JP2001272302A

JP2001272302A - レンズアレイの光学性能評価装置

Info

Publication number: JP2001272302A
Application number: JP2000085688A
Authority: JP
Inventors: Tomotaka Takagi; 智孝高城
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Current assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date: 2000-03-27
Filing date: 2000-03-27
Publication date: 2001-10-05

Abstract

(57)【要約】【課題】管理や取り扱いが容易で、検査条件の変更に
も容易に対応でき、レンズアレイ単体の光学性能を精度
よく評価できるようにする。【解決手段】被検査レンズアレイ１０の一方のレンズ
面に対向するように配置したピンホールアレイ１２と、
ピンホールアレイの背後から前記レンズアレイに向けて
検査光を照明する照明装置１４と、スリット１６と受光
素子１８とを有し前記レンズアレイの他方のレンズ面に
対向するように配置した受光装置２０を具備している。
ピンホールアレイは、透明基板２６上の遮光膜２８に多
数のピンホール３０を規則的に形成した構造である。少
なくとも受光装置をレンズアレイに対して相対的に移動
させて、レンズアレイによる空間像の光量分布を測定す
る。ピンホールアレイは、長尺基板に多数のピンホール
を直線的に配列した構造でもよいし、回転円板に多数の
ピンホールを円周状に配列した構造でもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レンズアレイの光
学性能を評価するための装置に関し、更に詳しく述べる
と、ピンホールアレイの背後からレンズアレイに向けて
所定波長の検査光を照明し、スリットを有する受光装置
で空間像の光量分布を測定するレンズアレイの光学性能
評価装置に関するものである。この技術は、特に限定さ
れるものではないが、例えばＬＥＤ（発光ダイオード）
光プリンタのようなページ処理型プリンタ用の屈折率分
布型レンズアレイの光学性能を評価するのに有用であ
る。

【０００２】

【従来の技術】多数のレンズ素子を配列したレンズアレ
イとして、微小なロッド状のレンズ素子（屈折率分布型
ロッドレンズ）を多数、１列又は複数列に規則的に配列
し、全体で１個の連続した像を形成する屈折率分布型ロ
ッドレンズアレイがある。この種のレンズアレイは１対
１結像光学系であるという特徴を有し、ＬＥＤ（発光ダ
イオード）光プリンタなどの書き込み光学系に組み込ま
れている。ＬＥＤ光プリンタは、ＬＥＤアレイの任意の
ＬＥＤ素子を電気信号により選択的に発光させ、それを
レンズアレイを介して感光ドラムに結像させる構成であ
る。

【０００３】このようなＬＥＤ光プリンタは、書き込み
光学系の小形化に適しており、しかも書き込み光学系に
可動部が無いために、コンパクトで信頼性が高い等の特
徴がある。ところが、レンズアレイを構成しているレン
ズ素子に特性のばらつき（僅かな屈折率分布の違い、真
円からのずれなど）あるいは配列の乱れがあると、結像
位置がずれるために、色のにじみや画像の歪みが生じた
り、解像度が低下するなどレンズアレイとしての光学性
能が低下し、印刷品質を低下させる問題が生じる。その
ため、このような光学性能を適切に評価できる技術が必
要となる。

【０００４】ところで屈折率分布型レンズアレイの検査
方法としては、（１）実際に使用する物体像面距離に等しくなるように
テストチャートと受光素子を配置し、それらの中央にレ
ンズアレイを設置して、レンズアレイのレスポンス関数
（ＭＴＦ：Modulation Transfer Function）を測定する
方法（２）上記と同様の検査装置構成で、テストチャートを
取り除き、均一強度の散乱光を入射させた場合のレンズ
アレイの伝達光量と光量むらを測定する方法などがある。

【０００５】しかし、このような検査方法では、規則的
に連なっている点光源の結像位置のずれを正確に評価す
ることは困難である。そのため、ＬＥＤ光プリンタの書
き込み光学系において、実際の使用状態に即した評価技
術の確立が求められている。

