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JP2001284718A - External cavity laser - Google Patents

External cavity laser

Info

Publication number
JP2001284718A
JP2001284718A JP2000100038A JP2000100038A JP2001284718A JP 2001284718 A JP2001284718 A JP 2001284718A JP 2000100038 A JP2000100038 A JP 2000100038A JP 2000100038 A JP2000100038 A JP 2000100038A JP 2001284718 A JP2001284718 A JP 2001284718A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
volume hologram
laser
wavelength
laser beam
photopolymer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000100038A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Suganuma
洋 菅沼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2000100038A priority Critical patent/JP2001284718A/en
Priority to US09/821,955 priority patent/US20020012377A1/en
Publication of JP2001284718A publication Critical patent/JP2001284718A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Holo Graphy (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser beam with a narrow wavelength width stably with a simple low-cost configuration. SOLUTION: The external resonance type laser includes a laser oscillator for casting a laser beam with a prescribed wavelength and an external resonator for resonating the laser beam cast from the laser oscillator. A photopolymer volume hologram is provided in the resonator. The laser beam cast from the oscillator is diffracted by the photopolymer volume hologram and cast as an incident beam into an optical system in the resonator. Then, the laser beam with a prescribed wavelength is transmitted selectively through the photopolymer volume hologram and cast outside.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザに関し、特
に光共振器内に体積ホログラムからなる分散光学素子を
備えたレーザに関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a laser, and more particularly to a laser having a dispersion optical element formed of a volume hologram in an optical resonator.

【0002】[0002]

【従来の技術】外部共振器を用いて出射光をフィードバ
ックする外部共振型半導体レーザは、出射光の線幅を狭
帯域化することができる上、Distribution Feed Back L
aser (DFB), Distributed Bragg Reflector Laser(DBR)
などの半導体レーザに比べて高出力化が容易である。ま
た、ミラー若しくは回折格子を回転させること等の手段
により、波長を変えることができる。このような特長を
生かして、波長多重光通信、非線形光学効果を用いた波
長変換、レーザ冷却、周波数標準、環境やプロセス管理
のための分光計測、干渉計等数多くの用途に用いること
ができる。このような外部共振型半導体レーザは現在商
業的にも入手することが可能となっている。
2. Description of the Related Art An external resonance type semiconductor laser that feeds back emitted light using an external resonator can narrow the line width of emitted light, and can also use Distribution Feed Back L.
aser (DFB), Distributed Bragg Reflector Laser (DBR)
It is easy to increase the output as compared with a semiconductor laser such as this. Further, the wavelength can be changed by means such as rotating a mirror or a diffraction grating. Taking advantage of these features, it can be used for many applications such as wavelength multiplexing optical communication, wavelength conversion using nonlinear optical effects, laser cooling, frequency standard, spectroscopic measurement for environment and process management, and interferometer. Such an external cavity semiconductor laser is now commercially available.

【0003】共振器の代表的な構成例としては、図12
に示すようなリットマン型(Michael G.Littman and Ha
rold Metcalf, ”Spectrally narrow pulsed dye laser
without beam expander”, Applied Optics.17.2224.1
978、Michael G.Littman, ”Single-mode operation of
grating-incident pulsed dye laser”, Optics Lette
rs.3.38.1978, K.C.Hervey and C.J.Myatt, ”External
-cavity diode laserusing a grazing-incident diffra
ction grating”,Optics Letters.16.910.1991)と図1
3に示すようなリトロー型とがある。リトロー型では、
ブレーズド型回折格子18のブレーズド形状は特定の波
長に対して入射光と回折光の特定の次数(通常は1次)
の光路が正確に一致するように設計されている。そし
て、レーザ発振器2から発振され、コリメータレンズ3
により平行光に変換され、更にブレーズド型回折格子1
8により回折された回折光はレーザの共振器に帰還し、
内部の共振器の外側に入れ子状の外部共振器を形成す
る。これにより、グレーティングの分散により帰還する
光の波長が選択され、特定の波長のみがフィードバック
を受け増幅されることとなる。リットマン型の場合も、
同様に波長の選択性が機能する。また、リットマン型の
場合は、外部のミラー4の角度を変更することにより、
フィードバックして内部の共振器に戻る波長を制御する
ことができるために、波長可変レーザを実現することが
できる。
FIG. 12 shows a typical configuration example of a resonator.
Littman type (Michael G. Littman and Ha
rold Metcalf, ”Spectrally narrow pulsed dye laser
without beam expander ”, Applied Optics. 17.2224.1
978, Michael G. Littman, ”Single-mode operation of
grating-incident pulsed dye laser ”, Optics Lette
rs.3.38.1978, KCHervey and CJMyatt, ”External
-cavity diode laserusing a grazing-incident diffra
ction grating ”, Optics Letters.16.910.1991) and Figure 1
Littrow type as shown in FIG. In the Littrow type,
The blazed shape of the blazed diffraction grating 18 has a specific order (usually the first order) of incident light and diffracted light for a specific wavelength.
Are designed so that their optical paths match exactly. Then, the laser light is oscillated from the laser oscillator 2,
Is converted into parallel light by the blazed diffraction grating 1
The diffracted light diffracted by 8 returns to the laser cavity,
A nested external resonator is formed outside the internal resonator. As a result, the wavelength of the light that returns due to the dispersion of the grating is selected, and only a specific wavelength is received and amplified. In the case of Littman type,
Similarly, wavelength selectivity works. In the case of the Littman type, by changing the angle of the external mirror 4,
Since the wavelength that is fed back to the internal resonator can be controlled, a tunable laser can be realized.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、外部共振型
レーザを実用するに際しては、出力や波長を安定化させ
ることが必要であり、そのためには外部共振器の発振波
長と内部共振器の発振波長とを一致させる必要がある。
これを制御するための方法として、例えば、液晶セルに
よる電気的制御方法(J.Struck:meier et al, ”Electr
onically tunableexternal-cavity laser diode”,Opti
cs Letters.24.1573.1999)、フィードバックによる制
御方法(特開平7−30180号公報)、マイクロマシ
ンによる制御方法(特開平11−307879号公報、
特開平10−209552号公報等)が提案されてい
る。また、調整を容易にするために、共焦点型の光学系
を用いる方法(B.E Bernacki et al,”Alignmen-insens
itive technique for widebandtuening of an unmodifi
ed semiconductor laser”,Optics Letters.13.725.19
88、特開平11−503877号公報)、共振器のレゾ
ナンスにより選択された反射光を用いて周波数を安定化
させる方法(B.Dahmani et al,”Frequency stabiizati
on of semiconductor lasers by resonant optical fee
dback”, Optics Letters.12.876.1987)、ミラーを特
定の位置を中心に回転させることで正確に位置決めする
方法(USP5,319,668)等も提案されている。また、回折
格子の分散を用いて発振波長を選択する方法は、半導体
レーザに限らず、Co2、Arイオンなどの気体レー
ザ、エキシマレーザ、色素レーザ、Ti:Saphireなどの波
長可変固体レーザ等でも良く用いられる。しかしなが
ら、通常、回折格子の回折効率は、ブレーズドグレーテ
ィングとしても90%を越えるものは作製が困難であ
り、価格も高い。そして、上記のような方法では、何か
しらの制御が必要となり、外部共振器の構成が複雑にな
るという問題点がある。
When an external resonance type laser is put to practical use, it is necessary to stabilize the output and the wavelength. For this purpose, the oscillation wavelength of the external resonator and the oscillation wavelength of the internal resonator are required. Need to match.
As a method for controlling this, for example, an electric control method using a liquid crystal cell (J. Struck: meier et al, “Electr
onically tunableexternal-cavity laser diode ”, Opti
cs Letters. 24.1573.1999), a control method using feedback (Japanese Patent Laid-Open No. 7-30180), a control method using a micromachine (Japanese Patent Laid-Open No. 11-307879,
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-209552) has been proposed. In order to facilitate the adjustment, a method using a confocal optical system (BE Bernacki et al, “Alignmen-insens
itive technique for widebandtuening of an unmodifi
ed semiconductor laser ”, Optics Letters.13.725.19
88, JP-A-11-503877), a method of stabilizing the frequency using reflected light selected by the resonance of a resonator (B. Dahmani et al, “Frequency stabiizati”).
on of semiconductor lasers by resonant optical fee
dback ”, Optics Letters.12.876.1987), a method of accurately positioning a mirror by rotating it around a specific position (US Pat. No. 5,319,668), and oscillation using the dispersion of a diffraction grating. The method of selecting a wavelength is not limited to a semiconductor laser, and is often used for gas lasers such as Co 2 and Ar ions, excimer lasers, dye lasers, and tunable solid-state lasers such as Ti: Saphire. Diffraction efficiency of more than 90% as a blazed grating is difficult to manufacture and expensive, and the above-described method requires some control and complicates the configuration of the external resonator. There is a problem that becomes.

