JP2001280576A - Conduit connecting device - Google Patents
Conduit connecting deviceInfo
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- JP2001280576A JP2001280576A JP2000094533A JP2000094533A JP2001280576A JP 2001280576 A JP2001280576 A JP 2001280576A JP 2000094533 A JP2000094533 A JP 2000094533A JP 2000094533 A JP2000094533 A JP 2000094533A JP 2001280576 A JP2001280576 A JP 2001280576A
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- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、TiやZrといっ
た耐火金属を塩化物の還元により製造する製造工程にお
いて、MgおよびMgCl2の分離するのに用いられる装置の
導管接続装置に関する。The present invention relates, in a process of manufacturing by reduction of chloride refractory metals such as Ti and Zr, relates conduit connection device of an apparatus used for the separation of Mg and MgCl 2.
【0002】[0002]
【従来の技術】Tiの製造法の一例としては、Tiの原
料からTiの塩化物を得て、このTiの塩化物をMgに
より還元し、スポンジチタンを得る方法が広く行われて
いる。スポンジチタンには、未反応のMgとMgCl2
が含有されているため、このスポンジチタンを蒸留槽へ
移し、Mg及びMgCl2を分離する。2. Description of the Related Art As an example of a method for producing Ti, a method of obtaining Ti chloride from a Ti raw material and reducing the Ti chloride with Mg to obtain sponge titanium is widely used. Unreacted Mg and MgCl 2 are contained in titanium sponge.
Is contained, the sponge titanium is transferred to a distillation tank to separate Mg and MgCl 2 .
【0003】そして、Tiの製造工程においては、各種
装置が提案されている。例えば、製造すべき金属の塩化
物を溶融したMgで還元し、さらに析出金属を加熱し、M
gおよびMgCl2を気化分離するための還元蒸発室
と、気化したMgおよびMgCl2を冷却凝縮する凝縮
室から構成して、両室が互いに並置され、かつ加熱手段
を講じた接続管で連結された構造とした装置が提案され
ている(特願昭57−93698号)。この装置では、
凝縮室の構成に還元蒸発室と共通の筒体が用いられ、こ
の筒体の内壁の壁面上にMgおよびMgCl2を析出さ
せ両室の接続を解いた後、還元蒸発室に配置され、次反
応に供される。In the production process of Ti, various devices have been proposed. For example, the chloride of the metal to be produced is reduced with molten Mg, the deposited metal is further heated, and M
g and MgCl 2 , and a condensing chamber for cooling and condensing the vaporized Mg and MgCl 2 , both chambers being juxtaposed with each other and connected by a connecting pipe provided with heating means. An apparatus having such a structure has been proposed (Japanese Patent Application No. 57-93698). In this device,
A common cylinder is used for the condensing chamber and the reduction evaporation chamber. Mg and MgCl 2 are deposited on the inner wall surface of the cylinder to disconnect the two chambers, and then disposed in the reduction evaporation chamber. Provided for reaction.
【0004】接続管は、両室の頂部もしくは中間部にお
いて、分離可能なように機械的手段により継合される。
上記特許出願に係る装置の接続管および流体導管は、管
内を流れるMgおよびMgCl2などの流動性を保つた
めに管壁を充分高温に保つ必要があり、一方、各接続端
に設けられたフランジ及び両フランジに挟装された耐熱
ゴム等のパッキングは、パッキングのシール性能を維持
するためにフランジ部の水冷等の手段により熱劣化を防
ぐ必要があった。しかしながら、設計上の制約や、装置
設置場所の制約等の理由により、フランジ径を小さくと
った場合、管の接続部、すなわち冷却されるフランジ領
域において壁温の低下が生じ、MgおよびMgCl2な
どが析出しやすいという不都合が生じる。Mgの析出が
生じた場合、Mgは熱伝導率が高く冷却されやすいた
め、Mg上に更にMgの析出が生じ、結果的に管詰まり
を生じ易くなるという問題があった。[0004] The connecting pipes are detachably joined at the top or middle of both chambers by mechanical means.
The connecting pipe and the fluid conduit of the apparatus according to the above-mentioned patent application require that the pipe wall be maintained at a sufficiently high temperature in order to maintain the fluidity of Mg and MgCl 2 flowing in the pipe, while the flange provided at each connecting end is required. In addition, in order to maintain the sealing performance of the packing, it is necessary to prevent heat deterioration of the packing made of heat-resistant rubber or the like sandwiched between both flanges by means such as water cooling of the flange portion. However, if the flange diameter is reduced due to design restrictions or restrictions on the installation location of the apparatus, a decrease in wall temperature occurs at the pipe connection part, that is, in the flange area to be cooled, such as Mg and MgCl 2. Disadvantageously tends to precipitate. When Mg is deposited, Mg has a problem that Mg has high thermal conductivity and is easily cooled, so that Mg is further deposited on Mg and, as a result, a tube is easily clogged.
【0005】上記のような問題点を解決するために、互
いに対向した接続すべき二部分から成る移送用の管体
を、各管体部分の対向端部に到るまで管体内面を流体が
流動性を保持しうる高温度で加熱する加熱手段、および
両管体部分を気密に連結するカップリング手段を有する
高温流体導管の接続技術が提案されている(特開昭59
−80593号公報参照)。この技術では、接続すべき
管体部分の加熱は、例えば管壁を二重にし、油やガスの
燃焼または電熱により、内管と外管との間に加熱領域を
設置することで実質的に接続端に到る領域にまで加熱が
行われる。また、接続端は、加熱時の膨張を考慮し、使
用温度にて両端が接触しない限りの小さい間隔を置いて
配置される。[0005] In order to solve the above-mentioned problems, a transfer tube composed of two parts to be connected to each other is connected to each other so that a fluid flows through the inner surface of the tube until it reaches the opposite end of each tube part. There has been proposed a technique for connecting a high-temperature fluid conduit having a heating means for heating at a high temperature capable of maintaining fluidity, and a coupling means for airtightly connecting both pipe portions (Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-1984).
-80593). In this technique, the heating of the pipe section to be connected is substantially achieved by, for example, doubling the pipe wall and installing a heating area between the inner pipe and the outer pipe by burning oil or gas or electric heating. Heating is performed up to a region reaching the connection end. In addition, the connection ends are arranged at small intervals as long as both ends do not come into contact at a use temperature in consideration of expansion during heating.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記特開昭59−80
593号公報のような技術では、接続する容器の微妙な
位置ずれにより、高温流体導管と容器との連結作業は困
難なものであった。また、接続管の熱膨張、冷却時の収
縮による管の変形、パッキングの熱劣化を防止するため
に設けられたフランジ冷却による接続端部のMg析出の
問題などは、十分に解決はされていない。さらに、蒸発
分離工程に一度使用された接続管は、還元蒸発室および
凝縮室から切り離された後は、破壊され廃棄処分となる
ため高コストが問題であった。さらに二重管構造におい
て、外管と内管との間において電熱ヒータ等による加熱
を行うが、この際に内外圧力差による内管の変形や、内
外管の破損が生じ易いという不都合がある。SUMMARY OF THE INVENTION The above-mentioned JP-A-59-80 is disclosed.
