JP2001305430A - Microscope - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも1つの
光源と、少なくとも1つの検出器と、2つの対物レンズ
とを備え、被検査対象物の面の両側にそれぞれ1つの前
記対物レンズが配置され、両対物レンズが互いに逆の方
向に方向づけられ、且つ共通の焦点を有しており、照明
・検出光路内に、照明光を対物レンズに振り分けるため
の少なくとも1つのビームスプリッターと、対物レンズ
から来る検出光を統合するためのビーム統合器が設けら
れている顕微鏡、特に共焦点レーザー走査型顕微鏡に関
するものである。The present invention comprises at least one light source, at least one detector, and two objective lenses, one of which is arranged on each side of the surface of the object to be inspected. The two objective lenses are oriented in opposite directions to each other and have a common focal point, and at least one beam splitter for distributing the illumination light to the objective lens in the illumination / detection optical path and coming from the objective lens The present invention relates to a microscope provided with a beam integrator for integrating detection light, particularly to a confocal laser scanning microscope.
【0002】[0002]
【従来の技術】この種の顕微鏡、特に互いに逆の方向に
指向し、像面内に共通の焦点を持った2つの対物レンズ
が設けられている顕微鏡はかなり以前から実際に知られ
ている。その一例として欧州特許第0491289号公
報が挙げられる。この文献からは、上記技術分野に記載
の構成を備えた二重共焦点走査型顕微鏡が知られてい
る。具体的には、照明光をコヒーレンスな成分に分割す
るための非偏向型ビームスプリッター装置が設けられて
いる。このビームスプリッター装置は互いに逆方向に指
向している2つの対物レンズを照明し、これら対物レン
ズの互いにコヒーレンスな光線を統合するために用いら
れる。ここに実現されている光学要素により高解像度が
実現可能である。2. Description of the Related Art Microscopes of this kind, in particular those equipped with two objective lenses which are oriented in opposite directions and have a common focus in the image plane, have been known for some time. One example is EP 0 492 289. From this document, a double confocal scanning microscope having the configuration described in the above technical field is known. Specifically, a non-deflection type beam splitter device for dividing illumination light into coherent components is provided. The beam splitter arrangement is used to illuminate two objectives pointing in opposite directions and to integrate the mutually coherent light beams of these objectives. High resolution can be realized by the optical element realized here.
【0003】前記欧州特許第0491289号公報から
知られている顕微鏡はいわゆる「ハイエンド」顕微鏡であ
り、干渉計光路が形成されている。このような顕微鏡は
構成が極めて複雑であり、したがってすでに基本構成の
点で従来の顕微鏡に比べて高価である。またこの「ハイ
エンド」顕微鏡は構成が特殊であり、光学的ベッド上に
かなりのスペースがあり、したがって外部の影響を非常
に受けやすい。特に、この種の顕微鏡で設定されている
「ハイエンド」顕鏡法には特別の顕微鏡が必要であり、従
来の顕鏡法による顕微鏡を利用することができない。The microscope known from EP 0 491 289 is a so-called "high-end" microscope, in which the interferometer optical path is formed. Such microscopes are very complicated in construction and are therefore already more expensive in terms of basic construction than conventional microscopes. Also, this "high-end" microscope is special in construction, has considerable space on the optical bed, and is therefore very susceptible to external influences. In particular, the “high-end” microscope method set in this type of microscope requires a special microscope, and a microscope using the conventional microscope method cannot be used.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、この
種の従来技術から知られている高解像度顕微鏡技術を従
来の顕微鏡において実現し、たとえば共焦点レーザー走
査型顕微鏡において実現し、特に追装備によっても実現
できるようにすることである。The object of the present invention is to realize such a high-resolution microscope technology known from the prior art in a conventional microscope, for example, in a confocal laser scanning microscope, It is to be able to be realized by equipment.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、対物レンズとビームスプリッター・ビーム
統合器が1つのモジュール状のアッセンブリにまとめら
れ、アッセンブリが顕微鏡の照明・検出光路への接続の
ためのインターフェースを有していることを特徴とする
ものである。According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, an objective lens and a beam splitter / beam combiner are combined into one modular assembly, and the assembly is connected to an illumination / detection optical path of a microscope. It has an interface for connection.
【0006】本発明によれば、まず、従来の顕微鏡、た
とえば共焦点レーザー走査型顕微鏡に追加的に高解像度
顕微鏡技術を備えさせることができ、従来の顕微鏡の特
性を維持させたまま追装備することができることが確認
された。さらに、従来の顕微鏡の高解像度顕微鏡技術の
実現は事後的にも可能であること、すなわち高解像度顕
微鏡技術に必要な主要な構成要素を、追装備可能なアッ
センブリに統合することにより可能なことが確認され
た。したがって本発明によれば、対物レンズとビームス
プリッター・ビーム統合器は1つのモジュール状のアッ
センブリに統合されている。このアッセンブリは、顕微
鏡の照明・検出光路に接続させるためのインターフェー
スを有している。モジュール状のアッセンブリは、それ
自体で見ると独立に操作可能であり、そのインターフェ
ースにより顕微鏡に接続することができ、その際照明・
検出光路への接続は絶対に必要である。According to the present invention, first, a conventional microscope, for example, a confocal laser scanning microscope, can be additionally provided with a high-resolution microscope technique, and additionally equipped while maintaining the characteristics of the conventional microscope. It was confirmed that it was possible. In addition, the realization of high-resolution microscopy technology of conventional microscopes is possible after the fact that the key components required for high-resolution microscopy technology can be integrated into retrofitable assemblies. confirmed. Thus, according to the invention, the objective lens and the beam splitter / beam combiner are integrated into one modular assembly. This assembly has an interface for connecting to the illumination / detection optical path of the microscope. The modular assembly can be operated independently when viewed by itself, and its interface allows it to be connected to a microscope, with the
Connection to the detection optical path is absolutely necessary.
【0007】アッセンブリのインターフェースを従来の
対物レンズまたは対物レンズレボルバーの代わりに顕微
鏡スタンドに挿着し、その際顕微鏡に(その照明・検出
光路に)接続させるのが有利である。このように改変が
簡単であり、すなわち対物レンズまたは対物レンズレボ
ルバーを取り外した後に可能であり、その際ここで問題
にしているハイエンドアッセンブリの接続が可能であ
る。It is advantageous to insert the interface of the assembly into a microscope stand instead of a conventional objective lens or objective revolver, in which case it is connected to the microscope (to its illumination and detection beam path). The modification is thus simple, that is to say after removing the objective lens or the objective lens revolver, whereby the connection of the high-end assembly in question here is possible.