【0005】また、最近開発されたマイクロマシンによ
るアクティブ駆動のグレーティングを用いたディスプレ
イ、即ちグレーティングライトバルブ(以下GLVと呼
ぶ。)は、従来の空間変調器に比べて、継ぎ目なく鮮明
で明るい画像を表示できる、マイクロマシン技術を用い
て安価なコストで作製できる、高速動作が可能である等
の優れた特徴を有するため注目を集めている。しかし、
このようなディスプレイでは、使用するレーザビームの
波長幅を安定化することが必須となる。光の3原色、即
ち赤色、緑色、青色を考えた場合、人間の眼の視感特性
は、赤色に特に敏感である。例えば、波長630nmの
赤色光と波長650nmの赤色光とを比較した場合、波
長650nmの赤色光の視感度は、波長630nmの赤
色光の2.5倍程度ある。即ち、波長650nmの赤色
光を見た場合には、同じ光量の波長630nmの赤色光
を見たときよりも2.5倍明るく感じることとなる。し
たがって、思い通りの色彩を表現するには、極力温度等
に対し波長変動が無く、各レーザ固体の波長差が少ない
レーザビームが求められることとなる。
Further, a recently developed display using an active driving grating by a micromachine, that is, a grating light valve (hereinafter referred to as a GLV) displays a clearer and brighter image than a conventional spatial modulator without a seam. It has attracted attention because of its excellent features such as being able to be manufactured at low cost using micromachine technology and being capable of high-speed operation. But,
In such a display, it is essential to stabilize the wavelength width of the laser beam used. Considering the three primary colors of light, that is, red, green, and blue, the visual characteristics of the human eye are particularly sensitive to red. For example, when comparing red light having a wavelength of 630 nm and red light having a wavelength of 650 nm, the visibility of red light having a wavelength of 650 nm is about 2.5 times that of red light having a wavelength of 630 nm. That is, when viewing red light with a wavelength of 650 nm, the user feels 2.5 times brighter than when viewing red light with a wavelength of 630 nm of the same light amount. Therefore, in order to express a desired color, a laser beam that has as small a wavelength variation as possible with respect to temperature and the like and that has a small wavelength difference between laser solids is required.

【0006】したがって、本発明は、従来の実情に鑑み
て創案されたものであり、簡素、かつ安価な構成で波長
幅の狭いレーザビームを安定して供給することが可能な
レーザを提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a laser capable of stably supplying a laser beam having a narrow wavelength width with a simple and inexpensive configuration. With the goal.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明に係る外部共振型
半導体レーザは、所定の波長のレーザ光を出射するレー
ザ発振器と、レーザ発振器から出射されたレーザ光を共
振させる外部共振器とを備える外部共振型レーザであっ
て、共振器内にフォトポリマ体積ホログラムを備え、フ
ォトポリマ体積ホログラムは、レーザ発振器から出射さ
れたレーザ光を選択的に共振させることにより回折し
て、所定の波長のレーザ光を選択的にレーザ発振させる
ことを特徴とするものである。
An external resonance type semiconductor laser according to the present invention comprises a laser oscillator for emitting laser light of a predetermined wavelength, and an external resonator for resonating the laser light emitted from the laser oscillator. An external resonance type laser having a photopolymer volume hologram in a resonator, and the photopolymer volume hologram is diffracted by selectively resonating a laser beam emitted from a laser oscillator, so that a laser beam having a predetermined wavelength is obtained. It is characterized by selectively causing laser oscillation of light.

【0008】本発明に係る外部共振型半導体レーザは、
外部共振器内にフォトポリマ体積ホログラムを備えるた
め、外部共振器の波長選択性が向上する。これにより、
所望の波長により近い波長のみが選択的に発振するた
め、外部共振型レーザから出射されるレーザ光の波長幅
が狭いものとされる。また、フォトポリマ体積ホログラ
ムの有する高い回折効率により効率よく所望の波長のレ
ーザ光が取り出される。
The external resonance type semiconductor laser according to the present invention comprises:
Since the photopolymer volume hologram is provided in the external resonator, the wavelength selectivity of the external resonator is improved. This allows
Since only the wavelength closer to the desired wavelength oscillates selectively, the wavelength width of the laser light emitted from the external resonance type laser is narrow. Further, a laser beam having a desired wavelength can be efficiently extracted due to the high diffraction efficiency of the photopolymer volume hologram.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、具体的な実施例に基づいて
詳細に説明する。なお、本発明は、以下の説明に限定さ
れることはなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲におい
て適宜変更可能である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a detailed description will be given based on specific embodiments. It should be noted that the present invention is not limited to the following description, and can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention.

【0010】図1は、本発明を適用した第1の実施例で
あり、反射型フォトポリマ体積ホログラム1を用いた外
部共振型半導体レーザの一例である。第1の実施例の外
部共振型半導体レーザは、所定波長のレーザビームを発
振するレーザ発振器2と、レーザ発振器2で発振された
レーザビームを平行光に変換して反射型フォトポリマ体
積ホログラム1に入射させるコリメータレンズ3と、分
散光学素子である反射型フォトポリマ体積ホログラム1
と、ミラー4とを備えて構成される。
FIG. 1 shows a first embodiment to which the present invention is applied, and is an example of an external resonance type semiconductor laser using a reflection type photopolymer volume hologram 1. The external resonance type semiconductor laser according to the first embodiment includes a laser oscillator 2 that oscillates a laser beam having a predetermined wavelength, and a laser beam oscillated by the laser oscillator 2 converted into parallel light to form a reflection-type photopolymer volume hologram 1. A collimator lens 3 to be incident and a reflective photopolymer volume hologram 1 as a dispersive optical element
And a mirror 4.

【0011】実施例1の外部共振型半導体レーザでは、
反射型フォトポリマ体積ホログラム1とミラー4とで外
部共振器を構成している。即ち、レーザ発振器2から発
振されたレーザビームは、コリメータレンズ3で平行光
に変換され、反射型フォトポリマ体積ホログラム1に入
射する。そして反射型フォトポリマ体積ホログラム1に
おいて所定の方向に回折され、更に、ミラー4で反射さ
れて再び反射型フォトポリマ体積ホログラム1に戻る。
そして、反射型フォトポリマ体積ホログラム1に入射し
たレーザビームは、その波長選択性により所定の波長の
レーザビームのみがレーザ発振器2に戻り、それ以外の
波長のレーザビームは、出射光として所定の方向に出射
することとなる。
In the external cavity semiconductor laser according to the first embodiment,
The reflection type photopolymer volume hologram 1 and the mirror 4 constitute an external resonator. That is, the laser beam oscillated from the laser oscillator 2 is converted into parallel light by the collimator lens 3 and enters the reflection type photopolymer volume hologram 1. Then, the light is diffracted in a predetermined direction in the reflection type photopolymer volume hologram 1, further reflected by the mirror 4, and returns to the reflection type photopolymer volume hologram 1 again.
As for the laser beam incident on the reflection type photopolymer volume hologram 1, only the laser beam of a predetermined wavelength returns to the laser oscillator 2 due to its wavelength selectivity, and the laser beams of other wavelengths are emitted in a predetermined direction as emitted light. To be emitted.