In the technique as disclosed in Japanese Patent No. 593, it is difficult to connect the high-temperature fluid conduit and the container due to a slight displacement of the connected container. In addition, problems such as thermal expansion of the connection pipe, deformation of the pipe due to contraction during cooling, and precipitation of Mg at the connection end due to flange cooling provided to prevent thermal deterioration of the packing have not been sufficiently solved. . Furthermore, the connecting pipe once used in the evaporative separation step is destroyed after being separated from the reduction evaporating chamber and the condensing chamber and is disposed of. Further, in the double-pipe structure, heating by an electric heater or the like is performed between the outer pipe and the inner pipe. At this time, there is an inconvenience that the inner pipe may be easily deformed due to a pressure difference between the inner and outer pipes or the inner and outer pipes may be easily damaged.
【0007】さらに、内管内部は例えば750℃以上を
維持するため、鋼管の端部には熱膨張による応力歪みが
発生することである。管内温度の上昇に伴い管伸びが発
生した際、その伸びを吸収する構造を持たないため、管
破損が発生する場合がある。管破損により、管の再使用
が不可能となり、破棄が頻発すると、コスト高の問題が
生じる。破損に至らずとも、管の伸縮による変形が生
じ、再使用時に、導管への接続が困難となるため、接続
管の再使用可能回数は低くなる。また、破損により管内
へ酸素および窒素が侵入し、製品Tiの質の低下が生じ
ることになる。Further, since the inside of the inner tube is maintained at, for example, 750 ° C. or more, stress distortion occurs due to thermal expansion at the end of the steel tube. When pipe elongation occurs due to an increase in the temperature in the pipe, the pipe does not have a structure to absorb the elongation, so that pipe breakage may occur. If the pipe is broken, the pipe cannot be reused, and if it is frequently discarded, a problem of high cost arises. Even if the pipe is not damaged, the pipe is deformed due to expansion and contraction, and it is difficult to connect the pipe to the pipe at the time of re-use. In addition, oxygen and nitrogen enter the pipe due to the damage, and the quality of the product Ti is deteriorated.
【0008】本発明の目的は、管の熱膨張による応力歪
みや圧力差による管の変形を緩和することで管の破損を
防止し、管の再使用を多数回可能とする導管接続装置を
提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a pipe connecting device which prevents damage to a pipe by relaxing stress deformation due to thermal expansion of the pipe and deformation of the pipe due to a pressure difference, thereby enabling reuse of the pipe many times. Is to do.
【0009】本発明の目的は、管の熱膨張による応力歪
みを緩和し管変形を防ぐことで、管の再使用の際に、導
管と接続管のフランジ接続の位置や傾きの調整を容易と
し、設置容易な導管接続装置を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to alleviate stress distortion caused by thermal expansion of a pipe and prevent the pipe from deforming, thereby facilitating the adjustment of the position and inclination of the flange connection between the pipe and the connecting pipe when the pipe is reused. To provide a conduit connecting device that is easy to install.
【0010】本発明の他の目的は、管の熱膨張による応
力歪みを緩和し管変形を防うことで、接続管の設置およ
び非破壊にて取り外しを行うことを容易とし、さらに熱
によるガスケットの熱劣化を防止することでガスケット
再使用を多数回可能とする導管接続装置を提供すること
にある。Another object of the present invention is to alleviate the stress distortion caused by the thermal expansion of the pipe and prevent the pipe from being deformed, thereby facilitating the installation and non-destructive removal of the connecting pipe, and further, the gasket by heat. It is an object of the present invention to provide a conduit connecting device capable of reusing a gasket many times by preventing thermal deterioration of the gasket.
【0011】本発明のさらなる目的は、管破損が生じた
際にも、二重管および気密構造により、系内への酸素お
よび窒素の侵入を防ぎ、高品質Tiの供給を可能とする
導管接続装置を提供することにある。It is a further object of the present invention to provide a pipe connection which can prevent oxygen and nitrogen from entering the system and can supply high quality Ti even when the pipe breaks due to the double pipe and airtight structure. It is to provide a device.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】上記課題は、本発明の請
求項1に係る導管接続装置によれば、反応容器側に設け
られた導管と、回収容器側に設けられた導管と、反応容
器側の導管と回収容器側の導管とを接続管で接続する導
管接続装置において、前記接続管は、内管と外管とから
なる二重構造として構成され、内管と外管との間に配設
された加熱部及び断熱部と、接続管の両端側に形成され
たフランジと、該フランジより接続管内側に配設された
ベローズと、フランジ接続部と、を備え、前記反応容器
側及び回収容器側に設けられた導管は、前記各容器と連
通すると共に、少なくとも接続管側は内管と外管とから
なる二重構造として構成され、内管と外管との間に配設
された加熱部及び断熱部と、前記接続管との接続側端部
に形成されたフランジと、を備え、前記導管と接続管と
の間にガスケットを介して接続したことにより解決され
る。According to a first aspect of the present invention, there is provided a conduit connecting apparatus, a conduit provided on a reaction vessel side, a conduit provided on a recovery vessel side, and a reaction vessel. In the conduit connecting device for connecting the conduit on the side and the conduit on the collection container side with a connecting pipe, the connecting pipe is configured as a double structure consisting of an inner pipe and an outer pipe, and between the inner pipe and the outer pipe. The heating section and the heat insulating section provided, a flange formed at both ends of the connection pipe, a bellows provided inside the connection pipe from the flange, and a flange connection section, the reaction vessel side and The conduit provided on the collection container side communicates with each of the containers, and at least the connection tube side is configured as a double structure including an inner tube and an outer tube, and is disposed between the inner tube and the outer tube. The heating section and the heat insulation section, and a flange formed at the connection side end of the connection pipe. Comprising di, and is solved by connecting through a gasket between the connection pipe and the conduit.
【0013】より、具体的には、前記導管と前記接続管
の外管は分離部が形成され、該分離部をベローズで覆っ
て形成されるように構成する。また、前記導管のフラン
ジと接続管のフランジとの間には、弾性を備えたガスケ
ットを配設するように構成する。前記導管のフランジと
接続管のフランジには、前記弾性を備えたガスケットを
冷却して保護するために、水冷ジャケットが配設され
る。さらに前記接続管のフランジは、前記外管と連結さ
れた支持部で支持されたタイロッドと連結支持され、前
記フランジ接続部が位置調節可能に形成されている。ま
た、前記ベローズは二重構造で構成されている。[0013] More specifically, the conduit and the outer tube of the connecting tube are formed so that a separation portion is formed and the separation portion is covered with a bellows. An elastic gasket is provided between the flange of the conduit and the flange of the connecting pipe. Water cooling jackets are provided on the flange of the conduit and the flange of the connecting pipe to cool and protect the elastic gasket. Further, the flange of the connection pipe is connected and supported by a tie rod supported by a support connected to the outer pipe, and the flange connection is formed so as to be adjustable in position. The bellows has a double structure.
