JP2001033343A - 漏洩試験方法および漏洩試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 他の被検体からのトレーサガスの影響を受け
ることなく、漏れの判定を行いながら、真空チャンバー
内の被検体を他の被検体に交換できるようにする。 【解決手段】 本発明の漏洩試験方法は、トレーサガス
が充填された被検体Ｘを真空チャンバ１０内に収納する
収納工程と、真空チャンバ１０内を真空ポンプ２０によ
り真空にする真空工程と、真空チャンバ２０内が予め設
定された所定の真空度に達したら真空チャンバ１０と真
空ポンプ２０との間に形成された隔室３０と真空ポンプ
２０との間の連通を遮断するとともに、隔室３０とガス
検出器４０との間を連通させて被検体Ｘから漏れ出たト
レーサガスをガス検出器４０に連通させる連通工程と、
真空チャンバ１０と隔室３０との間を遮断する遮断工程
と、真空チャンバ１０内を大気に連通させるとともに、
被検体Ｘを他の被検体に交換する交換工程とを備えるよ
うにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被検体内にトレー
サガス（Ｈｅガス等）を導入し、このトレーサガスの漏
れの有無又は許容限度以上の漏れがあるか否かを判定す
る漏洩試験方法及び漏洩試験装置に係わり、特に、トレ
ーサガスの漏れの判定を行いながら他の被検体に交換で
きる漏洩試験方法および漏洩試験装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ドラム缶、エアコン室外機、
コンプレッサ、アルミホイール、自動車用燃料タンクな
どの各種被検体の溶接箇所や壁面にある微少な孔や亀裂
等を検出するために、これらの各種被検体にトレーサガ
スを充填し、この被検体から漏れ出たトレーサガスを検
出するトレーサガス検査法が知られている。

【０００３】この種のトレーサガス検査法は、例えば図
２に示すように、気密に密閉された真空チャンバ６０に
電磁バルブＶ１および配管Ｐ１を通して導通可能に真空
ポンプ６１を接続し、電磁バルブＶ２および配管Ｐ２を
通して導通可能にガス検出器（ディテクタ）６２を接続
して漏洩試験装置を構成し、予めトレーサガスが充填さ
れた被検体（以下、この被検体をワークという）Ｘをこ
のチャンバ６０内に配置する。

【０００４】この後、電磁バルブＶ１を開にして真空チ
ャンバ６０内に残存する空気を排気し、この真空チャン
バ６０内を真空状態にすると、ワークＸに漏洩箇所があ
る場合には、ワークＸ内に封入されたＨｅガスがチャン
バ６０内に漏れ出し、漏れ出したＨｅガスは電磁バルブ
Ｖ２および配管Ｐ２を通してディテクタ６２内に流入し
て、ディテクタ６２によりＨｅガスが検出される。この
方法によれば、ワークＸの全体のリークの有無を検出で
き、ワークＸ全体のリーク量の判定を行うことができ
る。なお、真空チャンバ６０内は電磁バルブＶ３および
配管Ｐ３を通して大気中に導通可能に接続されており、
試験終了後に電磁バルブＶ３を開にして真空チャンバ６
０内の真空状態が解除される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たようなトレーサガス検査法にあっては、ワークＸを収
納する真空チャンバ６０とガス検出器（ディテクタ）６
２とが連通しているため、検査が終了するまでワークＸ
を真空チャンバ６０から取り出すことができず、検査終
了までに長時間を要して、検査効率が悪いという問題を
生じた。そこで、本発明は上記問題点を解消するべくな
されたものであって、真空チャンバー内に収容した被検
体からのトレーサガスの漏れの判定を行いながら、真空
チャンバー内に収容した被検体を他の被検体に交換でき
るようにすることを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段およびその作用・効果】上
記課題を解決するため、本発明の漏洩試験方法は、トレ
ーサガスが充填された被検体を真空チャンバ内に収納す
る収納工程と、真空チャンバ内を被検体よりも減圧にす
る減圧工程と、真空チャンバ内が予め設定された所定の
圧力に達したら真空チャンバと真空ポンプとの間に形成
された隔室と真空ポンプとの間の連通を遮断するととも
に、隔室とガス検出器との間を連通させて被検体から漏
れ出たトレーサガスをガス検出器に連通させる連通工程
と、真空チャンバと隔室との間を遮断する遮断工程と、
被検体を他の被検体に交換する交換工程とを備えるよう
にしている。