【0012】上記外部共振型半導体レーザは、外部共振
器内における分散光学素子として、通常用いられるブレ
ーズド型回折格子の代わりに反射型フォトポリマ体積型
ホログラム1を用いることを特徴とする。体積型ホログ
ラムは通常の回折格子と比べて、遙かに高い波長選択性
と角度選択性を有する。空間周波数としても、数千本/
mmという優れた空間周波数を有する。ブレーズド型回
折格子の代わりにフォトポリマ体積ホログラムを用いる
ことにより、外部共振型半導体レーザの性能を向上させ
ることができる。
The above-mentioned external resonance type semiconductor laser is characterized in that a reflection type photopolymer volume hologram 1 is used as a dispersion optical element in an external resonator instead of a blazed diffraction grating which is usually used. Volume holograms have much higher wavelength selectivity and angle selectivity than ordinary diffraction gratings. Thousands /
It has an excellent spatial frequency of mm. By using a photopolymer volume hologram instead of the blazed diffraction grating, the performance of the external resonance type semiconductor laser can be improved.

【0013】まず、第1に、波長選択性を高め、波長幅
を狭くすることができる。すなわち、外部共振器型半導
体レーザから発振するレーザビームのコヒーレンス長を
長くすることができる。フォトポリマ体積型ホログラム
は記録媒体中の2光線の干渉縞を記録するために、通常
良く外部共振器に用いられるブレーズド型回折格子に比
べて高い空間周波数と高い回折効率を容易に実現するこ
とが可能である。したがって、ブレーズド型回折格子を
用いる場合に比べて、外部共振器の波長選択性を向上さ
せることができる。
First, the wavelength selectivity can be increased and the wavelength width can be narrowed. That is, the coherence length of the laser beam oscillated from the external cavity semiconductor laser can be increased. Photopolymer volume holograms can easily achieve higher spatial frequencies and higher diffraction efficiencies compared to blazed diffraction gratings commonly used for external resonators because they record the interference fringes of two rays in the recording medium. It is possible. Therefore, the wavelength selectivity of the external resonator can be improved as compared with the case where a blazed diffraction grating is used.

【0014】このように、外部共振器の波長選択性を高
めることにより、出射するレーザビームの波長幅を狭く
することができる。即ち、所望の波長以外の波長のレー
ザ発振を抑圧するすることができるため、所望の波長に
より近いレーザビームのみを発振させることが可能とな
る。
As described above, by increasing the wavelength selectivity of the external resonator, the wavelength width of the emitted laser beam can be narrowed. That is, since laser oscillation of a wavelength other than the desired wavelength can be suppressed, only a laser beam closer to the desired wavelength can be oscillated.

【0015】また、リットマン型外部共振器自体の波長
選択性に比べると遙かに広いが、体積型ホログラム自体
も通常用いられる干渉フィルター以上の波長選択性を有
するため、これも外部共振器の波長選択性の向上に寄与
する。そして、体積型ホログラムは回折効率が高いため
に、外部共振器のフィネスを通常よりも高くすることが
できるので、この効果は一層強められることとなる。
Although the volume selectivity of the volume hologram itself is much wider than the wavelength selectivity of the Littman type external resonator itself, the volume type hologram itself also has a wavelength selectivity higher than that of a commonly used interference filter. It contributes to improving selectivity. Since the volume hologram has high diffraction efficiency, the finesse of the external resonator can be made higher than usual, so that this effect is further enhanced.

【0016】これにより、更にレーザビームの波長幅を
狭くすることが可能となる。そして、レーザビームの波
長幅を特定の波長に安定化させることにより、レーザビ
ームの視感特性を向上させることができ、視感特性の良
好な優れたディスプレイ用光源として機能することがで
きる。
This makes it possible to further narrow the wavelength width of the laser beam. Then, by stabilizing the wavelength width of the laser beam to a specific wavelength, the luminous characteristics of the laser beam can be improved, and the light source can function as a display light source with good luminous characteristics.

【0017】また、体積ホログラムの波長選択性を最大
限に利用するには、物体光と参照光とが対向して入射す
るように構成すればよい。体積ホログラムの波長選択性
を最大限に利用した場合、例えば図2に示すようなレー
ザ発振器とコリメータレンズと体積ホログラムとを備え
た軸上体積ホログラム外部共振型半導体レーザ5を構成
することができ、体積ホログラムのみで外部共振器を構
成することが可能となり、外部共振器の構成を簡素化、
小型化することが可能となる。
Further, in order to make maximum use of the wavelength selectivity of the volume hologram, it is sufficient that the object light and the reference light are incident so as to face each other. When the wavelength selectivity of the volume hologram is utilized to the maximum, for example, an on-axis volume hologram external resonance type semiconductor laser 5 including a laser oscillator, a collimator lens, and a volume hologram as shown in FIG. 2 can be configured. An external resonator can be configured only with a volume hologram, simplifying the configuration of the external resonator.
It is possible to reduce the size.

【0018】第2に、体積型ホログラムの有する角度選
択性により、横モードについても選択性が生じるので、
横モードを安定化させることができる。例えば、体積ホ
ログラムの記録時に平面波を用いた場合には、再生時に
は入射光の平面波成分のみが回折されることになる。し
たがって、波面が平面波ではない高次モードが生じた場
合においても、ほとんど回折光が生じることはなく、外
部共振器中での損失となる。その結果、内部共振器にフ
ィードバックされるのは、平面波成分ということにな
り、横モードが選択され、レーザビームの横モードを安
定させることができる。
Second, since the angle mode selectivity of the volume hologram also causes the selectivity of the transverse mode,
The transverse mode can be stabilized. For example, when a plane wave is used for recording a volume hologram, only a plane wave component of incident light is diffracted during reproduction. Therefore, even when a higher-order mode in which the wavefront is not a plane wave occurs, almost no diffracted light is generated, resulting in a loss in the external resonator. As a result, what is fed back to the internal resonator is a plane wave component, the transverse mode is selected, and the transverse mode of the laser beam can be stabilized.

【0019】また、通常の応用用途においては、TEM
00の基本モードを用いることが望ましいが、特殊なビ
ーム形状が必要な場合は、上記の平面波に限る必要はな
い。
In a normal application, a TEM
It is desirable to use the fundamental mode of 00, but if a special beam shape is required, it is not necessary to limit to the plane wave.

【0020】近年では、共振器中に回折型光学素子を挿
入して所望のビームパターンを発生させることが提案さ
れている。これと同様の効果を体積型ホログラムにより
実現することも可能である。また、体積型ホログラムの
場合は、回折効率が高いことから更に優れたビームパタ
ーン制御が可能である。すなわち、体積ホログラムを用
いることにより、トップハットと呼ばれるビーム内で均
一な強度分布を有するレーザビームの作製、半導体レー
ザの非点収差補正、半導体レーザの縦横の発散角の変更
によるビーム形状の真円化、等を実現することができ
る。このような特殊なビームプロファイルは、体積ホロ
グラムの位相、回折効率、吸収などが空間的に変化する
ように記録することにより作製することができる。
In recent years, it has been proposed to generate a desired beam pattern by inserting a diffractive optical element into a resonator. A similar effect can be realized by a volume hologram. In the case of a volume hologram, more excellent beam pattern control is possible because of high diffraction efficiency. In other words, by using a volume hologram, it is possible to produce a laser beam having a uniform intensity distribution within a beam called a top hat, correct astigmatism of a semiconductor laser, and change the vertical and horizontal divergence angles of a semiconductor laser to form a perfect circular beam. Can be realized. Such a special beam profile can be produced by recording such that the phase, diffraction efficiency, absorption, and the like of the volume hologram change spatially.

【0021】また、本発明においては、体積ホログラム
としてフォトポリマ体積ホログラムを用いている。体積
ホログラムには、ニオブ酸リチウム等の結晶により形成
された結晶型の体積ホログラムもあるが、本発明におい
ては、フォトポリマからなるフォトポリマ体積ホログラ
ムを用いる。フォトポリマ体積ホログラムは、結晶型体
積ホログラムに比べて自由な形状に形成することが可能
であるため、体積ホログラムの形状的自由度が大幅に広
がり、後述するような様々な応用が可能となる。また、
結晶型体積ホログラムの場合、体積ホログラム中に形成
した干渉縞は、再生を繰り返すと消滅してしまうが、フ
ォトポリマ体積ホログラムの場合には、ホログラムの経
時変化はなく、経時特性に優れるため、分散光学素子と
しての信頼性を向上させることができる。
In the present invention, a photopolymer volume hologram is used as the volume hologram. The volume hologram includes a crystal-type volume hologram formed of a crystal such as lithium niobate. In the present invention, a photopolymer volume hologram made of a photopolymer is used. Since a photopolymer volume hologram can be formed in a free shape as compared with a crystal-type volume hologram, the degree of freedom of the shape of the volume hologram is greatly expanded, and various applications as described later become possible. Also,
In the case of a crystal-type volume hologram, the interference fringes formed in the volume hologram disappear after repeated reproduction, but in the case of a photopolymer volume hologram, the hologram does not change with time and has excellent aging characteristics. The reliability as an optical element can be improved.