【0014】よって、外管分離部およびベローズによ
り、管の熱膨張による応力歪みは吸収され、管の破損や
変形を防止し、管の再使用が多数回可能となる。また管
の熱膨張による応力歪みを緩和し管変形を防くことで、
再使用の際には、導管と接続管のフランジ接続の位置や
傾きの調整を容易とし、接続管設置を容易とすることが
可能となる。また接続管の設置および非破壊にて取り外
しを行うことが容易となる。さらに熱によるガスケット
の熱劣化を防止することでガスケット再使用を多数回可
能とする。このように、接続管やガスケットの再使用回
数が多数回増加することでコスト低減が可能となる。Therefore, the outer pipe separating portion and the bellows absorb the stress and strain caused by the thermal expansion of the pipe, prevent the pipe from being damaged or deformed, and enable the pipe to be reused many times. Also, by relaxing stress distortion due to thermal expansion of the tube and preventing tube deformation,
At the time of reuse, the position and inclination of the flange connection between the conduit and the connecting pipe can be easily adjusted, and the connecting pipe can be easily installed. In addition, it is easy to install and remove the connecting pipe in a non-destructive manner. Further, the gasket can be reused many times by preventing the gasket from being thermally degraded due to heat. As described above, the cost can be reduced by increasing the number of reuses of the connection pipe and the gasket many times.
【0015】また、管の熱膨張および管内外圧力差を緩
和し、管の破損、変形を防ぎ、また内外管が破損した場
合においても、二重管および気密構造により、反応系へ
の大気雰囲気中からの酸素、窒素の侵入を防止するた
め、高品質な製品Tiを供給することを可能としてい
る。Further, the thermal expansion of the tube and the pressure difference between the inside and outside of the tube are alleviated, and the tube is prevented from being damaged or deformed. In order to prevent intrusion of oxygen and nitrogen from inside, it is possible to supply high quality product Ti.
【0016】[0016]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面に
基づいて説明する。なお、以下に説明する部材,配置等
は本発明を限定するものでなく、本発明の趣旨の範囲内
で種々改変することができるものである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. The members, arrangements, and the like described below do not limit the present invention, and can be variously modified within the scope of the present invention.
【0017】図1乃至図4は本発明の一実施例を示すも
のであり、図1は真空蒸発分離装置の導管接続装置の概
略図、図2は導管接続装置の接続管の概略図、図3は図
2に示される接続管のA−A断面概略図、図4は真空蒸
発分離装置の全体構成図である。FIGS. 1 to 4 show an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a schematic view of a conduit connecting device of a vacuum evaporative separator, and FIG. 2 is a schematic diagram of a connecting pipe of the conduit connecting device. 3 is a schematic cross-sectional view taken along line AA of the connecting pipe shown in FIG. 2, and FIG. 4 is an overall configuration diagram of the vacuum evaporation separation apparatus.
【0018】本例では、TiをTiCl4のMg還元に
より製造する方法において、生成したスポンジチタンか
ら混在するMgおよびMgCl2を真空蒸発分離する方
法について述べる。また、Ti以外に、Zr等の精製に
おける、高融点を示す高温流体に対応した導管接続装置
に適用されることは勿論である。In this embodiment, a method for producing Ti by Mg reduction of TiCl 4 in which Mg and MgCl 2 mixed in from sponge titanium produced are separated by vacuum evaporation will be described. In addition to the use of Ti, it is needless to say that the present invention is applied to a pipe connecting device corresponding to a high-temperature fluid exhibiting a high melting point in the purification of Zr or the like.
【0019】本発明の真空蒸発分離装置の全体構成図
は、図4に示すとおりである。蒸発されるべきMg及び
MgCl2が混在したスポンジチタンが内在する円筒状
反応容器52と、この反応容器を加熱して気化、分離さ
れたMg及びMgCl2を冷却、凝縮、固化させる円筒
状回収容器53と、導管接続管装置51から構成され
る。導管接続装置51の両端に反応容器52、53が配
置接続され、反応容器52、53が並置され、下方へ吊
られたような形態となる。FIG. 4 shows the overall configuration of the vacuum evaporation separation apparatus of the present invention. A cylindrical reaction vessel 52 containing sponge titanium mixed with Mg and MgCl 2 to be evaporated, and a cylindrical recovery vessel for heating this reaction vessel to cool, condense and solidify the separated Mg and MgCl 2 by vaporization and separation. 53 and a conduit connecting pipe device 51. The reaction vessels 52 and 53 are arranged and connected to both ends of the conduit connection device 51, and the reaction vessels 52 and 53 are juxtaposed and suspended downward.
【0020】導管接続管51は、導管部1a、1b、接
続管2から構成される。両容器52、53の上部には上
部蓋54、55が設けられ、上部蓋54、55には、上
方向に向かって導管部1a、1bが接続されている。上
部蓋54、55と導管部1a、1bが接続することで、
両容器52、53は支持されている。導管部1a、1b
の上方にのびた管は、容器52、53の支持を強固に維
持するために真空蒸発分離装置外に設置されている架
台、壁部等に固定支持される。The conduit connecting pipe 51 is composed of the conduit sections 1a and 1b and the connecting pipe 2. Upper lids 54, 55 are provided on the upper portions of both containers 52, 53, and the upper lids 54, 55 are connected to conduit portions 1a, 1b in the upward direction. By connecting the upper lids 54, 55 and the conduit portions 1a, 1b,
Both containers 52, 53 are supported. Conduits 1a, 1b
The tube extending upward is fixedly supported by a gantry, a wall, or the like installed outside the vacuum evaporator / separator in order to maintain the support of the containers 52 and 53 firmly.
【0021】さらに、導管部1a、1bは、上部蓋5
4、55接続部より上方にのびた管部途中の側面より、
水平方向へむかって管がのび、導管部1a、1bの間に
接続管2を挟んで、導管部1aと接続管2、導管部1b
と接続管2が各々接続される。Further, the conduit portions 1a and 1b are
4, 55 From the side in the middle of the pipe extending above the connection,
The pipe extends in the horizontal direction, and the connecting pipe 2 is sandwiched between the pipe sections 1a and 1b.
And the connection pipe 2 are respectively connected.
【0022】円筒状反応容器52は、上部蓋54を介し
支持されている。外筒を被覆する電熱炉の、上部に設け
られた電熱炉上部シール部と、容器52上部に上部蓋5
4とが、水平位置あわせを行うことにより、円筒状反応
容器52は伝熱炉内に気密に配置される。円筒状反応容
器52は電熱炉内の電熱部には直接触れないように、電
熱炉内に宙づりの形状にて支持されている。The cylindrical reaction vessel 52 is supported via an upper lid 54. An electric furnace upper seal portion provided on the upper part of the electric furnace covering the outer cylinder, and an upper cover 5
4 performs horizontal alignment, so that the cylindrical reaction vessel 52 is airtightly arranged in the heat transfer furnace. The cylindrical reaction vessel 52 is supported in a suspended shape in the electric furnace so as not to directly touch the electric heating section in the electric furnace.
