JP2000508043A

JP2000508043A - Control valve operated by piezoelectric activator

Info

Publication number: JP2000508043A
Application number: JP9515453A
Authority: JP
Inventors: キルシュ，ベルンハルト，ヨハネス
Original assignee: フルーテッヒフルーイドテヒニッシェゲラーテゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
Priority date: 1995-10-17
Filing date: 1996-09-25
Publication date: 2000-06-27
Also published as: EP0856116A1; WO1997014902A1; DE19538596A1

Abstract

(57)【要約】本発明は、弁要素（１０）を作動させるために、制御弁の作用に悪影響を及ぼす潜在的熱膨張を補償するように作動する二つの圧電レギュレータ（１２，１４）を有する制御弁に関し、レギュレータ（１２，１４）はその一端で支持面（１６）に支えられ、少なくとも一方のレギュレータ（１４）は制御弁の固定要素（２２）に支えられてそれと支持面（１６）との間に配置され、他方のレギュレータ（１２）は弁要素（１０）を有する。支持面（１６）は弾性を有する可撓性コネクタ（２０）を介して制御弁の固定部分（２２）に接続され、コネクタ（２０）はレギュレータ（１２，１４）を取り囲み、圧電レギュレータ（１２，１４）はその分極方向を弁要素（１０）の作動方向と平行にして配列されているので、あらゆる妨害要因に影響されずに高い信頼性を以て作動する制御弁が得られる。 SUMMARY OF THE INVENTION In order to operate a valve element (10), the present invention provides two piezoelectric regulators (12, 14) that operate to compensate for potential thermal expansion that adversely affects the operation of a control valve. With respect to the control valve, the regulator (12, 14) is supported at one end on a support surface (16), and at least one of the regulators (14) is supported on the control valve fixed element (22) and the support surface (16). And the other regulator (12) has a valve element (10). The support surface (16) is connected to the fixed part (22) of the control valve via an elastic flexible connector (20), the connector (20) surrounding the regulator (12,14) and the piezoelectric regulator (12,14). 14) are arranged with their polarization direction parallel to the operating direction of the valve element (10), so that a control valve which operates reliably and is not affected by any disturbances is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】圧電アクチベータ作動の制御弁本発明は、弁要素を作動させるための少なくとも二つの圧電レギュレータ要素を有する制御弁に関し、これら二つの要素は潜在的な熱膨張を相互に独立して補償し合って、これが制御弁の操作に及ぼす悪影響を除くように構成され、第１のレギュレータ要素はその一端を支持面に支えられ、これらレギュレータ要素の少なくとも一方はその一端を制御弁の固定要素に支えられると共に、制御弁と前記支持面との間に配置され、他方のレギュレータ要素は弁要素を有している。ドイツ特許公報37 23 287 C2に記載されている制御弁は電気的に作動可能であり、流体の流れの制御用に使用されている。この制御弁は、一つのハウジングと、このハウジングに取り囲まれた圧電的に作動する材料で作られた二つのレギュレータ要素と、接続電極とを具え、このレギュレータ要素は平行な接触表面を有する回転対称体の形状をなし、ハウジングの適宜な形状の中空空間内に密着嵌入され、その被覆表面によってシールされている。一方のレギュレータ要素は外部環状体で構成され、他方のレギュレータ要素は内部円盤体で構成され、第１レギュレータ要素の中に嵌合してこれにシールされている。これらのレギュレータ要素の電気特性は、円盤体が収縮し環状体が膨張することによって、張力下で円盤体と環状体とが作用し合って流体漏洩間隙を形成するように選ばれており、環状体は湾曲可能にその外周面に沿ってシールされて支持されている。この公知の構成によれば、簡単な弁の構成によって、環境温度の変化に無関係に大量の流体通過を制御することが可能である。非常に大きな力の下で、圧電アクチベータは基本的に非常に小さい調整通路しか形成せず、一方、この問題を解決するのに使用される調整通路増大手段はかなりの力で操作する必要があり、圧電積層体の高い剛性が失われると共に、システムの動特性がかなり損なわれる。その結果、ドイツ特許公報37 23 287 C2に記載されているような、流体を通過させるために圧電レギュレータ要素によって直接的に間隙を形成するやり方は、大量の流体からなる主流体流に直接的に影響を与えるには好ましくない。圧電アクチベータの元々小さい変位は、これらの要素の機械的誤差、摩擦、熱膨張、締め付け力又は静圧による力等の影響によって更に悪影響を受け、このタイプの公知の弁の作動確実性を減少させる。同じことは、ドイツ特許公報42 20 177 A1に記載された制御弁についても当てはまる。ここには、二つの圧電トランスレータを具えた駆動装置が開示され、これらのトランスレータは制御弁のベース体と弁要素の制御用操作レバーとの間に互いに平行でない操作方向に挿入され、操作の際にこれらのトランスレータが、ベース体と操作レバーとに比べて、操作レバーの旋回軸に平行な軸を中心に動き得るように構成されている。実際に、この装置は、温度変化に起因する非電気的膨張の影響に限ってこれを補償する。積層体の形の両方の圧電レギュレータ要素において同様であり、作動確実性を維持しつつすべてのタイプの妨害の影響を克服することはできず、大量の流体を確実に制御することはできない。ドイツ特許公報31 16 687 Aに記載されているように、このタイプの制御弁では、支持面に支えられた二つの圧電アクチベータ積層体が使用され、この公知の制御弁における熱膨張を補償するように構成されている。この構成においては、等方性熱膨張は補償できるが、圧電アクチベータや積層アクチベータにおいて古くから知られている非常に特異な異方性膨張（熱効果[pyroeffect]）は補償できない。更に、これに対応して作動中における好ましくないレギュレータ要素の発熱が生じ、前記熱膨張の補償を妨げる。流体弁の操作や制御の分野では、形状、寸法が電圧の印加によって変化する圧電レギュレータ又はトランスレータも公知である。これは、特に、特殊なセラミック円盤又はプレートの逆圧電効果によって得られ、分極方向に存在する電界によってセラミック円盤やプレートの長さ方向の変化が生じる。電極から離した複数のセラミック円盤やプレートを一列に並べることによって、これに対応する大きな長さ方向の変化を得ることができる。こうした現状の技術レベルから出発して、本発明の目的は、作動の際に如何なる妨害効果の影響も受けずに確実に作動する圧電レギュレータを具えた制御弁を提供することにあり、該制御弁は良好な冷却特性を有し、特に多通路弁等の弁を制御するサーボ弁として、又は高級絞り弁や蝶型弁として好適である。この目的は、請求の範囲第１項に記載の特徴部分を有する制御弁によって達成される。請求の範囲第１項によれば、支持面は弾性を有する可撓性コネクタ部材を介して制御弁の固定要素に接続され、前記コネクタ部材は半径方向にレギュレータ要素を取り囲んで配置され、この圧電レギュレータ要素は弁要素の作動方向に平行にその分極方向に配向され、前記コネクタ部材は一種の弾性スプリングとして機能して、広範囲の妨害の影響を補償し、一方、同じコネクタ部材は圧電レギュレータ要素の制御損失のための冷却面を形成し、少なくとも一方のレギュレータ要素に対して機械的プレストレスを与え、これらの弁要素の静摩擦を同時に低下させて潜在的締め付け力を補償すると共に、レギュレータ要素の潜在熱膨張を補償し、これらは弁要素によって制御可能である。こうして、圧電レギュレータ要素の強力な冷却が可能となる。分極された圧電アクチベータを使用すれば、作動要素の等方性熱膨張を補償するだけでなく、作動要素の積層体によって非常に明瞭に規定される異方性膨張− 熱効果も補償する。本発明の構成によれば、圧電レギュレータ要素が非励起状態にある場合、たとえ温度や油圧等の妨害の影響があったとしても弁要素と圧電レギュレータとの間及び弁要素とその座との間に、殆ど力が掛からない状態での密着が得られる。共通の支持面及び弾性コネクタ部材を介しての制御弁との接続により、一方のレギュレータ要素は確実に密着し、第２のレギュレータ要素は、圧力だけが移転されるが損傷を与えるような牽引力や横方向の力は移転されないように弁要素に接触したままに維持される。この制御弁はモジュラーアタッチメントの形状を有し、従来型の弁や作動要素に取付けられて制御を行う。本発明の装置によれば油圧発生装置が実現され、これによってレギュレータ通路とレギュレータ力が相互に完全に分離される。その結果、この構成は純粋に力の補強手段として働き、この補強効果は作動要素、レギュレータ要素及び弁要素の表面積の比によって決められる。この制御弁によって制御されるべき弁によって予め決められた表面積の比は、同様に制御可能である。本発明の制御弁の好適実施例においては、弁要素を有するレギュレータ要素は、両レギュレータ要素の間に分離チャンバが形成されるように、その外周に沿って配置された隣接するレギュレータ要素に取り囲まれ、該分離チャンバには流体を満たすことができる。流体を満たすことのできる分離チャンバによって、レギュレータ要素を冷却するためのもう一つの可能性が得られ、これらの部材の間には機械的な取り外し手段が設けられ、熱膨張を完全に補償することができる。本発明の制御弁の特に好ましい実施例においては、コネクタ部材が波型チューブであり、その一端はレギュレータ要素に対する支持面を有し、他端は固定要素に接続され、波型チューブと隣接レギュレータ要素との間には流体を満たすことのできるもう一つの分離チャンバが形成されている。このコネクタ部材は弾性を有する可撓性の波型チューブの形をなし、コネクタ部材として必要なスプリング特性を持つ。流体を満たすことのできる形成されたこの他方の分離チャンバは、同様に制御弁の冷却に役立ち、この結果、作動の際に圧電素子の強力な冷却が可能となる。レギュレータ要素がその端部を支持面の反対側に向け、固定要素及び／又は弁要素の分極接触面に接触している場合、圧電アクチベータ積層体の形の両レギュレータ要素のための完全に平坦な接触面が形成される。分極接触面は、レギュレータ要素の作動通路に関して精密に規定可能な基準平面を形成し、一種の「作業点」が位置決めされ、これは一定の電界を介して少なくとも一方のレギュレータ要素に対して調整可能である。更に、すべての製造許容誤差がこれら二つの分極工程によって補償される。本発明の制御弁の別の好適実施例においては、すべてのレギュレータ要素は、同一の作動方向特に膨張方向を持つと共に、同一の異方性膨張行動を有し、これによって波型チューブによって予備付勢されたレギュレータ要素は機械的に振動する。すべての圧電レギュレータ要素は同じ作動方向を有しているので、これらの要素を計算によって容易に配置し、そのパワーを簡単なやり方で制御することができ、そのためには、最大制御張力、弾性モジュラス及び熱膨張を知る必要がある。予備付勢されたレギュレータ要素を小さな交流電界によって機械的に振動させると、この振動は流体に伝えられ、その結果、弁の狭い制御間隙に汚れが付着することがなく、そして沈殿物は溶解される。本発明の制御弁の特に好ましい実施例においては、弁要素は固定要素の内部に弁座を有し、これは密着接続部を介して変形可能且つ可動に固定要素に接続されている。弁要素を介してレギュレータ要素に伝達される力であって、このレギュレータ要素を不都合に変形させるのに充分な力は、レギュレータ要素に悪影響を与えることなく、前記固定要素カプリングを介して制御弁の固定構造要素に伝達される。更に、弁の作業プロセスにおける静水圧の影響を補償することができ、これは従来のパワー装置では不可能である。固定体カプリングは、制御弁の固定要素の内部に設けられた環状切り込みによって得られる。この制御弁が従来型の弁や弁装置に取付けられる場合、弁要素はサーボコーンの形状をなしていることが好ましく、これが開放位置にある場合に、弁のサーボチャンバと無圧接続部特にタンク（reservoir）接続部との間、及びサーボチャンバと制御弁の二つの分離チャンバとの間における流体搬送通路が形成される。サーボチャンバを設けることによって、レギュレータ要素によってサーボコーンを僅かに動かすだけで非常に大きい流体の流れを生じることができる。この制御弁は、多通路弁特に多通路スライドバルブに使用することが好ましく、この制御弁要素は多通路スライドバルブのバルブスライド上で作動し、該多通路弁は圧力搬送接続部と制御弁の間に流体搬送接続部を形成し、バルブスライドの設定位置に応じて、多通路弁のハウジングの内部の複数の流体搬送接続部を相互に接続し、又は相互に分離する。多通路弁特に多通路スライドバルブは、ピストンがハウジングのボアホールに可動に配置された弁であり、ハウジング内部の環状チャンバをその制御運動によって分離・接続するように構成されている。従来型の多通路弁は、サーボピストン（パイロット弁）を有する磁気的に制御されるサーボ弁を介して、又はノズル反射プレートシステム（サーボ弁）を駆動するトルクモータによって制御されるサーボコントロール手段によってアクセス可能である。サーボ弁として作動する本発明の制御弁によって、多通路弁のピストンの制御手段は非常に高速で作動することができる。この多通路弁の好適実施例においては、バルブスライドは中央通路を有し、該通路は圧力ポンプと接続可能で流体を搬送可能であると共にダイアフラム即ち狭窄部を有し、該ダイアフラムは制御弁の少なくとも一つのサーボチャンバに開いている。このようにして、流体は、中央通路とダイアフラム即ち狭窄部を通じて多通路弁の圧力ラインから出てサーボチャンバに入り、ピストンの推進運動を助ける。この多通路弁の好適実施例においては、バルブスライドの両端にレギュレータ弁が設けられ、弁要素と該バルブスライドの端との間に力又はパワー蓄積器が設けられ、この多通路弁が作動していない場合に二つの蓄積器がバルブスライドを不作動位置即ち中間位置に保持する。このようにして、スライドの運動の両方向において、この多通路弁は制御弁によって制御可能である。しかし、一つだけの制御弁によって一方の側だけの多通路弁を制御を行うことも可能である。本発明の制御弁の好ましい実施例においては、弁開放用の一方のレギュレータ要素と弁閉鎖用の他方のレギュレータ要素が、電圧の印加によって作動可能である。この場合、個々の圧電レギュレータ要素の間の電気的負荷が始動又は復帰運動と交換されるので、レギュレータ通路が二重に設けられ、電気的効率が向上する。