JP2001188983A - 物理量データの伝送方法および物理量データの伝送装置、並びに、流量測定システムおよび流量測定装置 - Google Patents
物理量データの伝送方法および物理量データの伝送装置、並びに、流量測定システムおよび流量測定装置Info
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- JP2001188983A JP2001188983A JP37486099A JP37486099A JP2001188983A JP 2001188983 A JP2001188983 A JP 2001188983A JP 37486099 A JP37486099 A JP 37486099A JP 37486099 A JP37486099 A JP 37486099A JP 2001188983 A JP2001188983 A JP 2001188983A
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Landscapes
- Details Of Flowmeters (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Measuring Frequencies, Analyzing Spectra (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 瞬時流量値などの物理量データを簡単な構成
で、信頼性高く正確に伝送する。 【解決手段】 カルマン渦の渦信号等の入力パルス信号
(a)の立上がりから基準クロック(b)を計数する。
次の立上がりまでの計数値からパルスの周期t1を検出
する。周期t1 から瞬時流量値q1 を求める。瞬時流量
値q1 、q2 、…を累算して累算値Σqn を求める。累
算値Σqn が設定値qs以上となったら伝送パルス信号
を出力する。監視装置等の受信側では、伝送パルス信号
の周波数等を検出し、設定値qsから瞬時流量値を求め
る。
で、信頼性高く正確に伝送する。 【解決手段】 カルマン渦の渦信号等の入力パルス信号
(a)の立上がりから基準クロック(b)を計数する。
次の立上がりまでの計数値からパルスの周期t1を検出
する。周期t1 から瞬時流量値q1 を求める。瞬時流量
値q1 、q2 、…を累算して累算値Σqn を求める。累
算値Σqn が設定値qs以上となったら伝送パルス信号
を出力する。監視装置等の受信側では、伝送パルス信号
の周波数等を検出し、設定値qsから瞬時流量値を求め
る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、時系列に変動しう
る物理量のデータを発信側から受信側に伝送するため
の、物理量データの伝送方法および物理量データの伝送
装置、並びに、流体の流量を計測して集中管理装置等に
伝送する流量測定システムおよび流量測定装置に関す
る。
る物理量のデータを発信側から受信側に伝送するため
の、物理量データの伝送方法および物理量データの伝送
装置、並びに、流体の流量を計測して集中管理装置等に
伝送する流量測定システムおよび流量測定装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、被測定物理量を検出してパルス信
号を発するセンサからの信号を測定する装置として、周
波数計、回転数計、パルスカウンタ等が知られている。
例えば、静電容量式圧力センサは発振器を構成し、圧力
に対応する周波数の信号を発生する。そこで、この圧力
センサからの信号の周波数を測定することにより圧力を
測定することができる。また、羽根車式流量センサにお
いては、着磁された羽根車が流れによって回転し、固定
されたホール素子がその磁気を検出して流量に対応する
周波数を有するパルス信号を出力する。このパルス信号
の周波数を測定することにより流量を測定することがで
きる。
号を発するセンサからの信号を測定する装置として、周
波数計、回転数計、パルスカウンタ等が知られている。
例えば、静電容量式圧力センサは発振器を構成し、圧力
に対応する周波数の信号を発生する。そこで、この圧力
センサからの信号の周波数を測定することにより圧力を
測定することができる。また、羽根車式流量センサにお
いては、着磁された羽根車が流れによって回転し、固定
されたホール素子がその磁気を検出して流量に対応する
周波数を有するパルス信号を出力する。このパルス信号
の周波数を測定することにより流量を測定することがで
きる。
【0003】このような物理量測定装置の一つとして、
カルマン渦式流量センサがある。このカルマン渦式流量
センサは、流路中に設けられた柱状の渦発生体の両側か
ら交互に発生するカルマン渦列を超音波センサや圧電素
子センサによりパルス信号(渦信号)として検出し、こ
のパルス信号の周波数からカルマン渦列の周波数を求め
て、気体や液体など流体の流量を測定するものである。
カルマン渦式流量センサがある。このカルマン渦式流量
センサは、流路中に設けられた柱状の渦発生体の両側か
ら交互に発生するカルマン渦列を超音波センサや圧電素
子センサによりパルス信号(渦信号)として検出し、こ
のパルス信号の周波数からカルマン渦列の周波数を求め
て、気体や液体など流体の流量を測定するものである。
【0004】ここで、一般に、パルス信号の周波数を測
定する場合には、所定期間(ゲートタイム)内に入力さ
れるパルス信号の数を計数すること、あるいは、入力パ
ルス信号の周期を測定し、その逆数から周波数を算出す
ることが行われている。しかしながら、流量測定におい
ては、大流量時には発生するパルス信号の周波数は高く
(周期は短く)なり、小流量時には低く(周期は長く)
なる。したがって、大流量時および小流量時のいずれに
おいても所定の測定精度が得られるように、パルス信号
の周波数の変化に対応して測定を行うことが要求され
る。
定する場合には、所定期間(ゲートタイム)内に入力さ
れるパルス信号の数を計数すること、あるいは、入力パ
ルス信号の周期を測定し、その逆数から周波数を算出す
ることが行われている。しかしながら、流量測定におい
ては、大流量時には発生するパルス信号の周波数は高く
(周期は短く)なり、小流量時には低く(周期は長く)
なる。したがって、大流量時および小流量時のいずれに
おいても所定の測定精度が得られるように、パルス信号
の周波数の変化に対応して測定を行うことが要求され
る。
【0005】そこで、特開平5−297036号公報に
おいて、一定時間のタイマ、クロック発生器、クロック
計数用カウンタ、クロックによる計数動作を制御するカ
ウンタ制御手段、パルス信号の検出と計数と所定の演算
制御を行う処理手段とを備える周波数測定装置が提案さ
れている。
おいて、一定時間のタイマ、クロック発生器、クロック
計数用カウンタ、クロックによる計数動作を制御するカ
ウンタ制御手段、パルス信号の検出と計数と所定の演算
制御を行う処理手段とを備える周波数測定装置が提案さ
れている。
【0006】この周波数測定装置によれば、前記タイマ
に測定下限周波数の周期の2倍以上の時間を設定して、
パルス信号の検出と計数とを開始する。そして、パルス
信号を検出したときは、前記クロック計数用カウンタが
前記クロック発生器からのクロックの計数を開始するよ
うに前記カウンタ制御手段を制御し、パルス信号を検出
するごとにクロック計数用カウンタの計数値を確認す
る。そして、前記計数値が所定値に達しないときは、検
出と計数とを継続する。一方、前記計数値が所定値に達
したときは、前記検出と計数とを停止し、前記カウンタ
制御手段を制御して前記クロック計数用カウンタの計数
値から周波数測定値を演算により算出する。また、前記
タイマの計時終了時に、クロックの計数が終了していな
いときはパルス信号の検出と計数とを停止し、さらに前
記カウンタ制御手段を制御してクロック計数用カウンタ
による計数を終了する。これにより、パルス信号のN回
分の周期をクロック計数用カウンタで計数し、計数値が
所望の分解能を確保しうるまで周期の積算を続けること
により、パルス信号の周波数値によらずに一定値以上の
測定分解能を得るようにしている。
に測定下限周波数の周期の2倍以上の時間を設定して、
パルス信号の検出と計数とを開始する。そして、パルス
信号を検出したときは、前記クロック計数用カウンタが
前記クロック発生器からのクロックの計数を開始するよ
うに前記カウンタ制御手段を制御し、パルス信号を検出
するごとにクロック計数用カウンタの計数値を確認す
る。そして、前記計数値が所定値に達しないときは、検
出と計数とを継続する。一方、前記計数値が所定値に達
したときは、前記検出と計数とを停止し、前記カウンタ
制御手段を制御して前記クロック計数用カウンタの計数
値から周波数測定値を演算により算出する。また、前記
タイマの計時終了時に、クロックの計数が終了していな
いときはパルス信号の検出と計数とを停止し、さらに前
記カウンタ制御手段を制御してクロック計数用カウンタ
による計数を終了する。これにより、パルス信号のN回
分の周期をクロック計数用カウンタで計数し、計数値が
所望の分解能を確保しうるまで周期の積算を続けること
により、パルス信号の周波数値によらずに一定値以上の
測定分解能を得るようにしている。
【0007】また、特公平5−70086号公報には、
大流量時における平均周期の算出精度を高め、且つ小流
量時における応答性をも向上させることを目的とするカ
ルマン渦式空気流量センサ出力パルスの平均周期算出装
置も提案されている。
大流量時における平均周期の算出精度を高め、且つ小流
量時における応答性をも向上させることを目的とするカ
ルマン渦式空気流量センサ出力パルスの平均周期算出装
置も提案されている。
【0008】この平均周期算出装置は、パルス数計数手
段、パルス周期計測手段、計測周期と第1の所定時間と
を比較するパルス周期比較手段と、前回の平均算出終了
時から前記パルス数計数手段で第1の所定値に相当する
パルス数が計数されたとき、前記パルス周期比較手段か
ら大なる比較結果が第2の所定値に相当する回数だけ出
力されたとき、および、前記パルス周期比較手段から小
なる比較結果に続いて大なる比較結果が出力される状態
が第3の所定値に相当する回数だけ現れたときの各条件
のいずれかが成立するごとにパルス信号の周期の平均を
算出する平均周期算出手段とを備えたものである。さら
に、前記第2の所定値と前記パルス周期比較手段との比
較結果により平均周期を算出する第2の平均周期算出手
段、あるいは、前記計測周期と第2の所定時間とを比較
する第2のパルス周期比較手段および前記第2のパルス
周期比較手段の出力により平均周期を算出する第2の平
均周期算出手段をさらに備えたものである。これらの構
成により、小流量時、中流量時、大流量時に亘って、セ
ンサから入力されるパルス信号の平均周期を速やかに算
出することができる。
段、パルス周期計測手段、計測周期と第1の所定時間と
を比較するパルス周期比較手段と、前回の平均算出終了
時から前記パルス数計数手段で第1の所定値に相当する
パルス数が計数されたとき、前記パルス周期比較手段か
ら大なる比較結果が第2の所定値に相当する回数だけ出
力されたとき、および、前記パルス周期比較手段から小
なる比較結果に続いて大なる比較結果が出力される状態
が第3の所定値に相当する回数だけ現れたときの各条件
のいずれかが成立するごとにパルス信号の周期の平均を
算出する平均周期算出手段とを備えたものである。さら
に、前記第2の所定値と前記パルス周期比較手段との比
較結果により平均周期を算出する第2の平均周期算出手
段、あるいは、前記計測周期と第2の所定時間とを比較
する第2のパルス周期比較手段および前記第2のパルス
周期比較手段の出力により平均周期を算出する第2の平
均周期算出手段をさらに備えたものである。これらの構
成により、小流量時、中流量時、大流量時に亘って、セ
ンサから入力されるパルス信号の平均周期を速やかに算
出することができる。
【0009】さらに、特開平9−89613号公報に
は、流量計の応用例として、流路を流れる流体の流量と
予め設定された基準流量値(設定流量値)とを比較し、
この比較結果によって外部機器を制御する信号を出力す
る流量検出スイッチが提案されている。
は、流量計の応用例として、流路を流れる流体の流量と
予め設定された基準流量値(設定流量値)とを比較し、
この比較結果によって外部機器を制御する信号を出力す
る流量検出スイッチが提案されている。
【0010】この提案されている流量検出スイッチにお
いては、カルマン渦の発生周期に対応する周波数を有す
るパルス信号の周期を計測し、該計測した周期に基づい
てテーブル参照により当該流量値を求めるようにしてい
る。また、測定精度を向上するために、複数のパルスの
周期を測定して平均化するようにしている。そして、予
め設定されたしきい値と前記測定した流量とを比較し、
この比較結果をLEDにより表示するとともに、コレク
タが出力端子に接続されたトランジスタのベースに印加
し、該出力端子に接続された負荷への電源供給などを制
御するようにしている。
いては、カルマン渦の発生周期に対応する周波数を有す
るパルス信号の周期を計測し、該計測した周期に基づい
てテーブル参照により当該流量値を求めるようにしてい
る。また、測定精度を向上するために、複数のパルスの
周期を測定して平均化するようにしている。そして、予
め設定されたしきい値と前記測定した流量とを比較し、
この比較結果をLEDにより表示するとともに、コレク
タが出力端子に接続されたトランジスタのベースに印加
し、該出力端子に接続された負荷への電源供給などを制
御するようにしている。
【0011】他方、このような流量センサ(流量計)で
計測した流量の計測値を出力する技術として、特開平5
−332798号公報には、4〜20mAのアナログ出
力、あるいはパルス出力にて測定した流量値を送出する
渦流量計変換器が提案されている。
計測した流量の計測値を出力する技術として、特開平5
−332798号公報には、4〜20mAのアナログ出
力、あるいはパルス出力にて測定した流量値を送出する
渦流量計変換器が提案されている。
【0012】また、特開平5−273008号公報に
は、倍周回路、スケーラ回路、デバイダ回路、1/2分
周回路から構成された流量計用パルス出力回路が提案さ
れている。
は、倍周回路、スケーラ回路、デバイダ回路、1/2分
周回路から構成された流量計用パルス出力回路が提案さ
れている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】特開平9−89613
号公報の流量検出スイッチでは、離れた場所に設置され
た監視装置(リモート側)に流量計(ローカル側)の測
定値を送出することができず、システムの集中監視がで
きないという問題があった。
号公報の流量検出スイッチでは、離れた場所に設置され
た監視装置(リモート側)に流量計(ローカル側)の測
定値を送出することができず、システムの集中監視がで
きないという問題があった。
【0014】また、特開平5−332798号公報の渦
流量計変換器では、感度流量以下の測定値も4〜20m
Aのアナログ信号、あるいはパルス信号に変換して送出
している。このような場合、測定可能な感度流量範囲の
流量計を用いれば良く、あえて、SN比の悪い流量域を
測定するのに回路を切り替えて測定する意味はなく、コ
ストアンプの要因となっている。また、4〜20mAの
出力はともかくとして、パルス信号の出力は渦信号に対
応する生のパルス出力(あるいは未補正パルス出力)で
あり、流量計の個々の器差をそのまま伝送出力するの
で、測定誤差が大きいという問題がある。
流量計変換器では、感度流量以下の測定値も4〜20m
Aのアナログ信号、あるいはパルス信号に変換して送出
している。このような場合、測定可能な感度流量範囲の
流量計を用いれば良く、あえて、SN比の悪い流量域を
測定するのに回路を切り替えて測定する意味はなく、コ
ストアンプの要因となっている。また、4〜20mAの
出力はともかくとして、パルス信号の出力は渦信号に対
応する生のパルス出力(あるいは未補正パルス出力)で
あり、流量計の個々の器差をそのまま伝送出力するの
で、測定誤差が大きいという問題がある。
【0015】また、特開平5−297036号公報の周
波数測定装置においては、測定下限周波数の周期の2倍
以上の時間が設定されたタイマを用いているために、測
定下限周波数付近の周波数を測定する場合には、その周
期の2倍以上の測定時間を必要としている。また、タイ
マの計時時間の終了前に、パルス信号のN回分の周期を
クロック計数用カウンタで計数し、前記計数値が所定値
に達したときは、検出と計数とを停止し、前記計数値か
ら周波数測定値を演算するようにしている。この場合、
タイマの設定時間内をすべて測定していないため、入力
されるパルス信号の真の周波数測定を行なっていること
にはならないという問題がある。
波数測定装置においては、測定下限周波数の周期の2倍
以上の時間が設定されたタイマを用いているために、測
定下限周波数付近の周波数を測定する場合には、その周
期の2倍以上の測定時間を必要としている。また、タイ
マの計時時間の終了前に、パルス信号のN回分の周期を
クロック計数用カウンタで計数し、前記計数値が所定値
に達したときは、検出と計数とを停止し、前記計数値か
ら周波数測定値を演算するようにしている。この場合、
タイマの設定時間内をすべて測定していないため、入力
されるパルス信号の真の周波数測定を行なっていること
にはならないという問題がある。
【0016】また、特開平5−273008号公報の流
量計用パルス出力回路は、計測器用パルス信号を生成す
るために、倍周回路、1/2分周回路を必要とする分、
コストアンプとなるという問題がある。
量計用パルス出力回路は、計測器用パルス信号を生成す
るために、倍周回路、1/2分周回路を必要とする分、
コストアンプとなるという問題がある。
【0017】また、特公平5−70086号公報の平均
周期算出装置によれば、4〜5つのパラメータの設定に
より、小流量時、中流量時および大流量時にわたってセ
ンサから入力されるパルス信号の平均周期を速やかに算
出することができるが、パルス数計数手段、パルス周期
計測手段、第1および第2のパルス周期比較手段、第1
および第2の平均周期算出手段を用いているため、複雑
な構成となってしまう。また、これらの各手段による処
理をマイクロコンピュータなどにより実行させる場合に
は、プログラムに膨大なメモリを必要とし、また、処理
に要する時間も長くなり、平均周期算出処理に占有する
割合が多く、他の処理を実行する余裕がなくなってしま
うという問題があった。
周期算出装置によれば、4〜5つのパラメータの設定に
より、小流量時、中流量時および大流量時にわたってセ
ンサから入力されるパルス信号の平均周期を速やかに算
出することができるが、パルス数計数手段、パルス周期
計測手段、第1および第2のパルス周期比較手段、第1
および第2の平均周期算出手段を用いているため、複雑
な構成となってしまう。また、これらの各手段による処
理をマイクロコンピュータなどにより実行させる場合に
は、プログラムに膨大なメモリを必要とし、また、処理
に要する時間も長くなり、平均周期算出処理に占有する
割合が多く、他の処理を実行する余裕がなくなってしま
うという問題があった。
【0018】本発明は、測定処理に要する時間が短く、
かつ測定誤差の小さな流量計、また伝送出力を備えた安
価な流量計、並びに流量測定システムを提供することを
課題とする。
かつ測定誤差の小さな流量計、また伝送出力を備えた安
価な流量計、並びに流量測定システムを提供することを
課題とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】請求項1の物理量データ
の伝送方法は、時系列に変動しうる物理量のデータを発
