JP2001013682A

JP2001013682A - 感光性エレメント及びこれを用いたカラーフィルタの製造法

Info

Publication number: JP2001013682A
Application number: JP11185242A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Furubayashi; 寛巳古林; Hiroshi Yamazaki; 宏山崎
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1999-06-30
Filing date: 1999-06-30
Publication date: 2001-01-19

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】クッション層への感光性樹脂組成物層中の光
重合性化合物及び光重合開始剤の移行を抑制でき、感度
変動が少なく、段差が少なく、高精度のパターン生産性
よく製造でき、カラーフィルターの製造に極めて好適な
感光性エレメント並びにこれを用いたカラーフィルタの
製造法の提供。【解決手段】支持体フィルム、クッション層及び感光
性樹脂組成物層を順次積層してなる感光性エレメントに
おいて、クッション層中にアルキル基を有するフッ素系
化合物又はアルキル基を有するシリコン系化合物を含有
させてなる感光性エレメント並びにこの感光性エレメン
トを感光性樹脂組成物層が、透明基板上に接するように
貼り合わせる工程、支持体フィルム及びクッション層を
剥離する工程並びに感光性樹脂組成物層をパターン状に
露光、現像する工程を含む工程を繰り返すことにより、
多色のパターンを形成することを特徴とするカラーフィ
ルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性エレメント
及びこれを用いたカラーフィルタの製造法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶カラーテレビ、液晶カラー表
示のコンピュータ−などが実用化されているが、これら
の液晶表示装置は、透明電極を設けたガラス等の透明な
基板を１〜１０μｍ程度の間隔をもうけて、その間に液
晶物質を封入し、電極間の印加した電圧により液晶物質
を配向しその濃淡により表示する仕組になっている。さ
らに、カラー表示のため、ガラスなどの光学的に透明な
基板の表面に２種以上の色相を異にする極めて微細なス
トライプ状又はモザイク状のパターンを一定間隔に開け
て、平行又は交差して並べたカラーフィルタを設置して
いる。

【０００３】カラーフィルタは、通常、透明基板、着色
パターン、保護膜、透明電極の順に形成されている。着
色パターンは２種以上の色相を異にする極めて微細なス
トライプ状又はモザイク状のパターンからなるものであ
る。これらのパターンは色相を所定の順序に所定の間隔
をおいて整然と配置し、しかも厚さむらの少ない均一な
層とする必要があり、種々のカラーフィルターの製造法
が提案されている。例えばスクリーン印刷法では低コス
トのカラーフィルターの形成が可能である。またフォト
リソグラフィ技術を用いる方法、すなわち、カラーフィ
ルター用基板上に形成された透明膜に、所定のネガマス
クを通して紫外線照射し、未露光部を除去したのち、防
染層を形成しながら染色する方法が有る。

【０００４】前記の方法の改良方法として、基板上に着
色した溶液状感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥した後、
露光・現像して一色のパターンを形成させ、該工程を他
の色についても同様に繰り返し行ってカラーフィルタを
形成する方法がある。また、現在プリント配線板製造時
のエッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダレジス
ト等に一般に使用されている支持体フィルム及び感光性
樹脂組成物層から成る感光性エレメントを使用した多色
の微細なストライプ状又はモザイク状のパターンを簡単
に高精度で形成できるカラーフィルターの製造法が知ら
れている。また、透明基板上に支持体フィルムと一色に
着色された感光性樹脂組成物層とから成る感光性エレメ
ントを、着色された感光性樹脂組成物層が基板に面する
ように貼り合わせる工程、露光して所定のパターンを形
成させる工程及び前記支持体フィルムを剥がして現像す
る工程を繰り返して多色パターンを形成させてカラーフ
ィルターが製造される。

【０００５】例えば、一つの色相着色剤を含む感光性樹
脂組成物層を透明支持体フィルムに塗布乾燥した感光性
エレメントの感光性樹脂組成物層を透明基板上に転写し
て、所定のパターンのマスクを介して露光・現像してパ
ターンを形成する方法（特開昭６１−９９１０２号公
報）が知られている。また、このフィルムに所定のパタ
ーンのマスクを介して露光・現像してパターンを形成し
たのちに、透明基板上に転写してカラーフィルターのパ
ターンを形成する方法（特開昭６１−９９１０３号公
報）及びこのフィルムを透明基板上に加熱圧着して、所
定のパターンのマスクを介して露光して、支持体フィル
ムを剥離し、現像して透明着色の画像パターンを形成す
る方法（特開昭６３−１８７２０３号公報）が知られて
いる。また、着色感光性樹脂組成物層の上にポリ酢酸ビ
ニル共重合体の接着体を構成した感光性エレメントを用
いて特開昭６３−１８７２０３号公報と同様の方法でカ
ラーフィルターのパターンを形成する方法（特開平２−
２４６２４号公報）が知られている。

【０００６】しかしながら、感光性エレメントを用いた
カラーフィルターの製造においては、多色の内２色目以
降を感光性エレメントのラミネート（積層）で形成する
ため、どうしても既に形成されてパターンが影響し表面
の段差が発生する問題がある。この段差は後工程の透明
樹脂から成るオーバーコート層の塗布むらやその後のス
パッタリングによるＩｎ₂Ｏ₃−ＳｎＯ₂系の電極形成不
良による高抵抗化の問題がある。また、直接に画像の荒
れとして現れることもある。この段差を低減するため
に、着色感光性樹脂組成物層と透明支持体の間に熱可塑
性の樹脂層を設け、ラミネート時の圧力と温度で平坦化
する方法（特開平４−２０８９４０号公報、特開平７−
２０３０９号公報）が提案されている。

