JP2001091955A - 液晶表示装置 - Google Patents
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 シール材の接着力を向上することができるた
め、シール材剥がれを防止できる。 【解決手段】 液晶を介して対向配置される一対の透明
基板と、これら一方の透明基板側に対する他方の透明基
板側の固着とともに該液晶を封入するシール材とを備
え、このシール材が接着される透明基板側の面が、少な
くとも該シール材の接着部分の一部において、粗面にな
っている。
め、シール材剥がれを防止できる。 【解決手段】 液晶を介して対向配置される一対の透明
基板と、これら一方の透明基板側に対する他方の透明基
板側の固着とともに該液晶を封入するシール材とを備
え、このシール材が接着される透明基板側の面が、少な
くとも該シール材の接着部分の一部において、粗面にな
っている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置に関す
る。
る。
【0002】
【従来の技術】液晶表示装置は、液晶を介して互いに対
向配置される一対の透明基板を外囲器とし、該液晶の広
がり方向に多数の画素からなる表示部が形成されてい
る。
向配置される一対の透明基板を外囲器とし、該液晶の広
がり方向に多数の画素からなる表示部が形成されてい
る。
【0003】そして、一方の透明基板側に対する他方の
透明基板側の固着は、該液晶の封止を兼ね該表示部を囲
んで形成されるシール材によってなされている。
透明基板側の固着は、該液晶の封止を兼ね該表示部を囲
んで形成されるシール材によってなされている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このように構
成された液晶表示装置は、それに加えられる衝撃や熱ス
トレスによりシール材が剥がれることがあることが指摘
されるに到った。
成された液晶表示装置は、それに加えられる衝撃や熱ス
トレスによりシール材が剥がれることがあることが指摘
されるに到った。
【0005】また、シール材からの汚染物質が液晶に溶
け出し、表示不良が発生することがあることが指摘され
るに到った。
け出し、表示不良が発生することがあることが指摘され
るに到った。
【0006】このことから、接着力が強く、かつ、液晶
を汚染しないシール材料を用いることが好ましいものと
なる。
を汚染しないシール材料を用いることが好ましいものと
なる。
【0007】しかしながら、液晶の汚染防止を優先し
て、液晶を汚染させない材料でシール材を調合した場
合、その接着力を高くすることは困難となってしまうこ
とが判明した。
て、液晶を汚染させない材料でシール材を調合した場
合、その接着力を高くすることは困難となってしまうこ
とが判明した。
【0008】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたもので、その目的は、材料の種類に拘らず剥がれの
少ないシール材を備える液晶表示装置を提供することに
ある。
れたもので、その目的は、材料の種類に拘らず剥がれの
少ないシール材を備える液晶表示装置を提供することに
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
【0010】すなわち、本発明による液晶表示装置は、
液晶を介して対向配置される一対の透明基板と、これら
一方の透明基板側に対する他方の透明基板側の固着とと
もに該液晶を封入するシール材とを備え、このシール材
が接着される透明基板側の面が、少なくとも該シール材
の接着部分の一部において、粗面になっていることを特
徴とするものである。
液晶を介して対向配置される一対の透明基板と、これら
一方の透明基板側に対する他方の透明基板側の固着とと
もに該液晶を封入するシール材とを備え、このシール材
が接着される透明基板側の面が、少なくとも該シール材
の接着部分の一部において、粗面になっていることを特
徴とするものである。
【0011】このように構成した液晶表示装置におい
て、そのシール材の透明基板側の接着力は該シール材と
透明基板側との間に生じる化学的な結合の数と強さで決
定される。
て、そのシール材の透明基板側の接着力は該シール材と
透明基板側との間に生じる化学的な結合の数と強さで決
定される。
【0012】この場合、透明基板側には粗面が形成され
ているので、シール材と透明基板側との接触面積が増大
し、化学的結合の数が増大するようになる。
ているので、シール材と透明基板側との接触面積が増大
し、化学的結合の数が増大するようになる。
【0013】したがって、同じ量のシール材を塗布した
場合に、接着力が大きくなり、シール剥がれの発生を低
減させることができる。
場合に、接着力が大きくなり、シール剥がれの発生を低
減させることができる。
【0014】また、接着力が弱くかつ液晶汚染の少ない
シール材を高い信頼性を確保して使用することが可能と
なるため、表示品質を向上することができる。
シール材を高い信頼性を確保して使用することが可能と
なるため、表示品質を向上することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態について詳細に説明する。なお、以下で説明する
図面で、同一機能を有するものは同一符号を付け、その
繰り返しの説明は省略する。
の形態について詳細に説明する。なお、以下で説明する
図面で、同一機能を有するものは同一符号を付け、その
繰り返しの説明は省略する。
【0016】《アクティブ・マトリックス液晶表示装
置》以下、本発明を適用したアクティブ・マトリックス
方式のカラー液晶表示装置について詳細に説明する。
置》以下、本発明を適用したアクティブ・マトリックス
方式のカラー液晶表示装置について詳細に説明する。
【0017】《マトリックス部(画素部)の平面構成》
図1は本発明のアクティブ・マトリックス方式カラー液
晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。
図1は本発明のアクティブ・マトリックス方式カラー液
晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。
【0018】図1に示すように、各画素は走査信号線
(ゲート信号線または水平信号線)GLと、対向電圧信
号線(対向電極配線)CLと、隣接する2本の映像信号
線(ドレイン信号線または垂直信号線)DLとの交差領
域内(4本の信号線で囲まれた領域内)に配置されてい
る。各画素は薄膜トランジスタTFT、蓄積容量Cst
g、画素電極PXおよび対向電極CTを含む。走査信号
線GL、対向電圧信号線CLは図では左右方向に延在
し、上下方向に複数本配置されている。映像信号線DL
は上下方向に延在し、左右方向に複数本配置されてい
る。画素電極PXは薄膜トランジスタTFTと接続さ
れ、対向電極CTは対向電圧信号線CLと一体になって
いる。
(ゲート信号線または水平信号線)GLと、対向電圧信
号線(対向電極配線)CLと、隣接する2本の映像信号
線(ドレイン信号線または垂直信号線)DLとの交差領
域内(4本の信号線で囲まれた領域内)に配置されてい
る。各画素は薄膜トランジスタTFT、蓄積容量Cst
g、画素電極PXおよび対向電極CTを含む。走査信号
線GL、対向電圧信号線CLは図では左右方向に延在
し、上下方向に複数本配置されている。映像信号線DL
は上下方向に延在し、左右方向に複数本配置されてい
る。画素電極PXは薄膜トランジスタTFTと接続さ
れ、対向電極CTは対向電圧信号線CLと一体になって
いる。
【0019】画素電極PXと対向電極CTは互いに対向
し、各画素電極PXと対向電極CTとの間の電界により
液晶LCの光学的な状態を制御し、表示を制御する。画
素電極PXと対向電極CTは櫛歯状に構成され、それぞ
れ、図の上下方向に長細い電極となっている。
し、各画素電極PXと対向電極CTとの間の電界により
液晶LCの光学的な状態を制御し、表示を制御する。画
素電極PXと対向電極CTは櫛歯状に構成され、それぞ
れ、図の上下方向に長細い電極となっている。
【0020】《マトリックス部(画素部)の断面構成》
図2は図1の3−3切断線における断面を示す図、図3
は図1の4−4切断線における薄膜トランジスタTFT
の断面図、図4は図1の5−5切断線における蓄積容量
Cstgの断面を示す図である。図2〜図4に示すよう
に、液晶層LCを基準にして下部透明ガラス基板SUB
1側には薄膜トランジスタTFT、蓄積容量Cstgおよ
び電極群が形成され、上部透明ガラス基板SUB2側に
はカラーフィルタFIL、遮光用ブラックマトリックス
パターンBMが形成されている。
図2は図1の3−3切断線における断面を示す図、図3
は図1の4−4切断線における薄膜トランジスタTFT
の断面図、図4は図1の5−5切断線における蓄積容量
Cstgの断面を示す図である。図2〜図4に示すよう
に、液晶層LCを基準にして下部透明ガラス基板SUB
1側には薄膜トランジスタTFT、蓄積容量Cstgおよ
び電極群が形成され、上部透明ガラス基板SUB2側に
はカラーフィルタFIL、遮光用ブラックマトリックス
パターンBMが形成されている。
【0021】また、透明ガラス基板SUB1、SUB2
のそれぞれの内側(液晶LC側)の表面には、液晶の初
期配向を制御する配向膜ORI1、ORI2が設けられ
ており、透明ガラス基板SUB1、SUB2のそれぞれ
の外側の表面には、偏光軸が直交して配置された(クロ
スニコル配置)偏光板が設けられている。
のそれぞれの内側(液晶LC側)の表面には、液晶の初
期配向を制御する配向膜ORI1、ORI2が設けられ
ており、透明ガラス基板SUB1、SUB2のそれぞれ
の外側の表面には、偏光軸が直交して配置された(クロ
スニコル配置)偏光板が設けられている。
【0022】《薄膜トランジスタTFT》薄膜トランジ
スタTFTは、ゲート電極GTに正のバイアスを印加す
ると、ソース−ドレイン間のチャネル抵抗が小さくな
り、バイアスを零にすると、チャネル抵抗は大きくなる
ように動作する。
スタTFTは、ゲート電極GTに正のバイアスを印加す
ると、ソース−ドレイン間のチャネル抵抗が小さくな
り、バイアスを零にすると、チャネル抵抗は大きくなる
ように動作する。
【0023】薄膜トランジスタTFTは、図3に示すよ
うに、ゲート電極GT、ゲート絶縁膜GI、i型(真
性、intrinsic、導電型決定不純物がドープされていな
い)非晶質シリコン(Si)からなるi型半導体層A
S、一対のソース電極SD1、ドレイン電極SD2を有
