JP2001196438A - 薄板状材の搬送装置 - Google Patents
薄板状材の搬送装置Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
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- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
- B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
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- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶表示パネルを製造する為に用いられるガ
ラス基板等のような汚染防止等が要求される大形薄板状
材をずれ落ち等が発生し無いように搬送することができ
るようにする。 【解決手段】 駆動される段付きローラ２ａ，２ｂで薄
板状材１の一端及び他端を支持すると共にその下方の気
体噴射テーブル４から薄板状材１に向って加圧気体を噴
射し、自重によって薄板状材１が過大に撓まないように
保ちながら搬送する。
ラス基板等のような汚染防止等が要求される大形薄板状
材をずれ落ち等が発生し無いように搬送することができ
るようにする。 【解決手段】 駆動される段付きローラ２ａ，２ｂで薄
板状材１の一端及び他端を支持すると共にその下方の気
体噴射テーブル４から薄板状材１に向って加圧気体を噴
射し、自重によって薄板状材１が過大に撓まないように
保ちながら搬送する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルを
製造する為に用いられるガラス基板や金属箔に高分子フ
ィルムをラミネートした積層材等のような薄板状材の搬
送装置に関するものである。
製造する為に用いられるガラス基板や金属箔に高分子フ
ィルムをラミネートした積層材等のような薄板状材の搬
送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、周知のように、液晶表示パネルを
製造する為にガラス基板が用いられているが、液晶表示
用ディスプレーの大型化に伴って、ガラス基板のより一
層の大形薄板化が推進されている。
製造する為にガラス基板が用いられているが、液晶表示
用ディスプレーの大型化に伴って、ガラス基板のより一
層の大形薄板化が推進されている。
【０００３】例えば、幅（Ｗ）が６５０ｍｍ、長さ
（Ｌ）が８３０ｍｍ、板厚（ｔ）が０．７ｍｍといった
ガラス基板が用いられるようになって来たと共に更に薄
いガラス基板を用いることが検討されつつある。
（Ｌ）が８３０ｍｍ、板厚（ｔ）が０．７ｍｍといった
ガラス基板が用いられるようになって来たと共に更に薄
いガラス基板を用いることが検討されつつある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ガラス基板
の大形薄板化は、基板自体が変形し易くなる為にそれの
搬送を困難化し、従来の一般的な搬送技術では対応でき
ないようになって来た。
の大形薄板化は、基板自体が変形し易くなる為にそれの
搬送を困難化し、従来の一般的な搬送技術では対応でき
ないようになって来た。
【０００５】すなわち、従来においては、ガラス基板の
一端及び他端夫々の下面に対する接触によって前記ガラ
ス基板を支持しながら搬送し得るように構成された搬送
装置が用いられていたが、この搬送装置は、比較的小形
で厚いガラス基板の搬送には適していても、そのような
形態の装置で、大形薄板化されたガラス基板を搬送しよ
うとすると、かかるガラス基板が自重によって湾曲し撓
みが過大になってずれ落ちしたり或いは破損したりし易
くなるといった問題が惹起されると共に、その撓み量が
搬送中において変化して振動やうねりが発生し易く、従
って、発塵や騒音の原因になる為、大形薄板化されたガ
ラス基板の搬送には適していなかった。
一端及び他端夫々の下面に対する接触によって前記ガラ
ス基板を支持しながら搬送し得るように構成された搬送
