JP2001101730A - 光磁気ヘッドおよび光磁気ディスク装置 - Google Patents
光磁気ヘッドおよび光磁気ディスク装置Info
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- JP2001101730A JP2001101730A JP27265799A JP27265799A JP2001101730A JP 2001101730 A JP2001101730 A JP 2001101730A JP 27265799 A JP27265799 A JP 27265799A JP 27265799 A JP27265799 A JP 27265799A JP 2001101730 A JP2001101730 A JP 2001101730A
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- magneto
- light spot
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 記録マークと再生用の近接場光スポットの重
なりを短くして高密度の記録・再生を行うことが可能な
光磁気ヘッドおよび光磁気ディスク装置を提供する。 【解決手段】 半導体レーザから出射されたレーザビー
ムは、透明集光用媒体6の被集光面6cに集光して光ス
ポット9aを形成し、遮光体14の矩形状の開口13か
ら近接場光スポット9bが染み出す。この矩形状の近接
場光スポット9bを用いてLP−MFM記録を行うと、
矩形状の記録マークが形成される。記録マークと再生用
の近接場光スポット9bがほぼ同一の矩形状であるた
め、記録マークと近接場光スポット9bの重なる距離
(時間)が短くなり、記録マークの間隔を狭くしても、
変調度が大きく、ジッタの少ない正確な再生信号が得ら
れる。
なりを短くして高密度の記録・再生を行うことが可能な
光磁気ヘッドおよび光磁気ディスク装置を提供する。 【解決手段】 半導体レーザから出射されたレーザビー
ムは、透明集光用媒体6の被集光面6cに集光して光ス
ポット9aを形成し、遮光体14の矩形状の開口13か
ら近接場光スポット9bが染み出す。この矩形状の近接
場光スポット9bを用いてLP−MFM記録を行うと、
矩形状の記録マークが形成される。記録マークと再生用
の近接場光スポット9bがほぼ同一の矩形状であるた
め、記録マークと近接場光スポット9bの重なる距離
(時間)が短くなり、記録マークの間隔を狭くしても、
変調度が大きく、ジッタの少ない正確な再生信号が得ら
れる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気記録膜に近
接場光の光スポットを照射するとともに磁界を印加して
記録・再生を行う光磁気ヘッドおよび光磁気ディスク装
置に関し、特に、記録マークと再生用の近接場光スポッ
トの重なりを短くして高密度の記録・再生を行うことが
可能な光磁気ヘッドおよび光磁気ディスク装置に関す
る。
接場光の光スポットを照射するとともに磁界を印加して
記録・再生を行う光磁気ヘッドおよび光磁気ディスク装
置に関し、特に、記録マークと再生用の近接場光スポッ
トの重なりを短くして高密度の記録・再生を行うことが
可能な光磁気ヘッドおよび光磁気ディスク装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】光磁気ディスクを含めて光ディスクの高
密度化・大容量化が求められており、2010年には1
Tbits/(inch)2 の記録密度の達成が期待さ
れている(ロードマップ(情報記録分野)、1998年
3月、光産業振興協会)。その主な候補技術として、近
接場光を用いた光磁気記録が知られている。
密度化・大容量化が求められており、2010年には1
Tbits/(inch)2 の記録密度の達成が期待さ
れている(ロードマップ(情報記録分野)、1998年
3月、光産業振興協会)。その主な候補技術として、近
接場光を用いた光磁気記録が知られている。
【0003】この光磁気記録には、従来より、先端を数
十ナノメーター径に尖らせたファイバープローブ先端か
ら漏れ出す近接場光を用いる方式(E.Betzig,et al.,App
l.Phys.Lett.61(2),(1992)P.142.)と、半球形のSIL
(Solid Immersion Lens)の被集光面上に形成された光ス
ポットから漏れ出す近接場光を用いる方式(B.D.Terris,
et al.,Appl.Phys.Lett.65(4),(1994)P.388.)とがあ
る。
十ナノメーター径に尖らせたファイバープローブ先端か
ら漏れ出す近接場光を用いる方式(E.Betzig,et al.,App
l.Phys.Lett.61(2),(1992)P.142.)と、半球形のSIL
(Solid Immersion Lens)の被集光面上に形成された光ス
ポットから漏れ出す近接場光を用いる方式(B.D.Terris,
et al.,Appl.Phys.Lett.65(4),(1994)P.388.)とがあ
る。
【0004】上記ファイバーブローブを用いる方式で
は、微小の光スポットが得られるが、光利用効率が10
-4以下と低く、転送レートを高くできない、プロープ型
のため光ディスク上を高速に走行させることができない
等の本質的な問題があり、基礎実験に止まっている。
は、微小の光スポットが得られるが、光利用効率が10
-4以下と低く、転送レートを高くできない、プロープ型
のため光ディスク上を高速に走行させることができない
等の本質的な問題があり、基礎実験に止まっている。
【0005】これに対し、上記SILを用いる方式で
は、赤色レーザ(680nm)を用いた場合、光スポッ
ト径は0.35μm程度と大きいが、光磁気記録におい
ては、パルスレーザを使用した磁界変調(LP−MF
M:Laser-pumped Modified Field Magnetic)記録方式
を導入することにより、光スポット径以下の記録マーク
の形成とそのマークからの信号再生を可能としている。
は、赤色レーザ(680nm)を用いた場合、光スポッ
ト径は0.35μm程度と大きいが、光磁気記録におい
ては、パルスレーザを使用した磁界変調(LP−MF
M:Laser-pumped Modified Field Magnetic)記録方式
を導入することにより、光スポット径以下の記録マーク
の形成とそのマークからの信号再生を可能としている。
【0006】このようなLP−MFM記録方式を用いた
従来の光磁気ヘッドとして、文献「(TeraStor社、日経
エレクトロニクス誌、No.699,(1997)P.13.)」に示され
るものがある。
従来の光磁気ヘッドとして、文献「(TeraStor社、日経
エレクトロニクス誌、No.699,(1997)P.13.)」に示され
るものがある。
【0007】図15は、その光磁気ヘッドによるLP−
MFM記録方式を示す。この光磁気ヘッドは、光ビーム
を出射する光源と、光源から出射された光ビームを平行
ビームに整形するコリメータレンズと、コリメータレン
ズを透過した平行ビームを集光するSILとを備え、同
図に示すように、円形状の近接場光の光スポット(近接
場光スポット)9bをマーク間隔Lに合わせてパルス状
に点滅して照射しながら、外部印加磁界の方向を記録情
報に基づいて反転させることにより記録(LP−MFM
記録)を行うものである。最初円形に記録されたマーク
81は、次の反転した磁界による記録により一部が消さ
れるため、同図に示すように、光スポット9bの後部側
に三日月型の記録マーク81が形成される。このマーク
長Lは、記録周波数とディスク回転速度によってのみ決
まり、記録周波数を上げることによりマーク長Lを狭め
ることができる。再生時には、記録に使用したのと同じ
円形状の光スポット9bでこのマーク81上を走査し、
検出器からの出力信号を閾値Sによってオンオフ信号に
変換して信号再生を行う。
MFM記録方式を示す。この光磁気ヘッドは、光ビーム
を出射する光源と、光源から出射された光ビームを平行
ビームに整形するコリメータレンズと、コリメータレン
ズを透過した平行ビームを集光するSILとを備え、同
図に示すように、円形状の近接場光の光スポット(近接
場光スポット)9bをマーク間隔Lに合わせてパルス状
に点滅して照射しながら、外部印加磁界の方向を記録情
報に基づいて反転させることにより記録(LP−MFM
記録)を行うものである。最初円形に記録されたマーク
81は、次の反転した磁界による記録により一部が消さ
れるため、同図に示すように、光スポット9bの後部側
に三日月型の記録マーク81が形成される。このマーク
長Lは、記録周波数とディスク回転速度によってのみ決
まり、記録周波数を上げることによりマーク長Lを狭め
ることができる。再生時には、記録に使用したのと同じ
円形状の光スポット9bでこのマーク81上を走査し、
検出器からの出力信号を閾値Sによってオンオフ信号に
変換して信号再生を行う。
【0008】しかし、従来の光磁気ヘッドによると、記
録マーク81が三日月型をしているため、そのテール部
と光スポット9bの重なりが長くなり、切れが悪くるこ
とから、記録マーク81の間隔が狭くなると、変調度、
すなわち信号出力が低下する。それに伴い、後述する図
18に示すように、CNR(Carrier to Noise Ratio:
信号対雑音比)がマーク長とともに減少する。光ディス
クの再生では、十分なエラーコレクションを行うために
は、ビット誤り率を10-4以下に抑えねばならず、その
ためにはCNRとして45dB以上必要である。
録マーク81が三日月型をしているため、そのテール部
と光スポット9bの重なりが長くなり、切れが悪くるこ
とから、記録マーク81の間隔が狭くなると、変調度、
すなわち信号出力が低下する。それに伴い、後述する図
18に示すように、CNR(Carrier to Noise Ratio:
信号対雑音比)がマーク長とともに減少する。光ディス
クの再生では、十分なエラーコレクションを行うために
は、ビット誤り率を10-4以下に抑えねばならず、その
ためにはCNRとして45dB以上必要である。
【0009】そこで、上記LP−MFM記録方式により
十分なCNRを得る方式として、磁区拡大方式が提案さ
れている。その方式には、現在主に、MAMMOS(Mag
netic Amplifying MO System:Tech. Digest of ODS,98,
MB2-1/7(1998))再生方式と、DWDD(Domain Wall Dis
placement Detection;T.Shiratori,et al.,Tech.Digest
of ISOM”97,Tu-E-04,(1997)P.38))再生方式とが提案
されている。以下に、MAMMOS再生方式およびDW
DD再生方式について説明する。
十分なCNRを得る方式として、磁区拡大方式が提案さ
れている。その方式には、現在主に、MAMMOS(Mag
netic Amplifying MO System:Tech. Digest of ODS,98,
MB2-1/7(1998))再生方式と、DWDD(Domain Wall Dis
placement Detection;T.Shiratori,et al.,Tech.Digest
of ISOM”97,Tu-E-04,(1997)P.38))再生方式とが提案
されている。以下に、MAMMOS再生方式およびDW
DD再生方式について説明する。
【0010】図16は、MAMMOS再生方式を示す。
MAMMOS再生方式に適用される記録媒体は、記録層
90の上に非磁性層91を介して再生層92を形成した
ものである。記録時は、光スポット9bを照射するとと
もに、外部磁界によって記録層90に情報を記録する。
再生時は、同図(a)に示すように、光スポット9bを