【０００７】この方法では、着色感光性樹脂組成物層と
クッション層が密着しているため、クッション層の上に
定のパターンのマスクを介して露光しなければならな
く、著しい解像度不足を招く結果となっている。このた
め露光前に透明支持体フィルムと一緒にクッション層を
剥離する方法が提案されている。しかし、この方法で
は、透明支持体フィルムとクッション層を剥離する際に
着色感光性樹脂組成物層とクッション層の密着が強く、
着色感光性樹脂組成物層が透明基板上に残らない問題が
ある。

【０００８】また、クッション層と着色感光性樹脂組成
物層を積層した後にある種のクッション層は着色感光性
樹脂組成物層に含有する少なくとも２個のエチレン性不
飽和基を有する光重合性化合物及び光重合開始剤を吸収
することが分かった。これにより、着色感光性樹脂組成
物層中の少なくとも２個のエチレン性不飽和基を有する
光重合性化合物及び光重合開始剤の含有量が減少し、カ
ラーフィルタの製造工程において着色感光性樹脂組成物
層の感度が変動し、生産性が悪いことが問題になる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】請求項１記載の発明
は、クッション層への感光性樹脂組成物層中の光重合性
化合物及び光重合開始剤の移行を抑制でき、感度変動が
少なく、段差が少なく、高精度のパターンを工程中の各
層の剥離不良が低く、生産性よく製造でき、カラーフィ
ルターの製造に極めて好適な感光性エレメントを提供す
る。請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明の効果
を奏し、さらにラミネート後のクッション層と感光性樹
脂組成物層との剥離性が優れる感光性エレメントを提供
する。請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の発
明の効果を奏し、さらに分子の立体障害によるクッショ
ン層と感光性樹脂組成物層との間の物質の層間移行量が
低減する感光性エレメントを提供する。

【００１０】請求項４記載の発明は請求項１、２又は３
記載の発明の効果に加えて、さらに作業性、環境安全性
等が良好が優れる感光性エレメントを提供する。請求項
５記載の発明は、請求項１、２、３又は４記載の発明の
効果を奏し、さらにクッション層への感光性樹脂組成物
層中の光重合性化合物及び光重合開始剤の移行を抑制で
き、感度変動が少ない感光性エレメントを提供する。請
求項６記載の発明は、クッション層への感光性樹脂組成
物層中の光重合性化合物及び光重合開始剤の移行を抑制
でき、感度変動が少く、段差が小さく、高精度のパター
ンを生産性よく製造できるカラーフィルタの製造法を提
供する。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）支持体
フィルム、（ｂ）クッション層及び（ｃ）感光性樹脂組
成物層を順次積層してなる感光性エレメントにおいて、
（ｂ）クッション層中にアルキル基を有するフッ素系化
合物又はアルキル基を有するシリコン系化合物を含有さ
せてなる感光性エレメントに関する。また、本発明は、
（ｂ）クッション層中にアルキル基を有するフッ素系又
はシリコン系化合物を、クッション層の総量１００重量
部に対して、０．０５〜５重量部含有する前記感光性エ
レメントに関する。また、本発明は、アルキル基を有す
るフッ素系又はシリコン系化合物が、アルキル基を有す
るポリマー又はオリゴマーである前記感光性エレメント
に関する。

【００１２】また、本発明は、（ｃ）感光性樹脂組成物
層が、（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）少なくとも１
個のエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物（Ｃ）
光重合開始剤及び（Ｄ）顔料又は染料を含有してなる前
記感光性エレメントに関する。また、本発明は、（ｂ）
クッション層中にさらに（Ｂ）少なくとも１個のエチレ
ン性不飽和基を有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合
開始剤含有させてなる前記感光性エレメントに関する。
また、本発明は、前記感光性エレメントを（ｃ）感光性
樹脂組成物層が、透明基板上に接するように貼り合わせ
る工程、（ａ）支持体フィルム及び（ｂ）クッション層
を剥離する工程並びに（ｃ）感光性樹脂組成物層をパタ
ーン状に露光、現像する工程を含む工程を繰り返すこと
により、多色のパターンを形成することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造法に関する。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
なお、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸及びそれに
対応するメタクリル酸を意味し、（メタ）アクリレート
とは、アクリレート及びそれに対応するメタクリレート
を意味する。

【００１４】本発明の感光性エレメントにおける（ａ）
支持体フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフ
タレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステ
ル等の耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムが挙
げられ、ポリエステルフィルムであることが好ましい。
支持体フィルムの厚みは２〜１００μｍ程度であること
が好ましく、３０〜８０μｍであることがより好まし
い。この厚みが２μｍ未満であると工業的に塗工困難な
傾向があり、１００μｍを超える場合では本発明の効果
が小さく、また感度が不十分となり、レジスト底部の光
硬化性が悪化する傾向がある。例えば、帝人(株)製テト
ロンフィルム、デュポン社製マイラーフィルム等のポリ
エステルフィルムが挙げられる。

【００１５】また、本発明の感光性エレメントにおける
（ｂ）クッション層としては、一般的に熱可塑性樹脂を
用いることが好ましい。そのような熱可塑性樹脂として
は、例えば、ポリエチレン、エチレン酢酸ビニル共重合
体樹脂（ＥＶＡ）、エチレンエチルアクリレート共重合
体樹脂（ＥＥＡ）、エチレンメタアクリレート共重合体
樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、アイオノマー樹脂等が挙げ
られる。それらの中でも、クッション層と感光性樹脂組
成物層との接着力のバランスの見地からは、エチレン共
重合比が６０〜９０重量％のエチレン酢酸ビニル共重合
体樹脂又はエチレンエチルアクリレート共重合体樹脂が
好ましく、６０〜８０重量％のエチレン酢酸ビニル共重
合体樹脂又はエチレンエチルアクリレート共重合体樹脂
がより好ましく、６５〜８０重量％のエチレン酢酸ビニ
ル共重合体樹脂又はエチレンエチルアクリレート共重合
体樹脂が特に好ましい。

