JP2001137615A - 気泡除去装置 - Google Patents
気泡除去装置Info
- Publication number
- JP2001137615A JP2001137615A JP32771599A JP32771599A JP2001137615A JP 2001137615 A JP2001137615 A JP 2001137615A JP 32771599 A JP32771599 A JP 32771599A JP 32771599 A JP32771599 A JP 32771599A JP 2001137615 A JP2001137615 A JP 2001137615A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- space
- float
- cylinder
- bubbles
- removing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 15
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 32
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 7
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000010485 coping Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D19/00—Degasification of liquids
- B01D19/0063—Regulation, control including valves and floats
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D19/00—Degasification of liquids
- B01D19/0042—Degasification of liquids modifying the liquid flow
- B01D19/0052—Degasification of liquids modifying the liquid flow in rotating vessels, vessels containing movable parts or in which centrifugal movement is caused
- B01D19/0057—Degasification of liquids modifying the liquid flow in rotating vessels, vessels containing movable parts or in which centrifugal movement is caused the centrifugal movement being caused by a vortex, e.g. using a cyclone, or by a tangential inlet
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- External Artificial Organs (AREA)
Abstract
る。 【解決手段】 本体(1)に、円筒状の流入空間(2)
と逆円錐状の円錐空間(3)と小円筒状の流出空間
(4)を形成する。上記流入空間(2)に開口する流入
口(5)と流出空間(4)に開口する流出口(6)は、
それぞれ各空間(2),(4)の接線方向に設けられてい
る。上記流入空間(2)の上方には、気泡を排出する排
出口(8)がある。排出口(8)と流入空間(2)の間
には弁室(9)があり、この弁室(9)内には、通孔(1
2)を有するシリンダ−(13)が設けられている。このシリ
ンダ−(13)にはプレ−ト(19)を有するキャップ状のフロ
−ト(17)が嵌められている。このフロ−ト(17)は、上記
流入空間(2)に気泡が一定量溜まったとき、内部圧で
上昇され、通孔(12)を開き、気泡のみを排出口(8)か
ら排出する。
Description
他の各種の流体を使用する際に液体中に含まれている気
泡を除去する気泡除去装置に関するものである。
るが、液体中に気泡が含まれていると、不都合を生じる
ことが多い。例えば、洗浄工程では、洗浄槽内へ酸性や
アルカリ性の薬液からなる洗浄液を所定量循環させて洗
浄を行うが、この際洗浄液の流量を超音波流量計で測定
しようとすると、洗浄液中に含まれた気泡が障害となっ
て正確な計測が妨げられることがある。そのため、種々
の気泡除去装置が提案され、使用されているが、気泡を
排出する際に液体も気泡に混合されて大量に排出してし
まったり、ポンプとタンクと除去機が一体となって装置
全体が大型化したり、小流量の作業ができないものが多
かった。
を容器内で旋回させて流動し、気泡を中心部に集めて除
去するようにした気泡除去装置も知られている。例え
ば、特開平11−19406号公報には、そのような装
置が開示されている。この公報の記載によれば、上記装
置は小流量の液体の場合でも使用することができ、回転
流によって容器の中心軸付近に気泡を分離、集中させ、
該容器の中心軸に設けた排気口から排気するよう構成さ
れている、この際排出口には、自動開閉バルブが取付け
られ、該バルブの球形の排気弁を自重とばねによって解
放して気泡を排気し、気泡が集合していないときは液体
の浮力によって上記排気弁を浮上させて排気口を閉じる
機構を有している。
弁を開くためにばねを使用しなければならないので、液
体が酸、アルカリ等の薬液であると、長期にわたって安
定した性能を維持することがむずかしく、また球形の排
気弁の自重、ばねのばね力、排気弁の浮力等のバランス
によりバルブの動作が変化するから、容器内に流入する
液体の流量によって容器内の内部圧力が大きく変化する
ような場合には、その変化にバルブの動作が追従するこ