本発明の制御弁の他の好適実施例においては、作動したレギュレータ要素が、作動していない他方のレギュレータ要素のポンプ接続部と制御接続部との間の流体搬送接続部を開き、逆作動によってこの接続部が閉ざされ、制御接続部とタンクとの間の流体搬送接続部が開く。この実施例においては、制御潤滑油を使用せずに、制御出力に所定の圧力を保持することができる。図面を参照して本発明の制御弁を詳細に説明する。図１は、二つの制御弁が両端に取付けられた多通路スライドバルブの長手方向断面図である。図２は、制御弁の一実施例の基本的構成を示す。図３は、制御弁の他の実施例の基本的構成を示す。弁要素１０を作動させるために、図１の制御弁は、制御弁の作用に悪影響を与える潜在的熱膨張を補償するように互いに独立して作動する二つの圧電レギュレータ要素１２，１４を有している。各レギュレータ要素１２，１４は、その一端を固体の基板１８の一部をなす支持面１６上に支えられ、波型チューブ２０の形をした弾性を有する可撓性コネクタ部材を介して制御弁の固定要素２２に接続されている。該固定要素は、制御弁を符号２４で示されている制御対象の弁ユニットにねじ込み接続する役目を有する。波型チューブ２０はレギュレータ要素１２，１４を外側から取り囲み、外側のレギュレータ要素１４は制御弁の固定要素２２に支えられている。更に、レギュレータ要素１４は長さ方向に支持面１６と固定要素２２によって形成された接触面２６との間に延在している。レギュレータ要素１２は他方のレギュレータ要素の内部とコネクタ部材２０の内部とを自由に動くことができ、弁要素１０によって形成された接触面２８に一端を支えられている。制御弁が不作動位置を占めている場合に、圧縮スプリングの形をしたパワー蓄積器３０が、固定要素２２に形成された弁座３２に弁要素１０を保持している。弁要素１０と連携して作動するレギュレータ要素１２はその外周を隣り合うレギュレータ要素１４に取り囲まれ、両レギュレータ要素１２，１４の間を通って流体で満たすことのできる第１分離チャンバ３４が形成される。波型チューブ２０は外側のレギュレータ要素１４を取り囲み、一端にレギュレータ要素１２，１４用の接触面１６を有し、他端は固定要素２２に接続されている。外側レギュレータ要素１４は、流体で満たすことのできる第２の分離チャンバ３６が半径方向に若干の距離を隔てて形成されるように配置されている。固定要素２２又は弁要素１０の接触面２６，２８は分極され、一種の基準面を形成している。使用される両レギュレータ要素１２，１４は、基板１８に導かれた接続ライン３８に電力が供給されると、膨張して同じ方向に作動するように配置されている。その後、使用される両レギュレータ要素１２，１４は同じ膨張係数にわたって配置され、交流電圧が印加されると少なくとも外側レギュレータ要素１４はこれに対応する機械的振動を生じる。固定要素２２によって形成された弁座３２と連携する弁要素１０は、その閉鎖位置において、可撓性を維持しながら密着カプリング４０上を可動に固定要素２２の弁座３２に密着する。密着カプリング４０のために、固定部２２はそのフランジ拡大部分に環状切り込み４２を有する。該切り込みはその一方の側で第２分離チャンバ３６内に開き、固定要素２２の残りの部分の材料断面を脆弱にして、弁要素１０による弁座３２の回動が密着カプリング４０の残りの材料断面を中心として起こり易くしている。制御弁のすべての可動要素は回転対称形状をなし、レギュレータ要素１２，１４は円筒体を形成していることが望ましい。しかし、正方形断面でもよく、特に外側レギュレータ要素１４は複数の別々の棒材で構成してもよい。特にこの図に示すように、弁要素１０はサーボコーン(servo-cone)として構成されており、その両端は円錐状に拡大し、図示しない開放位置において、弁のサーボチャンバ４４と無圧接続部特にタンク接続部Ｔとの間及びサーボチャンバ４４と二つの分離チャンバ３４，３６との間に流体搬送接続部を形成する。サーボチャンバ４４は制御弁と連携し、従来型の弁ユニット上にモジュールの構造要素としてねじ固定される。しかし、図示の場合には、サーボチャンバは全体として符号２４で示された弁ユニットの一要素を構成している。サーボコーンが円錐構造をなしているので、調整運動が小さくても比較的大きい自由開放断面が得られ、流体の主流の制御が可能となる。横方向通路４６はサーボチャンバ４４と無圧接続部Ｔとの間に流体搬送接続部を形成し、流体を搬送する環状切り込み４２を通り、弁ユニット２４の端部の方に曲がり、固定要素２２で開いて大気中に出る。横方向通路４６をタンクラインＴ及びこれと同様なサーボチャンバ４４における弁要素１０とのシール接続点に接続させるために、従来型の遮断シール４８が設けられている。サーボコーンの受けスピンドル上に、制御弁の方を向いた圧縮スプリング３０の端部が支持されている。サーボコーン、圧縮スプリング３０及び制御用圧電要素である内側レギュレータ要素１２は直接被駆動シートバルブを形成し、適宜な構成によって補助パワー機構の一要素となり、制御弁は流れの力に対して補償される。制御弁が開くと、流体即ち制御潤滑油がサーボチャンバ４４から放出され、横方向通路４６を経てタンクラインＴに入り、二つの分離チャンバ３４と３６は流体で満たされる。波型チューブ２０は一種のスプリングを形成し、レギュレータ要素１２，１４中への制御漏洩のための冷却表面を形成する。更に、波型チューブ２０は、振動圧電素子である外側レギュレータ要素１４の機械的予備付勢を行う。振動圧電素子１４を予備付勢することによって、圧電素子１２，１４の潜在的熱膨張の補償と締め付け力の補償が、固定体カプリング９の助けによって行われ、すべてのタイプの妨害要因を解消して制御弁の作動確実性を保証し、種々の弁作用、特により多くの弁ユニットの制御を行うことができる。このことを更に明らかにするために、多通路弁特に多通路スライドバルブを有する制御弁の用法について次に詳細に述べる。図示の弁ユニット２４は多通路スライドバルブであるが、ここでは油圧、電気、機械的な構造的に複雑な公知のサーボ機構は省略されている。棒状のバルブスライド５０が多通路スライドバルブのハウジング５２のボアホールの中に延在して長手方向に保持されている。バルブスライド５０は、四つのバルブスライド５４を有し、これらはバルブロッド５６に比べて大きな直径を有し、ハウジングのボアホールに精密に嵌合して長手方向に移動可能となっている。小径のバルブロッド５６は、図に示すように、弁ユニット２４が不作動位置に設定されている場合には開放チャンバを形成し、これによって接続部Ｔ，Ａ，Ｐ及びＢを開放する。ここでＴはタンク接続部であり、Ｐは圧力ポンプ接続部であり、ＡとＢはユーザー接続部でる。バルブロッド５６の中央の長手方向には中央通路５８が設けられ、孔６０を通ってポンプＰへの圧力搬送流体接続部となっている。バルブスライド５０の端部で、中央通路５８はバルブロッド５６を出て、その開放直径断面に設けられたダイアフラム６２によって狭くなっている。圧縮スプリング３０は、サーボコーンと反対側の端部で、スライドバルブ５０と連携する保持プレート６４に支持されている。該保持プレート６４は、バルブロッド５６を有するハウジングのボアホールと反対側の領域に大きな断面を有している。スプリングの他方の端部は、バルブハウジングの外側でバルブロッド５６に支持されている。バルブスライド５０が左から右に移動すると、保持プレート６４は、隣接するバルブスライド５４の基準側面に沿ってそれと同方向に導かれ、ハウジングの座から持ち上げられるので、圧縮スプリング３０は付勢される。理解を助けるために、本発明の制御弁を、全体として符号２４で示された弁ユニット型の多通路スライドバルブに使用した例について詳しく述べる。不作動位置において、左右に取付けられた制御弁の二つのスプリング３０は、バルブスライド５０を図示のように中央位置に保持する。それぞれが制御弁ユニットである振動圧電素子１４と制御圧電素子１２は、弁ユニット２４に対面する両端が一つの同一基準平面にあるように機械加工されている。スプリング３０による一方の制御弁の制御圧電素子１２の機械的予備付勢は、波型チューブ２０と固体カプリング４０によって振動圧電素子１４にも同じ予備付勢を与える。振動圧電素子１４と制御圧電素子１２の平坦性即ち平面性によって作業点が得られ、それは振動圧電素子１４に印加される一定の電界によって調節可能である。ポンプが作動すると、供給部Ｐは流体で満たされ、流体と圧力を搬送し、バルブスライド５０に設けられた二つの端部供給ダイアフラム６２を経て、サーボチャンバ４４は圧縮潤滑油で満たされ、サーボコーン１０を弁座３２に押し付ける。両サーボチャンバ４４は圧縮潤滑油の作用を受けるので、バルブスライド５０の接触側面には圧力の差は生ぜず、圧力下にあっても中央位置に保たれる。サーボコーン１０を介して、もし固体カプリング４０が無ければ制御圧電素子１２は変形するであろう力が、制御圧電素子１２に作用し、ベースプレート１８に伝わり、波型チューブ２０に伝わる。これによって、当然に振動圧電素子１４と制御弁の固定要素２２との間の密着が緩む。しかし、これは前述の固体カプリング４０によって防がれる。振動圧電素子１４と制御圧電素子１２は同じ材料で作られ、同じ作用特性を有するので、かなりの熱膨張が生じても、制御圧電素子１２の好ましくない持ち上がりは起こらない。振動圧電素子１４が小さな交流電界によって機械振動すると、この振動は、固定要素２２、サーボコーン１０及び圧縮スプリング３０を経てバルブスライドピストン５０に伝達され、弁ユニット２４の両端に設けられた振動圧電素子の位相逆転制御部によって、バルブスライド５０は振動せしめられ、ハウジングの壁面５２に対するバルブスライド５０の潜在的接着が除去され、所定の長手方向運動が停滞することなく行われる。バルブスライド５０を図示の中央位置から左方に動かす場合には、接続されている流体ポンプの強力をストロークを得るために、図の左側の制御圧電素子１２に電圧が印加される。この圧電積層体は振動圧電素子１４に比して約１００μｇ（？）伸長し、サーボコーンをバルブスライド５０の方向に動かす。すると、サーボコーン１０の弁座３２上に環状間隙が現れ、その大きさは、最大でダイアフラム６２の開放寸法の１０倍に達する。こうして、左側のサーボチャンバ４４内で、元のサーボ圧力の約５％の圧力低下が生じる。すると、中央通路５８の右側では制御潤滑油がダイアフラム６２からサーボチャンバ４４内に放出され、左側では制御潤滑油が横方向通路４６を経て無圧タンク接続部Ｔに供給されるので、バルブスライド５０に圧力差が生じる。その結果、バルブスライド５０が接触するか、又は制御圧電素子１２が前記環状間隙を再び閉じるまで、スライドは図で左方に移動する。バルブスライド５０が左方に動くと、ポンプ接続部Ｐはユーザー接続部Ａに接続し、逆に動くと、ポンプ接続部Ｐはユーザー接続部Ｂに接続する。バルブスライドが所望の作業位置に到達すると、流れ力、ユーザーからのフィードバック等の主流体流の残りの調整力は、両端から弁ユニット２４に付与される必要がある。このために、バルブスライド５０に圧力差が生じて、それが必要な調整力にその開放接触面積を掛けた値と等しくなるまで、弁要素１０の環状間隙は閉鎖される。この力は、圧力搬送ラインＰ内の圧力及び環状間隙の自由表面とダイアフラム６２の自由表面との比にのみ依存している。本発明の制御弁は、前述した及びその他の多くの弁用途に適したサーボ弁として使用される。複雑で高価であるにもかかわらず、必ずしも信頼性の高くない、公知の電気−機械的、油圧的に作動するサーボ装置を省略することができる。制御弁の二つの実施例について詳細に説明する。前記実施例で使用されたのと同じ部品については同じ符号に１００を加えて示している。これらの部品については前に述べたのと同じである。図２に示す実施例においては、ポンプ接続部Ｐと制御接続部１４４が固定ハウジング要素１２２内に開いている。ポンプ接続部Ｐはダイアフラム１６２によってその径が小さくなっている。ポンプ接続部Ｐと制御接続部１４４の端部は、圧縮スプリング１３０の形の力発生器を収容した通路チャンバ１６６内に開いている。圧縮スプリング１３０は、その両端でそれぞれ通路チャンバ１６６の限定壁面とコーン状弁部材１１０とに支持され、この弁部材１１０を弁座１３２の閉鎖位置に付勢している。弁部材又は弁要素１１０は、ポンプ接続部Ｐ、ダイアフラム１６２、通路チャンバ１６６及び制御接続部１４４を通る流体の流通方向を横切って動く。制御接続部１４４に平行にハウジング要素１２２内にタンク接続部Ｔが延在し、流体を搬送して分離チャンバ１３４と１３６に開口している。元の流体圧の１０％までの圧力低下をポンプラインＰに生じさせる狭窄部即ちダイアフラム１６２を、タンクラインＴに設けてもよい。弁を閉じるために、圧電レギュレータ要素１１４が操作され、ベースプレート１１８を図２で左方に動かし、これによってレギュレータ要素１１２を図で下方に動かし、これに密着して設けられた弁要素１１０を液密閉鎖位置に移動させる。こうして、可撓性の波型チューブ１２０が予備付勢される。図２に示すように、外側のレギュレータ要素１１４は張力又は電圧を印加せずに保持され、張力又は電圧は接続ライン１３８を介して内側レギュレータ要素１１２に印加され、これによってレギュレータ要素１１２は伸長し、弁要素１１０は弁座１３２から持ち上がり、閉鎖位置においてポンプ接続部Ｐと制御接続部１４４の間で行われていた流体搬送の少なくとも一部が、タンク接続部Ｔに向けられる。この構成によって、二つのレギュレータ通路が得られ、個々の圧電レギュレータ要素１１２と１１４を作動させるのに必要な電力ラインをこれら二つの圧電素子の間で交替させて、この装置の電気効率を高めることができる。図３に示す制御弁の別の実施例においては、ポンプ接続部Ｐ、タンク接続部Ｔ及び制御接続部２４４の三つの接続部が、固定ハウジング要素２２２に設けられている。ポンプ接続部Ｐは、固定ハウジング要素２２２を長手方向に貫通して設けられ、その自由端を第１分離チャンバ２３４の弁座２３２の領域に開いている。第１分離チャンバは第１レギュレータ要素２１２を取り囲んでいる。直角に捩じると、制御接続部２４４とタンク接続部Ｔは弁座２３２から外れて第１分離チャンバ２３４内に開く。この場合、可撓性を有する弾性波型チューブ２２０が専らパワー発生器２３０として機能し、レギュレータ要素に作用を及ぼす。この場合、バルブプレートが、弁要素２１０として、内側圧電レギュレータ要素２１２の端部に設けられている。電圧又は張力が印加されないリラックス状態では、内側レギュレータ要素がポンプ接続部Ｐと制御接続部２４４との間の流体搬送を遮断している。外側レギュレータ要素２１４は制御接続部２４４とタンク接続部Ｔとの間を遮断し、波型チューブスプリング２２０が閉鎖力を発生している。外側レギュレータ要素２１４に電圧が印加されると、該要素は波型チューブスプリング２２０の作用方向と反対方向に伸長し、内側レギュレータ要素２１２を持ち上げ、弁座２３２から弁要素２１０を離す。この作用によって、ポンプ接続部Ｐと制御接続部２４４に達する環状通路との間が接続される。この相互接続状態が図３に示されている。別の操作をすれば、内側レギュレータ要素２１２が伸長し、制御接続部２４４がタンクＴから切り離される。この構成によれば、制御のために一定の圧力を得るのに、制御潤滑油が不要となる。本発明の制御弁又はレギュレータ弁機構によって、弁システムの多くの問題点が解決される。これは汎用のサーボ弁として使用可能であるが、特に少量の流体用の高級絞り弁又は蝶型弁として有用である。