【0022】また、体積型ホログラムは、反射型体積ホ
ログラム1と透過型体積ホログラム6とに分類すること
ができるが、本発明においては、何れの体積型ホログラ
ムも用いることができる。
The volume holograms can be classified into a reflection volume hologram 1 and a transmission volume hologram 6. In the present invention, any volume hologram can be used.

【0023】以上のような効果により、実施例1の外部
共振型半導体レーザでは、波長幅が狭く、横モードの安
定した所望の波長のレーザビームを供給することができ
る。
With the above-described effects, the external resonance type semiconductor laser of the first embodiment can supply a laser beam having a desired wavelength with a narrow wavelength width and a stable transverse mode.

【0024】図3は、本発明を適用した第2の実施例で
あり、透過型フォトポリマ体積ホログラム6を用いた外
部共振型半導体レーザの一例である。第2の実施例の外
部共振型半導体レーザは、所定波長のレーザビームを発
振するレーザ発振器2と、レーザ発振器2で発振された
レーザビームを平行光に変換して透過型体積ホログラム
6に入射させるコリメータレンズ3と、透過型フォトポ
リマ体積ホログラム6と、ミラー4とを備えて構成され
る。
FIG. 3 shows a second embodiment to which the present invention is applied, which is an example of an external resonance type semiconductor laser using a transmission type photopolymer volume hologram 6. As shown in FIG. The external resonance type semiconductor laser according to the second embodiment converts a laser beam oscillated by a laser beam having a predetermined wavelength into a parallel beam and causes the laser beam oscillated by the laser oscillator 2 to enter a transmission type volume hologram 6. It comprises a collimator lens 3, a transmission type photopolymer volume hologram 6, and a mirror 4.

【0025】実施例2の外部共振型半導体レーザでは、
透過型フォトポリマ体積ホログラム6とミラー4とで外
部共振器を構成している。即ち、レーザ発振器2から発
振されたレーザビームは、コリメータレンズ3で平行光
に変換され、透過型フォトポリマ体積ホログラム6に入
射する。そして透過型体積ホログラム6において所定の
方向に回折され、更に、ミラー4で反射されて再び透過
型フォトポリマ体積ホログラム6に戻る。そして、透過
型フォトポリマ体積ホログラム6に入射したレーザビー
ムは、その波長選択性により所定の波長のレーザビーム
のみがレーザ発振器2に戻り、それ以外の波長のレーザ
ビームは、出射光として所定の方向に出射することとな
る。
In the external resonance type semiconductor laser of the second embodiment,
An external resonator is constituted by the transmission type photopolymer volume hologram 6 and the mirror 4. That is, the laser beam oscillated from the laser oscillator 2 is converted into parallel light by the collimator lens 3 and enters the transmission type photopolymer volume hologram 6. Then, the light is diffracted in a predetermined direction by the transmission type volume hologram 6, further reflected by the mirror 4 and returns to the transmission type photopolymer volume hologram 6 again. As for the laser beam incident on the transmission type photopolymer volume hologram 6, only the laser beam of a predetermined wavelength returns to the laser oscillator 2 due to its wavelength selectivity, and the laser beams of other wavelengths are emitted in a predetermined direction as emitted light. To be emitted.

【0026】以上のような構成とすることにより、実施
例2の外部共振型半導体レーザでは、実施例と同様に、
波長幅が狭く、横モードの安定した所望の波長のレーザ
ビームを供給することができる。
With the above configuration, in the external cavity semiconductor laser of the second embodiment, as in the first embodiment,
A laser beam having a desired wavelength with a narrow wavelength width and stable transverse mode can be supplied.

【0027】ここで、反射型体積型ホログラムの回折効
率は、角度位相不整合もしくは波長位相不整合に対し
て、中心角度もしくは中心波長近傍で緩やかな変化を示
す。これにより、反射型体積型ホログラムは、波長選択
性が高く、角度トレランスを比較的広く取ることができ
るという利点を有する。一方、体積ホログラムの回折効
率は、反射型体積ホログラムに比べて急峻な変化を示
す。これにより、反射型体積型ホログラムは、角度選択
性が高く、波長トレランスを比較的広く取ることができ
るという利点を有する。したがって、この角度位相不整
合もしくは波長位相不整合に対する変化の特性を考慮
し、目的により体積ホログラムと体積ホログラムとを適
宜選択してこれらの特性を活用することもできる。
Here, the diffraction efficiency of the reflection type volume hologram shows a gradual change at the center angle or near the center wavelength with respect to the angle phase mismatch or the wavelength phase mismatch. Thereby, the reflection type volume hologram has an advantage that the wavelength selectivity is high and the angle tolerance can be relatively wide. On the other hand, the diffraction efficiency of the volume hologram shows a steep change as compared with the reflection type volume hologram. Thereby, the reflection volume hologram has advantages that the angle selectivity is high and the wavelength tolerance can be relatively wide. Therefore, in consideration of the characteristics of the change with respect to the angular phase mismatch or the wavelength phase mismatch, it is also possible to appropriately select a volume hologram and a volume hologram according to the purpose and utilize these characteristics.

【0028】また、上述したリットマン型共振器におい
ては、通常、外部共振器の一端にミラー4を用いるが、
これをコーナーキューブ7に置き換えても良い。図4
は、本発明を適用した第3の実施例であり、第1の実施
例においてミラー4をコーナーキューブ7に置き換えた
例である。
In the Littman resonator described above, the mirror 4 is usually used at one end of the external resonator.
This may be replaced with a corner cube 7. FIG.
Is a third embodiment of the present invention, in which the mirror 4 is replaced by a corner cube 7 in the first embodiment.

【0029】第3の実施例の外部共振型半導体レーザ
は、所定波長のレーザビームを発振するレーザ発振器2
と、レーザ発振器2で発振されたレーザビームを平行光
に変換して反射型フォトポリマ体積ホログラム1に入射
させるコリメータレンズ3と、反射型フォトポリマ体積
ホログラム1と、コーナーキューブ7とを備えて構成さ
れる。
The external resonance type semiconductor laser of the third embodiment is a laser oscillator 2 for oscillating a laser beam of a predetermined wavelength.
A collimator lens 3 that converts a laser beam oscillated by a laser oscillator 2 into parallel light and makes it incident on a reflective photopolymer volume hologram 1, a reflective photopolymer volume hologram 1, and a corner cube 7. Is done.

【0030】実施例3の外部共振型半導体レーザでは、
反射型フォトポリマ体積ホログラム1とコーナーキュー
ブ7で外部共振器を構成している。即ち、レーザ発振器
2から発振されたレーザビームは、コリメータレンズ4
で平行光に変換され、反射型フォトポリマ体積ホログラ
ム1に入射する。そして反射型フォトポリマ体積ホログ
ラム1において所定の方向に回折され、更に、コーナー
キューブ7で反射されて再び反射型フォトポリマ体積ホ
ログラム1に戻る。そして、反射型フォトポリマ体積ホ
ログラム1に入射したレーザビームは、その波長選択性
により所定の波長のレーザビームのみがレーザ発振器2
戻り、それ以外の波長のレーザビームは、出射光として
所定の方向に出射することとなる。
In the external cavity semiconductor laser of the third embodiment,
The reflection type photopolymer volume hologram 1 and the corner cube 7 constitute an external resonator. That is, the laser beam oscillated from the laser oscillator 2 is
Is converted into parallel light, and enters the reflection type photopolymer volume hologram 1. Then, the light is diffracted in a predetermined direction by the reflection type photopolymer volume hologram 1, further reflected by the corner cube 7, and returns to the reflection type photopolymer volume hologram 1 again. The laser beam incident on the reflection type photopolymer volume hologram 1 has only a predetermined wavelength due to its wavelength selectivity.
Returning, laser beams of other wavelengths are emitted in a predetermined direction as emitted light.

