活性エネルギー線
硬化性インクの使用が好ましい。
Next, the black ink is discharged between the lens elements by the ink jet method, and the ink is filled between the lenses. Here, by giving the ink an appropriate fluidity, it is possible to allow the ink to naturally spread to a narrow portion between the lenses. Therefore, depending on the physical properties of the ink, etc., it is possible to optimize the leveling and fluidity of the ink by heating the substrate within an acceptable range.
In order to obtain the desired fluidity, it is preferable to use a liquid active energy ray-curable ink.

【0051】その後、各レンズ間に満たされたインクを
乾燥・硬化する。これにより各レンズ間に黒色の遮光膜
が形成された図2に示すマイクロレンズアレイが出来上
がる。ここで、水性・油性インクの場合はオーブン等の
熱エネルギーで乾燥・硬化させる。また活性エネルギー
線硬化性インクの場合は、活性エネルギー線で硬化す
る。インクが紫外線硬化性のものであれば、メタルハラ
イドランプ等の公知の紫外線硬化装置で硬化することが
出来る。活性エネルギー線硬化性のインクで光重合開始
剤を含まないものは、電子線硬化装置で硬化出来る。
Thereafter, the ink filled between the lenses is dried and cured. As a result, a microlens array shown in FIG. 2 in which a black light-shielding film is formed between the lenses is completed. Here, in the case of a water-based or oil-based ink, the ink is dried and cured by heat energy of an oven or the like. In the case of an active energy ray-curable ink, the ink is cured by an active energy ray. If the ink is ultraviolet curable, it can be cured with a known ultraviolet curing device such as a metal halide lamp. Active energy ray-curable inks that do not contain a photopolymerization initiator can be cured with an electron beam curing device.

【0052】マイクロレンズが図3の様に、凹レンズで
あれば、凹レンズの周囲に微小な土手5を形成し、土手
の中にインクを吐出することにより、凸レンズと同様
に、図4に示すように遮光膜を形成出来る。
If the micro lens is a concave lens as shown in FIG. 3, a minute bank 5 is formed around the concave lens, and ink is ejected into the bank, as shown in FIG. A light-shielding film can be formed on the substrate.

【0053】凸レンズ、凹レンズいずれも成型等で形成
された形状とインクの流動性を利用して、セルフアライ
メントに遮光膜が形成出来る。遮光膜の厚さは、用いら
れるインクの遮光性にもよるが、一般的には1から10
μm程度の厚みで形成される。
Both the convex lens and the concave lens can form a light-shielding film by self-alignment by utilizing the shape formed by molding or the like and the fluidity of ink. The thickness of the light-shielding film depends on the light-shielding properties of the ink used, but is generally 1 to 10
It is formed with a thickness of about μm.

【0054】上述した本発明の遮光部一体型マイクロレ
ンズアレイは、各レンズ間の迷光の影響が抑制され、液
晶表示装置、固体撮像素子、光インターコネクションに
よる多重画像転送、光ファイバーアレイの光結合器、光
集積回路、電子複写機やファクシミリの光学系、LED
又はLCDプリンタの光プリントヘッド、共焦点型レー
ザー顕微鏡など、光通信分野、光ディスク分野、画像表
示分野、画像伝送・結合分野、光計測、光センシング分
野、光プロセッシング分野等の幅広い応用分野で利用で
き、特に非常に高い集光特性や画像転送機能を要求され
る用途に極めて有用である。
In the above-described microlens array integrated with a light-shielding portion of the present invention, the influence of stray light between the lenses is suppressed, a liquid crystal display device, a solid-state image sensor, multiplex image transfer by optical interconnection, and an optical fiber array optical coupler. , Optical integrated circuits, electronic systems for copiers and facsimiles, LEDs
Or it can be used in a wide range of application fields such as optical print head of LCD printer, confocal laser microscope, optical communication field, optical disc field, image display field, image transmission / coupling field, optical measurement, light sensing field, optical processing field, etc. In particular, it is extremely useful for applications requiring extremely high light-collecting characteristics and an image transfer function.