【０００６】そこで、このようなＬＥＤ光プリンタ用の
屈折率分布型レンズアレイの光学性能を評価する技術と
して、実機への実装状態と同じように、光源としてＬＥ
Ｄアレイを用いる検査方法がある。多数のＬＥＤ素子が
配列したＬＥＤアレイを、レンズアレイの一方のレンズ
面に対向するように平行に配置し、ＬＥＤ素子を１個お
きに点灯し、レンズアレイを通して得られる空間像をス
リットで走査して、その像の光量分布を測定する方法で
ある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、プリンタヘッ
ドの性能検査の場合と異なり、レンズアレイの検査を行
うためには、同一のＬＥＤアレイを繰り返し使用せざる
を得ず、ＬＥＤアレイ表面に埃や異物が付着するのは避
けられない。そのため、定期的に、あるいは異物が付着
する都度、取り外して清掃する必要があるが、顕微鏡下
での煩瑣な作業となるし、ＬＥＤアレイ表面はデリケー
トなために、埃や異物を完全に取り除くことが難しい。
ＬＥＤアレイの高精細化に伴い、ボンディングワイヤの
高密度化、細径化が進み、清掃時に断線や短絡の危険が
大きいからである。

【０００８】また、ＬＥＤ素子に直接触れることが許さ
れないため、レンズアレイの性能検査に必要な位置測定
が難しい。波長や発光密度の異なる条件での検査には、
ＬＥＤアレイを交換する必要があり、段取り替えに手間
がかかる。更に、ＬＥＤアレイの３次元方向の配列精度
の影響を受けるため、ＬＥＤアレイを交換すると検査結
果も変化し、レンズアレイ単体の正確な評価が難しい。

【０００９】その他、結像面内でのレンズアレイの配列
方向の像の乱れは、走査方向に直交するスリットを用い
て検査できるが、レンズアレイの配列方向に直交する方
向の像の乱れは、傾けたスリットで走査する必要があ
る。その場合、見掛け上の暗部分が狭くなり、解像力が
低く検査されるため、前記両方向での像の乱れを等価に
取り扱えない問題もある。

【００１０】２次元ＣＣＤカメラを使用して結像面のデ
ータを２次元で捉えることも考えられるが、データ取り
込み速度が低いこと、演算処理が複雑になることなどの
問題があり、実用化は困難である。

【００１１】本発明の目的は、管理や取り扱いが容易
で、検査条件の変更にも容易に対応でき、レンズアレイ
単体の光学性能評を精度よく行えるような装置を提供す
ることである。本発明の他の目的は、レンズアレイ配列
方向に直交する方向の像の乱れも適切に評価でき、長尺
のレンズアレイに対しても容易に対応できるようなレン
ズアレイの光学性能評価装置を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、被検査レンズ
アレイの一方のレンズ面に対向するように配置したピン
ホールアレイと、該ピンホールアレイの背後から前記レ
ンズアレイに向けて検査光を照明する照明装置と、スリ
ットと受光素子とを有し前記レンズアレイの他方のレン
ズ面に対向するように配置した受光装置を具備し、前記
ピンホールアレイは、透明基板上の遮光膜に多数のピン
ホールを規則的に形成した構造をなし、少なくとも受光
装置をレンズアレイに対して相対的に移動させて、レン
ズアレイによる空間像の光量分布を測定するようにした
レンズアレイの光学性能評価装置である。

【００１３】ピンホールアレイは、例えば、長尺の透明
基板上に遮光膜を形成し、該遮光膜に多数のピンホール
を直線状に配設した構造とする。このピンホールアレイ
を被検査レンズアレイと平行に設置して、被検査レンズ
アレイに対して相対的に静止もしくはピンホール配列方
向に移動する。