とができず、そのため一機種で流量変化の大きい液体に
使用することができなかった。
のボ−ルバルブを有するエアベントを排気口に設けた気
泡除去装置も知られているが、この構成ではボ−ルが不
安定であり、流量が増えるとボ−ルがエアベントの中に
浮き上がり、気泡と共に液体も流出してしまうし、ボ−
ルが上昇してエアベルトの排気口を塞ぐようになると気
泡を含んだ液体が除去装置の流出口から流出し、気泡除
去を行うことができなくなる。その上、ボ−ルの場合、
外形が球形であるため、ほんの少しボ−ルが動くだけで
エアベントの中に液体が入り込み、該エアベント中が液
体で一杯になり、ボ−ルが一層不安定になって、流量と
のバランスをとることが難しい。
せるためには、ポンプを用いているが、一般にポンプは
必ずしも常に一定の圧力を出す訳ではなく、特にダイヤ
フラムポンプやエア駆動のポンプ等では圧力が一定せ
ず、脈動を生じているため、そのような脈動が伝達され
ると、次工程で上記液体を使用する際に支障を生じるこ
とがある。
小流量の流体からの気泡除去にも使用でき、気泡の排気
口から液体を流出させずに気泡だけを確実に除去でき、
流量の大きな変化にも一機種で対応することができ、脈
動も緩和することができるようにした気泡除去装置を提
供することである。
入空間と該流入空間に続く逆円錐状の円錐空間と該円錐
空間に続く小円筒状の流出空間を形成し、上記空間を流
体が旋回して流動するよう上記流入空間に開口する流入
口と上記流出空間に開口する流出口をそれぞれ各空間の
接線方向に設け、中央に中心軸を有し、上記流入空間の
中央上部に気泡の排出口を具備する気泡除去装置におい
て、上記排出口と上記流入空間の間に弁室を形成し、該
弁室に上記流入空間に開口する通孔を有するシリンダ−
を設け、該シリンダ−の外径より大きい内径の筒状壁を
有しその上部を閉塞するプレ−トを有するキャップ状の
フロ−トを形成し、該フロ−トを上記シリンダ−の上部
に遊嵌すると共に細隙を存して上記弁室内に上下動可能
に嵌着したことを特徴とする気泡除去装置が提供され、
上記課題が解決される。
示す断面図及び平面図であって、図において、筒状の本
体(1)内には、円筒状の流入空間(2)と、該流入空
間(2)の下方に続き中心に向けて傾斜する逆円錐状の
円錐空間(3)と、該円錐空間(3)の下端に続き上記
流入空間(2)の円筒よりも小さな小円筒状の流出空間
(4)が形成され、上記流入空間(2)と流出空間
(4)には流入口(5)及び流出口(6)が設けられて
いる。上記流入口(5)及び流出口(6)は、上記空間
(2),(3),(4)内で流体が旋回して流動するようそ
れぞれ各空間(2),(4)の接線方向に開口している。
られている。該中心軸(7)には、上記空間内を旋回し
て流動する流体の流芯(図示略)に集まる気泡がからま
り、該気泡と気泡を練り込み、大きな気泡となって該中
心軸に沿って気泡を上昇させるよう作用する。このと
き、気泡芯は垂直で小さくなるため、気泡が流体の旋回
流によって周壁側に振り回されなくなり、一層安定す
る。
排出口(8)が形成され、該排出口(8)と流入空間
(2)の間には弁室(9)が形成されている。図におい
て、上記排出口(8)、弁室(9)は、本体(1)にね
じ(10)…で止着した蓋体(11)に設けられており、該本体
(1)と蓋体(11)間には適宜のパッキング材(図示略)
を設けることができる。
に開口する通孔(12)を有するシリンダ−(13)が設けられ
ている。該シリンダ−(13)は、図1、図2においては、
上記本体(1)の流入空間(2)の上部に嵌着し周縁が
蓋体(11)で挾着されている基板(14)に一体的に形成して
あるが、蓋体(11)に形成して排出口(8)を有する止着
板(15)をその上方からねじ着するようにしたり(図
5)、止着板(16)にシリンダ−(13)を突設して、該止着
板(16)を蓋体(11)の下方からねじ着する(図6)ように
したり、適宜に構成することができる。
該シリンダ−(13)に遊嵌すると共に細隙を存して上下動
可能に上記弁室に嵌着するようフロ−ト(17)が設けられ
ている。該フロ−ト(17)は、シリンダ−(13)の外径より
も内径がわずかに大きい筒状壁(18)と、該筒状壁(18)の
上部を閉塞するプレ−ト(19)を有するキャップ状に形成
され、シリンダ−の上部に着座してプレ−ト(19)が通孔
(12)を閉じた状態で筒状壁(18)の下端は、シリンダ−(1
3)の基端に当っていない。なお、図においては、該フロ
−ト(17)の外周面と上記弁室(9)の内周面間には、そ
れぞれ細隙(20),(21)を存して上下動できるように外方
リング(22)が嵌着されているが、図4に示すように該外
方リング(22)を省略することもでき、また上記プレ−ト
(19)の内面その他の適宜位置にパッキング(23)を設ける
こともできる。
3)の外周面間の細隙(24)や上記フロ−ト(17)の外周面と
弁室(9)の内周面(図1等においては外方リング(22)
の内周面)間の細隙(20)、外方リング(22)の外周面の上
記細隙(21)等は、気泡を除去しようとする液体の粘度、
比重等その他の性状に応じて、好ましくは液体を通過さ
せず気泡のみを効率よく通過させることができるよう極
く狭い間隙に形成されている。例えば、水系の液体の場
合は、約0.05〜0.3mm程度、好ましくは約0.1〜0.2
mm程度に形成され、油系の液体の場合は、約0.2〜1mm
程度、好ましくは、約0.5〜0.8mm程度に形成するとよ
い。
高まると、その圧力によって押し上げられ、上記プレ−
ト(19)がシリンダ−の上面から離れて上記通孔(12)を開
口して気泡を通過させるが、該通孔(12)を通って液体が
噴出するような大きな圧力のときには、気泡の排出口
(8)から液体を流出させないよう直ちに上昇して上記
プレ−トの上面で排出口(8)を塞ぐよう排出口(8)
の直下に位置している。該フロ−ト(17)は、上記プレ−
ト(19)が弁室(9)の内面上部に当る位置まで移動でき
るが、この移動量は通常の状態では気泡のみを確実に排