【0008】光学要素を含んでいるアッセンブリの具体
的な構成に関して述べると、アッセンブリの構成要素は
基板上に取り付けられている。光路の温度に依存した変
化を避けるため、基板が熱膨張係数の小さな材料から製
造されているのが特に有利である。したがってインバー
ルまたはスープラインバールのような材料が問題とな
る。この材料は発生した温度が変化してもほとんど熱膨
張をしないため、温度による光路の変化或いは対応する
調整不良がほぼ防止されている。Referring to the specific configuration of the assembly including the optical components, the components of the assembly are mounted on a substrate. In order to avoid temperature-dependent changes in the optical path, it is particularly advantageous if the substrate is made of a material with a low coefficient of thermal expansion. Therefore, materials such as invar or soup line bar are problematic. Since this material hardly undergoes thermal expansion even when the generated temperature changes, a change in the optical path due to the temperature or a corresponding poor adjustment is almost prevented.
【0009】光学アッセンブリを特に確実に位置決めす
る点に関しては、アッセンブリの光学要素(基板上に配
置するのが有利である)が1つのケーシング内に配置さ
れているのが有利である。外部の影響を避けるため、ケ
ーシングは気密に密封されていてよい。位置調整状態に
対する外部の影響を効果的に避けるため、ケーシングが
少なくとも十分に熱絶縁されているのが有利である。[0009] With regard to the positioning of the optical assembly in particular, it is advantageous if the optical elements of the assembly, which are advantageously arranged on a substrate, are arranged in one casing. The casing may be hermetically sealed to avoid external influences. It is advantageous for the casing to be at least sufficiently thermally insulated in order to effectively avoid external influences on the alignment.
【0010】調整不良を効果的に避けるため、ケーシン
グの内部を所定の温度に設定することができ、この温度
範囲で光路が調整される。この温度を維持するため、光
学アッセンブリは少なくとも十分に一定の所定の放熱を
行う構成要素を含んでいる。この放熱性の構成要素は、
アッセンブリを一定の作動温度に保持するのに適してい
るように、可能であれば実現される熱絶縁を考慮してサ
イズを選定する必要がある。放熱性の構成要素とはレー
ザー光源であり、有利にはダイオードレーザーである。[0010] In order to effectively avoid poor adjustment, the inside of the casing can be set to a predetermined temperature, and the optical path is adjusted in this temperature range. To maintain this temperature, the optical assembly includes at least a sufficiently constant predetermined heat-dissipating component. This heat dissipation component
If possible, the size must be selected in view of the thermal insulation to be achieved, so as to be suitable for keeping the assembly at a constant operating temperature. The heat-dissipating component is a laser light source, preferably a diode laser.
【0011】熱膨張による調整不良を回避するための可
能性として、アッセンブリの光学要素は、温度による膨
張が相殺されてアッセンブリの光学的位置調整状態への
影響がないように構成され、且つ基板上に場合によって
は特別の保持体を用いて取り付けられ配置されていてよ
く、したがってアッセンブリの光学的調整状態への影響
がない。これは特に、個々の構成要素がもっぱら線膨張
を有するように、すなわち1つの方向に膨張するように
構成されていることにより実現できる。端部側に適当な
保持部が設けられ、膨張が互いに逆方向であることによ
り、温度変化における相互相殺が行われ、光路が変化す
ることがない。この処置によっても調整不良は十分に回
避されている。As a possibility to avoid misalignment due to thermal expansion, the optical elements of the assembly are constructed so that expansion due to temperature is offset so that the optical position of the assembly is not affected, and In some cases, it can be mounted and arranged by means of a special carrier, so that there is no effect on the optical adjustment of the assembly. This can be achieved, in particular, in that the individual components are designed to have exclusively linear expansion, ie to expand in one direction. Since a suitable holding portion is provided on the end side, and the expansions are in opposite directions, mutual cancellation due to temperature change is performed, and the optical path does not change. With this measure, the misalignment is sufficiently avoided.
【0012】光学アッセンブリは、互いに逆方向に指向
している対物レンズおよびビームスプリッター・ビーム
統合器のほかに他の光学要素を有していてよい。他の構
成要素(有利には同様にアッセンブリの組込み要素であ
る)は、対物レンズの間に配置されている試料テーブル
である。アッセンブリが顕微鏡に接続された場合、或い
はケーシングが接続された場合は、試料テーブルは水平
方向に指向しているので、被検査対象物を通常のごとく
テーブル上に載置可能である。The optical assembly may have other optical elements besides the objective lens and the beam splitter / beam combiner pointing in opposite directions. Another component, which is also preferably a built-in component of the assembly, is a sample table located between the objective lenses. When the assembly is connected to the microscope or the casing is connected, the sample table is oriented in the horizontal direction, so that the object to be inspected can be placed on the table as usual.
【0013】ケーシングの外側から試料テーブルに接近
可能であるのが有利である。したがって試料テーブルを
外部から操作することができ、特に被検査対象物をセッ
トすることができ、しかもこのためにケーシングを開口
させる必要がない。このような配置構成の範囲では、試
料テーブルとその上にある被検査対象物とはケーシング
により保護されている。[0013] Advantageously, the sample table is accessible from outside the casing. Therefore, the sample table can be operated from the outside, and in particular, an object to be inspected can be set, and further, it is not necessary to open the casing. In the range of such an arrangement, the sample table and the object to be inspected thereon are protected by the casing.
【0014】試料テーブルはケーシングの外側から被検
査対象物をセットできるばかりでなく、ケーシングの外
側から位置調整または変位させることができる。このた
め試料テーブルはモータ駆動されていてよく、この場合
試料テーブルを操作するために操作機構、有利にはジョ
イスティックまたはトラックボールが設けられていてよ
い。The sample table can be set or displaced from the outside of the casing, as well as the object to be inspected can be set from outside the casing. For this purpose, the sample table can be motor-driven, in which case an operating mechanism, preferably a joystick or trackball, can be provided for operating the sample table.
