[go: up one dir, main page]

JP2001321709A - 塗工装置及びその方法 - Google Patents

塗工装置及びその方法

Info

Publication number
JP2001321709A
JP2001321709A JP2000143585A JP2000143585A JP2001321709A JP 2001321709 A JP2001321709 A JP 2001321709A JP 2000143585 A JP2000143585 A JP 2000143585A JP 2000143585 A JP2000143585 A JP 2000143585A JP 2001321709 A JP2001321709 A JP 2001321709A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
coating liquid
nozzle
liquid
tank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000143585A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3661010B2 (ja
Inventor
Yoshihisa Mori
佳久 森
Takeo Hiasa
丈夫 日浅
Shigeyoshi Kobayashi
成好 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hirano Tecseed Co Ltd
Hirano Steel Recycle Co
Original Assignee
Hirano Tecseed Co Ltd
Hirano Steel Recycle Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hirano Tecseed Co Ltd, Hirano Steel Recycle Co filed Critical Hirano Tecseed Co Ltd
Priority to JP2000143585A priority Critical patent/JP3661010B2/ja
Publication of JP2001321709A publication Critical patent/JP2001321709A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3661010B2 publication Critical patent/JP3661010B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】毛細管現象を利用して塗工液を基材に薄く塗工
ができるとともに、ノズルを沈めるための液槽をなく
し、かつ、接液を早く行うことができる塗工装置を提供
する。 【解決手段】 上端部が塗工液の吐出口18となった毛
管状隙間16を備えたノズル14と、ノズル14の毛管
状隙間へ塗工液を供給する塗工液のタンク32とを設
け、タンク32の液高さに基づいて毛管状隙間16の液
高さを決定することによって、毛管状隙間16の吐出口
18から前後方向に走行する基材Wへ塗工液を塗工する
ものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基材に塗工液を塗
工する塗工装置及びその方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】最近、液晶表示装置等が広く普及するよ
うになり、この液晶表示装置のガラス板や、そのガラス
基板に貼られる保護板に塗工液を塗工する必要が出てき
た。
【0003】このようなガラス基板等の基材に塗工液を
塗工する方法として、毛細管現象を利用した塗工装置が
提案されている(特開平8−224528号、特開平6
−343908号)。
【0004】この塗工装置は、塗工液によって満たされ
た液槽の内部に毛管状隙間を備えたノズルを沈めてお
き、塗工する際にはこのノズルを上昇させて基材の下面
近傍に位置させ、毛管状隙間から塗工液を接液して、基
材の下面に塗工液を塗工するものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の塗工装置で
あると、毛細管現象を利用しているため、基材に塗工液
を薄く塗ることができるという効果がある。
【0006】しかしながら、この塗工装置においては、
液槽を塗工液によって満たし、この内部にノズルを沈め
ておく必要があるため、塗工が終わった後、この液槽に