出できかつ上記排出口(8)を塞ぐことがない程度に形
成され、例えば約1〜5mm程度、好ましくは約1〜3mm
程度にしてある。なお、上記フロ−ト(17)の筒状壁(18)
の長さは、フロ−トが上昇しても、シリンダ−(13)から
外れない長さに形成されている。
3)、フロ−ト(17)、外方リング(22)等は薬液等に影響さ
れないよう適宜の合成樹脂材料で作られているが、ステ
ンレス材料等の耐食性を有する金属材料で作ることもで
きる。なお、上記フロ−ト(17)のプレ−ト(19)は、上下
面を平面に形成してあるが、上記通孔(12)や排出口
(8)に嵌合して閉塞することができるような適宜形状
の突起(図示略)を形成してもよく、また所望により耐
食性のばねその他の弾性部材をフロ−トと排出口間に設
けてもよいが、殆どその必要性はない。
し、説明の都合上、上記各細隙を拡大して示してある。
図3(A)は、本体内で旋回して流動する液体から除去
された気泡が流入空間(2)の上部に集合しても未だ内
部圧力がフロ−ト(17)を押し上げる程度まで高められて
いない状態を示している。この間に内部圧力が次第に高
められ、この内部圧力の上昇に伴って軽い小さな気泡ま
でもフロ−ト部に集められる。なお、上記流入口(5)
へ流体を供給するポンプが停止したときにも図3(A)
の状態になり、フロ−トがシリンダ−上に着座して通孔
(12)を塞ぐから、該フロ−トは逆止弁として機能する。
内部圧力が充分に高められると、上記フロ−ト(17)は押
し上げられる(図3(B))。これにより、通孔(12)を
通った気泡は、フロ−ト(17)のプレ−ト(19)の下面から
フロ−トの内面とシリンダ−間の細隙(24)を通り、フロ
−ト(17)の下縁をめぐって該フロ−ト(17)の外周の細隙
(20)を通って排出口(8)から除去される。それによっ
て、内部圧力は低下するので、上記フロ−ト(17)は図3
(A)に示す位置に降下するが再び内部圧力が上昇する
と図3(B)に示すように上昇して気泡を排出する。こ
の動作を繰り返すことにより、上記フロ−ト(17)は上下
動し、シリンダ−(13)に対してピストン運動する。この
際、上記気泡がシリンダ−とフロ−ト間の潤滑油の作用
を奏してフロ−トは円滑に動作する。なお、上記細隙は
上述したように極めて狭いので、気泡と液体の混合物中
に含まれている液体は通過しにくく、気泡のみが排出口
から除去される。
めて大きくなり、液体が上記通孔(12)を通ってフロ−ト
部まで到達してくると、その圧力によって上記フロ−ト
(17)は弁室(9)の内面上部に接する位置まで上昇し、
上記排出口(8)を閉塞する(図3(C))。したがっ
て、液体が排出口(8)から流出しないようにすること
ができる。
0.5〜5.0リットルの流量変化があるような流体の気泡
除去に使用することができ、また、連続して気泡が混入
する状況で気泡と液体の混合物が排出口より放出される
量は、流量全体の約0.066%以下に減少させることが
できた。なお、上記フロ−トのピストン運動や上記基板
(14)がダイヤフラムのように機能することにより内部圧
力が調整され、流出口(6)から流出する流体の脈動も
緩和されることが確かめられ、さらに上記外方リングが
上下動することにより一層脈動を除去することができ
た。
り、気泡の排出口の先部に開閉弁を設けて制御するよう
にしたり、上記装置を複数個連続して設けて段階的に気
泡を除去するようにしたり適宜に構成することができ
る。
円筒状の流入空間と該流入空間に続く逆円錐状の円錐空
間と該円錐空間に続く小円筒状の流出空間を形成し、上
記空間を流体が旋回して流動するよう上記流入空間に開
口する流入口と上記流出空間に開口する流出口をそれぞ
れ各空間の接線方向に設け、中央に中心軸を有し、上記
流入空間の中央上部に気泡の排出口を具備する気泡除去
装置において、上記排出口と上記流入空間の間に弁室を
形成し、該弁室に上記流入空間に開口する通孔を有する
シリンダ−を設け、該シリンダ−の外径より大きい内径
の筒状壁を有しその上部を閉塞するプレ−トを有するキ
ャップ状のフロ−トを形成し、該フロ−トを上記シリン
ダ−の上部に遊嵌すると共に細隙を存して上記弁室内に
上下動可能に嵌着したから、シリンダ−に遊嵌したフロ
−トのピストン運動により本体内の中央上部に集まった
気泡が排出口から効率よく除去され、小流量の場合にも
使用でき、気泡と液体の混合物が殆んど流出することが
なく、本体内に流入する流量が変動しても広い範囲で対
応して確実に除去作用を奏し、また上記本体内の内部圧
力がフロ−トのピストン運動により調整され、脈動も緩
和することができる。
動作説明図であって、(A)はフロ−トが降下している
とき、(B)はフロ−トが上昇したとき、(C)はフロ
−トが最上部まで上昇したときの各説明図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 本体に円筒状の流入空間と該流入空間に
続く逆円錐状の円錐空間と該円錐空間に続く小円筒状の
流出空間を形成し、上記空間を流体が旋回して流動する
よう上記流入空間に開口する流入口と上記流出空間に開
口する流出口をそれぞれ各空間の接線方向に設け、中央
に中心軸を有し、上記流入空間の中央上部に気泡の排出
口を具備する気泡除去装置において、上記排出口と上記
流入空間の間に弁室を形成し、該弁室に上記流入空間に
開口する通孔を有するシリンダ−を設け、該シリンダ−
の外径より大きい内径の筒状壁を有しその上部を閉塞す
るプレ−トを有するキャップ状のフロ−トを形成し、該
フロ−トを上記シリンダ−の上部に遊嵌すると共に細隙
を存して上記弁室内に上下動可能に嵌着したことを特徴
とする気泡除去装置。 - 【請求項2】 上記フロ−トの外周面と上記弁室の内周
面間に細隙を存して外方リングを嵌着した請求項1に記
載の気泡除去装置。 - 【請求項3】 上記シリンダ−は、上記流入空間の上部
に嵌着する基板に設けられている請求項1または2に記