【００１６】本発明における（ｂ）クッション層におい
て、上記熱可塑性樹脂、（ｂ）クッション層の総量１０
０重量部に対して、７０〜９９重量部であることが好ま
しく、８０〜９９重量部であることがより好ましく、９
０〜９７重量部であることが特に好ましい。この配合量
が７０重量部未満ではべたつき及び剥離不良が発生する
傾向があり、９９重量部を超えるとクッション層と感光
性樹脂組成物層の間の物質の層間移行量が増加する傾向
がある。

【００１７】本発明における（ｂ）クッション層には、
アルキル基を有するフッ素系化合物又はアルキル基を有
するシリコン系化合物を含有させる必要がある。（ｂ）
クッション層と（ｃ）感光性樹脂組成物層の層間移行量
を低減させ、また、（ｂ）クッション層に（ｃ）感光性
樹脂組成物層を塗布する際の適切な濡れ性を確保し、さ
らにラミネート後の（ｃ）感光性樹脂組成物層から
（ｂ）クッション層を剥離する際に適切な各層の剥離特
性を得るという見地からは、アルキル基を有するフッ素
系化合物又はアルキル基を有するシリコン系化合物は、
ポリマー又はオリゴマーであることが好ましく、それら
高分子化合物をクッション層に添加又は共重合させるこ
とが好ましい。上記ポリマーの重量平均分子量は１０，
０００〜３００，０００程度であることが好ましく、上
記オリゴマーの重量平均分子量は２，０００〜１０，０
００程度であることが好ましい。

【００１８】上記アルキル基を有するフッ素系化合物又
はアルキル基を有するシリコン系化合物としては、例え
ば、東亜合成(株)製のＧＦ−３００、ＧＦ−１５０、Ｇ
Ｆ−３０、ＵＳ−２７０、ＵＳ−３５０、ＵＳ−３５
２、ＵＳ−３８０、ＵＳ−４１３、ＵＳ−４５０、ＧＰ
−３０１、ＧＰ−３０５、ＧＰ−５０５、ＧＰ−７０
５、ＦＣ−２７５、ＦＣ−５７５、ＦＣ−９７３、旭硝
子(株)製Ｓ−１１１、Ｓ−１１２、Ｓ−１１３、Ｓ−１
２１、Ｓ−１３１、Ｓ−１３２、Ｓ−１４１、Ｓ−１４
５、Ｓ−３８１、Ｓ−３８３、Ｓ−３９３、ＳＣ−１０
１、ＳＣ−１０５、ＫＨ−４０、ＳＡ−１００等が挙げ
られる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて
使用される。

【００１９】本発明における（ｂ）クッション層におい
て、アルキル基を有するフッ素系化合物又はアルキル基
を有するシリコン系化合物の配合量は、（ｂ）クッショ
ン層の総量１００重量部に対して、０．０５〜５重量部
であることが好ましく、０．０８〜３重量部であること
がより好ましい。この配合量が０．０５重量部未満では
表面改質剤の離型効果が安定しない傾向があり、５重量
部を超えると表面改質剤の添加量が過剰なために、表面
改質剤が（ｃ）感光性樹脂組成物層へ移行し、ラミネー
ト時に密着不良が生じる傾向がある。

【００２０】感光性樹脂組成物層中の光重合性化合物及
び光重合開始剤がクッション層へ移行するのを抑制する
見地からは、（Ｂ）少なくとも２個のエチレン性不飽和
基を有する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含
有させることが好ましい。また、クッション層の膜厚
は、５〜１００μｍであることが好ましく、１０〜６０
μｍであることがより好ましく、１５〜４０μｍである
ことが特に好ましい。この厚みが５μｍ未満では埋込性
が悪化する傾向があり、１００μｍを超えるとコストア
ップとなる傾向がある。

【００２１】上記（Ｂ）少なくとも２個のエチレン性不
飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば、多価
アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得
られる化合物、２，２−ビス（４−（ジ（メタ）アクリ
ロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、グリシジル
基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させで
得られる化合物、ウレタンモノマー、ノニルフェニルジ
オキシレン（メタ）アクリレート、γ−クロロ−β−ヒ
ドロキシプロピル−β′−（メタ）アクリロイルオキシ
エチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β′
−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレー
ト、β−ヒドロキシプロピル−β′−（メタ）アクリロ
イルオキシエチル−ｏ−フタレート、（メタ）アクリル
酸アルキルエステル等が挙げられる。

【００２２】上記多価アルコールにα，β−不飽和カル
ボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、
エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１
４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アク
リレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ（メ
タ）アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキ
シトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパン
テトラエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロ
ールプロパンペンタエトキシトリ（メタ）アクリレー
ト、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレー
ト、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレン
グリコールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリ
トールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサ（メタ）アクリレート、エトキシ化ペンタ
エリスリトールテトラアクリレート等が挙げられる。

【００２３】上記α，β−不飽和カルボン酸としては、
例えば、（メタ）アクリル酸等が拳げられる。上記２，
２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）
フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス
（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）
プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ
トリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４
−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）
プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ
デカエトキシ）フェニル）等が挙げられ、２，２−ビス
（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プ
ロパンは、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業(株)製、製
品名）として商業的に入手可能である。

