JP2000296438A - 冷却気体吹き付け装置 - Google Patents
冷却気体吹き付け装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微小精密部品の加工や研削による加工等の加
工時に、ノズルから冷却気体を工具や加工物に吹き付け
ることで、発生する熱及び切粉等を除去することがで
き、且つノズルに氷着が生じない構成が簡単で且つ安価
な冷却気体吹き付け装置を提供する。 【解決手段】 内側ノズル3と内側ノズル3の外壁を囲
んで流路を形成する外側ノズル4とを具備する。内側ノ
ズル3に冷却空気発生装置1から冷却空気9を供給する
と共に、外側ノズル4に除湿機2から水の氷結温度以上
で常温以下の温度の除湿した乾燥空気10を供給し、こ
れによって内側ノズル3からは冷却空気9を吹き出すと
共に、外側ノズル4からは乾燥空気10を吹き出す。
工時に、ノズルから冷却気体を工具や加工物に吹き付け
ることで、発生する熱及び切粉等を除去することがで
き、且つノズルに氷着が生じない構成が簡単で且つ安価
な冷却気体吹き付け装置を提供する。 【解決手段】 内側ノズル3と内側ノズル3の外壁を囲
んで流路を形成する外側ノズル4とを具備する。内側ノ
ズル3に冷却空気発生装置1から冷却空気9を供給する
と共に、外側ノズル4に除湿機2から水の氷結温度以上
で常温以下の温度の除湿した乾燥空気10を供給し、こ
れによって内側ノズル3からは冷却空気9を吹き出すと
共に、外側ノズル4からは乾燥空気10を吹き出す。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、切削加工、研削加
工、穴開け加工等の加工時に、工具や被加工物に冷却気
体を吹き付けて冷却を行なう冷却気体吹き付け装置に関
するものである。
工、穴開け加工等の加工時に、工具や被加工物に冷却気
体を吹き付けて冷却を行なう冷却気体吹き付け装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、このような切削加工、研削加工、
穴開け加工等の加工時には、多量の水溶性切削液を工具
や被加工物に流して、加工時に発生する摩擦抵抗の減
少、摩擦熱の除去等を行なっていた。しかしながらこの
方法の場合、環境汚染を引き起こす恐れがあった。
穴開け加工等の加工時には、多量の水溶性切削液を工具
や被加工物に流して、加工時に発生する摩擦抵抗の減
少、摩擦熱の除去等を行なっていた。しかしながらこの
方法の場合、環境汚染を引き起こす恐れがあった。
【0003】このため近年、上記環境汚染防止等の観点
から、冷却空気を工具や被加工物に吹き付けて発生熱を
奪いながら加工する方法が提案されている。しかしなが
らこの方法の場合、冷却空気が周囲の湿った大気よりも
速度が大きいため、大気は噴出する冷却空気の流界面に
引き込まれる。このため冷却空気を噴出するノズル先端
部にも湿った大気が巻き込まれ、該ノズルに氷が生成・
成長し、この氷が突如欠落して被加工物を傷つけたり、
工具を破損したりする恐れがあった。また断熱材等によ
るノズルの被覆では、ノズル外径が大きくなり、加工部
からノズルまでの距離が制限される恐れがあった。
から、冷却空気を工具や被加工物に吹き付けて発生熱を
奪いながら加工する方法が提案されている。しかしなが
らこの方法の場合、冷却空気が周囲の湿った大気よりも
速度が大きいため、大気は噴出する冷却空気の流界面に
引き込まれる。このため冷却空気を噴出するノズル先端
部にも湿った大気が巻き込まれ、該ノズルに氷が生成・
成長し、この氷が突如欠落して被加工物を傷つけたり、
工具を破損したりする恐れがあった。また断熱材等によ
るノズルの被覆では、ノズル外径が大きくなり、加工部
からノズルまでの距離が制限される恐れがあった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑
みてなされたものでありその目的は、微小精密部品の加
工や研削による加工等の加工時に、ノズルから冷却気体
を工具や被加工物に吹き付けることによって、加工部
(時)に発生する熱・切粉を除去することができると同
時にノズルに氷着が生じない、構成が簡単で且つ安価な
冷却気体吹き付け装置を提供することにある。
みてなされたものでありその目的は、微小精密部品の加
工や研削による加工等の加工時に、ノズルから冷却気体
を工具や被加工物に吹き付けることによって、加工部
(時)に発生する熱・切粉を除去することができると同
時にノズルに氷着が生じない、構成が簡単で且つ安価な