【０００７】これにより、減圧工程において被検体より
も減圧にされた真空チャンバと被検体との差圧に基づい
て被検体内に充填されたトレーサガスが真空チャンバ内
に漏洩し、この漏洩したトレーサガスは隔室に流入する
こととなる。ついで、連通工程により真空チャンバ内が
予め設定された所定の圧力に達したら、隔室と真空ポン
プとの間の連通は遮断される。これにより、隔室内に流
入したトレーサガスは他の経路の隔室内に流入すること
はない。また、連通工程により、隔室とガス検出器との
間が連通されると、隔室に流入したトレーサガスはガス
検出器内に流入するようになるので、ガス検出器はトレ
ーサガスの検出を開始する。

【０００８】ついで、遮断工程により真空チャンバと隔
室との間が遮断されて、ガス検出器がトレーサガスが漏
洩しているか否かあるいは許容限度以上の漏洩であるか
否かの判定を行っている間に、交換工程により真空チャ
ンバ内に収納された被検体を他の被検体に交換すること
ができるようになる。

【０００９】一方、本発明に係る漏洩試験装置において
は、真空チャンバ内に第１配管を介して接続されて真空
チャンバ内を被検体よりも減圧にする真空ポンプと、真
空チャンバと真空ポンプとの間に配設されて第１配管を
介して真空チャンバと真空ポンプとに接続された隔室
と、隔室に第２配管を介して接続されて隔室内に流入し
たトレーサガスを検出するガス検出器と、真空チャンバ
と隔室との間の第１配管に接続されて真空チャンバと隔
室とを連通させる第１バルブと、隔室と真空ポンプとの
間の第１配管に接続されて隔室と真空ポンプとを連通さ
せる第２バルブと、隔室とガス検出器との間の第２配管
に接続されて隔室とガス検出器とを連通させる第３バル
ブとを備えるようにしている。

【００１０】これにより、真空ポンプを駆動した後、第
１バルブと第２バルブとを開状態にすると、真空チャン
バ内は被検体よりも減圧状態となる。これにより、被検
体内と真空チャンバ内とで差圧が生じて被検体より真空
チャンバ内にトレーサガスが漏れ出るようになる。つい
で、真空チャンバ内が所定の圧力に達した後、第２バル
ブを閉状態にするとともに第３バルブを開状態にする
と、真空チャンバ内とガス検出器内とが連通するように
なって、ガス検出器はトレーサガスの検出を開始する。
この後、第１バルブを閉状態にすると、真空チャンバ内
とガス検出器内とが遮断されるので、ガス検出器でトレ
ーサガスの検出を行いながら真空チャンバ内に収納され
た被検体を他の被検体に交換できるようになる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
１に基づいて詳細に説明するが、本発明はこの実施の形
態に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しな
い範囲において適宜変更して実施することが可能なもの
である。なお、図１は本発明の漏洩試験装置を模式的に
示すブロック図である。

【００１２】１．漏洩試験装置 本発明の漏洩試験装置は、トレーサガス（Ｈｅガス）が
充填された被検体（以下、この被検体をワークという）
Ｘを気密に収納する真空チャンバ１０と、この真空チャ
ンバ１０内をワークよりも減圧にする真空ポンプ２０
と、真空チャンバ１０と真空ポンプ２０との間に配設さ
れた隔室３０と、隔室３０内に流入したトレーサガスを
検出するガス検出器（ディテクタ）４０と、後述する各
配管Ｐ１〜Ｐ３および各電磁バルブＶ１〜Ｖ４と、真空
ポンプ２０の駆動、停止を制御するとともに、各電磁バ
ルブＶ１〜Ｖ４の開閉等を制御する制御装置５０とから
構成されている。