【００１４】ピンホールアレイは、ガラスや石英などの
透明基板上に、蒸着コート等により遮光膜を形成し、該
遮光膜に多数のピンホールを規則的に描画配列したもの
である。例えば、実機で用いるＬＥＤアレイの１ドット
おき点灯の発光パターンに等しい配列パターンとする。
非発光部に相当する部分の遮光性能と、ピンホールから
出射する光線に指向性を与えないこと、の両方のため
に、遮光膜はクロムマスクのような薄膜が好ましい。遮
光体自身に十分な強度をもたせうる金属板に多数のピン
ホールを穿孔する構造も考えられるが、孔寸法に対して
板厚が大きくなるため、出射光が十分に拡散せず、あま
り適当とは言えない。

【００１５】照明装置は、実機で用いるのと同じ発光波
長のＬＥＤ素子（ＬＥＤアレイを構成している微小ＬＥ
Ｄ素子ではなく、より大型のもの）を用いてもよいが、
白色光源と、レンズアレイ使用光の波長に対応した波長
透過特性をもつバンドパスフィルタとの組み合わせで構
成するのが好ましい。特に後者は、バンドパスフィルタ
を交換するだけで異なる発光波長特性のＬＥＤアレイを
模擬できるため、段取り替えが容易となる利点があるか
らである。

【００１６】

【発明の実施の形態】ピンホールアレイとしては、上記
のような長尺構造の他、回転自在の円形の透明基板上に
遮光膜を形成し、該遮光膜に多数のピンホールを円周状
に配設した構造とすることも可能である。このピンホー
ルアレイは、例えば、被検査レンズアレイと平行で且つ
レンズアレイ位置でのピンホール配列の接線方向がレン
ズアレイのレンズ素子配列方向に一致するように設け
る。

【００１７】これらにおいて、遮光膜に多数のピンホー
ルを複数列で且つピッチが異なるように配設した構造と
し、被検査レンズアレイの厚み方向に位置調整可能な構
造とすることもできる。ピンホールアレイが長尺構造の
場合には、多数のピンホールを直線状に複数列形成す
る。ピンホールアレイが円板構造の場合には、多数のピ
ンホールを円周状（円弧状も含む）に複数列形成する。
いずれにしても、位置調整自在とすることにより、検査
パターンを容易に切り替えることができる。

【００１８】あるいはピンホールアレイを、被検査レン
ズアレイと平行で且つレンズアレイ位置でのピンホール
配列の接線方向がレンズアレイのレンズ素子配列方向に
対して角度をもつように（典型的には９０度の向きに）
設ける構成もある。この構成によれば、結像面内でのレ
ンズアレイの配列方向に直交する方向の像の乱れを、解
像力が低下することなく検査できる。そのため、レンズ
アレイ位置でのピンホール配列の接線方向がレンズアレ
イのレンズ素子配列方向に一致するように設ける前記の
構成と組み合わせることで、レンズ素子配列方向とそれ
に直交する方向の両方向での像の乱れを等価に取り扱え
るようになる。

【００１９】なお、本発明に係るレンズアレイの光学性
能評価装置は、像ずれの評価のみならず、ＭＴＦ、光
量、光量プロファイルといった各種の光学性能評価にも
使用できることは言うまでもない。また、ＬＥＤ光プリ
ンタ用のレンズアレイの評価に特に有効であるが、液晶
プリンタ用のレンズアレイの評価にも適用できるし、そ
れに限らず任意の用途のレンズアレイの評価に有用であ
る。

【００２０】

【実施例】図１は本発明に係るレンズアレイの光学性能
評価装置の第１の実施例を示す説明図である。この評価
装置は、被検査レンズアレイ１０の一方のレンズ面に対
向するように配置したピンホールアレイ１２と、該ピン
ホールアレイ１２の背後から前記レンズアレイ１０に向
けてレンズアレイ使用光（実機で使用するＬＥＤの光）
の波長とほぼ同じ波長の検査光を照明する照明装置１４
と、スリット１６と受光素子１８とを有し前記レンズア
レイ１０の他方のレンズ面に対向するように配置した受
光装置２０を具備している。