【0031】ここで、コーナーキューブ7は入射光を正
確に入射方向に反射するので、アライメントを不要とす
ることができる。特に波長可変レーザとして使用すると
きに、体積型ホログラムを回転させるだけで発振波長を
変えることができるため、調整や可動機構を簡単にする
ことができ、効果的である。
Here, since the corner cube 7 accurately reflects the incident light in the incident direction, alignment can be made unnecessary. Especially when used as a wavelength variable laser, the oscillation wavelength can be changed only by rotating the volume hologram, so that adjustment and a movable mechanism can be simplified, which is effective.

【0032】以上のような構成とすることにより、実施
例3の外部共振型半導体レーザでは、実施例1と同様
に、波長幅が狭く、横モードの安定した所望の波長のレ
ーザビームを供給することができる。
With the above configuration, the external resonance type semiconductor laser of the third embodiment supplies a laser beam of a desired wavelength with a narrow wavelength width and stable transverse mode, as in the first embodiment. be able to.

【0033】また、体積型ホログラムの形状を加工する
ことで、これらの構成をモノリシックにすることも可能
である。即ち、特定の波長のレーザビームのみを用いる
場合は、第1の実施例のミラー4の代わりに反射型フォ
トポリマ体積ホログラム1の端面での反射を用いること
ができる。図5は、本発明を適用した第4の実施例であ
り、第1の実施例において、反射型フォトポリマ体積ホ
ログラム1のミラー4側の端面に鏡面加工を施して反射
面8とし、ミラー4と置き換えた例である。
By processing the shape of the volume hologram, it is also possible to make these components monolithic. That is, when only a laser beam of a specific wavelength is used, reflection at the end surface of the reflective photopolymer volume hologram 1 can be used instead of the mirror 4 of the first embodiment. FIG. 5 shows a fourth embodiment to which the present invention is applied. In the first embodiment, the end surface of the reflection type photopolymer volume hologram 1 on the mirror 4 side is mirror-finished to form a reflection surface 8. This is an example of replacing

【0034】第4の実施例の外部共振型半導体レーザ
は、所定波長のレーザビームを発振するレーザ発振器2
と、レーザ発振器2で発振されたレーザビームを平行光
に変換して反射型フォトポリマ体積ホログラム1に入射
させるコリメータレンズ4と、反射型フォトポリマ体積
ホログラム1とを備えて構成される。
The external resonance type semiconductor laser of the fourth embodiment has a laser oscillator 2 for oscillating a laser beam of a predetermined wavelength.
And a collimator lens 4 for converting a laser beam oscillated by a laser oscillator 2 into parallel light to be incident on a reflection type photopolymer volume hologram 1 and a reflection type photopolymer volume hologram 1.

【0035】ここで、実施例4の外部共振型半導体レー
ザでは、反射型フォトポリマ体積ホログラム1におい
て、レーザ発振器2からのレーザビームの回折光の進む
方向の端面、即ち、実施例1においてミラー4の配され
ていた方向の端面に鏡面加工が施されて反射面8とされ
ている。これにより反射型フォトポリマ体積ホログラム
1内で回折されたレーザビームは、反射面8において反
射され再びホログラムへと戻る。したがって、実施例4
の外部共振型半導体レーザでは、反射型フォトポリマ体
積ホログラム1のみで外部共振器を構成している。即
ち、レーザ発振器2から発振されたレーザビームは、コ
リメータレンズ4で平行光に変換され、反射型フォトポ
リマ体積ホログラム1に入射する。そして反射型フォト
ポリマ体積ホログラム1において所定の方向に回折さ
れ、更に、反射面8で反射されて再び干渉縞に戻る。そ
して、その波長選択性により所定の波長のレーザビーム
のみがレーザ発振器2に戻り、それ以外の波長のレーザ
ビームは、出射光として所定の方向に出射することとな
る。
Here, in the external resonance type semiconductor laser of the fourth embodiment, in the reflection type photopolymer volume hologram 1, the end face in the direction in which the diffracted light of the laser beam from the laser oscillator 2 travels, that is, in the first embodiment, the mirror 4 The mirror surface is applied to the end surface in the direction in which is disposed as the reflection surface 8. Thereby, the laser beam diffracted in the reflection type photopolymer volume hologram 1 is reflected on the reflection surface 8 and returns to the hologram again. Therefore, Example 4
In the external resonance type semiconductor laser, an external resonator is constituted only by the reflection type photopolymer volume hologram 1. That is, the laser beam oscillated from the laser oscillator 2 is converted into parallel light by the collimator lens 4 and enters the reflection type photopolymer volume hologram 1. Then, the light is diffracted in a predetermined direction in the reflection-type photopolymer volume hologram 1, is further reflected on the reflection surface 8, and returns to interference fringes again. Then, only the laser beam of a predetermined wavelength returns to the laser oscillator 2 due to the wavelength selectivity, and laser beams of other wavelengths are emitted in a predetermined direction as emitted light.

【0036】以上のような構成とすることにより、実施
例4の外部共振型半導体レーザでは、実施例1と同様
に、波長幅が狭く、横モードの安定した所望の波長のレ
ーザビームを供給することができる。そして、実施例4
においては、反射型フォトポリマ体積ホログラム1のみ
で外部共振器を構成しているため、装置の構成を簡素
化、かつ小型化することができ、価格面でも低コスト化
が可能である。
With the above configuration, the external resonance type semiconductor laser of the fourth embodiment supplies a laser beam having a desired wavelength with a narrow wavelength width and stable transverse mode, as in the first embodiment. be able to. And Example 4
Since the external resonator is composed only of the reflection type photopolymer volume hologram 1, the configuration of the device can be simplified and downsized, and the cost can be reduced.

【0037】図6は、本発明を適用した第5の実施例で
あり、第1の実施例において、反射型フォトポリマ体積
ホログラム1のミラー4側の端面をコーナーキューブ状
に加工し、ミラー4と置き換えた例である。
FIG. 6 shows a fifth embodiment to which the present invention is applied. In the first embodiment, the end surface of the reflection type photopolymer volume hologram 1 on the mirror 4 side is processed into a corner cube shape, and the mirror 4 is formed. This is an example of replacing

【0038】第5の実施例の外部共振型半導体レーザ
は、所定波長のレーザビームを発振するレーザ発振器2
と、レーザ発振器2で発振されたレーザビームを平行光
に変換して反射型フォトポリマ体積ホログラム1に入射
させるコリメータレンズ4と、反射型フォトポリマ体積
ホログラム1とを備えて構成される。
The external resonance type semiconductor laser of the fifth embodiment is a laser oscillator 2 for oscillating a laser beam of a predetermined wavelength.
And a collimator lens 4 for converting a laser beam oscillated by a laser oscillator 2 into parallel light to be incident on a reflection type photopolymer volume hologram 1 and a reflection type photopolymer volume hologram 1.

【0039】ここで、実施例5の外部共振型半導体レー
ザでは、反射型フォトポリマ体積ホログラム1におい
て、レーザ発振器2からのレーザビームの回折光の進む
方向の端面、即ち、実施例1においてミラー4の配され
ていた方向の端面がコーナーキューブ状に加工され、反
射面9とされている。これにより反射型フォトポリマ体
積ホログラム1内で回折されたレーザビームは、反射面
9において反射され再びホログラムへと戻る。したがっ
て、実施例4の外部共振型半導体レーザでは、反射型フ
ォトポリマ体積ホログラム1のみで外部共振器を構成し
ている。即ち、レーザ発振器2から発振されたレーザビ
ームは、コリメータレンズ3で平行光に変換され、反射
型フォトポリマ体積ホログラム1に入射する。そして反
射型フォトポリマ体積ホログラム1において所定の方向
に回折され、更に、反射面9で反射されて再びホログラ
ムに戻る。そして、その波長選択性により所定の波長の
レーザビームのみがレーザ発振器2に戻り、それ以外の
波長のレーザビームは、出射光として所定の方向に出射
することとなる。
Here, in the external resonance type semiconductor laser of the fifth embodiment, in the reflection type photopolymer volume hologram 1, the end face in the direction in which the diffracted light of the laser beam from the laser oscillator 2 travels, that is, in the first embodiment, the mirror 4 Are processed into a corner cube shape to form a reflection surface 9. Thereby, the laser beam diffracted in the reflection type photopolymer volume hologram 1 is reflected on the reflection surface 9 and returns to the hologram again. Therefore, in the external resonance type semiconductor laser of the fourth embodiment, the external resonator is constituted only by the reflection type photopolymer volume hologram 1. That is, the laser beam oscillated from the laser oscillator 2 is converted into parallel light by the collimator lens 3 and enters the reflection type photopolymer volume hologram 1. Then, the light is diffracted in a predetermined direction in the reflection type photopolymer volume hologram 1, further reflected on the reflection surface 9, and returns to the hologram again. Then, only the laser beam of a predetermined wavelength returns to the laser oscillator 2 due to the wavelength selectivity, and laser beams of other wavelengths are emitted in a predetermined direction as emitted light.