照射して記録層90の磁化領域93を再生層92に2次
元状に拡大して転写し、再生する。この結果、信号出力
が増大し、CNRが増大する。また、拡大された磁区領
域93は、同図(b)に示すように、光スポット9bが
次のマークに達する前に、反対方向の外部磁界を印加す
ることにより消去することができる。
MAMMOS再生方式に適用される記録媒体は、記録層
90の上に非磁性層91を介して再生層92を形成した
ものである。記録時は、光スポット9bを照射するとと
もに、外部磁界によって記録層90に情報を記録する。
再生時は、同図(a)に示すように、光スポット9bを
照射して記録層90の磁化領域93を再生層92に2次
元状に拡大して転写し、再生する。この結果、信号出力
が増大し、CNRが増大する。また、拡大された磁区領
域93は、同図(b)に示すように、光スポット9bが
次のマークに達する前に、反対方向の外部磁界を印加す
ることにより消去することができる。
【0011】図17は、DWDD再生方式を示す。DW
DD再生方式に適用される記録媒体は、記録層90の上
にスイッチング層94を挟で保持力の小さな再生層92
を配置した構成となっており、再生層92は交換結合力
により記録層90と結合している。また、この記録層9
0のトラック側面は非磁性化されており、そのため記録
マークの側面には磁壁が形成されず、トラック垂直方向
に形成される磁壁は閉じておらず、このため、このトラ
ック垂直方向の磁壁が動き易くなっている。記録時は、
光スポット9bを照射するとともに、外部磁界によって
記録層90に情報を記録する。再生時は、光スポット9
bを照射してスイッチング層94の一部を非磁性化し、
その非磁化領域94aによって記録層90と再生層92
の交換結合を切るとともに、再生層92を加熱して光ス
ポット9bによって生じる温度勾配(図(b))によっ
て、高温側に磁壁93aを移動させる力Fが生じる。こ
のため、光スポット9b下の再生層92の磁区領域93
が拡大されるため、MAMMOS再生方式と同様に信号
出力が増大し、CNRが増大する。
DD再生方式に適用される記録媒体は、記録層90の上
にスイッチング層94を挟で保持力の小さな再生層92
を配置した構成となっており、再生層92は交換結合力
により記録層90と結合している。また、この記録層9
0のトラック側面は非磁性化されており、そのため記録
マークの側面には磁壁が形成されず、トラック垂直方向
に形成される磁壁は閉じておらず、このため、このトラ
ック垂直方向の磁壁が動き易くなっている。記録時は、
光スポット9bを照射するとともに、外部磁界によって
記録層90に情報を記録する。再生時は、光スポット9
bを照射してスイッチング層94の一部を非磁性化し、
その非磁化領域94aによって記録層90と再生層92
の交換結合を切るとともに、再生層92を加熱して光ス
ポット9bによって生じる温度勾配(図(b))によっ
て、高温側に磁壁93aを移動させる力Fが生じる。こ
のため、光スポット9b下の再生層92の磁区領域93
が拡大されるため、MAMMOS再生方式と同様に信号
出力が増大し、CNRが増大する。
【0012】図18は、LP−MFM記録方式とMAM
MOS再生方式の信号対雑音比(CNR)の比較を示す
(H.Awano、N.Ohta,IEEE.J.of Selected Topics in Quant
um Electronics、Vol.4(5)、(1998)P.815,Fig.6&8.)。同
図に使用した集光条件は、波長680nm、NA0.5
5であり、光強度が1/2となるところの光スポット径
D1/2は約0.6μmである。同図から分かるように、
LP−MFM記録方式は、CNRが45dB以上得られ
るマ−ク長は、せいぜい光スポット径D1/2の7〜8割
程度までであり、それ以上の短いマークは再生すること
ができない。これに対し、MAMMOS再生方式は、ほ
ぼガウス型の強度分布を有する再生ビームの中心部によ
って転写が生じるので、比較的隣接マークの影響を避け
ることができ、光スポット径の数分の一のマーク(図で
は、0.12μm)まで再生することができる。なお、
DWDD再生方式は、MAMMOS方式の場合よりも少
し短く0.1μm程度のマークまで再生可能である。
MOS再生方式の信号対雑音比(CNR)の比較を示す
(H.Awano、N.Ohta,IEEE.J.of Selected Topics in Quant
um Electronics、Vol.4(5)、(1998)P.815,Fig.6&8.)。同
図に使用した集光条件は、波長680nm、NA0.5
5であり、光強度が1/2となるところの光スポット径
D1/2は約0.6μmである。同図から分かるように、
LP−MFM記録方式は、CNRが45dB以上得られ
るマ−ク長は、せいぜい光スポット径D1/2の7〜8割
程度までであり、それ以上の短いマークは再生すること
ができない。これに対し、MAMMOS再生方式は、ほ
ぼガウス型の強度分布を有する再生ビームの中心部によ
って転写が生じるので、比較的隣接マークの影響を避け
ることができ、光スポット径の数分の一のマーク(図で
は、0.12μm)まで再生することができる。なお、
DWDD再生方式は、MAMMOS方式の場合よりも少
し短く0.1μm程度のマークまで再生可能である。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の光磁気
ヘッドによると、LP−MFM記録方式により記録を行
い、MAMMOS再生方式やDWDD再生方式を採用し
たとしても、円形の近接場光スポットを用いているた
め、記録マークが三日月型となることから、再生時に記
録マークと光スポットの重なりが長くなり、マーク間隔
を狭めると、磁区が消去される前に、次のマークの磁区
を拡大するようになり、クロストークが発生し、CNR
が低下する。このため、最大記録密度が制限されるとい
う問題がある。
ヘッドによると、LP−MFM記録方式により記録を行
い、MAMMOS再生方式やDWDD再生方式を採用し
たとしても、円形の近接場光スポットを用いているた
め、記録マークが三日月型となることから、再生時に記
録マークと光スポットの重なりが長くなり、マーク間隔
を狭めると、磁区が消去される前に、次のマークの磁区
を拡大するようになり、クロストークが発生し、CNR
が低下する。このため、最大記録密度が制限されるとい
う問題がある。
【0014】図19は、その問題点を説明するための図
である。上記両者の再生には、光スポット9bがトラッ
ク80上を加熱しながら走査され、その加熱領域82
は、光スポット9bよりも一回り小さく、かつ、光スポ
ット9bよりも少し遅れて追従する。この加熱領域82
の先端部82aが記録マーク81に達した時に、磁区の
拡大や磁壁の移動が始まる。その加熱領域82の先端部
82aは、三日月型の記録マーク81の円弧とは、同図
に示すように、逆向きとなる。このため、再生時に両者
の重なっている時間は長くなり、マーク81の間隔が狭
まるに連れて隣接マーク81との分離が取れなくなる。
その時が再生可能な最小記録マーク長であり、それによ
って最大記録密度が限定される。すなわち、MAMMO
S再生方式やDWDD再生方式を用いても、原理的には
記録磁性膜の粒子サイズまでの微小の記録マークを形成
できるという特長を生かしきることはできていない。
である。上記両者の再生には、光スポット9bがトラッ
ク80上を加熱しながら走査され、その加熱領域82
は、光スポット9bよりも一回り小さく、かつ、光スポ
ット9bよりも少し遅れて追従する。この加熱領域82
の先端部82aが記録マーク81に達した時に、磁区の
拡大や磁壁の移動が始まる。その加熱領域82の先端部
82aは、三日月型の記録マーク81の円弧とは、同図
に示すように、逆向きとなる。このため、再生時に両者
の重なっている時間は長くなり、マーク81の間隔が狭
まるに連れて隣接マーク81との分離が取れなくなる。
その時が再生可能な最小記録マーク長であり、それによ
って最大記録密度が限定される。すなわち、MAMMO
S再生方式やDWDD再生方式を用いても、原理的には
記録磁性膜の粒子サイズまでの微小の記録マークを形成
できるという特長を生かしきることはできていない。
【0015】従って、本発明の目的は、記録マークと再
生用の近接場光スポットの重なりを短くして高密度の記
録・再生を行うことが可能な光磁気ヘッドおよび光磁気
ディスク装置を提供することにある。
生用の近接場光スポットの重なりを短くして高密度の記
録・再生を行うことが可能な光磁気ヘッドおよび光磁気
ディスク装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、光磁気ディスクに近接場光スポットを照射
するとともに磁界を印加して情報の記録を行い、前記光
磁気ディスクに前記近接場光スポットを照射して前記情
報の再生を行う光磁気ヘッドにおいて、レーザ光を出射
するレーザ光出射手段と、前記レーザ光が入射される入
射面、および前記入射面に入射した前記レーザ光が集光
される被集光面を有し、前記被集光面に前記レーザ光の
集光によって光スポットを形成し、前記光スポットから
前記光磁気ディスク上に前記近接場光スポットを照射す
る透明集光用媒体と、前記光磁気ディスク上への前記近
接場光スポットの照射範囲を制限する矩形状の開口を有
する遮光体と、前記開口によって制限された前記光磁気
ディスク上の前記近接場光スポットの照射範囲に前記磁
界を印加する磁界印加手段とを備えたことを特徴とする
光磁気ヘッドを提供する。
成するため、光磁気ディスクに近接場光スポットを照射
するとともに磁界を印加して情報の記録を行い、前記光
磁気ディスクに前記近接場光スポットを照射して前記情
報の再生を行う光磁気ヘッドにおいて、レーザ光を出射
するレーザ光出射手段と、前記レーザ光が入射される入
射面、および前記入射面に入射した前記レーザ光が集光
される被集光面を有し、前記被集光面に前記レーザ光の
集光によって光スポットを形成し、前記光スポットから
前記光磁気ディスク上に前記近接場光スポットを照射す
る透明集光用媒体と、前記光磁気ディスク上への前記近
接場光スポットの照射範囲を制限する矩形状の開口を有
する遮光体と、前記開口によって制限された前記光磁気
ディスク上の前記近接場光スポットの照射範囲に前記磁
界を印加する磁界印加手段とを備えたことを特徴とする
光磁気ヘッドを提供する。
【0017】上記構成によれば、近接場光スポットの照
射範囲を制限する遮光体の開口を矩形状とすることによ
り、遮光体の開口から染み出す近接場光スポットの断面
形状も略矩形状となり、光磁気ディスクに近接場光スポ
ットを照射するとともに磁界を印加して情報の記録、い
わゆるLP−MFM記録を行うと、記録トラック上に矩
形状の記録マークが形成される。その記録マークの幅
は、記録周波数を上げることにより、記録磁性膜の粒子
サイズまで縮小することが可能となる。一方、再生時
は、記録時と同様、遮光体の矩形状の開口から略矩形状
の近接場光スポットを照射して行う。従って、記録マ−
クと再生用の近接場光スポットとも矩形であり、トラッ
ク方向に直交する方向の辺は両者とも直線であるため、
両者の重なる距離を最も短くできる構造と言える。すな
わち、近接場光スポットの走査とともに、記録マークの
前後端エッジと近接場光スポットの前端部が順次完全に
一致するように重なり、その重なり時間は極小となるた
め、隣接マークによる干渉を防ぐことができる。このた
め、円形の近接場光スポットに場合に比べて、マーク間
隔を近づけることができ、従って、記録密度を上げるこ
とが可能となる。また、矩形状の開口を形成することに
より、トラッキングのために近接場光スポットを走査し
ても近接場光の強度分布は変化しないため、高速のトラ
キングを行いながら、高密度の記録・再生を行うことが
可能となる。さらに、このように開口を形成することに