満たされた塗工液は捨てる必要があった。しかし、液晶
表示装置に用いられる塗工液は非常に高価であり、この
塗工液を少しでも有効利用する必要がある。
【0007】また、ノズルを液槽の内部に沈めておくた
め、ノズルを液槽から突出させた状態では、ノズルの周
辺に付いた塗工液が固まり、この部分の掃除が必要にな
るとともに、ノズルを液槽に沈めた際にこの固まった塗
工液が不純物となるという問題点もあった。
【0008】また、毛管状隙間から塗工液を接液する場
合に、毛細管現象を利用しているため、この接液に時間
がかかるという問題点もあった。
【0009】そこで、本発明は上記問題点に鑑み、毛細
管現象を利用して塗工液を基材に薄く塗工ができるとと
もに、ノズルを沈めるための液槽をなくし、かつ、接液
を早く行うことができる塗工装置を提供するものであ
る。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、上端
部が塗工液の吐出口となった毛管状隙間を備えた左右方
向に延びるノズルを設け、前記ノズルの毛管状隙間へ塗
工液を供給する塗工液のタンクを設け、前記タンク中の
塗工液の液高さに基づいて前記毛管状隙間の液高さを決
定することによって、前記毛管状隙間の吐出口から前後
方向に走行する基材へ塗工液を塗工することを特徴とす
る塗工装置である。
【0011】請求項2の発明は、前記タンクは、前記ノ
ズルに対し相対的に上下動するように設け、前記タンク
を上下動させて、前記毛管状隙間の液高さを上下動させ
ることを特徴とする請求項1記載の塗工装置である。
【0012】請求項3の発明は、前記タンクは、前記ノ
ズルに対し相対的にモータによって上下動するように設
けたことを特徴とする請求項2記載の塗工装置である。
【0013】請求項4の発明は、前記タンクは、前記ノ
ズルに対し相対的に手動によって上下動するように設け
たことを特徴とする請求項2記載の塗工装置である。
【0014】請求項5の発明は、前記基材は、長尺状の
基材であり、前記基材を前後方向に搬送するバックアッ
プロールを前記ノズルの上方に配したことを特徴とする
請求項2から4記載の塗工装置である。
【0015】請求項6の発明は、前記基材は、板状の基
材であり、前記板状の基材を、下面に吸着して前後方向
に搬送するサクションテーブルを前記ノズルの上方に配
したことを特徴とする請求項2から5記載の塗工装置で
ある。
【0016】請求項7の発明は、前記タンクから前記ノ
ズルの毛管状隙間に塗工液を供給する経路の途中に、前
記毛管状隙間へ塗工液を圧送する圧送手段を設けたこと
を特徴とする請求項2から6記載の塗工装置である。
【0017】請求項8の発明は、上端部が塗工液の吐出
口となった毛管状隙間を備えた左右方向に延びるノズル
を設け、前記ノズルの毛管状隙間へ塗工液を供給する塗
工液のタンクを設け、前記タンクから前記ノズルの毛管
状隙間に塗工液を供給する経路の途中に、前記毛管状隙
間へ塗工液を圧送する圧送手段を設けた塗工装置の塗工
方法であって、次の工程によって前後方向に走行する基
材に塗工液を塗工する。前記ノズルの吐出口と、前記基
材の下面との距離を塗工液の塗工厚さになるように前記
ノズルを配する第1工程。前記圧送手段によって塗工液
を毛管状隙間に圧送して、前記基材の下面に前記吐出口
から塗工液を接液する第2工程。前記基材の下面に接液
した状態で、塗工液を前記吐出口から塗工する第3工程
である。
【0018】請求項9の発明は、上端部が塗工液の吐出
口となった毛管状隙間を備えた左右方向に延びるノズル
を設け、前記ノズルの毛管状隙間へ塗工液を供給する塗
工液のタンクを設けた塗工装置の塗工方法であって、次
の工程によって前後方向に走行する基材に塗工液を塗工
する。前記ノズルの吐出口と、前記基材の下面との距離
を塗工液の塗工厚さになるように前記ノズルを配する第
1工程。前記タンクの液高さを上げることにより塗工液
を毛管状隙間に圧送して、前記基材の下面に塗工液を前
記吐出口から接液する第2工程。前記基材の下面に接液
した状態で、塗工液を前記吐出口から塗工する第3工程
である。
【0019】請求項10の発明は、前記第3工程は、前
記基材の走行速度を基本速度で最初は走行させておき、
前記タンクの液高さを次第に上げていくことにより、そ
れにともない前記走行速度を前記基本速度から次第に上
げて、前記基材の下面に塗工液を塗工する工程を含むこ
とを特徴とする請求項8または9記載の塗工装置の塗工
方法である。
【0020】
【作 用】本発明の塗工装置を用いて基材に塗工液を塗
工する場合について説明する。
【0021】第1工程では、バックアップロール又はサ
クションテーブルによって基材を前後方向に搬送させた