信側から受信側に伝送する際に、前記発信側で、前記時
系列な物理量を累算し、該累算値が予め設定された設定
量を越える毎に前記受信側に伝送パルス信号を出力する
とともに前記累算値から前記設定量を減算して新たな累
算値とするようにし、前記受信側で、前記伝送パルス信
号を受信して少なくとも該伝送パルス信号の受信状態を
監視するようにしたことを特徴とする。
の伝送方法は、時系列に変動しうる物理量のデータを発
信側から受信側に伝送する際に、前記発信側で、前記時
系列な物理量を累算し、該累算値が予め設定された設定
量を越える毎に前記受信側に伝送パルス信号を出力する
とともに前記累算値から前記設定量を減算して新たな累
算値とするようにし、前記受信側で、前記伝送パルス信
号を受信して少なくとも該伝送パルス信号の受信状態を
監視するようにしたことを特徴とする。
【0020】請求項2の物理量データの伝送装置は、時
系列に変動しうる物理量のデータを受信側に伝送する物
理量データの伝送装置であって、前記時系列な物理量を
累算し、該累算値が予め設定された設定量を越える毎に
前記受信側に伝送パルス信号を出力するとともに前記累
算値から前記設定量を減算して新たな累算値とするよう
にしたことを特徴とする。
系列に変動しうる物理量のデータを受信側に伝送する物
理量データの伝送装置であって、前記時系列な物理量を
累算し、該累算値が予め設定された設定量を越える毎に
前記受信側に伝送パルス信号を出力するとともに前記累
算値から前記設定量を減算して新たな累算値とするよう
にしたことを特徴とする。
【0021】請求項3の物理量データの伝送装置は、請
求項2の構成を備え、前記設定量を選択的に設定する選
択設定手段を備えたことを特徴とする。
求項2の構成を備え、前記設定量を選択的に設定する選
択設定手段を備えたことを特徴とする。
【0022】請求項4の物理量データの伝送装置は、請
求項2の構成を備え、前記物理量に対応する周波数を有
するパルス信号を出力する物理量検出手段と、前記パル
ス信号を計数して前記時系列な物理量を測定する測定手
段と、を備えたことを特徴とする。
求項2の構成を備え、前記物理量に対応する周波数を有
するパルス信号を出力する物理量検出手段と、前記パル
ス信号を計数して前記時系列な物理量を測定する測定手
段と、を備えたことを特徴とする。
【0023】請求項5の物理量データの伝送装置は、請
求項4の構成を備え、前記パルス信号を計数する測定手
段は、一定の周期を有する第1の信号を発生する第1の
信号発生手段と、前記一定の周期間の前記パルス信号の
数を計数する第1の手段と、前記第1の信号をその周期
中に含む前記パルス信号の1のパルスについて、該1の
パルスの周期中における前記第1の信号の位置を測定す
る第2の手段と、前記第1の手段による計数データと前
記第2の手段による測定データとに基づいて、前記パル
ス信号の周波数を算出する第3の手段と、を備えること
を特徴とする。
求項4の構成を備え、前記パルス信号を計数する測定手
段は、一定の周期を有する第1の信号を発生する第1の
信号発生手段と、前記一定の周期間の前記パルス信号の
数を計数する第1の手段と、前記第1の信号をその周期
中に含む前記パルス信号の1のパルスについて、該1の
パルスの周期中における前記第1の信号の位置を測定す
る第2の手段と、前記第1の手段による計数データと前
記第2の手段による測定データとに基づいて、前記パル
ス信号の周波数を算出する第3の手段と、を備えること
を特徴とする。
【0024】請求項6の流量測定システムは、被測定流
体の流量に対応する周波数を有するパルス信号を出力す
るセンサ部と、前記パルス信号を計数して前記流量を測
定する測定部と、該測定した流量を累算し、該累算値が
予め設定された設定量を越える毎に、伝送パルス信号を
出力するとともに前記累算値から前記設定量を減算して
新たな累算値とする流量測定装置と、前記流量測定装置
からの前記伝送パルス信号を受信して少なくとも該伝送
パルス信号の受信状態を監視する流量監視装置と、を備
えたことを特徴とする。
体の流量に対応する周波数を有するパルス信号を出力す
るセンサ部と、前記パルス信号を計数して前記流量を測
定する測定部と、該測定した流量を累算し、該累算値が
予め設定された設定量を越える毎に、伝送パルス信号を
出力するとともに前記累算値から前記設定量を減算して
新たな累算値とする流量測定装置と、前記流量測定装置
からの前記伝送パルス信号を受信して少なくとも該伝送
パルス信号の受信状態を監視する流量監視装置と、を備
えたことを特徴とする。
【0025】請求項7の流量測定システムは、請求項6
の構成を備え、前記流量測定装置を複数備え、前記流量
監視装置で該複数の流量測定装置からの伝送パルス信号
の受信状態を監視するようにしたことを特徴とする。
の構成を備え、前記流量測定装置を複数備え、前記流量
監視装置で該複数の流量測定装置からの伝送パルス信号
の受信状態を監視するようにしたことを特徴とする。
【0026】請求項8の流量測定装置は、被測定流体の
流量に対応する周波数を有するパルス信号を出力するセ
ンサ部と、前記パルス信号を計数して前記流量を測定す
る測定部とを備え、該測定した流量を累算し、該累算値
が予め設定された設定量を越える毎に、伝送パルス信号
を出力するとともに前記累算値から前記設定量を減算し
て新たな累算値とすることを特徴とする。
流量に対応する周波数を有するパルス信号を出力するセ
ンサ部と、前記パルス信号を計数して前記流量を測定す
る測定部とを備え、該測定した流量を累算し、該累算値
が予め設定された設定量を越える毎に、伝送パルス信号
を出力するとともに前記累算値から前記設定量を減算し
て新たな累算値とすることを特徴とする。
【0027】請求項9の流量測定装置は、請求項8の構
成を備え、前記設定量を選択的に設定する選択設定手段
を備えたことを特徴とする。
成を備え、前記設定量を選択的に設定する選択設定手段
を備えたことを特徴とする。
【0028】請求項1の物理量データの伝送方法によれ
ば、流体の流量などの時系列に変動しうる物理量のデー
タを発信側から受信側に伝送する際に、発信側では、検
出された物理量を記憶手段等により累算し、この累算値
が予め設定された設定量を越える毎に受信側に伝送パル
ス信号を出力するとともに前記累算値から前記設定量を
減算して新たな累算値とする。一方、受信側では、前記
伝送パルス信号を受信して少なくとも該伝送パルス信号
の受信状態を監視する。したがって、受信側では、伝送
パルス信号のパルス数を加算して積算流量等の積算物理
量が得られ、単位時間当たりのパルス数を計測すること
で瞬時流量値等を得ることができる。
ば、流体の流量などの時系列に変動しうる物理量のデー
タを発信側から受信側に伝送する際に、発信側では、検
出された物理量を記憶手段等により累算し、この累算値
が予め設定された設定量を越える毎に受信側に伝送パル
ス信号を出力するとともに前記累算値から前記設定量を
減算して新たな累算値とする。一方、受信側では、前記
伝送パルス信号を受信して少なくとも該伝送パルス信号
の受信状態を監視する。したがって、受信側では、伝送
パルス信号のパルス数を加算して積算流量等の積算物理
量が得られ、単位時間当たりのパルス数を計測すること
で瞬時流量値等を得ることができる。
【0029】また、伝送パルス信号は物理量のデータ自
体を伝送するものではなく、伝送される物理量のデータ
は、伝送パルス信号のタイミングおよび予め設定された
設定量によって決まるので、伝送の精度が良くなる。ま
た、設定量を小さな値に設定できるので、リアルタイム
な物理量を伝送でき、集中監視装置等の受信側で流量等
を監視できるので処理応答性が良くなる。
体を伝送するものではなく、伝送される物理量のデータ
は、伝送パルス信号のタイミングおよび予め設定された
設定量によって決まるので、伝送の精度が良くなる。ま
た、設定量を小さな値に設定できるので、リアルタイム
な物理量を伝送でき、集中監視装置等の受信側で流量等
を監視できるので処理応答性が良くなる。
【0030】請求項2の物理量データの伝送装置によれ
ば、上記請求項1の物理量データの伝送方法を適用し、
例えば測定誤差の小さな流量計、また伝送出力を備えた
安価な流量例を構成することができる。
ば、上記請求項1の物理量データの伝送方法を適用し、
例えば測定誤差の小さな流量計、また伝送出力を備えた
安価な流量例を構成することができる。
【0031】請求項3の物理量データの伝送装置によれ
ば、請求項2と同様な作用効果が得られるとともに、前
記設定量を選択的に設定することができ、測定対象とな
る流量などの物理量の範囲に適応することができる。
ば、請求項2と同様な作用効果が得られるとともに、前
記設定量を選択的に設定することができ、測定対象とな
る流量などの物理量の範囲に適応することができる。
【0032】請求項4の物理量データの伝送装置によれ
ば、請求項2と同様な作用効果が得られるとともに、流
量に対応する周波数を有する渦信号を利用したカルマン
渦式流量計を構成して、請求項1の物理量データの伝送
方法を適用することができる。
ば、請求項2と同様な作用効果が得られるとともに、流
量に対応する周波数を有する渦信号を利用したカルマン
渦式流量計を構成して、請求項1の物理量データの伝送
方法を適用することができる。
【0033】請求項5の物理量データの伝送装置によれ
ば、請求項4と同様な作用効果が得られる。また、第1
の信号発生手段が発生する第1の信号の一定の周期間
の、前記パルス信号の数が第1の手段により計数され
る。また、前記パルス信号の各周期中の内、第1の信号
が発生された周期のパルス信号の1のパルスについて、
該1のパルスの周期中における第1の信号の位置(タイ
ミング)が第2の手段により測定される。そして、第3
の手段により、第1の手段による計数データと第2の手
段による測定データとに基づいて前記パルス信号の周波
数が算出される。
ば、請求項4と同様な作用効果が得られる。また、第1
の信号発生手段が発生する第1の信号の一定の周期間
の、前記パルス信号の数が第1の手段により計数され
る。また、前記パルス信号の各周期中の内、第1の信号
が発生された周期のパルス信号の1のパルスについて、
該1のパルスの周期中における第1の信号の位置(タイ
ミング)が第2の手段により測定される。そして、第3
の手段により、第1の手段による計数データと第2の手
段による測定データとに基づいて前記パルス信号の周波
数が算出される。
【0034】請求項6の流量測定システムによれば、請
求項1の物理量データの伝送方法を適用した流量測定シ
ステムを構成でき、流量データの測定、伝送および監視
について請求項1と同様な作用効果が得られる。
求項1の物理量データの伝送方法を適用した流量測定シ
ステムを構成でき、流量データの測定、伝送および監視
について請求項1と同様な作用効果が得られる。
【0035】請求項7の流量測定システムによれば、請
求項6と同様な作用効果が得られるとともに、複数の流
量測定装置を流量監視装置で集中管理することができ
る。
求項6と同様な作用効果が得られるとともに、複数の流
量測定装置を流量監視装置で集中管理することができ
る。
【0036】請求項8の流量測定装置によれば、請求項
6の流量測定システムに適用でき、測定誤差の小さな流
量計、また伝送出力を備えた安価な流量計を構成するこ
とができる。
6の流量測定システムに適用でき、測定誤差の小さな流
量計、また伝送出力を備えた安価な流量計を構成するこ
とができる。
【0037】請求項9の流量測定装置によれば、請求項
8と同様な作用効果が得られるとともに、前記設定量を
選択的に設定することができ、測定対象となる流量の範
囲に適応することができる。
8と同様な作用効果が得られるとともに、前記設定量を
選択的に設定することができ、測定対象となる流量の範
囲に適応することができる。
【0038】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態について説明する。図2は本発明請求項1の物
理量データの伝送方法を適用した物理量データの伝送シ
ステムのブロック図である。なお、この物理量データの
伝送システムの実施形態として物理量の一例として流量
を対称とした流量測定システムについて後述説明する。
伝送装置100は発信側であり後述説明する流量計等に
対応し、外部装置200は受信側であり流量監視装置等
に対応している。伝送装置100は外部装置200から
供給されるDC電源(12〜24V)で動作し、流量な
どの時系列に変動しうる物理量を検出し、その検出した
物理量をメモリ等に累算する。そして、累算値が予め設
定された設定量を越える毎に外部装置Bに対して伝送パ
ルス信号を出力し、この伝送パルス信号を出力すると累
算値から設定量を減算して新たな累算値としてメモリの
内容を更新する。
実施形態について説明する。図2は本発明請求項1の物
理量データの伝送方法を適用した物理量データの伝送シ
ステムのブロック図である。なお、この物理量データの
伝送システムの実施形態として物理量の一例として流量
を対称とした流量測定システムについて後述説明する。
伝送装置100は発信側であり後述説明する流量計等に
対応し、外部装置200は受信側であり流量監視装置等
に対応している。伝送装置100は外部装置200から
供給されるDC電源(12〜24V)で動作し、流量な
どの時系列に変動しうる物理量を検出し、その検出した
物理量をメモリ等に累算する。そして、累算値が予め設
定された設定量を越える毎に外部装置Bに対して伝送パ
ルス信号を出力し、この伝送パルス信号を出力すると累
算値から設定量を減算して新たな累算値としてメモリの
内容を更新する。
【0039】外部装置200は伝送装置100からの伝
送パルス信号を受信し、周波数測定部210で伝送パル
ス信号の周波数(1秒間のパルス数)を測定し、測定値
をマイコン等の制御部220に出力する。制御部220
は測定された周波数から例えば瞬時流量等の検出された
物理量を演算し、その演算結果を表示部230に表示す
る。なお、伝送装置100からはHレベル(またはLレ
ベル)の電圧信号が出力され、この電圧信号はレベル変
換器240でレベル変換されて制御部220に入力され
る。そして、制御部220はこのレベル変換された電圧
信号に基づいて判断し処理する。
送パルス信号を受信し、周波数測定部210で伝送パル
ス信号の周波数(1秒間のパルス数)を測定し、測定値
をマイコン等の制御部220に出力する。制御部220
は測定された周波数から例えば瞬時流量等の検出された
物理量を演算し、その演算結果を表示部230に表示す
る。なお、伝送装置100からはHレベル(またはLレ
ベル)の電圧信号が出力され、この電圧信号はレベル変
換器240でレベル変換されて制御部220に入力され
る。そして、制御部220はこのレベル変換された電圧
信号に基づいて判断し処理する。
【0040】例えば、流量測定システムの場合に、伝送
装置100で流量を検出し、1mL(ミリリットル)の
流量を検出する毎に伝送パルス信号を出力するように設
定されているとする。そして、外部装置200におい
て、周波数測定部210で1秒間に例えば4.7個の伝
送パルス信号が検出されたとすると、制御部220で、
流量は4.7mL/sec=0.282L/minと演
算される。
装置100で流量を検出し、1mL(ミリリットル)の
流量を検出する毎に伝送パルス信号を出力するように設
定されているとする。そして、外部装置200におい
て、周波数測定部210で1秒間に例えば4.7個の伝
送パルス信号が検出されたとすると、制御部220で、
流量は4.7mL/sec=0.282L/minと演
算される。
【0041】図3は本発明請求項7に対応する流量測定
システムのブロック図であり、伝送装置として複数の流
量測定装置100を備えている。各流量測定装置100
は、図2の伝送装置100と同様であり、流量を検出し
てメモリ等に累算し、累算値が予め設定された設定流路
量を越える毎に外部装置200′に対して伝送パルス信
号を出力するとともに、累算値から設定量を減算して新
たな累算値としてメモリの内容を更新する。
システムのブロック図であり、伝送装置として複数の流
量測定装置100を備えている。各流量測定装置100
は、図2の伝送装置100と同様であり、流量を検出し
てメモリ等に累算し、累算値が予め設定された設定流路
量を越える毎に外部装置200′に対して伝送パルス信
号を出力するとともに、累算値から設定量を減算して新
たな累算値としてメモリの内容を更新する。
【0042】外部装置200′は各流量測定装置100
からの伝送パルス信号を受信し、制御部220′でチャ
ンネル選択される多チャンネル周波数測定部210′で
伝送パルス信号の周波数を測定し、測定値を制御部22
0′に出力する。制御部220′は測定された周波数か
ら流量を演算し、演算結果をディスプレイタッチパネル
230′に表示する。
からの伝送パルス信号を受信し、制御部220′でチャ
ンネル選択される多チャンネル周波数測定部210′で
伝送パルス信号の周波数を測定し、測定値を制御部22
0′に出力する。制御部220′は測定された周波数か
ら流量を演算し、演算結果をディスプレイタッチパネル
230′に表示する。
【0043】図4は伝送装置100の第1実施形態の機
能ブロック図であり、この伝送装置100はカルマン渦
流式流量計等に適用できる構成となっている。図におい
て、1はカルマン渦の渦信号などのパルス信号を検出し
て波形整形されたパルス信号を出力するパルス検出部、
2は第1カウンタ、3は基準クロック(例えば3.25
52μsec)を発生する基準クロック発生部、4は第
2カウンタ、5は一回の測定開始および終了時点を規定
する第1の信号を発生する第1タイマである。
能ブロック図であり、この伝送装置100はカルマン渦
流式流量計等に適用できる構成となっている。図におい
て、1はカルマン渦の渦信号などのパルス信号を検出し
て波形整形されたパルス信号を出力するパルス検出部、
2は第1カウンタ、3は基準クロック(例えば3.25
52μsec)を発生する基準クロック発生部、4は第
2カウンタ、5は一回の測定開始および終了時点を規定
する第1の信号を発生する第1タイマである。
【0044】ここで、図中一点鎖線で囲んだ第1カウン
タ2、基準クロック発生部3、第2カウンタ4、第1タ
イマ5、演算処理部6および制御部7は、例えば、シン
グルチップマイクロコンピュータにより構成されてお
り、各ブロック間の信号処理の一部は後述のプログラム
をマイコンが実行することにより実現される。例えば、
基準クロック発生部3からの基準クロックは第1カウン
タ2に入力され、パルス検出部1からのパルス信号は第
2カウンタ4に入力されるようにそれぞれハードウエア
により構成されているが、図に破線の矢印で示したよう
に、第1カウンタ2および第2カウンタによる計数の開
始等は、パルス検出部1からのパルスの検出あるいは第
1タイマ5からの第1の信号の検出による割り込み処理
(ソフトウエア)により機能する。
タ2、基準クロック発生部3、第2カウンタ4、第1タ
イマ5、演算処理部6および制御部7は、例えば、シン
グルチップマイクロコンピュータにより構成されてお
り、各ブロック間の信号処理の一部は後述のプログラム
をマイコンが実行することにより実現される。例えば、
基準クロック発生部3からの基準クロックは第1カウン
タ2に入力され、パルス検出部1からのパルス信号は第
2カウンタ4に入力されるようにそれぞれハードウエア
により構成されているが、図に破線の矢印で示したよう
に、第1カウンタ2および第2カウンタによる計数の開
始等は、パルス検出部1からのパルスの検出あるいは第
1タイマ5からの第1の信号の検出による割り込み処理
(ソフトウエア)により機能する。
【0045】第1カウンタ2は、後述の割り込み処理に
より、パルス検出部1からの入力パルスの立上がりエッ
ジから次の入力パルスの立上がりエッジまでの期間に前