【００１３】そして、真空チャンバ１０と真空ポンプ２
０とは隔室３０を介して第１配管Ｐ１が接続されてお
り、真空チャンバ１０と隔室３０との間の第１配管Ｐ１
には第１電磁バルブＶ１が接続されており、隔室３０と
真空ポンプ２０との間の第１配管Ｐ１には第２電磁バル
ブＶ２が接続されている。また、隔室３０とガス検出器
（ディテクタ）４０との間には第２配管Ｐ２が接続され
ており、この第２配管Ｐ２には第３電磁バルブＶ３が接
続されている。さらに、真空チャンバ１０には第３配管
Ｐ３が接続されており、この第３配管Ｐ３には第４電磁
バルブＶ４が接続されている。

【００１４】真空チャンバ１０は、図示しない固定箱
と、この固定箱に対して上下方向に移動可能な可動蓋と
から構成され、この可動蓋上にワークＸを載置した後、
可動蓋駆動装置により駆動された可動蓋が上方に移動し
て固定箱の下端部に達した際に、固定箱の下端部と可動
蓋とが密閉化されるように構成されている。なお、真空
チャンバ１０内には、真空チャンバ１０内の圧力を測定
する圧力計が配設されており、この圧力計の測定値は制
御装置５０に入力されるようになされている。

【００１５】真空ポンプ２０は、駆動状態で第１電磁バ
ルブＶ１および第２電磁バルブＶ２が開状態になると、
第１配管Ｐ１および隔室３０を介して真空チャンバ１０
内に連通して、真空チャンバ１０内に存在する空気を排
気して、ワークＸ内より圧力が低い所定の圧力（例え
ば、１トール以下）になるまで真空チャンバ１０内を減
圧状態にする。真空チャンバ１０内がワークＸ内より圧
力が低い減圧状態になると、この真空チャンバ１０内に
収納されたワークＸ内に充填されたトレーサガス（Ｈｅ
ガス）が真空チャンバ１０内に漏れ出すようになる。

【００１６】隔室３０は、真空チャンバ１０内が所定の
圧力に達した後、第１電磁バルブＶ１を閉状態にするこ
とにより、真空チャンバ１０内と隔室３０内とを遮断状
態とすることにより、真空チャンバ１０内に収納された
ワークＸを他の被検体に交換しても、ディテクタ４０で
トレーサガス（Ｈｅガス）の検出ができるようにするた
めに設けられている。また、第２電磁バルブＶ２を閉状
態にすることにより、真空ポンプ２０に接続された第１
配管Ｖ１に連通する第４配管Ｖ４を介して接続される他
の経路に隔室３０内に流入したトレーサガス（Ｈｅガ
ス）が流出しないために設けられている。

【００１７】ディテクタ４０は、第３電磁バルブＶ３が
開状態になると、隔室３０内に流入したトレーサガス
（Ｈｅガス）の検出量を第２配管Ｐ２を通して検出し、
これを電気信号に変換して、その検出信号を制御装置５
０の判定部に出力する。これにより、ワークＸからトレ
ーサガスが漏洩しているか否か、あるいは許容限度以上
の漏洩であるか否かの測定を行うことができるようにな
る。

