JP2001271101A - 焼結体の製造方法および焼結体 - Google Patents
焼結体の製造方法および焼結体Info
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Abstract
焼結体を提供することにある。 【解決手段】 本発明の焼結体の製造方法は、原料粉末
と、有機バインダーと、前記有機バインダーの分解開始
温度より高い分解開始温度を有する空隙形成材とを含む
組成物を用いて成形体を成形する工程と、前記有機バイ
ンダーを除去し、第1の脱脂体を得る第1の脱脂工程
と、前記空隙形成材を除去し、第2の脱脂体を得る第2
の脱脂工程と、前記第2の脱脂体を焼結して焼結体を得
る工程とを有する。
Description
および焼結体に関するものである。
の焼結体を用いた製品として、例えば含油軸受けがあ
る。
粉焼結法等が知られている。このような空孔率の高い焼
結体を製造する場合、圧粉焼結法では、焼結温度を比較
的低温に設定し、焼結を中途で止めることにより行って
いた。
で止めるため、焼結炉内部の位置における温度のバラツ
キ等の影響により、得られる焼結体の焼結密度のバラツ
キや寸法のバラツキが大きくなる。また、粉末間での拡
散が十分に進行しないため、得られる焼結体の機械的強
度は低かった。特に、肉厚差が大きい成形体の場合、得
られる焼結体に変形が生じ易く、クラック等の焼結欠陥
を生じ易かった。
孔率で、寸法精度が高く機械的強度も高い焼結体を得る
ことができる焼結体の製造方法および焼結体を提供する
ことにある。
(1)〜(12)の本発明により達成される。
前記有機バインダーの分解開始温度より高い分解開始温
度を有する空隙形成材とを含む組成物を用いて成形体を
成形する工程と、前記有機バインダーを除去し、第1の
脱脂体を得る第1の脱脂工程と、前記空隙形成材を除去
し、第2の脱脂体を得る第2の脱脂工程と、前記第2の
脱脂体を焼結して焼結体を得る工程とを有することを特
徴とする焼結体の製造方法。
成材の含有量は、1〜20wt%である上記(1)に記載
の焼結体の製造方法。
成材の形状は、粒状である上記(1)または(2)に記
載の焼結体の製造方法。
成材の平均粒径は、50〜150μmである上記(3)
に記載の焼結体の製造方法。
は、350〜650℃である上記(1)ないし(4)の
いずれかに記載の焼結体の製造方法。
度をT1℃、前記空隙形成材の分解開始温度をT2℃とし
たとき、0.2≦T1/T2≦0.8の関係を満足する上
記(1)ないし(5)のいずれかに記載の焼結体の製造
方法。
上記(1)ないし(6)のいずれかに記載の焼結体の製
造方法。
末の含有量は、50〜96wt%である上記(7)に記載
の焼結体の製造方法。
末の平均粒径は、1〜100μmである上記(7)また
は(8)に記載の焼結体の製造方法。
により行われる上記(1)ないし(9)のいずれかに記
載の焼結体の製造方法。
ずれかに記載の焼結体の製造方法により製造されたこと
を特徴とする焼結体。
50vol%である上記(11)に記載の焼結体。
について、詳細に説明する。
実施形態を示す工程図、図2〜図5は、それぞれ、各工
程における成形体等の断面構造(内部金属組織)を示す
模式図である。
ついて、各図を参照しつつ説明する。
形体の製造方法は、特に限定されず、例えば、圧縮成形
(圧粉成形)、押出成形、射出成形等が挙げられるが、
特に、原料粉末が金属粉末である場合、金属射出成形
(MIM:MetalInjection Molding)法が好ましい。
雑で微細な形状の焼結体を製造することができ、用いる
金属粉末の特性を十分に生かすことができるという利点
を有するので、本発明を適用する上でその効果が有効に
発揮され、好ましい。以下、MIM法による組成物の調
製および成形体の製造について説明する。
インダーと、前記有機バインダーの分解開始温度より高
い分解開始温度を有する空隙形成材とを用意し、これら
を混練機により混練し、混練物(コンパウンド)を得
る。この組成物中では、金属粉末、空隙形成材が均一に
分散している。
成材は、互いに化学反応しないものであるのが好まし
い。
「金属材料」と言う)としては、特に限定されず、例え
ば、Fe、Ni、Co、Cr、Mn、Zn、Pt、A