状態で、ノズルの吐出口と基材の下面との距離を塗工液
の塗工厚さになるようにノズルを配する。
【0022】第2工程では、圧送手段によって塗工液を
圧送するか、タンクの液高さを上げることにより塗工液
を圧送して、基材の下面に塗工液を接液する。
【0023】第3工程では、基材の下面に接液した状態
で塗工液を塗工する。この場合に、基材の走行速度を基
本速度で最初は走行させておき、タンクの液高さを次第
に上げていくことにより、それに伴い走行速度を基本速
度から次第に上げて、基材の下面に塗工液を塗工しても
よい。
【0024】
【発明の実施の形態】[第1の実施例]本発明の第1の
実施例塗工装置10について図1及び図2に基づいて説
明する。
【0025】本実施例の塗工装置10は、長尺状の基材
に塗工液を塗工するものである。例えば、液晶表示装置
の液晶セルに用いられる反射防止板や保護膜を形成する
ために、ポリエチレンテレフタレート(PET)等の合
成樹脂フィルムに塗工液を塗工するものであり、その塗
工厚さは0.01μm〜5μmである。
【0026】(塗工装置の構成)図1は、塗工装置10
の構成図である。
【0027】まず、基材Wは、一方向に回転するバック
アップロール12によって前方向に搬送されている。
【0028】このバックアップロール12の下方には、
基材Wの下面に塗工液を塗工するためのノズル14が配
されている。
【0029】このノズル14は、上部がくちばし状に尖
った形状をなし、左右方向に沿って毛管状隙間16が設
けられ、この毛管状隙間16の上端部が塗工液の吐出口
18となっている。
【0030】ノズル14は、その下方に配されたエアシ
リンダ又はモータよりなる上下動装置20によって全体
的に上下動可能となっている(図1における点線の状態
から実線の状態)。
【0031】ノズル14の外部には、塗工液を供給する
ためのオーバーフロータンク22が設けられている。す
なわち、ノズル14の壁に固定された支持部24には垂
直方向にネジ棒26が回転自在に配され、このネジ棒2
6にラック28が設けられている。このラック28に前
記のオーバーフロータンク22が取り付けられている。
ネジ棒26は減速器付きのモータ30によって回動自在
であり、モータ30を駆動させるとネジ棒26は回転
し、それと共にラック28、すなわち、オーバーフロー
タンク22がノズル14に対し上下動する。また、支持
部24はノズル14に固定されているため、ノズル14
が上下動装置20によって上下動するとそれと共にオー
バーフロータンク22も上下動する。
【0032】オーバーフロータンク22の内部には、塗
工液を溜めるためのタンク32が設けられ、このタンク
32の上面は開口している。このタンク32から溢れ出
た塗工液はオーバーフロータンク22の底面に溜まる構
造となっている。
【0033】タンク32の底面からノズル14の側面又
は正面に向かって塗工液を供給する経路である供給パイ
プ34が設けられている。この供給パイプ34の途中に
は、タンク32側から順番にストップバルブ36、塗工
液の圧送装置38が設けられている。
【0034】ストップバルブ36は供給パイプ34を通
る塗工液を遮断するものである。
【0035】圧送装置38は、サックバック、ベロフロ
ム弁、ピストン弁又はシリンダよりなり、供給パイプ3
4にある塗工液を毛管状隙間16の方向に圧送するもの
である。
【0036】オーバーフロータンク22の底面からは排
出パイプ40が設けられ、この排出パイプ40はメイン
タンク42に接続されている。また、メインタンク42
の底面からはポンプ44を介して塗工液をオーバーフロ
ータンク22に循環させるための循環パイプ46が設け
られている。
【0037】(塗工方法)上記構成の塗工装置10を用
いて、長尺状の基材Wの下面に塗工液を塗工する工程に
ついて、図2(1)から(4)に基づいて順番に説明し
ていく。
【0038】(1)第1工程(図2(1)参照) 第1工程、すなわち初期状態では、バックアップロール
12の下方にノズル14が配された状態となっている。
【0039】(2)第2工程(図2(2)参照) バックアップロール12の下部に基材Wをかけわたし、
ノズル14を上下動装置20によって上昇させ、吐出口
18と基材Wとの寸法を塗工厚さAとする。
【0040】また、この場合に、ノズル14と共にオー
バーフロータンク22も上昇してくるが、その上昇分だ
けでなくモータ30を用いてオーバーフロータンク22
のタンク32の液高さを、ノズル14の毛管状隙間16
における上端の位置になるように設定する。そして、ス
トップバルブ36を開いて毛管状隙間16に塗工液を満
たす。この場合に、図1に示すように前記したように毛
管状隙間16の液高さがBの分だけタンク32の上端部