【００２４】上記グリシジル基含有化合物としては、例
えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル
トリ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メ
タ）アクリロキシ−２−ヒドロキシ−プロピルオキシ）
フェニル等が拳げられる。上記ウレタンモノマーとして
は、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモ
ノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエ
ンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネー
ト、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等との付
加反応物、トリス（（メタ）アクリロキシテトラエチレ
ングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシア
ヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、
ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙
げられる。なお、ＥＯはエチレンオキサイドを示し、Ｅ
Ｏ変性された化合物はエチレンオキサイド基のブロック
構造を有する。また、ＰＯはプロピレンオキサイドを示
し、ＰＯ変性された化合物はプロピレンオキサイド基の
ブロック構造を有する。

【００２５】上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル
としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステ
ル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アク
リル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチル
ヘキシルエステル等が挙げられる。これらは単独で又は
２種類以上を組み合わせて使用される。

【００２６】前記（Ｃ）光重合開始剤としては、例え
ば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，
４′−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、
Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′−ジアミノベンゾフ
ェノン、４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフ
ェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４
−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−
１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリ
ノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン、２−エチルアン
トラキノン、フェナントレンキノン、２ーｔｅｒｔーブ
チルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、
１，２ーベンズアントラキノン、２，３ーベンズアント
ラキノン、２ーフェニルアントラキノン、２，３ージフ
ェニルアントラキノン、１ークロロアントラキノン、２
ーメチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，
１０−フェナンタラキノン、２−メチル１，４−ナフト
キノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン
類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエー
テル化合物、ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベ
ンゾイン等のベンゾイン化合物、ベンジルジメチルケタ
ール等のベンジル誘導体、２−（ｏ−クロロフェニル）
−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−
クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イ
ミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メ
トキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二
量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２，２−ビス（ｏ−クロロフ
ェニル）４，５，４′，５′−テトラフェニル−１，
２′−イミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリー
ルイミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，
７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアク
リジン誘導体、Ｎ−フェニルグリシン、クマリン系化合
物、２−ベンジル−２−ジアミノ−１−（４−モルフォ
リノフェニル）−ブタン−１−オン、２−メルカプトベ
ンゾフェノンなどが挙げられる。

【００２７】また、２，４，５−トリアリールイミダゾ
ール二量体において、２つの２，４，５−トリアリール
イミダゾールに置換した置換基は同一でも相違していて
もよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミ
ノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化
合物と３級アミン化合物とを組み合わせてもよい。ま
た、密着性及び感度の見地からは、２，４，５−トリア
リールイミダゾール二量体がより好ましい。これらは、
単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００２８】本発明における（ｂ）クッション層におい
て、（Ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物
の配合量は、（ｂ）クッション層の総量１００重量部に
対して、０．３〜３０重量部であることが好ましく、
０．３〜２０重量部であることがより好ましい。この配
合量が０．３重量部未満では、（ｃ）感光性樹脂組成物
層の感度の変動を制御できない傾向があり、３０重量部
を超えると、（ｂ）クッション層から、（ｃ）感光性樹
脂組成物層へ（Ｂ）成分が逆移行し、所望の感度よりも
感度が高くなり、（ｂ）クッション層が柔らかくなりす
ぎて、（ｃ）着色された感光性樹脂組成物層から剥離で
きなくなる傾向がある。なお、本発明における（ｂ）ク
ッション層に用いる（Ｂ）エチレン性不飽和基を有する
光重合性化合物は、後述する（ｃ）感光性樹脂組成物層
に用いることができる（Ｂ）エチレン性不飽和基を有す
る光重合性化合物と、同一でも相違していてもよいが、
（Ｂ）エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物が同
一であることが好ましい。

【００２９】本発明における（ｂ）クッション層におい
て、（Ｃ）光重合開始剤の配合量は、（ｂ）クッション
層の総量１００重量部に対して、１．０〜３０重量部で
あることが好ましく、１．０〜１５重量部であることが
より好ましい。この配合量が１．０重量部未満では、
（ｃ）感光性樹脂組成物層の感度の変動を制御できない
傾向があり、３０重量部を超えると、（ｂ）クッション
層から、（ｃ）感光性樹脂組成物層へ（Ｂ）成分が逆移
行し、所望の感度よりも感度が高くなりすぎる傾向があ
る。なお、本発明における（ｂ）クッション層に用いる
（Ｃ）光重合開始剤は、後述する（ｃ）感光性樹脂組成
物層に用いることができる（Ｃ）光重合開始剤と、同一
でも相違していてもよいが、（Ｃ）光重合開始剤が同一
であることが好ましい。

【００３０】また、本発明における（ｂ）クッション層
には、（ｃ）感光性樹脂組成物層からの剥離を用意にで
きる点から、ワックスを含有させることが好ましい。ま
た、クッション層の材料である熱可塑性樹脂、（Ｂ）少
なくとも２個のエチレン性不飽和基を有する光重合性化
合物、（Ｃ）光重合開始剤、アルキル基を有するフッ素
系又はシリコン系化合物等は、必要に応じて、メタノー
ル、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチ
ルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−
ジメチルホルムアミド等の溶剤又はこれらの混合溶剤に
溶解して塗布することができる。