【0015】さらに、光学要素を含んでいるアッセンブ
リは、アッセンブリ内で使用される対物レンズのひとみ
を変位させるための光学系を有していてもよい。これに
より、アッセンブリにより拡大される光路への適合が可
能である。ひとみを変位させるための光学系は虚像また
は中間実像により実現されている。同様に、ひとみの変
位が顕微鏡の鏡筒レンズの交換により実現されてもよ
い。したがって重要なことは、対物レンズがアッセンブ
リ内で、たとえば干渉計モジュール内で、対物レンズレ
ボルバーを備えた通常の作動モジュール内の対物レンズ
の場合よりもさらに顕微鏡スタンドから離間しているの
で、対物レンズレボルバーの代わりにアッセンブリを顕
微鏡スタンドに取り付けた後に、適合のためにひとみの
変位が可能であること、すなわち対物レンズのひとみの
位置の適合が可能なことである。適当なレンズホイール
上に配置されている鏡筒レンズの交換も基本的には可能
である。Further, the assembly including the optical element may have an optical system for displacing the pupil of the objective used in the assembly. This allows adaptation to the light path extended by the assembly. An optical system for displacing the pupil is realized by a virtual image or an intermediate real image. Similarly, pupil displacement may be achieved by exchanging the barrel lens of the microscope. It is therefore important that the objective lens is further away from the microscope stand in the assembly, for example in the interferometer module, than in an ordinary working module with an objective revolver, After the assembly has been mounted on the microscope stand instead of the revolver, the pupil can be displaced for adaptation, i.e. the pupil position of the objective can be adapted. It is also basically possible to exchange a lens barrel arranged on a suitable lens wheel.
【0016】さらに、アッセンブリが、照明・検出光路
を転向させるために該照明・検出光路内に配置される、
少なくとも1つのミラーを有していてよい。このような
ミラーを使用して光路の転向を達成することにより、ア
ッセンブリのコンパクトな構成を実現できる。Further, an assembly is disposed within the illumination and detection optical path for diverting the illumination and detection optical path,
It may have at least one mirror. By using such a mirror to achieve turning of the optical path, a compact configuration of the assembly can be realized.
【0017】照明・検出光路内のカップリング位置とビ
ームスプリッターの間、有利にはカップリング位置とミ
ラーの間にシャッターが配置され、すなわち光線または
少なくとも1つの部分光線をフェードアウトするための
シャッターが配置されている。A shutter is arranged between the coupling position in the illumination and detection beam path and the beam splitter, preferably between the coupling position and the mirror, ie a shutter for fading out the light beam or at least one partial light beam. Have been.
【0018】両対物レンズのすぐ前方に、照明・検出光
を転向させるミラーを設けてもよい。この両ミラーもア
ッセンブリ全体のコンパクトな構成を実現するために用
いられ、これにより、必要なケーシングのサイズが小さ
くなる。A mirror for turning the illumination / detection light may be provided immediately in front of the two objective lenses. Both mirrors are also used to achieve a compact configuration of the entire assembly, which reduces the required casing size.
【0019】具体的な適用例の要請に応じては、照明・
検出光路内のビームスプリッターとミラーの間にもシャ
ッターを設けてもよい。このシャッターも光線をフェー
ドアウトまたは部分的にフェードアウトするために用い
られる。[0019] In response to specific application requirements, lighting
A shutter may be provided between the beam splitter and the mirror in the detection optical path. This shutter is also used to fade out or partially fade out the light beam.
【0020】さらに、アッセンブリが干渉現象を制御す
るための、特に位相調整を行うための光学要素を有して
いてもよい。すなわちこれは干渉計光路を実現するため
である。このため特別な干渉計を組み込んでもよく、た
とえばサニャック干渉計、マイケルソン干渉計、トワイ
マン‐グリーン干渉計、またはマッハ‐ツェンダー干渉
計を組み込んでもよい。これらの干渉計は干渉計光路の
形成のために特に適している。さらにアッセンブリは顕
微鏡技術4Pi、SWFM、I2M、I3M、I 5Mを実
施するための光学要素を有している。これは、全く異な
る顕鏡法を使用した「ハイエンド」顕微鏡技術である。こ
れらの顕鏡法にとっては、互いに逆方向に指向した対物
レンズが使用されることが重要である。Further, the assembly controls the interference phenomenon.
With an optical element for adjusting the phase, in particular
May be. That is, this is to realize the interferometer optical path
It is. For this purpose special interferometers may be incorporated,
For example, Sagnac interferometer, Michelson interferometer, Twy
Mann-Green interferometer or Mach-Zehnder interference
A meter may be incorporated. These interferometers are
Particularly suitable for forming. In addition, the assembly
Microscope technology 4Pi, SWFM, I2M, I3M, I 5Real M
It has an optical element for applying. This is a completely different
"High-end" microscopy technology using microscopy. This
For these microscopy methods, the objectives are oriented in opposite directions.
It is important that lenses are used.
【0021】アッセンブリの主要な構成要素を位置調整
のために位置決めすることができ、すなわち個々の構成
要素にアクチュエータを付設することによりこれが可能
になる。これらのアクチュエータは制御ユニットにより
制御可能であり、この場合制御ユニットはアッセンブリ
の外側または内側に(アッセンブリに組み込んで)設け
てよい。アクチュエータはコンピュータで有利に制御さ
れているので、適当なコンピュータプログラムを用いて
位置調整を行うことができる。利用者用の適当な位置調
整ガイドも考えられる。[0021] The main components of the assembly can be positioned for alignment, that is to say by attaching actuators to the individual components. These actuators can be controlled by a control unit, in which case the control unit may be provided outside or inside (integrated with) the assembly. Since the actuator is advantageously controlled by a computer, the position can be adjusted using a suitable computer program. A suitable alignment guide for the user is also conceivable.
【0022】さらに、アッセンブリの作動状態の種々の
特性量を検出するための検出器が設けられていてよい。
この場合検出器はアッセンブリの組込み要素である。検
出器は、それぞれの特性曲線の検出(アッセンブリの作
動状態の検出)に適した機械的センサ、電子センサ、お
よび(または)光学センサである。これにより、システ
ムまたはモジュールの自動的な位置調整が可能である。Further, a detector may be provided for detecting various characteristic quantities of the operating state of the assembly.
In this case, the detector is a built-in element of the assembly. The detectors are mechanical, electronic and / or optical sensors suitable for detecting the respective characteristic curves (detection of the operating state of the assembly). This allows for automatic positioning of the system or module.