より、トラック方向に直交する方向の近接場光の幅も狭
めることが可能となるため、トラックの幅を大幅に狭め
ることができ、さらなる高密度の記録・再生を行うこと
が可能となる。
射範囲を制限する遮光体の開口を矩形状とすることによ
り、遮光体の開口から染み出す近接場光スポットの断面
形状も略矩形状となり、光磁気ディスクに近接場光スポ
ットを照射するとともに磁界を印加して情報の記録、い
わゆるLP−MFM記録を行うと、記録トラック上に矩
形状の記録マークが形成される。その記録マークの幅
は、記録周波数を上げることにより、記録磁性膜の粒子
サイズまで縮小することが可能となる。一方、再生時
は、記録時と同様、遮光体の矩形状の開口から略矩形状
の近接場光スポットを照射して行う。従って、記録マ−
クと再生用の近接場光スポットとも矩形であり、トラッ
ク方向に直交する方向の辺は両者とも直線であるため、
両者の重なる距離を最も短くできる構造と言える。すな
わち、近接場光スポットの走査とともに、記録マークの
前後端エッジと近接場光スポットの前端部が順次完全に
一致するように重なり、その重なり時間は極小となるた
め、隣接マークによる干渉を防ぐことができる。このた
め、円形の近接場光スポットに場合に比べて、マーク間
隔を近づけることができ、従って、記録密度を上げるこ
とが可能となる。また、矩形状の開口を形成することに
より、トラッキングのために近接場光スポットを走査し
ても近接場光の強度分布は変化しないため、高速のトラ
キングを行いながら、高密度の記録・再生を行うことが
可能となる。さらに、このように開口を形成することに
より、トラック方向に直交する方向の近接場光の幅も狭
めることが可能となるため、トラックの幅を大幅に狭め
ることができ、さらなる高密度の記録・再生を行うこと
が可能となる。
【0018】
【発明の実施の形態】図1(a),(b)は、本発明の
第1の実施の形態に係る光磁気ヘッドを示し、同図
(a)は光磁気ヘッドの側面図、同図(b)は正面図で
ある。なお、同図において、Xはトラック方向を示し、
Yはトラック方向Xに直交する方向を示す。この光磁気
ヘッド1は、レーザビーム3aを出射する半導体レーザ
2と、半導体レーザ2から出射されたレーザビーム3a
を平行ビーム3bに整形するコリメータレンズ4と、コ
リメータレンズ4からの平行ビーム3bをほぼ直角に折
り曲げるフォールディングミラー5と、フォールディン
グミラー5からの平行ビーム3bを集光する対物レンズ
4’と、対物レンズ4’からの収束ビーム3cを集光
し、近接場光スポット9bとして光磁気ディスク21の
基板210上に形成された記録媒体211に伝播させる
透明集光用媒体6と、近接場光スポット9bが伝播され
た記録媒体211に記録情報に応じた変調磁界を印加す
るコイル10と、少なくとも対物レンズ4’、フォール
ディングミラー5、透明集光用媒体6およびコイル10
を支持し、光磁気ディスク21上を浮上走行する浮上ス
ライダ12と、光磁気ディスク21からの反射ビーム3
dを半導体レーザ2からの入射ビーム3bと分離するビ
ームスプリッタ33aと、ビームスプリッタ33aで分
離された反射ビーム3dの偏光面を45度回転させる1
/2波長板34と、1/2波長板34を透過した反射ビ
ーム3dを分離する偏光ビームスプリッタ33bと、偏
光ビームスプリッタ33bで分離された光ビーム3e,
3fを検出する一対の光検出器35a,35bとを有す
る。
第1の実施の形態に係る光磁気ヘッドを示し、同図
(a)は光磁気ヘッドの側面図、同図(b)は正面図で
ある。なお、同図において、Xはトラック方向を示し、
Yはトラック方向Xに直交する方向を示す。この光磁気
ヘッド1は、レーザビーム3aを出射する半導体レーザ
2と、半導体レーザ2から出射されたレーザビーム3a
を平行ビーム3bに整形するコリメータレンズ4と、コ
リメータレンズ4からの平行ビーム3bをほぼ直角に折
り曲げるフォールディングミラー5と、フォールディン
グミラー5からの平行ビーム3bを集光する対物レンズ
4’と、対物レンズ4’からの収束ビーム3cを集光
し、近接場光スポット9bとして光磁気ディスク21の
基板210上に形成された記録媒体211に伝播させる
透明集光用媒体6と、近接場光スポット9bが伝播され
た記録媒体211に記録情報に応じた変調磁界を印加す
るコイル10と、少なくとも対物レンズ4’、フォール
ディングミラー5、透明集光用媒体6およびコイル10
を支持し、光磁気ディスク21上を浮上走行する浮上ス
ライダ12と、光磁気ディスク21からの反射ビーム3
dを半導体レーザ2からの入射ビーム3bと分離するビ
ームスプリッタ33aと、ビームスプリッタ33aで分
離された反射ビーム3dの偏光面を45度回転させる1
/2波長板34と、1/2波長板34を透過した反射ビ
ーム3dを分離する偏光ビームスプリッタ33bと、偏
光ビームスプリッタ33bで分離された光ビーム3e,
3fを検出する一対の光検出器35a,35bとを有す
る。
【0019】図2は、透明集光用媒体6の詳細を示し、
同図(a)は、主要部側面図、同図(b)はA−A方向
から見た断面図、同図(c)は他の例を示すA−A方向
から見た断面図である。透明集光用媒体6は、ソリッド
イマージョンレンズ(SIL:Solid Immersion Lens)
と称される半球形のものであり、収束ビーム3cが屈折
せずに垂直に入射する半球面状の入射面6aと、収束ビ
ーム3cが集光して光スポット9aが形成される被集光
面6cと、スライダ12の下面と同一面上に形成された
底面6eとを有する。
同図(a)は、主要部側面図、同図(b)はA−A方向
から見た断面図、同図(c)は他の例を示すA−A方向
から見た断面図である。透明集光用媒体6は、ソリッド
イマージョンレンズ(SIL:Solid Immersion Lens)
と称される半球形のものであり、収束ビーム3cが屈折
せずに垂直に入射する半球面状の入射面6aと、収束ビ
ーム3cが集光して光スポット9aが形成される被集光
面6cと、スライダ12の下面と同一面上に形成された
底面6eとを有する。
【0020】被集光面6c上の光スポット9aの直径D
1/2(光強度が1/2となる位置の直径)は、次の式
(1)で与えられる。 D1/2=k・λ/(n・NAi) …(1) ここに、kは比例定数でガウスビームの場合は、約0.
5であり、λは入射するレーザビーム3cの波長、nは
透明集光用媒体6の屈折率、NAiは透明集光用媒体6
内部での開口数であり、本実施の形態では入射面6aで
の屈折がないため、対物レンズ4’のNAに等しい。記
録に際しては、記録媒体211を被集光面6cにレーザ
ビーム3の波長の数分の一にまで近づけ、近接場光スポ
ット9bが実質的に余り広がらない範囲で行うため、近
接場光スポット9bの直径も光スポット9aの直径D
1/2と同程度となる。また、光記録の場合、通常、光強
度が中心の1/2となる位置で光強度が記録の閾値にな
るように設定されるため、記録マークの直径は、ほぼD
1/2となる。本実施の形態においては、半導体レーザ2
としてはGaAlInP系の赤色レーザ(波長630n
m)を、透明集光用媒体6としては重フリントガラス
(屈折率1.91)を使用し、対物レンズ4’のNAは
0.8とする。この場合のD1/2は、約0.2μmであ
り、記録マークの直径もほぼ0.2μmとなる。
1/2(光強度が1/2となる位置の直径)は、次の式
(1)で与えられる。 D1/2=k・λ/(n・NAi) …(1) ここに、kは比例定数でガウスビームの場合は、約0.
5であり、λは入射するレーザビーム3cの波長、nは
透明集光用媒体6の屈折率、NAiは透明集光用媒体6
内部での開口数であり、本実施の形態では入射面6aで
の屈折がないため、対物レンズ4’のNAに等しい。記
録に際しては、記録媒体211を被集光面6cにレーザ
ビーム3の波長の数分の一にまで近づけ、近接場光スポ
ット9bが実質的に余り広がらない範囲で行うため、近
接場光スポット9bの直径も光スポット9aの直径D
1/2と同程度となる。また、光記録の場合、通常、光強
度が中心の1/2となる位置で光強度が記録の閾値にな
るように設定されるため、記録マークの直径は、ほぼD
1/2となる。本実施の形態においては、半導体レーザ2
としてはGaAlInP系の赤色レーザ(波長630n
m)を、透明集光用媒体6としては重フリントガラス
(屈折率1.91)を使用し、対物レンズ4’のNAは
0.8とする。この場合のD1/2は、約0.2μmであ
り、記録マークの直径もほぼ0.2μmとなる。
【0021】また、この光磁気ヘッド1は、コイル10
の内側に、矩形状の開口13を有するTiからなる遮光
体14が形成されており、開口13の部分のみから近接
場光が染み出す。この開口13のサイズは光スポット9
aの径よりも小さく形成されており、これによって微小
なサイズの略矩形状の近接場光スポット9bを形成する
ことが可能となる。この近接場光スポット9bを用いて
LP−MFM記録を行うことにより、矩形状の記録マー
クを形成することができる。レンズによる集光の場合、
色収差を伴うが、開口13により近接場光スポット9b
を形成することで、近接場光スポット9bのサイズが色
収差の影響を受けなくすることができる。
の内側に、矩形状の開口13を有するTiからなる遮光
体14が形成されており、開口13の部分のみから近接
場光が染み出す。この開口13のサイズは光スポット9
aの径よりも小さく形成されており、これによって微小
なサイズの略矩形状の近接場光スポット9bを形成する
ことが可能となる。この近接場光スポット9bを用いて
LP−MFM記録を行うことにより、矩形状の記録マー
クを形成することができる。レンズによる集光の場合、
色収差を伴うが、開口13により近接場光スポット9b
を形成することで、近接場光スポット9bのサイズが色
収差の影響を受けなくすることができる。
【0022】なお、同図(c)に示すように、開口1
3’のトラック方向Xに直交する方向Yの長さは、光ス
ポット9aの直径よりも十分大きくしてもよい。このよ
うに形成することにより、光スポット9aを開口13’
の長手方向(Y)の寸法の範囲で駆動することができ、
高速なトラッキングに有効となる。また、遮光体14と
しては、Ti膜を使用したが、これに限定されるもので
はなく、AlやAu,Ag,Mo,W等の金属膜等の遮
光効果を有し、被着性のよいものであれば使用可能であ
る。また、パーマロイ等の高透磁率を有する軟磁性膜を
使用してもよい。これにより、記録位置での磁界強度を
上げることができ、コイル10の巻き数を減らせること
から、コイル10のインダクタンスを下げて磁界の変調
周波数を上げることができるので、高転送レートを達成
することが可能となる。
3’のトラック方向Xに直交する方向Yの長さは、光ス
ポット9aの直径よりも十分大きくしてもよい。このよ
うに形成することにより、光スポット9aを開口13’
の長手方向(Y)の寸法の範囲で駆動することができ、
高速なトラッキングに有効となる。また、遮光体14と
しては、Ti膜を使用したが、これに限定されるもので
はなく、AlやAu,Ag,Mo,W等の金属膜等の遮
光効果を有し、被着性のよいものであれば使用可能であ
る。また、パーマロイ等の高透磁率を有する軟磁性膜を
使用してもよい。これにより、記録位置での磁界強度を
上げることができ、コイル10の巻き数を減らせること
から、コイル10のインダクタンスを下げて磁界の変調
周波数を上げることができるので、高転送レートを達成
することが可能となる。
【0023】次に、上記光磁気ヘッド1の動作を説明す
る。記録する際は、半導体レーザ2からレーザビーム3
aを出射すると、そのレーザビーム3aはコリメータレ
ンズ4により、平行ビーム3bに整形され、フォールデ
ィングミラー5で反射した後、対物レンズ4’によって
収束され、その収束ビーム3cは、透明集光用媒体6の
入射面6aに入射する。入射面6aに入射した収束ビー
