JP2001162811A - インクジェット式記録ヘッドユニット及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ノズル開口を容易且つ高精度に位置決めする
ことのできるインクジェット式記録ヘッドユニットを提
供する。 【解決の手段】 インクを吐出するノズル開口を有する
インクジェット式記録ヘッド１４と該インクジェット式
記録ヘッド１４のインク供給口側に固定されるヘッドケ
ース１３と、このヘッドケース１３の側面との当接部に
より位置決めする当接面を有すると共に前記ノズル開口
を露出して前記ヘッドケース１３を装着部に載置する固
定部材１７とを有するインクジェット式記録ヘッドユニ
ット１０において、前記ヘッドケース１３の側面と前記
固定部材１７の当接面との何れか一方には他方側に突出
する突出部１３ａが設けられ、前記ヘッドケース１３と
前記固定部材１７とが前記突出部１３ａを介して位置決
めされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクカートリッ
ジから供給されたインク滴を吐出して印刷するインクジ
ェット式記録装置に搭載されるインクジェット式記録ヘ
ッドユニット及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、インクジェット式記録ヘッドを
具備するヘッドユニットでは、インクが充填されたイン
クカートリッジから、このインクカートリッジに挿入さ
れるインク供給針及び流路を介してインクジェット式記
録ヘッドにインクが供給され、供給されたインクは圧電
素子等を駆動させることによりノズルから吐出される。

【０００３】例えば、図８に示すように、従来のヘッド
ユニット１００を構成するフレーム１０１は、プリンタ
のキャリッジに搭載されると共に図示しないインクカー
トリッジを収容するインクカートリッジ収容室１０２を
画成する。このフレーム１０１のインクカートリッジ収
容室１０２とは反対側の面には、インクカートリッジに
連通するインク流路を有するヘッドケース１０３が接合
され、ヘッドケース１０３の下面側には、圧力発生手段
の駆動によってインクを吐出する記録ヘッド本体１０４
が固定されている。また、このフレーム１０１のインク
カートリッジ収容室１０２側の底面部分には、インクカ
ートリッジに挿入されるインク供給針１０５が設けられ
ており、インクカートリッジからこのインク供給針１０
５及びヘッドケース１０３のインク流路１０３ａを介し
て記録ヘッド本体１０４にインクが供給される。また、
ヘッドケース１０１と記録ヘッド本体１０４との間に
は、駆動回路を実装した回路基板１０６が固定されてお
り、この駆動回路１０６によって記録ヘッド本体１０４
が駆動されてインクが吐出される。

【０００４】このようなヘッドユニット１００は、複数
の部材を接着等により組み立てて構成されているため、
ノズル位置とヘッドケース１０３の外形間の寸法精度は
若干低下する。このため、通常、キャリッジに搭載する
と、各ノズル開口から吐出されるインク滴の着弾位置
と、所望の着弾位置とに数十μｍ程度の誤差が生じてし
まう。この誤差を補正するために、ヘッドユニット１０
０をキャリッジに搭載する際、各記録ヘッド本体１０４
毎にノズル開口の面内方向の位置及び角度を調整して、
インク滴の着弾位置の調整を行う必要がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ヘッドユニット１００では、ヘッドユニット１００をキ
ャリッジに搭載し、ノズル開口からインク滴を吐出させ
てインク滴の着弾位置を確認しながら、ノズル開口の位
置を機械的に調整しているため、ノズル開口の位置決め
が困難であるという問題がある。

【０００６】また、このようなノズル開口の位置を調整
するための調整機構は、各記録ヘッド本体１０４毎に必
要であるため、複数の記録ヘッド本体１０４を搭載する
場合には、比較的広いスペースが必要となり、小型化が
困難であるという問題がある。

【０００７】本発明は、このような事情に鑑み、ノズル
開口を容易且つ高精度に位置決めすることのできるイン
クジェット式記録ヘッドユニット及びその製造方法を提
供することを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第１の態様は、インクを吐出するノズル開口を有す
るインクジェット式記録ヘッドと該インクジェット式記
録ヘッドのインク供給口側に固定されるヘッドケース
と、このヘッドケースの側面との当接部により位置決め
する当接面を有すると共に前記ノズル開口を露出して前
記ヘッドケースを装着部に載置する固定部材とを有する
インクジェット式記録ヘッドユニットにおいて、前記ヘ
ッドケースの側面と前記固定部材の当接面との何れか一
方には他方側に突出する突出部が設けられ、前記ヘッド
ケースと前記固定部材とが前記突出部を介して位置決め
されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッ
ドユニットにある。

