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JP2001054723A - Method and apparatus for decomposing halogenated hydrocarbon gas - Google Patents

Method and apparatus for decomposing halogenated hydrocarbon gas

Info

Publication number
JP2001054723A
JP2001054723A JP2000158228A JP2000158228A JP2001054723A JP 2001054723 A JP2001054723 A JP 2001054723A JP 2000158228 A JP2000158228 A JP 2000158228A JP 2000158228 A JP2000158228 A JP 2000158228A JP 2001054723 A JP2001054723 A JP 2001054723A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
halogenated hydrocarbon
hydrocarbon gas
catalyst
decomposition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000158228A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Jun Ishii
純 石井
Tatsuro Ariyama
達郎 有山
Toshihiko Okada
敏彦 岡田
Minoru Asanuma
稔 浅沼
Michinori Hattori
道紀 服部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JFE Engineering Corp
Original Assignee
NKK Corp
Nippon Kokan Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NKK Corp, Nippon Kokan Ltd filed Critical NKK Corp
Priority to JP2000158228A priority Critical patent/JP2001054723A/en
Publication of JP2001054723A publication Critical patent/JP2001054723A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • General Induction Heating (AREA)
  • Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大量処理が可能であり、特殊な処理によらず
しかもダイオキシン類を発生させることなく、経済的か
つ安定的にハロゲン化炭化水素ガスを分解することがで
きるハロゲン化炭化水素ガスの分解方法および装置を提
供すること。 【解決手段】 ハロゲン化炭化水素ガスを含有するガス
を処理してハロゲン化炭化水素ガスを分解するにあた
り、耐ハロゲン含有ガス性でかつ導電性の担体3にハロ
ゲン化炭化水素ガス分解触媒4を担持させ、電磁誘導加
熱機構5,6で担体3を加熱しつつ、担体3にハロゲン
化炭化水素ガスを含有するガスを通過させる。
(57) [Summary] Halogenation capable of decomposing halogenated hydrocarbon gas economically and stably without the need for special treatment and without generating dioxins without being capable of large-scale treatment Provided are a method and an apparatus for decomposing a hydrocarbon gas. SOLUTION: In treating a gas containing a halogenated hydrocarbon gas to decompose the halogenated hydrocarbon gas, a halogen-containing gas-resistant and conductive carrier 3 carries a halogenated hydrocarbon gas decomposition catalyst 4. Then, while the carrier 3 is heated by the electromagnetic induction heating mechanisms 5 and 6, a gas containing a halogenated hydrocarbon gas is passed through the carrier 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ハロゲン化炭化水
素ガスの分解方法および装置に関し、特に特定フロンを
始めとするオゾン層破壊物質を効率よく分解して無害化
する方法および装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for decomposing a halogenated hydrocarbon gas, and more particularly to a method and an apparatus for efficiently decomposing ozone-depleting substances such as specific fluorocarbons into harmless substances.

【0002】[0002]

【従来の技術】ハロゲン化炭化水素には、有機塩素系溶
剤、フロン類などがあり、一般に化学的・熱的に安定で
あり、油溶性で、揮発性が高いという性質がある。この
性質を利用して、例えば有機塩素系溶剤はドライクリー
ニングの洗浄液や金属の脱脂洗浄剤など、またフロン類
はクーラーの冷媒や樹脂発泡剤など、産業の様々な分野
において大量に使用されているが、これらが環境中に放
出されるとオゾン層の破壊や地球温暖化などの深刻な環
境問題を引き起こす原因になるほか、人体に摂取される
と発ガン性や催奇性を示す物質も指摘されている。
2. Description of the Related Art Halogenated hydrocarbons include organic chlorinated solvents and fluorocarbons, which are generally chemically and thermally stable, oil-soluble and highly volatile. Utilizing this property, for example, organochlorine solvents are used in large quantities in various industrial fields, such as dry cleaning detergents and metal degreasing detergents, and chlorofluorocarbons are used as cooler refrigerants and resin foaming agents. However, when released into the environment, they cause serious environmental problems such as destruction of the ozone layer and global warming, and substances that are carcinogenic and teratogenic when ingested by the human body have been pointed out. ing.

【0003】これらを回避する対策として、これまで種
々の分解処理技術が提案されてきた。例えば、フロンガ
スに水素・メタン等を混合し燃焼分解する方法が特開平
10−180040号公報に開示されている。この技術
においては、円筒バーナー内にフロンと、メタン・水素
等の助燃剤を添加し燃焼性を向上させるとともに、旋回
流で混合させることにより燃焼の均一性を図っている
(燃焼法)。
[0003] As a countermeasure to avoid these, various decomposition processing techniques have been proposed. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-180040 discloses a method in which hydrogen, methane, and the like are mixed with chlorofluorocarbon gas for combustion decomposition. In this technique, chlorofluorocarbon and a combustion aid such as methane and hydrogen are added to the inside of a cylindrical burner to improve the combustibility, and mixing is performed by swirling flow to achieve uniform combustion (combustion method).

【0004】また、特開平9−276691号公報に
は、高周波プラズマ分解炉においてフロンを加水分解
し、発生する二酸化炭素・水素を、空気を導入して燃焼
処理する方法が示されている(プラズマ分解法)。
[0004] Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-276691 discloses a method of hydrolyzing chlorofluorocarbon in a high-frequency plasma decomposition furnace, and introducing and burning the carbon dioxide and hydrogen generated by introducing air (plasma). Decomposition method).

【0005】さらに、特開平10−180040号公報
には、有機塩素化合物含有ガスを完全混合、不完全混合
を組み合わせた複数の紫外線照射反応容器を通過させる
ことにより効率的に光分解処理する方法が開示されてい
る(紫外線分解法)。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 10-180040 discloses a method for efficiently performing a photolysis treatment by passing a gas containing an organochlorine compound through a plurality of ultraviolet irradiation reactors in which gas is mixed completely and incompletely. It is disclosed (ultraviolet ray decomposition method).

【0006】さらにまた、特開平8−38853号公報
には、高温高圧の超臨界状態の水の存在下で含ハロゲン
廃棄物を加水分解反応および酸素含有流体による酸化分
解反応により分解処理する方法が開示されている(超臨
界水分解法)。
Further, JP-A-8-38853 discloses a method of decomposing a halogen-containing waste by a hydrolysis reaction and an oxidative decomposition reaction with an oxygen-containing fluid in the presence of supercritical water at a high temperature and a high pressure. It has been disclosed (supercritical water splitting method).

【0007】さらにまた、特開平6−343827号公
報においては、フロン含有ガスを白金を担持した炭化珪
素からなる触媒と接触させて効率的に分解する方法が開
示されている。この技術では、白金担持炭化珪素を触媒
に用いることにより、フロン分解時に発生する塩化水素
に対して耐食性が向上し、長い時間安定した触媒活性を
維持することが可能であるとしている。
Furthermore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-343827 discloses a method in which a Freon-containing gas is brought into contact with a catalyst comprising platinum-supported silicon carbide for efficient decomposition. According to this technique, by using platinum-supported silicon carbide as a catalyst, corrosion resistance against hydrogen chloride generated during decomposition of chlorofluorocarbon is improved, and stable catalytic activity can be maintained for a long time.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記先行技術のうち、
燃焼法、プラズマ分解法、紫外線分解法、および超臨界
水分解法は、ハロゲン化炭化水素の分解処理に一定の効
果があるものの、大量にハロゲン化炭化水素ガスを効率
よく、安全に無害化処理する方法として、いずれも十分
な方法であるとは言い難い。例えば、燃焼法において
は、700℃以上の高い温度が必要である上に、遊離し
たハロゲンが腐食性の強いガス(フッ化水素、塩化水素
等)を形成し、燃焼炉が腐食される等の問題があるし、
また燃焼の温度制御が難しい。プラズマ分解法において
は、電力やプラズマガスなどに関するランニングコスト
が高く、経済性に問題がある。また紫外線分解法におい
ては、紫外線ランプや石英ジャケットのスケールアップ
に限界があり、大量のガスの分解処理には向いていな
い。さらに、超臨界水分解法においては、400℃以上
の温度かつ320気圧以上の高圧を必要とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Among the above prior arts,
Combustion method, plasma decomposition method, UV decomposition method and supercritical water decomposition method have a certain effect on the decomposition treatment of halogenated hydrocarbons, but efficiently and safely detoxify halogenated hydrocarbon gas in large quantities. As a method, it is hard to say that all are sufficient methods. For example, in the combustion method, a high temperature of 700 ° C. or more is required, and in addition, the released halogen forms a highly corrosive gas (hydrogen fluoride, hydrogen chloride, etc.), and the combustion furnace is corroded. Have a problem,
Also, it is difficult to control the temperature of combustion. In the plasma decomposition method, the running cost for electric power, plasma gas, and the like is high, and there is a problem in economy. Further, in the ultraviolet decomposition method, there is a limit to the scale-up of an ultraviolet lamp or a quartz jacket, and it is not suitable for decomposition of a large amount of gas. Further, the supercritical water splitting method requires a temperature of 400 ° C. or higher and a high pressure of 320 atm or higher.