す。なお、ソース、ドレインは本来その間のバイアス極
性によって決まるもので、この液晶表示装置の回路では
その極性は動作中反転するので、ソース、ドレインは動
作中入れ替わると理解されたい。しかし、以下の説明で
は、便宜上一方をソース、他方をドレインと固定して表
現する。
うに、ゲート電極GT、ゲート絶縁膜GI、i型(真
性、intrinsic、導電型決定不純物がドープされていな
い)非晶質シリコン(Si)からなるi型半導体層A
S、一対のソース電極SD1、ドレイン電極SD2を有
す。なお、ソース、ドレインは本来その間のバイアス極
性によって決まるもので、この液晶表示装置の回路では
その極性は動作中反転するので、ソース、ドレインは動
作中入れ替わると理解されたい。しかし、以下の説明で
は、便宜上一方をソース、他方をドレインと固定して表
現する。
【0024】《ゲート電極GT》ゲート電極GTは走査
信号線GLと連続して形成されており、走査信号線GL
の一部の領域がゲート電極GTとなるように構成されて
いる。ゲート電極GTは薄膜トランジスタTFTの能動
領域を超える部分であり、i型半導体層ASを完全に覆
うよう(下方からみて)それより大きめに形成されてい
る。
信号線GLと連続して形成されており、走査信号線GL
の一部の領域がゲート電極GTとなるように構成されて
いる。ゲート電極GTは薄膜トランジスタTFTの能動
領域を超える部分であり、i型半導体層ASを完全に覆
うよう(下方からみて)それより大きめに形成されてい
る。
【0025】これにより、ゲート電極GTの役割のほか
に、i型半導体層ASに外光やバックライト光が当たら
ないように工夫されている。本例では、ゲート電極GT
は、単層の導電膜g1で形成されている。導電膜g1と
しては例えばスパッタで形成されたアルミニュウム(A
l)膜が用いられ、その上にはAlの陽極酸化膜AOF
が設けられている。
に、i型半導体層ASに外光やバックライト光が当たら
ないように工夫されている。本例では、ゲート電極GT
は、単層の導電膜g1で形成されている。導電膜g1と
しては例えばスパッタで形成されたアルミニュウム(A
l)膜が用いられ、その上にはAlの陽極酸化膜AOF
が設けられている。
【0026】《走査信号線GL》走査信号線GLは導電
膜g1で構成されている。この走査信号線GLの導電膜
g1はゲート電極GTの導電膜g1と同一製造工程で形
成され、かつ一体に構成されている。この走査信号線G
Lにより、外部回路からゲート電圧Vgをゲート電極G
Tに供給する。また、走査信号線GL上にもAlの陽極
酸化膜AOFが設けられている。なお、映像信号線DL
と交差する部分は映像信号線DLとの短絡の確率を小さ
くするため細くし、また、短絡しても、レーザートリミ
ングで切り離すことができるように二股にしている。
膜g1で構成されている。この走査信号線GLの導電膜
g1はゲート電極GTの導電膜g1と同一製造工程で形
成され、かつ一体に構成されている。この走査信号線G
Lにより、外部回路からゲート電圧Vgをゲート電極G
Tに供給する。また、走査信号線GL上にもAlの陽極
酸化膜AOFが設けられている。なお、映像信号線DL
と交差する部分は映像信号線DLとの短絡の確率を小さ
くするため細くし、また、短絡しても、レーザートリミ
ングで切り離すことができるように二股にしている。
【0027】《対向電極CT》対向電極CTはゲート電
極GTおよび走査信号線GLと同層の導電膜g1で構成
されている。また、対向電極CT上にもAlの陽極酸化
膜AOFが設けられている。対向電極CTは、陽極酸化
膜AOFで完全に覆われていることから、映像信号線と
限りなく近づけても、それらが短絡してしまうことがな
くなる。また、それらを交差させて構成させることもで
きる。対向電極CTには対向電圧Vcomが印加されるよ
うに構成されている。本実施例では、対向電圧Vcomは
映像信号線DLに印加される最小レベルの駆動電圧Vd
minと最大レベルの駆動電圧Vdmaxとの中間直流電位か
ら、薄膜トランジスタ素子TFTをオフ状態にするとき
に発生するフィードスルー電圧△Vs分だけ低い電位に
設定されるが、映像信号駆動回路で使用される集積回路
の電源電圧を約半分に低減したい場合は、交流電圧を印
加すれば良い。
極GTおよび走査信号線GLと同層の導電膜g1で構成
されている。また、対向電極CT上にもAlの陽極酸化
膜AOFが設けられている。対向電極CTは、陽極酸化
膜AOFで完全に覆われていることから、映像信号線と
限りなく近づけても、それらが短絡してしまうことがな
くなる。また、それらを交差させて構成させることもで
きる。対向電極CTには対向電圧Vcomが印加されるよ
うに構成されている。本実施例では、対向電圧Vcomは
映像信号線DLに印加される最小レベルの駆動電圧Vd
minと最大レベルの駆動電圧Vdmaxとの中間直流電位か
ら、薄膜トランジスタ素子TFTをオフ状態にするとき
に発生するフィードスルー電圧△Vs分だけ低い電位に
設定されるが、映像信号駆動回路で使用される集積回路
の電源電圧を約半分に低減したい場合は、交流電圧を印
加すれば良い。
【0028】《対向電圧信号線CL》対向電圧信号線C
Lは導電膜g1で構成されている。この対向電圧信号線
CLの導電膜g1はゲート電極GT、走査信号線GLお
よび対向電極CTの導電膜g1と同一製造工程で形成さ
れ、かつ対向電極CTと一体に構成されている。この対
向電圧信号線CLにより、外部回路から対向電圧Vcom
を対向電極CTに供給する。また、対向電圧信号線CL
上にもAlの陽極酸化膜AOFが設けられている。な
お、映像信号線DLと交差する部分は、走査信号線GL
と同様に映像信号線DLとの短絡の確率を小さくするた
め細くし、また、短絡しても、レーザートリミングで切
り離すことができるように二股にしている。
Lは導電膜g1で構成されている。この対向電圧信号線
CLの導電膜g1はゲート電極GT、走査信号線GLお
よび対向電極CTの導電膜g1と同一製造工程で形成さ
れ、かつ対向電極CTと一体に構成されている。この対
向電圧信号線CLにより、外部回路から対向電圧Vcom
を対向電極CTに供給する。また、対向電圧信号線CL
上にもAlの陽極酸化膜AOFが設けられている。な
お、映像信号線DLと交差する部分は、走査信号線GL
と同様に映像信号線DLとの短絡の確率を小さくするた
め細くし、また、短絡しても、レーザートリミングで切
り離すことができるように二股にしている。
【0029】《絶縁膜GI》絶縁膜GIは、薄膜トラン
ジスタTFTにおいて、ゲート電極GTと共に半導体層
ASに電界を与えるためのゲート絶縁膜として使用され
る。絶縁膜GIはゲート電極GTおよび走査信号線GL
の上層に形成されている。絶縁膜GIとしては例えばプ
ラズマCVDで形成された窒化シリコン膜が選ばれ、1
200〜2700Åの厚さに(本実施例では、2400
Å程度)形成される。ゲート絶縁膜GIは、マトリック
ス部ARの全体を囲むように形成され、周辺部は外部接
続端子DTM、GTMを露出するよう除去されている。
絶縁膜GIは走査信号線GLおよび対向電圧信号線CL
と映像信号線DLの電気的絶縁にも寄与している。
ジスタTFTにおいて、ゲート電極GTと共に半導体層
ASに電界を与えるためのゲート絶縁膜として使用され
る。絶縁膜GIはゲート電極GTおよび走査信号線GL
の上層に形成されている。絶縁膜GIとしては例えばプ
ラズマCVDで形成された窒化シリコン膜が選ばれ、1
200〜2700Åの厚さに(本実施例では、2400
Å程度)形成される。ゲート絶縁膜GIは、マトリック
ス部ARの全体を囲むように形成され、周辺部は外部接
続端子DTM、GTMを露出するよう除去されている。
絶縁膜GIは走査信号線GLおよび対向電圧信号線CL
と映像信号線DLの電気的絶縁にも寄与している。
【0030】《i型半導体層AS》i型半導体層AS
は、非晶質シリコンで、200〜2200Åの厚さに
(本実施例では、2000Å程度の膜厚)で形成され
る。層d0はオーミックコンタクト用のリン(P)をド
ープしたN(+)型非晶質シリコン半導体層であり、下側
にi型半導体層ASが存在し、上側に導電層d1(d
2)が存在するところのみに残されている。
は、非晶質シリコンで、200〜2200Åの厚さに
(本実施例では、2000Å程度の膜厚)で形成され
る。層d0はオーミックコンタクト用のリン(P)をド
ープしたN(+)型非晶質シリコン半導体層であり、下側
にi型半導体層ASが存在し、上側に導電層d1(d
2)が存在するところのみに残されている。
【0031】i型半導体層ASは走査信号線GLおよび
対向電圧信号線CLと映像信号線DLとの交差部(クロ
スオーバ部)の両者間にも設けられている。この交差部
のi型半導体層ASは交差部における走査信号線GLお
よび対向電圧信号線CLと映像信号線DLとの短絡を低
減する。
対向電圧信号線CLと映像信号線DLとの交差部(クロ
スオーバ部)の両者間にも設けられている。この交差部
のi型半導体層ASは交差部における走査信号線GLお
よび対向電圧信号線CLと映像信号線DLとの短絡を低
減する。
【0032】《ソース電極SD1、ドレイン電極SD
2》ソース電極SD1、ドレイン電極SD2のそれぞれ
は、N(+)型半導体層d0に接触する導電膜d1とその
上に形成された導電膜d2とから構成されている。
2》ソース電極SD1、ドレイン電極SD2のそれぞれ
は、N(+)型半導体層d0に接触する導電膜d1とその
上に形成された導電膜d2とから構成されている。
【0033】導電膜d1はスパッタで形成したクロム
(Cr)膜を用い、500〜1000Åの厚さに(本実
施例では、600Å程度)で形成される。Cr膜は膜厚
を厚く形成するとストレスが大きくなるので、2000
Å程度の膜厚を越えない範囲で形成する。Cr膜はN
(+)型半導体層d0との接着性を良好にし、導電膜d2
のAlがN(+)型半導体層d0に拡散することを防止す
る(いわゆるバリア層の)目的で使用される。導電膜d
1として、Cr膜の他に高融点金属(Mo、Ti、T
a、W)膜、高融点金属シリサイド(MoSi2、Ti
Si2、TaSi2、WSi2)膜を用いてもよい。
(Cr)膜を用い、500〜1000Åの厚さに(本実
施例では、600Å程度)で形成される。Cr膜は膜厚
を厚く形成するとストレスが大きくなるので、2000
Å程度の膜厚を越えない範囲で形成する。Cr膜はN
(+)型半導体層d0との接着性を良好にし、導電膜d2
のAlがN(+)型半導体層d0に拡散することを防止す
る(いわゆるバリア層の)目的で使用される。導電膜d
1として、Cr膜の他に高融点金属(Mo、Ti、T