【０００９】かかる第１の態様では、印字確認等を行う
ことなく、ヘッドケースと固定部材との位置決めを確実
且つ容易に行うことができる。

【００１０】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、前記突出部と相対向する面とを密着させる押圧手段
を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド
ユニットにある。

【００１１】かかる第２の態様では、突出部を介してヘ
ッドケースと固定部材とが確実に密着し、これらヘッド
ケースと固定部材とがより確実に位置決めされる。

【００１２】本発明の第３の態様は、第１又は２の態様
において、前記ノズル開口が、前記突出部の一部を除去
することによって位置決めされることを特徴とするイン
クジェット式記録ヘッドユニットにある。

【００１３】かかる第３の態様では、突出部を除去する
ことにより、ヘッドケースと固定部材とを容易に位置決
めすることができる。

【００１４】本発明の第４の態様は、第１〜３の何れか
の態様において、前記突出部が、前記ヘッドケースの側
面又は前記固定部材の当接面の隣り合う２面に設けられ
ていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユ
ニットにある。

【００１５】かかる第４の態様では、突出部によってヘ
ッドケースと固定部材とが面内方向で確実に位置決めさ
れる。

【００１６】本発明の第５の態様は、第１〜４の何れか
の態様において、前記突出部が、前記ヘッドケース側に
設けられていることを特徴とするインクジェット式記録
ヘッドユニットにある。

【００１７】かかる第５の態様では、ヘッドケースの突
出部を固定部材の当接面に当接することによりヘッドケ
ースと固定部材とが位置決めされる。

【００１８】本発明の第６の態様は、第１〜４の何れか
の態様において、前記突出部が、前記固定部材側に設け
られていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッ
ドユニットにある。

【００１９】かかる第６の態様では、固定部材の突出部
にヘッドケースの側面を当接することによりヘッドケー
スと固定部材とが位置決めされる。

【００２０】本発明の第７の態様は、第１〜６の何れか
の態様において、前記突出部が、複数箇所に設けられた
突起部であることを特徴とするインクジェット式記録ヘ
ッドユニットにある。

【００２１】かかる第７の態様では、突起部を介してヘ
ッドケースと固定部材とが位置決めされる。

【００２２】本発明の第８の態様は、第７の態様におい
て、前記突起部が略多角形の頂点位置に配置されている
ことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニット
にある。

【００２３】かかる第８の態様では、突起部を所定位置
に設けることにより、ヘッドケースと固定部材とが確実
に位置決めされる。

【００２４】本発明の第９の態様は、第８の態様におい
て、前記突起部が３カ所のみに設けられていることを特
徴とするインクジェット式記録ヘッドユニットにある。

【００２５】かかる第９の態様では、ヘッドケースと固
定部材とが突起部を介して３点で接触するため、ヘッド
ケースと固定部材とが確実に位置決めされる。

【００２６】本発明の第１０の態様は、第７〜９の何れ
かの態様において、前記突起部は、その幅が先端側に向
かって漸小し、面方向の断面が略三角形状を有すること
を特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニットにあ
る。

【００２７】かかる第１０の態様では、突起部を比較的
容易に除去することができると共に、精度が向上する。

【００２８】本発明の第１１の態様は、第１〜１０の何
れかの態様において、前記固定部材には、複数のヘッド
ケースが並べて固定されることを特徴とするインクジェ
ット式記録ヘッドユニットにある。

【００２９】かかる第１１の態様では、複数のヘッドケ
ースが一つの固定部材に固定されるため、同一基準で位
置決めすることができる。

【００３０】本発明の第１２の態様は、第１〜１１の何
れかの態様において、前記固定部材がキャリッジである
ことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニット
にある。