記基準クロック発生部3から入力される基準クロックを
計数する。そして、この第1カウンタ2の計数値によ
り、入力パルスの周期を計測する。なお、立下がりエッ
ジで計数するようにしてもよい。また、図示するよう
に、第1タイマ5からの第1の信号の発生により、この
第1の信号の発生タイミングにおける計数値を第1カウ
ンタ2から得ることもできる。
より、パルス検出部1からの入力パルスの立上がりエッ
ジから次の入力パルスの立上がりエッジまでの期間に前
記基準クロック発生部3から入力される基準クロックを
計数する。そして、この第1カウンタ2の計数値によ
り、入力パルスの周期を計測する。なお、立下がりエッ
ジで計数するようにしてもよい。また、図示するよう
に、第1タイマ5からの第1の信号の発生により、この
第1の信号の発生タイミングにおける計数値を第1カウ
ンタ2から得ることもできる。
【0046】一方、第2カウンタ4は、第1タイマ5か
らの第1の信号により規定される測定開始時点から測定
終了時点までの期間(例えば1秒間)にパルス検出部1
から入力される入力パルスの個数を計数する。なお、こ
の測定開始時点から測定終了時点までの期間を、以後
「測定期間」という。
らの第1の信号により規定される測定開始時点から測定
終了時点までの期間(例えば1秒間)にパルス検出部1
から入力される入力パルスの個数を計数する。なお、こ
の測定開始時点から測定終了時点までの期間を、以後
「測定期間」という。
【0047】また、6は演算処理部であり、第1カウン
タ2からの計数出力に基づいて入力パルス信号の周期を
算出し、この周期から1パルス毎の物理量(後述の実施
形態では瞬時流量値)を算出する。8は演算処理部6に
より算出された物理量を表示する表示部、9は後述の監
視装置等に信号を出力する信号出力部、7は各構成要素
の動作を制御する制御部である。そして、演算処理部6
は、入力パルス毎の物理量を累算し、累算値が設定物理
量を超える毎に信号出力部9に伝送パルス信号の送出指
示を出力する。これにより、信号出力部9から監視装置
等の受信側に伝送パルス信号が出力される。
タ2からの計数出力に基づいて入力パルス信号の周期を
算出し、この周期から1パルス毎の物理量(後述の実施
形態では瞬時流量値)を算出する。8は演算処理部6に
より算出された物理量を表示する表示部、9は後述の監
視装置等に信号を出力する信号出力部、7は各構成要素
の動作を制御する制御部である。そして、演算処理部6
は、入力パルス毎の物理量を累算し、累算値が設定物理
量を超える毎に信号出力部9に伝送パルス信号の送出指
示を出力する。これにより、信号出力部9から監視装置
等の受信側に伝送パルス信号が出力される。
【0048】次に、図1を参照して上記伝送装置100
における物理量データの伝送方法の具体例について説明
する。図において、(a)は前記パルス検出部1からの
入力パルス信号の一例、(b)は基準クロック発生部3
から発生される基準クロックを示している。なお、この
実施形態では基準クロックの周期を3.2552μse
c周期のクロック信号としている。(c)は入力パルス
信号の立上がり時に第2カウンタ4で計数されるパルス
数、(d)は基準クロックで計測される入力パルス信号
の周期、(e)は入力パルス信号の各周期から求められ
るパルス1個当たりの物理量(後述の実施形態では瞬時
流量値)、(f)は上記物理量の累算値を示している。
さらに、(g)は伝送パルス信号の出力/非出力の状態
を示し、(h)は入力パルス信号の検出および伝送パル
ス信号の出力による、物理量の新たな累算値をそれぞれ
示している。
における物理量データの伝送方法の具体例について説明
する。図において、(a)は前記パルス検出部1からの
入力パルス信号の一例、(b)は基準クロック発生部3
から発生される基準クロックを示している。なお、この
実施形態では基準クロックの周期を3.2552μse
c周期のクロック信号としている。(c)は入力パルス
信号の立上がり時に第2カウンタ4で計数されるパルス
数、(d)は基準クロックで計測される入力パルス信号
の周期、(e)は入力パルス信号の各周期から求められ
るパルス1個当たりの物理量(後述の実施形態では瞬時
流量値)、(f)は上記物理量の累算値を示している。
さらに、(g)は伝送パルス信号の出力/非出力の状態
を示し、(h)は入力パルス信号の検出および伝送パル
ス信号の出力による、物理量の新たな累算値をそれぞれ
示している。
【0049】まず、第1タイマ5からの第1の信号によ
り測定が開始され、入力パルス信号の立上がりの検出に
より基準クロックが第1カウンタ2により計数され、周
期測定が開始される。第1カウンタ2の計数値は入力パ
ルス信号の立上がりを検出する毎に参照するとともに、
計数値を“0”にリセットして再度計数を開始する。こ
れにより、各パルス毎に第1カウンタ2の計数値Ai
(iはi番目のパルスに対応することを示す。以下同
様。)が得られる。そして、この第1カウンタ2の計数
値Aiからi番目のパルスの周期tiを求める。なお、
周期tiは、ti=Ai×3.255[μsec]とし
て得られることはいうまでもない。
り測定が開始され、入力パルス信号の立上がりの検出に
より基準クロックが第1カウンタ2により計数され、周
期測定が開始される。第1カウンタ2の計数値は入力パ
ルス信号の立上がりを検出する毎に参照するとともに、
計数値を“0”にリセットして再度計数を開始する。こ
れにより、各パルス毎に第1カウンタ2の計数値Ai
(iはi番目のパルスに対応することを示す。以下同
様。)が得られる。そして、この第1カウンタ2の計数
値Aiからi番目のパルスの周期tiを求める。なお、
周期tiは、ti=Ai×3.255[μsec]とし
て得られることはいうまでもない。
【0050】周期tiが得られると、この周期tiに対
応する物理量qiを求める。この物理量qiはi番目の
パルスの期間に対応するものである、各パルス列に対応
する時系列に変動しうる物理量である。なお、後述の実
施形態ではこの物理量qiとして、流量センサで得られ
るパルス信号の周波数に対応する瞬時流量値について説
明する。一方、上記の物理量qiが求められると、この
物理量qiを各パルスが検出される毎に所定のレジスタ
によって累算し、この累算値Σqi(i番目までの累算
値)と予め設定された設定流量値qsとを比較し、累算
値Σqiが設定値qs以上になると伝送パルス信号を出
力するとともに、累算値Σqiから設定値qsを減算し
てその結果Σqi−qsを新たな累算値として上記レジ
スタを書き換える。図1の例では、n番目のパルスの検
出時に累算値Σqiが設定値qs以上となった場合を示
している。
応する物理量qiを求める。この物理量qiはi番目の
パルスの期間に対応するものである、各パルス列に対応
する時系列に変動しうる物理量である。なお、後述の実
施形態ではこの物理量qiとして、流量センサで得られ
るパルス信号の周波数に対応する瞬時流量値について説
明する。一方、上記の物理量qiが求められると、この
物理量qiを各パルスが検出される毎に所定のレジスタ
によって累算し、この累算値Σqi(i番目までの累算
値)と予め設定された設定流量値qsとを比較し、累算
値Σqiが設定値qs以上になると伝送パルス信号を出
力するとともに、累算値Σqiから設定値qsを減算し
てその結果Σqi−qsを新たな累算値として上記レジ
スタを書き換える。図1の例では、n番目のパルスの検
出時に累算値Σqiが設定値qs以上となった場合を示
している。
【0051】なお、図1には図示していないが、第1タ
イマ5から出力される第1の信号は例えば1秒周期で出
力され、この1秒周期の間の入力パルス信号のパルス数
を第2カウンタ4で計数している。これにより、入力パ
ルス信号の周波数を検出することができ、この周波数か
ら補助的に物理量の変化(流量等)を検出することがで
きる。
イマ5から出力される第1の信号は例えば1秒周期で出
力され、この1秒周期の間の入力パルス信号のパルス数
を第2カウンタ4で計数している。これにより、入力パ
ルス信号の周波数を検出することができ、この周波数か
ら補助的に物理量の変化(流量等)を検出することがで
きる。
【0052】以上のように伝送パルス信号を出力するこ
とにより、例えば監視装置等の受信側において、伝送パ
ルス信号を受信する毎に、物理量の累算値が設定値に達
したことを検出することができる。また、受信側におい
て、伝送パルス信号の周期(伝送パルス信号間の間隔)
を計測することで、物理量の累算値が設定値に達する頻
度を検出することができ、時系列な物理量の変化の度合
(例えば瞬時流量)を検出することができる。例えば、
伝送パルス信号の周期が短いときは、入力パルス信号
(a)のパルスの計数値Aiが少ない段階で設定値に達
したことになるので、各パルス毎の物理量qiが大きい
ことになる。また、伝送パルス信号の周期が長いとき
は、入力パルス信号(a)のパルスの計数値Aiが大き
くなって設定値に達したことになるので、各パルス毎の
物理量qiが小さいことになる。
とにより、例えば監視装置等の受信側において、伝送パ
ルス信号を受信する毎に、物理量の累算値が設定値に達
したことを検出することができる。また、受信側におい
て、伝送パルス信号の周期(伝送パルス信号間の間隔)
を計測することで、物理量の累算値が設定値に達する頻
度を検出することができ、時系列な物理量の変化の度合
(例えば瞬時流量)を検出することができる。例えば、
伝送パルス信号の周期が短いときは、入力パルス信号
(a)のパルスの計数値Aiが少ない段階で設定値に達
したことになるので、各パルス毎の物理量qiが大きい
ことになる。また、伝送パルス信号の周期が長いとき
は、入力パルス信号(a)のパルスの計数値Aiが大き
くなって設定値に達したことになるので、各パルス毎の
物理量qiが小さいことになる。
【0053】また、上記の伝送方法は、物理量の値自体
のデータを伝送するものではなく、伝送パルス信号とい
うパルス信号を伝送するだけでよいので、送受信の信頼
性が高くなり、送受信の処理も簡単になる。
のデータを伝送するものではなく、伝送パルス信号とい
うパルス信号を伝送するだけでよいので、送受信の信頼
性が高くなり、送受信の処理も簡単になる。
【0054】ここで、以上の図1の説明では、入力パル
ス信号(a)の1個のパルス毎に物理量qiを求めるよ
うにしているが、本発明は、この入力パルス信号から物
理量を検出するタイミング等は上記の例に限らない。後
述の、請求項5に対応する実施形態において説明するよ
うに、入力パルス信号の周波数を検出し、その周波数を
検出する毎に物理量を求め、これを累算して所定の設置
値以上となる毎に伝送パルス信号を出力するようにして
もよい。なお、この場合の設定値は上記図1の場合の設
定値qsより大きな値となる。
ス信号(a)の1個のパルス毎に物理量qiを求めるよ
うにしているが、本発明は、この入力パルス信号から物
理量を検出するタイミング等は上記の例に限らない。後
述の、請求項5に対応する実施形態において説明するよ
うに、入力パルス信号の周波数を検出し、その周波数を
検出する毎に物理量を求め、これを累算して所定の設置
値以上となる毎に伝送パルス信号を出力するようにして
もよい。なお、この場合の設定値は上記図1の場合の設
定値qsより大きな値となる。
【0055】次に、図4の伝送装置100の動作につい
て図5〜図8に基づいて説明する。なお、この例では、
演算許可フラグI、演算許可フラグII、パルス出力許可
フラグ、レジスタR1、レジスタR2、レジスタR3、
レジスタR4およびレジスタR5を使用しているが、こ
れらのフラグおよびレジスタは図4の演算処理部6およ
び制御部7が利用する図示しないRAM等に予め設定さ
れている。
て図5〜図8に基づいて説明する。なお、この例では、
演算許可フラグI、演算許可フラグII、パルス出力許可
フラグ、レジスタR1、レジスタR2、レジスタR3、
レジスタR4およびレジスタR5を使用しているが、こ
れらのフラグおよびレジスタは図4の演算処理部6およ
び制御部7が利用する図示しないRAM等に予め設定さ
れている。
【0056】先ず、図5のメインルーチンを開始する
と、ステップS1で、レジスタを初期化するなどの各種
初期化処理を行い、ステップS2で、伝送パルス信号の
1出力に対応する設定値(図1の場合の設定値qs)を
読み込み、所定のレジスタに記憶する。次に、ステップ
S3で各種のフラグをリセットし、ステップS4で第1
タイマ5を動作させる。次に、ステップS5で第1カウ
ンタ2の割り込みを許可し、ステップS6で第2カウン
タの計数を開始してステップS7に進む。
と、ステップS1で、レジスタを初期化するなどの各種
初期化処理を行い、ステップS2で、伝送パルス信号の
1出力に対応する設定値(図1の場合の設定値qs)を
読み込み、所定のレジスタに記憶する。次に、ステップ
S3で各種のフラグをリセットし、ステップS4で第1
タイマ5を動作させる。次に、ステップS5で第1カウ
ンタ2の割り込みを許可し、ステップS6で第2カウン
タの計数を開始してステップS7に進む。
【0057】ステップS7では、後述する図8の物理量
演算の処理を行い、ステップS8に進む。ステップS8
では、パルス出力許可フラグがセットされているか否か
を判定し、セットされていなければステップS12に進
み、セットされていればステップS9で伝送パルス信号
を1パルス出力し、ステップS10でレジスタR3から
設定値qsを減算し、新たな累算値Σqiとしてレジス
タR3に格納する。さらに、ステップS11でパルス出
力許可フラグをリセットし、ステップS12に進む。な
お、パルス出力許可フラグは、後述する割り込み処理に
おいて物理量の累算値が設定値以上になるとセットされ
る。ステップS12では、その他の信号を出力する処理
を行い、ステップS13でレジスタR5の物理量を表示
部8に表示し、ステップS14で他の表示処理を行い、
ステップS15でその他の処理を行なってステップS7
に戻る。
演算の処理を行い、ステップS8に進む。ステップS8
では、パルス出力許可フラグがセットされているか否か
を判定し、セットされていなければステップS12に進
み、セットされていればステップS9で伝送パルス信号
を1パルス出力し、ステップS10でレジスタR3から
設定値qsを減算し、新たな累算値Σqiとしてレジス
タR3に格納する。さらに、ステップS11でパルス出
力許可フラグをリセットし、ステップS12に進む。な
お、パルス出力許可フラグは、後述する割り込み処理に
おいて物理量の累算値が設定値以上になるとセットされ
る。ステップS12では、その他の信号を出力する処理
を行い、ステップS13でレジスタR5の物理量を表示
部8に表示し、ステップS14で他の表示処理を行い、
ステップS15でその他の処理を行なってステップS7
に戻る。
【0058】図6の割り込み処理は入力パルス信号
(a)の立上がりが検出される毎に起動され、入力パル
ス信号の1パルスの周期を計測する処理である。まず、
ステップS21で第1カウンタ2の計数値をレジスタR
1に格納し、ステップS22で第1カウンタ2を“0”
にリセットしてステップS23に進む。ステップS23
では、レジスタR1の値は所定の範囲であるか否かを判
定し、所定の範囲であればステップS24で演算許可フ
ラグIをセットし、所定の範囲でなければステップS2
5で演算許可フラグIをリセットし、それぞれステップ
S26に進む。そして、ステップS26で第1カウンタ
2の計数動作を開始し、元のルーチンに復帰する。ここ
で、上記の所定の範囲とは、測定対象としている物理量
の管理基準などにより設定される物理量の範囲であり、
例えば計測値として有効となるような範囲内であれば演
算許可フラグIをセットして、後述の物理量の演算処理
で演算を行うようにし、範囲外であれば演算許可フラグ
IIをリセットして演算を行わないようにする。
(a)の立上がりが検出される毎に起動され、入力パル
ス信号の1パルスの周期を計測する処理である。まず、
ステップS21で第1カウンタ2の計数値をレジスタR
1に格納し、ステップS22で第1カウンタ2を“0”
にリセットしてステップS23に進む。ステップS23
では、レジスタR1の値は所定の範囲であるか否かを判
定し、所定の範囲であればステップS24で演算許可フ
ラグIをセットし、所定の範囲でなければステップS2
5で演算許可フラグIをリセットし、それぞれステップ
S26に進む。そして、ステップS26で第1カウンタ
2の計数動作を開始し、元のルーチンに復帰する。ここ
で、上記の所定の範囲とは、測定対象としている物理量
の管理基準などにより設定される物理量の範囲であり、
例えば計測値として有効となるような範囲内であれば演
算許可フラグIをセットして、後述の物理量の演算処理
で演算を行うようにし、範囲外であれば演算許可フラグ
IIをリセットして演算を行わないようにする。
【0059】図7の割り込み処理は第1タイマ5から第
1の信号が出力される毎(例えば1秒毎)に起動され、
入力パルス信号(a)の周波数を計測する処理である。
まず、ステップS31で第1タイマ5を次回の割り込み
のために計時を開始し、ステップS32で第2カウンタ
4の計数値をレジスタR2に格納し、ステップS33で
第2カウンタ4を“0”にリセットして計数を再開し、
ステップS34に進む。ステップS34では、レジスタ
R2の値は所定の範囲であるか否かを判定し、所定の範
囲であればステップS35で演算許可フラグIIをセット
し、所定の範囲でなければステップS36で演算許可フ
ラグIIをリセットし、それぞれ元のルーチンに復帰す
る。なお、ステップS34での判定の基準となる所定の
範囲も測定対象としている物理量の管理基準などにより
設定される物理量の範囲であるが、図6の処理とは異な
る値である。
1の信号が出力される毎(例えば1秒毎)に起動され、
入力パルス信号(a)の周波数を計測する処理である。
まず、ステップS31で第1タイマ5を次回の割り込み
のために計時を開始し、ステップS32で第2カウンタ
4の計数値をレジスタR2に格納し、ステップS33で
第2カウンタ4を“0”にリセットして計数を再開し、
ステップS34に進む。ステップS34では、レジスタ
R2の値は所定の範囲であるか否かを判定し、所定の範
囲であればステップS35で演算許可フラグIIをセット
し、所定の範囲でなければステップS36で演算許可フ
ラグIIをリセットし、それぞれ元のルーチンに復帰す
る。なお、ステップS34での判定の基準となる所定の
範囲も測定対象としている物理量の管理基準などにより
設定される物理量の範囲であるが、図6の処理とは異な
る値である。
【0060】図8の物理量の演算の処理は、まず、ステ
ップS41で演算許可フラグIがセットされているか否
かを判定し、セットされていなければ元のルーチン(メ
インルーチン)に復帰し、セットされていればステップ
S42以降の処理を行う。なお、この図8のサブルーチ
ンは、後述の実施形態の流量計における流量算出処理と
同様である。
ップS41で演算許可フラグIがセットされているか否
かを判定し、セットされていなければ元のルーチン(メ
インルーチン)に復帰し、セットされていればステップ
S42以降の処理を行う。なお、この図8のサブルーチ
ンは、後述の実施形態の流量計における流量算出処理と
同様である。
【0061】次に、ステップS42で、周期計測の割り
込み処理で格納されたレジスタR1の値から周期(図1
のti)を演算し、ステップS43で、演算した周期t
iより物理量(図1のqi)を演算する。次に、ステッ
プS44で、演算した物理量qiをレジスタR3に累算
(レジスタ3に格納された値と加算した値でレジスタ3
を書き換える処理)し、ステップS45で、演算した物
理量qiをレジスタR4に積算(レジスタ4に格納され
た値と加算した値でレジスタ4を書き換える処理)し、
ステップS46に進む。
込み処理で格納されたレジスタR1の値から周期(図1
のti)を演算し、ステップS43で、演算した周期t
