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JP2000329681A - 自己励振、自己検知型プローブ及び走査型プローブ装置 - Google Patents

自己励振、自己検知型プローブ及び走査型プローブ装置

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Publication number
JP2000329681A
JP2000329681A JP2000019217A JP2000019217A JP2000329681A JP 2000329681 A JP2000329681 A JP 2000329681A JP 2000019217 A JP2000019217 A JP 2000019217A JP 2000019217 A JP2000019217 A JP 2000019217A JP 2000329681 A JP2000329681 A JP 2000329681A
Authority
JP
Japan
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lever
resistor
probe
self
scanning probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000019217A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuhiro Shimizu
信宏 清水
Yoshiharu Shirakawabe
喜春 白川部
Hiroshi Takahashi
寛 高橋
Chiaki Yasumuro
千晃 安室
Tadashi Arai
正 新井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP2000019217A priority Critical patent/JP2000329681A/ja
Priority to US09/526,148 priority patent/US6422069B1/en
Publication of JP2000329681A publication Critical patent/JP2000329681A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
    • G01Q10/04—Fine scanning or positioning
    • G01Q10/045—Self-actuating probes, i.e. wherein the actuating means for driving are part of the probe itself, e.g. piezoelectric means on a cantilever probe
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
    • G01Q20/04—Self-detecting probes, i.e. wherein the probe itself generates a signal representative of its position, e.g. piezoelectric gauge
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S977/00—Nanotechnology
    • Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
    • Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
    • Y10S977/86—Scanning probe structure
    • Y10S977/873—Tip holder

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 自己励振型で高精度の測定が可能な自己検知
型プローブ及びこれを用いた走査型プローブ装置を提供
すること。 【解決手段】 プローブ１のレバー３を振動させて試料
の測定を行うようにした走査型プローブ装置において、
レバー３に抵抗体５を設け、抵抗体５に周期的なバイア
ス信号を印加することによりレバー３を外部からの加振
なしに振動させ、このとき生じる抵抗体５の抵抗変化か
らレバー３の変位を検出できるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブのレバー
を振動させて動作させるＤＦＭモードで使用するのに好
適な自己励振、自己検知型プローブ及びこれを用いた走
査型プローブ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、走査型プローブ顕微鏡を用いて
試料の表面形状を測定する場合、プローブのカンチレバ
ーを共振振動させるなどして試料表面を軽く叩き、該叩
き具合が一定になるようにサーボ系でカンチレバーのＺ