【００３１】かかる第１２の態様では、ヘッドケースと
キャリッジとを比較的容易に位置決めすることができ
る。

【００３２】本発明の第１３の態様は、インクを吐出す
るノズル開口を有するインクジェット式記録ヘッドと該
インクジェット式記録ヘッドのインク供給口側に固定さ
れるヘッドケースと、このヘッドケースの側面との当接
部により位置決めする当接面を有すると共に前記ノズル
開口を露出して前記ヘッドケースを装着部に載置する固
定部材とを有し、前記ヘッドケースの側面と前記固定部
材の当接面との何れか一方には他方側に突出する突出部
が設けられ、前記ヘッドケースと前記固定部材とが前記
突出部を介して位置決めされているインクジェット式記
録ヘッドユニットの製造方法であって、前記ヘッドケー
スと前記固定部材とを突出部を介して当接させた状態
で、前記ノズル開口の所望の位置とのずれ量を測定する
と共にこのずれ量に応じて前記突出部の除去量を算出す
る工程と、算出された除去量に応じて前記突出部を除去
する工程とを有するインクジェット式記録ヘッドユニッ
トの製造方法にある。

【００３３】かかる第１３の態様では、突出部を除去し
てヘッドケースと固定部材との固定位置を補正すること
により、これらヘッドケースと固定部材との位置決めを
容易に行うことができる。

【００３４】本発明の第１４の態様は、第１３の態様に
おいて、前記突出部を所定のマスクを用いてエッチング
することによって、前記突出部の除去領域を識別するこ
とを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニットの
製造方法にある。

【００３５】かかる第１４の態様では、突出部の除去領
域を容易に識別でき、突出部を確実且つ容易に除去する
ことができる。

【００３６】

【発明の実施の形態】以下に、本発明を実施形態に基づ
いて詳細に説明する。

【００３７】図１は、本発明の一実施形態に係るインク
ジェット式記録ヘッドユニットの斜視図、図２はその要
部を示す概略断面図である。

【００３８】本発明の一実施形態に係るインクジェット
式記録ヘッドユニット（以下、ヘッドユニットと呼ぶ）
１０は、図１及び図２に示すように、プリンタのキャリ
ッジに搭載されて図示しないインク供給手段であるイン
クカートリッジを収容するインクカートリッジ収容室１
１を有するインク供給手段保持部材であるカートリッジ
ケース１２と、カートリッジケース１２の下面側に設け
られ、インクカートリッジと後述する記録ヘッド本体と
を連通するインク流路を有するヘッドケース１３と、こ
のヘッドケース１３の下面側に設けられ圧電素子の駆動
によってインクを吐出する記録ヘッド本体１４とを具備
する。また、カートリッジケース１２のインクカートリ
ッジ収容室１１側の底面部分には、インクカートリッジ
の各色毎に挿入されるインク供給針１５が固定されてい
る。

【００３９】このようなヘッドユニット１０では、イン
クカートリッジからインク供給針１５及びヘッドケース
１３のインク流路等を介して記録ヘッド本体１４にイン
クが供給され、圧電素子を駆動することによりノズル開
口１４ａからインクが吐出される。なお、この圧電素子
は、例えば、カートリッジケース１２とヘッドケース１
３との間に設けられた回路基板１６に搭載された駆動回
路等によって駆動される。

【００４０】また、このようなヘッドユニット１０は、
その後、ヘッドケース１３が固定部材１７に固定されて
インクジェット式記録装置のキャリッジ等に搭載され
る。本実施形態では、固定部材１７は、ヘッドケース１
３を挿通すると共に記録ヘッド本体のノズル開口面を露
出する複数の、例えば、３つの貫通部１７ａが並設さ
れ、各貫通部１７ａにはそれぞれヘッドケース１３が並
べて固定されている。

【００４１】このようなヘッドケース１３の側面と固定
部材１７の当接面である貫通部１７ａの内面の何れか一
方、本実施形態では、ヘッドケース１３の側面には、他
方側に突出する突出部が設けられており、詳しくは後述
するが、ヘッドケース１３と固定部材１７とを固定する
際、この突出部を適宜トリミングして、ヘッドケース１
３の固定位置を補正することにより、ヘッドケース１３
と固定部材１７との位置決め、すなわち、ノズル開口１
４ａの位置合わせを行っている。