【0023】さらに、円筒状反応容器52底部よりやや
上方位置の容器側面より、水平方向から垂直かつ上方向
へと、電熱炉外までのびる注入管が設けられる。この管
は、反応物質の注入に使用される。Further, an injection pipe extending from the horizontal direction to the vertical and upward directions from the side of the vessel slightly above the bottom of the cylindrical reaction vessel 52 to the outside of the electric furnace is provided. This tube is used for the injection of the reactants.
【0024】円筒状回収容器53の内筒および外筒は、
円筒状反応容器52のそれと同一構成であり、空の内筒
が上部蓋55により支持される。円筒状回収容器53
は、外筒を被覆する冷却炉の、上部に設けられた冷却炉
上部シール部と、容器53上部の上部蓋55とが、水平
位置あわせを行うことにより、冷却炉内に支持され配置
される。冷却は水冷等により行われる。The inner and outer cylinders of the cylindrical recovery container 53 are
It has the same configuration as that of the cylindrical reaction vessel 52, and an empty inner cylinder is supported by the upper lid 55. Cylindrical collection container 53
In the cooling furnace for covering the outer cylinder, the cooling furnace upper seal portion provided at the upper part and the upper lid 55 on the upper part of the container 53 are supported and arranged in the cooling furnace by performing horizontal alignment. . Cooling is performed by water cooling or the like.
【0025】さらに、円筒状回収容器53底部よりやや
上方位置の容器側面より、水平方向から垂直かつ上方向
へと、冷却炉外までのびる注入管が設けられる。この管
は、反応物質の注入に使用されるためのものであるが、
この円筒状容器は、蒸発分離側、および分離された物質
を回収する側、さらには別工程において還元反応を行う
ための還元反応側等に、いずれの側にも容器を設置する
ことができるように、設計製作されている。Further, an injection pipe extending from the horizontal direction to the vertical and upward direction from the side of the container slightly above the bottom of the cylindrical recovery container 53 to the outside of the cooling furnace is provided. This tube is intended for use in injecting reactants,
This cylindrical container can be provided with a container on any side, such as on the side of evaporating and separating, and on the side for collecting separated substances, and further on the side of reduction reaction for performing a reduction reaction in another step. It is designed and manufactured.
【0026】よって円筒状回収容器53に設けられてい
る、上方にのびる注入管は、回収工程においては使用の
必要はない場合があるが、還元反応工程にて、この注入
管より、例えばTiCl4を注入することができる。Therefore, the injection pipe extending upward provided in the cylindrical recovery container 53 may not be used in the recovery step. However, in the reduction reaction step, for example, TiCl 4 is supplied from this injection pipe. Can be injected.
【0027】円筒状反応容器52および円筒状回収容器
53の材質は、ステンレス鋼である。なおステンレス鋼
の種類は適宜選択する。ここで説明する蒸発分離工程
は、一工程に対し、一つの円筒状容器を使用する、バッ
チ処理を行い、工程終了後は円筒状容器は破壊され破棄
される。また円筒状反応容器は別途製造ラインにて製作
されている。The material of the cylindrical reaction vessel 52 and the cylindrical recovery vessel 53 is stainless steel. The type of stainless steel is appropriately selected. In the evaporative separation process described here, a batch process is performed using one cylindrical container for one process, and after the process is completed, the cylindrical container is destroyed and discarded. Further, the cylindrical reaction vessel is separately manufactured on a production line.
【0028】この反応容器52内に充填されているスポ
ンジチタンから、不純物であるMg及びMgCl2の蒸
発分離について述べる。この際、装置系内の減圧を行
い、1.3×10−2Pa程度の真空状態とし、反応容
器内温度950℃へ加熱する。The evaporation and separation of impurities Mg and MgCl 2 from titanium sponge filled in the reaction vessel 52 will be described. At this time, the pressure in the apparatus system is reduced to a vacuum state of about 1.3 × 10 −2 Pa, and the reaction vessel is heated to a temperature of 950 ° C.
【0029】気化されたMg及びMgCl2は導管接続
装置51中を高温流体の状態で流動し、回収容器53へ
導入される。回収容器53の外表面を水冷することによ
り、回収容器53内筒内においてMg及びMgCl2は
析出される。The vaporized Mg and MgCl 2 flow in the conduit connecting device 51 as a high-temperature fluid, and are introduced into the recovery container 53. By cooling the outer surface of the recovery container 53 with water, Mg and MgCl 2 are precipitated in the inner cylinder of the recovery container 53.
【0030】反応容器52と回収容器53内は上部蓋5
4、55部分で導管部1a、1bより、それぞれ取り外
し破壊され、容器内物質が取り出される。なお、ここで
取り外された導管接続装置51は、次工程にて、再使用
される。従来導管接続装置1本あたり30回程度の再使
用であったのに対して、本発明の場合100回程度まで
の再使用可能が確認された。The inside of the reaction vessel 52 and the collection vessel 53 are provided with an upper lid 5.
At portions 4 and 55, they are detached and broken from the conduit portions 1a and 1b, respectively, and the substance in the container is removed. The detached conduit connecting device 51 is reused in the next step. It has been confirmed that the conventional pipe connection device can be reused up to about 30 times, but the present invention can be reused up to about 100 times.
【0031】次に導管接続装置51について図1より説
明する。図1で示される導管接続装置は図4における5
1部分に相当する。両容器の導管部分1a、1b及び接
続管2は、次の各条件を満足する必要がある。Mg及び
MgCl2蒸気が管内で凝縮、固着しないような加熱手
段を有すること、加熱による管体の熱膨張を吸収し得る
構造であって、必要な強度を有すること、製品Tiを汚
染させる大気雰囲気が侵入しない気密接続が可能なこ
と、両容器導管部1a、1bの位置のずれに左右されず
に導管部との接続を容易に行うことが可能な構造である
ことである。Next, the conduit connecting device 51 will be described with reference to FIG. The conduit connection device shown in FIG.
This corresponds to one part. The conduit portions 1a and 1b and the connecting pipe 2 of both containers need to satisfy the following conditions. It has a heating means for preventing Mg and MgCl 2 vapor from condensing and sticking in the tube, a structure capable of absorbing the thermal expansion of the tube due to heating, having a necessary strength, and an atmospheric atmosphere contaminating product Ti. And a structure capable of easily connecting to the conduit portions without being affected by the displacement of the positions of the container conduit portions 1a and 1b.
【0032】両容器52、53頂部の上部蓋54、55
には導管1a、1bが配置接続され、さらに導管1a、
1bに挟まれる位置にて接続管2が連結される。接続管
2は、導管1a、1bの両端部を互いに合わせ連結さ
れ、管方向は水平方向へのびる。導管1a、1b及び接
続管2は、二重管構造であり、材質はステンレス鋼であ
る。例えばSUS316を用いることができるが、ステ
ンレス鋼の種類は適宜選択できる。Upper lids 54, 55 at the tops of both containers 52, 53
Are connected to conduits 1a, 1b,
The connection pipe 2 is connected at a position sandwiched by 1b. The connecting pipe 2 has both ends of the conduits 1a and 1b joined together and connected, and the pipe extends in the horizontal direction. The conduits 1a, 1b and the connecting pipe 2 have a double pipe structure, and are made of stainless steel. For example, SUS316 can be used, but the type of stainless steel can be appropriately selected.