【００３１】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
としては、紫外線により露光され、現像可能な樹脂であ
れば、特に制限はなく、例えば、（Ａ）バインダーポリ
マー、（Ｂ）少なくとも２個のエチレン性不飽和基を有
する光重合性化合物及び（Ｃ）光重合開始剤を含有して
なる感光性樹脂組成物の層などが挙げられる。アルカリ
現像性の見地からは（Ａ）バインダーポリマーがカルボ
キシル基を有することが好ましい。作業性、カラーフィ
ルター製造ヘの適用性等の見地からは、（Ｄ）顔料又は
染料及び（Ｅ）硫酸バリウム系体質顔料を含有するもの
であることが好ましい。また、プラズマディスプレイパ
ネル等における蛍光パターンを製造する場合は、（ｃ）
感光性樹脂組成物層は、（Ｄ）顔料又は染料の代わりに
（Ｅ）蛍光体を含有してなることが好ましい。

【００３２】本発明における（Ａ）成分であるバインダ
ーポリマーとしては、例えば、アクリル系樹脂、スチレ
ン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポ
キシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂等が挙
げられる。アルカリ現像性の見地からは、アクリル系樹
脂が好ましい。これらは単独で又は２種以上を組み合わ
せて用いることができる。

【００３３】本発明における（Ａ）成分のバインダーポ
リマーは、例えば、重合性単量体をラジカル重合させる
ことにより製造することができる。上記重合性単量体と
しては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチ
ルスチレン等のα−位若しくは芳香族環において置換さ
れている重合可能なスチレン誘導体、ジアセトンアクリ
ルアミド等のアクリルアミド、アクリロニトリル、ビニ
ル−ｎ−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステ
ル類、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）
アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）
アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）ア
クリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アク
リル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロ
エチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラ
フルオロプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アク
リル酸、α−ブロモ（メタ）アクリル酸、α−クロル
（メタ）アクリル酸、β−フリル（メタ）アクリル酸、
β−スチリル（メタ）アクリル酸、マレイン酸、マレイ
ン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエ
チル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸モノ
エステル、フマール酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮
酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸、（メ
タ）アクリル酸メチル、グリシジル（メタ）アクリレー
トなどが挙げられる。

【００３４】上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル
としては、例えば、一般式（Ｉ）

【化１】（式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ²は炭素
数１〜１２のアルキル基を示す）で表される化合物、こ
れらの化合物のアルキル基に水酸基、エポキシ基、ハロ
ゲン基等が置換した化合物などが挙げられる。上記一般
式（Ｉ）中のＲ²で示される炭素数１〜１２のアルキル
基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル
基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、
オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデ
シル基及びこれらの構造異性体が挙げられる。

【００３５】上記一般式（Ｉ）で表される単量体として
は、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メ
タ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸プ
ロピルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、
（メタ）アクリル酸ペンチルエステル、（メタ）アクリ
ル酸ヘキシルエステル、（メタ）アクリル酸ヘプチルエ
ステル、（メタ）アクリル酸オクチルエステル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、（メタ）
アクリル酸ノニルエステル、（メタ）アクリル酸デシル
エステル、（メタ）アクリル酸ウンデシルエステル、
（メタ）アクリル酸ドデシルエステル、等が挙げられ
る。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いる
ことができる。

【００３６】また、本発明における（Ａ）成分であるバ
インダーポリマーは、アルカリ現像性の見地から、カル
ボキシル基を含有させることが好ましく、例えば、カル
ボキシル基を有する重合性単量体とその他の重合性単量
体をラジカル重合させることにより製造することができ
る。また、本発明における（Ａ）成分であるバインダー
ポリマーは、可とう性の見地からスチレン又はスチレン
誘導体を重合性単量体として含有させることが好まし
い。これらのバインダーポリマーは、単独で又は２種類
以上を組み合わせて使用される。

【００３７】本発明における（Ａ）バインダーポリマー
の重量平均分子量は、２０，０００〜３００，０００と
することが好ましく、３０，０００〜２００，０００で
あることがより好ましい。この重量平均分子量が、２
０，０００未満では、耐現像液性が低下する傾向があ
り、３００，０００を超えると、現像時間が長くなる傾
向がある。なお、本発明における重量平均分子量は、ゲ
ルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定し、
標準ポリスチレン換算したものである。

【００３８】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
に使用できる（Ｂ）少なくとも２個のエチレン性不飽和
基を有する光重合性化合物としては、例えば、前述した
（ｂ）クッション層に使用できる（Ｂ）エチレン性不飽
和基を有する光重合性化合物等が挙げられ、これらは単
独又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００３９】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
に使用できる（Ｃ）光重合開始剤としては、例えば、前
述した（ｂ）クッション層に使用できる（Ｃ）光重合開
始剤等が挙げられ、これらは単独又は２種類以上を組み
合わせて使用される。

