JP2001284610A - 太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、耐突き刺し性、その他等の諸特性に優れ、特
に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上
させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐
久性に富み、保護能力性が高く、かつ、より低コストで
安全な太陽電池モジュ−ルを構成する保護シ−トを安定
的に提供することである。 【解決手段】 基材シ−トの一方の面に、無機酸化物の
蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の面に、該
無機酸化物の蒸着膜を保護する保護樹脂層を設けること
を特徴とする太陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそ
れを使用した太陽電池モジュ−ルに関するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュ−
ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルに関し、更に詳しくは、強度に優れ、かつ、耐候性、
耐熱性、耐水性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品
性、防湿性、防汚性、耐突き刺し性、その他等の諸特性
に優れ、極めて耐久性に富み、保護能力が高い太陽電池
モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池
モジュ−ルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まりか
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。一般に、上記の太陽電池モジ
ュ−ルは、例えば、結晶シリコン太陽電池素子あるいは
アモルファスシリコン太陽電池素子等を製造し、そのよ
うな太陽電池素子を使用し、表面保護シ−ト層、充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
よび、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して
加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されて
いる。而して、上記の太陽電池モジュ−ルは、当初、電
卓への適用を始めとし、その後、各種の電子機器等に応
用され、民生用の利用として、その応用範囲は急速に広
まりつつあり、更に、今後、最も重要な課題として、大
規模集中型太陽電池発電の実現であるとされている。と
ころで、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する保護シ−
ト層としては、例えば、表面保護シ−ト層の場合は、現
在、ガラス板等が、最も一般的に使用され、その他、近
年、フッ素系樹脂シ−ト等の強度に優れた樹脂シ−トも
注目され、その開発が、急速に進められている。また、
上記の太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ−ト層
の場合は、現在、強度に優れた樹脂シ−ト等に金属箔等
を積層したものが、最も一般的に使用され、その他、金
属板等も使用されている。而して、一般に、太陽電池モ
ジュ−ルを構成する保護シ−ト層としては、例えば、表
面保護シ−ト層の場合は、太陽電池が、太陽光を吸収し
て光起電力することから、太陽光を透過する透過性に富
むと共に強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、
耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、耐突き刺し性
等の諸堅牢性に優れ、特に、水分、酸素等の侵入を防止
する防湿性に優れ、更に、表面硬度が高く、かつ、表面
の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、極めて
耐久性に富み、その保護能力性が高いこと、その他等の
条件を充足することが必要とされ、また、裏面保護シ−
ト層の場合も、ほぼ、上記の表面保護シ−ト層の場合と
同様な条件を充足することが必要とされている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、太陽電
池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として、現
在、最も一般的に使用されているガラス板等は、太陽光
の透過性に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光
性、耐薬品性、耐突き刺し性等の諸堅牢性に優れ、ま
た、防湿性にも優れ、更に、表面硬度が硬く、かつ、表
面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性に優れ、その
保護能力性が高い等の利点を有するが、強度、可塑性、
耐衝撃性、軽量性等に欠け、更に、その加工性、施工性
等に劣り、かつ、低コスト化等に欠けるという問題点が
ある。また、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する表面
保護シ−ト層として、フッ素系樹脂等の強度に優れた樹
脂シ−トを使用する場合には、ガラス板等と比較して、
強度、可塑性、耐衝撃性、軽量性等に富むものではある
が、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品性、耐突
き刺し性等の諸堅牢性に劣り、特に、防湿性、防汚性等
に欠けるという問題点がある。更に、フッ素系樹脂シ−
ト等の強度に優れた樹脂シ−トを使用する場合には、使
用後廃棄時に環境を汚染するというおそれがあり、ま
た、フッ素系樹脂シ−ト等の強度に優れた樹脂シ−ト
は、価格が高く、コスト高になるという問題点もある。
また、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する裏面保護シ
−ト層として、強度に優れた樹脂シ−ト等に金属箔等を
積層したものを使用する場合には、強度、可塑性、耐衝
撃性、軽量性、低コスト化等に富むものではあるが、耐
候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐薬品性、耐突き刺し
性等の諸堅牢性に劣り、特に、防湿性、防汚性等に欠け
るという問題点がある。

【０００４】本発明者は、上記のような太陽電池モジュ
−ルを構成する保護シ−ト層について種々検討し、ま
ず、フッ素系樹脂あるいは環状ポリオレフィン系樹脂等
からなる基材シ−トの片面に、酸化珪素、あるいは、酸
化アルミニウム等の透明な、ガラス質からなる無機酸化
物の蒸着薄膜を設けて太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
を製造し、而して、該太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
を使用し、例えば、その太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トを、その無機酸化物の蒸着薄膜の面を内側にし、エチ
レン−酢酸ビニル系樹脂等からなる充填剤層、光起電力
素子としての太陽電池素子、エチレン−酢酸ビニル系樹
脂等からなる充填剤層、および、通常の太陽電池モジュ
−ル用裏面保護シ−ト層等を順次に積層し、次いで、こ
れらを一体的に真空吸引して加熱圧着するラミネ−ショ
ン法等を利用して太陽電池モジュ−ルを製造することを
試みたものである。しかしながら、上記の太陽電池モジ
ュ−ルにおいては、太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを
構成する無機酸化物の蒸着膜の面に、エチレン−酢酸ビ
ニル共重合体等からなる充填剤層を一体的に真空吸引し
て加熱圧着するラミネ−ション法等を用いて直接積層す
ると、加熱圧着等におけるエチレン−酢酸ビニル共重合
体等からなる充填剤層の熱収縮に対し太陽電池モジュ−
ル用保護シ−トを構成する無機酸化物の蒸着膜が追従性
に欠け、該無機酸化物の蒸着膜にクラック、傷等が入
り、水蒸気バリア性、酸素ガスバリア性等が著しく劣化
し、防湿性等に劣るという問題点がある。更に、上記の
太陽電池モジュ−ルにおいては、上記のように無機酸化
物の蒸着膜にクラック、傷等が入るばかりではなく、更
に、エチレン−酢酸ビニル共重合体等からなる充填剤層
の熱収縮に対し基材シ−トとしてのフッ素系樹脂あるい
は環状ポリオレフィン系樹脂等からなる基材シ−ト自体
にもクラック、傷等が入るという問題点がある。そこで
本発明は、強度に優れ、かつ、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、耐突き刺し性、その他等の諸特性に優れ、特
に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上
させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐
久性に富み、保護能力性が高く、かつ、より低コストで
安全な太陽電池モジュ−ルを構成する保護シ−トを安定
的に提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者は、太陽電池モ
ジュ−ルを構成する保護シ−ト層について、上記のよう
な問題点を解決すべく種々研究の結果、まず、環状ポリ
オレフィン系樹脂あるいはフッ素系樹脂等からなる樹脂
のフィルムないしシ−トを基材シ−トとして使用し、そ
の片面に、酸化珪素、あるいは、酸化アルミニウム等の
透明な、ガラス質からなる無機酸化物の蒸着薄膜を設
け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の上に、該無機酸化物
の蒸着膜を保護する保護樹脂層を設けて太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トを製造し、而して、該太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トを、少なくとも、太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トとして使用し、例えば、該太陽電池モ
ジュ−ル用表面保護シ−トを、その保護樹脂層の面を内
側にし、エチレン−酢酸ビニル系樹脂からなる充填剤
層、光起電力素子としての太陽電池素子、エチレン−酢
酸ビニル系樹脂からなる充填剤層、および、通常の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を順次に積層し、
次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着するラ
ミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ−ルを製造
したところ、太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを構
成する無機酸化物の蒸着膜に傷、クラック等が入るのを
防止することができ、かつ、太陽光の透過性に優れ、ま
た、強度に優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光
性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、防汚性、
耐突き刺し性、その他等の諸特性に優れ、特に、水分、
酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、その
長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐久性に富
み、保護能力が高く、かつ、より低コストで安全な太陽
電池モジュ−ルを安定的に製造し得ることを見出して本
発明を完成したものである。

【０００６】すなわち、本発明は、基材シ−トの一方の
面に、無機酸化物の蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物
の蒸着膜の面に、該無機酸化物の蒸着膜を保護する保護
樹脂層を設けることを特徴とする太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルに
関するものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】上記の本発明について以下に図面
等を用いて更に詳しく説明する。なお、本発明におい
て、シ−トとは、シ−ト状物ないしフィルム状物のいず
れの場合も意味するものであり、また、フィルムとは、
フィルム状物ないしシ−トシ−ト状物のいずれの場合も
意味するものである。本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−
ルについてその層構成を図面等を用いて更に具体的に説
明すると、図１、図２および図３は、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トの層構成についてその二
三例を例示する概略的断面図であり、図４、図５および
図６は、図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルの
層構成についてその二三例を例示する概略的断面図であ
る。

【０００８】まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トＡとしては、図１に示すように、基材シ−
ト１の一方の面に、無機酸化物の蒸着薄膜２を設け、更
に、該無機酸化物の蒸着膜２の上に、該無機酸化物の蒸
着膜２を保護する保護樹脂層３を設けた構成からなるこ
とを基本構造とするものである。而して、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについて、別の例を
例示すると、図２に示すように、基材シ−ト１の一方の
面に、少なくとも、２層以上の無機酸化物の蒸着薄膜
２、２からなる多層膜４を設け、更に、該２層以上の無
機酸化物の蒸着膜２、２からなる多層膜４の上に、該２
層以上の無機酸化物の蒸着膜２、２からなる多層膜４を
保護する保護樹脂層３を設けた構成からなる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−トＡ₁ を挙げることができる。更
に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トに
ついて、他の例を例示すると、図３に示すように、基材
シ−ト１の一方の面に、まず、化学気相成長法による無
機酸化物の蒸着薄膜２ａを設け、次いで、該無機酸化物
の蒸着薄膜２ａの上に、物理気相成長法による無機酸化
物の蒸着薄膜２ｂを設けて異種の無機酸化物の蒸着薄膜
２ａ、２ｂの２層以上からなる複合膜５を設け、更に、
該異種の無機酸化物の蒸着薄膜２ａ、２ｂの２層以上か
らなる複合膜５の上に、該異種の無機酸化物の蒸着薄膜
２ａ、２ｂの２層以上からなる複合膜５を保護する保護
樹脂層３を設けた構成からなる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トＡ₂ を挙げることができる。上記の例示は、本
発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについて
その二三例を例示するものであり、本発明は、これによ
って限定されるものではないことは勿論である。例え
ば、上記の図３に示す太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
Ａ₂ においては、図示しないが、先に、物理気相成長法
により無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次に、化学気相成
長法により無機酸化物の蒸着薄膜を設けてもよいもので
ある。