冷却気体吹き付け装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、内側ノズルと、内側ノズルの外壁を囲んで流
路を形成する外側ノズルとを具備し、前記内側ノズルに
冷却気体供給手段から冷却気体を供給すると共に、前記
外側ノズルに乾燥気体供給手段から水の氷結温度以上で
常温以下の温度の除湿した乾燥気体を供給し、内側ノズ
ルからは前記冷却気体を吹き出すと共に、外側ノズルか
らは前記除湿した乾燥気体を吹き出すように構成したこ
とを特徴とする冷却気体吹き付け装置にある。以上のよ
うに内側ノズルから冷却気体を吹き出すと共に外側ノズ
ルから水の氷結温度以上で常温以下の温度の除湿した乾
燥気体を吹き出すように構成しているので、加工により
発生した熱を冷却気体によって奪いその冷却を行なうこ
とができる。同時に外側ノズルに流した乾燥気体により
ノズル部分への氷の生成を防止することができる。即ち
ノズルに氷を生成することなく冷却を行なうことが容易
に可能になり、熱容量の小さい微小精密部品の加工や研
削による加工等を安価な装置で環境汚染を防止しながら
実施できる。
本発明は、内側ノズルと、内側ノズルの外壁を囲んで流
路を形成する外側ノズルとを具備し、前記内側ノズルに
冷却気体供給手段から冷却気体を供給すると共に、前記
外側ノズルに乾燥気体供給手段から水の氷結温度以上で
常温以下の温度の除湿した乾燥気体を供給し、内側ノズ
ルからは前記冷却気体を吹き出すと共に、外側ノズルか
らは前記除湿した乾燥気体を吹き出すように構成したこ
とを特徴とする冷却気体吹き付け装置にある。以上のよ
うに内側ノズルから冷却気体を吹き出すと共に外側ノズ
ルから水の氷結温度以上で常温以下の温度の除湿した乾
燥気体を吹き出すように構成しているので、加工により
発生した熱を冷却気体によって奪いその冷却を行なうこ
とができる。同時に外側ノズルに流した乾燥気体により
ノズル部分への氷の生成を防止することができる。即ち
ノズルに氷を生成することなく冷却を行なうことが容易
に可能になり、熱容量の小さい微小精密部品の加工や研
削による加工等を安価な装置で環境汚染を防止しながら
実施できる。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明の第一実施
形態にかかる冷却空気吹き付け装置(冷却気体吹き付け
装置)の概略構成を示す図であり、同図(a)はその全
体の概略構成を側面から見た図、同図(b)はノズルA
部分の概略構成を上側から見た図である。
面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明の第一実施
形態にかかる冷却空気吹き付け装置(冷却気体吹き付け
装置)の概略構成を示す図であり、同図(a)はその全
体の概略構成を側面から見た図、同図(b)はノズルA
部分の概略構成を上側から見た図である。
【0007】同図に示すようにこの冷却空気吹き付け装
置は、冷却した空気を発生する冷却空気発生装置1と、
圧縮空気を除湿して乾燥空気を生成する除湿機2と、ノ
ズルAとを具備して構成されている。また同図に示す1
1は工具(図示の例では研削盤の砥石を示しているが、
他の各種加工用工具であってもよい)、12は被加工物
(被加工物も各種形状・構造のものでよい)である。
置は、冷却した空気を発生する冷却空気発生装置1と、
圧縮空気を除湿して乾燥空気を生成する除湿機2と、ノ
ズルAとを具備して構成されている。また同図に示す1
1は工具(図示の例では研削盤の砥石を示しているが、
他の各種加工用工具であってもよい)、12は被加工物
(被加工物も各種形状・構造のものでよい)である。
【0008】ここでノズルAは内側ノズル3と該内側ノ
ズル3の外壁を囲んで流路を形成する外側ノズル4とを
具備して構成されている。内側ノズル3はその先端が幅
広の略偏平形状となるように形成されており、また外側
ノズル4は内側ノズル3の先端形状に合わせて幅広の略
偏平形状に形成されている。
ズル3の外壁を囲んで流路を形成する外側ノズル4とを
具備して構成されている。内側ノズル3はその先端が幅
広の略偏平形状となるように形成されており、また外側
ノズル4は内側ノズル3の先端形状に合わせて幅広の略
偏平形状に形成されている。
【0009】冷却空気発生装置1は導管5を介して内側
ノズル3に接続されている。除湿機2は導管6を介して
外側ノズル4に接続され、また該除湿機2には導管7を
介して圧縮空気8が導入されている。除湿機2から外側