iより物理量(図1のqi)を演算する。次に、ステッ
プS44で、演算した物理量qiをレジスタR3に累算
(レジスタ3に格納された値と加算した値でレジスタ3
を書き換える処理)し、ステップS45で、演算した物
理量qiをレジスタR4に積算(レジスタ4に格納され
た値と加算した値でレジスタ4を書き換える処理)し、
ステップS46に進む。
【0062】ステップS46では、レジスタ3の累算値
Σqiが設定値qs以上であるか否かを判定し、判定結
果がNOであればステップS48に進み、判定結果がY
ESであれば、ステップS47でパルス出力許可フラグ
をセットしてステップS48に進む。ステップS48で
は、演算許可フラグIIがセットされているか否かを判定
し、セットされていなければステップS402に進み、
セットされていればステップS49以降の処理を行う。
ステップS49では、周波数計測の割り込み処理で格納
されたレジスタR2の値から物理量を演算し、次に、ス
テップS401で、演算した物理量をレジスタR5に格
納し、ステップS402に進む。そして、ステップS4
02で演算許可フラグIIをリセットし、ステップS40
3で演算許可フラグIをリセットして元のルーチンに復
帰する。
Σqiが設定値qs以上であるか否かを判定し、判定結
果がNOであればステップS48に進み、判定結果がY
ESであれば、ステップS47でパルス出力許可フラグ
をセットしてステップS48に進む。ステップS48で
は、演算許可フラグIIがセットされているか否かを判定
し、セットされていなければステップS402に進み、
セットされていればステップS49以降の処理を行う。
ステップS49では、周波数計測の割り込み処理で格納
されたレジスタR2の値から物理量を演算し、次に、ス
テップS401で、演算した物理量をレジスタR5に格
納し、ステップS402に進む。そして、ステップS4
02で演算許可フラグIIをリセットし、ステップS40
3で演算許可フラグIをリセットして元のルーチンに復
帰する。
【0063】以上の処理により、演算許可フラグIがセ
ットされていれば、物理量qiが演算され、それまでの
物理量q1〜qi−1の累算値にこの物理量qiを累算
した累算値Σqiと設定値qsとの比較が行われ、Σq
i≧qsであれば、メインルーチンのステップS9にお
いて伝送パルス信号が出力されることとなる。なお、演
算許可フラグIと演算許可フラグIIがともにセットされ
ていれば、入力パルス信号の周波数に対応する物理量も
演算されてレジスタR5に格納される。
ットされていれば、物理量qiが演算され、それまでの
物理量q1〜qi−1の累算値にこの物理量qiを累算
した累算値Σqiと設定値qsとの比較が行われ、Σq
i≧qsであれば、メインルーチンのステップS9にお
いて伝送パルス信号が出力されることとなる。なお、演
算許可フラグIと演算許可フラグIIがともにセットされ
ていれば、入力パルス信号の周波数に対応する物理量も
演算されてレジスタR5に格納される。
【0064】次に、本発明の流量測定システムおよび流
量測定装置の実施形態について説明する。なお、以下の
実施形態において前記の物理量データの伝送装置Aにお
ける物理量と対応する物理量(瞬時流量等)には前記の
説明と同記号を用いる。
量測定装置の実施形態について説明する。なお、以下の
実施形態において前記の物理量データの伝送装置Aにお
ける物理量と対応する物理量(瞬時流量等)には前記の
説明と同記号を用いる。
【0065】図9は実施形態の流量システムおよび流量
測定装置の基本構成の一例を示すブロック図であり、流
量測定装置(以後、「流量計」という。)100、大別
すると、流体の流量に対応する周波数のパルス信号を出
力するセンサ部11と、この流量計100の機能を選択
するための機能選択部12と、各種指示および各種デー
タを手動で入力するための手動操作部13と、電源のオ
ン/オフを検出してリセット信号を出力するリセット部
14と、コントロール部20が正常に動作しているか否
かを判定し、異常時に割り込み信号を出力するウォッチ
ドッグタイマ15と、電源電圧を監視し、電源電圧の低
下を検出したときに割り込み信号を出力する電源低下検
出部16と、この流量計100の全体の制御を行うコン
トロール部20と、各種データを保持する不揮発性記憶
部17と、計測した流量値等の各種表示を行う表示部3
0と、集中監視装置などの外部装置EXCTに信号の出
力を行う信号出力部40と、電源部45とを備えてい
る。
測定装置の基本構成の一例を示すブロック図であり、流
量測定装置(以後、「流量計」という。)100、大別
すると、流体の流量に対応する周波数のパルス信号を出
力するセンサ部11と、この流量計100の機能を選択
するための機能選択部12と、各種指示および各種デー
タを手動で入力するための手動操作部13と、電源のオ
ン/オフを検出してリセット信号を出力するリセット部
14と、コントロール部20が正常に動作しているか否
かを判定し、異常時に割り込み信号を出力するウォッチ
ドッグタイマ15と、電源電圧を監視し、電源電圧の低
下を検出したときに割り込み信号を出力する電源低下検
出部16と、この流量計100の全体の制御を行うコン
トロール部20と、各種データを保持する不揮発性記憶
部17と、計測した流量値等の各種表示を行う表示部3
0と、集中監視装置などの外部装置EXCTに信号の出
力を行う信号出力部40と、電源部45とを備えてい
る。
【0066】コントロール部20は、各種比較を行うた
めの比較ユニット21と、比較ユニット21における比
較結果に基づいて各種判断を行う判断ユニット22と、
各種演算を行うための演算ユニット23と、コントロー
ル部20の全体を制御するための制御ユニット24と、
各種タイマ割り込みを発生させるためなどに用いられる
タイマユニット25と、制御プログラムや各種のデータ
を記憶するためのROM、RAMなどで構成された記憶
ユニット26とを備えている。なお、このコントロール
部20は、例えば、シングルチップマイクロコンピュー
タにより構成される。
めの比較ユニット21と、比較ユニット21における比
較結果に基づいて各種判断を行う判断ユニット22と、
各種演算を行うための演算ユニット23と、コントロー
ル部20の全体を制御するための制御ユニット24と、
各種タイマ割り込みを発生させるためなどに用いられる
タイマユニット25と、制御プログラムや各種のデータ
を記憶するためのROM、RAMなどで構成された記憶
ユニット26とを備えている。なお、このコントロール
部20は、例えば、シングルチップマイクロコンピュー
タにより構成される。
【0067】表示部30は、計測した流量値を表示する
データ表示ユニット31と、該データ表示ユニット31
で表示される流量の単位を表示する単位表示ユニット3
2と、後述する信号出力時などに点灯制御される出力1
表示ユニット33および出力2表示ユニット34とを備
えている。なお、流量の表示単位が固定されているとき
には、単位表示ユニット32はあえて設けなくてもよ
い。
データ表示ユニット31と、該データ表示ユニット31
で表示される流量の単位を表示する単位表示ユニット3
2と、後述する信号出力時などに点灯制御される出力1
表示ユニット33および出力2表示ユニット34とを備
えている。なお、流量の表示単位が固定されているとき
には、単位表示ユニット32はあえて設けなくてもよ
い。
【0068】信号出力部40は、前記物理量データの伝
送装置100と同様に、測定した流量値に応じて前記伝
送パルス信号を出力し、集中監視装置などの外部装置E
XCTの第1のデータ入力端子DIN1に出力するパル
ス信号出力ユニット40−1、測定流量値が第1の所定
の値以下(あるいは以上)になったときに、そのことを
示す出力1を外部装置EXCTのスイッチ1入力SW1
に出力するスイッチ出力1出力ユニット40−2、およ
び、測定流量値が第2の所定の値以上(あるいは以下)
になったときにそのことを示す出力2を外部装置EXC
Tのスイッチ2入力SW2に出力するスイッチ出力2出
力ユニット40−3を備えている。なお、電源部45
は、外部装置EXCTから供給される直流12〜24
[V]の電源をこの流量計Aの動作電圧に変換して供給
する。また、電源として電池を使用するようにしてもよ
い。
送装置100と同様に、測定した流量値に応じて前記伝
送パルス信号を出力し、集中監視装置などの外部装置E
XCTの第1のデータ入力端子DIN1に出力するパル
ス信号出力ユニット40−1、測定流量値が第1の所定
の値以下(あるいは以上)になったときに、そのことを
示す出力1を外部装置EXCTのスイッチ1入力SW1
に出力するスイッチ出力1出力ユニット40−2、およ
び、測定流量値が第2の所定の値以上(あるいは以下)
になったときにそのことを示す出力2を外部装置EXC
Tのスイッチ2入力SW2に出力するスイッチ出力2出
力ユニット40−3を備えている。なお、電源部45
は、外部装置EXCTから供給される直流12〜24
[V]の電源をこの流量計Aの動作電圧に変換して供給
する。また、電源として電池を使用するようにしてもよ
い。
【0069】次に、流量計100の動作の概略について
説明する。この流量計100が起動されると、制御ユニ
ット24は、まず、この流量計100初期設定を行う。
そして、機能選択部12の設定状態を読み込み、この流
量計100の動作モードを判定する。ここでは、瞬時流
量計モードが設定されているものとする。次に、機能選
択部12により設定されている流路の口径および材質、
制御プログラムのバージョンなどの各種設定状態を表示
部30に表示し、センサ部11から入力される被測定流
量に対応する周波数を有するパルス信号の周期と周波数
の測定を開始する。
説明する。この流量計100が起動されると、制御ユニ
ット24は、まず、この流量計100初期設定を行う。
そして、機能選択部12の設定状態を読み込み、この流
量計100の動作モードを判定する。ここでは、瞬時流
量計モードが設定されているものとする。次に、機能選
択部12により設定されている流路の口径および材質、
制御プログラムのバージョンなどの各種設定状態を表示
部30に表示し、センサ部11から入力される被測定流
量に対応する周波数を有するパルス信号の周期と周波数
の測定を開始する。
【0070】このパルス信号の周期と周波数の測定処理
は、前記物理量データの伝送装置100と同様の処理で
ある。すなわち、周期の測定は、パルス信号の立上がり
の検出により起動される割り込み処理により、基準クロ
ック(例えば3.2552μsec)を第1カウンタで
計数して1パルスの周期を測定する。また、周波数の測
定は、第1タイマ5(1秒タイマ)が出力する第1の信
号により起動される割り込み処理により、1秒間の入力
パルスの数を計数し、周波数を求める。
は、前記物理量データの伝送装置100と同様の処理で
ある。すなわち、周期の測定は、パルス信号の立上がり
の検出により起動される割り込み処理により、基準クロ
ック(例えば3.2552μsec)を第1カウンタで
計数して1パルスの周期を測定する。また、周波数の測
定は、第1タイマ5(1秒タイマ)が出力する第1の信
号により起動される割り込み処理により、1秒間の入力
パルスの数を計数し、周波数を求める。
【0071】そして、演算ユニット23により、測定し
た周期から前記物理量qiに対応する瞬時流量qiを演
算するとともにこの瞬時流量qiを累算し、比較ユニッ
ト21により、予め設定された前記設定値qsに対応す
る設定瞬時流量値qsと累算値Σqiとを比較し、判断
ユニット22によりΣqi≧qsと判定されれば、瞬時
流量qiの累算値Σqiから設定瞬時流量値qsを減算
した値を新たな累算値Σqiとし、信号出力部40から
伝送パルス信号を外部装置EXCTに出力する。
た周期から前記物理量qiに対応する瞬時流量qiを演
算するとともにこの瞬時流量qiを累算し、比較ユニッ
ト21により、予め設定された前記設定値qsに対応す
る設定瞬時流量値qsと累算値Σqiとを比較し、判断
ユニット22によりΣqi≧qsと判定されれば、瞬時
流量qiの累算値Σqiから設定瞬時流量値qsを減算
した値を新たな累算値Σqiとし、信号出力部40から
伝送パルス信号を外部装置EXCTに出力する。
【0072】なお、測定した周波数からも瞬時流量を演
算し、上記周期測定による瞬時流量、または周波数測定
による瞬時流量のいずれかを表示モードに応じて表示部
30に表示する。また、瞬時流量値を積算し、この積算
流量値も表示部30に表示する。
算し、上記周期測定による瞬時流量、または周波数測定
による瞬時流量のいずれかを表示モードに応じて表示部
30に表示する。また、瞬時流量値を積算し、この積算
流量値も表示部30に表示する。
【0073】次に、流量計100のより具体的な実施形
態について説明する。図10は、流量計100の一実施
形態の構造を示す図であり、同図(a) は表示および操作
パルス面を示す上面図、同図(b) は内部構造を示す断面
図、同図(c)は一部を破断して示す側面図である。この
図において、流量計は、流量を計測すべき流体が流れる
流路の途中に接続される計量部本体50と、この計量部
本体50の上方に任意の角度に位置出し可能に取付られ
た計測表示部とからなっている。ここで、計量部本体5
0はそれが接続される配管に合わせたサイズとされてお
り、計測表示部は多種類(例えば、64種類)の配管の
材質や口径に共通に適用することができるものとされて
いる。すなわち、計測表示部は多数の機種に共通に使用
可能で、後述するように、手動操作部(キー入力部)の
操作により配管の口径や材質を選択設定することができ
るようになっている。
態について説明する。図10は、流量計100の一実施
形態の構造を示す図であり、同図(a) は表示および操作
パルス面を示す上面図、同図(b) は内部構造を示す断面
図、同図(c)は一部を破断して示す側面図である。この
図において、流量計は、流量を計測すべき流体が流れる
流路の途中に接続される計量部本体50と、この計量部
本体50の上方に任意の角度に位置出し可能に取付られ
た計測表示部とからなっている。ここで、計量部本体5
0はそれが接続される配管に合わせたサイズとされてお
り、計測表示部は多種類(例えば、64種類)の配管の
材質や口径に共通に適用することができるものとされて
いる。すなわち、計測表示部は多数の機種に共通に使用
可能で、後述するように、手動操作部(キー入力部)の
操作により配管の口径や材質を選択設定することができ
るようになっている。
【0074】計量部本体50は、その入口が上流側に、
出口が下流側にそれぞれ接続され、流れの中に置かれた
柱状物体51の下流側に形成されるカルマン渦の発生周
波数が広いレイノルズ数において流速に比例しているこ
とを利用し、この渦流の発生周波数を計測することによ
り、流速あるいは流量をしることができるカルマン渦流
式のものとして構成されている。このカルマン渦流式の
ものは、摺動部がなくシンプルな構造で、信頼性、耐久
性が優れているほか、流体流路には渦発生体と渦検出器
があるだけで、流路の絞りが小さいので、圧力損失が小
さくなっているという特徴を有している。
出口が下流側にそれぞれ接続され、流れの中に置かれた
柱状物体51の下流側に形成されるカルマン渦の発生周
波数が広いレイノルズ数において流速に比例しているこ
とを利用し、この渦流の発生周波数を計測することによ
り、流速あるいは流量をしることができるカルマン渦流
式のものとして構成されている。このカルマン渦流式の
ものは、摺動部がなくシンプルな構造で、信頼性、耐久
性が優れているほか、流体流路には渦発生体と渦検出器
があるだけで、流路の絞りが小さいので、圧力損失が小
さくなっているという特徴を有している。
【0075】そして、計量部本体50には、渦流の発生
によって変化する流路中の圧力を検出するためホルダの
内部にセンタとして圧電素子52が取付られている。該
圧電素子52は渦流の発生周波数に等しい周波数で変化
する電気信号からなる流量信号を出力し、これをリード
線を介して計測表示部内に設けられた電子回路に供給す
る。
によって変化する流路中の圧力を検出するためホルダの
内部にセンタとして圧電素子52が取付られている。該
圧電素子52は渦流の発生周波数に等しい周波数で変化
する電気信号からなる流量信号を出力し、これをリード
線を介して計測表示部内に設けられた電子回路に供給す
る。
【0076】計測表示部は、防水パッキンを介して突き
合わされた上ケース54と下ケース55とからなる検出
53、このケース53内に収容された表示基板61、C
PU基板62、センサ基板63、上ケース54の上面に
配置されたLED33、34、例えば3桁の7セグメン
トLED表示器により構成されたデータ表示ユニット3
1および操作キー41、42および43などにより構成
されている。計量部本体50の上にはネジ59により中
空の回転軸56が固定され、この回転軸56が下ケース
55の底部にあけられた孔に防水パッキンを介して回転
自在に嵌合されている。そして、計測表示部は、計量部
本体50に対して任意の角度に位置出し可能に調整でき
るようになっている。前記圧電素子52からのリード線
は回転軸56の中空部を通ってセンサ基板63上に形成
された電子回路まで導かれている。なお、60は外部装
置に接続するためのシールド線からなる信号線である。
合わされた上ケース54と下ケース55とからなる検出
53、このケース53内に収容された表示基板61、C
PU基板62、センサ基板63、上ケース54の上面に
配置されたLED33、34、例えば3桁の7セグメン
トLED表示器により構成されたデータ表示ユニット3
1および操作キー41、42および43などにより構成
されている。計量部本体50の上にはネジ59により中
空の回転軸56が固定され、この回転軸56が下ケース
55の底部にあけられた孔に防水パッキンを介して回転
自在に嵌合されている。そして、計測表示部は、計量部
本体50に対して任意の角度に位置出し可能に調整でき
るようになっている。前記圧電素子52からのリード線
は回転軸56の中空部を通ってセンサ基板63上に形成
された電子回路まで導かれている。なお、60は外部装
置に接続するためのシールド線からなる信号線である。
【0077】また、表示基板61およびCPU基板62
は、金属スペーサを介して取付ネジ58により上ケース
54に取り付けられており、センサ基板63は金属スペ
ーサを介して取付ネジ58により下ケース55に取り付
けられている。ここで、上ケース54と下ケース55
は、例えば、内部に導電性シールド材が塗布された樹脂
製とされており、プリント基板61〜63におけるネジ
58および金属スペーサが当接する箇所に設けられた金
属部を介して、前記ケース53とプリント基板61〜6
3との電気的接続がとられるようになされている。な
お、上ケース54は下ケース55に対してネジ57によ
って開閉自在に取り付けられ、各種の設定操作を行うと
きに開けられるようになっている。
は、金属スペーサを介して取付ネジ58により上ケース
54に取り付けられており、センサ基板63は金属スペ
ーサを介して取付ネジ58により下ケース55に取り付
けられている。ここで、上ケース54と下ケース55
は、例えば、内部に導電性シールド材が塗布された樹脂
製とされており、プリント基板61〜63におけるネジ
58および金属スペーサが当接する箇所に設けられた金
属部を介して、前記ケース53とプリント基板61〜6
3との電気的接続がとられるようになされている。な
お、上ケース54は下ケース55に対してネジ57によ
って開閉自在に取り付けられ、各種の設定操作を行うと
きに開けられるようになっている。
【0078】なお、上述した例においては、上ケース5
4上に表示部として、2つのLED33および34と前
記データ表示ユニットとしての3桁の7セグメント表示
器31が設けられている例を示したが、これに限られる