【００４０】本発明における（Ｄ）顔料又は染料として
は、特に制限なく、公知の着色剤を使用することがで
き、例えば、感光性樹脂組成物層の成分、特に（Ａ）バ
インダーポリマー又は（Ｂ）少なくとも２個のエチレン
性不飽和基を有する光重合性化合物に対する相溶性、目
標とする色相、光透過性等を考慮して選択され、例え
ば、フクシン、オーラミン塩基、カルコシドグリーン
Ｓ、パラマジェンタ、クリスタルバイオレット、メチル
オレンジ、ナイトブルー２Ｂ、ビクトリアブルー、マラ
カイトグリーン、ベイシックブルー２０、アイオジング
グリーン、ナイトグリーンＢ、トリバロサン、ニューマ
ジェンタ、アシッドバイオレットＲＲＨ、レッドバイオ
レット５ＲＳ、エチルバイオレット、メチレンブルー、
ニューメチレンブルーＧＧ、フタロシアニングリーン、
ダイヤモンドグリーン、ローダミンＢ等の染料、フタロ
シアニンブルー等のフタロシアニン系顔料、インダンス
レンブルー、フタロシアニングリーン、ハロゲン化フタ
ロシアニン、ジオキサジンバイオレット、キナクリドン
レッド等のキナクリドン顔料、ピロロ・ピロール系顔
料、アントラキノン系顔料、ベリレン系顔料、カーボ
ン、チタンカーボン、酸化鉄、アゾ系黒色顔料、チタン
白、シリカ、タルク、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウ
ム、天然マイカ、合成マイカ、水酸化アルミニウム、沈
降性炭酸バリウム、チタン酸バリウム、山陽色素(株)製
colortex red ＵＥＭ、colortex blue ＵＥＭ、colorte
x green ＵＥ−１２０３などが挙げられる。これらは単
独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００４１】本発明における（Ｅ）蛍光体としては、特
に制限はなく、通常の金属酸化物を主体とするものが用
いられる。赤色発色の蛍光体としては、例えば、Ｙ₂Ｏ₂
Ｓ：Ｅｕ、Ｚｎ₃(ＰＯ₄)₂：Ｍｎ、Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ、ＹＶ
Ｏ₄：Ｅｕ、(Ｙ，Ｇｄ)ＢＯ₃：Ｅｕ等が挙げられる。青
色発色の蛍光体としては、例えば、ＺｎＳ：Ａｇ、Ｚｎ
Ｓ：Ａｇ，Ａｌ、ＺｎＳ：Ａｇ，Ｇａ，Ａｌ、ＺｎＳ：
Ａｇ，Ｃｕ，Ｇａ，Ｃｌ、ＺｎＳ：Ａｇ⁺Ｉｎ₂Ｏ₃、Ｃ
ａ₂Ｂ₅Ｏ₉Ｃｌ：Ｅｕ²⁺、(Ｓｒ，Ｃａ，Ｂａ，Ｍｇ)
₁₀(ＰＯ₄)₆Ｃｌ₂：Ｅｕ²⁺、Ｓｒ₁₀(ＰＯ₄)₆Ｃｌ₂：Ｅｕ
²⁺、ＢａＭｇＡｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ²⁺、ＢａＭｇＡｌ
₁₆Ｏ₂₆：Ｅｕ²⁺等が挙げられる。緑色発色の蛍光体とし
ては、例えば、ＺｎＳ：Ｃｕ、Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ、Ｚ
ｎＳ：Ｃｕ⁺Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ、Ｇｄ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ、
Ｙ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂：Ｃｅ、ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ、Ｙ₂Ｏ₂Ｓ：
Ｔｂ、ＺｎＯ：Ｚｎ、Ｚｎ₂ＧｅＯ₂Ｍｎ、ＺｎＳ：Ｃ
ｕ，Ａｌ⁺Ｉｎ₂Ｏ₃、ＬａＰＯ₄：Ｃｅ，Ｔｂ、ＢａＯ・
６Ａｌ₂Ｏ₃：Ｍｎ等が挙げられる。なお、上記した蛍光
体は、化成オプトニクス(株)や日亜化学工業(株)等から
購入することができる。これらは単独で又は２種類以上
を組み合わせて使用される。

【００４２】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
において（Ａ）成分の配合量は（ｃ）感光性樹脂組成物
層中の（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して、３０〜８０重量部とすることが好ましく、４０
〜８０重量部であることがより好ましい。この配合量が
３０重量部未満では塗膜性が不十分となる傾向があり、
８０重量部を超えると硬化物の膜特性が低下する傾向が
ある。

【００４３】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
において（Ｂ）成分の配合量は（ｃ）感光性樹脂組成物
層中の（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して、２０〜７０重量部とすることが好ましく、２０
〜６０重量部であることがより好ましい。この配合量が
２０重量部未満では光感度が不十分となる傾向があり、
硬化物の膜特性が低下する傾向があり、７０重量部を超
えると塗膜性が低下する傾向がある。

【００４４】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
において（Ｃ）成分の配合量は（ｃ）感光性樹脂組成物
層中の（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して、１．０〜３０重量部とすることが好ましく、
１．０〜１５重量部とすることがより好ましい。この配
合量が１．０重量部未満では光感度が不十分となる傾向
があり、３０重量部を超えると露光の際、（ｃ）感光性
樹脂組成物層の表面での光吸収が増大し、内部の光硬化
塗膜性が低下する傾向がある。

【００４５】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
において（Ｄ）成分の配合量は（ｃ）感光性樹脂組成物
層中の（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して、１．０〜５０重量部とすることが好ましく、
１．０〜４０重量部であることがより好ましい。この配
合量が１．０重量部未満では着色が不十分となる傾向が
あり、５０重量部を超えると光透過率が低下する傾向が
ある。

【００４６】本発明における（ｃ）感光性樹脂組成物層
において（Ｅ）成分の配合量は（ｃ）感光性樹脂組成物
層中の（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部に
対して、３．０〜１５重量部とすることが好ましい。こ
の配合量が３．０重量部未満では（ｃ）感光性樹脂組成
物層ラミネート後の（ｂ）クッション層と（ｃ）感光性
樹脂組成物層の界面剥離性が不安定となる傾向があり、
１５重量部を超えると（ｃ）感光性樹脂組成物層が白化
する傾向がある。