【0055】[0055]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように本発明の遮
光部一体型マイクロレンズアレイ及び遮光膜の形成方法
によれば、迷光の無い高品質(高分解能)のマイクロレ
ンズアレイを高生産性・低コストで得ることが出来る。
As described above in detail, according to the microlens array integrated with the light-shielding portion and the method of forming the light-shielding film of the present invention, a high-quality (high-resolution) microlens array free from stray light can be produced with high productivity. -It can be obtained at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の遮光部一体型マイクロレンズアレイの
例を模式的に示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view schematically showing an example of a microlens array integrated with a light shielding unit according to the present invention.

【図2】図1の遮光部一体型マイクロレンズアレイのA
A’部の断面図である。
FIG. 2 is a view A of the microlens array integrated with the light shielding unit of FIG. 1;
It is sectional drawing of A 'part.

【図3】本発明の遮光部一体型マイクロレンズアレイの
他の例を模式的に示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view schematically showing another example of the microlens array integrated with the light shielding unit of the present invention.

【図4】図3の遮光部一体型マイクロレンズアレイのA
A’部の断面図である。
FIG. 4 is a view A of the microlens array integrated with the light shielding unit in FIG. 3;
It is sectional drawing of A 'part.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1: 凸レンズ 2: インク吐出箇所 3: 遮光膜 4: 凹レンズ 5: 土手 1: Convex lens 2: Ink ejection spot 3: Light shielding film 4: Concave lens 5: Embankment

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明基板に複数個のマイクロレンズを形
成してなるマイクロレンズアレイであって、各マイクロ
レンズ間に、インクジェット法を用いて、インク材料に
て遮光膜を設けたことを特徴とする遮光部一体型マイク
ロレンズアレイ。
1. A microlens array comprising a plurality of microlenses formed on a transparent substrate, wherein a light-shielding film made of an ink material is provided between the microlenses by using an ink-jet method. Light-shielding unit-integrated microlens array.
【請求項2】マイクロレンズアレイが金型成型で形成さ
れたことを特徴とする請求項1に記載の遮光部一体型マ
イクロレンズアレイ。
2. The light-shielding-unit-integrated microlens array according to claim 1, wherein the microlens array is formed by die molding.
【請求項3】 インク材料が黒色インクであることを特
徴とする請求項1又は2に記載の遮光部一体型マイクロ
レンズアレイ。
3. The microlens array according to claim 1, wherein the ink material is black ink.
【請求項4】 インク材料が固体インク、油性インク及
び水性インクの何れかであることを特徴とする請求項1
〜3の何れかに記載の遮光部一体型マイクロレンズアレ
イ。
4. The ink material according to claim 1, wherein the ink material is one of a solid ink, an oil-based ink, and a water-based ink.
4. The light-shielding-unit-integrated microlens array according to any one of Items 1 to 3.
【請求項5】 インク材料が活性エネルギー線硬化型イ
ンクであることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記
載の遮光部一体型マイクロレンズアレイ。
5. The microlens array integrated with a light-shielding portion according to claim 1, wherein the ink material is an active energy ray-curable ink.
【請求項6】 活性エネルギー線が紫外線又は電子線で
あることを特徴とする請求項5の遮光部一体型マイクロ
レンズアレイ。
6. The microlens array of claim 5, wherein the active energy ray is an ultraviolet ray or an electron beam.
【請求項7】 透明基板に複数個のマイクロレンズを形
成してなるマイクロレンズアレイの各マイクロレンズ間
に、インクジェット法を用いて、インク材料にて遮光膜
を形成することを特徴とする遮光膜の形成方法。
7. A light-shielding film, wherein a light-shielding film is formed with an ink material between each microlens of a microlens array having a plurality of microlenses formed on a transparent substrate by using an ink-jet method. Formation method.
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