の液高さより高くなる。このようにBの分だけ高くなる
のは毛管状隙間16では毛細管現象によってノズル14
の上端まで塗工液が上昇するからである。
【0041】(3)第3工程(図2(3)参照) 第3工程では、開いていたストップバルブ36を閉じ、
圧送装置38を動作させて供給パイプ34の内部にある
塗工液を毛管状隙間16の方向に圧送する。すると、毛
管状隙間16内部の塗工液がその圧力によって吹き出
し、基材Wの下面に接液される。従来では毛細管現象の
みを利用して接液していたため時間がかかったが、圧送
装置38によって塗工液を圧送して接液するため、その
接液時間が非常に短縮される。
【0042】また、この場合に基材Wはバックアップロ
ール12を回転させることによって基本速度Vによって
走行させておく。
【0043】(4)第4工程(図2(4)参照) 基材Wは基本速度Vによって走行しつつ、その下面に毛
細管現象によって塗工液が塗工される。
【0044】しかしながら、塗工液を塗工厚さAで塗
り、かつ、製造効率を上げるため走行速度を上げる必要
がある。そのため、接液が終了した時点でオーバーフロ
ータンク22をモータ30によって液高さBよりも少し
高い状態に設置する。これによって、塗工液の供給状態
に圧力が加わり、走行速度を基本速度Vより上げた状態
になっても所定の塗工厚さで塗工液を塗工することがで
きる。
【0045】(実施例の効果)以上のように、本実施例
の塗工装置10では、従来のように液槽の内部にノズル
をつけて毛細管現象を利用する構造でなく、ノズル14
の内部に毛管状隙間16のみを設けて毛細管現象により
塗工液を塗工するため、必要最小限の量の塗工液によっ
て塗工を行うことができるので、従来のように塗工液を
捨てたりする必要がない。
【0046】また、ノズル14自身は塗工液内部につけ
ないため、その周りに塗工液がついたりすることがな
い。
【0047】さらに、接液後オーバーフロータンク22
の高さを上げることにより走行速度も上昇させることが
できるので、製造効率を上げることができる。
【0048】[第2の実施例]第2の実施例の塗工装置
10について、図3に基づいて説明する。
【0049】本実施例と第1の実施例の異なる点は、塗
工する基材Wの形状が異なる点にある。すなわち、第1
の実施例では長尺状の基材Wに塗工液を塗工したが、本
実施例では液晶セルのガラス板等のように板材に塗工液
を塗工するものである。
【0050】この場合には図3に示すように、下面に吸
引口を有したサクションテーブルを前後方向に移動可能
に配し、その下面に板状の基材Wを吸引し、その下面に
ノズル14から塗工液を塗工するものである。
【0051】塗工方法については第1の実施例と同様で
ある。
【0052】[変更例]上記2つの実施例では圧送装置
38によって毛管状隙間16に塗工液を圧送することに
より接液を行ったが、これに代えて圧送装置38とスト
ップバルブ36を取り外し、下記のような方法で接液を
行うことができる。
【0053】すなわち、毛管状隙間16に所定の液高さ
まで塗工液を満たし、接液をする場合にはオーバーフロ
ータンク22のタンク32をノズル14に対して相対的
に上昇させる。すると、塗工液が毛管状隙間16に圧送
されるため、これによって従来より早く接液を行うこと
ができる。
【0054】
【発明の効果】以上により本発明であると、塗工液の液
槽内部にノズルを沈める構造でなく、ノズルだけで毛細
管現象を利用して基材Wの下面に塗工液を塗工すること
ができるので、塗工液を無駄に使用することが無くノズ
ルが汚れたりすることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す塗工装置の説明図
である。
【図2】(1)から(4)は、塗工装置の塗工工程を示
す図面である。
【図3】第2の実施例の塗工装置の説明図である。
【符号の説明】
10 塗工装置 12 バックアップロール 14 ノズル 16 毛管状隙間 18 吐出口 22 オーバーフロータンク 30 モータ 32 タンク 38 圧送装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 成好 奈良県北葛城郡河合町大字川合101番地の 1 株式会社ヒラノテクシード内 Fターム(参考) 4D075 AC04 AC82 AC84 AC92 AC93 AC95 CA47 DA06 DB14 DC22 EA05 4F040 AA12 BA04 4F041 AA05 AB01 BA05 BA12 BA34 BA56 CA02 CA12 CA16 CA22 4F042 AA06 BA08 BA12 CA01 CA09 CB01 CB18 DF09