【0033】両容器の導管部分1a、1b及び接続管2
は、それぞれ内管3a、3b、9及び外管4a、4b、
8からなる二重構造である。内管3a、3b、9と外管
4a、4b、8の間の内管側には電熱ヒータ6a、6
b、11が内管周を被う形状で設置され、さらに電熱ヒ
ータの末端部及び外周を被覆する構造で、断熱材7a、
7b、7が充填されている。ここで、Mg及びMgCl
2蒸気が管内で凝縮、固着しないように管内壁温度を少
なくとも750℃に維持することが望ましい。さらに外
管4a、4b、8の内部温度を300℃以下にすること
で、導管部1a、1b、2の強度を外管で確保してい
る。The conduit sections 1a and 1b of both vessels and the connecting pipe 2
Are respectively inner tubes 3a, 3b, 9 and outer tubes 4a, 4b,
8 is a double structure. On the inner tube side between the inner tubes 3a, 3b, 9 and the outer tubes 4a, 4b, 8, electric heaters 6a, 6
b, 11 are installed so as to cover the inner tube circumference, and further cover the end portion and the outer circumference of the electric heater.
7b and 7 are filled. Here, Mg and MgCl
(2) It is desirable to maintain the tube inner wall temperature at least 750 ° C. so that the vapor does not condense and stick in the tube. Further, by setting the internal temperature of the outer tubes 4a, 4b, 8 to 300 ° C. or less, the strength of the conduit portions 1a, 1b, 2 is secured by the outer tubes.
【0034】また、外管は、図2でいうところの、手前
側と、後ろ側とに分離形成され、その内部を貫通するよ
うに内管が設けられている。また、導管接続装置を反応
系と共に減圧するための、真空引口60が1箇所、内管
温度制御のための、電熱ヒータのリード口59が4箇
所、内管温度の測温口61が2箇所、各々外管壁へ装着
され、溶接等の手段で継合される。また、真空引口60
には、空冷を行うために真空引口60の周囲に、ひれ状
に放熱フィン60aを設ける。The outer tube is formed separately on the near side and the rear side as shown in FIG. 2, and the inner tube is provided so as to penetrate the inside. In addition, there is one vacuum port 60 for depressurizing the conduit connecting device together with the reaction system, four electric heater lead ports 59 for controlling the temperature of the inner tube, and two temperature measuring ports 61 for measuring the temperature of the inner tube. Location, each is attached to the outer tube wall and joined by means such as welding. In addition, the vacuum port 60
In order to perform air cooling, fins 60a are provided around the vacuum port 60 in a fin shape.
【0035】図3に示すように、ヒータリード口は管断
面において左右対称位置、および図2に示すように管長
さ方向において、管長さの中心位置に対し左右対称位置
の計4箇所設置となる。つまり、電熱ヒータおよび、そ
れを被う断熱材12は、図2でいうところの右手前、左
手前、右後ろ、左後ろへ、外管中に4対設置されること
になる。測温口61は図3に示すように、水平方向対称
位置に、すなわち図2でいうところの手前側と後ろ側へ
の2箇所設置されることになる。As shown in FIG. 3, the heater lead ports are installed at four symmetrical positions in the cross section of the pipe, and as shown in FIG. 2, at four symmetrical positions with respect to the center of the pipe length in the pipe length direction. . In other words, four pairs of the electric heater and the heat insulating material 12 covering the electric heater are provided in the outer tube in the right front, the left front, the right rear, and the left rear in FIG. As shown in FIG. 3, the temperature measuring ports 61 are installed at two positions symmetrical in the horizontal direction, that is, at the front side and the rear side as shown in FIG.
【0036】ここで、二重管内部も反応系内と同様に減
圧を行うことにより、管内外の圧力差によって高温の内
管が変形することを防止する。さらにTiは非常に活性
な金属であるため、酸化および窒化されやすく、管損傷
により大気雰囲気が管内へリークした場合に、製品Ti
を汚染する酸素、窒素が反応系内へ侵入しないような気
密構造としている。内管内部は、導管と接続管の連結部
の隙間にガスケットを挟み込み密閉することで、気密構
造としている。Here, the inside of the double tube is depressurized similarly to the inside of the reaction system, thereby preventing the high temperature inner tube from being deformed due to the pressure difference between the inside and outside of the tube. Furthermore, since Ti is a very active metal, it is easily oxidized and nitrided, and when the air atmosphere leaks into the pipe due to pipe damage, the product Ti
Has an airtight structure so that oxygen and nitrogen contaminating the gas do not enter the reaction system. The inside of the inner pipe has an airtight structure by sandwiching and sealing a gasket in a gap between the connecting portion of the conduit and the connecting pipe.
【0037】次に導管接続装置における接続管の概略図
を示す図2と、図2に示される接続管のA−A断面概略
図を示す図3より、接続管2について説明する。Next, the connecting pipe 2 will be described with reference to FIG. 2 showing a schematic view of the connecting pipe in the conduit connecting apparatus and FIG. 3 showing a schematic sectional view taken along the line AA of the connecting pipe shown in FIG.
【0038】導管1aおよび接続管2の端部における連
結部には、フランジ13a,14aが設けられている。
接続管2は、両端部における連結部に、外管8の外周を
覆うように、円筒状にベローズ15が二重構造にて設置
されている。ベローズ15の材質はステンレス鋼で、そ
の種類は適宜選択される。[0038] Flanges 13a and 14a are provided at the connecting portions at the ends of the conduit 1a and the connecting pipe 2.
The connecting pipe 2 is provided with a bellows 15 having a double structure in a cylindrical shape so as to cover the outer circumference of the outer pipe 8 at a connecting portion at both ends. The material of the bellows 15 is stainless steel, and its type is appropriately selected.
【0039】ここで、連結部におけるベローズ、フラン
ジに関し詳述する。ドーナツ円盤状の形状をなしている
フランジ14aを接続管2の両端に、管方向に対し垂直
に設ける。フランジ14aは、ベローズ15の蛇腹の端
部と、外管周を被うような円筒状の形状で、フランジ−
ベローズ接合部57により接合されている。この接合
は、溶接等の方法により行われる。ドーナツ円盤状のフ
ランジ14aの内側周辺は、外管周壁部に接してはいな
い。Here, the bellows and the flange in the connecting portion will be described in detail. Donut disk-shaped flanges 14a are provided at both ends of the connection pipe 2 perpendicular to the pipe direction. The flange 14a has a cylindrical shape that covers the bellows end of the bellows 15 and the outer tube circumference.
They are joined by a bellows joint 57. This joining is performed by a method such as welding. The inner periphery of the donut disk-shaped flange 14a is not in contact with the outer tube peripheral wall.