【０００９】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造し
た太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示すると、
上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図４に示すよ
うに、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ
−ト１１として使用し、該太陽電池モジュ−ル用表面保
護シ−ト１１（Ａ）を、その保護樹脂層３の面を内側に
し、順次に、充填剤層１２、光起電力素子としての太陽
電池素子１３、充填剤層１４、および、通常の太陽電池
モジュ−ル用裏面保護シ−ト層１５等を積層し、次い
で、これらを一体として、真空吸引して加熱圧着するラ
ミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層
を一体成形体として太陽電池モジュ−ルＴを製造するこ
とができる。更に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して製造し
た太陽電池モジュ−ルについて、他の一例を例示する
と、上記と同様に、上記の図１に示す本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを使用した例で説明す
ると、図５に示すように、上記の図１に示す本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジ
ュ−ル用裏面保護シ−ト１６として使用し、まず、通常
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト１７、充填剤層
１２、光起電力素子としての太陽電池素子１３、充填剤
層１４、および、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護
シ−ト１６（Ａ）を、その保護樹脂層３の面を対向させ
て順次に積層し、次いで、これらを一体として、真空吸
引して加熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法
を利用し、上記の各層を一体成形体として太陽電池モジ
ュ−ルＴ₁ を製造することができる。また、本発明にお
いて、上記の本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルについ
て、別の一例を例示すると、上記と同様に、上記の図１
に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
Ａを使用した例で説明すると、図６に示すように、上記
の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トＡを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト１１と
して使用し、また、上記の図１に示す本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トＡを太陽電池モジュ−ル
用裏面保護シ−ト１６として使用し、上記の太陽電池モ
ジュ−ル用表面保護シ−ト１１（Ａ）を、その保護樹脂
層３の面を内側にし、順次に、充填剤層１２、光起電力
素子としての太陽電池素子１３、充填剤層１４、およ
び、上記の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト１６
（Ａ）を、その保護樹脂層３面を対向させて積層し、次
いで、これらを一体として、真空吸引して加熱圧着する
ラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各
層を一体成形体として太陽電池モジュ−ルＴ₂ を製造す
ることができる。上記の例示は、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用して製
造した太陽電池モジュ−ルについてその二三例を例示す
るものであり、本発明はこれにより限定されるものでは
ない。例えば、図示しないが、上記の図２、図３等に示
す太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用し、上記と同
様にして、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルを製
造することができ、また、上記の太陽電池モジュ−ルに
おいては、太陽光の吸収性、補強、その他等の目的のも
とに、更に、他の層を任意に加えて積層することができ
るものである。

【００１０】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トおよびそれを使用した太
陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等について更
に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成す
る基材シ−トとしては、機械的あるいは化学的ないし物
理的強度に優れ、具体的には、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性等の諸堅牢
性に優れ、特に、耐候性に優れていると共に水分、酸素
等の侵入を防止する防湿性に優れ、また、表面硬度が高
く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止する防汚性
に優れ、極めて耐久性に富み、その保護能力性が高いこ
と等の特性を有することが望ましいものである。更に、
上記の基材シ−トとしては、後述する無機酸化物の蒸着
膜を形成する蒸着条件等に耐え、それら無機酸化物の蒸
着膜等の特性を損なうことなく良好に保持し得ることが
でき基材が望ましいものである。

【００１１】本発明において、上記のような基材シ−ト
としては、具体的には、例えば、ポリエチレン系樹脂、
ポリプロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、フ
ッ素系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−
スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、アクリロニトリルル−
ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、ポリ塩
化ビニル系樹脂、フッ素系樹脂、ポリ（メタ）アクリル
系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリエチレンテレフ
タレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエステル
系樹脂、各種のナイロン等のポリアミド系樹脂、ポリイ
ミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリアリ−ルフ
タレ−ト系樹脂、シリコ−ン系樹脂、ポリスルホン系樹
脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエ−テルス
ルホン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、アセタ−ル系樹
脂、セルロ−ス系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィル
ムないしシ−トを使用することができる。本発明におい
ては、上記の樹脂のフィルムないしシ−トの中でも、特
に、フッ素系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリカ
−ボネ−ト系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、また
は、ポリエステル系樹脂のフィルムないしシ−トを使用
することが好ましいものである。而して、本発明におい
て、上記のようなフッ素系樹脂、環状ポリオレフィン系
樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ（メタ）アクリル
系樹脂、または、ポリエステル系樹脂のフィルムないし
シ−トは、機械的特性、化学的特性、物理的特性等に優
れ、具体的には、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐
防湿性、耐汚染性、耐薬品性、その他等の諸堅牢性に優
れて、太陽電池を構成する保護シ−トとして有用性を有
し、耐久性、保護機能性等に優れ、また、そのフレキシ
ブル性や機械的特性、化学的特性等から軽量で、かつ、
加工性等に優れ、そのハンドリングし易い等の利点を有
するものである。

【００１２】本発明においては、上記のような各種の樹
脂のフィルムないしシ−トのなかでも、特に、例えば、
ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフル
オロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエ−テルと
の共重合体からなるペルフルオロアルコキシ樹脂（ＰＦ
Ａ）、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピ
レンコポリマ−（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンと
ペルフルオロアルキルビニルエ−テルとヘキサフルオロ
プロピレンコポリマ−（ＥＰＥ）、テトラフルオロエチ
レンとエチレンまたはプロピレンとのコポリマ−（ＥＴ
ＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂（ＰＣＴ
ＦＥ）、エチレンとクロロトリフルオロエチレンとのコ
ポリマ−（ＥＣＴＦＥ）、フッ化ビニリデン系樹脂（Ｐ
ＶＤＦ）、または、フッ化ビニル系樹脂（ＰＶＦ）等の
フッ素系樹脂の１種ないしそれ以上からなる透明性を有
するフッ素系樹脂シ−トを使用することが好ましいもの
である。なお、本発明においては、上記のフッ素系樹脂
シ−トの中でも、特に、ポリフッ化ビニル系樹脂（ＰＶ
Ｆ）、または、テトラフルオロエチレンとエチレンまた
はプロピレンとのコポリマ−（ＥＴＦＥ）からなるフッ
素系樹脂シ−トが、透明性を有し、太陽光の透過性等の
観点から好ましいものである。

【００１３】また、本発明においては、上記のような各
種の樹脂のフィルムないしシ−トのなかでも、上記のフ
ッ素系樹脂シ−トと共に、特に、例えば、シクロペンタ
ジエンおよびその誘導体、ジシクロペンタジエンおよび
その誘導体、シクロヘキサジエンおよびその誘導体、ノ
ルボルナジエンおよびその誘導体、その他等の環状ジエ
ンを重合させてなるポリマ−、あるいは、該環状ジエン
とエチレン、プロピレン、４−メチル−１−ペンテン、
スチレン、ブタジエン、イソプレン、その他等のオレフ
ィン系モノマ−の１種ないしそれ以上とを共重合させて
なるコポリマ−等からなる透明な環状ポリオレフィン系
樹脂シ−トを使用することが好ましいものである。な
お、本発明においては、上記の透明な環状ポリオレフィ
ン系樹脂シ−トの中でも、更に、シクロペンタジエンお
よびその誘導体、ジシクロペンタジエンおよびその誘導
体、または、ノルボルナジエンおよびその誘導体等の環
状ジエンのポリマ−ないしコポリマ−からなる透明な環
状ポリオレフィン系樹脂シ−トが、耐候性、耐水性等に
優れ、更に、透明性を有し、太陽光の透過性等の観点か
ら好ましいものである。而して、本発明において、上記
のようなフッ素系樹脂シ−トあるいは環状ポリオレフィ
ン系樹脂シ−トを使用することにより、該フッ素系樹脂
シ−トあるは環状ポリオレフィン系樹脂シ−トが有する
機械的特性、化学的特性、物理的特性等の優れた特性、
具体的には、耐候性、耐熱性、耐水性、耐光性、耐防湿
性、耐汚染性、耐薬品性、その他等の諸特性を利用して
太陽電池を構成する裏面保護シ−トとするものであり、
これにより、耐久性、保護機能性等を有し、また、その
フレキシブル性や機械的特性、化学的特性等から軽く、
かつ、加工性等に優れ、そのハンドリングし易い等の利
点を有するものである。

【００１４】本発明において、上記の各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トとしては、例えば、上記の各種の樹脂
の１種ないしそれ以上を使用し、押し出し法、キャスト
成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−ション法、その
他等の製膜化法を用いて、上記の各種の樹脂を単独で製
膜化する方法、あるいは、２種以上の各種の樹脂を使用
して多層共押し出し製膜化する方法、更には、２種以上
の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して製膜化する方
法等により、各種の樹脂のフィルムないしシ−トを製造
し、更に、要すれば、例えば、テンタ−方式、あるい
は、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向
に延伸してなる各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。本発明において、各種の樹脂のフ
ィルムないしシ−トの膜厚としては、６〜３００μｍ
位、より好ましくは、９〜１５０μｍ位が望ましい。ま
た、本発明において、各種の樹脂のフィルムないしシ−
トとしては、可視光透過率が、９０％以上、好ましく
は、９５％以上であって、入射する太陽光を全て透過
し、これを吸収する性質を有することが望ましいもので
ある。

【００１５】なお、上記の各種の樹脂の１種ないしそれ
以上を使用し、その製膜化に際して、例えば、フィルム
の加工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性、
抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的
特性、強度、その他等を改良、改質する目的で、種々の
プラスチック配合剤や添加剤等を添加することができ、
その添加量としては、極く微量から数十％まで、その目
的に応じて、任意に添加することができる。上記におい
て、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、
酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化繊
維、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防
カビ剤、顔料、その他等を使用することができ、更に
は、改質用樹脂等も使用することがてきる。

【００１６】而して、本発明においては、上記の添加剤
の中でも、特に、耐候性、耐突き刺し性等を向上させる
ために、紫外線吸収剤、酸化防止剤、あるいは、強化繊
維の１種ないし２種以上を練れ込み加工してなる各種の
樹脂のフィルムないしシ−トを使用することが好ましい
ものである。上記の紫外線吸収剤としては、太陽光中の
有害な紫外線を吸収して、分子内で無害な熱エネルギ−
へと変換し、高分子中の光劣化開始の活性種が励起され
るのを防止するものであり、例えば、ベンゾフェノン
系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−ト系、アクリル
ニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミン系、超微粒
子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．０６μｍ）ある
いは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．０４μｍ）等の
無機系ないし有機系等の紫外線吸収剤の１種ないしそれ
以上を使用することができる。また、上記の酸化防止剤
としては、高分子の光劣化あるいは熱劣化等を防止する
ものであり、例えば、フェノ−ル系、アミン系、硫黄
系、燐酸系、その他等の酸化防止剤を使用することがで
きる。更に、上記の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤と
しては、例えば、ポリマ−を構成する主鎖または側鎖
に、上記のベンゾフェノン系等の紫外線吸収剤あるいは
上記のフェノ−ル系等の酸化防止剤を化学結合させてな
るポリマ−型の紫外線吸収剤あるいは酸化防止剤等も使
用することができる。また、上記の強化繊維としては、
例えば、ガラス繊維、炭素繊維、アラミド繊維、ポリア
ミド繊維、ポリエステル繊維、ポリプロピレン繊維、ポ
リアクリロニトリル繊維、天然繊維、その他等を使用す
ることができ、それらは、長ないし短繊維状物、また
は、織布ないし不織布状物、その他等で使用することが
できる。上記の紫外線吸収剤、酸化防止剤、強化繊維等
の含有量としては、その粒子形状、密度、その他等によ
って異なるが、約０．１〜１０重量％位が好ましい。