【００１８】制御装置５０は演算処理部と記憶部と入出
力部等とから構成され、記憶部に記憶されたプログラム
基づいて演算処理を行うものである。これにより、例え
ば、真空チャンバ１０の可動蓋を移動させる図示しない
可動蓋駆動装置に駆動信号を送出すると、可動蓋駆動装
置のサーボモータは駆動して可動蓋を予め設定された所
定量だけ移動させて、所定位置にて停止する。また、真
空ポンプ２０に駆動信号を送出すると真空ポンプ２０は
駆動し、停止信号を送出すると真空ポンプ２０の駆動は
停止する。真空チャンバ１０内が所定の圧力に達すると
制御装置５０は第２電磁バルブＶ２に閉信号を送出し
て、第２電磁バルブＶ２を閉状態にするとともに、第３
電磁バルブＶ３に開信号を送出して、第３電磁バルブＶ
３を開状態にする。

【００１９】また、制御装置５０は各電磁バルブＶ１，
Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４に開信号あるいは閉信号を送出して、
各電磁バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４は開状態あるいは
閉状態とする。さらに、ディテクタ４０に検出開始信号
を送出すると、ディテクタ４０はトレーサガス（Ｈｅガ
ス）の検出を開始する。一方、ディテクタ４０がトレー
サガス（Ｈｅガス）を検出すると、制御装置５０はこの
検出信号を受信して、制御装置５０の判定部はワークＸ
からトレーサガスが漏洩しているか否か、あるいは許容
限度以上の漏洩であるか否かの判定を行う。

【００２０】２．漏洩試験方法 次に、上述のように構成された漏洩試験装置を使用して
ワークの漏洩試験方法について説明する。 （１）被検体（ワーク）の準備 先ず、ワークに設けられた開口（図示せず）よりトレー
サガス（Ｈｅガス）を充填した後、開口に封止栓を嵌着
して、トレーサガス（Ｈｅガス）をワーク内に密封す
る。この場合、トレーサガス（Ｈｅガス）の充填圧力は
大気圧とほぼ同程度の圧力となっている。

【００２１】この後、ワークを真空チャンバ１０の可動
蓋上に載置した後、制御装置５０に設けられた開始スイ
ッチをオンにすると、制御装置５０は図示しない可動蓋
移動装置に駆動信号を送出する。すると、可動蓋移動装
置は駆動して、可動蓋を固定箱の下端部まで移動させて
停止させる。これにより、真空チャンバ１０内は気密に
なる。なお、開始スイッチをオンにすると、制御装置５
０は真空ポンプ２０に駆動信号を送出して真空ポンプ２
０を駆動させる。このとき、各電磁バルブＶ１，Ｖ２，
Ｖ３，Ｖ４は閉じられている。

【００２２】（２）漏洩試験 次に、制御装置５０は第１電磁バルブＶ１および第２電
磁バルブＶ２に開信号を送出して、第１電磁バルブＶ１
および第２電磁バルブＶ２を開状態にする。これによ
り、真空チャンバ１０内の空気は排気されて、真空チャ
ンバ１０内はワークＸよりも減圧状態となる。この結
果、真空チャンバ１０内とワークＸ内とで差圧を生じ
て、ワークＸ内に充填されたトレーサガス（Ｈｅガス）
は真空チャンバ１０内に漏れ出し、漏れ出したトレーサ
ガス（Ｈｅガス）は隔室３０内に流入することとなる。

【００２３】ついで、真空チャンバ１０内が所定の圧力
に達すると、真空チャンバ１０内に設けられた圧力計は
検出信号を制御装置５０に送出する。これにより、制御
装置５０は第２電磁バルブＶ２に閉信号を送出して、第
２電磁バルブＶ２を閉状態にするとともに、第３電磁バ
ルブＶ３に開信号を送出して、第３電磁バルブＶ３を開
状態にする。これにより、隔室３０内に流入したトレー
サガス（Ｈｅガス）はディテクタ４０内に流入し、ディ
テクタ４０はトレーサガス（Ｈｅガス）の検出を開始す
る。