【0023】すでに述べたように、アッセンブリは固有
の光源を有することができ、その際この光源は同時にア
ッセンブリの温度調整にも用いることができる。さらに
この光源は、構成要素を位置調整するための補助光路を
生成させるために用いることができる。この場合補助光
路は干渉計光路として生成され、アッセンブリの組込み
要素である。また、光源を外部の光源としてアッセンブ
リにカップリング可能であるようにしてもよく、任意の
どの光源でも(そのサイズを考慮することなく)可能で
ある。光誘導ファイバーによるカップリングが考えられ
る。As already mentioned, the assembly can have its own light source, which light source can at the same time be used for adjusting the temperature of the assembly. In addition, the light source can be used to create an auxiliary light path for aligning components. In this case, the auxiliary light path is generated as an interferometer light path and is a built-in element of the assembly. Also, the light source may be capable of being coupled to the assembly as an external light source, and any arbitrary light source is possible (without considering its size). Coupling by light guiding fibers is conceivable.
【0024】光源は固体レーザー、ダイオードレーザー
またはガスレーザーとして実施されていることができ
る。なお、アッセンブリは蛍光落射照明ユニット、双眼
鏡筒および(または)共焦点ユニットへのインターフェ
ースを有していてよい。従来の顕微鏡技術を利用した他
の構成も可能である。The light source can be implemented as a solid state laser, a diode laser or a gas laser. It should be noted that the assembly may have an interface to a fluorescent epi-illumination unit, a binocular tube and / or a confocal unit. Other configurations utilizing conventional microscope technology are also possible.
【0025】本発明の教義を有利に構成し、改良する種
々の可能性がある。これには請求項1の従属項が挙げら
れるが、他方以下の図面を用いた本発明の実施形態の説
明も指摘する。図面を用いた本発明の有利な実施形態の
説明に関連して、本発明の普遍的に有利な構成および変
形例を説明する。There are various possibilities to advantageously structure and improve the teachings of the present invention. This includes the dependent claims of claim 1, while the following description of embodiments of the invention with the aid of the drawings is pointed out. Universally advantageous configurations and variants of the invention will be described in connection with the description of advantageous embodiments of the invention with the aid of the drawings.
【0026】[0026]
【発明の実施の形態】図において、従来の顕微鏡1に関
わる領域は示唆するにとどめた。本実施形態における顕
微鏡は、共焦点レーザー走査型顕微鏡である。この共焦
点レーザー走査型顕微鏡は、図に図示していない光源
と、同様に図示していない検出器と、少なくとも2つの
対物レンズ2とを有している。試料面3の両側にはそれ
ぞれ1個の対物レンズ2が配置されている。両対物レン
ズ2は逆方向に指向しており、共通の焦点を有してい
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the drawings, the region relating to the conventional microscope 1 is only suggested. The microscope according to the present embodiment is a confocal laser scanning microscope. The confocal laser scanning microscope has a light source, not shown, a detector, also not shown, and at least two objective lenses 2. One objective lens 2 is arranged on each side of the sample surface 3. Both objective lenses 2 are directed in opposite directions and have a common focal point.
【0027】さらに、図に示すところによれば、照明・
検出光路4内に、照明光6を対物レンズ2へ配分するた
めの少なくとも1つのビームスプリッター5と、対物レ
ンズ2からくる検出光7を統合するためのピーム統合器
5とが設けられている。なおビームスプリッターとビー
ム統合器5は、図に図示したような単一の光学要素であ
ってよい。Further, as shown in the figure,
Provided in the detection optical path 4 are at least one beam splitter 5 for distributing the illumination light 6 to the objective lens 2 and a beam combiner 5 for integrating the detection light 7 coming from the objective lens 2. Note that the beam splitter and the beam combiner 5 may be a single optical element as shown in the figure.
【0028】本発明によれば、対物レンズ2とビームス
プリッター・ビーム統合器5とは1つのモジュール状の
アッセンブリ8にまとめられている。アッセンブリ8
は、顕微鏡1の照明・検出光路10へ接続するためのイ
ンターフェース9を有している。According to the invention, the objective lens 2 and the beam splitter / beam combiner 5 are combined in one modular assembly 8. Assembly 8
Has an interface 9 for connecting to an illumination / detection optical path 10 of the microscope 1.
【0029】本発明による顕微鏡1では、干渉顕微鏡の
比較的複雑な部分、すなわち対応する光学要素を含んで
いるアッセンブリはモジュール状に形成されているの
で、基本的にはモジュール状のアッセンブリ8を通常の
顕微鏡に接続することができる。したがって、一般に高
価な研究用顕微鏡を通常の作動モードのために使用でき
るばかりでなく、高解像度作動に対しても使用でき、す
なわち接続可能なモジュール状のアッセンブリを用いて
修正することにより使用できる。この限りにおいては、
ある種の顕微鏡の通常のアッセンブリを高解像度モジュ
ール作動にも使用できる。たとえば、顕微鏡に既設の高
圧蒸気光源を用いて照明を実現できる。また、通常の蛍
光落射照明光路内で試料の検査を行って、その後にデー
タ取得用の顕微鏡システム全体のパラメータを高解像度
モジュールを用いて設定することも考えられる。さら
に、被検査試料の重要な部分を記録或いは制限すること
もできる。モジュール状のアッセンブリ8は、基本的に
は、互いに逆方向に指向する2つの対物レンズを使用す
る顕微鏡法であればすべての顕微鏡法に使用することが
できる。特に重要な顕微鏡技術は4Pi、SWFM、I2
M、I3M、I5Mである。これらの顕微鏡技術に関し
ては、たとえば欧州特許第0491289号公報、米国
特許第4621911号公報、米国特許第567108
5号公報を指摘しておくにとどめる。特に、このモジュ
ールを用いると、試料ラスターにより、或いはビーム走
査方式により、試料を2次元または3次元で記録するこ
とが可能である。In the microscope 1 according to the invention, the relatively complex part of the interference microscope, ie the assembly containing the corresponding optical elements, is formed in a modular manner, so that the basically modular assembly 8 is usually Can be connected to a microscope. Thus, generally expensive laboratory microscopes can be used not only for normal modes of operation, but also for high resolution operation, i.e., with modifications using connectable modular assemblies. In this regard,
The normal assembly of certain microscopes can also be used for high resolution module operation. For example, illumination can be realized using an existing high-pressure vapor light source for a microscope. It is also conceivable that the specimen is inspected in a normal fluorescence epi-illumination optical path, and thereafter the parameters of the entire microscope system for data acquisition are set using a high-resolution module. Further, an important part of the sample to be inspected can be recorded or restricted. The modular assembly 8 can basically be used for all microscopy methods using two objective lenses pointing in opposite directions. Particularly important microscopy techniques are 4Pi, SWFM, I 2
M, I 3 M and I 5 M. Regarding these microscope techniques, for example, European Patent No. 0491289, US Pat. No. 4,621,911 and US Pat. No. 5,671,108.