【００１７】また、本発明において、各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トの表面は、後述する無機酸化物の蒸着
膜との密接着性等を向上させるために、必要に応じて、
予め、所望の表面処理層を設けることができるものであ
る。本発明において、上記の表面処理層としては、例え
ば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは窒
素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処理、
化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の前処
理を任意に施し、例えば、コロナ処理層、オゾン処理
層、プラズマ処理層、酸化処理層、その他等を形成して
設けることができる。上記の表面前処理は、各種の樹脂
のフィルムないしシ−トと後述する無機酸化物の蒸着膜
との密接着性等を改善するための方法として実施するも
のであるが、上記の密接着性を改善する方法として、そ
の他、例えば、各種の樹脂のフィルムないしシ−トの表
面に、予め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤
層、アンカ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、蒸着ア
ンカ−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面処理層とす
ることもできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、
例えば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリ
ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、
（メタ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ
エチレンアルイハポリプロピレン等のポリオレフィン系
樹脂あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス
系樹脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物
を使用することができる。

【００１８】なお、上記の樹脂組成物中には、耐候性等
を向上させるために、例えば、紫外線吸収剤および／ま
たは酸化防止剤等を添加することができる。上記の紫外
線吸収剤としては、前述の紫外線吸収剤の１種ないしそ
れ以上を同様に使用することができる。また、上記の酸
化防止剤としては、前述の酸化防止剤を同様に使用する
ことができる。上記の紫外線吸収剤および／または酸化
防止剤の含有量としては、前述と同様に、その粒子形
状、密度等によって異なるが、約０．１〜１０重量％位
が好ましい。また、上記において、コ−ト剤層の形成法
としては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマル
ジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラ
ビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト
法を用いてコ−トすることができ、そのコ−ト時期とし
ては、樹脂のフィルムないしシ−トの製膜後、あるい
は、２軸延伸処理後の後工程として、あるいは、製膜、
あるいは、２軸延伸処理のインライン処理等で実施する
ことができる。

【００１９】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する無機酸化物の蒸着膜について説明すると、か
かる無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、物理気相成
長法、または、化学気相成長法、あるいは、その両者を
併用して、無機酸化物の蒸着膜の１層からなる単層膜あ
るいは２層以上からなる多層膜または複合膜を形成して
製造することができるものである。

【００２０】上記の物理気相成長法による無機酸化物の
蒸着膜について更に詳しく説明すると、かかる物理気相
成長法による無機酸化物の蒸着膜としては、例えば、真
空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティング
法、イオンクラスタ−ビ−ム法等の物理気相成長法（Ｐ
ｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ
法、ＰＶＤ法）を用いて無機酸化物の蒸着膜を形成する
ことができる。本発明において、具体的には、金属の酸
化物を原料とし、これを加熱して蒸気化し、これを基材
シ−トの一方の上に蒸着する真空蒸着法、または、原料
として金属または金属の酸化物を使用し、酸素を導入し
て酸化させて基材シ−トの一方の上に蒸着する酸化反応
蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズマ助
成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成すること
ができる。上記において、蒸着材料の加熱方式として
は、例えば、抵抗加熱方式、高周波誘導加熱方式、エレ
クトロンビ−ム加熱方式（ＥＢ）等にて行うことができ
る。

【００２１】本発明において、物理気相成長法による無
機酸化物の薄膜膜を形成する方法について、その具体例
を挙げると、図７は、巻き取り式真空蒸着装置の一例を
示す概略的構成図である。図７に示すように、巻き取り
式真空蒸着装置２１の真空チャンバ−２２の中で、巻き
出しロ−ル２３から繰り出す基材シ−ト１は、ガイドロ
−ル２４、２５を介して、冷却したコ−ティングドラム
２６に案内される。而して、上記の冷却したコ−ティン
グドラム２６上に案内された基材シ−ト１の上に、るつ
ぼ２７で熱せられた蒸着源２８、例えば、金属アルミニ
ウム、あるいは、酸化アルミニウム等を蒸発させ、更
に、必要ならば、酸素ガス吹出口２９より酸素ガス等を
噴出し、これを供給しながら、マスク３０、３０を介し
て、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜
を成膜化し、次いで、上記において、例えば、酸化アル
ミニウム等の無機酸化物の蒸着膜を形成した基材シ−ト
１を、ガイドロ−ル２５′、２４′を介して送り出し、
巻き取りロ−ル３１に巻き取ることによって、本発明に
かかる物理気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を形成
することができる。なお、本発明においては、上記のよ
うな巻き取り式真空蒸着装置を用いて、まず、第１層の
無機酸化物の蒸着膜を形成し、次いで、同様にして、該
無機酸化物の蒸着膜の上に、更に、無機酸化物の蒸着膜
を形成するか、あるいは、上記のような巻き取り式真空
蒸着装置を用いて、これを２連に連接し、連続的に、無
機酸化物の蒸着膜を形成することにより、２層以上の多
層膜からなる無機酸化物の蒸着膜を形成することができ
る。

【００２２】上記において、無機酸化物の蒸着膜として
は、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使用
可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム
（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリウム（Ｎ
ａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐｂ）、ジ
ルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の金属の酸
化物の蒸着膜を使用することができる。而して、好まし
いものとしては、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａ
ｌ）等の金属の酸化物の蒸着膜を挙げることができる。
而して、上記の金属の酸化物の蒸着膜は、ケイ素酸化
物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等のよう
に金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、例え
ば、ＳｉＯ_X 、ＡｌＯ_X 、ＭｇＯ_X 等のようにＭＯ
_X （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表され
る。また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ素（Ｓ
ｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜１．
５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム（Ｃ
ａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、スズ
（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜０．
５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）は、
０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚｒ）
は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範囲の
値をとることができる。上記において、Ｘ＝０の場合、
完全な金属であり、透明ではなく全く使用することがで
きない、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した値で
ある。本発明において、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、ア
ルミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、ケ
イ素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａ
ｌ）は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような無機酸化物
の蒸着膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の
酸化物の種類等によって異なるが、例えば、５０〜２０
００Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位の範囲内
で任意に選択して形成することが望ましい。また、本発
明においては、無機酸化物の蒸着膜としては、使用する
金属、または金属の酸化物としては、１種または２種以
上の混合物で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物
の蒸着膜を構成することもできる。

【００２３】次にまた、本発明において、上記の化学気
相成長法による無機酸化物の蒸着膜について更に説明す
ると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜
としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化学気
相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法（Ｃｈ
ｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、
ＣＶＤ法）等を用いて無機酸化物の蒸着膜を形成するこ
とができる。本発明においては、具体的には、基材シ−
トの一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガ
スを原料とし、キャリヤ−ガスとして、アルゴンガス、
ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、更に、酸素供給
ガスとして、酸素ガス等を使用し、低温プラズマ発生装
置等を利用する低温プラズマ化学気相成長法を用いて酸
化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成することができ
る。上記において、低温プラズマ発生装置としては、例
えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイクロ波
プラズマ等の発生装置を使用することがてき、而して、
本発明においては、高活性の安定したプラズマを得るた
めには、高周波プラズマ方式による発生装置を使用する
ことが望ましい。

【００２４】具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成
長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法についてその一
例を例示して説明すると、図８は、上記のプラズマ化学
気相成長法による無機酸化物の蒸着膜の形成法について
その概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概略的
構成図である。上記の図８に示すように、本発明におい
ては、プラズマ化学気相成長装置４１の真空チャンバ−
４２内に配置された巻き出しロ−ル４３から基材シ−ト
１を繰り出し、更に、該基材シ−ト１を、補助ロ−ル４
４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム４５周面上に
搬送する。而して、本発明においては、ガス供給装置４
６、４７および、原料揮発供給装置４８等から酸素ガ
ス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガ
ス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混合ガス
組成物を調整しなから原料供給ノズル４９を通して真空
チャンバ−４２内に該蒸着用混合ガス組成物を導入し、
そして、上記の冷却・電極ドラム４５周面上に搬送され
た基材シ−ト１の上に、グロ−放電プラズマ５０によっ
てプラズマを発生させ、これを照射して、酸化珪素等の
無機酸化物の蒸着膜を形成し、製膜化する。本発明にお
いては、その際に、冷却・電極ドラム４５は、チャンバ
−外に配置されている電源５１から所定の電力が印加さ
れており、また、冷却・電極ドラム４５の近傍には、マ
グネット５２を配置してプラズマの発生が促進されてお
り、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を
形成した基材シ−ト１は、補助ロ−ル５３を介して巻き
取りロ−ル５４に巻き取って、本発明にかかるプラズマ
化学気相成長法による無機酸化物の蒸着膜を製造するこ
とができる。なお、図中、５５は、真空ポンプを表す。
上記の例示は、その一例を例示するものであり、これに
よって本発明は限定されるものではないことは言うまで
もないことである。図示しないが、本発明においては、
無機酸化物の蒸着膜としては、無機酸化物の蒸着膜の１
層だけではなく、２層あるいはそれ以上を積層した多層
膜の状態でもよく、また、使用する材料も１種または２
種以上の混合物で使用し、また、異種の材質で混合した
無機酸化物の蒸着膜を構成することもできる。また、本
発明においては、上記のような低温プラズマ化学気相成
長装置を用いて、まず、第１層の無機酸化物の蒸着膜を
形成し、次いで、同様にして、該無機酸化物の蒸着膜の
上に、更に、無機酸化物の蒸着膜を形成するか、あるい
は、上記のような低温プラズマ化学気相成長装置を用い
て、これを２連に連接し、連続的に、無機酸化物の蒸着
膜を形成することにより、２層以上の多層膜からなる無
機酸化物の蒸着膜を形成することができる。

【００２５】上記において、真空チャンバ−４２内を真
空ポンプ５５により減圧し、真空度１×１０^-1〜１×１
０^-8Ｔｏｒｒ位、好ましくは、真空度１×１０^-3〜１×
１０ ^-7Ｔｏｒｒ位に調製することが望ましいものであ
る。また、原料揮発供給装置４８においては、原料であ
る有機珪素化合物を揮発させ、ガス供給装置４６、４７
から供給される酸素ガス、不活性ガス等と混合させ、こ
の混合ガスを原料供給ノズル４９を介して真空チャンバ
−４２内に導入されるものである。この場合、混合ガス
中の有機珪素化合物の含有量は、１〜４０％位、酸素ガ
スの含有量は、１０〜７０％位、不活性ガスの含有量
は、１０〜６０％位の範囲とすることができ、例えば、
有機珪素化合物と酸素ガスと不活性ガスとの混合比を
１：６：５〜１：１７：１４程度とすることができる。
一方、冷却・電極ドラム４５には、電源５１から所定の
電圧が印加されているため、真空チャンバ−４２内の原
料供給ノズル４９の開口部と冷却・電極ドラム４５との
近傍でグロ−放電プラズマ５０が生成され、このグロ−
放電プラズマ５０は、混合ガスなかの１つ以上のガス成
分から導出されるものであり、この状態において、基材
シ−ト１を一定速度で搬送させ、グロ−放電プラブマ５
０によって、冷却・電極ドラム４５周面上の基材シ−ト
１の上に、酸化珪素等の無機酸化物の連続膜を形成する
ことができるものである。なお、このときの真空チャン
バ−内の真空度は、１×１０^-1〜１×１０^-4Ｔｏｒｒ
位、好ましくは、真空度１×１０^-1〜１×１０^-2Ｔｏｒ
ｒ位に調製することが望ましく、また、基材シ−ト１の
搬送速度は、１０〜３００ｍ／分位、好ましくは、５０
〜１５０ｍ／分位に調製することが望ましいものであ
る。