【００４７】また、本発明における（ｃ）感光性樹脂組
成物層には、例えば、熱重合性成分安定剤、メラミン樹
脂など熱硬化性樹脂等を含有させることができる。ま
た、（ｃ）感光性樹脂組成物層における（Ａ）バインダ
ーポリマー、（Ｂ）少なくとも２個のエチレン性不飽和
基を有する光重合性化合物、（Ｃ）光重合開始剤、アル
キル基を有するフッ素系又はシリコン系化合物等は、必
要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチ
ルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピ
レングリコールモノメチルエーテル等の溶剤又はこれら
の混合溶剤に溶解して固形分３０〜６０重量％程度の溶
液として塗布することができる。

【００４８】本発明の感光性エレメントをカラーフィル
ターの製造に使用する際には、感光性樹脂組成物層の厚
みを０．５〜１０μｍとすることが好ましく、１〜３μ
ｍとすることがより好ましい。この厚みが０．５μｍ未
満であると現像性及び色特性が悪化する傾向があり、１
０μｍを超えると本発明の効果が小さくなる傾向があ
る。本発明の感光性エレメントをプラズマディスプレイ
の製造に使用する際には、感光性樹脂組成物層の厚みを
５０〜２５０μｍ程度とすることが好ましい。

【００４９】また、本発明の感光性エレメントには、感
光性樹脂組成物層の保護のため保護フィルムを用いるこ
とが好ましい。この保護フィルムとしては、例えば、ポ
リエステルフィルム、ポリオレフィンフィルム等が用い
られるが、価格、柔軟性、強度、硬度等の見地からポリ
オレフィンフィルムがより好ましく、ポリエチレンフィ
ルムが特に好ましい。また、その厚みは、１〜１００μ
ｍであることが好ましく、１０〜４０μｍであることが
より好ましい。この厚みが１０μｍ未満では取扱性に劣
る傾向があり、４０μｍを超えると、コストアップとな
る傾向がある。本発明で用いられる基板は、透明である
ことが好ましく、その材質としては、例えば、ガラス、
プラスチック等が挙げられる。

【００５０】本発明の感光性エレメントは、例えば、ポ
リエチレンフィルム等の支持体フィルム上にクッション
層の溶液をロールコータ、コンマコータ、グラビアコー
タ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータなど
で塗布、乾燥後、さらに感光性樹脂組成物の溶液を上記
塗工方法で塗布、乾燥後、必要に応じて保護フィルムを
積層することで製造することができる。また、上記とは
別にポリエチレンフィルム等の支持体フィルム上に感光
性樹脂組成物の溶液をロールコータ、コンマコータ、グ
ラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バー
コータなどで塗布、乾燥後、必要に応じて保護フィルム
を積層し感光性樹脂組成物層を有するエレメントを得
る。また、ポリエチレンフィルム等の支持体フィルム上
にクッション層の溶液をロールコータ、コンマコータ、
グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バ
ーコータなどで塗布、乾燥してクッション層を有するエ
レメントを得る。次いで、必要に応じて存在する保護フ
ィルムを剥離した感光性樹脂組成物層を有するエレメン
トの感光性樹脂組成物層とクッション層とを貼り合わせ
るようにして本発明の感光性エレメントを得ることもで
きる。

【００５１】本発明の感光性エレメントを使用したカラ
ーフィルタは、例えば、以下のようにして製造される。
まず、必要に応じてブラックマトリックスが形成された
カラーフィルタ用基板を必要に応じて１００〜２００℃
の温度で３〜３０分間加熱した後、そのカラーフィルタ
用基板上に必要に応じて存在する保護フィルムを剥がし
ながら感光性エレメントの感光性樹脂組成物層を積層
し、感光性樹脂組成物層の表面の支持体フィルム及びク
ッション層を剥離した後、感光性樹脂組成物層上に所定
のパターンのネガマスクを乗せて像状に露光する。次い
で未露光部分が現像液で現像され着色パターンが形成さ
れる。この着色パターンの形成工程を色の異なる感光性
エレメントを用いて所定回数繰り返すことで多色の着色
パターンを形成させカラーフィルタが得られる。

【００５２】前記積層工程は、一般にホットロールと呼
ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと呼ばれる加
熱用のジャケットとラミネートロールと呼ばれるロール
により、感光性樹脂組成物層を加熱し軟化しながら行
う。本発明の感光性エレメントを用いると２色目以降の
パターンを形成する際に、特別な処理をすることなくパ
ターンの段差を低減できる。前記露光工程は、一般に専
用の露光機があり、接触又は非接触型のものを用いて行
う。ランプとしては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタ
ルハライドランプ、キセノンランプ等の紫外線を有効に
放射するものを用いることができる。現像方法は、ディ
ップ法、スプレー法等が挙げられ、高解像度化には高圧
スプレー法が最適である。現像液は、環境性及び安全性
の見地からアルカリ性水溶液であることが好ましく、例
えば、０．１〜５重量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、
０．１〜５重量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１〜５
重量％水酸化ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％
四ホウ酸ナトリウムの希薄溶液等が好ましい。

【００５３】また、蛍光パターンを製造する場合は、本
発明の感光性エレメントの感光性樹脂組成物層を、プラ
ズマディスプレイパネル用基板上に、積層し、像状に露
光し、現像した後、焼成することによって得ることがで
きる。

【００５４】

【実施例】次に、本発明を実施例により詳しく説明す
る。実施例１（ａ）支持体フィルムのポリエステルフィルム（厚み５
０μｍ、帝人(株)）上に表１に示す（ｂ）クッション層
の溶液をコンマコータで塗布し、１００℃の熱風対流式
乾燥機で２分間乾燥して乾燥後の膜厚が２０μｍの
（ｂ）クッション層を形成したエレメントＡを得た。