【0040】以上のような構成とすることにより、実施
例5の外部共振型半導体レーザでは、実施例1と同様
に、波長幅が狭く、横モードの安定した所望の波長のレ
ーザビームを供給することができる。そして、実施例5
においては、反射型フォトポリマ体積ホログラム1のみ
で外部共振器を構成しているため、装置の構成を簡素
化、かつ小型化することができ、価格面でも低コスト化
が可能である。
With the above configuration, the external resonance type semiconductor laser of the fifth embodiment supplies a laser beam of a desired wavelength having a narrow wavelength width and a stable transverse mode, as in the first embodiment. be able to. And Example 5
Since the external resonator is composed only of the reflection type photopolymer volume hologram 1, the configuration of the device can be simplified and downsized, and the cost can be reduced.

【0041】また、このような構成とした場合には、反
射型フォトポリマ体積ホログラム1を所定の方向に回転
させることにより波長可変動作が可能となる。
In the case of such a configuration, the wavelength tunable operation can be performed by rotating the reflection type photopolymer volume hologram 1 in a predetermined direction.

【0042】また、体積型ホログラムをコリメーターレ
ンズ内に形成することにより、体積ホログラムとコリメ
ータレンズとを一体化することができる。
Further, by forming the volume hologram in the collimator lens, the volume hologram and the collimator lens can be integrated.

【0043】図7は、本発明を適用した第6の実施例で
あり、体積ホログラムをコリメータレンズ状に形成した
例である。第6の実施例の外部共振型半導体レーザは、
所定波長のレーザビームを発振するレーザ発振器2と、
コリメータレンズ状に形成されたフォトポリマ体積ホロ
グラムとを備えて構成される。
FIG. 7 shows a sixth embodiment to which the present invention is applied, in which a volume hologram is formed in the shape of a collimator lens. The external cavity semiconductor laser of the sixth embodiment is
A laser oscillator 2 for oscillating a laser beam of a predetermined wavelength;
And a photopolymer volume hologram formed in a collimator lens shape.

【0044】ここで、実施例6の外部共振型半導体レー
ザでは、フォトポリマ体積ホログラムをコリメータレン
ズ状に形成することにより、コリメータレンズと反射型
フォトポリマ体積ホログラムとが一体化された状態を作
り出している。したがって、実施例6の外部共振型半導
体レーザでは、構造的には、フォトポリマ体積ホログラ
ム1のみで外部共振器を構成していることとなる。
Here, in the external resonance type semiconductor laser of the sixth embodiment, by forming the photopolymer volume hologram in the shape of a collimator lens, a state where the collimator lens and the reflection type photopolymer volume hologram are integrated is created. I have. Therefore, in the external resonance type semiconductor laser of the sixth embodiment, the external resonator is constituted only by the photopolymer volume hologram 1 in structure.

【0045】即ち、レーザ発振器2から発振されたレー
ザビームは、コリメータレンズ状に形成されたフォトポ
リマ体積ホログラム1に入射すると、当該フォトポリマ
体積ホログラムの波長選択性により所定の波長のレーザ
ビームのみがレーザ発振器2に戻され、共振することと
なる。
That is, when the laser beam oscillated from the laser oscillator 2 is incident on the photopolymer volume hologram 1 formed in the shape of a collimator lens, only the laser beam of a predetermined wavelength is emitted due to the wavelength selectivity of the photopolymer volume hologram. It is returned to the laser oscillator 2 and resonates.

【0046】以上のような構成とすることにより、実施
例6の外部共振型半導体レーザでは、実施例1と同様
に、波長幅が狭く、横モードの安定した所望の波長のレ
ーザビームを供給することができる。そして、実施例6
においては、構造的には、フォトポリマ体積ホログラム
1のみで外部共振器を構成していることになるため、装
置の構成をより簡素化、かつ小型化することができ、価
格面でも低コスト化が可能である。
With the above configuration, the external resonance type semiconductor laser of the sixth embodiment supplies a laser beam having a desired wavelength with a narrow wavelength width and stable transverse mode, as in the first embodiment. be able to. And Example 6
Since the external resonator is composed of only the photopolymer volume hologram 1, the configuration of the device can be simplified and reduced in size, and the cost can be reduced. Is possible.

【0047】また、体積型ホログラムをレーザ発振器2
のパッケージのウインドウ10に用いることにより、体
積ホログラムをレーザ発振器2と一体化することができ
る。
Further, the volume hologram is formed by a laser oscillator 2
The volume hologram can be integrated with the laser oscillator 2 by using it for the window 10 of the package.

【0048】図8は、本発明を適用した第7の実施例で
あり、反射型フォトポリマ体積型ホログラム1を半導体
レーザパッケージのウインドウ10に用いて、レーザ発
振器2と一体化した例である。第7の実施例の外部共振
型半導体レーザは、レーザ発振器2のパッケージのウイ
ンドウ10が反射型フォトポリマ体積ホログラム1によ
り構成されている。したがって、実施例7の外部共振型
半導体レーザでは、レーザ発振器2が外部共振器を兼ね
た構成となっている。
FIG. 8 shows a seventh embodiment to which the present invention is applied, in which a reflection type photopolymer volume hologram 1 is used for a window 10 of a semiconductor laser package and is integrated with a laser oscillator 2. In the external resonance type semiconductor laser of the seventh embodiment, the window 10 of the package of the laser oscillator 2 is constituted by the reflection type photopolymer volume hologram 1. Therefore, in the external resonance type semiconductor laser according to the seventh embodiment, the laser oscillator 2 has a configuration also serving as an external resonator.

【0049】即ち、レーザ発振器2において、ペルチエ
素子11上に形成されたレーザ発光素子12から発振さ
れたレーザビームは、レーザ発振器2のパッケージのウ
インドウ10に形成された反射型フォトポリマ体積ホロ
グラム1の波長選択性により所定の波長のレーザビーム
のみがレーザ発振器2に戻ることとなる。
That is, in the laser oscillator 2, the laser beam oscillated from the laser light emitting element 12 formed on the Peltier element 11 is applied to the reflection type photopolymer volume hologram 1 formed in the window 10 of the package of the laser oscillator 2. Only the laser beam of the predetermined wavelength returns to the laser oscillator 2 due to the wavelength selectivity.

【0050】ところで、以上述べた外部共振型半導体レ
ーザでは、実用上において共振器長の経時変化が問題と
なる。振動、温度変化、空気の対流などの影響により光
路長が変化した場合には、共振器長が変化して出力変動
が生じる。しかし、これらの問題点については、振動を
除去する、共振器全体をシールドする、半導体レーザを
ペルチエ素子にマウントし温度調節をかける、半導体レ
ーザの注入電流を制御する、ミラーなどの光学素子の一
部をピエゾ素子やボイスコイルモーターなどのアクチュ
エーターにマウントして出力光からのフィードバック信
号で位置制御する、など種々の方法で解決することがで
きる。
Incidentally, in the above-described external resonance type semiconductor laser, there is a problem that the resonator length changes with time in practical use. When the optical path length changes due to the effects of vibration, temperature change, convection of air, etc., the resonator length changes and output fluctuation occurs. However, with respect to these problems, there are optical devices such as a mirror that removes vibration, shields the entire resonator, mounts a semiconductor laser on a Peltier element to control the temperature, controls the injection current of the semiconductor laser, and operates a mirror. This can be solved by various methods such as mounting the unit on an actuator such as a piezo element or a voice coil motor and controlling the position with a feedback signal from output light.