装置が用いられていたが、この搬送装置は、比較的小形
で厚いガラス基板の搬送には適していても、そのような
形態の装置で、大形薄板化されたガラス基板を搬送しよ
うとすると、かかるガラス基板が自重によって湾曲し撓
みが過大になってずれ落ちしたり或いは破損したりし易
くなるといった問題が惹起されると共に、その撓み量が
搬送中において変化して振動やうねりが発生し易く、従
って、発塵や騒音の原因になる為、大形薄板化されたガ
ラス基板の搬送には適していなかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述の欠点
に鑑みて発明されたものであって、その目的は、大形薄
板化されたガラス基板等のような薄板状材を、ずれ落ち
や破損等が発生しないように良好に搬送することができ
る搬送装置を提供することである。
に鑑みて発明されたものであって、その目的は、大形薄
板化されたガラス基板等のような薄板状材を、ずれ落ち
や破損等が発生しないように良好に搬送することができ
る搬送装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明に係る薄板状材の搬送装置は、請求項１に記載するよ
うに、薄板状材の一端及び他端夫々の下面に対する接触
によって前記薄板状材を支持しながら搬送し得るように
構成された搬送装置において、前記薄板状材の自重によ
る撓みが過大にならないように前記薄板状材の下面に向
って加圧気体を噴射する気体噴射テーブルを装着したこ
とを特徴とするものである。
明に係る薄板状材の搬送装置は、請求項１に記載するよ
うに、薄板状材の一端及び他端夫々の下面に対する接触
によって前記薄板状材を支持しながら搬送し得るように
構成された搬送装置において、前記薄板状材の自重によ
る撓みが過大にならないように前記薄板状材の下面に向
って加圧気体を噴射する気体噴射テーブルを装着したこ
とを特徴とするものである。
【０００８】このように、搬送される薄板状材の自重に
よる撓みが過大にならないように前記薄板状材の下面に
向って加圧気体を噴射する気体噴射テーブルを装着して
いるから、ずれ落ちや破損等が発生しないように良好に
前記薄板状材を搬送することができる。
よる撓みが過大にならないように前記薄板状材の下面に
向って加圧気体を噴射する気体噴射テーブルを装着して
いるから、ずれ落ちや破損等が発生しないように良好に
前記薄板状材を搬送することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】正面図である図１及び図１の右側
面図である図２において、薄板状材１を搬送する為の搬
送装置が示されているが、この搬送装置は、一方の段付
きローラ２ａと他方の段付きローラ２ｂとで薄板状材１
を支持して搬送し得るように構成されている。
面図である図２において、薄板状材１を搬送する為の搬
送装置が示されているが、この搬送装置は、一方の段付
きローラ２ａと他方の段付きローラ２ｂとで薄板状材１
を支持して搬送し得るように構成されている。
【００１０】なお、図示のように、一方の段付きローラ
２ａは、薄板状材１の一端下面に対して接触して支持し
得るように装着されていると共に他方の段付きローラ２
ａは、薄板状材１の他端下面に対して接触して支持し得
るように装着されている。
２ａは、薄板状材１の一端下面に対して接触して支持し
得るように装着されていると共に他方の段付きローラ２
ａは、薄板状材１の他端下面に対して接触して支持し得
るように装着されている。
【００１１】また、これらの段付きローラ２ａ，２ｂ
は、図示されていない駆動装置に連携されて同期して駆
動回転され得るように装着されている軸３ａ，３ｂに装
着されていると共に、薄板状材１の幅（Ｗ）に対応して
両ローラ間の間隔を調整し得るように、基準側（固定
側）の段付きローラ２ａに対して他方の段付きローラ２
ｂを水平方向（図２において示されている矢印方向）へ
移動自在に装着している。
は、図示されていない駆動装置に連携されて同期して駆
動回転され得るように装着されている軸３ａ，３ｂに装
着されていると共に、薄板状材１の幅（Ｗ）に対応して
両ローラ間の間隔を調整し得るように、基準側（固定