方向の位置（試料とカンチレバーとの間の距離）をフィ
ードバック制御することにより、試料表面の形状データ
を得るようにするダイナミック測定モードが従来から広
く採用されてきている。
【０００３】したがって、ダイナミック測定モードで試
料の測定を行う場合、従来では、カンチレバーを励振さ
せるためにＰＺＴなどの圧電体をカンチレバー本体に物
理的接触により結合させる構成が採用されている。
【０００４】そして、圧電体に与える電圧信号によって
カンチレバーを振動させ、カンチレバーの基部付近に取
り付けられている抵抗体に直流バイアスを掛けてカンチ
レバーの撓みに応じた検出信号を得、これを差動アンプ
を介して取り出すことにより測定データを得ていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来にお
いては、カンチレバーを加振しようとする場合、圧電体
を使用して外部から行う構成であるから、圧電体とカン
チレバーとの力学的結合状態によって振動の伝達が不安
定となる傾向を有する上、付加的に圧電体を設けること
により装置構成が複雑化してしまうという問題があっ
た。
【０００６】さらに、カンチレバーの撓み量を検出する
のに、歪センサとして使用される抵抗体に直流バイアス
を印加し、このときの電圧の変化をカンチレバーの歪み
量として検出していたので、感度が悪い上、取付状態に
よるばらつきが大きいので測定を精度よく行うことがで
きなかった。
【０００７】また、動作点は、カンチレバーの共振振動
周波数付近となっており、したがって、カンチレバーの
特性がばらつくことによる動作点の再現性の困難さを有
しており、安定した動作を期待することができないとい
う別の問題点も有していた。
【０００８】本発明の目的は、従来技術における上述の
問題点を解決することができるようにした、自己励振、
自己検知型プローブ及びこれを用いた走査型プローブ装
置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の特徴は、プローブのレバーを振動させて試料
の測定を行うようにした走査型プローブ装置において、
レバーに抵抗体を設けたプローブを用い、該抵抗体に周
期的なバイアス信号を印加することにより該レバーを振
動させるようにした点にある。
【００１０】抵抗体は、レバーに不純物をイオンインプ
ラテーションによりドーピングすることで設けることが
できる。圧電体を取り付けて外部から加振する場合に比
べ、振動の伝達のばらつきを除去し、安定な加振を行う
ことができる。また、バイアス信号の周期を任意に選ぶ
ことができ、動作点をレバーの共振点以外に設定するこ
とも容易となる。
【００１１】上記構成において、抵抗体をレバーの歪の
検出のための検出素子として使用することもできる。
【００１２】上記構成において、抵抗体のほかに、レバ
ーの歪の検出のための検出素子を別途設ける構成とする
こともできる。
【００１３】上記構成において、レバーの近くに抵抗体
と同一構成の参照用抵抗体を設けておき、この参照用抵
抗体を、レバーの歪の検出のための温度補償用として使
用することもできる。
【００１４】参照用抵抗体を用いてレバーの歪検出時の
温度補償を行う場合、両抵抗体に同一の交流バイアスを
印加する構成とすることもできる。
【００１５】レバーの歪み検出のために交流の如き周期
的に振幅の変化するバイアス信号を用いると、Ｓ／Ｎ比
の良好な検出ができ、振幅、位相、周波数の成分を用い
た各種検波方式による高精度な測定が可能となる。した
がって、小レベルの信号が検出可能となり、高分解能で
高精度の測定ができる走査型プローブ装置が実現でき
る。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態の一例につき詳細に説明する。
【００１７】図１には、本発明による自己励振、自己検
知型プローブの実施の形態の一例が示されている。図１
に示したプローブ１は、走査型プローブ顕微鏡に用いら
れるプローブとして構成されており、例えば、ＳＯＩウ
エハー等を用いたフォトリソグラフィーによって製造す
ることができるものである。プローブ１は、ＳＯＩウエ
ハーをエッチングして作られた支持部２から、レバー３
が一体に延設されて成り、レバー３の自由端部には探針
４がレバー３と一体に設けられている。なお、探針４は
レバー３と別体であってもよいし、探針４を持たないレ
バー３の形態としてもよい。
【００１８】レバー３の基部付近には、抵抗体５が設け
られている。本実施の形態では、抵抗体５はレバー３の
長手方向に延びるように設けられた一対の抵抗素子５
Ａ、５Ｂから成っており、抵抗素子５Ａ、５Ｂの各一端
５Ａａ、５Ｂａは金属配線６により電気的に接続されて
いる。抵抗素子５Ａ、５Ｂは、後述するように、レバー
３の加振とレバー３の歪み検出との両方の目的で設けら
れている。抵抗素子５Ａ、５Ｂは、レバー３上に不純物
（ボロン、リン等）をイオンインプラテーションなどに
よりドーピングして一定幅の帯状の形態に形成されてい
る。
【００１９】プローブ１の支持部２上には、一対の薄膜
状の金属配線７、８が被着されており、金属配線７、８
の各一端７Ａ、８Ａが抵抗素子５Ａ、５Ｂの各他端５Ａ