No. 5 is pointed out. In particular, with this module, it is possible to record a sample in two or three dimensions by means of a sample raster or by a beam scanning method.
【0030】図面に図示した、本発明による顕微鏡また
は本発明の要旨において重要なモジュール状のアッセン
ブリ8の実施形態においては、個々の光学要素は基板1
1上に取り付けられている。この基板11は熱膨張係数
の小さな材料から製造されている。本実施形態の場合、
基板11の材料はスープラインバールSuprainvarであ
る。In the embodiment of the microscope according to the invention or of the modular assembly 8 important in the context of the invention, illustrated in the drawing, the individual optical elements are
1 is mounted on. This substrate 11 is made of a material having a small coefficient of thermal expansion. In the case of this embodiment,
The material of the substrate 11 is Suprainvar.
【0031】モジュール状のアッセンブリ8、または個
々の光学要素を有している基板11はケーシング12内
に配置され、ケーシング12は熱的に絶縁されている。
温度変化であまり膨張しない基板11を利用し、且つケ
ーシング12に適当な処置を施すことにより、顕微鏡周
辺の温度変動が制限的であれば、モジュール状のアッセ
ンブリ8或いはそこで実現されている干渉計の調整済み
の光路に支障を与えることはない。The modular assembly 8, or the substrate 11 with the individual optical elements, is arranged in a casing 12, which is thermally insulated.
By using the substrate 11 which does not expand much due to a temperature change, and by applying an appropriate treatment to the casing 12, if the temperature fluctuation around the microscope is limited, the modular assembly 8 or the interferometer realized therein can be used. It does not interfere with the adjusted light path.
【0032】顕微鏡周辺の温度変動の影響をさらに低減
するには、個々の光学要素を特別な保持部により固定ま
たは位置決めし、これらの保持部を、温度変動による材
料膨張がほぼ完全に相殺されるように構成し、基板11
に固定するのが有利である。このようにすると、温度が
変化してもアッセンブリ8の光学的位置決め状態への影
響がない。To further reduce the effects of temperature fluctuations around the microscope, the individual optical elements are fixed or positioned by special holding parts, which are almost completely offset by the material expansion due to temperature fluctuations. And the substrate 11
It is advantageous to fix to In this way, even if the temperature changes, there is no effect on the optical positioning state of the assembly 8.
【0033】すでに述べたように、ケーシングを気密に
密封して、顕微鏡1周辺の空気流動が干渉計の光路に悪
影響しないようにしてもよい。この限りにおいては、熱
源としてアッセンブリ8を不規則に強く加熱させるよう
な部材をアッセンブリ8の内部に取り付けて作動させる
べきではない。これにより干渉計の光路が影響を受ける
からである。しかしながら、所定の一定の熱放射を行う
ダイオードレーザーをアッセンブリ8の組み込み部材と
して設けるのが有利である。なぜならこのダイオードレ
ーザーは温度が安定してアッセンブリ8に作用するから
である。したがってアッセンブリ8は被検査試料13を
含めて好ましい作動温度、たとえばいわゆる生体内試料
に対しては37℃に保持することができる。As already mentioned, the casing may be hermetically sealed so that the air flow around the microscope 1 does not adversely affect the optical path of the interferometer. To this extent, a member that heats the assembly 8 irregularly and strongly as a heat source should not be mounted inside the assembly 8 and operated. This is because the optical path of the interferometer is affected. However, it is advantageous to provide a diode laser which emits a predetermined, constant heat radiation as an integral part of the assembly 8. This is because the diode laser operates on the assembly 8 with a stable temperature. Therefore, the assembly 8 can be maintained at a preferable operating temperature including the test sample 13, for example, at 37 ° C. for a so-called in-vivo sample.
【0034】さらに図からわかるように、改良形の試料
テーブル14が設けられている。試料テーブル14は、
両対物レンズ2の間に水平方向に延びている。したがっ
て通常の顕微鏡のように操作者にとって操作しやすい使
用状況が実現されている。試料テーブル14は、対物レ
ンズ2に対して相対的に位置決めするため、操作者が手
動またはモータで外部から操作することができる。図に
図示しなかった操作要素としてはジョイスティックまた
はトラックボールが挙げられ、これによりモータ制御部
を作動させ、制御することができる。As can be seen from the figure, an improved sample table 14 is provided. The sample table 14
It extends horizontally between the two objective lenses 2. Therefore, a use condition that is easy for the operator to operate as in a normal microscope is realized. Since the sample table 14 is positioned relatively to the objective lens 2, the operator can manually or externally operate the sample table 14 with a motor. Operating elements not shown in the figures include joysticks or trackballs, which can operate and control the motor control.
【0035】さらに図からわかるように、アッセンブリ
8または該アッセンブリ8を(少なくとも部分的に)含
んでいる光学部材は、干渉計を制御するためのアクチュ
エータ15を備えている。アクチュエータ15は試料テ
ーブル14、そこに設けられるミラー16、照明・検出
光路4内のビームスプリッター・ビーム統合器5の位置
決めに用いられる。なお試料テーブル操作用のアクチュ
エータは図示しておらず、また図面をわかりやすくする
ため、照明・検出光路4の光軸17を図示した。さらに
図示はしなかったが、対物レンズ2の操作もアクチュエ
ータを用いて行ってよい。As can be further seen, the assembly 8 or the optical member comprising (at least partially) the assembly 8 comprises an actuator 15 for controlling the interferometer. The actuator 15 is used for positioning the sample table 14, the mirror 16 provided thereon, and the beam splitter / beam combiner 5 in the illumination / detection optical path 4. The actuator for operating the sample table is not shown, and the optical axis 17 of the illumination / detection optical path 4 is shown for easy understanding of the drawing. Although not shown, the operation of the objective lens 2 may be performed using an actuator.