側）の段付きローラ２ａに対して他方の段付きローラ２
ｂを水平方向（図２において示されている矢印方向）へ
移動自在に装着している。
【００１２】また、一方の段付きローラ２ａの装着ピッ
チと他方の段付きローラ２ｂのそれとは同一であって、
しかも、両者は同一レベルに装着されている。その為、
薄板状材１の一端及び他端の下面に対する段付きローラ
２ａ，２ｂの接触によって生じる摩擦力で薄板状材１を
図１において右側から左側へ搬送することができる。
チと他方の段付きローラ２ｂのそれとは同一であって、
しかも、両者は同一レベルに装着されている。その為、
薄板状材１の一端及び他端の下面に対する段付きローラ
２ａ，２ｂの接触によって生じる摩擦力で薄板状材１を
図１において右側から左側へ搬送することができる。
【００１３】加えて、一方の段付きローラ２ａと他方の
段付きローラ２ｂ間に気体噴射テーブル４が配設されて
いるが、この気体噴射テーブル４は、薄板状材１の下面
側に位置され、かつ、薄板状材１の下面に対して接近離
反し得るように装着されている。
段付きローラ２ｂ間に気体噴射テーブル４が配設されて
いるが、この気体噴射テーブル４は、薄板状材１の下面
側に位置され、かつ、薄板状材１の下面に対して接近離
反し得るように装着されている。
【００１４】よって、圧縮機５を運転し、管路６を経て
気体噴射テーブル４に気体を加圧供給することにより、
薄板状材１の下面に向って加圧気体を噴射することがで
きるが、その際、気体噴射テーブル４が薄板状材１の下
面に対して接近離反せしめられて所定レベルに位置決め
されると共に、薄板状材１の自重による撓みが過大にな
らないようにその噴射量が所定に制御される。
気体噴射テーブル４に気体を加圧供給することにより、
薄板状材１の下面に向って加圧気体を噴射することがで
きるが、その際、気体噴射テーブル４が薄板状材１の下
面に対して接近離反せしめられて所定レベルに位置決め
されると共に、薄板状材１の自重による撓みが過大にな
らないようにその噴射量が所定に制御される。
【００１５】なお、薄板状材１の下面に対する気体噴射
テーブル４の接近離反は、圧縮機５等が装着されている
ベースプレート（図示されていない）を昇降手段（例え
ば、エアーシリンダー等）で水平に移動させて行うこと
ができる。
テーブル４の接近離反は、圧縮機５等が装着されている
ベースプレート（図示されていない）を昇降手段（例え
ば、エアーシリンダー等）で水平に移動させて行うこと
ができる。
【００１６】また、加圧気体の噴射に際しては、管路６
に装着されている弁７が開口されるが、この弁７は、薄
板状材１の有無を感知するセンサー（図示されていな
い）からの信号によって開閉制御される。その際、図示
のように、薄板状材１を略水平状態に保つように加圧気
体を噴射してもよい。
に装着されている弁７が開口されるが、この弁７は、薄
板状材１の有無を感知するセンサー（図示されていな
い）からの信号によって開閉制御される。その際、図示
のように、薄板状材１を略水平状態に保つように加圧気
体を噴射してもよい。
【００１７】その為、この搬送装置によると、薄板状材
１が大形のものであっても、その搬送中等において、薄
板状材１が自重によって湾曲し撓みが過大になってずれ
落ちしたり或いは破損したりするといったトラブルの発
生を有効に防止することができ、しかも、かかる撓み量
の変化を略一定に保つことができて振動やうねりの発生
も有効に防止することができから、発塵や騒音が発生す
るといった問題も解消することができる。
１が大形のものであっても、その搬送中等において、薄
板状材１が自重によって湾曲し撓みが過大になってずれ
落ちしたり或いは破損したりするといったトラブルの発
生を有効に防止することができ、しかも、かかる撓み量
の変化を略一定に保つことができて振動やうねりの発生
も有効に防止することができから、発塵や騒音が発生す
るといった問題も解消することができる。
【００１８】なお、上述の搬送装置は、水平に設置する
だけでなく、薄板状材１の搬送方向に下り状態に所定角
度に傾斜せしめて設置してもよい。
だけでなく、薄板状材１の搬送方向に下り状態に所定角
度に傾斜せしめて設置してもよい。