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】上端部が塗工液の吐出口となった毛管状隙
    間を備えた左右方向に延びるノズルを設け、 前記ノズルの毛管状隙間へ塗工液を供給する塗工液のタ
    ンクを設け、 前記タンク中の塗工液の液高さに基づいて前記毛管状隙
    間の液高さを決定することによって、前記毛管状隙間の
    吐出口から前後方向に走行する基材へ塗工液を塗工する
    ことを特徴とする塗工装置。
  2. 【請求項2】前記タンクは、前記ノズルに対し相対的に
    上下動するように設け、 前記タンクを上下動させて、前記毛管状隙間の液高さを
    上下動させることを特徴とする請求項1記載の塗工装
    置。
  3. 【請求項3】前記タンクは、前記ノズルに対し相対的に
    モータによって上下動するように設けたことを特徴とす
    る請求項2記載の塗工装置。
  4. 【請求項4】前記タンクは、前記ノズルに対し相対的に
    手動によって上下動するように設けたことを特徴とする
    請求項2記載の塗工装置。
  5. 【請求項5】前記基材は、長尺状の基材であり、 前記基材を前後方向に搬送するバックアップロールを前
    記ノズルの上方に配したことを特徴とする請求項2から
    4記載の塗工装置。
  6. 【請求項6】前記基材は、板状の基材であり、 前記板状の基材を、下面に吸着して前後方向に搬送する
    サクションテーブルを前記ノズルの上方に配したことを
    特徴とする請求項2から5記載の塗工装置。
  7. 【請求項7】前記タンクから前記ノズルの毛管状隙間に
    塗工液を供給する経路の途中に、前記毛管状隙間へ塗工
    液を圧送する圧送手段を設けたことを特徴とする請求項
    2から6記載の塗工装置。
  8. 【請求項8】上端部が塗工液の吐出口となった毛管状隙
    間を備えた左右方向に延びるノズルを設け、 前記ノズルの毛管状隙間へ塗工液を供給する塗工液のタ
    ンクを設け、 前記タンクから前記ノズルの毛管状隙間に塗工液を供給
    する経路の途中に、前記毛管状隙間へ塗工液を圧送する
    圧送手段を設けた塗工装置の塗工方法であって、次の工
    程によって前後方向に走行する基材に塗工液を塗工す
    る。前記ノズルの吐出口と、前記基材の下面との距離を
    塗工液の塗工厚さになるように前記ノズルを配する第1
    工程。前記圧送手段によって塗工液を毛管状隙間に圧送
    して、前記基材の下面に前記吐出口から塗工液を接液す
    る第2工程。前記基材の下面に接液した状態で、塗工液
    を前記吐出口から塗工する第3工程。
  9. 【請求項9】上端部が塗工液の吐出口となった毛管状隙
    間を備えた左右方向に延びるノズルを設け、 前記ノズルの毛管状隙間へ塗工液を供給する塗工液のタ
    ンクを設けた塗工装置の塗工方法であって、次の工程に
    よって前後方向に走行する基材に塗工液を塗工する。前
    記ノズルの吐出口と、前記基材の下面との距離を塗工液
    の塗工厚さになるように前記ノズルを配する第1工程。
    前記タンクの液高さを上げることにより塗工液を毛管状
    隙間に圧送して、前記基材の下面に塗工液を前記吐出口
    から接液する第2工程。前記基材の下面に接液した状態
    で、塗工液を前記吐出口から塗工する第3工程。
  10. 【請求項10】前記第3工程は、 前記基材の走行速度を基本速度で最初は走行させてお
    き、前記タンクの液高さを次第に上げていくことによ
    り、それにともない前記走行速度を前記基本速度から次
    第に上げて、前記基材の下面に塗工液を塗工する工程を
    含むことを特徴とする請求項8または9記載の塗工装置
    の塗工方法。
JP2000143585A 2000-05-16 2000-05-16 塗工装置及びその方法 Expired - Lifetime JP3661010B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000143585A JP3661010B2 (ja) 2000-05-16 2000-05-16 塗工装置及びその方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000143585A JP3661010B2 (ja) 2000-05-16 2000-05-16 塗工装置及びその方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001321709A true JP2001321709A (ja) 2001-11-20
JP3661010B2 JP3661010B2 (ja) 2005-06-15