u、Ag、Cu、Pd、Al、W、Ti、V、Mo、N
b、Zr等のうちの少なくとも1種、あるいはこれらの
うちの少なくとも1種を含む(主とする)合金が挙げら
れる。
を混合して用いてもよい。これにより、従来、鋳造で
は、製造できなかった合金組成のものも可能となる。ま
た、新規的な機能や多機能を有する焼結体が容易に製造
でき、焼結体の機能・用途の拡大を図ることができる。
れないが、1〜100μmであるのが好ましく、3〜8
0μmであるのがより好ましく、3〜50μmであるの
がさらに好ましい。平均粒径が上限値を超えると、混練
時、射出成形時における混練物の流動性が低くなり、操
作性が低下する場合がある。一方、平均粒径が下限値未
満であると、混練物の流動性を確保するのに必要な有機
バインダーの量が増え、脱脂、焼結時に変形し易く寸法
安定性が低下する可能性がある。また、粉末の活性が高
くなるため、発火等の危険性が高くなる場合もある。
50〜96wt%であるのが好ましく、53〜94wt%で
あるのがより好ましい。含有量が上限値を超えると、有
機バインダーと空隙形成材の配合比等によっては、混練
物の流動性が低下したり、得られる焼結体の空孔率が低
下する場合がある。一方、含有量が下限値未満である
と、得られる焼結体の機械的強度、寸法安定性が低下す
る可能性がある。
れず、例えば、水またはガスアトマイズ法、還元法、カ
ルボニル法、粉砕法により製造されたものを用いること
ができるが、アトマイズ法が好ましい。
クス粉末等であってもよい。セラミックス粉末を構成す
るセラミックス材料(以下単に「セラミックス材料」と
言う)としては、特に限定されず、例えば、アルミナ、
ジルコニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、窒化アルミニウ
ム、チタニア等が挙げられる。
量は、特に限定されず、例えば、平均粒径は0.1〜5
μm、含有量は、50〜85wt%とすることができる。
り低い分解開始温度を有している。有機バインダーの分
解開始温度は、空隙形成材の分解開始温度等によって異
なるが、100〜500℃であるのが好ましく、120
〜450℃であるのがより好ましく、150〜400℃
であるのがさらに好ましい。分解開始温度が下限値未満
であると、混練時あるいは射出成形時に有機バインダー
の一部が分解する場合があり、成形安定性が低下する可
能性がある。一方、分解開始温度が上限値を超えると、
空隙形成材の分解開始温度等によっては、後述する第1
の脱脂処理において除去される空隙形成材が増え、得ら
れる焼結体の空孔率が低下する可能性がある。
ば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビ
ニル共重合体等のポリオレフィン、ポリメチルメタクリ
レート、ポリブチルメタクリレート等のアクリル系樹
脂、ポリスチレン等のスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニ
ル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアミド、ポリエステル、
ポリエーテル、ポリビニルアルコール、またはこれらの
共重合体等の各種樹脂や、各種ワックス、パラフィン、
高級脂肪酸(例:ステアリン酸)、高級アルコール、高
級脂肪酸エステル、高級脂肪酸アミド等が挙げられ、こ
れらのうち1種または2種以上を混合して用いることが
できる。
全体の3〜30wt%であるのが好ましく、5〜25wt%
であるのがより好ましい。含有量が下限値未満である
と、混練時、射出成形時における混練物の流動性が低く
なり、操作性が低下する場合がある。一方、含有量が上
限値を超えると、得られる焼結体の機械的強度、寸法安
定性が低下する可能性がある。
温度より高い分解開始温度を有している。また、それに
応じて、空隙形成材の軟化点は、有機バインダーの軟化
点より高い。
において軟化せず、第1の脱脂処理においてほとんど除
去されない。
軟化点等によって異なるが、150〜340℃であるの
が好ましく、180〜320℃であるのがより好まし
く、200〜300℃であるのがさらに好ましい。軟化
点が下限値未満であると、有機バインダーの軟化点によ