ム3cは、被集光面6cに集光して、被集光面6c上に
光スポット9aを形成する。光スポット9aに集光した
光は、遮光体14の開口13から近接場光スポット9b
として染み出して光磁気ディスク21の記録媒体211
に伝播し、コイル10による磁界と相侯って光磁気記録
がなされる。
る。記録する際は、半導体レーザ2からレーザビーム3
aを出射すると、そのレーザビーム3aはコリメータレ
ンズ4により、平行ビーム3bに整形され、フォールデ
ィングミラー5で反射した後、対物レンズ4’によって
収束され、その収束ビーム3cは、透明集光用媒体6の
入射面6aに入射する。入射面6aに入射した収束ビー
ム3cは、被集光面6cに集光して、被集光面6c上に
光スポット9aを形成する。光スポット9aに集光した
光は、遮光体14の開口13から近接場光スポット9b
として染み出して光磁気ディスク21の記録媒体211
に伝播し、コイル10による磁界と相侯って光磁気記録
がなされる。
【0024】再生する際は、半導体レーザ2からレーザ
ビーム3aを出射し、コリメータレンズ4、ビームスプ
リッタ33a、フォールディングミラー5、対物レンズ
4’、透明集光用媒体6を介して光磁気ディスク21の
記録媒体211に近接場光スポット9bを照射すると、
記録媒体211からの反射ビーム3dは、記録情報に応
じて偏光面が正あるいは逆方向に回転し、再び、透明集
光用媒体6、対物レンズ4’、フォールディングミラー
5を介してビームスプリッタ33aに入射する。その反
射ビーム3dは、ビームスプリッタ33aによって半導
体レーザ2からの入射ビーム3bと分離され、1/2波
長板34により偏光面がほぼ45度回転させられた後、
偏光ビームスプリッタ33bに入射する。偏光ビームス
プリッタ33bを透過する光ビーム(p偏光)3eは、
光検出器35aに入射し、偏光ビームスプリッタ33b
で反射する光ビーム(s偏光)3fは、光検出器35b
に入射する。記録媒体211からの反射ビーム3dの偏
光面が正方向に回転している場合は、光検出器35aの
方が光検出器35bより多くの光量が入射し、反射ビー
ム3dの偏光面が逆方向に回転している場合は、光検出
器35bの方が光検出器35aより多くの光量が入射す
る。光検出器35a,35bは、偏光角度に応じて変化
する受光量に対応して電気信号を出力する。従って、光
検出器35aの出力信号と光検出器35bの出力信号を
減算器(図示せず)によって減算することにより再生信
号が形成される。
ビーム3aを出射し、コリメータレンズ4、ビームスプ
リッタ33a、フォールディングミラー5、対物レンズ
4’、透明集光用媒体6を介して光磁気ディスク21の
記録媒体211に近接場光スポット9bを照射すると、
記録媒体211からの反射ビーム3dは、記録情報に応
じて偏光面が正あるいは逆方向に回転し、再び、透明集
光用媒体6、対物レンズ4’、フォールディングミラー
5を介してビームスプリッタ33aに入射する。その反
射ビーム3dは、ビームスプリッタ33aによって半導
体レーザ2からの入射ビーム3bと分離され、1/2波
長板34により偏光面がほぼ45度回転させられた後、
偏光ビームスプリッタ33bに入射する。偏光ビームス
プリッタ33bを透過する光ビーム(p偏光)3eは、
光検出器35aに入射し、偏光ビームスプリッタ33b
で反射する光ビーム(s偏光)3fは、光検出器35b
に入射する。記録媒体211からの反射ビーム3dの偏
光面が正方向に回転している場合は、光検出器35aの
方が光検出器35bより多くの光量が入射し、反射ビー
ム3dの偏光面が逆方向に回転している場合は、光検出
器35bの方が光検出器35aより多くの光量が入射す
る。光検出器35a,35bは、偏光角度に応じて変化
する受光量に対応して電気信号を出力する。従って、光
検出器35aの出力信号と光検出器35bの出力信号を
減算器(図示せず)によって減算することにより再生信
号が形成される。
【0025】図3は、本光磁気ヘッド1の記録・再生動
作を説明するための図である。本実施の形態によれば、
記録マーク81と再生用の近接場光スポット9bがほぼ
同一の矩形状であるため、記録マーク81と近接場光ス
ポット9bの重なる距離(時間)が短くなり、記録マー
クの間隔を狭くしても、変調度が大きく、ジッタの少な
い正確な再生信号が得られる。この結果、高密度の記録
・再生を行うことが可能となる。また、信号再生可能な
マーク長は、光スポット径によらないため、比較的大き
な光スポットの使用が可能となる。また、記録マーク8
1と近接場光スポット9bの重なり時間を抑え、隣接マ
−クによる誤信号の発生を抑えることができるので、光
強度のマージンを大きく取ることができる。また、矩形
状の開口13を形成することにより、トラッキングのた
めに近接場光スポット9bを走査しても近接場光の強度
分布は変化しないため、高速のトラキングを行いなが
ら、高密度の記録・再生を行うことが可能となる。さら
に、このように開口13を形成することにより、トラッ
ク方向Xに直交する方向Yの近接場光の幅も狭めること
が可能となるため、トラックの幅を大幅に狭めることが
でき、さらなる高密度の記録・再生を行うことが可能と
なる。
作を説明するための図である。本実施の形態によれば、
記録マーク81と再生用の近接場光スポット9bがほぼ
同一の矩形状であるため、記録マーク81と近接場光ス
ポット9bの重なる距離(時間)が短くなり、記録マー
クの間隔を狭くしても、変調度が大きく、ジッタの少な
い正確な再生信号が得られる。この結果、高密度の記録
・再生を行うことが可能となる。また、信号再生可能な
マーク長は、光スポット径によらないため、比較的大き
な光スポットの使用が可能となる。また、記録マーク8
1と近接場光スポット9bの重なり時間を抑え、隣接マ
−クによる誤信号の発生を抑えることができるので、光
強度のマージンを大きく取ることができる。また、矩形
状の開口13を形成することにより、トラッキングのた
めに近接場光スポット9bを走査しても近接場光の強度
分布は変化しないため、高速のトラキングを行いなが
ら、高密度の記録・再生を行うことが可能となる。さら
に、このように開口13を形成することにより、トラッ
ク方向Xに直交する方向Yの近接場光の幅も狭めること
が可能となるため、トラックの幅を大幅に狭めることが
でき、さらなる高密度の記録・再生を行うことが可能と
なる。
【0026】なお、本実施の形態では、半球型の透明集
光用媒体6を使用したが、スーパーソリッドイマージョ
ンレンズ(Super Solid Immersion Lens)と称される裁底
球状で、かつ、中心からr/n(rは半径、nは媒体屈
折率)の位置に被集光面6cを有するものを使用しても
よい。この裁底球状の透明集光用媒体を用いた場合で
も、本実施の形態と同様の効果が得られる。
光用媒体6を使用したが、スーパーソリッドイマージョ
ンレンズ(Super Solid Immersion Lens)と称される裁底
球状で、かつ、中心からr/n(rは半径、nは媒体屈
折率)の位置に被集光面6cを有するものを使用しても
よい。この裁底球状の透明集光用媒体を用いた場合で
も、本実施の形態と同様の効果が得られる。
【0027】図4(a),(b)は、本発明の第2の実
施の形態に係る光磁気ヘッドを示す。この光磁気ヘッド
1は、第1の実施の形態において、複数の記録トラック
に対して同時に記録・再生が行えるように、例えば、5
本のレーザビームを出力する半導体レーザ2と、5個の
変調用のコイル10とを用いたものであり、他は第1の
実施の形態と同様に構成されている。
施の形態に係る光磁気ヘッドを示す。この光磁気ヘッド
1は、第1の実施の形態において、複数の記録トラック
に対して同時に記録・再生が行えるように、例えば、5
本のレーザビームを出力する半導体レーザ2と、5個の
変調用のコイル10とを用いたものであり、他は第1の
実施の形態と同様に構成されている。
【0028】半導体レーザ2は、ビーム間隔100μm
で5本のレーザビーム3aを出射するものである。この
5本のレーザビーム3aが、コリメータレンズ4、ミラ
ー5および対物レンズ4’を介して透明集光用媒体6の
被集光面6c上に集光されると(同図では、各レーザビ
ームの中心線のみを示す)、コリメータレンズ4と対物
レンズ4’の焦点距離の比を約5:1とした場合、被集
光面6c上での光スポット9aのトラック方向Xに直交
する方向Yの間隔は約20μmとなる。各トラック80
の間隔は0.25μmであり、各スポット9bが各トラ
ック80の直上に位置するように、スポットアレイおよ
びコイルアレイは、トラック80に対して図示するよう
に少し傾けて配列されている。
で5本のレーザビーム3aを出射するものである。この
5本のレーザビーム3aが、コリメータレンズ4、ミラ
ー5および対物レンズ4’を介して透明集光用媒体6の
被集光面6c上に集光されると(同図では、各レーザビ
ームの中心線のみを示す)、コリメータレンズ4と対物
レンズ4’の焦点距離の比を約5:1とした場合、被集
光面6c上での光スポット9aのトラック方向Xに直交
する方向Yの間隔は約20μmとなる。各トラック80
の間隔は0.25μmであり、各スポット9bが各トラ
ック80の直上に位置するように、スポットアレイおよ
びコイルアレイは、トラック80に対して図示するよう
に少し傾けて配列されている。
【0029】このような第2の実施の形態によれば、第
1の実施の形態と同様に、高密度の記録・再生が可能と
なるとともに、複数のトラックに同時に記録・再生を行
えるので、高転送レートを達成することが可能となる。
なお、本実施の形態では、同時に記録再生するトラック
数を5本としたが、これに限定されるものではなく、用
途に応じて増減することができる。
1の実施の形態と同様に、高密度の記録・再生が可能と
なるとともに、複数のトラックに同時に記録・再生を行
えるので、高転送レートを達成することが可能となる。
なお、本実施の形態では、同時に記録再生するトラック
数を5本としたが、これに限定されるものではなく、用
途に応じて増減することができる。
【0030】図5は、本発明の第3の実施の形態に係る
光磁気ヘッドを示す。この第3の実施の形態は、透明集
光用媒体6として回転放物面型のものを用い、ミラー5
および対物レンズ4’を省略したものであり、他は第1
の実施の形態と同様に構成されている。
光磁気ヘッドを示す。この第3の実施の形態は、透明集
光用媒体6として回転放物面型のものを用い、ミラー5
および対物レンズ4’を省略したものであり、他は第1
の実施の形態と同様に構成されている。
【0031】透明集光用媒体6は、平行ビーム3bが入
射する入射面6aと、表面に反射膜7Aが形成された集
光効果を有する反射面6bと、反射面6bからの収束ビ
ーム3cが集光し、光スポット9aが形成される被集光
面6cとを有する。
射する入射面6aと、表面に反射膜7Aが形成された集
光効果を有する反射面6bと、反射面6bからの収束ビ
ーム3cが集光し、光スポット9aが形成される被集光
面6cとを有する。
【0032】図6は、透明集光用媒体6の断面形状を示
す。透明集光用媒体6の反射面6bは、透明集光用媒体
6内部での収束ビーム3cの収束角を大きくし、被集光
面6cに微小の光スポット9aを形成するため、回転放
物面の一部からなる。回転放物面の断面(6b)の主軸
をX軸に、垂直軸をZ軸に採り、焦点位置Fの座標を
(p、0)とすると、断面(6b)は、 z2 =4px と表される。また、回転放物面を用いてその焦点に集光
する場合、原理的に無収差の集光が可能であり(光学:
久保田、岩波書店、P.283)、単一の反射面6bに
より微小の光スポット9aを形成することが可能にな
る。この場合の光スポット9aの直径D1/2は、前述し
た式(1)で与えられる。この透明集光用媒体6の高さ
については、加工上の問題以外に特に制限はなく、0.
