JP2000312943A - Method and device for manufacturing workpiece having cylindrical face, and method and device for manufacturing dynamic pressure groove of fluid bearing - Google Patents
Method and device for manufacturing workpiece having cylindrical face, and method and device for manufacturing dynamic pressure groove of fluid bearingInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、流体軸受用のスリ
ーブの内周円筒面、スリーブに支持される回転軸の外周
円筒面等の円筒面を有する被加工物の製造方法及びその
製造装置に関し、特に、流体軸受の動圧溝の製造方法及
びその製造装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a workpiece having a cylindrical surface such as an inner cylindrical surface of a sleeve for a fluid bearing and an outer cylindrical surface of a rotary shaft supported by the sleeve, and an apparatus for manufacturing the same. More particularly, the present invention relates to a method and apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing.
【0002】[0002]
【従来の技術】流体軸受は、例えば、特公平4−783
64号公報の第1図に示されているように、動圧溝を有
する軸と、その外周に回転自在に挿入されるスリーブ
と、前記軸と前記スリーブとの間に充填される潤滑剤と
から構成される。この流体軸受は、軸又はスリーブの何
れか一方を回転することにより、動圧溝のポンピング作
用により、溝内に圧力を発生する非接触な軸受からな
る。この流体軸受の製造装置は、上記公報の第3図に開
示されているように、一種類の回転機構部と送り機構部
とで構成され、機器構造が単純化されている。2. Description of the Related Art A fluid bearing is disclosed, for example, in Japanese Patent Publication No. 4-783.
As shown in FIG. 1 of Japanese Patent Publication No. 64, a shaft having a dynamic pressure groove, a sleeve rotatably inserted around its outer periphery, a lubricant filled between the shaft and the sleeve, Consists of This fluid bearing is a non-contact bearing which generates pressure in the dynamic pressure groove by rotating either the shaft or the sleeve and thereby pumping the dynamic pressure groove. As disclosed in FIG. 3 of the above-mentioned publication, this fluid bearing manufacturing apparatus is composed of one kind of rotation mechanism and feed mechanism, and the equipment structure is simplified.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特公平
4−78364号公報に開示されている動圧溝の製造装
置は、一種類の回転機構部と送り機構部とで良く機器構
造は単純化されるが、動圧溝を形成した後に、この動圧
溝に沿ってガイドパイプから突出したボールを溝に沿っ
て戻さなければ加工治具が抜けないという問題があっ
た。更に、動圧溝に沿ってガイドパイプから突出したボ
ールを戻した場合には、動圧溝のピッチずれや、動圧溝
の変形を生じる虞があった。However, the apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove disclosed in Japanese Patent Publication No. 4-78364 requires only one kind of rotation mechanism and feed mechanism, and the apparatus structure is simplified. However, there is a problem that the processing jig cannot be removed unless the ball protruding from the guide pipe is returned along the groove after the formation of the dynamic pressure groove. Further, when the ball protruding from the guide pipe along the dynamic pressure groove is returned, there is a possibility that the pitch of the dynamic pressure groove is shifted or the dynamic pressure groove is deformed.
【0004】このように、従来では、精度のよい溝が出
来ないので、溝深さがばらついて発生する動圧がばらつ
き回転ムラ(ジッター)を生じたり、軸とスリーブとが
接触して耐久性に劣ったりするという問題があった。As described above, in the related art, since grooves with high precision cannot be formed, the dynamic pressure generated due to the variation in groove depth varies, causing rotation unevenness (jitter) or contact between the shaft and the sleeve, resulting in durability. There was a problem that it was inferior.
【0005】そこで、本発明は、円筒面に形成した溝の
ピッチずれや、溝の変形を生じることのない、円筒面を
有する被加工物の製造方法及びその製造装置を提供する
ことをその目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a workpiece having a cylindrical surface and an apparatus for manufacturing the same without causing a pitch shift of a groove formed in the cylindrical surface or deformation of the groove. And
【0006】また、他の本発明は、軸受スリーブの内孔
に形成した動圧溝のピッチずれや、動圧溝の変形を生じ
ることのない流体軸受の動圧溝の製造方法及びその製造
装置を提供することをその目的とする。Another object of the present invention is to provide a method and an apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing which does not cause a pitch deviation of the dynamic pressure groove formed in the inner hole of the bearing sleeve and a deformation of the dynamic pressure groove. Its purpose is to provide.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1の発明は、円筒面に溝を刻設してなる円筒面
を有する被加工物の製造装置において、前記円筒面に溝
を転造する複数個の硬球を転動自在に保持する硬球ホル
ダと、該硬球ホルダから前記円筒面に向けて前記硬球を
出没自在に保持する回動部材とを備える円筒面を有する
被加工物の製造装置である。この構成では、溝を転造で
形成するので、切り子の発生が微少であり、切削加工と
比べて加工時間を大幅に短縮することができるととも
に、加工部分に金属繊維の切断がないので、強度的にも
優れている。さらに、硬球を没入させることができるの
で、溝の形成を片道加工で行うことができ、円筒面に形
成した溝のピッチずれや、溝の変形を生じることのない
極めて高精度な溝を形成することができる。According to a first aspect of the present invention, there is provided an apparatus for manufacturing a workpiece having a cylindrical surface formed by engraving a groove in a cylindrical surface. A workpiece having a cylindrical surface including: a hard ball holder that rotatably holds a plurality of hard balls for rolling; and a rotating member that holds the hard balls so that the hard balls can be protruded and retracted from the hard ball holder toward the cylindrical surface. Manufacturing apparatus. In this configuration, since the grooves are formed by rolling, the occurrence of cuts is very small, and the processing time can be greatly reduced compared to cutting. It is also excellent. Further, since the hard sphere can be immersed, the groove can be formed by one-way processing, and a very high precision groove can be formed without causing a pitch shift of the groove formed on the cylindrical surface or a deformation of the groove. be able to.
【0008】また、請求項2の発明は、円筒面に溝を刻
設してなる円筒面を有する被加工物の製造方法におい
て、複数個の硬球を硬球ホルダにより転動自在に保持
し、該硬球ホルダ表面から前記円筒面に向けて前記硬球
を突出させた状態で、前記円筒面に溝を転造し、該溝を
形成後に、前記硬球ホルダ表面から前記硬球を没入させ
た状態で、前記円筒面の軸方向に沿って前記硬球ホルダ
及び前記硬球を離脱させることを特徴とする円筒面を有
する被加工物の製造方法である。この構成では、溝を転
造で形成するので、切り子の発生が微少であり、切削加
工と比べて加工時間を大幅に短縮することができるとと
もに、加工部分に金属繊維の切断がないので、強度的に
も優れている。さらに、硬球を没入させることができる
ので、溝の形成を片道加工で行うことができ、円筒面に
形成した溝のピッチずれや、溝の変形を生じることのな
い極めて高精度な溝を形成することができる。According to a second aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a workpiece having a cylindrical surface formed by engraving a groove in a cylindrical surface, wherein a plurality of hard balls are rollably held by a hard ball holder. In a state in which the hard sphere is projected from the hard sphere holder surface toward the cylindrical surface, a groove is rolled in the cylindrical surface, and after the groove is formed, the hard sphere is immersed from the hard sphere holder surface. A method for manufacturing a workpiece having a cylindrical surface, comprising releasing the hard sphere holder and the hard sphere along an axial direction of the cylindrical surface. In this configuration, since the grooves are formed by rolling, the occurrence of cuts is very small, and the processing time can be greatly reduced compared to cutting. It is also excellent. Further, since the hard sphere can be immersed, the groove can be formed by one-way processing, and a very high precision groove can be formed without causing a pitch shift of the groove formed on the cylindrical surface or a deformation of the groove. be able to.
【0009】また、請求項3の発明は、内孔に動圧溝を
刻設してなる軸受スリーブと、前記内孔内に挿入される
軸とを有する流体軸受の前記動圧溝を製造するための製
造装置において、前記軸受スリーブを固持するスリーブ
固定具と、複数個の硬球を転動自在に、且つ、該硬球の
接円径が流体軸受用スリーブの溝加工部内径より僅かに
大きくなるように保持する溝加工具と、前記硬球の接円
径が流体軸受用スリーブの溝加工部内径より僅かに大き
な加工状態と、前記硬球の接円径が流体軸受用スリーブ
の溝加工部内径より僅かに小さくなる引抜き状態との間
の切換手段とを備え、加工状態では、前記溝加工具を前
記軸受スリーブの前記内孔内に挿入し、前記溝加工具に
回転運動及び軸方向に送りを与え、前記複数個の硬球を
前記内孔に食い込ませて前記軸受スリーブの内周面に動
圧溝を転造し、引抜き状態では、切換手段により硬球の
接円径が流体軸受用スリーブの溝加工部内径より僅かに
小さくして引き抜くことが出来ることを特徴とする流体
軸受の動圧溝の製造装置である。この構成では、軸受ス
リーブの内孔に刻設する動圧溝を転造で形成するので、
切り子の発生が微少であり、切削加工と比べて加工時間
を大幅に短縮することができるとともに、加工部分に金
属繊維の切断がないので、強度的にも優れている。さら
に、硬球を没入させることができるので、動圧溝の形成
を片道加工で行うことができ、円筒面に形成した動圧溝
のピッチずれや、動圧溝の変形を生じることのない極め
て高精度な動圧溝を形成することができる。According to a third aspect of the present invention, there is provided a fluid dynamic bearing having a bearing sleeve in which a dynamic pressure groove is formed in an inner hole, and a shaft inserted into the inner hole. And a plurality of hard balls are allowed to roll freely, and the tangent diameter of the hard balls is slightly larger than the inner diameter of the grooved portion of the fluid bearing sleeve. And a machining state in which the tangent diameter of the hard sphere is slightly larger than the inner diameter of the grooved portion of the fluid bearing sleeve, and the tangent diameter of the hard sphere is larger than the inner diameter of the grooved portion of the fluid bearing sleeve. A switching means for switching between a slightly smaller withdrawn state, and in the processing state, the groove processing tool is inserted into the inner hole of the bearing sleeve, and the groove processing tool is rotated and fed in the axial direction. Giving the plurality of hard balls into the inner hole Then, a dynamic pressure groove is rolled on the inner peripheral surface of the bearing sleeve, and in the pulled-out state, the tangent diameter of the hard ball is slightly smaller than the inner diameter of the grooved portion of the fluid bearing sleeve by the switching means, and the bearing can be pulled out. A hydrodynamic groove manufacturing apparatus for a hydrodynamic bearing, characterized in that: In this configuration, since the dynamic pressure groove formed in the inner hole of the bearing sleeve is formed by rolling,
Since the generation of cuts is very small, the processing time can be greatly reduced as compared with the cutting processing, and since the metal fiber is not cut in the processed portion, the strength is excellent. Furthermore, since the hard spheres can be immersed, the dynamic pressure grooves can be formed by one-way processing, and the pitch of the dynamic pressure grooves formed on the cylindrical surface and the deformation of the dynamic pressure grooves do not occur. An accurate dynamic pressure groove can be formed.
【0010】また、請求項4の発明は、請求項3に記載
の流体軸受の動圧溝の製造装置において、前記溝加工具
は前記シャフト部材の軸線と直交する平面上の相対向す
る位置に転動自在な硬球を有するものからなり、前記溝
加工具を前記軸受スリーブのほぼ中央部を境にして逆回
転し、傾斜方向が逆向き形状の動圧溝を転造することを
特徴としている。According to a fourth aspect of the present invention, in the apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to the third aspect, the groove processing tool is located at a position opposed to a plane orthogonal to an axis of the shaft member. It is characterized in that the groove processing tool is reversely rotated around a substantially central portion of the bearing sleeve to form a dynamic pressure groove having a shape in which the inclination direction is reversed. .