っては、混練時、射出成形時において、空隙形成材が軟
化する可能性がある。一方、軟化点が上限値を超える
と、分解開始温度も相当に高くなり、後述する第2の脱
脂処理に要するエネルギーが大きくなる場合がある。ま
た、焼結体中の炭化物の増加や残留炭素量の増加を起こ
し、焼結体の機械的特性の低下や焼結体の部分的な溶解
を起こす可能性がある。
バインダーの分解開始温度等によって異なるが、350
〜650℃であるのが好ましく、380〜630℃であ
るのがより好ましく、400〜600℃であるのがさら
に好ましい。分解開始温度が下限値未満であると、有機
バインダーの分解開始温度等によっては、後述する第1
の脱脂処理において除去される空隙形成材の割合が大き
くなる可能性がある。一方、分解開始温度が上限値を超
えると、後述する第2の脱脂処理に要するエネルギーが
大きくなる場合がある。また、焼結体中の炭化物の増加
や残留炭素量の増加を起こし、焼結体の機械的特性の低
下や焼結体の部分的な溶解を起こす可能性がある。
ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレ
ート等のポリエステル、ポリメチルメタクリレート、ポ
リブチルメタクリレート等のアクリル系樹脂、ポリフェ
ニレンスルフィド、ポリイミド、ポリカーボネート、ポ
リアセタール、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエ
ーテルケトン、液晶ポリマー等の各種樹脂が挙げられ、
これらのうち1種または2種以上を混合して用いること
ができる。
1℃、空隙形成材の分解開始温度をT2℃としたとき、下
記式(I)を満足するのが好ましい。 0.2≦T1/T2≦0.8・・・(I) また、式(I)に代わり、式(II)を満足するのがより
好ましく、式(III)を満足するのがさらに好ましい。 0.25≦T1/T2≦0.75・・・(II) 0.3≦T1/T2≦0.7・・・(III) T1/T2の値が前記式中の上限値を超えると、後述する
第1の脱脂過程において除去される空隙形成材の割合が
多くなる場合がある。一方、T1/T2の値が前記式中の
下限値未満であると、有機バインダーと空隙形成材の組
み合わせによって、混練時あるいは射出成形時に有機バ
インダーの一部が分解したり、あるいは、後述する第2
の脱脂処理に要するエネルギーが大きくなる場合があ
る。
20wt%であるのが好ましく、2〜18wt%であるのが
より好ましい。含有量が下限値未満であると、得られる
焼結体の空孔率が低下する場合がある。一方、含有量が
上限値を超えると、得られる焼結体の機械的強度が低下
する場合がある。
が、例えば、棒状、繊維状、粒状等が挙げられ、粒状で
あるのが好ましい。
平均粒径は、50〜150μmであるのが好ましく、5
0〜100μmであるのがより好ましい。平均粒径が下
限値未満であると、空隙形成材の含有量によっては、空
孔率が低下する場合がある。一方、平均粒径が上限値を
超えると、得られる焼結体の大きさによっては、機械的
強度が低下する場合がある。
い。この可塑剤としては、例えば、フタル酸エステル
(例:DOP、DEP、DBP)、アジピン酸エステ
ル、トリメリット酸エステル、セバシン酸エステル等が
挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を混合し
て用いることができる。
バインダー、空隙形成材、可塑剤の他に、例えば、酸化
防止剤、脱脂促進剤、界面活性剤等の各種添加物を必要
に応じ添加することができる。
粒径、有機バインダーの組成、空隙形成材の組成や形
状、およびこれらの配合量等の諸条件により異なるが、
その一例を挙げれば、混練温度:50〜250℃程度、
混練時間:20〜210分程度とすることができる。混
練物は、必要に応じ、ペレット(小塊)化される。ペレ
ットの粒径は、例えば、1〜15mm程度とされる。
物より造粒されたペレットを用いて、射出成形機により
射出成形し、所望の形状、寸法の成形体を製造する。こ
の場合、成形金型の選択により、複雑で微細な形状の成
形体をも容易に製造することができる。
後の脱脂および焼結による成形体の収縮分を見込んで決
定される。