【００２６】また、上記のプラズマ化学気相成長装置４
１において、酸化珪素等の無機酸化物の連続膜の形成
は、基材シ−ト１の上に、プラズマ化した原料ガスを酸
素ガスで酸化しながらＳｉＯ_X の形で薄膜状に形成され
るので、当該形成される酸化珪素等の無機酸化物の連続
膜は、緻密で、隙間の少ない、可撓性に富む連続層とな
るものであり、従って、酸化珪素等の無機酸化物の連続
膜のバリア性は、従来の真空蒸着法等によって形成され
る酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜と比較してはるかに
高いものとなり、薄い膜厚で十分なバリア性を得ること
ができるものである。また、本発明においては、ＳｉＯ
_X プラズマにより基材シ−ト１の表面が、清浄化され、
基材シ−ト１の表面に、極性基やフリ−ラジカル等が発
生するので、形成される酸化珪素等の無機酸化物の連続
膜と基材シ−トとの密接着性が高いものとなるという利
点を有するものである。更に、上記のように酸化珪素等
の無機酸化物の連続膜の形成時の真空度は、１×１０^-1
〜１×１０^-4Ｔｏｒｒ位、好ましくは、１×１０^-1〜１
×１０^-2Ｔｏｒｒ位に調製することから、従来の真空蒸
着法により酸化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成する
時の真空度、１×１０^-4〜１×１０^-5Ｔｏｒｒ位に比較
して低真空度であることから、基材シ−ト１お原反交換
時の真空状態設定時間を短くすることができ、真空度を
安定しやすく、製膜プロセスが安定するものである。

【００２７】本発明において、有機珪素化合物等の蒸着
モノマ−ガスを使用して形成される酸化珪素の連続膜
は、有機珪素化合物等の蒸着モノマ−ガスと酸素ガス等
とが化学反応し、その反応生成物が、基材シ−トの一方
の面に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形成す
るものであり、通常、一般式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘは、
０〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主体とする連
続状の薄膜である。而して、上記の酸化珪素の連続膜と
しては、透明性、バリア性等の点から、一般式ＳｉＯ_X
（ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表す。）で表さ
れる酸化珪素の連続膜を主体とする薄膜であることが好
ましいものである。上記において、Ｘの値は、蒸着モノ
マ−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネルギ−等
により変化するが、一般的に、Ｘの値が小さくなればガ
ス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯び、透明
性が悪くなる。

【００２８】また、上記の酸化珪素の連続膜は、酸化珪
素を主体とし、これに、更に、炭素、水素、珪素または
酸素の１種類、または、その２種類以上の元素からなる
化合物を少なくとも１種類を化学結合等により含有する
連続膜からなることを特徴とするものである。例えば、
Ｃ−Ｈ結合を有する化合物、Ｓｉ−Ｈ結合を有する化合
物、または、炭素単位がグラファイト状、ダイヤモンド
状、フラ−レン状等になっている場合、更に、原料の有
機珪素化合物やそれらの誘導体を化学結合等によって含
有する場合があるものである。具体例を挙げると、ＣＨ
₃ 部位を持つハイドロカ−ボン、ＳｉＨ₃ シリル、Ｓｉ
Ｈ₂ シリレン等のハイドロシリカ、ＳｉＨ₂ ＯＨシラノ
−ル等の水酸基誘導体等を挙げることができる。上記以
外でも、蒸着過程の条件等を変化させることにより、酸
化珪素の連続膜中に含有される化合物の種類、量等を変
化させることができる。而して、上記の化合物の酸化珪
素の連続膜中に含有する含有量としては、０．１〜５０
％位、好ましくは、５〜２０％位が望ましいものであ
る。上記において、含有率が、０．１％未満であると、
酸化珪素の連続膜の耐衝撃性、延展性、柔軟性等が不十
分となり、曲げなとにより、擦り傷、クラック等が発生
し易く、高いバリア性を安定して維持することが困難に
なり、また、５０％を越えると、バリア性が低下して好
ましくないものである。更に、本発明においては、酸化
珪素の連続膜において、上記の化合物の含有量が、酸化
珪素の連続膜の表面から深さ方向に向かって減少させる
ことが好ましく、これにより、酸化珪素の連続膜の表面
においては、上記の化合物等により耐衝撃性等を高めら
れ、他方、基材シ−トとの界面においては、上記の化合
物の含有量が少ないために、基材シ−トと酸化珪素の連
続膜との密接着性が強固なものとなるという利点を有す
るものである。

【００２９】而して、本発明において、上記の酸化珪素
の連続膜について、例えば、Ｘ線光電子分光装置（Ｘｒ
ａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓ
ｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装置（Ｓｅｃ
ｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃ
ｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用い、深さ方向
にイオンエッチングする等して分析する方法を利用し
て、酸化珪素の連続膜の元素分析を行うことより、上記
のような物性を確認することができる。また、本発明に
おいて、上記の酸化珪素の連続膜の膜厚としては、膜厚
５０Å〜４０００Å位であることが望ましく、具体的に
は、その膜厚としては、１００〜１０００Å位が望まし
く、而して、上記において、１０００Å、更には、４０
００Åより厚くなると、その膜にクラック等が発生し易
くなるので好ましくなく、また、１００Å、更には、５
０Å未満であると、バリア性の効果を奏することが困難
になることから好ましくないものである。上記のおい
て、その膜厚は、例えば、株式会社理学製の蛍光Ｘ線分
析装置（機種名、ＲＩＸ２０００型）を用いて、ファン
ダメンタルパラメ−タ−法で測定することができる。ま
た、上記において、上記の酸化珪素の連続膜の膜厚を変
更する手段としては、蒸着膜の体積速度を大きくするこ
と、すなわち、モノマ−ガスと酸素ガス量を多くする方
法や蒸着する速度を遅くする方法等によって行うことが
できる。

【００３０】次に、上記において、酸化珪素等の無機酸
化物の連続膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノ
マ−ガスとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメ
チルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニル
トリメチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメ
チルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメ
チルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニ
ルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメト
キシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシ
ラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキ
シシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その
他等を使用することができる。本発明において、上記の
ような有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テト
ラメチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキ
サンを原料として使用することが、その取り扱い性、形
成された連続膜の特性等から、特に、好ましい原料であ
る。また、上記において、不活性ガスとしては、例え
ば、アルゴンガス、ヘリウムガス等を使用することがで
きる。

【００３１】ところで、本発明において、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着膜として、例えば、物
理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して異種の
無機酸化物の蒸着膜の２層以上からなる複合膜を形成し
て使用することもできるものである。而して、上記の異
種の無機酸化物の蒸着膜の２層以上からなる複合膜とし
ては、まず、基材シ−トの上に、化学気相成長法によ
り、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を
防止し得る無機酸化物の蒸着膜を設け、次いで、該無機
酸化物の蒸着膜の上に、物理気相成長法による無機酸化
物の蒸着膜を設けて、２層以上からなる複合膜からなる
無機酸化物の蒸着膜を構成することが望ましいものであ
る。勿論、本発明においては、上記とは逆くに、基材シ
−トの上に、先に、物理気相成長法により、無機酸化物
の蒸着膜を設け、次に、化学気相成長法により、緻密
で、柔軟性に富み、比較的にクラックの発生を防止し得
る無機酸化物の蒸着膜を設けて、２層以上からなる複合
膜からなる無機酸化物の蒸着膜を構成することもできる
ものである。

【００３２】なお、本発明においては、上記の基材シ−
トの一方の面に、無機酸化物の蒸着膜を製膜化する際の
蒸着条件等に対し該基材シ−トを保護し、例えば、その
黄変、劣化ないし収縮、あるいは、基材シ−トの表層な
いし内層等における凝集破壊等を抑制し、更に、基材シ
−トの一方の面に、無機酸化物の蒸着膜が良好に製膜化
され、かつ、該基材シ−トと無機酸化物の蒸着膜との密
接着性等を向上させるために、予め、基材シ−トの一方
の面に、表面前処理層として、例えば、前述のプラズマ
化学気相成長法、熱化学気相成長法、光化学気相成長法
等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ
Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＣＶＤ法）、あるいは、例え
ば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティ
ング法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐ
ｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）を用いて、
無機酸化物の蒸着薄膜を形成することにより、耐蒸着保
護膜を設けることができる。なお、本発明において、上
記の酸化珪素等からなる耐蒸着保護膜の膜厚としては、
薄膜であり、更に、水蒸気ガス、酸素ガス等に対するバ
リア性を有しない非バリア性膜で十分であり、具体的に
は、膜厚１５０Å未満であることが望ましく、具体的に
は、その膜厚としては、１０〜１００Å位、好ましく
は、２０〜８０Å位、更に、より好ましくは、３０〜６
０Å位が望ましい。而して、上記において、１５０Å以
上、具体的には、１００Å、更に、８０Å、更には、６
０Åより厚くなると、蒸着条件等が過酷になり、良好な
耐蒸着保護膜を形成することが困難になり、また、その
膜にクラック等が発生し易くなるので好ましくなく、ま
た、１０Å、更に、３０Å、更には、６０Å未満である
と、耐蒸着保護層としての機能を喪失し、その効果を奏
することが困難になることから好ましくないものであ
る。

【００３３】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成する保護樹脂層について説明すると、かかる保護
樹脂層としては、まず、熱の作用により軟化ないし溶融
する性質を有する樹脂、具体的には、ポリオレフィン系
樹脂の１種ないし２種以上を主成分とし、これに、必要
ならば、可塑剤、光安定剤、酸化防止剤、紫外線吸収
剤、帯電防止剤、架橋剤、硬化剤、充填剤、滑剤、強化
繊維、補強剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、染
料・顔料等の着色剤、その他等の添加剤の１種ないし２
種以上を任意に添加し、更に、要すれば、溶剤、希釈剤
等を添加し、十分に混練して樹脂組成物を調製する。而
して、本発明においては、上記で調製した樹脂組成物を
使用し、例えば、押し出し機、Ｔダイ押出機、キャスト
成形機、インフレ−ション成形機等を使用し、押し出し
法、Ｔダイ法、キャスト成形法、インフレ−ション法、
その他等のフィルム成形法により、樹脂のフィルムない
しシ−トを製造し、更に、要すれば、例えば、テンタ−
方式、あるいは、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸な
いし２軸方向に延伸して、樹脂のフィルムないしシ−ト
を製造する。次いで、本発明においては、上記で製造し
た樹脂のフィルムないしシ−トを使用し、これを、前述
の無機酸化物の蒸着膜を設けた基材シ−トの無機酸化物
の蒸着膜の面に、例えば、ラミネ−ト用接着剤層等を介
して、ドライラミネ−ト法により積層することにより、
上記の樹脂のフィルムないしシ−トからなる無機酸化物
の蒸着膜を保護する保護樹脂層を形成して、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造することが
できるものである。