a、W)膜、高融点金属シリサイド(MoSi2、Ti
Si2、TaSi2、WSi2)膜を用いてもよい。
【0034】導電膜d2はAlのスパッタリングで30
00〜5000Åの厚さに(本実施例では、4000Å
程度)形成される。Al膜はCr膜に比べてストレスが
小さく、厚い膜厚に形成することが可能で、ソース電極
SD1、ドレイン電極SD2および映像信号線DLの抵
抗値を低減したり、ゲート電極GTやi型半導体層AS
に起因する段差乗り越えを確実にする(ステップカバー
レッジを良くする)働きがある。
00〜5000Åの厚さに(本実施例では、4000Å
程度)形成される。Al膜はCr膜に比べてストレスが
小さく、厚い膜厚に形成することが可能で、ソース電極
SD1、ドレイン電極SD2および映像信号線DLの抵
抗値を低減したり、ゲート電極GTやi型半導体層AS
に起因する段差乗り越えを確実にする(ステップカバー
レッジを良くする)働きがある。
【0035】導電膜d1、導電膜d2を同じマスクパタ
ーンでパターニングした後、同じマスクを用いて、ある
いは導電膜d1、導電膜d2をマスクとして、N(+)型
半導体層d0が除去される。つまり、i型半導体層AS
上に残っていたN(+)型半導体層d0は導電膜d1、導
電膜d2以外の部分がセルフアラインで除去される。こ
のとき、N(+)型半導体層d0はその厚さ分は全て除去
されるようエッチングされるので、i型半導体層ASも
若干その表面部分がエッチングされるが、その程度はエ
ッチング時間で制御すればよい。
ーンでパターニングした後、同じマスクを用いて、ある
いは導電膜d1、導電膜d2をマスクとして、N(+)型
半導体層d0が除去される。つまり、i型半導体層AS
上に残っていたN(+)型半導体層d0は導電膜d1、導
電膜d2以外の部分がセルフアラインで除去される。こ
のとき、N(+)型半導体層d0はその厚さ分は全て除去
されるようエッチングされるので、i型半導体層ASも
若干その表面部分がエッチングされるが、その程度はエ
ッチング時間で制御すればよい。
【0036】《映像信号線DL》映像信号線DLはソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜
d2、第3導電膜d3で構成されている。また、映像信
号線DLはドレイン電極SD2と一体に形成されてい
る。
ス電極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜
d2、第3導電膜d3で構成されている。また、映像信
号線DLはドレイン電極SD2と一体に形成されてい
る。
【0037】《画素電極PX》画素電極PXはソース電
極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜d
2、第3導電膜d3で構成されている。また、画素電極
PXはソース電極SD1と一体に形成されている。
極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜d
2、第3導電膜d3で構成されている。また、画素電極
PXはソース電極SD1と一体に形成されている。
【0038】《蓄積容量Cstg》画素電極PXは、薄膜
トランジスタTFTと接続される端部と反対側の端部に
おいて、対向電圧信号線CLと重なるように形成されて
いる。この重ね合わせは、図1からも明らかなように、
画素電極PXを一方の電極PL2とし、対向電圧信号C
Lを他方の電極PL1とする蓄積容量(静電容量素子)
Cstgを構成する。この蓄積容量Cstgの誘電体膜は、薄
膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される
絶縁膜GIおよび陽極酸化膜AOFで構成されている。
トランジスタTFTと接続される端部と反対側の端部に
おいて、対向電圧信号線CLと重なるように形成されて
いる。この重ね合わせは、図1からも明らかなように、
画素電極PXを一方の電極PL2とし、対向電圧信号C
Lを他方の電極PL1とする蓄積容量(静電容量素子)
Cstgを構成する。この蓄積容量Cstgの誘電体膜は、薄
膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される
絶縁膜GIおよび陽極酸化膜AOFで構成されている。
【0039】図1に示すように平面的には蓄積容量Cst
gは対向電圧信号線CLの導電膜g1の幅を広げた部分
に形成されている。この場合、この蓄積容量Cstgは、
その絶縁膜GIに対して下側に位置づけられる電極の材
料がAlで形成され、かつ、その表面が陽極化成された
ものであることから、Alのいわゆるホイスカ等が原因
する点欠陥(上側に位置づけられる電極との短絡)によ
る弊害を発生しにくくする蓄積容量を得ることができ
る。
gは対向電圧信号線CLの導電膜g1の幅を広げた部分
に形成されている。この場合、この蓄積容量Cstgは、
その絶縁膜GIに対して下側に位置づけられる電極の材
料がAlで形成され、かつ、その表面が陽極化成された
ものであることから、Alのいわゆるホイスカ等が原因
する点欠陥(上側に位置づけられる電極との短絡)によ
る弊害を発生しにくくする蓄積容量を得ることができ
る。
【0040】《蓄積容量Cstg》画素電極PXは、薄膜
トランジスタTFTと接続される端部と反対側の端部に
おいて、対向電圧信号線CLと重なるように形成されて
いる。この重ね合わせは、図4からも明らかなように、
画素電極PXを一方の電極PL2とし、対向電圧信号C
Lを他方の電極PL1とする蓄積容量(静電容量素子)
Cstgを構成する。この蓄積容量Cstgの誘電体膜は、薄
膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される
絶縁膜GIおよび陽極酸化膜AOFで構成されている。
トランジスタTFTと接続される端部と反対側の端部に
おいて、対向電圧信号線CLと重なるように形成されて
いる。この重ね合わせは、図4からも明らかなように、
画素電極PXを一方の電極PL2とし、対向電圧信号C
Lを他方の電極PL1とする蓄積容量(静電容量素子)
Cstgを構成する。この蓄積容量Cstgの誘電体膜は、薄
膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される
絶縁膜GIおよび陽極酸化膜AOFで構成されている。
【0041】図1に示すように平面的には蓄積容量Cst
gは対向電圧信号線CLの導電膜g1の幅を広げた部分
に形成されている。この場合、この蓄積容量Cstgは、
その絶縁膜GIに対して下側に位置づけられる電極の材
料がAlで形成され、かつ、その表面が陽極化成された
ものであることから、Alのいわゆるホイスカ等が原因
する点欠陥(上側に位置づけられる電極との短絡)によ
る弊害を発生しにくくする蓄積容量を得ることができ
る。
gは対向電圧信号線CLの導電膜g1の幅を広げた部分
に形成されている。この場合、この蓄積容量Cstgは、
その絶縁膜GIに対して下側に位置づけられる電極の材
料がAlで形成され、かつ、その表面が陽極化成された
ものであることから、Alのいわゆるホイスカ等が原因
する点欠陥(上側に位置づけられる電極との短絡)によ
る弊害を発生しにくくする蓄積容量を得ることができ
る。
【0042】《マトリックス周辺の構成》図5は上下の
ガラス基板SUB1、SUB2を含む表示パネルPNL
のマトリックス(AR)周辺の要部平面を示す図であ
る。また、図6は、左側に走査回路が接続されるべき外
部接続端子GTM付近の断面を、右側に外部接続端子が
無いところのシール部付近の断面を示す図である。
ガラス基板SUB1、SUB2を含む表示パネルPNL
のマトリックス(AR)周辺の要部平面を示す図であ
る。また、図6は、左側に走査回路が接続されるべき外
部接続端子GTM付近の断面を、右側に外部接続端子が
無いところのシール部付近の断面を示す図である。
【0043】このパネルの製造では、小さいサイズであ
ればスループット向上のため1枚のガラス基板で複数個
分のデバイスを同時に加工してから分割し、大きいサイ
ズであれば製造設備の共用のためどの品種でも標準化さ
れた大きさのガラス基板を加工してから各品種に合った
サイズに小さくし、いずれの場合も一通りの工程を経て
からガラスを切断する。
ればスループット向上のため1枚のガラス基板で複数個
分のデバイスを同時に加工してから分割し、大きいサイ
ズであれば製造設備の共用のためどの品種でも標準化さ
れた大きさのガラス基板を加工してから各品種に合った
サイズに小さくし、いずれの場合も一通りの工程を経て
からガラスを切断する。
【0044】図5、図6は後者の例を示すもので、図
5、図6の両図とも上下基板SUB1、SUB2の切断
後を表しており、LNは両基板の切断前の縁を示す。い
ずれの場合も、完成状態では外部接続端子群Tg、Td
および端子CTMが存在する(図で上辺と左辺の)部分
はそれらを露出するように上側基板SUB2の大きさが
下側基板SUB1よりも内側に制限されている。
5、図6の両図とも上下基板SUB1、SUB2の切断
後を表しており、LNは両基板の切断前の縁を示す。い
ずれの場合も、完成状態では外部接続端子群Tg、Td
および端子CTMが存在する(図で上辺と左辺の)部分
はそれらを露出するように上側基板SUB2の大きさが
下側基板SUB1よりも内側に制限されている。
【0045】端子群Tg、Tdはそれぞれ後述する走査
回路接続用端子GTM、映像信号回路接続用端子DTM
とそれらの引出配線部を集積回路チップCHIが搭載さ
れたテープキャリアパッケージTCP(図16、図1
7)の単位に複数本まとめて名付けたものである。各群
のマトリックス部から外部接続端子部に至るまでの引出
配線は、両端に近づくにつれ傾斜している。これは、パ
ッケージTCPの配列ピッチ及び各パッケージTCPに
おける接続端子ピッチに表示パネルPNLの端子DT
M、GTMを合わせるためである。
回路接続用端子GTM、映像信号回路接続用端子DTM
とそれらの引出配線部を集積回路チップCHIが搭載さ
れたテープキャリアパッケージTCP(図16、図1
7)の単位に複数本まとめて名付けたものである。各群
のマトリックス部から外部接続端子部に至るまでの引出
配線は、両端に近づくにつれ傾斜している。これは、パ
ッケージTCPの配列ピッチ及び各パッケージTCPに
おける接続端子ピッチに表示パネルPNLの端子DT
M、GTMを合わせるためである。
【0046】また、対向電極端子CTMは、対向電極C
Tに対向電圧を外部回路から与えるための端子である。