Family

ID=18650382

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000143585A Expired - Lifetime JP3661010B2 (ja) 2000-05-16 2000-05-16 塗工装置及びその方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3661010B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004327963A (ja) * 2003-04-10 2004-11-18 Hoya Corp 基板処理装置,塗布装置及び塗布方法
JP2013202450A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Nec Corp 塗布装置
CN103847229A (zh) * 2012-11-29 2014-06-11 三星显示有限公司 基板印刷装置和基板印刷方法
KR20190060732A (ko) * 2019-05-16 2019-06-03 삼성디스플레이 주식회사 기판 프린팅 장치 및 기판 프린팅 방법
CN113893997A (zh) * 2021-09-26 2022-01-07 浙江航威专用设备有限公司 一种新型狭缝涂布头

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004327963A (ja) * 2003-04-10 2004-11-18 Hoya Corp 基板処理装置,塗布装置及び塗布方法
JP2013202450A (ja) * 2012-03-27 2013-10-07 Nec Corp 塗布装置
CN103847229A (zh) * 2012-11-29 2014-06-11 三星显示有限公司 基板印刷装置和基板印刷方法
US8919901B2 (en) 2012-11-29 2014-12-30 Samsung Display Co., Ltd. Substrate printing device and substrate printing method
TWI623252B (zh) * 2012-11-29 2018-05-01 三星顯示器有限公司 頂朝下式基板印刷裝置及基板印刷方法
KR20190060732A (ko) * 2019-05-16 2019-06-03 삼성디스플레이 주식회사 기판 프린팅 장치 및 기판 프린팅 방법
KR102084713B1 (ko) 2019-05-16 2020-03-05 삼성디스플레이 주식회사 기판 프린팅 장치 및 기판 프린팅 방법
CN113893997A (zh) * 2021-09-26 2022-01-07 浙江航威专用设备有限公司 一种新型狭缝涂布头

Also Published As

Publication number Publication date
JP3661010B2 (ja) 2005-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102039261B (zh) 涂布方法以及涂布装置、显示器用部件的制造方法以及制造装置
JP2798503B2 (ja) 液塗布方法および塗布装置
TWI660786B (zh) 基板處理裝置及基板處理方法
KR20060088839A (ko) 도포액 공급 장치 및 도포 처리 장치
KR101303296B1 (ko) 수압전사방법 및 수압전사 자동화시스템
JP2013071033A (ja) ノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置
JP2001321709A (ja) 塗工装置及びその方法
JP3048789B2 (ja) 流体塗布装置
JP3334045B2 (ja) 塗工方法及び塗工装置
JP2006062180A (ja) 水圧転写方法と水圧転写装置
JPH0976354A (ja) 立体造形装置
JPH09206657A (ja) 塗布装置および塗布方法
JP2005296771A (ja) 塗布装置及び塗布方法
KR102080845B1 (ko) 에어나이프가 장착된 마이크로 그라비아 코팅장치
JP2008114137A (ja) 塗布器、塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造装置および製造方法
JP2003001171A (ja) 塗工装置
JP5023565B2 (ja) 塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法および製造装置
JP2004141810A (ja) 塗工装置
JP4409969B2 (ja) 塗工装置
CN111687003B (zh) 高粘度材料的涂膜装置和涂膜方法
JP2011080135A (ja) ワークの内面処理方法とワークの内面処理装置
JP3267822B2 (ja) 基板への塗布液塗布装置
JP4409930B2 (ja) 塗工ノズル清浄装置
JP2001300392A (ja) 塗工装置及びその方法
CN222838706U (zh) 一种用于提升贴片电容封端精度的浸浆机构

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040513

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040629

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040715

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050201

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050228

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3661010

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100401

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100401

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110401

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120401

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130401

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140401

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term