【0011】また、請求項5の発明は、請求項4に記載
の流体軸受の動圧溝の製造装置において、前記溝加工具
は複数個の硬球を相対向する位置に等ピッチで、シャフ
ト部材の軸線方向と直交する同一平面上に同軸に転動自
在に取り付けたものであることを特徴としている。According to a fifth aspect of the present invention, in the manufacturing apparatus for a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to the fourth aspect, the groove processing tool comprises a plurality of hard spheres arranged at a position opposite to each other at an equal pitch, and a shaft member. Are coaxially and rotatably mounted on the same plane perpendicular to the axial direction of the shaft.
【0012】また、請求項6の発明は、請求項3に記載
の流体軸受の動圧溝の製造装置において、前記溝加工具
のシャフト部材は複数個の硬球の接円径が流体軸受用ス
リーブの溝加工部内径より僅かに大きくなるように保持
する構成にすると共に、シャフト部材を硬球ホルダ内で
スライドさせて、シャフト部材の溝部で硬球を保持して
該硬球の接円径が流体軸受用スリーブの溝加工部内径よ
り僅かに小さくなるように保持する構成に切り換えるこ
とが出来る構成にしたことを特徴としている。According to a sixth aspect of the present invention, in the apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to the third aspect, the shaft member of the groove machining tool has a tangential diameter of a plurality of hard spheres for a fluid bearing sleeve. And a shaft member is slid in a hard sphere holder to hold the hard sphere in the groove of the shaft member, and the tangent diameter of the hard sphere is for a fluid bearing. It is characterized in that it can be switched to a configuration in which it is held so as to be slightly smaller than the inner diameter of the grooved portion of the sleeve.
【0013】また、請求項7の発明は、請求項3に記載
の流体軸受の動圧溝の製造装置において、前記溝加工具
のシャフト部材は複数個の硬球の接円径が流体軸受用ス
リーブの溝加工部内径より僅かに大きくなるように保持
する構成にすると共に、シャフト部材の硬球保持部にテ
ーパ部を設け、硬球の接円径を微調整できる構成にした
ことを特徴としている。According to a seventh aspect of the present invention, in the apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to the third aspect, the shaft member of the groove machining tool has a tangential diameter of a plurality of hard spheres for a fluid bearing sleeve. And a taper portion is provided in the hard sphere holding portion of the shaft member so that the tangent diameter of the hard sphere can be finely adjusted.
【0014】また、請求項8の発明は、請求項3に記載
の流体軸受の動圧溝の製造装置において、前記硬球及び
溝加工具の少なくとも硬球保持部は前記流体軸受用スリ
ーブより硬質な材料からなることを特徴としている。According to an eighth aspect of the present invention, in the apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to the third aspect, at least the hard ball holding portion of the hard ball and the groove processing tool is made of a material harder than the fluid bearing sleeve. It is characterized by consisting of.
【0015】また、請求項9の発明は、請求項3に記載
の流体軸受の動圧溝の製造装置において、前記溝加工具
の硬球により形成される動圧溝の深さは、数ミクロンメ
ートルから十数ミクロンメートルの深さであることを特
徴としている。According to a ninth aspect of the present invention, in the hydrodynamic groove manufacturing apparatus of the third aspect, the depth of the dynamic pressure groove formed by the hard sphere of the groove processing tool is several micrometers. It is characterized by a depth of from about 10 to several microns.
【0016】また、請求項10の発明は、内孔に動圧溝
を刻設してなる軸受スリーブと、前記内孔内に挿入され
る軸とを有する流体軸受の前記動圧溝を製造する製造方
法において、前記軸受スリーブをスリーブ固定具で固持
し、複数個の硬球を溝加工具で転動自在に、且つ、該硬
球の接円径が流体軸受用スリーブの溝加工部内径より僅
かに大きくなるように保持し、前記溝加工具を前記軸受
スリーブの前記内孔内に挿入し、前記溝加工具に回転運
動及び軸方向に送りを与え、前記複数個の硬球を前記内
孔に食い込ませて前記軸受スリーブの内周面に動圧溝を
転造し、該動圧溝を形成した後に、切換手段により硬球
の接円径が流体軸受用スリーブの溝加工部内径より僅か
に小さくして引き抜くことを特徴とする流体軸受の動圧
溝の製造方法である。この構成では、軸受スリーブの内
孔に刻設する動圧溝を転造で形成するので、切り子の発
生が微少であり、切削加工と比べて加工時間を大幅に短
縮することができるとともに、加工部分に金属繊維の切
断がないので、強度的にも優れている。さらに、硬球を
没入させることができるので、動圧溝の形成を片道加工
で行うことができ、円筒面に形成した動圧溝のピッチず
れや、動圧溝の変形を生じることのない極めて高精度な
動圧溝を形成することができる。According to a tenth aspect of the present invention, the dynamic pressure groove of a fluid bearing having a bearing sleeve in which a dynamic pressure groove is formed in an inner hole and a shaft inserted into the inner hole is manufactured. In the manufacturing method, the bearing sleeve is held by a sleeve fixing tool, a plurality of hard balls can be rolled freely by a groove processing tool, and the tangent diameter of the hard balls is slightly smaller than the inner diameter of the groove processing portion of the fluid bearing sleeve. Holding so as to be large, inserting the groove processing tool into the inner hole of the bearing sleeve, giving the groove processing tool a rotational motion and an axial feed, and biting the plurality of hard balls into the inner hole. After forming a dynamic pressure groove on the inner peripheral surface of the bearing sleeve and forming the dynamic pressure groove, the tangent diameter of the hard sphere is made slightly smaller than the inner diameter of the grooved portion of the fluid bearing sleeve by switching means. A hydrodynamic groove for a hydrodynamic bearing, characterized in that . In this configuration, since the dynamic pressure grooves formed in the inner hole of the bearing sleeve are formed by rolling, the occurrence of facets is very small, and the processing time can be significantly reduced compared to cutting, and Since there is no cutting of the metal fiber in the portion, the strength is also excellent. Furthermore, since the hard spheres can be immersed, the dynamic pressure grooves can be formed by one-way processing, and the pitch of the dynamic pressure grooves formed on the cylindrical surface and the deformation of the dynamic pressure grooves do not occur. An accurate dynamic pressure groove can be formed.
【0017】また、請求項11の発明は、請求項10に
記載の流体軸受の動圧溝の製造方法において、前記シャ
フト部材の軸線と直交する平面上の相対向する位置に転
動自在な硬球を有する溝加工具を、前記軸受スリーブの
ほぼ中央部の境目を中心にして回転方向を逆方向にし
て、傾斜方向が逆向き形状の動圧溝を形成することを特
徴としている。According to an eleventh aspect of the present invention, in the method for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to the tenth aspect, the hard ball is capable of rolling to an opposing position on a plane orthogonal to the axis of the shaft member. The rotational machining direction of the groove processing tool having the shape described above is substantially the center of the boundary of the bearing sleeve, and the dynamic direction of the inclined direction is reversed.
【0018】また、請求項12の発明は、請求項10に
記載の流体軸受の動圧溝の製造方法において、前記軸受
スリーブの動圧溝が、傾斜角度が一定の複数本の溝群か
らなるへリングボーン型の場合において、前記溝加工具
が前記溝群の各溝に対応する複数個の硬球を相対向する
位置において等ピッチで、シャフト部材の軸線方向と直
交する同一平面上に同軸に転動自在に取り付けたものか
らなる該溝加工具に、回転運動及び軸方向の送りを与
え、前記軸受スリーブのほぼ中央部を境目にして回転方
向を逆向きにすることを特徴としている。According to a twelfth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to the tenth aspect, the dynamic pressure groove of the bearing sleeve comprises a plurality of groove groups having a constant inclination angle. In the case of the herringbone type, the groove processing tool coaxially and coaxially on the same plane orthogonal to the axial direction of the shaft member at a constant pitch at a position where a plurality of hard spheres corresponding to each groove of the groove group are opposed to each other. Rotational movement and axial feed are given to the groove processing tool, which is rotatably mounted, and the rotation direction is reversed around a substantially central portion of the bearing sleeve.
【0019】また、請求項13の発明は、請求項10に
記載の流体軸受の動圧溝の製造方法において、前記溝加
工具の硬球は前記流体軸受用スリーブの内周面に転造加
工により、数ミクロンメートルから十数ミクロンメート
ルの深さの動圧溝を形成することを特徴としている。According to a thirteenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a hydrodynamic groove for a fluid bearing according to the tenth aspect, the hard sphere of the groove processing tool is formed by rolling the inner peripheral surface of the fluid bearing sleeve. It is characterized in that a dynamic pressure groove having a depth of several micrometers to several tens of micrometers is formed.
【0020】[0020]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図2は本発明の第1実施形態に係
わる流体軸受動圧溝の製造方法及びその装置により製造
される流体軸受の全体構造を示す図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 2 is a view showing the entire structure of a hydrodynamic bearing manufactured by the method and the apparatus for manufacturing a hydrodynamic bearing hydrodynamic groove according to the first embodiment of the present invention.
【0021】図2に示すように、流体軸受1は、軸受ス
リーブ2と、その内孔2a内に挿入される軸3と、内孔
2aと軸3の外周との間の間隙6内に充填される潤滑剤
4等からなる。軸受スリーブ2の内孔2aには動圧を発
生する動圧溝5が刻設される。尚、動圧溝5は軸受スリ
ーブ2のほぼ中央部を境目として傾斜角が逆向きのもの
からなる。また、軸3の底部にスラスト軸受7が補助板
8により軸受スリーブ2に固定される。軸受スリーブ2
又は軸3を回転することにより、動圧溝5内にポンピン
グ作用が発生し、これにより潤滑剤4に圧力が発生し、
この圧力により軸3が軸受スリーブ2により枢支され
る。As shown in FIG. 2, the fluid bearing 1 is filled in a bearing sleeve 2, a shaft 3 inserted into an inner hole 2 a thereof, and a gap 6 between the inner hole 2 a and the outer periphery of the shaft 3. And the like. A dynamic pressure groove 5 for generating dynamic pressure is formed in the inner hole 2 a of the bearing sleeve 2. The dynamic pressure groove 5 has an inclination angle opposite to that of the substantially central portion of the bearing sleeve 2. A thrust bearing 7 is fixed to the bearing sleeve 2 at the bottom of the shaft 3 by an auxiliary plate 8. Bearing sleeve 2
Or, by rotating the shaft 3, a pumping action is generated in the dynamic pressure groove 5, whereby a pressure is generated in the lubricant 4,
The shaft 3 is pivotally supported by the bearing sleeve 2 by this pressure.
【0022】動圧溝5はその溝深さが数μmであり、本
発明の流体軸受の動圧溝の製造方法及びその装置によっ
て、上述した構造の流体軸受1が軸受としての高精度の
機能を果たすことができ、動圧溝5が高精度に加工さ
れ、且つ、寸法のバラツキを最小限に保持することがで
きる。The hydrodynamic groove 5 has a groove depth of several μm, and the hydrodynamic groove 1 of the above-described structure can be used as a high-precision function as a bearing by the method and the apparatus for manufacturing the hydrodynamic groove of the hydrodynamic bearing of the present invention. Can be achieved, the dynamic pressure groove 5 can be processed with high precision, and the dimensional variation can be kept to a minimum.