ことはない。図11は表示部の他の例を示す図であり、
この図に示した例においては、前記LED33および3
4、3桁の表示器31の他に、表示単位を示す2つのL
ED35および36を有し、LED35の右方には「m
3 」、LED36の右方には「L」の表示がなされてい
る。これにより、図11に示した例においては、LED
35が点灯することにより、3桁の表示器31において
表示されている数値の単位が立方メートルであることを
示し、また、LED36が点灯することにより表示器3
1において表示されている数値の単位がリットルである
ことを示すことができる。また、LED33およびLE
D34は、後述するように、第1の出力および第2の出
力が外部装置EXCTに出力されているときに点灯制御
されるものである。なお、LED33として赤色のLE
Dを用い、LED34として緑色のものを用いるといっ
たように、LEDの色を変更するようにしてもよい。
4上に表示部として、2つのLED33および34と前
記データ表示ユニットとしての3桁の7セグメント表示
器31が設けられている例を示したが、これに限られる
ことはない。図11は表示部の他の例を示す図であり、
この図に示した例においては、前記LED33および3
4、3桁の表示器31の他に、表示単位を示す2つのL
ED35および36を有し、LED35の右方には「m
3 」、LED36の右方には「L」の表示がなされてい
る。これにより、図11に示した例においては、LED
35が点灯することにより、3桁の表示器31において
表示されている数値の単位が立方メートルであることを
示し、また、LED36が点灯することにより表示器3
1において表示されている数値の単位がリットルである
ことを示すことができる。また、LED33およびLE
D34は、後述するように、第1の出力および第2の出
力が外部装置EXCTに出力されているときに点灯制御
されるものである。なお、LED33として赤色のLE
Dを用い、LED34として緑色のものを用いるといっ
たように、LEDの色を変更するようにしてもよい。
【0079】図12は、前記3つのプリント基板、すな
わち、表示基板61、CPU基板62およびセンサ基板
63上における各回路部品の配置の一例を示す図であ
る。同図(a) はプリント基板61〜63がケース53内
に組み上げられている状態を示す図、同図(b) は表示基
板61の表面図、同図(c) はCPU基板62の裏面図、
同図(d) はセンサ基板63の表面図、同図(e) はセンサ
基板63の裏面図である。
わち、表示基板61、CPU基板62およびセンサ基板
63上における各回路部品の配置の一例を示す図であ
る。同図(a) はプリント基板61〜63がケース53内
に組み上げられている状態を示す図、同図(b) は表示基
板61の表面図、同図(c) はCPU基板62の裏面図、
同図(d) はセンサ基板63の表面図、同図(e) はセンサ
基板63の裏面図である。
【0080】図12(a) に示すように、表示基板61と
CPU基板62はコネクタ64を介して電気的に接続さ
れており、CPU基板62とセンサ基板63はフラット
ケーブル65を介して電気的に接続されている。また、
CPU基板62上には、コントロール部として動作する
マイクロコンピュータ20が設けられ、その裏面に前記
不揮発性記憶素子17として動作するEEPROMが設
けられている。また、図12(b) に示すように、表示基
板61の表面には、2つのピンからなる検査モード設定
ピン18が設けられており、この検査モード設定ピン1
8を短絡することにより、後述する検査モードとするこ
とができるようになっている。
CPU基板62はコネクタ64を介して電気的に接続さ
れており、CPU基板62とセンサ基板63はフラット
ケーブル65を介して電気的に接続されている。また、
CPU基板62上には、コントロール部として動作する
マイクロコンピュータ20が設けられ、その裏面に前記
不揮発性記憶素子17として動作するEEPROMが設
けられている。また、図12(b) に示すように、表示基
板61の表面には、2つのピンからなる検査モード設定
ピン18が設けられており、この検査モード設定ピン1
8を短絡することにより、後述する検査モードとするこ
とができるようになっている。
【0081】さらに、図12(c) に示すように、CPU
基板62の裏面には機能選択部12を構成する2組のジ
ャンパーピンJ1およびJ2が設けられている。ジャン
パーピンJ1は、この流量計Aを瞬時流量計として動作
させるかあるいは積算バッチ流量計として動作させるか
を選択するためのでのであり、ジャンパー線によりジャ
ンパーピンJ1を短絡したときには瞬時流量計として動
作し、開放されているときには積算バッチ流量計として
動作するように設定されている。また、ジャンパーピン
J2は、入力パルス信号の1パルス当たりの流量を10
0mL/パルスに設定するか10mL/パルスに設定す
るかを選択するためのものであり、ジャンパー線により
短絡したときには100mL/パルス、開放されている
ときには10mL/パルスに設定される。
基板62の裏面には機能選択部12を構成する2組のジ
ャンパーピンJ1およびJ2が設けられている。ジャン
パーピンJ1は、この流量計Aを瞬時流量計として動作
させるかあるいは積算バッチ流量計として動作させるか
を選択するためのでのであり、ジャンパー線によりジャ
ンパーピンJ1を短絡したときには瞬時流量計として動
作し、開放されているときには積算バッチ流量計として
動作するように設定されている。また、ジャンパーピン
J2は、入力パルス信号の1パルス当たりの流量を10
0mL/パルスに設定するか10mL/パルスに設定す
るかを選択するためのものであり、ジャンパー線により
短絡したときには100mL/パルス、開放されている
ときには10mL/パルスに設定される。
【0082】図12(d) に示すように、センサ基板63
の表面には圧電素子52からのリード線が接続される端
子S+およびS−が設けられており、さらに、調整用の
トリマVR、各種のオペアンプ、ダイオード、バリスタ
やコンデンサなどの各種の電子部品が配置されている。
また、66は外部装置との接続ケーブル60が接続され
る端子である。さらに、図12(e) に示すように、セン
サ基板63の裏面には、各種出力トランジスタや電源部
45として動作する3端子安定化電源回路78などの各
種の電子部品が設けられている。
の表面には圧電素子52からのリード線が接続される端
子S+およびS−が設けられており、さらに、調整用の
トリマVR、各種のオペアンプ、ダイオード、バリスタ
やコンデンサなどの各種の電子部品が配置されている。
また、66は外部装置との接続ケーブル60が接続され
る端子である。さらに、図12(e) に示すように、セン
サ基板63の裏面には、各種出力トランジスタや電源部
45として動作する3端子安定化電源回路78などの各
種の電子部品が設けられている。
【0083】図13および図14は上記流量計100の
回路構成の一例を示すブロック図である。図13におい
て、20はこの流量計100の全体の制御を行うマイコ
ンであり、その内部には、第1カウンタ2、第2カウン
タ4、タイマ1〜タイマnの複数個のタイマからなるタ
イマレジスタ群83、制御プログラムおよび後述する演
算係数テーブル等を格納したRAM84、各種のデータ
を格納するデータエリアおよびワークエリアなどとして
使用されるRAM85、および表示部30を駆動するた
めの表示ドライバ等が搭載されている。
回路構成の一例を示すブロック図である。図13におい
て、20はこの流量計100の全体の制御を行うマイコ
ンであり、その内部には、第1カウンタ2、第2カウン
タ4、タイマ1〜タイマnの複数個のタイマからなるタ
イマレジスタ群83、制御プログラムおよび後述する演
算係数テーブル等を格納したRAM84、各種のデータ
を格納するデータエリアおよびワークエリアなどとして
使用されるRAM85、および表示部30を駆動するた
めの表示ドライバ等が搭載されている。
【0084】なお、タイマレジスタ群83の中は、前記
第1タイマ5を備えている。また、第2カウンタ4は、
センサ部11からの入力パルス信号が印加される入力ポ
ート(カウント信号入力ポート)に接続されており、第
2カウンタ4は1秒間(第1タイマの第1の信号の周
期)に入力される入力パルスの個数を計数する。
第1タイマ5を備えている。また、第2カウンタ4は、
センサ部11からの入力パルス信号が印加される入力ポ
ート(カウント信号入力ポート)に接続されており、第
2カウンタ4は1秒間(第1タイマの第1の信号の周
期)に入力される入力パルスの個数を計数する。
【0085】11は、圧電素子52、この圧電素子52
からの電気信号を増幅する増幅器67およびこの増幅器
67の出力信号を波形整形してパルス信号として出力す
る波形整形回路68からなるセンサ部であり、このセン
サ部11の出力βは、マイコン20のカウント信号入力
ポートに入力される。また、このセンサ部11の出力β
は、図14に示した信号出力部にも印加されており、出
力トランジスタ77をを介して、外部装置EXCTに直
接出力することができるようになされている。12は機
能選択部であり、前記のように機能を選択するジャンパ
ーピンJ1およびJ2が設けられ、各ジャンパーピンJ
1およびJ2はマイコン20の入力ポートに接続されて
いる。また、18は検査モード設定ピンであり、この検
査モードピンを短絡することにより、この流量計100
を検査モードとすることができる。工場出荷前の検査時
にこの検査モード設定ピン18により検査モードとし、
後述するように、外部装置EXCTとして調整検査装置
を接続して検査を実行する。この検査モード設定ピン1
8の出力はマイコン20の入力ポートに接続される。
からの電気信号を増幅する増幅器67およびこの増幅器
67の出力信号を波形整形してパルス信号として出力す
る波形整形回路68からなるセンサ部であり、このセン
サ部11の出力βは、マイコン20のカウント信号入力
ポートに入力される。また、このセンサ部11の出力β
は、図14に示した信号出力部にも印加されており、出
力トランジスタ77をを介して、外部装置EXCTに直
接出力することができるようになされている。12は機
能選択部であり、前記のように機能を選択するジャンパ
ーピンJ1およびJ2が設けられ、各ジャンパーピンJ
1およびJ2はマイコン20の入力ポートに接続されて
いる。また、18は検査モード設定ピンであり、この検
査モードピンを短絡することにより、この流量計100
を検査モードとすることができる。工場出荷前の検査時
にこの検査モード設定ピン18により検査モードとし、
後述するように、外部装置EXCTとして調整検査装置
を接続して検査を実行する。この検査モード設定ピン1
8の出力はマイコン20の入力ポートに接続される。
【0086】13は手動操作部であり、設定キー41、
アップキー42、ダウンキー43の3つの操作キーが設
けられ、それぞれマイコン20の入力ポートに接続され
ている。15はウォッチドッグタイマであり、マイコン
20の出力ポートからの信号が所定時間入力されなかっ
たときに、マイコン20に割り込み信号を入力する。こ
の割り込み入力によりマイコン20は後述する第1のス
タート処理を開始することとなる。なお、ウォッチドッ
グタイマ15への定時出力は、例えば所定周期毎に実行
されるタイマ割り込み処理により実行される。さらに、
14fはパワーオンリセット回路であり、電源電圧Vc
cが印加されたときに、これを検出してマイコン20の
リセット端子にパルス信号を印加する。これにより、マ
イコン20は後述する第1のスタート処理を実行するこ
ととなる。
アップキー42、ダウンキー43の3つの操作キーが設
けられ、それぞれマイコン20の入力ポートに接続され
ている。15はウォッチドッグタイマであり、マイコン
20の出力ポートからの信号が所定時間入力されなかっ
たときに、マイコン20に割り込み信号を入力する。こ
の割り込み入力によりマイコン20は後述する第1のス
タート処理を開始することとなる。なお、ウォッチドッ
グタイマ15への定時出力は、例えば所定周期毎に実行
されるタイマ割り込み処理により実行される。さらに、
14fはパワーオンリセット回路であり、電源電圧Vc
cが印加されたときに、これを検出してマイコン20の
リセット端子にパルス信号を印加する。これにより、マ
イコン20は後述する第1のスタート処理を実行するこ
ととなる。
【0087】30は前記表示部であり、図示するよう
に、データ表示ユニットとしての3桁の7セグメントL
ED表示器31、第1の出力OUT1(あるいは積算バ
ッチ流量計として使用される場合には出力信号OUT)
の出力時に点灯されるOUT1LED33、第2の出力
OUT2(積算バッチ流量計として使用される場合には
入力IN)の出力(入力)時に点灯されるOUT2(I
N)LED34、駆動桁選択回路37およびLED駆動
回路38を有している。また、前掲の図11に示した単
位表示部32を有する実施形態の場合には、3桁の表示
器31における数値がm3 (立方メートル)単位の数値
であることを表示するLED35およびL(リットル)
単位の数値であることを表示するLED36がさらに設
けられる。そして、マイコン20に内蔵されている表示
駆動回路から、出力ポートを介して駆動桁選択回路37
およびLED駆動回路38に当該表示を行うためのデー
タが出力され、所望の表示がなされる。なお、ここでは
表示素子としてLEDを使用した例を示したが、これに
限らず液晶(LCD)など他の表示素子を採用すること
ができる。また、表示器31の桁数も3桁に限らず、例
えば8桁など任意の桁数としてもよい。
に、データ表示ユニットとしての3桁の7セグメントL
ED表示器31、第1の出力OUT1(あるいは積算バ
ッチ流量計として使用される場合には出力信号OUT)
の出力時に点灯されるOUT1LED33、第2の出力
OUT2(積算バッチ流量計として使用される場合には
入力IN)の出力(入力)時に点灯されるOUT2(I
N)LED34、駆動桁選択回路37およびLED駆動
回路38を有している。また、前掲の図11に示した単
位表示部32を有する実施形態の場合には、3桁の表示
器31における数値がm3 (立方メートル)単位の数値
であることを表示するLED35およびL(リットル)
単位の数値であることを表示するLED36がさらに設
けられる。そして、マイコン20に内蔵されている表示
駆動回路から、出力ポートを介して駆動桁選択回路37
およびLED駆動回路38に当該表示を行うためのデー
タが出力され、所望の表示がなされる。なお、ここでは
表示素子としてLEDを使用した例を示したが、これに
限らず液晶(LCD)など他の表示素子を採用すること
ができる。また、表示器31の桁数も3桁に限らず、例
えば8桁など任意の桁数としてもよい。
【0088】17は前記不揮発性記憶素子であるEEP
ROM(Electrically Erasable Programmable ROM)で
あり、積算流量値データ、各種設定値、後述する調整検
査時に補正された一次式傾きデータや切片データなどが
格納される。これにより、電源電圧低下時におけるデー
タの消失を防止することが可能となる。また、69は電
源端子に並列に接続された大容量コンデンサであり、電
源電圧の一時的な低下時におけるバックアップに用いら
れる。さらに、16は、電源電圧を監視し、所定電圧以
下になったときに電源チェック割り込みを行うための電
圧検出器である。
ROM(Electrically Erasable Programmable ROM)で
あり、積算流量値データ、各種設定値、後述する調整検
査時に補正された一次式傾きデータや切片データなどが
格納される。これにより、電源電圧低下時におけるデー
タの消失を防止することが可能となる。また、69は電
源端子に並列に接続された大容量コンデンサであり、電
源電圧の一時的な低下時におけるバックアップに用いら
れる。さらに、16は、電源電圧を監視し、所定電圧以
下になったときに電源チェック割り込みを行うための電
圧検出器である。
【0089】前記マイコン20の出力ポートから、第1
の出力OUT1および第2の出力OUT2が図14に示
す信号出力部40に供給される。ここで、第1の出力O
UT1は測定した瞬時流量値が第1の設定流量値(例え
ば、下限流量値)QLよりも低くなったときに出力され
る信号であり、第2の出力OUT2は計測した瞬時流量
値が第2の設定流量値(例えば、上限流量値)QUより
も多くなったときに出力される信号である。この第1の
出力OUT1および第2の出力OUT2を外部装置EX
CTに遅滞なく出力することにより、外部装置EXCT
に対する迅速な制御が可能となる。なお、この流量計1
00が積算バッチ流量計として使用される場合には、第
1の出力OUT1は出力OUTとされ、第2の出力OU
T2に代えて、図13に破線で示すように、信号出力部
40/電源部45を介して外部装置EXCTからの入力
INがマイコン20の入力ポートに入力されることとな
るが、ここでは、これ以上の説明は省略する。
の出力OUT1および第2の出力OUT2が図14に示
す信号出力部40に供給される。ここで、第1の出力O
UT1は測定した瞬時流量値が第1の設定流量値(例え
ば、下限流量値)QLよりも低くなったときに出力され
る信号であり、第2の出力OUT2は計測した瞬時流量
値が第2の設定流量値(例えば、上限流量値)QUより
も多くなったときに出力される信号である。この第1の
出力OUT1および第2の出力OUT2を外部装置EX
CTに遅滞なく出力することにより、外部装置EXCT
に対する迅速な制御が可能となる。なお、この流量計1
00が積算バッチ流量計として使用される場合には、第
1の出力OUT1は出力OUTとされ、第2の出力OU
T2に代えて、図13に破線で示すように、信号出力部
40/電源部45を介して外部装置EXCTからの入力
INがマイコン20の入力ポートに入力されることとな
るが、ここでは、これ以上の説明は省略する。
【0090】図14において、70は前記第1の比較結
果である第1の出力OUT1がそのゲートに印可される
出力トランジスタ、71は前記ダイオード2の比較結果
である第2の出力OUT2がそのゲートに印加される出
力トランジスタである。これら各出力トランジスタ70
および71のドレインは、対応する出力端子から外部装
置EXCTに出力される。これにより、外部装置EXC
T側では、この出力OUT1出力および出力OUT2を
用いて迅速なスイッチ制御等を行うことができる。図示
するように、前記各出力端子と接地との間には、保護用
のツェナーダイオードZDが接続されている。また、前
述のように、積算バッチ流量計として使用される場合に
は、外部装置EXCTからの入力信号INがしきい値回
路72により整形されて入力されることとなる。なお、
入力信号INとしきい値回路72との間には、保護用の
抵抗Rと保護用のダイオードDとが接続されている。
果である第1の出力OUT1がそのゲートに印可される
出力トランジスタ、71は前記ダイオード2の比較結果
である第2の出力OUT2がそのゲートに印加される出
力トランジスタである。これら各出力トランジスタ70
および71のドレインは、対応する出力端子から外部装
置EXCTに出力される。これにより、外部装置EXC
T側では、この出力OUT1出力および出力OUT2を
用いて迅速なスイッチ制御等を行うことができる。図示
するように、前記各出力端子と接地との間には、保護用
のツェナーダイオードZDが接続されている。また、前
述のように、積算バッチ流量計として使用される場合に
は、外部装置EXCTからの入力信号INがしきい値回
路72により整形されて入力されることとなる。なお、
入力信号INとしきい値回路72との間には、保護用の
抵抗Rと保護用のダイオードDとが接続されている。
【0091】また、マイコン20の出力ポートから出力