粉末の金属組成や粒径、有機バインダーの組成、空隙形
成材の組成およびこれらの配合量等の諸条件により異な
るが、その一例を挙げれば、材料温度は、好ましくは1
00〜300℃程度、射出圧力は、好ましくは30〜1
50kgf/cm2程度とされる。
は、図2に示すように、有機バインダー10中に、金属
粉末20、空隙形成材30がほぼ均一に分散した状態と
なる。
温度の低い有機バインダー10についての脱脂処理を施
す。
れないが、非酸化性雰囲気、例えば真空または減圧状態
下(例えば1×10-1〜1×10-6Torr )、あるいは
窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガス中で、熱処理を
行うことによりなされる。
は、有機バインダー10の分解開始温度や、空隙形成材
30の分解開始温度等によって異なるが、好ましくは温
度150〜550℃程度で0.5〜36時間程度、より
好ましくは温度250〜520℃程度で1〜24時間程
度とされる。このようにして得られた第1の脱脂体の断
面構造を図3に示した。
が存在していた部分が空隙40となる。また、空隙形成
材30は、残存している。
30が軟化したり、その一部が除去されてもよく、また
第1の脱脂処理の完了時点で、有機バインダー10の一
部が残存していてもよい。
た第1の脱脂体2に対して、分解開始温度の高い空隙形
成材30を除去する目的で、第2の脱脂処理を施す。
れないが、非酸化性雰囲気、例えば真空または減圧状態
下(例えば1×10-1〜1×10-6Torr )、あるいは
窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガス中で、熱処理を
行うことによりなされる。
の脱脂処理より、高温、長時間の熱処理であることが好
ましい。その熱処理の温度、時間の条件は、空隙形成材
30の分解開始温度等によって異なるが、好ましくは温
度350〜800℃程度で1〜48時間程度、より好ま
しくは温度400〜750℃程度で2〜36時間程度と
される。
面構造を図4に示した。
隙40部分にて金属粉末20が凝集するとともに、空隙
形成材30が熱分解で除去され、それが存在していた部
分が空隙50となる。また、空隙50は、空隙40に比
べて大きい。
処理については、脱脂炉内の温度を連続的に変化させて
行う等、連続して行ってもよい。
成して焼結し、焼結体を製造する。この焼結により、金
属粉末20は、拡散、粒成長し、結晶粒となる。
成がNiまたはNi系合金の場合、好ましくは950〜
1500℃程度、より好ましくは1000〜1450℃
程度とされ、FeまたはFe系合金の場合、好ましくは
1000〜1500℃程度、より好ましくは1050〜
1450℃程度とされ、TiまたはTi系合金の場合、
好ましくは950〜1500℃程度、より好ましくは1
000〜1450℃程度とされる。
合、好ましくは0.5〜8時間程度、より好ましくは1
〜5時間程度とされる。
減圧(真空)下または非酸化性雰囲気とされるのが好ま
しい。これにより、金属の酸化による特性劣化を防ぐこ
とができる。
(より好ましくは1×10-2〜1×10-6Torr)の減圧
(真空)下、または1〜760Torrの窒素ガス、アルゴ
ンガス等の不活性ガス雰囲気、または1〜760Torrの
水素ガス雰囲気であるのが好ましい。
てもよい。例えば、最初に1×10 -2〜1×10-6Torr
の減圧(真空)下とし、途中で前記のような不活性ガス
に切り替えることができる。
焼結体の使用用途等により、特に限定されないが、JI
S Z 2241に準じて測定される引張強さで、例え
ば、金属組成がNiまたはNi系合金の場合、好ましく
は22〜46kg/mm2、より好ましくは27〜46
kg/mm2とされ、FeまたはFe系合金の場合、好
ましくは15〜84kg/mm2、より好ましくは21
〜84kg/mm2とされ、TiまたはTi系合金の場
合、好ましくは30〜63kg/mm2、より好ましく
は42〜63kg/mm2とされる。
ないが、10〜50vol%であるのが好ましく、12〜
45vol%であるのがより好ましく、15〜40vol%で
あるのがさらに好ましい。空孔率が下限値未満である
と、例えば、得られる焼結体を含油軸受けとした場合、