マトリックス部の対向電極信号線CLは、走査回路用端
子GTMの反対側(図では右側)に引き出し、各対向電
圧信号線を共通バスラインCBで一纏めにして、対向電
極端子CTMに接続している。
Tに対向電圧を外部回路から与えるための端子である。
マトリックス部の対向電極信号線CLは、走査回路用端
子GTMの反対側(図では右側)に引き出し、各対向電
圧信号線を共通バスラインCBで一纏めにして、対向電
極端子CTMに接続している。
【0047】透明ガラス基板SUB1、SUB2の間に
はその縁に沿って、液晶封入口INJを除き、液晶LC
を封止するようにシールパターンSLが形成される。シ
ール材は例えばエポキシ樹脂から成る。
はその縁に沿って、液晶封入口INJを除き、液晶LC
を封止するようにシールパターンSLが形成される。シ
ール材は例えばエポキシ樹脂から成る。
【0048】配向膜ORI1、ORI2の層は、シール
パターンSLの内側に形成される。偏光板POL1、P
OL2はそれぞれ下部透明ガラス基板SUB1、上部透
明ガラス基板SUB2の外側の表面に構成されている。
液晶LCは液晶分子の向きを設定する下部配向膜ORI
1と上部配向膜ORI2との間でシールパターンSLで
仕切られた領域に封入されている。
パターンSLの内側に形成される。偏光板POL1、P
OL2はそれぞれ下部透明ガラス基板SUB1、上部透
明ガラス基板SUB2の外側の表面に構成されている。
液晶LCは液晶分子の向きを設定する下部配向膜ORI
1と上部配向膜ORI2との間でシールパターンSLで
仕切られた領域に封入されている。
【0049】下部配向膜ORI1は下部透明ガラス基板
SUB1側の保護膜PSV1の上部に形成される。
SUB1側の保護膜PSV1の上部に形成される。
【0050】この液晶表示装置は、下部透明ガラス基板
SUB1側、上部透明ガラス基板SUB2側で別個に種
々の層を積み重ね、シールパターンSLを基板SUB2
側に形成し、下部透明ガラス基板SUB1と上部透明ガ
ラス基板SUB2とを重ね合わせ、シール材SLの開口
部INJから液晶LCを注入し、注入口INJをエポキ
シ樹脂などで封止し、上下基板を切断することによって
組み立てられる。
SUB1側、上部透明ガラス基板SUB2側で別個に種
々の層を積み重ね、シールパターンSLを基板SUB2
側に形成し、下部透明ガラス基板SUB1と上部透明ガ
ラス基板SUB2とを重ね合わせ、シール材SLの開口
部INJから液晶LCを注入し、注入口INJをエポキ
シ樹脂などで封止し、上下基板を切断することによって
組み立てられる。
【0051】図19は図6のA部(シール材SL塗布
部)を拡大した図である。このシール材SL塗布部で
は、透明ガラス基板SUB1上のシール材塗布部SAA
1、及びSUB2上のシール材塗布部SAA2に凹凸U
ENが形成された粗面となっている。
部)を拡大した図である。このシール材SL塗布部で
は、透明ガラス基板SUB1上のシール材塗布部SAA
1、及びSUB2上のシール材塗布部SAA2に凹凸U
ENが形成された粗面となっている。
【0052】この凹凸UENはシール材SLを塗布する
前に研磨剤を含んだ高圧空気を吹き付けることにより形
成されている。研磨剤の吹き付けは、たとえばSAA
1、SAA2以外の部分に研磨剤が当たらないようにマ
スクをして行われる。
前に研磨剤を含んだ高圧空気を吹き付けることにより形
成されている。研磨剤の吹き付けは、たとえばSAA
1、SAA2以外の部分に研磨剤が当たらないようにマ
スクをして行われる。
【0053】凹凸UENはシール材SLと透明ガラス基
板SUB1、SUB2との接触面積を広くするために形
成されたものである。
板SUB1、SUB2との接触面積を広くするために形
成されたものである。
【0054】図19では、シール材SLはシール材塗布
部SAA1、SAA2に形成された凹凸UENに入り込
んで接着されている。
部SAA1、SAA2に形成された凹凸UENに入り込
んで接着されている。
【0055】ここでシール材SLのシール材塗布部SA
A1、SAA2に対する接着力を考察する。接着力は接
着剤と被着体との界面で発生する化学結合の強さとその
数で決まる。化学結合の強さは、接着剤と被着体の種類
で決まり、化学結合の数は接着剤と被着体の接触面積で
決まる。通常は透明ガラス基板SUB1、SUB2上に
膜(本実施例では、SUB1上に保護膜PSV、SUB
2上にオーバーコート膜OC)を形成しただけであるの
で、シール材塗布部SAA1、SAA2の表面はなめら
かでシール材SLとシール材塗布部SAA1、SAA2
との接触面積は広くなっていない。
A1、SAA2に対する接着力を考察する。接着力は接
着剤と被着体との界面で発生する化学結合の強さとその
数で決まる。化学結合の強さは、接着剤と被着体の種類
で決まり、化学結合の数は接着剤と被着体の接触面積で
決まる。通常は透明ガラス基板SUB1、SUB2上に
膜(本実施例では、SUB1上に保護膜PSV、SUB
2上にオーバーコート膜OC)を形成しただけであるの
で、シール材塗布部SAA1、SAA2の表面はなめら
かでシール材SLとシール材塗布部SAA1、SAA2
との接触面積は広くなっていない。
【0056】これに対して本実施例では、凹凸UENが
形成されシール材SLが凹凸UENに入り込んで接着し
ているため、凹凸UENが形成されていない場合と比べ
てシール材SLとシール材塗布部SAA1、SAA2と
の接触面積が格段に広くなっている。
形成されシール材SLが凹凸UENに入り込んで接着し
ているため、凹凸UENが形成されていない場合と比べ
てシール材SLとシール材塗布部SAA1、SAA2と
の接触面積が格段に広くなっている。
【0057】従ってシール材SLとシール材塗布部SA
A1、SAA2との界面で発生する化学結合の数が多く
なるためシール材SLのシール材塗布部SAA1、SA
A2に対する接着力が向上する。
A1、SAA2との界面で発生する化学結合の数が多く
なるためシール材SLのシール材塗布部SAA1、SA
A2に対する接着力が向上する。
【0058】シール材SLとシール材塗布部SAA1、
SAA2の接触面積を広くすることで接着力を向上させ
ることの利点として、 (1)シール材剥がれ不良を低減することができる。
SAA2の接触面積を広くすることで接着力を向上させ
ることの利点として、 (1)シール材剥がれ不良を低減することができる。
【0059】(2)接着力が弱くかつ液晶汚染の少ない
シール材を使用することが可能となり、表示品質を向上
することができる。
シール材を使用することが可能となり、表示品質を向上
することができる。
【0060】《ゲート端子部》図7は表示マトリックス
の走査信号線GLからその外部接続端子GTMまでの接
続構造を示す図であり、(a)は平面であり(b)は
(a)のB−B切断線における断面を示している。な
お、同図は図7下方付近に対応し、斜め配線の部分は便
宜状一直線状で表した。
の走査信号線GLからその外部接続端子GTMまでの接
続構造を示す図であり、(a)は平面であり(b)は
(a)のB−B切断線における断面を示している。な
お、同図は図7下方付近に対応し、斜め配線の部分は便
宜状一直線状で表した。
【0061】AOはホトレジスト直接描画の境界線、言
い換えれば選択的陽極酸化のホトレジストパターンであ
る。従って、このホトレジストは陽極酸化後に除去さ
れ、図に示すパターンAOは完成品としては残らない
が、ゲート配線GLには断面図に示すように酸化膜AO
Fが選択的に形成されるのでその痕跡が残る。平面図に
おいて、ホトレジストの境界線AOを基準にして左側は
レジストで覆い陽極酸化をしない領域、右側はレジスト
から露出され陽極酸化される領域である。陽極酸化され
たAL層g1は表面にその酸化物Al2O3膜AOFが形
成され下方の導電部は体積が減少する。勿論、陽極酸化
はその導電部が残るように適切な時間、電圧などを設定
して行われる。
い換えれば選択的陽極酸化のホトレジストパターンであ
る。従って、このホトレジストは陽極酸化後に除去さ
れ、図に示すパターンAOは完成品としては残らない
が、ゲート配線GLには断面図に示すように酸化膜AO
Fが選択的に形成されるのでその痕跡が残る。平面図に
おいて、ホトレジストの境界線AOを基準にして左側は
レジストで覆い陽極酸化をしない領域、右側はレジスト
から露出され陽極酸化される領域である。陽極酸化され
たAL層g1は表面にその酸化物Al2O3膜AOFが形
成され下方の導電部は体積が減少する。勿論、陽極酸化
はその導電部が残るように適切な時間、電圧などを設定
して行われる。
【0062】ゲート端子GTMはAl層g1と、更にそ
の表面を保護し、かつ、TCP(Tape Carrier Packeg
e)との接続の信頼性を向上させるための透明導電層g
2とで構成されている。この透明導電膜g2はスパッタ
リングで形成された透明導電膜(Indium-Tin-Oxide I
TO:ネサ膜)からなり、1000〜2000Åの厚さ
に(本実施例では、1400Å程度の膜厚)形成され
る。またAl層g1上及びその側面部に形成された導電
層d1及びd2は、Al層と透明導電層g2との接続不
良を補うために、Al層と透明導電層g2の両方に接続
性の良いCr層d1を接続し、接続抵抗の低減を図るた
めのものであり、導電層d2は導電層d1と同一マスク
形成しているために残っているものである。
の表面を保護し、かつ、TCP(Tape Carrier Packeg
e)との接続の信頼性を向上させるための透明導電層g
2とで構成されている。この透明導電膜g2はスパッタ
リングで形成された透明導電膜(Indium-Tin-Oxide I
TO:ネサ膜)からなり、1000〜2000Åの厚さ
に(本実施例では、1400Å程度の膜厚)形成され
る。またAl層g1上及びその側面部に形成された導電
層d1及びd2は、Al層と透明導電層g2との接続不
良を補うために、Al層と透明導電層g2の両方に接続
性の良いCr層d1を接続し、接続抵抗の低減を図るた
めのものであり、導電層d2は導電層d1と同一マスク
形成しているために残っているものである。
【0063】平面図において、ゲート絶縁膜GIはその
境界線よりも右側に、保護膜PSV1もその境界線より
も右側に形成されており、左端に位置する端子部GTM
はそれらから露出し外部回路との電気的接触ができるよ
うになっている。図では、ゲート線GLとゲート端子の
一つの対のみが示されているが、実際はこのような対が
図7に示すように上下に複数本並べられ端子群Tg(図
5)が構成され、ゲート端子の左端は、製造過程では、