【0023】図3は、本発明の第1実施形態に係わる流
体軸受動圧溝の製造方法及びその装置が適用される流体
軸受の軸受スリーブ構造を示す図である。図3に示すよ
うに、軸受スリーブ2は内孔2aを貫通形成する中空円
筒体状のものからなる。内孔2aには傾斜角を有する溝
である動圧溝5が形成される。この動圧溝5は深さが数
μmのものからなり、また、前記したように、この動圧
溝5は軸受スリーブ2のほぼ中央部を境目にして傾斜角
が逆方向のものからなる。FIG. 3 is a diagram showing a bearing sleeve structure of a fluid bearing to which the method and the apparatus for producing a fluid bearing dynamic pressure groove according to the first embodiment of the present invention are applied. As shown in FIG. 3, the bearing sleeve 2 is formed of a hollow cylindrical body penetrating the inner hole 2a. A dynamic pressure groove 5 which is a groove having an inclined angle is formed in the inner hole 2a. The dynamic pressure groove 5 has a depth of several μm, and as described above, the dynamic pressure groove 5 has a tilt angle in a direction opposite to the substantially central portion of the bearing sleeve 2.
【0024】図4は本発明の第1実施形態に係わる流体
軸受動圧溝の製造方法及びその装置に使用される、軸受
スリーブの動圧溝を加工するための溝加工具を示す図で
あり、(A)は断面図、(B)は図4(A)図中、A−
A線断面図である。図4(A)に示すように、溝加工具
10は、シャフト部材11と、硬球ホルダ12と、超合
金製の鋼球等の硬球13と、シャフト部材11に固定さ
れたスライドノブ14と、硬球ホルダ12に設けられた
スライド窓15aと、シャフト部材11の先端側に設け
られた硬球溜まり11aと、シャンク部15とからな
る。FIG. 4 is a view showing a groove processing tool for processing the dynamic pressure groove of the bearing sleeve, which is used in the method and the apparatus for manufacturing the dynamic pressure groove of the fluid bearing according to the first embodiment of the present invention. , (A) is a cross-sectional view, (B) is FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along line A. As shown in FIG. 4A, the groove processing tool 10 includes a shaft member 11, a hard ball holder 12, a hard ball 13 such as a superalloy steel ball, a slide knob 14 fixed to the shaft member 11, It comprises a sliding window 15 a provided in the hard ball holder 12, a hard ball reservoir 11 a provided on the tip side of the shaft member 11, and a shank portion 15.
【0025】図4(A),(B)に示すように、硬球1
3はシャフト部材11の軸線方向と直交する平面上でシ
ャフト部材11の外周に接し、硬球ホルダ12に等間隔
で設けられたホルダ穴12aによって位置決め支持され
る。硬球13はホルダ穴12aから外へ飛び出さないよ
うにホルダ穴12aの周囲に円周カシメ16がなされて
いる。この円周カシメ16により、硬球13の飛び出し
とガタを防止することができる。本例では硬球13は硬
球13a及び13bの2個のものからなり、硬球13a
と硬球13bとは同一平面上において、相対向する位置
(等間隔)に配置される。また、硬球13aと硬球13
bの接円径(図4(A),(B))は、同一平面上にお
いて相対向する位置(等間隔)に配置される。また、硬
球13aと硬球13bの接円径d(図4(A),
(B))は、図3に示す軸受スリーブ2の内孔2aの内
径Dよりもやや大きめに形成される。即ち、(d−D)
/2の値が動圧溝5の溝深さにほぼ相当する。また、溝
加工具10は軸受スリーブ2よりも高硬度のものからな
り、特に硬球13とシャフト部材11は特に高強度、高
硬度に形成される。As shown in FIGS. 4A and 4B, the hard ball 1
Reference numeral 3 is in contact with the outer periphery of the shaft member 11 on a plane orthogonal to the axial direction of the shaft member 11, and is positioned and supported by holder holes 12a provided at equal intervals in the hard ball holder 12. A circumferential crimp 16 is formed around the holder hole 12a so that the hard sphere 13 does not jump out of the holder hole 12a. The circumferential caulking 16 can prevent the hard ball 13 from jumping out and backlash. In this example, the hard sphere 13 is composed of two hard spheres 13a and 13b,
And the hard sphere 13b are arranged at opposing positions (equal intervals) on the same plane. In addition, the hard ball 13a and the hard ball 13
The tangent diameters of b (FIGS. 4A and 4B) are arranged at opposing positions (equal intervals) on the same plane. Further, the tangent diameter d of the hard ball 13a and the hard ball 13b (FIG. 4 (A),
(B)) is formed slightly larger than the inner diameter D of the inner hole 2a of the bearing sleeve 2 shown in FIG. That is, (d-D)
The value of / 2 substantially corresponds to the groove depth of the dynamic pressure groove 5. The groove processing tool 10 is made of a material having higher hardness than the bearing sleeve 2, and the hard ball 13 and the shaft member 11 are particularly formed to have high strength and high hardness.
【0026】図1は、本発明の第1実施形態に係わる流
体軸受動圧溝の製造方法及びその装置を説明するための
軸断面図である。図1に示すように、本実施形態の流体
軸受動圧溝の製造装置は、被加工物である軸受スリーブ
2を片持ち支持する、装置の固定側のスリーブ固定具1
7と、軸受スリーブ2に動圧溝5を加工する溝加工具1
0とを有する。溝加工具10は、先端部近傍に硬球溜ま
り11aを有するシャフト部材11と、シャフト部材1
1に外装される硬球ホルダ12と、硬球ホルダ12のホ
ルダ穴12aに保持される硬球13(本実施形態では、
硬球13a,13bから構成される)と、シャンク部1
5とを備えて構成されている。FIG. 1 is an axial cross-sectional view for explaining a method and an apparatus for manufacturing a hydrodynamic bearing hydrodynamic groove according to a first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the hydrodynamic bearing groove manufacturing apparatus according to the present embodiment includes a sleeve fixing device 1 on a fixed side of the device, which cantileverly supports a bearing sleeve 2 as a workpiece.
7 and a groove processing tool 1 for processing the dynamic pressure groove 5 in the bearing sleeve 2
0. The grooving tool 10 includes a shaft member 11 having a hard ball reservoir 11a near a tip end thereof;
1 and a hard ball 13 held in a holder hole 12a of the hard ball holder 12 (in the present embodiment,
Hard balls 13a and 13b) and shank 1
5 is provided.
【0027】次に、図1により前記の溝加工具を用いた
動圧溝の加工方法について説明する。先ず、軸受スリー
ブ2は装置の固定側のスリーブ固定具17に片持ち支持
される。溝加工具10のシャフト部材11及び硬球ホル
ダ12の先端側を軸受スリーブ2の内孔2aの入り口側
に搬入し、溝加工具10をWの回転速度に回転すると共
にVの送り速度で挿入方向に移動させる。これにより、
溝加工具10の硬球13a,13bが内孔2a側に押圧
されて食い込み、所定の動圧溝5が形成される。尚、軸
受スリーブ2のほぼ中央部の境目(X−X線で示す)の
位置から溝加工具10は逆方向に回転する。即ち、X−
X線に到達するまでは溝加工具はCW(時計回り)回転
し、X−X線を過ぎるとCCW(反時計回り)回転す
る。以上により、図1に示すようなへリングボーン型の
形状の動圧溝が形成される。Next, a method of machining a dynamic pressure groove using the above-described groove machining tool will be described with reference to FIG. First, the bearing sleeve 2 is cantilevered by a sleeve fixture 17 on the fixed side of the device. The shaft member 11 of the grooving tool 10 and the tip side of the hard ball holder 12 are carried into the entrance side of the inner hole 2a of the bearing sleeve 2, and the grooving tool 10 is rotated at a rotation speed of W and inserted at a feed speed of V. Move to This allows
The hard spheres 13a and 13b of the groove processing tool 10 are pressed into the inner hole 2a side and bite to form a predetermined dynamic pressure groove 5. Note that the groove processing tool 10 rotates in the opposite direction from the position of the boundary (indicated by the line XX) substantially at the center of the bearing sleeve 2. That is, X-
The grooving tool rotates CW (clockwise) until reaching the X-ray, and CCW (counterclockwise) rotates after passing the X-X line. Thus, a herringbone-shaped dynamic pressure groove as shown in FIG. 1 is formed.
【0028】このようにして、溝加工具10が動圧溝5
の加工を終了した際、溝加工具10を軸受スリーブ2か
ら抜き取る方法には、図4(A)に示すスライドノブ1
4を溝加工時の位置と反対の位置へスライド窓15aの
中で動かし、硬球13をシャフト部材11に設けられた
硬球溜まり11aへ落とし込み、図7に示した状態と同
様に、硬球13が硬球ホルダ12より沈んだ状態にして
から溝加工具10を軸受スリーブ2から抜き取る。In this way, the groove processing tool 10 is
4A, when the groove processing tool 10 is removed from the bearing sleeve 2, the slide knob 1 shown in FIG.
4 is moved in the sliding window 15a to a position opposite to the position at the time of the groove processing, and the hard sphere 13 is dropped into the hard sphere pool 11a provided on the shaft member 11, and the hard sphere 13 is moved to the hard sphere 13 similarly to the state shown in FIG. After being lowered from the holder 12, the groove processing tool 10 is removed from the bearing sleeve 2.
【0029】この実施形態によれば、硬球ホルダ12と
シャフト部材11とにより硬球13を位置決め保持する
溝加工具10を軸受スリーブ2に挿入し、溝加工具10
に正逆回転と送りを与えるだけの比較的簡単な転造加工
により、動圧溝5の端面にバリの発生が無く、動圧溝5
の断面形状が滑らかな曲面を呈し、潤滑剤4が流れやす
く、高精度でバラツキが無く、軸受スリーブ2の内周面
2aを損傷することなく動圧溝5を形成することが出来
る。また、硬球13が硬球ホルダ12より沈んだ状態に
してから溝加工具10を軸受スリーブ2から抜き取るこ
とができ、動圧溝5内を往復することがないので、ピッ
チずれや溝の変形をすることがなく、更に、軸受スリー
ブ2の内孔2aに硬球13が触れることがないので、内
孔2a内を傷付けることがない。According to this embodiment, the groove processing tool 10 for positioning and holding the hard ball 13 by the hard ball holder 12 and the shaft member 11 is inserted into the bearing sleeve 2 and the groove processing tool 10
The burr is not generated on the end face of the dynamic pressure groove 5 by a relatively simple rolling process that only applies forward and reverse rotation and feed to the dynamic pressure groove 5.
Of the bearing sleeve 2 can be formed without damaging the inner peripheral surface 2 a of the bearing sleeve 2. In addition, the groove processing tool 10 can be removed from the bearing sleeve 2 after the hard ball 13 has been lowered from the hard ball holder 12, and does not reciprocate in the dynamic pressure groove 5. Further, since the hard ball 13 does not touch the inner hole 2a of the bearing sleeve 2, the inside of the inner hole 2a is not damaged.
【0030】さらに、転造加工としたので、切削加工と
比べて加工時間を大幅に短縮することができるととも
に、加工部分に金属繊維の切断がないので、強度的にも
優れているという利点がある。Furthermore, since the rolling process is used, the processing time can be significantly reduced as compared with the cutting process, and since there is no cutting of the metal fiber in the processed portion, the strength is excellent. is there.