される伝送パルス信号は、図14に示した出力トランジ
スタ76のゲートに印加され、パルス出力端子を介して
外部装置EXCTに出力される。なお、パルス出力端子
と接地との間には保護用のツェナーダイオードZDが接
続されている。さらに、前記センサ部11の波形整形部
68からの被測定パルス信号(入力パルス信号)βは信
号出力部40の出力トランジスタ77のゲートに印加さ
れており、この出力トランジスタ77のドレインは、信
号出力部40の検査用信号出力端子を介して、検査モー
ド時に接続される調整検査装置に接続される。
される伝送パルス信号は、図14に示した出力トランジ
スタ76のゲートに印加され、パルス出力端子を介して
外部装置EXCTに出力される。なお、パルス出力端子
と接地との間には保護用のツェナーダイオードZDが接
続されている。さらに、前記センサ部11の波形整形部
68からの被測定パルス信号(入力パルス信号)βは信
号出力部40の出力トランジスタ77のゲートに印加さ
れており、この出力トランジスタ77のドレインは、信
号出力部40の検査用信号出力端子を介して、検査モー
ド時に接続される調整検査装置に接続される。
【0092】なお、図14においては、各出力トランジ
スタとしてMOSトランジスタを使用しているが、バイ
ポーラトランジスタを用いるようにしてもよい。この場
合には、出力OUT1およびOUT2はそれぞれバイポ
ーラトランジスタのベースに印加され、それらのコレク
タが前記出力端子に接続されることとなる。
スタとしてMOSトランジスタを使用しているが、バイ
ポーラトランジスタを用いるようにしてもよい。この場
合には、出力OUT1およびOUT2はそれぞれバイポ
ーラトランジスタのベースに印加され、それらのコレク
タが前記出力端子に接続されることとなる。
【0093】また、78は直流安定化電源回路であり、
この実施形態においては、外部装置EXCTから供給さ
れる12〜24Vの直流電圧を入力とし、この流量計1
00の駆動電圧に変換して出力する。また、図14に示
すように、外部装置EXCTから供給される電源ライン
(+DC、−DCおよびGND)の各線間には、サージ
防止用のバリスタVとノイズ除去用のコンデンサCがそ
れぞれ並列に接続されている。また、電源ライン+DC
と直流安定化電源78との間に挿入されているダイオー
ドDは、電源ラインの極性の逆接続に対して回路の破損
を防止する。
この実施形態においては、外部装置EXCTから供給さ
れる12〜24Vの直流電圧を入力とし、この流量計1
00の駆動電圧に変換して出力する。また、図14に示
すように、外部装置EXCTから供給される電源ライン
(+DC、−DCおよびGND)の各線間には、サージ
防止用のバリスタVとノイズ除去用のコンデンサCがそ
れぞれ並列に接続されている。また、電源ライン+DC
と直流安定化電源78との間に挿入されているダイオー
ドDは、電源ラインの極性の逆接続に対して回路の破損
を防止する。
【0094】次に、前記ROM84、RAM85とEE
PROM17に格納される各種のデータについて説明す
る。図15の(a) は、ROM84およびRAM85のメ
モリマップの一例を示す図である。この図に示すよう
に、RAM85の領域には、各種のレジスタ領域、後述
する補正係数や各種フラグなどを格納する領域、ワーク
エリア、積算流量値データを格納する領域、新たな累算
値データを格納する領域などが設けられている。
PROM17に格納される各種のデータについて説明す
る。図15の(a) は、ROM84およびRAM85のメ
モリマップの一例を示す図である。この図に示すよう
に、RAM85の領域には、各種のレジスタ領域、後述
する補正係数や各種フラグなどを格納する領域、ワーク
エリア、積算流量値データを格納する領域、新たな累算
値データを格納する領域などが設けられている。
【0095】また、ROM84の領域には、制御プログ
ラム、口径設定データテーブル、割り込みベクトル等が
格納されている。ここで、口径設定データテーブルは、
前記配管の口径および材質にそれぞれ対応した係数デー
タであり、例えば64種類の機種(口径および材質)に
対応するデータが格納されている。
ラム、口径設定データテーブル、割り込みベクトル等が
格納されている。ここで、口径設定データテーブルは、
前記配管の口径および材質にそれぞれ対応した係数デー
タであり、例えば64種類の機種(口径および材質)に
対応するデータが格納されている。
【0096】図15の(b) は、前記口径設定データテー
ブルの構成を説明するための図である。この図に示すよ
うに、口径設定データテーブルは、それぞれ16種類の
設定データを1ページとする4ページの構成とされてい
る。そして、各設定データとしては、図示するように当
該設定データを識別する設定コード(機種設定コー
ド)、口径を指定するコード、本体材質を指定する材質
コード、流れ有り周波数f1〜定格流量の110%の瞬
時流量値に対応する周波数f6までを5つの区間に対応
する折れ線で近似したときの一次式傾きデータa1〜a
5および切片データb1〜b5が格納されている。な
お、前記流れ有り周波数f1は、当該機種、すなわち、
前記計量部本体50(図10)の口径および材質により
決定される測定下限周波数であり、例えば、5Hz程度
の値となる。
ブルの構成を説明するための図である。この図に示すよ
うに、口径設定データテーブルは、それぞれ16種類の
設定データを1ページとする4ページの構成とされてい
る。そして、各設定データとしては、図示するように当
該設定データを識別する設定コード(機種設定コー
ド)、口径を指定するコード、本体材質を指定する材質
コード、流れ有り周波数f1〜定格流量の110%の瞬
時流量値に対応する周波数f6までを5つの区間に対応
する折れ線で近似したときの一次式傾きデータa1〜a
5および切片データb1〜b5が格納されている。な
お、前記流れ有り周波数f1は、当該機種、すなわち、
前記計量部本体50(図10)の口径および材質により
決定される測定下限周波数であり、例えば、5Hz程度
の値となる。
【0097】なお、このデータa1〜a5およびb1〜
b5は器差のバラツキの平均値であり、このデータをそ
のまま用いて流量を算出しても高精度の計測結果は期待
できない。そこで、本発明においても、後述する調整検
査工程において、1台毎に補正した一次式傾きデータA
1〜A5および一次式切片データB1〜B5(以下、こ
れらをまとめて「補正係数」とよぶ)を求め、この補正
係数を用いて流量を算出している。これにより、非常に
精度の良い計測を行うことが可能となっている。
b5は器差のバラツキの平均値であり、このデータをそ
のまま用いて流量を算出しても高精度の計測結果は期待
できない。そこで、本発明においても、後述する調整検
査工程において、1台毎に補正した一次式傾きデータA
1〜A5および一次式切片データB1〜B5(以下、こ
れらをまとめて「補正係数」とよぶ)を求め、この補正
係数を用いて流量を算出している。これにより、非常に
精度の良い計測を行うことが可能となっている。
【0098】図15の(c) は、前記EEPROM17の
メモリマップの一例を示す図である。この図に示すよう
に、EEPROM17には、検査終了フラグ、前記補正
された一次式傾きデータA1〜A5、前記補正された一
次式切片データB1〜B5、積算流量データ、機種設定
コード決定データ、積算表示方式決定データ、上限流量
値設定データおよび下限流量値設定データが格納され
る。なお、これらのデータの詳細については、後述する
フローチャートにおける対応する箇所で説明する。
メモリマップの一例を示す図である。この図に示すよう
に、EEPROM17には、検査終了フラグ、前記補正
された一次式傾きデータA1〜A5、前記補正された一
次式切片データB1〜B5、積算流量データ、機種設定
コード決定データ、積算表示方式決定データ、上限流量
値設定データおよび下限流量値設定データが格納され
る。なお、これらのデータの詳細については、後述する
フローチャートにおける対応する箇所で説明する。
【0099】次に、この流量計100の動作について説
明する。図16はメインルーチンのフローチャートであ
り、このメインルーチンには、第1のスタート(スター
ト1)と第2のスタート(スタート2)の2つのスター
ト位置がある。ここで、前記パワーオンリセット回路1
4からのリセット信号が入力されたときにはスタート1
から動作が開始され、ウォッチドッグタイマ15からの
割り込み入力があったときにはスタート2から動作が開
始される。
明する。図16はメインルーチンのフローチャートであ
り、このメインルーチンには、第1のスタート(スター
ト1)と第2のスタート(スタート2)の2つのスター
ト位置がある。ここで、前記パワーオンリセット回路1
4からのリセット信号が入力されたときにはスタート1
から動作が開始され、ウォッチドッグタイマ15からの
割り込み入力があったときにはスタート2から動作が開
始される。
【0100】外部装置EXCTとこの流量計100とが
接続されるなどにより、前記直流安定化電源回路78か
ら電源の供給が開始されると、パワーオンリセット回路
14からパワーオンリセットパルスが出力され、これに
よりスタート1から処理が開始される。まず、ステップ
S51の第1の初期化処理では、この流量計100の所
定の初期化処理を実行するとともに前記RAM85の内
容がすべてリセットされる。次に、ステップS52に進
み、前記タイマ群83の各タイマの計時動作を開始す
る。ただし、ここでは、前記第1タイマ5の動作は開始
されない。
接続されるなどにより、前記直流安定化電源回路78か
ら電源の供給が開始されると、パワーオンリセット回路
14からパワーオンリセットパルスが出力され、これに
よりスタート1から処理が開始される。まず、ステップ
S51の第1の初期化処理では、この流量計100の所
定の初期化処理を実行するとともに前記RAM85の内
容がすべてリセットされる。次に、ステップS52に進
み、前記タイマ群83の各タイマの計時動作を開始す
る。ただし、ここでは、前記第1タイマ5の動作は開始
されない。
【0101】続いて、ステップS53でEEPROM1
7から前記検査終了フラグ、積算流量データを読み出し
て、RAM85の所定の領域に格納する。なお、最初の
状態すなわち工場出荷前に外部装置EXCTとして調整
検査装置が接続された状態においては、検査フラグおよ
び積算流量データはいずれも初期値0とされている。次
に、ステップS54で前記ダイオード1の出力OUT1
を2秒だけオン状態にし、ステップS57に進む。これ
により、外部装置EXCT(調整検査装置)に対して、
この流量計100のパワーオンリセットによる起動(ス
タート1)を報知することができる。また、同時に、O
UT1LED33が2秒間だけ点灯される。
7から前記検査終了フラグ、積算流量データを読み出し
て、RAM85の所定の領域に格納する。なお、最初の
状態すなわち工場出荷前に外部装置EXCTとして調整
検査装置が接続された状態においては、検査フラグおよ
び積算流量データはいずれも初期値0とされている。次
に、ステップS54で前記ダイオード1の出力OUT1
を2秒だけオン状態にし、ステップS57に進む。これ
により、外部装置EXCT(調整検査装置)に対して、
この流量計100のパワーオンリセットによる起動(ス
タート1)を報知することができる。また、同時に、O
UT1LED33が2秒間だけ点灯される。
【0102】一方、制御プログラムの暴走など何らかの
原因により所定期間内に前記ウォッチドッグタイマ15
への定時信号が出力されなかった場合には、ウォッチド
ッグタイマ15から割り込み信号が入力される。このと
きにはスタート2から開始され、ステップS55の第2
の初期化処理が実行される。この第2の初期化処理にお
いては、第1の初期化処理とは異なり、RAM85中に
格納されている補正係数、積算流量値データ等のクリア
を行わない。そして、ステップS56で各タイマの動作
を開始し、ステップS57に進む。
原因により所定期間内に前記ウォッチドッグタイマ15
への定時信号が出力されなかった場合には、ウォッチド
ッグタイマ15から割り込み信号が入力される。このと
きにはスタート2から開始され、ステップS55の第2
の初期化処理が実行される。この第2の初期化処理にお
いては、第1の初期化処理とは異なり、RAM85中に
格納されている補正係数、積算流量値データ等のクリア
を行わない。そして、ステップS56で各タイマの動作
を開始し、ステップS57に進む。
【0103】ステップS57では、機能選択部12にお
けるジャンパーピンJ2により100mLに設定されて
いるか否かを判定し、100mLに設定されていれば、
ステップS58で、1パルス当たりの出力を100mL
としてステップS501に進む。また、ステップS57
の判定で100mLに設定されていなければ、ステップ
S59で、1パルス当たりの出力を10mLとしてステ
ップS501に進む。ステップS501では、機能選択
部12におけるジャンパーピンJ1により瞬時流量計モ
ードに設定されているか否かを判定し、瞬時流量計モー
ドに設定されていれば、ステップS502で図17の瞬
時流量計処理プログラムを実行する。一方、ステップS
501の判定で瞬時流量計モードに設定されていなけれ
ば、ステップS503で積算バッチ流量計処理プログラ
ムを実行する。なお、この積算バッチ流量計処理プログ
ラムの詳細については省略する。
けるジャンパーピンJ2により100mLに設定されて
いるか否かを判定し、100mLに設定されていれば、
ステップS58で、1パルス当たりの出力を100mL
としてステップS501に進む。また、ステップS57
の判定で100mLに設定されていなければ、ステップ
S59で、1パルス当たりの出力を10mLとしてステ
ップS501に進む。ステップS501では、機能選択
部12におけるジャンパーピンJ1により瞬時流量計モ
ードに設定されているか否かを判定し、瞬時流量計モー
ドに設定されていれば、ステップS502で図17の瞬
時流量計処理プログラムを実行する。一方、ステップS
501の判定で瞬時流量計モードに設定されていなけれ
ば、ステップS503で積算バッチ流量計処理プログラ
ムを実行する。なお、この積算バッチ流量計処理プログ
ラムの詳細については省略する。
【0104】図17はステップS502の瞬時流量計処
理プログラムのフローチャートであり、この瞬時流量計
処理プログラムが開始されると、まず、ステップS61
において、第2の出力OUT2を有効とし、入力INを
無効とする。次に、ステップS62で、検査終了フラグ
がセットされているか否かを判定する。この検査終了フ
ラグは、後述する調整検査工程においてこの流量計の検
査および係数データの補正処理が行われたときにセット
されるフラグであり、初期状態においては、この検査終
了フラグはセットされておらず、このステップS62の
判定結果はNOとなる。このときには、ステップS63
でこの流量計100が用いられる流量の口径および材質
の設定などの手動操作部による設定の処理を行う。な
お、このようにステップS63は検査終了フラグがセッ
トされていないときに実行されるものであり、実際には
メーカにおいて実行される。
理プログラムのフローチャートであり、この瞬時流量計
処理プログラムが開始されると、まず、ステップS61
において、第2の出力OUT2を有効とし、入力INを
無効とする。次に、ステップS62で、検査終了フラグ
がセットされているか否かを判定する。この検査終了フ
ラグは、後述する調整検査工程においてこの流量計の検
査および係数データの補正処理が行われたときにセット
されるフラグであり、初期状態においては、この検査終
了フラグはセットされておらず、このステップS62の
判定結果はNOとなる。このときには、ステップS63
でこの流量計100が用いられる流量の口径および材質
の設定などの手動操作部による設定の処理を行う。な
お、このようにステップS63は検査終了フラグがセッ
トされていないときに実行されるものであり、実際には
メーカにおいて実行される。
【0105】一方、検査終了フラグがセットされている
ときには、ステップS64で、EEPROM17に格納
されている各種データ(前記補正された一次式傾きデー
タA1〜A5および一次式切片データB1〜B5など)
を読み出して、RAM85の所定の領域に格納する。な
お、調整検査工程が実施されていない場合には、ROM
84に格納されている標準的な一次式傾きデータa1〜
a5および一次式切片データb1〜b5が流量の算出に
用いられる。
ときには、ステップS64で、EEPROM17に格納
されている各種データ(前記補正された一次式傾きデー
タA1〜A5および一次式切片データB1〜B5など)
を読み出して、RAM85の所定の領域に格納する。な
お、調整検査工程が実施されていない場合には、ROM
84に格納されている標準的な一次式傾きデータa1〜
a5および一次式切片データb1〜b5が流量の算出に
用いられる。
【0106】ステップS63あるいはステップS64が
実行されるとステップS65に進み、前記設定コードお
よびEEPROM17から読み出された情報に基づき、
流路の口径、材質および当該制御プログラムのバージョ
ン情報を表示部30に順次所定時間ずつ表示する。次
に、ステップS66で、1秒タイマおよび1μsecク
ロックの計時を開始するとともに、第1カウンタ2およ
び第2カウンタ4の計時を開始し、ステップS67に進
む。
実行されるとステップS65に進み、前記設定コードお
よびEEPROM17から読み出された情報に基づき、
流路の口径、材質および当該制御プログラムのバージョ
ン情報を表示部30に順次所定時間ずつ表示する。次
に、ステップS66で、1秒タイマおよび1μsecク
ロックの計時を開始するとともに、第1カウンタ2およ
び第2カウンタ4の計時を開始し、ステップS67に進
む。
【0107】ステップS67では、検査モード設定ピン
18が短絡されているか否かにより、検査モードに設定
されているか否かを判定し、検査モードに設定されてい
るときには、ステップS68で検査終了フラグがセット
されているか否かを判定する。検査終了フラグがセット
されていないときにはステップS69で調整・検査工程
の処理を行ってステップS601に進み、検査終了フラ
グがセットされているときにはステップS601に進
む。そして、以下、ステップS601の流量算出処理、
ステップS602の表示処理、ステップS603の外部
出力処理、ステップS604のスイッチ出力処理および
ステップS605のキー入力処理を順次実行し、ステッ
プS67に戻る。なお、ステップS601の流量算出処
理、ステップS603の外部出力処理およびステップS
604のスイッチ出力処理については後述説明する。
18が短絡されているか否かにより、検査モードに設定
されているか否かを判定し、検査モードに設定されてい
るときには、ステップS68で検査終了フラグがセット
されているか否かを判定する。検査終了フラグがセット
されていないときにはステップS69で調整・検査工程
の処理を行ってステップS601に進み、検査終了フラ
グがセットされているときにはステップS601に進
む。そして、以下、ステップS601の流量算出処理、
ステップS602の表示処理、ステップS603の外部
出力処理、ステップS604のスイッチ出力処理および
ステップS605のキー入力処理を順次実行し、ステッ
プS67に戻る。なお、ステップS601の流量算出処
理、ステップS603の外部出力処理およびステップS
604のスイッチ出力処理については後述説明する。
【0108】ここで、この実施形態の流量計100にお
いても、前記物理量データの伝送装置100と同様に、
演算許可フラグI、演算許可フラグII、パルス出力許可
フラグ、レジスタR1、レジスタR2、レジスタR3、
レジスタR4およびレジスタR5を使用しており、これ