【0036】アクチュエータ15の制御ユニットはアッ
センブリ8の外側に配置され、アクチュエータ15の制
御はコンピュータで行なう。図示したシャッター18は
光線19または少なくとも1つの部分光線20をフェー
ドアウトするために用いる。シャッター18もモジュー
ル状のアッセンブリ8に付設してもよい。The control unit of the actuator 15 is arranged outside the assembly 8, and the control of the actuator 15 is performed by a computer. The illustrated shutter 18 is used to fade out the light beam 19 or at least one partial light beam 20. The shutter 18 may also be attached to the modular assembly 8.
【0037】図面に図示した具体的な実施形態は、高解
像度の4Pi顕微鏡モジュール(モジュール状のアッセン
ブリ8)と通常の共焦点レーザー走査型顕微鏡(CLSM)
とを組み合わせたものである。この場合モジュール状の
アッセンブリ8は図面に図示しなかった対物レンズレボ
ルバーの代わりにケーシング12内に設けられており、
コンパチブルなインターフェース9を用いて顕微鏡1に
挿着され、或いは顕微鏡のスタンドに連結されている。
したがって、特に被検査対象物の発見もしくは位置確認
のために、通常の顕微鏡モジュールに接眼レンズを利用
するのが有利である。また、本発明による配置構成を適
用すると、通常の共焦点レーザー走査型顕微鏡において
2次元または3次元の像をえることができる。The specific embodiment illustrated in the drawings is a high resolution 4Pi microscope module (modular assembly 8) and a conventional confocal laser scanning microscope (CLSM).
Is a combination of In this case, the modular assembly 8 is provided in the casing 12 instead of the objective lens revolver not shown in the drawing,
It is inserted into the microscope 1 using a compatible interface 9 or connected to a microscope stand.
Therefore, it is advantageous to use an eyepiece in a normal microscope module, especially for finding or locating the object to be inspected. Further, when the arrangement according to the present invention is applied, a two-dimensional or three-dimensional image can be obtained with a normal confocal laser scanning microscope.
【0038】さらに図からわかるように、アッセンブリ
8内で使用される対物レンズ2に対しひとみを変位させ
るための光学系21が設けられている。アッセンブリ8
を顕微鏡の対物レンズレボルバーに取り付ける代わりに
顕微鏡のスタンドに取り付けるには、対物レンズ2のひ
とみの位置を適合させる必要がある。というのは、ここ
に図示した干渉計モジュール(モジュール状のアッセン
ブリ8)における対物レンズ2は対物レンズレボルバー
を用いた通常の作動モードに比べて顕微鏡のスタンドか
ら一層離間しているからである。このようなひとみの変
位は、中間実像または中間虚像により実現することがで
きる。同様に、顕微鏡のスタンド内の適当なレンズホイ
ール(図示せず)上に配置することができる鏡筒レンズ
の交換も可能である。したがって鏡筒レンズを交換する
ことによりひとみを仮想的に変位させることができ、さ
らなる処置をとる必要はない。As can be seen from the figure, an optical system 21 for displacing the pupil with respect to the objective lens 2 used in the assembly 8 is provided. Assembly 8
In order to attach to the stand of the microscope instead of attaching to the objective lens revolver of the microscope, it is necessary to adjust the position of the pupil of the objective lens 2. This is because the objective lens 2 in the interferometer module shown here (modular assembly 8) is farther from the microscope stand than in the normal operating mode using an objective lens revolver. Such a pupil displacement can be realized by an intermediate real image or an intermediate virtual image. Similarly, it is possible to exchange barrel lenses which can be placed on a suitable lens wheel (not shown) in the microscope stand. Therefore, the pupil can be virtually displaced by exchanging the barrel lens, and it is not necessary to take further measures.
【0039】なお、上記実施形態は本発明の要旨を説明
するために用いたにすぎず、本発明は任意に選定したこ
の実施形態に限定されるものではない。The above embodiment is merely used for explaining the gist of the present invention, and the present invention is not limited to this arbitrarily selected embodiment.
【図1】光学要素を含み、モジュール構成であるために
顕微鏡(示唆的に示したにすぎない)に追加的に接続可
能な光学アッセンブリの基本構成を示す図である。FIG. 1 shows the basic configuration of an optical assembly that includes optical components and that can be additionally connected to a microscope (only suggested) because of its modular configuration.
1 顕微鏡 2 対物レンズ 3 被検査対象物の面 4 照明・検出光路 5 ビームスプリッター・ビーム統合器 6 照明光 7 検出光 8 アッセンブリ 9 インターフェース 10 顕微鏡の照明・検出光路 11 基板 12 ケーシング 13 被検査試料 14 試料テーブル 15 アクチュエータ 16 ミラー 17 照明・検出光路の光軸 18 シャッター 21 ひとみを変位させるための光学系 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Microscope 2 Objective lens 3 Surface of an object to be inspected 4 Illumination / detection optical path 5 Beam splitter / beam combiner 6 Illumination light 7 Detection light 8 Assembly 9 Interface 10 Microscope illumination / detection optical path 11 Substrate 12 Casing 13 Sample to be inspected 14 Sample table 15 Actuator 16 Mirror 17 Optical axis of illumination / detection optical path 18 Shutter 21 Optical system for displacing pupil
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヨアヒム ブラドル ドイツ連邦共和国 デー・69198 シュリ ースハイム マックス・プランク・シュト ラーセ 33 Fターム(参考) 2H052 AA08 AB14 AB17 AB26 AC04 AC05 AC34 AD01 AD16 AD18 AD31 AF04 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Joachim Braddle DE 69198 Schliersheim Max Planck-Strasse 33 F-term (reference) 2H052 AA08 AB14 AB17 AB26 AC04 AC05 AC34 AD01 AD16 AD18 AD31 AF04
Claims (43)
の検出器と、2つの対物レンズ(2)とを備え、被検査
対象物の面(3)の両側にそれぞれ1つの前記対物レン
ズ(2)が配置され、両対物レンズ(2)が互いに逆の
方向に方向づけられ、且つ共通の焦点を有しており、照
明・検出光路(4)内に、照明光(6)を対物レンズ
(2)に振り分けるための少なくとも1つのビームスプ
リッター(5)と、対物レンズ(2)から来る検出光
(7)を統合するためのビーム統合器(5)が設けられ
ている顕微鏡において、 対物レンズ(2)とビームスプリッター・ビーム統合器
(5)が1つのモジュール状のアッセンブリ(8)にま
とめられ、アッセンブリ(8)が顕微鏡の照明・検出光
路(4)への接続のためのインターフェース(9)を有
していることを特徴とする顕微鏡。1. An objective (2) comprising at least one light source, at least one detector and two objectives (2), one on each side of the surface (3) of the object to be inspected. Are arranged, the two objective lenses (2) are oriented in opposite directions to each other and have a common focal point, and the illumination light (6) is passed through the objective lens (2) in the illumination / detection optical path (4). A microscope provided with at least one beam splitter (5) for distributing the light to a beam and a beam integrator (5) for integrating the detection light (7) coming from the objective lens (2); And a beam splitter / beam combiner (5) are integrated into one modular assembly (8), which assembles an interface (9) for connection to the illumination and detection optical path (4) of the microscope. A microscope, comprising:
の代わりにアッセンブリ(8)のインターフェース
(9)を顕微鏡のスタンドに取り付け可能であり、その
際に顕微鏡(1)に接続可能であることを特徴とする、
請求項1に記載の顕微鏡。2. An interface (9) of an assembly (8) can be attached to a stand of a microscope instead of a conventional objective lens / object lens revolver, in which case it can be connected to the microscope (1). And
The microscope according to claim 1.