【0040】一方、ベローズ15のフランジ連結部側で
はない側、すなわち他端側は、外管壁に垂直に接するド
ーナツ円盤状の支持盤58へ接続形成され、その支持盤
の外周において、等間隔に3点のタイロッド19支持部
を設けている。さらにフランジ14a外周においても、
等間隔に3点のタイロッド19支持部を設けている。ま
た、ベローズ15は二重構造となっており、ベローズ破
損の場合に備えている。このように、フランジ14a
と、外管壁に接するドーナツ円盤状の支持盤58との間
に、ベローズ15が挟まれるような構造で設置される。On the other hand, the other side of the bellows 15 which is not the flange connecting portion side, that is, the other end side is connected to a donut disk-shaped support plate 58 which is vertically in contact with the outer tube wall. Are provided with three tie rod 19 support portions. Furthermore, also on the outer periphery of the flange 14a,
Three tie rod 19 support portions are provided at equal intervals. Further, the bellows 15 has a double structure, and is prepared in case of bellows breakage. Thus, the flange 14a
The bellows 15 is installed in such a manner that the bellows 15 is sandwiched between the support tube 58 and a donut disk-shaped support plate 58 in contact with the outer tube wall.
【0041】さらに、ガスケット23、24は、フラン
ジ14a面上に同心円状で、外側にガスケット23、内
側にガスケット24となるように、二重に配置する。さ
らにフランジ14a外周部に設けられたタイロッド19
支持部と、外管壁に接するドーナツ円盤状の支持盤に設
けられたタイロッド19支持部は、タイロッド19を管
方向にほぼ平行方向で貫通させ、外管壁に接するドーナ
ツ円盤状の支持盤側のタイロッドをボルト締めにより固
定し、その後、フランジ接続部側のタイロッドのボルト
締め付け具合により、ベローズの伸縮による管位置、水
平位置等が調整され、フランジ14aは、ガスケット2
3、24を介しフランジ13aと圧着連結される。Further, the gaskets 23 and 24 are arranged concentrically on the surface of the flange 14a, doubly arranged so that the gasket 23 is on the outside and the gasket 24 is on the inside. Further, a tie rod 19 provided on the outer peripheral portion of the flange 14a
The support portion and the tie rod 19 support portion provided on the donut disk-shaped support plate contacting the outer tube wall allow the tie rod 19 to penetrate in a direction substantially parallel to the tube direction, and the donut disk-shaped support plate side contacting the outer tube wall. The tie rod is fixed by bolting, and then the pipe position, horizontal position, and the like due to the expansion and contraction of the bellows are adjusted by the bolting condition of the tie rod on the flange connection portion side.
It is crimped and connected to the flange 13a via 3, 24.
【0042】また、フランジ14a上には、ベローズ1
5が設けられているフランジ内部に、ガスケットを高熱
より保護する目的で、水冷ジャケットがドーナツ円盤状
に、ガスケット幅にて設置されている。フランジ13a
上にも同様、連結面側ではない側のフランジ13a面上
に、水冷ジャケットをドーナツ円盤状で、ガスケット幅
にて設置している。The bellows 1 is mounted on the flange 14a.
In order to protect the gasket from high heat, a water-cooled jacket is installed in a donut disk shape with a gasket width inside the flange provided with 5. Flange 13a
Similarly, a water-cooled jacket having a donut disk shape and a gasket width is provided on the flange 13a on the side other than the connection surface side.
【0043】このようにフランジ14aは、両容器導管
部1aのフランジ13aとゴムガスケット23、24を
介してタイロッドが貫通するフランジ接続部におけるボ
ルト締めにより気密に連結される。ここで、ベローズ1
5は、フランジ14aと13aの位置のずれ、傾きの違
いを調整するものである。As described above, the flange 14a is airtightly connected to the flange 13a of both the vessel conduit portions 1a by the bolts at the flange connection portions through which the tie rods pass through the rubber gaskets 23 and 24. Here, bellows 1
Numeral 5 is for adjusting the difference in the position and inclination of the flanges 14a and 13a.
【0044】また、接続管の他端側のフランジ14b
と、それに連結される導管側のフランジ13bも先の説
明同様な構造を有し、連結されるため、説明は省略す
る。The flange 14b on the other end of the connection pipe
And the flange 13b on the side of the conduit connected thereto has the same structure as that described above, and is connected, so description thereof will be omitted.
【0045】また、内管3a、3b、9は750℃に加
熱され、外管4a、4b、8は300℃以下に保持され
るため、管の熱膨張の差異が生じる。導管部分が剛体構
造であれば、熱膨張の差異による応力が末端部に集中
し、末端部の変形等による管の耐久性が劣化する。そこ
で本発明では、内管の熱膨張にあわせて外管が伸縮する
ようにそれぞれの外管に外管ベローズ5a、5b、10
を設けている。これらベローズ5a、5b、10の内部
には、外管の伸縮を妨げないための、外管分離部56が
外管の外周に沿って幅約30mmで設けられ、分離部の
開口領域をふさぐように外管内部に接した円筒管59が
設けられる。円筒管59が設けられることで大気雰囲気
が直接外管へ侵入することを防ぎ、分離部56が膨張し
ひろがった場合にも円筒管59幅にマージンを持たせる
ことで、大気雰囲気侵入を防ぐ。この分離部の外側を覆
うように外管ベローズ5a、5b、10が外管外周にド
ーナツ状に設けられている。外管の熱膨張により、この
分離部が拡がり、その拡がりからくる管の伸びを外管ベ
ローズ5a、5b、10が吸収する。外管ベローズはス
テンレス鋼を用い、その種類は適宜選択される。Further, since the inner tubes 3a, 3b, 9 are heated to 750 ° C. and the outer tubes 4a, 4b, 8 are kept at 300 ° C. or less, a difference in the thermal expansion of the tubes occurs. If the conduit portion has a rigid structure, stress due to a difference in thermal expansion is concentrated on the end portion, and the endurance of the tube is deteriorated due to deformation of the end portion. Accordingly, in the present invention, the outer pipes are provided with outer pipe bellows 5a, 5b, 10b so that the outer pipe expands and contracts in accordance with the thermal expansion of the inner pipe.
Is provided. Inside the bellows 5a, 5b, 10, an outer tube separating portion 56 is provided with a width of about 30 mm along the outer periphery of the outer tube so as not to hinder the expansion and contraction of the outer tube so as to cover the opening area of the separating portion. Is provided with a cylindrical tube 59 in contact with the inside of the outer tube. The provision of the cylindrical tube 59 prevents the air atmosphere from directly entering the outer tube. Even when the separating portion 56 expands and spreads, the margin of the width of the cylindrical tube 59 has a margin to prevent the air atmosphere from entering. Outer tube bellows 5a, 5b, 10 are provided in a donut shape on the outer tube outer periphery so as to cover the outside of the separating portion. Due to the thermal expansion of the outer tube, the separation portion expands, and the outer tube bellows 5a, 5b, 10 absorbs the expansion of the tube resulting from the expansion. The outer tube bellows is made of stainless steel, and the type is appropriately selected.