【００３４】あるいは、本発明においては、上記で調製
した樹脂組成物を使用し、これを、Ｔダイ等の押出機等
を使用して溶融押し出しラミネ−ト法等を用いて、前述
の無機酸化物の蒸着膜を設けた基材シ−トの無機酸化物
の蒸着膜の面に、例えば、アンカ−コ−ト剤等によるア
ンカ−コ−ト層等を介して、溶融押し出しラミネ−トし
て溶融押し出し樹脂層からなる無機酸化物の蒸着膜を保
護する保護樹脂層を形成して、本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用保護シ−トを製造することができるもので
ある。更に、本発明においては、上記で調製した樹脂組
成物を使用し、これを、例えば、ロ−ルコ−ト、グラビ
アロ−ルコ−ト、キスコ−ト、その他等の塗布法で塗布
し、前述の無機酸化物の蒸着膜を設けた基材シ−トの無
機酸化物の蒸着膜の面に、上記の樹脂組成物による塗布
膜からなる無機酸化物の蒸着膜を保護する保護樹脂層を
形成して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ
−トを製造することができるものである。なお、上記に
おいて、保護樹脂層の厚さとしては、エチレン−酢酸ビ
ニル系樹脂等からなる充填剤層の熱収縮等に対し追従
し、その影響を無機酸化物の蒸着膜に与えない程度の膜
厚であることが好ましく、具体的には、例えば、１０〜
５００μｍ位、より好ましくは、２０〜１００μｍ位が
望ましい。

【００３５】上記において、保護樹脂層を構成する樹脂
としては、まず、太陽光が入射し、これを透過する透明
性を有することが必要であり、また、無機酸化物の蒸着
膜と、要すれば、プライマ−剤層、あるいは、ラミネ−
ト用接着剤層、もしくは、アンカ−コ−ト剤層等を介し
て、接着性を有することも必要である。更に、上記の保
護樹脂層を構成する樹脂としては、保護樹脂層の面にエ
チレン−酢酸ビニル系樹脂等からなる充填剤層の面を対
向させて重ね合わせて加熱加圧する際に、該エチレン−
酢酸ビニル系樹脂等からなる充填剤層の熱による軟化な
いし溶融に対し親和性等を有し、その両者が強固に密接
着し得ると共に冷却時等におけるエチレン−酢酸ビニル
系樹脂等からなる充填剤層等の熱収縮等の変化に追従
し、その影響を無機酸化物の蒸着膜に与えない性質を有
する樹脂を使用することが好ましいものである。而し
て、本発明において、上記の保護樹脂層を構成する樹脂
としては、具体的には、表面の平滑性を保持する機能を
果たすために熱可塑性を有し、熱の作用により軟化ない
し溶融する性質を有し、更に、耐スクラッチ性、衝撃吸
収性等に優れているポリオレフィン系樹脂の１種ないし
２種以上を使用することが好ましく、具体的には、例え
ば、高圧法低密度ポリエチレン、線状（直鎖状）低密度
ポリエチレン、メタロセン系触媒（シングルサイト系触
媒）を使用して重合したエチレン−α・オレフィン共重
合体等のポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン単独重合
体ないしその共重合体等のポリプロピレン系樹脂、エチ
レン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチレ
ン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重
合体、ポリエチレン系樹脂、あるいは、ポリプロピレン
系樹脂等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコ
ン酸、マレイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で
変性した酸変性ポリオレンフィン系樹脂、環状ポリオレ
フィン系樹脂、その他等の１種ないし２種以上を使用す
ることができる。

【００３６】なお、本発明においては、上記の保護樹脂
層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐
候性等を向上させるために、例えば、架橋剤、熱酸化防
止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他
等の添加剤を任意に添加し、混合することができるもの
である。具体的には、前述と同様に、太陽光中の有害な
紫外線を吸収して、分子内で無害な熱エネルギ−へと変
換し、高分子中の光劣化開始の活性種が励起されるのを
防止する紫外線吸収剤を使用することができ、例えば、
ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−
ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドア
ミン系、超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１〜０．
０６μｍ）あるいは超微粒子酸化亜鉛（０．０１〜０．
０４μｍ）等の無機系ないし有機系等の紫外線吸収剤の
１種ないしそれ以上を使用することができる。また、上
記の酸化防止剤としては、高分子の光劣化あるいは熱劣
化等を防止するものであり、例えば、フェノ−ル系、ア
ミン系、硫黄系、燐酸系、その他等の酸化防止剤を使用
することができる。更に、上記の紫外線吸収剤あるいは
酸化防止剤としては、例えば、ポリマ−を構成する主鎖
または側鎖に、上記のベンゾフェノン系等の紫外線吸収
剤あるいは上記のフェノ−ル系等の酸化防止剤を化学結
合させてなるポリマ−型の紫外線吸収剤あるいは酸化防
止剤等も使用することができる。その添加量としては、
０．１重量％〜１０．０重量％の範囲内位が好ましいも
のである。

【００３７】次にまた、上記のドライラミネ−ト法にお
いて、ラミネ−ト用接着剤層を構成する接着剤として
は、例えば、ポリ酢酸ビニル系接着剤、アクリル酸のエ
チル、ブチル、２−エチルヘキシルエステル等のホモポ
リマ−、あるいは、これらとメタクリル酸メチル、アク
リロニトリル、スチレン等との共重合体等からなるポリ
アクリル酸エステル系接着剤、シアノアクリレ−ト系接
着剤、エチレンと酢酸ビニル、アクリル酸エチル、アク
リル酸、メタクリル酸等のモノマ−との共重合体等から
なるエチレン共重合体系接着剤、セルロ−ス系接着剤、
ポリエステル系接着剤、ポリアミド系接着剤、ポリイミ
ド系接着剤、尿素樹脂またはメラミン樹脂等からなるア
ミノ樹脂系接着剤、フェノ−ル樹脂系接着剤、エポキシ
系接着剤、ポリウレタン系接着剤、反応型（メタ）アク
リル系接着剤、クロロプレンゴム、ニトリルゴム、スチ
レン−ブタジエンゴム等からなるゴム系接着剤、シリコ
−ン系接着剤、アルカリ金属シリケ−ト、低融点ガラス
等からなる無機系接着剤、その他等の接着剤を使用する
ことがてきる。上記の接着剤の組成系は、水性型、溶液
型、エマルジョン型、分散型等のいずれの組成物形態で
もよく、また、その性状は、フィルム・シ−ト状、粉末
状、固形状等のいずれの形態でもよく、更に、接着機構
については、化学反応型、溶剤揮発型、熱溶融型、熱圧
型等のいずれの形態でもよいものである。而して、上記
の接着剤は、例えば、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ル
コ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法、あるい
は、印刷法等によって施すことができ、そのコ−ティン
グ量としては、０．１〜１０ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が
望ましい。なお、本発明において、樹脂のフィルムない
しシ−トを使用し、ドライラミネ−トによる積層を行う
場合には、その表面に、予め、コロナ放電処理、オゾン
処理、あるいは、プラズマ放電処理等の表面改質前処理
を任意に施すことがてきるものである。なお、上記のラ
ミネ−ト用接着剤中には、紫外線劣化等を防止するため
に、前述の紫外線吸収剤および／または酸化防止剤を同
様に添加することができる。

【００３８】また、上記の溶融押し出しラミネ−ト法に
おいて、より強固な接着強度を得るために、例えば、ア
ンカ−コ−ト剤等のアンカ−コ−ト剤層を介して、積層
することができる。上記のアンカ−コ−ト剤としては、
例えば、アルキルチタネ−ト等の有機チタン系、イソシ
アネ−ト系、ポリエチレンイミン系、ポリプタジエン
系、その他等の水性ないし油性の各種のアンカ−コ−ト
剤を使用することができる。上記のアンカ−コ−ト剤
は、例えば、ロ−ルコ−ト、グラビアロ−ルコ−ト、キ
スコ−ト、その他等のコ−ティング法を用いてコ−ティ
ングすることができ、そのコ−ティング量としては、
０．１〜５ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が望ましい。

【００３９】なお、本発明においては、無機酸化物の蒸
着膜の面と保護樹脂層の面との密接着性を改善するため
に、それらの一方の面または両面に、更に、例えば、予
め、プライマ−剤層等を任意に形成して、表面処理層と
することもできる。上記のプライマ−剤層を構成するプ
ライマ−剤としては、例えば、ポリエステル系樹脂、ポ
リアミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹
脂、フェノ−ル系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、ポリ
酢酸ビニル系樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレ
ン等のポリオレフィン系樹脂あるいはその共重合体ない
し変性樹脂、セルロ−ス系樹脂、その他等をビヒクルの
主成分とする樹脂組成物を使用することができる。具体
的に、本発明において、プライマ−剤層について説明す
ると、かかるプライマ−剤層としては、まず、上記に例
示したポリウレタン系樹脂等の１種あいし２種以上をビ
ヒクルの主成分とし、該ポリウレタン系樹脂等１〜３０
重量％に対し、シランカップリング剤０．０５〜１０重
量％位、好ましくは、０．１重量％〜５重量％位、充填
剤０．１〜２０重量％位、好ましくは、１〜１０重量％
位の割合で添加し、更に、必要ならば、安定剤、硬化
剤、架橋剤、滑剤、紫外線吸収剤、その他等の添加剤を
任意に添加し、溶媒、希釈剤等を加えて充分に混合して
樹脂組成物を調整し、而して、該樹脂組成物を使用し、
これを、例えば、ロ−ルコ−ト、グラビアコ−ト、ナイ
フコ−ト、デップコ−ト、スプレイコ−ト、その他のコ
−ティング法等により、前述の無機酸化物の蒸着膜の上
にコ−ティングし、しかる後、コ−ティング膜を乾燥さ
せて溶媒、希釈剤等を除去し、更に、要すれば、エ−ジ
ング処理等を行って、本発明にかかるプライマ−剤層を
形成することができる。なお、本発明において、プライ
マ−剤層の膜厚としては、例えば、０．１ｇ／ｍ² 〜
５．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が望ましい。而して、本
発明においては、上記のようなプライマ−剤層により、
無機酸化物の蒸着膜と保護樹脂層との密接着性等を向上
させると共にプライマ−剤層の伸長度を向上させ、例え
ば、加熱圧着等の後加工適性を向上させ、後加工時にお
ける無機酸化物の蒸着膜のクラック、傷等の発生を防止
するものである。