載の気泡除去装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32771599A JP3588771B2 (ja) | 1999-11-18 | 1999-11-18 | 気泡除去装置 |
EP00124305A EP1101517B1 (en) | 1999-11-18 | 2000-11-15 | Bubble-removing apparatus |
DE60027109T DE60027109T2 (de) | 1999-11-18 | 2000-11-15 | Vorrichtung zum Eliminieren von Blasen |
US09/716,063 US6471756B1 (en) | 1999-11-18 | 2000-11-17 | Bubble-removing apparatus |
TW090100811A TW478945B (en) | 1999-11-18 | 2001-01-11 | Bubble-removing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32771599A JP3588771B2 (ja) | 1999-11-18 | 1999-11-18 | 気泡除去装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001137615A true JP2001137615A (ja) | 2001-05-22 |
JP3588771B2 JP3588771B2 (ja) | 2004-11-17 |
Family
ID=18202190
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32771599A Expired - Lifetime JP3588771B2 (ja) | 1999-11-18 | 1999-11-18 | 気泡除去装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6471756B1 (ja) |
EP (1) | EP1101517B1 (ja) |
JP (1) | JP3588771B2 (ja) |
DE (1) | DE60027109T2 (ja) |
TW (1) | TW478945B (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009090214A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Sato Jushi Kogyo Kk | 殺菌水製造装置 |
JP2012076029A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Mitsubishi Heavy Industries Environmental & Chemical Engineering Co Ltd | 消泡機、及び消泡方法 |
JP2013043112A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Nikuni:Kk | 気液分離タンクおよび気液混合溶解装置 |
JP2015231608A (ja) * | 2014-06-10 | 2015-12-24 | 横河電機株式会社 | 脱泡槽 |
WO2019151006A1 (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 富士フイルム株式会社 | 処理システムおよび処理方法 |
JP2020002935A (ja) * | 2018-07-02 | 2020-01-09 | 株式会社デンソー | リザーブタンク |
CN113750310A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-12-07 | 韩久志 | 一种稳压急停式安全腹水超滤回输仪 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI240300B (en) * | 2004-12-23 | 2005-09-21 | Ind Tech Res Inst | Wafer electroplating apparatus |
GB2437064B (en) * | 2006-04-13 | 2011-04-13 | Ford Global Tech Llc | A degas apparatus for the cooling system of an engine |
TW201332627A (zh) * | 2012-02-15 | 2013-08-16 | Asia Ic Mic Process Inc | 液體排泡裝置 |
WO2013142804A1 (en) | 2012-03-22 | 2013-09-26 | Controls Southeast, Inc. | Sulfur seal device |
TWM488339U (zh) * | 2014-04-02 | 2014-10-21 | Trusval Technology Co Ltd | 迴旋除泡裝置 |
KR20170010454A (ko) * | 2015-06-30 | 2017-02-01 | 세메스 주식회사 | 기포 제거 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US11273396B2 (en) | 2018-08-31 | 2022-03-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Liquid supply system with improved bubble venting capacity |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2061517A (en) * | 1935-07-23 | 1936-11-17 | Sheffler Gross Company Inc | Apparatus for separating air and solids from liquids |