【0031】また、溝加工具10のシャフト部材11の
軸線方向と直交する平面上の同軸な位置に転動自在な硬
球13a,13bを軸受スリーブ2の内孔2aに押圧
し、溝加工具10を回転運動及び軸方向に送りを与える
ことにより動圧溝5が形成される。尚、動圧溝5は軸受
スリーブ2のほぼ中央部を境目として傾斜角の逆方向の
溝からなるため、溝加工具10は境目において逆方向に
回転される。Further, the hard balls 13a and 13b which can be rolled to the coaxial position on a plane orthogonal to the axial direction of the shaft member 11 of the groove processing tool 10 are pressed against the inner hole 2a of the bearing sleeve 2, and the groove processing tool 10 is pressed. Is given in a rotational motion and in the axial direction to form a dynamic pressure groove 5. In addition, since the dynamic pressure groove 5 is formed of a groove having a direction opposite to the inclination angle with the boundary substantially at the center of the bearing sleeve 2, the groove processing tool 10 is rotated in the reverse direction at the boundary.
【0032】以上のように、溝加工具の正逆回転と送り
動作からなる単純な方法により動圧溝5が加工されるた
め、加工時間が低減される。また、硬球13a,13b
は、硬球ホルダ12とシャフト部材11により保持され
ており、且つ、同軸な位置に配置されるため、バラツキ
のない高精度な動圧溝5を形成することが出来る。As described above, the dynamic pressure groove 5 is processed by a simple method including the forward and reverse rotation of the groove processing tool and the feed operation, so that the processing time is reduced. In addition, hard balls 13a, 13b
Are held by the hard ball holder 12 and the shaft member 11 and are arranged at a coaxial position, so that it is possible to form the dynamic pressure groove 5 with high accuracy without variation.
【0033】動圧溝5はその溝深さが数μmであり、本
発明の流体軸受の動圧溝の製造方法及びその装置によっ
て、上述した構造の流体軸受1が軸受としての高精度の
機能を果たすことができ、動圧溝5が高精度に加工さ
れ、且つ、寸法のバラツキを最小限に保持することがで
きる。The hydrodynamic groove 5 has a groove depth of several μm, and the hydrodynamic groove 1 having the above-described structure can be used as a high-precision function as a bearing by the method and apparatus for manufacturing a hydrodynamic groove of the hydrodynamic bearing of the present invention. Can be achieved, the dynamic pressure groove 5 can be processed with high precision, and the dimensional variation can be kept to a minimum.
【0034】図5は、本発明の第2実施形態に係わる流
体軸受動圧溝の製造方法及びその装置が適用される流体
軸受の軸受スリーブ構造を示す図であり、へリングボー
ン型の動圧溝を二組有する軸受スリーブを示す図であ
る。図5では、明瞭に表示していないが、この軸受スリ
ーブ22の内径22aには一組あたり8本の動圧溝25
が形成されている。説明の都合上、それらの動圧溝25
を動圧溝25a,25b,25cとする。FIG. 5 is a view showing a bearing sleeve structure of a fluid bearing to which a method and a device for manufacturing a fluid bearing dynamic pressure groove according to a second embodiment of the present invention are applied. It is a figure showing a bearing sleeve which has two sets of grooves. Although not clearly shown in FIG. 5, the inner diameter 22a of the bearing sleeve 22 has eight dynamic pressure grooves 25 per set.
Are formed. For convenience of explanation, those dynamic pressure grooves 25
Are dynamic pressure grooves 25a, 25b, 25c.
【0035】図6は、本発明の第2実施形態に係わる流
体軸受動圧溝の製造方法及びその装置に用いる溝加工具
の要部構造を示す一部断面図であり、図5の軸受スリー
ブに動圧溝を加工するために使用する。なお、図示した
以外の部分は図4(A)と同様である。FIG. 6 is a partial sectional view showing a main part structure of a groove machining tool used in a method and an apparatus for manufacturing a hydrodynamic bearing groove according to a second embodiment of the present invention. Used to machine dynamic pressure grooves in Note that portions other than those illustrated are the same as those in FIG.
【0036】図5に示した構造の動圧溝25は、図6に
示す溝加工具30の硬球33により加工される。この硬
球33は、動圧溝25a,25b等に対応して図6に示
すように、硬球33a,33b,33c,33d,33
eとする。尚、これらの硬球33a等は45度の間隔で
等ピッチに配置されている。The dynamic pressure groove 25 having the structure shown in FIG. 5 is processed by the hard sphere 33 of the groove processing tool 30 shown in FIG. As shown in FIG. 6, the hard balls 33 correspond to the dynamic pressure grooves 25a, 25b and the like, and are hard balls 33a, 33b, 33c, 33d, 33, respectively.
e. The hard balls 33a and the like are arranged at an equal pitch at intervals of 45 degrees.
【0037】図7は本発明の第2実施形態に係わる流体
軸受動圧溝の製造方法及びその装置に用いる溝加工具が
動圧溝の加工を終了した際、溝加工具を軸受スリーブか
ら抜き取る方法を示す図である。FIG. 7 shows a method of manufacturing a hydrodynamic bearing groove according to a second embodiment of the present invention, and when the grooving tool used in the apparatus has finished processing the hydrodynamic groove, removes the grooving tool from the bearing sleeve. It is a figure showing a method.
【0038】図4(A)に示すスライドノブ14と同様
の図示しないスライドノブを溝加工時の位置と反対の位
置へ図4(A)に示すスライド窓15aと同様の図示し
ないスライド窓の中で動かし、図7に示すように、硬球
33をシャフト部材31に設けられた硬球溜まり31a
へ落とし込み、硬球33が硬球ホルダ32より沈んだ状
態にしてから溝加工具30を軸受スリーブから抜き取
る。A slide knob (not shown) similar to the slide knob 14 shown in FIG. 4A is moved to a position opposite to the position at the time of the groove processing. A slide window (not shown) similar to the slide window 15a shown in FIG. As shown in FIG. 7, the hard ball 33 is moved to the hard ball pool 31a provided on the shaft member 31 as shown in FIG.
And the grooved tool 30 is removed from the bearing sleeve after the hard sphere 33 is lowered from the hard sphere holder 32.
【0039】本実施形態によれば、硬球ホルダ32とシ
ャフト部材31により硬球33を位置決め保持する溝加
工具30を加工前の軸受スリーブ22に挿入し、溝加工
具30に正逆回転と送りを与えるだけの比較的簡単な転
造加工により、動圧溝25の端面にバリの発生が無く、
動圧溝25の断面形状が滑らかな曲面を呈し、潤滑剤が
流れやすく、高精度でバラツキが無く、軸受スリーブ2
2の内周面22aを損傷することなく動圧溝25を形成
することが出来る。According to the present embodiment, the groove processing tool 30 for positioning and holding the hard ball 33 by the hard ball holder 32 and the shaft member 31 is inserted into the bearing sleeve 22 before processing, and the groove processing tool 30 is rotated forward and reverse. By the relatively simple rolling process that only gives, no burr is generated on the end face of the dynamic pressure groove 25,
The cross-sectional shape of the dynamic pressure groove 25 has a smooth curved surface, allows the lubricant to flow easily, has high precision and has no variation,
The dynamic pressure groove 25 can be formed without damaging the inner peripheral surface 22a of the second.
【0040】図8は本発明の第2実施形態に係わる流体
軸受動圧溝の製造方法及びその装置に用いるシャフト部
材31の硬球保持部にテーパー部31bを設けて硬球3
3の接円径dを微調整できる構成とした図である。この
接円径dの微調整により、モータの回転数が変化した場
合、軸3と軸受スリーブ2の内孔2aを変化させてクリ
アランスの調整を行っているが、その際、硬球の接円径
dを変化させねばならないが、テーパ部31bにより接
円径を微調整できるので、溝加工具を新規製作する必要
がない。さらに、設備のコストダウンにもなる。FIG. 8 shows a method for manufacturing a hydrodynamic bearing hydrodynamic groove according to a second embodiment of the present invention and a hard ball 3 provided with a tapered portion 31b in a hard ball holding portion of a shaft member 31 used in the apparatus.
FIG. 3 is a diagram showing a configuration in which the tangent diameter d of No. 3 can be finely adjusted. When the rotational speed of the motor changes due to the fine adjustment of the tangent diameter d, the clearance is adjusted by changing the inner hole 2a of the shaft 3 and the bearing sleeve 2. At this time, the tangent diameter of the hard sphere is adjusted. Although d must be changed, since the tangent diameter can be finely adjusted by the tapered portion 31b, there is no need to newly manufacture a groove processing tool. Further, the cost of the equipment is reduced.
【0041】以上の構造の硬球33a,33b等を有す
る溝加工具30を軸受スリーブ2a内に挿入し、前記の
実施の形態と同様に正逆回転及び送り動作を行うことに
より、図5に示した二組のへリングボーン型の動圧溝2
5a,25b等を形成することが出来る。前記の実施の
形態の流体軸受1の動圧溝5の製造方法の場合も今回の
実施の形態の流体軸受動圧溝の製造方法の場合も同様で
ある。以上の説明において、溝加工具に形成される硬球
の数を2個又は8個のものとしたが、もちろんこれに限
定するものではない。The groove machining tool 30 having the hard balls 33a, 33b and the like having the above-described structure is inserted into the bearing sleeve 2a, and forward and reverse rotation and feed operations are performed in the same manner as in the above-described embodiment. 2 sets of herringbone type dynamic pressure grooves 2
5a, 25b and the like can be formed. The same applies to the method of manufacturing the dynamic pressure groove 5 of the hydrodynamic bearing 1 of the above embodiment and the method of manufacturing the hydrodynamic groove of the present embodiment. In the above description, the number of hard spheres formed on the groove processing tool is two or eight, but is not limited to this.
【0042】図11は本発明の第3実施形態に係わる流
体軸受の動圧溝の製造方法及びその装置により製造され
る流体軸受の全体構造を示す図である。図11に示すよ
うに、流体軸受41は、軸受スリーブ42と、その内孔
42a内に挿入される軸43とを備えている。この軸4
3には硬球逃げ溝43aが形成され、軸43の外周には
動圧を発生する動圧溝45が刻設される。尚、動圧溝4
5は軸43のほぼ中央部を境目として傾斜角が逆向きの
ものからなる。軸受スリーブ42又は軸43を回転する
ことにより、動圧溝45内にポンピング作用が発生し、
これにより潤滑剤、空気等の流体に圧力が発生し、この
圧力により軸43が軸受スリーブ42により枢支され
る。FIG. 11 is a view showing a method of manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to a third embodiment of the present invention and the entire structure of a fluid bearing manufactured by the apparatus. As shown in FIG. 11, the fluid bearing 41 includes a bearing sleeve 42 and a shaft 43 inserted into an inner hole 42a thereof. This axis 4
A hard ball escape groove 43a is formed in 3 and a dynamic pressure groove 45 for generating a dynamic pressure is engraved on the outer periphery of the shaft 43. The dynamic pressure groove 4
Reference numeral 5 denotes a shaft whose inclination angle is opposite to the center of the shaft 43 as a boundary. By rotating the bearing sleeve 42 or the shaft 43, a pumping action occurs in the dynamic pressure groove 45,
As a result, pressure is generated in the fluid such as lubricant and air, and the pressure causes the shaft 43 to be pivotally supported by the bearing sleeve 42.
【0043】動圧溝45はその溝深さが数μmであり、
本発明の流体軸受の動圧溝の製造方法及びその装置によ
って、上述した構造の流体軸受41が軸受としての高精
度の機能を果たすことができ、動圧溝45が高精度に加
工され、且つ、寸法のバラツキを最小限に保持すること
ができる。The dynamic pressure groove 45 has a depth of several μm.