ノズル4に供給される除湿した乾燥気体の温度は、水
(水蒸気)の氷結温度以上で常温以下の温度になるよう
に設定されている。
ノズル3に接続されている。除湿機2は導管6を介して
外側ノズル4に接続され、また該除湿機2には導管7を
介して圧縮空気8が導入されている。除湿機2から外側
ノズル4に供給される除湿した乾燥気体の温度は、水
(水蒸気)の氷結温度以上で常温以下の温度になるよう
に設定されている。
【0010】上記構成の冷却空気吹き付け装置におい
て、工具11を回転して被加工物12を加工すると同時
に、冷却空気発生装置1と除湿機2を稼働すると、冷却
空気発生装置1で発生した冷却空気9は導管5を通って
内側ノズル3内に導入されて内側ノズル3の先端から吹
き出され、一方除湿機2で除湿された乾燥空気10は導
管6を通って外側ノズル4へ導入されて外側ノズル4の
先端から吹き出され、これによって冷却空気9と乾燥空
気10は工具11と被加工物12の加工している部分に
吹き付けられ、該吹き付けられた冷却空気9によって工
具11と被加工物12の加工によって発生する熱が奪わ
れ、従って冷却されながら加工を行なうことができる。
て、工具11を回転して被加工物12を加工すると同時
に、冷却空気発生装置1と除湿機2を稼働すると、冷却
空気発生装置1で発生した冷却空気9は導管5を通って
内側ノズル3内に導入されて内側ノズル3の先端から吹
き出され、一方除湿機2で除湿された乾燥空気10は導
管6を通って外側ノズル4へ導入されて外側ノズル4の
先端から吹き出され、これによって冷却空気9と乾燥空
気10は工具11と被加工物12の加工している部分に
吹き付けられ、該吹き付けられた冷却空気9によって工
具11と被加工物12の加工によって発生する熱が奪わ
れ、従って冷却されながら加工を行なうことができる。
【0011】このとき乾燥空気10が外側ノズル4内を
流れることにより、たとえ冷却空気9によって内側ノズ
ル3の外壁が冷却されても、内側ノズル3の外壁に氷が
生成することは防止され、且つ乾燥空気の温度が水蒸気
の氷結温度以上であること及び乾燥空気10の断熱効果
により外側ノズル外壁が内側ノズル内の冷却空気によっ
て冷却されないため、湿った大気と接触している外側ノ
ズル4の外壁にも氷着が生じない。
流れることにより、たとえ冷却空気9によって内側ノズ
ル3の外壁が冷却されても、内側ノズル3の外壁に氷が
生成することは防止され、且つ乾燥空気の温度が水蒸気
の氷結温度以上であること及び乾燥空気10の断熱効果
により外側ノズル外壁が内側ノズル内の冷却空気によっ
て冷却されないため、湿った大気と接触している外側ノ
ズル4の外壁にも氷着が生じない。
【0012】また乾燥空気10が冷却空気9を囲んで吹
き出されるため、ノズル先端部で湿った大気が巻き込ま
れることがないので、ノズル先端部(特に内側ノズル3
先端部)に氷が生成されることもない。
き出されるため、ノズル先端部で湿った大気が巻き込ま
れることがないので、ノズル先端部(特に内側ノズル3
先端部)に氷が生成されることもない。
【0013】図2は本発明の第二実施形態にかかる冷却
空気吹き付け装置(冷却気体吹き付け装置)のノズルA
部分の概略構成を上側から見た図(図1(b)に相当す
る部分を示す図)である。同図において第一実施形態と
同一又は相当する部分には同一符号を付してその詳細な
説明は省略する。
空気吹き付け装置(冷却気体吹き付け装置)のノズルA
部分の概略構成を上側から見た図(図1(b)に相当す
る部分を示す図)である。同図において第一実施形態と
同一又は相当する部分には同一符号を付してその詳細な
説明は省略する。
【0014】この実施形態において図1に示す実施形態
と相違する点は、外側ノズル4の先端を、内側ノズル3
の先端よりも少し前方に突出させた点である。このよう
に構成すれば、外側ノズル4内での乾燥空気の流速が大
きいため、内側ノズル3の先端まで乾燥空気で被覆し易
くなり、より確実に乾燥空気10が冷却空気9を囲んで
吹き出されるため、ノズル先端部で湿った大気が巻き込
まれることがない。従ってより確実にノズル先端部(特
に内側ノズル3先端部)に氷が生成されることがない。
と相違する点は、外側ノズル4の先端を、内側ノズル3
の先端よりも少し前方に突出させた点である。このよう
に構成すれば、外側ノズル4内での乾燥空気の流速が大
きいため、内側ノズル3の先端まで乾燥空気で被覆し易
くなり、より確実に乾燥空気10が冷却空気9を囲んで
吹き出されるため、ノズル先端部で湿った大気が巻き込