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Control valve operated by piezoelectric activator The present invention At least two piezoelectric regulator elements for actuating the valve element A control valve having These two factors compensate for potential thermal expansion independently of each other. Make up for each other, This is configured to eliminate any adverse effects on the operation of the control valve, First The regulator element is supported at one end by a support surface, A small number of these regulator elements At least one is supported at one end by a fixed element of the control valve, Control valve and said Placed between the support surface and The other regulator element has a valve element. The control valve described in German Patent Publication 37 23 287 C2 is electrically operable. And Used for fluid flow control. This control valve is With one housing , Two regulators made of piezoelectrically actuated material surrounded by this housing Lator element, With connection electrodes, This regulator element has parallel contact surfaces To form a rotationally symmetric body, Closely fit into the appropriately shaped hollow space of the housing And Sealed by its coating surface. One regulator element is external Composed of an annular body, The other regulator element is composed of an internal disk, 1st legi And fitted into and sealed to the radiator element. These regulators The electrical properties of element By the disk body contracting and the annular body expanding, Disc under tension The body and the annulus are selected to work together to form a fluid leakage gap, Ring The body is supported so as to bendable and sealed along its outer peripheral surface. According to this known configuration, With a simple valve configuration, Irrespective of environmental temperature changes It is possible to control the passage of a large amount of fluid. Very Under great power, Piezoelectric activator basically forms only a very small adjustment channel Without on the other hand, The adjustment path augmentation means used to solve this problem requires considerable power. Must be operated with While the high rigidity of the piezoelectric laminate is lost, System behavior The properties are considerably impaired. as a result, As described in German Patent Publication 37 23 287 C2 Like, Directly through the piezo regulator element to allow fluid to pass The way to form a gap is To directly influence the main fluid flow consisting of a large amount of fluid Is not preferred. The originally small displacement of the piezoelectric activator is Mechanical of these elements error, friction, Thermal expansion, Further adverse effects due to tightening force or static pressure Receiving The operating reliability of known valves of this type is reduced. The same is The control valve described in German patent publication 42 20 177 A1 also applies. Addictive. here, A drive comprising two piezoelectric translators is disclosed, This These translators are located between the base of the control valve and the operating lever for controlling the valve elements. Inserted in operating directions that are not parallel to each other, During operation, these translators Compared to the base body and operation lever, Moves around an axis parallel to the pivot axis of the control lever Is configured to obtain. actually, This device is Non-electrical due to temperature change This is compensated for only by the effects of expansion. Both piezoelectric regulator elements in the form of a laminate The same is true for Overcome the effects of all types of disturbances while maintaining operational reliability Cannot be dressed, Large amounts of fluid cannot be reliably controlled. As described in German Patent Publication 31 16 687 A, With this type of control valve Is Two piezoelectric activator stacks supported on a support surface are used, This known It is configured to compensate for thermal expansion in the control valve. In this configuration, Isotropic thermal expansion can be compensated, Old in piezoelectric and multilayer activators Well known The very peculiar anisotropic expansion (pyroeffect) that is occurring cannot be compensated. Furthermore, Corresponding undesired heating of the regulator element during operation, Previous Prevents thermal expansion compensation. In the field of operation and control of fluid valves, shape, Pressure whose dimensions change with the application of voltage Electric regulators or translators are also known. this is, In particular, Special ceramic Obtained by the inverse piezoelectric effect of a disk or plate, Electric field existing in the direction of polarization Therefore, a change occurs in the length direction of the ceramic disk or plate. Duplex away from electrode By lining up a number of ceramic disks and plates in a row, The corresponding large The change in the length direction can be obtained. Starting from these current technical levels, The purpose of the present invention is What kind of operation Control valve with a piezoelectric regulator that operates reliably without being affected by To provide, The control valve has good cooling characteristics, In particular, valves such as multi-pass valves As a servo valve to control, Or, it is suitable as a high-grade throttle valve or butterfly valve. This purpose Is This is achieved by a control valve having the features of claim 1. According to claim 1, The support surface is provided via a flexible connector member having elasticity. Connected to the fixed element of the control valve The connector member requires a regulator in the radial direction. Placed around the element, This piezoelectric regulator element is parallel to the operating direction of the valve element In the direction of its polarization, The connector member functions as a kind of elastic spring. Works, Compensates for the effects of widespread interference, on the other hand, The same connector member is piezoelectrically regulated Forming a cooling surface for control loss of the motor element, Requires at least one regulator Give mechanical prestress to the element, The static friction of these valve elements is reduced at the same time. To compensate for the potential clamping force, Compensates for potential thermal expansion of regulator element And These can be controlled by valve elements. Thus, Piezoelectric regulator element Powerful cooling of Becomes possible. With a polarized piezoelectric activator, Compensates for isotropic thermal expansion of actuating elements Not only Anisotropic expansion very clearly defined by the stack of operating elements- Also compensates for thermal effects. According to the configuration of the present invention, Piezoelectric regulator element is not excited If The valve element and the piezoelectric Between the regulator and the valve element and its seat, Dense with little force applied Wearing is obtained. For connection with control valve via common support surface and elastic connector member Than, One regulator element is in close contact, The second regulator element is Pressure Only forces are transferred, but no traction or lateral forces that could damage it And is kept in contact with the valve element. This control valve has the shape of a modular attachment, Conventional valves and operating elements Mounted on to control. According to the device of the present invention, a hydraulic pressure generating device is realized, This This completely