According to the method and the apparatus for manufacturing the dynamic pressure groove of the fluid bearing of the present invention, the fluid bearing 41 having the above-described structure can perform a high-precision function as a bearing, the dynamic pressure groove 45 is processed with high precision, and In addition, variations in dimensions can be kept to a minimum.
【0044】図9は、本発明の第3実施形態に係わる流
体軸受の動圧溝の製造方法及びその装置を示す一部断面
図であり、図11の流体軸受の軸に動圧溝を加工するた
めに使用する。図9に示すように、本実施形態に係わる
流体軸受の動圧溝の製造装置は、被加工物である軸43
を片持ち支持する、装置の固定側の軸固定具67と、軸
43に動圧溝を加工する軸加工具50とを有する。軸加
工具50は、内周の先端部近傍に硬球溜まり58を有す
る円筒部材51と、円筒部材51に軸方向に摺動可能に
内装される硬球ホルダ52と、硬球ホルダ52のホルダ
穴52aに保持される硬球53とを備えて構成されてい
る。前記硬球ホルダ52は、硬球ホルダ固定ネジ54、
ワッシャ55、スライド窓56及びネジ穴57を介し
て、円筒部材51に軸方向に位置調整可能に取り付けら
れている。FIG. 9 is a partial sectional view showing a method and an apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to a third embodiment of the present invention. Use to As shown in FIG. 9, an apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to this embodiment includes a shaft 43 which is a workpiece.
And a shaft processing tool 50 for processing a dynamic pressure groove on the shaft 43. The shaft processing tool 50 includes a cylindrical member 51 having a hard ball reservoir 58 near the tip of the inner circumference, a hard ball holder 52 that is slidably mounted in the cylindrical member 51 in the axial direction, and a holder hole 52a of the hard ball holder 52. And a hard sphere 53 to be held. The hard ball holder 52 includes a hard ball holder fixing screw 54,
It is attached to the cylindrical member 51 via a washer 55, a slide window 56, and a screw hole 57 so that the position can be adjusted in the axial direction.
【0045】次に、図9により前記の溝加工具を用いた
動圧溝の加工方法について説明する。先ず、軸43は装
置の固定側の軸固定具67に片持ち支持される。軸加工
具50の円筒部材51及び硬球ホルダ52の先端側を軸
43の先端に対向する位置に搬入し、軸加工具50をW
の回転速度に回転すると共にVの送り速度で挿入方向に
移動させる。これにより、軸加工具50の硬球53が軸
43の外周に押圧されて食い込み、所定の動圧溝45が
形成される。尚、軸43の被加工部分のほぼ中央部に位
置する境目から軸加工具50は逆方向に回転することに
より、即ち、境目に到達するまでは軸加工具50は時計
回りに回転し、境目を過ぎると反時計回りに回転する。
以上により、図11に示すようなへリングボーン型の形
状の動圧溝が形成される。Next, a method of machining a dynamic pressure groove using the above-described groove machining tool will be described with reference to FIG. First, the shaft 43 is cantilevered by a shaft fixture 67 on the fixed side of the apparatus. The distal end sides of the cylindrical member 51 and the hard ball holder 52 of the shaft processing tool 50 are carried into a position facing the front end of the shaft 43, and the shaft processing tool 50 is
, And is moved in the insertion direction at the feed speed of V. Thereby, the hard sphere 53 of the shaft processing tool 50 is pressed and bites into the outer periphery of the shaft 43, and a predetermined dynamic pressure groove 45 is formed. Note that the shaft processing tool 50 rotates in the opposite direction from a boundary located substantially at the center of the processed portion of the shaft 43, that is, the shaft processing tool 50 rotates clockwise until reaching the boundary. After, it rotates counterclockwise.
As a result, a herringbone type dynamic pressure groove as shown in FIG. 11 is formed.
【0046】このようにして、軸加工具50が動圧溝4
5の加工を終了した際、軸加工具50を軸43から抜き
取るには、図9に示す硬球ホルダ固定ネジ54を緩め
て、硬球ホルダ固定ネジ54及び硬球ホルダ52を溝加
工時の位置と反対の位置へスライド窓15aの中で動か
し、図10に示すように、硬球53を円筒部材51に設
けられた硬球溜まり48へ落とし込み、硬球53が硬球
ホルダ52より沈んだ状態にしてから軸加工具50を軸
43から抜き取る。As described above, the shaft processing tool 50 is
In order to remove the shaft processing tool 50 from the shaft 43 when the processing of Step 5 is completed, loosen the hard ball holder fixing screw 54 shown in FIG. Is moved in the sliding window 15a to the position shown in FIG. 10, and the hard sphere 53 is dropped into the hard sphere pool 48 provided on the cylindrical member 51 as shown in FIG. Withdraw 50 from shaft 43.
【0047】この実施形態によれば、硬球ホルダ52と
円筒部材51とにより硬球53を位置決め保持する軸加
工具50に軸43を挿入し、軸加工具50に正逆回転と
送りを与えるだけの比較的簡単な転造加工により、動圧
溝45の端面にバリの発生が無く、動圧溝45の断面形
状が滑らかな曲面を呈し、潤滑剤、空気等の流体が流れ
やすく、高精度でバラツキが無く、軸43の外周面を損
傷することなく動圧溝45を形成することが出来る。ま
た、硬球53が硬球ホルダ52より沈んだ状態にしてか
ら軸加工具50を軸43から抜き取ることができ、動圧
溝45内を往復することがないので、ピッチずれや溝の
変形をすることがなく、更に、軸43の外周に硬球53
が触れることがないので、外周を傷付けることがない。
図11に示した構造の動圧溝45は、図9に示す軸加工
具50の硬球53により加工される。この硬球53は、
動圧溝45に対応している。According to this embodiment, the shaft 43 is inserted into the shaft processing tool 50 for positioning and holding the hard ball 53 by the hard ball holder 52 and the cylindrical member 51, and only forward and reverse rotation and feed are given to the shaft processing tool 50. Due to the relatively simple rolling process, no burr is generated on the end face of the dynamic pressure groove 45, and the cross-sectional shape of the dynamic pressure groove 45 presents a smooth curved surface. The dynamic pressure groove 45 can be formed without variation and without damaging the outer peripheral surface of the shaft 43. Further, the shaft processing tool 50 can be pulled out from the shaft 43 after the hard ball 53 has been lowered from the hard ball holder 52, and does not reciprocate in the dynamic pressure groove 45. There is no hard sphere 53 around the shaft 43
But does not touch it, so that the outer periphery is not damaged.
The dynamic pressure groove 45 having the structure shown in FIG. 11 is processed by the hard sphere 53 of the shaft processing tool 50 shown in FIG. This hard ball 53
It corresponds to the dynamic pressure groove 45.
【0048】以上の転造加工において、溝の周囲に膨ら
み等の変形が発生した場合には、後述するバニッシング
加工で仕上げ加工することができる。次に、図12〜図
15を参照して、軸受スリーブの内周面のバニッシング
加工について説明する。In the above rolling process, when deformation such as bulging occurs around the groove, finishing can be performed by burnishing described later. Next, burnishing of the inner peripheral surface of the bearing sleeve will be described with reference to FIGS.
【0049】図12は、軸受内径加工装置の断面図であ
り、図13は、軸受内径加工装置の要部を示す断面図で
あり、図14は、図13のA−A線断面図であり、図1
5は、軸受内径加工装置により加工された軸受のスリー
ブの断面図である。FIG. 12 is a sectional view of the bearing bore machining apparatus, FIG. 13 is a sectional view showing a main part of the bearing bore machining apparatus, and FIG. 14 is a sectional view taken along line AA of FIG. , FIG.
5 is a sectional view of a bearing sleeve processed by the bearing inner diameter processing device.
【0050】図12に示すように、軸受内径加工装置
は、基台109と、基台109上に有し、被加工物であ
る軸受のスリーブ2を固定するチャック110と、基台
109に取り付けられ、送りねじ111aを有し、スラ
イダー部113と噛み合ってテーパピン107とスリー
ブ2の距離を変えるための第1のモータ111と、テー
パピン107又はスリーブ2の何れかを回転させるため
の第2のモータ112と、テーパピン107が挿入され
るローラガイド101を有するバニッシング治具106
と、スライダー部113の下降位置を規制するためのス
トッパー114とを備えている。As shown in FIG. 12, the bearing inner diameter machining apparatus includes a base 109, a chuck 110 which is provided on the base 109, and fixes the sleeve 2 of the bearing which is a workpiece, and which is mounted on the base 109. A first motor 111 that has a feed screw 111a and engages with the slider portion 113 to change the distance between the taper pin 107 and the sleeve 2; and a second motor that rotates either the taper pin 107 or the sleeve 2. 112 and a burnishing jig 106 having a roller guide 101 into which the taper pin 107 is inserted.
And a stopper 114 for regulating the descending position of the slider portion 113.
【0051】図13に示すように、バニッシング治具1
06は、複数のガイド溝101aを有するローラガイド
101と、ガイド溝101aに位置決めピン103を介
して回転自在に支持されているテーパ付きローラ102
と、ローラガイド101を支持するための鋼球ホルダー
104と、鋼球ホルダー104に保持される鋼球105
とを備えている。このバニッシング治具106のローラ
ガイド101は、鋼球ホルダー104及び鋼球105に
より回転自在にチャック110(図12参照)上に支持
される。As shown in FIG. 13, the burnishing jig 1
Reference numeral 06 denotes a roller guide 101 having a plurality of guide grooves 101a, and a tapered roller 102 rotatably supported in the guide grooves 101a via positioning pins 103.
A steel ball holder 104 for supporting the roller guide 101; and a steel ball 105 held by the steel ball holder 104.
And The roller guide 101 of the burnishing jig 106 is rotatably supported on a chuck 110 (see FIG. 12) by a steel ball holder 104 and a steel ball 105.
【0052】前記テーパピン107は、その一部にテー
パ部107aを有し、テーパ付きローラ102の転動中
心になると共に、ローラガイド101に対して図中U及
びD方向に出入りし、テーパ付きローラ102の全長に
渡って外接円を調整可能としていると同時に、テーパ付
きローラ102の全長に渡って外接円が同じになるよう
にテーパ比が構成されている。即ち、テーパピン107
とテーパ付きローラ102とのテーパ比が2:1に設定
されている。The tapered pin 107 has a tapered portion 107a at a part thereof, which serves as a rolling center of the tapered roller 102, and moves in and out of the roller guide 101 in the U and D directions in FIG. The circumscribed circle can be adjusted over the entire length of the roller 102, and at the same time, the taper ratio is configured so that the circumscribed circle is the same over the entire length of the tapered roller 102. That is, the taper pin 107
And the taper ratio of the tapered roller 102 is set to 2: 1.
【0053】以上のように構成された軸受内径加工装置
について、図12〜図15を参照してその動作を説明す
る。先ず、図12に示すように、スリーブ2はチャック
110の所定の位置に装着される。次に、図13に示す
ように、バニッシング治具106のテーパ付きローラ1
02の部分がスリーブ2の内径に挿入される。図12に
示すように、バニッシング治具106は鋼球ホルダー1
04と鋼球105によりチャック110の上面に回転自
在に設置される。図13に示すように、第2のモータ1
12がテーパピン107を回転させ、第1のモータ11
1によりスライダー部113を下降することにより、第
2のモータ112に取り付けられたテーパピン107が
バニッシング治具106の内径に回転しながら押し入れ
られると、図13に示すように、バニッシング治具10
6のテーパ付きローラ102はテーパピン107から回
転力を得て、ガイド溝101a内で自転しながらスリー
ブ2の内周面を公転する動きをする。そして、図13,
14に示すように、テーパ付きローラ102はスリーブ
2の全長に渡って内周面を押し付けながら回転する。こ
のため、図15に示すように、スリーブ2の内径2a
は、スリーブ2の軸方向の全長に渡って広げられると共
に表面粗さは良好に加工される。The operation of the bearing inner diameter machining apparatus configured as described above will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 12, the sleeve 2 is mounted at a predetermined position on the chuck 110. Next, as shown in FIG. 13, the tapered roller 1 of the burnishing jig 106 is used.