【００２４】ついで、制御装置５０は第１電磁バルブＶ
１に閉信号を送出して、第１電磁バルブＶ１を閉状態に
する。これにより、隔室３０は真空チャンバ１０との連
通が遮断され、トレーサガス（Ｈｅガス）の検出を開始
したディテクタ４０は引き続いてトレーサガス（Ｈｅガ
ス）の検出動作を継続して、Ｈｅガスの検出量を電気信
号に変換し、その検出信号を制御装置５０の判定部に出
力する。これにより、ワークＸからトレーサガスが漏洩
しているか否か、あるいは許容限度以上の漏洩であるか
否かの判定を行うことができるようになる。また、真空
チャンバ１０は隔室３０との連通が遮断されているの
で、真空チャンバ１０内に検査すべき他の被検体を配置
することが可能となる。

【００２５】（３）真空チャンバ内に収納されたワーク
の交換 ディテクタ４０がトレーサガスが漏洩しているか否か、
あるいは許容限度以上の漏洩であるか否かの判定を行っ
ている間に、制御装置５０は第４電磁バルブＶ４に開信
号を送出して、第４電磁バルブＶ４を開状態にする。こ
れにより、真空チャンバ１０内は配管Ｐ３を介して大気
中に連通して、真空チャンバ１０内の真空状態は解除さ
れる。ついで、制御装置５０は図示しない可動蓋移動装
置に駆動信号を送出する。すると、可動蓋移動装置は駆
動して、ワークＸの上端が固定箱の下端より下方に位置
するまで移動蓋を下降させた後、所定位置に停止させ
る。ついで、ワークＸを移動蓋より取り出し、検査すべ
き他のワークと交換することができるようになる。

【００２６】ディテクタ４０がトレーサガスの検出を終
了すると、即ち、ディテクタ４０が検出信号を制御装置
５０の判定部に出力して、ワークＸからトレーサガスが
漏洩しているか否か、あるいは許容限度以上の漏洩であ
るか否かの判定を終了すると、制御装置５０は第３電磁
バルブＶ３に閉信号を送出して、第３電磁バルブＶ３を
閉状態にする。これにより、ディテクタ４０は交換され
たワークからのトレーサガスの検出の準備が完了するこ
ととなる。

【００２７】上述したように、本発明においては、ディ
テクタ４０がトレーサガス（Ｈｅガス）の検出量を検出
してトレーサガスが漏洩しているか否か、あるいは許容
限度以上の漏洩であるか否かの判定を行っている間に、
真空チャンバ１０は隔室３０との連通が遮断されている
ので、真空チャンバ１０内に検査すべき他のワークを配
置することが可能となる。このため、検査のためのサイ
クルタイムを短くすることが可能となる。

【００２８】なお、制御装置５０が第１電磁バルブＶ１
に閉信号を送出するタイミングを短くして、第１電磁バ
ルブＶ１を閉状態にする時間を速くすれば、ワークの交
換周期を速くすることが可能となり、逆に、制御装置５
０が第１電磁バルブＶ１に閉信号を送出するタイミング
を長くして、第１電磁バルブＶ１を閉状態にする時間を
長くすれば、ワークの交換周期を遅くすることが可能と
なる。

【００２９】また、ディテクタ４０がトレーサガス（Ｈ
ｅガス）の検出量を検出してトレーサガスが漏洩してい
るか否か、あるいは許容限度以上の漏洩であるか否かの
判定を行っている間は、第２電磁バルブＶ２は閉状態に
あるため、隔室３０と真空ポンプ２０との間は遮断状態
にある。このため、真空ポンプ２０が駆動状態であって
も、隔室３０に流入したトレーサガスは真空ポンプ２０
に吸引されることはなく、トレーサガスの分圧は高い状
態であるため、トレーサガスの検出感度を上昇させるこ
とが可能となる。