ｂ、５Ｂｂと電気的に接続されている。金属配線７、８
の各他端７Ｂ、８Ｂは端子部となっており、他端７Ｂ、
８Ｂを介して外部の回路に抵抗素子５Ａ、５Ｂを電気的
に接続することができる構成となっている。
【００２０】なお、本実施の形態では、金属配線６、
７、８はいずれもアルミニウムを用いた金属膜として形
成した構成となっている。
【００２１】プローブ１は以上のように構成されている
ので、プローブ１を図示しない走査型プローブ顕微鏡に
セットし、レバー３を振動させて測定するダイナミック
測定モードで使用することができる。すなわち、他端７
Ｂ、８Ｂ間に加振用の電気的エネルギーとして周期的に
レベル変化する電圧信号、例えば交流電圧信号、を加振
電圧信号ＫＶとして印加すれば、加振電圧信号ＫＶによ
って抵抗体５に流れる交流電流によりレバー３が加振電
圧信号ＫＶの周波数ｆ１と同一の周波数ｆ１で変位（振
動）する。
【００２２】図２の（Ａ）、（Ｂ）には、プローブ１の
動作の様子の一例が示されている。図２に示した例で
は、加振電圧信号ＫＶは０ボルトからＶａボルトの間で
周期的にレベル変化するサイン波状の信号となっている
が、三角波、矩形波等の電圧信号を用いてもよいことは
勿論である。加振電圧信号ＫＶがどのような形態の電圧
信号であっても、加振電圧信号ＫＶの周期的変化に相応
してレバー３が変位し、レバー３を自己励振させること
ができる。レバー３の振動振幅は加振電圧信号ＫＶの電
圧レベルにより調節することができる。
【００２３】このように、プローブ１は、レバー３に上
述の如くして形成された抵抗体５に加振用の電圧信号を
与えることによりレバー３を励振させる自己励振型とし
たので、外部から加振する従来の構成に比べて加振を制
御性よくコントロールできるので、振動の伝達のばらつ
きがなくなり、高精度で再現性の良好なレバー３の励振
を実現できる。この結果、高感度、高精度で信号検出が
行える。
【００２４】ここで、レバー３の振動周期は加振電圧信
号ＫＶの周波数で決まるので、レバー３の共振周波数以
外の任意の周波数とすることができる。しかし、この周
波数はレバー３の共振点付近の値とした方が、レバー３
の振幅を大きくすることができ、検出感度を上げること
ができるので好ましい。
【００２５】プローブ１において、抵抗体５はレバー３
の歪の検出用にも用いられる。レバー３の歪みに応じて
抵抗体５の抵抗値が変化することを利用したものであ
り、金属配線７、８の各他端７Ｂ、８Ｂ間に抵抗体５の
抵抗値測定のための回路が接続される。この抵抗体５の
抵抗値測定のための回路は、従来の自己検知型のプロー
ブのために用いられているものと同様のものを使用する
ことができる。
【００２６】なお、加振電圧信号ＫＶの周波数のオフセ
ットによってレバー３の振動周波数が変化する。例え
ば、図２の（Ｃ）に示すように、加振電圧信号ＫＶの周
波数をｆ２とし、レバー３の振動周波数を（Ｄ）に示す
ように２ラｆ２とする動作も可能である。しかし、図２
の（Ａ）、（Ｂ）に示した動作態様の方が抵抗体５から
の信号に基づく歪みの検出が簡単となるので、加振電圧
信号ＫＶの周波数とレバー３の振動周波数とが同一とな
るように動作させるのが好ましい。
【００２７】図３には、本発明による自己励振、自己検
知型プローブの他の実施の形態が示されている。図３に
示したプローブ１１は、図１に示したプローブ１と基本
構成は同じであるが、レバー３を加振するための加振用
抵抗体と、レバー３の歪（変位）を検出するための変位
検出用抵抗体とを別に設けた点でのみ図１のプローブ１
と異なっている。したがって、プローブ１１の各部のう
ち、プローブ１の各部に対応する部分には、同一の符号
を付してそれらの説明を省略する。
【００２８】図３において、１２は加振用抵抗素子１２
Ａ、１２Ｂから成る加振用抵抗体、１３、１４、１５は
接続用の金属配線、１６は検出用抵抗素子１６Ａ、１６
Ｂから成る検出用抵抗体、１７、１８、１９は接続用の
金属配線である。これらは、図１に示した抵抗体５及び
金属配線６、７、８の製造技術と同様の技術で同様に作
られている。
【００２９】プローブ１１は、上述の如く、加振用抵抗
体１２と検出用抵抗体１６とを別体にして設けたので、
金属配線１４、１５に加振電圧信号ＫＶを外部から印加
してレバー３を励振させ、このとき生じるレバー３の変
位を金属配線１８、１９に接続される検出用の回路によ
って電気的に検出することができる。金属配線１８、１
９に接続される検出用の回路は、従来の自己検出型プロ
ーブにおいて用いられていた回路を使用することができ
る。
【００３０】図４には、プローブ１１を自己励振させる
と共にこれにより生じたレバー３の変位を検出するため
の回路の構成の一例が示されている。図４において、２
１は、加振用抵抗体１２の加振用抵抗素子１２Ａ、１２
Ｂに励振用の加振電圧信号ＫＶを与えるための電圧発生
器、総体的に符号２２で示されるのが、検出用抵抗体１
６の検出用抵抗素子１６Ａ、１６Ｂに接続され、検出用
抵抗素子１６Ａ、１６Ｂの抵抗値の変化からレバー３の
変位を検出するための変位検出回路である。
【００３１】変位検出回路２２は、検出用抵抗素子１６
Ａ及び１６Ｂによってブリッジ回路を構成する抵抗器２
３、２４を有している。抵抗器２３は可変抵抗器であ