02 is inserted into the inner diameter of the sleeve 2. As shown in FIG. 12, the burnishing jig 106 is a steel ball holder 1.
04 and the steel ball 105 are rotatably installed on the upper surface of the chuck 110. As shown in FIG.
12 rotates the taper pin 107, and the first motor 11
When the taper pin 107 attached to the second motor 112 is pressed down while rotating into the inner diameter of the burnishing jig 106 by lowering the slider portion 113 by 1, as shown in FIG.
The tapered roller 102 receives the rotational force from the taper pin 107 and moves around the inner peripheral surface of the sleeve 2 while rotating in the guide groove 101a. And FIG.
As shown in FIG. 14, the tapered roller 102 rotates while pressing the inner peripheral surface over the entire length of the sleeve 2. Therefore, as shown in FIG.
Is spread over the entire length of the sleeve 2 in the axial direction, and the surface roughness is processed well.
【0054】上記軸受内径加工装置によれば、テーパピ
ン107とバニッシング治具106のテーパ付きローラ
102とのテーパ比が2:1に構成されているので、ス
リーブ2の全長に渡ったテーパ付きローラ102の外接
円の径が同一寸法になるので、スリーブ2の全長に渡っ
た加工を行うことが可能となる。従って、図15に示す
ような良好な円筒度の内径を有するスリーブ2が加工可
能となる。According to the bearing inner diameter machining apparatus, since the taper ratio between the taper pin 107 and the tapered roller 102 of the burnishing jig 106 is 2: 1, the tapered roller 102 extends over the entire length of the sleeve 2. Since the diameter of the circumscribed circle becomes the same, processing over the entire length of the sleeve 2 can be performed. Therefore, the sleeve 2 having a good cylindricity inner diameter as shown in FIG. 15 can be machined.
【0055】また、スライダー部113の下降位置をス
トッパー114により規制することにより、テーパピン
107がバニッシング治具106へ入り込む位置が規制
される。従って、テーパ付きローラ102の外接円径が
一定になるように規制されるので、スリーブ2の内径寸
法のバラツキを小さく抑えることが出来る。By restricting the lowering position of the slider portion 113 by the stopper 114, the position where the taper pin 107 enters the burnishing jig 106 is restricted. Therefore, the diameter of the circumscribed circle of the tapered roller 102 is regulated so as to be constant, so that the variation in the inner diameter of the sleeve 2 can be reduced.
【0056】上記軸受内径加工装置によれば、軸受のス
リーブ2の内径を加工する装置において、スリーブ2に
挿入されるテーパピン107と、テーパピン107の外
周を転動自在なテーパを有する複数のテーパ付きローラ
102と、テーパピン107の外周を回転自在に設けら
れ、複数のテーパ付きローラ102を収納するガイド溝
101aを有するローラガイド101と、ローラガイド
101に対してテーパピン107に軸方向の相対移動を
与えてテーパピン107をスリーブ2に挿入する第1の
モータ111と、テーパピン107を回転させる第2の
モータ112とを有し、テーパピン107とテーパ付き
ローラ102とのテーパ比が2:1であるので、内径の
塑性加工中にバニッシング治具106のテーパ付きロー
ラ102の全長に渡って同一径のまま外接円径を変化さ
せることができる。According to the bearing inner diameter machining apparatus, in the apparatus for machining the inner diameter of the sleeve 2 of the bearing, a taper pin 107 inserted into the sleeve 2 and a plurality of tapers having a taper capable of rolling around the outer periphery of the taper pin 107 are provided. A roller guide 101 having a roller 102 and a guide groove 101 a rotatably provided on the outer circumference of the tapered pin 107 and accommodating a plurality of tapered rollers 102, and imparting an axial relative movement to the tapered pin 107 with respect to the roller guide 101. And a second motor 112 for rotating the taper pin 107. The taper ratio between the taper pin 107 and the tapered roller 102 is 2: 1. During the plastic working of the inner diameter, the entire length of the tapered roller 102 of the burnishing jig 106 It is possible to change the remains circumscribed circle diameter of the same diameter me.
【0057】また、テーパ付きローラ102はスリーブ
2の全長に渡って挿入され、テーパピン107及びスリ
ーブ108を互いに相対的に回転させながらスリーブ2
の長さ全長に渡ってテーパピン107からの伝達力を受
け内周面を押し付けながら全域を同時加工するようにし
たので、スリーブ2の長さ全長に渡ってテーパピン10
7からの伝達力を受け内周面を押し付けながら全域を同
時加工することができる。The tapered roller 102 is inserted over the entire length of the sleeve 2 and rotates the tapered pin 107 and the sleeve 108 relative to each other.
The entire area is simultaneously processed while pressing the inner peripheral surface by receiving the transmission force from the taper pin 107 over the entire length of the sleeve 2, so that the taper pin 10 extends over the entire length of the sleeve 2.
The entire area can be simultaneously machined while pressing the inner peripheral surface by receiving the transmission force from.
【0058】テーパピン107の軸方向の相対移動を規
制するストッパー114を設けてテーパピン107の加
工位置を規制し、軸受内径の仕上がり寸法を決めるテー
パ付きローラ102の外接径を一定値に保つようにした
ので、スリーブ2の内径仕上がり寸法のバラツキを小さ
くすることができる。A stopper 114 for regulating the relative movement of the taper pin 107 in the axial direction is provided to regulate the processing position of the taper pin 107, and the circumscribed diameter of the tapered roller 102 for determining the finished dimension of the inner diameter of the bearing is kept constant. Therefore, it is possible to reduce variations in the finished inner diameter of the sleeve 2.
【0059】次に、図16及び図17を参照して、軸の
外周面のバニッシング加工について説明する。図16は
円筒面加工装置である軸外径加工装置の要部を示す断面
図であり、図17は図16中のC−C線断面図である。
図16、図17に示すように、軸外径加工装置のバニッ
シング治具316は、内周面にテーパ面137が形成さ
れている円筒ローラ131と、テーパ付きローラ132
をガイドするローラガイド135と、ローラガイド13
5に位置決めピン133a,133bを介して回転自在
に支持されているテーパ付きローラ132と、シャンク
部134とを備えている。Next, burnishing of the outer peripheral surface of the shaft will be described with reference to FIGS. FIG. 16 is a cross-sectional view showing a main part of a shaft outer diameter processing device which is a cylindrical surface processing device, and FIG. 17 is a cross-sectional view taken along line CC in FIG.
As shown in FIGS. 16 and 17, the burnishing jig 316 of the shaft outer diameter processing device includes a cylindrical roller 131 having a tapered surface 137 formed on an inner peripheral surface, and a tapered roller 132.
Roller guide 135 for guiding the roller and roller guide 13
5 is provided with a tapered roller 132 rotatably supported via positioning pins 133a and 133b, and a shank portion.
【0060】前記円筒ローラ131は、その内周面にテ
ーパ面137を有し、テーパ付きローラ132の転動面
になると共に、ローラガイド135に対して図中U及び
D方向に出入りし、テーパ付きローラ132の全長に渡
って外接円を調整可能としていると同時に、テーパ付き
ローラ32の全長に渡って外接円が同じになるようにテ
ーパ比が構成されている。即ち、テーパ面137とテー
パ付きローラ132とのテーパ比が2:1に設定されて
いる。The cylindrical roller 131 has a tapered surface 137 on the inner peripheral surface thereof, serves as a rolling surface of the tapered roller 132, and moves in and out of the roller guide 135 in the U and D directions in FIG. The circumscribed circle can be adjusted over the entire length of the attached roller 132, and at the same time, the taper ratio is configured so that the circumscribed circle is the same over the entire length of the tapered roller 32. That is, the taper ratio between the tapered surface 137 and the tapered roller 132 is set to 2: 1.
【0061】以上のように構成された軸外径加工装置に
ついて、図16,図17を参照してその動作を説明す
る。図16に示すように、被加工物である軸43は固定
具139の所定の位置に取り付けられる。次に、バニッ
シング治具136のテーパ付きローラ132の部分が軸
43の外径に装着される。円筒ローラ131が回転する
と、バニッシング治具136のテーパ付きローラ132
は円筒ローラ131から回転力を得て、自転しながら軸
43の外周面を公転する動きをする。そして、テーパ付
きローラ132は軸43の被加工面の全長に渡って外周
面を押し付けながら回転する。このため、軸43の外径
は、軸43の被加工面の全長に渡って押し付けられると
共に表面粗さは良好に加工される。The operation of the shaft outer diameter machining apparatus configured as described above will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 16, the shaft 43 as a workpiece is attached to a predetermined position of the fixture 139. Next, the portion of the tapered roller 132 of the burnishing jig 136 is attached to the outer diameter of the shaft 43. When the cylindrical roller 131 rotates, the tapered roller 132 of the burnishing jig 136 is rotated.
Takes a rotational force from the cylindrical roller 131 and makes a revolution around the outer peripheral surface of the shaft 43 while rotating. Then, the tapered roller 132 rotates while pressing the outer peripheral surface over the entire length of the processing surface of the shaft 43. Therefore, the outer diameter of the shaft 43 is pressed over the entire length of the processed surface of the shaft 43, and the surface roughness is favorably processed.
【0062】上記軸外径加工装置によれば、円筒ローラ
131のテーパ面137とテーパ付きローラ132との
テーパ比が2:1に構成されているので、軸43の被加
工面の全長に渡ったテーパ付きローラ132の内接円径
が同一寸法になるので、軸43の全長に渡った同時加工
を行うことが可能となる。従って、良好な円筒度の外径
を有する軸43が加工可能となる。According to the shaft outer diameter processing apparatus, the taper ratio between the tapered surface 137 of the cylindrical roller 131 and the tapered roller 132 is 2: 1. Since the diameter of the inscribed circle of the tapered roller 132 is the same, it is possible to perform simultaneous processing over the entire length of the shaft 43. Therefore, the shaft 43 having a good cylindricity outer diameter can be machined.
【0063】上記軸外径加工装置によれば、軸43の外
径を加工する装置において、軸43に装着される円筒ロ
ーラ131と、円筒ローラ131の内周を転動自在なテ
ーパを有する複数のテーパ付きローラ132と、テーパ
付きローラ132をガイドするローラガイド135とを
有し、円筒ローラ131のテーパ面137とテーパ付き
ローラ132とのテーパ比が2:1であるので、外径の
塑性加工中にバニッシング治具136のテーパ付きロー
ラ132の全長に渡って同一径のまま内接円径を変化さ
せることができる。According to the shaft outer diameter processing apparatus, in the apparatus for processing the outer diameter of the shaft 43, there is provided a cylindrical roller 131 mounted on the shaft 43, and a plurality of tapered rollers which can roll on the inner periphery of the cylindrical roller 131. And a roller guide 135 for guiding the tapered roller 132, and the taper ratio between the tapered surface 137 of the cylindrical roller 131 and the tapered roller 132 is 2: 1. During processing, the inscribed circle diameter can be changed while maintaining the same diameter over the entire length of the tapered roller 132 of the burnishing jig 136.