まれることがない。従ってより確実にノズル先端部(特
に内側ノズル3先端部)に氷が生成されることがない。
【0015】図3,図4は何れも図2に示す第二実施形
態を用いて構成したノズルA部分の具体例を示す図であ
り、図3(a),図4(a)は平面図、図3(b),図
4(b)は側断面図、図3(c),図4(c)は左側面
図、図3(d),図4(d)は図3(c),図4(c)
のX部分拡大図である。
態を用いて構成したノズルA部分の具体例を示す図であ
り、図3(a),図4(a)は平面図、図3(b),図
4(b)は側断面図、図3(c),図4(c)は左側面
図、図3(d),図4(d)は図3(c),図4(c)
のX部分拡大図である。
【0016】これらノズルAは何れも、前記第一,第二
実施形態と同様に、内側ノズル3と内側ノズル3の外壁
を囲んで流路を形成する外側ノズル4とを具備して構成
されている。内側ノズル3はその上下面は先端に向かっ
てテーパ状に狭くなり、その幅は先端に向かってテーパ
状に幅広に広がり、全体として略偏平形状となるように
形成されている。一方外側ノズル4は内側ノズル3の外
周形状にほぼ合わせて上下面は先端に向かってテーパ状
に狭くなり、その幅は先端に向かってテーパ状に幅広に
広がり、全体として略偏平形状となるように形成されて
いる。そして外側ノズル4の先端は、内側ノズル3の先
端よりも前方に突出している。
実施形態と同様に、内側ノズル3と内側ノズル3の外壁
を囲んで流路を形成する外側ノズル4とを具備して構成
されている。内側ノズル3はその上下面は先端に向かっ
てテーパ状に狭くなり、その幅は先端に向かってテーパ
状に幅広に広がり、全体として略偏平形状となるように
形成されている。一方外側ノズル4は内側ノズル3の外
周形状にほぼ合わせて上下面は先端に向かってテーパ状
に狭くなり、その幅は先端に向かってテーパ状に幅広に
広がり、全体として略偏平形状となるように形成されて
いる。そして外側ノズル4の先端は、内側ノズル3の先
端よりも前方に突出している。
【0017】内側ノズル3の最も先端の部分には多数の
ノズル孔33が並列に設けられている。また図3
(d),図4(d)に示すように内側ノズル3先端と外
側ノズル4先端の間には乾燥空気を吹き出す細いスリッ
ト状のノズル孔43が内側ノズル3の周囲を囲むように
設けられている。一方内側ノズル3の後端部分には冷却
空気導入孔37が設けられ、外側ノズル4の後端部分に
は乾燥空気導入孔47が設けられている。
ノズル孔33が並列に設けられている。また図3
(d),図4(d)に示すように内側ノズル3先端と外
側ノズル4先端の間には乾燥空気を吹き出す細いスリッ
ト状のノズル孔43が内側ノズル3の周囲を囲むように
設けられている。一方内側ノズル3の後端部分には冷却
空気導入孔37が設けられ、外側ノズル4の後端部分に
は乾燥空気導入孔47が設けられている。
【0018】また外側ノズル4と内側ノズル3の間の空
間、つまり乾燥空気の通路となる空間には、該空間を上
下方向に仕切る2枚又は3枚の補強兼整流板45が平行
で左右対称となる位置に取り付けられている。
間、つまり乾燥空気の通路となる空間には、該空間を上
下方向に仕切る2枚又は3枚の補強兼整流板45が平行
で左右対称となる位置に取り付けられている。
【0019】これら具体例のように外側ノズル4内の乾
燥空気の通路内に補強兼整流板45,45を設ければ、
乾燥空気10が整流され、乱れのない状態で外側ノズル
4先端から吹き出されるので、さらにより確実に乾燥空
気10が冷却空気9を囲むように吹き出され、ノズルA
の先端部で湿った大気が巻き込まれることがなくなる。
またこれら補強兼整流板45,45はノズルAの上下の
外壁が変形するのを防ぐ補強板としての作用をも有す
る。
燥空気の通路内に補強兼整流板45,45を設ければ、
乾燥空気10が整流され、乱れのない状態で外側ノズル
4先端から吹き出されるので、さらにより確実に乾燥空
気10が冷却空気9を囲むように吹き出され、ノズルA
の先端部で湿った大気が巻き込まれることがなくなる。
またこれら補強兼整流板45,45はノズルAの上下の
外壁が変形するのを防ぐ補強板としての作用をも有す
る。
【0020】なおこの具体例には記載していないが、内
側ノズル3の内部にも同様の補強兼整流板を設けても良
い。そうすれば補強が更に確実になり、また冷却空気の
整流もできる。
側ノズル3の内部にも同様の補強兼整流板を設けても良
い。そうすれば補強が更に確実になり、また冷却空気の
整流もできる。
【0021】ところで上記各例ではノズルAの形状は、