【００４０】なお、本発明において、プライマ−剤層を
構成するビヒクルとしては、特に、ポリウレタン系樹脂
を使用することが好ましく、而して、そのポリウレタン
系樹脂としては、例えば、多官能イソシアネ−トとヒド
ロキシル基含有化合物との反応により得られるポリウレ
タン系樹脂を使用することができる。具体的には、例え
ば、トリレンジイソシアナ−ト、ジフェニルメタンジイ
ソシアナ−ト、ポリメチレンポリフェニレンポリイソシ
アナ−ト等の芳香族ポリイソシアナ−ト、あるいは、ヘ
キサメチレンジイソシアナ−ト、キシリレンジイソシア
ナ−ト等の脂肪族ポリイソシアナ−ト等の多官能イソシ
アネ−トと、ポリエ−テルポリオ−ル、ポリエステルポ
リオ−ル、ポリアクリレ−トポリオ−ル、その他等のヒ
ドロキシル基含有化合物との反応により得られる一液な
いし二液硬化型のポリウレタン系樹脂を使用することが
できる。而して、本発明において、上記のようなポリウ
レタン系樹脂を使用することにより、無機酸化物の蒸着
膜と保護樹脂層との密接着性等を向上させると共にプラ
イマ−剤層の伸長度を向上させ、例えば、加熱圧着等の
後加工適性を向上させ、後加工時における無機酸化物の
蒸着膜のクラック、傷等の発生を防止するものである。

【００４１】次にまた、上記において、プライマ−剤を
構成するシランカップリング剤としては、二元反応性を
有する有機官能性シランモノマ−類を使用することがで
き、例えば、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、
ビニルトリクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、
ビニル−トリス（β−メトキシエトキシ）シラン、γ−
メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、β−
（３、４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキ
シシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン、ビニルトリアセトキシシラン、γ−メルカプトプロ
ピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）−γ
−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノ
エチル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラ
ン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビス
（β−ヒドロキシエチル）−γ−アミノプロピルトリエ
トキシシラン、γ−アミノプロピルシリコ−ンの水溶液
等の１種ないしそれ以上を使用することができる。

【００４２】上記のようなシランカップリング剤は、そ
の分子の一端にある官能基、通常、クロロ、アルコキ
シ、または、アセトキシ基等が加水分解し、シラノ−ル
基（ＳｉＯＨ）を形成し、これが、無機酸化物の蒸着膜
を構成する金属、あるいは、無機酸化物の蒸着膜表面上
の活性な基、例えば、水酸基等の官能基と何らかの作用
により、例えば、脱水縮合反応等の反応を起こして、無
機酸化物の蒸着膜表面上にシランカップリング剤が共有
結合等で修飾され、更に、シラノ−ル基自体の無機酸化
物の蒸着膜表面に吸着や水素結合等により強固な結合を
形成する。他方、シランカップリング剤の他端にあるビ
ニル、メタクリロキシ、アミノ、エポキシ、あるいは、
メルカプト等の有機官能基が、そのシランカップリング
剤の薄膜の上に形成される、例えば、ラミネ−ト用接着
剤層、アンカ−コ−ト剤層、その他の層等を構成する物
質と反応して強固な結合を形成し、更に、上記のラミネ
−ト用接着剤層、アンカ−コ−ト剤層等を介して、保護
樹脂層が強固に密接着して、そのラミネ−ト強度を高
め、このようにして、本発明においては、ラミネ−ト強
度の高い強固な積層構造を形成可能とするものである。
本発明においては、シランカップリング剤が有する無機
性と有機性とを利用し、無機酸化物の蒸着膜と、接着剤
層あるいはアンカ−コ−ト剤層を介して、保護樹脂層と
の密接着性を向上させ、これにより、そのラミネ−ト強
度等を高めることができるものである。

【００４３】次に、本発明において、上記のプライマ−
剤を構成する充填剤としては、例えば、炭酸カルシウ
ム、硫酸バリウム、アルミナホワイト、シリカ、タル
ク、ガラスフリット、樹脂粉末、その他等のものを使用
することができる。 而して、上記の充填剤は、樹脂組
成物液の粘度等を調製し、そのコ−ティング適性を向上
させると共にバインダ−樹脂としてのポリウレタン系樹
脂等とシランカップリング剤を介して結合し、コ−ティ
ング膜の凝集力を向上させるものである。

【００４４】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを構成する太陽電池モジュ−ル用保護
シ−トの下に積層する充填剤層について説明すると、か
かる充填剤層としては、太陽光が入射し、これを透過す
る透明性を有することが必要であり、また、表面保護シ
−トとの接着性を有することも必要であり、更に、光起
電力素子としての太陽電池素子の表面の平滑性を保持す
る機能を果たすために熱可塑性を有すること、更には、
光起電力素子としての太陽電池素子の保護とういことか
ら、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れていることが
必要である。具体的には、上記の充填剤層としては、例
えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、
アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、または、メ
タクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレ
ン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリ
オレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マレイン
酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性
ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル樹脂、
シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）アクリル
系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の混合物
を使用することができる。なお、本発明においては、上
記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光性、耐
水性等の耐候性等を向上させるために、その透明性を損
なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止剤、光安
定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等の添加剤
を任意に添加し、混合することができるものである。而
して、本発明においては、太陽光の入射側の充填剤とし
ては、耐光性、耐熱性、耐水性等の耐候性を考慮する
と、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル系樹脂が望ま
しい素材である。なお、上記の充填剤層の厚さとして
は、２００〜１０００μｍ位、好ましくは、３５０〜６
００μｍ位が望ましい。

【００４５】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、単結晶シリコン型太陽電池素子、多結
晶シリコン型太陽電池素子等の結晶シリコン太陽電子素
子、シングル接合型あるいはタンデム構造型等からなる
アモルファスシリコン太陽電池素子、ガリウムヒ素（Ｇ
ａＡｓ）やインジウム燐（ＩｎＰ）等のIII −V 族化合
物半導体太陽電子素子、カドミウムテルル（ＣｄＴｅ）
や銅インジウムセレナイド（ＣｕＩｎＳｅ₂ ）等のII−
VI族化合物半導体太陽電子素子、その他等を使用するこ
とができる。更に、薄膜多結晶性シリコン太陽電池素
子、薄膜微結晶性シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリ
コン太陽電池素子とアモルファスシリコン太陽電池素子
とのハイブリット素子等も使用することができる。而し
て、本発明において、太陽電池素子は、例えば、ガラス
基板、プラスチック基板、金属基板、その他等の基板の
上に、ｐｎ接合構造等の結晶シリコン、ｐ−ｉ−ｎ接合
構造等のアモルファスシリコン、化合物半導体等の起電
力部分が形成されて太陽電池素子を構成するものであ
る。

【００４６】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層につ
いて説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤
層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも
必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子
の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性
を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池
素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収
性等に優れていることが必要である。しかし、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層す
る充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、
透明性を有することを必要としないものである。具体的
には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様
に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル
樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）ア
クリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の
混合物を使用することができる。なお、本発明において
は、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光
性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透明
性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。なお、上記の充填剤層の厚さとしては、２００〜
１０００μｍ位、より好ましくは、３５０〜６００μｍ
位が望ましい。

【００４７】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−
ト層について説明すると、かかる裏面保護シ−トとして
は、絶縁性の樹脂のフィルムないしシ−トを使用するこ
とができ、更に、耐熱性、耐光性、耐水性等の耐候性を
有し、物理的あるいは化学的強度性、強靱性等に優れ、
更に、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とうい
ことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れている
ことが必要である。上記の裏面保護シ−トとしては、具
体的には、例えば、ポリアミド系樹脂（各種のナイロ
ン）、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン系樹脂、ポリ
プロピレン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリス
チレン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系
樹脂、セルロ−ス系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、そ
の他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用する
ことができる。上記の樹脂のフィルムないしシ−トとし
ては、例えば、２軸延伸した樹脂のフィルムないしシ−
トも使用することができる。また、上記の樹脂のフィル
ムないしシ−トにおいて、その膜厚としては、１２〜２
００μｍ位、より好ましくは、２５〜１５０μｍ位が望
ましい。また、本発明において、上記の太陽電池モジュ
−ルを構成する通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ
−トとしては、上記のような樹脂のフィルムないしシ−
トに、例えば、アルミニウム箔等の金属箔を積層した積
層材、あるいは、金属板、その他等も使用することがで
きる。

【００４８】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、低密度ポリエチレン、
中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度
ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン
共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ
−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレ
ン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペ
ンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系
樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹
脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−ス
チレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ
ビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合
体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセ
タ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−
ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから
任意に選択して使用することができる。本発明におい
て、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ない
し二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用
することができる。また、その厚さは、任意であるが、
数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使用するこ
とができる。更に、本発明においては、フィルムないし
シ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成
膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。

【００４９】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トを使用して太陽電池モジ
ュ−ルを製造する方法について説明すると、かかる製造
法についてその一例を例示すれば、公知の方法、例え
ば、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを
太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを構成する保護
樹脂層の面に、エチレン−酢酸ビニル系樹脂等からなる
充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、エチレ
ン−酢酸ビニル系樹脂等からなる充填剤層、および、通
常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト等を対向させ
て、順次に積層し、更に、必要ならば、各層間に、その
他の素材を任意に積層し、次いで、これらを、真空吸引
等により一体化して加熱圧着するラミネ−ション法等の
通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体として
加熱圧着成形して、太陽電池モジュ−ルを製造すること
ができる。上記において、必要ならば、各層間の接着性
等を高めるために、（メタ）アクリル系樹脂、オレフィ
ン系樹脂、ビニル系樹脂、その他等の樹脂をビヒクルの
主成分とする加熱溶融型接着剤、溶剤型接着剤、光硬化
型接着剤、その他等を使用することができる。

【００５０】なお、上記の積層において、各積層対向面
には、密接着性を向上させるために、必要に応じて、例
えば、コロナ放電処理、オゾン処理、酸素ガス若しくは
窒素ガス等を用いた低温プラズマ処理、グロ−放電処
理、化学薬品等を用いて処理する酸化処理、その他等の
前処理を任意に施すことができる。更に、上記の積層に
おいては、各積層対向面に、予め、プライマ−コ−ト剤
層、アンダ−コ−ト剤層、接着剤層、あるいは、アンカ
−コ−ト剤層等を任意に形成して、表面前処理を行うこ
ともできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリウレ
タン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリエチ
レンあるいはポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂
あるいはその共重合体ないし変性樹脂、セルロ−ス系樹
脂、その他等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使
用することができる。また、上記において、コ−ト剤層
の形成法としては、例えば、溶剤型、水性型、あるい
は、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−
ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他
等のコ−ト法を用いてコ−トすることができる。