6mm程度のものも製造可能あり、従って磁気ハードデ
ィスクのドライブで使用されている磁気ヘッドと同程度
の大きさとすることができる。
す。透明集光用媒体6の反射面6bは、透明集光用媒体
6内部での収束ビーム3cの収束角を大きくし、被集光
面6cに微小の光スポット9aを形成するため、回転放
物面の一部からなる。回転放物面の断面(6b)の主軸
をX軸に、垂直軸をZ軸に採り、焦点位置Fの座標を
(p、0)とすると、断面(6b)は、 z2 =4px と表される。また、回転放物面を用いてその焦点に集光
する場合、原理的に無収差の集光が可能であり(光学:
久保田、岩波書店、P.283)、単一の反射面6bに
より微小の光スポット9aを形成することが可能にな
る。この場合の光スポット9aの直径D1/2は、前述し
た式(1)で与えられる。この透明集光用媒体6の高さ
については、加工上の問題以外に特に制限はなく、0.
6mm程度のものも製造可能あり、従って磁気ハードデ
ィスクのドライブで使用されている磁気ヘッドと同程度
の大きさとすることができる。
【0033】信号再生は、第1の実施の形態と同様に、
反射光をビームスプリッタ33aで入射光と分離した
後、1/2波長板(図示せず)を介して偏光ビームスプ
リッタ(図示せず)により、それぞれの偏光を分離した
後、それぞれの光検出器(図示せず)に入射して行う。
反射光をビームスプリッタ33aで入射光と分離した
後、1/2波長板(図示せず)を介して偏光ビームスプ
リッタ(図示せず)により、それぞれの偏光を分離した
後、それぞれの光検出器(図示せず)に入射して行う。
【0034】このような第3の実施の形態によれば、第
1の実施の形態と同様に、高密度の記録・再生が可能と
なるとともに、高さ方向の小型化が図れる。
1の実施の形態と同様に、高密度の記録・再生が可能と
なるとともに、高さ方向の小型化が図れる。
【0035】図7は、本発明の第4の実施の形態に係る
光磁気ヘッドを示す。この第4の実施の形態は、第3の
実施の形態において、透明集光用媒体6の反射面6bを
平面とし、その反射面6bの表面に反射型のホログラム
7Dを配置したものであり、他は第3の実施の形態と同
様に構成されている。反射型のホログラム7Dとして
は、バイナリホログラムあるいはボリュームホログラム
を用いることができる。この第4の実施の形態によれ
ば、反射面6bを平坦にできるため、透明集光用媒体6
の加工性を高くできる。また、ホログラムの場合、レン
ズに比べて1桁大きな色収差を有するが、光スポットの
サイズを開口13によって制限することにより、色収差
による光スポット径の変化を吸収し、抑えることができ
る。
光磁気ヘッドを示す。この第4の実施の形態は、第3の
実施の形態において、透明集光用媒体6の反射面6bを
平面とし、その反射面6bの表面に反射型のホログラム
7Dを配置したものであり、他は第3の実施の形態と同
様に構成されている。反射型のホログラム7Dとして
は、バイナリホログラムあるいはボリュームホログラム
を用いることができる。この第4の実施の形態によれ
ば、反射面6bを平坦にできるため、透明集光用媒体6
の加工性を高くできる。また、ホログラムの場合、レン
ズに比べて1桁大きな色収差を有するが、光スポットの
サイズを開口13によって制限することにより、色収差
による光スポット径の変化を吸収し、抑えることができ
る。
【0036】図8は、本発明の第5の実施の形態に係る
光磁気ヘッドを示す。この第5の実施の形態は、第1の
実施の形態において、半球形の透明集光用媒体6の代わ
りに、カタディオプティック(Catadioptic)型の透明集
光用媒体6を使用したものである。
光磁気ヘッドを示す。この第5の実施の形態は、第1の
実施の形態において、半球形の透明集光用媒体6の代わ
りに、カタディオプティック(Catadioptic)型の透明集
光用媒体6を使用したものである。
【0037】この透明集光用媒体6は、平行なレーザビ
ーム3bが入射する凹球面状の入射面6a、入射面6a
に対向する位置に設けられた被集光面6c、被集光面6
cの周囲に設けられた平面状の反射面6d、および入射
面6aの周囲に形成された非球面状の反射面6bを有
し、非球面状の反射面6bおよび平面状の反射面6dの
表面に、それぞれ反射膜7Aを形成し、被集光面6cの
表面に、開口13を有する遮光体14を設けている。
ーム3bが入射する凹球面状の入射面6a、入射面6a
に対向する位置に設けられた被集光面6c、被集光面6
cの周囲に設けられた平面状の反射面6d、および入射
面6aの周囲に形成された非球面状の反射面6bを有
し、非球面状の反射面6bおよび平面状の反射面6dの
表面に、それぞれ反射膜7Aを形成し、被集光面6cの
表面に、開口13を有する遮光体14を設けている。
【0038】この第5の実施の形態において、平行なレ
ーザビーム3bが透明集光用媒体6の入射面6aに入射
すると、そのレーザビーム3bは、入射面6aで拡散
し、その拡散光は、平面状の反射面6dに形成された反
射膜7Aで反射し、その反射光は、非球面状の反射面6
bに形成された反射膜7Aでさらに反射して被集光面6
cに集光し、被集光面6cに光スポット9aを形成す
る。これにより、被集光面6cから遮光体14の開口1
3を通って滲み出す近接場光スポット9bによって光磁
気ディスク21の記録媒体211への記録および再生が
可能になる。この第5の実施の形態によれば、第1の実
施の形態と同様の効果が得られ、さらに対物レンズが不
要であることから、小型なヘッドの作製が可能となる。
ーザビーム3bが透明集光用媒体6の入射面6aに入射
すると、そのレーザビーム3bは、入射面6aで拡散
し、その拡散光は、平面状の反射面6dに形成された反
射膜7Aで反射し、その反射光は、非球面状の反射面6
bに形成された反射膜7Aでさらに反射して被集光面6
cに集光し、被集光面6cに光スポット9aを形成す
る。これにより、被集光面6cから遮光体14の開口1
3を通って滲み出す近接場光スポット9bによって光磁
気ディスク21の記録媒体211への記録および再生が
可能になる。この第5の実施の形態によれば、第1の実
施の形態と同様の効果が得られ、さらに対物レンズが不
要であることから、小型なヘッドの作製が可能となる。
【0039】図9は、本発明の第6の実施の形態に係る
光磁気ヘッドを示す。この第6の実施の形態は、第5の
実施の形態において、カタディオプティック型の透明集
光用媒体6の代わりに、平板状の透明集光用媒体6を用
いたものである。この透明集光用媒体6は、平行なレー
ザビーム3bが入射する入射面6a、入射面6aに対向
する位置に設けられた被集光面6c、および被集光面6
cの周囲に設けられた反射面6dを有し、入射面6aの
表面中央に、平行ビーム3bを拡散する透過型のホログ
ラム7Cを配置し、反射面6dの表面に、透過型のホロ
グラム7Cによって拡散された光ビームを反射する反射
膜7Aを配置し、入射面6aの表面の透過型のホログラ
ム7Cの周囲に、反射膜7Aで反射したビームを集光し
て被集光面6cに光スポット9aを形成する反射型のホ
ログラム7Dを配置したものである。この第6の実施の
形態によれば、第1の実施の形態と同様の効果が得ら
れ、さらに対物レンズが不要であることから、小型なヘ
ッドの作製が可能となる。
光磁気ヘッドを示す。この第6の実施の形態は、第5の
実施の形態において、カタディオプティック型の透明集
光用媒体6の代わりに、平板状の透明集光用媒体6を用
いたものである。この透明集光用媒体6は、平行なレー
ザビーム3bが入射する入射面6a、入射面6aに対向
する位置に設けられた被集光面6c、および被集光面6
cの周囲に設けられた反射面6dを有し、入射面6aの
表面中央に、平行ビーム3bを拡散する透過型のホログ
ラム7Cを配置し、反射面6dの表面に、透過型のホロ
グラム7Cによって拡散された光ビームを反射する反射
膜7Aを配置し、入射面6aの表面の透過型のホログラ
ム7Cの周囲に、反射膜7Aで反射したビームを集光し
て被集光面6cに光スポット9aを形成する反射型のホ
ログラム7Dを配置したものである。この第6の実施の
形態によれば、第1の実施の形態と同様の効果が得ら
れ、さらに対物レンズが不要であることから、小型なヘ
ッドの作製が可能となる。
【0040】なお、第3乃至第6の実施の形態におい
て、第2の実施の形態と同様に、マルチビームレーザを
用いてもよい。この場合、マルチビームーレーザとして
は、第2の実施の形態で用いたものと同様のものを用
い、光スポット9aや開口13、およびコイル10は、
図4(b)に示したのと同様に配列する。これにより、
複数のトラックに同時に記録・再生を行えるので、高転
送レートを達成することが可能となる。
て、第2の実施の形態と同様に、マルチビームレーザを
用いてもよい。この場合、マルチビームーレーザとして
は、第2の実施の形態で用いたものと同様のものを用
い、光スポット9aや開口13、およびコイル10は、
図4(b)に示したのと同様に配列する。これにより、
複数のトラックに同時に記録・再生を行えるので、高転
送レートを達成することが可能となる。
【0041】図10は、本発明の第7の実施の形態に係
る光磁気ディスク装置を示す。この光磁気ディスク装置
100は、円盤状のアルミニウム基板210の一方の面
に記録媒体211が形成され、モータ22の回転軸22
0を介して回転する光磁気ディスク21と、光磁気ディ
スク21の記録媒体211に対して記録および再生を行
う第3の実施の形態と同様の光磁気ヘッド1と、光磁気
ヘッド1を光磁気ディスク21の内外周にわたってアク
セスし、かつ、トラッキングさせるリニアモータ23
と、リニアモータ23側から光磁気ヘッド1を支え、支
点24aを中心に回動するスイングアーム24と、光磁
気ヘッド1をLP−MFM記録方式に従って駆動するヘ
ッド駆動系25と、光磁気ヘッド1にレーザ駆動信号を
送るとともに、光磁気ヘッド1からの信号を処理する信
号処理系26とを有する。
る光磁気ディスク装置を示す。この光磁気ディスク装置
100は、円盤状のアルミニウム基板210の一方の面
に記録媒体211が形成され、モータ22の回転軸22
0を介して回転する光磁気ディスク21と、光磁気ディ
スク21の記録媒体211に対して記録および再生を行
う第3の実施の形態と同様の光磁気ヘッド1と、光磁気
ヘッド1を光磁気ディスク21の内外周にわたってアク
セスし、かつ、トラッキングさせるリニアモータ23
と、リニアモータ23側から光磁気ヘッド1を支え、支
点24aを中心に回動するスイングアーム24と、光磁
気ヘッド1をLP−MFM記録方式に従って駆動するヘ
ッド駆動系25と、光磁気ヘッド1にレーザ駆動信号を
送るとともに、光磁気ヘッド1からの信号を処理する信
号処理系26とを有する。
【0042】図11は、この第7の実施の形態の光磁気
ヘッド1を示し、同図(a)は側面図、(b)は平面図
である。この光磁気ヘッド1は、光磁気ディスク21上
を浮上する浮上スライダ31を有し、この浮上スライダ
31上に、レーザビーム3aを出射する端面発光型の半
導体レーザ2と、レーザビーム3aを平行ビーム3bに
整形するコリメータレンズ4と、半導体レーザ2を支持
する石英板からなる支持部材32と、光磁気ディスク2
1からの反射ビーム3dを半導体レーザ2からの入射ビ
ーム3bと分離するビームスプリッタ33aと、ビーム
スプリッタ33aで分離された反射ビーム3dの偏光面
を45度回転させる1/2波長板34と、1/2波長板
34を透過して反射ビーム3dを分離する偏光ビームス
プリッタ33bと、偏光ビームスプリッタ33bで分離
された光ビーム3e,3fを検出する一対の光検出器3
5a,35bとを配置している。また、全体はヘッドケ
ース36内に収納され、ヘッドケース36は、サスペン
ション37を介してスイングアーム24に固定されてい
る。
ヘッド1を示し、同図(a)は側面図、(b)は平面図
である。この光磁気ヘッド1は、光磁気ディスク21上
を浮上する浮上スライダ31を有し、この浮上スライダ
31上に、レーザビーム3aを出射する端面発光型の半
導体レーザ2と、レーザビーム3aを平行ビーム3bに
整形するコリメータレンズ4と、半導体レーザ2を支持
する石英板からなる支持部材32と、光磁気ディスク2
1からの反射ビーム3dを半導体レーザ2からの入射ビ
ーム3bと分離するビームスプリッタ33aと、ビーム
スプリッタ33aで分離された反射ビーム3dの偏光面
を45度回転させる1/2波長板34と、1/2波長板
34を透過して反射ビーム3dを分離する偏光ビームス
プリッタ33bと、偏光ビームスプリッタ33bで分離
された光ビーム3e,3fを検出する一対の光検出器3
5a,35bとを配置している。また、全体はヘッドケ
ース36内に収納され、ヘッドケース36は、サスペン
ション37を介してスイングアーム24に固定されてい
る。
【0043】透明集光用媒体6は、例えば、屈折率n=
1.91を有する重フリントガラスからなり、高さ0.