り、その可変接点とアースとの間には別にバイアス用の
可変電圧源２７から直流電圧VBが供給されている。そし
て、抵抗器２３の両端の電圧が差動アンプ２８に入力さ
れ、差動アンプ２８の出力からレバー３の変位を示す電
圧信号が取り出される構成である。
【００３２】
【００３３】図５は、図１に示したプローブ１の変形例
を示すものである。図５に示したプローブ３１は、支持
部２にリファレンスレバー３２を設け、リファレンスレ
バー３２に参照用抵抗体３３を設けた点でプローブ１と
異なっている。参照用抵抗体３３は抵抗体５と同様に構
成され、抵抗素子３３Ａ、３３Ｂから成り、金属配線３
４〜３６によって接続されている。
【００３４】プローブ３１は参照用抵抗体３３を備えて
いるので、これを用いることにより参照用抵抗体３３の
熱ドリフトによる影響を除去してレバー３の変位を精度
よく検出することができる。リファレンスレバー３２の
位置は図５に示す位置に限定されるものではない。
【００３５】図６には、リファレンスレバーを支持部２
内に設けた場合の構成例が示されている。図６を参照す
ると、このプローブ４１は、リファレンスレバー４２を
支持部２内に設け、リファレンスレバー４２に抵抗素子
４３Ａ、４３Ｂから成る参照用抵抗体４３を形成すると
共に、金属配線４４〜４６を形成したものである。プロ
ーブ３１とプローブ４１とは、レバー３が振動したとき
にリファレンスレバー３２はこれと同様に振動するのに
対し、リファレンスレバー４２は殆ど振動しない点で異
なっている。
【００３６】図７には、図５及び図６に示されるように
参照用抵抗体３３又は４３を有するプローブ３１又は４
１におけるレバー３の変位検出のための回路構成の一例
が示されている。
【００３７】検出回路５１は、抵抗体５と参照用抵抗体
３３との間に接続される可変抵抗器５２を有し、抵抗体
５と参照用抵抗体３３との各一端がそれぞれアースされ
ることにより、抵抗体５と参照用抵抗体３３と可変抵抗
器５２とによって抵抗ブリッジ回路が構成されている。
可変抵抗器５２の可動接点とアースとの間には、バイア
ス用の交流電圧ＡＣが交流電源５３によって印加されて
おり、可変抵抗器５２の両端の電圧が差動アンプ５４に
入力され、差動アンプ５４の出力からレバー３の変位を
示す電圧信号が得られる。
【００３８】上記回路構成によると、温度変化による抵
抗体５の抵抗値のドリフトと同じドリフトが参照用抵抗
体３３にも生じるので、両ドリフトが差動アンプ５４の
入力でキャンセルされ、したがって、抵抗体５に生じる
レバー３の変位による電圧変化のみが差動アンプ５４の
出力から得られることになる。
【００３９】参照用抵抗体３３の代わりに参照用抵抗体
４３を用いても同様の効果が得られる。しかし、参照用
抵抗体３３を用いた場合にはリファレンスレバー３２の
振動の影響を参照用抵抗体３３が受けるため、ドリフト
のキャンセル量は大きなものとなるが、図６に示した構
成に従う参照用抵抗体４３を用いた場合には、リファレ
ンスレバー４２にレバー３と同様の振動が生じないの
で、ドリフトのキャンセル量はその分小さなものとな
る。
【００４０】以上、抵抗体を用いてレバー３の変位を検
出する回路構成について述べたが、試料と探針との間
で、距離、材質等の変化により相互作用が影響を受け、
レバー３の振幅、位相、周波数が変化する。したがっ
て、抵抗体から得られる検出信号を基にその振幅、位
相、周波数を基にレバー３の変位を検出する回路構成と
してもよい。このような検出はＳ／Ｎ比が良好であるこ
とが必要とされるが、図７に示されるような回路構成に
よれば、高Ｓ／Ｎ比での測定が可能となるので、上述し
た各種検波方式を用いてレバー３の変位を高精度にて検
出することが可能となる。図８は、本発明を適用した走
査型プローブ装置の構成を示したブロック図である。３
次元試料ステージ７３上には試料６０が載置され、試料
６０の上方には、本発明で構成のプローブ１の探針４が
対向配置されている。検出部７１はバイアス回路と増幅
器からなっており、プローブ１にバイアス及び励振信号
を印加し、プローブの歪みによって発生した信号を増幅
する。演算部７２は所望の信号を得るための演算を行う
部分で、振幅、位相、周波数等の変化分を変位信号Ｓ１
に変換する。制御部７５は、変位信号Ｓ１が０に近付く
ようにアクチュエータ駆動増幅器７０を制御する。ま
た、制御部７５の出力信号が輝度信号（Ｚ信号）として
コントローラ７７へ供給される。走査信号発生部７６
は、試料６０をＸＹ方向へ微動させるための微動信号を
アクチュエータ駆動増幅器７０へ供給し、コントローラ
７７へはラスタ走査信号を供給する。コントローラ７７
はパーソナルコンピュータ等で容易に構成できる、装置
全体を制御信号でコントロールする機能と、ＸＹＺの信
号を３次元像として表示する機能を持つ。さらに専用の
ソフトウエアで演算処理して信号を変換することによ
り、いろいろな表面情報を得ることができる。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、外部から加振する従来
の方式に比べ、振動の伝達のばらつきがなくなり、加振
を良好に制御でき、高感度、高精度の測定が可能とな