separates the regulator passage and the regulator force from each other. That result, This configuration acts purely as a means of reinforcing power, This reinforcement effect is an operating element, Les It is determined by the ratio of the surface areas of the regulator element and the valve element. This control valve The surface area ratio predetermined by the valve to be controlled is Similarly controllable You. In a preferred embodiment of the control valve of the present invention, Regulator element with valve element , So that a separation chamber is formed between both regulator elements Along its circumference Surrounded by adjacent regulator elements Fluid in the separation chamber Can be satisfied. With a separation chamber that can be filled with fluid, Legi Another possibility for cooling the radiator element is obtained, Between these members Is provided with mechanical removal means, Complete compensation for thermal expansion Can be. In a particularly preferred embodiment of the control valve of the present invention, The connector member is a corrugated tube And One end has a support surface for the regulator element, The other end is a fixed element Connected to Fill fluid between corrugated tube and adjacent regulator element Another separation chamber is formed. This connector member has elasticity In the form of a flexible corrugated tube having Springs required as connector members Has characteristics. This other formed separation chamber, which can be filled with fluid, It also helps control valve cooling, As a result, Powerful cooling of the piezo during operation It works. Regulator element with its end facing away from the support surface, Fixing element and / or valve When in contact with the polarized contact surface of the element, Both regulations in the form of a piezoelectric activator stack A completely flat contact surface for the generator element is formed. The polarization contact surface Regular Form a reference plane that can be precisely defined for the working path of the motor element, A kind of "work Point "is positioned, This is because at least one of the regulators Adjustable to the element. Furthermore, All manufacturing tolerances are these two polarizations Compensated by the process. In another preferred embodiment of the control valve of the present invention, All regulator elements are With the same working direction, especially the expansion direction, Have the same anisotropic expansion behavior, this Regulator element pre-energized by corrugated tube mechanically vibrates I do. Since all piezo regulator elements have the same working direction, these Elements are easily arranged by calculation, Controlling that power in a simple way Can be for that purpose, Maximum control tension, Need to know elastic modulus and thermal expansion is there. Mechanical vibration of pre-energized regulator element by small alternating electric field When you do This vibration is transmitted to the fluid, as a result, Dirt does not adhere to the narrow control gap of the valve, And the precipitate dissolves Is done. In a particularly preferred embodiment of the control valve of the present invention, Valve element inside fixed element Has a valve seat, It is deformably and movably connected to a fixed element via a contact connection ing. The force transmitted to the regulator element via the valve element, This regulation The force sufficient to undesirably deform the lator element is Adverse effects on regulator elements Without giving Transmission to the fixed structural element of the control valve via the fixed element coupling Is done. Furthermore, Can compensate for the effect of hydrostatic pressure in the working process of the valve, This is not possible with conventional power devices. The fixed body coupling is Control valve fixing Obtained by an annular cut provided inside the element. If this control valve is mounted on a conventional valve or valve device, Valve element is a servo cone It is preferable to have the shape of When this is in the open position, Valve servo Between the chamber and the no-pressure connection, especially the tank (reservoir) connection, And servo A fluid transfer passage is formed between the two separation chambers of the control valve and the control valve. By providing a servo chamber, Servo cone by regulator element Very small fluid movements can produce very large fluid flows. This control valve is Preferably used for multi-pass valves, especially multi-pass slide valves , This control valve element operates on the valve slide of a multi-pass slide valve, Said many The way valve forms a fluid carrying connection between the pressure carrying connection and the control valve; Valve slide Depending on the setting position of Coupling multiple fluid-carrying connections inside the multi-pass valve housing Connect with each other, Or separate from each other. Multi-pass valves, especially multi-pass slide valves, Pis Ton is a valve movably arranged in the borehole of the housing, Howe Is configured to disconnect and connect the annular chamber inside the jing by its controlled movement. Have been. Conventional multi-pass valves are Magnetic with servo piston (pilot valve) Via a servo valve that is dynamically controlled Or nozzle reflection plate system (servo valve By servo control means controlled by torque motor driving Accessible. With the control valve of the present invention acting as a servo valve, Multi-passage The control means of the valve piston can operate at very high speed. In a preferred embodiment of this multi-pass valve, The valve slide has a central passage, The The passage is connectable to a pressure pump, is capable of conveying fluid, and has a diaphragm. Having a constriction, The diaphragm opens to at least one servo chamber of the control valve ing. In this way, The fluid is Through the central passage and diaphragm or constriction Exits the pressure line of the multi-pass valve and enters the servo chamber, Assists piston propulsion I can. In a preferred embodiment of this multi-pass valve, Regulator at both ends of valve slide A valve is provided, A force or power storage is provided between the valve element and the end of the valve slide. Kere, If the multi-pass valve is not operating, two accumulators will slide the valve. Hold in the inoperative position, i. In this way, Slide movement in both directions At This multi-pass valve can be controlled by a control valve. But, Only one It is also possible to control a multi-pass valve on only one side by means of a control valve. In a preferred embodiment of the control valve of the present invention, One regulator for valve opening Element and the other regulator element for valve closure, Operable by applying voltage You. in this case, The electrical load between the individual piezoelectric regulator elements Will be exchanged for The regulator path is doubled, Increases electrical efficiency You. In another preferred embodiment of the control valve of the present invention, The activated regulator element The flow