【0051】また、体積型ホログラムにおいては、ホロ
グラムの記録時には、図9に示すように、例えばレーザ
発振器から発振させた波長λ1のレーザビームをビーム
スプリッタ13により所定の波面を有する参照光14と
物体光15とに分離する。そして、それぞれをミラー4
で反射させてフォトポリマ体積ホログラム16に入射さ
せて記録を行う。このときの記録時参照光波面17及び
記録時物体光波面18は、図9に示す状態となる。
In a volume hologram, when recording a hologram, as shown in FIG. 9, a laser beam having a wavelength λ 1 oscillated from, for example, a laser oscillator is applied to a reference beam 14 having a predetermined wavefront by a beam splitter 13. It is separated into object light 15. And each mirror 4
Then, the light is reflected and incident on the photopolymer volume hologram 16 for recording. At this time, the recording reference light wavefront 17 and the recording object light wavefront 18 are in the state shown in FIG.

【0052】そして、再生時には、図10に示すように
レーザ発振器2から発振させた波長λ2のレーザビーム
をミラー4で反射させてフォトポリマ体積ホログラムに
入射させる。このときの再生時参照光波面19及び再生
時物体光波面20は、図10に示す状態となる。
Then, at the time of reproduction, as shown in FIG. 10, a laser beam of wavelength λ 2 oscillated from the laser oscillator 2 is reflected by the mirror 4 and made incident on the photopolymer volume hologram. At this time, the reproduction reference light wavefront 19 and the reproduction object light wavefront 20 are in the state shown in FIG.

【0053】しかし、記録時と再生時とでは、用いるレ
ーザビームの波長が同じである必要はない。即ち、記録
時参照光波面17と再生時参照光波面19、及び記録時
物体光波面18と再生時物体光波面20とが一致する必
要はない。しかしながら、その場合でも再生時のブラッ
グ位相整合条件から、再生時参照光と再生時物体光とは
共に平面波であることが望ましい。
However, it is not necessary that the wavelength of the laser beam used is the same at the time of recording and at the time of reproduction. That is, the recording reference light wavefront 17 and the reproduction reference light wavefront 19 need not coincide with each other, and the recording object light wavefront 18 and the reproduction object light wavefront 20 do not need to match. However, even in this case, it is desirable that both the reference beam during reproduction and the object beam during reproduction are plane waves from the Bragg phase matching condition during reproduction.

【0054】また、フォトポリマ体積ホログラムにおい
て、干渉縞の記録時と再生時とで用いるレーザビームの
波長が異なり、再生時に平面波以外の波面22を発生さ
せたい場合には、この補正を含めて記録時の光学系を補
正光学系21を含めて設計する必要がある。ここで、補
正光学系21としては、任意の波面を発生させるために
ホログラム、非球面光学素子、偏芯光学系などの収差を
有する光学系、回折型光学素子や液晶パネルなどの空間
変調器、等を用いることができる。そして、これらの補
正光学系21を例えば図11に示すように参照光14側
のミラー4とフォトポリマ体積ホログラム16との間に
配置することにより、再生時に所望の波面を発生可能な
ホログラムを記録することができる。
In a photopolymer volume hologram, the wavelength of a laser beam used for recording and reproducing interference fringes is different, and when it is desired to generate a wavefront 22 other than a plane wave during reproduction, the recording is performed including this correction. It is necessary to design the optical system at the time including the correction optical system 21. Here, as the correction optical system 21, a hologram, an aspherical optical element, an optical system having an aberration such as an eccentric optical system, a spatial modulator such as a diffractive optical element or a liquid crystal panel to generate an arbitrary wavefront, Etc. can be used. By arranging these correction optical systems 21 between the mirror 4 on the side of the reference beam 14 and the photopolymer volume hologram 16 as shown in FIG. 11, for example, a hologram capable of generating a desired wavefront at the time of reproduction is recorded. can do.

【0055】上記においては、半導体レーザをレーザ媒
体とする場合について述べた。これは、固体、小型で安
定、かつ大量生産により低コスト化が可能であることか
ら、半導体レーザがもっとも実用的と考えられるからで
ある。しかしながら、本発明は、半導体レーザに限ら
ず、Co2、Arイオン等の気体レーザ、エキシマレー
ザ、色素レーザ、Ti:Saphireなどの波長可変固体レーザ
等の共振器中、もしくは外部からのフィードバック光学
系等に適用することにより同様の効果を得ることができ
る。したがって、本発明は、これらのレーザと組み合わ
せることによっても優れた効果を得ることができる。
The case where the semiconductor laser is used as the laser medium has been described above. This is because semiconductor lasers are considered to be the most practical because they are solid, small, stable, and can be manufactured at low cost by mass production. However, the present invention is not limited to a semiconductor laser, and a feedback optical system in a resonator such as a gas laser such as Co 2 and Ar ions, an excimer laser, a dye laser, and a wavelength-tunable solid-state laser such as Ti: Saphire. The same effect can be obtained by applying the method described above. Therefore, the present invention can provide excellent effects even when combined with these lasers.

【0056】以上、本発明によれば波長幅が狭く、横モ
ードの安定した外部共振器型半導体レーザなどのレーザ
を、簡単な構成で低コストで実現できる。横モード選択
性を利用しては、出力光のビームプロファイルを制御す
ることもできる。半導体レーザの非点収差補正や発散角
の制御をホログラムを用いて行なうことで、光学部品の
部品点数を削減して、システムを小型かつ低コストにす
ることができ、低コストの理想的な光源を提供できる。
As described above, according to the present invention, a laser such as an external cavity semiconductor laser having a narrow wavelength width and a stable transverse mode can be realized at a low cost with a simple configuration. Using the lateral mode selectivity, the beam profile of the output light can be controlled. By using a hologram to correct astigmatism and control the divergence angle of a semiconductor laser, the number of optical components can be reduced, and the system can be made smaller and less expensive. Can be provided.

【0057】そして、本発明は、レーザディスプレイに
限定されることはなく、ホログラム波長多重記録、光デ
ィスクやホログラムメモリーなどの情報記録装置、波長
多重光通信、非線形光学効果を用いた波長変換、レーザ
冷却、周波数標準、環境やプロセス管理のための分光計
測、干渉計等数種々の用途に応用することができる。
The present invention is not limited to a laser display, but includes a hologram wavelength multiplexing recording, an information recording device such as an optical disk and a hologram memory, a wavelength multiplexing optical communication, a wavelength conversion using a nonlinear optical effect, a laser cooling. , Frequency standard, spectroscopic measurement for environment and process management, interferometer and so on.

【0058】[0058]

【発明の効果】本発明に係る外部共振型半導体レーザ
は、外部共振器内にフォトポリマ体積ホログラムを備え
るため、外部共振器の波長選択性を向上させることが可
能となる。これにより、所望の波長により近い波長のみ
を選択的に発振させることが可能となり、外部共振型レ
ーザから出射されるレーザ光の波長幅を狭いものとする
ことが可能となる。
Since the external cavity semiconductor laser according to the present invention has a photopolymer volume hologram in the external cavity, the wavelength selectivity of the external cavity can be improved. As a result, it is possible to selectively oscillate only the wavelength closer to the desired wavelength, and to narrow the wavelength width of the laser light emitted from the external resonance type laser.

【0059】また、フォトポリマ体積ホログラムは、高
い回折効率を有するため、効率よく所望の波長のレーザ
光を発振させることが可能となる。
Since the photopolymer volume hologram has a high diffraction efficiency, it is possible to efficiently oscillate a laser beam having a desired wavelength.

【0060】そして、フォトポリマ体積ホログラムは、
経時変化が無いため、安定してレーザ光を取り出すこと
ができる。
Then, the photopolymer volume hologram is
Since there is no change with time, laser light can be taken out stably.

【0061】したがって、本発明によれば、簡素、かつ
安価な構成で波長幅の狭いレーザビームを安定して供給
することが可能なレーザを提供することができる。
Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a laser capable of stably supplying a laser beam having a narrow wavelength width with a simple and inexpensive configuration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用した第1の実施例であり、反射型
フォトポリマ体積ホログラムを用いた外部共振型半導体
レーザの構成を説明する図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an external resonance type semiconductor laser using a reflection type photopolymer volume hologram according to a first embodiment of the present invention.