【００５５】

【表１】

【００５６】次に、エレメントＡ上（クッション層面）
に表２及び表３に示す（ｃ）感光性樹脂組成物層の溶液
をダイコータで塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で
１５秒間乾燥して乾燥後の膜厚が２．３μｍの（ｃ）感
光性樹脂組成物層を形成した感光性エレメント１を得
た。

【００５７】

【表２】

【００５８】

【表３】

【００５９】次に、感光性エレメント１の（ｃ）感光性
樹脂組成物層側の（ｄ）保護フィルムを剥がしながら、
１５０℃で予め加熱したガラス基板上に（ｃ）感光性樹
脂組成物層をロール温度１１０℃、ロール圧力６×１０
⁵Pa、ラミネート速度３ｍ／分でラミネートした。次い
で、（ａ）支持フィルム（ポリエステルフィルム）及び
（ｂ）クッション層を除去し、所定のパターンのネガマ
スクを通して、露光機ＨＭＷ−５９０（５ｋｗ超高圧水
銀灯、(株)オーク製作所製）を使用し、５０mJ/cm²の露
光量で露光した後、３０℃の０．５重量％トリエタノー
ルアミン水溶液で、３０秒間スプレー現像して未露光部
を除去し、１色目の着色パターンを形成した。この着色
パターンの形成工程を赤、緑、青の順に各色の感光性エ
レメントを用いて３回繰り返し行い、多色パターンを形
成した。得られたパターンは整然と並んでおり、膜厚も
良好なものであった。また、各工程においてフィルム間
の界面剥離性に問題は無かった。次いで、得られた多色
パターンを１５０℃で４５分間加熱してカラーフィルタ
を得た。

【００６０】比較例１実施例１において、表１に示す（ｂ）クッション層の溶
液の配合から、表面改質剤を除去した以外は実施例１と
同様にして、感光性エレメント２を作製し、次いで着色
パターンを形成した。得られた多色パターンは赤、緑、
青の画素の膜厚は不揃いになり、カラーフィルタとして
使用できるものではなかった。

【００６１】

【発明の効果】請求項１記載の感光性エレメントは、ク
ッション層への感光性樹脂組成物層中の光重合性化合物
及び光重合開始剤の移行を抑制でき、感度変動が少な
く、段差が少なく、高精度のパターンを工程中の各層の
剥離不良が低く、生産性よく製造でき、カラーフィルタ
ーの製造に極めて好適である。請求項２記載の感光性エ
レメントは、請求項１記載の発明の効果を奏し、さらに
ラミネート後のクッション層と感光性樹脂組成物層との
剥離性が優れる。請求項３記載の感光性エレメントは、
請求項１又は２記載の発明の効果を奏し、さらに分子の
立体障害によるクッション層と感光性樹脂組成物層との
間の物質の層間移行量が低減する。

【００６２】請求項４記載の感光性エレメントは請求項
１、２又は３記載の発明の効果に加えて、さらに作業
性、環境安全性等が良好である。請求項５記載の感光性
エレメントは、請求項１、２、３又は４記載の発明の効
果を奏し、さらにクッション層への感光性樹脂組成物層
中の光重合性化合物及び光重合開始剤の移行を抑制で
き、感度変動が少ない。請求項６記載のカラーフィルタ
の製造法は、クッション層への感光性樹脂組成物層中の
光重合性化合物及び光重合開始剤の移行を抑制でき、感
度変動が少く、段差が小さく、高精度のパターンを生産
性よく製造できる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０３Ｆ 7/032 Ｇ０３Ｆ 7/032 7/11 ５０３ 7/11 ５０３ 7/30 7/30 Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AB13 AC01 AD01 BC31 BC51 CA01 CA20 CA28 CB06 CB14 CC12 CC13 DA13 DA40 FA04 FA17 2H048 BA45 BA47 BA48 BB02 BB42 2H096 AA00 AA28 BA05 CA05 CA16 CA20 EA02 EA12 GA08

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（ａ）支持体フィルム、（ｂ）クッショ
ン層及び（ｃ）感光性樹脂組成物層を順次積層してなる
感光性エレメントにおいて、（ｂ）クッション層中にア
ルキル基を有するフッ素系化合物又はアルキル基を有す
るシリコン系化合物を含有させてなる感光性エレメン
ト。
【請求項２】（ｂ）クッション層中にアルキル基を有
するフッ素系又はシリコン系化合物を、クッション層の
総量１００重量部に対して、０．０５〜５重量部含有す
る請求項１記載の感光性エレメント。
【請求項３】アルキル基を有するフッ素系又はシリコ
ン系化合物が、アルキル基を有するポリマー又はオリゴ
マーである請求項１又は２記載の感光性エレメント。
【請求項４】（ｃ）感光性樹脂組成物層が、（Ａ）バ
インダーポリマー、（Ｂ）少なくとも１個のエチレン性
不飽和基を有する光重合性化合物（Ｃ）光重合開始剤及
び（Ｄ）顔料又は染料を含有してなる請求項１、２又は
３記載の感光性エレメント。
【請求項５】（ｂ）クッション層中にさらに（Ｂ）少
なくとも１個のエチレン性不飽和基を有する光重合性化
合物及び（Ｃ）光重合開始剤含有させてなる請求項１、
２、３又は４記載の感光性エレメント。
【請求項６】請求項１、２、３、４又は５記載の感光
性エレメントを（ｃ）感光性樹脂組成物層が、透明基板
上に接するように貼り合わせる工程、（ａ）支持体フィ
ルム及び（ｂ）クッション層を剥離する工程並びに
（ｃ）感光性樹脂組成物層をパターン状に露光、現像す
る工程を含む工程を繰り返すことにより、多色のパター
ンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造
法。