【００３０】さらに、ディテクタ４０がトレーサガス
（Ｈｅガス）の検出量を検出してトレーサガスが漏洩し
ているか否か、あるいは許容限度以上の漏洩であるか否
かの判定を行っている間は、第２電磁バルブＶ２は閉状
態にある。このため、図１に示すように、第１配管Ｐ１
に連通して接続された第４配管Ｐ４を介して図示しない
電磁バルブを接続し、この電磁バルブを通して他の真空
チャンバを接続するようにすれば、第１配管Ｐ１を通し
て連通された複数の真空チャンバ内の空気の吸引を行っ
ても、隔室３０と真空ポンプ２０との間は遮断状態にあ
るので、隔室３０内のトレーサガス（Ｈｅガス）の検出
量は他の真空チャンバ内のトレーサガス（Ｈｅガス）の
影響を受けることなく検出することができるようにな
る。

【００３１】この結果、１つの真空チャンバ内のトレー
サガス（Ｈｅガス）を検出を実行している間に他の真空
チャンバ内のワークの交換を平行して行うことが可能に
なるので、１台の真空ポンプ１０を使用して複数の真空
チャンバ内のトレーサガス（Ｈｅガス）の検出が可能と
なり、この種の漏洩試験システムを安価に構築すること
ができるようになる。なお、１台の真空ポンプ１０に対
して何個の真空チャンバを接続するかは、ワークの交換
時間と漏洩検査時間の長さに応じて、効率のよい個数と
なるように適宜選択するようにすればよい。

【００３２】なお、上述した実施の形態においては、隔
室３０を第１配管Ｐ１と別体に設ける例について説明し
たが、内径がトレーサガスを蓄積できる程度に太い第１
配管Ｐ１を用いる場合は、新たに隔室３０を設ける必要
がなく、第１電磁バルブＶ１と第２電磁バルブＶ２との
間で区画された第１配管Ｐ１内を隔室として使用するこ
とができる。また、上述した実施の形態においては、各
電磁バルブの開閉を制御装置により自動的に制御する例
について説明したが、各電磁バルブを手動により開閉す
るようにしてもよい。この場合、電磁バルブに代えて他
のバルブを用いるようにしてもよい。

【００３３】また、上述した実施の形態においては、被
検体（ワーク）Ｘ内のトレーサガスの充填圧力を大気圧
程度とし、チャンバ内や隔室内を真空ポンプで減圧にす
るようにしたが、被検体が高圧に耐えるものであれば、
被検体内のトレーサガスの充填圧力を大気圧より高くし
ておき、チャンバ内を真空ポンプなどで減圧せずに差圧
を発生させることで、チャンバ内に出てくるトレーサガ
スで漏洩試験を行うようにしてもよい。この場合は、漏
洩試験の都度、隔室にヘリウム以外の不活性ガス、例え
ばネオンガス、キセノンガスなどを流通させるようにし
てトレーサガスを洗浄するようにすればよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の漏洩試験装置を模式的に示すブロッ
ク図である。

【図２】 従来例の漏洩試験装置を模式的に示すブロッ
ク図である。

【符号の説明】

Ｘ…被検体（ワーク）、１０…真空チャンバ、２０…真
空ポンプ、３０…隔室、４０…ガス検出器（ディテク
タ）、５０…制御装置、Ｐ１…第１配管、Ｐ２…第２配
管、Ｐ３…第３配管、Ｖ１…第１電磁バルブ、Ｖ２…第
２電磁バルブ、Ｖ３…第３電磁バルブ、Ｖ４…第４電磁
バルブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久保田 一成 静岡県浜松市中沢町10番１号 ヤマハ株式 会社内 Ｆターム(参考） 2G067 BB31 BB38 CC11