【図2】レーザ発振器とコリメータレンズと体積ホログ
ラムとを備えた軸上体積ホログラム外部共振型半導体レ
ーザの構成を説明する図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of an on-axis volume hologram external resonance type semiconductor laser including a laser oscillator, a collimator lens, and a volume hologram.

【図3】本発明を適用した第2の実施例であり、透過型
フォトポリマ体積ホログラムを用いた外部共振型半導体
レーザの構成を説明する図である。
FIG. 3 is a view showing a second embodiment to which the present invention is applied, illustrating a configuration of an external resonance type semiconductor laser using a transmission type photopolymer volume hologram;

【図4】本発明を適用した第3の実施例であり、第1の
実施例においてミラーをコーナーキューブに置き換えた
外部共振型半導体レーザの構成を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a third embodiment to which the present invention is applied, illustrating a configuration of an external resonance type semiconductor laser in which a mirror is replaced with a corner cube in the first embodiment.

【図5】本発明を適用した第4の実施例であり、第1の
実施例において、反射型フォトポリマ体積ホログラムの
ミラー側の端面にミラー加工を施し、ミラーと置き換え
た外部共振型半導体レーザの構成を説明する図である。
FIG. 5 shows a fourth embodiment to which the present invention is applied. In the first embodiment, an external resonance type semiconductor laser in which mirror processing is performed on an end surface on the mirror side of a reflection type photopolymer volume hologram and the mirror is replaced with a mirror. FIG. 3 is a diagram illustrating the configuration of FIG.

【図6】本発明を適用した第5の実施例であり、第1の
実施例において、反射型体積ホログラムのミラー側の端
面をコーナーキューブ形状に加工し、ミラーと置き換え
た外部共振型半導体レーザの構成を説明する図である。
FIG. 6 shows a fifth embodiment to which the present invention is applied. In the first embodiment, an external resonance type semiconductor laser in which a mirror-side end surface of a reflection type volume hologram is processed into a corner cube shape and replaced with a mirror. FIG. 3 is a diagram illustrating the configuration of FIG.

【図7】本発明を適用した第6の実施例であり、体積ホ
ログラムをコリメータレンズ内に形成した外部共振型半
導体レーザの構成を説明する図である。
FIG. 7 is a view illustrating a configuration of an external resonance semiconductor laser in which a volume hologram is formed in a collimator lens according to a sixth embodiment of the present invention.

【図8】本発明を適用した第7の実施例であり、体積型
ホログラムを半導体レーザパッケージのウインドウに用
いて、レーザ発振器と一体化した外部共振型半導体レー
ザの構成を説明する図である。
FIG. 8 is a diagram illustrating a configuration of an external resonance type semiconductor laser integrated with a laser oscillator using a volume hologram as a window of a semiconductor laser package according to a seventh embodiment of the present invention.

【図9】波長λ1のレーザビームを用いてフォトポリマ
体積ホログラムに干渉縞を記録する状態を説明する図で
ある。
9 is a diagram illustrating a state of recording interference fringes photopolymer volume hologram with a laser beam having a wavelength lambda 1.

【図10】波長λ2のレーザビームを用いてフォトポリ
マ体積ホログラムを再生する状態を説明する図である。
FIG. 10 is a diagram illustrating a state in which a photopolymer volume hologram is reproduced using a laser beam having a wavelength of λ 2 .

【図11】補正光学系を参照光側のミラーとフォトポリ
マ体積ホログラムとの間に配置して干渉縞を記録する状
態を説明する図である。
FIG. 11 is a diagram illustrating a state in which a correction optical system is arranged between a mirror on the reference light side and a photopolymer volume hologram to record interference fringes.

【図12】リットマン型共振器の構成を説明する図であ
る。
FIG. 12 is a diagram illustrating a configuration of a Littman resonator.

【図13】リトロー型共振器の構成を説明する図であ
る。
FIG. 13 is a diagram illustrating a configuration of a Littrow resonator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 反射型フォトポリマ体積ホログラム、2 レーザ発
振器、3 コリメータレンズ、4 ミラー、6 透過型
フォトポリマ体積ホログラム、7 コーナーキューブ、
8 反射面、9 反射面、11 ペルチエ素子、12
レーザ発光素子、13 ビームスプリッタ、14 参照
光、15 物体光、16フォトポリマ体積ホログラム、
17 記録時参照光波面、18 記録時物体光波面、1
9 再生時参照光波面、20 再生時物体光波面、21
補正光学系、22 平面波以外の波面
1 reflection type photopolymer volume hologram, 2 laser oscillator, 3 collimator lens, 4 mirror, 6 transmission type photopolymer volume hologram, 7 corner cube,
8 reflective surface, 9 reflective surface, 11 Peltier element, 12
Laser light emitting element, 13 beam splitter, 14 reference light, 15 object light, 16 photopolymer volume hologram,
17 Reference wave front at recording, 18 Object wave front at recording, 1
9 Reference light wavefront during reproduction, 20 Object light wavefront during reproduction, 21
Correction optical system, 22 Wavefront other than plane wave

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の波長のレーザ光を出射するレーザ
発振器と、上記レーザ発振器から出射されたレーザ光を
共振させる外部共振器とを備える外部共振型レーザであ
って、 上記共振器内にフォトポリマ体積ホログラムを備え、 上記フォトポリマ体積ホログラムは、上記レーザ発振器
から出射されたレーザ光を回折して上記共振器内の光学
系に入射させるとともに、所定の波長のレーザ光を選択
的に透過して外部に出射することを特徴とする外部共振
型レーザ。
1. An external resonance type laser comprising: a laser oscillator that emits a laser beam of a predetermined wavelength; and an external resonator that resonates the laser beam emitted from the laser oscillator. The photopolymer volume hologram includes a polymer volume hologram, and the laser beam emitted from the laser oscillator is diffracted and made incident on an optical system in the resonator, and selectively transmits a laser beam having a predetermined wavelength. An external resonance type laser that emits light to the outside.
【請求項2】 上記フォトポリマ体積ホログラムが、反
射型フォトポリマ体積ホログラムであることを特徴とす
る請求項1記載の外部共振型レーザ。
2. The external resonance type laser according to claim 1, wherein said photopolymer volume hologram is a reflection type photopolymer volume hologram.
【請求項3】 上記フォトポリマ体積ホログラムが、透
過型フォトポリマ体積ホログラムであることを特徴とす
る請求項1記載の外部共振型レーザ。
3. The external resonance type laser according to claim 1, wherein said photopolymer volume hologram is a transmission type photopolymer volume hologram.
【請求項4】 上記レーザ発振器が、半導体レーザ発振
器であることを特徴とする請求項1記載の外部共振型レ
ーザ。
4. The external resonance type laser according to claim 1, wherein said laser oscillator is a semiconductor laser oscillator.
【請求項5】 上記共振器内の光学系が、コーナーキュ
ーブであることを特徴とする請求項1記載の外部共振型
レーザ
5. The external cavity laser according to claim 1, wherein the optical system in the resonator is a corner cube.
【請求項6】 上記共振器内の光学系が、上記フォトポ
リマ体積ホログラムに形成された反射面であることを特
徴とする請求項1記載の外部共振型レーザ。
6. The external resonance type laser according to claim 1, wherein the optical system in the resonator is a reflection surface formed on the photopolymer volume hologram.
【請求項7】 上記共振器内の光学系が、コーナーキュ
ーブ状に形成された上記フォトポリマ体積ホログラムの
反射面であることを特徴とする請求項1記載の外部共振
型レーザ。
7. The external resonance type laser according to claim 1, wherein the optical system in the resonator is a reflection surface of the photopolymer volume hologram formed in a corner cube shape.
【請求項8】 上記フォトポリマ体積ホログラムが、コ
リメータレンズ状に形成されることを特徴とする請求項
1記載の外部共振型レーザ。
8. The external resonance type laser according to claim 1, wherein said photopolymer volume hologram is formed in a collimator lens shape.
【請求項9】 上記フォトポリマ体積ホログラムが、上
記レーザ発振器においてレーザ光を出射するレーザ光出
射部先端に配されることを特徴とする請求項1記載の外
部共振型レーザ。
9. The external resonance type laser according to claim 1, wherein the photopolymer volume hologram is disposed at a tip of a laser beam emitting portion for emitting a laser beam in the laser oscillator.
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