between the pump connection and the control connection of the other inactive regulator element Open the body transport connection, The reverse action closes this connection, Control connection and tongue The fluid transfer connection to the connection opens. In this example, Use control lubricant Without A predetermined pressure can be held at the control output. The control valve of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. Longitudinal direction of a multi-pass slide valve with two control valves mounted at both ends It is sectional drawing. FIG. 1 shows a basic configuration of an embodiment of a control valve. FIG. 9 shows a basic configuration of another embodiment of the control valve. To activate the valve element 10, The control valve of FIG. Affects the operation of the control valve Two piezoelectric regulators that operate independently of each other to compensate for potential thermal expansion Data element 12, 14. Each regulator element 12, 14 is One end Supported on a support surface 16 that forms part of a solid substrate 18, Shape of corrugated tube 20 Connected to the fixed element 22 of the control valve through a flexible connector member having elasticity. Have been. The fixing element is The control valve is a valve unit to be controlled, which is indicated by reference numeral 24. It has a role of screwing connection to the cable. The corrugated tube 20 is the regulator element 12 , Surround 14 from the outside, The outer regulator element 14 is the fixed element 2 of the control valve. It is supported by 2. Furthermore, The regulator element 14 is fixed to the support surface 16 in the longitudinal direction. And a contact surface 26 formed by the fixed element 22. regulator The element 12 freely connects the inside of the other regulator element and the inside of the connector member 20. Can move, Supported at one end by a contact surface 28 formed by the valve element 10 I have. If the control valve is in the inactive position, Power in the form of a compression spring -The accumulator 30 Fixed element The valve element 10 is held by a valve seat 32 formed at 22. A regulator element 12 which operates in cooperation with the valve element 10 has an outer periphery adjacent to the regulator element 12. Surrounded by a regulator element 14, Both regulator elements 12, Through the 14 A first separation chamber 34 that can be filled with fluid is formed. Corrugated tube 2 0 surrounds the outer regulator element 14, Regulator element 12 at one end, 1 4 having a contact surface 16 for The other end is connected to the fixing element 22. Outside regulation Data element 14 The second separation chamber 36, which can be filled with fluid, is radial Are arranged at a slight distance from each other. Fixing element 22 or valve Contact surface 26 of element 10, 28 is polarized, It forms a kind of reference plane. Used Regulator elements 12, 14 is Power is applied to the connection line 38 led to the substrate 18. Is supplied, They are arranged to expand and operate in the same direction. afterwards, Used regulator elements 12, 14 are arranged over the same expansion coefficient, When an AC voltage is applied, at least the outer regulator element 14 responds Causes mechanical vibration. The valve element 10 cooperating with the valve seat 32 formed by the fixing element 22, Its closure In position, Fixing element 2 movable on close coupling 40 while maintaining flexibility The second valve seat 32 is in close contact. For close coupling 40, The fixing part 22 is An annular notch 42 is provided in the enlarged portion of the flange. The cut is a second cut on one side Open into the release chamber 36, By weakening the material cross section of the remaining part of the fixing element 22, The rotation of the valve seat 32 by the valve element 10 is centered on the remaining material cross section of the close coupling 40. As easy to happen. All the movable elements of the control valve have a rotationally symmetric shape, Regulator element 12, 14 preferably forms a cylindrical body. But, It may have a square cross section, In particular, the outer regulator element 14 is composed of several separate rods May be. In particular, as shown in this figure, The valve element 10 is configured as a servo-cone Has been Its ends expand conically, In the open position (not shown) Valve Between the servo chamber 44 and the pressureless connection, especially the tank connection T, and the servo chamber 4 4 and two separation chambers 34, 36 and a fluid transport connection is formed. The servo The chamber 44 cooperates with the control valve, Modular structural elements on conventional valve units As screws. But, In the case shown, Servo chamber as a whole It constitutes one element of the valve unit indicated by reference numeral 24. Servo cone is conical Because it is made A relatively large free-open section can be obtained even with a small adjustment movement , The main flow of the fluid can be controlled. The lateral passage 46 has a fluid transport connection between the servo chamber 44 and the pressureless connection T. To form Through an annular notch 42 carrying the fluid, Towards the end of the valve unit 24 Turn to It opens with the fixing element 22 and goes out into the atmosphere. A lateral passage 46 is made in the tank line T and a similar servo chamber 44. In order to connect to the sealing connection point with the valve element 10 The conventional blocking seal 48 Is provided. On the receiving spindle of the servo cone, Compression towards control valve The end of the spring 30 is supported. Servo cone, Compression spring 30 The inner regulator element 12, which is a piezoelectric element for control, controls the driven seat valve directly. Forming With an appropriate configuration, it becomes an element of the auxiliary power mechanism, Control valve is the power of flow Is compensated for. When the control valve opens, Fluid or control lubricant is released from servo chamber 44; side Enter the tank line T via the directional passage 46, The two separation chambers 34 and 36 Filled with body. The corrugated tube 20 forms a kind of spring, regulator Element 12, Control into 14 Creates a cooling surface for leakage. Furthermore, The corrugated tube 20 With vibration piezoelectric element A mechanical pre-biasing of certain outer regulator elements 14 is provided. Vibrating piezoelectric element 14 By provision, Piezoelectric element 12, 14 potential thermal expansion compensation and tightening Power compensation, With the help of the fixed body coupling 9, All types of disturbance Eliminate the factors and guarantee the operation reliability of the control valve, Various valve actions, Especially more valves The unit can be controlled. To further clarify this, Many The use of a control valve having a two-way slide valve, in particular a multi-passage slide valve, will now be described in detail. . Although the illustrated valve unit 24 is a multi-passage slide valve, Here hydraulic, Electrical , Known servo mechanisms that are mechanically complex in