【0046】さらに、内管の熱膨張を妨げないために、
接続管2の連結に際し接続管2の末端部22がフランジ
13aに接触しない位置、すなわちフランジ14aを接
続管2末端部22より1cm程度前方、すなわち導管接
続部のフランジ13a側よりになる位置に、タイロッド
19により位置調整する。このとき、フランジ14aは
外管と接していないため、外管とベローズ15の間に僅
かな隙間を有するが、Mg及びMgCl2蒸気のベロー
ズ部空隙18への侵入、凝固、固着を防ぐために、導管
と接続管の連結部の僅かな隙間へ、弾性を有する、ガラ
ス繊維断熱材ガスケット17をドーナツ円盤状に装着し
挟み込み、気密を保持する。Further, in order not to hinder the thermal expansion of the inner tube,
At the position where the end portion 22 of the connection tube 2 does not contact the flange 13a when connecting the connection tube 2, that is, at a position where the flange 14a is about 1 cm ahead of the connection tube 2 end portion 22, that is, at a position that is closer to the flange 13a side of the conduit connection portion. The position is adjusted by the tie rod 19. At this time, the flange 14a is not in contact with the outer tube, has a slight gap between the outer tube and the bellows 15, entering the Mg and MgCl 2 vapors bellows portion gap 18, coagulation, to prevent sticking, A glass fiber heat insulating gasket 17 having elasticity is mounted in a donut disk shape and sandwiched in a slight gap between the connecting portion of the conduit and the connecting pipe to maintain airtightness.
【0047】導管と接続管の連結後、高温にさらされた
内管の熱膨張からくる外管の伸びは、ベローズ15によ
り吸収させる。さらに本真空蒸発分離装置外に設置され
ている架台などに設置されたエアシリンダ16により、
接続管2下部の一部を支持することで、接続管2の重量
を支持させ、タイロッド19のボルト20およびナット
を充分にゆるめ、内管の熱膨張に伴う外管の伸びをベロ
ーズ15に吸収させる。After the connection between the conduit and the connecting pipe, the expansion of the outer pipe resulting from the thermal expansion of the inner pipe exposed to high temperature is absorbed by the bellows 15. Further, by an air cylinder 16 installed on a stand or the like installed outside the vacuum evaporation separation apparatus,
By supporting a part of the lower part of the connecting pipe 2, the weight of the connecting pipe 2 is supported, the bolt 20 and the nut of the tie rod 19 are sufficiently loosened, and the bellows 15 absorbs the expansion of the outer pipe accompanying the thermal expansion of the inner pipe. Let it.
【0048】また、ベローズ15の蛇腹は管方向に伸縮
し、外管周を覆う二重構造であるため、管の伸びを効率
よく吸収する働きに加え、仮に外管側に存在する内側ベ
ローズが応力ひずみ等により破損した場合に、外側にも
う一方のベローズが存在するので、気密構造が保持され
る。外管とベローズを接続支持する支持盤58側より、
ベローズ内部圧力計62が、二重構造をなすベローズの
ベローズ間へ挿入接続されており、ベローズ破損が生じ
た場合、この圧力計が圧力差を検出し、ベローズ破損を
検知することができる。Further, since the bellows of the bellows 15 have a double structure that expands and contracts in the pipe direction and covers the circumference of the outer pipe, in addition to the function of efficiently absorbing the elongation of the pipe, the inner bellows existing on the outer pipe side may be In the case where the bellows is broken due to stress strain or the like, the other bellows are present outside, so that the airtight structure is maintained. From the support plate 58 side for connecting and supporting the outer tube and the bellows,
A bellows internal pressure gauge 62 is inserted and connected between the bellows of the bellows having a double structure, and when the bellows is broken, the pressure gauge detects a pressure difference and can detect the bellows broken.
【0049】一方、ヒーターからの加熱が遮断されてい
る、ガラス繊維断熱材ガスケット17付近にはMg及び
MgCl2の凝縮固着物が見られるが、分離操業の支障
となるほどではない。よって管詰まりの問題は生じな
い。On the other hand, condensed and condensed substances of Mg and MgCl 2 are observed in the vicinity of the glass fiber insulating gasket 17 where the heating from the heater is cut off, but this does not hinder the separation operation. Therefore, the problem of tube clogging does not occur.
【0050】また本例における装置において、導管接続
装置の気密性を保持するために、各部品の継合は、溶接
手段や、ボルトナット締めを行う箇所においては、各々
パッキング用リングやOリング等を挟めた機械的継合手
段を用いている。In the apparatus of the present embodiment, in order to maintain the airtightness of the conduit connecting device, the parts are joined together by welding means or packing rings and O-rings at the places where bolts and nuts are to be tightened. Is used.
【0051】このように、本発明は、ここでは記載して
いない様々な実施の形態を含むことは勿論である。した
がって、本発明の技術的範囲は、上記の説明から妥当な
特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定めら
れるものである。As described above, the present invention naturally includes various embodiments not described herein. Therefore, the technical scope of the present invention is determined only by the matters specifying the invention according to the claims that are appropriate from the above description.
【0052】[0052]
【発明の効果】以上のように本発明の導管接続装置によ
れば、ベローズと外管分離部により、管の熱膨張を吸収
し、熱膨張による応力歪みを防止、管の変形や破損を防
ぐことが可能となる。As described above, according to the conduit connecting apparatus of the present invention, the bellows and the outer pipe separating portion absorb the thermal expansion of the pipe, prevent stress distortion due to the thermal expansion, and prevent deformation and breakage of the pipe. It becomes possible.
【0053】よって、管の変形が防止されることで、管
を再使用する際に、再接続が容易となる。さらに反応容
器と回収容器との接続において、導管と接続管の位置や
傾きを調整することが可能となり、反応容器と回収容器
との接続が容易となる。Therefore, by preventing the tube from being deformed, it becomes easy to reconnect the tube when it is reused. Further, in the connection between the reaction vessel and the collection vessel, the positions and inclinations of the conduit and the connection pipe can be adjusted, and the connection between the reaction vessel and the collection vessel becomes easy.
【0054】また本発明によれば、加熱による管の熱膨
張からくる破損や変形を防止することにより、接続管の
設置と取り外しを非破壊で行うことを容易とし、さらに
ガスケットの熱劣化を防止することでガスケットの再使
用回数の多数回増加を可能とする。Further, according to the present invention, by preventing breakage and deformation caused by thermal expansion of the pipe due to heating, it is easy to install and remove the connecting pipe in a non-destructive manner, and further to prevent thermal deterioration of the gasket. By doing so, it is possible to increase the number of times the gasket is reused many times.
【0055】以上のように、本発明の導管接続装置によ
れば、接続管の再使用回数を飛躍的に増加することを可
能としている。As described above, according to the conduit connecting device of the present invention, it is possible to dramatically increase the number of reuses of the connecting pipe.