板(11)上に取り付けられていることを特徴とする、
請求項1または2に記載の顕微鏡。3. The optical element of the assembly (8) is mounted on one substrate (11).
The microscope according to claim 1.
製造されていることを特徴とする、請求項3に記載の顕
微鏡。4. The microscope according to claim 3, wherein the substrate is made of a material having a low coefficient of thermal expansion.
有利にはスープラインバールから製造されていることを
特徴とする、請求項4に記載の顕微鏡。5. The substrate (11) is manufactured from Invar,
5. The microscope according to claim 4, wherein the microscope is advantageously manufactured from soup line bar.
ーシング(12)内に配置されていることを特徴とす
る、請求項1から5までのいずれか一つに記載の顕微
鏡。6. The microscope according to claim 1, wherein the optical elements of the assembly are arranged in a housing.
ることを特徴とする、請求項6に記載の顕微鏡。7. The microscope according to claim 6, wherein the casing (12) is hermetically sealed.
絶縁されていることを特徴とする、請求項1から7まで
のいずれか一つに記載の顕微鏡。8. The microscope according to claim 1, wherein the housing is at least sufficiently thermally insulated.
に一定の所定の放熱性を持った部材を有していることを
特徴とする、請求項1から8までのいずれか一つに記載
の顕微鏡。9. The microscope according to claim 1, wherein the optical assembly has a member having a predetermined heat radiation at least sufficiently constant. .
一定の作動温度に保持するのに適しているようにそのサ
イズが選定されていることを特徴とする、請求項9に記
載の顕微鏡。10. The microscope according to claim 9, wherein the size of the heat dissipating member is selected so as to be suitable for maintaining the assembly at a constant operating temperature. .
ダイオードレーザーであることを特徴とする、請求項9
または10に記載の顕微鏡。11. The heat dissipating member is a laser light source, preferably a diode laser.
Or the microscope according to 10.
による膨張が相殺されてアッセンブリ(8)の光学的位
置調整状態への影響がないように構成され、且つ基板
(11)上に場合によっては特別の保持体を用いて取り
付けられ配置されていることを特徴とする、請求項1か
ら11までのいずれか一つに記載の顕微鏡。12. The optical element of the assembly (8) is constructed such that expansion due to temperature is offset so that the optical position of the assembly (8) is not affected and the optical element may be placed on the substrate (11). The microscope according to claim 1, wherein the microscope is mounted and arranged using a special holder.
(2)の間に配置される試料テーブル(14)を有して
いることを特徴とする、請求項1から12までのいずれ
か一つに記載の顕微鏡。13. The method according to claim 1, wherein the optical assembly has a sample table arranged between the objective lenses. Microscope as described.
結させたとき試料テーブル(14)が対物レンズ(2)
の間で水平方向に指向していることを特徴とする、請求
項13に記載の顕微鏡。14. When the casing (12) is connected to the microscope (1), the sample table (14) is connected to the objective lens (2).
14. The microscope according to claim 13, characterized in that the microscope is directed horizontally between.
ブル(14)に接近可能であることを特徴とする、請求
項13または14に記載の顕微鏡。15. The microscope according to claim 13, wherein the sample table is accessible from outside the casing.
ブル(14)を位置調整可能であることを特徴とする、
請求項13から15までのいずれか一つに記載の顕微
鏡。16. The sample table (14) can be adjusted in position from outside the casing (12).
A microscope according to any one of claims 13 to 15.
れることを特徴とする、請求項13から16までのいず
れか一つに記載の顕微鏡。17. The microscope according to claim 13, wherein the sample table is driven by a motor.
有利にはジョイスティックまたはトラックボールの形態
で操作機構が設けられていることを特徴とする、請求項
17に記載の顕微鏡。18. To operate a sample table (14),
18. Microscope according to claim 17, characterized in that the operating mechanism is advantageously provided in the form of a joystick or a trackball.
(8)内で使用される対物レンズ(2)のひとみを変位
させるための光学系(21)を有していることを特徴と
する、請求項1から18までのいずれか一つに記載の顕
微鏡。19. An assembly (8) comprising an optical system (21) for displacing a pupil of an objective lens (2) used in said assembly (8). Item 19. The microscope according to any one of Items 1 to 18.
1)が虚像により実現されていることを特徴とする、請
求項19に記載の顕微鏡。20. An optical system (2) for displacing the pupil.
20. The microscope according to claim 19, wherein 1) is realized by a virtual image.
1)が中間実像により実現されていることを特徴とす
る、請求項19に記載の顕微鏡。21. An optical system (2) for displacing the pupil.
20. The microscope according to claim 19, wherein 1) is realized by an intermediate real image.
ズの交換により実現されていることを特徴とする、請求
項19に記載の顕微鏡。22. The microscope according to claim 19, wherein the displacement of the pupil is realized by exchanging the lens barrel of the microscope (1).
にカップリング位置付近に位置するように配置された光
学系(21)により実現されていることを特徴とする、
請求項19に記載の顕微鏡。23. The pupil displacement is realized by an optical system (21) arranged in the illumination / detection optical path (4) so as to be located near the coupling position.