【0064】また、テーパ付きローラ132は軸43の
全長に渡って装着され、円筒ローラ131及びテーパ付
きローラ132を互いに相対的に回転させながら軸43
の被加工面の長さ全長に渡って円筒ローラ131からの
伝達力を受け外周面を押し付けながら全域を同時加工す
るようにしたので、軸43の長さ全長に渡って円筒ロー
ラ131からの伝達力を受け外周面を押し付けながら全
域を同時加工することができる。The tapered roller 132 is mounted over the entire length of the shaft 43, and rotates the cylindrical roller 131 and the tapered roller 132 relative to each other.
The transmission force from the cylindrical roller 131 is applied over the entire length of the surface to be processed, and the entire area is simultaneously processed while pressing the outer peripheral surface. Therefore, the transmission from the cylindrical roller 131 over the entire length of the shaft 43 is performed. The entire area can be processed simultaneously while pressing the outer peripheral surface under the force.
【0065】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種
々変形して実施することができる。The present invention is not limited to the above embodiment. That is, various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
【0066】[0066]
【発明の効果】以上の説明から明らかな如く本発明によ
れば、溝を転造で形成するので、切り子の発生が微少で
あり、切削加工と比べて加工時間を大幅に短縮すること
ができるとともに、加工部分に金属繊維の切断がないの
で、強度的にも優れている。さらに、硬球を没入させる
ことができるので、溝の形成を片道加工で行うことがで
き、円筒面に形成した溝のピッチずれや、溝の変形を生
じることのない極めて高精度な溝を形成することができ
る。As is apparent from the above description, according to the present invention, since the grooves are formed by rolling, the generation of cuts is very small and the processing time can be greatly reduced as compared with the cutting processing. In addition, since there is no cutting of the metal fiber in the processed portion, the strength is excellent. Further, since the hard sphere can be immersed, the groove can be formed by one-way processing, and a very high precision groove can be formed without causing a pitch shift of the groove formed on the cylindrical surface or a deformation of the groove. be able to.
【0067】また、本発明の円筒面を有する被加工物の
製造方法又はその製造装置によれば、軸受スリーブの内
孔に刻設する動圧溝を転造で形成するので、切り子の発
生が微少であり、切削加工と比べて加工時間を大幅に短
縮することができるとともに、加工部分に金属繊維の切
断がないので、強度的にも優れている。さらに、硬球を
没入させることができるので、動圧溝の形成を片道加工
で行うことができ、円筒面に形成した動圧溝のピッチず
れや、動圧溝の変形を生じることのない極めて高精度な
動圧溝を形成することができる。Further, according to the method for manufacturing a workpiece having a cylindrical surface or the apparatus for manufacturing the same according to the present invention, the dynamic pressure grooves formed in the inner hole of the bearing sleeve are formed by rolling. Since it is very small, the processing time can be greatly shortened as compared with the cutting processing, and since there is no cutting of the metal fiber in the processed part, the strength is excellent. Furthermore, since the hard spheres can be immersed, the dynamic pressure grooves can be formed by one-way processing, and the pitch of the dynamic pressure grooves formed on the cylindrical surface and the deformation of the dynamic pressure grooves do not occur. An accurate dynamic pressure groove can be formed.
【0068】また、本発明の流体軸受の動圧溝の製造方
法又はその製造装置によれば、軸受スリーブの内孔に刻
設する動圧溝を転造で形成するので、切り子の発生が微
少であり、切削加工と比べて加工時間を大幅に短縮する
ことができるとともに、加工部分に金属繊維の切断がな
いので、強度的にも優れている。さらに、硬球を没入さ
せることができるので、動圧溝の形成を片道加工で行う
ことができ、円筒面に形成した動圧溝のピッチずれや、
動圧溝の変形を生じることのない極めて高精度な動圧溝
を形成することができる。Further, according to the method or the apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing of the present invention, the dynamic pressure groove formed in the inner hole of the bearing sleeve is formed by rolling, so that the occurrence of cuts is minimal. In addition, the processing time can be significantly reduced as compared with the cutting processing, and the strength is excellent because there is no cutting of the metal fiber in the processed portion. Furthermore, since the hard ball can be immersed, the formation of the dynamic pressure groove can be performed by one-way processing, and the pitch deviation of the dynamic pressure groove formed on the cylindrical surface,
It is possible to form an extremely accurate dynamic pressure groove without causing deformation of the dynamic pressure groove.
【図1】本発明の第1実施形態に係わる流体軸受動圧溝
の製造方法及びその装置を説明するための軸断面図であ
る。FIG. 1 is an axial sectional view for explaining a method and an apparatus for manufacturing a hydrodynamic bearing hydrodynamic groove according to a first embodiment of the present invention.
【図2】本発明の第1実施形態に係わる流体軸受動圧溝
の製造方法及びその装置により製造される流体軸受の全
体構造を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the entire structure of the hydrodynamic bearing manufactured by the method and the apparatus for manufacturing a hydrodynamic bearing hydrodynamic groove according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の第1実施形態に係わる流体軸受動圧溝
の製造方法及びその装置が適用される流体軸受の軸受ス
リーブ構造を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a bearing sleeve structure of a fluid bearing to which a method and a device for manufacturing a fluid dynamic pressure groove according to the first embodiment of the present invention are applied.
【図4】本発明の第1実施形態に係わる流体軸受動圧溝
の製造方法及びその装置に使用される、軸受スリーブの
動圧溝を加工するための溝加工具を示す図であり、
(A)は断面図、(B)は図4(A)図中、A−A線断
面図である。FIG. 4 is a view showing a groove processing tool for processing the dynamic pressure groove of the bearing sleeve, which is used in the method and the apparatus for manufacturing the hydrodynamic bearing dynamic pressure groove according to the first embodiment of the present invention;
4A is a sectional view, and FIG. 4B is a sectional view taken along line AA in FIG.
【図5】本発明の第2実施形態に係わる流体軸受動圧溝
の製造方法及びその装置が適用されるへリングボーン型
の流体軸受の軸受スリーブ構造を示す図である。FIG. 5 is a view showing a bearing sleeve structure of a herringbone type fluid bearing to which a method and an apparatus for manufacturing a fluid dynamic pressure groove according to a second embodiment of the present invention are applied.
【図6】本発明の第2実施形態に係わる流体軸受動圧溝
の製造方法及びその装置に用いる溝加工具の要部構造を
示す一部断面図である。FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing a main part structure of a groove processing tool used in a method and an apparatus for manufacturing a hydrodynamic bearing hydrodynamic groove according to a second embodiment of the present invention.
【図7】本発明の第2実施形態に係わる流体軸受動圧溝
の製造方法及びその装置に用いる溝加工具が動圧溝の加
工を終了した際、溝加工具を軸受スリーブから抜き取る
方法を示す図である。FIG. 7 shows a method of manufacturing a hydrodynamic groove according to a second embodiment of the present invention and a method of removing the groove processing tool from the bearing sleeve when the groove processing tool used in the apparatus finishes processing the dynamic pressure groove. FIG.
【図8】本発明の第2実施形態の変形例に係わる流体軸
受動圧溝の製造方法及びその装置に用いるシャフト部材
の硬球保持部にテーパー部を設けて硬球の接円径を微調
整できる構成とした図である。FIG. 8 shows a method of manufacturing a hydrodynamic bearing groove according to a modification of the second embodiment of the present invention, and a taper portion is provided in a hard ball holding portion of a shaft member used in the apparatus for fine adjustment of the tangent diameter of the hard ball. FIG.
【図9】本発明の第3実施形態に係わる流体軸受の動圧
溝の製造方法及びその装置を示す一部断面図である。FIG. 9 is a partial sectional view showing a method and an apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to a third embodiment of the present invention.
【図10】本発明の第3実施形態に係わる流体軸受の動
圧溝の製造方法及びその装置の治具の抜き取りを示す一
部断面図である。FIG. 10 is a partial cross-sectional view illustrating a method of manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to a third embodiment of the present invention and a jig extraction of the apparatus.
【図11】本発明の第3実施形態に係わる流体軸受の動
圧溝の製造方法及びその装置により製造される流体軸受
の全体構造を示す図である。FIG. 11 is a view showing a method of manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to a third embodiment of the present invention and an entire structure of a fluid bearing manufactured by the apparatus.
【図12】軸受内径加工装置の断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view of a bearing inner diameter processing device.
【図13】軸受内径加工装置の要部を示す断面図であ
る。FIG. 13 is a cross-sectional view showing a main part of the bearing inner diameter processing device.
【図14】図13のB−B線断面図である。FIG. 14 is a sectional view taken along line BB of FIG.
【図15】軸受内径加工装置により加工された軸受スリ
ーブの断面図である。FIG. 15 is a cross-sectional view of a bearing sleeve processed by the bearing inner diameter processing device.
【図16】軸外径加工装置の要部を示す断面図である。FIG. 16 is a cross-sectional view showing a main part of the shaft outer diameter processing device.
【図17】図16中のC−C線断面図である。FIG. 17 is a sectional view taken along line CC in FIG. 16;
1,41 流体軸受 2,22,42 軸受スリーブ 2a,22a 内孔 3,43 軸 4 潤滑剤 5,45 動圧溝 6 間隙 7 スラスト軸受 8 補助板 10,30 溝加工具 11,31 シャフト部材 11a,31a 硬球溜まり 12,32 硬球ホルダ 12a,32a ホルダ穴 13,13a,13b 硬球 15a スライド窓 16 円周カシメ 17 スリーブ固定具 25,25a〜25h 動圧溝 33,33a〜33h 硬球 44 硬球逃げ溝 50 軸加工具 51 円筒部材 52 硬球ホルダ 53 硬球 58 硬球溜まり 1,41 Fluid bearing 2,22,42 Bearing sleeve 2a, 22a Inner hole 3,43 Shaft 4 Lubricant 5,45 Dynamic pressure groove 6 Gap 7 Thrust bearing 8 Auxiliary plate 10,30 Groove processing tool 11,31 Shaft member 11a , 31a Hard sphere pool 12, 32 Hard sphere holder 12a, 32a Holder hole 13, 13a, 13b Hard sphere 15a Sliding window 16 Circumferential caulking 17 Sleeve fixing tool 25, 25a to 25h Dynamic pressure groove 33, 33a to 33h Hard sphere 44 Hard sphere escape groove 50 Shaft processing tool 51 Cylindrical member 52 Hard sphere holder 53 Hard sphere 58 Hard sphere pool
Claims (13)
る被加工物の製造装置において、 前記円筒面に溝を転造する複数個の硬球を転動自在に保
持する硬球ホルダと、該硬球ホルダから前記円筒面に向
けて前記硬球を出没自在に保持する回動部材とを備える
円筒面を有する被加工物の製造装置。1. A manufacturing apparatus for a workpiece having a cylindrical surface formed by engraving a groove on a cylindrical surface, comprising: a hard ball holder for rollingly holding a plurality of hard balls for rolling a groove on the cylindrical surface; An apparatus for manufacturing a workpiece having a cylindrical surface, comprising: a rotating member that holds the hard ball so as to be able to protrude and retract from the hard ball holder toward the cylindrical surface.
