JP2001217680A - 縦結合弾性表面波フィルタ - Google Patents
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Abstract
を2つ縦続接続したフィルタの通過帯域を平坦化すると
共に、VSWRを2以下と小さくする。 【解決手段】 電極指ピッチL1のIDT電極3個から
なる1次−3次縦結合二重モードSAWフィルタを2つ
縦続接続したフィルタにおいて、一方の二重モードSA
Wフィルタの中央IDT電極のピッチをL2とし、該I
DT電極の両側から対称に電極指を削除すると共に、削
除した電極指を対面するIDT電極に接続してピッチL
2のダミー電極としたフィルタであり、L2をL1より
大きくする。
Description
に関し、特に入出力インピーダンスを互いに異にした縦
続接続型二重モードSAWフィルタの通過域特性を平坦
化した弾性表面波フィルタに関する。
広く利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を
有することから特に携帯電話等に多く用いられている。
図5は従来の1次−3次縦結合型二重モードSAWフィ
ルタ(以下、二重モードSAWフィルタと称す)を2段
縦続接続したフィルタの構成を示す平面図であって、圧
電基板Pの主面上に表面波の伝搬方向に沿って3つのI
DT電極11、12、13を近接配置すると共に、これ
らのIDT電極の両側にグレーティング反射器(以下、
反射器と称す)14a、14bを配設して第1の二重モ
ードSAWフィルタを構成する。さらに、第1の二重モ
ードSAWフィルタと平行して3つのIDT電極15、
16、17を近接配置すると共に、これらの両側に反射
器18a、18bを設けて第2の二重モードSAWフィ
ルタを構成し、第1と第2の二重モードSAWフィルタ
を縦続接続して縦続型二重モードSAWフィルタを構成
する。第1の二重モードSAWフィルタを構成するID
T電極11、12、13はそれぞれ互いに間挿し合う複
数本の電極指を有する一対のくし形電極により構成さ
れ、中央のIDT電極11の一方のくし形電極は入力端
子INに接続し、他方のくし形電極は接地する。さらに、
両側のIDT電極12、13の一方のくし形電極は、第
1の二重モードSAWフィルタと対称に配置した第2の
二重モードSAWフィルタの入力とそれぞれ接続し、他
方のくし形電極はそれぞれ接地する。
も、第1の二重モードSAWとほぼ同様に構成するが、
中央のIDT電極15の対数を第1の二重モードSAW
フィルタのIDT電極11の対数より少なくし、少なく
なった電極指の数だけくし形のダミー電極D1、D2を
設けてアース側のくし形電極にそれぞれ接続している点
が異なる。これにより入力インピーダンスを低く(例え
ば50Ω)、出力インピーダンスを高く(例えば200Ω)
して前段及び後段の回路とのインピーダンス・マッチン
グを実現している。そして、IDT電極11、12、1
3及びIDT電極15、16、17の電極指ピッチ(以
下、ピッチと称す)および、ダミー電極D1、D2のピ
ッチは全て同一としている。
タの動作は、周知のように、IDT電極11、12、1
3によって励起される複数の表面波が反射器14a、1
4bの間に閉じ込められて音響結合し、IDT電極パタ
ーンにより1次と3次の2つの縦共振モードが強勢に励
振されるため、適当な終端を施すことによりこれらの2
つのモードを利用した二重モードSAWフィルタとして
動作する。なお、該二重モードSAWフィルタの通過帯
域幅は1次共振モードと3次共振モードとの周波数差で
決まることは周知の通りである。また、第2の二重モー
ドSAWフィルタの動作は第1の二重モードSAWフィ
ルタと同様である。なお、縦続接続型フィルタとするの
は、周知のように、フィルタの減衰傾度を単独の場合よ
りも大きくし、阻止域減衰量を高くするためである。
域幅を25MHz、入出力インピーダンスをそれぞれ50Ω、2
00Ωとした2段縦続型二重モードSAWフィルタを製作
すべく、圧電基板に39゜YカットX伝搬LiTaO3を用い、
中央のIDT電極11、15の対数をそれぞれ19.5対、
13.5対、IDT電極12、13、16、17の対数をそ
れぞれ13.5対、ダミー電極D1、D2をそれぞれ6本、
反射器14a、14b、18a、18bの本数をそれぞ
れ200本、電極膜厚を6.5%λ(電極周期の波長)とした
場合のフィルタ特性を示した図である。
入出力インピーダンスを互いに異にした縦続型フィルタ
においては、図6(a)に示すフィルタの通過域特性の
ように、通過域の低域側に大きなリップルが生じて、携
帯電話のRFフィルタの規格として要求される869MH
zから894MHzの通過帯域(斜線で示す)が3.5dB以
下という規格を満たさないという問題があった。さら
に、図6(b)に入力側(実線)と出力側(破線)の双