平面が台形状で先端部が扁平な内側ノズル3の外壁を囲
むように外側ノズル4を設けた形状としたが、ノズルの
形状はこれに限定されるものではなく、内側ノズル3の
外壁を囲むように外側ノズル4を設け、且つ工具や被加
工物の冷却を効果的に行なうことができるように、内側
ノズル3から冷却空気9を吹き出し、冷却空気9を囲ん
だ状態で外側ノズル4から乾燥空気10を吹き出すこと
ができる形状であれば良い。
平面が台形状で先端部が扁平な内側ノズル3の外壁を囲
むように外側ノズル4を設けた形状としたが、ノズルの
形状はこれに限定されるものではなく、内側ノズル3の
外壁を囲むように外側ノズル4を設け、且つ工具や被加
工物の冷却を効果的に行なうことができるように、内側
ノズル3から冷却空気9を吹き出し、冷却空気9を囲ん
だ状態で外側ノズル4から乾燥空気10を吹き出すこと
ができる形状であれば良い。
【0022】また本発明の冷却気体吹き付け装置は上記
使用方法、即ちノズルAから研削盤の工具11と被加工
物12に冷却空気を吹き付ける使用方法に限定されるも
のではなく、切削加工、研削加工、穴開け加工等の加工
時における工具や被加工物の冷却に広く利用できる。ま
た上記実施形態では気体として空気を用いた例を示した
が、本発明は空気に限定されるものではなく、例えば不
活性ガス(例えば窒素ガス)等の他の気体(環境汚染を
招かない気体が好ましい)を用いてもよい。
使用方法、即ちノズルAから研削盤の工具11と被加工
物12に冷却空気を吹き付ける使用方法に限定されるも
のではなく、切削加工、研削加工、穴開け加工等の加工
時における工具や被加工物の冷却に広く利用できる。ま
た上記実施形態では気体として空気を用いた例を示した
が、本発明は空気に限定されるものではなく、例えば不
活性ガス(例えば窒素ガス)等の他の気体(環境汚染を
招かない気体が好ましい)を用いてもよい。
【0023】また上記例では冷却空気発生装置1と導管
5によって冷却気体供給手段を構成したが、本発明はこ
の構造に限られず、要は内側ノズルに冷却気体を供給す
る構造の冷却気体供給手段であればどのような構造のも
のでも良い。また上記例では除湿機2と導管6によって
乾燥気体供給手段を構成したが、本発明はこの構造に限
られず、要は外側ノズルに水の氷結温度以上で常温以下
の温度の除湿した乾燥気体を供給する構造の乾燥気体供
給手段であればどのような構造のものでも良い。
5によって冷却気体供給手段を構成したが、本発明はこ
の構造に限られず、要は内側ノズルに冷却気体を供給す
る構造の冷却気体供給手段であればどのような構造のも
のでも良い。また上記例では除湿機2と導管6によって
乾燥気体供給手段を構成したが、本発明はこの構造に限
られず、要は外側ノズルに水の氷結温度以上で常温以下
の温度の除湿した乾燥気体を供給する構造の乾燥気体供
給手段であればどのような構造のものでも良い。
【0024】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本願請求項1
に記載の発明によれば、冷却気体吹き付け装置を、内側
ノズルと、内側ノズルの外壁を囲んで流路を形成する外
側ノズルとを具備し、内側ノズルから冷却気体を吹き出
すと共に外側ノズルから水の氷結温度以上で常温以下の
温度の除湿した乾燥気体を吹き出すように構成している
ので、加工により発生した熱を冷却気体によって奪いそ
の冷却を行なうことができると同時に、外側ノズルに流
した乾燥気体によりノズル部分への氷の生成を防止する
ことができる。即ち本発明の装置を使用すれば、ノズル
に氷を生成することなく冷却を行なうことが容易に可能
になり、熱容量の小さい微小精密部品の加工や研削によ
る加工等を安価な装置で環境汚染を防止しながら実施で
きるという優れた効果を得ることができる。
に記載の発明によれば、冷却気体吹き付け装置を、内側
ノズルと、内側ノズルの外壁を囲んで流路を形成する外
側ノズルとを具備し、内側ノズルから冷却気体を吹き出
すと共に外側ノズルから水の氷結温度以上で常温以下の
温度の除湿した乾燥気体を吹き出すように構成している
ので、加工により発生した熱を冷却気体によって奪いそ
の冷却を行なうことができると同時に、外側ノズルに流
した乾燥気体によりノズル部分への氷の生成を防止する
ことができる。即ち本発明の装置を使用すれば、ノズル
に氷を生成することなく冷却を行なうことが容易に可能
になり、熱容量の小さい微小精密部品の加工や研削によ
る加工等を安価な装置で環境汚染を防止しながら実施で
きるという優れた効果を得ることができる。