【００５１】

【実施例】以下に本発明について実施例を挙げて更に具
体的に本発明を説明する。 実施例１ （１）．基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トを使用し、これを巻き取り式真空
蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これをコ
−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、ア
ルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、
エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸
着法により、上記のポリジシクロペンタジエン樹脂シ−
トの易接着処理面に、膜厚５００Åの酸化アルミニウム
の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄
膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化アルミニウ
ムの蒸着薄膜面に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用
し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ₂ ）：ア
ルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用
し、混合ガス圧６Ｘ１０^-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ
／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行っ
て、プラズマ処理面を形成した。 （２）．次に、上記で形成した酸化アルミニウムの蒸着
膜のプラズマ処理面に、ポリウレタン系樹脂の初期縮合
物に、エポキシ系のシランカップリング剤（８．０重量
％）とブロッキング防止剤（１．０重量％）を添加し、
十分に混練してなるプライマ−剤組成物を使用し、これ
をグラビアロ−ルコ−ト法により、膜厚０．４ｇ／ｍ²
（乾燥状態）になるようにコ−ティングしてプライマ−
剤層を形成した。更に、上記で形成したプライマ−剤層
の面に、更に、２液硬化型のウレタン系アンカ−コ−ト
剤を使用し、これを、上記と同様に、グラビアロ−ルコ
−ト法により、膜厚０．１ｇ／ｍ² （乾燥状態）になる
ようにコ−ティングしてアンカ−コ−ト剤層を形成し
た。次に、上記で形成したアンカ−コ−ト剤層の面に、
メタロセン系触媒（シングルサイト系触媒）を使用して
重合したエチレン−α・オレフィン共重合体に、紫外線
吸収剤として、超微粒子酸化チタン（粒子径、０．０１
〜０．０６μｍ）を添加し（３重量％）、十分に混練し
てなる樹脂組成物を使用し、これを押出機を用いて溶融
押し出しラミネ−トして、厚さ７０μｍのポリエチレン
樹脂層を押し出しラミネ−ト積層して、本発明にかかる
太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用保護シ−トを使用し、その厚さ７０μｍの
ポリエチレン樹脂層の面に、厚さ４００μｍのエチレン
−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコンか
らなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４０
０μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アク
リル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ルを製造した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代
えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ
−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明に
かかる保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。

【００５２】実施例２ （１）．基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トを使用し、これをプラズマ化学気
相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、更に、これをコ
−ティングドラムの上に繰り出して、上記のポリジシク
ロペンタジエン樹脂シ−トの易接着処理面に、下記の条
件で、厚さ５００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成
した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、
上記の実施例１と同様にして、プラズマ処理面を形成し
た。 （２）．次に、上記で形成した酸化珪素の蒸着膜のプラ
ズマ処理面に、以下、上記の実施例１と全く同様にし
て、上記の実施例１と同様に、同様な本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジ
ュ−ルを製造することができた。なお、上記において、
上記の基材としての厚さ１００μｍのポリジシクロペン
タジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ１００μｍのポリシ
クロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様
にして、同様な本発明にかかる保護シ−ト、および、太
陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００５３】実施例３ （１）．基材として、厚さ５０μｍのテトラフルオロエ
チレンとエチレンとのコポリマ−（ＥＴＦＥ）からなる
フッ素系樹脂シ−トを使用し、これを巻き取り式真空蒸
着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これをコ−
ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、アル
ミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、エ
レクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着
法により、上記のフッ素系樹脂シ−トの一方の面に、膜
厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄
膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化アルミニウ
ムの蒸着薄膜面に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用
し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ₂ ）：ア
ルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用
し、混合ガス圧６Ｘ１０^-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ
／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行っ
て、プラズマ処理面を形成した。 （２）．次に、上記で形成した酸化アルミニウムの蒸着
膜のプラズマ処理面に、以下、上記の実施例１と全く同
様にして、上記の実施例１と同様に、同様な本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電
池モジュ−ルを製造することができた。また、上記の厚
さ５０μｍのテトラフルオロエチレンとエチレンとのコ
ポリマ−（ＥＴＦＥ）からなるフッ素系樹脂シ−トに代
えて、基材シ−トとして、ポリフッ化ビニル系樹脂シ−
ト（ＰＶＦ）を使用しても、同様な結果を得た。

【００５４】実施例４ （１）．基材として、厚さ５０μｍのテトラフルオロエ
チレンとエチレンとのコポリマ−（ＥＴＦＥ）からなる
フッ素系樹脂シ−トを使用し、これをプラズマ化学気相
成長装置の送り出しロ−ルに装着し、更に、これをコ−
ティングドラムの上に繰り出して、上記のフッ素系樹脂
シ−トの一方の面に、下記の条件で、厚さ５００Åの酸
化珪素の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成
した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、
上記の実施例１と同様にして、プラズマ処理面を形成し
た。 （２）．次に、上記で形成した酸化珪素の蒸着膜のプラ
ズマ処理面に、以下、上記の実施例１と全く同様にし
て、上記の実施例１と同様に、同様な本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジ
ュ−ルを製造することができた。また、上記の厚さ５０
μｍのテトラフルオロエチレンとエチレンとのコポリマ
−（ＥＴＦＥ）からなるフッ素系樹脂シ−トに代えて、
基材シ−トとして、ポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト（Ｐ
ＶＦ）を使用しても、同様な結果を得た。

【００５５】実施例５ （１）．基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トを使用し、これをプラズマ化学気
相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、更に、これをコ
−ティングドラムの上に繰り出して、上記のポリジシク
ロペンタジエン樹脂シ−トの易接着処理面に、下記の条
件で、厚さ５００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成
した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、
上記の実施例と同様にして、プラズマ処理面を形成し
た。 （２）．次に、上記で形成した酸化珪素の蒸着膜のプラ
ズマ処理面に、ポリウレタン系樹脂の初期縮合物に、エ
ポキシ系のシランカップリング剤（８．０重量％）とブ
ロッキング防止剤（１．０重量％）を添加し、十分に混
練してなるプライマ−剤組成物を使用し、これをグラビ
アロ−ルコ−ト法により、膜厚０．４ｇ／ｍ² （乾燥状
態）になるようにコ−ティングしてプライマ−剤層を形
成した。更に、上記で形成したプライマ−剤層の面に、
２液硬化型のポリウレタン系ラミネ−ト用接着剤を使用
し、これを、上記と同様に、グラビアロ−ルコ−ト法に
より、膜厚４．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）になるようにコ
−ティングしてラミネ−ト用接着剤層を形成した。次
に、上記で形成したラミネ−ト用接着剤層面に、ベンゾ
フェノン系紫外線吸収剤を練り込み加工してなる（３重
量％）厚さ７０μｍのメタロセン系触媒（シングルサイ
ト系触媒）を使用して重合したエチレン−α・オレフィ
ン共重合体フィルムを、そのコロナ処理面を対向させて
重ね合わせ、しかる後、その両者をドライラミネ−ト積
層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを使用し、その厚さ７０μｍのメタロセン系触
媒（シングルサイト系触媒）を使用して重合したエチレ
ン−α・オレフィン共重合体フィルムの面に、厚さ４０
０μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモル
ファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した
厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフ
ィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合
体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子面を上
に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層し
て、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代
えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ
−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明に
かかる表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを
製造することができた。

【００５６】実施例６ （１）．基材として、厚さ５０μｍのテトラフルオロエ
チレンとエチレンとのコポリマ−（ＥＴＦＥ）からなる
フッ素系樹脂シ−トを使用し、これをプラズマ化学気相
成長装置の送り出しロ−ルに装着し、更に、これをコ−
ティングドラムの上に繰り出して、上記のフッ素系樹脂
シ−トの一方の面に、下記の条件で、厚さ５００Åの酸
化珪素の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成
した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、
上記の実施例１と同様にして、プラズマ処理面を形成し
た。 （２）．次に、上記で形成した酸化珪素の蒸着膜のプラ
ズマ処理面に、以下、上記の実施例５と全く同様にし
て、上記の実施例５と同様に、本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ル
を製造することができた。また、上記の厚さ５０μｍの
テトラフルオロエチレンとエチレンとのコポリマ−（Ｅ
ＴＦＥ）からなるフッ素系樹脂シ−トに代えて、基材シ
−トとして、ポリフッ化ビニル系樹脂シ−ト（ＰＶＦ）
を使用しても、同様な結果を得た。

【００５７】実施例７ （１）．基材として、紫外線吸収剤を練り込んだ厚さ１
００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用
し、これをプラズマ化学気相成長装置の送り出しロ−ル
に装着し、下記の条件で厚さ５００Åの酸化珪素の蒸着
薄膜を上記のポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トの易
接着処理面形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成
した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着薄膜面
に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロ
ナ放電処理を行って、蒸着薄膜面の表面張力を３５ｄｙ
ｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させた。 （２）．次に、上記でコロナ処理を行った酸化珪素の蒸
着薄膜を形成したポリジシクロペンタジエン樹脂シ−ト
を使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送り出しロ
−ルに装着し、次いで、これをコ−ティングドラムの上
に繰り出して、下記の条件で、アルミニウムを蒸着源に
用い、酸素ガスを供給しながら、エレクトロンビ−ム
（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸着法により、上記の
ポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トの酸化珪素の蒸着
薄膜のコロナ処理面に、膜厚５００Åの酸化アルミニウ
ムの蒸着薄膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄
膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化アルミニウ
ムの蒸着薄膜面に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用
し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ₂ ）：ア
ルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用
し、混合ガス圧６Ｘ１０^-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ
／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行っ
て、プラズマ処理面を形成した。 （３）．次に、上記で形成した酸化アルミニウムの蒸着
膜のプラズマ処理面に、以下、上記の実施例１と全く同
様にして、上記の実施例１と同様に、同様な本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電
池モジュ−ルを製造することができた。なお、上記にお
いて、上記の基材としての紫外線吸収剤を練り込んだ厚
さ１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに
代えて、紫外線吸収剤を練り込み加工した厚さ1 ００μ
ｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記
と全く同様にして、同様な本発明にかかる保護シ−ト、
および、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００５８】実施例８ （１）．基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記の実施例１と同様
にして、その易接着処理面に、膜厚５００Åの酸化アル
ミニウムの蒸着薄膜を形成し、更に、プラズマ処理面を
形成した。更に、上記の実施例１と同様にして、上記で
形成した膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜の
プラズマ処理面に、同様に、膜厚５００Åの酸化アルミ
ニウムの蒸着薄膜を形成し、更に、プラズマ処理面を形
成した。 （２）．次に、上記で形成した酸化アルミニウムの蒸着
薄膜のプラズマ処理面に、以下、上記の実施例１と全く
同様にして、上記の実施例１と同様に、同様な本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽
電池モジュ−ルを製造することができた。なお、上記に
おいて、上記の基材として、厚さ１００μｍのポリジシ
クロペンタジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ1 ００μｍ
のポリシクロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と
全く同様にして、同様な本発明にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造
することができた。

【００５９】実施例９ （１）．基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記の実施例２と同様
にして、その易接着処理面に、膜厚５００Åの酸化珪素
の蒸着薄膜を形成し、更に、プラズマ処理面を形成し
た。更に、上記の実施例２と同様にして、上記で形成し
た膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜のプラズマ処理面
に、同様に、膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成
し、更に、プラズマ処理面を形成した。 （２）．次に、上記で形成した酸化珪素の蒸着膜のプラ
ズマ処理面に、以下、上記の実施例１と全く同様にし
て、上記の実施例１と同様に、同様な本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、および、太陽電池モジ
ュ−ルを製造することができた。なお、上記において、
上記の基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペン
タジエン樹脂シ−トに代えて、厚さ1 ００μｍのポリシ
クロペンタジエン樹脂シ−トを使用し、上記と全く同様
にして、同様な本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを製造すること
ができた。

【００６０】実施例１０ （１）．上記の実施例２で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トと
して使用し、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−
ト（ＰＶＦ）、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル
共重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電
池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエ
チレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチ
レン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽
電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その保護樹脂層の
面を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向け
て、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発
明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代
えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ
−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明に
かかる表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを
製造することができた。