【００４２】ここで、この突出部の形状は、特に限定さ
れないが、本実施形態では、ヘッドケース１３の側面の
隣り合う２面のそれぞれに、部分的に突出する断面が略
三角形状の複数の突起部１３ａとした。このように、突
起部１３ａを先端部側が漸小する断面略三角形状とする
ことにより、突起部１３ａのトリミングが容易となる。
また、勿論、この突起部１３ａは、例えば、断面略半円
形状或いは矩形形状等、何れの形状であってもよい。

【００４３】なお、ノズル開口１４ａの突起部１３ａか
らの位置精度は、通常、±５０μｍ程度であるため、突
起部１３ａの大きさは、このずれ量を補正できる大きさ
としておけばよい。例えば、本実施形態では、突起部１
３ａの基端部の幅を約１００〜２００μｍとし、突出量
を約１００〜２００μｍとしている。

【００４４】また、このような突起部１３ａの数も、特
に限定されないが、複数の突起部１３ａが多角形の頂点
位置となるように配置されていることが好ましく、本実
施形態では、ヘッドケース１３の側面の隣り合う２面に
３つの突起部１３ａを設けるようにした。

【００４５】ここで、ヘッドケース１３と固定部材１７
との組立手順について説明する。なお、図３は、ヘッド
ケースの要部を示す拡大図である。

【００４６】まず、図３（ａ）に示すように、固定部材
１７の貫通部１７ａにヘッドケース１３を挿通して、ヘ
ッドケース１３を図示しない押圧手段によって面方向に
押圧して突起部１３ａを貫通部１７ａの内面に当接させ
る。例えば、本実施形態では、ヘッドケースに設けたネ
ジ等の締結部材によって、ヘッドケース１３を押圧す
る。

【００４７】次に、この状態で、図３（ｂ）に示すよう
に、例えば、ガラス板にノズル開口１４ａの基準位置等
を記したスケール等を用いて、現在のノズル開口１４ａ
の位置と所望のノズル開口の位置とのずれ量を測定する
と共に突起部１３ａのトリミング量を算出する。（図３
（ｂ）の点線は、例えば、スケールとして用いるガラス
板に記された基準線を示す。）なお、このノズル開口の
ずれ量の測定及び突起部のトリミング量の算出方法は、
特に限定されず、何れの方法を用いてもよい。

【００４８】次いで、図３（ｃ）に示すように、このノ
ズル開口１４ａの位置のずれ量に基づいて、突起部１３
ａを所定量だけトリミングする。このトリミングの方法
は、特に限定されず、例えば、研削、ダイシング又はレ
ーザ加工等、何れの方法を用いてもよい。

【００４９】その後、図３（ｄ）に示すように、トリミ
ングした突起部１３ａを固定部材１７の貫通部１７ａに
当接させて固定することにより、ノズル開口１４ａは所
望の位置とすることができる。また、このような工程を
各ヘッドケース毎に行うことにより、各ヘッドケース１
７と固定部材１３とを確実に位置決めすることができ
る。これにより、各記録ヘッド本体１４のノズル開口１
４ａが同一基準で確実に位置決めされる。

【００５０】その後、固定部材１７がキャリッジに搭載
されるが、その際、インク滴の着弾位置等をノズル開口
１４ａの位置が所望の位置と異なっていた場合であって
も、本実施形態では、３つの記録ヘッド本体１４が固定
部材１７に固定されて一体化されているため、固定部材
１７とキャリッジとの位置決めをすることにより、すべ
てのノズル開口１４ａの位置を同時に調整することがで
きる。

【００５１】なお、本実施形態では、固定部材１７をキ
ャリッジに搭載するようにしたが、勿論、キャリッジ自
体を固定部材としてもよい。

【００５２】また、本実施形態では、ヘッドケース１３
の側面に突出部である突起部１３ａを設けるようにした
が、これらヘッドケース１３と固定部材１７との固定構
造は、特に限定されない。例えば、図４に示すように、
ヘッドケース１３の外周面に面方向に張り出したフラン
ジ部１８の側面に突起部１８ａを設け、この突起部１８
ａを介して固定部材１７の貫通部１７ａと当接させるよ
うにしてもよい。