US2401079A (en) * | 1942-07-04 | 1946-05-28 | Sharples Corp | Centrifugal deaerator |
US2496467A (en) * | 1944-05-19 | 1950-02-07 | Bowser Inc | Pump shutoff mechanism |
GB796886A (en) * | 1955-01-20 | 1958-06-18 | Walter Jordan | Gas separator for fuel decanting installations |
US2913068A (en) * | 1957-09-24 | 1959-11-17 | Chicago Stainless Equipment | Air eliminator |
US3163508A (en) | 1960-09-07 | 1964-12-29 | Smith Paper Mills Ltd Howard | Method and apparatus for separating gas from liquid rich foams or liquids containing entrained air |
US3282030A (en) * | 1963-09-25 | 1966-11-01 | Rotron Mfg Co | Apparatus for fluid treatment |
US3359708A (en) * | 1966-07-15 | 1967-12-26 | Neptune Meter Co | Gas and liquid separating apparatus |
GB1451437A (en) * | 1972-11-09 | 1976-10-06 | Bridgemore Eng Ltd | Air bleeding device for a pressurised lqiuid supply system |
JPS56120871A (en) * | 1980-02-28 | 1981-09-22 | Nissan Motor Co Ltd | Air breezer |
DE3418446A1 (de) * | 1984-05-18 | 1985-11-21 | Diessel Gmbh & Co, 3200 Hildesheim | Durchflussmessanlage |
JPS6393625A (ja) * | 1986-10-08 | 1988-04-23 | Daihatsu Motor Co Ltd | 燃料流出防止装置 |
SE463904B (sv) * | 1989-04-05 | 1991-02-11 | Sunds Defibrator Ind Ab | Anordning foer separering av fibrer och gas |
JPH1119406A (ja) | 1997-06-30 | 1999-01-26 | Takeno Tec:Kk | 気泡除去装置 |
US6290760B1 (en) * | 1999-04-30 | 2001-09-18 | Tokheim Corporation | Air separator system |
-
1999
- 1999-11-18 JP JP32771599A patent/JP3588771B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-11-15 EP EP00124305A patent/EP1101517B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-15 DE DE60027109T patent/DE60027109T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-11-17 US US09/716,063 patent/US6471756B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-01-11 TW TW090100811A patent/TW478945B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009090214A (ja) * | 2007-10-09 | 2009-04-30 | Sato Jushi Kogyo Kk | 殺菌水製造装置 |
JP2012076029A (ja) * | 2010-10-01 | 2012-04-19 | Mitsubishi Heavy Industries Environmental & Chemical Engineering Co Ltd | 消泡機、及び消泡方法 |
JP2013043112A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Nikuni:Kk | 気液分離タンクおよび気液混合溶解装置 |
JP2015231608A (ja) * | 2014-06-10 | 2015-12-24 | 横河電機株式会社 | 脱泡槽 |
WO2019151006A1 (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 富士フイルム株式会社 | 処理システムおよび処理方法 |
JPWO2019151006A1 (ja) * | 2018-01-31 | 2021-01-07 | 富士フイルム株式会社 | 処理システムおよび処理方法 |
JP2020002935A (ja) * | 2018-07-02 | 2020-01-09 | 株式会社デンソー | リザーブタンク |