基板の切断領域を越えて延長され配線SHg(図示せ
ず)によって短絡される。製造過程におけるこのような
短絡線SHgは陽極化成時の給電と、配向膜ORI1の
ラビング時等の静電破壊防止に役立つ。
境界線よりも右側に、保護膜PSV1もその境界線より
も右側に形成されており、左端に位置する端子部GTM
はそれらから露出し外部回路との電気的接触ができるよ
うになっている。図では、ゲート線GLとゲート端子の
一つの対のみが示されているが、実際はこのような対が
図7に示すように上下に複数本並べられ端子群Tg(図
5)が構成され、ゲート端子の左端は、製造過程では、
基板の切断領域を越えて延長され配線SHg(図示せ
ず)によって短絡される。製造過程におけるこのような
短絡線SHgは陽極化成時の給電と、配向膜ORI1の
ラビング時等の静電破壊防止に役立つ。
【0064】《ドレイン端子DTM》図8は映像信号線
DLからその外部接続端子DTMまでの接続を示す図で
あり、(a)はその平面を示し、(b)は(a)のB−
B切断線における断面を示す。なお、同図は図5右上付
近に対応し、図面の向きは便宜上変えてあるが右端方向
が基板SUB1の上端部に該当する。
DLからその外部接続端子DTMまでの接続を示す図で
あり、(a)はその平面を示し、(b)は(a)のB−
B切断線における断面を示す。なお、同図は図5右上付
近に対応し、図面の向きは便宜上変えてあるが右端方向
が基板SUB1の上端部に該当する。
【0065】TSTdは検査端子でありここには外部回
路は接続されないが、プローブ針等を接触できるよう配
線部より幅が広げられている。同様に、ドレイン端子D
TMも外部回路との接続ができるよう配線部より幅が広
げられている。外部接続ドレイン端子DTMは上下方向
に配列され、ドレイン端子DTMは、図5に示すように
端子群Td(添字省略)を構成し基板SUB1の切断線
を越えて更に延長され、製造過程中は静電破壊防止のた
めその全てが互いに配線SHd(図示せず)によって短
絡される。
路は接続されないが、プローブ針等を接触できるよう配
線部より幅が広げられている。同様に、ドレイン端子D
TMも外部回路との接続ができるよう配線部より幅が広
げられている。外部接続ドレイン端子DTMは上下方向
に配列され、ドレイン端子DTMは、図5に示すように
端子群Td(添字省略)を構成し基板SUB1の切断線
を越えて更に延長され、製造過程中は静電破壊防止のた
めその全てが互いに配線SHd(図示せず)によって短
絡される。
【0066】検査端子TSTdは図8に示すように一本
置きの映像信号線DLに形成される。
置きの映像信号線DLに形成される。
【0067】ドレイン接続端子DTMは透明導電層g2
単層で形成されており、ゲート絶縁膜GIを除去した部
分で映像信号線DLと接続されている。ゲート絶縁膜G
Iの端部上に形成された半導体層ASはゲート絶縁膜G
Iの縁をテーパ状にエッチングするためのものである。
端子DTM上では外部回路との接続を行うため保護膜P
SV1は勿論のこと取り除かれている。
単層で形成されており、ゲート絶縁膜GIを除去した部
分で映像信号線DLと接続されている。ゲート絶縁膜G
Iの端部上に形成された半導体層ASはゲート絶縁膜G
Iの縁をテーパ状にエッチングするためのものである。
端子DTM上では外部回路との接続を行うため保護膜P
SV1は勿論のこと取り除かれている。
【0068】マトリックス部からドレイン端子部DTM
までの引出配線は、映像信号線DLと同じレベルの層d
1、d2が保護膜PSV1の途中まで構成されており、
保護膜PSV1の中で透明導電膜g2と接続されてい
る。これは、電触し易いAl層d2を保護膜PSV1や
シールパターンSLでできるだけ保護する狙いである。
までの引出配線は、映像信号線DLと同じレベルの層d
1、d2が保護膜PSV1の途中まで構成されており、
保護膜PSV1の中で透明導電膜g2と接続されてい
る。これは、電触し易いAl層d2を保護膜PSV1や
シールパターンSLでできるだけ保護する狙いである。
【0069】《対向電極端子CTM》図9は対向電極信
号線CLからその外部接続端子CTMまでの接続を示す
図であり、(a)はその平面を示し、(b)は(a)の
B−B切断線における断面を示す。なお、同図は図5左
上付近に対応する。
号線CLからその外部接続端子CTMまでの接続を示す
図であり、(a)はその平面を示し、(b)は(a)の
B−B切断線における断面を示す。なお、同図は図5左
上付近に対応する。
【0070】各対向電圧信号線CLは共通バスラインC
Bで一纏めして対向電極端子CTMに引き出されてい
る。共通バスラインCBは導電層g1の上に導電層d
1、導電層d2を積層した構造となっている。これは、
共通バスラインCBの抵抗を低減し、対向電圧が外部回
路から各対向電圧信号線CLに十分に供給されるように
するためである。これにより、対向電極CTが末端の画
素まで充分に伝達され、これら各対向電極CTの映像信
号線DLに供給される映像信号に応じた歪みによるクロ
ストーク(特に画面の左右方向のクロストーク)の発生
を低減できる。本構造では、特に新たに導電層を負荷す
ることなく、共通バスラインの抵抗を下げられるのが特
徴である。共通バスラインCBの導電層g1は導電層d
1、導電層d2と電気的に接続されるように、陽極化成
はされていない。また、ゲート絶縁膜GIからも露出し
ている。
Bで一纏めして対向電極端子CTMに引き出されてい
る。共通バスラインCBは導電層g1の上に導電層d
1、導電層d2を積層した構造となっている。これは、
共通バスラインCBの抵抗を低減し、対向電圧が外部回
路から各対向電圧信号線CLに十分に供給されるように
するためである。これにより、対向電極CTが末端の画
素まで充分に伝達され、これら各対向電極CTの映像信
号線DLに供給される映像信号に応じた歪みによるクロ
ストーク(特に画面の左右方向のクロストーク)の発生
を低減できる。本構造では、特に新たに導電層を負荷す
ることなく、共通バスラインの抵抗を下げられるのが特
徴である。共通バスラインCBの導電層g1は導電層d
1、導電層d2と電気的に接続されるように、陽極化成
はされていない。また、ゲート絶縁膜GIからも露出し
ている。
【0071】対向電極端子CTMは、導電層g1の上に
透明導電層g2が積層された構造になっている。透明導
電層g2により、その表面を保護し、電触等を防ぐため
に耐久性のよい透明導電層g2で、導電層g1を覆って
いる。
透明導電層g2が積層された構造になっている。透明導
電層g2により、その表面を保護し、電触等を防ぐため
に耐久性のよい透明導電層g2で、導電層g1を覆って
いる。
【0072】《表示装置全体等価回路》表示マトリック
ス部の等価回路とその周辺回路の結線図を図10に示
す。同図は回路図ではあるが、実際の幾何学的配置に対
応して描かれている。ARは複数の画素を二次元状に配
列したマトリックス・アレイである。
ス部の等価回路とその周辺回路の結線図を図10に示
す。同図は回路図ではあるが、実際の幾何学的配置に対
応して描かれている。ARは複数の画素を二次元状に配
列したマトリックス・アレイである。
【0073】図中、Xは映像信号線DLを意味し、添字
G、BおよびRがそれぞれ緑、青および赤画素に対応し
て付加されている。Yは走査信号線GLを意味し、添字
1、2、3、…、endは走査タイミングの順序に従って
付加されている。
G、BおよびRがそれぞれ緑、青および赤画素に対応し
て付加されている。Yは走査信号線GLを意味し、添字
1、2、3、…、endは走査タイミングの順序に従って
付加されている。
【0074】走査信号線Y(添字省略)は垂直走査回路
Vに接続されており、映像信号線X(添字省略)は映像
信号駆動回路Hに接続されている。
Vに接続されており、映像信号線X(添字省略)は映像
信号駆動回路Hに接続されている。
【0075】SUPは1つの電圧源から複数の分圧した
安定化された電圧源を得るための電源回路やホスト(上
位演算処理装置)からのCRT(陰極線管)用の情報を
TFT液晶表示装置用の情報に交換する回路を含む回路
である。
安定化された電圧源を得るための電源回路やホスト(上
位演算処理装置)からのCRT(陰極線管)用の情報を
TFT液晶表示装置用の情報に交換する回路を含む回路
である。
【0076】《駆動方法》図11に本発明の液晶表示装
置の駆動波形を示す。対向電圧をVchとVclの2値の交
流矩型波にし、それに同期させて走査信号Vg(i-1)、
Vg(i)の非選択電圧を1走査期間ごとに、VglhとVg
llの2値で変化させる。対向電圧の振幅値と非選択電圧
の振幅値は同一にする。映像信号電圧は、液晶層に印加
したい電圧から、対向電圧の振幅の1/2を差し引いた
電圧である。
置の駆動波形を示す。対向電圧をVchとVclの2値の交
流矩型波にし、それに同期させて走査信号Vg(i-1)、
Vg(i)の非選択電圧を1走査期間ごとに、VglhとVg
llの2値で変化させる。対向電圧の振幅値と非選択電圧
の振幅値は同一にする。映像信号電圧は、液晶層に印加
したい電圧から、対向電圧の振幅の1/2を差し引いた
電圧である。
【0077】対向電圧は直流でもよいが、交流化するこ
とで映像信号電圧の最大振幅を低減でき、映像信号駆動
回路(信号側ドライバ)に耐圧の低いものを用いること
が可能になる。
とで映像信号電圧の最大振幅を低減でき、映像信号駆動
回路(信号側ドライバ)に耐圧の低いものを用いること
が可能になる。
【0078】《蓄積容量Cstgの働き》蓄積容量Cstg
は、画素に書き込まれた(薄膜トランジスタTFTがオ
フした後の)映像情報を、長く蓄積するために設ける。
本発明で用いている電界を基板面と平行に印加する方式
では、電界を基板面に垂直に印加する方式と異なり、画
素電極と対向電極で構成される容量(いわゆる液晶容
量)がほとんど無いため、蓄積容量Cstgが映像情報を
画素に蓄積することができない。したがって、電界を基
板面と平行に印加する方式では、蓄積容量Cstgは必須
の構成要素である。
は、画素に書き込まれた(薄膜トランジスタTFTがオ
フした後の)映像情報を、長く蓄積するために設ける。
本発明で用いている電界を基板面と平行に印加する方式
では、電界を基板面に垂直に印加する方式と異なり、画
素電極と対向電極で構成される容量(いわゆる液晶容
量)がほとんど無いため、蓄積容量Cstgが映像情報を
画素に蓄積することができない。したがって、電界を基
板面と平行に印加する方式では、蓄積容量Cstgは必須
の構成要素である。
【0079】また、蓄積容量Cstgは、薄膜トランジス
タTFTがスイッチングするとき、画素電極電位Vsに