【0025】また本願請求項2に記載の発明によれば、
外側ノズルの先端が内側ノズルの先端よりも前方に突出
しているので、内側ノズルの先端まで乾燥気体で被覆し
易くなり、より確実に乾燥気体が冷却気体を囲んで吹き
出され、より確実にノズル先端部(特に内側ノズル先端
部)に氷が生成されることがなくなる。
外側ノズルの先端が内側ノズルの先端よりも前方に突出
しているので、内側ノズルの先端まで乾燥気体で被覆し
易くなり、より確実に乾燥気体が冷却気体を囲んで吹き
出され、より確実にノズル先端部(特に内側ノズル先端
部)に氷が生成されることがなくなる。
【0026】また本願請求項3に記載の発明によれば、
外側ノズル又は内側ノズル内に、乾燥気体又は冷却気体
を整流する整流板を取り付けたので、乾燥気体又は冷却
気体が整流され、乱れのない乾燥気体又は冷却気体がノ
ズル先端から吹き出されるので、さらにより確実に乾燥
気体が冷却気体を囲むように吹き出され、より確実にノ
ズル先端部に氷が生成されることがなくなる。またこれ
ら整流板は補強板として利用できるので、ノズルの変形
を効果的に防止することができる。
外側ノズル又は内側ノズル内に、乾燥気体又は冷却気体
を整流する整流板を取り付けたので、乾燥気体又は冷却
気体が整流され、乱れのない乾燥気体又は冷却気体がノ
ズル先端から吹き出されるので、さらにより確実に乾燥
気体が冷却気体を囲むように吹き出され、より確実にノ
ズル先端部に氷が生成されることがなくなる。またこれ
ら整流板は補強板として利用できるので、ノズルの変形
を効果的に防止することができる。
【図1】本発明の第一実施形態にかかる冷却空気吹き付
け装置の概略構成図であり、図1(a)はその全体の概
略構成を側面から見た図、図1(b)はノズルA部分の
概略構成を上側から見た図である。
け装置の概略構成図であり、図1(a)はその全体の概
略構成を側面から見た図、図1(b)はノズルA部分の
概略構成を上側から見た図である。
【図2】本発明の第二実施形態にかかる冷却空気吹き付
け装置のノズルA部分の概略構成を上側から見た図であ
る。
け装置のノズルA部分の概略構成を上側から見た図であ
る。
【図3】ノズルA部分の具体例を示す図であり、図3
(a)は平面図、図3(b)は側断面図、図3(c)は
左側面図、図3(d)は図3(c)のX部分拡大図であ
る。
(a)は平面図、図3(b)は側断面図、図3(c)は
左側面図、図3(d)は図3(c)のX部分拡大図であ
る。
【図4】ノズルA部分の他の具体例を示す図であり、図
4(a)は平面図、図4(b)は側断面図、図4(c)
は左側面図、図4(d)は図4(c)のX部分拡大図で
ある。
4(a)は平面図、図4(b)は側断面図、図4(c)
は左側面図、図4(d)は図4(c)のX部分拡大図で
ある。
A ノズル 1 冷却空気発生装置 2 除湿機 3 内側ノズル 4 外側ノズル 5 導管 6 導管 7 導管 8 圧縮空気 9 冷却空気(冷却気体) 10 乾燥空気(乾燥気体) 11 工具 12 被加工物 45,45 整流板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 濱田 聡美 神奈川県藤沢市本藤沢4丁目2番1号 株 式会社荏原総合研究所内 Fターム(参考) 3C011 EE01 4F033 QA04 QB02X QB02Y QD21 QD24 QE21 QF07Y QG47
Claims (3)
- 【請求項1】 内側ノズルと、内側ノズルの外壁を囲ん
で流路を形成する外側ノズルとを具備し、 前記内側ノズルに冷却気体供給手段から冷却気体を供給
すると共に、前記外側ノズルに乾燥気体供給手段から水
の氷結温度以上で常温以下の温度の除湿した乾燥気体を
供給し、内側ノズルからは前記冷却気体を吹き出すと共
に、外側ノズルからは前記除湿した乾燥気体を吹き出す
ように構成したことを特徴とする冷却気体吹き付け装
置。 - 【請求項2】 前記外側ノズルはその先端が、前記内側
ノズルの先端よりも前方に突出していることを特徴とす
る請求項1記載の冷却気体吹き付け装置。 - 【請求項3】 前記外側ノズル又は内側ノズル内に、乾
燥気体又は冷却気体を整流する整流板を取り付けたこと