方から測定した電圧定在波比(VSWR)を示すよう
に、前記帯域においてハッチングで示すVSWRが2以
下という規格を満たさないという問題もあった。図7
(a)、(b)は上記縦続接続型フィルタの入出力双方
から測定したスミス図表であり、通過帯域近傍で大きな
円を描いてうねっている。この曲線から明らかなよう
に、フィルタの入出力インピーダンスが所望の50Ωとな
っていないことを示している。なお、フィルタの入出力
インピーダンスはそれぞれ50Ωと200Ωと設計してある
ので、出力側のVSWRを測定する際にはインピーダン
ス変換器(トランスフォーマー)を用いた。また、RF
フィルタの通過帯域を平坦にする手段として、終端イン
ピーダンスに並列にインダクタンスを接続して、インピ
ーダンス整合を図ることが知られている。そこで、図8
は入力側は50Ωのままとし、出力側にインダクタンス39
nHを並列接続して測定したスミス図表で、図8(a)が
入力側から、(b)が変換器を介して出力側から測定し
たものである。出力側に並列にインダクタンスを接続し
ても入出力側のインピーダンス特性は改善されていない
ことが分かる。本発明は上記問題を解決するためになさ
れたものであって、通過域特性が平坦であると共に、V
SWR特性が所望の規格(2以下)を満たした縦続フィ
ルタを提供することを目的とする。
に本発明に係る縦結合弾性表面波フィルタの請求項1記
載の発明は、圧電基板の主面上に表面波の伝搬方向に3
つのIDT電極を近接配置すると共に、その両側にグレ
ーティング反射器を配設した1次−3次縦結合二重モー
ドSAWフィルタを2つ縦続接続したフィルタにおい
て、前記フィルタの一方の二重モードSAWフィルタの
中央に配置するIDT電極のピッチをL2とし、該ID
T電極の電極指を他方の二重モードSAWフィルタの中
央に配置したIDT電極よりも少なくすると共に、少な
くした電極指に代えてピッチLdのダミー電極を配置し
たフィルタであって、ピッチL2をそれ以外のIDT電
極の電極指ピッチL1より大きくしたことを特徴とする
縦結合弾性表面波フィルタである。請求項2記載の発明
は、1.001<L2/L1<1.015としたことを
特徴とする請求項1記載の縦結合弾性表面波フィルタで
ある。請求項3記載の発明は前記ダミー電極のピッチL
dをL1と等しくしたことを特徴とする請求項1あるい
は2記載の縦結合弾性表面波フィルタである。請求項4
記載の発明は前記ダミー電極のピッチLdをL2と等し
くしたことを特徴とする請求項1あるいは2記載の縦結
合弾性表面波フィルタである。
形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る入
出力インピーダンスを互いに異にすると共に、入力側を
不平衡、出力側を平衡回路とした縦続接続型二重モード
フィルタの構成を示す平面図であって、圧電基板(図示
しない)の主面上に表面波の伝搬方向に沿って3つのI
DT電極1、2、3を近接配置すると共に、これらのI
DT電極の両側に反射器4a、4bを配設して第1の二
重モードSAWフィルタを構成する。さらに、第1の二
重モードSAWフィルタと平行して3つのIDT電極
5、6、7を近接配置すると共に、これらの両側に反射
器8a、8bを設けて第2の二重モードSAWフィルタ
を構成し、第1と第2の二重モードSAWフィルタを縦
続接続して、縦続接続型二重モードSAWフィルタを構
成する。第1の二重モードSAWフィルタを構成するI
DT電極1、2、3はそれぞれ互いに間挿し合う複数本
の電極指を有する一対のくし形電極により構成され、I
DT電極1の一方のくし形電極は入力端子INに接続し、
他方のくし形電極は接地する。さらに、IDT電極2、
3の一方のくし形電極はそれぞれ第2の二重モードSA
Wフィルタの入力端子と接続し、他方のくし形電極はそ
れぞれ接地する。
も、第1の二重モードSAWフィルタとほぼ同様に構成
するが、中央のIDT電極5の電極指を第1の二重モー
ドSAWフィルタの中央のIDT電極1を両側から対称
に削除したような構成とすると共に、該削除した電極指
をくし型のダミー電極D1、D2として形成して、両側
のIDT電極6、7の一方のくし形電極(図の場合は接
地側のくし形電極)に接続している。ここで、IDT電
極1、2、3のピッチをいずれもL1とし、IDT電極
5、6、7のピッチをそれぞれL1、L2、L1、ダミ
ー電極D1、D2のピッチを共にLdとする。
IDT電極6、7及びダミー電極D1、D2のそれぞれ
のピッチL1、Ldをいずれも等しくすると共に、これ
らのピッチより第2の二重モードSAWフィルタのID
T電極5のピッチL2を大きくしたことである。また、
ピッチL5とピッチLdとをほぼ等しく(L2≒Ld)
すると共にピッチL1より大きくしたことである。
25MHz、入出力インピーダンスをそれぞれ50Ω、200Ωと