6mm、長さ0.9mm、幅1.8mmを有する。この
透明集光用媒体6は、入射面6a、回転放物面の一部か
ら構成された反射面6b、被集光面6cおよび底面6e
を有する。この被集光面6cの光スポット集光位置に
は、被集光面6cに形成される光スポット9aから染み
出す近接場光スポット9bの範囲制限するための開口1
3を有する遮光体14を設けている。
1.91を有する重フリントガラスからなり、高さ0.
6mm、長さ0.9mm、幅1.8mmを有する。この
透明集光用媒体6は、入射面6a、回転放物面の一部か
ら構成された反射面6b、被集光面6cおよび底面6e
を有する。この被集光面6cの光スポット集光位置に
は、被集光面6cに形成される光スポット9aから染み
出す近接場光スポット9bの範囲制限するための開口1
3を有する遮光体14を設けている。
【0044】浮上スライダ31は、正圧を生じる凸部3
1aと、負圧を生じる凹部31bを有し、両者のバラン
スにより、100nm程度ないし、それ以下の適当な浮
上高を保つ。なお、浮上スライダ31は、透明集光用媒
体6の屈折率と等しい材料で構成し、透明集光用媒体6
に設けた遮光体14の表面および底面6eは、図1
(a)に示すように、浮上スライダ31の下面の凸部3
1aを兼ねてもよい。
1aと、負圧を生じる凹部31bを有し、両者のバラン
スにより、100nm程度ないし、それ以下の適当な浮
上高を保つ。なお、浮上スライダ31は、透明集光用媒
体6の屈折率と等しい材料で構成し、透明集光用媒体6
に設けた遮光体14の表面および底面6eは、図1
(a)に示すように、浮上スライダ31の下面の凸部3
1aを兼ねてもよい。
【0045】図12は、光磁気ディスク21の詳細を示
す。本実施の形態では、記録媒体としては、MAMMO
S再生方式に適用される磁区拡大効果を有するもの使用
する。すなわち、この光磁気ディスク21には、アルミ
ニウム基板210が使用され、その一方の面にトラッキ
ング用のグルーブ部21aが形成される。本実施の形態
では、ランド部21bが記録トラックであり、そこに情
報が記録される。グルーブ部21aは、基板210のエ
ッチングにより形成したが、基板210にSiO2 膜や
SiNx膜等を被着した後、それらをエッチングするこ
とにより形成してもよく、ポリカーボネイト等の有機膜
等を圧着して形成してもよい。グルーブ部21a上に
は、SiNxからなる保護層211a、TbFeCo等
の記録層211bの上に、SiN等の非磁性層211c
を挟んで、比較的キューリー温度の高く、かつ、転写さ
れやすいGdFeCoからなる再生層211dを乗せ、
さらに表面保護層(図略)が積層された構成となってい
る。その上に潤滑剤を塗布してもよい。
す。本実施の形態では、記録媒体としては、MAMMO
S再生方式に適用される磁区拡大効果を有するもの使用
する。すなわち、この光磁気ディスク21には、アルミ
ニウム基板210が使用され、その一方の面にトラッキ
ング用のグルーブ部21aが形成される。本実施の形態
では、ランド部21bが記録トラックであり、そこに情
報が記録される。グルーブ部21aは、基板210のエ
ッチングにより形成したが、基板210にSiO2 膜や
SiNx膜等を被着した後、それらをエッチングするこ
とにより形成してもよく、ポリカーボネイト等の有機膜
等を圧着して形成してもよい。グルーブ部21a上に
は、SiNxからなる保護層211a、TbFeCo等
の記録層211bの上に、SiN等の非磁性層211c
を挟んで、比較的キューリー温度の高く、かつ、転写さ
れやすいGdFeCoからなる再生層211dを乗せ、
さらに表面保護層(図略)が積層された構成となってい
る。その上に潤滑剤を塗布してもよい。
【0046】再生時には、この記録膜211bに記録時
の数分の一の強度のレーザビームを照射して加熱する
と、記録層211bの磁化が再生層211dに転写され
るとともに、読み出し方向の外部磁界の印加により再生
層211dの磁化領域が拡大する。
の数分の一の強度のレーザビームを照射して加熱する
と、記録層211bの磁化が再生層211dに転写され
るとともに、読み出し方向の外部磁界の印加により再生
層211dの磁化領域が拡大する。
【0047】記録マークの形状は、図3に示したよう
に、矩形状となり、近接場光スポット9bの形状もほぼ
矩形状であるため信号の切れがよく、ジッタの少ない再
生信号が得られ、高密度化が可能となる。
に、矩形状となり、近接場光スポット9bの形状もほぼ
矩形状であるため信号の切れがよく、ジッタの少ない再
生信号が得られ、高密度化が可能となる。
【0048】光スポット9aの直径は0.2μmであ
り、トラック幅は約0.2μm、トラックピッチは0.
25μm、グルーブ部21aの深さは、約0.05μm
としている。記録には、LP−MFM記録方式を使用し
ており、マーク長は、0.05μmからの情報再生がで
きる。これにより、従来のOAM記録の場合に比べて3
倍以上の高密度化が図れた。記録密度は約40Gbit
s/(inch)2であり、3.5インチディスクで
は、約40GBの記録容量に相当し、従来の光ディスク
の8倍以上に高密度化ができる。
り、トラック幅は約0.2μm、トラックピッチは0.
25μm、グルーブ部21aの深さは、約0.05μm
としている。記録には、LP−MFM記録方式を使用し
ており、マーク長は、0.05μmからの情報再生がで
きる。これにより、従来のOAM記録の場合に比べて3
倍以上の高密度化が図れた。記録密度は約40Gbit
s/(inch)2であり、3.5インチディスクで
は、約40GBの記録容量に相当し、従来の光ディスク
の8倍以上に高密度化ができる。
【0049】なお、光磁気ディスク21の基板210の
材料としては、アルミニウムだけでなく、Siや表面研
磨を施したポリカーボネイト等を使用してもよい。
材料としては、アルミニウムだけでなく、Siや表面研
磨を施したポリカーボネイト等を使用してもよい。
【0050】図13(a),(b)は、この第7の実施
の形態の半導体レーザ2を示す。この半導体レーザ2
は、ビーム走査型レーザであり、基板200を有し、そ
の基板200の上面に上部電極201、下面に下部電極
202、中央に活性層203をそれぞれ形成したもので
ある。活性層203の発振狭窄部の主部204aと先端
部204bの幅はそれぞれ3μm、5μmであり、長さ
はそれぞれ300μm、50μmである。上部電極20
1は、主部電極201aと、左右一対の先端部電極20
1b,201bとからなる。活性層203の発振部は発
振狭窄部204a,204bにより狭窄され、さらに、
先端部電極201b,201bに分割して、あるいは交
互に電流を流すことにより、出力レーザビームは左右に
走査される。この走査幅は約1μmで、走査周波数は3
0MHzまで可能である。この出力レーザビームの走査
は、トラッキングの高周波部分に使用した。
の形態の半導体レーザ2を示す。この半導体レーザ2
は、ビーム走査型レーザであり、基板200を有し、そ
の基板200の上面に上部電極201、下面に下部電極
202、中央に活性層203をそれぞれ形成したもので
ある。活性層203の発振狭窄部の主部204aと先端
部204bの幅はそれぞれ3μm、5μmであり、長さ
はそれぞれ300μm、50μmである。上部電極20
1は、主部電極201aと、左右一対の先端部電極20
1b,201bとからなる。活性層203の発振部は発
振狭窄部204a,204bにより狭窄され、さらに、
先端部電極201b,201bに分割して、あるいは交
互に電流を流すことにより、出力レーザビームは左右に
走査される。この走査幅は約1μmで、走査周波数は3
0MHzまで可能である。この出力レーザビームの走査
は、トラッキングの高周波部分に使用した。
【0051】活性層203の材料としては、AlGaI
nPを使用し、発振波長は630nmとした。透明集光
用媒体6の屈折率、NAはそれぞれ1.91、0.85
であり、被集光面6c上での光スポット9aのスポット
サイズは、式(1)から分かるように約0.2μmとな
る。この光スポット9aから漏れ出す近接場光を光磁気
ディスク21の記録媒体211に照射し、かつ、コイル
10に記録情報に基づく電流を印加することにより、L
P−MFM記録を行い、トラック方向Xの最小マーク長
0.06μmの記録を行う。
nPを使用し、発振波長は630nmとした。透明集光
用媒体6の屈折率、NAはそれぞれ1.91、0.85
であり、被集光面6c上での光スポット9aのスポット
サイズは、式(1)から分かるように約0.2μmとな
る。この光スポット9aから漏れ出す近接場光を光磁気
ディスク21の記録媒体211に照射し、かつ、コイル
10に記録情報に基づく電流を印加することにより、L
P−MFM記録を行い、トラック方向Xの最小マーク長
0.06μmの記録を行う。
【0052】信号処理系26は、光検出器35a,35
bが検出した光磁気ディスク21からの反射光に基づい
てトラッキング制御用の誤差信号を生成し、その誤差信
号はハイパスフィルタとロウパスフィルタによって高周
波域と低周波域の誤差信号に分け、これらの誤差信号に
基づいてヘッド駆動系25に対してトラッキング制御を
させるものである。ここでは、トラッキング用の誤差信
号をサンプルサーボ方式(光ディスク技術、ラジオ技術
社、P.95)によって生成するようになっており、こ
のサンプルサーボ方式は、千鳥マーク(Wobbled Mark)を
間欠的にトラック上に設け、それらからの反射光の強度
変化から誤差信号を生成するものである。また、トラッ
キング制御は、低周波の誤差信号に基づいてスイングア
ーム24駆動用のリニアモータ23を制御し、高周波の
誤差信号に基づいてビーム走査型の半導体レーザ2を制
御する2段制御方式となっており、低周波から高周波ま
での精密なトラッキングを可能としている。サンプルサ
ーボの場合、記録信号とトラツキング誤差信号とは時分
割的に分離されているので、両者の分離は再生回路にお
けるゲート回路により行う。上述したようにサンプルサ
ーボの採用により記録信号と誤差信号とは時分割的に分
離されているので、光検出器としては、分離型のものを
使用する必要はなく、小型のPINフォトダイオード等
が使用できる。また、光によるサンプルサーボの場合、
サーボ用のマークは転写によって形成できるため、一枚
毎に書き込まねばならない磁気マークに比べて、精度が
よく、かつ、生産性が高い。
bが検出した光磁気ディスク21からの反射光に基づい
てトラッキング制御用の誤差信号を生成し、その誤差信
号はハイパスフィルタとロウパスフィルタによって高周
波域と低周波域の誤差信号に分け、これらの誤差信号に
基づいてヘッド駆動系25に対してトラッキング制御を
させるものである。ここでは、トラッキング用の誤差信
号をサンプルサーボ方式(光ディスク技術、ラジオ技術
社、P.95)によって生成するようになっており、こ
のサンプルサーボ方式は、千鳥マーク(Wobbled Mark)を
間欠的にトラック上に設け、それらからの反射光の強度
変化から誤差信号を生成するものである。また、トラッ