らのフラグおよびレジスタはRAM85に設定される。
また、伝送装置100と同様に、センサ部11から入力
される入力パルス信号の周期と周波数を検出する割り込
み処理を行う。すなわち、入力パルス信号の上がりが検
出される毎に前掲の図6の周期計測の割り込み処理を行
い、さらに、1秒タイマである第1タイマ5からの第1
の信号が出力される毎に前掲の図7の周波数計測の割り
込み処理を行う。
いても、前記物理量データの伝送装置100と同様に、
演算許可フラグI、演算許可フラグII、パルス出力許可
フラグ、レジスタR1、レジスタR2、レジスタR3、
レジスタR4およびレジスタR5を使用しており、これ
らのフラグおよびレジスタはRAM85に設定される。
また、伝送装置100と同様に、センサ部11から入力
される入力パルス信号の周期と周波数を検出する割り込
み処理を行う。すなわち、入力パルス信号の上がりが検
出される毎に前掲の図6の周期計測の割り込み処理を行
い、さらに、1秒タイマである第1タイマ5からの第1
の信号が出力される毎に前掲の図7の周波数計測の割り
込み処理を行う。
【0109】したがって、この流量計100において
も、前述の図6の割り込み処理により、レジスタR1に
基準パルス(1μsec周期)の計数値が格納され(ス
テップS21)、この計数値が所定の範囲か否かが判定
される(ステップS23)。この所定の範囲とは例えば
200000〜1000の範囲であり、1μsecでカ
ウントしているので入力パルス信号の1パルスの周期が
200msec〜1msecの範囲内であるか否かを判
定している。そして、この範囲内であれば演算許可フラ
グIはセットされ(ステップS24)、範囲外であれば
演算許可フラグIがリセットされる(ステップS2
5)。
も、前述の図6の割り込み処理により、レジスタR1に
基準パルス(1μsec周期)の計数値が格納され(ス
テップS21)、この計数値が所定の範囲か否かが判定
される(ステップS23)。この所定の範囲とは例えば
200000〜1000の範囲であり、1μsecでカ
ウントしているので入力パルス信号の1パルスの周期が
200msec〜1msecの範囲内であるか否かを判
定している。そして、この範囲内であれば演算許可フラ
グIはセットされ(ステップS24)、範囲外であれば
演算許可フラグIがリセットされる(ステップS2
5)。
【0110】また、前述の図7の割り込み処理により、
第1タイマ5から第1の信号が出力される毎(例えば1
秒毎)に起動され、レジスタR2に入力パルス信号の1
秒間の計数値が格納され(ステップS32)、この計数
値が所定の範囲か否かが判定される(ステップS3
4)。この所定の範囲とは例えば5Hz〜1000Hz
であり、この範囲内であれば演算許可フラグIIはセット
され(ステップS35)、範囲外であれば演算許可フラ
グIIがリセットされる(ステップS36)。
第1タイマ5から第1の信号が出力される毎(例えば1
秒毎)に起動され、レジスタR2に入力パルス信号の1
秒間の計数値が格納され(ステップS32)、この計数
値が所定の範囲か否かが判定される(ステップS3
4)。この所定の範囲とは例えば5Hz〜1000Hz
であり、この範囲内であれば演算許可フラグIIはセット
され(ステップS35)、範囲外であれば演算許可フラ
グIIがリセットされる(ステップS36)。
【0111】さらに、この流量計100における前記ス
テップS601の流量算出処理は、前記物理量データの
伝送装置100における図8の物理量の演算処理と同様
な処理を行う。なお、簡単のために、図8中の物理量を
「瞬時流量値」と読み替えることで流量計100の流量
算出処理を説明する。ステップS41で演算許可フラグ
Iがセットされていれば、レジスタR1の値から周期
(図1のti)を演算する(ステップS42)。この周
期の演算では、例えばレジスタR1の値をR1とすると
R1/1000000[sec /パルス]として求める。
次に、周期tiより瞬時流量値qi[mL/パルス]を
演算する(ステップS43)。この瞬時流量値qiの演
算では係数Ak、Bkにより次式で演算する。 qi=(1000/60)×(Ak+ti×Bk)[m
L/パルス] 次に、瞬時流量値qiをレジスタR3に累算するととも
に(ステップS44)、瞬時流量値qiをレジスタR4
に積算する(ステップS45)。
テップS601の流量算出処理は、前記物理量データの
伝送装置100における図8の物理量の演算処理と同様
な処理を行う。なお、簡単のために、図8中の物理量を
「瞬時流量値」と読み替えることで流量計100の流量
算出処理を説明する。ステップS41で演算許可フラグ
Iがセットされていれば、レジスタR1の値から周期
(図1のti)を演算する(ステップS42)。この周
期の演算では、例えばレジスタR1の値をR1とすると
R1/1000000[sec /パルス]として求める。
次に、周期tiより瞬時流量値qi[mL/パルス]を
演算する(ステップS43)。この瞬時流量値qiの演
算では係数Ak、Bkにより次式で演算する。 qi=(1000/60)×(Ak+ti×Bk)[m
L/パルス] 次に、瞬時流量値qiをレジスタR3に累算するととも
に(ステップS44)、瞬時流量値qiをレジスタR4
に積算する(ステップS45)。
【0112】次に、累算値Σqiが設定瞬時流量値qs
以上であるか否かを判定する(ステップS46)。この
設定値qsは図16のステップS58またはステップS
59において、100mL/パルスまたは10mL/パ
ルスに設定されている。そして、累算値Σqiが設定瞬
時流量値qs以上であれば、パルス出力許可フラグをセ
ットする(ステップS47)。次に、演算許可フラグII
がセットされているか否かを判定し(ステップS4
8)、セットされていなければステップS402に進
み、セットされていれば、周波数計測の割り込み処理で
格納されたレジスタR2の値fから瞬時流量Q[L/m
in]を演算する(ステップS49)。この瞬時流量Q
の演算では係数Ak、Bkにより次式で演算する。Q=
Ak×f+Bk[L/min]次に、瞬時流量値Qをレ
ジスタR5に格納し(ステップS401)、演算許可フ
ラグIIと演算許可フラグIをリセットする(ステップS
402、ステップS403)。
以上であるか否かを判定する(ステップS46)。この
設定値qsは図16のステップS58またはステップS
59において、100mL/パルスまたは10mL/パ
ルスに設定されている。そして、累算値Σqiが設定瞬
時流量値qs以上であれば、パルス出力許可フラグをセ
ットする(ステップS47)。次に、演算許可フラグII
がセットされているか否かを判定し(ステップS4
8)、セットされていなければステップS402に進
み、セットされていれば、周波数計測の割り込み処理で
格納されたレジスタR2の値fから瞬時流量Q[L/m
in]を演算する(ステップS49)。この瞬時流量Q
の演算では係数Ak、Bkにより次式で演算する。Q=
Ak×f+Bk[L/min]次に、瞬時流量値Qをレ
ジスタR5に格納し(ステップS401)、演算許可フ
ラグIIと演算許可フラグIをリセットする(ステップS
402、ステップS403)。
【0113】以上の処理により、演算許可フラグIがセ
ットされていれば、瞬時流量値qiが演算され、それま
での瞬時流量値q1〜qi−1の累算値にこの瞬時流量
値qiを累算した累算値Σqiと設定瞬時流量値qsと
の比較が行われ、Σqi≧qsであれば、ステップS6
03の外部出力処理において伝送パルス信号が出力され
ることとなる。また、演算許可フラグIと演算許可フラ
グIIがともにセットされていれば、入力パルス信号の周
波数に対応する瞬時流量値Q[L/min]も演算され
てレジスタR5に格納され、ステップS604のスイッ
チ出力処理において、外部装置EXCTに対する出力O
UT1と出力OUT2の判定に用いられる。
ットされていれば、瞬時流量値qiが演算され、それま
での瞬時流量値q1〜qi−1の累算値にこの瞬時流量
値qiを累算した累算値Σqiと設定瞬時流量値qsと
の比較が行われ、Σqi≧qsであれば、ステップS6
03の外部出力処理において伝送パルス信号が出力され
ることとなる。また、演算許可フラグIと演算許可フラ
グIIがともにセットされていれば、入力パルス信号の周
波数に対応する瞬時流量値Q[L/min]も演算され
てレジスタR5に格納され、ステップS604のスイッ
チ出力処理において、外部装置EXCTに対する出力O
UT1と出力OUT2の判定に用いられる。
【0114】図18はステップS603の外部出力処理
のフローチャートであり、まず、ステップS71でパル
ス出力許可フラグがセットされているか否かを判定し、
セットされていなければ元のルーチンに復帰し、セット
されていればステップS72でパルス出力端子より伝送
パルス信号を1パルス出力し、ステップS73でレジス
タR3から設定瞬時流量値qsを減算し、新たな累算値
ΣqiとしてレジスタR3に格納する。そして、ステッ
プS74でパルス出力許可フラグをリセットし、元のル
ーチンに復帰する。
のフローチャートであり、まず、ステップS71でパル
ス出力許可フラグがセットされているか否かを判定し、
セットされていなければ元のルーチンに復帰し、セット
されていればステップS72でパルス出力端子より伝送
パルス信号を1パルス出力し、ステップS73でレジス
タR3から設定瞬時流量値qsを減算し、新たな累算値
ΣqiとしてレジスタR3に格納する。そして、ステッ
プS74でパルス出力許可フラグをリセットし、元のル
ーチンに復帰する。
【0115】図19はステップS604のスイッチ出力
処理のフローチャートであり、ステップS81でレジス
タR5の値をQ′とし、ステップS82でQ′と予め設
定されている下限値流量QLとを比較する。この結果、
Q′≦QLのときはステップS83に進み、出力トラン
ジスタ70のゲートにハイレベルを出力して第1の出力
OUT1から「L」レベル信号を出力するとともに、同
時に前記ダイオード1の出力用のLED33を点灯し、
ステップS87に進む。
処理のフローチャートであり、ステップS81でレジス
タR5の値をQ′とし、ステップS82でQ′と予め設
定されている下限値流量QLとを比較する。この結果、
Q′≦QLのときはステップS83に進み、出力トラン
ジスタ70のゲートにハイレベルを出力して第1の出力
OUT1から「L」レベル信号を出力するとともに、同
時に前記ダイオード1の出力用のLED33を点灯し、
ステップS87に進む。
【0116】一方、Q′>QLのときは、ステップS8
4で、出力OUT1が「L」レベルとなっているか否か
を判定し、この判定結果がYESのときは、さらにステ
ップS85に進み、瞬時流量値Q′がQL+qL以上で
あるか否かを判定し、この判定がNOであればステップ
S83に進む。このように、このステップS84および
ステップS85において、出力OUT1にヒステリシス
特性を持たせている。これにより、図19中にも示した
ように、出力OUT1は瞬時流量値Q′が下限流量値Q
L未満となったときに「L」レベルとなり、瞬時流量が
上昇してきたときには、QL+qL以上となったときに
「H」レベルとなるようにヒステリシス特性を有するも
のとされている。
4で、出力OUT1が「L」レベルとなっているか否か
を判定し、この判定結果がYESのときは、さらにステ
ップS85に進み、瞬時流量値Q′がQL+qL以上で
あるか否かを判定し、この判定がNOであればステップ
S83に進む。このように、このステップS84および
ステップS85において、出力OUT1にヒステリシス
特性を持たせている。これにより、図19中にも示した
ように、出力OUT1は瞬時流量値Q′が下限流量値Q
L未満となったときに「L」レベルとなり、瞬時流量が
上昇してきたときには、QL+qL以上となったときに
「H」レベルとなるようにヒステリシス特性を有するも
のとされている。
【0117】一方、ステップS84の判定結果がNOの
とき、およびステップS85の判定結果がYESのとき
は、ステップS86に進み、出力トランジスタ70のゲ
ートにローレベルを出力して、第1の出力OUT1から
「H」レベル信号を出力するとともに、同時にOUT1
LED33を消灯し、ステップS87に進む。
とき、およびステップS85の判定結果がYESのとき
は、ステップS86に進み、出力トランジスタ70のゲ
ートにローレベルを出力して、第1の出力OUT1から
「H」レベル信号を出力するとともに、同時にOUT1
LED33を消灯し、ステップS87に進む。
【0118】ステップS87では、瞬時流量値Q′と上
限流量値QUとの比較を行い、その結果、QU≦Q′の
ときはステップS88に進み、出力トランジスタ71の
ゲートにハイレベルを出力し、前記第2の出力OUT2
に「L」レベル信号を出力するとともに、第2の出力L
ED34を点灯する。一方、Q′<QUのときは、ステ
ップS89で、出力OUT2が「L」レベルとなってい
るか否かを判定し、この判定結果がYESのときは、さ
らにステップS801に進み、瞬時流量値Q′がQU−
qU以下であるか否かを判定する。
限流量値QUとの比較を行い、その結果、QU≦Q′の
ときはステップS88に進み、出力トランジスタ71の
ゲートにハイレベルを出力し、前記第2の出力OUT2
に「L」レベル信号を出力するとともに、第2の出力L
ED34を点灯する。一方、Q′<QUのときは、ステ
ップS89で、出力OUT2が「L」レベルとなってい
るか否かを判定し、この判定結果がYESのときは、さ
らにステップS801に進み、瞬時流量値Q′がQU−
qU以下であるか否かを判定する。
【0119】ここで、qUは第2のスイッチ出力のヒス
テリシス特性を定める値であり、この第2のスイッチ出
力OUT2は、瞬時流量値Q′が上限流量値QU以上と
なったときにハイレベルからローレベルに反転し、瞬時
流量値Q′がQU−qU以下となったときに、ローレベ
ルからハイレベルに反転するようになされている。した
がって、ステップS801の判定結果がNOのときは、
未だOUT2出力をローレベルからハイレベルに反転す
る流量ではないため、ステップS88に進む。また、ス
テップS89の判定結果がNOのとき、あるいは、ステ
ップS801の判定結果がYESのときは、ステップS
802に進み、出力トランジスタ71のゲートにローレ
ベルを出力し、第2の出力OUT2に「H」レベル信号
を出力するとともに、第2の出力LED34を消灯す
る。
テリシス特性を定める値であり、この第2のスイッチ出
力OUT2は、瞬時流量値Q′が上限流量値QU以上と
なったときにハイレベルからローレベルに反転し、瞬時
流量値Q′がQU−qU以下となったときに、ローレベ
ルからハイレベルに反転するようになされている。した
がって、ステップS801の判定結果がNOのときは、
未だOUT2出力をローレベルからハイレベルに反転す
る流量ではないため、ステップS88に進む。また、ス
テップS89の判定結果がNOのとき、あるいは、ステ
ップS801の判定結果がYESのときは、ステップS
802に進み、出力トランジスタ71のゲートにローレ
ベルを出力し、第2の出力OUT2に「H」レベル信号
を出力するとともに、第2の出力LED34を消灯す
る。
【0120】以上の実施形態では、入力パルス信号につ
いて第1カウンタ2によるパルスの周期測定と、第2カ
ウンタ4による周波数測定とを行っているが、この周波
数測定をより正確に行うものとして請求項5に対応する
第3の実施形態について説明する。なお、この第3の実
施形態の流量計においても、前記第1の実施形態の物理
量データの伝送装置、第2の実施形態の流量計とどうよ
うな構成を備えており、第1カウンタ2の係数値および
第2カウンタ5の係数値に対する演算処理等だけが異な
っている。
いて第1カウンタ2によるパルスの周期測定と、第2カ
ウンタ4による周波数測定とを行っているが、この周波
数測定をより正確に行うものとして請求項5に対応する
第3の実施形態について説明する。なお、この第3の実
施形態の流量計においても、前記第1の実施形態の物理
量データの伝送装置、第2の実施形態の流量計とどうよ
うな構成を備えており、第1カウンタ2の係数値および
第2カウンタ5の係数値に対する演算処理等だけが異な
っている。
【0121】次に、この第3の実施形態の流量計におけ
る周波数測定方法の測定原理について図20を参照して
説明する。図20において、(a)は図4のパルス検出
部1からの入力パルス信号の一例、(b)は第1タイマ
5から出力される第1の信号、(c)は第2カウンタ4
の計数値、(d)は第1カウンタ2における計数内容を
示している。ここで、(b)の第1の信号は、この周波
数測定における測定開始点と測定終了点を規定するもの
であり、被測定パルス信号の周波数に応じた周期の信号
とすることができるが、説明を簡単にするために、ここ
では、1秒周期の出力信号としている。なお、測定終了
点を次の測定期間における測定開始点とすることによ
り、連続する測定期間毎に周波数を測定することができ
る。また、入力パルス信号の周期を計測するための基準
クロックの周期は、測定の精度を決定するものである
が、ここでは、1msec周期のクロック信号としてい
る。
る周波数測定方法の測定原理について図20を参照して
説明する。図20において、(a)は図4のパルス検出
部1からの入力パルス信号の一例、(b)は第1タイマ
5から出力される第1の信号、(c)は第2カウンタ4
の計数値、(d)は第1カウンタ2における計数内容を
示している。ここで、(b)の第1の信号は、この周波
数測定における測定開始点と測定終了点を規定するもの
であり、被測定パルス信号の周波数に応じた周期の信号
とすることができるが、説明を簡単にするために、ここ
では、1秒周期の出力信号としている。なお、測定終了
点を次の測定期間における測定開始点とすることによ
り、連続する測定期間毎に周波数を測定することができ
る。また、入力パルス信号の周期を計測するための基準
クロックの周期は、測定の精度を決定するものである
が、ここでは、1msec周期のクロック信号としてい
る。
【0122】第2のカウンタ4は、第1の信号により規
定される測定開始点から測定終了点までの測定期間(こ
の例においては1秒間)に入力されるパルスの個数を計
数する。このときに、入力パルスの立上がりおよび立下
がりのいずれかを用いても計数することができるが、こ
こでは、入力パルスの立上がりを計数するものとする。
図示した例においては5個のパルスが計数される。この
場合には、測定期間が1秒であるため、この5という値
は、この入力パルスの周波数の整数部に対応している。
定される測定開始点から測定終了点までの測定期間(こ
の例においては1秒間)に入力されるパルスの個数を計
数する。このときに、入力パルスの立上がりおよび立下
がりのいずれかを用いても計数することができるが、こ
こでは、入力パルスの立上がりを計数するものとする。
図示した例においては5個のパルスが計数される。この
場合には、測定期間が1秒であるため、この5という値
は、この入力パルスの周波数の整数部に対応している。
【0123】しかしながら、このようにパルスの個数を
計数するだけでは、図20(a)に示すように、計数開
始時点から第1番目のパルス(パルス1)の立上がり時
点までの期間Aについては当該計数値に反映されていな
い。また、第5番目のパルス(パルス5)については、
測定終了点以後次のパルス(パルス6)の立上がり時点
までの期間Bについても含まれているものとしてカウン
トされていることになる。したがって、入力パルス信号
の周波数を正確に測定するためには、前記AおよびBの
部分についても考慮することが必要となる。
計数するだけでは、図20(a)に示すように、計数開
始時点から第1番目のパルス(パルス1)の立上がり時
点までの期間Aについては当該計数値に反映されていな
い。また、第5番目のパルス(パルス5)については、