る被加工物の製造方法において、 複数個の硬球を硬球ホルダにより転動自在に保持し、該
硬球ホルダ表面から前記円筒面に向けて前記硬球を突出
させた状態で、前記円筒面に溝を転造し、該溝を形成後
に、前記硬球ホルダ表面から前記硬球を没入させた状態
で、前記円筒面の軸方向に沿って前記硬球ホルダ及び前
記硬球を離脱させることを特徴とする円筒面を有する被
加工物の製造方法。2. A method for manufacturing a workpiece having a cylindrical surface formed by engraving a groove in a cylindrical surface, wherein a plurality of hard spheres are rollably held by a hard sphere holder, and the hard sphere holder surface is removed from the cylindrical surface. In a state where the hard spheres are protruded toward, a groove is rolled in the cylindrical surface, and after the grooves are formed, the hard spheres are immersed from the surface of the hard sphere holder, and along the axial direction of the cylindrical surface. A method for manufacturing a workpiece having a cylindrical surface, wherein the hard sphere holder and the hard sphere are released from the workpiece.
ブと、前記内孔内に挿入される軸とを有する流体軸受の
前記動圧溝を製造するための製造装置において、 前記軸受スリーブを固持するスリーブ固定具と、複数個
の硬球を転動自在に、且つ、該硬球の接円径が流体軸受
用スリーブの溝加工部内径より僅かに大きくなるように
保持する溝加工具と、 前記硬球の接円径が流体軸受用スリーブの溝加工部内径
より僅かに大きな加工状態と、前記硬球の接円径が流体
軸受用スリーブの溝加工部内径より僅かに小さくなる引
抜き状態との間の切換手段とを備え、 加工状態では、前記溝加工具を前記軸受スリーブの前記
内孔内に挿入し、前記溝加工具に回転運動及び軸方向に
送りを与え、前記複数個の硬球を前記内孔に食い込ませ
て前記軸受スリーブの内周面に動圧溝を転造し、 引抜き状態では、切換手段により硬球の接円径が流体軸
受用スリーブの溝加工部内径より僅かに小さくして引き
抜くことが出来ることを特徴とする流体軸受の動圧溝の
製造装置。3. A manufacturing apparatus for manufacturing the dynamic pressure groove of a fluid bearing having a bearing sleeve in which a dynamic pressure groove is formed in an inner hole and a shaft inserted into the inner hole, A sleeve fixing tool for holding a bearing sleeve, and a groove processing tool for holding a plurality of hard balls so that they can roll freely and the tangent diameter of the hard balls is slightly larger than the inner diameter of the groove processing portion of the fluid bearing sleeve. A machining state where the tangent diameter of the hard sphere is slightly larger than the inner diameter of the grooved portion of the fluid bearing sleeve, and a drawing state where the tangent diameter of the hard sphere is slightly smaller than the inner diameter of the grooved portion of the fluid bearing sleeve In the processing state, the groove processing tool is inserted into the inner hole of the bearing sleeve, and the groove processing tool is provided with a rotational motion and an axial feed to the plurality of hard balls. Into the inner hole so that the bearing sleeve The dynamic pressure groove is rolled on the inner peripheral surface of the fluid bearing, and in the withdrawn state, the tangent diameter of the hard sphere is slightly smaller than the inner diameter of the grooved part of the fluid bearing sleeve by the switching means and can be pulled out. Manufacturing equipment for dynamic pressure grooves of fluid bearings.
と直交する平面上の相対向する位置に転動自在な硬球を
有するものからなり、前記溝加工具を前記軸受スリーブ
のほぼ中央部を境にして逆回転し、傾斜方向が逆向き形
状の動圧溝を転造することを特徴とする請求項3に記載
の流体軸受の動圧溝の製造装置。4. The grooving tool has rolling spheres at opposing positions on a plane orthogonal to the axis of the shaft member, and the grooving tool is attached to a substantially central portion of the bearing sleeve. 4. The hydrodynamic groove manufacturing apparatus for a fluid bearing according to claim 3, wherein the hydrodynamic groove is reversely rotated around the boundary to form a dynamic pressure groove having a shape in which the inclination direction is reversed.
る位置に等ピッチで、シャフト部材の軸線方向と直交す
る同一平面上に同軸に転動自在に取り付けたものである
ことを特徴とする請求項4に記載の流体軸受の動圧溝の
製造装置。5. The grooving tool is characterized in that a plurality of hard spheres are coaxially and rotatably mounted on opposing positions at equal pitches on the same plane perpendicular to the axial direction of the shaft member. The apparatus for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to claim 4.
硬球の接円径が流体軸受用スリーブの溝加工部内径より
僅かに大きくなるように保持する構成にすると共に、シ
ャフト部材を硬球ホルダ内でスライドさせて、シャフト
部材の溝部で硬球を保持して該硬球の接円径が流体軸受
用スリーブの溝加工部内径より僅かに小さくなるように
保持する構成に切り換えることが出来る構成にしたこと
を特徴とする請求項3に記載の流体軸受の動圧溝の製造
装置。6. The shaft member of the groove machining tool is configured to hold a plurality of hard spheres such that the tangent diameter of the plurality of hard spheres is slightly larger than the inner diameter of the groove machining portion of the fluid bearing sleeve, and the shaft member is a hard sphere holder. Inside, the hard ball is held in the groove of the shaft member, and it can be switched to a structure in which the tangent diameter of the hard sphere is slightly smaller than the inner diameter of the grooved portion of the fluid bearing sleeve. The manufacturing apparatus of a hydrodynamic groove of a hydrodynamic bearing according to claim 3, wherein:
硬球の接円径が流体軸受用スリーブの溝加工部内径より
僅かに大きくなるように保持する構成にすると共に、シ
ャフト部材の硬球保持部にテーパ部を設け、硬球の接円
径を微調整できる構成にしたことを特徴とする請求項3
に記載の流体軸受の動圧溝の製造装置。7. The shaft member of the groove machining tool is configured to hold a plurality of hard spheres such that the tangent diameter of the plurality of hard spheres is slightly larger than the inner diameter of the groove machining portion of the fluid bearing sleeve. 4. A structure in which a tapered portion is provided in the portion so that the tangent diameter of the hard sphere can be finely adjusted.
The manufacturing apparatus of the dynamic pressure groove of the fluid bearing according to the above.
保持部は前記流体軸受用スリーブより硬質な材料からな
ることを特徴とする請求項3に記載の流体軸受の動圧溝
の製造装置。8. The apparatus according to claim 3, wherein at least the hard ball holding portion of the hard ball and groove processing tool is made of a material harder than the fluid bearing sleeve.
圧溝の深さは、数ミクロンメートルから十数ミクロンメ
ートルの深さであることを特徴とする請求項3に記載の
流体軸受の動圧溝の製造装置。9. The hydrodynamic bearing according to claim 3, wherein a depth of the dynamic pressure groove formed by the hard sphere of the groove processing tool is a depth of several micrometers to several tens of micrometers. Manufacturing equipment for dynamic pressure grooves.
ーブと、前記内孔内に挿入される軸とを有する流体軸受
の前記動圧溝を製造する製造方法において、前記軸受ス
リーブをスリーブ固定具で固持し、複数個の硬球を溝加
工具で転動自在に、且つ、該硬球の接円径が流体軸受用
スリーブの溝加工部内径より僅かに大きくなるように保
持し、 前記溝加工具を前記軸受スリーブの前記内孔内に挿入
し、前記溝加工具に回転運動及び軸方向に送りを与え、
前記複数個の硬球を前記内孔に食い込ませて前記軸受ス
リーブの内周面に動圧溝を転造し、 該動圧溝を形成した後に、切換手段により硬球の接円径
が流体軸受用スリーブの溝加工部内径より僅かに小さく
して引き抜くことを特徴とする流体軸受の動圧溝の製造
方法。10. A manufacturing method for manufacturing said dynamic pressure groove of a fluid bearing having a bearing sleeve in which a dynamic pressure groove is engraved in an inner hole and a shaft inserted into said inner hole. Is fixed by a sleeve fixing tool, and a plurality of hard balls can be rolled freely by a groove processing tool, and held so that the tangent diameter of the hard balls is slightly larger than the inner diameter of the groove processing portion of the fluid bearing sleeve, Inserting the grooving tool into the inner hole of the bearing sleeve, giving the grooving tool rotational movement and axial feed;
The plurality of hard spheres are cut into the inner hole to form a dynamic pressure groove on the inner peripheral surface of the bearing sleeve. After the dynamic pressure groove is formed, the tangent diameter of the hard sphere is changed by the switching means for the fluid bearing. A method of manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing, wherein the groove is slightly smaller than an inner diameter of a groove processed portion of the sleeve and then pulled out.
面上の相対向する位置に転動自在な硬球を有する溝加工
具を、前記軸受スリーブのほぼ中央部の境目を中心にし
て回転方向を逆方向にして、傾斜方向が逆向き形状の動
圧溝を形成することを特徴とする請求項10に記載の流
体軸受の動圧溝の製造方法。11. A groove processing tool having rollable hard spheres at opposing positions on a plane orthogonal to the axis of the shaft member, the rotational direction of which is reversed around a boundary substantially at the center of the bearing sleeve. The method for manufacturing a dynamic pressure groove of a fluid bearing according to claim 10, wherein the dynamic pressure groove is formed such that the inclined direction is opposite to the direction.
度が一定の複数本の溝群からなるへリングボーン型の場
合において、前記溝加工具が前記溝群の各溝に対応する
複数個の硬球を相対向する位置において等ピッチで、シ
ャフト部材の軸線方向と直交する同一平面上に同軸に転
動自在に取り付けたものからなる該溝加工具に、回転運
動及び軸方向の送りを与え、前記軸受スリーブのほぼ中
央部を境目にして回転方向を逆向きにすることを特徴と
する請求項10に記載の流体軸受の動圧溝の製造方法。12. In a case where the dynamic pressure groove of the bearing sleeve is of a herringbone type comprising a plurality of groove groups having a constant inclination angle, the plurality of groove processing tools correspond to each groove of the groove group. The hard spheres are rotated at the same pitch at opposing positions at the same pitch and coaxially and rotatably mounted on the same plane orthogonal to the axial direction of the shaft member. 11. The method according to claim 10, wherein the rotational direction is reversed around a substantially central portion of the bearing sleeve.
スリーブの内周面に転造加工により、数ミクロンメート
ルから十数ミクロンメートルの深さの動圧溝を形成する
ことを特徴とする請求項10に記載の流体軸受の動圧溝
の製造方法。13. The hard ball of the groove processing tool is characterized in that a dynamic pressure groove having a depth of several micrometers to several tens of micrometers is formed on the inner peripheral surface of the fluid bearing sleeve by rolling. A method for manufacturing a hydrodynamic groove for a hydrodynamic bearing according to claim 10.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11121963A JP2000312943A (en) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | Method and device for manufacturing workpiece having cylindrical face, and method and device for manufacturing dynamic pressure groove of fluid bearing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11121963A JP2000312943A (en) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | Method and device for manufacturing workpiece having cylindrical face, and method and device for manufacturing dynamic pressure groove of fluid bearing |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000312943A true JP2000312943A (en) | 2000-11-14 |
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ID=14824234
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11121963A Withdrawn JP2000312943A (en) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | Method and device for manufacturing workpiece having cylindrical face, and method and device for manufacturing dynamic pressure groove of fluid bearing |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000312943A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010131663A (en) * | 2008-12-08 | 2010-06-17 | Tsubakimoto Chain Co | Manufacturing method of bushing with oil reserving blind groove for chain |
WO2018074186A1 (en) * | 2016-10-18 | 2018-04-26 | 日本精工株式会社 | Raceway groove machining method, bearing, ball screw device, machine, and vehicle production method |
-
1999
- 1999-04-28 JP JP11121963A patent/JP2000312943A/en not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10464151B2 (en) | 2016-10-18 | 2019-11-05 | Nsk Ltd. | Raceway groove machining method, bearing, ball screw device, machine and vehicle production method |
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