した2段縦続型二重モードSAWフィルタを試作し、ピ
ッチL2とLdとをほぼ等しくすると共にピッチL1よ
り大きく(L2/L1=1.012)した。圧電基板に39゜
YカットX伝搬LiTaO3を用い、中央のIDT電極1、5
の対数をそれぞれ19.5対、13.5対、IDT電極2、3、
6、7の対数をそれぞれ13.5対、ダミー電極D1、D2
をそれぞれ6本、反射器4a、4b、8a、8bの本数
をそれぞれ200本、電極膜厚を6.5%λ(λ=2L1)と
した場合のフィルタの入力側と出力側から測定したスミ
ス図表を図2(a)、(b)に示す。なお、フィルタの
出力側にはインダクタンス39nHを並列接続してある。図
2から明らかように、インピーダンス曲線はフィルタの
通過域付近で50Ω近傍を回転していることが確認でき
た。
通過域特性で要求規格の25MHz以上と、挿入損失3.5dB以
下を共に満たしている。また、図3(b)は通過域近傍
のVSWRで入力側(実線)、出力側(破線)の測定値
とも要求規格の2以下を満たしていることが図より明ら
かである。種々の実験から電極指ピッチ比L2/L1
は、エッチング等のバラツキを考慮すると1.001より大
きく、1.015以下であればフィルタの通過域特性を平坦
とすると共に、VSWRを所望の値とすることができる
ことが判明した。
とも不平衡回路とし、入出力インピーダンスを互いに異
ならせた2段縦続接続型二重モードSAWフィルタの構
成を示す平面図である。図1と異なるのは第2の二重モ
ードSAWフィルタの中央のIDT電極5’とダミー電
極D’1、D’2である。即ち、第2の二重モードSA
Wフィルタは中央のIDT電極5’とその両側のIDT
電極6、7との間にダミー電極D’1、D’2を備える
と共に、該ダミー電極D’1、D’2をIDT電極5’
の出力用くし形電極と対になるアース側のくし形電極に
それぞれ接続している。そして、IDT電極1、2、
3、6、7のピッチは共に等しくL1とすると共に、I
DT電極5’のピッチをL’2、ダミー電極D’1、
D’2のピッチをL’dとする。この実施例の特徴は
L’2≒L’dとすると共に、L’2>L1としたこと
である。種々の実験の結果電極指ピッチ比L’2/L1
は1.001より大きく、1.015以下であれば所望の通過域特
性、VSWRを満たすことが分かった。
TaO3を用いて携帯電話に適用するRFフィルタを例に説
明したが本発明はこれのみに限定するものではなく、ニ
オブ酸リチウム、四硼酸リチウム、ランガサイト等の圧
電基板を用いた他の用途のRFフィルタに適用してもよ
い。
ので、入出力インピーダンスが互いに異なる縦続接続型
二重モードSAWフィルタの通過帯域が平坦化すると共
に、通過帯域近傍のVSWRが2以下と小さなRFフィ
ルタを構成できるようになった。しかも、本発明は入力
−不平衡型、出力−平衡型フィルタも構成することがで
きるので、機器内部がデジタル回路とアナログ回路とか
らなる携帯電話等に採用すればノイズ低減に優れた効果
を表す。
ルタの構成を示す平面図である。
ルタのスミス図表で、(a)は入力側から、(b)は出
力側から測定したものである。
ルタの、(a)は通過域特性、(b)は通過域近傍のV
SWR特性である。
ドSAWフィルタの構成を示す平面図である。
構成を示す平面図である。
の、(a)は通過域特性、(b)は通過域近傍のVSW
R特性を示す図である。
スミス図表で、(a)は入力側から、(b)は出力側か
ら測定したものである。
出力側にインダクタンスを並列接続した場合のスミス図
表で、(a)は入力側から、(b)は出力側から測定し
たものである。
極指ピッチ
Claims (4)
- 【請求項1】 圧電基板の主面上に表面波の伝搬方向に
3つのIDT電極を近接配置すると共に、その両側にグ
レーティング反射器を配設した1次−3次縦結合二重モ
ードSAWフィルタを2つ縦続接続したフィルタにおい
て、 前記フィルタの一方の二重モードSAWフィルタの中央
に配置するIDT電極のピッチをL2とし、該IDT電
極の電極指を他方の二重モードSAWフィルタの中央に
配置したIDT電極よりも少なくすると共に、少なくし
た電極指に代えてピッチLdのダミー電極を配置したフ
ィルタであって、ピッチL2をそれ以外のIDT電極の
電極指ピッチL1より大きくしたことを特徴とする縦結
合弾性表面波フィルタ。 - 【請求項2】 1.001<L2/L1<1.015と
したことを特徴とする請求項1記載の縦結合弾性表面波
フィルタ。 - 【請求項3】 前記ダミー電極のピッチLdをL1と等
しくしたことを特徴とする請求項1あるいは2記載の縦
結合弾性表面波フィルタ。 - 【請求項4】 前記ダミー電極のピッチLdをL2と等
しくしたことを特徴とする請求項1あるいは2記載の縦
結合弾性表面波フィルタ。
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