【００１９】また、薄板状材１は、その例として、液晶
表示パネルやプラズマ表示装置を製造する為に用いられ
るガラス基板、太陽電池を製造する為に用いられるアモ
ルファスシリコン蒸着基板、回路基板を製造する為に用
いられる高分子フィルム基板や金属箔に高分子フィルム
をラミネートした積層材、又は塗装や洗浄等の処理をし
た未乾燥状態の金属薄板等が挙げられるが、これらは、
汚染防止等の為に、その両端を支持して搬送することが
要求される。
表示パネルやプラズマ表示装置を製造する為に用いられ
るガラス基板、太陽電池を製造する為に用いられるアモ
ルファスシリコン蒸着基板、回路基板を製造する為に用
いられる高分子フィルム基板や金属箔に高分子フィルム
をラミネートした積層材、又は塗装や洗浄等の処理をし
た未乾燥状態の金属薄板等が挙げられるが、これらは、
汚染防止等の為に、その両端を支持して搬送することが
要求される。
【００２０】その為、例えば、図３において示されてい
るように、幅（Ｗ）、長さ（Ｌ）の前記ガラス基板にあ
っては、一般に、その周縁部分（ｄが約５ｍｍ）を支持
して搬送することが許容されている。
るように、幅（Ｗ）、長さ（Ｌ）の前記ガラス基板にあ
っては、一般に、その周縁部分（ｄが約５ｍｍ）を支持
して搬送することが許容されている。
【００２１】また、段付きローラ２ａ，２ｂは、図４に
おいて示されているように、同軸に装着してもよいが、
この例においては、段付きローラ２ｂは、その装着位置
を調整することができるように軸３に装着されている。
おいて示されているように、同軸に装着してもよいが、
この例においては、段付きローラ２ｂは、その装着位置
を調整することができるように軸３に装着されている。
【００２２】また、気体噴射テーブル４は、図５におい
て示されているように、複数個設けてもよく、その個数
は必要に応じて適宜に選択することができ、かつ、その
形態についても、図６〜９において示されているよう
に、各種形態に設けることができる。図６〜９中、８は
気体噴出孔を示している。
て示されているように、複数個設けてもよく、その個数
は必要に応じて適宜に選択することができ、かつ、その
形態についても、図６〜９において示されているよう
に、各種形態に設けることができる。図６〜９中、８は
気体噴出孔を示している。
【００２３】また、気体噴射テーブル４に供給する気体
は、一般には、浄化された空気が用いられるが、必要に
応じて、不活性ガス等を選択することができる。
は、一般には、浄化された空気が用いられるが、必要に
応じて、不活性ガス等を選択することができる。
【００２４】以上、本発明に係る搬送装置の一実施形態
について述べたが、本発明においては、上述の段付きロ
ーラ型搬送装置に限定されず、図１０において示されて
いるような無限軌道型搬送装置であってもよい。
について述べたが、本発明においては、上述の段付きロ
ーラ型搬送装置に限定されず、図１０において示されて
いるような無限軌道型搬送装置であってもよい。
【００２５】正面図である図１０において、左側の駆動
軸１０に装着された鎖車１１と図示されていない右側に
同様に設けられている駆動軸に装着された鎖車とに掛け
渡された無端チェン１２にフィンガー１３ａが一定ピッ
チに装着されている。
軸１０に装着された鎖車１１と図示されていない右側に
同様に設けられている駆動軸に装着された鎖車とに掛け
渡された無端チェン１２にフィンガー１３ａが一定ピッ
チに装着されている。
【００２６】なお、同図においては、薄板状材１の一端
をフィンガー１３ａで支持している姿が示されているに
すぎないが、薄板状材１の他端も同様に、左側の駆動軸
１０に装着された一方の鎖車と右側の駆動軸に装着され
た他方の鎖車とに掛け渡された無端チェンに一定ピッチ
に装着されているフィンガーで支持されている。
をフィンガー１３ａで支持している姿が示されているに
すぎないが、薄板状材１の他端も同様に、左側の駆動軸
１０に装着された一方の鎖車と右側の駆動軸に装着され
た他方の鎖車とに掛け渡された無端チェンに一定ピッチ
に装着されているフィンガーで支持されている。
【００２７】より具体的には、図１１において、薄板状
材１の一端が左側のフィンガー１３ａで支持されている