【００２１】ここで被検査レンズアレイ１０は、微小な
ロッド状のレンズ素子（屈折率分布型ロッドレンズ）２
２を多数規則的に１列配列した屈折率分布型レンズアレ
イである。多数のレンズ素子２２は、２枚の側板２４で
挾まれ、間に黒色シリコーン樹脂を充填することで一体
化されている構造である。

【００２２】ピンホールアレイ１２は、ガラスあるいは
石英などからなる長尺の透明基板２６上に、クロムを蒸
着コートすることにより遮光膜２８を形成し、該遮光膜
２８に多数のピンホール（クロム薄膜の無い部分）３０
を直線状に規則的に配設した構造をなしている。ここで
は、多数のピンホール３０の配列パターンは、実機で用
いるＬＥＤアレイの１ドットおき点灯の発光パターンに
一致させている。このようなピンホールアレイ１２を、
被検査レンズアレイ１０と平行に設置する。

【００２３】照明装置１４は、この実施例では、ハロゲ
ンランプなどの白色光源３２と、コリメートレンズ３４
と、バンドパスフィルタ３６と、集光レンズ３８と、拡
散板３９などからなる。バンドパスフィルタ３６は、透
過波長がＬＥＤの発光波長に合致するような特性を呈す
るものであり、ＬＥＤを模擬した光をピンホールアレイ
１２を通してレンズアレイ１０に照射する。従って、光
源は、白色光源ではなくＬＥＤ（実機で用いるＬＥＤア
レイの微小ＬＥＤ素子ではなく、より大型のもの）でも
よい。その場合には、当然のことながら、バンドパスフ
ィルタは不要である。拡散板３９は、ピンホールアレイ
１２からの光に指向性が残る可能性を無くすために設け
られている。従って、拡散板３９を挿入する代わりにピ
ンホールアレイ１２の背面に拡散機能を有するような加
工を施してもよい。

【００２４】異なる種類のＬＥＤアレイに対する評価を
行う場合には、その評価に必要なＬＥＤの発光波長に合
致したバンドパスフィルタに交換することになる。光源
としてＬＥＤを用いる場合には、ＬＥＤ自体を交換する
ことになる。

【００２５】受光装置２０におけるスリット１６は、被
検査レンズアレイ１０の第２のレンズ面に対向し、ここ
でスリット１６の向きは、前記第２のレンズ面に平行な
面内で且つレンズ素子２２の配列方向に対してほぼ９０
度の（ほぼ垂直な）向きに設定している。受光素子１８
としては、例えば光電子増倍管などを用いる。

【００２６】検査時には、少なくとも受光装置２０を被
検査レンズアレイ１０に対して相対的に移動させる。典
型的には、ピンホールアレイ１２を被検査レンズアレイ
１０に対して静止させた状態とし、受光装置２０を被検
査レンズアレイ１０に対してそのレンズ素子配列方向に
相対的に移動させる。そして、ピンホール３０の被検査
レンズアレイ１０による空間像の光量分布をスリット１
６を通して受光素子１８で測定する。このような測定に
よって、結像面内での被検査レンズアレイ１０のレンズ
素子配列方向への像の乱れを検出することができる。勿
論、像ずれの評価のみならず、ＭＴＦ、光量、光量プロ
ファイルといった各種の光学性能評価も行える。

【００２７】スリットの向きを、第２のレンズ面に平行
な面内で且つレンズ素子の配列方向に対して傾けて（例
えば、ほぼ４５度に設定し）測定を行えば、レンズ素子
の配列方向に直交する像の乱れを検出することができ
る。また、ピンホールアレイを被検査レンズアレイに対
して、ピンホール配列方向に相対的に移動させて測定す
れば、解像力測定点数を増減させることもできる。

【００２８】ピンホールアレイ１２は透明基板２６の遮
光膜２８によって形成されているから、埃や異物が付着
してもアルコールなどを用いて容易に清掃できる。また
表面に直接触れても支障がないため被検査レンズアレイ
１０に対する位置関係を正確に測定できる。更に、ピン
ホールアレイ１２の平面性、描画精度は極めて良好であ
るので、レンズアレイ単体の光学的性能を精度よく求め
ることができる。