油の保持力が低下する。一方、空孔率が上限値を超える
と、機械的強度が低下する場合がある。
ば、エンジンのシリンダー、含油軸受け、フィルター、
多孔質セラミックスのような触媒担体等に利用すること
ができる。また、高い空孔率、機械的強度を有すること
から、製品の軽量化にも利用することができる。
ってもよい。例えば、焼結条件の異なる1次焼結と2次
焼結を行うことができる。この場合、2次焼結の焼結温
度を、1次焼結の焼結温度より高い温度とすることがで
きる。
を図5に示した。図5に示したように、第2の脱脂体3
で大きな空隙50だった部分がそのまま空孔70とな
り、かつ隣り合う金属粉末20間で、拡散が進行し、強
固な結合が形成される。
(連続孔)でも、独立しているもの(独立孔)でもよい
が、例えば、エンジンのシリンダー、含油軸受け、フィ
ルターのような、用途上流体の通過を伴うものの場合
は、連続孔であるのが好ましい。また、単に軽量化を目
的とする場合などには、独立孔であってもよい。
工程[1A]の前工程、工程[1A]〜[4A]の間に
存在する中間工程、または工程[4A]の後工程が存在
していてもよい。なお、後工程として、例えば、バリ取
り、洗浄等を行ってもよい。
ッキ、クロムメッキ、パラジウムメッキのような金属メ
ッキ等の湿式メッキや、イオンプレーティング、スパッ
タリング、真空蒸着等の乾式メッキや、窒化処理のよう
な表面硬化処理等の表面処理を加えてもよい。これによ
り、耐食性の向上等を図ることができる。
施例について説明する。
て、ガスアトマイズ法により製造された平均粒径10μ
mのステンレス鋼(SUS316/組成:Fe−18wt
%Cr−12wt%Ni−2.5wt%Mo合金)粉末を用
いた。
レンテレフタレートを粉砕、分級して平均粒径80μm
のものを用いた。
4wt%に、ポリスチレン(PS):2.4wt%、エチレ
ン−酢酸ビニル共重合体(EVA):2.7wt%および
パラフィンワックス:2.5wt%から構成される有機バ
インダーと、ジブチルフタレート(可塑剤):1.4wt
%とを混合し、これらを混練機にて100℃×1時間の
条件で混練した。
径3mmのペレットとし、該ペレットを用い、射出形成
機にて金属粉末射出成形(MIM)し、成形体(200
個)を製造した。このとき成形体は、第1の脱脂処理、
第2の脱脂処理、焼結時での収縮を考慮して、焼結体の
寸法が平行部の幅10mm、平行部の長さ40mm、厚
さ3mmの引張試験片形状となるように成形した。射出
成形時における成形条件は、金型温度20℃、射出圧力
80kgf/cm2であった。なお、成形体中における
金属粉末の含有量は、約86.8wt%であった。
第1の脱脂処理を行った。脱脂条件は、760Torr(常
圧)の窒素雰囲気下で、450℃×1時間保持した。
を用いて第2の脱脂処理を行った。脱脂条件は、760
Torr(常圧)の窒素雰囲気下で、580℃×3時間保持
した。
用いて焼結を行い、焼結体を得た。焼結条件は、760
Torr(常圧)のアルゴンガス雰囲気中で1350℃×3
時間とした。
よび可塑剤は、実施例1と同一のものを用いた。これら
の混合比は、金属粉末:91.7wt%、ポリスチレン
(PS):2.1wt%、エチレン−酢酸ビニル共重合体
(EVA):2.5wt%およびパラフィンワックス:
2.3wt%から構成される有機バインダーと、ジブチル
フタレート(可塑剤):1.4wt%とを混合し、これら
を混練機にて100℃×1時間の条件で混練した。な
お、空隙形成材は、用いなかった。
径3mmのペレットとし、該ペレットを用い、射出形成
機にて金属粉末射出成形(MIM)し、成形体(200
個)を製造した。このとき成形体は、脱脂処理、焼結時
での収縮を考慮して、焼結体の寸法が平行部の幅10m
m、平行部の長さ40mm、厚さ3mmの引張試験片形
状となるように成形した。射出成形時における成形条件
は、金型温度20℃、射出圧力80kgf/cm2であ
った。なお、成形体中における金属粉末の含有量は、約
91.6wt%であった。
脱脂処理を行った。脱脂条件は、760Torr(常圧)の
窒素雰囲気下で、450℃×1時間保持した。
焼結を行い、焼結体を得た。焼結条件は、760Torr
(常圧)のアルゴンガス雰囲気中で1350℃×3時間