【００５３】また、本実施形態では、ヘッドケース１３
に突起部１３ａを設けるようにしたが、これに限定され
ず、例えば、図５に示すように、固定部材１７の当接面
である貫通部１７ａの内面に突起部１７ｂを設けるよう
にしてもよい。このような構成としても、上述と同様
に、容易にノズル開口１４ａの位置決めをすることがで
きる。

【００５４】また、固定部材１７に突起部１７ｂを設け
るようにした場合には、エッチングによって突起部１７
ｂをトリミングするようにしてもよい。すなわち、図６
に示すように、固定部材１７の表面に、例えば、感光性
のレジスト等のマスク層１９を形成しておき、上述と同
様に、ヘッドケース１３を突起部１７ｂに当接させた状
態で、ノズル開口１４ａの位置の基準となるガラス板等
のマスク部材２０を用いてノズル開口１４ａの位置のず
れ量を測定すると共に、マスク層１９を露光して所定形
状にパターニングする。その後、このマスク層１９のパ
ターンに合わせて突起部１７ｂをエッチングにより除去
し、ヘッドケース１３と固定部材１７との固定位置を調
整、すなわちノズル開口１４ａの位置を調整するように
してもよい。また、勿論、露光したマスク層１９を基準
として、研削等によって突起部１７ｂを除去するように
してもよい。

【００５５】なお、このようにノズル開口１４ａの位置
決めを行うと共に固定部材１７に固定されたヘッドユニ
ットは、その後、キャリッジに搭載されてインクジェッ
ト式記録装置の一部を構成する。ここで、このインクジ
ェット式記録装置の一例について説明する。図７は、イ
ンクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

【００５６】図７に示すように、インクジェット式記録
ヘッドを有するヘッドユニット１０は、前述のようにイ
ンク供給手段を構成するカートリッジ３２が着脱可能に
設けられ、このヘッドユニット１０を搭載したキャリッ
ジ３３は、装置本体３４に取り付けられたキャリッジ軸
３５に軸方向移動自在に設けられている。

【００５７】そして、駆動モータ３６の駆動力が図示し
ない複数の歯車およびタイミングベルト３７を介してキ
ャリッジ３３に伝達されることで、ヘッドユニット１０
を搭載したキャリッジ３３はキャリッジ軸３５に沿って
移動される。一方、装置本体３４にはキャリッジ３３に
沿ってプラテン３８が設けられている。このプラテン３
８は図示しない紙送りモータの駆動力により回転できる
ようになっており、給紙ローラなどにより給紙された紙
等の記録媒体である記録シートＳがプラテン３８に巻き
掛けられて搬送されるようになっている。

【００５８】

【発明の効果】以上説明したように本発明では、ヘッド
ケースと固定部材とを突出部を介して当接するように
し、この突出部の一部を除去することにより、これらヘ
ッドケースと固定部材とを容易に位置決めすることがで
きる。すなわち、ノズル開口の位置合わせを容易に行う
ことができる。これにより、ノズル開口の位置調整用の
機構を必要とすることがなく、複数のヘッド間の距離を
短くすることができ、小型化を図ることができる。ま
た、ノズル開口を高密度に配置することができるため、
インク滴の着弾精度が高まり印刷品質を向上することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記
録ヘッドユニットを示す斜視図である。

【図２】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記
録ヘッドユニットの要部を示す断面図である。

【図３】本発明の一実施形態に係るヘッドケースと固定
部材の組立手順を説明する図である。

【図４】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記
録ヘッドユニットの他の例を示す断面図及び平面図であ
る。

【図５】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記
録ヘッドユニットの他の例を示す断面図及び平面図であ
る。

【図６】本発明の一実施形態に係るヘッドケースと固定
部材との組立手順の他の例を示す平面図及び断面図であ
る。

【図７】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記
録装置の概略図である。

【図８】従来技術に係るヘッドユニットの断面図であ
る。

【符号の説明】

１０ インクジェット式記録ヘッドユニット １２ カートリッジケース １３ ヘッドケース １３ａ 突起部 １４ 記録ヘッド本体 １５ インク供給針 １６ 回路基板 １７ 固定部材