【００２９】図１では、ピンホールアレイとして多数の
ピンホールを１列に配設した例を示しているが、多数の
ピンホールを直線状に複数列、ピッチが異なるように
（異なる空間周波数で）配設した構造とし、該ピンホー
ルアレイをレンズアレイ厚み方向に位置調整可能に支持
する構成も有効である。例えばピンホールの配列ピッチ
を６００ｄｐｉ相当と１２００ｄｐｉ相当、あるいは１
ドットおき点灯相当と２ドットおき点灯相当などのよう
に構成するとすると、ピンホールアレイの位置を上下方
向にずらすだけで、検査パターンを容易に切り換えるこ
とが可能となる。

【００３０】図２は本発明に係るレンズアレイの光学性
能評価装置の第２の実施例を示す説明図である。ピンホ
ールアレイを除けば、他の部材の構成配置は、上記第１
の実施例と同様であってよいので、それらについては同
一符号を付し、詳細な説明は省略する。この評価装置
も、被検査レンズアレイ１０の一方のレンズ面に対向す
るように配置したピンホールアレイ４０と、該ピンホー
ルアレイ４０の背後から前記レンズアレイ１０に向けて
レンズアレイ使用光の波長とほぼ同じ波長の検査光を照
明する照明装置１４と、スリット１６と受光素子１８と
を有し前記レンズアレイ１０の他方のレンズ面に対向す
るように配置した受光装置２０を具備している。

【００３１】ピンホールアレイ４０は、回転自在の円形
の透明基板上に遮光膜を形成し、該遮光膜に多数のピン
ホール４２を円周状に配設した構造である。この場合
も、透明基板はガラスあるいば石英などからなり、遮光
膜としてクロム蒸着膜を用いている。この円形基板に多
数のピンホール４２を円周（円弧も含む）状に描画し、
矢印Ｒ方向に回転する構成である。ピンホールアレイ４
０は、被検査レンズアレイ１０に平行に設置され、且つ
レンズアレイ位置でのピンホール配列の接線方向がレン
ズアレイのレンズ素子配列方向に一致するように設定さ
れている。

【００３２】検査時には、このピンホールアレイ（円形
の基板）４０を回転させ、受光装置２０を被検査レンズ
アレイ１０に対してそのレンズ素子配列方向に相対的に
移動させる。ピンホール移動方向に直交するスリット１
６で走査し、ピンホール４２の被検査レンズアレイ１０
による空間像の光量分布を測定する。このような測定に
よって、結像面内での被検査レンズアレイのレンズ素子
配列方向への像の乱れを検出することができる。

【００３３】本実施例のように、円盤状のピンホールア
レイ４０を用いる構成では、被検査レンズアレイ１０の
長さ（レンズ素子配列方向長さ）に無関係に検査が可能
となるため、長尺のレンズアレイでも容易に評価できる
利点がある。

【００３４】図３は本発明に係るレンズアレイの光学性
能評価装置の第３の実施例を示す説明図である。ピンホ
ールアレイを除けば、他の部材の構成配置は、上記第２
の実施例と同様であってよいので、それらについては同
一符号を付し、詳細な説明は省略する。

【００３５】ピンホールアレイ５０は、第２の実施例と
同様、回転自在の円形の透明基板上に遮光膜を形成し、
該遮光膜に多数のピンホール５２を円周状に配設した構
造である。この場合も、透明基板はガラスあるいば石英
などからなり、遮光膜としてクロム蒸着膜を用いる。こ
の円形基板に多数のピンホール５２を円周（円弧も含
む）状に描画し、矢印Ｒ方向に回転する構成である。但
し、この実施例では、遮光膜に多数のピンホール５２を
円周状に複数列（図３では２列）で且つピッチが異なる
ように（異なる空間周波数で）配設した構造をなし、そ
の回転中心軸は被検査レンズアレイの厚み方向に調整可
能（矢印ｒ方向に移動可能）に軸支されている。