キング制御は、低周波の誤差信号に基づいてスイングア
ーム24駆動用のリニアモータ23を制御し、高周波の
誤差信号に基づいてビーム走査型の半導体レーザ2を制
御する2段制御方式となっており、低周波から高周波ま
での精密なトラッキングを可能としている。サンプルサ
ーボの場合、記録信号とトラツキング誤差信号とは時分
割的に分離されているので、両者の分離は再生回路にお
けるゲート回路により行う。上述したようにサンプルサ
ーボの採用により記録信号と誤差信号とは時分割的に分
離されているので、光検出器としては、分離型のものを
使用する必要はなく、小型のPINフォトダイオード等
が使用できる。また、光によるサンプルサーボの場合、
サーボ用のマークは転写によって形成できるため、一枚
毎に書き込まねばならない磁気マークに比べて、精度が
よく、かつ、生産性が高い。
【0053】なお、グルーブ部からの反射光との干渉を
用いるプッシュプル方式で誤差信号を形成してもよい。
この場合には、反射光の左右の強度差から誤差信号を形
成するため、光検出器35a,35bとしては、2分割
型のものを使用する必要がある。
用いるプッシュプル方式で誤差信号を形成してもよい。
この場合には、反射光の左右の強度差から誤差信号を形
成するため、光検出器35a,35bとしては、2分割
型のものを使用する必要がある。
【0054】次に、この光磁気ディスク装置100の動
作を説明する。光磁気ディスク21は、モータ22によ
って所定の回転速度で回転し、浮上スライダ31は、光
磁気ディスク21の回転によって生じる正・負圧とサス
ペンション37のバネによって光磁気ディスク21上を
浮上走行し、ヘッド駆動系25により所定のトラック上
をトラッキングする。信号処理系26による駆動よって
半導体レーザ2からレーザビーム3aが出射されると、
それはコリメータレンズ4により平行ビーム3bに整形
された後、ビームスプリッタ33aを通り、透明集光用
媒体6の入射面6aに入射する。透明集光用媒体6の入
射面6aに入射に入射した円偏光の平行ビーム3bは、
反射面6bの外表面に被着された反射膜7Aにより反射
して、被集光面6cに集光され、微小の光スポット9a
を形成する。光スポット9aからは、被集光面6cの外
側に近接場光が漏れ出し、この近接場光スポット9bが
光磁気ディスク21の記録媒体211に伝播し、記録が
行われる。
作を説明する。光磁気ディスク21は、モータ22によ
って所定の回転速度で回転し、浮上スライダ31は、光
磁気ディスク21の回転によって生じる正・負圧とサス
ペンション37のバネによって光磁気ディスク21上を
浮上走行し、ヘッド駆動系25により所定のトラック上
をトラッキングする。信号処理系26による駆動よって
半導体レーザ2からレーザビーム3aが出射されると、
それはコリメータレンズ4により平行ビーム3bに整形
された後、ビームスプリッタ33aを通り、透明集光用
媒体6の入射面6aに入射する。透明集光用媒体6の入
射面6aに入射に入射した円偏光の平行ビーム3bは、
反射面6bの外表面に被着された反射膜7Aにより反射
して、被集光面6cに集光され、微小の光スポット9a
を形成する。光スポット9aからは、被集光面6cの外
側に近接場光が漏れ出し、この近接場光スポット9bが
光磁気ディスク21の記録媒体211に伝播し、記録が
行われる。
【0055】再生に際しては、光磁気ディスク21で反
射した光は、入射光の経路を逆にたどり、反射膜7Aで
反射され、反射ビーム3dはビームスプリッタ33aに
より、入射ビーム3bと分離され、1/2波長板34に
より偏光面がほぼ45度回転させられた後、偏光ビーム
スプリッタ33bに入射する。偏光ビームスプリッタ3
3bを透過する光ビーム(p偏光)3eは、光検出器3
5aに入射し、偏光ビームスプリッタ33bで反射する
光ビーム(s偏光)3fは、光検出器35bに入射す
る。光検出器35aと光検出器35bの出力信号を減算
器(図示せず)によって減算して再生信号を形成する。
射した光は、入射光の経路を逆にたどり、反射膜7Aで
反射され、反射ビーム3dはビームスプリッタ33aに
より、入射ビーム3bと分離され、1/2波長板34に
より偏光面がほぼ45度回転させられた後、偏光ビーム
スプリッタ33bに入射する。偏光ビームスプリッタ3
3bを透過する光ビーム(p偏光)3eは、光検出器3
5aに入射し、偏光ビームスプリッタ33bで反射する
光ビーム(s偏光)3fは、光検出器35bに入射す
る。光検出器35aと光検出器35bの出力信号を減算
器(図示せず)によって減算して再生信号を形成する。
【0056】信号処理系26は、記録時には光検出器3
5a,35bに入射した光磁気ディスク21からの反射
光に基づいてトラッキング用の誤差信号を生成してヘッ
ド駆動系25を作動して、レーザビーム3aとスイング
アームを走査してトラフキングを行う。また、再生時に
は、光磁気ディスク21の記録媒体211を記録させな
い程度の低強度の近接場光スポット9bを出射するよう
に半導体レーザ2を駆動し、光磁気ディスク21からの
反射光により、誤差信号を生成するとともに、記録媒体
211の記録情報を再生する。
5a,35bに入射した光磁気ディスク21からの反射
光に基づいてトラッキング用の誤差信号を生成してヘッ
ド駆動系25を作動して、レーザビーム3aとスイング
アームを走査してトラフキングを行う。また、再生時に
は、光磁気ディスク21の記録媒体211を記録させな
い程度の低強度の近接場光スポット9bを出射するよう
に半導体レーザ2を駆動し、光磁気ディスク21からの
反射光により、誤差信号を生成するとともに、記録媒体
211の記録情報を再生する。
【0057】なお、本実施の形態としては、光磁気ヘッ
ド1として第3の実施の形態の光磁気ヘッドを使用した
が、これに止まるものではなく、他の実施の形態に係る
光ヘツドを使用してもよい。しかし、第1の実施の形態
の図2(a)に示す正方形の開口13を使用する場合に
は、トラッキングにレーザビーム3aの走査を用いるこ
とはできず、その場合には、光磁気ヘッド自体、あるい
は透明集光用媒体を圧電素子等により駆動する必要があ
る。
ド1として第3の実施の形態の光磁気ヘッドを使用した
が、これに止まるものではなく、他の実施の形態に係る
光ヘツドを使用してもよい。しかし、第1の実施の形態
の図2(a)に示す正方形の開口13を使用する場合に
は、トラッキングにレーザビーム3aの走査を用いるこ
とはできず、その場合には、光磁気ヘッド自体、あるい
は透明集光用媒体を圧電素子等により駆動する必要があ
る。
【0058】上記構成の光磁気ディスク装置100によ
れば、記録マーク81と再生用の近接場光スポット9b
がほぼ同一の矩形状であるため、記録マーク81と近接
場光スポット9bの重なる距離(時間)が短くなり、記
録マークの間隔を狭くしても、変調度が大きく、ジッタ
の少ない正確な再生信号が得られる。この結果、光磁気
ディスクの大幅な高密度化が可能となる。また、小型の
光磁気ヘッドが作製可能なため、高速のトラッキングが
可能となる。
れば、記録マーク81と再生用の近接場光スポット9b
がほぼ同一の矩形状であるため、記録マーク81と近接
場光スポット9bの重なる距離(時間)が短くなり、記
録マークの間隔を狭くしても、変調度が大きく、ジッタ
の少ない正確な再生信号が得られる。この結果、光磁気
ディスクの大幅な高密度化が可能となる。また、小型の
光磁気ヘッドが作製可能なため、高速のトラッキングが
可能となる。
【0059】本実施の形態では、記録媒体として磁区拡
大効果のある媒体を使用したが、これに限るものではな
く、通常の記録層としてTbFeCo等からなる光磁気
媒体でも、本発明の効果は十分期待される。また、特
に、磁壁移動を利用して高密度化と信号出力増大を図る
DWDD再生方式の記録媒体を用いた場合、磁壁はディ
スク面に対して垂直な平面状に形成されるため、再生時
に隣接マークと光スポットが重ならず、高密度の読み出
しが可能となり、好適である。
大効果のある媒体を使用したが、これに限るものではな
く、通常の記録層としてTbFeCo等からなる光磁気
媒体でも、本発明の効果は十分期待される。また、特
に、磁壁移動を利用して高密度化と信号出力増大を図る
DWDD再生方式の記録媒体を用いた場合、磁壁はディ
スク面に対して垂直な平面状に形成されるため、再生時
に隣接マークと光スポットが重ならず、高密度の読み出
しが可能となり、好適である。
【0060】図14は、本発明の第8の実施の形態に係
る光磁気ディスク装置100を示す。この光磁気ディス
ク装置100は、第7の実施の形態の透明集光用媒体6
を用いた光磁気ヘッド1を、5枚重ねのディスクスタッ
ク型の光磁気ディスク装置に適用したものであり、アル
ミニウム基板210の上下面に光磁気記録層からなる記
録媒体211,211がそれぞれ被着された5枚の光磁
気ディスク21と各光磁気ディスク21の記録媒体21
1上を浮上走行する10個の光磁気ヘッド1と、回転軸
63によって光磁気ヘッド1を回転可能に支持するサス
ペンション64とサスペンション64を駆動する回転型
リニアモータ65とを有する。回転型リニアモータ65
は、サスペンション64が直結される可動片65aと、
ヨーク65bによって連結され、可動片65aを駆動す
る電磁石65c,65cとからなる。
る光磁気ディスク装置100を示す。この光磁気ディス
ク装置100は、第7の実施の形態の透明集光用媒体6
を用いた光磁気ヘッド1を、5枚重ねのディスクスタッ
ク型の光磁気ディスク装置に適用したものであり、アル
ミニウム基板210の上下面に光磁気記録層からなる記
録媒体211,211がそれぞれ被着された5枚の光磁
気ディスク21と各光磁気ディスク21の記録媒体21
1上を浮上走行する10個の光磁気ヘッド1と、回転軸
63によって光磁気ヘッド1を回転可能に支持するサス
ペンション64とサスペンション64を駆動する回転型
リニアモータ65とを有する。回転型リニアモータ65
は、サスペンション64が直結される可動片65aと、
ヨーク65bによって連結され、可動片65aを駆動す
る電磁石65c,65cとからなる。
【0061】この光磁気ヘッド1およびサスペンション
64の構造は、第7の実施の形態と同様である。光スポ
ット9aの径も、第7の実施の形態と同様であり、ディ
スク径を3.5インチとした場合、記録容量は、400
GBに向上させることができる。また、複数のトラック
の同時記録・同時再生ができるため、記録再生時の高転
送レート化が可能となる。
64の構造は、第7の実施の形態と同様である。光スポ
ット9aの径も、第7の実施の形態と同様であり、ディ
スク径を3.5インチとした場合、記録容量は、400
GBに向上させることができる。また、複数のトラック
の同時記録・同時再生ができるため、記録再生時の高転
送レート化が可能となる。
【0062】また、上記第7の実施の形態において、第
6の実施の形態と同様に、他の実施の形態の光磁気ヘッ
ドが使用できること、および光磁気媒体の代わりに磁気
媒体が使用できることは言うまでもない。