【００６１】実施例１１ （１）．上記の実施例２で製造した太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トとして使用し、そ
の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その保護樹
脂層の面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共
重合体シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、および、上記の太陽電
池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、その保護樹脂層の面
を対向させ、かつ、その太陽電池素子面を上に向けて、
アクリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明に
かかる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （２）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
１００μｍのポリジシクロペンタジエン樹脂シ−トに代
えて、厚さ１００μｍのポリシクロペンタジエン樹脂シ
−トを使用し、上記と全く同様にして、同様な本発明に
かかる表面保護シ−ト、および、太陽電池モジュ−ルを
製造することができた。

【００６２】比較例１ 基材として、厚さ３ｍｍのガラス板を太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トとして使用し、その一方の面に、厚
さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、
アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配
置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ
−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル
共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子
面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積
層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００６３】比較例２ 基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペンタジエ
ン樹脂シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
して使用し、その一方の面に、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコン
からなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アク
リル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。

【００６４】比較例３ 基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂シ−
ト（ＰＶＦ）を太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トと
して使用し、その一方の面に、厚さ４００μｍのエチレ
ン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、アモルファスシリコン
からなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍの
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム、厚さ４
００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、およ
び、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−
トフィルムを、その太陽電池素子面を上に向けて、アク
リル系樹脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。

【００６５】比較例４ （１）．基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トを使用し、これを巻き取り式真空
蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、これをコ
−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件で、ア
ルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しながら、
エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応真空蒸
着法により、上記のポリジシクロペンタジエン樹脂シ−
トの易接着処理面に、膜厚５００Åの酸化アルミニウム
の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚５００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄
膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化アルミニウ
ムの蒸着薄膜面に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用
し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ₂ ）：ア
ルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用
し、混合ガス圧６Ｘ１０^-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ
／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行っ
て、プラズマ処理面を形成して、太陽電池モジュ−ル用
保護シ−トを製造した。 （２）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化アルミニウムの蒸着膜のプラズマ処理
面に、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体
シ−ト、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を
並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテ
レフタレ−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢
酸ビニル共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸
延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽
電池素子面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を
介して積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００６６】比較例５ （１）．基材として、厚さ１００μｍのポリジシクロペ
ンタジエン樹脂シ−トを使用し、これをプラズマ化学気
相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、更に、これをコ
−ティングドラムの上に繰り出して、上記のポリジシク
ロペンタジエン樹脂シ−トの易接着処理面に、下記の条
件で、厚さ５００Åの酸化珪素の蒸着膜を形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で膜厚５００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成
した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着膜面に、
上記の比較例４と同様にして、プラズマ処理面を形成し
て、太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造した。 （２）．次に、上記で製造した太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トを太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トとして
使用し、その酸化珪素の蒸着膜のプラズマ処理面に、厚
さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−ト、
アモルファスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配
置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ
−トフィルム、厚さ４００μｍのエチレン−酢酸ビニル
共重合体シ−ト、および、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリ
エチレンテレフタレ−トフィルムを、その太陽電池素子
面を上に向けて、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積
層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００６７】実験例 上記の実施例１〜１１で製造した本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用保護シ−トと比較例１〜５にかかる太陽
電池モジュ−ル用保護シ−トについて、温度８５℃湿度
９０％の高温多湿状態に１０００時間放置した後、全光
線透過率を測定し、また、上記の実施例１〜１１で製造
した太陽電池モジュ−ルと比較例１〜５で製造した太陽
電池モジュ−ルについて、温度８５℃湿度９０％の高温
多湿状態に１０００時間放置した後、太陽電池モジュ−
ル評価試験を行った。 （１）．全光線透過率の測定 これは、基材シ−トを基準とし、実施例１〜１１で製造
した本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トと
比較例１〜５にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト
についてカラ−コンピュ−タ−により全光線透過率
（％）を測定した。 （２）．太陽電池モジュ−ル評価試験 これは、ＪＩＳ規格Ｃ８９１７−１９８９に基づいて、
太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起
電力の出力を測定して、比較評価した。 （３）．水蒸気透過度と酸素透過度の測定 水蒸気透過度は、実施例１〜１１で製造した本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トと比較例１〜５に
かかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トについて、前者
は、その保護樹脂層の面に、後者は、その一方の面また
は酸化アルミニウムの蒸着膜もしくは酸化珪素の蒸着膜
のプラズマ処理面に（比較例４、同５）、厚さ４００μ
ｍのエチレン−酢酸ビニル共重合体シ−トを、アクリル
系樹脂の接着剤層を介して積層した積層材について、温
度４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（Ｍ
ＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マトラン（ＰＥ
ＲＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定し、更に、酸素透過度は、
上記と同様の対象物について、温度２３℃、湿度９０％
ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定
機〔機種名、オクストラン（ＯＸＴＲＡＮ）〕にて測定
した。上記の測定結果について下記の表１に示す。

【００６８】 上記の表１において、全光線透過率の単位は、〔％〕で
あり、水蒸気バリア性の単位は、〔ｇ／ｍ² ／ｄａｙ・
４０℃・１００％ＲＨ〕であり、酸素バリア性の単位
は、〔ｃｃ／ｍ² ／ｄａｙ・２３℃・９０％ＲＨ〕であ
り、出力低下率の単位は、〔％〕である。

【００６９】上記の表１に示す測定結果より明らかなよ
うに、実施例１〜１１にかかる太陽電池モジュ−ル用保
護シ−トは、全光線透過率が高く、また、水蒸気バリア
性、酸素バリア性に優れていた。また、上記の実施例１
〜１１にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−トを用い
た太陽電池モジュ−ルは、出力低下率も低いものであっ
た。これに対し、比較例１〜５にかかる太陽電池モジュ
−ル用保護シ−トは、全光線透過率は、高いものの、水
蒸気バリア性、酸素バリア性が低く、そのために、それ
を用いた太陽電池モジュ−ルは、出力低下率が高い等の
問題点があった。

【００７０】

【発明の効果】以上の説明で明らかなよう、本発明は、
まず、環状ポリオレフィン系樹脂あるいはフッ素系樹脂
等の強靱な樹脂のフィルムないしシ−トを基材シ−トと
して使用し、その片面に、酸化珪素、あるいは、酸化ア
ルミニウム等の透明な、ガラス質からなる無機酸化物の
蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の上に、
該無機酸化物の蒸着膜を保護する保護樹脂層を設けて太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トを製造し、而して、該太
陽電池モジュ−ル用保護シ−トを、少なくとも、太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−トとして使用し、例えば、
該太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを、その保護樹
脂層の面を内側にし、エチレン−酢酸ビニル系樹脂から
なる充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、エ
チレン−酢酸ビニル系樹脂からなる充填剤層、および、
通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト層等を順次
に積層し、次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱
圧着するラミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ
−ルを製造して、太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト
を構成する無機酸化物の蒸着膜に傷、クラック等が入る
のを防止することができ、かつ、太陽光の透過性に優
れ、また、強度に優れ、更に、耐候性、耐熱性、耐水
性、耐光性、耐風圧性、耐降雹性、耐薬品性、防湿性、
防汚性、耐突き刺し性、その他等の諸特性に優れ、特
に、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上
させ、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、極めて耐
久性に富み、保護能力が高く、かつ、より低コストで安
全な太陽電池モジュ−ルを安定的に製造し得ることがで
きるというものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図２】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図３】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用保護シ−
トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図
である。

【図４】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。

【図５】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。

【図６】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルつ
いてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図であ
る。

【図７】物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す巻き取り式真空蒸
着装置の概略的構成図である。

【図８】化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す低温プラズマ化学
気相成長装置の概略的構成図である。

【符号の説明】

Ａ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ₁ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト Ａ₂ 太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト １ 基材シ−ト ２ 無機酸化物の蒸着膜 ２ａ 無機酸化物の蒸着膜 ２ｂ 無機酸化物の蒸着膜 ３ 多層膜 ４ 複合膜 Ｔ 太陽電池モジュ−ル Ｔ₁ 太陽電池モジュ−ル Ｔ₂ 太陽電池モジュ−ル １１ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト １２ 充填剤層 １３ 太陽電池素子 １４ 充填剤層 １５ 通常の太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト １６ 太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−ト １７ 通常の太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト

フロントページの続き (72)発明者 大川 晃次郎 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 高澤 和幸 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 芳片 邦聡 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 鈴浦 泰樹 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 5F051 BA03 BA15 BA18 EA01 EA18 GA05 JA02 JA05

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基材シ−トの一方の面に、無機酸化物の
   蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の面に、該
   無機酸化物の蒸着膜を保護する保護樹脂層を設けること
   を特徴とする太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。
2. 【請求項２】 基材シ−トが、フッ素系樹脂シ−ト、環
   状ポリオレフィン系樹脂シ−ト、ポリカ−ボネ−ト系樹
   脂シ−ト、ポリ（メタ）アクリル系樹脂シ−ト、ポリア
   ミド系樹脂シ−ト、または、ポリエステル系樹脂シ−ト
   からなることを特徴とする上記の請求項１に記載する太
   陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。
3. 【請求項３】 無機酸化物の蒸着膜が、無機酸化物の蒸
   着膜の１層若しくは２層以上の多層膜、または、異種の
   無機酸化物の蒸着膜の２層以上の複合膜からなることを
   特徴とする上記の請求項１〜２に記載する太陽電池モジ
   ュ−ル用保護シ−ト。
4. 【請求項４】 無機酸化物の蒸着膜が、膜厚５０Å以上
   〜４０００Å以下からなることを特徴とする上記の請求
   項１〜３に記載する太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト。
5. 【請求項５】 保護樹脂層が、熱の作用により軟化ない
   し溶融し、無機酸化物の蒸着膜を保護する樹脂層からな
   ることを特徴とする上記の請求項１〜４に記載する太陽
   電池モジュ−ル用保護シ−ト。
6. 【請求項６】 保護樹脂層が、ポリオレフィン系樹脂を
   主成分とする樹脂層からなることを特徴とする上記の請
   求項１〜５に記載する太陽電池モジュ−ル用保護シ−
   ト。
7. 【請求項７】 保護樹脂層が、ラミネ−ト用接着剤層を
   介して、ドライラミネ−ト法により積層されることを特
   徴とする上記の請求項１〜６に記載する太陽電池モジュ
   −ル用保護シ−ト。
8. 【請求項８】 保護樹脂層が、アンカ−コ−ト剤層を介
   して、溶融押し出しラミネ−ト法により積層されること
   を特徴とする上記の請求項１〜６に記載する太陽電池モ
   ジュ−ル用保護シ−ト。
9. 【請求項９】 基材シ−トの一方の面に、無機酸化物の
   蒸着膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着膜の面に、該
   無機酸化物の蒸着膜を保護する保護樹脂層を設けた構成
   からなる太陽電池モジュ−ル用保護シ−ト、充填剤層、
   光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、およ
   び、太陽電池モジュ−ル用裏面保護シ−トを、上記の太
   陽電池モジュ−ル用保護シ−トの保護樹脂層の面に、上
   記の充填剤層の面とを対向させて、順次に積層し、更
   に、これらを真空吸引して加熱圧着ラミネ−ション法等
   により一体化成形体としたことを特徴とする太陽電池モ
   ジュ−ル。