【0009】これらの技術に対して、触媒分解法は比較
的低温で効率的な処理が可能な上に、処理装置が簡便で
あるなどの利点がある。しかしながら、この触媒分解法
で用いる触媒は一般的に高価であるから、外熱型電気ヒ
ーターによる触媒の不均一加熱等に起因して触媒劣化が
生じると、触媒の交換頻度が増加し、経済性が低下して
しまう。また、触媒担体として金属を用いた場合には、
ハロゲン化水素ガス等のハロゲン含有ガスにより触媒担
体が劣化するおそれもある。
[0009] In contrast to these techniques, the catalytic decomposition method has an advantage that an efficient treatment can be performed at a relatively low temperature and the treatment apparatus is simple. However, since the catalyst used in this catalytic decomposition method is generally expensive, if the catalyst is deteriorated due to uneven heating of the catalyst by an externally heated electric heater, the frequency of replacing the catalyst increases, and the economical efficiency increases. Will decrease. When a metal is used as the catalyst carrier,
There is a possibility that the catalyst carrier may be deteriorated by a halogen-containing gas such as a hydrogen halide gas.

【0010】さらに、本発明者らが外熱型電気ヒーター
を加熱源として用いて触媒分解を行った際に発生した分
解ガスを詳細に分析したところ、その分解ガス中にはダ
イオキシンが含まれることが確認された。
Further, when the inventors of the present invention analyzed in detail the cracked gas generated when the catalyst was cracked using an externally heated electric heater as a heating source, it was found that the cracked gas contained dioxin. Was confirmed.

【0011】本発明はかかる事情に鑑みてなされたもの
であって、大量処理が可能であり、特殊な処理によらず
しかもダイオキシン類を発生させることなく、経済的か
つ安定的にハロゲン化炭化水素ガスを分解することがで
きるハロゲン化炭化水素ガスの分解方法および装置を提
供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances and is capable of mass processing, economically and stably producing halogenated hydrocarbons without special treatment and without generating dioxins. An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for decomposing a halogenated hydrocarbon gas, which can decompose the gas.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、第1発明は、ハロゲン化炭化水素ガスを含有するガ
スを処理してハロゲン化炭化水素ガスを分解する方法で
あって、耐ハロゲン含有ガス性でかつ導電性の担体にハ
ロゲン化炭化水素ガス分解触媒を担持させ、電磁誘導加
熱方式で前記担体を加熱しつつ、前記担体にハロゲン化
炭化水素ガスを含有するガスを通過させることを特徴と
するハロゲン化炭化水素ガスの分解方法を提供する。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for treating a gas containing a halogenated hydrocarbon gas to decompose the halogenated hydrocarbon gas, comprising the steps of: A gaseous and conductive carrier is loaded with a halogenated hydrocarbon gas decomposition catalyst, and the carrier is passed through a gas containing a halogenated hydrocarbon gas while heating the carrier by electromagnetic induction heating. And a method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas.

【0013】第2発明は、上記第1発明において、前記
担体は、SiCおよびステンレス鋼のうち少なくとも1
種で構成されていることを特徴とするハロゲン化炭化水
素ガスの分解方法を提供する。
In a second aspect based on the first aspect, the carrier is at least one of SiC and stainless steel.
Provided is a method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas, wherein the method is constituted by a seed.

【0014】第3発明は、上記第1発明または第2発明
において、前記触媒は、Pt、Pd、Au、Rhおよび
Niからなる元素群から選択される少なくとも1種の元
素を含むことを特徴とするハロゲン化炭化水素ガスの分
解方法を提供する。
A third invention is characterized in that, in the first invention or the second invention, the catalyst contains at least one element selected from the group consisting of Pt, Pd, Au, Rh and Ni. The present invention provides a method for decomposing halogenated hydrocarbon gas.

【0015】第4発明は、上記第1発明から第3発明の
いずれかにおいて、前記触媒は、W、Cr、Fe、Mo
およびVからなる元素群から選択される少なくとも1種
の元素を含むことを特徴とするハロゲン化炭化水素ガス
の分解方法を提供する。
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the catalyst comprises W, Cr, Fe, Mo.
And a method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas, comprising at least one element selected from the group consisting of V and V.

【0016】第5発明は、上記第1発明または第2発明
において、前記触媒は、Pt、Pd、Au、Rhおよび
Niからなる元素群から選択される少なくとも1種の元
素、および/または、W、Cr、Fe、MoおよびVか
らなる元素群から選択される少なくとも1種の元素と、
チタニア(TiO)とを含有することを特徴とするハ
ロゲン化炭化水素ガスの分解方法を提供する。
In a fifth aspect based on the first or second aspect, the catalyst is at least one element selected from the group consisting of Pt, Pd, Au, Rh and Ni, and / or W , Cr, Fe, Mo and V, at least one element selected from the group consisting of:
A method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas, characterized by containing titania (TiO 2 ).

【0017】第6発明は、ハロゲン化炭化水素ガスを含
有するガスを処理してハロゲン化炭化水素ガスを分解す
る方法であって、耐ハロゲン含有ガス性でかつ導電性の
加熱体を電磁誘導加熱方式で加熱しつつ、前記加熱体に
ハロゲン化炭化水素ガスを含有するガスを通過させるこ
とを特徴とするハロゲン化炭化水素ガスの分解方法を提
供する。
A sixth aspect of the present invention is a method for treating a gas containing a halogenated hydrocarbon gas to decompose the halogenated hydrocarbon gas, wherein the halogen-containing gas-resistant conductive body is heated by electromagnetic induction heating. A method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas, wherein a gas containing a halogenated hydrocarbon gas is passed through the heating body while heating in a heating method.

【0018】第7発明は、上記第6発明において、前記
加熱体は、SiCおよびステンレス鋼のうち少なくとも
1種の材質で構成されていることを特徴とするハロゲン
化炭化水素ガスの分解方法を提供する。
A seventh invention provides the method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas according to the sixth invention, wherein the heating element is made of at least one material of SiC and stainless steel. I do.

【0019】第8発明は、ハロゲン化炭化水素ガス分解
触媒を担持し、ハロゲン化炭化水素ガスを含有するガス
が通過される、耐ハロゲン含有ガス性でかつ導電性の担
体と、前記担体を電磁誘導加熱方式で加熱する加熱機構
とを具備することを特徴とするハロゲン化炭化水素ガス
の分解装置を提供する。
According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a halogen-resistant gas-conductive carrier which carries a halogenated hydrocarbon gas cracking catalyst and through which a gas containing a halogenated hydrocarbon gas is passed. Provided is a halogenated hydrocarbon gas decomposition apparatus, comprising: a heating mechanism for heating by an induction heating method.

【0020】第9発明は、ハロゲン化炭化水素ガスを含
有するガスが通過される、耐ハロゲン含有ガス性でかつ
導電性の加熱体と、前記加熱体を電磁誘導加熱方式で加
熱する加熱機構とを具備することを特徴とするハロゲン
化炭化水素ガスの分解装置を提供する。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a halogen-containing gas-resistant and conductive heater through which a gas containing a halogenated hydrocarbon gas passes, and a heating mechanism for heating the heater by an electromagnetic induction heating method. The present invention provides an apparatus for decomposing a halogenated hydrocarbon gas, comprising:

【0021】本発明者らは、従来の触媒分解法でダイオ
キシンが発生するのは、加熱手段として用いられている
外熱型の電気ヒータでは、その輻射熱のために分解ガス
が冷却しにくく、ダイオキシンの再合成温度領域に保持
されるためであると推測し、このようなことを防止する
ために、加熱方式として急速加熱および急速冷却が可能
な電磁誘導加熱方式を用いればよいことに想到した。つ
まり、電磁誘導加熱方式はこのように急速加熱および急
速冷却が可能であることから、ダイオキシンの再合成温
度領域を短時間で通過させることができ、ダイオキシン
の再合成を防止することができる。また、このように電
磁誘導加熱方式を用いた場合には、均一加熱が可能とな
るから不均一加熱による触媒劣化が生じ難い。さらに、
触媒の担体に耐ハロゲン含有ガス性のものを用いること
により、長時間安定してハロゲン化炭化水素ガスを分解
する無公害化処理を行うことができる。さらにまた、こ
のように特殊な処理によらず電磁誘導加熱を行うだけな
ので、大量処理が可能であり、しかも経済的である。
The inventors of the present invention have found that dioxin is generated by the conventional catalytic decomposition method because, in an externally heated electric heater used as a heating means, the decomposition gas is difficult to cool due to its radiant heat, and dioxin is generated. It is presumed that this is because the temperature is kept in the re-synthesizing temperature range, and in order to prevent such a situation, it has been conceived that an electromagnetic induction heating system capable of rapid heating and rapid cooling may be used. In other words, since the electromagnetic induction heating method enables rapid heating and rapid cooling in this way, it can pass through the resynthesis temperature region of dioxin in a short time, and can prevent resynthesis of dioxins. In addition, when the electromagnetic induction heating method is used, uniform heating is possible, so that catalyst deterioration due to uneven heating is unlikely to occur. further,
By using a halogen-containing gas-resistant catalyst carrier, it is possible to perform a pollution-free treatment for stably decomposing a halogenated hydrocarbon gas for a long time. Furthermore, since only electromagnetic induction heating is performed without using such special treatment, a large amount of treatment is possible, and it is economical.

【0022】また、ハロゲン化炭化水素ガスは触媒を用
いなくても燃焼酸化分解が可能であることから、第6発
明および第9発明のように、触媒の担体の代わりに、ガ
スが通過する加熱体を設け、その加熱体を電磁誘導加熱
してハロゲン化炭化水素ガスを燃焼酸化分解させること
により、触媒を用いた場合と同様の効果を得ることがで
きる。
Further, since the halogenated hydrocarbon gas can be oxidized and decomposed by combustion without using a catalyst, as in the sixth and ninth inventions, instead of the carrier of the catalyst, the heated gas through which the gas passes is used. The same effect as in the case of using a catalyst can be obtained by providing a body and heating the heated body by electromagnetic induction to burn and oxidize and decompose the halogenated hydrocarbon gas.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て具体的に説明する。図1は、本発明の実施に用いるハ
ロゲン化炭化水素ガスの分解装置の一例を示す断面図で
ある。この分解装置1は、絶縁性の筒状容器2と、筒状
容器2内に設けられた、分解触媒4を担持する担体3
と、筒状容器2の外側に巻回された電磁誘導コイル5
と、電磁誘導コイル5に高周波を供給する高周波電源6
とを備えている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be specifically described below. FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of an apparatus for decomposing a halogenated hydrocarbon gas used for carrying out the present invention. The decomposition apparatus 1 includes an insulating cylindrical container 2 and a carrier 3 provided in the cylindrical container 2 and supporting a decomposition catalyst 4.
And an electromagnetic induction coil 5 wound around the outside of the cylindrical container 2
And a high frequency power supply 6 for supplying high frequency to the electromagnetic induction coil 5
And

【0024】筒状容器2は、その一方の開口部2aから
フロンなどのハロゲン化炭化水素ガスを含有するガスが
導入され、他方の開口部2bから分解されたガスが排出
される。
In the cylindrical container 2, a gas containing a halogenated hydrocarbon gas such as chlorofluorocarbon is introduced from one opening 2a, and decomposed gas is discharged from the other opening 2b.

【0025】分解触媒4の担体3は、ハロゲン化炭化水
素ガスやその分解によって生じたハロゲン含有ガスに対
する耐性、すなわちハロゲン含有ガス雰囲気で優れた耐
腐食性を有し、かつ導電性の材料で構成されている。担
体3を導電性とするのは、電磁誘導コイル5によって生
じた渦電流のジュール熱で担体3を加熱するためであ
る。このような担体3の材料の例として、SiC等のカ
ーボンセラミックスや、ステンレス鋼(SUS)等が挙
げられる。また、担体3をハニカム形状またはそれに類
する形状にすることにより、触媒とハロゲン化炭化水素
の接触効率が改善され、さらに気体の偏流等の問題を解
消することが可能となる。
The carrier 3 of the cracking catalyst 4 is made of a conductive material having resistance to a halogenated hydrocarbon gas and a halogen-containing gas generated by its decomposition, that is, excellent corrosion resistance in a halogen-containing gas atmosphere. Have been. The carrier 3 is made conductive because the carrier 3 is heated by Joule heat of the eddy current generated by the electromagnetic induction coil 5. Examples of such a material of the carrier 3 include carbon ceramics such as SiC, stainless steel (SUS), and the like. Further, by making the carrier 3 into a honeycomb shape or a similar shape, the contact efficiency between the catalyst and the halogenated hydrocarbon is improved, and it is possible to solve the problem of gas drift and the like.

【0026】分解触媒4としては、ハロゲン化水素に対
する耐腐食性が高いPt、Pd、Au、RhおよびNi
のうちの少なくとも1種の元素(第1群元素)を含むも
の、および、W、Cr、Fe、MoおよびVのうち少な
くとも1種の元素(第2群元素)を含むものを好適に用
いることができる。また、上記第1群元素または第2群
元素とTiOとを含むものがさらに好ましく、第1群
元素と第2群元素とTiOとを全て含有するものが特
に好ましい。第1群元素と第2群元素とTiO とを全
て含有するものは、ハロゲン化炭化水素ガスを分解する
機能に加えて、炭化水素ガスを分解する機能をも有し、
高性能である。
As the decomposition catalyst 4, hydrogen halide is used.
Pt, Pd, Au, Rh and Ni with high corrosion resistance
Containing at least one element (group 1 element)
And among W, Cr, Fe, Mo and V
Those containing at least one element (Group 2 element) are preferably used
Can be. Further, the first group element or the second group element
Elements and TiO2More preferably, the first group
Element, second group element and TiO2Especially those containing all
Preferred. Group 1 element, Group 2 element and TiO 2And all
Decomposes halogenated hydrocarbon gas
In addition to the function, it also has a function to decompose hydrocarbon gas,
High performance.

【0027】上記第1群元素および第2群元素は単体で
も化合物でもよいが、上記第1群元素は単体で用いるこ
とが好ましく、上記第2群元素は酸化物、炭化物、窒化
物、硫化物等、化合物状態で用いることが好ましい。上
記第1群元素の中ではPtが特に好ましい。また、上記
第2群元素の化合物としては、WO、CrO、Fe
、MoO、V等の酸化物が好適であり、
これらの中ではWOが特に好ましい。そして、上記第
1群元素と第2群元素とTiOとを全て含有するもの
に属するPt−WO−TiOの組み合わせが、低温
度でも高いハロゲン化炭化水素分解性能を示すため最も
好ましい。
The first group element and the second group element may be a single substance or a compound, but the first group element is preferably used alone, and the second group element is an oxide, a carbide, a nitride, a sulfide. It is preferable to use it in a compound state. Among the first group elements, Pt is particularly preferred. Further, as the compound of the second group element, WO 3 , CrO 3 , Fe
Oxides such as 2 O 3 , MoO 3 , and V 2 O 5 are suitable,
Of these, WO 3 is particularly preferred. The combination of Pt—WO 3 —TiO 2 belonging to the group containing all of the first group element, the second group element, and TiO 2 is most preferable because it exhibits high halogenated hydrocarbon decomposition performance even at a low temperature.

【0028】本発明において処理が可能な物質の例とし
ては、フロン11(CFCl)、フロン12(CF
Cl)を代表とする各種フロン類を挙げることができ
る。また、運転条件を適宜設定することにより、フロン
類のみならず、テトラクロロエチレンをはじめとする揮
発性有機化合物(VOC's)や、ダイオキシン類含有
ガス等、各種ハロゲン化炭化水素ガスの分解処理に有効
である。
Examples of substances that can be treated in the present invention include Freon 11 (CFCl 3 ) and Freon 12 (CF 2
Various fluorocarbons represented by Cl 2 ) can be exemplified. In addition, by appropriately setting the operating conditions, it is effective not only for decomposing various halogenated hydrocarbon gases such as volatile organic compounds (VOC's) such as tetrachloroethylene, but also gases containing dioxins, as well as fluorocarbons. It is.

【0029】このような分解装置1でハロゲン化炭化水
素ガスを分解するためには、まず、電磁誘導コイル5に
高周波電源6から給電することにより、担体3内に渦電
流を発生させ、そのジュール熱によって発熱させる電磁
誘導加熱を行うことによって、分解触媒4の作用温度ま
で担体3を加熱する。この状態で、上記のようなハロゲ
ン化炭化水素ガスを含有するガスを、筒状容器2の開口
部2a側から導入し、担体3を通過させる。
In order to decompose the halogenated hydrocarbon gas by such a decomposer 1, first, power is supplied to the electromagnetic induction coil 5 from the high-frequency power source 6 to generate an eddy current in the carrier 3, and the joule The carrier 3 is heated to the operating temperature of the decomposition catalyst 4 by performing electromagnetic induction heating that generates heat. In this state, a gas containing a halogenated hydrocarbon gas as described above is introduced from the side of the opening 2 a of the cylindrical container 2 and passed through the carrier 3.

【0030】ハロゲン化炭化水素ガスを含有するガス
は、担体3を通過する間に、加熱された担体3の発熱作
用および分解触媒の作用を受け、その中のハロゲン化炭
化水素ガスが例えばHCl、HF、COなどに分解さ
れる。分解された後のガスは、筒状容器2の開口部2b
から排出される。
The gas containing the halogenated hydrocarbon gas is subjected to the exothermic action of the heated carrier 3 and the action of the decomposition catalyst while passing through the carrier 3, and the halogenated hydrocarbon gas therein is converted to, for example, HCl, HF, is decomposed like CO 2. The decomposed gas is supplied to the opening 2b of the cylindrical container 2.
Is discharged from

【0031】以上のようにしてハロゲン化炭化水素ガス
を分解するために好ましい分解温度は200〜800℃
であり、より好ましくは、300〜500℃である。こ
れは、これより低い温度では触媒性能が発現しないから
であり、また、これより高い温度では触媒の寿命が低下
し、さらに酸性ガスによる反応装置の腐蝕も激しくなる
と考えられるからである。
The preferred decomposition temperature for decomposing the halogenated hydrocarbon gas as described above is 200 to 800 ° C.
And more preferably 300 to 500 ° C. This is because the catalyst performance does not appear at lower temperatures, and at higher temperatures, the life of the catalyst is reduced, and furthermore, it is considered that the corrosion of the reactor by the acid gas becomes severe.

【0032】このように、電磁誘導加熱方式で加熱する
ので、ダイオキシンの再合成温度領域を短時間で通過さ
せることができ、ダイオキシンの再合成を防止すること
ができるとともに、不均一加熱による触媒劣化が生じ難
い。また、担体3が耐ハロゲン含有ガス性を有するた
め、長時間安定してハロゲン化炭化水素ガスを分解する
無公害化処理を行うことができる。
As described above, since the heating is performed by the electromagnetic induction heating method, the dioxin can be passed through the resynthesis temperature region in a short time, the resynthesis of dioxins can be prevented, and the catalyst is deteriorated due to uneven heating. Is unlikely to occur. Further, since the carrier 3 has a halogen-containing gas resistance, it is possible to perform a pollution-free treatment for stably decomposing the halogenated hydrocarbon gas for a long time.

【0033】なお、上記装置では、担体3の発熱作用と
分解触媒4の作用によりハロゲン化炭化水素を分解した
が、分解触媒を用いずに、担体3を単に発熱体として用
い、その発熱作用でハロゲン化炭化水素を燃焼酸化分解
させることもできる。このように、触媒を用いずに、電
磁誘導加熱体の高温発熱を利用して行うハロゲン化炭化
水素の燃焼酸化分解においては、より高温の分解温度が
必要となるため、その好ましい分解温度は800〜12
00℃である。
In the above-described apparatus, the halogenated hydrocarbon is decomposed by the exothermic action of the carrier 3 and the action of the decomposition catalyst 4. However, the carrier 3 is simply used as a heating element without using a decomposition catalyst, and the exothermic action is used. Halogenated hydrocarbons can also be oxidatively decomposed by combustion. As described above, in the combustion oxidative decomposition of halogenated hydrocarbons performed using the high-temperature heat generation of the electromagnetic induction heater without using a catalyst, a higher decomposition temperature is required. ~ 12
00 ° C.

【0034】[0034]

【実施例】(実施例1)図1に示す構造の小型流通式反
応装置を用いて、フロン12(CFCl)の分解を
行った。分解触媒として白金(Pt)を用い、直径が2
cmで長さが4cmの多孔質SiCハニカム(イビデン
製)に担持させた。またフロンの酸化分解のために空気
を、さらに触媒の活性低下抑制のために水蒸気を流入し
た。分解条件は以下のとおりである。 分解温度 500℃ フロン濃度 1.5容量パーセント 気体流量 1500cc/hr 電磁誘導周波数 100kHz
(Example 1) Using a small flow reactor having the structure shown in FIG. 1, decomposition of Freon 12 (CF 2 Cl 2 ) was performed. Platinum (Pt) was used as the decomposition catalyst, and the diameter was 2
cm and a length of 4 cm on a porous SiC honeycomb (manufactured by IBIDEN). Air was introduced for the oxidative decomposition of chlorofluorocarbons, and steam was introduced for suppressing the decrease in the activity of the catalyst. The decomposition conditions are as follows. Decomposition temperature 500 ° C Freon concentration 1.5% by volume Gas flow rate 1500cc / hr Electromagnetic induction frequency 100kHz

【0035】その際の条件ならびに分解率およびダイオ
キシン濃度の測定結果を表1に示す。表1に示すように
分解率は99.0%と高い値を示し、200時間経過後
もほとんど活性低下はなかった。また、排ガス中のダイ
オキシンの濃度は0.1ng−TEQ/Nm以下と低
い値であった。
Table 1 shows the conditions and the measurement results of the decomposition rate and dioxin concentration. As shown in Table 1, the decomposition rate was as high as 99.0%, and the activity was hardly reduced even after 200 hours. Further, the concentration of dioxin in the exhaust gas was a low value of 0.1 ng-TEQ / Nm 3 or less.

【0036】(実施例2)実施例1におけるフロン12
の分解において、担持触媒を金属酸化物(WO)に変
更して実験を行った。ハニカムの形状・サイズ、分解温
度、フロン濃度、気体(空気・水蒸気)流入量、インバ
ーター周波数(電磁誘導周波数)等の分解条件は実施例
1と同じになるように設定した。
(Embodiment 2) Freon 12 in Embodiment 1
In the decomposition of, an experiment was carried out by changing the supported catalyst to metal oxide (WO 3 ). The decomposition conditions such as the shape and size of the honeycomb, decomposition temperature, Freon concentration, gas (air / water vapor) inflow, and inverter frequency (electromagnetic induction frequency) were set to be the same as those in Example 1.

【0037】その際の条件ならびに分解率およびダイオ
キシン濃度の測定結果を表1に示す。表1に示すよう
に、フロン分解率は実施例1(Pt触媒担持)には及ば
ないものの約93%と高い値を示した。実施例1と同じ
ように約200時間の連続実験を行ったが、分解率はほ
ぼ一定で、触媒の活性低下はほとんど見られなかった。
また、排ガス中のダイオキシン濃度についても、0.1
ng−TEQ/Nm以下と低い値であった。
Table 1 shows the conditions and the measurement results of the decomposition rate and dioxin concentration. As shown in Table 1, the CFC decomposition rate was as high as about 93%, though not as high as that of Example 1 (supporting a Pt catalyst). A continuous experiment was performed for about 200 hours in the same manner as in Example 1. However, the decomposition rate was almost constant, and almost no decrease in the activity of the catalyst was observed.
Also, the dioxin concentration in the exhaust gas was 0.1%.
ng-TEQ / Nm 3 or less.

【0038】(実施例3)図1に示す構造の小型流通式
反応装置を用いて、SiCハニカムの高温発熱を利用し
たフロンの燃焼酸化分解実験を行った。この際、SiC
ハニカムとして実施例1と同様の形状・サイズのものを
用い、キャリアーの空気の他に、助燃剤としてメタンガ
スを加えた。また操作温度を高温に設定し、フロン類分
解の効率化と、ダイオキシン合成の抑制を図った。分解
条件は以下のとおりである。 分解温度 800℃ フロン濃度 1.5容量パーセント メタン濃度 1.0容量パーセント 気体流量 1500cc/hr
Example 3 Using a small flow reactor having the structure shown in FIG. 1, a combustion oxidative decomposition experiment of chlorofluorocarbon using the high-temperature heat generation of a SiC honeycomb was conducted. At this time, SiC
A honeycomb having the same shape and size as in Example 1 was used, and methane gas was added as a combustion aid in addition to the air of the carrier. In addition, the operating temperature was set to a high temperature to improve the efficiency of decomposing fluorocarbons and suppress the synthesis of dioxins. The decomposition conditions are as follows. Decomposition temperature 800 ° C Freon concentration 1.5% by volume Methane concentration 1.0% by volume Gas flow rate 1500cc / hr

【0039】その際の条件ならびに分解率およびダイオ
キシン濃度の測定結果を表1に示す。表1に示すよう
に、フロン分解率約85%と実施例1、2のような触媒
を用いた分解法には及ばなかった。また、排ガス中のダ
イオキシン濃度は、0.1ng−TEQ/Nm以下と
低い値であった。
Table 1 shows the conditions and the measurement results of the decomposition rate and dioxin concentration. As shown in Table 1, the decomposition rate of chlorofluorocarbon was about 85%, which was lower than the decomposition method using a catalyst as in Examples 1 and 2. The dioxin concentration in the exhaust gas was as low as 0.1 ng-TEQ / Nm 3 or less.

【0040】(比較例1)小型流通式反応装置を用い、
電磁誘導加熱の代わりに、外環式直接加熱を用いて、反
応温度等、すべての条件を実施例1と同じ条件になるよ
うに設定し、フロンの分解実験を行った。
(Comparative Example 1) Using a small flow reactor,
Instead of electromagnetic induction heating, outer ring direct heating was used, and all conditions such as the reaction temperature were set to be the same as those in Example 1, and a CFC decomposition experiment was performed.

【0041】その際の条件ならびに分解率およびダイオ
キシン濃度の測定結果を表1に示す。表1に示すよう
に、初期分解率は、実施例1(電磁誘導加熱)と比較し
て低いものの約86.0%と比較的高かったが、10時
間後に活性低下を示し、200時間後では分解率は65
%まで低下した。さらに、排ガス中からダイオキシンが
検出され、その濃度は5.1ng−TEQ/Nmと高
い値を示した。
Table 1 shows the conditions and the measurement results of the decomposition rate and dioxin concentration. As shown in Table 1, although the initial decomposition rate was lower than that of Example 1 (electromagnetic induction heating), it was relatively high at about 86.0%, but the activity was reduced after 10 hours, and after 200 hours, Degradation rate is 65
%. Furthermore, dioxins are detected from the exhaust gas, the concentration showed a high value as 5.1ng-TEQ / Nm 3.

【0042】(比較例2)小型流通式反応装置を用い、
電磁誘導加熱の代わりに、外環式直接加熱を用いて、反
応温度等、すべての条件を実施例2と同じ条件になるよ
うに設定し、フロンの分解実験を行った。
(Comparative Example 2) Using a small flow reactor,
Instead of electromagnetic induction heating, outer ring direct heating was used, and all conditions such as the reaction temperature were set to be the same as those in Example 2, and a fluorocarbon decomposition experiment was performed.

【0043】その際の条件ならびに分解率およびダイオ
キシン濃度の測定結果を表1に示す。表1に示すよう
に、比較例1の場合と比べ、さらにフロン分解速度が遅
いことが確認された。また、時間が経つにつれて、触媒
活性が低下し、200時間後にはフロン分解率は約57
%まで低下した。さらに、排ガス中からダイオキシンが
検出され、その濃度は4.8ng−TEQ/Nmと高
い値を示した。
Table 1 shows the conditions and the measurement results of the decomposition rate and dioxin concentration. As shown in Table 1, it was confirmed that the CFC decomposition rate was lower than in Comparative Example 1. Further, as time passes, the catalytic activity decreases, and after 200 hours, the CFC decomposition rate becomes about 57%.
%. Furthermore, dioxins are detected from the exhaust gas, the concentration showed a high value as 4.8ng-TEQ / Nm 3.

【0044】[0044]

【表1】 [Table 1]

【0045】(実施例4)図1に示す構造の小型流通式
反応装置を用いて、フロン12(CFCl)の分解
を行った。分解触媒としてPt−WO−TiOの組
み合わせによる触媒を用いた。この際、Pt−WO
TiOの構成モル比が1:5:94になるように触媒
を調整した。この触媒を、直径が2cmで長さが2cm
の多孔質SiCハニカム(格子間隔3mm)に担持させ
た。多孔質SiCを電磁誘導加熱し触媒層が所定の分解
温度に達したら、フロン12と空気を、フロン12濃度
が3.25容量パーセント、気体流量が15000cc
/hrになるように反応装置内に流入した。さらに、フ
ロンの加水分解反応促進と、触媒の活性低下抑制のため
水蒸気を流入した。分解条件は以下のとおりである。 使用触媒 Pt−WO−TiO(Pt:WO:TiO=1:5 :94) 使用担体 SiCハニカム担体(2cmφ×2cm 格子間隔3mm) 分解温度 400℃ フロン濃度 3.25容量パーセント 気体流量 15000cc/hr 気体成分比率 CFC:HO:Air=1:3:30 電磁誘導周波数 100kHz
(Example 4) CFC12 (CF 2 Cl 2 ) was decomposed by using a small flow reactor having the structure shown in FIG. Using a catalyst by a combination of Pt-WO 3 -TiO 2 as a decomposition catalyst. In this case, Pt-WO 3 -
The catalyst was adjusted so that the constituent molar ratio of TiO 2 was 1: 5: 94. The catalyst is 2 cm in diameter and 2 cm in length
On a porous SiC honeycomb (with a lattice spacing of 3 mm). When the porous SiC is heated by electromagnetic induction and the catalyst layer reaches a predetermined decomposition temperature, Freon 12 and air are mixed at a Freon 12 concentration of 3.25% by volume and a gas flow rate of 15,000 cc.
/ Hr into the reactor. Further, steam was introduced to promote the hydrolysis reaction of chlorofluorocarbon and to suppress the decrease in the activity of the catalyst. The decomposition conditions are as follows. Catalyst used Pt-WO 3 -TiO 2 (Pt: WO 3 : TiO 2 = 1: 5: 94) Carrier used SiC honeycomb carrier (2 cmφ × 2 cm grid spacing 3 mm) Decomposition temperature 400 ° C. Freon concentration 3.25 volume percent Gas flow 15000 cc / hr Gas component ratio CFC: H 2 O: Air = 1: 3: 30 Electromagnetic induction frequency 100 kHz

【0046】この際の条件ならびに分解率およびダイオ
キシン濃度の測定結果を表2に示す。表2に示すように
初期分解率は99%と非常に高い値を示した。また、2
00時間の連続実験を行ったが、分解率はほぼ一定で、
触媒活性の低下はほとんど見られなかった。さらに、排
ガス中のダイオキシンの濃度についても0.1ng−T
EQ/Nm以下の低い値であった。
Table 2 shows the conditions and the measurement results of the decomposition rate and dioxin concentration. As shown in Table 2, the initial decomposition rate was as high as 99%. Also, 2
After a continuous experiment of 00 hours, the decomposition rate was almost constant.
The catalyst activity was hardly reduced. Furthermore, the concentration of dioxin in the exhaust gas was 0.1 ng-T
It was a low value of EQ / Nm 3 or less.

【0047】(実施例5)実施例4におけるフロン12
の分解において、担持触媒をPt−TiOの組み合わ
せに変更して実験を行った。この際、Pt:TiO
が、モル比で1:99になるように触媒を調整した。そ
の他の実験条件は、全て実施例4と同じになるようにし
て設定した。分解条件は以下のとおりである。 使用触媒 Pt−TiO(Pt:TiO=1:99) 使用担体 SiCハニカム担体(2cmφ×2cm 格子間隔3mm) 分解温度 400℃ フロン濃度 3.25容量パーセント 気体流量 15000cc/hr 気体成分比率 CFC:HO:Air=1:3:30 電磁誘導周波数 100kHz
(Embodiment 5) Freon 12 in Embodiment 4
In degradation, an experiment was conducted by changing the supported catalyst to the combination of Pt-TiO 2. At this time, the catalyst was adjusted so that the Pt: TiO 2 ratio was 1:99 in molar ratio. All other experimental conditions were set in the same manner as in Example 4. The decomposition conditions are as follows. Catalyst used Pt-TiO 2 (Pt: TiO 2 = 1: 99) Carrier used SiC honeycomb carrier (2 cmφ × 2 cm grid spacing 3 mm) Decomposition temperature 400 ° C. Freon concentration 3.25% by volume Gas flow rate 15000 cc / hr Gas component ratio CFC: H 2 O: Air = 1: 3: 30 Electromagnetic induction frequency 100 kHz

【0048】この際の条件ならびに分解率およびダイオ
キシン濃度の測定結果を表2に示す。表2に示すよう
に、実施例5にはおよばないものの、初期分解率は85
%と高い値を示し、200時間経過後も、触媒活性の低
下はほとんど無かった。また、排ガス中のダイオキシン
の濃度は0.1ng−TEQ/Nm以下と低い値であ
った。
Table 2 shows the conditions and the measurement results of the decomposition rate and dioxin concentration. As shown in Table 2, although not reaching Example 5, the initial decomposition rate was 85%.
%, And there was almost no decrease in the catalyst activity even after 200 hours. Further, the concentration of dioxin in the exhaust gas was a low value of 0.1 ng-TEQ / Nm 3 or less.

【0049】(実施例6)図1に示す構造の小型流通式
反応装置を用いて、SiCハニカムの高温発熱を利用し
たフロンの燃焼酸化分解実験を行った。この際、SiC
ハニカムとして実施例4と同様の形状・サイズのものを
用い、キャリアーの空気の他に、助燃剤としてメタンガ
スを加えた。また分解温度を高温に設定し、フロン類分
解の効率化と、ダイオキシン合成の抑制を図った。分解
条件は以下のとおりである。 使用担体 SiCハニカム担体(2cmφ×2cm 格子間隔3mm) 分解温度 800℃ フロン濃度 3.25容量パーセント 気体流量 15000cc/hr 気体成分比率 CFC:CH=3:5 電磁誘導周波数 100kHz
(Example 6) Using a small flow reactor having the structure shown in FIG. 1, a combustion oxidative decomposition experiment of chlorofluorocarbon using the high-temperature heat generation of a SiC honeycomb was performed. At this time, SiC
A honeycomb having the same shape and size as in Example 4 was used as the honeycomb, and methane gas was added as a combustion aid in addition to the air of the carrier. The decomposition temperature was set to a high temperature to improve the efficiency of decomposing fluorocarbons and to suppress the synthesis of dioxins. The decomposition conditions are as follows. Carrier to be used SiC honeycomb carrier (2 cmφ × 2 cm, lattice spacing 3 mm) Decomposition temperature 800 ° C. Freon concentration 3.25% by volume Gas flow rate 15000 cc / hr Gas component ratio CFC: CH 4 = 3: 5 Electromagnetic induction frequency 100 kHz

【0050】この際の実験条件ならびに分解率およびダ
イオキシン濃度の測定結果を表2に示す。表2に示すよ
うに、初期分解率は実施例4、5の触媒分解法と比較す
ると低いものの、78%の高分解率を示した。また、分
解率の経時変化も少なく、排ガス中のダイオキシン濃度
も0.1ng−TEQ/Nm以下と低い値を示した。
Table 2 shows the experimental conditions and the measurement results of the decomposition rate and dioxin concentration. As shown in Table 2, although the initial decomposition rate was lower than that of the catalytic decomposition methods of Examples 4 and 5, it showed a high decomposition rate of 78%. Further, time course of degradation rate less dioxin concentration in the exhaust gas also showed 0.1ng-TEQ / Nm 3 or less and a low value.

【0051】(比較例3)小型流通式反応装置を用い、
電磁誘導加熱の代わりに、管状式電気炉を用いた間接加
熱により、反応温度等、その他全ての条件を実施例4と
同じ条件になるように設定し、フロンの分解実験を行っ
た。
Comparative Example 3 Using a small flow reactor,
Instead of the electromagnetic induction heating, indirect heating using a tubular electric furnace was performed, and all other conditions such as the reaction temperature were set to be the same as those in Example 4, and a CFC decomposition experiment was performed.

【0052】その際の条件ならびに分解率およびダイオ
キシン濃度の測定結果を表2に示す。表2に示すよう
に、初期分解率は、実施例4(電磁誘導加熱)と比較す
ると低いものの、95%の高分解率であった。しかしな
がら、時間とともに触媒活性が低下し、200時間後で
は分解率は72%まで低下した。これは、外環加熱方式
では触媒の加熱に部分的なムラが生じ、特に温度が高く
なった部分(ヒートスポット)の触媒が劣化してしまっ
たためと思われる。さらに、排ガス中から検出されたダ
イオキシンの濃度は、3.5ng−TEQ/Nmと高
い値を示した。
Table 2 shows the conditions and the measurement results of the decomposition rate and dioxin concentration. As shown in Table 2, although the initial decomposition rate was lower than that of Example 4 (electromagnetic induction heating), the decomposition rate was as high as 95%. However, the catalytic activity decreased with time, and after 200 hours, the decomposition rate decreased to 72%. This is presumably because in the outer ring heating method, partial unevenness occurred in the heating of the catalyst, and particularly, the catalyst in the portion where the temperature was high (heat spot) was deteriorated. Furthermore, the concentration of the detected dioxins from the exhaust gas shows a higher value as 3.5ng-TEQ / Nm 3.

【0053】(比較例4)小型流通式反応装置を用い、
電磁誘導加熱の代わりに、管状式電気炉を用いた間接加
熱により、反応温度等、その他全ての条件を実施例5と
同じ条件になるように設定し、フロンの分解実験を行っ
た。
(Comparative Example 4) Using a small flow reactor,
Instead of electromagnetic induction heating, indirect heating using a tubular electric furnace was performed, and all other conditions such as the reaction temperature were set to be the same as those in Example 5, and a CFC decomposition experiment was performed.

【0054】その際の条件ならびに分解率およびダイオ
キシン濃度の測定結果を表2に示す。表2に示すよう
に、初期分解率は、実施例5(電磁誘導加熱)と比較す
ると低いものの、81%の高分解率であった。しかしな
がら、時間とともに触媒活性が低下し、200時間後で
は分解率は61%まで低下した。さらに、排ガス中から
検出されたダイオキシンの濃度は、4.2ng−TEQ
/Nmと高い値を示した。
Table 2 shows the conditions and the measurement results of the decomposition rate and the dioxin concentration. As shown in Table 2, although the initial decomposition rate was lower than that of Example 5 (electromagnetic induction heating), it was as high as 81%. However, the catalytic activity decreased with time, and after 200 hours, the decomposition rate decreased to 61%. Further, the concentration of dioxin detected in the exhaust gas was 4.2 ng-TEQ.
/ Nm 3 as a high value.

【0055】[0055]

【表2】 [Table 2]

【0056】(実施例7〜19)以下に示す混練法によ
り触媒A〜触媒Iを調整した。まず、純水1000ml
を入れたビーカに硫酸チタン溶液(Ti(SO
ol.)501.5gを20ml/minの速度で滴下
し、水酸化チタン溶液を調整する。この際、水溶液のp
Hが6.5〜7.5になるようにアンモニア水(NH
sol.)を同時に滴下するとともに、水酸化チタン
溶液の温度が高くならないように氷冷する。この溶液を
濾過し、生成した溶液中の硫酸酸アンモニウムを純水を
用いて十分に除去し、水酸化チタンのみを濾別する。上
記により調整した水酸化チタンに少量の純水、塩化白金
酸(HPtCl・6HO)0.66gおよびタン
グステン酸アンモニウム(5(NHO・12WO
・5HO)5.64gを加え、30分間、混練機で
混練した。その後、造粒機で押出し造粒し、触媒粒子を
得た。この粒子を120℃、24時間乾燥後、空気中で
500℃、3時間焼成を行い、触媒A(0.5wt%P
t−10wt%WO/TiO)を得た。
(Examples 7 to 19) By the following kneading method:
Catalyst A to Catalyst I were prepared. First, 1000 ml of pure water
Titanium sulfate solution (Ti (SO4)2s
ol. ) 501.5 g was dropped at a rate of 20 ml / min.
To prepare a titanium hydroxide solution. At this time, p
Ammonia water (NH) so that H becomes 6.5 to 7.5.3
 sol. ) At the same time as titanium hydroxide
Cool the solution with ice so that the temperature of the solution does not rise. This solution
Filtration removes ammonium sulfate in the resulting solution
And remove sufficiently by filtration. Up
Add a small amount of pure water and platinum chloride to the titanium hydroxide adjusted as described above.
Acid (H2PtCl6・ 6H2O) 0.66 g and tan
Ammonium gustinate (5 (NH4)2O ・ 12WO
3・ 5H2O) Add 5.64 g, and in a kneader for 30 minutes
Kneaded. After that, it is extruded and granulated by a granulator, and the catalyst particles are
Obtained. After drying the particles at 120 ° C. for 24 hours, in air
After firing at 500 ° C for 3 hours, catalyst A (0.5 wt% P
t-10wt% WO3/ TiO2) Got.

【0057】同様な方法により、触媒組成が2.0wt
%Pt−10wt%WO/TiO になるような触媒
B、0.5wt%Pt−5wt%WO/TiOにな
るような触媒C、0.5wt%Pt−20wt%WO
/TiOになるような触媒D、2.0wt%Pt−4
0wt%WO/TiOになるような触媒E、およ
び、0.1wt%Pt−10wt%WO/TiO
なるような触媒F、6.0wt%Pt−10wt%WO
/TiOになるような触媒Gを調整した。また、P
tに代えてそれぞれPd、Auを添加し、触媒組成が
0.5wt%Pd−10wt%WO/TiO、0.
5wt%Au−10wt%WO/TiOになるよう
な触媒H、Iを調整した。
By the same method, when the catalyst composition is 2.0 wt.
% Pt-10wt% WO3/ TiO 2Catalyst
B, 0.5wt% Pt-5wt% WO3/ TiO2Nana
Catalyst C, 0.5 wt% Pt-20 wt% WO3
/ TiO2D, 2.0 wt% Pt-4
0wt% WO3/ TiO2Catalyst E such that
And 0.1wt% Pt-10wt% WO3/ TiO2To
Catalyst F, 6.0 wt% Pt-10 wt% WO
3/ TiO2The catalyst G was adjusted such that Also, P
Instead of t, Pd and Au are added, respectively, and the catalyst composition is
0.5wt% Pd-10wt% WO3/ TiO2, 0.
5wt% Au-10wt% WO3/ TiO2To be
Catalysts H and I were prepared.

【0058】また、以下に示す含浸法により触媒Jを調
整した。まず、水約200mlに塩化白金酸(HPt
Cl・6HO)0.66gおよびタングステン酸ア
ンモニウム(5(NHO・12WO・5H
O)5.64gを加え、加熱溶解する。その後、チタ
ニア44.75gを投入し、2時間放置する。この粒子
を120℃、24時間乾燥後、空気中で500℃、3時
間焼成を行い、触媒J(0.5wt%Pt−10wt%
WO/TiO)を得た。
The catalyst J was prepared by the following impregnation method. First, chloroplatinic acid (H 2 Pt) was added to about 200 ml of water.
Cl 6 · 6H 2 O) 0.66g and ammonium tungstate (5 (NH 4) 2 O · 12WO 3 · 5H
The 2 O) 5.64 g was added and dissolved by heating. Thereafter, 44.75 g of titania is charged and left for 2 hours. The particles were dried at 120 ° C. for 24 hours, and then calcined in air at 500 ° C. for 3 hours to obtain Catalyst J (0.5 wt% Pt-10 wt%).
WO 3 / TiO 2 ) was obtained.

【0059】固定床流通式反応装置のステンレス管に以
上のようにして調整された触媒を5ml充填し、炭化水
素(プロパン)を含有するフロン(CFC12)を通気
し、フロン分解率および炭化水素分解率を測定する試験
を行った。結果を表3に示す。
A stainless steel tube of a fixed bed flow type reactor was filled with 5 ml of the catalyst prepared as described above, and CFC12 containing hydrocarbon (propane) was aerated, whereby the CFC decomposition rate and hydrocarbon decomposition were measured. A test was performed to determine the rate. Table 3 shows the results.

【0060】試験条件は以下のとおりである。 触媒量 5ml 反応温度 350℃ 空間速度 15000h−1(実施例17および
18のみ10000h −1) 反応ガス流量 1250ml/min 反応ガス組成 フロン(CFC12)濃度 2% 炭化水素(プロパン)濃度 1% 水蒸気/フロン比(モル比) 5 空気 バランス
The test conditions are as follows. Catalyst amount 5ml Reaction temperature 350 ℃ Space velocity 15000h-1(Example 17 and
18 only 10,000h -1) Reaction gas flow rate 1250ml / min Reaction gas composition Freon (CFC12) concentration 2% Hydrocarbon (propane) concentration 1% Steam / Freon ratio (molar ratio) 5 Air balance

【0061】表3に示すように、実施例7〜18より、
Pt、WOおよびTiOを含む触媒を用いた場合に
は、高効率でフロンを分解することができることに加え
て、高効率で炭化水素を分解することができ、かつ、長
時間にわたりこれらの活性を維持することができること
が確認された。
As shown in Table 3, from Examples 7 to 18,
When a catalyst containing Pt, WO 3 and TiO 2 is used, in addition to being able to decompose chlorofluorocarbons with high efficiency, hydrocarbons can be decomposed with high efficiency and these catalysts can be used for a long time. It was confirmed that the activity could be maintained.

【0062】[0062]

【表3】 [Table 3]

【0063】[0063]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電磁誘導加熱方式を用いるので、従来の電気ヒーターに
よる外部加熱方式と比較して、外管からの輻射熱が存在
せず、急速加熱および急速冷却が可能であり、触媒反応
層通過後の気体の冷却速度が速い。このため分解後の遊
離ハロゲン、炭化水素等から再合成されるダイオキシン
の生成を抑えることが可能である。また、このように電
磁誘導加熱方式を用いた場合には、均一加熱が可能とな
るから、担体自身が均一に発熱するので、すべての触媒
表面上で同じ温度で分解反応を進めることが可能とな
り、分解効率が上昇するとともに、温度分布による部分
的な触媒性能の劣化が防止され、触媒寿命の延長により
運転コストを抑えることが可能となる。さらに、触媒の
担体に耐ハロゲン含有ガス性のものを用いることによ
り、ハロゲン化炭化水素ガスのみならず、その分解生成
物である塩化水素、フッ化水素等にふれても担体が劣化
することなく、安定した触媒活性を保つことが可能であ
り、長時間安定してハロゲン化炭化水素ガスを分解する
無公害化処理を行うことができる。さらにまた、特殊な
処理によらず電磁誘導加熱を行うだけなので、大量処理
が可能であり、しかも経済的である。
As described above, according to the present invention,
Since the electromagnetic induction heating method is used, there is no radiant heat from the outer tube compared to the conventional external heating method using an electric heater, enabling rapid heating and rapid cooling, and cooling of gas after passing through the catalytic reaction layer. Speed is fast. For this reason, it is possible to suppress the generation of dioxins resynthesized from free halogens, hydrocarbons, and the like after decomposition. In addition, when the electromagnetic induction heating method is used, uniform heating is possible, and the carrier itself generates heat uniformly, so that the decomposition reaction can proceed at the same temperature on all catalyst surfaces. In addition, the decomposition efficiency is increased, and a partial deterioration of the catalyst performance due to the temperature distribution is prevented, and the operating cost can be suppressed by extending the catalyst life. Furthermore, by using a halogen-containing gas-resistant material for the catalyst carrier, the carrier is not deteriorated even when it is touched not only by the halogenated hydrocarbon gas but also by its decomposition products such as hydrogen chloride and hydrogen fluoride. In addition, stable catalytic activity can be maintained, and pollution-free treatment for decomposing halogenated hydrocarbon gas stably for a long time can be performed. Furthermore, since only electromagnetic induction heating is performed without using special processing, large-scale processing is possible, and it is economical.

【0064】また、ハロゲン化炭化水素ガスは触媒を用
いなくても燃焼酸化分解が可能であることから、触媒の
担体の代わりに、ガスが通過する加熱体を設け、その加
熱体を電磁誘導加熱してハロゲン化炭化水素ガスを燃焼
酸化分解させることにより、触媒を用いた場合と同様の
効果を得ることができる。
Since a halogenated hydrocarbon gas can be oxidized and decomposed by combustion without using a catalyst, a heating element through which the gas passes is provided in place of the catalyst carrier, and the heating element is heated by electromagnetic induction heating. By burning and oxidizing and decomposing the halogenated hydrocarbon gas, the same effect as in the case of using a catalyst can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施に用いるハロゲン化炭化水素ガス
の分解装置の一例を示す断面図。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a halogenated hydrocarbon gas decomposition apparatus used for carrying out the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1;分解装置 2;筒状容器 3;担体 4;分解触媒 5;電磁誘導コイル 6;高周波電源 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1: Decomposition apparatus 2: Cylindrical container 3: Carrier 4: Decomposition catalyst 5: Electromagnetic induction coil 6: High frequency power supply

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) // C07D 319/24 C07D 319/24 (72)発明者 岡田 敏彦 東京都千代田区丸の内一丁目1番2号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 浅沼 稔 東京都千代田区丸の内一丁目1番2号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 服部 道紀 東京都千代田区丸の内一丁目1番2号 日 本鋼管株式会社内Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification FI FI Theme Court II (Reference) // C07D 319/24 C07D 319/24 (72) Inventor Toshihiko Okada 1-1-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Japan Inside Kokan Co., Ltd. (72) Inventor Minoru Asanuma 1-2-1, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Kokan Co., Ltd. (72) Inventor Michiki Hattori 1-2-1, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Kokan Stock In company

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ハロゲン化炭化水素ガスを含有するガス
を処理してハロゲン化炭化水素ガスを分解する方法であ
って、耐ハロゲン含有ガス性でかつ導電性の担体にハロ
ゲン化炭化水素ガス分解触媒を担持させ、電磁誘導加熱
方式で前記担体を加熱しつつ、前記担体にハロゲン化炭
化水素ガスを含有するガスを通過させることを特徴とす
るハロゲン化炭化水素ガスの分解方法。
1. A method for treating a gas containing a halogenated hydrocarbon gas to decompose the halogenated hydrocarbon gas, wherein the halogen-containing gas-resistant and conductive carrier is a halogenated hydrocarbon gas decomposition catalyst. A halogenated hydrocarbon gas-containing gas is passed through the carrier while the carrier is heated by an electromagnetic induction heating method.
【請求項2】 前記担体は、SiCおよびステンレス鋼
のうち少なくとも1種で構成されていることを特徴とす
る請求項1に記載のハロゲン化炭化水素ガスの分解方
法。
2. The method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas according to claim 1, wherein the carrier is made of at least one of SiC and stainless steel.
【請求項3】 前記触媒は、Pt、Pd、Au、Rhお
よびNiからなる元素群から選択される少なくとも1種
の元素を含むことを特徴とする請求項1または請求項2
に記載のハロゲン化炭化水素ガスの分解方法。
3. The catalyst according to claim 1, wherein the catalyst contains at least one element selected from the group consisting of Pt, Pd, Au, Rh and Ni.
3. The method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas according to item 1.
【請求項4】 前記触媒は、W、Cr、Fe、Moおよ
びVからなる元素群から選択される少なくとも1種の元
素を含むことを特徴とする請求項1から請求項3のいず
れか1項に記載のハロゲン化炭化水素ガスの分解方法。
4. The catalyst according to claim 1, wherein the catalyst contains at least one element selected from the group consisting of W, Cr, Fe, Mo and V. 3. The method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas according to item 1.
【請求項5】 前記触媒は、Pt、Pd、Au、Rhお
よびNiからなる元素群から選択される少なくとも1種
の元素、および/または、W、Cr、Fe、Moおよび
Vからなる元素群から選択される少なくとも1種の元素
と、チタニア(TiO)とを含有することを特徴とす
る請求項1または請求項2に記載のハロゲン化炭化水素
ガスの分解方法。
5. The catalyst according to claim 1, wherein the catalyst is at least one element selected from the group consisting of Pt, Pd, Au, Rh and Ni, and / or a group consisting of elements consisting of W, Cr, Fe, Mo and V. The method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas according to claim 1 or 2, wherein the method comprises at least one selected element and titania (TiO 2 ).
【請求項6】 ハロゲン化炭化水素ガスを含有するガス
を処理してハロゲン化炭化水素ガスを分解する方法であ
って、耐ハロゲン含有ガス性でかつ導電性の加熱体を電
磁誘導加熱方式で加熱しつつ、前記加熱体にハロゲン化
炭化水素ガスを含有するガスを通過させることを特徴と
するハロゲン化炭化水素ガスの分解方法。
6. A method for treating a gas containing a halogenated hydrocarbon gas to decompose the halogenated hydrocarbon gas, comprising heating a halogen-containing and electrically conductive heater by an electromagnetic induction heating method. A method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas, wherein a gas containing a halogenated hydrocarbon gas is passed through the heating body while the gas is being heated.
【請求項7】 前記加熱体は、SiCおよびステンレス
鋼のうち少なくとも1種の材質で構成されていることを
特徴とする請求項6に記載のハロゲン化炭化水素ガスの
分解方法。
7. The method for decomposing a halogenated hydrocarbon gas according to claim 6, wherein the heating element is made of at least one material of SiC and stainless steel.
【請求項8】 ハロゲン化炭化水素ガス分解触媒を担持
し、ハロゲン化炭化水素ガスを含有するガスが通過され
る、耐ハロゲン含有ガス性でかつ導電性の担体と、 前記担体を電磁誘導加熱方式で加熱する加熱機構とを具
備することを特徴とするハロゲン化炭化水素ガスの分解
装置。
8. A halogen-resistant, gas-resistant and electrically conductive carrier carrying a halogenated hydrocarbon gas decomposition catalyst and through which a gas containing a halogenated hydrocarbon gas is passed; An apparatus for decomposing a halogenated hydrocarbon gas, comprising:
【請求項9】 ハロゲン化炭化水素ガスを含有するガス
が通過される、耐ハロゲン含有ガス性でかつ導電性の加
熱体と、 前記加熱体を電磁誘導加熱方式で加熱する加熱機構とを
具備することを特徴とするハロゲン化炭化水素ガスの分
解装置。
9. A halogen-containing gas-resistant and electrically conductive heating element through which a gas containing a halogenated hydrocarbon gas passes, and a heating mechanism for heating the heating element by an electromagnetic induction heating method. An apparatus for decomposing halogenated hydrocarbon gas.
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