structure are omitted. Rod-shaped bulbs A ride 50 extends into a borehole in housing 52 of the multi-pass slide valve. And held in the longitudinal direction. The valve slide 50 is Four valve slides 5 4 and These have a larger diameter than the valve rod 56, Housing It is precisely fitted into the borehole and can be moved in the longitudinal direction. Small diameter valve The head 56 As shown in the figure, When the valve unit 24 is set to the inoperative position If so, form an open chamber, This allows the connection T, A, Release P and B . Where T is the tank connection, P is the pressure pump connection, A and B are you User connection. A central passage 58 is provided in the central longitudinal direction of the valve rod 56. And There is a pressure carrying fluid connection to the pump P through the hole 60. Valve thruster At the end of the id 50, The central passage 58 exits the valve rod 56, Its open diameter cross section Are narrowed by a diaphragm 62 provided at the bottom. The compression spring 30 , At the end opposite to the servo cone, Holding plate cooperating with slide valve 50 64. The holding plate 64 C having a valve rod 56 It has a large cross section in the area of the housing opposite the borehole. Spring's The other end is It is supported by a valve rod 56 outside the valve housing. When the valve slide 50 moves from left to right, The holding plate 64 Adjacent bar Guided in the same direction along the reference side of the lube slide 54, Housing seat Can be lifted, The compression spring 30 is biased. To help understanding, The control valve of the present invention, Valve unit indicated generally by reference numeral 24 An example in which the present invention is used for a knit type multi-passage slide valve will be described in detail. Inoperative position In place The two springs 30 of the control valve mounted on the left and right Valve thruster Id 50 is held in a central position as shown. Each is a control valve unit The vibration piezoelectric element 14 and the control piezoelectric element 12 One end facing valve unit 24 Are machined to be in the same reference plane. One of the springs 30 The mechanical pre-biasing of the control piezoelectric element 12 of the control valve is: Corrugated tube 20 and solid capri The same preliminary bias is applied to the vibrating piezoelectric element 14 by the ring 40. Vibrating piezoelectric element 1 4 and the flatness of the control piezoelectric element 12, that is, a work point is obtained, It vibrates It can be adjusted by a constant electric field applied to the piezoelectric element 14. When the pump operates, The supply P is filled with a fluid, Conveying fluid and pressure, Bal Via two end supply diaphragms 62 provided on the slide 50, Servo switch Chamber 44 is filled with compression lubricating oil, Press the servo cone 10 against the valve seat 32 . Since both servo chambers 44 receive the action of the compressed lubricating oil, Valve slide 50 There is no pressure difference on the contact side of Maintains center position even under pressure. Sir Via bocon 10, If there is no solid coupling 40, the control piezoelectric element 12 The force that will deform, Acting on the control piezoelectric element 12, Transmitted to base plate 18 And It is transmitted to the corrugated tube 20. to this Therefore, Naturally, the close contact between the oscillating piezoelectric element 14 and the fixed element 22 of the control valve is loosened. But, This is prevented by the solid coupling 40 described above. Vibration piezoelectric element 14 And the control piezoelectric element 12 are made of the same material, Having the same working properties, Pretty Even if thermal expansion occurs, Undesirable lifting of the control piezoelectric element 12 does not occur. When the vibrating piezoelectric element 14 is mechanically vibrated by a small AC electric field, This vibration is Fixed Element 22, Valve slide pi through servo cone 10 and compression spring 30 Ton 50, Phase reversal of oscillating piezoelectric elements provided at both ends of valve unit 24 By the rotation control unit, The valve slide 50 is vibrated, Housing wall 5 2 eliminates the potential adhesion of the valve slide 50 to Predetermined longitudinal movement It is done without stagnation. To move the valve slide 50 leftward from the illustrated center position, Connected In order to obtain the stroke of the powerful fluid pump, Control piezoelectric element 12 on the left side of FIG. Is applied with a voltage. This piezoelectric laminate is about 100 μg in comparison with the vibrating piezoelectric element 14. (? Elongate, The servo cone is moved in the direction of the valve slide 50. Then Sa An annular gap appears on the valve seat 32 of Its size is Up to diaf It reaches ten times the open dimension of the ram 62. Thus, In the left servo chamber 44 so, A pressure drop of about 5% of the original servo pressure occurs. Then Right side of central passage 58 In the control lubricating oil is discharged from the diaphragm 62 into the servo chamber 44, left Since the control lubricating oil is supplied to the non-pressure tank connection portion T via the lateral passage 46, A pressure difference occurs in the valve slide 50. as a result, Valve slide 50 contacts Or Or until the control piezoelectric element 12 closes the annular gap again. The slide is a figure Move to the left. When the valve slide 50 moves to the left, Pump connection P is user -Connect to connection A, When it moves in reverse, Pong The connection section P connects to the user connection section B. When the valve slide reaches the desired working position, Flow force, File from user The remaining adjusting force of the main fluid flow such as Applied to the valve unit 24 from both ends Need to be For this, A pressure difference occurs in the valve slide 50, I need it Until it is equal to the value of the adjustment force multiplied by its open contact area. Annular space of valve element 10 The gap is closed. This power is Free surface of pressure and annular gap in pressure transfer line P And only to the ratio of the free surface of the diaphragm 62 to the free surface of the diaphragm 62. The control valve of the present invention, Servo valve suitable for the above and many other valve applications Used. Despite being complex and expensive, Not always reliable, Known electro-mechanical, The hydraulically operated servo device can be omitted. Two embodiments of the control valve will be described in detail. Used in the previous example The same parts are indicated by adding 100 to the same reference numerals. About these parts Is the same as previously described. In the embodiment shown in FIG. Pump connection P and control connection 144 are fixed Open into the jing element 122. Pump connection P is provided by diaphragm 162. The diameter is smaller. The ends of the pump connection P and the control connection 144 are Pressure Open into a passage chamber 166 containing a force generator in the form of a compression spring 130 You. The compression spring 