と共に他端が右側のフィンガー１３ｂで支持されてい
る。なお、一方のフィンガー１３ａの上端は、左側から
右側へ向って下り状態に傾斜され、また、他方のフィン
ガー１３ｂの上端は、右側から左側へ向って下り状態に
傾斜されている。
材１の一端が左側のフィンガー１３ａで支持されている
と共に他端が右側のフィンガー１３ｂで支持されてい
る。なお、一方のフィンガー１３ａの上端は、左側から
右側へ向って下り状態に傾斜され、また、他方のフィン
ガー１３ｂの上端は、右側から左側へ向って下り状態に
傾斜されている。
【００２８】その為、この搬送装置によると、一対の無
端チェン１２を所定方向へ回動させることにより薄板状
材１を同方向へ搬送、すなわち、薄板状材１の一端及び
他端の下面に対してフィンガー１３ａ，１３ｂの上端を
接触させて薄板状材１を支持し、図１０において右側又
は左側へ搬送することができる。
端チェン１２を所定方向へ回動させることにより薄板状
材１を同方向へ搬送、すなわち、薄板状材１の一端及び
他端の下面に対してフィンガー１３ａ，１３ｂの上端を
接触させて薄板状材１を支持し、図１０において右側又
は左側へ搬送することができる。
【００２９】その際、薄板状材１の下方に配設されてい
る気体噴射テーブル４から、薄板状材１の下面に向って
加圧気体が噴射され、従って、薄板状材１が大形のもの
であっても、その搬送中等において、薄板状材１が自重
によって湾曲し撓みが過大になってずれ落ちしたり或い
は破損したりするといったトラブルの発生を有効に防止
することができると共に、かかる撓み量の変化を略一定
に保つことができて振動やうねりの発生も有効に防止す
ることができから、発塵や騒音が発生するといった問題
も解消することができる。
る気体噴射テーブル４から、薄板状材１の下面に向って
加圧気体が噴射され、従って、薄板状材１が大形のもの
であっても、その搬送中等において、薄板状材１が自重
によって湾曲し撓みが過大になってずれ落ちしたり或い
は破損したりするといったトラブルの発生を有効に防止
することができると共に、かかる撓み量の変化を略一定
に保つことができて振動やうねりの発生も有効に防止す
ることができから、発塵や騒音が発生するといった問題
も解消することができる。
【００３０】なお、気体噴射テーブル４は、その延長方
向（図１０において左右方向）に複数個が連結されてい
るが、それらの気体噴射テーブル４からの加圧気体の噴
射は、薄板状材１を略水平状態に保つように噴射するこ
と（図１１参照）に限定されず、図１２において示され
ているように、薄板状材１が湾曲した状態に保たれるよ
うに噴射してもよく、要するに、薄板状材１の自重によ
る撓みが過大にならないように薄板状材１の下面に向っ
て加圧気体を噴射すればよい。
向（図１０において左右方向）に複数個が連結されてい
るが、それらの気体噴射テーブル４からの加圧気体の噴
射は、薄板状材１を略水平状態に保つように噴射するこ
と（図１１参照）に限定されず、図１２において示され
ているように、薄板状材１が湾曲した状態に保たれるよ
うに噴射してもよく、要するに、薄板状材１の自重によ
る撓みが過大にならないように薄板状材１の下面に向っ
て加圧気体を噴射すればよい。
【００３１】また、図１３において示されているよう
に、気体噴射テーブル４を中央部から破線で示されてい
る右側の位置へ移動せしめたり或いはそれと反対に左側
へ移動せしめたりし得るように設けてもよい。
に、気体噴射テーブル４を中央部から破線で示されてい
る右側の位置へ移動せしめたり或いはそれと反対に左側
へ移動せしめたりし得るように設けてもよい。
【００３２】更に、薄板状材１の有無を感知するセンサ
ーを所定位置に設け、そこを通過する直前に気体噴射テ
ーブル４から加圧気体を噴射すると共にその通過直後に
おいて噴射停止させるようにしてもよい。
ーを所定位置に設け、そこを通過する直前に気体噴射テ
ーブル４から加圧気体を噴射すると共にその通過直後に
おいて噴射停止させるようにしてもよい。
【００３３】
【発明の効果】上述のように、請求項１〜３に記載の発
明によると、大形の薄板状材であっても、その搬送中等
において、薄板状材が自重によって湾曲し撓みが過大に