対するゲート電位変化△Vgの影響を低減するようにも
働く。この様子を式で表すと、次のようになる。
タTFTがスイッチングするとき、画素電極電位Vsに
対するゲート電位変化△Vgの影響を低減するようにも
働く。この様子を式で表すと、次のようになる。
【0080】
【数1】 △Vs={Cgs/(Cgs+Cstg+Cpix)}×△
Vg ここで、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲート電極G
Tとソース電極SD1との間に形成される寄生容量、C
pixは画素電極PXと対向電極CTとの間に形成される
容量、△Vsは△Vgによる画素電極電位の変化分いわゆ
るフィードスルー電圧を表わす。この変化分△Vsは液
晶LCに加わる直流成分の原因となるが、保持容量Cst
gを大きくすればする程、その値を小さくすることがで
きる。液晶LCに印加される直流成分の低減は、液晶L
Cの寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時に前の画
像が残るいわゆる焼き付きを低減することができる。
Vg ここで、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲート電極G
Tとソース電極SD1との間に形成される寄生容量、C
pixは画素電極PXと対向電極CTとの間に形成される
容量、△Vsは△Vgによる画素電極電位の変化分いわゆ
るフィードスルー電圧を表わす。この変化分△Vsは液
晶LCに加わる直流成分の原因となるが、保持容量Cst
gを大きくすればする程、その値を小さくすることがで
きる。液晶LCに印加される直流成分の低減は、液晶L
Cの寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時に前の画
像が残るいわゆる焼き付きを低減することができる。
【0081】《製造方法》つぎに、上述した液晶表示装
置の基板SUB1側の製造方法について図12〜図14
を参照して説明する。なお同図において、中央の文字は
工程名の略称であり、左側は図3に示す薄膜トランジス
タTFT部分、右側は図7に示すゲート端子付近の断面
形状でみた加工の流れを示す。
置の基板SUB1側の製造方法について図12〜図14
を参照して説明する。なお同図において、中央の文字は
工程名の略称であり、左側は図3に示す薄膜トランジス
タTFT部分、右側は図7に示すゲート端子付近の断面
形状でみた加工の流れを示す。
【0082】工程B、工程Dを除き工程A〜工程Hは各
写真処理に対応して区分けしたもので、各工程のいずれ
の断面図も写真処理後の加工が終わりフォトレジストを
除去した段階を示している。なお、写真処理とは本説明
ではフォトレジストの塗布からマスクを使用した選択露
光を経てそれを現像するまでの一連の作業を示すものと
し、繰返しの説明は避ける。以下区分けした工程に従っ
て、説明する。
写真処理に対応して区分けしたもので、各工程のいずれ
の断面図も写真処理後の加工が終わりフォトレジストを
除去した段階を示している。なお、写真処理とは本説明
ではフォトレジストの塗布からマスクを使用した選択露
光を経てそれを現像するまでの一連の作業を示すものと
し、繰返しの説明は避ける。以下区分けした工程に従っ
て、説明する。
【0083】工程A、図12 AN635ガラス(商品名)からなる下部透明ガラス基
板SUB1上に膜厚が3000ÅのAl−Pd、Al−
Si、Al−Ta、Al−Ti−Ta等からなる導電膜
g1をスパッタリングにより設ける。写真処理後、リン
酸と硝酸と氷酢酸との混酸液で導電膜g1を選択的にエ
ッチングする。それによって、ゲート電極GT、走査信
号線GL、対向電極CT、対向電圧信号線CL、電極P
L1、ゲート端子GTM、共通バスラインCBの第1導
電層、対向電極端子CTMの第1導電層、ゲート端子G
TMを接続する陽極酸化バスラインSHg(図示せず)
および陽極酸化バスラインSHgに接続された陽極酸化
パッド(図示せず)を形成する。
板SUB1上に膜厚が3000ÅのAl−Pd、Al−
Si、Al−Ta、Al−Ti−Ta等からなる導電膜
g1をスパッタリングにより設ける。写真処理後、リン
酸と硝酸と氷酢酸との混酸液で導電膜g1を選択的にエ
ッチングする。それによって、ゲート電極GT、走査信
号線GL、対向電極CT、対向電圧信号線CL、電極P
L1、ゲート端子GTM、共通バスラインCBの第1導
電層、対向電極端子CTMの第1導電層、ゲート端子G
TMを接続する陽極酸化バスラインSHg(図示せず)
および陽極酸化バスラインSHgに接続された陽極酸化
パッド(図示せず)を形成する。
【0084】工程B、図12 直接描画による陽極酸化マスクAOの形成後、3%酒石
酸をアンモニアによりPH6.25±0.05に調整した
溶液をエチレングリコール液で1:9に稀釈した液から
なる陽極酸化液中に基板SUB1を浸漬し、化成電流密
度が0.5mA/cm2になるように調整する(定電流化
成)。次に所定のAl2O3膜厚が得られるのに必要な化
成電圧125Vに達するまで陽極酸化を行う。その後こ
の状態で数10分保持することが望ましい(定電圧化
成)。これは均一なAl2O3膜を得る上で大事なことで
ある。それによって、導電膜g1を陽極酸化され、ゲー
ト電極GT、走査信号線GL、対向電極CT、対向電圧
信号線CLおよび電極PL1上に膜厚が1800Åの陽
極酸化膜AOFが形成される。
酸をアンモニアによりPH6.25±0.05に調整した
溶液をエチレングリコール液で1:9に稀釈した液から
なる陽極酸化液中に基板SUB1を浸漬し、化成電流密
度が0.5mA/cm2になるように調整する(定電流化
成)。次に所定のAl2O3膜厚が得られるのに必要な化
成電圧125Vに達するまで陽極酸化を行う。その後こ
の状態で数10分保持することが望ましい(定電圧化
成)。これは均一なAl2O3膜を得る上で大事なことで
ある。それによって、導電膜g1を陽極酸化され、ゲー
ト電極GT、走査信号線GL、対向電極CT、対向電圧
信号線CLおよび電極PL1上に膜厚が1800Åの陽
極酸化膜AOFが形成される。
【0085】工程C、図12 膜厚が1400ÅのITO膜からなる透明導電膜g2を
スパッタリングにより設ける。写真処理後、エッチング
液として塩酸と硝酸との混酸液で透明導電膜g2を選択
的にエッチングすることにより、ゲート端子GTMの最
上層、ドレイン端子DTMおよび対向電極端子CTMの
第2導電層を形成する。
スパッタリングにより設ける。写真処理後、エッチング
液として塩酸と硝酸との混酸液で透明導電膜g2を選択
的にエッチングすることにより、ゲート端子GTMの最
上層、ドレイン端子DTMおよび対向電極端子CTMの
第2導電層を形成する。
【0086】工程D、図13 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が2200Åの窒化Si膜を設
け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入
して、膜厚が2000Åのi型非晶質Si膜を設けたの
ち、プラズマCVD装置に水素ガス、ホスフィンガスを
導入して、膜厚が300ÅのN(+)型非晶質Si膜を設
ける。
素ガスを導入して、膜厚が2200Åの窒化Si膜を設
け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入
して、膜厚が2000Åのi型非晶質Si膜を設けたの
ち、プラズマCVD装置に水素ガス、ホスフィンガスを
導入して、膜厚が300ÅのN(+)型非晶質Si膜を設
ける。
【0087】工程E、図13 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6、CC
l4を使用してN(+)型非晶質Si膜、i型非晶質Si
膜を選択的にエッチングすることにより、i型半導体層
ASの島を形成する。
l4を使用してN(+)型非晶質Si膜、i型非晶質Si
膜を選択的にエッチングすることにより、i型半導体層
ASの島を形成する。
【0088】工程F、図13 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を使用
して、窒化Si膜を選択的にエッチングする。
して、窒化Si膜を選択的にエッチングする。
【0089】工程G、図14 膜厚が600ÅのCrからなる導電膜d1をスパッタリ
ングにより設け、さらに膜厚が4000ÅのAl−P
d、Al−Si、Al−Ta、Al−Ti−Ta等から
なる導電膜d2をスパッタリングにより設ける。写真処
理後、導電膜d2を工程Bと同様な液でエッチングし、
導電膜d1を工程Aと同様な液でエッチングし、映像信
号線DL、ソース電極SD1、ドレイン電極SD2、画
素電極PX、電極PL2、共通バスラインCBの第2導
電層、第3導電層およびドレイン端子DTMを短絡する
バスラインSHd(図示せず)を形成する。つぎに、ド
ライエッチング装置にCCl4、SF6を導入して、N
(+)型非晶質Si膜をエッチングすることにより、ソー
スとドレイン間のN(+)型半導体層d0を選択的に除去
する。
ングにより設け、さらに膜厚が4000ÅのAl−P
d、Al−Si、Al−Ta、Al−Ti−Ta等から
なる導電膜d2をスパッタリングにより設ける。写真処
理後、導電膜d2を工程Bと同様な液でエッチングし、
導電膜d1を工程Aと同様な液でエッチングし、映像信
号線DL、ソース電極SD1、ドレイン電極SD2、画
素電極PX、電極PL2、共通バスラインCBの第2導
電層、第3導電層およびドレイン端子DTMを短絡する
バスラインSHd(図示せず)を形成する。つぎに、ド
ライエッチング装置にCCl4、SF6を導入して、N
(+)型非晶質Si膜をエッチングすることにより、ソー
スとドレイン間のN(+)型半導体層d0を選択的に除去
する。
【0090】工程H、図14 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が1μmの窒化Si膜を設け
る。写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を
使用した写真蝕刻技術で窒化Si膜を選択的にエッチン
グすることによって、保護膜PSV1を形成する。
素ガスを導入して、膜厚が1μmの窒化Si膜を設け
る。写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を
使用した写真蝕刻技術で窒化Si膜を選択的にエッチン