とした。
イズ法により製造された平均粒径150μmのステンレ
ス鋼(SUS316/組成:Fe−18wt%Cr−12
wt%Ni−2.5wt%Mo合金)粉末を用いた。
フィン:1.5wt%を有機バインダーとして添加し、こ
れらを混合機にて50℃×30分の条件で混合した。
し、成形体(200個)を得た。このとき成形体は、焼
結時での収縮を考慮して、焼結体の寸法が平行部の幅1
0mm、平行部の長さ40mm、厚さ3mmの引張試験
片形状となるように成形した。
て焼結を行い、焼結体を得た。なお、焼結温度と焼結時
間を制御することにより、焼結を中途で止めた。これに
より高空孔率を得ようとした。焼結条件は、20Torrの
水素雰囲気中、1050℃×2時間とした。
焼結した以外は、比較例2と同様にして焼結体を作製し
た。
て、空孔率、機械的強度および寸法精度の測定を行っ
た。
準じて焼結密度を測定し、理論密度との比から空孔率を
計算した。
の測定を行った。この引張強さの測定は、JIS Z
2241に準じて行った。
平行部幅(平均値)および厚さ(平均値)の寸法を測定
し、設計値からの誤差を求めることにより行った。
の製造方法を用いて得られた焼結体1は、高い空孔率、
機械的強度および寸法精度を有している。
は、機械的強度は大きいが、空孔率は、非常に低いもの
となっている。
率は比較的高いが、機械的強度は、非常に小さいものと
なっている。
空孔率、高機械的強度で、寸法精度の高い焼結体を製造
することができる。また、高い空孔率を有するため、製
造物の軽量化を図ることができる。
ることにより、従来加工が困難とされた硬質材料や比較
的高融点の材料に対しても、金属焼結体の用途、機能の
拡大が図れる。
シリンダー、含油軸受け、フィルター、多孔質セラミッ
クスのような触媒担体等の製造に適用する場合、上記効
果が特に有効に発揮される。
形態を示す工程図である。
金属組織)を示す模式図である。
構造(内部金属組織)を示す模式図である。
構造(内部金属組織)を示す模式図である。
図である。
Claims (12)
- 【請求項1】 原料粉末と、有機バインダーと、前記有
機バインダーの分解開始温度より高い分解開始温度を有
する空隙形成材とを含む組成物を用いて成形体を成形す
る工程と、 前記有機バインダーを除去し、第1の脱脂体を得る第1
の脱脂工程と、 前記空隙形成材を除去し、第2の脱脂体を得る第2の脱
脂工程と、 前記第2の脱脂体を焼結して焼結体を得る工程とを有す
ることを特徴とする焼結体の製造方法。 - 【請求項2】 前記組成物中における前記空隙形成材の
含有量は、1〜20wt%である請求項1に記載の焼結体
の製造方法。 - 【請求項3】 前記組成物中における前記空隙形成材の
形状は、粒状である請求項1または2に記載の焼結体の
製造方法。 - 【請求項4】 前記組成物中における前記空隙形成材の
平均粒径は、50〜150μmである請求項3に記載の
焼結体の製造方法。 - 【請求項5】 前記空隙形成材の分解開始温度は、35
0〜650℃である請求項1ないし4のいずれかに記載
の焼結体の製造方法。 - 【請求項6】 前記有機バインダーの分解開始温度をT
1℃、前記空隙形成材の分解開始温度をT2℃としたと
き、0.2≦T1/T2≦0.8の関係を満足する請求項
1ないし5のいずれかに記載の焼結体の製造方法。 - 【請求項7】 前記原料粉末は、金属粉末である請求項
1ないし6のいずれかに記載の焼結体の製造方法。 - 【請求項8】 前記組成物中における前記金属粉末の含
有量は、50〜96wt%である請求項7に記載の焼結体
の製造方法。 - 【請求項9】 前記組成物中における前記金属粉末の平
均粒径は、1〜100μmである請求項7または8に記
載の焼結体の製造方法。 - 【請求項10】 前記焼結体の製造は、射出成形により
行われる請求項1ないし9のいずれかに記載の焼結体の
製造方法。 - 【請求項11】 請求項1ないし10のいずれかに記載
の焼結体の製造方法により製造されたことを特徴とする
焼結体。 - 【請求項12】 前記焼結体の空孔率は、10〜50vo
l%である請求項11に記載の焼結体。
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