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを吐出するノズル開口を有するイ
   ンクジェット式記録ヘッドと該インクジェット式記録ヘ
   ッドのインク供給口側に固定されるヘッドケースと、こ
   のヘッドケースの側面との当接部により位置決めする当
   接面を有すると共に前記ノズル開口を露出して前記ヘッ
   ドケースを装着部に載置する固定部材とを有するインク
   ジェット式記録ヘッドユニットにおいて、 前記ヘッドケースの側面と前記固定部材の当接面との何
   れか一方には他方側に突出する突出部が設けられ、前記
   ヘッドケースと前記固定部材とが前記突出部を介して位
   置決めされていることを特徴とするインクジェット式記
   録ヘッドユニット。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記突出部と相対向
   する面とを密着させる押圧手段を有することを特徴とす
   るインクジェット式記録ヘッドユニット。
3. 【請求項３】 請求項１又は２において、前記ノズル開
   口が、前記突出部の一部を除去することによって位置決
   めされることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド
   ユニット。
4. 【請求項４】 請求項１〜３の何れかにおいて、前記突
   出部が、前記ヘッドケースの側面又は前記固定部材の当
   接面の隣り合う２面に設けられていることを特徴とする
   インクジェット式記録ヘッドユニット。
5. 【請求項５】 請求項１〜４の何れかにおいて、前記突
   出部が、前記ヘッドケース側に設けられていることを特
   徴とするインクジェット式記録ヘッドユニット。
6. 【請求項６】 請求項１〜４の何れかにおいて、前記突
   出部が、前記固定部材側に設けられていることを特徴と
   するインクジェット式記録ヘッドユニット。
7. 【請求項７】 請求項１〜６の何れかにおいて、前記突
   出部が、複数箇所に設けられた突起部であることを特徴
   とするインクジェット式記録ヘッドユニット。
8. 【請求項８】 請求項７において、前記突起部が略多角
   形の頂点位置に配置されていることを特徴とするインク
   ジェット式記録ヘッドユニット。
9. 【請求項９】 請求項８において、前記突起部が３カ所
   のみに設けられていることを特徴とするインクジェット
   式記録ヘッドユニット。
10. 【請求項１０】 請求項７〜９の何れかにおいて、前記
    突起部は、その幅が先端側に向かって漸小し、面方向の
    断面が略三角形状を有することを特徴とするインクジェ
    ット式記録ヘッドユニット。
11. 【請求項１１】 請求項１〜１０の何れかにおいて、前
    記固定部材には、複数のヘッドケースが並べて固定され
    ることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドユニッ
    ト。
12. 【請求項１２】 請求項１〜１１の何れかにおいて、前
    記固定部材がキャリッジであることを特徴とするインク
    ジェット式記録ヘッドユニット。
13. 【請求項１３】 インクを吐出するノズル開口を有する
    インクジェット式記録ヘッドと該インクジェット式記録
    ヘッドのインク供給口側に固定されるヘッドケースと、
    このヘッドケースの側面との当接部により位置決めする
    当接面を有すると共に前記ノズル開口を露出して前記ヘ
    ッドケースを装着部に載置する固定部材とを有し、前記
    ヘッドケースの側面と前記固定部材の当接面との何れか
    一方には他方側に突出する突出部が設けられ、前記ヘッ
    ドケースと前記固定部材とが前記突出部を介して位置決
    めされているインクジェット式記録ヘッドユニットの製
    造方法であって、 前記ヘッドケースと前記固定部材とを当接部を介して当
    接させた状態で、前記ノズル開口の所望の位置とのずれ
    量を測定すると共にこのずれ量に応じて前記突出部の除
    去量を算出する工程と、算出された除去量に応じて前記
    突出部を除去する工程とを有するインクジェット式記録
    ヘッドユニットの製造方法。
14. 【請求項１４】 請求項１３において、前記突出部を所
    定のマスクを用いてエッチングすることによって、前記
    突出部の除去領域を識別することを特徴とするインクジ
    ェット式記録ヘッドユニットの製造方法。