グすることによって、保護膜PSV1を形成する。
【0091】《表示パネルPNLと駆動回路基板PCB
1》図15は、図5等に示した表示パネルPNLに映像
信号駆動回路Hと垂直走査回路Vを接続した状態を示す
上面図である。
1》図15は、図5等に示した表示パネルPNLに映像
信号駆動回路Hと垂直走査回路Vを接続した状態を示す
上面図である。
【0092】CHIは表示パネルPNLを駆動させる駆
動ICチップ(下側の5個は垂直走査回路側の駆動IC
チップ、左の10個ずつは映像信号駆動回路側の駆動I
Cチップ)である。TCPは図16、図17で後述する
ように駆動用ICチップCHIがテープ・オートメイテ
ィド・ボンディング法(TAB)により実装されたテー
プキャリアパッケージ、PCB1は上記TCPやコンデ
ンサ等が実装された駆動回路基板で、映像信号駆動回路
用と走査信号駆動回路用の2つに分割されている。FG
Pはフレームグランドパッドであり、シールドケースS
HDに切り込んで設けられたバネ状の破片が半田付けさ
れる。FCは下側の駆動回路基板PCB1と左側の駆動
回路基板PCB1を電気的に接続するフラットケーブル
である。フラットケーブルFCとしては図に示すよう
に、複数のリード線(りん青銅の素材にSn鍍金を施し
たもの)をストライプ状のポリエチレン層とポリビニル
アルコール層とでサンドイッチして支持したものを使用
する。
動ICチップ(下側の5個は垂直走査回路側の駆動IC
チップ、左の10個ずつは映像信号駆動回路側の駆動I
Cチップ)である。TCPは図16、図17で後述する
ように駆動用ICチップCHIがテープ・オートメイテ
ィド・ボンディング法(TAB)により実装されたテー
プキャリアパッケージ、PCB1は上記TCPやコンデ
ンサ等が実装された駆動回路基板で、映像信号駆動回路
用と走査信号駆動回路用の2つに分割されている。FG
Pはフレームグランドパッドであり、シールドケースS
HDに切り込んで設けられたバネ状の破片が半田付けさ
れる。FCは下側の駆動回路基板PCB1と左側の駆動
回路基板PCB1を電気的に接続するフラットケーブル
である。フラットケーブルFCとしては図に示すよう
に、複数のリード線(りん青銅の素材にSn鍍金を施し
たもの)をストライプ状のポリエチレン層とポリビニル
アルコール層とでサンドイッチして支持したものを使用
する。
【0093】《TCPの接続構造》図16は走査信号駆
動回路Vや映像信号駆動回路Hを構成する、集積回路チ
ップCHIがフレキシブル配線基板に搭載されたテープ
キャリアパッケージTCPの断面構造を示す図であり、
図17はそれを液晶表示パネルの、本例では走査信号回
路用端子GTMに接続した状態を示す要部断面図であ
る。
動回路Vや映像信号駆動回路Hを構成する、集積回路チ
ップCHIがフレキシブル配線基板に搭載されたテープ
キャリアパッケージTCPの断面構造を示す図であり、
図17はそれを液晶表示パネルの、本例では走査信号回
路用端子GTMに接続した状態を示す要部断面図であ
る。
【0094】同図において、TTBは集積回路CHIの
入力端子・配線部であり、TTMは集積回路CHIの出
力端子・配線部であり、例えばCuから成り、それぞれ
の内側の先端部(通称インナーリード)には集積回路C
HIのボンディングパッドPADがいわゆるフェースダ
ウンボンディング法により接続される。端子TTB、T
TMの外側の先端部(通称アウターリード)はそれぞれ
半導体集積回路チップCHIの入力及び出力に対応し、
半田付け等によりCRT/TFT変換回路・電源回路S
UPに、異方性導電膜ACFによって液晶表示パネルP
NLに接続される。パッケージTCPは、その先端部が
パネルPNL側の接続端子GTMを露出した保護膜PS
V1を覆うようにパネルに接続されており、従って、外
部接続端子GTM(DTM)は保護膜PSV1かパッケ
ージTCPの少なくとも一方で覆われるので電触に対し
て強くなる。
入力端子・配線部であり、TTMは集積回路CHIの出
力端子・配線部であり、例えばCuから成り、それぞれ
の内側の先端部(通称インナーリード)には集積回路C
HIのボンディングパッドPADがいわゆるフェースダ
ウンボンディング法により接続される。端子TTB、T
TMの外側の先端部(通称アウターリード)はそれぞれ
半導体集積回路チップCHIの入力及び出力に対応し、
半田付け等によりCRT/TFT変換回路・電源回路S
UPに、異方性導電膜ACFによって液晶表示パネルP
NLに接続される。パッケージTCPは、その先端部が
パネルPNL側の接続端子GTMを露出した保護膜PS
V1を覆うようにパネルに接続されており、従って、外
部接続端子GTM(DTM)は保護膜PSV1かパッケ
ージTCPの少なくとも一方で覆われるので電触に対し
て強くなる。
【0095】BF1はポリイミド等からなるベースフィ
ルムであり、SRSは半田付けの際半田が余計なところ
へつかないようにマスクするためのソルダレジスト膜で
ある。シールパターンSLの外側の上下ガラス基板の隙
間は洗浄後エポキシ樹脂EPX等により保護され、パッ
ケージTCPと上側基板SUB2の間には更にシリコー
ン樹脂SILが充填され保護が多重化されている。
ルムであり、SRSは半田付けの際半田が余計なところ
へつかないようにマスクするためのソルダレジスト膜で
ある。シールパターンSLの外側の上下ガラス基板の隙
間は洗浄後エポキシ樹脂EPX等により保護され、パッ
ケージTCPと上側基板SUB2の間には更にシリコー
ン樹脂SILが充填され保護が多重化されている。
【0096】《駆動回路基板PCB2》駆動回路基板P
CB2は、IC、コンデンサ、抵抗等の電子部品が搭載
されている。この駆動回路基板PCB2には、1つの電
圧源から複数の分圧した安定化された電圧源を得るため
の電源回路や、ホスト(上位演算処理装置)からのCR
T(陰極線管)用の情報をTFT液晶表示装置用の情報
に変換する回路を含む回路SUPが搭載されている。C
Jは外部と接続される図示しないコネクタが接続される
コネクタ接続部である。駆動回路基板PCB1と駆動回
路基板PCB2とはフラットケーブルFCにより電気的
に接続されている。
CB2は、IC、コンデンサ、抵抗等の電子部品が搭載
されている。この駆動回路基板PCB2には、1つの電
圧源から複数の分圧した安定化された電圧源を得るため
の電源回路や、ホスト(上位演算処理装置)からのCR
T(陰極線管)用の情報をTFT液晶表示装置用の情報
に変換する回路を含む回路SUPが搭載されている。C
Jは外部と接続される図示しないコネクタが接続される
コネクタ接続部である。駆動回路基板PCB1と駆動回
路基板PCB2とはフラットケーブルFCにより電気的
に接続されている。
【0097】《液晶表示モジュールの全体構成》図18
は、液晶表示モジュールMDLの各構成部品を示す分解
斜視図である。SHDは金属板から成る枠状のシールド
ケース(メタルフレーム)、LCWその表示窓、PNL
は液晶表示パネル、SPBは光拡散板、LCBは導光
体、RMは反射板、BLはバックライト蛍光管、LCA
はバックライトケースであり、図に示すような上下の配
置関係で各部材が積み重ねられてモジュールMDLが組
み立てられる。
は、液晶表示モジュールMDLの各構成部品を示す分解
斜視図である。SHDは金属板から成る枠状のシールド
ケース(メタルフレーム)、LCWその表示窓、PNL
は液晶表示パネル、SPBは光拡散板、LCBは導光
体、RMは反射板、BLはバックライト蛍光管、LCA
はバックライトケースであり、図に示すような上下の配
置関係で各部材が積み重ねられてモジュールMDLが組
み立てられる。
【0098】モジュールMDLは、シールドケースSH
Dに設けられた爪とフックによって全体が固定されるよ
うになっている。バックライトケースLCAはバックラ
イト蛍光管BL、光拡散板SPB光拡散板、導光体LC
B、反射板RMを収納する形状になっており、導光体L
CBの側面に配置されたバックライト蛍光管BLの光
を、導光体LCB、反射板RM、光拡散板SPBにより
表示面で一様なバックライトにし、液晶表示パネルPN
L側に出射する。バックライト蛍光管BLにはインバー
タ回路基板PCB3が接続されており、バックライト蛍
光管BLの電源となっている。
Dに設けられた爪とフックによって全体が固定されるよ
うになっている。バックライトケースLCAはバックラ
イト蛍光管BL、光拡散板SPB光拡散板、導光体LC
B、反射板RMを収納する形状になっており、導光体L
CBの側面に配置されたバックライト蛍光管BLの光
を、導光体LCB、反射板RM、光拡散板SPBにより
表示面で一様なバックライトにし、液晶表示パネルPN
L側に出射する。バックライト蛍光管BLにはインバー
タ回路基板PCB3が接続されており、バックライト蛍
光管BLの電源となっている。
【0099】以上本発明を実施の形態に基づいて具体的
に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変
更可能であることは勿論である。本発明は、横電界方式
のアクティブマトリックス方式の液晶表示装置に適用し
た例を示したが、縦電界方式やCOG(チップオンガラ
ス)方式の液晶表示装置にも、また、単純マトリックス
方式の液晶表示装置にも適用可能なことは言うまでもな
い。
に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変
更可能であることは勿論である。本発明は、横電界方式
のアクティブマトリックス方式の液晶表示装置に適用し
た例を示したが、縦電界方式やCOG(チップオンガラ
ス)方式の液晶表示装置にも、また、単純マトリックス
方式の液晶表示装置にも適用可能なことは言うまでもな
い。
【0100】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による液晶
表示装置によれば、シール材の接着力を向上することが
できるため、シール材剥がれを防止することができ、信
頼性が向上する。
表示装置によれば、シール材の接着力を向上することが
できるため、シール材剥がれを防止することができ、信
頼性が向上する。
【図1】本発明のアクティブ・マトリックス型カラー液
晶表示装置の液晶表示部の一画素とその周辺を示す要部
平面図である。
晶表示装置の液晶表示部の一画素とその周辺を示す要部
平面図である。
【図2】図1の3−3切断線における画素の断面図であ
る。
る。
【図3】図1の4−4切断線における薄膜トランジスタ
素子TFTの断面図である。
素子TFTの断面図である。
【図4】図1の5−5切断線における蓄積容量Cstgの
断面図である。