130 Limited walls of passage chamber 166 at each end Supported by the surface and the cone-shaped valve member 110, The valve member 110 is closed by closing the valve seat 132. Biased to the position. The valve member or valve element 110 includes Pump connection P, Diaphragm 162, The direction of fluid flow through the passage chamber 166 and the control connection 144 is transverse Cut and move. A tank connection T extends into the housing element 122 parallel to the control connection 144 , Conveys fluid and opens to separation chambers 134 and 136 are doing. Narrowing which causes a pressure drop in the pump line P to 10% of the original fluid pressure The constriction or diaphragm 162 is It may be provided in the tank line T. Closed the valve In order to The piezoelectric regulator element 114 is operated; The base plate 118 is shown in FIG. Move to the left, This moves the regulator element 112 downward in the figure, this Is moved to the liquid-tight closed position. Thus, Yes The flexible corrugated tube 120 is pre-energized. As shown in FIG. Outer regulation The oscillator element 114 is held without tension or voltage, Tension or voltage is Applied to the inner regulator element 112 via an inlet 138, This allows Reggi The elongate element 112 extends, The valve element 110 is lifted from the valve seat 132, Closed Of the fluid transfer performed between the pump connection P and the control connection 144 at the position At least in part, It is directed to the tank connection T. With this configuration, Two Les A regulator path is obtained, Activate the individual piezoelectric regulator elements 112 and 114 The power line needed to be switched between these two piezoelectric elements, This device Can increase the electric efficiency. In another embodiment of the control valve shown in FIG. Pump connection P, Tank connection T And three connections of the control connection 244, Provided on the fixed housing element 222 ing. The pump connection P is A fixed housing element 222 is Kere, Its free end is open in the area of the valve seat 232 of the first separation chamber 234 . The first separation chamber surrounds the first regulator element 212. Screw at right angle If you do, The control connection part 244 and the tank connection part T are separated from the valve seat 232 and Open into chamber 234. in this case, The elastic wave type tube 220 having flexibility is exclusively used. Function as a power generator 230, Acts on regulator elements. This place If The valve plate is valve As element 210, It is provided at the end of the inner piezoelectric regulator element 212. In the relaxed state where no voltage or tension is applied, The inner regulator element is The fluid conveyance between the pump connection P and the control connection 244 is shut off. Outside regulation The generator element 214 cuts off between the control connection 244 and the tank connection T, Corrugated The tube spring 220 generates a closing force. Outer regulator element 214 When voltage is applied to This element is opposite to the action direction of the corrugated tube spring 220. Extend in opposite directions, Lift the inner regulator element 212, Need valve from valve seat 232 Release element 210. By this action, Reach pump connection P and control connection 244 Between the annular passages. This interconnection is shown in FIG. another If you operate, The inner regulator element 212 extends, When the control connection part 244 is Disconnected from T. According to this configuration, To get a certain pressure for control , No control lubrication oil is required. With the control valve or regulator valve mechanism of the present invention, Many problems with valve systems Is resolved. This can be used as a general-purpose servo valve, Especially small fluids Useful as a high-grade throttle valve or butterfly valve.

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項【提出日】１９９７年６月３０日（１９９７．６．３０）【補正内容】請求の範囲１．弁要素（１０，１１０，２１０）を作動させるために少なくとも２つの圧電レギュレータ要素（１２，１４，１１２，１１４，２１２，２１４）を有し、該レギュレータ要素は制御弁の動作に悪影響を与える潜在的熱膨張を補償するように相互に独立して作動し、圧電レギュレータ要素（１２，１４，１１２，１１４，２１２，２１４）は、その一端で支持面（１６，１１６，２１６）に支持され、少なくとも一方のレギュレータ要素（１４，１１４，２１４）は、その分極方向が弁要素（１０，１１０，２１０）の作動方向に平行になるように整列され、制御弁の固定要素（２２，１２２，２２２）に支持されてこれらと支持面（１６，１１６，２１６）との間に配置されている制御弁であって、他方のレギュレータ要素（１２，１１２，２１２）が弁要素（１０，１１０，２１０）を有し、支持面（１６，１１６，２１６）は弾性を有する可撓性コネクタ部材（２０，１２０，２２０）を介して制御弁の固定要素（２２，１２２，２２２）に接続され、コネクタ部材（２０，１２０，２２０）はレギュレータ要素（１２，１４，１１２，１１４，２１２，２１４）を取り囲んでいることを特徴とする制御弁。２．弁要素（１０，１１０，２１０）を有するレギュレータ要素（１２，１１２，２１２）がその外周を隣接するレギュレータ要素（１４，１１４，２１４）によって取り囲まれ、両方のレギュレータ要素（１２，１４，１１２，１１４，２１２，２１４）の間に、その全長に沿って、流体を満たすことのできる分離チャンバ（３４，１３４，２３４）が形成されるように配置されていることを特徴とする請求項１記載の制御弁。７．力蓄積器（３０，１３０）の作用方向に逆らって作動する少なくとも一つのレギュレータ要素（１２，１１２）が、弁要素（１０，１１０）と連携作用を行い、及び／又は蓄積器（２３０）が弾性接続部材（２２０）の一部としての形成されていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の制御弁。８．弁要素（１０，１１０）がサーボコーンであり、それが開放位置にある場合には、サーボチャンバ（４４）又は弁の制御接続部（１４４）と無圧接続部特にタンク接続部（Ｔ）との間、並びにサーボチャンバ（４４）又は制御接続部（１４４）と二つの分離チャンバ（３４，３６，１３４，１３６）との間に流体搬送接続が形成されることを特徴とする請求項３〜７のいずれか１項記載の制御弁。１０．一方のレギュレータ要素（２１４）が作動すると不作動の他方のレギュレータ要素（２１２）がポンプ接続部（Ｐ）と制御接続部（２４４）との間の流体搬送接続を開放し、逆に作動するとこの接続が閉鎖されると共に、制御接続部（２４４）とタンク（Ｔ）との間の流体接続が開放されることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項記載の制御弁。１１．請求項１〜７のいずれか１項記載の制御弁を１つ有する多通路弁であって、弁要素（１０）が多通路弁のバルブスライド（５０）に作用して、圧力搬送接続部（Ｐ）と制御弁との間に流体搬送接続を形成し、多通路弁ハウジング（５２）の内部の複数の流体搬送接続部（Ａ，Ｂ）を、バルブスライド（５０）の位置に応じて互いに接続させたり分離したりすることを特徴とする多通路弁。[Procedure of Amendment] Article 184-8, Paragraph 1 of the Patent Act [Submission date] June 30, 1997 (1997.6.30) [Correction contents] The scope of the claims 1. At least two pressures for actuating the valve elements (10, 110, 210) Power regulator elements (12, 14, 112, 114, 212, 214), The regulator element compensates for any potential thermal expansion that could adversely affect the operation of the control valve. The piezoelectric regulator elements (12, 14, 112, 11) 4,212,214) are supported at one end by the support surfaces (16,116,216). And at least one regulator element (14, 114, 214) has its polarization Aligned so that the direction is parallel to the direction of actuation of the valve element (10, 110, 210) , Supported by the fixed elements (22, 122, 222) of the control valve and supporting surfaces (1). 6, 116, 216) and the other regulation valve. Data elements (12, 112, 212) have valve elements (10, 110, 210); The support surface (16, 116, 216) has a flexible connector member (20, 1) having elasticity. 20, 220) to the fixed elements (22, 122, 222) of the control valve. , The connector member (20, 120, 220) is a regulator element (12, 14, 1). 12, 114, 212, 214). 2. Regulator element (12, 11) having valve element (10, 110, 210) 2,212) is a regulator element (14,114,214) adjacent to its outer periphery Surrounded by both regulator elements (12, 14, 112, 114, 212, 214), along its entire length, a separation channel capable of being filled with fluid. Characterized in that they are arranged so as to form chambers (34, 134, 234). The control valve according to claim 1, wherein 7. A slight actuation against the direction of action of the force accumulators (30, 130) At least one regulator element (12, 112) comprises a valve element (10, 110). And / or the accumulator (230) is connected to one of the elastic connecting members (220). 