を特徴とする請求項1又は2記載の冷却気体吹き付け装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11107743A JP2000296438A (ja) | 1999-04-15 | 1999-04-15 | 冷却気体吹き付け装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11107743A JP2000296438A (ja) | 1999-04-15 | 1999-04-15 | 冷却気体吹き付け装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000296438A true JP2000296438A (ja) | 2000-10-24 |
Family
ID=14466843
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP11107743A Pending JP2000296438A (ja) | 1999-04-15 | 1999-04-15 | 冷却気体吹き付け装置 |
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Country | Link |
---|---|
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Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7390240B2 (en) | 2005-10-14 | 2008-06-24 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of shaping and forming work materials |
US7434439B2 (en) | 2005-10-14 | 2008-10-14 | Air Products And Chemicals, Inc. | Cryofluid assisted forming method |
JP2008264995A (ja) * | 2001-09-13 | 2008-11-06 | Air Products & Chemicals Inc | 高エネルギー切削作業のための低温冷却装置及び方法 |
US7513121B2 (en) | 2004-03-25 | 2009-04-07 | Air Products And Chemicals, Inc. | Apparatus and method for improving work surface during forming and shaping of materials |
US7634957B2 (en) | 2004-09-16 | 2009-12-22 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method and apparatus for machining workpieces having interruptions |
JP2011177094A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Hitachi Koki Co Ltd | 芝刈機 |
KR101103270B1 (ko) | 2009-07-24 | 2012-01-10 | 주식회사 비스 | 단열성능이 향상된 3중 배관구조의 액체질소 분사장치 |
KR101129468B1 (ko) * | 2009-12-08 | 2012-03-28 | 주식회사 비스 | 히팅블록이 형성된 3중 배관구조의 액체질소 분사장치 |
US8220370B2 (en) | 2002-02-04 | 2012-07-17 | Air Products & Chemicals, Inc. | Apparatus and method for machining of hard metals with reduced detrimental white layer effect |
CN103707125A (zh) * | 2012-09-29 | 2014-04-09 | 泰达重工机械(青岛)有限公司 | 镗轴出水冷却系统 |
KR20180042096A (ko) * | 2016-10-17 | 2018-04-25 | 주식회사 솔리움 | 가공툴 냉각장치 |
CN112692383A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-23 | 重庆工商大学 | 一种干切滚齿的强化换热系统 |