断面図である。
【図5】表示パネルのマトリックス周辺部の構成を説明
するための平面図である。
するための平面図である。
【図6】左側に走査信号端子、右側に外部接続端子の無
いパネル縁部分を示す断面図である。
いパネル縁部分を示す断面図である。
【図7】ゲート端子GTMとゲート配線GLの接続部近
辺を示す平面と断面の図である。
辺を示す平面と断面の図である。
【図8】ドレイン端子DTMと映像信号線DLとの接続
部付近を示す平面と断面の図である。
部付近を示す平面と断面の図である。
【図9】共通電極端子CTM、共通バスラインCBおよ
び共通電圧信号線CLの接続部付近を示す平面と断面の
図である。
び共通電圧信号線CLの接続部付近を示す平面と断面の
図である。
【図10】本発明のアクティブ・マトリックス型カラー
液晶表示装置のマトリックス部とその周辺を含む回路図
である。
液晶表示装置のマトリックス部とその周辺を含む回路図
である。
【図11】本発明のアクティブ・マトリックス型カラー
液晶表示装置の駆動波形を示す図である。
液晶表示装置の駆動波形を示す図である。
【図12】基板SUB1側の工程A〜Cの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
【図13】基板SUB1側の工程D〜Fの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
【図14】基板SUB1側の工程G〜Hの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
【図15】液晶表示パネルに周辺の駆動回路を実装した
状態を示す上面図である。
状態を示す上面図である。
【図16】駆動回路を構成する集積回路チップCHIが
フレキシブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッ
ケージTCPの断面構造を示す図である。
フレキシブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッ
ケージTCPの断面構造を示す図である。
【図17】テープキャリアパッケージTCPを液晶表示
パネルPNLの走査信号回路用端子GTMに接続した状
態を示す要部断面図である。
パネルPNLの走査信号回路用端子GTMに接続した状
態を示す要部断面図である。
【図18】液晶表示モジュールの分解斜視図である。
【図19】図6のA部の拡大図である。
SUB…透明ガラス基板、GL…走査信号線、DL…映
像信号線、CL…対向電圧信号線、PX…画素電極、C
T…対向電極、GI…絶縁膜、GT…ゲート電極、AS
…i型半導体層、SD…ソース電極またはドレイン電
極、PSV…保護膜、BM…遮光膜、LC…液晶、TF
T…薄膜トランジスタ、g,d…導電膜、Cstg…蓄積
容量、AOF…陽極酸化膜、AO…陽極酸化マスク、G
TM…ゲート端子、DTM…ドレイン端子、CB…共通
バスライン、DTM…共通電極端子、SHD…シールド
ケース、PNL…液晶表示パネル、SPB…光拡散板、
LCB…導光体、BL…バックライト蛍光管、LCA…
バックライトケース、RM…反射板、UEN…凹凸、S
AA…シール材塗布部(以上添字省略)。
像信号線、CL…対向電圧信号線、PX…画素電極、C
T…対向電極、GI…絶縁膜、GT…ゲート電極、AS
…i型半導体層、SD…ソース電極またはドレイン電
極、PSV…保護膜、BM…遮光膜、LC…液晶、TF
T…薄膜トランジスタ、g,d…導電膜、Cstg…蓄積
容量、AOF…陽極酸化膜、AO…陽極酸化マスク、G
TM…ゲート端子、DTM…ドレイン端子、CB…共通
バスライン、DTM…共通電極端子、SHD…シールド
ケース、PNL…液晶表示パネル、SPB…光拡散板、
LCB…導光体、BL…バックライト蛍光管、LCA…
バックライトケース、RM…反射板、UEN…凹凸、S
AA…シール材塗布部(以上添字省略)。
Claims (3)
- 【請求項1】 液晶を介して対向配置される一対の透明
基板と、これら一方の透明基板側に対する他方の透明基
板側の固着とともに該液晶を封入するシール材とを備
え、 このシール材が接着される透明基板側の面が、少なくと
も該シール材の接着部分の一部において、粗面になって
いることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項2】 シール材が接着される透明基板の面が、
該シール材の接着部分の全部において、粗面になってい
ることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。 - 【請求項3】 粗面は凹凸加工された面として形成され
ていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27085099A JP2001091955A (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27085099A JP2001091955A (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 液晶表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001091955A true JP2001091955A (ja) | 2001-04-06 |
Family
ID=17491864
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27085099A Pending JP2001091955A (ja) | 1999-09-24 | 1999-09-24 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001091955A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20040049541A (ko) * | 2002-12-06 | 2004-06-12 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
JP2006284672A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板及びカラー液晶ディスプレイパネル |
WO2007066424A1 (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | 表示装置 |
KR100805477B1 (ko) * | 2005-08-05 | 2008-02-20 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 액정 장치, 전기 광학 장치, 프로젝터 및 마이크로디바이스 |
JP2009053724A (ja) * | 2008-11-28 | 2009-03-12 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
US7630122B2 (en) | 2006-11-28 | 2009-12-08 | Seiko Epson Corporation | Electro-optical device, method of manufacturing electro-optical device and electronic apparatus |
JP2010224424A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Citizen Holdings Co Ltd | 液晶光学素子とその製造方法 |
CN103076699A (zh) * | 2013-01-25 | 2013-05-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板以及显示装置 |
-
1999
- 1999-09-24 JP JP27085099A patent/JP2001091955A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20040049541A (ko) * | 2002-12-06 | 2004-06-12 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치 및 이의 제조 방법 |
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WO2007066424A1 (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-14 | Sharp Kabushiki Kaisha | 表示装置 |
US7940366B2 (en) | 2005-12-05 | 2011-05-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Display device including substrates bonded together through an adhesive |
US7630122B2 (en) | 2006-11-28 | 2009-12-08 | Seiko Epson Corporation | Electro-optical device, method of manufacturing electro-optical device and electronic apparatus |
JP2009053724A (ja) * | 2008-11-28 | 2009-03-12 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
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CN103076699A (zh) * | 2013-01-25 | 2013-05-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板以及显示装置 |
CN103076699B (zh) * | 2013-01-25 | 2016-02-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板以及显示装置 |
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