なってずれ落ちしたり或いは破損したりするといったト
ラブルの発生を有効に防止することができ、しかも、か
かる撓み量の変化を略一定に保つことができて振動やう
ねりの発生も有効に防止することができから、発塵や騒
音が発生するといった問題も解消することができる搬送
装置を得ることができる。なお、特に、液晶表示パネル
を製造する為に用いられるガラス基板の搬送に適した搬
送装置を得ることができる。
明によると、大形の薄板状材であっても、その搬送中等
において、薄板状材が自重によって湾曲し撓みが過大に
なってずれ落ちしたり或いは破損したりするといったト
ラブルの発生を有効に防止することができ、しかも、か
かる撓み量の変化を略一定に保つことができて振動やう
ねりの発生も有効に防止することができから、発塵や騒
音が発生するといった問題も解消することができる搬送
装置を得ることができる。なお、特に、液晶表示パネル
を製造する為に用いられるガラス基板の搬送に適した搬
送装置を得ることができる。
【図１】段付きローラ型搬送装置の正面図である。
【図２】図１の右側面図である。
【図３】ガラス基板の平面図である。
【図４】段付きローラの他の装着態様を示す図である。
【図５】気体噴射テーブルの他の装着態様を示す図であ
る。
る。
【図６】気体噴射テーブルの縦断面図である。
【図７】気体噴射テーブルの他の態様を示す斜視図であ
る。
る。
【図８】気体噴射テーブルの他の態様を示す斜視図であ
る。
る。
【図９】気体噴射テーブルの他の態様を示す斜視図であ
る。
る。
【図１０】無限軌道型搬送装置の正面図である。
【図１１】薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射して
薄板状材を略水平状態に保っている姿を示す図である。
薄板状材を略水平状態に保っている姿を示す図である。
【図１２】薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射して
薄板状材を湾曲状態に保っている姿を示す図である。
薄板状材を湾曲状態に保っている姿を示す図である。
【図１３】気体噴射テーブルを薄板状材の下方において
水平方向へ移動させる態様を示す図である。
水平方向へ移動させる態様を示す図である。
１：薄板状材 ２ａ，２ｂ：段付きローラ ４：気体噴射テーブル ８：気体噴射孔 １１：鎖車 １２：無端チェン １３ａ，１３ｂ：フィンガー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｈ 5/22 Ｂ６５Ｈ 5/22 Ａ Ｆターム(参考） 3F049 FA05 LA15 5F031 CA05 GA53 GA62 PA13
Claims (3)
- 【請求項１】 薄板状材の一端及び他端夫々の下面に対
する接触によって前記薄板状材を支持しながら搬送し得
るように構成された搬送装置において、前記薄板状材の
自重による撓みが過大にならないように前記薄板状材の
下面に向って加圧気体を噴射する気体噴射テーブルを装
着したことを特徴とする薄板状材の搬送装置。 - 【請求項２】 気体噴射テーブルが薄板状材の下面に対
して接近離反し得るように装着されていることを特徴と
する請求項１に記載の薄板状材の搬送装置。 - 【請求項３】 薄板状材がガラス基板であることを特徴
とする請求項１又は２に記載の薄板状材の搬送装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000006558A JP2001196438A (ja) | 2000-01-14 | 2000-01-14 | 薄板状材の搬送装置 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family
ID=18535070
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000006558A Pending JP2001196438A (ja) | 2000-01-14 | 2000-01-14 | 薄板状材の搬送装置 |
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