A microscope according to claim 19.
(4)を転向させるために該照明・検出光路(4)内に
配置される、少なくとも1つのミラー(16)を有して
いることを特徴とする、請求項1から23までのいずれ
か一つに記載の顕微鏡。24. The assembly (8) has at least one mirror (16) arranged in the illumination and detection path (4) for deflecting the illumination and detection path (4). The microscope according to any one of claims 1 to 23, characterized in that:
位置とビームスプリッター(5)の間に、有利にはカッ
プリング位置とミラー(16)の間にシャッター(1
8)が配置されていることを特徴とする、請求項1から
24までのいずれか一つに記載の顕微鏡。25. A shutter (1) between the coupling position in the illumination and detection light path (4) and the beam splitter (5), preferably between the coupling position and the mirror (16).
The microscope according to any one of claims 1 to 24, wherein 8) is arranged.
・検出光(4)を転向させるミラー(16)が設けられ
ていることを特徴とする、請求項1から25までのいず
れか一つに記載の顕微鏡。26. The device according to claim 1, further comprising a mirror provided in front of the objective lens for turning the illumination / detection light. The microscope according to 1.
(4)内のビームスプリッター(5)とミラー(16)
の間にシャッター(18)を有していることを特徴とす
る、請求項26に記載の顕微鏡。27. An assembly (8) comprising a beam splitter (5) and a mirror (16) in an illumination / detection optical path (4).
Microscope according to claim 26, characterized in that it has a shutter (18) between them.
るための、特に位相調整を行うための光学要素を有して
いることを特徴とする、請求項1から27までのいずれ
か一つに記載の顕微鏡。28. The device according to claim 1, wherein the assembly has an optical element for controlling the interference phenomenon, in particular for adjusting the phase. Microscope as described.
るためサニャック干渉計、マイケルソン干渉計、トワイ
マン‐グリーン干渉計、またはマッハ‐ツェンダー干渉
計を有していることを特徴とする、請求項28に記載の
顕微鏡。29. An assembly (8) comprising a Sagnac interferometer, a Michelson interferometer, a Twyman-Green interferometer or a Mach-Zehnder interferometer to form an interfering light path. The microscope according to 28.
SWFM、I2M、I3M、I5Mを実施するための光
学要素を有していることを特徴とする、請求項1から2
9までのいずれか一つに記載の顕微鏡。30. The assembly (8) is a microscope technology 4Pi,
SWFM, I 2 M, I 3 M, characterized in that it comprises an optical element for performing the I 5 M, claims 1 2
9. The microscope according to any one of 9 to 9.
アッセンブリ(8)を位置調整するため、個々の要素に
それぞれアクチュエータ(15)が付設されていること
を特徴とする、請求項1から30までのいずれか一つに
記載の顕微鏡。31. An actuator according to claim 1, wherein each of said individual elements is provided with an actuator (15) for positioning said individual elements or for adjusting the position of said assembly (8). A microscope according to any one of the preceding claims.
を介して制御可能であることを特徴とする、請求項31
に記載の顕微鏡。32. The actuator according to claim 31, wherein the actuator is controllable via a control unit.
The microscope according to 1.
側に設けられていることを特徴とする、請求項32に記
載の顕微鏡。33. Microscope according to claim 32, wherein the control unit is provided outside the assembly (8).
で制御されていることを特徴とする、請求項31から3
3までのいずれか一つに記載の顕微鏡。34. The actuator according to claim 31, wherein the actuator is controlled by a computer.
3. The microscope according to any one of 3 above.
特性量を検出するための検出器が設けられていることを
特徴とする、請求項1から34までのいずれか一つに記
載の顕微鏡。35. Microscope according to claim 1, further comprising a detector for detecting various characteristic quantities of the operating state of the assembly (8). .
素であることを特徴とする、請求項35に記載の顕微
鏡。36. Microscope according to claim 35, wherein the detector is a built-in element of the assembly (8).
よび(または)光学センサとして実施されていることを
特徴とする、請求項35または36に記載の顕微鏡。37. Microscope according to claim 35, wherein the detector is implemented as a mechanical sensor, an electronic sensor and / or an optical sensor.
を位置調整するための補助光路を生成させる少なくとも
1つの光源が設けられていることを特徴とする、請求項
1から37までのいずれか一つに記載の顕微鏡。38. At least one light source is provided for the assembly (8), which provides an auxiliary light path for adjusting the position of the component. The microscope according to one.
位置調整が自動的に行われることを特徴とする、請求項
38に記載の顕微鏡。39. An auxiliary optical path is generated as an interferometer optical path,
39. The microscope according to claim 38, wherein the position adjustment is performed automatically.
であることを特徴とする、請求項38または39に記載
の顕微鏡。40. Microscope according to claim 38, wherein the light source is a built-in element of the assembly (8).
(8)にカップリング可能であることを特徴とする、請
求項38または39に記載の顕微鏡。41. Microscope according to claim 38, wherein the light source is coupleable to the assembly (8) as an external light source.
ーまたはガスレーザーとして実施されていることを特徴
とする、請求項38から41までのいずれか一つに記載
の顕微鏡。42. The microscope according to claim 38, wherein the light source is implemented as a solid-state laser, a diode laser or a gas laser.
共焦点ユニットへのインターフェース(9)とが設けら
れていることを特徴とする、請求項1から42までのい
ずれか一つに記載の顕微鏡。43. A fluorescence epi-illumination unit, a binocular tube,
43. The microscope according to claim 1, wherein an interface (9) to a confocal unit is provided.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009139479A (en) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Image processing device |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0491289B1 (en) * | 1990-12-18 | 1996-04-03 | Stefan Dr. Hell | Double-confocal scanning microscope |
JPH11513145A (en) * | 1996-07-23 | 1999-11-09 | カール ツアイス イエーナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Confocal microscope with dual objective lens system |
-
2000
- 2000-04-25 JP JP2000124412A patent/JP2001305430A/en active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0491289B1 (en) * | 1990-12-18 | 1996-04-03 | Stefan Dr. Hell | Double-confocal scanning microscope |
JPH11513145A (en) * | 1996-07-23 | 1999-11-09 | カール ツアイス イエーナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Confocal microscope with dual objective lens system |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009139479A (en) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | Image processing device |
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