7. The recording medium according to claim 1, which is formed as a part. On-board control valve. 8. If the valve element (10, 110) is a servo cone and it is in the open position, In case, the servo chamber (44) or the control connection (144) of the valve is And the tank connection (T), as well as the servo chamber (44) or the control connection ( 144) and two separation chambers (34, 36, 134, 136). The control valve according to claim 3, wherein a transmission connection is formed. . 10. When one regulator element (214) operates, the other The flow rate between the pump connection (P) and the control connection (244). Opening the body transport connection and actuating it in the opposite direction closes this connection and the control connection The fluid connection between (244) and the tank (T) is opened. Item 9. The control valve according to any one of Items 1 to 8. 11. A multi-pass valve having one control valve according to any one of claims 1 to 7. Thus, the valve element (10) acts on the valve slide (50) of the multi-pass valve to provide pressure transfer. A fluid carrying connection is formed between the connection (P) and the control valve, and the multi-pass valve housing (5 The fluid transport connections (A, B) inside 2) are connected to the position of the valve slide (50). A multi-pass valve which is connected or separated from each other depending on the position.

Claims

[Claims] 1. At least two pressures for actuating the valve elements (10, 110, 210) Power regulator elements (12, 14, 112, 114, 212, 214), The regulator element compensates for any potential thermal expansion that could adversely affect the operation of the control valve. The regulator elements (12, 14, 112, 114, 212, 214) are supported at one end by the support surfaces (16, 116, 216), At least one of the regulator elements (14, 114, 214) is required to fix the control valve. (22, 122, 222) and the support surfaces (16, 116, 21). 6) and the other regulator element (12, 112, 212) A control valve having elements (10, 110, 210), comprising a support surface (16, 110, 210). 116, 216) are flexible connector members (20, 120, 220) having elasticity. Connected to the fixed element (22, 122, 222) of the control valve through a connector member (20, 120, 220) are regulator elements (12, 14, 112, 114, 212, 214) and the piezoelectric regulator elements (12, 14, 112, 1). 14, 212, 214) are parallel to the direction of actuation of the valve element (10, 110, 210). A control valve characterized by being arranged in a polarized manner. 2. Regulator element (12, 11) having valve element (10, 110, 210) 2,212) is a regulator element (14,114,214) adjacent to its outer periphery Surrounded by both regulator elements (12, 14, 112, 114, 212, 214), along its entire length, a separation channel capable of being filled with fluid. Characterized in that they are arranged so as to form chambers (34, 134, 234). The control valve according to claim 1, wherein 3. The connecting member is a corrugated tube (20, 120, 220) and one end thereof Supports for regulator elements (12, 14, 112, 114, 212, 214) A support surface is provided, the other end of which is connected to the fixing element (22, 122, 222), Mold tube (20, 120, 220) and adjacent regulator element (14, 114, 214) and another separation chamber (36, 136,236) is formed, The control of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. valve. 4. The regulator elements (12, 14, 112, 114, 212, 214) The end opposite to the support surface (16, 116, 216) is fixed to the fixing element (22, 122, 2). 22) and / or in contact with the polarized contact surfaces of the valve element (10, 110, 210). The control valve according to claim 1, wherein the control valve is disposed. 5. All regulator elements (12, 14, 112, 114, 212, 21) 4) has the same working direction, especially the same expansion direction, and allows anisotropic expansion behavior Having at least one regulator element (12, 14, 112) , 114, 212, 214) carry out mechanical vibrations. 5. The control valve according to any one of 4. 6. The valve element (10, 110, 210) replaces the fixed element (22, 122, 222). There is a valve seat (32, 132, 232) inside, and the valve seat has a fixed coupling (40, 132, 232). 140 and 240) and are flexible and movable to fixed elements (22, 122, 222) The control valve according to claim 1, wherein the control valve is connected to the control valve. 7. At least one acting against the working direction of the force accumulator (30, 130) Regulator elements (12, 112) cooperate with valve elements (10, 110) Perform and / or accumulator (230) Forming a part of the flexible connector member (220). Item 7. The control valve according to any one of Items 1 to 6. 8. If the valve element (10, 110) is a servo cone and it is in the open position, In case, the servo chamber (44) or the control connection (144) of the valve is And the tank connection (T), as well as the servo chamber (44) or the control connection ( 144) and two separation chambers (34, 36, 134, 136). The control valve according to claim 3, wherein a transmission connection is formed. . 9. One regulator element (112) for opening the valve and one for closing the valve The other regulator element (114) is activated by the application of a voltage. The control valve according to any one of claims 1 to 8, characterized in that: 10. When one regulator element (214) operates, the other The flow rate between the pump connection (P) and the control connection (244). Opening the body transport connection and actuating it in the opposite direction closes this connection and the control connection The fluid connection between (244) and the tank (T) is opened. Item 9. The control valve according to any one of Items 1 to 8. 11. Multi-way having at least one control valve according to any one of claims 1 to 7. Valve, in particular a multi-pass slide valve, wherein the valve element (10) is a multi-pass valve Acting on the slide (50), the fluid transfer between the pressure transfer connection (P) and the control valve Forming a connection and a plurality of fluid carrying connections (A) inside the multi-pass valve housing (52). , B) are separated or connected to one another depending on the position of the valve slide (50). Or a multi-pass valve. 12. Valve slide (50) can be fluidly connected to pressure pump (P) A central passageway (58) and near its end a diaphragm (62) or A constriction, said passage opening to at least one servo chamber (44) of the control valve. The multi-pass valve according to claim 11, wherein 13. A regulator valve is provided at each end of the valve slide (50). An accumulator (30) is arranged between the element (10) and the valve slide (50), If the passage valve is not activated, the two accumulators (30) are connected to the valve slide (5). 13. The method according to claim 11, wherein 0) is held in a central inoperative position. Multi passage valve.