測定終了点以後次のパルス(パルス6)の立上がり時点
までの期間Bについても含まれているものとしてカウン
トされていることになる。したがって、入力パルス信号
の周波数を正確に測定するためには、前記AおよびBの
部分についても考慮することが必要となる。
【0124】すなわち、前記測定開始時点からパルス1
の立上がり時点までの期間Aがパルス0の周期T1に占
めている割合、および、前記測定終了点からパルス6の
立上がり時点までの期間Bのパルス5の周期T2に閉め
ている割合を求め、これにより、前記パルスの個数を修
正することにより正確な周波数fを得ることができる。
の立上がり時点までの期間Aがパルス0の周期T1に占
めている割合、および、前記測定終了点からパルス6の
立上がり時点までの期間Bのパルス5の周期T2に閉め
ている割合を求め、これにより、前記パルスの個数を修
正することにより正確な周波数fを得ることができる。
【0125】前述した期間AおよびBの部分を測定する
ために、第1カウンタ2は、図20の(d)に示すよう
に、入力パルス信号の立上がりエッジで基準クロックの
計数を開始し、次のパルス信号の立上がりエッジで当該
計数値(N1)を出力するとともに、再び0から計数を
開始する。また、前述のように、この計数の途中に第1
タイマ5からの第1の信号が入力されたときには、その
時点の計数値(n1)を出力する。これにより、パルス
0の周期T1、パルス5の周期T2、パルス0の立上が
りから測定開始時点までの時間t1、測定終了時点から
パルス6の立上がりまでの時間t2にそれぞれ対応する
計数値N1,N2,n1,n2を得ることができる。な
お、入力パルスの周期の計測中に第1の信号の入力がな
ければ、その計測値を捨てて次の計測を行なえはよい。
ために、第1カウンタ2は、図20の(d)に示すよう
に、入力パルス信号の立上がりエッジで基準クロックの
計数を開始し、次のパルス信号の立上がりエッジで当該
計数値(N1)を出力するとともに、再び0から計数を
開始する。また、前述のように、この計数の途中に第1
タイマ5からの第1の信号が入力されたときには、その
時点の計数値(n1)を出力する。これにより、パルス
0の周期T1、パルス5の周期T2、パルス0の立上が
りから測定開始時点までの時間t1、測定終了時点から
パルス6の立上がりまでの時間t2にそれぞれ対応する
計数値N1,N2,n1,n2を得ることができる。な
お、入力パルスの周期の計測中に第1の信号の入力がな
ければ、その計測値を捨てて次の計測を行なえはよい。
【0126】そして、演算処理部6は、第2カウンタ4
からの計数値f0および第1カウンタ2からの計数値N
1,N2,n1,n2に基づいて、次式の演算を行な
い、周波数値fnを算出する。 fn=f0+(1−n1/N1)−(1−n2/N2) =f0−n1/N1+n2/N2
からの計数値f0および第1カウンタ2からの計数値N
1,N2,n1,n2に基づいて、次式の演算を行な
い、周波数値fnを算出する。 fn=f0+(1−n1/N1)−(1−n2/N2) =f0−n1/N1+n2/N2
【0127】なお、上記においては、前記測定期間(第
1の信号の周期)を1秒間であるとして説明したが、こ
の測定機関をT秒とした場合には、次式により周波数f
nを求めることができる。 fn=(f0−n1/N1+n2/N2)×(1/T)
1の信号の周期)を1秒間であるとして説明したが、こ
の測定機関をT秒とした場合には、次式により周波数f
nを求めることができる。 fn=(f0−n1/N1+n2/N2)×(1/T)
【0128】以上のようにして入力パルス信号の周波数
fnが求まると、さらに演算処理部6において次式によ
り瞬時流量値Qn(単位:L/min)が求まる。 Qn=ai×fn+bi
fnが求まると、さらに演算処理部6において次式によ
り瞬時流量値Qn(単位:L/min)が求まる。 Qn=ai×fn+bi
【0129】このように、一定の周期を有する第1の信
号を発生する第1カウンタ5、この第1の信号の一定の
周期間の、入力パルス信号のパルスの数を計数する第2
カウンタ(第1の手段)、第1の信号をその周期中に含
むパルス信号の1のパルスについて、該1のパルスの周
期中における第1の信号の位置を測定する第1カウンタ
(第2の手段)を備えており、この第2カウンタの計数
データと第1カウンタによる測定データとに基づいて、
入力パルス信号の周波数を算出するので、周波数を正確
に測定することができる。
号を発生する第1カウンタ5、この第1の信号の一定の
周期間の、入力パルス信号のパルスの数を計数する第2
カウンタ(第1の手段)、第1の信号をその周期中に含
むパルス信号の1のパルスについて、該1のパルスの周
期中における第1の信号の位置を測定する第1カウンタ
(第2の手段)を備えており、この第2カウンタの計数
データと第1カウンタによる測定データとに基づいて、
入力パルス信号の周波数を算出するので、周波数を正確
に測定することができる。
【0130】なお、検出される周波数が所定周波数(例
えば400Hz)以上のときは、一定周期(例えば1
秒)の周期間のパルス信号の数を計数し、所定周期(例
えば400Hz)未満のときは所定クロック(例えば
6.25μsec)でパルス信号の1パルスの周期を計
数するように、測定方法を切り換えるようにしてもよ
い。
えば400Hz)以上のときは、一定周期(例えば1
秒)の周期間のパルス信号の数を計数し、所定周期(例
えば400Hz)未満のときは所定クロック(例えば
6.25μsec)でパルス信号の1パルスの周期を計
数するように、測定方法を切り換えるようにしてもよ
い。
【0131】また、図4において、第1カウンタ2およ
び基準クロック発生部3を無くし、第2カウンタ4と第
1タイマ5により、周波数を検出して流量を測定するよ
うな簡単な構成にしてもよい。
び基準クロック発生部3を無くし、第2カウンタ4と第
1タイマ5により、周波数を検出して流量を測定するよ
うな簡単な構成にしてもよい。
【0132】
【発明の効果】請求項1の物理量データの伝送方法によ
れば、受信側では、伝送パルス信号のパルス数を加算し
て積算流量等の積算物理量が得られ、単位時間当たりの
パルス数を計測することで瞬時流量値等を得ることがで
きる。また、伝送パルス信号は物理量のデータ自体を伝
送するものではなく、伝送される物理量のデータは、伝
送パルス信号のタイミングおよび予め設定された設定量
によって決まるので、伝送の精度が良くなる。また、設
定量を小さな値に設定できるので、リアルタイムな物理
量を伝送でき、集中監視装置等の受信側で流量等を監視
できるので処理応答性が良くなる。
れば、受信側では、伝送パルス信号のパルス数を加算し
て積算流量等の積算物理量が得られ、単位時間当たりの
パルス数を計測することで瞬時流量値等を得ることがで
きる。また、伝送パルス信号は物理量のデータ自体を伝
送するものではなく、伝送される物理量のデータは、伝
送パルス信号のタイミングおよび予め設定された設定量
によって決まるので、伝送の精度が良くなる。また、設
定量を小さな値に設定できるので、リアルタイムな物理
量を伝送でき、集中監視装置等の受信側で流量等を監視
できるので処理応答性が良くなる。
【0133】請求項2の物理量データの伝送装置によれ
ば、上記請求項1の物理量データの伝送方法を適用し、
例えば測定誤差の小さな流量計、また伝送出力を備えた
安価な流量例を構成することができる。
ば、上記請求項1の物理量データの伝送方法を適用し、
例えば測定誤差の小さな流量計、また伝送出力を備えた
安価な流量例を構成することができる。
【0134】請求項3の物理量データの伝送装置によれ
ば、請求項2と同様な効果が得られるとともに、前記設
定量を選択的に設定することができ、測定対象となる流
量などの物理量の範囲に適応することができる。
ば、請求項2と同様な効果が得られるとともに、前記設
定量を選択的に設定することができ、測定対象となる流
量などの物理量の範囲に適応することができる。
【0135】請求項4または請求項5の物理量データの
伝送装置によれば、請求項2と同様な効果が得られると
ともに、流量に対応する周波数を有する渦信号を利用し
たカルマン渦式流量計を構成して、請求項1の物理量デ
ータの伝送方法を適用することができる。
伝送装置によれば、請求項2と同様な効果が得られると
ともに、流量に対応する周波数を有する渦信号を利用し
たカルマン渦式流量計を構成して、請求項1の物理量デ
ータの伝送方法を適用することができる。
【0136】請求項6の流量測定システムによれば、請
求項1の物理量データの伝送方法を適用した流量測定シ
ステムを構成でき、流量データの測定、伝送および監視
について請求項1と同様な効果が得られる。
求項1の物理量データの伝送方法を適用した流量測定シ
ステムを構成でき、流量データの測定、伝送および監視
について請求項1と同様な効果が得られる。
【0137】請求項7の流量測定システムによれば、請
求項6と同様な効果が得られるとともに、複数の流量測
定装置を流量監視装置で集中管理することができる。
求項6と同様な効果が得られるとともに、複数の流量測
定装置を流量監視装置で集中管理することができる。
【0138】請求項8の流量測定装置によれば、請求項
6の流量測定システムに適用でき、測定誤差の小さな流
量計、また伝送出力を備えた安価な流量計を構成するこ
とができる。
6の流量測定システムに適用でき、測定誤差の小さな流
量計、また伝送出力を備えた安価な流量計を構成するこ
とができる。
【0139】請求項9の流量測定装置によれば、請求項
8と同様な効果が得られるとともに、前記設定量を選択
的に設定することができ、測定対象となる流量の範囲に
適応することができる。
8と同様な効果が得られるとともに、前記設定量を選択
的に設定することができ、測定対象となる流量の範囲に
適応することができる。
【図1】本発明の実施形態における物理量データの伝送
方法の具体例を説明する図である。
方法の具体例を説明する図である。
【図2】本発明の物理量データの伝送方法を適用した物
理量データの伝送システムのブロック図である。
理量データの伝送システムのブロック図である。
【図3】本発明の実施形態の流量測定システムのブロッ
ク図である。
ク図である。
【図4】本発明の伝送装置の第1実施形態の機能ブロッ
ク図である。
ク図である。
【図5】本発明の第1実施形態におけるメインルーチン
のフローチャートである。
のフローチャートである。
【図6】本発明の各実施形態に係わる周期計測の割り込
み処理のフローチャートである。
み処理のフローチャートである。
【図7】本発明の各実施形態に係わる周波数計測の割り
込み処理のフローチャートである。
込み処理のフローチャートである。
【図8】本発明の第1実施形態の物理量演算の処理およ
び第2実施形態の流量算出処理のフローチャートであ
る。
び第2実施形態の流量算出処理のフローチャートであ
る。
【図9】本発明の実施形態の流量システムおよび流量測
定装置の基本構成の一例を示すブロック図である。
定装置の基本構成の一例を示すブロック図である。
【図10】本発明の流量計一実施形態の構造を示す図で
ある。
ある。
【図11】実施形態の表示部の他の例を示す図である。
【図12】実施形態におけるプリント基板上における各
回路部品の配置の一例を示す図である。
回路部品の配置の一例を示す図である。
【図13】実施形態における流量計の回路構成の一部を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図14】実施形態における流量計の回路構成の他の一
部を示すブロック図である。
部を示すブロック図である。
【図15】実施形態におけるメモリマップを示す図であ
る。
る。
【図16】本発明の第2実施形態におけるメインルーチ
ンのフローチャートである。
ンのフローチャートである。
【図17】第2実施形態における瞬時流量計処理プログ
ラムのフローチャートである。
ラムのフローチャートである。
【図18】第2実施形態における外部出力処理のフロー
チャートである。
チャートである。
【図19】第2実施形態におけるスイッチ出力処理のフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図20】第3実施形態における周波数測定方法の測定
原理を説明する図である。
原理を説明する図である。
1…パルス検出部、2…第1カウンタ、3…基準クロッ
ク発生部、4…第2カウンタ、5…第1タイマ、6…演
算処理部、7…制御部、8…表示部、9…信号出力部、
100…伝送装置(流量計)、200…外部装置
ク発生部、4…第2カウンタ、5…第1タイマ、6…演
算処理部、7…制御部、8…表示部、9…信号出力部、
100…伝送装置(流量計)、200…外部装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // G01R 23/10 G01R 23/10 A (72)発明者 中原 誠一 埼玉県狭山市笹井535 株式会社鷺宮製作 所狭山事業所内 Fターム(参考) 2F030 CA10 CC01 CC11 CE03 CE04 CE09 CE22 CE24 CE25 2F031 AE05 AF07 2F073 AA04 AB01 BB00 CC01 CD12 DD06 DE02 EF09 FG01 FG02 GG01 GG04 GG06 GG07 GG08 2G029 AA01 AA02 AB02 AB05 AC09 AD01 AD04 AD07 AE06 AE11 AF02 AF03 AG01 AH01 AH03
Claims (9)
- 【請求項1】 時系列に変動しうる物理量のデータを発
信側から受信側に伝送する際に、 前記発信側で、前記時系列な物理量を累算し、該累算値
が予め設定された設定量を越える毎に前記受信側に伝送
パルス信号を出力するとともに前記累算値から前記設定
量を減算して新たな累算値とするようにし、 前記受信側で、前記伝送パルス信号を受信して少なくと
も該伝送パルス信号の受信状態を監視するようにしたこ
とを特徴とする物理量データの伝送方法。 - 【請求項2】 時系列に変動しうる物理量のデータを受
信側に伝送する物理量データの伝送装置であって、 前記時系列な物理量を累算し、該累算値が予め設定され
た設定量を越える毎に前記受信側に伝送パルス信号を出
力するとともに前記累算値から前記設定量を減算して新
たな累算値とするようにしたことを特徴とする物理量デ
ータの伝送装置。 - 【請求項3】 前記設定量を選択的に設定する選択設定
手段を備えたことを特徴とする請求項2記載の物理量デ
ータの伝送装置。 - 【請求項4】 前記物理量に対応する周波数を有するパ
ルス信号を出力する物理量検出手段と、 前記パルス信号を計数して前記時系列な物理量を測定す
る測定手段と、を備えたことを特徴とする請求項2記載
の物理量データの伝送装置。 - 【請求項5】 前記パルス信号を計数する測定手段は、 一定の周期を有する第1の信号を発生する第1の信号発
生手段と、 前記一定の周期間の前記パルス信号の数を計数する第1
の手段と、 前記第1の信号をその周期中に含む前記パルス信号の1
のパルスについて、該1のパルスの周期中における前記
第1の信号の位置を測定する第2の手段と、 前記第1の手段による計数データと前記第2の手段によ
る測定データとに基づいて、 前記パルス信号の周波数を算出する第3の手段と、を備
えることを特徴とする請求項4記載の物理量データの伝
送装置。 - 【請求項6】 被測定流体の流量に対応する周波数を有
するパルス信号を出力するセンサ部と、前記パルス信号
を計数して前記流量を測定する測定部と、該測定した流
量を累算し、該累算値が予め設定された設定量を越える
毎に、伝送パルス信号を出力するとともに前記累算値か
ら前記設定量を減算して新たな累算値とする流量測定装
置と、 前記流量測定装置からの前記伝送パルス信号を受信して
少なくとも該伝送パルス信号の受信状態を監視する流量
監視装置と、を備えたことを特徴とする流量測定システ
ム。 - 【請求項7】 前記流量測定装置を複数備え、前記流量
監視装置で該複数の流量測定装置からの伝送パルス信号
の受信状態を監視するようにしたことを特徴とする請求
項6記載の流量測定システム。 - 【請求項8】 被測定流体の流量に対応する周波数を有
するパルス信号を出力するセンサ部と、 前記パルス信号を計数して前記流量を測定する測定部と
を備え、 該測定した流量を累算し、該累算値が予め設定された設
定量を越える毎に、伝送パルス信号を出力するとともに
前記累算値から前記設定量を減算して新たな累算値とす
ることを特徴とする流量測定装置。 - 【請求項9】 前記設定量を選択的に設定する選択設定
手段を備えたことを特徴とする請求項8記載の流量測定
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP37486099A JP2001188983A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | 物理量データの伝送方法および物理量データの伝送装置、並びに、流量測定システムおよび流量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP37486099A JP2001188983A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | 物理量データの伝送方法および物理量データの伝送装置、並びに、流量測定システムおよび流量測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001188983A true JP2001188983A (ja) | 2001-07-10 |
Family
ID=18504558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP37486099A Pending JP2001188983A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | 物理量データの伝送方法および物理量データの伝送装置、並びに、流量測定システムおよび流量測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001188983A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007225414A (ja) * | 2006-02-23 | 2007-09-06 | Yokogawa Electric Corp | 半導体デバイスの検査方法及び検査装置 |
JP2009159426A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Yokogawa Electric Corp | パルス出力装置 |
CN113711283A (zh) * | 2019-05-10 | 2021-11-26 | 欧姆龙株式会社 | 信号测量单元 |
-
1999
- 1999-12-28 JP JP37486099A patent/JP2001188983A/ja active Pending
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EP3968302A4 (en) * | 2019-05-10 | 2023-01-18 | OMRON Corporation | Signal measurement unit |
US12085424B2 (en) | 2019-05-10 | 2024-09-10 | Omron Corporation | Signal measurement unit |
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