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検体内に充填されたトレーサガスが同
   被検体より漏洩しているか否かあるいは許容限度以上の
   漏洩であるか否かの判定を行う漏洩試験方法であって、 前記トレーサガスが充填された被検体を真空チャンバ内
   に収納する収納工程と、 前記真空チャンバ内を真空ポンプにより前記被検体より
   も減圧にする減圧工程と、 前記真空チャンバ内が予め設定された所定の圧力に達し
   たら前記真空チャンバと前記真空ポンプとの間に形成さ
   れた隔室と前記真空ポンプとの間の連通を遮断するとと
   もに、前記隔室とガス検出器との間を連通させて前記被
   検体から漏れ出たトレーサガスを前記隔室を介して前記
   ガス検出器に連通させる連通工程と、 前記真空チャンバと前記隔室との間を遮断する遮断工程
   と、 前記被検体を他の被検体に交換する交換工程とを備える
   ようにしたことを特徴とする漏洩試験方法。
2. 【請求項２】 被検体内に充填されたトレーサガスが同
   被検体より漏洩しているか否かあるいは許容限度以上の
   漏洩であるか否かの判定を行う漏洩試験方法であって、 前記トレーサガスが充填された被検体をチャンバ内に収
   納する収納工程と、 前記チャンバ内に収納された前記被検体から漏れ出た前
   記トレーサガスを隔室を介してガス検出器に連通させる
   連通工程と、 前記チャンバと前記隔室との間を遮断する遮断工程と、 前記遮断工程で遮断された隔室内のトレーサガスを検出
   して前記判定を行う判定工程と、 前記被検体を他の被検体に交換する交換工程とを備える
   ようにしたことを特徴とする漏洩試験方法。
3. 【請求項３】 トレーサガスが充填された被検体を真空
   チャンバ内に気密に収納し、この真空チャンバ内に漏れ
   出た前記トレーサガスを検出する漏洩試験装置であっ
   て、 前記真空チャンバ内に第１配管を介して接続されて同真
   空チャンバ内を前記被検体よりも減圧にする真空ポンプ
   と、 前記真空チャンバと前記真空ポンプとの間に配設されて
   前記第１配管を介して前記真空チャンバと前記真空ポン
   プとに接続された隔室と、 前記隔室に第２配管を介して接続されて同隔室内に流入
   した前記トレーサガスを検出するガス検出器と、 前記真空チャンバと前記隔室との間の前記第１配管に接
   続されて前記真空チャンバと前記隔室とを連通させる第
   １バルブと、 前記隔室と前記真空ポンプとの間の前記第１配管に接続
   されて前記隔室と前記真空ポンプとを連通させる第２バ
   ルブと、 前記隔室と前記ガス検出器との間の前記第２配管に接続
   されて前記隔室と前記ガス検出器とを連通させる第３バ
   ルブとを備えたことを特徴とする漏洩試験装置。
4. 【請求項４】 前記真空ポンプが駆動状態で前記第１バ
   ルブと前記第２バルブとを開状態にして前記真空チャン
   バ内を前記被検体よりも減圧にした後、前記第２バルブ
   を閉状態にするとともに前記第３バルブを開状態にして
   前記ガス検出器での前記トレーサガスの検出を開始さ
   せ、ついで、前記第１バルブを閉状態にして前記ガス検
   出器で前記トレーサガスの検出を行うとともに、前記真
   空チャンバ内に収納された前記被検体を他の被検体に交
   換できるようにしたことを特徴とする請求項３に記載の
   漏洩試験装置。
5. 【請求項５】 トレーサガスが充填された被検体を気密
   に収納するチャンバと、このチャンバ内に漏れ出た前記
   トレーサガスを検出するガス検出器とを備えた漏洩試験
   装置であって、 前記ガス検出器と前記チャンバとの間に配設された隔室
   と、 前記隔室と前記チャンバとの間を遮断するバルブとを備
   え、 前記隔室に接続された前記ガス検出器は、前記バルブで
   前記チャンバに対して前記隔室を遮断した状態で前記ト
   レーサガスを検出して、前記被検体内に充填されたトレ
   ーサガスが同被検体より漏洩しているか否かあるいは許
   容限度以上の漏洩であるか否かの判定を行うようにした
   ことを特徴とする漏洩試験装置。