【0056】また本発明によれば、二重構造および気密
接続を保持していることで、破損した場合においても、
反応系内金属の酸素、窒素による汚染を防ぎ、高品質な
金属製品を提供することを可能とする。Further, according to the present invention, by maintaining the double structure and the airtight connection, even in the case of breakage,
It is possible to prevent contamination of the metal in the reaction system by oxygen and nitrogen and to provide a high quality metal product.
【図1】真空蒸発分離装置の導管接続装置の概略図であ
る。FIG. 1 is a schematic view of a conduit connection device of a vacuum evaporation separation device.
【図2】導管接続装置の接続管の概略図である。FIG. 2 is a schematic view of a connecting pipe of the conduit connecting device.
【図3】図2に示される接続管のA−A断面概略図であ
る。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view taken along line AA of the connecting pipe shown in FIG. 2;
【図4】真空蒸発分離装置の全体構成図である。FIG. 4 is an overall configuration diagram of a vacuum evaporation separation apparatus.
1a 高温流体導管 1b 高温流体導管 2 接続管 3a 内管 3b 内管 4a 外管 4b 外管 5a 外管ベローズ 5b 外管ベローズ 6a ヒータ 6b ヒータ 7a 断熱材 7b 断熱材 8 外管 9 内管 10 外管ベローズ 11 ヒータ 12 断熱材 13a フランジ 13b フランジ 14a フランジ 14b フランジ 15 ベローズ 16 エアシリンダ 17 ガラス繊維断熱材ガスケット 18 ベローズ部空隙 19 タイロッド 20 ボルト 21 水冷ジャケット 22 接続管末端部 23 ゴムガスケット 24 ゴムガスケット 51 導管接続装置 52 円筒状反応容器 53 円筒状回収容器 54 上部蓋 55 上部蓋 56 外管分離部 57 フランジ−ベローズ接合部 58 支持盤 59 円筒管 60 真空引口 60a 放熱フィン 61 測温口 62 ベローズ内部圧力計 1a High-temperature fluid conduit 1b High-temperature fluid conduit 2 Connecting pipe 3a Inner pipe 3b Inner pipe 4a Outer pipe 4b Outer pipe 5a Outer pipe bellows 5b Outer pipe bellows 6a Heater 6b Heater 7a Insulating material 7b Heat insulator 8 Outer pipe 9 Inner pipe 10 Outer pipe Bellows 11 Heater 12 Insulation material 13a Flange 13b Flange 14a Flange 14b Flange 15 Bellows 16 Air cylinder 17 Glass fiber insulation gasket 18 Bellows space 19 Tie rod 20 Bolt 21 Water cooling jacket 22 Connection pipe end 23 Rubber gasket 24 Rubber gasket 51 Pipe connection Apparatus 52 Cylindrical reaction vessel 53 Cylindrical recovery vessel 54 Upper lid 55 Upper lid 56 Outer pipe separating part 57 Flange-bellows joint part 58 Support board 59 Cylindrical pipe 60 Vacuum suction port 60a Radiator fin 61 Temperature measuring port 62 Inside bellows Power meter
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F16L 59/04 F16L 59/04 Fターム(参考) 3H025 AA13 AB01 AB05 3H036 AA01 AB12 AC06 AD09 AE07 3H104 JA08 JB02 JC01 JC04 JD09 KA01 KB13 LB05 LB38 LG03 LG30 MA05 MA06 3H111 AA01 BA03 CA16 CB27 CB28 DA15 DA23 DB01 DB27 4K001 AA27 AA31 DA11 EA01 EA05 GA08 GA15 GA19 GB02 GB12 HA02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat ゛ (Reference) F16L 59/04 F16L 59/04 F-term (Reference) 3H025 AA13 AB01 AB05 3H036 AA01 AB12 AC06 AD09 AE07 3H104 JA08 JB02 JC01 JC04 JD09 KA01 KB13 LB05 LB38 LG03 LG30 MA05 MA06 3H111 AA01 BA03 CA16 CB27 CB28 DA15 DA23 DB01 DB27 4K001 AA27 AA31 DA11 EA01 EA05 GA08 GA15 GA19 GB02 GB12 HA02
Claims (6)
器側に設けられた導管と、反応容器側の導管と回収容器
側の導管とを接続管で接続する導管接続装置において、 前記接続管は、内管と外管とからなる二重構造として構
成され、内管と外管との間に配設された加熱部及び断熱
部と、接続管の両端側に形成されたフランジと、該フラ
ンジより接続管内側に配設されたベローズと、フランジ
接続部と、を備え、 前記反応容器側及び回収容器側に設けられた導管は、前
記各容器と連通すると共に、少なくとも接続管側は内管
と外管とからなる二重構造として構成され、内管と外管
との間に配設された加熱部及び断熱部と、前記接続管と
の接続側端部に形成されたフランジと、を備え、前記導
管と接続管との間にガスケットを介して接続したことを
特徴とする導管接続装置。1. A conduit connecting device for connecting a conduit provided on a reaction container side, a conduit provided on a recovery container side, a conduit on a reaction container side and a conduit on a recovery container side with a connecting pipe, wherein the connection The pipe is configured as a double structure consisting of an inner pipe and an outer pipe, a heating section and a heat insulating section disposed between the inner pipe and the outer pipe, and flanges formed on both ends of the connection pipe, A bellows disposed on the inner side of the connection pipe from the flange, and a flange connection portion, wherein the conduits provided on the reaction vessel side and the recovery vessel side communicate with the respective vessels, and at least the connection pipe side A heating unit and a heat insulating unit, which are configured as a double structure including an inner tube and an outer tube, are disposed between the inner tube and the outer tube, and a flange formed at a connection side end of the connection tube. That is connected via a gasket between the conduit and the connecting pipe. Conduit connection apparatus according to claim.
形成され、該分離部をベローズで覆って形成されたこと
を特徴とする請求項1記載の導管接続装置。2. The conduit connection device according to claim 1, wherein a separation portion is formed between the conduit and an outer tube of the connection tube, and the separation portion is formed by covering the separation portion with a bellows.
との間には、弾性を備えたガスケットを配設してなるこ
とを特徴とする請求項1記載の導管接続装置。3. The conduit connecting device according to claim 1, wherein an elastic gasket is disposed between the flange of the conduit and the flange of the connecting pipe.
には、前記弾性を備えたガスケットを冷却して保護する
ために、水冷ジャケットが配設されることを特徴とする
請求項3記載の導管接続装置。4. The conduit according to claim 3, wherein a water cooling jacket is provided on the flange of the conduit and the flange of the connecting tube for cooling and protecting the elastic gasket. Connection device.
結された支持部で支持されたタイロッドと連結支持さ
れ、前記フランジ接続部が位置調節可能に形成されてい
ることを特徴とする請求項1記載の導管接続装置。5. The connecting pipe according to claim 1, wherein the flange is connected to a tie rod supported by a supporting part connected to the outer pipe, and the flange connecting part is formed to be adjustable in position. Item 2. The conduit connecting device according to Item 1.
とを特徴とする請求項1記載の導管接続装置。6. The conduit connecting device according to claim 1, wherein the bellows has a double structure.
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