【００３６】従って、例えば、ピンホールの配列ピッチ
を、外周側が６００ｄｐｉ相当と１２００ｄｐｉ相当、
あるいは１ドットおき点灯相当と２ドットおき点灯相当
などのように構成するとすると、回転中心位置をずらす
だけで、検査パターンを容易に切り換えることが可能と
なる。

【００３７】図４は本発明に係るレンズアレイの光学性
能評価装置の第４の実施例を示す説明図である。ピンホ
ールアレイを除けば、他の部材の構成配置は、上記実施
例と同様であってよいので、それらについては同一符号
を付し、詳細な説明は省略する。この評価装置も、被検
査レンズアレイ１０の一方のレンズ面に対向するように
配置したピンホールアレイ６０と、該ピンホールアレイ
６０の背後から前記レンズアレイ１０に向けてレンズア
レイ使用光の波長とほぼ同じ波長の検査光を照明する照
明装置１４と、スリット１６と受光素子１８とを有し前
記被検査レンズアレイ１０の他方のレンズ面に対向する
ように配置した受光装置２０を具備している。

【００３８】ピンホールアレイ６０は、回転自在の円形
の透明基板上に遮光膜を形成し、該遮光膜に多数のピン
ホールを円周状に配設した構造である。この場合も、透
明基板はガラスあるいば石英などからなり、遮光膜とし
てクロム蒸着膜を用いる。この円形基板に多数のピンホ
ール６２を円周（円弧も含む）状に描画し、矢印Ｒ方向
に回転する構成である。ピンホールアレイ６０は、被検
査レンズアレイ１０に平行に設置され、且つレンズアレ
イ位置でのピンホール配列の接線方向がレンズアレイの
レンズ素子配列方向に対して角度をもつように設定され
ている。この例では、スリット１６の向きを水平とし、
ピンホール６２の移動方向を垂直にしてある。しかし、
スリットの向きとピンホールの移動方向が直交すれば、
例えば４５度など斜め方向でもよい。検査時には、この
ピンホールアレイ６０（円形の基板）を回転させ、受光
装置２０をレンズアレイ１０に対してそのレンズ素子配
列方向に相対的に移動させる。ピンホール移動方向に直
交するスリット１６で走査し、ピンホール６２のレンズ
アレイ１０による空間像の光量分布を測定する。このよ
うな測定によって、結像面内での被検査レンズアレイの
ピンホール配列方向への像の乱れを検出することができ
る。

【００３９】第４の実施例のような構成とすると、レン
ズアレイの相対的な移動方向とは無関係に、レンズ素子
配列方向に直交する方向の像の乱れを評価することが可
能となる。従って、レンズアレイ位置でのピンホール配
列の接線方向がレンズアレイのレンズ素子配列方向に一
致するように設ける前記第２の実施例のような構成と組
み合わせることで、レンズ素子配列方向とそれに直交す
る方向の両方向での像の乱れを等価に取り扱えるように
なる。即ち、発光点の移動方向に互いに角度を持たせた
２方向（必ずしも直交関係になくてもよい）とし、スリ
ットもこれに対応する２方向とすることで、レンズアレ
イによる結像位置の平面的なずれを精度よく評価できる
ようになる。

【００４０】

【発明の効果】本発明は上記のように、ピンホールアレ
イを用い、その背後の光源から照射してレンズアレイを
検査する構成であるため、表面がデリケートなＬＥＤア
レイを用いる場合と異なり、埃や異物が付着しても容易
に清掃でき、保守が容易であるし、表面に触れても支障
がないためレンズアレイとの位置関係を精度よく測定で
きる。また、このピンホールアレイは、平面性が良好
で、且つ描画精度も極めて良好である。これらのことか
ら、本発明では、レンズアレイそのものの光学的特性
を、他の部材に無関係に精度よく評価することが可能と
なる。