JP7063149B2 (ja) | 2018-07-02 | 2022-05-09 | 株式会社デンソー | リザーブタンク |
CN113750310A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-12-07 | 韩久志 | 一种稳压急停式安全腹水超滤回输仪 |
CN113750310B (zh) * | 2021-09-23 | 2023-10-10 | 龚淑利 | 一种稳压急停式安全腹水超滤回输仪 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60027109T2 (de) | 2007-04-19 |
EP1101517B1 (en) | 2006-04-05 |
EP1101517A3 (en) | 2001-11-07 |
EP1101517A2 (en) | 2001-05-23 |
JP3588771B2 (ja) | 2004-11-17 |
TW478945B (en) | 2002-03-11 |
US6471756B1 (en) | 2002-10-29 |
DE60027109D1 (de) | 2006-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2001137615A (ja) | 気泡除去装置 | |
SE501740C2 (sv) | Självstängande förslutningsanordning för utmatning av flytbar substans, innefattande ett flexibelt membran vilket är försett med deformationszoner | |
USRE40319E1 (en) | Liquid dispenser for dispensing foam | |
US8821160B2 (en) | Nano bubble generating nozzle and oral cleaning device including the same | |
JPH02206415A (ja) | 液体石鹸分配装置 | |
US3802807A (en) | Pump | |
KR200464671Y1 (ko) | 액체용기용 펌프디스펜서 | |
CN1498184A (zh) | 止回阀和具有止回阀的液体容器 | |
JP4467762B2 (ja) | 流体定量供給装置 | |
KR100441350B1 (ko) | 기포제거장치 | |
JP3112636B2 (ja) | 泡生成ポンプ式流体分与容器および気液混合部材 | |
US20050072807A1 (en) | Fluid dispenser device | |
KR102501652B1 (ko) | 펌프 용기의 물 유입 방지 구조 | |
KR200217928Y1 (ko) | 용기의 펌핑장치 | |
JPS5517724A (en) | Non-return valve | |
KR102228242B1 (ko) | 펌프 용기의 머드 믹싱 장치 | |
JPH06100062A (ja) | フォーム状水石鹸供給器 | |
JPH0727012Y2 (ja) | 食器洗浄機のための洗剤供給装置 | |
JPH0738973Y2 (ja) | 減圧弁 | |
JP2524885B2 (ja) | フリ―フロ―ト式スチ―ムトラップ | |
KR200166433Y1 (ko) | 디스펜서펌프 | |
JPH0727013Y2 (ja) | 食器洗浄機のための洗剤供給装置 | |
SU742711A1 (ru) | Дозатор жидкости | |
JPH11300244A (ja) | 注出容器 | |
RU50213U1 (ru) | Дозатор для слива жидкости из емкости |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20031225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040406 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040713 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040806 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3588771 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090827 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100827 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100827 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110827 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110827 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120827 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120827 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130827 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130827 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |