JP2001050271A - 静圧直線案内装置 - Google Patents
静圧直線案内装置Info
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- JP2001050271A JP2001050271A JP11222964A JP22296499A JP2001050271A JP 2001050271 A JP2001050271 A JP 2001050271A JP 11222964 A JP11222964 A JP 11222964A JP 22296499 A JP22296499 A JP 22296499A JP 2001050271 A JP2001050271 A JP 2001050271A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
- F16C32/067—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play
- F16C32/0674—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load of bearings adjustable for aligning, positioning, wear or play by means of pre-load on the fluid bearings
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化および軽量化を図ることができ、せん
断応力の発生を抑制することができ、磁性体の塵芥等の
付着を防止でき、しかも、外部からのモーメント負荷の
影響を殆ど受けることのない静圧直線案内装置を提供す
ること。 【解決手段】 磁性材製のガイドレール１３に対して圧
縮空気を噴出してパッド１０を非接触で支持する空気軸
受部１５と、磁気吸引力によりパッド１０をガイドレー
ル１３に接近させる磁石部１２とがパッド１０に設けて
ある。この磁石部１２をパッド１０の進行方向の直角方
向（幅方向）の略中央に配置すると共に、空気軸受部１
５をその両側に配置している。
断応力の発生を抑制することができ、磁性体の塵芥等の
付着を防止でき、しかも、外部からのモーメント負荷の
影響を殆ど受けることのない静圧直線案内装置を提供す
ること。 【解決手段】 磁性材製のガイドレール１３に対して圧
縮空気を噴出してパッド１０を非接触で支持する空気軸
受部１５と、磁気吸引力によりパッド１０をガイドレー
ル１３に接近させる磁石部１２とがパッド１０に設けて
ある。この磁石部１２をパッド１０の進行方向の直角方
向（幅方向）の略中央に配置すると共に、空気軸受部１
５をその両側に配置している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高精度な工作機
械、加工装置、測定装置、検査装置、および半導体製造
装置等において、これらの試料、工具、および検出器等
を移動する際に用いる静圧直線案内装置に関し、詳しく
は、小型化および軽量化を図ることができ、せん断応力
の発生を抑制することができ、磁性体の塵芥等の付着を
防止でき、しかも、外部からのモーメント負荷の影響を
殆ど受けることのない静圧直線案内装置に関する。
械、加工装置、測定装置、検査装置、および半導体製造
装置等において、これらの試料、工具、および検出器等
を移動する際に用いる静圧直線案内装置に関し、詳しく
は、小型化および軽量化を図ることができ、せん断応力
の発生を抑制することができ、磁性体の塵芥等の付着を
防止でき、しかも、外部からのモーメント負荷の影響を
殆ど受けることのない静圧直線案内装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】高精度な工作機械、加工装置、測定装
置、検査装置、および半導体製造装置等においては、こ
れらの試料、工具、および検出器等を高精度で位置決め
する必要がある。そのため、例えば、試料等の載置台の
位置決め装置に摩擦の殆どない静圧直線案内装置を用い
ている。
置、検査装置、および半導体製造装置等においては、こ
れらの試料、工具、および検出器等を高精度で位置決め
する必要がある。そのため、例えば、試料等の載置台の
位置決め装置に摩擦の殆どない静圧直線案内装置を用い
ている。
【０００３】この静圧直線案内装置には、ガイドレール
に対して可動体を非接触で浮上して移動する静圧気体軸
受装置（パッド）が設けてある。この静圧気体軸受装置
（パッド）には、試料等の載置台である可動体とガイド
レールとの間に圧縮空気を噴出して可動体をガイドレー
ルに対して非接触で支持する空気軸受部と、載置台の可
動体とガイドレールとの間に永久磁石等により磁気吸引
力を発生して可動体をガイドレールに接近させる磁石部
とが設けてある。
に対して可動体を非接触で浮上して移動する静圧気体軸
受装置（パッド）が設けてある。この静圧気体軸受装置
（パッド）には、試料等の載置台である可動体とガイド
レールとの間に圧縮空気を噴出して可動体をガイドレー
ルに対して非接触で支持する空気軸受部と、載置台の可
動体とガイドレールとの間に永久磁石等により磁気吸引
力を発生して可動体をガイドレールに接近させる磁石部
とが設けてある。
【０００４】この静圧直線案内装置の一例を図４に示
す。基台１の上に、ガイドレール２が紙面に垂直に延在
してあり、このガイドレール２の上面に、可動テーブル
３が摺動自在に嵌合してある。この可動テーブル３に
は、ガイドレール２の両側に対向するように、テーブル
側レール４，４が設けてある。
す。基台１の上に、ガイドレール２が紙面に垂直に延在
してあり、このガイドレール２の上面に、可動テーブル
３が摺動自在に嵌合してある。この可動テーブル３に
は、ガイドレール２の両側に対向するように、テーブル
側レール４，４が設けてある。
【０００５】このテーブル側レール４，４の下面には、
それぞれ、多孔質からなる上下方向空気軸受部５，５が
設けてあり、テーブル側レール４，４の側面には、それ
ぞれ、多孔質からなる水平方向空気軸受部６，６が設け
てある。これら空気軸受部５，６は、基台１およびガイ
ドレール２の側面に圧縮空気を噴出して可動テーブル３
を非接触で支持するようになっている。
それぞれ、多孔質からなる上下方向空気軸受部５，５が
設けてあり、テーブル側レール４，４の側面には、それ
ぞれ、多孔質からなる水平方向空気軸受部６，６が設け
てある。これら空気軸受部５，６は、基台１およびガイ
ドレール２の側面に圧縮空気を噴出して可動テーブル３
を非接触で支持するようになっている。
【０００６】基台１の両端部には、それぞれ、一対の吸
引レール７，７が延在してあり、この吸引レール７，７
に対向するように、可動テーブル３の両端部に、永久磁
石やヨークからなる一対の磁石部８，８が設けてある。
この磁石部８，８は、永久磁石等により吸引レール７，
７に対して磁気吸引力を発生して、可動テーブル３を基
台１に接近させるようになっている。
引レール７，７が延在してあり、この吸引レール７，７
に対向するように、可動テーブル３の両端部に、永久磁
石やヨークからなる一対の磁石部８，８が設けてある。
この磁石部８，８は、永久磁石等により吸引レール７，
７に対して磁気吸引力を発生して、可動テーブル３を基
台１に接近させるようになっている。
【０００７】これにより、空気軸受部５，５，６，６か
ら噴出される圧縮空気による浮上力と、磁石部８，８に
よる磁気吸引力とがバランスされて、可動テーブル３
は、ガイドレール１に対して非接触で浮上して移動す
る。
ら噴出される圧縮空気による浮上力と、磁石部８，８に
よる磁気吸引力とがバランスされて、可動テーブル３
は、ガイドレール１に対して非接触で浮上して移動す
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示した静圧直線案内装置では、圧縮空気を噴出するため
めの空気軸受部５，５，６，６が可動テーブル３の略中
央に配置してある一方、磁気吸引力を発生するための磁
石部８，８が可動テーブル３の両端部に配置してあり、
両者が比較的大きく離間しているため、小型化および軽
量化が困難であるといった問題がある。
示した静圧直線案内装置では、圧縮空気を噴出するため
めの空気軸受部５，５，６，６が可動テーブル３の略中
央に配置してある一方、磁気吸引力を発生するための磁
石部８，８が可動テーブル３の両端部に配置してあり、
両者が比較的大きく離間しているため、小型化および軽
量化が困難であるといった問題がある。
【０００９】また、浮上力は、主として可動テーブル３
の中央で上向きに発生しているのに対し、磁気吸引力
は、可動テールブル３の両端部で下向きに発生している
ため、可動テーブル３には、せん断応力によるモーメン
トが作用して、可動テーブル３が変形する虞れがある。
その結果、ガイドレール１と可動テーブル３との間の所
定の軸受隙間が得られず、軸受性能が低減するといった
問題がある。
の中央で上向きに発生しているのに対し、磁気吸引力
は、可動テールブル３の両端部で下向きに発生している
ため、可動テーブル３には、せん断応力によるモーメン
トが作用して、可動テーブル３が変形する虞れがある。
その結果、ガイドレール１と可動テーブル３との間の所
定の軸受隙間が得られず、軸受性能が低減するといった
問題がある。
【００１０】さらに、磁石部８，８が可動テーブル３の
両端部に設けてあり、この両端部で吸引レール７，７に
対して磁気吸引力を発生するようになっているため、外
部から可動テーブル３にモーメント負荷が加えられて、
可動テーブル３が揺動すると、磁石部８，８と吸引レー
ル７，７との間の隙間は、著しく大きく変動する。その
結果、狭くなった磁石部８，８と吸引レール７，７との
間の隙間では、磁気吸引力が急激に増大し、この磁気吸
引力の増大分だけ、負荷能力が低減するといったことが
ある。
両端部に設けてあり、この両端部で吸引レール７，７に
対して磁気吸引力を発生するようになっているため、外
部から可動テーブル３にモーメント負荷が加えられて、
可動テーブル３が揺動すると、磁石部８，８と吸引レー
ル７，７との間の隙間は、著しく大きく変動する。その
結果、狭くなった磁石部８，８と吸引レール７，７との
間の隙間では、磁気吸引力が急激に増大し、この磁気吸
引力の増大分だけ、負荷能力が低減するといったことが
ある。
【００１１】さらに、磁石部８，８が可動テーブル３の
両端部に設けてあるため、外部から磁性体の塵芥等が磁
石部６，６の永久磁石に付着するといった問題がある。
両端部に設けてあるため、外部から磁性体の塵芥等が磁
石部６，６の永久磁石に付着するといった問題がある。
【００１２】本発明は、上述したような事情に鑑みてな
されたものであって、小型化および軽量化を図ることが
でき、せん断応力の発生を抑制することができ、磁性体
の塵芥等の付着を防止でき、しかも、外部からのモーメ
ント負荷の影響を殆ど受けることのない静圧直線案内装
置を提供することを目的とする。
されたものであって、小型化および軽量化を図ることが
でき、せん断応力の発生を抑制することができ、磁性体
の塵芥等の付着を防止でき、しかも、外部からのモーメ
ント負荷の影響を殆ど受けることのない静圧直線案内装
置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る静圧直線案内装置は、磁性材製の基台
に対して圧縮空気を噴出して可動体を非接触で支持する
空気軸受部と、磁気吸引力により前記可動体を磁性材製
の前記基台に接近させる磁石部とを前記可動体側に備
え、前記空気軸受部の圧縮空気による浮上力と、前記磁
石部による磁気吸引力とをバランスして、前記可動体を
前記基台に対して非接触で浮上して移動するための静圧
直線案内装置において、前記磁石部を前記可動体の略中
央に配置すると共に、前記空気軸受部をその両側に配置
したことを特徴とする。
め、本発明に係る静圧直線案内装置は、磁性材製の基台
に対して圧縮空気を噴出して可動体を非接触で支持する
空気軸受部と、磁気吸引力により前記可動体を磁性材製
の前記基台に接近させる磁石部とを前記可動体側に備
え、前記空気軸受部の圧縮空気による浮上力と、前記磁
石部による磁気吸引力とをバランスして、前記可動体を
前記基台に対して非接触で浮上して移動するための静圧
直線案内装置において、前記磁石部を前記可動体の略中
央に配置すると共に、前記空気軸受部をその両側に配置
したことを特徴とする。
【００１４】このように、本発明によれば、磁石部を可
動体の略中央に配置すると共に、空気軸受部をその両側
に配置しているため、圧縮空気の噴出と磁気吸引力の発
生とを同一平面に構成することができ、小型化および軽
量化を図ることができる。
動体の略中央に配置すると共に、空気軸受部をその両側
に配置しているため、圧縮空気の噴出と磁気吸引力の発
生とを同一平面に構成することができ、小型化および軽
量化を図ることができる。
【００１５】また、磁石部を可動体の略中央に配置する
と共に、空気軸受部をその両側に配置することにより、
磁石部と空気軸受部を比較的近接して配置し、圧縮空気
の噴出と磁気吸引力の発生とを比較的近い位置で行える
ようにしている。そのため、可動体内でのせん断応力に
よるモーメントの発生を極めて少なくすることができ、
この可動体の変形の虞れを殆どなくすことができる。
と共に、空気軸受部をその両側に配置することにより、
磁石部と空気軸受部を比較的近接して配置し、圧縮空気
の噴出と磁気吸引力の発生とを比較的近い位置で行える
ようにしている。そのため、可動体内でのせん断応力に
よるモーメントの発生を極めて少なくすることができ、
この可動体の変形の虞れを殆どなくすことができる。
【００１６】さらに、磁石部を可動体の略中央に配置す
ると共に、空気軸受部をその両側に配置して、両者を比
較的近接して配置しているため、外部から可動体にモー
メント負荷が加えられて、可動体が揺動する場合であっ
ても、磁石部と基台との間の隙間は殆ど変動することが
ない。そのため、磁石部と基台との間の隙間で、磁気吸
引力が急激に増大することもなく、負荷能力が低減する
といったこともなく、外部からのモーメント負荷の影響
を殆ど受けることがない。
ると共に、空気軸受部をその両側に配置して、両者を比
較的近接して配置しているため、外部から可動体にモー
メント負荷が加えられて、可動体が揺動する場合であっ
ても、磁石部と基台との間の隙間は殆ど変動することが
ない。そのため、磁石部と基台との間の隙間で、磁気吸
引力が急激に増大することもなく、負荷能力が低減する
といったこともなく、外部からのモーメント負荷の影響
を殆ど受けることがない。
【００１７】さらに、磁石部を可動体の略中央に配置す
ると共に、空気軸受部をその両側に配置しているため、
磁性体の塵芥等が磁石部の永久磁石等に付着するといっ
たことを効果的に防止できる。
ると共に、空気軸受部をその両側に配置しているため、
磁性体の塵芥等が磁石部の永久磁石等に付着するといっ
たことを効果的に防止できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
静圧直線案内装置を図面を参照しつつ説明する。
静圧直線案内装置を図面を参照しつつ説明する。
【００１９】図１（ａ）は、本発明の第１実施の形態に
係る静圧直線案内装置の静圧気体軸受装置（パッド）の
側面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示した静圧
気体軸受装置（パッド）の平面図である。図２（ａ）
は、本発明の第１実施の形態に係る静圧直線案内装置の
側面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示した静圧
直線案内装置の正面図である。
係る静圧直線案内装置の静圧気体軸受装置（パッド）の
側面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示した静圧
気体軸受装置（パッド）の平面図である。図２（ａ）
は、本発明の第１実施の形態に係る静圧直線案内装置の
側面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示した静圧
直線案内装置の正面図である。
【００２０】図１に示すように、静圧気体軸受装置（パ
ッド）１０の進行方向の直角方向（幅方向）の略中央に
は、一対の有底孔１１，１１が形成してあり、各有底孔
１１内には、永久磁石やヨークからなる一対の磁石部１
２，１２が収納してある。
ッド）１０の進行方向の直角方向（幅方向）の略中央に
は、一対の有底孔１１，１１が形成してあり、各有底孔
１１内には、永久磁石やヨークからなる一対の磁石部１
２，１２が収納してある。
【００２１】この磁石部１２は、永久磁石等によりガイ
ドレール１３に対して磁気吸引力を発生して、パッド１
０をガイドレール１３に接近させるようになっている。
また、このように、有底孔１１に磁石部１２が収納して
あるため、外部からの磁性粉等の浸入を防止することが
できる。
ドレール１３に対して磁気吸引力を発生して、パッド１
０をガイドレール１３に接近させるようになっている。
また、このように、有底孔１１に磁石部１２が収納して
あるため、外部からの磁性粉等の浸入を防止することが
できる。
【００２２】また、有底孔１１の底部には、スペーサ１
４が設けてあり、これにより、磁石部１２とガイドレー
ル１３との間の隙間を調整して、磁気吸引力の調整が容
易に行えるようになっている。
４が設けてあり、これにより、磁石部１２とガイドレー
ル１３との間の隙間を調整して、磁気吸引力の調整が容
易に行えるようになっている。
【００２３】パッド１０の進行方向に直角方向（幅方
向）の両脇部には、多孔質からなる空気軸受部１５，１
５が設けてある。この空気軸受部１５は、ガイドレール
１３に圧縮空気を噴出してパッド１０を非接触で支持す
るようになっている。
向）の両脇部には、多孔質からなる空気軸受部１５，１
５が設けてある。この空気軸受部１５は、ガイドレール
１３に圧縮空気を噴出してパッド１０を非接触で支持す
るようになっている。
【００２４】ガイドレール１３は、磁気吸引力を得るた
め磁性材で形成するが、母材をアルミニウム合金、セラ
ミックス、石などの非磁性材で形成する一方、磁気吸引
に必要な箇所のみを磁性材により形成して、ボルト固定
や接着固定により別部品としてもよい。
め磁性材で形成するが、母材をアルミニウム合金、セラ
ミックス、石などの非磁性材で形成する一方、磁気吸引
に必要な箇所のみを磁性材により形成して、ボルト固定
や接着固定により別部品としてもよい。
【００２５】このように構成した２個の静圧気体軸受装
置（パッド）をＬ字型に組み合わせて、図２に示すよう
に、ガイドレール１３の上面と側面に配置すれば、静圧
直線案内装置を構成することができる。これにより、Ｌ
字型に構成した上パッド１０ａと横パッド１０ｂがガイ
ドレール１３の上面と側面に対して、非接触で浮上して
移動することができる。
置（パッド）をＬ字型に組み合わせて、図２に示すよう
に、ガイドレール１３の上面と側面に配置すれば、静圧
直線案内装置を構成することができる。これにより、Ｌ
字型に構成した上パッド１０ａと横パッド１０ｂがガイ
ドレール１３の上面と側面に対して、非接触で浮上して
移動することができる。
【００２６】なお、ガイドレール１３は、軸受面となる
上面と側面、および取付面となる底面の合計３つの面の
加工精度を良好にするだけでよく、対向する面の平行度
を考慮する必要がないため、部品点数も削減でき、コス
トを低減することができる。
上面と側面、および取付面となる底面の合計３つの面の
加工精度を良好にするだけでよく、対向する面の平行度
を考慮する必要がないため、部品点数も削減でき、コス
トを低減することができる。
【００２７】以上のように、本実施の形態では、磁石部
１２をパッド１０の幅方向略中央に配置すると共に、空
気軸受部１５をその両側に配置しているため、圧縮空気
の噴出と磁気吸引力の発生とを同一平面に構成すること
ができ、小型化および軽量化を図ることができる。
１２をパッド１０の幅方向略中央に配置すると共に、空
気軸受部１５をその両側に配置しているため、圧縮空気
の噴出と磁気吸引力の発生とを同一平面に構成すること
ができ、小型化および軽量化を図ることができる。
【００２８】また、磁石部１２をパッド１０の幅方向略
中央に配置すると共に、空気軸受部１５をその両側に配
置することにより、磁石部１２と空気軸受部１５を比較
的近接して配置し、圧縮空気の噴出と磁気吸引力の発生
とを比較的近い位置で行えるようにしている。そのた
め、パッド１０内でのせん断応力によるモーメントの発
生を極めて少なくすることができ、このパッド１０の変
形の虞れを殆どなくすことができる。
中央に配置すると共に、空気軸受部１５をその両側に配
置することにより、磁石部１２と空気軸受部１５を比較
的近接して配置し、圧縮空気の噴出と磁気吸引力の発生
とを比較的近い位置で行えるようにしている。そのた
め、パッド１０内でのせん断応力によるモーメントの発
生を極めて少なくすることができ、このパッド１０の変
形の虞れを殆どなくすことができる。
【００２９】さらに、磁石部１２をパッド１０の幅方向
略中央に配置すると共に、空気軸受部１５をその両側に
配置して、両者を比較的近接して配置しているため、外
部からパッド１０にモーメント負荷が加えられて、パッ
ド１０が揺動する場合であっても、磁石部１２とガイド
レール１３との間の隙間は殆ど変動することがない。そ
のため、磁石部１２とガイドレール１３との間の隙間
で、磁気吸引力が急激に増大することもなく、負荷能力
が低減するといったこともなく、外部からのモーメント
負荷の影響を殆ど受けることがない。
略中央に配置すると共に、空気軸受部１５をその両側に
配置して、両者を比較的近接して配置しているため、外
部からパッド１０にモーメント負荷が加えられて、パッ
ド１０が揺動する場合であっても、磁石部１２とガイド
レール１３との間の隙間は殆ど変動することがない。そ
のため、磁石部１２とガイドレール１３との間の隙間
で、磁気吸引力が急激に増大することもなく、負荷能力
が低減するといったこともなく、外部からのモーメント
負荷の影響を殆ど受けることがない。
【００３０】さらに、磁石部１２をパッド１０の幅方向
略中央に配置すると共に、空気軸受部１５をその両側に
配置しているため、磁性体の塵芥等が磁石部１２の永久
磁石等に付着するといったことを効果的に防止できる。
略中央に配置すると共に、空気軸受部１５をその両側に
配置しているため、磁性体の塵芥等が磁石部１２の永久
磁石等に付着するといったことを効果的に防止できる。
【００３１】次に、図３（ａ）は、本発明の第２実施の
形態に係る静圧直線案内装置の側面図であり、図３
（ｂ）は、図３（ａ）に示した静圧直線案内装置の正面
図である。
形態に係る静圧直線案内装置の側面図であり、図３
（ｂ）は、図３（ａ）に示した静圧直線案内装置の正面
図である。
【００３２】本第２実施の形態では、Ｖ字状のガイドレ
ール１６の上部に、三角形状のテーブル１７が摺動自在
に設けてあり、これらガイドレール１６と、テーブル１
７との間に、２個の静圧気体軸受装置（パッド）１０，
１０が介装してある。なお、テーブルをＶ字状に形成
し、ガイドレールを三角形状に形成してもよい。
ール１６の上部に、三角形状のテーブル１７が摺動自在
に設けてあり、これらガイドレール１６と、テーブル１
７との間に、２個の静圧気体軸受装置（パッド）１０，
１０が介装してある。なお、テーブルをＶ字状に形成
し、ガイドレールを三角形状に形成してもよい。
【００３３】このように、本実施の形態においても、圧
縮空気の噴出と磁気吸引力の発生とを同一平面に構成す
ることができ、小型化および軽量化を図ることができ
る。また、パッド１０内でのせん断応力によるモーメン
トの発生を極めて少なくすることができ、このパッド１
０の変形の虞れを殆どなくすことができる。さらに、外
部からのモーメント負荷の影響を殆ど受けることがな
い。さらに、磁性体の塵芥等が磁石部１２の永久磁石等
に付着するといったことを効果的に防止できる。
縮空気の噴出と磁気吸引力の発生とを同一平面に構成す
ることができ、小型化および軽量化を図ることができ
る。また、パッド１０内でのせん断応力によるモーメン
トの発生を極めて少なくすることができ、このパッド１
０の変形の虞れを殆どなくすことができる。さらに、外
部からのモーメント負荷の影響を殆ど受けることがな
い。さらに、磁性体の塵芥等が磁石部１２の永久磁石等
に付着するといったことを効果的に防止できる。
【００３４】なお、本発明は、上述した実施の形態に限
定されず、種々変形可能である。
定されず、種々変形可能である。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
磁石部を可動体の略中央に配置すると共に、空気軸受部
をその両側に配置しているため、圧縮空気の噴出と磁気
吸引力の発生とを同一平面に構成することができ、小型
化および軽量化を図ることができる。
磁石部を可動体の略中央に配置すると共に、空気軸受部
をその両側に配置しているため、圧縮空気の噴出と磁気
吸引力の発生とを同一平面に構成することができ、小型
化および軽量化を図ることができる。
【００３６】また、磁石部を可動体の略中央に配置する
と共に、空気軸受部をその両側に配置することにより、
磁石部と空気軸受部を比較的近接して配置し、圧縮空気
の噴出と磁気吸引力の発生とを比較的近い位置で行える
ようにしている。そのため、可動体内でのせん断応力に
よるモーメントの発生を極めて少なくすることができ、
この可動体の変形の虞れを殆どなくすことができる。
と共に、空気軸受部をその両側に配置することにより、
磁石部と空気軸受部を比較的近接して配置し、圧縮空気
の噴出と磁気吸引力の発生とを比較的近い位置で行える
ようにしている。そのため、可動体内でのせん断応力に
よるモーメントの発生を極めて少なくすることができ、
この可動体の変形の虞れを殆どなくすことができる。
【００３７】さらに、磁石部を可動体の略中央に配置す
ると共に、空気軸受部をその両側に配置して、両者を比
較的近接して配置しているため、外部から可動体にモー
メント負荷が加えられて、可動体が揺動する場合であっ
ても、磁石部と基台との間の隙間は殆ど変動することが
ない。そのため、磁石部と基台との間の隙間で、磁気吸
引力が急激に増大することもなく、負荷能力が低減する
といったこともなく、外部からのモーメント負荷の影響
を殆ど受けることがない。
ると共に、空気軸受部をその両側に配置して、両者を比
較的近接して配置しているため、外部から可動体にモー
メント負荷が加えられて、可動体が揺動する場合であっ
ても、磁石部と基台との間の隙間は殆ど変動することが
ない。そのため、磁石部と基台との間の隙間で、磁気吸
引力が急激に増大することもなく、負荷能力が低減する
といったこともなく、外部からのモーメント負荷の影響
を殆ど受けることがない。
【００３８】さらに、磁石部を可動体の略中央に配置す
ると共に、空気軸受部をその両側に配置しているため、
磁性体の塵芥等が磁石部の永久磁石等に付着するといっ
たことを効果的に防止できる。
ると共に、空気軸受部をその両側に配置しているため、
磁性体の塵芥等が磁石部の永久磁石等に付着するといっ
たことを効果的に防止できる。
【図１】（ａ）は、本発明の第１実施の形態に係る静圧
直線案内装置の静圧気体軸受装置（パッド）の側面図で
あり、（ｂ）は、（ａ）に示した静圧気体軸受装置（パ
ッド）の平面図。
直線案内装置の静圧気体軸受装置（パッド）の側面図で
あり、（ｂ）は、（ａ）に示した静圧気体軸受装置（パ
ッド）の平面図。
【図２】（ａ）は、本発明の第１実施の形態に係る静圧
直線案内装置の側面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示し
た静圧直線案内装置の正面図。
直線案内装置の側面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示し
た静圧直線案内装置の正面図。
【図３】（ａ）は、本発明の第２実施の形態に係る静圧
直線案内装置の側面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示し
た静圧直線案内装置の正面図。
直線案内装置の側面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示し
た静圧直線案内装置の正面図。
【図４】従来に係る静圧直線案内装置の正面図。
１０ 静圧気体軸受装置（パッド、可動体） １１ 有底孔 １２ 磁石部 １３ ガイドレール（基台） １４ スペーサ １５ 空気軸受部 １６ Ｖ字状のガイドレール １７ 三角形状のテーブル
Claims (1)
- 【請求項１】磁性材製の基台に対して圧縮空気を噴出し
て可動体を非接触で支持する空気軸受部と、磁気吸引力
により前記可動体を磁性材製の前記基台に接近させる磁
石部とを前記可動体側に備え、前記空気軸受部の圧縮空
気による浮上力と、前記磁石部による磁気吸引力とをバ
ランスして、前記可動体を前記基台に対して非接触で浮
上して移動するための静圧直線案内装置において、 前記磁石部を前記可動体の略中央に配置すると共に、前
記空気軸受部をその両側に配置したことを特徴とする静
圧直線案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22296499A JP4215899B2 (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | 静圧直線案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22296499A JP4215899B2 (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | 静圧直線案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001050271A true JP2001050271A (ja) | 2001-02-23 |
| JP4215899B2 JP4215899B2 (ja) | 2009-01-28 |
Family
ID=16790653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22296499A Expired - Lifetime JP4215899B2 (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | 静圧直線案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4215899B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10120553A1 (de) * | 2001-04-26 | 2002-10-31 | Werth Messtechnik Gmbh | Lagerung für insbesondere ein Koordinatenmessgerät |
| JP2005240825A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Oiles Ind Co Ltd | 静圧気体直動軸受機構 |
| JP2012127415A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Nsk Ltd | 静圧気体軸受直線案内装置 |
| JP2022079260A (ja) * | 2020-11-16 | 2022-05-26 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
| CN115165699A (zh) * | 2022-06-08 | 2022-10-11 | 三峡大学 | 一种多角度可视化测量磁性砂浆封堵岩石裂隙渗流效果的装置及方法 |
-
1999
- 1999-08-05 JP JP22296499A patent/JP4215899B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10120553A1 (de) * | 2001-04-26 | 2002-10-31 | Werth Messtechnik Gmbh | Lagerung für insbesondere ein Koordinatenmessgerät |
| US6960855B2 (en) | 2001-04-26 | 2005-11-01 | Werth Messtechnik Gmbh | Bearing for a measuring instrument, particularly a coordinate measuring instrument |
| JP2005240825A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Oiles Ind Co Ltd | 静圧気体直動軸受機構 |
| JP2012127415A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Nsk Ltd | 静圧気体軸受直線案内装置 |
| JP2022079260A (ja) * | 2020-11-16 | 2022-05-26 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
| JP7600631B2 (ja) | 2020-11-16 | 2024-12-17 | 日本精工株式会社 | テーブル装置 |
| CN115165699A (zh) * | 2022-06-08 | 2022-10-11 | 三峡大学 | 一种多角度可视化测量磁性砂浆封堵岩石裂隙渗流效果的装置及方法 |
| CN115165699B (zh) * | 2022-06-08 | 2023-08-25 | 三峡大学 | 一种多角度可视化测量磁性砂浆封堵岩石裂隙渗流效果的装置及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4215899B2 (ja) | 2009-01-28 |
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Legal Events
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