【００４１】また、例えば白色光源とバンドパスフィル
タの組み合わせで照明装置を構成でき、そのような構成
では測定波長が異なる場合にバンドパスフィルタの交換
のみで対応でき、光源全体を交換しなくてもよいため、
光源の位置を再調整しなくて済み、検査条件の変更（段
取り替え）が容易となり、評価作業の効率アップが可能
となる。

【００４２】更に、本発明は上記のように、ピンホール
アレイを用い、その背後の光源から照射してレンズアレ
イを検査する構成であるため、長尺のレンズアレイの評
価に有効である。特に、回転円盤状のピンホールアレイ
を用いる構成では、装置を小型化でき、任意の長さのレ
ンズアレイに対応できるため、管理が容易となる。ま
た、回転中心軸の位置を調整することで、発光点の移動
方向を異なる２方向に設定し、スリットの向きもこれに
対応する２方向とすることで、結像位置のずれを２次元
的に精度よく測定することも可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るレンズアレイの光学性能評価装置
の第１の実施例を示す説明図。

【図２】本発明に係るレンズアレイの光学性能評価装置
の第２の実施例を示す説明図。

【図３】本発明に係るレンズアレイの光学性能評価装置
の第３の実施例を示す説明図。

【図４】本発明に係るレンズアレイの光学性能評価装置
の第４の実施例を示す説明図。

【符号の説明】

１０被検査レンズアレイ１２ピンホールアレイ１４照明装置１６スリット１８受光素子２０受光装置２２レンズ素子２６透明基板２８遮光膜３０ピンホール３２白色光源３４コリメートレンズ３６バンドパスフィルタ３８集光レンズ３９拡散板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査レンズアレイの一方のレンズ面に
対向するように配置したピンホールアレイと、該ピンホ
ールアレイの背後から前記レンズアレイに向けて検査光
を照明する照明装置と、スリットと受光素子とを有し前
記レンズアレイの他方のレンズ面に対向するように配置
した受光装置を具備し、前記ピンホールアレイは、透明
基板上の遮光膜に多数のピンホールを規則的に形成した
構造をなし、少なくとも受光装置をレンズアレイに対し
て相対的に移動させて、ピンホールのレンズアレイによ
る空間像の光量分布を測定するようにしたことを特徴と
するレンズアレイの光学性能評価装置。
【請求項２】ピンホールアレイは、長尺の透明基板上
に遮光膜を形成し、該遮光膜に多数のピンホールを直線
状に配設した構造をなし、被検査レンズアレイと平行に
設置されて被検査レンズアレイに対して相対的に静止も
しくはピンホール配列方向に移動する請求項１記載のレ
ンズアレイの光学性能評価装置。
【請求項３】ピンホールアレイは、回転自在の円形の
透明基板上に遮光膜を形成し、該遮光膜に多数のピンホ
ールを円周状に配設した構造をなし、被検査レンズアレ
イと平行で且つレンズアレイ位置でのピンホール配列の
接線方向がレンズアレイのレンズ素子配列方向に一致す
るように設けられている請求項１記載のレンズアレイの
光学性能評価装置。
【請求項４】ピンホールアレイは、遮光膜に多数のピ
ンホールを複数列で且つピッチが異なるように配設した
構造をなし、被検査レンズアレイの厚み方向に位置調整
可能とした請求項２又は３記載のレンズアレイの光学性
能評価装置。
【請求項５】ピンホールアレイは、回転自在の円形の
透明基板上に遮光膜を形成し、該遮光膜に多数のピンホ
ールを円周状に配設した構造をなし、被検査レンズアレ
イと平行で且つレンズアレイ位置でのピンホール配列の
接線方向がレンズアレイのレンズ素子配列方向に対して
角度をもつように設けられている請求項１記載のレンズ
アレイの光学性能評価装置。
【請求項６】照明装置が、白色光源と、レンズアレイ
使用光の波長に対応した波長透過特性をもつバンドパス
フィルタとの組み合わせを有する請求項１乃至５のいず
れかに記載のレンズアレイの光学性能評価装置。