6の実施の形態と同様に、他の実施の形態の光磁気ヘッ
ドが使用できること、および光磁気媒体の代わりに磁気
媒体が使用できることは言うまでもない。
【0063】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光磁気ヘ
ッドおよび光磁気ディスク装置によれば、LP−MFM
記録方式によって記録される記録マークと再生用の近接
場光スポットがほぼ同一の矩形状であるため、記録マー
クと近接場光スポットの重なる距離(時間)が短くな
り、記録マークの間隔を狭くしても、変調度が大きく、
ジッタの少ない正確な再生信号が得られることから、高
密度の記録・再生を行うことが可能となる。
ッドおよび光磁気ディスク装置によれば、LP−MFM
記録方式によって記録される記録マークと再生用の近接
場光スポットがほぼ同一の矩形状であるため、記録マー
クと近接場光スポットの重なる距離(時間)が短くな
り、記録マークの間隔を狭くしても、変調度が大きく、
ジッタの少ない正確な再生信号が得られることから、高
密度の記録・再生を行うことが可能となる。
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る光磁気ヘッド
に関し、(a)は側面図、(b)は平面図
に関し、(a)は側面図、(b)は平面図
【図2】第1の実施の形態の透明集光用媒体に関し、
(a)は主要部側面図、(b)はA−A方向から見た断
面図、(c)は他の例を示すA−A方向から見た断面図
(a)は主要部側面図、(b)はA−A方向から見た断
面図、(c)は他の例を示すA−A方向から見た断面図
【図3】(a),(b)は第1の実施の形態に係る光磁気
ヘッドの記録・再生動作を説明するための図
ヘッドの記録・再生動作を説明するための図
【図4】本発明の第2の実施の形態に係る光磁気ヘッド
に関し、(a)は側面図、(b)は底面図
に関し、(a)は側面図、(b)は底面図
【図5】本発明の第3の実施の形態に係る光磁気ヘッド
の側面図
の側面図
【図6】第3の実施の形態の透明集光用媒体の形状を説
明するための図
明するための図
【図7】本発明の第4の実施の形態に係る光磁気ヘッド
を示す側面図
を示す側面図
【図8】本発明の第5の実施の形態に係る光磁気ヘッド
を示す側面図
を示す側面図
【図9】本発明の第6の実施の形態に係る光磁気ヘッド
を示す側面図
を示す側面図
【図10】本発明の第7の実施の形態に係る光磁気ディ
スク装置を示す斜視図
スク装置を示す斜視図
【図11】第7の実施の形態に係る光磁気ヘッドに関
し、(a)は側面図、(b)は平面図
し、(a)は側面図、(b)は平面図
【図12】第7の実施の形態に係る光磁気ディスクの要
部断面図
部断面図
【図13】(a),(b)は第7の実施の形態に係る半
導体レーザを示す図
導体レーザを示す図
【図14】本発明の第8の実施の形態に係る光磁気ディ
スク装置を示す断面図
スク装置を示す断面図
【図15】従来の光磁気ヘッドによるLP−MFM記録
方式を示す図
方式を示す図
【図16】(a),(b)は従来のMAMMOS再生方
式を示す図
式を示す図
【図17】(a),(b),(c)は従来のDWDD再
生方式を示す図
生方式を示す図
【図18】従来のLP−MFM記録方式とMAMMOS
再生方式の信号対雑音比(CNR)の比較を示す図
再生方式の信号対雑音比(CNR)の比較を示す図
【図19】従来のMAMMOS再生方式やDWDD再生
方式の問題点を説明するための図
方式の問題点を説明するための図
1 光磁気ヘッド 2 半導体レーザ 3,3b,3c,3d レーザビーム 4 コリメータレンズ 4’ 対物レンズ 5 フォールディングミラー 6 透明集光用媒体 6a 入射面 6b 反射面 6c 被集光面 6d 平面状反射面 6e 底面 7A 反射膜 7C ホログラム 7D ホログラム 9a 光スポット 9b 近接場光スポット 10 コイル 12 浮上スライダ 13 開口 14 遮光体 21 光磁気ディスク 21a グルーブ部 21b ランド部 22 モータ 23 リニアモータ 24 スイングアーム 24a 支点 25 ヘッド駆動系 26 信号処理系 31 浮上スライダ 31a 凸部 31b 凹部 32 支持部材 33a ビームスプリッタ 33b 偏光ビームスプリッタ 34 1/2波長板 35a,35b 光検出器 36 ヘッドケース 37 サスペンション 63 回転軸 64 サスペンション 65 回転型リニアモータ 65a 可動片 65b ヨーク 65c 電磁石 80 トラック 81 記録マーク 82 加熱領域 82a 加熱領域の先端部 90 記録層 91 非磁性層 92 再生層 93 磁区領域 93a 磁壁 94 スイッチング層 94a 非磁化領域 100 光磁気ディスク装置 121 記録媒体 200 基板 201 上部電極 201a 主部電極 201b 先端部電極 202 下部電極 203 活性層 204a 活性層の発振狭窄部の主部 204b 活性層の発振狭窄部の先端部 210 アルミニウム基板 211 記録媒体 211a 保護層 211b 記録層 211c 非磁性層 211d 再生層 220 回転軸 X トラック方向 Y トラック方向に直交する方向
Claims (9)
- 【請求項1】光磁気ディスクに近接場光スポットを照射
するとともに磁界を印加して情報の記録を行い、前記光
磁気ディスクに前記近接場光スポットを照射して前記情
報の再生を行う光磁気ヘッドにおいて、 レーザ光を出射するレーザ光出射手段と、 前記レーザ光が入射される入射面、および前記入射面に
入射した前記レーザ光が集光される被集光面を有し、前
記被集光面に前記レーザ光の集光によって光スポットを
形成し、前記光スポットから前記光磁気ディスク上に前
記近接場光スポットを照射する透明集光用媒体と、 前記光磁気ディスク上への前記近接場光スポットの照射
範囲を制限する矩形状の開口を有する遮光体と、 前記開口によって制限された前記光磁気ディスク上の前
記近接場光スポットの照射範囲に前記磁界を印加する磁
界印加手段とを備えたことを特徴とする光磁気ヘッド。 - 【請求項2】前記遮光体の前記開口は、矩形状の長手方
向の辺が前記光スポットの直径よりも長く、かつ、短手
方向の辺が前記光スポットの直径よりも短い構成の請求
項1記載の光磁気ヘッド。 - 【請求項3】前記遮光体の前記開口は、矩形状の各辺が
前記光スポットの直径よりも短い構成の請求項1記載の
光磁気ヘッド。 - 【請求項4】前記透明集光用媒体は、半球状あるいは裁
底球状を有し、球面部を前記入射面とし、底面部を前記
被集光面とする構成の請求項1記載の光磁気ヘッド。 - 【請求項5】前記透明集光用媒体は、前記入射面に入射
した前記レーザ光を集光させて前記被集光面に前記光ス
ポットを形成する集光面を有し、 前記集光面は、回転放物面の一部、あるいは回転楕円面
の一部から構成された請求項1記載の光磁気ヘッド。 - 【請求項6】前記レーザ光出射手段は、複数の前記レー
ザ光を出射する半導体レーザを備え、 前記透明集光用媒体は、前記被集光面に複数の前記光ス
ポットを形成して前記複数の光スポットから前記光磁気
ディスク上に複数の前記近接場光スポットを照射し、 前記磁界印加手段は、前記複数の光スポットが形成され
る複数の前記位置の近傍に、前記磁界を印加する複数の
コイルを備えた構成の請求項1記載の光磁気ヘッド。 - 【請求項7】光磁気ディスクに近接場光スポットを照射
するとともに磁界を印加して情報の記録を行い、前記光
磁気ディスクに前記近接場光スポットを照射して前記情
報の再生を行う光磁気ヘッドを有する光磁気ディスク装
置において、 前記光磁気ヘッドは、レーザ光を出射するレーザ光出射
手段と、前記レーザ光が入射される入射面、および前記
入射面に入射した前記レーザ光が集光される被集光面を
有し、前記被集光面に前記レーザ光の集光によって光ス
ポットを形成し、前記光スポットから前記光磁気ディス
ク上に前記近接場光スポットを照射する透明集光用媒体
と、前記光磁気ディスク上への前記近接場光スポットの
照射範囲を制限する矩形状の開口を有する遮光体と、前
記開口によって制限された前記光磁気ディスク上の前記
近接場光スポットの照射範囲に前記磁界を印加する磁界
印加手段とを備えたことを特徴とする光磁気ディスク装
置。 - 【請求項8】前記光磁気ディスクは、記録時に磁化され
て前記情報が記録される記録層と、再生時に前記記録層
の磁化された領域が拡大されて転写される再生層とを備
えた構成の請求項7記載の光磁気ディスク装置。 - 【請求項9】前記光磁気ディスクは、記録時に磁化され
て前記情報が記録される記録層と、再生時に前記記録層
の磁化された領域が磁壁の移動により拡大されて転写さ
れる再生層とを備えた構成の請求項7記載の光磁気ディ
スク装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27265799A JP2001101730A (ja) | 1999-09-27 | 1999-09-27 | 光磁気ヘッドおよび光磁気ディスク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27265799A JP2001101730A (ja) | 1999-09-27 | 1999-09-27 | 光磁気ヘッドおよび光磁気ディスク装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001101730A true JP2001101730A (ja) | 2001-04-13 |
Family
ID=17516985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27265799A Pending JP2001101730A (ja) | 1999-09-27 | 1999-09-27 | 光磁気ヘッドおよび光磁気ディスク装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001101730A (ja) |
-
1999
- 1999-09-27 JP JP27265799A patent/JP2001101730A/ja active Pending
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Legal Events
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---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041019 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041102 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041227 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051025 |