CN113601253A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-11-05 | 南京信息职业技术学院 | 一种构建持续立体冷却区域的降温装置和使用方法 |
-
1999
- 1999-04-15 JP JP11107743A patent/JP2000296438A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7637187B2 (en) | 2001-09-13 | 2009-12-29 | Air Products & Chemicals, Inc. | Apparatus and method of cryogenic cooling for high-energy cutting operations |
JP2008264995A (ja) * | 2001-09-13 | 2008-11-06 | Air Products & Chemicals Inc | 高エネルギー切削作業のための低温冷却装置及び方法 |
JP4690439B2 (ja) * | 2001-09-13 | 2011-06-01 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド | 高エネルギー切削作業のための低温冷却装置及び方法 |
US8220370B2 (en) | 2002-02-04 | 2012-07-17 | Air Products & Chemicals, Inc. | Apparatus and method for machining of hard metals with reduced detrimental white layer effect |
US7513121B2 (en) | 2004-03-25 | 2009-04-07 | Air Products And Chemicals, Inc. | Apparatus and method for improving work surface during forming and shaping of materials |
US7634957B2 (en) | 2004-09-16 | 2009-12-22 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method and apparatus for machining workpieces having interruptions |
US7390240B2 (en) | 2005-10-14 | 2008-06-24 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of shaping and forming work materials |
US7434439B2 (en) | 2005-10-14 | 2008-10-14 | Air Products And Chemicals, Inc. | Cryofluid assisted forming method |
KR101103270B1 (ko) | 2009-07-24 | 2012-01-10 | 주식회사 비스 | 단열성능이 향상된 3중 배관구조의 액체질소 분사장치 |
KR101129468B1 (ko) * | 2009-12-08 | 2012-03-28 | 주식회사 비스 | 히팅블록이 형성된 3중 배관구조의 액체질소 분사장치 |
JP2011177094A (ja) * | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Hitachi Koki Co Ltd | 芝刈機 |
CN103707125A (zh) * | 2012-09-29 | 2014-04-09 | 泰达重工机械(青岛)有限公司 | 镗轴出水冷却系统 |
KR20180042096A (ko) * | 2016-10-17 | 2018-04-25 | 주식회사 솔리움 | 가공툴 냉각장치 |
CN112692383A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-04-23 | 重庆工商大学 | 一种干切滚齿的强化换热系统 |
CN113601253A (zh) * | 2021-07-07 | 2021-11-05 | 南京信息职业技术学院 | 一种构建持续立体冷却区域的降温装置和使用方法 |
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