る。また、交流の如き周期的に振動の振幅の変化するバ
イアス信号を用いて変位検出を行う構成によれば、抵抗
体によって得られる検出信号の振幅、位相、周波数の成
分を用いての変位検出が可能となり、高分解能で高性能
の測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による自己励振、自己検知型プローブの
実施の形態の一例を示す斜視図。
【図２】図１に示したプローブの動作の様子の一例を示
すグラフ。
【図３】本発明による自己励振、自己検知型プローブの
他の実施の形態を示す要部拡大平面図。
【図４】図３に示したプローブを自己励振させると共に
これにより生じたレバーの変位を検出するための回路の
構成の一例を示す図。
【図５】図１に示したプローブの変形例を示す要部拡大
平面図。
【図６】図５に示したプローブの変形例を示す要部拡大
平面図。
【図７】図５及び図６に示したプローブにおけるレバー
の変位検出のための回路構成の一例を示す回路図。
【図８】走査型プローブ装置の構成を示したブロック
図。
【符号の説明】
１、１１、３１、４１ プローブ ２ 支持部 ３ レバー ４ 探針 ５ 抵抗体 ５Ａ、５Ｂ 抵抗素子 ６、７、８ 金属配線 １２ 加振用抵抗体 １６ 検出用抵抗体 ３３、４３ 参照用抵抗体
フロントページの続き (72)発明者 高橋 寛 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 安室 千晃 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 新井 正 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 Ｆターム(参考） 2F069 AA60 AA66 DD27 EE02 GG01 GG62 HH05 JJ14 LL03 MM32 QQ07

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 プローブのレバーを振動させて試料の測
    定を行うようにした走査型プローブ装置において、レバ
    ーに抵抗体を設けたプローブを用い、該抵抗体に周期的
    なバイアス信号を印加することにより該レバーを振動さ
    せるようにしたことを特徴とする走査型プローブ装置。
  2. 【請求項２】 前記抵抗体を前記レバーの歪検出のため
    の検出素子としても使用するようにした請求項１記載の
    走査型プローブ装置。
  3. 【請求項３】 前記レバーに、前記レバーの歪検出のた
    めの素子としての別の抵抗体をさらに設けた請求項１記
    載の走査型プローブ装置。
  4. 【請求項４】 前記レバーの近くに、参照用レバーをさ
    らに設け、該参照用レバーに前記抵抗体と同一構成の参
    照用抵抗体を設け、該参照用抵抗体を前記レバーの歪検
    出のための温度補償用のための素子として用いた請求項
    ２記載の走査型プローブ装置。
  5. 【請求項５】 前記抵抗体と前記参照用抵抗体とに同一
    のＡＣバイアスを印加するようにした請求項４記載の走
    査型プローブ装置。
  6. 【請求項６】 前記レバーの歪検出のための出力信号の
    振幅変化、位相変化、周波数変化のうち少なくとも一つ
    を変位信号とした検波方式を用いた請求項２、３又は４
    記載の走査型プローブ装置。
  7. 【請求項７】 走査型プローブ装置に用いるプローブで
    あって、該プローブのレバーに抵抗体を設け、該抵抗体
    に間歇的に電流を流すことにより前記レバーを励振可能
    とすると共に、該抵抗体を用いて前記レバーの歪を検出
    可能としたことを特徴とする自己励振、自己検知型プロ
    ーブ。
  8. 【請求項８】 走査型プローブ装置に用いるプローブで
    あって、該プローブのレバーに第１の抵抗体を設け、該
    第１の抵抗体に間歇的に電流を流すことにより前記レバ
    ーを励振可能とすると共に、該プローブのレバーに第２
    の抵抗体を設け、該第２の抵抗体を用いて前記レバーの
    歪を検出可能としたことを特徴とする自己励振、自己検
    知型プローブ。
JP2000019217A 1999-03-16 2000-01-27 自己励振、自己検知型プローブ及び走査型プローブ装置 Withdrawn JP2000329681A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000019217A JP2000329681A (ja) 1999-03-16 2000-01-27 自己励振、自己検知型プローブ及び走査型プローブ装置
US09/526,148 US6422069B1 (en) 1999-03-16 2000-03-15 Self-exciting and self-detecting probe and scanning probe apparatus

Applications Claiming Priority (3)

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